KR20200098657A - 지지 부재, 도관 지지 장치 및, 그를 구비한 처리 장치 - Google Patents

Abstract

(과제) 본 발명은, 내구성이 우수한 지지 부재나 그를 포함하는 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
(과제를 해결하기 위한 수단) 본 발명의 지지 부재는, 탄성 부재와, 그 위에 형성된 복수의 블록 부재를 포함한다. 이 지지 부재는, 블록 부재의 단면이 서로 접촉하는 형상으로부터, 서로 이간하는 형상으로 변형 가능하다. 탄성 부재는, 블록 부재의 저면에 고정됨으로써 변형이 규제된 고정 영역을 포함하고, 지지 부재는, 탄성 부재의 고정 영역의 근방의 위치에 있어서의 굴곡을 억제하는 굴곡 억제 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

지지 부재, 도관 지지 장치 및, 그를 구비한 처리 장치

본 발명은, 도관(conduit)과 일체화되어, 그 도관을 지지하는 도관 지지 장치에 관한 것으로, 예를 들면 기계 가공 라인, 반도체 제조 장치, 플랫 패널 디스플레이 등의 표시 기기 제조 장치, 혹은, 전자 부품 실장 장치 등의 각종의 처리 장치에 조입된 로봇 주행 장치 등에 이용되는 도관을 지지하는 지지 부재, 도관 지지 장치 및, 그를 구비한 처리 장치에 관한 것이다.

기계 가공 라인, 반도체 제조 장치, 표시 기기 제조 장치, 전자 부품 실장 장치 등의 각종 처리 장치에는, 가공재, 웨이퍼, 기판 등의 워크(workpieces)를 파지하여 반송하기 위한 로봇 주행 장치가 조입(incorporation)되어 있다. 로봇 주행 장치는, 궤도 상을 왕복 이동하는 주행 대차(臺車)에, 예를 들면 워크를 핸들링하는 로봇이 탑재되어 있다. 이 로봇의 아암의 핸드를 동작시킴으로써, 워크를 핸드에 파지시켜, 당해 워크를 각 가공 기계에 착탈할 수 있다.

이러한 로봇 주행 장치의 주행 대차에는, 전기 에너지나, 전기나 빛 등의 신호를 전달하는 케이블이나, 기체 또는 액체를 수송하거나, 혹은, 기체 또는 액체를 통하여 압력을 전달하는 튜브(이하, 이들 케이블 및 튜브를 포함하여 「도관」이라고 함)가 접속된다. 반복 왕복 이동을 하여 그 위치가 변화하는 주행 대차에 대하여, 도관의 안정적인 접속을 유지할 필요가 있다. 이 때문에, 일정 길이의 도관을, 서로 대향하는 2개의 직선부와 그들을 잇는 만곡부로 이루어지는 U자형으로 만곡시켜 지지하고, 주행 대차의 위치에 따라서 대향하는 직선부의 길이를 변화시킴으로써, 도관의 안정적인 접속을 유지하는 도관 지지 장치가 이용된다. 이러한 지지 장치는, 주행 대차의 위치가 변화하는 과정에 있어서도, 도관의 곡률 반경을 일정 이상으로 유지할 수 있다. 이에 따라, 도관에 의한 전달 특성이나 수송성을 확보하고, 또한, 도관의 파손을 막을 수 있다.

그러한 U자형으로 굴곡 가능한 도관 지지 장치가, 특허문헌 1에 기재되어 있다. 이 특허문헌 1에 기재된 도관 지지 장치는, 가요성 재료와, 당해 가요성 재료에 부착된 비(非)연동 고형물을 구비하는 지지 부재를 포함한다. 가요성 재료는 예를 들면, 스테인리스강이나 스프링강으로 구성되고, 비연동 고형물은 예를 들면, 고(高)내압축성을 갖는 금속 재료나 수지 재료로 구성된다. 이 지지 부재는, 비연동 고형물이 서로 접촉함으로써, 어느 방향으로의 굽힘은 제한되고, 한편, 비연동 고형물이 서로 떨어짐으로써 반대의 방향으로의 만곡이 가능한 구성을 갖는다. 이에 따라, 고도의 가요성, 저기계적 소음, 작은 굽힘 반경, 장수명 및 실질적으로 입자 형상물의 발생이 없는 지지 부재를 제공할 수 있다고 한다.

일본특허 제4157096호

그러나, 본원 발명의 발명자들은, 특허문헌 1에 기재된 도관 지지 부재에서는, 일정 이상의 기간의 사용에 의해, 혹은, 일정 이상의 횟수의 왕복 운동에 의해, 가요성 재료가 파손할 우려가 있는 것을 발견했다. 사용 중에 가요성 재료가 파손하면 지지 부재로서의 기능을 잃어, 실시 중의 처리가 적절히 행해지지 않을 뿐만 아니라, 도관이 파손하여, 도처리(being processed) 중의 피처리물의 품질을 해치거나, 발진 등에 의한 주변 분위기의 오염 등으로 이어질 우려가 있다.

본 발명은, 상기와 같은 과제를 감안하여 이루어진 것으로써, 그 목적은, 신뢰성이 우수한 도관의 지지 부재, 도관 지지 장치, 처리 장치를 제공하는 것이다.

상기 과제를 해결하기 위해, 본원 청구항에 기재된 발명의 지지 부재는, 제1 면을 갖고, 제1 방향으로 연신하는 탄성 부재와, 상기 탄성 부재에 고정되고, 상기 탄성 부재의 제1 면과 대향하는 저면 및 상기 제1 방향과 교차하는 단면(端面)을 각각 갖는 복수의 블록 부재를 구비한 지지 부재로서, 상기 지지 부재는, 상기 복수의 블록 부재의 상기 단면이 서로 접한 제1 형상으로부터, 상기 복수의 블록 부재의 상기 단면이 서로 이간하고, 상기 탄성 부재의 제1 면을 외측으로 하는 방향으로 만곡한 제2 형상으로 변형 가능하고, 상기 탄성 부재는, 상기 블록 부재의 저면에 고정됨으로써 변형이 규제된 제1 영역을 포함하고 있고, 상기 지지 부재는, 상기 탄성 부재의 상기 제1 영역의 근방의 위치에 있어서의 굴곡의 발생을 억제하는 굴곡 억제 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본원 청구항에 기재된 발명의 지지 부재는, 제1 면을 갖고, 제1 방향으로 연신하는 탄성 부재와, 상기 탄성 부재에 고정되고, 상기 탄성 부재의 제1 면과 대향하는 저면 및 상기 제1 방향과 교차하는 단면을 각각 갖는 복수의 블록 부재를 구비한 지지 부재로서, 상기 지지 부재는, 상기 복수의 블록 부재의 상기 단면이 서로 접한 제1 형상으로부터, 상기 복수의 블록 부재의 상기 단면이 서로 이간하고, 상기 탄성 부재의 제1 면을 외측으로 하는 방향으로 만곡한 제2 형상으로 변형 가능하고, 상기 탄성 부재는, 상기 블록 부재의 저면에 고정됨으로써 변형이 규제된 제1 영역과, 상기 제1 형상에 있어서 상기 블록 부재의 저면과 접하고, 상기 제2 형상에 있어서 상기 블록 부재의 저면으로부터 이간하는 제2 영역을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 탄성 부재의 전체 길이에서 차지하는, 상기 탄성 부재의 제1 영역의 합계 길이의 비율은, 75％ 이하인 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 탄성 부재는, 상기 제1 형상에 있어서 상기 블록 부재의 저면과 이간하고 있고, 또한, 상기 제2 형상에 있어서 상기 블록 부재의 저면과 이간하고 있는, 제3 영역을 추가로 포함하고 있고, 상기 제2 영역과 상기 제3 영역과의 합계 길이에서 차지하는, 상기 제2 영역의 비율은, 10％ 이상인 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 탄성 부재는, SUS301 또는 SUS304를 포함하고, 두께가 0.1㎜ 이상인 판 형상의 부재인 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 블록 부재는, 필러(filler)를 포함하지 않는 상태에서 1000㎫ 이상의 압축 탄성률을 갖는 고분자 재료로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

또한, 본원 청구항에 기재된 발명의 지지 부재는, 복원력을 구비하고, 제1 면을 갖고, 제1 방향으로 연신하는 탄성 부재와, 상기 탄성 부재에 고정되고, 상기 탄성 부재의 제1 면과 대향하는 저면 및 상기 제1 방향과 교차하는 단면을 각각 갖는 복수의 블록 부재를 구비한 지지 부재로서, 상기 지지 부재는, 상기 복수의 블록 부재의 상기 단면이 서로 접한 제1 형상으로부터, 상기 복수의 블록 부재의 상기 단면이 서로 이간하고, 상기 탄성 부재의 제1 면을 외측으로 하는 방향으로 만곡한 제2 형상으로 변형 가능하고, 상기 탄성 부재는, 상기 블록 부재의 저면에 고정됨으로써 변형이 규제된 복수의 고정 영역과, 상기 제2 형상에 있어서 만곡이 가능한 복수의 변형 가능 영역을 구비하고, 상기 탄성 부재의 전체 길이에서 차지하는, 상기 복수의 고정 영역의 합계 길이의 비율은 75％ 이하이고, 상기 지지 부재는, 상기 지지 부재의 최소 곡률 반경을 규정하는 최소 곡률 반경 규정부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 복수의 블록 부재는, 제1 블록 부재와, 상기 제1 블록 부재에 인접하는 제2 블록 부재를 포함하고, 상기 최소 곡률 반경 규정부는, 상기 제1 블록 부재에 형성된 제1 맞닿음면과, 상기 제2 블록 부재에 형성되고, 상기 지지 부재의 만곡에 의해, 상기 제1 블록 부재와 상기 제2 블록 부재와의 사이의 거리가 소정의 크기로 되었을 때에, 상기 제1 맞닿음면과 접하는 제2 맞닿음면을 포함하는 것을 특징으로 한다.

이에 따라, 내구성이 우수한 도관의 지지 부재, 도관 지지 장치, 처리 장치가 제공된다.

도 1은 본 발명의 지지 부재의 제1 실시예를 개념적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 지지 부재의 블록 부재의 부착부를 개념적으로 설명하는 도면이다.
도 3은 본 발명의 지지 부재의 제2 실시예를 개념적으로 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 지지 부재의 제3 실시예를 개념적으로 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 지지 부재의 제4 실시예를 개념적으로 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 지지 부재의 제5 실시예를 개념적으로 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 지지 부재의 제6 실시예를 개념적으로 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 지지 부재의 제7 실시예를 개념적으로 나타내는 도면이다.
도 9는 본 발명의 지지 부재의 제8 실시예를 개념적으로 나타내는 도면이다.
도 10은 본 발명의 지지 부재의 제조 방법을 설명하는 도면이다.
도 11은 본 발명의 지지 부재의 제조 방법을 설명하는 도면이다.
도 12는 본 발명의 지지 부재의 제9 실시예를 개념적으로 나타내는 도면이다.
도 13은 본 발명의 지지 부재의 제10 실시예를 개념적으로 나타내는 도면이다.
도 14는 본 발명의 지지 부재의 제11 실시예를 개념적으로 나타내는 도면이다.
도 15는 본 발명의 지지 부재의 제11 실시예의 블록 부재를 개념적으로 나타내는 도면이다.
도 16은 본 발명의 지지 부재의 제11 실시예의 블록 부재를 개념적으로 나타내는 단면도이다.
도 17은 본 발명의 지지 부재의 제12 실시예를 개념적으로 나타내는 도면이다.
도 18은 본 발명의 지지 부재의 제12 실시예의 블록 부재를 개념적으로 나타내는 도면이다.
도 19는 본 발명의 지지 부재의 제12 실시예의 블록 부재를 개념적으로 나타내는 단면도이다.
도 20은 본 발명의 지지 부재의 제13 실시예를 개념적으로 나타내는 도면이다.
도 21은 본 발명의 지지 부재의 제13 실시예를 개념적으로 나타내는 도면이다.
도 22는 본 발명의 도관 지지 장치를 개념적으로 나타내는 단면도이다.
도 23은 본 발명의 처리 장치를 개념적으로 나타내는 도면이다.
도 24는 종래의 지지 부재를 나타내는 도면이다.

(발명을 실시하기 위한 형태)

이하, 본원 청구항에 기재된 발명에 따른 도관 지지 부재 및 도관 지지 장치의 실시 형태에 대해서 설명한다. 또한, 이하에 설명하는 실시 형태는 청구 범위에 따른 발명을 한정하는 것이 아니고, 또한 실시 형태 중에서 설명되어 있는 특징의 조합의 모두가 발명의 해결 수단에 필수라고는 한정하지 않는다. 또한, 각각의 실시예에 있어서의 각각의 실시 형태는, 본 발명의 기술적인 의의를 잃지 않는 범위에서 자유롭게 조합해도 좋다.

본원 청구항에 기재된 발명의 지지 부재는, 탄성 부재와, 개(槪)탄성 부재의 상면에 배열 고정되고, 단면을 갖는 복수의 블록 부재를 갖는다. 개지지 부재의 각 블록 부재는, 각각의 단면이 인접하는 다른 블록 부재의 단면과 서로 접촉함으로써, 개지지 부재의 직선 형상(제1 형상)을 구성한다. 개지지 부재의 각 블록 부재는, 각각의 단면이 인접하는 다른 블록 부재의 단면과 이간함으로써 개지지 부재의 만곡 형상(제2 형상)을 구성한다. 탄성 부재는, 블록 부재의 저면에 고정되어 변형이 규제된 고정 영역(제1 영역)을 포함한다. 개지지 부재는, 탄성 부재의, 개고정 영역의 근방에 있어서의 굴곡의 발생을 억제하는 굴곡 억제 수단을 포함한다. 이러한 구성을 구비함으로써, 신뢰성이 우수한 도관의 지지 부재, 도관 지지 장치, 처리 장치가 제공된다.

지지 부재 CG는, 탄성 부재 EE와, 그의 상면에 배열된 복수의 블록 부재 BE를 구비한다. 도 1은, 본 발명의 제1 실시예에 있어서의 지지 부재를 개념적으로 나타내는 도면으로, (a)는 지지 부재를 상면에서 본 도면, (b) 및 (c)는, (a)의 X-X의 위치에 있어서의 지지 부재의 단면도이다. (a)에 있어서 탄성 부재 EE는, 실제로는 블록 부재 BE에 의해 가려져 보이지 않는 상태에 있지만, 설명을 위해 2개의 파선에 의해 탄성 부재 EE의 폭을 나타내고 있다. (b)는 지지 부재 CG가 직선 형상에 있을 때를 나타낸 도면이고, (c)는 지지 부재가 만곡 형상에 있을 때를 나타낸 도면이다. 상세는 후술하지만, 도관 지지 장치에 있어서는, 본 지지 부재를 따라 도관이 형성되고, 도관 지지 장치에 있어서 도관의 형상은, 본 지지 부재의 형상에 의해 규제된다.

탄성 부재 EE는 가요성을 갖는 벨트 형상의 장척 부재이다. 탄성 부재 EE는, 도 1에 있어서의 좌우 방향(제1 방향)으로 연신하고, 그 판두께 방향으로 만곡이 가능하다. 이에 따라, 탄성 부재 EE 및 지지 부재 CG는, 알파벳의 U자 형에 있어서의, 직선부와 만곡부의 양쪽의 형상을 취할 수 있다. 또한, 탄성 부재 EE는, 단순히 가요성을 가질 뿐만 아니라, 자중, 블록 부재 및, 도관의 중량을 지지 가능한 크기의 굽힘 탄성률을 갖는다. 이에 따라, 이들 중량에 의한 힘이 탄성 부재 EE에 가해진 경우에 있어서도, U자의 만곡부에 해당하는 위치의 곡률 반경 R을 일정 이상의 값으로 유지하는 것이 가능해져, 도관이 꺾이거나 찌그러지거나 하는 것을 막을 수 있다.

탄성 부재 EE의 가요성과 굽힘 탄성률은, 적용 재료의 종류, 적용 부재의 두께, 단면 형상 등에 의해 조정해도 좋다. 예를 들면 탄성 부재는, 곡률 반경 100㎜의 만곡 형상과 직선 형상과의 사이를 10000회의 굴신(stretched and deformed) 변형을 해도 파단이 생기지 않는 가요성을 구비하는 것이 바람직하다. 또한, 탄성 부재는, 길이 100㎜의 외팔보 구조에서, 자중에 의한 휨량이 50㎜ 이하, 바람직하게는 30㎜ 이하가 되도록 하는 굽힘 탄성률을 구비하는 것이 바람직하다. 지지 부재 CG는, 탄성 부재 EE를 아래, 복수의 블록 형상 부재 BE를 위로 했을 때, 길이 100㎜의 외팔보 구조에 있어서, 자중에 의한 휨량이 50㎜ 이하인 휨량이 되도록 하는 굽힘 탄성률을 구비하는 것이 특히 바람직하다.

또한, 탄성 부재 EE는 곡률 반경 30㎜ 이하에서는 소성 변형하는 구성으로 해도 좋다. 탄성 부재나 지지 부재의 내구성의 관점에서는 탄성 변형역이 넓은 쪽이 좋다. 그러나 도관은 일정 이하의 곡률 반경이 됨으로써 불가역적으로 특성이 변화하는 경우가 있다. 도관 지지 장치 CU의 사용 중에 도관의 불가역적인 특성 변화를 수반하는 바와 같은 변화가 생긴 경우에, 소성 변형을 일으키는 탄성 부재 EE로 함으로써, 도관의 특성 변화를 조기에 발견하는 것 가능해져, 도관 지지 장치 CU의 수리나 교환 등의 처치를 촉진할 수 있다.

혹은, 탄성 부재 EE는, 곡률 반경 15㎜ 이하에서 소성 변형하는 구성으로 해도 좋고, 곡률 반경 5㎜ 이하에서 파단이 생기는 구성으로 해도 좋다.

탄성 부재 EE의 재료로서는, 고분자 재료나 금속 재료를 적용할 수 있다. 예를 들면, 폴리아미드 등의 수지라도 좋고, 혹은, 스테인리스강, 탄소강 등의 철을 포함하는 합금, 인 청동, 베릴륨동 등의 구리 합금이라도 좋다. 일반적으로 판스프링으로서 사용되는 재료를 적용함으로써, 굽힘에 의한 소성 변형을 억제할 수 있다. 일 예로서 탄성 부재 EE로서는 SUS301 또는 SUS304로 이루어지고, 두께 0.1㎜ 이상 또한 0.4㎜ 이하의 판 형상의 부재를 적용할 수 있다.

또한, 탄성 부재 EE를 금속 또는 도체분(conductive powder)을 분산시킨 고분자 재료 등의, 도체 재료로 구성해도 좋다. 예를 들면 도전성의 탄성 부재의 적어도 일단을 접지시킴으로써, 지지 부재의 대전이나, 그에 따른 도관으로의 전기적인 영향을 작게 할 수 있다.

탄성 부재는 스프링으로서의 성질을 갖고 있다. 즉, 탄성 부재는 복원력을 갖고 있어, 외력에 의해 변형하지만, 그 외력이 없어지면, 원래의 형상으로 되돌아온다. 또한, 외력이 커질수록, 변형량도 커지고, 변형량이 커질수록 생기는 복원력도 커진다. 이 성질을 갖는 탄성 부재는, 축과 베어링과 같은 구조를 필요로 하지 않고, 단순한 구성으로 형상 변화가 가능한 지지 부재의 구성을 가능하게 한다. 또한, 극단적으로 작은 굽힘 R을 갖는 영역을 포함하는 일 없이, 비교적 큰 굽힘 R을 갖는 영역만으로, 지지 부재의 만곡 형상을 구성할 수 있기 때문에, 만곡 시에 도관 등에 가해지는 물리적인 스트레스를 경감하는 것이 가능해진다.

블록 부재 BE는 압축 탄성률이 큰 재료를 포함하고, 탄성 부재 EE의 상면에 강고하게 고정된 고형물이다. 블록 형상 부재 BE의 재료로서는, 예를 들면, 액정 폴리머(LCP), 폴리아세탈(POM), 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 폴리부틸렌테레프탈레이트(PBT) 등의 고분자 재료를 이용할 수 있다. 또한, 고분자 재료에 유리 필러를 혼합함으로써 압축 탄성률을 높게 할 수 있다. 또한, 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE)을 혼합함으로써 저마찰로 해도 좋다. 혹은, 알루미늄이나 철, 혹은 그들을 포함하는 합금 등의 금속 재료나 목제 재료 등도 사용 가능하다.

고분자 재료로서는, 필러를 포함하지 않는 상태에서 1000㎫ 이상의 압축 탄성률을 갖는 재료가 바람직하고, 4000㎫ 이상의 압축 탄성률을 갖는 재료가 특히 바람직하다. 필러를 포함하는 상태에서, 6000㎫ 이상의 압축 탄성률을 갖는 재료가 바람직하고, 20000㎫ 이상의 압축 탄성률을 갖는 재료가 더욱 바람직하다. 블록 부재 BE로서는, 큰 압축 탄성률을 가질 뿐만 아니라, 경량인 것이 적합하고, 특히, 사출 성형된 고분자 재료의 경화물, 금속판이나 그를 굽힘 가공한 것을 용접한 것, 또는, 이들을 조합한 것 등이 적합하다. 본 실시예에 있어서, 블록 부재는 사출 성형에 의해 얻어진, 유리 강화된 폴리아미드의 경화물이 적용된다.

본 실시예에 있어서, 복수의 블록 부재 BE는, 각각, 동일한 형상 및 동일한 크기 갖고 있다. 이들 복수의 블록 부재는, 탄성 부재 EE 상에, 일직선상으로 배열되어, 부착되어 있다. 각각의 블록 부재는, 탄성 부재 EE 상에 동일한 방향으로 부착되고, 또한, 동일한 간격으로 부착된다.

도 1(a) 및 도 1(b)를 이용하여, 직선 형상에 있는 지지 부재 CG를 설명한다. 탄성 부재 EE의 상면 EUS에는, 복수의 블록 부재 BE가 탄성 부재 EE의 길이 방향(제1 방향)을 따라 배열된다. 도 1에 있어서, 3개의 블록 부재만이 도시되어 있지만, 블록 부재의 수는, 적어도 지지 부재 CG가 직선부와 만곡부를 포함하는 U자형을 형성 가능한 수만큼 있으면 좋고, 또한, 지지 부재의 요구되는 길이(도관 지지 장치가 요구되는 이동 거리에 의해 정해짐)에 따라서 수십에서 수천을 초과하는 수까지, 적절히 결정하면 좋다.

각각의 블록 부재 BE는 일단과 타단을 포함하는 단면 BES와, 탄성 부재 EE의 상면 EUS와 대향하는 저면 BBS와, 저면과 반대의 면인 상면 BUS를 포함한다. 저면 BBS는 탄성 부재 EE의 상면 EUS와 접촉하는 접촉부 BCP와, 상기 상면 EUS로부터 소정 거리 이간한 릴리프부 BEP를 포함한다. 한편으로, 탄성 부재 EE의 상면 EUS는, 상기 접촉부 BCP와 접촉하는 영역인 접촉 영역 ECR을 포함한다.

직선 형상에 있을 때, 복수의 블록 부재 BE의 단면 BES는, 인접하는 다른 블록 부재 BE의 단면 BES와 서로 접촉하고 있다. 이에 따라, 지지 부재 CG는, 블록 부재 BE를 내측으로 하는 방향의 만곡(이하, 이와 같이 탄성 부재의 위에 블록 부재가 있을 때, 아래로 볼록해지는 방향의 만곡을 계곡 휨(valley warp), 위로 볼록해지는 방향의 만곡을 산휨(mountain warp)이라고 함)이 제한된다. 즉, 계곡 휨을 발생시키는 방향의 응력(예를 들면 지지 부재나 도관의 무게에 의한 중력)이 작용하는 경우라도, 지지 부재 CG 및 그를 포함하는 지지 장치는 직선 형상을 유지할 수 있다.

또한, 여기에서 직선 형상이란 반드시 완전한 직선을 따르지 않아도 좋고, 예를 들면, 자중에 의한 탄성 변형을 포함하지 않는 상태에서, 약간 산 휨 방향의 만곡(예를 들면 곡률 반경이 800㎜ 이상, 바람직하게는 1000㎜ 이상)을 갖고 있어도 좋다.

또한, 단면 BES는, 반드시 블록 부재의 중심 위치로부터 가장 먼 위치에 있는 면이 아니어도 좋다. 예를 들면, 블록 부재가, 블록 부재의 단면보다 외측으로 연신하는 돌출 형상 영역을 구비하고 있어도 좋다.

각각의 블록 부재 BE의 단면끼리가 이간함으로써, 탄성 부재 EE의 탄성 변형의 범위 내에서, 산 휨의 형성이 가능해진다(도 1(c) 참조). 이때, 탄성 부재 EE의 접촉 영역 ECR에는, 블록 부재의 접촉부 BCP와의 접촉을 유지하는 고정 영역 ECR1과, 블록 부재의 접촉부 BCP와 이간하는 반(半)고정 영역 ECR2가 형성된다. 보는 방법을 달리 하면, 탄성 부재 EE의 반고정 영역 ECR2는, 어느 방향으로의 만곡은 블록 부재의 저면과의 접촉에 의해 규제되지만, 상기 어느 방향과는 반대의 방향으로는 만곡 가능하게 구성되어 있다.

이러한 구성을 가짐으로써, 본 실시예에 있어서의 지지 부재 CG는, 굴곡이 억제되어, 높은 내구성을 제공할 수 있다. 내구성이 향상하는 이유를, 종래 기술을 이용하여 설명한다. 도 24는 특허문헌 1의 도 2에 나타난 지지 부재(10)로, 가요성 재료(12) 위에 복수의 비연동 고형물(14)이 부착되어 있다. 이 지지 부재(10)에 있어서 가요성 재료(12)는, 비연동 고형물(14)이 부착되어 변형이 규제된 영역(이하, 「변형 규제 영역」이라고 함)과, 비연동 고형물의 부착이 없고 자유롭게 변형 가능한 영역(이하, 「자유 변형 영역」이라고 함)의 2개로 구성되어 있다. 이러한 구성에 있어서 지지 부재(10)가 산 휨 방향의 만곡을 할 때, 그 만곡 형상은 한정된 길이밖에 없는 자유 변형 영역만에 의해 구성되게 된다. 이 때문에, 가요성 재료(12)에는, 자유 변형 영역에 있어서, 특히 자유 변형 영역의 단부에 있어서, 국소적으로 급격한 굽어짐이 생기게 된다.

이하, 구별을 위해, 일정수(예를 들어 10개) 이상의 수의 비연동 고형물(블록 부재)을 포함하는 길이에 걸쳐, 탄성 부재가 형성하는 거시적인 굽어짐을 만곡이라고 하고, 비연동 고형물의 부착부 이외의 위치 등에 있어서 국소적으로 발생하는 탄성 부재의 미시적인 굽어짐을 굴곡이라고 한다. 만곡의 곡률 반경보다 굴곡의 곡률 반경 쪽이 작고, 즉, 급격한 굽어짐 형상을 갖고 있어, 굴곡의 발생은, 탄성 부재를 파단시키거나, 탄성 부재의 피로나 열화를 가속한다. 특히, 탄성 부재가 전술한 바와 같은 소정의 굽힘 탄성률을 갖는 경우나, 복원력을 갖는 경우에 있어서는, 국소적으로 작은 곡률 반경을 갖는 굴곡이 발생해 버리면, 탄성 부재의 신뢰성에 큰 영향을 주는 경우가 있다.

이 과제를 발견한 본원 발명의 발명자들은, 우선, 변형 규제 영역을 작게 하여, 자유 변형 영역을 크게 취함으로써, 굴곡의 발생을 억제하는 것을 생각했다. 또한, 예를 들면 가요성 재료와 비연동 고형물과의 사이에, 비연동 고형물보다 탄성률이 작은 엘라스토머를 형성함으로써, 비연동 고형물이 부착된 영역에 있어서도 가요성 재료의 굽어짐을 발생시키는 것을 검토했다. 그러나, 실험이나 검토의 결과, 이들 방법에서는, 새로운 과제가 생길 우려가 있는 것을 발견했다.

처리 장치 내에서 도관 지지 장치를 이용했을 때, 지지 부재의 비연동 고형물에는, 가요성 재료가 연신하는 방향에 평행한 방향의 큰 힘이 가해지는 경우가 있다. 예를 들면 지지 부재의 U자의 형태에 있어서의 직선 형상부의 단부이고, 만곡 형상부에 인접하는 위치의 비연동 고형물은, 직선 형상부측의 일단은 인접하는 다른 비연동 고형물과 접촉하여, 그 비연동 고형물보다 압력이 가해지는 한편으로, 만곡 형상부측의 타단은 또 하나의 인접하는 비연동 고형물과는 접촉하지 않는다. 이 때문에, 이 비연동 고형물에는, 직선 형상부측으로부터, 만곡 형상부측으로 향하는 방향의 큰 응력이 가해지는 경우가 있다. 혹은, 도관 지지 장치가 고속으로 변형할 때에, 순간적인 지지 장치의 형상의 왜곡에 의해, 특정의 비연동 고형물에 가요성 재료가 연신하는 방향의 응력이 가해질 우려도 있다.

이때, 상기와 같이 변형 규제 영역을 작게 한 지지 부재나, 가요성 재료와 비연동 고형물과의 사이에 엘라스토머를 형성한 지지 부재에 있어서는, 비연동 부재가 용이하게, 또한, 크게 기울어 버린다. 크게 기울어진 비연동 고형물은, 그 부착부 근방의 인접하는 위치의 가요성 재료에 굴곡을 일으키게 하는 경우가 있다. 나아가서는 인접하는 다른 비연동 고형물로의 올라탐, 혹은, 파고듦이 발생하는 경우가 있다. 이러한 경우도, 그들 비연동 고형물의 부착부 근방의 인접하는 위치의 가요성 재료에 굴곡을 일으키게 하는 경우가 있다.

이에 대하여, 본원 발명의 지지 부재는, 탄성 부재가 반고정 영역 ECR2를 구비한다. 이 영역은, 탄성 부재 EE의 산 휨 방향의 만곡을 규제하지 않는다. 이 때문에, 산 휨 방향의 만곡에 대하여, 고정 영역을 축소한 경우와 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다. 또한, 이 반고정 영역 ECR2는, 고정 영역을 축소한 경우라도, 탄성 부재 EE에 대한 블록 부재 BE의 기울기를 억제할 수 있다. 이에 따라, 굴곡의 발생이 억제되어, 내구성이 크게 향상된 지지 부재가 제공된다.

또한, 직선 형상에 있어서는, 블록 부재 BE와 탄성 부재 EE와의 접촉 면적을 크게 할 수 있기 때문에, 계곡 휨 방향으로의 만곡에 대한 내력도 크게 할 수 있다. 이에 따라, 큰 이동 거리를 갖는 처리 장치로의 적용도 가능해진다.

본 실시예에 있어서, 고정 영역 ECR1은 2개의 반고정 영역 ECR2의 사이의 위치에 형성되어 있다. 고정 영역 ECR1 및 2개의 반고정 영역 ECR2는, 지지 부재 CG가 직선 형상에 있을 때를 포함하여 블록 부재와 탄성 부재의 접촉이 없는 2개의 릴리프부 BEP의 사이의 위치에 형성되어 있다. 이와 같이, 고정 영역으로부터, 단계적으로 탄성 부재의 변형의 규제를 작게 하는 구성으로 함으로써, 매끄러운 동작이 가능하고 또한 내구성이 우수한 지지 부재를 얻을 수 있다. 또한 고정 영역을 중심으로 하여 대칭 구조로 되어 있다. 이와 같이 함으로써, 고속 동작 시라도 진동이 억제되어, 안정적인 동작을 얻을 수 있다. 단, 배열은 이에 반드시 한정되지 않고, 예를 들면, 릴리프부 BEP를 형성하지 않고, 어느 블록 부재의 반고정 영역과, 인접하는 블록 부재의 반고정 영역을 인접시켜도 좋다. 혹은 탄성 부재 EE의 상면 EUS에 있어서, 블록 부재의 접촉부 BCP와 대향하는 영역 내에 있어서의 한쪽의 측에 고정 영역을 형성하고, 다른 한쪽의 측에 반고정 영역을 형성한 구성으로 해도 좋다.

또한, 고정 영역에 있어서의 탄성 부재는, 그 고정 영역이 접촉하는 블록 부재의 저면에 대하여, 상대적인 위치 및 형상이 고정되어 있으면 좋다. 예를 들면, 고정 영역에 있어서, 탄성 부재가 엄밀한 직선 형상일 필요는 없고, 만곡한 형상으로 고정된 경우는, 그 만곡 형상이 유지되면 좋다.

탄성 부재의 길이 방향에 있어서, 탄성 부재의 전체 길이에서 차지하는, 복수의 고정 영역의 합계 길이의 비율은 75％ 이하인 것이 바람직하고, 50％ 이하로 하는 것이 더욱 바람직하고, 45％ 이하로 하는 것이 특히 바람직하다. 이러한 지지 부재는, 만곡 시에, 탄성 부재의 변형이 가능한 영역(반고정 영역 및/또는 릴리프부에 대향하는 영역)을, 일정 이상의 길이에 걸쳐 확보할 수 있다. 한편으로, 극단적으로 고정 영역을 작게 하면, 블록 부재의 부착 강도나 블록 부재의 기울기 방지 특성의 확보가 어려워지기 때문에, 탄성 부재의 전체 길이에서 차지하는 고정 영역의 길이의 비율은, 15％ 이상으로 하는 것이 바람직하다.

또한, 탄성 부재의 고정 영역 이외의 영역, 즉, 지지 부재의 만곡 시에 변형이 가능한 영역 중, 반고정 영역이 차지하는 비율은, 10％ 이상으로 해도 좋고, 바람직하게는 30％ 이상이고, 특히 바람직하게는 70％ 이상이다.

또한, 상기의 비율을 구하는 데에 있어서, 탄성 부재의 전체 길이로서는, 반드시 지지 부재에 포함되는 탄성 부재의 일단에서 타단까지의 모든 길이일 필요는 없고, 예를 들면 1m 등의 블록 부재의 전체 길이에 대하여 충분한 길이를 취출하여 탄성 부재의 전체 길이라고 간주해도 좋다. 특히, 지지 부재에 있어서, 블록 부재가 동일 형상의 반복으로 이루어지는 경우, 반복 패턴의 길이의 정수배의 길이를 취출함으로써, 탄성 부재의 전체 길이라고 간주해도 좋다.

탄성 부재의 적어도 변형이 가능한 영역은, 탄성 부재의 길이 방향에 있어서, 균일한 굽힘 탄성을 갖고 있다. 이러한 구성은, 예를 들면, 길이 방향에 걸쳐, 동일한 폭과 두께를 갖는 판스프링에 의해 제공된다.

도 2는, 본 발명의 제1 실시예에 있어서의 지지 부재의 부착부를 개념적으로 나타내는 도면이다. 도 2(a)는 측면도, 도 2(b)는 탄성 부재 EE의 하면의 측에서 본 도면, 도 2(c)는, 도 2(b)의 Y-Y의 위치에 있어서의 단면도, 도 2(d)는, 도 2(b)의 Z-Z의 위치에 있어서의 단면도이다.

본 실시예에 있어서, 블록 부재 BE는, 탄성 부재 EE의 하면측에 형성되는 하면측 지지부 BLS를 포함한다. 이 하면측 지지부는, 블록 부재의 저면 BBS의 접촉부 CP와 함께 탄성 부재 EE를 협지함으로써, 블록 부재를 탄성 부재에 부착하는 기능을 갖는다. 하면측 지지부 BLS와 블록 부재의 본체부는, 접속 수단을 통하여 상호 위치가 고정된다. 하면측 지지부 BLS는, 블록 부재 BE와 동일한 재료로 일체로 구성된 것이라도 좋고, 블록 부재 BE와 상이한 재료로 구성되어도 좋다. 하면측 지지부 BLS와 블록 부재 BE의 접속 수단은, 탄성 부재 EE 외의 영역에 형성되어도 좋고 및/또는 탄성 부재 EE에 형성된 관통공을 통하여 형성되어도 좋다. 접속 수단은, 블록 부재 BE 및/또는 하면측 지지부 BLS와 동일한 재료로 일체로 구성되어 있어도 좋고, 혹은, 나사나 리벳 등 다른 재료로 구성되어 있어도 좋다.

하면측 지지부는 그의 면적 및 형상이 중요해진다. 하면측 지지부가 형성된 영역에 있어서는, 예를 들면 후술하는 형태의 경우를 제외하고, 탄성 부재의 만곡이 규제된다. 이 때문에, 반고정 영역의 형성을 위해서는, 저면에서 보아, 하면측 지지부의 크기가, 탄성 부재의 상면측의 블록 부재 BE와의 접촉부 BCP의 크기 비교하여, 충분히 작고, 또한, 반고정 영역을 적절한 위치에 형성 가능한 것이 필요하다.

또한, 도 2(b)에 나타내는 바와 같이, 복수의 접속 수단을 탄성 부재 EE의 길이 방향(제1 방향)에 수직인 방향으로 배열함으로써, 반고정 영역의 크기와, 접속 강도의 크기를 양립할 수 있다. 접속 수단의 수는 도면과 같은 2개에 한정되지 않고, 3개 이상이라도 좋고, 2단이나 지그재그로 배치해도 상관없다. 평면에서 볼 때에 있어서의 형상도 원형에 한정되지 않고, 제1 방향에 수직인 방향으로 길이 방향을 갖는 타원이나 장방형이라도 좋다. 혹은 제1 방향에 평행한 방향으로 길이 방향을 갖는 복수의 타원 또는 장방형을, 제1 방향에 수직인 방향으로 배열해도 좋다.

상기와 같이 탄성 부재에 관통공을 형성할 때, 이들 형성 영역에 가까운 영역의 탄성 부재의 폭(탄성 부재의 길이 방향에 평행한 탄성 부재의 2개의 변의 사이의 거리)을, 다른 영역의 탄성 부재의 폭보다 크게 해도 좋다(도시하지 않음). 혹은, 하면측 지지부의 윤곽 위치에 있어서의 탄성 부재의 폭을, 다른 영역의 탄성 부재의 폭보다 크게 해도 좋다(도시하지 않음). 이에 따라, 관통공의 형성에 의한 부분적인 강도의 저하나, 응력의 집중에 기인하는 탄성 부재의 열화를 억제할 수 있다.

본 실시예에 있어서, 블록 부재 BE는, 수지 재료의 사출 성형에 의해 탄성 부재에 부착된다. 블록 부재 BE를 구성하는 수지는, 탄성 부재 EE의 측면 및 하면 ELS에도 돌아 들어가도록 형성되고, 도 2(c)에 나타내는 바와 같이, 탄성 부재 EE를 어느 길이에 걸쳐, 4방향으로부터 둘러싸고 있다. 고정 영역 ECR1을 포함하는 탄성 부재의 이 부분은, 이 수지에 의해 산 휨 방향과 계곡 휨 방향의 양쪽의 변형이 규제된다. 탄성 부재 EE는 또한, 이 부분의 양측에 인접하고, 상면과 측면에는 수지가 형성되고, 하면에는 수지가 형성되지 않는 영역을 갖는다. 이 영역은, 반고정 영역 ECR2를 포함하고, 계곡 휨 방향의 만곡은 상면의 측의 수지에 의해 규제되지만, 산 휨 방향의 만곡은 어느 수지에도 규제되지 않는다.

또한, 탄성 부재 EE는, 고정 영역 ECR1에 오목부 또는 관통공을 갖고 있어도 좋고, 여기가 상기 수지로 충전되도록 사출 성형함으로써, 제1 방향에 평행한 방향의 응력에 대한 부착 강도를 향상시킬 수 있다.

또한, 탄성 부재 EE의 측면에 접촉하는 측면 지지부는 반드시 형성되지 않아도 좋다. 단, 고정 영역 ECR1에 인접하는 위치의 측면 지지부는 부착을 강고하게 하고, 반고정 영역 ECR2에 인접하는 위치의 측면 지지부는 만곡 시의 형상을 유지하는 효과를 갖기 때문에, 이들 측면 지지부 중 어느 한쪽 또는 양쪽을 포함하는 것이 적합하다.

도 3은, 본 발명의 지지 부재의 제2 실시예를 개념적으로 나타내는 도면이다. 도 3(a)는 직선 형상에 있는 지지 부재의 단면을 나타내고, 도 3(b)는 만곡 형상에 있는, 지지 부재의 단면을 나타낸다. 블록 부재 BE와 하면측 지지부 BLS와의 사이의 접속 수단을 파선으로 나타내고 있지만, 반드시 이 단면에 위치할 필요는 없다(특별한 기재가 없는 한, 도 4 이하도 마찬가지). 본 실시예에 있어서는, 탄성 부재 EE의 하면측에 형성되는 하면측 지지부 BLS의 상면의 적어도 일부가, 곡면으로 구성되어 있는 점이 다른 실시예와 상이하다. 이와 같이 함으로써 반고정 영역 ECR2를 보다 크게 형성하는 것이 가능해진다. 또한, 하면측 지지부 BLS의 상면의 위치와 형상을 조정함으로써, 개개의 블록 부재의 저면이나 그 주변의 영역에 있어서의 탄성 부재 EE의 만곡의 최소 곡률 반경을 규정할 수 있다. 이와 같이 본 실시예에 있어서의 하면측 지지부 BLS는, 만곡량의 상한을 제한하는 수단으로서 기능하기 때문에, 지지 부재 CG의 길이 방향에 있어서의 미시적인 만곡의 불균일에 의한 굴곡의 발생을 억제할 수 있다. 또한, 하면측 지지부 BLS의 상면은, 탄성 부재의 고정 영역의 측보다, 블록 부재의 단면 BES에 가까운 측이 낮아져 있으면, 반드시 곡면이 아니어도 좋고, 계단 형상 등, 다른 형상이라도 좋다.

도 4는, 본 발명의 지지 부재의 제3 실시예를 개념적으로 나타내는 도면이다. 도 4(a)는 직선 형상에 있는 지지 부재의 단면을 나타내고, 도 4(b)는 만곡 형상에 있는, 지지 부재의 단면을 나타낸다. 본 실시예에 있어서는, 탄성 부재의 하면 ELS와 하면측 지지부 BLS의 상면과의 사이에, 저탄성층 ELL이 형성되어 있는 점이, 다른 실시예와 상이하다. 저탄성층 ELL은, 하면측 지지부 BLS 및 탄성 부재 EE의 어느 것보다도 작은 탄성률을 갖는다. 저탄성층 ELL로서는, 예를 들면, 우레탄 수지, 염화 비닐, 불소 고무 등을 적용할 수 있다. 이에 따라 하면측 지지부 BLS의 상면의 면적을 크게 한 경우라도, 일정한 범위까지라면, 탄성 부재 EE의 산 휨 방향으로의 만곡의 규제를 작게 할 수 있다. 또한, 저탄성층 ELL은, 적어도 하면측 지지부 BLS의 상면에 대응하는 영역에 형성되어 있으면 좋고, 탄성 부재의 하면 ELS의 전체면에 형성될 필요는 없다. 단 블록 부재의 부착에 앞서, 탄성 부재의 하면의 전체에 도포나 부착에 의해 저탄성층 ELL을 형성해 둠으로써, 지지 부재의 제조성을 향상할 수 있다.

도 5는, 본 발명의 지지 부재의 제4 실시예를 개념적으로 나타내는 도면이다. 도 5(a)는 직선 형상에 있어서의 지지 부재의 단면을 나타내고, 도 5(b)는, 만곡 형상에 있어서의 지지 부재의 단면을 나타낸다. 본 실시예에 있어서는, 블록 부재의 단면 BES 상에, 블록 부재 본체보다도 높은 탄성률을 갖는 고강성층 BHL이 형성되어 있는 점이 다른 실시예와 상이하다. 고강성층은, 블록 부재의 도시되지 않는 측면(제1 방향과 평행한 면)에도 형성되어 있어도 좋다. 고강성층 BHL은, 예를 들면, PEEK 등의 고분자 재료나, 탄소강 등의 금속 등의 고경도의 재료로 구성된다. 고강성층의 비중이 큰 경우라도, 부분적인 사용에 머뭄으로써, 중량 증가를 최소로 하면서, 블록 부재의 탄성 변형이나 마모가 억제된 지지 부재가 제공된다.

본 실시예에 있어서는, SUS304나 알루미늄으로 이루어지는 판을 굽힘 가공함으로써, 내부에 오목부를 포함하는 캡부를 형성하고, 이를 고분자 재료로 이루어지는 블록 부재 본체부에 씌운 형태로 했다. 특히, 씌우는 부재가 탄성 부재 EE의 길이 방향(제1 방향)으로 일정한 두께를 갖는 경우, 후술하는 바와 같이, 후프 성형을 탄성 부재가 직선 형상으로 한 상태에서 실시할 수 있어, 이에 따른 높은 생산성과 신뢰성이 제공된다.

또한, 고강성층 BHL은, 고분자 재료에 씌우는 형태에 한정되지 않고, 예를 들면 1개 이상의 기둥 형상의 고강성층 BHL을, 고분자 재료로 이루어지는 블록 부재 본체 내에, 제1 방향에 평행한 방향으로 매설하여 고정해도 좋다. 혹은, 블록 부재 본체부 상에 접착층을 통하여 고정해도 좋다.

또한, 고강성층 BHL은 도면에 나타내는 바와 같이 블록 부재 BE의 양단에 노출되어 있는 것이 바람직하지만, 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 블록 부재 BE의 양단은 블록 부재 본체를 구성하는 고분자 재료로 구성되어 있어도 좋다. 고강성층 BHL은, 제1 방향에 평행한 방향의 압축 응력에 대하여, 블록 부재의 압축 탄성률을 크게 하도록 형성되어 있으면 좋다.

도 6은, 본 발명의 지지 부재의 제5 실시예를 개념적으로 나타내는 도면이다. 도 6(a)는 직선 형상에 있어서의 지지 부재의 단면을 나타내고, 도 6(b)는, 만곡 형상에 있어서의 지지 부재의 단면을 나타낸다. 본 실시예에 있어서는, 탄성 부재의 반고정 영역 ECR2에 오목부가 형성되고, 또한, 블록 부재 BE의 저면에는, 상기 오목부에 대응하는 위치에 상기 오목부에 끼워맞춤 가능한 볼록부가 형성되어 있는 점이, 다른 실시예와 상이하다.

지지 부재가 직선 형상에 있을 때, 이들 볼록부와 오목부는, 서로 맞물림으로써, 제1 방향의 응력에 대한 블록 형상 부재의 부착 강도를 높일 수 있다. 그리고, 탄성 부재 EE가 산 휨 방향으로 만곡할 때는, 볼록부와 오목부가, 떨어지는 방향으로 상대적으로 이동함으로써, 이 만곡을 규제하지 않는다. 또한, 탄성 부재의 반고정 영역 ECR2측에 볼록부, 블록 부재의 저면측에 오목부를 형성해도 좋다. 또한, 오목부는 관통공이라도 좋다.

도 7은, 본 발명의 지지 부재의 제6 실시예를 개념적으로 나타내는 도면이다. 도 7(a)는 직선 형상에 있어서의 지지 부재의 단면을 나타내고, 도 7(b)는, 만곡 형상에 있어서의 지지 부재의 단면을 나타낸다. 본 실시예에 있어서는, 어느 블록 부재의 단면 BES에 볼록부(또는 오목부)가 형성되어 있고, 상기 블록 부재에 인접하는 다른 블록 부재의 단면으로서, 상기 블록 부재의 단면 BES에 대향하는 면에는, 상기 볼록부(또는 오목부)에 맞물리도록 오목부(또는 볼록부)가 형성되어 있는 점이 다른 실시예와 상이하다. 볼록부(또는 오목부)는 원추대나 각추대 등의, 제1 방향에서 보아 단면 원형이나 사각형 등의 형상인 것이 바람직하지만, 단면이 길이 방향을 갖는 형상이라도 좋다. 예를 들면 탄성 부재 EE의 폭방향과 평행한 방향으로 연신하는 단면 형상이면, 블록 부재의 올라탐이나 파고듦을 억제할 수 있고, 탄성 부재 EE의 상면과 수직인 방향으로 연신하는 단면 형상이면, 지지 부재의 비틀림에 대한 강성을 효과적으로 높일 수 있다.

도 8은, 본 발명의 지지 부재의 제7 실시예를 개념적으로 나타내는 도면이다. 도 8(a)는 직선 형상에 있어서의 지지 부재의 단면을 나타내고, 도 8(b)는, 만곡 형상에 있어서의 지지 부재의 단면을 나타낸다. 도 8(a) 및 도 8(b)에 있어서는, 설명을 위해, 도면의 중앙에 위치하는 블록 부재 BE에 대해서만, 단면 구조를 나타내는 도면을 파선으로 나타내고 있다. 도 8(c)는 블록 부재의 상면도이고, 도 8(d)는 도 8(c)와는 상이한 형태에 있어서의 블록 부재의 상면도이다. 도 8(c) 및 도 8(d)에 있어서, 설명을 위해 탄성 부재 EE의 폭을 파선으로 나타내고, 또한, 탄성 부재 EE의 고정 영역 ECR1 및, 반고정 영역 ECR2를 해칭에 의해 나타낸다.

본 지지 부재에 있어서는, 블록 부재 BE는 금속판을 굽힘 가공하여 형성된다. 블록 부재 BE는 직사각형의 상면 BUS를 포함하는 천판을 갖고, 천판은 탄성 부재 EE의 제1 방향으로 평행한 제1 변(S1)과, 제1 방향에 수직인 제2 변(S2)을 포함한다(도 8(c) 및 도 8(d)). 상기 제1 변은, 블록 부재 BE의 측면 BSS와 상면 BUS가 교차하는 선이고, 평탄한 판을 절곡함으로써 형성된다. 상기 제2 변은 블록 부재 BE의 단면 BES와 상면 BUS가 교차하는 선이다. 측면과 마찬가지로 절곡하여 형성해도 좋지만, 본 실시예에 있어서는 재료가 되는 금속판의 측면을 그대로 이용하고 있다. 제2 변(S2)은 일부에 오목부 또는, 볼록부를 포함하고 있어도 좋고, 오목부에 인접하는 영역 및, 볼록부를 포함하는 영역에는, 하방으로 절곡되어, 탄성 부재 EE에 접촉 가능할 때까지 하방으로 연신하는 포스트 BMP를 갖는다. 이 포스트 BMP의 선단면은, 직선 형상 시에는 탄성 부재의 반고정 영역 ECR2와 접촉하고, 만곡 형상 시에는 탄성 부재로부터 이간한다.

본 실시예에 있어서, 블록 부재의 중심에 형성된 고정 영역 ECR1과, 블록 부재의 단부 근방에 형성된 반고정 영역 ECR2는 이간하고 있다. 고정 영역과 반고정 영역과의 사이의 거리를 크게 함으로써, 블록 부재의 기울기 방지 효과를 더욱 유효하게 발현시킬 수 있다. 또한, 블록 부재는 제1 방향에서 보아, 원료 금속판을 절곡하는 형태로 형성된 3변과, 탄성 부재로 이루어지는 1변을 포함하는 사각형의 구성을 갖는다. 이러한 구성의 형상 효과에 의해, 블록 부재는 높은 압축 탄성과 가벼움을 양립할 수 있다. 또한, 제1 방향에서 보아 사각형에 한정되지 않고, 삼각형 이상이면 좋다. 또한, 탄성 부재의 산 휨 방향의 만곡을 규제하지 않는 범위에서, 탄성 부재 EE의 측에도, 금속판으로 이루어지는 변을 갖고 있어도 좋다.

또한, 도 8(d)에 나타내는 바와 같이, 블록 부재의 단면보다 외측으로 금속판 또는 포스트의 일부를 돌출시켜, 반고정 영역 ECR2의 적어도 일부가, 블록 부재의 단면보다 외측에 형성되도록 해도 좋다. 이때, 인접하는 블록 부재는 대응하는 위치에 블록 부재의 단면보다 내측까지 후퇴시킨 오목부를 형성하고 있는 것이 바람직하다. 상기의 돌출시킨 영역과, 인접 블록 부재의 간섭을 회피함과 함께, 서로 맞물리는 부분을 가짐으로써, 횡방향이나 비틀림 방향으로의 변형을 억제할 수 있다. 또한, 돌출 영역은 상면 BUS로부터 수직 하방으로 연신하는 포스트를 갖고 있어도 좋지만, 비스듬한 하향으로 연신하면서, 인접하는 블록 부재와 겹쳐지는 영역에 침입하는 형상의 포스트인 것이 바람직하다.

도 9는, 본 발명의 지지 부재의 제8 실시예를 개념적으로 나타내는 도면이다. 측면도(a)에 나타나는 바와 같이, 본 실시예는, 상이한 블록 부재가 각각, 고정 영역과, 반고정 영역을 구비한다. 반고정 영역을 포함하는 블록 부재에 의한 굴곡의 억제 효과는, 근방의 반고정 영역을 포함하지 않는 블록 부재에도 미친다. 이 때문에, 고정 영역만의 블록 부재 및, 반고정 영역을 구비하는 블록 부재를 포함하는 지지 부재는 개선된 내구성을 제공한다.

또한, 저면도(b)에 나타내는 바와 같이, 동일한 블록 부재에 있어서, 고정 영역과 반고정 영역이 병렬(제1 방향과 수직인 방향)로 나열되어도 좋다. 이때, 도면에 나타내는 바와 같이, 탄성 부재 EE는, 2개의 탄성 부재를 포함하고, 복수의 블록 부재 BE의 각각은, 제1 탄성 부재 EE1과, 제2 탄성 부재 EE2를 걸치도록 부착되어도 좋다. 또한, 2개의 탄성 부재는, 동일한 평면 상에 인접하여 배치되고, 모두 제1 방향으로 연신하고 있다. 또한, 제1 방향에 있어서도, 고정 영역과 반고정 영역이 서로 인접하는 구성이 특히 바람직하다. 도면과 같이 지그재그로 배열함으로써, 특히 안정적인 내구성 향상 효과를 얻을 수 있다. 또한, 고정 영역과 반고정 영역이 규칙성을 갖고 배치됨으로써, 지지 부재의 위치에 의한 차가 작은, 평균화된 효과를 얻을 수 있다.

도 10은, 본 발명의 지지 부재의 제조 방법의 일 예를 설명하는 도면이다. 우선, 탄성 부재에 제1 피치로 관통공을 형성한다(도시하지 않음). 다음으로, 관통공이 형성된 탄성 부재를 복수의 캐비티를 포함하는 사출 금형에 도입한다. 본 실시예에 있어서, 사출 금형은 6개의 캐비티를 갖고, 각 캐비티는 상기 제1 피치에 상당하는 거리만큼 이간하고 있다. 도면의 오른쪽 아래로부터 화살표의 방향으로 판스프링을 이송하고, 전체 6캐비티 내에 탄성 부재가 공급된 후, 각 캐비티 내에 블록 부재 본체가 되는 수지를 사출하여, 캐비티 내를 수지로 충전한다. 이때, 탄성 부재의 일부의 영역은 하면측에 수지부가 형성되도록 하고, 또한, 탄성 부재의 다른 영역에서는 하면측에 수지가 형성되지 않도록(예를 들면 탄성 부재의 하면과 금형을 밀착시켜 수지가 들어가지 않도록)하면 좋다. 상기의 일부 영역에 형성된 수지부를 하면측 지지부 BLS로 할 수 있다. 그리고 탄성 부재 EE의, 이 하면측 지지부 BLS에 접하는 영역을 고정 영역 ECR1로 할 수 있다. 또한, 캐비티 내의 탄성 부재 EE에 있어서, 상면측의 수지가 형성되고, 또한, 하면측의 수지가 형성되지 않는 영역을, 반고정 영역 ECR2로 할 수 있다. 또한, 본 도면에 있어서는, 탄성 부재 EE의 측면에 접촉하는 측면 지지부를 갖는 캐비티 형상을 나타내고 있다.

여기에서 금형 내에 있어서 탄성 부재는 그의 상면이 외주가 되도록 만곡한 상태로 배치되어 있다. 이와 같이 함으로써, 복수의 블록 부재 BE를, 직선 형상으로 했을 때의 블록 부재 간 거리가 제로가 되는 상태에서의 수지 형성이 가능해진다. 만곡하지 않는 상태에서 복수개를 정리하여 형성하고, 그 후, 개별의 블록 부재로 분리하도록 절단해도 좋지만, 절단하는 분만큼, 지지 부재의 계곡 방향의 만곡을 허용해 버린다. 이러한 경우는, 블록 부재의 단면에, 소정의 두께의 스페이서를 형성해도 좋다. 예를 들어, 전술의 제4 실시예의 고강성 부재의 두께를, 이 스페이서로서 이용함으로써, 신뢰성의 향상에 더하여, 우수한 생산성을 얻을 수 있다.

적어도 금형으로부터 취출할 수 있는 정도까지 수지를 경화시킨 후, 6개의 블록 부재에 대응하는 거리만큼, 판스프링을 전방으로 이송하고, 다음의 6개의 블록 부재의 형성을 행한다. 이를 반복함으로써, 지지 부재를 효율 좋게 제조할 수 있다. 또한, 고정 영역과 반고정 영역은, 반드시 하면측 지지부만에 의해 정의할 필요는 없다. 예를 들면, 고정 영역의 밀착력에 대미지를 주지 않도록 고정하면서, 반고정 영역의 탄성 부재를 변형시켜 물리적으로 박리시켜도 좋다. 또한, 탄성 부재의 소정의 영역에 대하여, 표면 조도의 제어나 활성화/비활성화, 혹은 유지 등의 밀착력 향상/저하제 등으로 밀착 강도의 차이를 발생시킴으로써, 고정 영역과 반고정 영역을 형성해도 좋다. 혹은, 이들 1개 이상을 조합해도 좋다.

도 11은, 본 발명의 제8 실시예에 있어서의 지지 부재의 제조 방법의 일 예를 설명하는 도면이다. 본 실시예에 있어서는, 후프 형성 시의 캐비티가 상기 제1 피치의 2배의 피치로 배치된 금형을 준비한다. 또한, 각 캐비티에 있어서 형성되는 블록 형상 부재는, 고정 영역과, 이 고정 영역의 제1 방향에 수직인 방향으로 인접하는 반고정 영역을 구비한 것으로 한다. 예를 들면, 반고정 영역은 예를 들면 횡(제1 방향에 수직)방향으로부터 탄성 부재를 삽입 가능한 슬릿 구성을 포함하고, 슬릿에 탄성 부재를 삽입 후, 탄성 부재의 하면측에 슬릿의 제1 방향의 길이보다 짧은 쐐기를 박아넣어도 좋고, 미리 이 쐐기에 대응하는 볼록부를 슬릿 내에 형성해 두어도 좋다. 고정 방법은 이에 한정되지 않고, 제1 방향의 방향의 응력이 가해진 경우라도 블록 부재의 기울기를 억제하고, 또한, 지지 부재의 산휨에 대응하는 탄성 부재의 만곡을 허용하는 것이면 좋다. 이 금형에서 얻어진 2개의 블록 부재가 형성된 탄성 부재를, 도면에 나타내는 바와 같이 조합함으로써, 도 9(b)에 나타낸 바와 같은, 고정 영역과 반고정 영역이, 지그재그로 배치된 블록 부재를 용이하게 얻을 수 있다.

도 12는, 본 발명의 지지 부재의 제9 실시예를 개념적으로 나타내는 도면이다. 본 실시예에 있어서, 지지 부재 CG는, 블록 부재끼리를 연결하는 연결부 TE를 구비한다. 이 연결부는, 어느 블록 부재와, 다른 블록 부재와의 사이에 있어서의 곡률 반경이 일정 이하가 되지 않도록 제한한다. 이와 같이, 연결부 TE가 만곡 한계 규정 수단으로서 작용함으로써, 굴곡의 발생을 억제하고, 내구성이 우수하고, 고신뢰성인 지지 부재 CG를 제공한다.

탄성 부재 EE가 스프링으로서의 성질을 갖고 있는 경우는, 이러한 연결부 TE가 없어도, 굽힘 탄성률과 외력과의 관계에 의해, 지지 부재의 만곡 형상은 결정된다. 그러나, 다른 부재와의 충돌이나, 동작 시의 걸림 등에 의해, 지지 부재의 특정 위치에 우발적 또는 일시적인 외부 응력이 가해지는 경우가 있다. 혹은, 지지 부재를 구성하는 각 부재의 품질이나 특성의 불균일에 의해, 지지 부재의 특정 위치의 내구성이 뒤떨어져 있거나, 피지지 부재의 경도나 중량의 분포 등에 의해, 특정 위치의 손모(wear)가 진행하기도 한다. 이러한 이유로 탄성 부재 EE의 국소적인 강도 열화가 생기면, 동일한 외력이라도 그 위치의 변형량이 커지기 때문에, 더욱 열화를 가속하고, 최종적으로는, 굴곡을 거쳐 파손해 버린다. 이에 대하여, 본 실시예의 지지 부재에 있어서는, 국소적으로 큰 외부 응력이 가해진 경우나, 국소적인 강도 열화가 생긴 경우라도, 연결부 TE에 의해 만곡의 최소 곡률 반경이 규정되어, 그 이상의 열화가 억제된다. 지지 부재 전체적으로의 만곡은, 규정된 최소 곡률 반경보다 큰 곡률 반경밖에 생기고 있지 않은 다른 위치가 만곡함으로써 형성되기 때문에, 지지 부재의 내구성의 향상에 더하여, 각부의 만곡 형상이 더욱 평균화된 만곡 형상을 얻을 수 있다.

탄성 부재가 판스프링에 이용되는 금속 등, 일정 이상의 탄성률을 갖는 재료, 혹은 복원력을 갖는 재료로 구성되는 경우는, 블록 부재 간의 상대적인 위치의 어긋남 등의 리스크가 작기 때문에, 탄성 부재의 길이 방향에 있어서, 변형이 가능한 영역(반고정 영역 및/또는 릴리프부에 대향하는 영역)이 차지하는 비율을 크게 할 수 있다. 이러한 탄성 부재를 적용한 지지 부재에서는, 지지 부재의 만곡 형상을, 탄성 부재의 넓은 영역의 변형에 의해 구성할 수 있기 때문에, 높은 신뢰성을 얻을 수 있다. 한편으로, 우발적 또는 일시적으로 큰 외부 응력이 가해진 경우나, 국소적으로 큰 외부 응력에 의해, 통상 동작보다도 작은 곡률 반경의 굽힘이 발생해 버린 경우에는, 이러한 재료는, 탄성률이 작은 재료에 비하여, 큰 대미지를 받을 우려가 있다.

이에 대하여, 탄성 부재가 갖는 스프링 탄성이나 복원력에 의해, 단독으로도 일정한 곡률 반경을 형성할 수 있는 지지 부재에 대하여, 최소 곡률 반경을 규정하는 수단을 조합함으로써, 통상 동작 시, 우발적/일시적 동작 시의 어느 것에 대하여도 높은 신뢰성을 구비한 지지 부재가 제공된다.

또한, 본 실시예에 있어서는, 탄성 부재 EE는, 지지 부재의 만곡 형상을 결정할 뿐만 아니라, 진동 억제 기능을 포함한다. 연결부를 구비한 지지 부재에 있어서는, 연결부의 작용의 유무가 순간적으로 전환되는 것이, 지지 부재의 동작 시의 진동의 원인이 되는 경우가 있다. 이에 대하여 탄성 부재 EE의 만곡과 굽힘 탄성에 의해 초래되는 형상 복원력에 의해, 연결부의 작용에 앞서, 적절히 변형 속도가 감속되어 진동을 저감할 수 있다.

연결부는, 적어도 2개의 블록 부재의 사이에 형성되고, 어느 블록 부재와 다른 블록 부재가 연동 가능한 바와 같이 물리적으로 접속한다. 예를 들면, 2개의 블록 부재의 상면에 양단이 각각 접착된 테이프면 좋다. 그 길이는, 지지 부재가 직선 형상 시에는 여분이 생기거나, 혹은, 장력을 발생시키지 않는 길이를 갖는다. 또한, 지지 부재가 규정된 만곡 형상에 있을 때, 혹은, 블록 형상 부재 간의 만곡 형상이 규정된 만곡 형상에 있을 때에는, 상기 여분이 없어지거나, 혹은, 장력이 발생하는 길이이면 좋다. 또한, 지지 부재가 반고정 영역을 구비하는 경우에는, 반고정 영역에 있어서, 탄성 부재 EE의 상면과 블록 형상 부재 BE의 하면과의 이간이 발생한 후에, 상기 여분이 없어지는 길이로 하면, 신뢰성의 향상에 더하여, 진동의 발생도 억제되어 바람직하다.

본 실시예에 있어서, 연결부는, 가요성을 갖는 것이면 좋고, 테이프 외에, 끈 형상, 섬유 형상의 것이 적합하다. 연결부의 재료로서는, 강도, 슬라이딩성, 저발진성(low dusting property)이 우수한 것이 바람직하고, 불소 수지, 폴리아미드 수지 등을 들 수 있다. 고분자 재료에 한정되지 않고, 금속 와이어 등이라도 좋다. 단, 연결부에 의해 탄성 부재 EE의 굴곡의 억제를 할 수 있으면 좋고, 이것만에 의해 만곡 형상을 결정할 필요는 없다. 이 때문에, 과잉인 강도는 요구되지 않고, 가요성의 연결부로 함으로써 소형 경량으로 할 수 있다. 예를 들면, 제1 방향으로의 인장 응력이 가해졌을 때의 파단 강도에 관하여, 연결부의 파단 강도는, 탄성 부재 EE보다 작아도 좋다. 또한, 탄성 부재 EE보다, 제1 방향에 있어서의 단위 길이당의 중량이 작으면 좋다. 또한, 연결부는, 탄성 부재보다 굽힘 탄성률이 작은 것이 바람직하고, 지지 부재를 수납하는 도관 봉지 CP보다 굽힘 탄성률이 작은 것이 더욱 바람직하다.

바람직하게는, 도면에 파선으로 나타내는 바와 같이, 블록 부재 BE의 상면 BUS에, 저면이 제1 방향으로 연신하는 오목부(홈 BD)를 형성하고, 연결부 TE를, 이 오목부 내에 형성하는 것이 바람직하다. 혹은, 상면 BUS 중, 연결부 TE를 형성하지 않는 위치에 볼록부를 형성해도 좋다. 연결부를 상대적으로 낮은 위치로 함으로써, 지지 부재가 직선 형상에 있을 때, 연결부 TE의 여분이 외부로 나와 버리는 양을 작게 할 수 있어, 지지 부재를 수납하는 도관 봉지 CP(도시하지 않음)와의 접촉을 억제할 수 있다. 특히 바람직하게는, 지지 부재가 직선 형상에 있어도, 연결부가 도관 봉지에 접촉하지 않는 홈 깊이(또는 볼록부 높이)를 구비한다. 또한, 블록 부재 BE의 상면 BUS로의 접착 영역의 단부에 있어서, 탄성 부재의 상면에 평행하지 않고, 단면 부재에 가까워지는 방향의 경사를 포함하도록 접착함으로써, 도관 봉지로의 접촉의 빈도 및/또는 가능성을 작게 할 수 있다(도시하지 않음).

연결부 TE는, 지지 부재가 만곡 형상에 있을 때, 블록 부재의 윤곽의 내측을 통과하도록 배치된다. 예를 들면, 연결부는, 상면 BUS 상에 도면에 나타내는 바와 같은 굴곡점 TEB를 구비한다. 환언하면, 지지 부재가 만곡 형상에 있을 때, 연결부 TE는, 블록 부재 상의 임의의 점 TP1과, 블록 부재의 단면 상의 점 TP2를 통과하고, TP2에서 탄성 부재 상면까지의 거리는, TP1에서 탄성 부재 상면까지의 거리보다 작다. 단순히 블록 부재 BE의 상면 BUS 상에 형성하는 것이 아니라, 만곡 시의 탄성 부재의 형상에 근접하도록 연결부 TE의 굽힘부를 형성함으로써, 여분을 짧게 할 수 있어, 블록 부재 간으로 물려 들어감 리스크 등을 저감할 수 있다.

연결부는, 굴곡의 발생 억제를 잃지 않는 정도의 탄성률을 갖는 것이면, 즉, 만곡 한계를 규정 가능한 범위의 것이면, 스프링이나 고무와 같은 비교적 저탄성의 것도 적용할 수 있다. 또한, 블록 부재의 상면으로의 형성에 한정되지 않고, 내부, 측면, 혹은 저면(릴리프부 BEP)에 형성해도 좋다.

예를 들면, 탄성 부재 EE 상에 블록 부재 BE를 부착한 후, 지지 부재를 규정의 최소 만곡 반경을 갖는 형상으로 한 상태에서, 복수의 블록 부재에 걸치도록 연결부를 접착함으로써, 본 실시예의 구성을 얻을 수 있다. 그 외에, 직선 형상의 지지 부재에 대하여, 여분에 대응하는 유격을 포함한 상태의 연결부를 접착해도 좋고, 미리 연결부에 의해 연결된 블록 부재를 탄성 부재 EE에 부착해도 좋다.

도 13은, 본 발명의 지지 부재의 제10 실시예를 개념적으로 나타내는 도면이다. 본 실시예에 있어서, 블록 부재 BE는 탄성 부재 EE의 접촉 영역 ECR 상의 영역인 본체부를 갖고, 연결부 TE는, 블록 부재의 본체부로부터 지지 부재의 길이 방향으로 연장 돌출된 외팔보 형상의 일단측 연장 돌출부 BUP로 구성된다. 이와 같이 형상이 고정된 연결부로 함으로써, 만곡 한계가 안정적으로 규정된 지지 부재를 얻을 수 있다. 또한, 지지 부재 조립 시의 공정수를 삭감할 수 있다. 일단측 연장 돌출부 BUP는, 블록 부재 BE와 동종의 재료로 이루어지고, 블록 부재 BE와 일체로 구성되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같은 구성에 있어서는, 블록 부재 BE 중에 접착면 등의 접합 계면을 포함하지 않기 때문에, 신뢰성, 내구성이 우수한데다가, 높은 치수 안정성을 구비한 지지 부재를 얻을 수 있다.

도 13(a)에 나타내는 바와 같이, 이 일단측 연장 돌출부 BUP는, 블록 부재의 일단측에 인접하는 또 하나의 블록 부재와 겹쳐지는 위치로까지 연장 돌출된다. 일단측 연장 돌출부 BUP는 상기 또 하나의 블록 부재와 겹쳐지는 영역 상에 맞닿음 영역 TCR을 포함한다. 도 13(b)에 나타내는 바와 같이, 지지 부재가 크게 만곡하고, 상기 어느 블록 부재와 상기 또 하나의 블록 부재와의 사이의 거리 D가 소정의 크기에 도달하면, 맞닿음 영역 TCR은, 상기 또 하나의 블록 부재의 맞닿음 영역 TCR에 맞닿아, 상기 거리 D가 그 이상 커지지 않도록 제한한다.

이 결과, 지지 부재의 곡률 반경이 국소적인 것을 포함하여 일정 이하가 되지 않도록 제한되어, 즉, 굴곡의 발생이 억제되어, 내구성, 신뢰성이 우수한 지지 부재 CG가 제공된다.

도 13(a) 및 도 13(b)에 나타내는 바와 같이, 블록 부재 BE는, 블록 부재 BE의 타단의 측에도 본체부로부터 지지 부재의 길이 방향으로 연장 돌출되고, 맞닿음 영역 TCR을 포함하는 타단측 연장 돌출부 BLP를 구비하고 있어도 좋다. 일단측 연장 돌출부 BUP가 갖는 맞닿음 영역 TCR은, 인접하는 블록 부재의 타단측 연장 돌출부 BLP에 형성된 맞닿음 영역 TCR과 맞닿음으로써, 만곡량을 일정 이하로 제한한다.

일단측 연장 돌출부와 타단측 연장 돌출부는 도 13에 나타나는 바와 같이, 한쪽이 블록 부재의 상방(탄성 부재 EE에 먼측)의 영역에 형성되고, 다른 한쪽이, 하방(탄성 부재 EE에 가까운 측)에 형성되는 것이 바람직하다. 이에 따라, 블록 부재의 강도와, 연장 돌출부의 마모 억제를 양립할 수 있다. 단, 이에 한정되지 않고, 탄성 부재 EE의 상면에 평행으로, 각각의 연장 돌출부를 옆으로 줄지어 배열해도 좋고, 혹은, 한쪽의 연장 돌출부가 다른 한쪽의 연장 돌출부에 끼워지는 위치 관계로 해도 좋다.

블록 부재의 일단측에 형성된 맞닿음 영역 TCR과, 타단측에 형성된 맞닿음 영역 TCR은, 서로 평행한 면을 각각 구비하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 지지 부재의 만곡 시에, 어느 블록 부재에 있어서, 탄성 부재 EE의 상면쪽 선 방향에서 보아 회전 어긋남이 생기는 경우에 있어서, 맞닿음 영역 TCR이 인접하는 블록 부재의 맞닿음 영역 TCR과 접촉하여, 상기의 서로 평행한 면끼리가 밀착함으로써 회전 어긋남이 보정된다. 이와 같이 하여, 높은 동작 정밀도를 갖는 지지 부재가 제공된다.

본 실시예에 있어서, 지지 부재 CG의 직선 형상을 규정하는 블록 부재 BE의 단면 BES는, 블록 부재 본체부의 측면과 일단측 연장 돌출부 BUP의 선단면에 형성되어 있다. 그러나, 직선 형상에 있어서, 반드시 이들 양쪽이 인접하는 블록 부재와 접촉할 필요는 없고, 어느 한쪽이 접촉하는 형태로 해도 좋다. 본 실시예에 있어서는, 두께가 크고, 압축 응력에 대한 변형량이 작은 것이 기대되는 블록 부재 본체부의 측면을, 지지 부재 CG의 직선 형상을 규정하는 단면 BES로 하는 것이 바람직하다.

본 실시예에 있어서, 탄성 부재 EE의 상면 중, 블록 부재 BE와 접촉하는 접촉 영역 ECR은, 블록 부재의 저면에 고정됨으로써 변형이 규제된 고정 영역 ECR1만으로 구성되어 있다. 이와 같이 접촉 영역 ECR이 반고정 영역 ECR2를 포함하지 않는 경우라도, 지지 부재의 만곡 한계 규정 수단으로서 작용하는 연결부 TE가 지지 부재의 최소 곡률 반경을 규정함으로써, 높은 내구성과 신뢰성을 갖는 지지 부재를 얻을 수 있다. 단, 반고정 영역 ECR2를 포함함으로써 더욱 높은 내구성과 신뢰성을 얻을 수 있는 것은 말할 필요도 없다.

지지 부재 CG가 연결부 TE에 의해 규정된 만곡 한계에 있을 때, 어느 블록 부재의 맞닿음 영역과, 인접하는 블록 부재의 맞닿음 영역이 평행해지도록 구성함으로써, 마모나 파손의 발생을 억제할 수 있다. 환언하면, 도 13(a) 및 도 13(b)에 나타내는 바와 같이, 각각의 블록 부재 BE가 갖는 2개의 맞닿음 영역 TCR은, 서로 평행하지 않는 접촉면을 포함해도 좋고, 각각의 접촉면의 교선은, 블록 부재에서 보아 블록 부재의 저면의 측, 또한, 개저면보다 먼 위치에 포함되면 좋다. 혹은, 개교선(general intersection line)이, 블록 부재에서 보아, 탄성 부재 EE의 하면보다 먼 위치에 있는 것이 바람직하다.

도 14(a), 도 14(b)는, 본 발명의 지지 부재의 제11 실시예를 개념적으로 나타내는 도면으로, 지지 부재 CG의 임의의 단면을 나타낸다. 본 실시예에 있어서, 일단측 연장 돌출부 BUP는, 지지 부재의 길이 방향(제1 방향)으로 평행한 임의의 단면에 있어서, 상하 방향으로 두껍게 형성되어 있다. 이에 따라, 일단 연장 돌출부 BUP는, 연결부 TE로서의 이용에 머무르지 않고, 직선 형상을 규정하는 단면 BES 형성 영역으로서 활용할 수 있다. 지지 부재의 만곡 시의 최소 곡률 반경을 규정하는 연결부 TE도, 직선 형상을 규정하는 단면 TES도 탄성 부재 EE로부터의 거리가 큰 위치에 배치하는 것이 바람직하다. 일단 연장 돌출부를 두껍게 함으로써, 이들을 겸비한 일단 연장 돌출부를 블록 부재의 상면에 배치하는 것이 가능해진다. 탄성 부재의 상면에 수직 또한, 제1 방향에 평행한 임의의 단면에 있어서, 일단 연장 돌출부 BUP의, 탄성 부재의 상면에 수직 방향의 두께를 TBUP로 하면, TBUP는, 동일한 단면에 있어서의 블록 부재 본체부의 최대 두께의 30％ 이상인 것이 바람직하고, 45％ 이상으로 하는 것이 특히 바람직하다.

본 실시예에 있어서, 일단측 연장 돌출부 BUP의 단면은, 탄성 부재 EE의 상면에 대하여 수직인 수직면과, 개(槪)수직면의 상하에 형성된 경사면으로 이루어지는 볼록 형상부를 포함한다. 블록 부재의 타단은, 개볼록 형상부에 대응하는 위치, 형상을 갖는 오목 형상면을 포함한다. 이와 같이 구성함으로써, 지지 부재 CG가 직선 형상에 있을 때, 인접하는 블록 부재의 높이 방향 정밀도를 높일 수 있다.

도 15 및, 도 16을 이용하여, 본 실시예의 블록 부재 BE를 설명한다. 도 15에 있어서, (c)는 본 실시예의 블록 부재 BE를 도 14와 동일한 방향에서 본 도면으로, 이를 정면도로 하면, (a)는 상방도, (b)는 좌측면도, (d)는 우측면도가 된다. 도 16(a)는 도 15에 있어서의 AA’의 위치에 있어서의 블록 부재 BE의 단면을 나타내고, 도 16(b)는 도 15에 있어서의 BB’의 위치에 있어서의 블록 부재 BE의 단면을 나타낸다. 이들 도면에 있어서, 탄성 부재 EE 및 그 하면측에 형성되는 블록 부재의 하면측 지지부는 도시를 생략하고 있다.

블록 부재 BE는 가이드부 BGP와, 가이드홈 BGD를 구비한다. 가이드부 BGP는 도 15(b) 및 도 15(c)에 나타나는 바와 같이, 상하 방향(블록 부재의 저면 BBS에 교차하는 방향)으로 연신하는 측벽을 포함한다. 가이드홈 BGD도, 도 15(a) 및 도 15(d)에 나타나는 바와 같이, 상하 방향으로 연신하는 측벽을 포함한다. 가이드부 BGP의 측벽은, 후술하는 바와 같이 조립되었을 때에, 마주 보는 가이드홈 BGD의 측벽과 대략 평행해지도록 구성되어 있고, 바람직하게는 블록 부재의 저면에 대하여 수직으로 구성된다. 가이드홈 BGD의 폭(측벽 간의 거리)은, 가이드부 BGP의 폭의 1.005배 이상, 또한, 1.1배 이하인 것이 바람직하다.

이 블록 부재를 이용한 지지 부재 CG는, 블록 부재의 가이드부 BGP가, 인접하는 블록 부재의 가이드홈 BGD에 삽입되도록 조립된다. 본 실시예에 있어서는, 지지 부재가 직선 형상에 있을 때뿐만 아니라, 지지 부재가 만곡 형상에 있을 때를 포함하고, 적어도 가이드부의 일부가 가이드홈 중에 위치하도록 구성된다. 이에 따라, 지지 부재의 형상에 상관없이, 블록 부재끼리의 위치 어긋남이나 회전 어긋남을 억제할 수 있다. 지지 부재의 이동 스트로크가 2m를 초과하는 바와 같은 경우에 있어서, 탑재하는 도관의 중량에 따라서는, 도관 지지 장치 CU의 옆으로 쓰러짐이 발생할 우려가 있다. 이에 대하여, 본 실시예의 구성을 가짐으로써, 2m를 초과하는 바와 같은 긴 스트로크라도, 옆으로 쓰러지는 리스크를 작게 할 수 있다.

도 17, 도 18, 도 19를 이용하여, 본 발명의 제12 실시예를 설명한다. 도 17(a)는 직선 형상에 있는 지지 부재 CG를 나타내고, 도 17(b)는 만곡 형상에 있는 지지 부재 CG를 나타낸다. 도 18은, 단체(單體)의 블록 부재 BE(탄성 부재 EE를 포함함)를 나타낸 것으로서, 도 18의 (c)를 정면도로 한 경우, (a)가 상면도, (b)가 좌측면도, (d)가 우측면도, (e)가 저면도가 된다. 도 19(a)는 좌측면 표면에 형성된 박육부 BDP를 설명하는 도면으로, 동일 도면 중의 일점쇄선의 위치에 있어서의 단면도를 도 19(b)에 나타낸다.

본 실시예에 있어서, 블록 부재 BE는 일단측 연장 돌출부 BUP의 선단에서 하방을 향하여 세워 설치된 연장 영역을 구비한다. 연장 영역의 일단의 측의 면에는 단면 BES를 포함하고, 도 17(a)에 나타내는 바와 같이, 지지 부재 CG가 직선 형상일 때, 단면 BES는 인접하는 블록 부재 BE의 단면과 맞닿는다. 블록 부재 BE는 타단측 연장 돌출부 BLP의 선단에서 상방을 향하여 세워 설치된 연장 영역을 구비한다.

일단측의 연장 영역은, 단면 BES와 반대의 면에 맞닿음 영역 TCR을 포함한다. 타단측의 연장 영역도, 또 하나의 맞닿음 영역 TCR을 포함한다. 도 17(b)에 나타내는 바와 같이 지지 부재 CG가 미리 규정된 최대 만곡이 되었을 때에, 일단측의 맞닿음 영역 TCR은, 인접하는 블록 부재의 타단측의 맞닿음 영역 TCR과 맞닿음으로써, 지지 부재 CG의 그 이상의 만곡을 억제한다.

본 실시예에 있어서는, 일단측의 연장 영역의 선단 근방에 클로부(claw portion) BTN이 형성되어 있고, 타단측의 연장 영역의 근원(根源) 근방에는 수용부 BTD가 형성되어 있다. 지지 부재 CG는, 클로부 BTN이 인접하는 블록 부재의 수용부 BTD에 끼워넣어지도록 조립된다. 이에 따라, 조립 시 등에 상정 외의 외부 응력이 지지 부재 CG에 인가된 경우라도, 서로 마주보고 있던 맞닿음면끼리가 상하 방향으로 어긋나는 것을 방지할 수 있다.

도 17(a)를 참조하면, 타단측의 연장 영역은, 수용부 BTD의 상부에, 블록 부재 본체부와의 사이에 슬릿을 구성한다. 도면에 있어서의 좌우 방향에 있어서, 홈의 최소폭은, 클로부 BTN의 최대 두께보다 작게 형성되어 있다. 이에 따라, 맞닿음면끼리의 상하 방향의 어긋남을 보다 확실히 방지할 수 있다. 또한, 조립에 있어서는, 블록 부재가 탄성 변형함으로써, 특별한 기기나 작업을 필요로 하는 일 없이, 삽입, 발취를 가능하게 할 수도 있다.

도 18(e), 도 19(a), 도 19(b)에 나타나는 바와 같이, 일단측 연장 돌출부 BUP의 선단에 형성된 연장 영역은, 일부에 박육부 BDP가 형성되어 있다. 즉 개(槪)연장 영역은 블록 부재 BE의 상면 부근에 형성된 후육부와, 그의 하방에 형성된 박육부를 포함하고 있다.

상면 부근에 후육부를 가짐으로써, 높은 압축 탄성을 유지하면서, 경량화를 도모할 수 있다. 박육부는 인접하는 2개의 맞닿음 영역 TCR의 사이를 접속해도 좋다. 이에 따라, 맞닿음 영역 TCR의 기계적 강도를 보강할 수 있다. 박육부는 인접하는 2개의 클로부 BTN의 사이에 형성되어 있어도 좋다. 이에 따라, 조립 시의 끼워넣음에 있어서의 작업성을 향상시킴과 함께, 조립 시의 기계적 스트레스에 의한 마이크로 크랙의 발생 등을 억제할 수 있다.

타단측 연장 돌출부 BLP의 연장 영역은, 서포트판 BSB를 갖는다. 연장 영역의 기계적 강도를 보강함으로써, 안정적인 동작과 높은 내구성을 얻을 수 있다.

도 20, 도 21을 이용하여, 본 발명의 제13 실시예를 설명한다. 도 20의 (a)는 직선 형상에 있는 지지 부재 CG를 나타내고, 도 20의 (c)는 만곡 형상에 있는 지지 부재 CG를 나타낸다. 도 20의 (b) 및 (d)는, 각각 도 20의 (a) 및 (c)에 대응하는, 지지 부재 CG의 단면을 나타내는 도면이다. 도 20의 (a)를 정면도로 한 경우, 도 21의 (a)가 상면도, 도 21의 (b)가 우측면도가 된다. 도 20의 (b) 및 (d)는, 도 21의 (a)의 B-B의 위치에 있어서의 단면의 도면으로, 도 21의 (c)는, 도 20의 (a) 및 도 21의 (a)의, A-A의 위치에 있어서의 단면의 도면이다.

블록 부재 BE는 일단측 연장 돌출부 BUP의 선단에서 하방을 향하여 세워 설치된 연장 영역을 구비한다. 연장 영역의 일단의 측의 면에는 단면 BES를 포함하고, 도 20(a)에 나타내는 바와 같이, 지지 부재 CG가 직선 형상일 때, 단면 BES는 인접하는 블록 부재 BE의 단면 BES와 맞닿는다. 블록 부재 BE는 타단측 연장 돌출부 BLP의 선단에서 상방을 향하여 세워 설치된 연장 영역을 구비한다.

일단측의 연장 영역은, 단면 BES와 반대의 면에 맞닿음 영역 TCR을 포함한다. 타단측의 연장 영역도, 또 하나의 맞닿음 영역 TCR을 포함한다. 본 실시예에 있어서, 각각의 연장 영역은 선단이 내측을 향하여 만곡하고 있고, 만곡의 내주면에 맞닿음 영역 TCR이 형성된다. 도 20의 (c) 및 (d)에 나타내는 바와 같이, 지지 부재 CG가 미리 규정된 최대 만곡이 되었을 때에, 일단측의 맞닿음 영역 TCR은, 인접하는 블록 부재의 타단측의 맞닿음 영역 TCR과 맞닿는다. 이들 맞닿음 영역에 의해, 지지 부재 CG의 최소 곡률 반경이 규정되고, 높은 신뢰성이 얻어진다. 또한, 선단이 내측을 향하여 만곡한 연장 영역은, 블록 부재에 기울기의 발생을 억제하거나, 기울기가 발생한 경우라도, 맞닿음 영역의 끼워맞춤을 벗어나기 어렵게 한다.

본 실시예에 있어서, 블록 부재 BE는, 블록 부재 BE의 본체부로부터 BUP에 걸쳐 형성된 한 쌍의 판 형상부를 구비한다. 이들 한 쌍의 판 형상부, 일단측의 연장 영역, 그리고 블록 부재 본체부에 둘러싸인 영역에, 타단측 연장 돌출부 BLP의 선단에서 상방을 향하여 세워 설치된 연장 영역이 끼워넣도록 구성되어 있다. 한 쌍의 판 형상부의 내벽면이, 타단측 연장 영역의 동작을 적절히 제어함으로써, 지지 부재의 굽어짐이나 비틀림이 억제된다.

또한, 본 실시예에 있어서는, 고정 영역 ECR1은, 블록 부재 BE의 본체부가 아니라, 타단측 연장 돌출부 BLP의 하면에 형성되어 있다.

도 22의 (a) 및 (b)는, 지지 부재 CG를 이용한 도관 지지 장치 CU의 예를 개념적으로 나타내는 단면도이다. 이 도관 지지 장치는, 복수의 삽입 통과로를 갖는 도관 봉지 CP를 구비하고 있다. 도관 봉지 CP의 단면에 있어서의 양단의 삽입 통과로에는 지지 부재 CG가 삽입 통과되고, 그 사이의 각 삽입 통과로에는 도관 CT가 삽입 통과됨으로써, 일체화한 평형의 도관 지지 장치 CU를 구성하고 있다. 도관 봉지 CP는 염화 비닐이나 분진의 발생 등이 억제되는 불소 수지(PTFE 등)로 구성되어 있다. 도관 봉지 CP는 복수의 수지 필름이 접착된 복합재로 구성되어 있어도 좋다. 지지 부재의 삽입 통과로는 양단에 한정되지 않고, 복수의 도관 CT의 사이에 위치하는 삽입 통과로라도 좋고, 지지 부재의 삽입 통과수도, 1개 혹은 3개 이상이라도 좋다. 각 삽입 통과로 중의 도관의 수 및, 도관을 삽입 통과하는 삽입 통과로의 개수도 임의의 개수라도 좋다. 또한, 도관은 전기 에너지를 전달하는 케이블과, 유체를 전달하는 튜브가, 단독으로 존재하고 있어도, 혼재하고 있어도 좋다. 또한, 도관 지지 장치 CU는, 도면에 나타낸 바와 같은 평형에 한정되지 않고, 통형 등이라도 지지 부재 CG의 적용이 가능하다.

또한, 미리 형성한 도관 봉지 CP의 삽입 통과로 중에 도관 CT 및 지지 부재 CG를 삽입 통과시켜도 좋고, 도관 CT 및 도관 지지 부재 CG를 라미네이트함으로써 구성해도 좋다. 혹은, 도관 CT 및 도관 지지 부재 CG의 일부를 라미네이트함으로써 구성하고, 잔부를 삽입 통과시켜도 좋다.

도 23은 도관 지지 장치 CU를 구비한 처리 장치 PU의 예를 개념적으로 나타내는 도면이다. 처리 장치 PU는, 그 본체 상에 스테이지 PUS를 구비하고, 스테이지 PUS 상에는 피처리물(도시하지 않음)이 배치된다. 처리 장치 PU는, 도 23(a), 도 23(b)에 나타내는 바와 같이 피처리물에 대하여 상대적으로 이동 가능한 처리 헤드 PUH를 구비한다. 도관 지지 장치 CU의 일단은 고정단으로서 처리 장치의 본체와 접속되고, 타단은 처리 헤드 PUH와 접속된다. 처리 헤드 PUH의 위치에 따라서, U자형으로 형성된 도관 지지 장치 CU는, U자의 만곡부에 해당하는 위치가 이동함과 함께, 대향하는 2개의 직선부의 길이가 변화함으로써, 본체와 처리 헤드 PUH의 사이의 안정적인 접속을 유지할 수 있다.

그리고 본원 발명의 도관 지지 장치 CU에 있어서는, 지지 부재의 파손에 의한 낙하나 위치 어긋남 등이 발생하지 않기 때문에, 높은 품질의 제품을 얻을 수 있다. 또한, 처리 장치 PU의 가동 시, 정지 시를 포함하여, 탄성 부재 EE의 열화가 억제되기 때문에, 메인터넌스를 위한 정지 시간이 적어, 높은 생산성을 갖는 처리 장치 PU를 제공할 수 있다. 또한, 처리 헤드의 이동 시의 진동이 억제되기 때문에, 높은 위치 정밀도가 요구되는 처리라도, 우수한 생산성을 얻을 수 있다.

피처리물은 예를 들면 반도체 웨이퍼나 플랫 패널 디스플레이 등의 시트 형상/판 형상의 것이라도 좋고, 혹은 기계 부품 등의 입체 구조물이라도 좋다. 처리 헤드 PUH로서는, 반송을 위해 피처리물을 파지하는 파지 유닛, 피처리물에 물리적 및/또는 화학적인 처리를 하기 위한 가공 유닛, 혹은, 피처리물에 전자파를 조사 혹은 피처리물로부터 전자파를 검출하는 전자파 조사/검출 유닛 등을 들 수 있다. 도관 지지 장치 CU는, 내부의 지지 부재 CG의 탄성 부재가 블록 부재보다 내측이 되도록 U자 형으로 형성되어 있다. U자의 직선부에 상당하는 영역은, 처리 헤드의 위치에 따라서, 예를 들면 0.1∼5m의 길이를 취할 수 있다. 본 실시예에 있어서, 처리 유닛의 이동 최대 거리(스트로크)는 3m이고, 이 거리에 걸쳐, 도관 지지 장치 CU가 추종 가능하게 형성되어 있다. U자의 만곡부에 상당하는 위치의 만곡의 곡률 반경은 0.02m 이상이 바람직하고, 또한, 0.3m 이하가 바람직하다. 또한, 도관 지지 장치 CU의, U자의, 상방의 직선부에 상당하는 영역은, 장치 정지 시에 있어서, 자중에 의해 하방으로 약간 휘어 있어도 좋지만, 그 지지 장치의 휨량은 50㎜ 이하인 것이 바람직하고, 30㎜ 이하인 것이 특히 바람직하다. 여기에서, 지지 장치의 휨량은, 도관 지지 장치가 처리 헤드 PUH에 접속된 위치와, U자의 만곡부와 직선부와의 경계(변곡점)의 위치를 연결하는 직선에서, 도관 지지 장치의 상면의 임의의 점까지의 거리의 최댓값으로 하고 있다.

또한, 도관 지지 장치 CU는 도면과 같이 중력의 방향과 직선부가 교차하는 방향에서의 사용에 한정되지 않고, 직선부와 중력의 방향이 평행한 방향에서 사용해도 좋다. 이때, 만곡부는 직선부보다 상방이라도 하방이라도 상관없다.

이와 같이, 지지 부재 CG를 포함하는 도관 지지 장치 CU에 있어서는, 탄성 부재의 파단이 억제되어, 높은 신뢰성이 제공된다. 또한, 그러한 도관 지지 장치 CU를 구비한 처리 장치에 있어서는, 파단이 억제될 뿐만 아니라, 파단에 의한 분진이나 누설물에 의한 피처리물이나 환경의 오손도 억제되고, 혹은, 긴 이동 스트로크와 장수명에 의해, 처리 효율을 향상하는 것이 가능해진다.

(산업상의 이용 가능성)

본 발명에 따른 지지 부재, 도관 지지 장치, 처리 장치는, 예를 들면 기계 가공 라인, 반도체 제조 장치, 플랫 패널 디스플레이 제조 장치, 전자 부품 실장 장치 등에 조입된 로봇 주행 장치 등에 적용이 가능하다.

Claims (10)

1. 제1 면을 갖고, 제1 방향으로 연신하는 탄성 부재와,
   상기 탄성 부재에 고정되고, 상기 탄성 부재의 제1 면과 대향하는 저면 및 상기 제1 방향과 교차하는 단면을 각각 갖는 복수의 블록 부재를 구비한 지지 부재로서,
   상기 지지 부재는, 상기 복수의 블록 부재의 상기 단면이 서로 접한 제1 형상으로부터, 상기 복수의 블록 부재의 상기 단면이 서로 이간하고, 상기 탄성 부재의 제1 면을 외측으로 하는 방향으로 만곡한 제2 형상으로 변형 가능하고,
   상기 탄성 부재는, 상기 블록 부재의 저면에 고정됨으로써 변형이 규제된 제1 영역을 포함하고 있고,
   상기 지지 부재는, 상기 탄성 부재의 상기 제1 영역의 근방의 위치에 있어서의 굴곡의 발생을 억제하는 굴곡 억제 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 지지 부재.
2. 제1 면을 갖고, 제1 방향으로 연신하는 탄성 부재와,
   상기 탄성 부재에 고정되고, 상기 탄성 부재의 제1 면과 대향하는 저면 및 상기 제1 방향과 교차하는 단면을 각각 갖는 복수의 블록 부재를 구비한 지지 부재로서,
   상기 지지 부재는, 상기 복수의 블록 부재의 상기 단면이 서로 접한 제1 형상으로부터, 상기 복수의 블록 부재의 상기 단면이 서로 이간하고, 상기 탄성 부재의 제1 면을 외측으로 하는 방향으로 만곡한 제2 형상으로 변형 가능하고,
   상기 탄성 부재는,
   상기 블록 부재의 저면에 고정됨으로써 변형이 규제된 제1 영역과,
   상기 제1 형상에 있어서 상기 블록 부재의 저면과 접하고, 상기 제2 형상에 있어서 상기 블록 부재의 저면으로부터 이간하는 제2 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 지지 부재.
3. 제1항 내지 제2항에 있어서,
   상기 탄성 부재의 전체 길이에서 차지하는, 상기 탄성 부재의 제1 영역의 합계 길이의 비율은, 75％ 이하인 것을 특징으로 하는 지지 부재.
4. 제2항에 있어서,
   상기 탄성 부재는, 상기 제1 형상에 있어서 상기 블록 부재의 저면과 이간하고 있고, 또한, 상기 제2 형상에 있어서 상기 블록 부재의 저면과 이간하고 있는, 제3 영역을 추가로 포함하고 있고, 상기 제2 영역과 상기 제3 영역과의 합계 길이에서 차지하는, 상기 제2 영역의 비율은, 10％ 이상인 것을 특징으로 하는, 지지 부재.
5. 제1항 내지 제2항에 있어서,
   상기 탄성 부재는, SUS301 또는 SUS304를 포함하고, 두께가 0.1㎜ 이상인 판 형상의 부재인 것을 특징으로 하는 지지 부재.
6. 제1항 내지 제2항에 있어서,
   상기 블록 부재는, 필러를 포함하지 않는 상태에서 1000㎫ 이상의 압축 탄성률을 갖는 고분자 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 지지 부재.
7. 복원력을 구비하고, 제1 면을 갖고, 제1 방향으로 연신하는 탄성 부재와,
   상기 탄성 부재에 고정되고, 상기 탄성 부재의 제1 면과 대향하는 저면 및 상기 제1 방향과 교차하는 단면을 각각 갖는 복수의 블록 부재를 구비한 지지 부재로서,
   상기 지지 부재는, 상기 복수의 블록 부재의 상기 단면이 서로 접한 제1 형상으로부터, 상기 복수의 블록 부재의 상기 단면이 서로 이간하고, 상기 탄성 부재의 제1 면을 외측으로 하는 방향으로 만곡한 제2 형상으로 변형 가능하고,
   상기 탄성 부재는, 상기 블록 부재의 저면에 고정됨으로써 변형이 규제된 복수의 고정 영역과, 상기 제2 형상에 있어서 만곡이 가능한 복수의 변형 가능 영역을 구비하고,
   상기 탄성 부재의 전체 길이에서 차지하는, 상기 복수의 고정 영역의 합계 길이의 비율은 75％ 이하이고,
   상기 지지 부재는, 상기 지지 부재의 최소 곡률 반경을 규정하는 최소 곡률 반경 규정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 지지 부재.
8. 제7항에 있어서,
   상기 복수의 블록 부재는, 제1 블록 부재와, 상기 제1 블록 부재에 인접하는 제2 블록 부재를 포함하고,
   상기 최소 곡률 반경 규정부는,
   상기 제1 블록 부재에 형성된 제1 맞닿음면과,
   상기 제2 블록 부재에 형성되고, 상기 지지 부재의 만곡에 의해, 상기 제1 블록 부재와 상기 제2 블록 부재와의 사이의 거리가 소정의 크기로 되었을 때에, 상기 제1 맞닿음면과 접하는 제2 맞닿음면을 포함하는 것을 특징으로 하는 지지 부재.
9. 제1항 또는 제5항 또는 제7항에 기재된 지지 부재와, 도관(conduit)과, 상기 지지 부재와 도관이 내부에 삽입 통과된 도관 봉지를 포함하는 도관 지지 장치.
10. 제9항에 기재된 도관 지지 장치를 포함하는 처리 장치.
    

Images