JP7294524B2 - 搬送システム - Google Patents
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Description
本発明の一側面は、搬送システムに関する。
搬送システムに関する技術して、特許文献1に記載された表面実装装置が知られている。特許文献1に記載された表面実装装置は、ヘッドユニット(搬送装置)と、ヘッドユニットに連結されるケーブルベア(登録商標,ケーブル部)と、を備える。特許文献1に記載された表面実装装置では、ケーブルベアとケーブルベアをガイドするガイド部材との間に、ゴム等の防振材が設けられている。
上述した技術では、ケーブル部の移動に伴う振動を防振材により抑制することが図られている。しかし、上述した技術では、防振材がケーブル部との接触により摩耗することから、防振材が劣化しやく、システムの振動抑制性能の耐久性が低いという問題がある。
そこで、本発明の一側面は、ケーブル部の移動に伴う振動を抑制すると共に、振動抑制性能の耐久性を向上させることが可能な搬送システムを提供することを課題とする。
本発明の一側面に係る搬送システムは、物品を搬送する搬送装置と、一端が搬送装置に接続され、他端が地上側に固定され、搬送装置の移動に応じて移動するケーブル部と、ケーブル部を載置可能に設けられた載置部と、を備え、載置部は、ベースと、ベースに設けられベースよりも制振性が高い第1制振部材と、を有し、第1制振部材は、当該第1制振部材上でケーブル部を支持しない。
この搬送システムでは、第1制振部材により、ケーブル部の移動に伴う振動を抑制することができる。また、第1制振部材とケーブル部との接触による摩耗が生じず、且つ、第1制振部材にはケーブル部の荷重が作用しないことから、第1制振部材は劣化しにくい。よって、振動抑制性能の耐久性を向上させることが可能となる。
本発明の一側面に係る搬送システムでは、載置部に載置されたケーブル部は、その一部が載置部と接触しており、第1制振部材は、上方から見て、ケーブル部の当該接触面と重ならない位置に設けられていてもよい。この場合、第1制振部材がケーブル部を支持しない構成を具体的に実現できる。
本発明の一側面に係る搬送システムでは、載置部に載置されたケーブル部は、その幅方向の両側部で載置部と接触しており、第1制振部材は、上方から見て、ケーブル部の当該両側部の間に配置されていてもよい。この場合、上方から見て第1制振部材がケーブル部との接触面と重ならない構成を具体的に実現できる。また、両側部の間のスペースを活用することができ、省スペース化が可能となる。
本発明の一側面に係る搬送システムでは、ケーブル部は、搬送装置に接続された電力ケーブル及び信号ケーブルの少なくとも何れかと、搬送装置に接続され、電力ケーブル及び信号ケーブルの少なくとも何れかを内部に収容すると共に、搬送装置の移動に電力ケーブル及び信号ケーブルの少なくとも何れかが追従するように当該電力ケーブル及び当該信号ケーブルの少なくとも何れかを案内するケーブル収容部と、を有していてもよい。この場合、ケーブル部を具体的に構成することができる。また、電力ケーブル及び信号ケーブルの少なくとも何れかを、保護した状態で搬送装置の移動に追従させることができる。
本発明の一側面に係る搬送システムでは、搬送装置は、第1方向に移動するように構成され、ベースは、当該ベースに載置されたケーブル部の第1方向と交差する第2方向への移動を規制する規制部を含んでいてもよい。この場合、規制部によりケーブル部が第2方向にずれるのを抑制することができる。
本発明の一側面に係る搬送システムでは、載置部は、ベースに設けられ第1制振部材とは異なる材料で形成された第2制振部材を有し、第2制振部材は、当該第2制振部材上でケーブル部を支持してもよい。ケーブル部の移動に伴う振動を一層抑制することが可能となる。
本発明の一側面に係る搬送システムでは、第2制振部材は、上方から見て、ケーブル部が載置部と接触する接触面と重なる位置に設けられていてもよい。この場合、第2制振部材がケーブル部を支持する構成を具体的に実現できる。
本発明の一側面に係る搬送システムでは、載置部は、第2制振部材上に設けられ第2制振部材よりも硬い材料で形成された保護部材を有していてもよい。これにより、第2制振部材を保護することができる。
本発明の一側面に係る搬送システムでは、載置部は、保護部材上に設けられ保護部材よりも摩擦係数が小さい材料で形成された平滑部材を有していてもよい。これにより、ケーブル部との接触により保護部材が摩耗してしまうことを抑制することができる。
本発明の一側面に係る搬送システムは、物品を収容する棚を複数有するストッカと、ストッカを支持する架台と、を備え、載置部は、架台に取り付けられていてもよい。この場合、ケーブル部の移動に伴う振動は、架台を介してストッカ及び物品に伝播しやすい。物品の振動抑制は重要であることから、ケーブル部の移動に伴う振動を抑制する上記効果は特に有効である。
本発明の一側面によれば、ケーブル部の移動に伴う振動を抑制すると共に、振動抑制性能の耐久性を向上させることが可能な搬送システムを提供することができる。
以下、図面を参照しつつ実施形態について詳細に説明する。なお、同一又は相当要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
図1に示されるように、一実施形態の搬送システム1は、複数のストッカ2を備える。ストッカ2は、ストッカ本体3の内部をスタッカクレーン7が走行し、ストッカ本体3の内部に設けられた複数の棚Sと入出庫ポート(図示せず)との間で物品を搬送する。ストッカ2には、例えば、スタッカクレーン7によって搬送されてきた物品が保管される。物品は、例えば、半導体製造装置又は液晶製造装置等で処理されるウエハを収容するFOUP(Front-Opening Unified Pod)、及び半導体製造装置又は液晶製造装置等で用いられるレチクルを収容するレチクルポッド等の容器である。
搬送システム1では、二つ(複数)のストッカ2A,2Bが、スタッカクレーン7の走行方向に配列されている。搬送システム1では、それぞれのストッカ2の内部に、二台のスタッカクレーン7(7A,7B)が配備さている。ストッカ2は、ストッカ本体3、ラック4、及びスタッカクレーン7A,7Bを備える。ストッカ2は、架台8により支持されている(図5参照)。以下、便宜上、スタッカクレーン7の走行方向をX方向(第1方向)とし、鉛直方向をZ方向とし、X方向及びZ方向と直交する水平方向をY方向(第2方向)として説明する。
ストッカ本体3は、例えば中空の直方体状に形成されている。ストッカ本体3には、スタッカクレーン7が走行する走行レール31と、走行レール31とZ方向に対向するように配置された補助レール32と、がX方向に沿って敷設されている。スタッカクレーン7は、走行レール31及び補助レール32に沿って走行(移動)する。スタッカクレーン7は、棚Sと入出庫ポートとの間で物品を搬送し、棚Sに対して物品の移載を行う搬送装置である。ラック4は、ストッカ本体3内においてX方向に沿って設けられている。ラック4は、走行レール31を介して互いに向かい合うように対で配置されている。ラック4には、物品が収容される棚Sが複数設けられている。
図2及び図3に示されるように、スタッカクレーン7は、走行部71、マスト72、移載部75、及び補助走行部90を備える。走行部71は、走行用モータ78、昇降用モータ82、及びハウジング85を有する。走行部71は、走行レール31に沿って走行する。走行部71は、走行レール31の上面に沿って転動する駆動輪を含む。走行用モータ78は、走行用駆動輪76の駆動源である。昇降用モータ82は、昇降台73の駆動源である。ハウジング85は、走行用モータ78及び昇降用モータ82を収容する。なお、図2では、ハウジング85が取り外された状態が示されている。マスト72は、走行部71の上部にZ方向に立設されている。移載部75は、棚Sとの間で物品を移載すると共に、入出庫ポートとの間で物品を移載する。補助走行部90は、補助レール32に沿って走行する。補助走行部90は、補助レール32を挟み込んだ状態で転動する一対の駆動輪を含む。
図3及び図4に示されるように、搬送システム1は、ケーブル部10を備える。ケーブル部10は、一端10aがスタッカクレーン7に接続され、他端が地上側に固定され、スタッカクレーン7の移動に応じて移動する。ケーブル部10は、長尺の形状を呈する。ケーブル部10は、スタッカクレーン7からX方向の一方側に延びる上段部10xと、上段部10xからU字状に下方へ折り返すように延びるU字部10yと、U字部10yからX方向の他方側に延びる下段部10zと、を含む。ケーブル部10は、スタッカクレーン7がX方向の一方側又は他方側に移動した場合、それに伴って一端10a及びU字部10yが一方側又は他方側にストローク(移動)するように移動する。
ケーブル部10は、電力ケーブル11及びケーブルベア15を有する。電力ケーブル11は、スタッカクレーン7に接続されると共に、ストッカ2内の電源部(図示せず)に接続される。これにより、スタッカクレーン7は、電力ケーブル11を介して電源部から給電される。電力ケーブル11としては特に限定されず、種々の形状又は仕様のケーブルを用いることができる。
ケーブルベア15は、電力ケーブル11を内部に収容し、電力ケーブル11を保護する。これと共に、ケーブルベア15は、スタッカクレーン7の移動に電力ケーブル11が追従するように当該電力ケーブル11を案内する。ケーブルベア15は、ケーブル収容部を構成する。ケーブルベア15は、可動端及び固定端を有する。ケーブルベア15の可動端は、スタッカクレーン7の走行部71に接続されている。ケーブルベア15の固定端は、ストッカ2の架台8(図5参照)に取り付けられて固定されている。ケーブルベア15は、Y方向に沿った軸回りの方向のみに曲がるように構成されている。ケーブルベア15としては特に限定されず、種々の形状又は仕様の部品を用いることができる。
図4及び図5に示されるように、搬送システム1は、ケーブル部10を案内するケーブルガイド20を備える。ケーブルガイド20は、固定ガイド21及びガイドローラ41を有する。固定ガイド21は、ケーブル部10を載置可能に設けられた載置部を構成する。固定ガイド21は、ケーブル部10における下段部10zのケーブルベア15に接触(当接)する。固定ガイド21は、下段部10zを支持しつつ、下段部10zがずれないように案内する。固定ガイド21は、ケーブルベア15の固定端に近接する位置からX方向の一方側へ延在するように設けられている。なお、図5では、ケーブル部10の図示を省略する(図7も同様)。
固定ガイド21は、ベース22、第1制振部材24、第2制振部材25、保護部材26及び平滑部材27を有する。ベース22は、Z方向を厚さ方向とし且つX方向に延在する板状の部材である。ベース22のY方向の幅は、ケーブルベア15のY方向の幅に対応する。ベース22は、ストッカ2を支持する架台8の桁部材8aに、固定ガイド取付用ステー28を介して片持ち支持されている。
桁部材8aは、ストッカ2の下方においてX方向に延在する部材である。固定ガイド取付用ステー28は、Y方向に長尺で且つ屈曲された板状を呈する部材である。固定ガイド取付用ステー28は、ベース22を載置すると共に、当該ベース22とネジN1で固定されている。固定ガイド取付用ステー28の先端側は、上方に直角に折れ曲がる形状を成し、後述の規制壁23の外面に近接している。固定ガイド取付用ステー28の基端側は、桁部材8aの上面にネジN2で固定されている。これにより、固定ガイド21が架台8に取り付けられる。ベース22は、規制壁(規制部)23を含む。
規制壁23は、ベース22のY方向の両端から上方へ突出する板状の部材である。規制壁23は、ベース22のY方向の両端に連なるように設けられている。換言すると、規制壁23は、ベース22のY方向の両端から上方に直角に折れ曲がるように設けられている。規制壁23は、ベース22上に載せられたケーブルベア15のY方向への移動を規制する。
図5、図6、図7及び図8に示されるように、第1制振部材24は、ベース22に設けられ、ベース22よりも制振性が高い部材である。第1制振部材24は、Z方向に所定の厚さの矩形シート状を呈する。第1制振部材24は、ベース22上におけるY方向の中央部分に接着により固定されている。第1制振部材24は、X方向に沿って断続的に並置されている。第1制振部材24としては、例えばアスファルト、ブチルゴム、鉛等の一般的に制振効果を有する材料を用いることができる。第1制振部材24の材料としては特に限定されず、その機能を実現できる材料であれば、種々の材料を第1制振部材24に用いることができる。「制振」とは、振動している物体の振幅を減少させること、又は、振動を減衰させることを意味する。例えば第1制振部材24は、固定ガイド21の振動に伴って伸長を繰り返し、振動エネルギーを熱エネルギーに変換して振動を減衰させる。
第2制振部材25は、ベース22に設けられ、第1制振部材24とは異なる材料で形成された部材である。第2制振部材25は、第1制振部材24よりも厚い矩形シート状を呈する。第2制振部材25は、ベース22の上面におけるY方向の両端部分に接着で固定されている。第2制振部材25は、X方向に沿って連続的に配置されている。第2制振部材25としては、例えばゴム及びウレタン等の樹脂系材料を用いることができる。第2制振部材25の材料としては特に限定されず、その機能を実現できる材料であれば、種々の材料を第2制振部材25に用いることができる。
保護部材26は、第2制振部材25上に設けられ、第2制振部材25よりも硬い材料で形成された部材である。保護部材26は、第2制振部材25よりも薄い矩形シート状を呈する。保護部材26は、第2制振部材25の上面に、積層するようにして接着で固定されている。保護部材26は、X方向に沿って連続的に配置されている。保護部材26としては、例えば硬質ゴム及びナイロン等を用いることができる。保護部材26の材料としては特に限定されず、その機能を実現できる材料であれば、種々の材料を保護部材26に用いることができる。
平滑部材27は、保護部材26上に設けられ、保護部材26よりも摩擦係数が小さい材料で形成された部材である。平滑部材27は、保護部材26よりも薄い矩形シート状を呈する。平滑部材27は、保護部材26の上面に、積層するようにして接着で固定されている。平滑部材27は、X方向に沿って連続的に配置されている。平滑部材27としては、例えばニューライト(登録商標)、ポリエチレン、フッ素、テフロン(登録商標)及び塩化ビニル等を用いることができる。平滑部材27の材料としては特に限定されず、その機能を実現できる材料であれば、種々の材料を平滑部材27に用いることができる。
本実施形態では、固定ガイド21にケーブル部10が載置される場合に、ケーブル部10の一部が固定ガイド21と接触する。具体的には、ケーブルベア15の下面においてY方向(幅方向)の両側部が、平滑部材27の上面と接触する。ケーブルベア15の両側部は、固定ガイド21と接触する接触面Rを構成する。
第1制振部材24は、当該第1制振部材24上でケーブル部10を支持しない。つまり、第1制振部材24は、上方から見て、ケーブルベア15の両側部と重ならない位置に設けられている。第1制振部材24は、上方から見て、ケーブルベア15の両側部の間に配置される。第1制振部材24の上面は、平滑部材27の上面よりも上方に位置しておらず、第1制振部材24とケーブルベア15との間には、隙間が形成される。
第2制振部材25は、当該第2制振部材25上でケーブル部10を支持する。保護部材26は、当該保護部材26上でケーブル部10を支持する。平滑部材27は、当該平滑部材27上でケーブル部10を支持する。第2制振部材25、保護部材26及び平滑部材27は、上方から見て、ケーブルベア15の両側部と重なる位置に設けられている。
図4、図5、図9及び図10に示されるように、ガイドローラ41は、ケーブル部10における上段部10xのケーブルベア15に接触する。ガイドローラ41は、上段部10xをX方向に摺動可能に支持しつつ、上段部10xのX方向の移動を案内する。ガイドローラ41は、固定ガイド21よりもX方向の他方側に、X方向に沿って所定間隔で並ぶように配置されている。
ガイドローラ41は、ローラ42、ローラ取付用ステー43、架台取付用ステー44及びグロメット45を含む。ローラ42は、Y方向に延びる回転軸42aを中心に回転自在に設けられている。ローラ取付用ステー43は、Y方向を厚さ方向とする板状の部材である。ローラ取付用ステー43の上部には、ローラ42の回転軸42aの基端側がネジ等で固定されている。
架台取付用ステー44は、Y方向を厚さ方向とする板状の部材である。架台取付用ステー44の上部には、Y方向から見てU字状の切欠き44が形成されている。切欠き44には、ローラ42が挿通される。架台取付用ステー44の上部から中央部に亘る領域の後側には、ローラ取付用ステー43が所定の隙間をあけて重ねられる。この状態で、当該ローラ取付用ステー43は、その四隅に挿入されたネジN3によって架台取付用ステー44に固定されている。架台取付用ステー44の下部は、桁部材8aの前面にネジN4で固定されている。これにより、ガイドローラ41が架台8に取り付けられる。
グロメット45は、ネジN3の軸部の周囲にカラー45aを介して設けられ、Y方向を軸方向とする筒状の部材である。グロメット45は、ゴムで形成されている。グロメット45は、その軸方向の前端部45f及び後端部45rが拡径された構成を有する。前端部45fは、ローラ取付用ステー43と架台取付用ステー44との間に挟まれるように配置される。後端部45rは、ローラ取付用ステー43の後面に当接するように配置される。グロメット45の介在により、ローラ取付用ステー43と架台取付用ステー44とが縁切りされ、ガイドローラ41からの振動等を架台8に伝播することが抑制される。カラー45aは、グロメット45とネジN3との間に配置された筒状の部材である。カラー45aは、ネジN3の締め付けによりグロメット45がY方向に過度に潰れることを防ぐ。Y方向におけるネジN3の頭部とグロメット45の後端部45rとの間には、座金Wが設けられている。
ガイドローラ41では、ケーブル部10における上段部10xのケーブルベア15の下面が、ローラ42に接触する。スタッカクレーン7のX方向の移動に伴ってケーブルベア15がX方向に移動すると、ローラ42が回転し、ケーブルベア15のX方向の当該移動が案内される。
以上のように構成された搬送システム1では、スタッカクレーン7がX方向の一方側に移動した場合、ケーブル部10は、U字部10yがX方向の一方側にストロークし、下段部10zが増えるように移動する。このとき、下段部10zが増えた分、ケーブルベア15が固定ガイド21に当たるように接触して、振動が発生することが懸念される。この点、搬送システム1においては、第1制振部材24により、ケーブル部10の移動に伴う振動を抑制することができる。また、第1制振部材24とケーブル部10との接触による摩耗が生じず、且つ、第1制振部材24にはケーブル部10の荷重が作用しないことから、第1制振部材24は劣化しにくい。よって、搬送システム1の振動抑制性能の耐久性を向上させることが可能となる。
搬送システム1では、固定ガイド21に載置されたケーブル部10は、そのケーブルベア15の一部が固定ガイド21と接触しており、第1制振部材24は、上方から見て、ケーブル部10の当該接触面Rと重ならない位置に設けられている。この場合、第1制振部材24がケーブル部10を支持しない構成を具体的に実現できる。
搬送システム1では、固定ガイド21に載置されたケーブル部10は、そのケーブルベア15の両側部で固定ガイド21と接触しており、第1制振部材24は、上方から見て、ケーブル部10の当該両側部の間に配置される。この場合、上方から見て第1制振部材24がケーブル部10の接触面Rと重ならない構成を具体的に実現できる。また、両側部の間のスペースを活用することができ、省スペース化が可能となる。
搬送システム1では、ケーブル部10は、スタッカクレーン7に接続された電力ケーブル11及びケーブルベア15を有する。ケーブルベア15は、電力ケーブル11を内部に収容すると共に、スタッカクレーン7の移動に電力ケーブル11が追従するように当該電力ケーブル11を案内する。この場合、ケーブル部10を具体的に構成することができる。また、電力ケーブル11を保護した状態で当該電力ケーブル11をスタッカクレーン7の移動に追従させることができる。
搬送システム1では、スタッカクレーン7は、X方向に移動するように構成されている。ベース22は、そこに載置されたケーブル部10のY方向への移動を規制する規制壁23を有する。この場合、規制壁23によりケーブル部10がY方向にずれるのを抑制することができる。
搬送システム1では、固定ガイド21は、ベース22に設けられ第1制振部材24とは異なる材料で形成された第2制振部材25を有する。第2制振部材25は、当該第2制振部材25上でケーブル部10を支持する。これにより、ケーブル部10の移動に伴う振動を一層抑制することが可能となる。
搬送システム1では、第2制振部材25は、上方から見て、ケーブル部10が固定ガイド21と接触する接触面Rと重なる位置に設けられている。この場合、第2制振部材25がケーブル部10を支持する構成を具体的に実現できる。
搬送システム1では、固定ガイド21は、第2制振部材25上に設けられ第2制振部材25よりも硬い材料で形成された保護部材26を有する。これにより、第2制振部材25を保護することができる。
搬送システム1では、固定ガイド21は、保護部材26上に設けられ保護部材26よりも摩擦係数が小さい材料で形成された平滑部材27を有する。これにより、ケーブル部10との接触により保護部材26が摩耗してしまうこと抑制することができる。
搬送システム1は、物品を収容する棚Sを複数有するストッカ2と、ストッカを支持する架台8と、を備える。固定ガイド21は、架台8に取り付けられている。この場合、ケーブル部10の移動に伴う振動は、架台8を介してストッカ2及び物品に伝播しやすい。物品の振動抑制は重要であることから、ケーブル部10の移動に伴う振動を抑制する上記効果は特に有効である。
図11は、実施例及び比較例の騒音試験結果を示す図である。実施例は、上述した搬送システム1に対応する。実施例では、第1制振部材24の材料としてアスファルトを用い、第2制振部材25の材料としてスチレン系熱可塑性エラストマー(TPS)を用い、保護部材26の材料としてアクリルゴム(ACM)を用い、平滑部材27の材料としてニューライトを用いた。比較例では、第1制振部材24と保護部材26と平滑部材27とを設けず、第2制振部材25としてウレタンを用いた以外は実施例と同様とした。騒音値は、比較例の騒音値(db)を基準にした場合の相対値とした。騒音試験結果、実施例では、比較例に対して、約7%の騒音値の低減を実現することが確認できた。
以上、実施形態について説明したが、本発明の一態様は上記実施形態に限定されない。
上記実施形態において、第1制振部材24の位置は、ケーブル部10を支持しない位置であれば特に限定されない。例えば第1制振部材24は、ベース22の下面に設けてられていてもよいし、ベース22の規制壁23に設けられていてもよい。上記実施形態において、第1制振部材24が設けられる数は特に限定されず、1つでもよいし、複数でもよい。上記実施形態において、第1制振部材24は、X方向に沿って連続的に配置されていてもよい。上記実施形態は、電力ケーブル11に代えてもしくは加えて、スタッカクレーン7に接続された信号ケーブルを備えていてもよい。この場合、ケーブルベア15は、信号ケーブルを内部に収容すると共に、スタッカクレーン7の移動に信号ケーブルが追従するように当該信号ケーブルを案内する。
上記実施形態及び変形例における各構成には、上述した材料及び形状に限定されず、様々な材料及び形状を適用することができる。上記実施形態又は変形例における各構成は、他の実施形態又は変形例における各構成に任意に適用することができる。上記実施形態又は変形例における各構成の一部は、本発明の一態様の要旨を逸脱しない範囲で適宜に省略可能である。
1…搬送システム、2…ストッカ、7,7A,7B…スタッカクレーン(搬送装置)、8…架台、10…ケーブル部、11…電力ケーブル、15…ケーブルベア(ケーブル収容部)、21…固定ガイド(載置部)、22…ベース、23…規制壁(規制部)、24…第1制振部材、25…第2制振部材、26…保護部材、27…平滑部材、R…接触面、S…棚。
Claims (10)
- 物品を搬送する搬送装置と、
一端が前記搬送装置に接続され、他端が地上側に固定され、前記搬送装置の移動に応じて移動するケーブル部と、
前記ケーブル部を載置可能に設けられた載置部と、を備え、
前記載置部は、ベースと、前記ベースに設けられ前記ベースよりも制振性が高い第1制振部材と、を有し、
前記第1制振部材は、当該第1制振部材上で前記ケーブル部を支持しない、搬送システム。 - 前記載置部に載置された前記ケーブル部は、その一部が前記載置部と接触しており、
前記第1制振部材は、上方から見て、前記ケーブル部の当該接触面と重ならない位置に設けられている、請求項1に記載の搬送システム。 - 前記載置部に載置された前記ケーブル部は、その幅方向の両側部で前記載置部と接触しており、
前記第1制振部材は、上方から見て、前記ケーブル部の当該両側部の間に配置される、請求項2に記載の搬送システム。 - 前記ケーブル部は、
前記搬送装置に接続された電力ケーブル及び信号ケーブルの少なくとも何れかと、
前記搬送装置に接続され、前記電力ケーブル及び前記信号ケーブルの少なくとも何れかを内部に収容すると共に、前記搬送装置の移動に前記電力ケーブル及び前記信号ケーブルの少なくとも何れかが追従するように、当該電力ケーブル及び当該信号ケーブルの少なくとも何れかを案内するケーブル収容部と、を有する、請求項1~3の何れか一項に記載の搬送システム。 - 前記搬送装置は、第1方向に移動するように構成され、
前記ベースは、当該ベースに載置された前記ケーブル部の前記第1方向と交差する第2方向への移動を規制する規制部を有する、請求項1~4の何れか一項に記載の搬送システム。 - 前記載置部は、前記ベースに設けられ前記第1制振部材とは異なる材料で形成された第2制振部材を有し、
前記第2制振部材は、当該第2制振部材上で前記ケーブル部を支持する、請求項1~5の何れか一項に記載の搬送システム。 - 前記第2制振部材は、上方から見て、前記ケーブル部が前記載置部と接触する接触面と重なる位置に設けられている、請求項6に記載の搬送システム。
- 前記載置部は、前記第2制振部材上に設けられ前記第2制振部材よりも硬い材料で形成された保護部材を有する、請求項6又は7に記載の搬送システム。
- 前記載置部は、前記保護部材上に設けられ前記保護部材よりも摩擦係数が小さい材料で形成された平滑部材を有する、請求項8に記載の搬送システム。
- 前記物品を収容する棚を複数有するストッカと、
前記ストッカを支持する架台と、を備え、
前記載置部は、前記架台に取り付けられている、請求項1~9の何れか一項に記載の搬送システム。
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