KR20200136890A - 음이온 교환 수지 및 이것을 사용한 수처리 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 초순수 제조 시스템 등에서 적절하게 사용되는, 악취를 저감시킨 음이온 교환 수지 및 이것을 사용한 수처리 방법을 제공하는 것으로, 염기성 음이온 교환 수지와, 상기 염기성 음이온 교환 수지 100질량부에 대해 0.01질량부 이상 5질량부 미만의 H형 양이온 교환 수지를 혼합하여 이루어지는 악취를 억제한 음이온 교환 수지에 관한 것으로, 염기성 음이온 교환 수지로는 염기성 교환 수지에 팔라듐을 담지시킨 팔라듐 담지 수지나 아황산기 및/또는 아황산수소기를 갖는 환원성 수지가 바람직하다.

Description

음이온 교환 수지 및 이것을 사용한 수처리 방법
본 발명은 음이온 교환 수지 및 이것을 사용한 수처리 방법에 관한 것이다.
종래, 반도체 제조 공정에서 사용하는 초순수는 초순수 제조 시스템을 사용하여 제조되고 있다. 초순수 제조 시스템은 예를 들면, 원수 중의 현탁 물질을 제거하여 전처리수를 얻는 전처리부, 전처리수 중의 전체 유기 탄소(TOC) 성분이나 이온 성분을 역침투막 장치나 이온 교환 장치를 사용하여 제거하여 1차 순수를 제조하는 1차 순수 제조부 및 1차 순수 중의 극미량의 불순물을 제거하여 초순수를 제조하는 2차 순수 제조부로 구성되어 있다. 원수로는 수돗물, 우물물, 지하수, 공업용수 등 외에, 초순수의 사용 장소(유즈 포인트: POU)에서 회수된 사용이 끝난 초순수(이하, 「회수수」라고 칭함)가 사용된다.
이러한 초순수 제조 시스템에서는 일반적으로 원수 중의 이온 성분을 제거하기 위해 음이온 교환 수지나 양이온 교환 수지가 사용된다. 예를 들면, 이온 교환 수지를 사용한 장치로서, 대규모의 초순수 제조 시스템에서는 양이온 교환 수지와 음이온 교환 수지를 별개의 탑에 충전한 복상식의 장치가 사용될 수 있다. 이 복상식의 장치로는 양이온 교환 수지를 충전한 양이온탑과, 음이온 교환 수지를 충전한 음이온탑을 직렬로 접속하고, 이들 사이(양이온탑의 뒤)에 탈탄산탑을 설치한 2상 3탑식의 장치가 일반적이다.
또한, 이온 교환 수지를 사용한 장치에 있어서는, 염기성 음이온 교환 수지에 특정한 기능을 갖는 관능기나 금속을 도입하여 1차 순수 중의 미량의 불순물을 제거하는 방법도 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).
여기에서, 이온 교환 수지 중에서도 염기성 음이온 교환 수지는 그 이온 교환기로서 아민을 갖는다. 그 때문에 염기성 음이온 교환 수지로부터 트리메틸아민(이하, TMA라고도 함), 디메틸아민, 모노메틸아민 등의 아민류가 미량 누출된다. 이들 아민류는 부패 어취(腐敗魚臭)라고 표현되는 악취를 발생시킨다. 특히, TMA는 극히 미량이어도 상당한 악취를 발생시킨다.
상기와 같은 초순수 제조 시스템에서는 규모에 따라 다르지만, 하나의 수지탑당 약 100L의 이온 교환 수지가 사용되고, 이러한 수지탑이 하나의 이온 교환 수지 장치당 수십탑 배치된다.
그 때문에 비재생형의 이온 교환 수지 장치 등에서 수지탑 내부의 염기성 음이온 교환 수지를 교환할 때에는 TMA의 악취가 주위에 진동하기 때문에 그 대책이 요구되고 있었다. 특히, 대규모의 초순수 제조 시스템에서는 한번에 교환되는 수지량도 많고, 악취도 상당히 증가한다는 문제가 있다. 또한, 초순수가 공급되는 반도체 제조 공장 등의 초순수의 사용 장소(POU: Point of Use)에 악취가 도달하여, 공장의 작업자에게 불쾌감을 주는 등의 문제도 있다.
여기서, 염기성 음이온 교환 수지의 처리수의 악취 대책으로서 강염기성 음이온 교환 수지를 H형의 양이온 교환 수지와 혼합 상태에서 가열 처리하고, 그 후 양이온 교환 수지를 분리하여 용출물을 저감화한 강염기성 음이온 교환 수지를 사용한 방법이 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 3 참조). 또한, 식품 제조업에서 사용되는 회수 처리수를 포함하는 용수 처리수의 악취를 제거하는 방법으로서, 음이온 교환 수지로부터 누출되는 악취를 갖는 물을 염형 양이온 교환 수지로 통수시키는 방법도 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 4 참조).
그러나, 특허문헌 3의 방법은 혼합, 가열, 분리와 같은 공정을 거치기 때문에 이온 교환 수지의 제조시의 프로세스가 증가하므로 비용 상승이나 납기가 길어지는 문제가 있어, 통상적으로는 행해지고 있지 않다. 또한, 특허문헌 4에 기재된 방법에서는 수중의 악취가 저감될 수 있지만, 강염기성 음이온 교환 수지의 교체시의 악취 대책으로는 충분한 효과가 얻어지지 않는다는 문제가 있었다.
일본 공개특허공보 소61-174987호 일본 특허공보 소62-35838호 일본 공개특허공보 2007-75720호 일본 공개특허공보 2015-24379호
본 발명은 상기한 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 초순수 제조 시스템 등에서 바람직하게 사용되는, 악취를 저감시킨 음이온 교환 수지 및 이것을 사용한 수처리 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 악취를 억제한 음이온 교환 수지는 염기성 음이온 교환 수지와, 상기 염기성 음이온 교환 수지 100질량부에 대해 0.01질량부 이상 5질량부 미만의 H형 양이온 교환 수지를 혼합하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 음이온 교환 수지는 상기 염기성 음이온 교환 수지와 상기 H형 양이온 교환 수지는 역세 분리되지 않는 것이 바람직하다.
본 발명의 음이온 교환 수지는 상기 염기성 음이온 교환 수지에 팔라듐이 담지된 팔라듐 담지 수지를 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명의 음이온 교환 수지에 있어서, 상기 염기성 음이온 교환 수지에 아황산기 및/또는 아황산 수소기를 갖는 환원성 수지를 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명의 수처리 방법은 음이온 교환 수지에 피처리수를 통수하는 수처리 방법으로서, 상기 음이온 교환 수지는 염기성 음이온 교환 수지와, 상기 염기성 음이온 교환 수지 100질량부에 대해 0.01질량부 이상 5질량부 미만의 H형 양이온 교환 수지를 혼합하여 이루어지는 악취를 억제한 음이온 교환 수지인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면 초순수 제조 시스템 등에 바람직한 악취를 저감시킨 음이온 교환 수지 및 이것을 사용한 수처리 방법을 제공할 수 있다.
도 1은 실시형태에 따른 초순수 제조 시스템을 개략적으로 나타내는 블록도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 초순수 제조 시스템의 1차 순수 제조부의 일례를 개략적으로 나타내는 블록도이다.
도 3은 도 2에 나타내는 초순수 제조 시스템의 2차 순수 제조부의 일례를 개략적으로 나타내는 블록도이다.
이하, 본 발명의 일실시형태에 대해 상세히 설명한다.
본 실시형태의 음이온 교환 수지는 염기성 음이온 교환 수지와, H형 양이온 교환 수지를 혼합하여 이루어지고, 염기성 음이온 교환 수지 100질량부에 대한 H형 양이온 교환 수지의 양이 0.01질량부 이상 5질량부 미만이다. H형 양이온 교환 수지의 양은 5질량부 이상에서는 H형 양이온 교환 수지가 과잉이 되므로 음이온 교환 기능을 손상시키고, 0.01질량부 미만에서는 충분한 악취의 저감효과가 얻어지지 않는다. 본 실시형태의 음이온 교환 수지에 있어서, 염기성 음이온 교환 수지에 대한 H형 양이온 교환 수지의 양은 0.1질량부 이상 2질량부 이하가 보다 바람직하다. 0.5질량부 이상 1.5질량부 이하가 더욱 바람직하다.
또한, 본 실시형태의 음이온 교환 수지는 엄밀하게는 음이온 교환 수지와 양이온 교환 수지를 혼합한 혼상 수지에 해당하지만, 양이온 교환 수지의 양이 음이온 교환 수지에 비해 미량이며, 음이온 교환 수지로서의 사용이 바람직한 점에서, 「음이온 교환 수지」라고 칭한다.
염기성 음이온 교환 수지는 그 사용에 의해 트리메틸아민(TMA), 디메틸아민, 모노메틸아민 등의 아민류에 의한 악취를 발생시키는 것이다. 염기성 음이온 교환 수지로는 공지의 염기성 음이온 교환 수지를 특별히 한정되지 않고 사용할 수 있고, 1급 아민, 2급 아민 또는 3급 아민을 교환기로서 갖는 약염기성 음이온 교환 수지와, 4급 암모늄기를 교환기로서 갖는 강염기성 음이온 교환 수지를 들 수 있다. 4급 암모늄기로는 예를 들면, 트리메틸암모늄기나 디메틸에탄올암모늄기 등을 들 수 있다. 또한, 이들 염기성 음이온 교환 수지는 일반적으로 가교 폴리스티렌(스티렌ㆍ디비닐벤젠 공중합체) 또는 폴리아크릴산에스테르를 수지 골격으로서 갖는다. 이들 중에서도 악취를 발생시키기 쉬운 강염기성 음이온 교환 수지를 사용한 경우에 커다란 효과가 얻어진다.
염기성 음이온 교환 수지의 비중은 통상 1.0∼1.1g/㎤이고, 교환 용량은 바람직하게는 0.7∼1.5meq/mL, 보다 바람직하게는 1∼1.5meq/mL이다. 이러한 염기성 음이온 교환 수지의 시판품으로는 다우케미컬사 제조의 DUOLITE AGP, 미츠비시카가쿠사 제조의 SAT 20L 등을 들 수 있다.
염기성 음이온 교환 수지는 염형이어도 되고 OH형이어도 된다. 염형의 염기성 음이온 교환 수지에서 OH형을 얻는 방법으로는, 염형의 염기성 음이온 교환 수지에 수산화나트륨 수용액, 수산화칼륨 수용액 등의 알칼리성 수용액을 통류시켜 재생하는 방법이 있다. 염기성 음이온 교환 수지는 악취를 발생시키기 쉬운 OH형이면 커다란 악취 억제의 효과가 얻어진다. 염기성 음이온 교환 수지는 OH형인 경우, OH형 전환율로는 99.95％ 이상이 바람직하다.
본 실시형태에서 사용되는 염기성 음이온 교환 수지로는 염기성 음이온 교환 수지, 바람직하게는 강염기성 음이온 교환 수지에 팔라듐(Pd)을 담지시킨 팔라듐 담지 수지나 백금(Pt)을 담지한 백금 담지 수지를 사용해도 된다. 팔라듐 담지 수지는 염기성 음이온 교환 수지에 염화 팔라듐의 산성 용액을 통수하여 얻어진다. 팔라듐 담지 수지에서의 팔라듐의 담지량은 0.1g-Pd/L∼2g-Pd/L이면 악취 억제에 커다란 효과를 발휘한다.
본 실시형태에서 사용되는 염기성 음이온 교환 수지로는 염기성 음이온 교환 수지에 아황산기(-SO3) 또는 아황산수소기(-SO3H)를 갖는 환원성 수지를 사용해도 된다. 환원성 수지는 염기성 음이온 교환 수지에 아황산수소나트륨이나 아황산나트륨의 수용액을 농도 1∼5N 정도로 통액하여 아황산기 또는 아황산수소기를 이온 교환함으로써 얻어진다. 환원성 수지에 사용되는 염기성 음이온 교환 수지는 강염기성 음이온 교환 수지인 것이 바람직하다. 또한, 환원성 수지는 아황산기와 아황산수소기의 양방을 갖고 있어도 된다. 환원성 수지에서의 아황산기와 아황산수소기의 양은 합계로 0.7mol/L∼1.5mol/L이면 악취 억제에 커다란 효과를 발휘한다. 또한, 상기와 같이 하여 얻어진 환원성 수지와 양이온 교환 수지는 상기 처리 전의 음이온 교환 수지와 양이온 교환 수지에 비해 역세 분리하기 어려워지므로, 수송 중 혹은 사용 중에 분리되는 경우가 거의 없다. 따라서, 안정적으로 악취가 억제됨과 함께, 사용시의 성능도 안정적이다.
H형 양이온 교환 수지는 교환기가 H형으로 재생된 양이온 교환 수지이며, 예를 들면, 술폰산기(-SO3H)를 교환기로서 갖는 강산성 양이온 교환 수지, 또는 카르복실산기(-COOH)를 교환기로서 갖는 약산성 양이온 교환 수지를 들 수 있다. 양이온 교환 수지는 일반적으로 가교 폴리스티렌(스티렌ㆍ디비닐벤젠 공중합체)을 수지 골격으로서 갖는다.
H형 양이온 교환 수지의 비중은 통상 1.2∼1.3g/㎤이고, 교환 용량은 바람직하게는 1.5∼2.5meq/mL, 보다 바람직하게는 2∼2.5meq/mL이다. H형 양이온 교환 수지는 염형의 양이온 교환 수지에 염산 등의 산성 수용액을 통액하여 재생함으로써 얻어진다. H형 양이온 교환 수지의 H형 전환율로는 99.95％ 이상이 바람직하다. H형 양이온 교환 수지는 강산성 양이온 교환 수지인 것이 바람직하다. 강산성 양이온 교환 수지의 시판품으로는 다우케미컬사 제조의 DUOLITE CGP, 미츠비시카가쿠사 제조의 SKT-20L 등을 들 수 있다.
본 실시형태의 음이온 교환 수지는 상기한 비율로 염기성 음이온 교환 수지와 H형 양이온 교환 수지를 혼합하여 이루어지고, 혼합상태에서 H형 양이온 교환 수지를 분리하지 않고 수처리 등에 적용되는 것이 바람직하다. 그 때문에 염기성 음이온 교환 수지와 H형 양이온 교환 수지는 역세 분리되기 어려운 조합이 바람직하다. 이 역세 분리 조건은 예를 들면, 상승류에서 LV＝10∼20[m/hr]이다. 또한, 역세 분리되기 어려운 조합으로는 상기 이외에도 동일한 조건에서 측정한 염기성 음이온 교환 수지와 H형 양이온 교환 수지의 침강 속도의 분포가 유사하고, 침강 속도의 분포 중에 서로 공통되는 속도 영역을 포함하는 것인 것이 바람직하다. 여기에서의 침강 속도는 실측한 값이어도 되고, 혹은 알렌의 식 등에 의해 논리상 구해지는 값이어도 된다.
본 실시형태의 음이온 교환 수지는 상기한 비율로 염기성 음이온 교환 수지와 H형 양이온 교환 수지를 혼합하여 제조된다. 혼합 방법으로는 수지탑 내에 염기성 음이온 교환 수지와 H형 양이온 교환 수지를 상기의 비율로 수용하고, 탑 내에서 수지의 물빼기를 행한 후, 수지탑의 하부에서 질소 가스를 주입하여 혼합하는 방법이나, 교반 모터 등에 의해 기계적으로 교반하여 혼합하는 방법 등을 들 수 있다.
본 실시형태의 음이온 교환 수지를 사용한 수처리 방법은 상기 실시형태의 음이온 교환 수지에 피처리수를 통수시키는 방법이다. 이러한 수처리로는 순수 내지 초순수의 제조가 바람직하다.
본 실시형태의 음이온 교환 수지를 사용한 순수 제조 시스템으로는 예를 들면, 전처리부 및 1차 순수 제조부를 갖는 순수 제조 시스템을 들 수 있다. 또한, 이 순수 제조 시스템은 상기 순수 제조 시스템의 1차 순수 제조부의 하류에 2차 순수 제조부를 갖는 초순수 제조 시스템이어도 된다.
도 1은 본 실시형태의 초순수 제조 시스템(10)을 개략적으로 나타내는 블록도이다. 본 실시형태의 초순수 제조 시스템(10)은 전처리부(11), 1차 순수 제조부(12), 탱크(13) 및 2차 순수 제조부(14)를 갖고 있다.
본 실시형태의 초순수 제조 시스템(10)에서 사용되는 원수로는 수돗물, 우물물, 공업용수 등을 사용할 수 있다.
초순수 제조 시스템(10)에 있어서, 전처리부(11)는 원수의 수질 등에 의해 적절히 구성되고, 원수의 현탁 물질을 제거하여 전처리수를 생성한다. 전처리부(11)는 예를 들면, 모래 여과 장치, 정밀 여과 장치 등을 적절히 선택하여 구성되고, 추가로 필요에 따라 피처리수의 온도 조절을 행하는 열교환기 등을 구비하여 구성된다.
1차 순수 제조부(12)는 전처리수 중의 이온 성분 및 비이온 성분, 용존 가스를 제거하여 1차 순수를 제조하고, 이 1차 순수를 탱크(13)에 공급한다. 상기 실시형태의 음이온 교환 수지를 사용한 1차 순수 제조부(12)로는 예를 들면, 도 2에 나타내는 바와 같이 역침투막 장치(RO)(121), 2상 3탑형 장치(2B3T: 양이온 교환 수지탑(122a), 탈탄산탑(122b) 및 음이온 교환 수지탑(122c)을 직렬로 갖는 장치)(122), 역침투막 장치(RO)(123), 자외선 산화 장치(TOC-UV)(124), 혼상식 이온 교환 장치(MB)(125), 탈기 장치(DG: 막탈기 장치 또는 진공 탈기 장치)(126)를 순서대로 갖는 구성을 들 수 있다. 상기 구성에 있어서, 실시형태의 음이온 교환 수지는 예를 들면, 2상 3탑형 장치의 음이온 교환 수지탑에 수용된다.
1차 순수는 예를 들면, 전체 유기 탄소(TOC) 농도가 5㎍C/L 이하, 저항률이 17MΩㆍcm 이상이다.
탱크(13)는 1차 순수를 저류하여 그 필요량을 2차 순수 제조부(14)에 공급한다.
2차 순수 제조부(14)는 1차 순수 중의 미량 불순물을 제거하여 초순수를 제조한다. 2차 순수 제조부(14)는 도 3에 나타내는 바와 같이 탱크(13)의 하류에 열교환기(HEX)(141), 자외선 산화 장치(TOC-UV)(142), 과산화수소 제거 장치(H2O2 제거 장치)(143), 탈기막 장치(MDG)(144), 비재생형 혼상식 이온 교환 수지 장치(Polisher)(145) 및 한외 여과 장치(UF)(146)를 구비하여 구성된다. 또한, 2차 순수 제조부(14)는 상기 장치를 반드시 구비할 필요는 없고, 상기 장치를 필요에 따라 조합하여 구성하면 된다.
상기 구성에 있어서, 열교환기(141)는 필요에 따라 탱크(13)에서 공급된 1차 순수의 온도 조절을 행한다. 자외선 산화 장치(142)는 1차 순수에 자외선을 조사하여 수중의 미량 유기물을 분해 제거한다. 자외선 산화 장치(142)는 예를 들면, 자외선 램프를 갖고, 파장 185nm 부근의 자외선을 발생시킨다. 자외선 산화 장치(142)는 추가로 파장 254nm 부근의 자외선을 발생시켜도 된다.
과산화수소 제거 장치(143)는 수중의 과산화수소를 분해 제거하는 장치이며, 예를 들면, 팔라듐(Pd) 담지 수지에 의해 과산화수소를 분해 제거하는 팔라듐 담지 수지 장치나 염기성 음이온 교환 수지에 아황산기 및/또는 아황산수소기를 갖는 환원성 수지를 충전한 환원성 수지 장치 등이다. 본 구성의 2차 순수 제조부(14)에 있어서, 상기 실시형태의 음이온 교환 수지는 팔라듐 담지 수지 장치에서 사용되는 팔라듐 담지 수지의 재료나, 환원성 수지 장치에서 사용되는 환원성 수지의 재료인 것이 바람직하다. 이들은 전처리부(11)나 1차 순수 제조부(12)에 비해 반도체 제조공장 등 초순수의 사용 장소의 가까이에 배치되기 때문에 수지 교환시의 악취 억제에 커다란 효과를 발휘한다.
탈기막 장치(144)는 기체 투과성의 막의 2차측을 감압하여 1차측을 통류하는 수중의 용존 가스만을 2차측으로 투과시켜서 제거하는 장치이다. 탈기막 장치(144)로서 구체적으로는 3M사 제조의 X50, X40, DIC사 제조의 Separel 등의 시판품을 사용할 수 있다. 탈기막 장치(144)는 과산화수소 제거 장치(6)의 처리수 중의 용존 산소를 제거하여 예를 들면, 용존 산소 농도(DO)가 1㎍/L 이하인 처리수를 생성한다.
비재생형 혼상식 이온 교환 수지 장치(145)는 양이온 교환 수지와 음이온 교환 수지가 혼합된 혼상식 이온 교환 수지를 갖고, 탈기막 장치의 처리수 중의 미량의 양이온 성분 및 음이온 성분을 흡착 제거한다. 또한, 비재생형 혼상식 이온 교환 수지 장치(145)에서도 수지의 열화에 따라 교환이 행해지지만, 비재생형 혼상식 이온 교환 수지 장치(145)에서는 양이온 교환 수지가 음이온 교환 수지와 거의 동량으로 혼합되기 때문에 악취 발생의 문제가 쉽게 생기지 않는다. 그 때문에 비재생형 혼상식 이온 교환 수지 장치(145)에서의 음이온 교환 수지는 상기 본 실시형태의 음이온 교환 수지를 사용하지 않아도 상관 없다.
비재생형 혼상식 이온 교환 수지 장치(145)가 갖는, 양이온 교환 수지로서 강산성 양이온 교환 수지나 약산성 양이온 교환 수지를 들 수 있고, 음이온 교환 수지로서 강염기성 음이온 교환 수지나 약염기성 음이온 교환 수지를 들 수 있다. 혼상식 이온 교환 수지의 시판품으로는 예를 들면, 노무라 마이크로 사이엔스사 제조, N-Lite MBSP, MBGP 등을 들 수 있다.
한외 여과막 장치(146)는 예를 들면, 입자 직경 50nm 이상, 바람직하게는 20nm 이상, 보다 바람직하게는 10nm 이상의 미립자를 제거하여 초순수를 제조한다. 초순수의 수질로는 예를 들면, 입자 직경 50nm 이상의 미립자 수가 50pcs./L 이하, 전체 유기 탄소(TOC) 농도가 1㎍C/L 이하, 저항률이 18MΩㆍcm 이상이다.
상기에서 설명한 실시형태의 음이온 교환 수지에 의하면, 염기성 음이온 교환 수지의, 트리메틸아민(TMA), 디메틸아민, 모노메틸아민 등의 아민류에 의한 악취를 현저하게 억제할 수 있다. 그 때문에 순수의 제조나 초순수의 제조 등의 수처리에 바람직하고, 예를 들면, 초순수 제조 시스템에서 사용한 경우에 수지 교환시의 악취를 현저하게 저감시킬 수 있다.
실시예
다음으로, 실시예에 대해 설명한다. 본 발명은 이하의 실시예에 한정되지 않는다.
(실시예 1)
내용량 2L의 폴리에틸렌제의 용기에 다우케미컬사 제조의 강염기성 음이온 교환 수지: DUOLITE AGP를 아황산으로 이온 교환하여 얻은 환원성 수지의 500g과 H형 양이온 교환 수지(다우케미컬 제조, DUOLITE CGP)의 5g을 수용하고, 상부 개구에 비닐을 씌우고, 덮개를 하여 밀폐하였다. 이것을 30일간 보관 후, 덮개를 벗기고, 가스 검지관(가스텍사 가스 검지관, 아민류(형번호: 180 또는 180L))을 비닐에 꽂고, 비커 내부의 기체 중의 아민류 농도를 측정하였다. 얻어진 측정값을 트리메틸아민 농도로서 환산하였다. 결과를 표 1에 나타낸다.
또한, 실시예 1의 수지를 500g 사용하여 역세 분리 시험을 행한 결과, H형 양이온 교환 수지의 대부분은 환원성 수지와 혼합된 채로 분리되지 않았다(역세 전개율 10％, 역세 시간 10분).
(실시예 2)
내용량 2L의 폴리에틸렌제의 용기에 다우케미컬사 제조의 강염기성 음이온 교환 수지: DUOLITE AGP의 500g과 H형 양이온 교환 수지(다우케미컬 제조, DUOLITE CGP)의 5g을 수용한 것 이외에는 실시예 1과 동일한 시험을 행하였다.
또한, 실시예 2의 수지를 500g 사용하여 역세 분리 시험을 행한 결과, 분리되었다(역세 전개율 10％, 역세 시간 10분).
(실시예 3)
내용량 2L의 폴리에틸렌제의 용기에 랑세스사 제조의 염기성 음이온 교환 수지에 팔라듐을 담지한 촉매 수지: 레바티트 K7333의 500g과 H형 양이온 교환 수지(다우케미컬 제조, DUOLITE CGP)의 5g을 수용한 것 이외에는 실시에 1과 동일한 시험을 행하였다.
또한, 실시예 3의 수지를 500g 사용하여 역세 분리 시험을 행한 결과, H형 양이온 교환 수지의 대부분은 촉매 수지와 혼합된 채로 분리되지 않았다(역세 전개율 10％, 역세 시간 10분).
(비교예 1)
폴리에틸렌제의 용기에 강염기성 음이온 교환 수지(다우케미컬사 제조의 DUOLITE AGP)만을 500g 수용한 것 이외에는 실시예 1과 동일한 시험을 행하였다.
(비교예 2)
폴리에틸렌제의 용기에 실시예 1과 동일한 환원성 수지만을 500g 수용한 것 이외에는 실시예 1과 동일한 시험을 행하였다.
(비교예 3)
폴리에틸렌제의 용기에 실시예 1과 동일한 환원성 수지의 500g과 Na형 양이온 교환 수지(다우케미컬사 제조, DUOLITE CGP를 Na형으로 이온 교환한 것)의 5g을 수용한 것 이외에는 실시예 1과 동일한 시험을 행하였다. 각 비교예의 결과를 실시예와 함께 표 1에 나타낸다.
또한, 비교예 3의 수지를 500g 사용하여 역세 분리 시험을 행한 결과, 깨끗하게 2층으로 분리되었다(역세 전개율 10％, 역세 시간 10분).
Figure pct00001
표 1에서 염기성 음이온 교환 수지(환원성 수지) 100질량부에 대해 1질량부의 H형의 양이온 교환 수지를 혼합한 실시예 1에서는 H형 양이온 교환 수지를 혼합하지 않는 비교예 1, 2나 염형 양이온 교환 수지를 혼합한 비교예 3에 비해 TMA로 대표되는 아민류의 악취의 발생을 효과적으로 억제할 수 있는 것을 알 수 있었다.
10: 초순수 제조 시스템, 11: 전처리부, 12: 1차 순수 제조부, 13: 탱크, 14: 2차 순수 제조부

Claims (5)

  1. 염기성 음이온 교환 수지와, 상기 염기성 음이온 교환 수지 100질량부에 대해 0.01질량부 이상 5질량부 미만의 H형 양이온 교환 수지를 혼합하여 이루어지는 악취를 억제한, 음이온 교환 수지.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 염기성 음이온 교환 수지와 상기 H형 양이온 교환 수지는 역세 분리되지 않는, 음이온 교환 수지.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 염기성 음이온 교환 수지에 팔라듐이 담지된 팔라듐 담지 수지를 포함하는, 음이온 교환 수지.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 염기성 음이온 교환 수지에 아황산기 및/또는 아황산 수소기를 갖는 환원성 수지를 포함하는, 음이온 교환 수지.
  5. 음이온 교환 수지에 피처리수를 통수하는 수처리 방법으로서,
    상기 음이온 교환 수지는 염기성 음이온 교환 수지와, 상기 염기성 음이온 교환 수지 100질량부에 대해 0.01질량부 이상 5질량부 미만의 H형 양이온 교환 수지를 혼합하여 이루어지는 악취를 억제한 음이온 교환 수지인, 수처리 방법.


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