CN110099777A - 框体治具、树脂供给治具和其计量方法、模制树脂的计量装置和方法、树脂供给装置、树脂供给计量装置和方法、以及树脂模制装置和方法 - Google Patents

Abstract

本发明的课题在于，提供利用单片膜在不产生褶皱的情况下覆盖框体的一侧开口部的框体治具、以及使用该框体治具能够在不进行空气管等的连接的情况下准确地计量出重量且形成有树脂容纳部的树脂供给用治具和其计量方法。作为解决手段，该框体治具包括：框体(13a)，其具有开口部，该开口部的与在模制模具的夹持面形成的模腔凹部相对应的内表面为规定形状；以及膜把持部(13c)，其对以覆盖所述框体(13a)的一侧开口部的方式组装的单片膜(F)的外周缘部进行把持，在所述框体(13a)的至少相对边设有一对该膜把持部(13c)。

Description

框体治具、树脂供给治具和其计量方法、模制树脂的计量装置 和方法、树脂供给装置、树脂供给计量装置和方法、以及树脂 模制装置和方法

技术领域

本发明涉及为了将单片膜与模制树脂一起向模制模具输送而使用的、框体治具、树脂供给治具和其计量方法、模制树脂的计量装置和方法、用于向树脂供给治具供给模制树脂的树脂供给装置、使用所述治具和装置的树脂供给计量装置和方法、以及包括以上治具和装置的树脂模制装置和方法。

另外，单片膜除了指预先形成为规定尺寸的单独的膜之外，还包含从纵长状或者大尺寸的膜裁切为规定尺寸而形成的膜。

背景技术

对于现在的半导体制造工厂中使用的树脂模制装置，作为工件，在WLP(WaferLevel Package：晶圆级封装)、PLP(Panel Level Package：面板级封装)的成形过程中进行如下操作：使用例如尺寸为Φ8英寸或Φ12英寸的半导体晶圆、载体进行树脂模制，或者使用300mm～600mm尺寸(各边为300mm～600mm的尺寸)的工件(矩形面板、基板、载体等)进行树脂模制。

此时，在为上模设有模腔凹部的、基于上模压缩成形的模制模具的情况下，通常将粘度较高的树脂载置在工件上的中心位置且一并向下模供给并进行成形。在该情况下，为了将供给到工件上的树脂填充到模腔内，需要使模制树脂大幅度流动，因此，不适合于基于电线连接的电子器件的模制成形。对此，还进行如下操作：在下模设置模腔凹部，利用膜来覆盖包括该下模模腔凹部的下模夹持面并以均等的厚度供给模制树脂，通过使已保持于上模的工件浸渍于熔融了的模制树脂中的下模压缩成形来进行树脂模制。

在如此向基于下模压缩成形的下模模腔凹部供给膜和模制树脂的情况下，需要计量1次树脂模制所需的树脂量并进行供给。特别是，在为粉体树脂、颗粒状树脂的情况下，由于在向模具投入的同时熔融开始，因此，为了减少投入开始时与投入结束时的时间差，需要将模制树脂一并地投入。此时，在为形成有上模模腔的上模压缩成形的情况下，能够将树脂载置于基板并准确地计量以及一并地向模具输送，但在为形成有下模模腔的下模压缩成形的情况下，出于将树脂一并地投入的原因，想到将树脂载置于膜后向模具投入，要求在将树脂载置在膜上的状态下进行计量和输送。若为粘度较高的树脂，也能够将该树脂直接载置于膜并进行计量，但在为颗粒状树脂、粉体树脂的情况下，为了不使树脂溢出，需要将膜固定于框体的一个面而形成树脂容纳部并进行计量和输送。

因此，例如，提出如下一种技术：利用离型膜来封闭框体状的树脂容纳用板的下方开口部，且相对于通过离型膜吸附固定机构在板周缘部吸附固定了的板，在投入侧分发部件设置送料器侧计量部件(负荷传感器)，测量自料斗供给颗粒树脂前后的重量并对树脂量进行计量(参照专利文献1：说明书段落(0028))。另外，还提出如下一种技术：在树脂材料的接受侧分发部件设置板侧计量部件(负荷传感器)，测量自料斗投入颗粒树脂前后的重量并对树脂量进行计量(参照专利文献1：说明书段落(0041))。或者，还提出了并用所述技术的方案。

另外，还提出如下一种装置：在向下模模腔供给颗粒树脂的树脂供给装置的正下方设置电子天平，一边对相对于初始值而言树脂供给量是否已达到目标值进行计量，一边进行树脂供给(参照专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010－36542号公报

专利文献2：日本特开2005－335117号公报

发明内容

发明要解决的问题

如专利文献1那样，在利用离型膜封闭树脂容纳用板的下方开口部且通过离型膜吸附固定机构在板周缘部进行吸附固定的情况下，处于膜吸引用的管等始终连接于该板的状态。因此，在利用设于投入侧分发部件或接受侧分发部件的送料器侧计量部件来测量颗粒树脂投入前后的板的重量之际，无法计量出板本身(框体和膜)的准确的重量。因而，无法准确地计量出向树脂容纳用板供给的树脂量。

另外，在如专利文献2那样设置对树脂供给装置本身的重量进行称重的电子天平的情况下，还存在如下课题：不仅装置结构大型化且重量化，而且由于设有用于投入颗粒树脂的电磁送料器，因此无法以振动收敛的程度进行计量，不仅在计量上花费时间，而且容易产生误差。

当如此无法准确地计量出模制树脂时，不仅成形品质有可能降低，而且当在树脂量的计量上花费时间时，会花费1次树脂模制所需的时间，生产率也降低。

本发明的目的在于，为了解决上述以往技术的课题而提供利用单片膜在不产生褶皱的情况下覆盖框体的一侧开口部的框体治具、以及使用该框体治具能够在不进行空气管等的连接的情况下准确地计量出重量且形成有树脂容纳部的树脂供给用治具和其计量方法。

另外，本发明的目的在于提供对模制树脂进行准确地计量的计量装置和方法、不会过多或不足地供给而是向树脂供给治具的树脂容纳部均匀地供给模制树脂的树脂供给装置、包括所述装置的树脂计量供给装置和方法。

另外，本发明的目的在于，提供使用上述树脂供给计量装置和树脂计量方法来提高成形品质和生产率的树脂模制装置和方法。

用于解决问题的方案

为了实现上述目的，本发明包括如下结构。

一种框体治具，其特征在于，该框体治具包括：框体，其具有开口部，该开口部的与在模制模具的夹持面形成的模腔凹部相对应的内表面为规定形状；膜把持部，其对以覆盖所述框体的一侧开口部的方式组装的单片膜的外周缘部进行把持，在所述框体的至少相对边设有一对该膜把持部；以及张力维持机构，在所述膜把持部把持着所述单片膜的外周缘部的状态下，该张力维持机构能够将所述单片膜维持规定张力。

由此，利用在框体的至少相对边设有一对的膜把持部来把持以覆盖框体的一侧开口部的方式组装的单片膜，在膜把持部把持着单片膜的外周缘部的状态下，利用张力维持机构将单片膜维持规定张力，因此能够在单片膜不产生褶皱的情况下进行组装。

优选的是，所述框体在表面形成有模制树脂不易附着的覆膜，或者所述框体使用模制树脂不易附着的材质。列举模制树脂不易附着的覆膜的例子，能够使用硬铬镀覆、氟系涂敷、钇系陶瓷。另外，列举模制树脂不易附着的材质的例子，例如，也可以是陶瓷、耐热性树脂等。由此，通过使框体表面的表面性状为平滑面，从而使模制树脂不易附着在框体开口部内。

一种树脂供给治具，其特征在于，该树脂供给治具包括：上述框体治具；单片膜，其覆盖所述框体治具的框体的一侧开口部；以及树脂容纳部，在膜把持部把持着所述单片膜的外周缘部的状态下，以对所述单片膜施加规定张力的状态保持所述单片膜，从而所述框体的一侧开口部被封闭而形成该树脂容纳部，该树脂容纳部用于容纳模制树脂。

由此，能够利用简单的结构在单片膜不产生褶皱的情况下形成将框体的一侧开口部封闭而成的树脂容纳部。另外，由于未在框体连接有膜吸附用的空气吸引管等，因此能够准确地计量出供给模制树脂前后的框体和膜的单体的重量。

一种树脂供给装置，其特征在于，相对于上述树脂供给治具的树脂容纳部，一边自树脂投下部投下模制树脂一边至少沿X－Y方向进行扫掠，从而向单片膜上供给规定量的模制树脂。

采用上述结构，通过使树脂投下部相对于树脂容纳部至少沿X－Y方向进行扫掠并向树脂容纳部均匀地供给树脂模制所需的模制树脂，由此，对于具有比较大的面积的树脂容纳部，能够在不通过另外的方式使模制树脂特别是颗粒状树脂、粉状树脂平坦化的情况下均匀地供给模制树脂。

期望的是，在所述树脂投下部设有能够对投下口进行开闭的开闭器。由此，在为通过电磁送料器等定量输送的颗粒状树脂、粉状树脂的情况下，能够防止被投下需要量以上的树脂或需要量以上的树脂向周围扩散。

期望的是，在所述树脂投下部设有离子发生器，该离子发生器用于去除在框体开口部产生的静电。

由此，即使树脂下落到框体开口部附近，树脂也不会因静电而附着。

优选的是，在所述树脂投下部设有膜检测传感器，该膜检测传感器对所述树脂供给治具检测单片膜的张设状态。

由此，防止树脂供给治具上的单片膜的放置错误，能够事先防止错误地投下模制树脂。

也可以是，在所述树脂投下部设有框体敲打部，该框体敲打部敲击所述框体而使附着于包含倾斜部在内的开口部内表面的模制树脂向树脂容纳部下落。

由此，即使模制树脂暂时附着于框体开口部，也能够通过利用框体敲打部来敲击框体，来使模制树脂向树脂容纳部下落并进行树脂模制。

一种模制树脂的计量装置，其使用所述树脂供给治具对模制树脂的重量进行计量，其特征在于，根据向所述树脂容纳部供给所述模制树脂之前的所述树脂供给治具的重量和向所述树脂容纳部供给所述模制树脂之后的所述树脂供给治具的重量，来计量出树脂模制所需的树脂量。

由此，由于未在框体连接有膜吸附用的空气吸引管等，因此能够准确地计量出供给模制树脂前后的框体和膜的单体的重量。因此，能够准确地计量出1次树脂模制所需的树脂量。

另外，一种树脂供给计量装置，其特征在于，该树脂供给计量装置包括所述任一项的树脂供给治具、所述任一项的树脂供给装置以及所述模制树脂的计量装置。

由此，利用树脂供给装置向形成于树脂供给治具的树脂容纳部均匀地供给模制树脂，准确地计量供给模制树脂前后的树脂供给治具的重量，由此，能够准确地计量出树脂供给量。

一种树脂模制装置，其特征在于，该树脂模制装置包括所述树脂供给计量装置，将在树脂容纳部被供给有1次树脂模制所需的模制树脂之后的树脂供给治具向模制模具输送，并进行模制成形。

由此，准确且迅速地计量出1次树脂模制所需的模制树脂并向形成于树脂供给治具的树脂容纳部供给模制树脂，将单片膜和模制树脂自树脂供给治具向模制模具交接并进行模制成形，由此能够提升成形品质、生产率。

一种模制树脂的计量方法，其特征在于，该模制树脂的计量方法包括以下工序：准备工序，准备具有树脂容纳部的树脂供给治具，该树脂容纳部是具有开口部的框体的一侧开口部被单片膜覆盖而成的，该开口部的与在模制模具的夹持面形成的模腔凹部相对应的内表面为规定形状；以及计量工序，通过使供给模制树脂前后的所述树脂供给治具直接支承于计量装置来对所述模制树脂的重量进行计量。

由此，通过利用计量装置来直接支承供给模制树脂前后的树脂供给治具，能够准确地计量出模制树脂的供给量。

也可以是，该模制树脂的计量方法还包含如下工序，即，在所述树脂容纳部利用树脂供给装置自所述框体的另一侧开口部向所述单片膜上均匀地供给规定量的模制树脂，自所述树脂供给装置供给规定树脂量，该规定树脂量是通过计算向所述树脂容纳部供给所述模制树脂之前的所述树脂供给治具的重量与向所述树脂容纳部供给模制树脂之后的所述树脂供给治具的重量之差而计量出来的。

或者，也可以是，一边由所述计量装置计量对向所述树脂容纳部供给所述模制树脂之前的所述树脂供给治具的重量与向所述树脂容纳部供给模制树脂之后的所述树脂供给治具的重量之差进行计算而得到的树脂量，一边自所述树脂供给装置供给模制树脂。

由此，能够在相同位置连续地进行模制树脂的计量和供给，能够缩小装置面积且迅速地进行树脂供给动作。

一种树脂供给计量方法，在该方法中，一边向通过使覆盖具有开口部的框体的一侧开口部的单片膜保持于所述框体而形成树脂容纳部的树脂供给治具，自另一侧开口部供给规定量的模制树脂，一边进行计量，所述开口部的与模腔凹部相对应的内表面为规定形状，其特征在于，该树脂供给计量方法包括以下工序：形成工序，将所述框体以一侧开口部被覆盖的方式叠合于所述单片膜，并且，在所述单片膜的外周缘部的至少相对边对所述单片膜进行把持的状态下，以对所述单片膜施加规定张力的状态保持所述单片膜，从而形成具有所述树脂容纳部的所述树脂供给治具；计量工序，通过将所述树脂供给治具直接支承于计量装置，从而对所述树脂供给治具的重量进行计量；以及供给工序，在所述树脂容纳部，利用树脂供给装置自所述框体的另一侧开口部向所述单片膜上均匀地供给规定量的模制树脂，自所述树脂供给装置供给由所述计量装置根据向所述树脂容纳部供给所述模制树脂之前的所述树脂供给治具的重量和向所述树脂容纳部供给模制树脂之后的所述树脂供给治具的重量而计量出来的、树脂模制所需的树脂量。

采用上述树脂供给计量方法，能够在形成树脂容纳部的单片膜不产生褶皱的情况下向其供给模制树脂。另外，能够在树脂供给治具未连接空气吸引用的管的情况下计量出供给树脂前后的树脂供给治具的准确的重量，能够不会过多或不足地供给1次树脂模制所需的树脂量。

优选的是，在该树脂供给计量方法中使用载物部，在将所述单片膜吸附保持于该载物部的一个面的状态下将所述框体以一侧开口部被覆盖的方式叠合于所述单片膜，并且，在该单片膜的外周缘部被把持的状态下，以对该单片膜施加规定张力的状态将该单片膜保持于所述框体，从而在树脂供给治具形成树脂容纳部，在所述载物部设有通孔或者缺口，所述计量装置使计量销自所述载物部的另一个面贯穿所述通孔或经由缺口部来支承所述树脂供给治具，从而对所述树脂供给治具的重量进行计量。

由此，在使单片膜吸附保持于载物部的状态下将单片膜组装于框体而在树脂供给治具形成树脂容纳部，在此基础上，将计量装置配置于载物部的正下方并直接支承树脂供给治具，由此能够进行计量。

因此，无需设置面积，能够在相同位置迅速且准确地进行树脂供给治具的组装动作以及树脂供给治具和模制树脂的计量动作。

所述树脂供给装置使树脂投下部至少沿X－Y方向相对于所述树脂容纳部进行扫掠，向所述树脂容纳部均匀地供给树脂模制所需的模制树脂，因此，对于具有比较大的面积的树脂容纳部，能够在不通过另外的方式使模制树脂特别是颗粒状树脂、粉状树脂平坦化的情况下均匀地供给模制树脂。

优选的是，在被供给到树脂容纳部的树脂量达到规定量之前，所述树脂供给装置重复进行如下动作，即，暂时使供给动作停止，在利用所述计量装置进行计量之后，改变每单位时间的树脂投下量并进行供给。

由此，能够一边进行微调以无限接近成为目标的树脂供给量一边供给模制树脂。

另外，一种树脂模制方法，其特征在于，该树脂模制方法包含以下工序：利用树脂供给装载机将通过所述任一项的树脂供给计量方法向树脂容纳部供给有树脂模制所需的模制树脂之后的树脂供给治具向模制模具输送，并将单片膜和模制树脂向所述模制模具交接。

由此，准确且迅速地计量出1次树脂模制所需的模制树脂，并向形成于树脂供给治具的树脂容纳部不会过多或不足地供给模制树脂，将单片膜和模制树脂自树脂供给装载机向模制模具交接，由此能够提升成形品质和生产率。

发明的效果

若使用上述框体治具，则能够利用单片膜在不产生褶皱的情况下覆盖框体的一侧开口部。

另外，采用树脂供给用治具和其计量方法，能够在上述框体治具未连接空气管等的情况下在供给模制树脂之前准确地计量出框体和膜的单体的重量。

另外，在模制树脂的计量装置和方法中，能够对模制树脂准确地进行计量。

另外，在树脂供给装置中，能够向树脂供给治具的具有比较大的面积的树脂容纳部均匀地供给模制树脂(特别是颗粒树脂、粉状树脂、液状树脂)。

另外，在具有所述治具、装置的树脂计量供给装置和方法中，能够在计量位置不会过多或不足地供给模制树脂。

另外，能够提供使用上述树脂供给计量装置和树脂计量方法提升了成形品质和生产率的树脂模制装置和方法。

附图说明

图1是表示树脂模制装置的概略结构的平面布局图。

图2是表示单片膜的供给工序和树脂供给治具的组装结构的说明图。

图3是接着图2的树脂供给治具的树脂供给前的计量工序和模制树脂供给工序的说明图。

图4是表示接着图3的树脂供给治具的树脂供给后的计量工序和树脂供给治具的输送工序的说明图。

图5是树脂供给治具的俯视图。

图6是表示模制模具的结构的剖视图。

图7是表示针对图6的下模供给单片膜和模制树脂的供给工序的说明图。

图8是表示接着图7的单片膜和模制树脂的供给工序的说明图。

图9是接着图8的树脂模制工序的说明图。

图10是表示向树脂供给治具供给颗粒状树脂的分配器的一个例子的说明图。

图11是表示向树脂供给治具供给液状树脂的分配器的一个例子的说明图。

图12是表示设有多个分配器的情况的说明图。

图13是另一个例子的树脂供给治具的俯视图。

图14是表示图10的又一个例子的分配器的一个例子的说明图。

具体实施方式

下面，结合附图来详细叙述本发明的框体治具、树脂供给治具和其计量方法、计量装置、树脂供给装置、树脂供给计量装置和方法、以及树脂模制装置和方法的优选实施方式。下面，对使用例如各边为600mm左右的矩形形状的工件作为工件、使用为该工件大小以上的大小的单片膜作为膜而进行树脂模制的树脂模制装置进行说明。当然，作为工件，不仅可以为上述那样的尺寸较大的工件，也可以为300mm×100mm左右的较小的长条状的工件。对于工件，作为一个例子，以长条矩形形状进行说明，但未必限定于此，也可以是圆形的晶圆、载体。另外，对于树脂模制装置，作为一个例子，将下模作为可动模具、将上模作为固定模具来进行说明。另外，树脂模制装置包括开合模机构，但省略开合模机构的图示，以模制模具的结构为中心进行说明。

首先，参照图1说明树脂模制装置的概略结构。在该树脂模制装置中，控制部(未图示)控制后述的各部而进行各种动作。本实施例中的模制装置为如下结构：工件处理单元Uw、两台冲压单元Up和分配单元Ud(供给单元)相连结，对装置内的工件W自动地进行树脂模制。

工件处理单元Uw包括例如工件供给部1、成形品收纳部2、固化炉3以及机器人输送装置4。在工件供给部1收纳有作为工件W的例如各边为600mm左右的大小的工件(矩形面板、基板、载体等)。在成形品收纳部2收纳有在后述的冲压部5中进行了树脂模制后的成形品M。固化炉3通过将在后述的冲压部5处树脂模制成半固化状态后的成形品M分别收纳于被设置在炉内的多层的搁板并进行后固化而使树脂封装部加热固化。机器人输送装置4用于在以包围该机器人输送装置4的方式配置的各部之间进行工件W和成形品M的交接、输送。该机器人输送装置4例如自工件供给部1取出并供给工件W，将成形品M向固化炉3输送，且依次将成形品M自固化炉3向成形品收纳部2输送并收纳于成形品收纳部2。机器人输送装置4使用如下类型的机器人：例如垂直多关节型机器人、水平多关节型机器人或者由垂直多关节型和水平多关节型复合而成的多关节型机器人，并利用吸附、把持而将工件W、成形品M保持于机械手4a地进行输送。另外，在工件处理单元Uw中，也可以在机器人输送装置4的周围配置用于对成形品M进行冷却的冷却部、用于对成形品进行外观检查等的检查部、用于读取与各个工件W相关联的成形条件的数据读取部、用于使工件W或成形品M表背翻转的翻转部。例如，在工件W的待树脂模制成形的面(成形面)以朝上的方式供给至工件供给部1时，翻转部使成形面朝向下方。另外，在将树脂模制成形结束后的成形品M收纳于成形品收纳部2之前，翻转部使成形品M的成形面翻转以使成形面朝上。

在冲压单元Up中的冲压部5具有用于压缩成形的模制模具6(上模6A和下模6B)，利用用于使压板相对于设于四角的柱部5a升降的公知的开合模机构进行开模和合模。在本实施例中，冲压单元Up设于两处，但既可以设于1处，也可以设于3处以上。

在分配单元Ud中自膜供给部8供给过来的单片膜F上由分配器9(树脂供给装置)供给有模制树脂(例如颗粒树脂、粉末树脂、液状树脂等)的状态下，树脂供给治具13将该单片膜F供给至冲压部5的模制模具6内。在膜供给部8设有将纵长状的膜卷成卷状而成的膜卷8a。在自该膜卷8a向载物部17(参照图2A)引出了膜端的状态下，利用裁切器18将其切断(裁切)成任意的尺寸的矩形形状，作为单片膜F吸附保持于载物部17上。在载物部17的四边设有膜吸附用的膜吸附孔17a(参照图2A)。另外，在载物部17的多处设有供后述的计量装置21(例如电子天平)的计量销21a插入的通孔17b。计量装置21配置于载物部17的正下方(参照图3H)。另外，也可以替代设于载物部17的通孔17b而设置供计量销21a通过的缺口，并且，也可以自载物部17的外周侧对框体13a进行支承。通孔17b只要处于暂时地支承框体13a的位置即可，另外，计量销21a并非一定为销形状，也可以为块形状。将包括上述树脂供给治具13、分配器9以及计量装置21的结构定义为树脂供给计量装置。

通过对覆盖框体13a的一侧开口的单片膜F施加所需张力地支承单片膜F，从而在树脂供给治具13形成树脂容纳部22。在该树脂容纳部22，利用分配器9自框体13a的另一侧开口向单片膜F上供给1次树脂模制所需的模制树脂R(颗粒树脂)。另外，也可以是，替代颗粒树脂而使用粉末树脂、液状树脂或片树脂，或者它们的组合。

作为单片膜F，优选使用具有耐热性、容易在模制后自模具面和树脂面剥离且具有柔软性、伸展性的膜材料，例如以PTFE、ETFE、PET、FEP膜、含氟玻璃纤维布、聚丙烯膜、聚偏二氯乙烯等为主要成分的单层膜或多层膜。

工件装载机10用于自机器人输送装置4的机械手4a接收工件W并将该工件W运送到冲压部5的模制模具6(上模6A)。另外，工件装载机10自模制模具6接收成形品M并向机器人输送装置4的机械手4a交接该成形品M。工件装载机10在自模制模具6取出成形品M时，使用完成后的单片膜F以被吸附保持的状态也被取出，取出后的单片膜F被回收至膜回收部12。

树脂供给装载机11用于接收被施加所需张力地保持于树脂供给治具13的单片膜F和供给到该膜F上的模制树脂R(颗粒树脂)，并向模制模具6(下模6B)输送该单片膜F和模制树脂R。如后述那样，利用配置于载物部17(图1的树脂供给位置的下方：参照图3H)的下方的计量装置21对树脂供给治具13供给1次树脂模制所需的模制树脂R的前后的重量进行计量。工件装载机10和树脂供给装载机11设置为能沿着沿装置的长边方向敷设的多个导轨14往复移动。另外，装载处理器(日文：ローダハンド)(未图示)能自导轨14上的位置起以与导轨14正交的方式向各部(例如冲压部5)移动。此外，在树脂供给装载机11的装载处理器下部设有能够利用气缸等进行开闭的装载处理器爪11a(参照图2D)。

在此，参照图2和图5来说明树脂供给治具13的结构。

如图2D所示，树脂供给治具13包括框体13a，该框体13a的与围绕后述的下模模腔凹部6C的下模夹持面的平面形状相对应的内表面为规定形状(例如矩形形状)。另外，在树脂供给治具13中，成为支点部的、用于对单片膜F施加张力的支点框体13b沿着框体13a设为矩形形状(参照图5)。作为支点部，也可以不设置支点框体13b，而使用框体13a的外侧角部。

另外，在树脂供给治具13的外侧设有用于在整周上把持单片膜F的外周缘部的多个膜夹具13c(膜把持部)(将在框体13a上设有膜夹具13c(膜把持部)的构造定义为框体治具)。具体而言，如图2D所示，为了把持着矩形形状的单片膜F进行输送，在树脂供给治具13的相对的边上能够开闭地设有一对膜夹具13c。在本实施例中，在框体治具的相对的边的4个部位(XY方向)设置有膜把持部，但只要至少在相对的一对边设有膜把持部即可。作为一对膜夹具13c，使用开闭式的夹具，在树脂供给治具13的各边夹持并保持矩形形状的单片膜F的外周缘部。一对膜夹具13c的长边方向两端分别支承于一对旋转杆13d(旋转构件)。一对旋转杆13d能够以形成在比膜夹具13c靠内侧的旋转轴13e为中心进行旋转地设于框体13a。因此，一对膜夹具13c设于旋转杆13d的与旋转轴13e所处一侧相反的那一侧。在旋转杆13d上设有用于使膜夹具13c仅向相对于支点框体13b偏移的方向旋转的偏移机构。一对膜夹具13c处于始终分开的状态，如后述那样，在外框体13a1接近框体13a时，一对膜夹具13c利用凸轮机构夹持膜端部。

具体而言，如图5所示，在膜夹具13c的旋转轴13e上设有棘轮和棘爪相啮合的棘轮机构(单向离合器机构)13f(张力维持机构)。棘轮机构13f容许膜夹具13c以旋转轴13e为中心仅向远离支点框体13b的方向旋转(向图2F的箭头扩开的方向旋转并提起)规定的角度。由此，通过使膜夹具13c在向一个方向旋转后的规定旋转位置处停止并多级地进行锁定，能够在维持施加于单片膜F的张力的状态下输送单片膜F。另外，成为在要进行解除的情况下在达到一定角度以上的旋转角度时能够解除的构造。此外，也可以是，替代棘轮机构13f，采用伺服马达、扭矩马达那样的驱动机构对单片膜F施加任意的张力并维持该施加的张力的结构。在该情况下，与设置棘轮机构13f的结构相比，树脂供给治具13容易大型化，但在能够对施加于单片膜F的张力进行随时调整这点上较佳，由于难以成为树脂供给治具单体，因此难以准确地进行后述的计量。

另外，旋转杆13d支承于外框体13a1，该外框体13a1可动地设于框体13a的外侧。外框体13a1构成为，与在设于树脂供给装载机11的未图示的气缸等驱动源的作用下进行进退移动的卡定部相卡定，从而能够相对于框体13a的各边接近、远离地移动。另外，对于一对膜夹具13c，在外框体13a1朝向接近框体13a的方向移动之际，通过未图示的凸轮机构使膜夹具13c闭合。由此，如后述那样，能够利用一对膜夹具13c来分别夹持单片膜F的各外周缘部(参照图2E)。

如图2E所示，在利用一对膜夹具13c把持单片膜F的外周缘部(4边)的状态下，利用通过未图示的升降驱动机构(气缸驱动、螺线管驱动、马达驱动等)进行升降的上推销15来上推旋转杆13d。此时，旋转杆13d以旋转轴13e为中心进行旋转而使膜夹具13c向远离支点框体13b的方向偏移(向箭头扩开的方向旋转并提起)并多级地进行锁定。由此，使覆盖树脂供给治具13的框体开口部的单片膜F的端部彼此经由支点框体13b被拉开的量增加，且单片膜F在被施加有所需张力的状态下整体地被保持。另外，在要使旋转杆13d返回到原来的位置的情况下，当再次利用上推销15将旋转杆13d上推规定的角度时，棘轮机构13f(参照图5)的啮合被解除而能够使旋转杆13d返回到原来的位置。

如该图所示，通过使膜夹具13c以旋转轴13e为中心进行旋转而使膜夹具13c远离支点框体13b，能够使单片膜F的端部彼此经由支点框体13b被拉开的量增加而增强张力。尤其是，通过配置在四边的膜夹具13c的以旋转轴13e为中心的各个旋转，能够针对膜的每个边来多级地调整单片膜F的张力，因此可使能对单片膜F施加适当的张力的树脂供给治具13构成为小型且简单的结构。

如以上那样，利用框体状的树脂供给治具13和覆盖树脂供给治具13的一侧(下方侧)开口的单片膜F来形成树脂容纳部22。从另一侧(上方侧)开口自分配器9(参照图1)经由例如槽16(树脂投下部)向上述的被施加有所需张力的单片膜F上供给1次树脂模制所需的模制树脂R(颗粒树脂)，并将模制树脂R在单片膜F上不产生偏倚的情况下均匀(平坦)地供给到单片膜F上(参照图3J)。另外，在框体13a的上部开口形成有倾斜部13g，越靠近俯视矩形形状的开口端侧，该倾斜部13g的开口直径越大。通过向该倾斜部13g的内侧供给模制树脂R，能够将模制树脂R以任意的形状供给到单片膜F上。在该情况下，利用倾斜部13g来防止供给到单片膜F上的模制树脂R上升到框体13a之上。此外，也可以是，包括倾斜部13g在内使框体13a的内侧为圆形形状，从而向单片膜F上且是圆形区域内供给模制树脂R(参照图13)。由此，不管模腔的形状如何，是外形为圆形或是外形为矩形，仅靠改变局部构造，就能够利用相同的用于输送单片膜F的输送构造。另外，优选的是，框体13a使用金属材料(例如铝材)，并在该金属母材的表面形成树脂不易附着的覆膜。列举模制树脂不易附着的覆膜的例子，能够使用硬铬镀覆、氟系涂敷、钇系陶瓷。另外，除了金属母材以外，也可以对母材本身使用模制树脂不易附着的材质。列举材质的例子，例如，也可以是陶瓷、耐热性树脂等。由此，通过使框体13a表面的表面性状为滑面，从而使模制树脂R不易附着。

另外，在框体13a的多处(在图5中，各边有两处)设有供树脂供给装载机11的装载处理器爪11a插入并卡定的卡定孔13n。并且，如图4N所示，向形成了树脂容纳部22的单片膜F上供给模制树脂R，在计量完成后的状态下，利用树脂供给装载机11的装载处理器爪11a夹住树脂供给治具13(框体13a)并将其向模制模具6输送。

在此，在利用树脂供给装载机11的装载处理器爪11a将树脂供给治具13自载物部17抬起时(参照图4M)，若张力不充分，则有时单片膜F在模制树脂R的重量的作用下在中央等处下垂。因此，也可以在接近载物部17的位置设置膜下垂检测部20(参照图5)。膜下垂检测部20能够构成为包括发光部和光接收部以及用于对发光部与光接收部之间的遮蔽状态、遮蔽位置进行检测的光学传感器或激光传感器。作为一个例子，能够构成为在隔着树脂供给治具13的位置设有发光部和光接收部。另外，作为膜下垂检测部20，通过对载物部17上的空间中的遮蔽物进行检测，能够检测到在抬起了树脂供给治具13时单片膜F是否自适当的位置下垂(单片膜F的张设状态)。膜下垂检测部20既可以以在一个方向上对下垂进行检测的方式而仅设有1组，也可以如图5所示那样以在交叉的两个方向上进行检测的方式而设有两组。此外，作为膜下垂检测部20，只要能够对单片膜F的下垂进行检测，则可以为任意的结构。例如，膜下垂检测部20也可以为接触传感器(开关)，还能够成为可检测到在将树脂供给治具13抬起到规定的高度时下垂了的单片膜F与其接触的情况的结构。此外，为了不在树脂供给治具13设置电布线，膜下垂检测部20设于树脂供给治具13的外部。

另外，也可以使分别对图3所示的矩形形状的单片膜F的各边进行把持的膜夹具13c在各边上推量均等或不同。在该情况下，例如，使利用设于单片膜F的每个边的上推销15的上推量均等，由此能够施加与以旋转轴13e为中心进行旋转的旋转量相对应的张力。另外，在位于相对的边的一对膜夹具13c构成一组时，也可以使膜夹具13c各组的上推量不同。在该情况下，通过根据单片膜F的各边的长度、膜在自膜卷8a引出的方向等上的伸长难易度等而使膜夹具13c各组的上推量不同，也能够使施加于单片膜F的各边的张力均等。此外，在矩形形状的单片膜F为长方形的情况下，膜夹具13c至少在短边侧的相对边设有一对即可。

例如，若为图3所示那样的横向较长的膜，则只要使位于沿长边方向(该图的左右方向)拉伸的两个边(右边和左边)上的一对膜夹具13c的上推量与位于沿短边方向(该图的上下方向)拉伸的两个边(上边和下边)上的一对膜夹具13c的上推量不同即可。即，只要使长边方向上的膜夹具13c的上推量大于短边方向上的膜夹具13c的上推量即可。换言之，通过针对较长的边更多地进行拉伸，无论边的长度如何均能够成为被均匀地拉伸后的状态。由此，能够使在长边方向和短边方向这两个方向施加于单片膜F的张力均等。

另外，并不限于图3所示那样将单片膜F按照每个边整体夹住的情况，也可以将膜夹具13c以在一边上分割成多个的方式设置。在该情况下，根据在单片膜F上产生的褶皱的状态(位置)来改变边的位置上的膜夹具13c的旋转量，以使单片膜F扭曲的方式对单片膜F施加张力，由此能够以将褶皱展开了的状态保持单片膜F。例如，当单片膜F的张力局部变高时，会在该张力局部变高的位置以外的位置产生褶皱。因此，能够构成为：首先，均匀地上推膜夹具13c而对单片膜F施加张力，之后，在产生褶皱时，减弱张力局部变高的部分的张力或提高张力局部变高的部分以外的部分的张力。并且，膜夹具13c不仅可以构成为，为了以与边的延伸方向交叉的方式对单片膜F进行拉伸而以规定的长度在单片膜F的边把持单片膜F，也可以构成为，为了在单片膜F的角部向远离中心的方向将单片膜F拉长而对单片膜F的角部进行把持。

由此，通过改变分割了的膜夹具13c的自支点框体13b偏移的偏移量，根据在单片膜F上产生的褶皱的方向、褶皱的大小以使单片膜F扭曲的方式对单片膜F施加张力，能够消除膜固有的褶皱。

接下来，参照图6说明设于冲压部5的模制模具6的结构。本实施例例示了压缩成形用的模制模具6。通过在该模制模具6的任意的位置设置加热器(未图示)，由此使模制树脂R加热固化而对工件W进行树脂模制，从而制造成形品M。在上模6A的上模夹持面6a，为了吸附保持工件W而形成有空气吸附孔6b和与空气吸附孔6b相连通的空气吸引路径6c。另外，在多处与矩形形状的工件W的外缘部相对的位置上设有工件保持销6d。工件保持销6d用于对工件W的外周面进行推压和保持。工件保持销6d可以是圆柱状的销，也可以是方柱状的销，优选为隔着弹性体推压工件W的结构。另外，工件保持销6d也可以作为在吸附保持工件W时用于对工件W进行定心的引导件。采用这样的结构，与例如利用字母L形的爪状的钩来保持工件W的外周的结构相比，能够增大模腔的面积。

在下模6B中，形成下模模腔底部的下模模腔挡块6f与下模块6e一体地支承于该下模块6e。在下模模腔挡块6f的周围形成下模模腔侧部的下模可动夹紧件6g借助螺旋弹簧6h浮动支承在下模块6e上。由下模模腔挡块6f和下模可动夹紧件6g形成下模模腔凹部6C。对下模可动夹紧件6g与下模模腔挡块6f之间的间隙设置密封环6i(O形密封圈)而将该间隙密封。另外，在下模可动夹紧件6g分别设有空气吸引路径6g1、6g2，该空气吸引路径6g1、6g2用于将单片膜F吸附保持于包含下模模腔凹部6C的下模面。空气吸引路径6g1自下模模腔挡块6f与下模可动夹紧件6g之间的间隙对膜内周侧进行吸附，空气吸引路径6g2在下模可动夹紧件6g的夹持面对膜外周侧进行吸附。由此，将单片膜F沿着下模模腔凹部6C的凹形状吸附。另外，也可以在上模6A与下模6B之间设置上下一对夹持块(未图示)，该一对夹持块用于在开始模具夹持动作时使模具内形成减压空间。

另外，在下模6B的下模可动夹紧件6g的外侧设有推杆6j(张力追加机构)。该推杆6j是为了进一步加强作用于单片膜F的张力而设置的。例如，在利用树脂供给装载机11将单片膜F与树脂供给治具13一起运送到下模6B时，在来自下模6B的辐射热的作用下，单片膜F伸长而导致张力降低。在该情况下，当单片膜F的张力降低而产生松弛时，在单片膜F的自重或所供给的模制树脂R的重量的作用下，会使单片膜F的中央部下垂。在该情况下，在将单片膜F载置于下模6B时，单片膜F的松弛有时成为褶皱。另外，能够想到，当单片膜F的中央部的下垂变大时，模制树脂R会集中于中央，从而难以向模腔内均匀地供给模制树脂R。因此，将推杆6j设于下模6B的与旋转杆13d相对应的位置，利用例如升降驱动机构(例如气缸驱动、螺线管驱动、马达驱动等驱动机构)使推杆6j升降，从而能够使旋转杆13d旋转。该推杆6j是为了增加一对膜夹具13c的偏移量以进一步加强作用于单片膜F的张力而设置的。另外，该推杆6j也能够用于解除棘轮机构13f的啮合。

在利用树脂供给装载机11将单片膜F与树脂供给治具13一起载置于下模6B(下模可动夹紧件6g)之后，使配置于旋转杆13d的正下方的推杆6j工作而使旋转杆13d向增加膜夹具13c的偏移量的方向旋转。由此，能够防止单片膜F的张力在模具夹持前降低。当然，也可以是，在单片膜F接近下模6B时使旋转杆13d向增加膜夹具13c的偏移量的方向旋转。

接下来，参照图2来说明单片膜F的供给工序和树脂供给治具13的组装工序，参照图3来说明树脂供给治具的树脂供给前的计量工序和模制树脂供给计量工序，参照图4来说明树脂供给治具的树脂供给后的计量工序和树脂供给治具的输送工序。

在图2A中，在膜供给部8(参照图1)中膜端被自膜卷8a引出到载物部17的上方。膜端例如在被未图示的卡盘爪(日文：チャックハンド)把持的状态下被向载物部17上引出规定量。

接着，如图2B所示，使载物部17上升而紧贴于纵长状的膜F。然后，利用未图示的吸引装置自膜吸附孔17a进行吸引并在相当于载物部17的矩形四边的位置处吸附保持膜F而使其无褶皱，在该状态下，使裁切器18工作而将纵长状的膜F切断为比模腔凹部大的规定的矩形尺寸。在本实施例中，以大于下模可动夹紧件6g的外形的方式切断为矩形形状。将切断后的单片膜F表示在图2C中。单片膜F处于被吸附保持于载物部17的状态。

接着，在图2D中，使由树脂供给装载机11的装载处理器爪11a保持的框体13a叠合于切下来的单片膜F之上。装载处理器爪11a插入于卡定孔13n，在卡定了框体13a的状态下载置在已被吸附保持于载物部17的单片膜F上。此时，外框体13a1处于在外侧与框体13a分开的位置，支承于旋转杆13d的膜夹具13c在比单片膜F的外周缘部靠外侧的位置处于敞开状态。

在图2E中，利用搭载于树脂供给装载机11侧的气缸机构使外框体13a1朝向接近框体13a的方向移动，使保持于旋转杆13d的膜夹具13c在单片膜F的四边处成为单片膜F的外周缘部进入到一对膜夹具13c之间的状态。此时，通过利用未图示的凸轮机构使设于各边的一对膜夹具13c分别闭合，从而夹持单片膜F的各边外周缘部。另外，预先解除基于载物部17的膜吸附孔17a实现的吸附动作。另外，使未图示的驱动源工作而开始上推销15的上推动作。

接下来，在图2F中，当使上推销15抵接于旋转杆13d时，旋转杆13d以旋转轴13e为中心沿箭头方向旋转。旋转方向是使膜夹具13c自支点框体13b偏移(远离支点框体13b)的方向。由此，利用膜夹具13c自两侧拉伸单片膜F，因此，使单片膜F的端部经由支点框体13b被拉开的量增加，即，使单片膜F被卷起的角度增加，从而使支点框体13b之间的膜张力增加(使旋转杆13d向扩开的方向旋转并提起)。另外，此时，图5所示的棘轮机构13f工作而使旋转杆13d多级地保持在旋转后的位置，因此能够维持将框体13a的框体开口部覆盖的膜的张力得到加强后的状态。由此，形成有框体13a的一侧开口(下侧开口)被单片膜F覆盖而成的树脂容纳部22。另外，由于单片膜F吸附于载物部17的状态已被解除，因此能够针对单片膜F以任意的强度作用张力而使褶皱展开。

这样，通过设成使膜夹具13c相对于支点框体13b(支点部)沿上下方向移动来拉紧单片膜F那样的结构，与例如在沿横向拉伸膜夹具13c而施加张力的结构相比，能够对单片膜F有效地施加张力。另外，能够使对单片膜F施加张力的装置结构在俯视视角小型化。即，为了施加同等的张力，单片膜F越大尺寸化，拉伸量变得越大，在沿横向拉伸膜夹具13c的情况下，不得不在装置内确保与该拉伸量相对应的面积，从而无法避免装置的大型化。与此相对，采用所述本实施例中的结构，即使为了提高作用于单片膜F的张力而增大了拉伸量，也能够不使装置面积变大，从而能够有效地抑制装置的大型化。此外，由于能够使膜夹具13c以旋转轴13e为中心进行旋转，并利用上推销15将旋转杆13d的靠膜夹具13c的一侧上推而使旋转杆13d旋转，因此能够利用较小的力对单片膜F施加张力。

接下来，在图3G中，解除树脂供给装载机11的装载处理器爪11a对框体13的保持并使装载处理器爪11自卡定孔13n退避。装载处理器爪11a向树脂供给装载机11侧(参照图1)移动而自载物部17的正上方退避。另外，上推销15使旋转杆13d旋转而使膜夹具13c在自支点框体13b偏移了的位置(使张力作用于单片膜F的状态)处停止。

接下来，在图3H中，使上推销15以远离旋转杆13d的方式退避，且利用在载物部17的正下方配置的计量装置21开始进行计量动作。计量销21a相对于通孔17b对位并待机，计量装置21能够设为通过未图示的升降机构进行升降。

在本实施例中，由于在载物部17上在1处进行单片膜F的切断、框体治具对单片膜F的把持以及计量，因此，在计量时需要使计量销17b经过载物部17的通孔17b而上下移动，但也可以将计量装置21配置于别的位置并进行计量。此外，在别的位置进行计量的情况下，由于没有载物部17，因此还不需要计量销21a、通孔17b。

接下来，在图3I中，通过使计量装置21上升而使计量销21a贯穿载物部17的通孔17b而将树脂供给治具13(框体13a)自载物部17上推，从而对树脂供给治具13和单片膜F的树脂投入前的重量进行计量。此时，既可以在使计量出的初始重量归零复位之后对后述的树脂量进行计量，也可以自后述的树脂投入后的重量减去初始重量而计量出树脂量。

接下来，在图3J中，在计量装置21的计量销21a将树脂供给治具13(框体13a)自载物部17上推着的状态下，使后述的分配器9(参照图1)进行扫掠并将颗粒树脂R向框体13a的树脂容纳部22供给。分配器9通过后述的扫掠机构23(扫掠部)一边使槽16沿X－Y方向在单片膜F上扫掠一边利用电磁送料器连续地送出颗粒状树脂R并将颗粒状树脂R均匀(平坦)地供给至单片膜F上。所供给的颗粒树脂R为1次树脂模制动作所需的量。

接下来，在图4K中，示出利用分配器9将颗粒树脂R均匀(平坦)地供给至树脂容纳部22(单片膜F上)的状态。在颗粒树脂R的供给停止后，利用计量装置21对树脂投入后的重量进行计量。在树脂供给治具13未连接有电布线和空气吸引用的管等其他构件，能够以单体直接准确地计量出框体和单片膜F的重量。其结果，能够实时且准确地计量出1次树脂模制所需的颗粒树脂R的树脂量。

另外，作为利用分配器9对树脂容纳部22供给树脂的方法，也可以一边扫掠一边连续地供给规定树脂量，但为了更加不会过多或不足地供给而是准确进行供给，也可以是，在树脂量达到规定量之前，使供给动作暂时停止，在利用计量装置21进行计量之后，改变每单位时间的树脂投下量并进行供给，直至达到规定量为止。

例如，在利用分配器9供给100g的颗粒树脂R的情况下，首先，连续投下颗粒树脂R直至90g为止，使电磁送料器暂时停止并进行计量。在计量后，以通过改变电磁送料器的振幅、振动频率中的至少一者而减少每单位时间的树脂投下量的方式进行变更。并且，在进行了使每单位时间的树脂投下量减少的变更之后，投下少量颗粒树脂R，再次使投下停止并进行计量，通过重复该动作，能够供给作为目标值的100g。

另外，在为晶圆等圆形的工件的情况下，在沿着框体内的最外周呈圆形供给树脂之后，使树脂供给暂时停止，使分配器9自最外周稍向内侧移动。在该移动时对树脂进行计量，之后，一边沿着比最外周的圆形稍靠内侧的圆形移动一边供给树脂。也可以是，根据此时计量出来的结果来针对每个内周每次都变更树脂投下量。通过重复该操作，能够均匀地供给树脂直到中心为止。

在图4L中，在树脂量的计量结束后，计量装置21以远离载物部17的方式下降。此时，支承于计量销21a的树脂供给治具13(框体13a)再次被交给载物部17。

接着，在图4M中，树脂供给装载机11移动到树脂供给治具13上，装载处理器爪11a进入卡定孔13n并卡定于框体13a。

最后，在图4N中，装载处理器爪11a上升而自载物部17抬起已供给有颗粒树脂R的树脂供给治具13，并将树脂供给治具13向供树脂供给装载机11移动的导轨14侧拉入。此时，在例如所供给的模制树脂R的重量过大而无法靠施加于单片膜F的张力来适当地输送模制树脂R时，有时单片膜F在中央等处下垂。因此，在将树脂供给治具13抬起到任意的检测位置的状态下使动作停止，能够利用膜下垂检测部20(参照图5)对载物部17上的空间中的遮蔽状态进行检测。即，在单片膜F的张力不充分而导致单片膜F在中央等处下垂时，使树脂供给治具13下降并以再次对单片膜F施加张力的方式使上推销15工作。根据需要适当重复这样的动作，能够在对单片膜F施加适当的张力的基础上输送单片膜F。另外，也可以是，在膜下垂检测部20检测出单片膜F的下垂的情况下，作为异常状态产生警报且使装置停止。

此外，根据工件W上的芯片的搭载状态等的不同，能够想到将模制树脂R偏倚地供给到单片膜F上的情况。在该情况下，能够想到单片膜F上的非中央的部分(偏倚后的位置)下垂的情形。因此，如图5所示，交叉的两个方向上设置了两组膜下垂检测部20，此时，即使单片膜F上的非中央的部分下垂，也能够检测出单片膜F在该位置下垂了的状态。由此，能够适当地检测出单片膜F的下垂了的状态，从而能够在对单片膜F施加适当的张力之后输送单片膜F。

接着，树脂供给装载机11在保持着树脂供给治具13的状态下沿着图1的导轨14输送树脂供给治具13，将树脂供给治具13运送到规定的冲压部5的模制模具6(下模6B)。在此，将树脂供给治具13经由冲压部5中的柱部5a的间隙供给到模制模具6内。在该情况下，在树脂供给治具13中，没有沿横向拉伸膜夹具13c，使膜夹具13c相对于支点框体13b(支点部)沿上下方向移动而对单片膜F施加张力(使旋转杆13d向扩开的方向旋转并进行提起)，树脂供给治具13能够构成为小型，因此能够将树脂供给治具13经由柱部5a的有限的间隙运送到模制模具6。此外，即使为不使用柱部5a的、在冲压部5利用框板来对压板的侧面进行保持那样的冲压构造，也能够发挥相同的效果。

通过使用上述树脂供给治具13，能够一边保持规定张力一边进行输送，因此能够在单片膜F上不产生褶皱的情况下将单片膜F交接到模制模具6。另外，由于能够准确地计量出1次树脂模制所需的颗粒状树脂R并向树脂容纳部22供给颗粒状树脂R，因此能够提升成形品的成形品质。

接下来，参照图7和图8说明利用树脂供给治具13向模制模具6供给单片膜F和模制树脂R的动作。在图7和图8中仅图示下模6B并进行说明。

在图7A中，保持着树脂供给治具13的树脂供给装载机11进入到开模后的模制模具6的下模6B的上方并进行对位。进行对位而使单片膜F的颗粒树脂R的搭载面与下模模腔挡块6f的上表面重合且使框体13a与下模可动夹紧件6g重合。

接下来，如图7B所示，使树脂供给装载机11下降，直到下降至使框体13a抵接于下模可动夹紧件6g为止。此时，设于下模6B的推杆6j配置于与旋转杆13d相对应的位置。

当单片膜F接近下模6B时，在来自下模6B的辐射热的作用下，单片膜F伸长而有可能如所述那样产生膜的下垂这样的问题。因此，如图7C所示，使未图示的驱动源工作而将推杆6j上推，从而使旋转杆13d以旋转轴13e为中心旋转。旋转方向是使膜夹具13c自支点框体13b偏移(远离支点框体13b)的方向。由此，利用膜夹具13c将单片膜F自两侧进一步拉伸，因此，使膜F相对于支点框体13b卷取的角度进一步增加，换言之，通过使被膜夹具13c夹持的单片膜F的端部自支点框体13b(支点部)偏移(远离支点框体13b)，从而在支点框体13b的内侧将单片膜F拉伸，使支点框体13b之间的膜张力增加。另外，此时，图3所示的棘轮机构13f工作而使旋转杆13d保持在旋转后的位置，因此能够维持将框体13a的开口封闭的膜的张力得到加强后的状态。

在图8D中，自设于下模可动夹紧件6g的空气吸引路径6g1、6g2开始空气吸引动作，以单片膜F的内外周沿着下模模腔凹部6C的方式吸附保持单片膜F。由于单片膜F以膜张力得到加强后的状态被吸附保持，因此能够有效地防止产生褶皱。

接下来，在图8E中，在使未图示的驱动源工作而将推杆6j向上推至规定高度之后，使推杆6j向下方退避，从而解除棘轮机构13f的啮合(参照图3)，因此，旋转杆13d向靠近支点框体13b的方向(箭头方向)旋转。此时，膜夹具13c返回到与下模可动夹紧件6g的夹持面平行的水平姿势。在该状态下，通过使外框体13a1向外侧移动，从而将通过未图示的凸轮机构而夹住单片膜F的外周缘部的膜夹具13c的夹持解除。由此，能够将单片膜F与颗粒树脂R一起以被吸附保持于下模6B的状态交接。此外，在进行所述动作时，单片膜F处于还被下模可动夹紧件6g吸附地被吸附保持于下模模腔凹部6C的状态，因此，即使解除夹持，也不会损害单片膜F的吸附保持状态。

接着，如图8F所示，树脂供给装载机11在夹着树脂供给治具13(框体13a)的状态下向上方移动并自冲压部5退避。通过以上方式，完成了向下模6B供给单片膜F和颗粒树脂R的供给工序。

采用以上向模制模具6供给单片膜F的供给动作，能够将单片膜F在不产生褶皱的情况下供给到模制模具6。另外，在将单片膜F运送到模制模具6时在辐射热的作用下，单片膜F有可能伸长，但通过利用推杆6j(张力追加机构)来再次加强张力，也能够防止在将单片膜F向模制模具6放置时产生褶皱。

接下来，参照图9说明接着图7和图8的、树脂模制动作的一个例子。在图9A中，在下模6B上，如前文所述，通过树脂供给装载机11运送了单片膜F和颗粒树脂R。

在图9A中，在上模6A上，通过工件装载机10(参照图1)运送了例如各边为600mm的大尺寸的工件W(工件、矩形基板等)，工件W被设于上模夹持面6a的空气吸附孔6b和空气吸引路径6c吸附保持。此时，通过利用在多处与矩形形状的工件W的外周面相对的位置上设置的工件保持销6d来对工件W的外周面进行推压保持，从而将工件W定位并交接到上模6A。此外，在为在工件边缘内具有定位销的工件的情况下，也可以利用该定位销来定位。另外，通过利用工件保持销6d对工件W的外周面均等地进行推压，从而利用工件保持销6d将矩形形状的工件W定心。此外，既可以同时进行单片膜F和颗粒树脂R的运送以及工件W的运送，也可以在运送工件W之后运送单片膜F和颗粒树脂R。

接着，如图9B所示，使模制模具6合模。例如，使下模6B上升而在下模6B与上模6A之间夹持工件W。另外，优选的是，在上模6A和下模6B夹持工件W之前，将上模6A与下模6B之间的模具空间封闭而形成减压空间，在减压气氛下进行模制成形。

接着，通过将模制模具6进一步合模，从而将螺旋弹簧6h压缩，下模可动夹紧件6g移动而接近下模块6e。由此，使下模模腔凹部6C的模腔的高度(深度)变低(变浅)，而使工件W浸渍于在下模模腔凹部6C内熔融了的颗粒树脂R并施加树脂压力，从而进行加热加压。图9C示出了如下状态：完成模制模具6的合模动作从而使工件W浸渍于在下模模腔凹部6C内熔融了的颗粒树脂R并进行加热加压，使颗粒树脂R固化了(压缩成形)的状态。

在模制模具6的加热固化结束后，将模制模具6开模。在此，在维持将成形品M吸附保持于上模6A的上模夹持面6a和将单片膜F吸附保持于包括下模模腔凹部6C的下模夹持面的状态下进行开模。由此，如图9D所示，在开模后的状态下，成形品M成为被吸附保持于上模6A的上模夹持面6a的状态，单片膜F成为被吸附保持于包含下模模腔凹部6C的下模夹持面的状态。这样，通过设成将成形品M和使用后的单片膜F保持于彼此独立的模具的状态，能够在将所述成形品M和单片膜F自冲压部5取出并向各自的收纳目的地、容纳目的地输送时简化工序。

接着，在图1中，解除上模6A对成形品M的吸附并将该成形品M交接到工件装载机10(上表面侧)。另外，将使用过的单片膜F自下模6B交接到工件装载机10(下表面侧)。此时，为了将成形品M自上模夹持面6a交接到工件装载机10，优选自空气吸附孔6b喷出压缩空气，并且，为了将单片膜F自下模面交接到工件装载机10，优选自空气吸引路径6g1、6g2喷出压缩空气。将成形品M自工件装载机10交接到机器人输送装置4的机械手4a。将使用过的单片膜F自工件装载机10向膜回收部12排出而将其回收。机械手4a保持着成形品M将其运送到规定的固化炉3。在固化炉3中进行成形品M的后固化。接着，机械手4a自固化炉3取出成形品M，由此完成针对工件W进行的所有工序而完成成形品M的制造工序。接着，将成形品M运送到成形品收纳部2而将成形品M收纳起来。

这样，采用本实施例，通过使用所述的用于输送单片膜F的树脂供给治具13，能够减少膜使用量而谋求降低运行成本并能够提升大尺寸的成形品的成形品质且能够抑制设置面积。

接下来，参照图10～图12来说明分配器9的结构例。

首先，参照图10说明用于供给颗粒状树脂R的分配器9的结构。颗粒状树脂R贮存于在分配单元Ud固定的第1贮存部9a。自该第1贮存部9a向位于比该第1贮存部9a靠下方的位置的第2贮存部9b供给规定量的颗粒状树脂R并暂时地贮存颗粒状树脂R。对于自第1贮存部9a向第2贮存部9b供给颗粒状树脂R的操作，例如，打开开闭器，通过电磁送料器投下颗粒状树脂R。在第2贮存部9b连接有槽16，通过未图示的电磁送料器定量输送颗粒状树脂R并向树脂容纳部22投下颗粒状树脂R。另外，第2贮存部9b和槽16通过扫掠机构23相对于树脂容纳部22沿X－Y－Z方向进行扫掠，向树脂容纳部22均匀地供给1次树脂模制所需的模制树脂。在该情况下，也可以是，槽16侧至少沿X－Y方向运动，利用载物部17的升降使树脂容纳部22侧沿Z方向移动。在扫掠机构23中，Y轴驱动引导件23b以能够沿X轴方向移动的方式连结于X轴驱动引导件23a，Z轴驱动引导件23c以能够沿Y轴方向移动的方式连结于Y轴驱动引导件23b，扫掠轴23d以能够沿Z轴方向移动的方式连结于Z轴驱动引导件23c。X轴驱动引导件23a、Y轴驱动引导件23b、Z轴驱动引导件23c分别包括驱动源(马达、气缸等)和驱动传递机构(滚珠丝杠和螺母、导轨和线性引导件等)，并能够沿各轴方向往复运动。

第2贮存部9b和槽16一体地支承于扫掠轴23d。由此，通过将第2贮存部9b和槽16相对于形成于树脂供给治具13的树脂容纳部22沿X－Y－Z方向进行扫掠并均匀(平坦)地供给1次树脂模制所需的颗粒状树脂R，能够将颗粒状树脂以均匀的厚度相对于比较大的面积的树脂容纳部供给。对于颗粒状树脂的供给方法，能够利用如下等各种方法进行供给：连续地呈线状供给或呈旋涡状供给或者以描绘出同心圆的方式一边改变径向位置一边供给。

另外，期望在槽16的投下口设有能够开闭的开闭器24。由于颗粒状树脂通过电磁送料器进行定量输送，因此能够防止在欲使投下立即停止时被投下需要量以上的树脂、或防止在沿X－Y方向移动时树脂不必要地向周围扩散。开闭器24通过支承于扫掠轴23d的开闭气缸24a进行开闭。另外，虽然在槽16上搭载有1次树脂模制所需的模制树脂，但由于能够通过控制开闭器24、改变槽16的振幅、振动频率来使树脂投下停止，因此，也可以搭载多次的模制所需的树脂。另外，若开闭器24为朝向投下口的下方去宽度逐渐地变窄的形态，则能够在未将模制树脂切断或夹住的情况下以利用投下口控制模制树脂的方式使模制树脂的投下停止，故此更为优选。

另外，优选的是，在槽16的投下口的下方设有预喷树脂回收箱25。在最初自第2贮存部9b送出颗粒状树脂R时，供给量容易产生偏差。因此，使电磁送料器工作至树脂供给量达到稳定后不久的颗粒状树脂R向预喷树脂回收箱25下落并回收。

另外，在槽16的前方，与扫掠轴23d一体地设有用于去除在框体13a的开口部产生的静电的离子发生器26。由此，在颗粒状树脂R下落并附着于框体13a的倾斜部13g的情况下，也不会因静电而附着，不会导致如下的情况，即，即使框体13整体达到了规定重量，颗粒状树脂R仍保持附着于框体13的状态而未下落至下模，能够使颗粒状树脂R可靠地下落至下模。

另外，也可以是，在槽16的前方设有框体敲打部27，该框体敲打部27敲击框体13a而使附着于框体13a的开口部的颗粒状树脂R下落至树脂容纳部22。框体敲打部27例如利用与扫掠轴23d一体设置的敲打气缸27a进行升降。由此，即使颗粒状树脂R暂时附着于框体13a的包含倾斜部13g的开口部内表面，通过利用框体敲打部27敲击框体13a而对例如附着于倾斜部13g的颗粒状树脂R施加振动，也能够使颗粒状树脂R下落至树脂容纳部22并进行树脂模制。

另外，在槽16的前方设有膜检测传感器28(例如压力传感器、接触传感器、用于限定高度的激光传感器等)。膜检测传感器28被与扫掠轴23d一体设置的升降气缸28a支承为能够升降。该膜检测传感器28对单片膜F是否以适当的张力张设于树脂供给治具13即张设状态进行检测。在将单片膜F张设于树脂供给治具13之后且在利用分配器9投入颗粒树脂R之前，使扫掠轴23d在树脂容纳部22上沿X－Y方向进行扫掠，并利用膜检测传感器28根据接触压力或反射光来检测膜的张设情况。由此，防止树脂供给治具13上的单片膜F的放置错误，能够事先防止错误地投下颗粒树脂R。

由于分配器9能够至少沿X－Y方向移动，因此，与将颗粒树脂R向树脂容纳部22的一处投下之后使颗粒树脂R平坦化的方式相比，向树脂容纳部22投下树脂时以使树脂成为均匀的方式撒播树脂的做法能够可靠且迅速地使颗粒树脂R平坦化。

此外，如图14所示，也可以是，在分配器9上，在Z轴驱动引导件23c与扫掠轴23d之间安装有能够使该扫掠轴23d正反旋转的伺服马达23e。由此，在为晶圆等圆形的工件的情况下，一边以沿着框体13a内的外周使槽16的出口形状成为始终沿着外周的朝向的方式利用伺服马达23e使扫掠轴23d沿规定方向旋转，一边使槽16的朝向沿着与工件外周圆成直角的方向(径向)或与工件外周圆平行的方向(切线方向)地供给模制树脂。

接下来，参照图11来说明供给液状树脂R的分配器9的结构。扫掠机构23与图10相同。

在图11中，分配器9具备：挤出机构9c，其具有活塞；以及注射器9d，其内置有液状树脂R。挤出机构9c包括气缸，通过在注射器9d内对与气缸杆相连结的活塞进行推压，从而喷出液状树脂R。分配器9能够更换地设于扫掠轴23d。当容纳于注射器9d的液状树脂R的剩余量变少时，能够将分配器9更换为其他的分配器9。在注射器9d的下方设有预喷树脂回收箱25。使挤出机构9c工作至来自注射器9d的液状树脂供给量达到稳定后不久的液状树脂R下落至预喷树脂回收箱25并回收。

另外，分配器9并不限于单个，也可以是，如图12所示那样设置多个(例如两个)分配器9，并向形成于树脂供给治具13的树脂容纳部22供给树脂。在该情况下，多个分配器9既可以分担树脂投入区域地分别供给树脂，也可以利用扫掠机构23使多个分配器9同步地沿至少X－Y方向或沿X－Y－Z方向进行扫掠，从而向树脂容纳部22供给树脂。

另外，在图11所示的实施方式中，更换了注射器9d，但在向树脂容纳部22大量地供给模制树脂R的情况下，也可以设为如下构造，即，在外部设置树脂供给罐，利用管向注射器9d连续地供给模制树脂R。

接下来，参照图13来说明树脂供给治具13的另一个例子。对于与图5相同的构件标注相同的附图标记并引用其说明。对于图5的树脂供给治具13，作为工件而设想了基板、板，使框体13a形成为矩形形状且形成有矩形形状的中空孔，而在使用半导体晶圆、eWLB(embedded Wafer Level Ball Grid Array：嵌入式晶圆级球栅阵列)等圆形工件作为工件的情况下，优选使用内表面为圆形的树脂供给治具13，在该树脂供给治具13的内表面形成有与模腔凹部、工件外形相对应的圆形形状的中空孔。框体13a的外形、单片膜F的外形与图5同样地为矩形形状。

另外，在上述实施方式中，说明了输送模制树脂R和单片膜F并将其交接到模制模具6的形成有下模模腔凹部6C的下模夹持面的情况，但也可以仅输送单片膜F并将其交接到形成有基于上模压缩成形的上模模腔凹部的上模夹持面。此外，在该情况下，模制树脂R被载置于工件并被放置于下模。在该情况下，也可以是，分配器9在工件上沿X－Y方向进行扫掠并对槽16的投下口或注射器9d进行开闭，从而投下模制树脂(颗粒状树脂、粉状树脂、液状树脂等)。在该情况下，与纵长膜相比，也能够削减单片膜F的使用量并降低运行成本。同样地，也可以仅输送单片膜F并将其交接到形成有下模模腔凹部的下模夹持面。并且，也可以向上模和下模这两者同样地供给单片膜F。另外，说明了作为模制模具6而使用压缩成形用的模具，但模制模具6也可以为传递成形用的模具。

另外，采用上述那样的树脂供给治具13，除了为以追加的方式对因模制模具6的辐射热而伸长了的单片膜F施加张力的结构之外，还能够为在向模制模具6供给单片膜F之前以追加的方式对单片膜F施加张力的结构。在该情况下，例如，即使在需要预先对有可能因输送时的空气的流动而使粉末状的树脂扬起并飞散的粉末树脂那样不易输送的树脂进行加热后进行输送时，若能够在供给模制树脂R并将模制树脂R预热之后对单片膜F施加张力，则也能够在消除该预热所引起的单片膜F的松弛之后进行输送。

另外，分配单元Ud能够如上所述那样安装于树脂模制装置并使用，但也能够作为独立装置而使用。在该情况下，能够想到，在分配单元Ud中准备对被施加有规定张力的单片膜F进行保持的树脂供给治具13，将单片膜F和树脂供给治具13一起向另行设置的冲压单元Up供给的工序。即使在这样的情况下，也能够起到在使用了上述那样的分配单元Ud和树脂供给治具13的效果。

Claims (19)

1.一种框体治具，其特征在于，

该框体治具包括：

框体，其具有开口部，该开口部的与在模制模具的夹持面形成的模腔凹部相对应的内表面为规定形状；

膜把持部，其对以覆盖所述框体的一侧开口部的方式组装的单片膜的外周缘部进行把持，在所述框体的至少相对边设有一对该膜把持部；以及

张力维持机构，在所述膜把持部把持着所述单片膜的外周缘部的状态下，该张力维持机构能够将所述单片膜维持规定张力。

2.根据权利要求1所述的框体治具，其特征在于，

所述框体在表面形成有模制树脂不易附着的覆膜，或者所述框体使用模制树脂不易附着的材质。

3.一种树脂供给治具，其特征在于，

该树脂供给治具包括：

权利要求1或2所述的框体治具；

单片膜，其覆盖所述框体治具的框体的一侧开口部；以及

树脂容纳部，在膜把持部把持着所述单片膜的外周缘部的状态下，以对所述单片膜施加规定张力的状态保持所述单片膜，从而所述框体的一侧开口部被封闭而形成该树脂容纳部，该树脂容纳部用于容纳模制树脂。

4.一种树脂供给装置，其特征在于，

相对于权利要求3所述的树脂供给治具的树脂容纳部，一边自树脂投下部投下模制树脂一边至少沿X－Y方向进行扫掠，从而向单片膜上供给规定量的模制树脂。

5.根据权利要求4所述的树脂供给装置，其特征在于，

在所述树脂投下部设有能够对投下口进行开闭的开闭器。

6.根据权利要求4所述的树脂供给装置，其特征在于，

在所述树脂投下部设有离子发生器，该离子发生器用于去除在框体开口部产生的静电。

7.根据权利要求4所述的树脂供给装置，其特征在于，

在所述树脂投下部设有膜检测传感器，该膜检测传感器对所述树脂供给治具检测单片膜的张设状态。

8.根据权利要求4所述的树脂供给装置，其特征在于，

在所述树脂投下部设有框体敲打部，该框体敲打部敲击所述框体而使附着于包含倾斜部在内的开口部内表面的模制树脂向树脂容纳部下落。

9.一种模制树脂的计量装置，其使用权利要求3所述的树脂供给治具对模制树脂的重量进行计量，该模制树脂的计量装置的特征在于，

根据向所述树脂容纳部供给所述模制树脂之前的所述树脂供给治具的重量和向所述树脂容纳部供给所述模制树脂之后的所述树脂供给治具的重量，来计量出树脂模制所需的树脂量。

10.一种树脂供给计量装置，其特征在于，

该树脂供给计量装置包括权利要求3所述的树脂供给治具、权利要求4至8中任一项所述的树脂供给装置以及权利要求9所述的模制树脂的计量装置。

11.一种树脂模制装置，其特征在于，

该树脂模制装置包括权利要求10所述的树脂供给计量装置，将在树脂容纳部被供给有1次树脂模制所需的模制树脂之后的树脂供给治具向模制模具输送，并进行模制成形。

12.一种模制树脂的计量方法，其特征在于，

该模制树脂的计量方法包括以下工序：

准备工序，准备具有树脂容纳部的树脂供给治具，该树脂容纳部是具有开口部的框体的一侧开口部被单片膜覆盖而成的，该开口部的与在模制模具的夹持面形成的模腔凹部相对应的内表面为规定形状；以及

计量工序，通过使供给模制树脂前后的所述树脂供给治具直接支承于计量装置来对所述模制树脂的重量进行计量。

13.根据权利要求12所述的模制树脂的计量方法，其特征在于，

该模制树脂的计量方法还包含如下工序，即，在所述树脂容纳部利用树脂供给装置自所述框体的另一侧开口部向所述单片膜上均匀地供给规定量的模制树脂，

自所述树脂供给装置供给规定树脂量，该规定树脂量是通过计算向所述树脂容纳部供给所述模制树脂之前的所述树脂供给治具的重量与向所述树脂容纳部供给模制树脂之后的所述树脂供给治具的重量之差而计量出来的。

14.根据权利要求12所述的模制树脂的计量方法，其特征在于，

该模制树脂的计量方法还包含如下工序，即，在所述树脂容纳部利用树脂供给装置自所述框体的另一侧开口部向所述单片膜上均匀地供给规定量的模制树脂，

一边由所述计量装置计量对向所述树脂容纳部供给所述模制树脂之前的所述树脂供给治具的重量与向所述树脂容纳部供给模制树脂之后的所述树脂供给治具的重量之差进行计算而得到的树脂量，一边自所述树脂供给装置供给模制树脂。

15.一种树脂供给计量方法，在该方法中，一边向通过使覆盖具有开口部的框体的一侧开口部的单片膜保持于所述框体而形成树脂容纳部的树脂供给治具，自另一侧开口部供给规定量的模制树脂，一边进行计量，所述开口部的与模腔凹部相对应的内表面为规定形状，该树脂供给计量方法的特征在于，

包括以下工序：

形成工序，将所述框体以一侧开口部被覆盖的方式叠合于所述单片膜，并且，在所述单片膜的外周缘部的至少相对边对所述单片膜进行把持的状态下，以对所述单片膜施加规定张力的状态保持所述单片膜，从而形成具有所述树脂容纳部的所述树脂供给治具；

计量工序，通过将所述树脂供给治具直接支承于计量装置，从而对所述树脂供给治具的重量进行计量；以及

供给工序，在所述树脂容纳部，利用树脂供给装置自所述框体的另一侧开口部向所述单片膜上均匀地供给规定量的模制树脂，

自所述树脂供给装置供给由所述计量装置根据向所述树脂容纳部供给所述模制树脂之前的所述树脂供给治具的重量和向所述树脂容纳部供给模制树脂之后的所述树脂供给治具的重量而计量出来的、树脂模制所需的树脂量。

16.根据权利要求15所述的树脂供给计量方法，其特征在于，

在该树脂供给计量方法中使用载物部，在将所述单片膜吸附保持于该载物部的一个面的状态下将所述框体以一侧开口部被覆盖的方式叠合于所述单片膜，并且，在该单片膜的外周缘部被把持的状态下，以对该单片膜施加规定张力的状态将该单片膜保持于所述框体，从而在树脂供给治具形成树脂容纳部，

在所述载物部设有通孔或者缺口，所述计量装置使计量销自所述载物部的另一个面贯穿所述通孔或经由缺口部来支承所述树脂供给治具，从而对所述树脂供给治具的重量进行计量。

17.根据权利要求15所述的树脂供给计量方法，其特征在于，

所述树脂供给装置使树脂投下部至少沿X－Y方向相对于所述树脂容纳部进行扫掠，向所述树脂容纳部均匀地供给树脂模制所需的模制树脂。

18.根据权利要求15至17中任一项所述的树脂供给计量方法，其特征在于，

在被供给到树脂容纳部的树脂量达到规定量之前，所述树脂供给装置重复进行如下动作，即，暂时使供给动作停止，在利用所述计量装置进行计量之后，改变每单位时间的树脂投下量并进行供给。

19.一种树脂模制方法，其特征在于，

该树脂模制方法包含以下工序：利用树脂供给装载机将通过权利要求15至18中任一项所述的树脂供给计量方法向树脂容纳部供给有树脂模制所需的模制树脂之后的树脂供给治具向模制模具输送，并将单片膜和模制树脂向所述模制模具交接。