KR20210008308A

KR20210008308A - 수지 성형 장치 및 수지 성형품의 제조 방법

Info

Publication number: KR20210008308A
Application number: KR1020200083337A
Authority: KR
Inventors: 사토시 나카오; 도시노리 가사이; 다쿠토 데라오카; 히카루 기무라
Original assignee: 토와 가부시기가이샤
Priority date: 2019-07-10
Filing date: 2020-07-07
Publication date: 2021-01-21
Also published as: JP7134926B2; CN112208054B; KR102338656B1; TWI730715B; JP2021014017A; CN112208054A; TW202102350A

Abstract

열경화성을 갖는 액상 수지가 적절한 타이밍보다도 빠르게 경화되는 것을 억제 가능한 수지 성형 장치 및 수지 성형품의 제조 방법을 제공한다.
수지 성형 장치는, 성형 형과, 형 체결 기구와, 필름 공급 기구와, 액상 수지 공급 기구와, 제어부를 구비한다. 성형 형은, 상형과, 상형에 대향하는 하형을 포함한다. 형 체결 기구는, 성형 형을 형 체결한다. 필름 공급 기구는, 상형과 하형 사이에 이형 필름을 공급한다. 액상 수지 공급 기구는, 이형 필름 상에 열경화성을 갖는 액상 수지를 공급한다. 제어부는, 이형 필름과 하형이 이격된 상태에서 이형 필름 상에 액상 수지를 공급하도록 액상 수지 공급 기구를 제어한다.

Description

수지 성형 장치 및 수지 성형품의 제조 방법{RESIN MOLDING DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING RESIN MOLDED PRODUCT}

본 발명은, 수지 성형 장치 및 수지 성형품의 제조 방법에 관한 것이다.

일본 특허 공개 제2017-183443호 공보(특허문헌 1)는, 수지 성형 장치를 개시한다. 이 수지 성형 장치는, 서로 대향하여 배치된 상형 및 하형을 구비하고 있다. 상형과 하형 사이에는 필름이 송출된다. 이 수지 성형 장치에 있어서는, 필름 상에 수지 재료가 공급된 상태에서 상형과 하형을 형 체결함으로써 수지 성형이 행해진다(특허문헌 1 참조).

일본 특허 공개 제2017-183443호 공보

상기 특허문헌 1에 개시되어 있는 수지 성형 장치에 있어서는, 하형이 가열되어 있고, 하형에 필름이 흡착된 상태에서 필름 상에 수지 재료가 공급된다. 이와 같은 구성에 있어서, 예를 들어 수지 재료로서 열경화성을 갖는 액상 수지가 사용되면, 필름 상에 공급된 액상 수지가 적절한 타이밍보다도 빠르게 경화될 가능성이 있다.

본 발명은, 이러한 문제를 해결하기 위해 이루어진 것이며, 그 목적은, 열경화성을 갖는 액상 수지가 적절한 타이밍보다도 빠르게 경화되는 것을 억제 가능한 수지 성형 장치 및 수지 성형품의 제조 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 어느 국면에 따르는 수지 성형 장치는, 성형 형과, 형 체결 기구와, 필름 공급 기구와, 액상 수지 공급 기구와, 제어부를 구비한다. 성형 형은, 상형과, 상형에 대향하는 하형을 포함한다. 형 체결 기구는, 성형 형을 형 체결한다. 필름 공급 기구는, 상형과 하형 사이에 이형 필름을 공급한다. 액상 수지 공급 기구는, 이형 필름 상에 열경화성을 갖는 액상 수지를 공급한다. 제어부는, 이형 필름과 하형이 이격된 상태에서 이형 필름 상에 액상 수지를 공급하도록 액상 수지 공급 기구를 제어한다.

본 발명의 다른 국면에 따르는 수지 성형품의 제조 방법은, 상형과 하형 사이에 이형 필름을 공급하는 스텝과, 이형 필름과 하형이 이격된 상태에서 이형 필름 상에 열경화성을 갖는 액상 수지를 공급하는 스텝과, 액상 수지가 공급된 이형 필름을 하형 상에 흡착시키는 스텝과, 상형과, 이형 필름을 흡착한 상태의 하형을 형 체결하는 스텝을 포함한다.

본 발명에 따르면, 열경화성을 갖는 액상 수지가 적절한 타이밍보다도 빠르게 경화되는 것을 억제 가능한 수지 성형 장치 및 수지 성형품의 제조 방법을 제공할 수 있다.

도 1은 수지 성형 장치의 정면도이다.
도 2는 하형의 일부분의 평면도이다.
도 3은 상형, 하형 및 중간 플레이트의 단면을 포함하는 도면이다.
도 4는 수지 성형 장치에 의한 수지 성형품의 제조 수순을 도시하는 흐름도이다.
도 5는 액상 수지 공급 기구가 이형 필름 상에 액상 수지를 공급하는 양태를 도시하는 도면이다.

이하, 본 발명의 일 측면에 관한 실시 형태(이하, 「본 실시 형태」라고도 칭함)에 대하여, 도면을 사용하여 상세하게 설명한다. 또한, 도면 중 동일 또는 상당 부분에는 동일 부호를 붙여 그 설명은 반복하지 않는다. 또한, 각 도면은, 이해의 용이를 위해, 적절히 대상을 생략 또는 과장하여 모식적으로 그려져 있다. 또한, 각 도면에 있어서, 화살표가 나타내는 방향은 공통이다.

[1. 수지 성형 장치의 구성]

(1-1. 전체 구성)

도 1은, 본 실시 형태를 따르는 수지 성형 장치(10)의 정면도이다. 수지 성형 장치(10)는, 소위 컴프레션 몰드법을 사용함으로써, 수지 성형품을 제조하도록 구성되어 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 수지 성형 장치(10)는, 기반(100)과, 타이 바(110)와, 상부 플래튼(120)과, 하부 플래튼(130)과, 형 체결 기구(200)와, 성형 형(300)과, 필름 공급 기구(500)와, 이동 기구(600)와, 제어부(700)와, 액상 수지 공급 기구(900)를 포함하고 있다.

기반(100)은, 평면에서 보아 직사각 형상의 판상 부재이다. 복수(4개)의 타이 바(110)의 각각은, 상하 방향으로 연장되는 막대상 부재이다. 복수의 타이 바(110)는, 기반(100)의 네 코너에 각각 고정되어 있다. 상부 플래튼(120)은, 평면에서 보아 직사각 형상의 판상 부재이고, 복수의 타이 바(110)의 상부에 고정되어 있다. 상부 플래튼(120)은, 수지 성형 장치(10)에 있어서 기반(100)과 대향하고 있다. 하부 플래튼(130)은, 평면에서 보아 직사각 형상의 판상 부재이고, 기반(100)과 상부 플래튼(120) 사이에 있어서, 상하 방향으로 가동인 상태에서, 타이 바(110)에 설치되어 있다. 하부 플래튼(130)은, 수지 성형 장치(10)에 있어서 상부 플래튼(120) 및 기반(100)의 양쪽과 대향하고 있다.

형 체결 기구(200)는, 기반(100)의 상면에 고정되어 있다. 형 체결 기구(200)는, 성형 형(300)의 형 체결 및 형 개방을 위해, 하부 플래튼(130)을 승강시키도록 구성되어 있다. 즉, 형 체결 기구(200)는, 성형 형(300)을 형 체결하도록 구성되어 있다. 형 체결 기구(200)는, 예를 들어 서보 모터 및 볼 나사의 조합, 유압 실린더 및 링크 기구의 조합 등에 의해 실현된다.

성형 형(300)은, 금속제의 상형(310)과, 해당 상형(310)에 대향하는 금속제의 하형(320)과, 상형(310) 및 하형(320)의 양쪽에 대향하는 금속제의 중간 플레이트(323)를 포함하고 있다. 상형(310)은 상부 플래튼(120)의 하면에 고정되어 있고, 하형(320)은 하부 플래튼(130)의 상면에 고정되어 있다. 상형(310) 및 하형(320)의 각각에는, 가열부(히터)(350)가 마련되어 있다. 상형(310) 및 하형(320)의 각각은, 가열부(350)에 의해 가열된다. 중간 플레이트(323)는, 중앙부에 평면에서 보아 직사각 형상의 구멍이 형성된 프레임상의 부재이고, 하형(320)과 함께, 이형 필름(400)을 끼운다. 성형 형(300)에 대해서는, 나중에 상세하게 설명한다.

필름 공급 기구(500)는, 긴 형상의 이형 필름(400)을 상형(310)(중간 플레이트(323))과 하형(320) 사이에 공급하도록 구성되어 있다. 이형 필름(400)의 재료로서는, 내열성, 이형성, 유연성, 신전성 등의 특성을 갖는 수지 재료가 사용되고, 예를 들어 PTFE(폴리테트라플루오로에틸렌), ETFE(에틸렌·사불화에틸렌 공중합체), PET(폴리에틸렌테레프탈레이트), FEP(사불화에틸렌·육불화프로필렌 공중합체), 폴리프로필렌, 폴리스티렌, 폴리염화비닐리덴 등이 사용된다.

필름 공급 기구(500)는, 송출 기구(510)와, 권취 기구(520)와, 송출 롤러(530)와, 권취 롤러(540)를 포함하고 있다.

송출 기구(510)는, 릴에 감긴 사용 전의 이형 필름(400)을 상형(310)(중간 플레이트(323))과 하형(320) 사이로 송출하도록 구성되어 있다. 예를 들어, 송출 기구(510)는, 송출 롤과, 해당 송출 롤을 회전시키는 모터(도시하지 않음)를 포함하고 있다. 권취 기구(520)는, 수지 성형에 사용된 사용 완료된 이형 필름(400)을 릴에 권취하도록 구성되어 있다. 예를 들어, 권취 기구(520)는, 권취 롤과, 해당 권취 롤을 회전시키는 모터(도시하지 않음)를 포함하고 있다. 각 모터의 토크가 제어됨으로써, 이형 필름(400)이 진행 방향으로 송출된다. 또한, 이형 필름(400)의 송출 시에는, 각 모터의 토크가 제어됨으로써, 이형 필름(400)의 진행 방향으로 적당한 장력(텐션)이 걸려 있다.

송출 기구(510)와 성형 형(300) 사이에는, 이형 필름(400)에 장력을 가하기 위한 송출 롤러(530)가 배치되어 있다. 즉, 송출 롤러(530)는, 이형 필름(400)의 반송 경로 상에 있어서, 하형(320)보다도 송출 기구(510)측에 배치되어 있다. 성형 형(300)과 권취 기구(520) 사이에는, 이형 필름(400)에 장력을 가하기 위한 권취 롤러(540)가 배치되어 있다. 즉, 권취 롤러(540)는, 이형 필름(400)의 반송 경로 상에 있어서, 하형(320)보다도 권취 기구(520)측에 배치되어 있다. 송출 롤러(530) 및 권취 롤러(540)의 각각은, 이형 필름(400)에 장력을 가함과 함께, 상형(310)과 하형(320) 사이에 있어서 이형 필름(400)을 반송하도록 구성되어 있다.

각 이동 기구(600)는, 송출 롤러(530) 또는 권취 롤러(540)의 회전축을, 상하 방향으로 가동인 상태에서 보유 지지하고 있다. 이동 기구(600)는, 송출 롤러(530) 및 권취 롤러(540)의 회전축을 승강시키도록 구성되어 있다. 이동 기구(600)는, 예를 들어 송출 롤러(530) 및 권취 롤러(540)의 회전축을 상승시킴으로써, 이형 필름(400)을 하형(320)으로부터 물리적으로 이격할 수 있다. 이동 기구(600)는, 예를 들어 서보 모터 및 볼 나사의 조합, 에어 실린더 등에 의해 실현된다.

액상 수지 공급 기구(900)는, 소위 디스펜서이고, 이형 필름(400) 상에 열경화성을 갖는 액상 수지를 토출하도록 구성되어 있다. 액상 수지 공급 기구(900)는, 상형(310)과 하형(320)(중간 플레이트(323)) 사이의 영역에 있어서 면 방향(화살표 XY 방향)으로 이동하면서 액상 수지를 토출 가능함과 함께, 상형(310)과 하형(320) 사이 이외의 영역으로 후퇴 가능하다. 예를 들어, 액상 수지 공급 기구(900)는, 이형 필름(400) 상으로의 액상 수지의 공급 완료 후, 상형(310)과 하형(320) 사이 이외의 영역으로 후퇴한다.

제어부(700)는, 수지 성형 장치(10) 전체를 제어하도록 구성되어 있다. 제어부(700)는, 예를 들어 형 체결 기구(200), 필름 공급 기구(500), 이동 기구(600), 액상 수지 공급 기구(900) 등을 제어한다. 제어부(700)는, 하드웨어 프로세서인 CPU(Central Processing Unit), RAM(Random Access Memory) 및 ROM(Read Only Memory) 등을 포함하고, 프로그램 및 각종 데이터에 기초하여 정보 처리를 실행하도록 구성되어 있다. 또한, 제어부(700)는, 수지 성형 장치(10) 내의 어느 장소에 배치되어 있어도 되고, 복수의 컴퓨터에 의해 구성되어도 된다.

(1-2. 성형 형 및 흡착 기구의 구성)

도 2는, 하형(320)의 일부분의 평면도이다. 도 3은, 상형(310), 하형(320) 및 중간 플레이트(323)의 단면을 포함하는 도면이다. 도 3에 있어서, 하형(320)의 일부분의 단면은, 도 2의 III-III 단면에 대응하고 있다.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 하형(320)에는 캐비티(326)가 형성되어 있고, 하형(320)은, 캐비티(326)의 저면을 구성하는 저면 부재(321)와, 캐비티(326)의 측면을 구성하는 측면 부재(322)를 포함하고 있다. 저면 부재(321)는, 평면에서 보아 직사각 형상의 판상 부재이다. 측면 부재(322)는, 저면 부재(321)의 주위를 덮는 프레임상 부재이다. 하형(320)에 있어서, 측면 부재(322)는, 스프링 등의 탄성 부재를 포함하는 설치 부재(328)를 통해 고정되어 있다. 측면 부재(322)는, 캐비티(326)를 구성하도록, 저면 부재(321)보다도 약간 상방에 위치하고 있다. 저면 부재(321)와 측면 부재(322) 사이에는, 저면 부재(321)와 주위면 부재(322)가 상대적으로 미끄럼 이동 가능하도록 약간의 간극이 형성되어 있다.

하형(320)은, 또한, 하측 시일 고정 부재(329)와, 설치 막대(327)를 포함하고 있다. 중간 플레이트(323)와 하형(320)에 의해 이형 필름(400)을 끼우고 있는 상태에서, 설치 막대(327) 및 하측 시일 고정 부재(329)의 상면은 중간 플레이트(323)에 접한다. 하측 시일 고정 부재(329)에는, 관통로(324)가 형성되어 있다. 각 관통로(324)는, 흡인용 배관(325)을 통해, 진공 펌프(330)에 접속되어 있다. 상술한 바와 같이 저면 부재(321)와 측면 부재(322) 사이에는 간극이 형성되어 있기 때문에, 진공 펌프(330)가 흡기를 행함으로써, 하형(320) 상에 위치하는 이형 필름(400)이 하형(320) 상에 흡착된다. 각 관통로(324) 및 진공 펌프(330)를 포함하는 구성은, 본 발명의 「흡착 기구」의 일례이다.

상형(310)은, 예를 들어 복수의 칩(810)이 배치된 기판(800)이 설치되도록 구성되어 있다. 칩(810)은, 예를 들어 반도체 집적 회로이다. 칩(810)은, 기판(800)에 대하여, 전기적으로 접속되어도 되고, 전기적으로 접속되지 않아도 된다. 기판(800)의 형상은, 예를 들어 사각형 또는 원형이다. 기판(800)은, 예를 들어 반도체 기판(실리콘 웨이퍼 등), 금속 기판, 유리 기판, 세라믹 기판, 수지 기판, 또는 배선 기판이고, FO-WLP(Fan Out Wafer Level Package) 또는 FOPLP(Fan Out Panel Level Package)에 사용되는 판상 부재의 캐리어를 포함하고 있어도 된다. 상형(310)은, 상측 시일 고정 부재(311)를 포함한다. 상측 시일 고정 부재(311)는, 성형 형(300)의 형 체결 시에 중간 플레이트(323)에 접한다.

[2. 액상 수지의 경화 대책]

상술한 바와 같은 수지 성형 장치(10)에 있어서, 가령, 이형 필름(400)이 하형(320)에 흡착된 상태에서, 액상 수지 공급 기구(900)에 의해 이형 필름(400) 상에 열경화성을 갖는 액상 수지가 토출되는 것으로 한다. 이 경우에는, 하형(320)의 열이 이형 필름(400) 상에 공급된 액상 수지로 전달되기 쉽기 때문에, 액상 수지가 적절한 타이밍보다도 빠르게 경화될 가능성이 있다.

특히, 액상 수지 공급 기구(900)에 의해 토출되는 액상 수지가 고점도인 경우나, 액상 수지가 토출되어야 할 이형 필름(400) 상의 면적이 넓은 경우(예를 들어, 한 변이 300㎜ 이상인 사각형이나, 직경이 300㎜ 이상인 원형)에는, 액상 수지의 공급의 완료에 장시간을 필요로 한다. 이러한 경우에는, 액상 수지가 적절한 타이밍보다도 빠르게 경화되는 사태가 더 발생하기 쉽다.

예를 들어, 이러한 문제를 해결하는 수단으로서, 수지 성형 장치(10) 이외의 별도의 장소에서 이형 필름(400) 상에 액상 수지를 공급하고, 그 후, 액상 수지가 공급된 이형 필름(400)을 하형(320) 상에 배치하는 방법을 생각할 수 있다. 그러나, 이러한 방법에 의하면, 예를 들어 이형 필름(400)을 하형(320) 상에 배치할 때에, 이형 필름(400)에 주름이 생길 수 있다. 특히, 이형 필름(400)의 크기가 커지면, 주름이 생기는 일 없이 이형 필름(400)을 하형(320) 상에 배치하는 것은 곤란하다.

상세에 대해서는 후술하지만, 본 실시 형태를 따르는 수지 성형 장치(10)에 있어서, 제어부(700)는, 이형 필름(400)과 하형(320)이 이격된 상태에서 이형 필름(400) 상에 액상 수지를 공급하도록 액상 수지 공급 기구(900)를 제어한다.

수지 성형 장치(10)에 있어서는, 이형 필름(400)과 하형(320)이 물리적으로 이격된 상태에서 이형 필름(400) 상에 액상 수지가 공급되기 때문에, 하형(320)의 열이 이형 필름(400) 상의 액상 수지로 전달되기 어렵다. 따라서, 수지 성형 장치(10)에 의하면, 액상 수지가 적절한 타이밍보다도 빠르게 경화되는 사태를 억제할 수 있다.

[3. 수지 성형품의 제조 수순]

도 4는, 수지 성형 장치(10)에 의한 수지 성형품의 제조 수순을 도시하는 흐름도이다. 도 4에 도시되는 처리는, 필름 공급 기구(500)에 이형 필름(400)이 세트되어 있고, 성형 형(300)이 형 개방된 상태에서, 제어부(700)에 의해 실행된다.

도 4를 참조하여, 제어부(700)는, 송출 롤러(530) 및 권취 롤러(540)를 미리 정해진 위치(예를 들어, 이형 필름(400)이 중간 플레이트(323)의 하면에 접하는 위치)까지 상승시키도록 이동 기구(600)를 제어한다(스텝 S100). 즉, 제어부(700)는, 이형 필름(400)과 하형(320)이 물리적으로 이격되도록 이동 기구(600)를 제어한다.

송출 롤러(530) 및 권취 롤러(540)의 이동이 완료되면, 제어부(700)는, 이형 필름(400)에 걸리는 장력을 높이도록 필름 공급 기구(500)를 제어한다(스텝 S110). 보다 구체적으로는, 제어부(700)는, 송출 기구(510)에 있어서의 송출 롤의 회전을 고정하고, 권취 기구(520)에 있어서의 권취 롤의 토크를 제어함으로써, 이형 필름(400)에 걸리는 장력을 높인다. 또는, 제어부(700)는, 권취 기구(520)에 있어서의 권취 롤의 회전을 고정하고, 송출 기구(510)에 있어서의 송출 롤의 토크를 제어한다. 이로써, 이형 필름(400) 상에 액상 수지가 공급된 경우에 있어서의 이형 필름(400)의 하방으로의 늘어짐을 억제할 수 있다.

제어부(700)는, 이형 필름(400)과 하형(320)이 물리적으로 이격된 상태에서 이형 필름(400) 상에 액상 수지를 공급하도록 액상 수지 공급 기구(900)를 제어한다(스텝 S120).

도 5는, 액상 수지 공급 기구(900)가 이형 필름(400) 상에 액상 수지를 공급하는 양태를 도시하는 도면이다. 도 5에 도시된 바와 같이, 액상 수지 공급 기구(900)는, 이형 필름(400)이 저면 부재(321) 및 측면 부재(322)의 양쪽으로부터 물리적으로 이격된 상태에서, 이형 필름(400)의 면 내의 미리 정해진 범위에 액상 수지(910)를 공급한다.

이형 필름(400) 상에 있어서의 액상 수지의 공급이 완료되면, 제어부(700)는, 상형(310)과 하형(320) 사이로부터 후퇴하도록 액상 수지 공급 기구(900)를 제어한다(스텝 S130). 액상 수지 공급 기구(900)의 후퇴가 완료되면, 제어부(700)는, 송출 롤러(530) 및 권취 롤러(540)를 미리 정해진 위치까지 하강시키도록 이동 기구(600)를 제어한다(스텝 S140).

송출 롤러(530) 및 권취 롤러(540)의 하강이 완료되면, 제어부(700)는, 측면 부재(322)가 이형 필름(400)에 접하고, 그 후, 하측 시일 고정 부재(329)가 이형 필름(400)을 통해 중간 플레이트(323)와 접하는 위치까지 하형(320)을 상승시키도록 형 체결 기구(200)를 제어한다(스텝 S150). 하형(320)의 상승이 완료되면, 제어부(700)는, 액상 수지가 공급된 이형 필름(400)을 하형(320) 상에 흡착시키도록 진공 펌프(330) 등(흡착 기구)을 제어한다(스텝 S160).

그 후, 제어부(700)는, 이형 필름(400) 상의 액상 수지의 점도가 저하된 후에, 이형 필름(400)을 통해 측면 부재(322)를 기판(800)에 접촉시킨 상태로부터 저면 부재(321)를 상승시키도록, 하형(320)을 상승시켜 성형 형(300)의 형 체결을 행하도록 형 체결 기구(200)를 제어한다(스텝 S170). 이로써, 수지 성형품이 완성된다. 수지 성형 장치(10)에 있어서는, 그 후, 성형 형(300)의 형 개방 및 이형 필름(400)의 반송 및 스텝 S100 내지 스텝 S170의 처리가 반복됨으로써, 수지 성형품이 양산된다.

[4. 효과 등]

이상과 같이, 본 실시 형태를 따르는 수지 성형 장치(10)에 있어서, 제어부(700)는, 이형 필름(400)과 하형(320)이 이격된 상태에서 이형 필름(400) 상에 액상 수지를 공급하도록 액상 수지 공급 기구(900)를 제어한다. 수지 성형 장치(10)에 있어서는, 이형 필름(400)과 하형(320)이 물리적으로 이격된 상태에서 이형 필름(400) 상에 액상 수지가 공급되기 때문에, 하형(320)의 열이 이형 필름(400) 상의 액상 수지로 전달되기 어렵다. 따라서, 수지 성형 장치(10)에 의하면, 액상 수지가 적절한 타이밍보다도 빠르게 경화되는 사태를 억제할 수 있다.

또한, 본 실시 형태를 따르는 수지 성형 장치(10)에 있어서, 제어부(700)는, 액상 수지 공급 기구(900)가 액상 수지를 이형 필름(400) 상에 공급하기 전에, 이형 필름(400)에 걸리는 장력을 높이도록 필름 공급 기구(500)를 제어한다. 이로써, 이형 필름(400) 상에 액상 수지가 공급된 경우에 있어서의 이형 필름(400)의 하방으로의 늘어짐을 억제할 수 있다.

또한, 본 실시 형태를 따르는 수지 성형 장치(10)에 있어서, 제어부(700)는, 이형 필름(400) 상에 액상 수지가 공급된 후에, 이형 필름(400)을 하형(320) 상에 흡착시키도록 진공 펌프(330) 등(흡착 기구)을 제어한다. 이로써, 하형(320) 상에 있어서의 이형 필름(400)의 위치 어긋남을 억제할 수 있어, 더 고정밀도로 수지 성형품을 제조할 수 있다.

[5. 다른 실시 형태]

상기 실시 형태의 사상은, 이상에 설명된 실시 형태에 한정되지 않는다. 이하, 상기 실시 형태의 사상을 적용할 수 있는 다른 실시 형태의 일례에 대하여 설명한다.

상기 실시 형태에 있어서는, 상형(310)과 하형(320) 사이에 중간 플레이트(323)가 마련되었지만, 중간 플레이트(323)는 반드시 필요하지는 않다.

또한, 상기 실시 형태에 있어서는, 수지 성형 장치(10)는, 단체의 장치였다. 그러나, 수지 성형 장치(10)는, 반드시 단체의 장치일 필요는 없고, 복수의 기능을 갖는 장치에 있어서의 일부의 유닛이어도 된다.

이상, 본 발명의 실시 형태에 대하여 예시적으로 설명했다. 즉, 예시적인 설명을 위해, 상세한 설명 및 첨부의 도면이 개시되었다. 따라서, 상세한 설명 및 첨부의 도면에 기재된 구성 요소 중에는, 과제 해결을 위해 필수는 아닌 구성 요소가 포함되는 경우가 있다. 따라서, 그것들의 필수는 아닌 구성 요소가 상세한 설명 및 첨부의 도면에 기재되어 있다고 해서, 그것들의 필수는 아닌 구성 요소가 필수라고 즉시 인정되어서는 안된다.

또한, 상기 실시 형태는, 모든 점에 있어서 본 발명의 예시에 지나지 않는다. 상기 실시 형태는, 본 발명의 범위 내에 있어서, 다양한 개량이나 변경이 가능하다. 즉, 본 발명의 실시에 있어서는, 실시 형태에 따라 구체적 구성을 적절히 채용할 수 있다.

10: 수지 성형 장치
100: 기반
110: 타이 바
120: 상부 플래튼
130: 하부 플래튼
200: 형 체결 기구
300: 성형 형
310: 상형
311: 상측 시일 고정 부재
320: 하형
321: 저면 부재
322: 측면 부재
323: 중간 플레이트
324: 관통로
325: 흡인용 배관
326: 캐비티
327: 설치 막대
328: 설치 부재
329: 하측 시일 고정 부재
330: 진공 펌프
350: 가열부
400: 이형 필름
500: 필름 공급 기구
510: 송출 기구
520: 권취 기구
530: 송출 롤러
540: 권취 롤러
600: 이동 기구
700: 제어부
800: 기판
810: 칩
900: 액상 수지 공급 기구
910: 액상 수지

Claims

상형과, 상기 상형에 대향하는 하형을 포함하는 성형 형과,
상기 성형 형을 형 체결하는 형 체결 기구와,
상기 상형과 상기 하형 사이에 이형 필름을 공급하는 필름 공급 기구와,
상기 이형 필름 상에 열경화성을 갖는 액상 수지를 공급하는 액상 수지 공급 기구와,
상기 이형 필름과 상기 하형이 이격된 상태에서 상기 이형 필름 상에 상기 액상 수지를 공급하도록 상기 액상 수지 공급 기구를 제어하는 제어부를 구비하는, 수지 성형 장치.
제1항에 있어서, 상기 하형과 이격되는 위치까지 상기 이형 필름을 이동시키는 이동 기구를 더 구비하는, 수지 성형 장치.
제2항에 있어서, 상기 필름 공급 기구는,
상기 이형 필름을 송출하는 송출 기구와,
상기 이형 필름을 권취하는 권취 기구와,
상기 이형 필름의 반송 경로 상에 있어서 상기 하형보다도 상기 송출 기구측에 배치된 송출 롤러와,
상기 이형 필름의 반송 경로 상에 있어서 상기 하형보다도 상기 권취 기구측에 배치된 권취 롤러를 포함하고,
상기 이동 기구는, 상기 송출 롤러 및 상기 권취 롤러를 상승시키는, 수지 성형 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 액상 수지 공급 기구가 상기 액상 수지를 상기 이형 필름 상에 공급하기 전에, 상기 이형 필름에 걸리는 장력을 높이도록 상기 필름 공급 기구를 제어하는, 수지 성형 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 이형 필름을 상기 하형 상에 흡착시키는 흡착 기구를 더 구비하고,
상기 제어부는, 상기 이형 필름 상에 상기 액상 수지가 공급된 후에, 상기 이형 필름을 상기 하형 상에 흡착시키도록 상기 흡착 기구를 제어하는, 수지 성형 장치.
상형과 하형 사이에 이형 필름을 공급하는 스텝과,
상기 이형 필름과 상기 하형이 이격된 상태에서 상기 이형 필름 상에 열경화성을 갖는 액상 수지를 공급하는 스텝과,
상기 액상 수지가 공급된 상기 이형 필름을 상기 하형 상에 흡착시키는 스텝과,
상기 상형과, 상기 이형 필름을 흡착한 상태의 상기 하형을 형 체결하는 스텝을 포함하는, 수지 성형품의 제조 방법.
제6항에 있어서, 상기 이형 필름 상에 상기 액상 수지를 공급하기 전에, 상기 하형과 이격되는 위치까지 상기 이형 필름을 이동시키는 스텝을 더 포함하는, 수지 성형품의 제조 방법.
제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 이형 필름 상에 상기 액상 수지를 공급하기 전에, 상기 이형 필름에 걸리는 장력을 높이는 스텝을 더 포함하는, 수지 성형품의 제조 방법.