JP5234971B2 - 樹脂封止装置及び樹脂封止方法 - Google Patents
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Description
102…被成形品
104…成形用樹脂
106…離型フィルム
108…上型
110…下型
112…成形部
112A、114A…表面
114…枠部
116…吸着機構
116A…吸着口
116B、118B…配管
116C…第1減圧部
118…圧力調整機構
118A…隙間
120…気体供給部
122…第2減圧部(気体減圧部)
124…切替弁
126…空隙
Claims (6)
- 第1の金型と、該第1の金型に対向する第2の金型と、該第1の金型との間に配置され該第2の金型を被覆する離型フィルムと、を有し、
該離型フィルム上に成形用樹脂を配置して、該第1の金型と第2の金型との対向面で形成されるキャビティで前記被成形品を樹脂封止する樹脂封止装置において、
前記第2の金型は、前記キャビティの底面を構成する成形部と、該成形部の外周に嵌合し該成形部に対して前記第1の金型と対向する方向に移動可能な枠部と、を有し、
該枠部に前記離型フィルムを吸着する吸着機構の少なくとも一部が配置され、更に、
該吸着機構で該離型フィルムが吸着されると共に、該離型フィルム上に前記成形用樹脂が配置された際に、該離型フィルムと前記成形部の表面とを非接触とするように、該離型フィルムと前記第2の金型とで構成される空隙内の圧力を調整する圧力調整手段を備えた
ことを特徴とする樹脂封止装置。 - 請求項1において、
前記圧力調整手段は、前記空隙に圧縮気体を供給する気体供給部を有する
ことを特徴とする樹脂封止装置。 - 請求項1又は2において、更に、
前記成形部に前記離型フィルムを吸着させるための減圧動作を行う気体減圧部と、
前記被成形品が取付けられた該第1の金型と前記第2の金型とが閉じられて前記成形用樹脂が該被成形品と接触する前に、前記圧力調整手段の動作から前記気体減圧部の動作に切替える切替手段と、を有する
ことを特徴とする樹脂封止装置。 - 第1の金型と、該第1の金型に対向する第2の金型と、該第1の金型との間に配置され該第2の金型を被覆する離型フィルムと、を用いて、
該離型フィルム上に成形用樹脂を配置して、該第1の金型と第2の金型との対向面で形成されるキャビティで前記被成形品を樹脂封止する樹脂封止方法において、
前記第2の金型は、前記キャビティの底面を構成する成形部と、該成形部の外周に嵌合し該成形部に対して前記第1の金型と対向する方向に移動可能な枠部と、を有して、該枠部で前記離型フィルムを吸着する工程と、
該離型フィルム上に前記成形用樹脂を配置させた際に、該離型フィルムと前記成形部の表面とを非接触とするように、該離型フィルムと前記第2の金型とで構成される空隙内の圧力の調整を行う工程と、
を含むことを特徴とする樹脂封止方法。 - 請求項4において、
前記離型フィルム上に前記成形用樹脂を配置させる際に、前記枠部を移動させて、前記成形部の表面と枠部の表面との段差を、前記被成形品が成形される際の段差以下としておく
ことを特徴とする樹脂封止方法。 - 請求項4又は5において、更に、
前記離型フィルム上に前記成形用樹脂を配置後、前記第1の金型と第2の金型とを接近させる工程と、
該成形用樹脂が該第1の金型に取付けられた前記被成形品と接触する前に、前記空隙内の圧力の前記調整から減圧へ切替えて、前記離型フィルムを前記成形部の表面に吸着する工程と、
を含むことを特徴とする樹脂封止方法。
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