CN112208054A - 树脂成型装置及树脂成型品的制造方法 - Google Patents

树脂成型装置及树脂成型品的制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供树脂成型装置及树脂成型品的制造方法，能够抑制具有热固性的液态树脂在适当的时刻之前发生固化。该树脂成型装置包括：成型模、合模机构、膜供给机构、液态树脂供给机构和控制部。成型模包括：上模和与上模对置的下模。合模机构使成型模合模。膜供给机构在上模和下模之间供给脱模膜。液态树脂供给机构将具有热固性的液态树脂供给于脱模膜上。控制部控制液态树脂供给机构，以在脱模膜与下模脱离的状态下将液态树脂供给于脱模膜上。

Description

树脂成型装置及树脂成型品的制造方法
技术领域
本发明涉及树脂成型装置及树脂成型品的制造方法。
背景技术
特开2017-183443号公报(专利文献1)公开了一种树脂成型装置。该树脂成型装置具有相互对置配置的上模及下模。在上模和下模之间送出膜。在该树脂成型装置中，在膜上供给有树脂材料的状态下，通过将上模和下模合模而进行树脂成型(参照专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：特开2017-183443号公报。
在上述专利文献1公开的树脂成型装置中，下模被加热，在下模吸附有膜的状态下树脂材料被供给于膜上。在这种构成中，例如，当使用具有热固性的液态树脂作为树脂材料时，供给于膜上的液态树脂可能会在适当时刻之前发生固化。
发明内容
本发明是为了解决这样的问题而完成的，其目的在于提供树脂成型装置以及树脂成型品的制造方法，能够抑制具有热固性的液态树脂在适当的时刻之前发生固化。
本发明的某一方面的树脂成型装置包括：成型模、合模机构、膜供给机构、液态树脂供给机构和控制部。成型模包括：上模和与上模对置的下模。合模机构使成型模合模。膜供给机构在上模和下模之间供给脱模膜。液态树脂供给机构将具有热固性的液态树脂供给于脱模膜上。控制部控制液态树脂供给机构，以在脱模膜与下模脱离的状态下将液态树脂供给于脱模膜上。
本发明另一方面的树脂成型品的制造方法包括以下步骤：在上模与下模之间供给脱模膜；在脱模膜与下模脱离状态下，将具有热固性的液态树脂供给于脱模膜上；使供给有液态树脂的脱模膜吸附于下模上；以及使上模和吸附有脱模膜的状态下的下模合模。
发明效果
根据本发明，能够提供树脂成型装置以及树脂成型品的制造方法，可抑制具有热固性的液态树脂在适当的时刻之前发生固化。
附图说明
图1是树脂成型装置的主视图。
图2是下模的一部分的俯视图。
图3是包括上模、下模及中间板的截面的图。
图4是示出利用树脂成型装置制造树脂成型品的制作顺序的流程图。
图5是示出液态树脂供给机构将液态树脂供给于脱模膜的情况的图。
附图标记说明
10 树脂成型装置；
100 基座；
110 拉杆；
120 上模板；
130 下模板；
200 合模机构；
300 成型模；
310 上模；
311 上侧密封固定部件；
320 下模；
321 底面部件；
322 侧面部件；
323 中间板；
324 贯通通道；
325 吸引用配管；
326 型腔；
327 安装棒；
328 安装部件；
329 下侧密封固定部件；
330 真空泵；
350 加热部；
400 脱模膜；
500 膜供给机构；
510 送出机构；
520 卷取机构；
530 送出辊；
540 卷取辊；
600 移动机构；
700 控制部；
800 基板；
810 芯片；
900 液态树脂供给机构；
910 液态树脂。
具体实施方式
以下，利用附图，对本发明的一个方面的实施方式(以下，也称为“本实施方式”)进行详细说明。此外，对附图中相同或等同的部分赋予相同的附图标记，不再重复其说明。另外，为了易于理解，在各附图中省略或者夸大地示意性描绘了适当对象。此外，在各图中，箭头指示的方向是共同的。
[1.树脂成型装置的构成]
(1-1.整体构成)
图1是本实施方式的树脂成型装置10的主视图。树脂成型装置10构成为通过使用所谓的压缩模塑法来制造树脂成型品。
如图1所示，树脂成型装置10包括基座100、拉杆110、上模板120、下模板130、合模机构200、成型模300、膜供给机构500、移动机构600、控制部700和液态树脂供给机构900。
基座100是俯视呈矩形的板状部件。多个(4根)拉杆110分别是在上下方向延伸的棒状部件。多个拉杆110分别固定于基座100的四个角。上模板120是俯视呈矩形的板状部件，固定于多个拉杆110的上部。上模板120在树脂成型装置10中与基座100对置。下模板130是俯视呈矩形的板状部件，在基座100和上模板120之间，以在上下方向可移动的状态安装于拉杆110。下模板130在树脂成型装置10中与上模板120及基座100均对置。
合模机构200固定于基座100的上面。合模机构200构成为使下模板130上升和下降以使成型模300合模及开模。即，合模机构200构成为使成型模300合模。合模机构200例如通过伺服电机及滚珠丝杠的组合、液压缸及连杆机构的组合等来实现。
成型模300包括金属制成的上模310、与该上模310对置的金属制成的下模320、以及与上模310和下模320均对置的金属制成的中间板323。上模310固定于上模板120的下面，下模320固定于下模板130的上面。在上模310和下模320中分别设置有加热部(加热器)350。上模310及下模320分别通过加热部350被加热。中间板323是在其中央部形成有俯视呈矩形的孔的框形部件，并且与下模320一起夹持脱模膜400。关于成型模300，将在后面详细说明。
膜供给机构500构成为在上模310(中间板323)与下模320之间供给长条状的脱模膜400。作为脱模膜400的材料，采用具有耐热性、脱模性、柔软性、伸展性等特性的树脂材料，例如，采用用PTFE(聚四氟乙烯)、ETFE(乙烯-四氟乙烯共聚物)、PET(聚对苯二甲酸乙二酯)、FEP(四氟乙烯六氟丙烯共聚物)、聚丙烯、聚苯乙烯、聚偏二氯乙烯等。
膜供给机构500包括送出机构510、卷取机构520、送出辊530和卷取辊540。
送出机构510构成为将卷取于卷轴的使用前的脱模膜400在上模310(中间板323)与下模320之间送出。例如，送出机构510包括送出辊和使该送出辊旋转的电机(未图示)。卷取机构520构成为将用在树脂成型中的使用过的脱模膜400卷取到卷轴上。例如，卷取机构520包括卷取辊和使该卷取辊旋转的电机(未图示)。通过控制各电机的转矩，在行进方向上送出脱模膜400。另外，在送出脱模膜400时，通过控制各电机的转矩，在脱模膜400的行进方向上施加适度的张力(tension)。
在送出机构510与成型模300之间配置有用于对脱模膜400施加张力的送出辊530。即，送出辊530在脱模膜400的输送路径上配置于比下模320更靠近送出机构510侧的位置。在成型模300和卷取机构520之间配置有用于对脱模膜400施加张力的卷取辊540。即，卷取辊540在脱模膜400的输送路径上配置于比下模320更靠近卷取机构520侧的位置。送出辊530及卷取辊540分别构成为对脱模膜400施加张力，并且在上模310与下模320之间输送脱模膜400。
各移动机构600将送出辊530或卷取辊540的旋转轴保持为在上下方向可移动的状态。移动机构600构成为使送出辊530及卷取辊540的旋转轴上升和下降。移动机构600例如可以通过使送出辊530及卷取辊540的旋转轴上升，而使脱模膜400在物理上从下模320脱离。移动机构600例如通过伺服电机及滚珠丝杠的组合、气缸等实现。
液态树脂供给机构900是所谓的分配器，构成为将具有热固性的液态树脂喷出于脱模膜400上。液态树脂供给机构900能够在上模310与下模320(中间板323)之间的区域在面方向(箭头XY方向)移动的同时喷出液态树脂，并且能够退避到上模310与下模320之间以外的区域。例如，液态树脂供给机构900在向脱模膜400上供给完液态树脂后，退避到上模310与下模320之间以外的区域。
控制部700构成为控制整个树脂成型装置10。控制部700例如控制合模机构200、膜供给机构500、移动机构600、液态树脂供给机构900等。控制部700包括作为硬件处理器的CPU(Central Processing Unit,中央处理单元)、RAM(Random Access Memory，随机存取存储器)和ROM(Read Only Memory，只读存储器)，并且构成为基于程序和各种数据执行信息处理。此外，控制部700可以配置于树脂成型设备10的任何位置，也可以由多个计算机构成。
(1-2.成型模及吸附机构的构成)
图2是下模320的一部分的俯视图。图3是包括上模310、下模320和中间板323的截面的图。在图3中，下模320的一部分的截面与图2的III-III截面相对应。
如图2和图3所示，在下模320形成有型腔326，下模320包括构成型腔326的底面的底面部件321和构成型腔326的侧面的侧面部件322。底面部件321是俯视呈矩形的板状部件。侧面部件322是覆盖底面部件321周围的框状部件。在下模320中，侧面部件322通过包括弹簧等弹性部件的安装部件328而固定。侧面部件322位于比底面部件321稍微靠近上方的位置，以构成型腔326。在底面部件321和侧面部件322之间，形成有细微的间隙，以使底面部件321和周面部件322能够相对滑动。
下模320还包括下侧密封固定部件329和安装棒327。在由中间板323和下模320夹着脱模膜400的状态下，安装棒327和下侧密封固定部件329的上面与中间板323接触。在下侧密封件固定部件329形成有贯通通道324。各贯通通道324通过吸引用配管325连接于真空泵330。如上所述，由于在底面部件321和侧面部件322之间形成有间隙，因此通过真空泵330进行吸气，位于下模320上的脱模膜400被吸附在下模320上。包括各贯通通道324及真空泵330的构成是本发明的“吸附机构”的一例。
上模310例如构成为安装有配置了多个芯片810的基板800。芯片810例如是半导体集成电路。芯片810可以电连接于基板800，也可以不电连接于基板800。基板800的形状例如是四边形或圆形。基板800例如可以是半导体基板(硅晶圆等)、金属基板、玻璃基板、陶瓷基板、树脂基板或布线基板，也可以是用于FO-WLP(Fan Out Wafer Level Package，扇出型晶圆级封装)或FO-PLP(Fan Out Panel Level Package，扇出型面板级封装)的板状部件的载体。上模310包括上侧密封固定部件311。上侧密封固定部件311在成型模300合模时与中间板323接触。
[2.液态树脂的固化对策]
在如上所述的树脂成型装置10中，假设在脱模膜400被吸附于下模320的状态下，通过液态树脂供给机构900将具有热固性的液态树脂喷出于脱模膜400上。在这种情况下，由于下模320的热量容易向供给到脱模膜400上的液态树脂传递，因此液态树脂有可能在适当的时刻之前发生固化。
特别是，在由液态树脂供给机构900喷出的液态树脂为高粘度的情况下，或者在脱模膜400上欲喷出液态树脂的面积较大的情况下(例如边长为300mm以上的四边形、或者直径为300mm以上的圆形)，完成液态树脂的供给需要较长时间。在这种情况下，更容易出现液态树脂在适当的时刻之前发生硬化的情况。
例如，作为解决这样的问题的手段，可以考虑在树脂成型装置10以外的其他场所将液态树脂供给于脱模膜400上，随后将供给了液态树脂的脱模膜400配置于下模320上的方法。然而，根据这种方法，例如在将脱模膜400配置于下模320上时，会在脱模膜400上产生褶皱。特别是当脱模膜400的尺寸变大时，难以在不产生褶皱地将脱模膜400配置于下模320上。
后面将详细描述，在本实施方式的树脂成型装置10中，控制部700控制液态树脂供给机构900，以在脱模膜400与下模320脱离的状态下将液态树脂供给于脱模膜400上。
在树脂成型装置10中，由于在脱模膜400与下模320物理性地脱离的状态下将液态树脂供给于脱模膜400上，因此下模320的热量难以传递到脱模膜400上的液态树脂。因此，根据树脂成型装置10，能够抑制液态树脂在适当的时刻之前发生硬化。
[3.树脂成型品的制造顺序]
图4是示出利用树脂成型装置10制造树脂成型品的制造顺序的流程图。在膜供给机构500上设置有脱模膜400、成型模300开模的状态下，由控制部700执行图4所示的处理。
参照图4，控制部700控制移动机构600，使得送出辊530及卷取辊540上升至预定位置(例如，脱模膜400与中间板323的下面接触的位置)(步骤S100)。即，控制部700控制移动机构600，使得脱模膜400与下模320物理性地脱离。
当送出辊530及卷取辊540的移动完成时，控制部700控制膜供给机构500以提高施加于脱模膜400的张力(步骤S110)。更具体而言，控制部700通过使送出机构510中的送出辊的旋转固定并且控制卷取机构520中的卷取辊的转矩，提高施加于脱模膜400的张力。或者，控制部700使卷取机构520中的卷取辊的旋转固定并控制送出机构510中的送出辊的转矩。由此，能够抑制在将液态树脂供给于脱模膜400上时脱模膜400向下方下垂。
控制部700控制液态树脂供给机构900，以在脱模膜400与下模320物理地脱离的状态下将液态树脂供给于脱模膜400上(步骤S120)。
图5是示出液态树脂供给机构900将液态树脂供给于脱模膜400上的情况的图。如图5所示，液态树脂供给机构900在脱模膜400与底面部件321以及侧面部件322均物理性脱离的状态下，将液态树脂910供给于脱模膜400的面内的预定范围内。
当脱模膜400上的液态树脂的供给完成时，控制部700控制液态树脂供给机构900从上模310与下模320之间退避(步骤S130)。当液态树脂供给机构900的退避完成时，控制部700控制移动机构600以使送出辊530和卷取辊540下降到预定位置(步骤S140)。
若送出辊530以及卷取辊540的下降完成，则控制部700控制合模机构200，以使侧面部件322与脱模膜400接触，随后使下模320上升到下侧密封固定部件329通过脱模膜400与中间板323接触的位置(步骤S150)。当下模320的上升完成时，控制部700控制真空泵330等(吸附机构)，以使供给有液态树脂的脱模膜400吸附于下模320上(步骤S160)。
之后，控制部700在脱模膜400上的液态树脂的粘度降低之后控制合模机构200，以使底面部件321从侧面部件322经由脱模膜400与基板800接触的状态上升的方式使下模320上升而进行成型模300的合模(步骤S170)。由此，完成了树脂成型品。然后，在树脂成型装置10中，通过反复进行成型模300的开模、脱模膜400的输送、以及步骤S100～步骤S170的处理，生产树脂成型品。
[4.效果等]
如上所述，在本实施方式的树脂成型装置10中，控制部700控制液态树脂供给机构900，使得在脱模膜400与下模320脱离的状态下将液态树脂供给于脱模膜400上。在树脂成型装置10中，由于在脱模膜400与下模320物理性脱离的状态下将液态树脂供给于脱模膜400上，因此下模320的热量难以传递到脱模膜400上的液态树脂。因此，根据树脂成型装置10，能够抑制液态树脂在适当的时刻之前发生硬化。
另外，在本实施方式的树脂成型装置10中，控制部700在液态树脂供给机构900将液态树脂供给于脱模膜400上之前，控制膜供给机构500以提高施加于脱模膜400的张力。由此，能够抑制在脱模膜400上被供给有液态树脂时脱模膜400向下方下垂。
另外，在本实施方式的树脂成型装置10中，在脱模膜400上被供给有液态树脂之后，控制部700控制真空泵330等(吸附机构)，以使脱模膜400吸附于下模320上。由此，能够抑制脱模膜400在下模320上的位置偏移，能够更高精度地制造树脂成型品。
[5.其它实施方式]
上述实施方式的思想并不限定于以上说明的实施方式。以下，对能够应用上述实施方式的思想的其他实施方式的一例进行说明。
在上述实施方式中，虽然上模310和下模320之间设置有中间板323，但是中间板323不是必须的。
另外，在上述实施方式中，树脂成型装置10是单体装置。然而，树脂成型设备10不必非得是单体装置，也可以是具有多个功能的装置中的部分单元。
以上，例示性地说明了本发明的实施方式。即，为了示例性说明，公开了详细说明和附图。因此，在详细说明和附图中描述的组件可以包括对于解决问题不是必需的组件。因此，即使在详细说明和附图中描述了那些非必需的组件，也不应直接认定那些非必需的组件是必需的。
另外，上述实施方式在任何方面都只是本发明的示例。上述实施方式可以在本发明的范围内进行各种改良或变更。即，在本发明的实施中，可以根据实施方式适当地采用具体构成。

Claims (8)

1.一种树脂成型装置，其特征在于，包括：
成型模，包括上模和与所述上模对置的下模；
合模机构，对所述成型模进行合模；
膜供给机构，在所述上模和所述下模之间供给脱模膜；
液态树脂供给机构，将具有热固性的液态树脂供给于所述脱模膜上；以及
控制部，控制所述液态树脂供给机构，以在所述脱模膜与所述下模脱离的状态下将所述液态树脂供给于所述脱模膜上。
2.根据权利要求1所述的树脂成型装置，其中，所述树脂成型装置还包括：移动机构，使所述脱模膜移动到与所述下模脱离的位置。
3.根据权利要求2所述的树脂成型装置，其中，所述膜供给机构包括：
送出机构，送出所述脱模膜；
卷取机构，卷取所述脱模膜；
送出辊，在所述脱模膜的输送路径上配置于比所述下模更靠近所述送出机构一侧；以及
卷取辊，在所述脱模膜的输送路径上配置于比所述下模更靠近所述卷取机构一侧，
所述移动机构使所述送出辊及所述卷取辊上升。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的树脂成型装置，其中，所述控制部在所述液态树脂供给机构将所述液态树脂供给于所述脱模膜上之前，控制所述膜供给机构以提高施加于所述脱模膜的张力。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的树脂成型装置，其中，所述树脂成型装置还包括：
吸附机构，使所述脱模膜吸附于所述下模上，
所述控制部在所述脱模膜上供给有所述液态树脂之后，控制所述吸附机构以使所述脱模膜吸附于所述下模上。
6.一种树脂成型品的制造方法，其特征在于，包括：
在上模与下模之间供给脱模膜的步骤；
在所述脱模膜与所述下模脱离状态下，将具有热固性的液态树脂供给于所述脱模膜上的步骤；
使供给有所述液态树脂的所述脱模膜吸附于所述下模上的步骤；以及
使所述上模和吸附有所述脱模膜的状态下的所述下模进行合模的步骤。
7.根据权利要求6所述的树脂成型品的制造方法，其中，所述树脂成型品的制造方法还包括：
在将所述液态树脂供给于所述脱模膜上之前，使所述脱模膜移动到与所述下模脱离的位置的步骤。
8.根据权利要求6或7所述的树脂成型品的制造方法，其中，所述树脂成型品的制造方法还包括：
在将所述液态树脂供给于所述脱模膜上之前，提高施加于所述脱模膜的张力的步骤。
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