CN104708752A - 压缩成形装置的树脂材料供给方法及供给装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及压缩成形装置的树脂材料供给方法及供给装置，是一种以均匀的厚度将树脂材料供给至凹状收容部的方法，所述凹状收容部是利用框架及脱模膜制作而成，所述框架在上下具有形状与由上模及下模所构成的压缩成形用模的下模模腔的开口对应的开口，所述脱模膜被覆所述框架的下部的开口；且所述方法包含：膜张设步骤，通过利用膜固持部件在两个以上的方向以两侧保持比所述框架大的脱模膜而张设该脱模膜；以及框架配置步骤，使所述框架的下部全周接触于所述已张设的脱模膜上而配置所述框架。因此，脱模膜不会产生像以往那样只朝一个方向拉伸时产生的波状皱褶。

Description

压缩成形装置的树脂材料供给方法及供给装置

技术领域

本发明涉及一种将半导体芯片等电子零件进行树脂密封的方法，尤其涉及一种为了进行压缩成形而将颗粒状、粉末状、糊状、液状等的树脂材料(以下，将这些树脂材料统一地简称为“树脂材料”)供给至成形模的模腔的方法及装置。

背景技术

随着电子零件的薄型化而开始使用压缩成形。在压缩成形中，对利用脱模膜被覆的下模的模腔供给树脂材料，将该树脂材料加热熔融，使安装在上模的安装着电子零件的基板浸渍在该熔融树脂之后，通过将下模与上模锁模而压缩该树脂而进行成形。在这种压缩成形中，为了遍及整个大型基板进行无缺陷的成形，重要的是均匀且适量地对模腔供给规定量的树脂材料。

在专利文献1中，如下文所述那样记载了将颗粒状树脂R以均匀的厚度适量地供给至模腔的方法(参照图1)。首先，利用脱模膜12被覆矩形框架11的下部的开口，该矩形框架11在上下具有形状与下模18的模腔18a的开口对应的开口，利用矩形框架11的下表面吸附脱模膜12而制作凹状收容部13(a)。将该凹状收容部13载置在载置台14，从进料器15将颗粒状树脂R以成为均匀的厚度的方式供给至脱模膜12上(b)。然后，将收容着颗粒状树脂R的凹状收容部13以使被矩形框架11包围的脱模膜12的部分到达模腔18a的正上方的方式载置在下模18的模面(c)，在解除利用矩形框架11的下表面吸附脱模膜12之后，将脱模膜12与位于其上的颗粒状树脂R一并吸引并吸入至模腔18a内(d)。由此，将厚度均匀的颗粒状树脂R供给至模腔18a内。然后，将颗粒状树脂R加热熔融(e)，通过将下模18与上模19锁模，而将电子零件20浸渍于熔融树脂Rm，并且利用树脂加压用的模腔底面部件18b挤压熔融树脂Rm，所述下模18在模腔18a内包含所述熔融树脂Rm，所述上模19是将安装着电子零件20的基板21以使其安装面朝向下方的状态安装而成(f)。在熔融树脂Rm固化之后将上模19与下模18开模，由此获得电子零件20的树脂密封成形品(g)。

在该方法中，如图2所示，利用夹具(固持部件)25分别固持尺寸大于矩形框架11的开口的矩形的脱模膜12的相对向的两边12a、12b，将这些夹具25在脱模膜12的面内朝相互相反的方向拉伸(即，在同一平面内朝一个方向(在图2中为X方向)拉伸)后，使脱模膜12吸附在矩形框架11的下表面，从而安装到矩形框架11，由此制作凹状收容部13。

[背景技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2010-036542号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

半导体基板越来越大型化，模腔及框架(凹状收容部)随之也逐渐大型化。另一方面，脱模膜必须以适于模腔的内表面形状的方式变形，所以无法变厚。这样一来，当将薄脱模膜用于大型框架时，如果像专利文献1中那样将脱模膜在其面内只朝一个方向拉伸，那么对脱模膜施加的面内的张力(tension)也只为一个方向，对与该一个方向正交的方向未施加任何张力，对脱模膜而言产生如下问题，即：在与拉伸方向正交的方向产生如波浪般的皱褶。这样一来，当使用存在皱褶的脱模膜时，无法保证供给至模腔的树脂材料的厚度的均匀性，另外，该皱褶被转印至树脂而成为成形品树脂的表面凹凸缺陷。

本发明所要解决的问题在于提供一种压缩成形装置的树脂材料供给方法及供给装置，即便是大框架、大脱模膜，也可以将脱模膜以不出现皱褶的方式适当地张设在框架的下部而制作凹状收容部，由此，可以将树脂材料以均匀的厚度供给至模腔内。

[解决问题的技术手段]

为了解决所述问题而完成的本发明的压缩成形装置的树脂材料供给方法是如下所述的方法，即：

为了将树脂材料厚度均匀地供给至由上模及下模所构成的压缩成形用模的下模模腔，而对利用框架及脱模膜制作而成的凹状收容部供给树脂材料，所述框架在上下具有形状与所述下模模腔的开口对应的开口，所述脱模膜被覆所述框架的下部的开口；所述供给方法的特征在于包含：

a)膜张设步骤，通过利用膜固持部件在两个以上的方向以两侧保持比所述框架大的脱模膜，而张设所述脱模膜；以及

b)框架配置步骤，以所述框架的下部全周接触于所述已张设的脱模膜上的方式配置所述框架。

在本发明的压缩成形装置的树脂材料供给方法中，首先，利用膜固持部件在两个以上的方向以两侧保持脱模膜，由此，在膜固持部件间张设脱模膜。如果以框架的下部全周接触于以所述方式张设的脱模膜上的方式配置框架，那么脱模膜在该框架的内部成为因在该两个以上的方向施加张力而被张设的状态。因此，根据本发明的压缩成形装置的树脂材料供给方法，脱模膜不会产生像以往那样只朝一个方向拉伸时产生的波状的皱褶。此外，此处，当使框架的下部全周接触于脱模膜上时，可以单纯地接触，也可以在接触后将框架以下降的方式压抵在脱模膜。

然后，将颗粒状、粉末状、糊状、液状等的树脂材料以均匀的厚度供给至该框架内的脱模膜上，将脱模膜与该树脂材料一并引入到下模模腔内，由此，能够以均匀的厚度将树脂材料供给至下模模腔内。

所述方法理想的是还包含：

c)张力调整步骤，通过使所述框架相对于所述膜固持部件在与所述脱模膜的面垂直的方向移动，而增加或减少该框架内的所述脱模膜的张力。

当框架大时，如果该框架内的脱模膜的张力不充分，那么脱模膜会因脱模膜的自身重量而在框架内的中央部分向下方弯曲(垂下)。通过在所述张力调整步骤中调整框架内的脱模膜的张力，可以根据框架的大小及脱模膜的厚度，而不对脱模膜施加多余的力，并且在框架内无松弛而以适当的张力张设脱模膜。

关于本发明的压缩成形装置的树脂材料供给方法，当框架为矩形时，可以将所述两个以上的方向设为垂直的两个方向，且可以将所述膜固持部件设为在垂直的两个方向设置在两侧的膜固持件。在这种情况下，矩形的框架是以其边与所述两个方向平行的方式，配置在该膜固持件之间(使框架的下部全周接触于脱模膜)。

关于本发明的压缩成形装置的树脂材料供给方法，当框架为圆形时，可以将所述膜固持部件设为圆形的膜固持件。在这种情况下，膜固持件是在隔着其中心的至少两个方向的两侧固持脱模膜，在膜固持件内张设脱模膜。然后，将圆形的框架配置在以所述方式张设在膜固持件内的脱模膜上(使框架的下部全周接触于脱模膜)。

为了解决所述问题而完成的本发明的压缩成形装置用的树脂材料供给装置是如下所述的装置，即：

为了将树脂材料厚度均匀地供给至由上模及下模所构成的压缩成形用模的下模模腔，而对利用框架及脱模膜制作而成的凹状收容部供给树脂材料，所述框架在上下具有形状与下模模腔的开口对应的开口，所述脱模膜被覆所述框架的下部的开口；且所述供给装置的特征在于具备：

a)膜固持部件，通过在两个以上的方向以两侧保持比所述框架大的脱模膜，而张设所述脱模膜；以及

b)框架配置部件，以所述框架的下部全周接触于利用所述膜固持部件而张设的脱模膜上的方式，对所述膜固持部件配置所述框架。

在本发明的压缩成形装置用的树脂材料供给装置中，首先，利用膜固持部件在两个以上的方向以两侧保持脱模膜，由此，在膜固持部件间张设脱模膜。如果利用框架配置部件将框架以其下部全周接触于脱模膜的方式配置在以所述方式张设的脱模膜，那么脱模膜在框架的内部成为因在所述两个以上的方向施加张力而张设的状态。因此，根据本发明的压缩成形装置用的树脂材料供给装置，脱模膜不会产生像以往那样只朝一个方向拉伸时产生的波状的皱褶。此外，此处，当使框架的下部全周接触于脱模膜上时，可以单纯地接触，也可以在接触后将框架以下降的方式压抵在脱模膜。

然后，对该框架内的脱模膜上供给厚度均匀的树脂材料，将脱模膜与该树脂材料一并引入到下模模腔内，由此，能够以均匀的厚度将树脂材料供给至下模模腔内。

所述方法理想的是还具备：

c)张力调整部件，通过使所述框架相对于所述膜固持部件在与所述脱模膜的面垂直的方向移动，而增加或减少所述框架内的所述脱模膜的张力。

通过利用该张力调整部件调整框架内的脱模膜的张力，可以根据框架的大小及脱模膜的厚度，而不对脱模膜施加多余的力，并且在框架内无松弛而以适当的张力张设脱模膜。

当框架为矩形时，可以将所述两个以上的方向设为垂直的两个方向，且可以将所述膜固持部件设为在垂直的两个方向设置在两侧的膜固持件。在这种情况下，框架配置部件将矩形的框架以其边与所述两个方向平行的方式，配置在该膜固持件之间(使框架的下部全周接触于脱模膜)。

当框架为圆形时，可以将所述膜固持部件设为圆形的膜固持件。在这种情况下，膜固持件是在隔着其中心的至少两个方向的两侧固持脱模膜，由此在膜固持件内张设脱模膜。然后，框架配置部件将圆形的框架配置在以所述方式张设在膜固持件内的脱模膜上(使框架的下部全周接触于脱模膜)。

[发明的效果]

根据本发明的压缩成形装置的树脂材料供给方法及供给装置，即便为大框架、大脱模膜，也可以将脱模膜以不出现皱褶的方式适当地张设在框架的下部而制作凹状收容部，由此，可以将树脂材料以均匀的厚度供给至模腔内。

附图说明

图1是说明以往的压缩成形的顺序的概略图。

图2是说明以往的压缩成形装置中的脱模膜的张设方法的俯视概略图(a)、及侧视概略图(b)。

图3是本发明的一个实施例的压缩成形装置的概略构成图。

图4是该实施例的压缩成形装置用的树脂材料供给装置的凹状收容部制作部的俯视概略图(a)、及A-A剖视图(b)。

图5是说明该实施例的树脂材料供给装置的树脂材料供给方法的流程图。

图6是表示在该实施例的树脂材料供给装置中，利用夹具张设脱模膜(a)并调整张力(b)，将框架配置在脱模膜上(c)，然后使框架接触并配置在脱模膜上的状态(d)，以及使张设在夹具的脱模膜承担框架的全部重量的状态(e)的说明图。

图7是图示出对该实施例的矩形的脱模膜施加的力的俯视概略图。

图8是本发明的另一个实施例的压缩成形装置用的树脂材料供给装置的凹状收容部制作部的俯视概略图(a)、及A-A剖视图(b)。

图9是说明该实施例的树脂材料供给装置的凹状收容部的制作方法的流程图。

图10是表示在该实施例的树脂材料供给装置中，利用夹具张设脱模膜(a)，将框架配置在脱模膜上(b)，使框架接触并配置在脱模膜上(c)，然后调整张力的状态(d)的说明图。

图11是图示出在该实施例中对圆形的脱模膜施加的力的俯视概略图。

图12是本发明的再另一个实施例的压缩成形装置用的树脂材料供给装置的凹状收容部制作部的俯视概略图(a)、及A-A剖视图(b)。

[符号的说明]

30                               压缩成形装置用的树

                                 脂材料供给装置

31、71、91                       凹状收容部制作部

32                               树脂材料供给部

33                               设定部

34                               树脂材料

35                               凹状收容部

36、76、96                       框架

37、77、97                       脱模膜

39                               下模模腔

41～44、80、90                   夹具

41a、41b～44a、44b、80a、80b、90a、90b 上下固持片对

46、86、93                             固定螺钉

50、87、94                             框架保持部件

51、88、92                             高度调整螺钉

60                                     外框部件

61                                     宽度调整螺钉。

具体实施方式

(第1实施例)

关于本发明的压缩成形装置用的树脂材料供给装置的一个实施例，一边参照图3及图4一边进行说明。该树脂材料供给装置30是用来对具备上模38a及下模38b的压缩成形装置的下模模腔39内以均匀的厚度供给树脂材料(在本实施例中为颗粒状树脂)34的装置，且由凹状收容部制作部31、树脂材料供给部32及设定部33构成。本实施例的下模模腔39的平面形状为矩形。此外，在图4(a)中，以虚线表示脱模膜37。

在本实施例中，用于将树脂材料34以均匀的厚度供给至下模模腔39的凹状收容部35是利用框架36及脱模膜37而形成，所述框架36在上下具有与所述下模模腔39大致相同形状的矩形状开口，所述脱模膜37被覆所述框架36的下表面。凹状收容部制作部31是用来制作这种凹状收容部35的装置，其系由如下构件所构成：大小为能够围绕所述框架36的矩形状的外框部件60；四组棒状夹具41～44，配置在该外框部件60的各边的内侧；以及宽度调整螺钉61，将各棒状夹具41～44保持在外框部件60的各边的内侧并且调整各棒状夹具41～44与各边之间的距离。各棒状夹具41～44由上下固持片对41a、41b～44a、44b、及以夹着脱模膜37的方式将脱模膜37固定的两根固定螺钉46所构成。

在框架36的各边的上部的大致中心，分别固定着一个框架保持部件50。框架保持部件50从框架36的各边朝外侧突出，在该突出部分别设置着高度调整螺钉51。

以作为本发明的特征部分的凹状收容部制作部31部分为中心，一边参照图5的流程图、图4及图6一边在下文对本实施例的树脂材料供给装置30的动作进行说明。

首先，利用各夹具41、42、43、44的上下固持片对41a、41b～44a、44b夹持大小为可以被覆框架36的开口的矩形的脱模膜37的各边，利用固定螺钉46将各固持片对41a、41b～44a、44b紧固，由此，利用四根夹具41～44保持脱模膜37。由此，脱模膜37被保持并张设在矩形的相对向的两边间(即，在图4(a)中的X方向与Y方向的两个方向)(步骤S11，图6(a))。此外，此处，在利用X、Y这两个方向的两侧的夹具41～44保持、张设脱模膜37时，脱模膜37不一定必须以呈平面状拉伸的状态张设，也可以存在略微的松弛或弯曲。

然后，通过将各夹具41～44与和各夹具41～44对应的外框部件60的各边之间的两个宽度调整螺钉61拧紧，而分别将夹具41、43朝X方向拉伸，将夹具42、44朝Y方向拉伸，在脱模膜37不存在松弛或皱褶、弯曲的时间点固定宽度调整螺钉61(步骤S12，图6(b))。

然后，在以所述方式张设的脱模膜37的上方放置框架36(图6(c))。这时，框架36的各边的框架保持部件50的突出部经由高度调整螺钉51而载置在各夹具41～44的上表面。通过将这四根高度调整螺钉51拧紧或松开，而使框架36的下部全周恰好接触于脱模膜37(步骤S13，图6(d))。这样一来，即便仅使框架36的下部全周恰好接触于脱模膜37，构成凹状收容部35的下表面的脱模膜37也会成为无皱褶且平整的平面状。

在所述实施例中，在利用夹具41～44保持脱模膜37之后，利用宽度调整螺钉61使脱模膜37呈无松弛或弯曲的平面状张设，然后，使框架36的下部全周恰好接触于该状态下的脱模膜37的上表面，但作为其他方法，也可以采用如下方法，即：在利用夹具41～44保持脱模膜37，利用宽度调整螺钉61张设脱模膜37时，保持略微松弛或弯曲的状态。在这种情况下，将框架36载置在这种脱模膜37上，使框架36的全部重量w负担在脱模膜37上(图6(a)→图6(e))，由此，对脱模膜37施加张力(tension)，在框架36的下部开口的内部使脱模膜37呈无皱褶且平整的平面状张设。

进而，之后也可以通过将高度调整螺钉51拧紧，而减轻负担在脱模膜37的框架36的重量，且使施加在脱模膜37的张力变小。根据该方法，考虑框架36的大小及脱模膜37的厚度(强度)而调整高度调整螺钉51的拧紧情况，由此，可以对脱模膜37施加最适当的张力。

以如上所述的方式，脱模膜37成为因在框架36的内部朝X方向及Y方向这两个方向施加张力而被张设的状态，从而制作凹状收容部35。在本实施例的树脂材料供给装置30中为这种构成，所以脱模膜37不会产生像以往那样只朝一个方向拉伸时产生的波状的皱褶。

图7(a)是表示对图6(d)的脱模膜37施加的力的俯视图，图7(b)是表示对图6(e)的脱模膜37施加的力的俯视图。在图7中，以二点链线表示脱模膜37被夹具41～44固持的部分，以虚线表示框架36的外周缘。如图7(a)、(b)所示，在本实施例的树脂材料供给装置30中，在形成凹状收容部35的下表面的脱模膜37的面内，在相互对向的两点朝相反方向施加相等的力。因此，矩形的脱模膜37在相对向两边中的各边被以均匀的力朝相互相反的方向拉伸，因而无皱褶。

以所述方式形成的凹状收容部35被利用宽度调整螺钉61及高度调整螺钉51而固定在外框部件60，且可以在一体化的状态下进行之后的对凹状收容部35内供给树脂材料34及向下模模腔39引入脱模膜37及树脂材料34。当然，也可以如专利文献1中所记载那样，在通过将以所述方式张设的脱模膜37吸附在框架36的下表面等而将脱模膜37固定之后，将宽度调整螺钉61松开而卸除外框部件60，只在凹状收容部35进行对其供给树脂材料34及向下模模腔39引入脱模膜37及树脂材料34。

接下来，在树脂材料供给部32中，将树脂材料34以均匀的厚度供给至凹状收容部35的脱模膜37上(步骤S14，图3)。

最后，将这样被以均匀的厚度供给树脂材料34的凹状收容部35在设定部33中配置在由上模38a及下模38所构成的压缩成形装置的下模模腔39的正上方，从下模模腔39侧吸引所述凹状收容部35，由此，将脱模膜37及树脂材料34引入至下模模腔39内(步骤S15，图3)。

(第2实施例)

作为本发明的树脂材料供给装置的第2实施例，对应用于下模模腔的形状为圆形的压缩成形装置的情况进行说明。关于树脂材料供给部32及设定部33，由于与第1实施例相同所以省略说明。

在本实施例的树脂材料供给装置中，凹状收容部是利用圆形的框架76及脱模膜77形成的，所述圆形的框架76在上下具有与所述下模模腔的开口相同形状的圆形开口，所述脱模膜77被覆该框架76。作为用于制作该凹状收容部的装置的凹状收容部制作部71(图8)由圆形的夹具80所构成，所述圆形的夹具80由围绕所述圆形的框架76的上下固持片对80a、80b、以及等间隔地配置在其圆周上的八根固定螺钉86构成。另外，在框架76的上部，在圆周上的等间隔的三个部位，固定着从框架76朝外侧突出的框架保持部件87，在该突出部分别设置着高度调整螺钉88。

一边参照图9的流程图、图8及图10，一边在下文对本实施例的凹状收容部制作部71的动作进行说明。

首先，将圆形的脱模膜77夹在夹具80的固持片对80a、80b之间，利用固定螺钉86将固持片对80a、80b紧固，由此，利用圆形的夹具80保持脱模膜77，将脱模膜77张设在其内部(步骤S21，图10(a))。此外，此处在利用夹具80保持、张设脱模膜77时，脱模膜77并不一定为呈平面状拉伸的状态，也可以存在略微的松弛或弯曲。

以这种方式将框架76放置在夹具80内。这时，高度调整螺钉88成为拧得最紧的状态、即高度调整螺钉88最长地从框架保持部件87的下方突出的状态。由此，框架76的下表面成为不与张设在夹具80内的脱模膜77接触的状态(图10(b))。然后，如果将高度调整螺钉88松开，那么框架76会因其自身重量w而缓慢地下降。然后在某一时间点成为框架76的下部全周接触于脱模膜77的状态(步骤S22，图10(c))。这时，脱模膜77成为张力(tension)大致为零地张设在框架76内部的状态。

也可以将由该状态的框架76及脱模膜77所构成的凹状收容部用于供给树脂材料，但有可能因为供给至内部的树脂材料34的重量而导致脱模膜77弯曲。因此，从如上所述那样框架76的下表面全周恰好接触于脱模膜77的状态进一步将高度调整螺钉88松开，使框架76下降，而对脱模膜77施加适度的张力(tension)，此时固定高度调整螺钉88。这样一来，在本实施例的树脂材料供给装置中，即便为大型的圆形的凹状收容部，也可以将无皱褶的脱模膜77以适度的张力(tension)张设在框架76的下部的开口(步骤S23，图10(d))。

图11是表示对图10(d)的脱模膜77施加的力的俯视图。在形成凹状收容部的下表面的脱模膜77的面内，以框架76的外周缘(虚线)为起点，从圆的中心朝外侧施加均等的力。因此，圆形的脱模膜77被从其圆的中心呈放射状以相等的力拉伸，皱褶消失。

(第3实施例)

作为第2实施例的变形例，对作为用于制作与矩形的下模模腔对应的凹状收容部的装置的凹状收容部制作部91(图12)的示例进行说明。本实施例的夹具90由矩形的固持片对90a、90b及固定螺钉93所构成。在上下具有与下模模腔相同形状的开口的框架96的各边的上部，固定着从各边向外侧突出的框架保持部件94，在其突出部分别设置着高度调整螺钉92。

在本实施例中，也以与第2实施例的情况相同的方式进行步骤S21～步骤S23的动作，可以通过利用高度调整螺钉92调整对框架96内的脱模膜97施加的张力，而制作脱模膜97无皱褶或弯曲等的凹状收容部。

所述实施例为本发明的一例，容许在本创作的主旨的范围内适当地进行变形或修正、追加。例如在对压缩成形装置供给树脂材料的树脂材料供给装置中，可以如下文所述般使用合适的自动机构实施所述实施例的各步骤(自动运转)。

即，在使用矩形或圆形的框架供给树脂材料的树脂材料供给装置中，可以利用合适的驱动机构将(载置在设置在树脂材料供给装置的基台上的)矩形或圆形的脱模膜利用所需数量的夹具固持，对该脱模膜施加张力(tension)而张设该脱模膜，且利用合适的驱动机构将框架载置在脱模膜上。

另外，也可以利用合适的驱动机构使夹具在与框架的下表面垂直的方向朝上方或下方移动而调整张力。这时，如果使夹具朝上方移动，那么脱模膜会卡在框架的下端面的外周缘，如果使夹具朝下方移动，那么脱模膜会卡在装置基台的缘。可以通过将以所述方式张设的脱模膜固定在框架的下表面而制作凹状收容部。

作为这种驱动机构，可以使用气缸机构、气垫机构、凸轮机构、连结机构、及线性螺线管机构等。

另外，在所述实施例中，可以使用合适的自动机构，且可以使用将辊卷状的脱模膜切断为所需长度的矩形的脱模膜或裁切为圆形的圆形脱模膜。

Claims (10)

1.一种压缩成形装置的树脂材料供给方法，为了将树脂材料厚度均匀地供给至由上模及下模所构成的压缩成形用模的下模模腔，而对利用框架及脱模膜制作而成的凹状收容部供给树脂材料，所述框架在上下具有形状与所述下模模腔的开口对应的开口，所述脱模膜被覆所述框架的下部的开口；所述供给方法的特征在于包含：

a)膜张设步骤，通过利用膜固持部件在两个以上的方向以两侧保持比所述框架大的脱模膜，而张设所述脱模膜；以及

b)框架配置步骤，以所述框架的下部全周接触于所述已张设的脱模膜上的方式配置所述框架。

2.根据权利要求1所述的压缩成形装置的树脂材料供给方法，其特征在于还包含：

c)张力调整步骤，通过使所述框架相对于所述膜固持部件在与所述脱模膜的面垂直的方向移动，而增加或减少所述框架内的所述脱模膜的张力。

3.根据权利要求1或2所述的压缩成形装置的树脂材料供给方法，其特征在于：

所述框架为矩形，

所述两个以上的方向为垂直的两个方向，

所述膜固持部件包含在所述垂直的两个方向设置在两侧的膜固持件，而且

在所述框架配置步骤中，将所述框架以其边与所述垂直的两个方向平行的方式配置，且以框架的下部全周接触于所述脱模膜的方式配置在所述膜固持件之间。

4.根据权利要求1或2所述的压缩成形装置的树脂材料供给方法，其特征在于：

所述框架为圆形，

所述膜固持部件由圆形的膜固持件所构成，

在所述膜张设步骤中，所述膜固持件是通过在隔着其中心的至少两个方向的两侧固持所述脱模膜，而在所述膜固持件内张设所述脱模膜，而且，

在所述框架配置步骤中，将所述框架以所述框架的下部全周接触于所述脱模膜的方式配置在所述已张设的脱模膜上。

5.一种树脂材料的压缩成形方法，其特征在于：使用根据权利要求1至4中任一项所述的树脂材料供给方法。

6.一种压缩成形装置用的树脂材料供给装置，为了将树脂材料厚度均匀地供给至由上模及下模所构成的压缩成形用模的下模模腔，而对利用框架及脱模膜制作而成的凹状收容部供给树脂材料，所述框架在上下具有形状与所述下模模腔的开口对应的开口，所述脱模膜被覆所述框架的下部的开口；且所述供给装置的特征在于具备：

a)膜固持部件，通过在两个以上的方向以两侧保持比所述框架大的脱模膜，而张设所述脱模膜；以及

b)框架配置部件，以所述框架的下部全周接触于利用所述膜固持部件而张设的脱模膜上的方式，对所述膜固持部件配置所述框架。

7.根据权利要求6所述的压缩成形装置用的树脂材料供给装置，其特征在于还具备：

c)张力调整部件，通过使所述框架相对于所述膜固持部件在与所述脱模膜的面垂直的方向移动，而增加或减少所述框架内的所述脱模膜的张力。

8.根据权利要求6或7所述的压缩成形装置用的树脂材料供给装置，其特征在于：

所述框架为矩形，

所述两个以上的方向为垂直的两个方向，

所述膜固持部件由在所述垂直的两个方向设置在两侧的膜固持件所构成，而且

所述框架配置部件是将所述框架以其边与所述垂直的两个方向平行的方式，且以框架的下部全周接触于所述脱模膜的方式配置在所述膜固持件之间。

9.根据权利要求6或7所述的压缩成形装置用的树脂材料供给装置，其特征在于：

所述框架为圆形，

所述膜固持部件由圆形的膜固持件所构成，

所述膜固持件通过在隔着其中心的至少两个方向的两侧固持所述脱模膜而在所述膜固持件内张设所述脱模膜，而且，

所述框架配置部件是以所述框架的下部全周接触于所述脱模膜的方式配置所述框架。

10.一种树脂材料的压缩成形装置，其特征在于：具备根据权利要求6至9中任一项所述的树脂材料供给装置。