KR20190113530A - 점착 테이프 접합 장치 - Google Patents

Abstract

[과제] 새롭게 접합용 점착 테이프를 사용하지 않고, 점착 테이프의 말단끼리를 보다 견고하게 접합시킬 수 있는 점착 테이프 접합 장치를 제공한다.
[해결 수단] 선행하는 점착 테이프(T1)를 원단롤(27A)로부터 분리함과 함께, 접합 테이프 제작부(33)에 있어서, 후속 점착 테이프(T2)의 일부를 절단하여 접합 테이프(CT)를 제작한다. 공급 위치에 있는 원단롤(27A)을 다른 원단롤(27B)로 교체한 후, 원단롤(27B)로부터 조출되는 후속 점착 테이프(T2)의 선단과, 원단롤(27A)로부터 분리된 선행 점착 테이프(T1)의 후단을 접합 테이프(CT)로 접합시킨다.

Description

점착 테이프 접합 장치{APPARATUS FOR BONDING ADHESIVE TAPE}

본 발명은, 반도체 웨이퍼, LED(Light emitting diode), 전자 회로 등의 각종 기판에 부착하는 점착 테이프의 공급 과정에 있어서, 선행하는 점착 테이프의 후단에, 후속하는 점착 테이프의 선단을 접합시키는 점착 테이프 접합 장치에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼(이하, 적절히 「웨이퍼」라고 함)는, 그 표면에 다수의 소자의 회로 패턴이 형성되어 있다. 예를 들어, 범프나 미세 회로가 웨이퍼 표면에 형성되어 있다. 그래서, 이면 연삭 시 및 반송 시에 당해 회로면의 오염 및 손상을 방지하기 위해서, 보호용 점착 테이프가 부착된다.

여기서 웨이퍼의 표면에 점착 테이프를 부착하기 위해 사용하는, 테이프 부착 장치의 종래 구성에 대하여 설명한다. 종래의 테이프 부착 장치(101)는 도 30에 나타내는 바와 같이, 테이프 공급부(103), 세퍼레이터 박리부(105), 유지 테이블(107), 테이프 부착부(109), 테이프 절단 기구(111), 테이프 회수부(113) 및 세퍼레이터 회수부(115) 등을 구비하고 있다.

테이프 공급부(103)는, 회로 보호용 세퍼레이터 부착 점착 테이프(TS)가 권회된 원단롤이 장전된 공급 보빈으로부터, 당해 점착 테이프(TS)를 조출하여 안내한다. 세퍼레이터 박리부(105)는 조출된 점착 테이프(TS)로부터 세퍼레이터(S)를 박리한다. 유지 테이블(107)은, 회로 형성면이 상향의 상태로 되어 있는 웨이퍼(W)를 흡착 유지한다. 테이프 부착부(109)는 일례로서 부착 롤러이며, 도 30에 있어서 좌측 방향으로 수평 이동한다. 당해 수평 이동에 의해, 테이프 부착부(109)는, 세퍼레이터(S)가 박리된 점착 테이프(T)를, 유지 테이블(107) 상의 웨이퍼(W)에 부착시킨다.

테이프 절단 기구(111)는 커터(111a)를 구비하고 있고, 부호 P로 나타내는 연직축 둘레에 테이프 절단 기구(111)가 회전함으로써, 점착 테이프(T)는 웨이퍼(W)의 외형을 따라서 잘라내어진다. 잘라내어진 후의 불필요한 부분의 점착 테이프(T), 즉, 불필요 테이프(Tn)는, 테이프 회수부(113)를 구성하는 권취축에 있어서 롤형으로 권취되어 회수된다. 또한 점착 테이프(T)로부터 박리된 세퍼레이터(S)는, 세퍼레이터 회수부(115)를 구성하는 권취축에 있어서 롤형으로 권취되어 회수된다.

이러한 테이프 부착 장치에 있어서, 테이프 공급부(103)에 있어서의 점착 테이프(T)의 장전량이 일정량을 하회한 경우, 또는 테이프 회수부(113)에 회수되는 불필요 테이프(Tn)의 양 등이 일정량을 상회한 경우에는 롤을 교환할 필요가 있다. 종래의 테이프 부착 장치(101)에서는 롤의 교환을 행하는 경우, 오퍼레이터는 번잡한 작업을 수동으로 행할 필요가 있다.

즉, 테이프 공급부(103)에 있어서는, 원단롤로부터 조출되는 점착 테이프(T)의 절단, 원단롤의 교환, 절단된 점착 테이프(T)의 접합, 및 점착 테이프(T)의 조출 재개와 같은 일련의 작업을 요한다. 그리고 테이프 회수부(113) 등에 있어서는, 불필요한 테이프(Tn)의 절단, 롤형으로 회수된 불필요 테이프(Tn)의 제거, 권취축에 대한 불필요 테이프(Tn)의 접합, 및 불필요 테이프(Tn)의 권취 재개와 같은 일련의 작업을 요한다. 종래의 장치로는 이들 일련의 작업을 행하는 동안, 테이프 부착 장치의 운전을 중단시킬 필요가 있다.

근년에는 테이프 부착 장치의 운전 중단에 의한 부착 효율의 저하를 회피하기 위해, 롤의 교환 작업, 특히 절단된 점착 테이프(T)의 말단끼리를 접합시키는 작업을 자동으로 행하기 위한 시도가 행해지고 있다. 그 일례로서, 이하와 같은 테이프 접합 방법이 제안되어 있다(예를 들어, 특허문헌 1을 참조). 즉, 선행하고 있는 세퍼레이터 부착 점착 테이프의 후단에, 접합용 점착 테이프인 접합 테이프를 부착시킨다.

접합 테이프가 부착된 후, 후속의 세퍼레이터 부착 점착 테이프의 선단에 대하여 접합 테이프가 부착된 세퍼레이터 부착 점착 테이프의 후단을 압박하여 접합시킨다. 이러한 방법에 의해, 선행의 점착 테이프와 후속의 점착 테이프의 말단끼리를, 접합 테이프를 통해 접합시킬 수 있다.

일본 특허 공개 제2014-133616호 공보

그러나, 상기 종래 장치에서는 다음과 같은 문제가 있다.

즉, 종래의 장치에서는 선행의 점착 테이프와 후속의 점착 테이프를 접합시킬 때, 제3 점착 테이프라고 할만한 접합 테이프를 별도로 준비할 필요가 있다. 또한, 접합 테이프의 공급 및 부착을 행하는 장치가 별도로 필요해지기 때문에, 점착 테이프끼리를 접합시키는 장치가 대형화된다.

또한, 접합 테이프의 점착면은, 선행의 점착 테이프의 후단에 있어서의 비점착면과, 후속의 점착 테이프의 선단에 있어서의 비점착면과 접촉된다. 그 때문에, 접합 테이프(CT)와 선행의 점착 테이프의 접착력, 및 접합 테이프와 후속의 점착 테이프의 접착력이 비교적 약하다. 따라서, 접합시켰어야 할 선행의 점착 테이프 및 후속의 점착 테이프가 서로 박리되어, 접합 에러가 발생한다는 문제도 염려된다.

본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 새롭게 접합용 점착 테이프를 사용하지 않고, 점착 테이프의 말단끼리를 보다 견고하게 접합시킬 수 있는 점착 테이프 접합 장치를 제공하는 것을 주된 목적으로 한다.

본 발명은 이와 같은 목적을 달성하기 위해서, 다음과 같은 구성을 취한다.

즉, 장척(長尺)의 점착 테이프의 단부끼리를 접합시키는 점착 테이프 접합 장치로서,

점착 테이프의 원단롤을 복수개 구비하고, 복수의 상기 원단롤 중 공급 위치에 배치되어 있는 제1 원단롤로부터 점착 테이프를 조출시키는 테이프 공급부와,

테이프 공급부가 구비하는 복수의 원단롤 중, 공급 위치에 있는 제1 원단롤로부터 조출되고 있는 제1 점착 테이프를 소정 위치에서 절단하여 상기 제1 원단롤로부터 분리하는 절단 기구와,

테이프 공급부가 구비하는 복수의 원단롤 중, 상기 제1 원단롤로부터 조출되고 있는 상기 제1 점착 테이프, 및 제2 원단롤로부터 조출되고 있는 제2 점착 테이프 중, 어느 일부를 절단하여 접합용 점착 테이프편(片)을 제작하는 제1 접합 테이프 제작 기구와,

상기 점착 테이프편을 유지하는 접합 테이프 유지 부재와,

상기 테이프 공급부를 이동시켜, 공급 위치에 배치되는 원단롤을 상기 제1 원단롤로부터 제2 원단롤로 교체하는 롤 교체 기구와,

상기 제1 원단롤로부터 분리된 상기 제1 점착 테이프의 후단과, 상기 제2 원단롤로부터 조출되고 있는 상기 제2 점착 테이프의 선단을 상기 점착 테이프편으로 접합시키는 점착 테이프 접합 기구

를 구비한 것을 특징으로 하는 것이다.

(작용·효과) 본 발명에 의하면, 제1 접합 테이프 제작 기구는, 접합 대상인 제1 점착 테이프 및 제2 점착 테이프 중, 어느 일부를 절단하여 접합용 점착 테이프편을 제작한다. 그리고 점착 테이프 접합 기구는, 제1 점착 테이프의 후단과 제2 점착 테이프의 선단을 당해 점착 테이프편으로 접합시킨다.

이 경우, 접합 대상인 제1 점착 테이프 또는 제2 점착 테이프의 일부를 접합용 점착 테이프편으로서 사용한다. 그 때문에, 점착 테이프끼리를 접합시킬 때 접합 대상인 각 점착 테이프와는 별도의 테이프를, 접합용 점착 테이프로서 미리 준비할 필요가 없다. 또한, 테이프 접합 장치에 대하여, 당해 별도의 테이프를 공급하는 구성이나, 당해 별도의 테이프를 접합 대상의 점착 테이프에 부착시키는 구성을 배치할 필요도 없다. 그 때문에, 점착 테이프의 접합의 준비가 번잡화되는 사태나, 테이프 접합 장치의 대형화 및 비용 상승이 발생하는 사태를 피할 수 있다.

또한, 제1 점착 테이프의 후단과 제2 점착 테이프의 선단을 접합시키는, 접합용 점착 테이프편의 특성은, 접합 대상의 특성과 동일해진다. 그 때문에, 점착 테이프편과 제1 점착 테이프 사이의 점착력이 낮다고 하는 사태나, 점착 테이프편과 제2 점착 테이프 사이의 점착력이 낮다고 하는 사태는 확실하게 방지된다. 그 때문에, 접합 부분에 있어서 재박리에 기인하는 접합 에러가 발생하는 것을 보다 확실하게 방지할 수 있다.

또한, 상술한 발명에 있어서, 상기 점착 테이프 접합 기구는, 상기 점착 테이프편의 점착면과, 상기 제1 점착 테이프의 후단 부분의 점착면 및 상기 제2 점착 테이프의 선단 부분의 점착면이 서로 대면한 상태에서, 제1 점착 테이프의 후단과 제2 점착 테이프의 선단을 상기 점착 테이프편으로 접합시키는 것이 바람직하다.

(작용·효과) 이 구성에 의하면, 점착 테이프 접합 기구는, 점착 테이프편의 점착면과, 제1 점착 테이프의 후단 부분의 점착면 및 제2 점착 테이프의 선단 부분의 점착면이 서로 대면한 상태에서, 제1 점착 테이프의 후단과 제2 점착 테이프의 선단을 점착 테이프편으로 접합시킨다. 즉, 접합을 행할 때, 제1 점착 테이프의 후단 부분의 점착면 및 제2 점착 테이프의 선단 부분의 점착면과는 동일한 방향을 향하고 있는 것에 비해, 점착 테이프편의 점착면은 각 점착 테이프의 점착면에 대면하고 있다.

그 때문에, 점착 테이프편의 점착면은, 제1 점착 테이프의 후단 부분의 점착면 및 제2 점착 테이프의 선단 부분의 점착면의 각각과 접촉시킴으로써 접합이 행해진다. 이 경우, 접합 부분에 있어서의 접착력은 점착 테이프편의 점착력뿐만 아니라, 제1 점착 테이프 및 제2 점착 테이프의 점착력도 영향을 미친다. 따라서, 접합 부분에 있어서의 접착력을 보다 향상시킬 수 있으므로, 접합 부분에 있어서의 접합 에러의 발생을 보다 확실하게 피할 수 있다.

또한, 상술한 발명에 있어서, 상기 원단롤의 각각은, 세퍼레이터가 첨설된 상기 점착 테이프를 조출하는 것이며, 상기 제1 원단롤로부터 분리된 제1 세퍼레이터의 후단과, 상기 제2 원단롤로부터 조출되고 있는 제2 세퍼레이터의 선단을 접합시키는 세퍼레이터 접합 기구를 구비하는 것이 바람직하다.

(작용·효과) 이 구성에 의하면, 제1 원단롤로부터 분리된 제1 세퍼레이터의 후단과, 제2 원단롤로부터 조출되고 있는 제2 세퍼레이터의 선단은 세퍼레이터 접합 기구에 의해 접합된다. 즉, 점착 테이프끼리가 접합되어 연속된 장척상으로 됨과 함께, 세퍼레이터끼리도 접합되어 연속된 장척상이 된다. 그 때문에, 점착 테이프뿐만 아니라 세퍼레이터에 대해서도 연속적으로 권취 회수할 수 있으므로, 장치를 보다 장시간 연속해서 운용할 수 있다.

또한, 상술한 발명에 있어서, 상기 세퍼레이터 접합 기구는, 상기 제1 세퍼레이터의 후단과 상기 제2 세퍼레이터의 선단 중 적어도 한쪽을 가열하는 가열 기구를 구비하고, 상기 제1 세퍼레이터 및 상기 제2 세퍼레이터는, 열 접착에 의한 접합을 가능하게 하는 재료로 구성되는 것이 바람직하다.

(작용·효과) 이 구성에 의하면, 세퍼레이터 접합 기구가 제1 세퍼레이터의 후단과 제2 세퍼레이터의 선단 중 적어도 한쪽을 가열함으로써, 제1 세퍼레이터와 제2 세퍼레이터를 접합시킬 수 있다. 그 때문에, 각각의 세퍼레이터끼리를 보다 적합하게 접합시킬 수 있다.

또한, 상술한 발명에 있어서, 상기 제1 점착 테이프 및 상기 제2 점착 테이프와는 특성이 다른 제3 점착 테이프를 공급하는 제3 원단롤과,

상기 제3 점착 테이프의 일부를 절단하여 접합용 점착 테이프편을 제작하는 제2 접합 테이프 제작 기구와,

상기 제1 점착 테이프의 특성 또는 상기 제2 점착 테이프의 특성에 기초하여, 제1 모드와 제2 모드의 어느 것을 선택하는 선택 기구와,

상기 선택 기구의 선택에 기초하여, 상기 제1 접합 테이프 제작 기구 및 상기 제2 접합 테이프 제작 기구를 제어하는 제어 기구를 구비하고,

상기 제어 기구는,

상기 제1 모드가 선택된 경우에는, 제2 접합 테이프 제작 기구를 정지시키는 제어를 행함과 함께 제1 접합 테이프 제작 기구를 작동시켜, 상기 제1 점착 테이프 및 상기 제2 점착 테이프 중, 어느 일부를 절단하여 접합용 점착 테이프편을 제작하도록 제어하고,

상기 제2 모드가 선택된 경우에는, 제1 접합 테이프 제작 기구를 정지시키는 제어를 행함과 함께 제2 접합 테이프 제작 기구를 작동시켜, 상기 제3 점착 테이프의 일부를 절단하여 접합용 점착 테이프편을 제작하도록 제어하는

것이 바람직하다.

(작용·효과) 이 구성에 의하면, 제3 원단롤을 구비함과 함께, 접합 대상인 제1 점착 테이프 또는 제2 점착 테이프의 특성에 기초하여, 제1 모드와 제2 모드 중 어느 것을 적절히 선택할 수 있다. 그리고 제1 모드가 선택된 경우, 제1 접합 테이프 제작 기구가 작동하고, 제1 점착 테이프 또는 제2 점착 테이프의 일부를 사용하여 접합용 점착 테이프편이 제작된다. 한편, 제2 모드가 선택된 경우, 제2 접합 테이프 제작 기구가 작동하고, 제3 점착 테이프를 사용하여 접합용 점착 테이프편을 제작한다.

이 경우, 제1 점착 테이프 또는 제2 점착 테이프의 특성이 접합용 점착 테이프편으로서 부적절한 경우, 제2 모드를 선택하여 접합용 점착 테이프편으로서 적절한 제3 점착 테이프를 사용한다. 그 때문에, 제3 점착 테이프에 의해, 제1 점착 테이프와 제2 점착 테이프를 견고하게 접합시킬 수 있다.

한편, 제1 점착 테이프 또는 제2 점착 테이프의 특성이 접합용 점착 테이프편으로서 적절한 경우, 제1 모드를 선택하여 제1 점착 테이프 또는 제2 점착 테이프의 일부를 사용하여 제1 점착 테이프와 제2 점착 테이프를 접합시킨다. 따라서, 제1 모드와 제2 모드를 적절히 구분해서 사용함으로써, 제1 점착 테이프 및 제2 점착 테이프의 특성에 관계없이, 점착 테이프끼리의 접합이 가능해진다. 즉, 점착 테이프 접합 장치의 범용성을 향상시킬 수 있다. 그리고, 제3 점착 테이프를 사용하지 않고 접합이 가능한 경우에는 제1 모드에서 점착 테이프끼리의 접합을 행하므로, 부자재인 제3 점착 테이프의 소비량을 억제하면서, 제1 점착 테이프와 제2 점착 테이프의 접합 시에 접합 에러가 발생하는 것을 보다 확실하게 피할 수 있다.

본 발명의 점착 테이프 접합 장치에 의하면, 세퍼레이터가 첨설된 장척의 점착 테이프의 단부끼리를 접합시킬 때, 접합 대상인 점착 테이프의 일부를 이용하여 접합용 점착 테이프편을 제작하고, 당해 점착 테이프편을 사용하여 점착 테이프의 단부끼리를 접합시킨다. 그 때문에, 접합 대상인 점착 테이프를 준비하면, 접합용 점착 테이프편을 별도로 준비할 필요가 없다. 또한, 접합 대상인 점착 테이프와 접합용 점착 테이프편은 구성 재료의 특성이 동일하므로, 접합용 점착 테이프편과 접합 대상인 점착 테이프 사이의 점착력이 낮다고 하는 사태를 확실하게 피할 수 있다. 또한, 점착 테이프 접합 장치의 대형화나 비용 상승을 방지하는 것도 가능해진다.

도 1은 실시예 1에 관한 점착 테이프 부착 장치의 기본 구성을 나타내는 정면도이다.
도 2는 실시예 1에 관한 테이프 공급 유닛의 구성을 나타내는 도면이다.
(a)는 테이프 공급 유닛의 사시도이며, (b)는 테이프 공급 유닛의 정면도이다.
도 3은 실시예 1에 관한 테이프 공급부 및 세퍼레이터 박리부의 구성을 나타내는 도면이다.
도 4는 실시예 1에 관한 접합 테이프 제작부의 구성을 나타내는 도면이다.
도 5는 실시예 1에 관한 세퍼레이터 접합 유닛의 구성을 나타내는 도면이다.
도 6은 실시예 1에 관한 세퍼레이터 부착 점착 테이프의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 7은 실시예 1에 관한 점착 테이프 부착 장치의 동작을 나타내는 흐름도이다.
(a)는 웨이퍼에 점착 테이프를 부착시키는 동작의 개요를 나타내는 흐름도이며, (b)는 스텝 S7의 동작의 상세를 설명하는 흐름도이다.
도 8은 실시예 1에 관한 스텝 S2의 동작을 나타내는 도면이다.
(a)는 점착 테이프가 웨이퍼에 부착되기 전의 상태를 나타내는 도면이며, (b)는 점착 테이프가 웨이퍼에 부착된 후의 상태를 나타내는 도면이다.
도 9는 실시예 1에 관한 스텝 S3의 동작을 나타내는 도면이다.
도 10은 실시예 1에 관한 스텝 S4의 동작을 나타내는 도면이다.
도 11은 실시예 1에 관한 스텝 S7의 개시 시에 있어서의 테이프 접합 장치의 구성을 나타내는 도면이다.
도 12는 실시예 1에 관한 스텝 S7-1에 있어서, 선행 점착 테이프를 절단하는 동작을 나타내는 도면이다.
(a)는 커터 유닛이 초기 위치에 배치되어 있는 상태를 나타내는 도면이며, (b)는 커터 유닛이 절단 준비 위치로 이동하고 있는 상태를 나타내는 도면이며, (c)는 커터 유닛이 절단 실행 위치로 이동하여 선행 점착 테이프를 절단하고 있는 상태를 나타내는 도면이며, (d)는 스텝 S7-2에 있어서의 커터 유닛과 선행 점착 테이프의 위치 관계를, 선행 점착 테이프의 조출 방향(L 방향)으로부터 본 단면도를 도시하고 있다.
도 13은 실시예 1에 관한 스텝 S7-1에 있어서, 선행 세퍼레이터를 절단하는 동작을 나타내는 도면이다.
(a)는 커터 유닛이 초기 위치에 배치되어 있는 상태를 나타내는 도면이며, (b)는 커터 유닛이 절단 준비 위치로 이동하고 있는 상태를 나타내는 도면이며, (c)는 커터 유닛이 절단 실행 위치로 이동하여 선행 세퍼레이터를 절단하고 있는 상태를 나타내는 도면이다.
도 14는 실시예 1에 관한 스텝 S7-2의 동작을 나타내는 도면이다.
(a)는 커터 유닛이 초기 위치에 배치되어 있는 상태를 나타내는 도면이며, (b)는 커터 유닛이 절단 실행 위치로 이동하여 후속의 점착 테이프를 절단하고, 접합 테이프를 제작하고 있는 상태를 나타내는 도면이며, (c)는 스텝 S7-3까지의 각 공정이 완료된 후에 있어서의 테이프 접합 장치의 개략 구성을 나타내는 도면이다.
도 15는 실시예 1에 관한 스텝 S7-3의 동작을 나타내는 도면이다.
(a)는 접합 테이프 유지 부재가 절단 준비 위치에 배치되어 있는 상태를 나타내는 도면이며, (b)는 접합 테이프 유지 부재가 절단 준비 위치로부터 접합 준비 위치로 변위된 후의 상태를 나타내는 도면이며, (c)는 선행 점착 테이프 유지 부재가 근접 위치에 배치되어 있는 상태를 나타내는 도면이며, (d)는 선행 점착 테이프 유지 부재가 근접 위치로부터 퇴피 위치로 이동하는 상태를 나타내는 도면이다.
도 16은 실시예 1에 관한 스텝 S7-4의 동작을 나타내는 도면이다.
(a)는 공급 위치에 배치되는 원단롤을 교체하기 전에 있어서의 테이프 접합 장치의 상태를 나타내는 도면이며, (b)는 공급 위치에 배치되는 원단롤을 교체한 후에 있어서의 테이프 접합 장치의 상태를 나타내는 도면이다.
도 17은 실시예 1에 관한 스텝 S7-5의 동작을 나타내는 도면이다.
(a)는 접합 테이프 유지 부재가 접합 준비 위치에 배치되어 있는 상태를 나타내는 도면이며, (b)는 접합 테이프 유지 부재가 접합 준비 위치로부터 접합 실행 위치로 변위되고, 접합 테이프를 압박하고 있는 상태를 나타내는 도면이며, (c)는 접합 테이프에 의한 점착 테이프끼리의 접합이 완료되고, 점착 테이프의 유지가 해제된 상태를 나타내는 도면이며, (d)는 접합이 완료된 점착 테이프의 조출을 재개한 상태를 나타내는 도면이다.
도 18은 실시예 1에 관한 스텝 S7-6의 동작을 나타내는 도면이다.
(a)는 선행 세퍼레이터 유지 부재가 접합 준비 위치에 배치되어 있는 상태를 나타내는 도면이며, (b)는 선행 세퍼레이터 유지 부재가 접합 준비 위치로부터 접합 실행 위치로 변위되고, 선행 세퍼레이터를 후속 세퍼레이터에 가열 압박하고 있는 상태를 나타내는 도면이며, (c)는 세퍼레이터끼리의 접합이 완료되고, 세퍼레이터의 유지가 해제된 상태를 나타내는 도면이다.
도 19는 실시예 1에 관한 스텝 S7-5 및 스텝 S7-6의 동작을 나타내는 도면이다.
(a)는 점착 테이프끼리의 접합 및 세퍼레이터끼리의 접합을 실행하고 있는 상태에 있어서의 테이프 접합 장치의 개략 구성을 나타내는 도면이며, (b)는 점착 테이프끼리의 접합 및 세퍼레이터끼리의 접합이 완료된 상태에 있어서의 테이프 접합 장치의 개략 구성을 나타내는 도면이다.
도 20은 종래 구성의 문제점과, 실시예 1의 구성에 의한 효과를 설명하는 도면이다.
(a)는 편면 테이프를 접합 테이프로서 사용하여, 종래의 접합 방법을 실행한 경우에 있어서의 접합 부분의 단면도이며, (b)는 양면 테이프를 접합 테이프로서 사용하여, 종래의 접합 방법을 실행한 경우에 있어서의 접합 부분의 단면도이며, (c)는 실시예 1에 관한 접합 방법을 실행한 경우에 있어서의 접합 부분의 단면도이다.
도 21은 실시예 2에 관한 스텝 S7의 개시 시에 있어서의 테이프 접합 장치의 구성을 나타내는 도면이다.
도 22는 실시예 2에 관한 스텝 S7-1의 동작을 나타내는 도면이다.
(a)는 선행 점착 테이프 및 선행 세퍼레이터를 절단하기 전의 상태를 나타내는 도면이며, (b)는 선행 점착 테이프 및 선행 세퍼레이터를 절단한 후의 상태를 나타내는 도면이다.
도 23은 실시예 2에 관한 스텝 S7-2의 동작을 나타내는 도면이다.
도 24는 실시예 2에 관한 스텝 S7-3의 동작을 나타내는 도면이다.
도 25는 실시예 2에 관한 스텝 S7-4의 동작을 나타내는 도면이다.
(a)는 공급 위치에 배치되는 원단롤을 교체하기 전에 있어서의 테이프 접합 장치의 상태를 나타내는 도면이며, (b)는 공급 위치에 배치되는 원단롤을 교체한 후에 있어서의 테이프 접합 장치의 상태를 나타내는 도면이다.
도 26은 실시예 2에 관한 스텝 S7-5 및 스텝 S7-6의 동작을 나타내는 도면이다.
(a)는 점착 테이프끼리의 접합 및 세퍼레이터끼리의 접합을 개시하기 전의 상태를 나타내는 도면이며, (b)는 점착 테이프끼리의 접합 및 세퍼레이터끼리의 접합을 실행하고 있는 상태를 나타내는 도면이다.
도 27은 변형예에 관한 테이프 접합 장치를 나타내는 도면이다.
(a)는 기재가 두꺼운 점착 테이프를 사용하여 실시예에 관한 점착 테이프의 접합을 실행한 경우에 있어서의, 점착 테이프의 접합 부분의 단면도이며, (b)는 변형예에 관한 테이프 접합 장치의 개략 구성을 나타내는 도면이다.
도 28은 변형예에 관한 테이프 접합 장치의 동작을 나타내는 도면이다.
(a)는 변형예에 관한 스텝 S7의 개시 시에 있어서의, 후속 점착 테이프의 초기 상태를 나타내는 도면이며, (b)는 변형예에 관한 스텝 S7-2에 있어서, 점착 테이프(F)의 절단을 개시하기 전에 있어서의 상태를 나타내는 도면이며, (c)는 변형예에 관한 스텝 S7-2의 공정이 완료되고, 접합 테이프가 제작된 상태를 나타내는 도면이다.
도 29는 변형예에 관한 테이프 접합 장치의 동작을 나타내는 도면이다.
(a)는 변형예에 관한 스텝 S7-5의 공정을 개시하기 전의 상태를 나타내는 도면이며, (b)는 변형예에 관한 스텝 S7-5 공정을 실행하고, 점착 테이프끼리가 접합되어 있는 상태를 나타내는 도면이다.
도 30은 종래예에 관한 테이프 부착 장치의 구성을 나타내는 도면이다.

[실시예 1]

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예 1을 설명한다. 도 1은, 실시예 1에 관한 점착 테이프 접합 장치를 구비하는, 점착 테이프 부착 장치(1)의 기본 구성을 나타내는 정면도이다. 또한 점착 테이프 부착 장치(1)를 나타내는 도면에 있어서, 각종 구성을 지지하는 지지 수단, 및 각종 구성을 구동시키는 구동 수단 등에 대해서는 도시를 생략하고 있다.

본 실시예에서는, 반도체 웨이퍼(W)(이하, 간단히 「웨이퍼(W)」라고 약칭함) 등의 각종 기판에 부착시키는 표면 보호용 점착 테이프(T)를 세퍼레이터(S)가 첨접(添接)된 장척으로 공급하고, 하류측에서 소정계상으로 절단하는 경우를 예로 들어 설명한다. 즉, 본 실시예에서는 장척의 점착 테이프끼리를 접합시킨다. 또한, 세퍼레이터(S)가 첨접된 상태의 점착 테이프(T)를, 테이프(TS)라 한다.

본 실시예에 있어서 「상류」 및 「하류」는 테이프(TS)의 조출 방향을 따르는 것으로서 정의된다. 즉, 「상류」란 테이프(TS)의 조출 방향에 있어서, 후술하는 테이프 공급부에 가까운 측을 의미하는 것으로 한다. 또한 점착 테이프(T)는 도 6에 나타내는 바와 같이, 비점착성 기재(B)와, 점착성을 갖는 점착층(C)이 적층된 구성을 구비하고 있다. 세퍼레이터(S)를 구성하는 재료로서는, 열 접착에 의한 접합을 가능하게 하는 재료인 것이 보다 바람직하다.

<전체 구성의 설명>

실시예 1에 관한 점착 테이프 부착 장치(1)는 도 1에 도시한 바와 같이, 점착 테이프 접합 장치(3), 유지 테이블(5), 테이프 부착 유닛(7), 테이프 절단 유닛(9), 테이프 박리 유닛(11), 테이프 회수부(13) 및 세퍼레이터 회수부(15)를 구비하고 있다. 점착 테이프 접합 장치(3)는 선행하고 있는 점착 테이프(T)의 후단에, 당해 선행하고 있는 점착 테이프(T)에 후속하는 별도의 점착 테이프(T)의 선단을 접합시킨다. 점착 테이프 접합 장치(3)의 구체적인 구성에 대해서는 후술한다.

유지 테이블(5)은, 회로 형성면이 상향으로 되어 있는 웨이퍼(W)를 적재하여 유지한다. 실시예에서는 유지 테이블(5)로서, 웨이퍼(W)를 흡착 유지하는 척 테이블을 사용하지만, 유지 테이블(5)의 구성으로서는 이것에 한정되지 않는다. 또한, 이 유지 테이블(5)의 상면에는, 후술하는 테이프 절단 유닛(11)에 구비한 커터날(9c)을 웨이퍼(W)의 외형을 따라서 선회 이동시켜 점착 테이프(T)를 절단하기 위해서, 커터 주행홈(5a)이 형성되어 있다. 유지 테이블(5)은 적절히 승강 이동을 가능하게 하는 구성이어도 된다.

테이프 부착 유닛(7)은 유지 테이블(5)에 적재되어 흡착 유지된 웨이퍼(W)의 회로면에 점착 테이프(T)를 부착시킨다. 테이프 부착 유닛(7)은 도 1에 도시한 바와 같이, 도시하지 않은 레일을 따라서 좌우 수평으로 왕복 이동하는 가동대(7a)와, 가동대(7a)에 접속된 브래킷에 축 지지된 부착 롤러(7b)를 구비하고 있다.

테이프 절단 유닛(9)은, 구동 승강 가능한 가동대(9a)의 하부에, 유지 테이블(5)의 중심 상에 위치하는 종축심(P) 둘레에 구동 선회 가능하게 지지암(9b)이 장비된다. 또한, 이 지지암(9b)의 자유 단부(遊端)측에, 날끝을 하향으로 한 커터(9c)가 장착되어 있다. 즉, 지지암(9b)이 종축심(P)을 선회 중심으로 하여 선회함으로써, 커터(9c)가 웨이퍼(W)의 외주를 따라서 이동하여 점착 테이프(T)를 잘라내도록 구성되어 있다.

테이프 박리 유닛(11)은, 커터(9c)에 의해 잘라내어져 웨이퍼(W)의 표면에 부착된 점착 테이프(Tw)와, 점착 테이프(Tw)가 잘라내어져 불필요하게 된 점착 테이프(T)인, 불필요 테이프(Tn)를 분리시킨다. 테이프 박리 유닛(11)은, 불필요 테이프(Tn)의 텐션을 유지하는 가이드 롤러(11a)와, 닙 롤러(12)를 구비하고 있다. 닙 롤러(12)는, 승강 이동을 가능하게 하는 핀치 롤러(12a)와, 모터에 의해 구동하는 이송 롤러(12b)에 의해 구성된다. 테이프 박리 유닛(11)은 도시하지 않은 레일을 따라서 좌우 수평으로 왕복 이동이 가능해지도록 구성되어 있다.

테이프 회수부(13)는 테이프 박리 유닛(11)의 하류에 배치되어 있고, 불필요 테이프(Tn)를 권취하는 회수 보빈이 권취 방향으로 회전 구동되도록 되어 있다. 세퍼레이터 회수부(15)는 점착 테이프(T)로부터 박리된 세퍼레이터(S)를 권취하는 회수 보빈이 권취 방향으로 회전 구동되도록 되어 있다.

또한, 점착 테이프 부착 장치(1)는 또한 제어부(81)와 입력부(83)를 구비하고 있다. 제어부(81)는 CPU(중앙 연산 처리 장치) 등을 구비하고 있고, 점착 테이프 부착 장치(1)에 설치되어 있는 구성의 각각에 대하여, 각종 동작 등을 통괄 제어한다. 입력부(83)의 예로서는 컨솔 패널이나 키보드 등을 들 수 있고, 오퍼레이터는 입력부(83)를 사용하여 각종 지시를 입력한다. 입력부(83)에 입력된 지시 내용은 제어부(81)에 송신되고, 제어부(81)는 당해 지시에 따라서 각종 제어를 행할 수 있다.

<점착 테이프 접합 장치의 구성>

여기서, 실시예 1에 관한 점착 테이프 접합 장치(3)의 구성에 대하여 설명한다. 점착 테이프 접합 장치(3)는 테이프 공급 유닛(17)과, 선행 점착 테이프 유지 부재(19)와, 세퍼레이터 접합 유닛(21)을 구비하고 있다.

테이프 공급 유닛(17)는 도 2의 (a)에 나타내는 바와 같이, 회전 플레이트(23)에 복수의 보빈(25)이 세워 설치되고, 테이프(TS)의 원단롤(27)을 각각의 보빈(25)에 장전하도록 구성되어 있다. 본 실시예에서는 2개의 보빈(25A 및 25B)이 회전 플레이트(23)에 세워 설치되어 있는 것으로 한다. 보빈(25A)에 장전되어 있는 원단롤에는 부호 27A를 붙이고, 보빈(25B)에 장전되는 원단롤에는 부호 27B를 붙여 양자를 구별한다. 또한, 도 2의 (a)에 관한 사시도에서는 설명의 편의상, 회전 플레이트(23), 보빈(25) 및 원단롤(27)을 제외한 각 구성을 생략하고 있다.

테이프 공급 유닛(17)은 도 2의 (b)에 나타내는 바와 같이, 전체로서 복수개 공급 유닛(18)을 구비하고 있다. 본 실시예에 관한 테이프 공급 장치(17)는, 전체로서 2개의 공급 유닛, 즉, 보빈(25A)을 포함하는 제1 공급 유닛(18A)과, 보빈(25B)을 포함하는 제2 공급 유닛(18B)에 의해 구성되어 있는 것으로 한다. 각각의 공급 유닛(18)은 테이프 공급부(29)와, 세퍼레이터 박리부(31)와, 접합 테이프 제작부(33)를 구비하고 있다.

또한, 본 실시예에서는 각 구성에 대하여, 제1 유닛(18A)에 포함되는 각 구성에는 부호에 A를 붙이고, 제2 유닛(18B)에 포함되는 각 구성에는 부호에 B를 붙임으로써 양자를 구별한다. 일례로서, 2개의 테이프 공급부(29) 중, 제1 유닛(18A)에 배치되는 한쪽에 대해서는 테이프 공급부(29A)라 표기함으로써 특정된다. 그리고 제2 유닛(18B)에 배치되는 다른 쪽에 대해서는 테이프 공급부(29B)라 표기한다.

회전 플레이트(23)는 구동 기구(37)에 의해 중심축(39)의 축 주위에 회전하도록 구성되어 있다. 회전 플레이트(23)의 회전에 의해, 제1 공급 유닛(18A)과 제2 공급 유닛(18B)은 공급 위치와 대기 위치를 서로 이동 가능하게 되어 있다.

본 실시예에 있어서, 공급 위치란 원단롤(27)로부터 워크(본 실시예에서는 웨이퍼(W))로 점착 테이프(T)를 조출하여 공급할 수 있는 위치를 의미한다. 즉, 일례로서 공급 유닛(18B)의 각 구성이 공급 위치에 배치되는 경우, 복수의 원단롤(27) 중, 공급 유닛(18B)이 구비하는 원단롤(27B)로부터 워크에 대하여 점착 테이프(T)를 조출하여 공급할 수 있다.

도 1 및 도 2의 각 도면에서는, 제1 공급 유닛(18A)이 공급 위치에 배치되어 있고, 또한 제2 공급 유닛(18B)이 대기 위치에 배치되어 있는 상태를 나타내고 있다. 그리고 2개의 원단롤(27) 중, 공급 위치에 배치되어 있는 원단롤(27)(도면에서는 원단롤(27A))로부터, 점착 테이프(T)가 테이프 부착 유닛(7)에 공급된다.

테이프 공급부(29)의 각각은 도 3에 도시한 바와 같이, 보빈(25)과, 원단롤(27)과, 도시하지 않은 가이드 롤러를 구비하고 있다. 보빈(25)에 장전된 원단롤(27)로부터 조출된 테이프(TS)의 선단은, 가이드 롤러에 의해 텐션이 유지되면서, 세퍼레이터 박리부(31)로 유도된다.

또한, 대기 위치에 배치되어 있는 원단롤(27)은, 개폐 도어(91)를 통해 점착 테이프 부착 장치(1)의 외부로 자동 또는 수동으로 취출할 수 있도록 구성된다. 오퍼레이터나 작업 로봇은 당해 원단롤(27)을 취출함과 함께, 새로운 원단롤(27)을 대기 위치에 세트할 수 있다.

또한, 점착 테이프 접합 장치(3)에 있어서, 대기 위치는 공급 위치와 비교하여 점착 테이프 부착 장치(1)의 중앙부로부터 이격된 위치가 되도록 구성된다. 일반적으로, 가동부, 커터, 및 고온이 되는 부재 등은 점착 테이프 부착 장치(1)의 중앙부에 많이 설치된다. 그 때문에, 대기 위치로 교체된 원단롤(27)을 교환할 때, 고온으로 되어 있는 부재나 가동부 등에 대하여, 오퍼레이터 등이 가까워지는 사태를 피할 수 있다.

세퍼레이터 박리부(31)는 도 3에 도시한 바와 같이, 가이드 롤러(34)와 이송 롤러(35)와, 세퍼레이터 유지 부재(36)와, 점착 테이프 유지 부재(41)를 구비하고 있다. 세퍼레이터 박리부(31)로 안내된 테이프(TS)는, 가이드 롤러(34)에 의해 점착 테이프(T)와 세퍼레이터(S)로 박리된다. 세퍼레이터 박리부(31)의 각 구성은, 회전 플레이트(23)에 접속되어 있고, 회전 플레이트(23)의 회전에 의해 보빈(25)과 함께 변위된다.

테이프(TS)가 점착 테이프(T) 및 세퍼레이터(S)로 박리된 후, 점착 테이프(T)는 가이드 롤러(34)에 권회되어 점착 테이프 유지 부재(41)로 안내된다. 그리고 세퍼레이터(S)는 이송 롤러(35)에 권회되어 세퍼레이터 유지 부재(36)로 안내된다.

세퍼레이터 유지 부재(36)는 일례로서 판상의 부재이며, 이송 롤러(35)를 경유하여 안내된 세퍼레이터(S)를 유지한다. 더 바람직한 구성의 예로서, 세퍼레이터 유지 부재(36)는 도시하지 않은 흡인 장치를 사용하여 세퍼레이터(S)를 흡착 유지한다.

점착 테이프 유지 부재(41)는 일례로서 판상의 부재이며, 그 한쪽 면(유지면)에 있어서, 가이드 롤러(34)로부터 안내되어 온 점착 테이프(T)를 유지한다. 세퍼레이터 유지 부재(36)와 동일하게, 점착 테이프 유지 부재(41)는 점착 테이프(T)를 흡착 유지하는 기능을 갖는 것이 보다 바람직하다.

또한, 세퍼레이터 박리부(31)가 공급 위치에 배치되어 있는 경우, 점착 테이프 유지 부재(41)(도 2의 각 도면에서는 점착 테이프 유지 부재(41A))로 안내되어 있는 점착 테이프(T)는, 도 1에 도시한 바와 같이, 선행 점착 테이프 유지 부재(19)를 경유하여, 또한 테이프 부착 유닛(7)으로 안내된다. 그리고, 세퍼레이터 유지 부재(36)(도 2의 각 도면에서는 세퍼레이터 유지 부재(36A))로 안내되고 있는 세퍼레이터(S)는, 도 1에 도시한 바와 같이, 세퍼레이터 접합 유닛(21)을 경유하여, 또한 세퍼레이터 회수부(15)로 안내된다.

접합 테이프 제작부(33)는 도 4에 도시한 바와 같이, 접합 테이프 유지 부재(43)와 커터 유닛(45)을 구비하고 있다. 접합 테이프 유지 부재(43)는 일례로서 판상의 부재이다. 접합 테이프 유지 부재(43)는 공급 위치 및 대기 위치 중 어디에 배치되어 있는 경우에도, 도 4에 있어서 실선으로 나타내어지는 절단 준비 위치와, 도 4에 있어서 점선으로 나타내어지는 접합 준비 위치와, 후술하는 접합 실행 위치의 각 위치로 이동할 수 있도록 구성되어 있다.

절단 준비 위치와 접합 준비 위치, 및 절단 준비 위치와 접합 실행 위치는, 모두 점착 테이프(T)를 사이에 두고 대향하는 위치 관계로 되어 있다. 접합 실행 위치와 비교하여, 접합 준비 위치는 점착 테이프(T)로부터 이격된 위치가 되도록 구성되어 있다.

접합 테이프 유지 부재(43)가 절단 준비 위치로 이동하고 있을 경우, 당해 접합 테이프 유지 부재(43)는 점착 테이프 유지 부재(41)의 하류에 배치되고, 한쪽 면(유지면)에 있어서 점착 테이프(T)를 유지할 수 있도록 구성되어 있다. 접합 테이프 유지 부재(43)는 점착 테이프(T)를 흡착 유지하는 기능을 갖는 것이 보다 바람직하다.

또한, 접합 테이프 유지 부재(43)가 절단 준비 위치로부터 접합 준비 위치로 이동하는 경우, 접합 테이프 유지 부재(43)는 그 방향을 반전시킨다. 즉, 접합 준비 위치에 있어서, 접합 테이프 유지 부재(43)의 유지면과 점착 테이프 유지 부재(41)의 유지면이 대향하도록 구성된다.

커터 유닛(45)은 가동대(46)와 커터날(48)을 구비하고 있다. 가동대(46)는, 도시하지 않은 구동 기구에 의해, 소정의 방향 R로 구동 가능하게 되어 있다. 방향 R은 점착 테이프(T)의 두께 방향인 것이 바람직하다. 또한 가동대(46)는, 점착 테이프(T)의 폭 방향(본 실시예에서는 z 방향)으로도 구동 가능하도록 구성되어 있다.

가동대(46)의 선단부에는 커터날(48)이 구비되어 있다. 커터날(48)은, 점착 테이프 유지 부재(41)와 접합 테이프 유지 부재(43)의 간극부에 있어서, 점착 테이프(T)를 폭 방향에 걸쳐 절단한다. 커터날(48)이 점착 테이프(T)를 절단함으로써, 선행하는 점착 테이프(T)의 후단과 후속의 점착 테이프(T)의 선단을 접합시키기 위한 점착 테이프, 즉, 접합 테이프(CT)가 형성된다. 접합 테이프 유지 부재(43)는 형성된 접합 테이프(CT)를 유지하는 기능도 갖고 있다.

또한, 공급 유닛(18)의 각 구성은 회전 플레이트(23)에 접속되어 있고, 회전 플레이트(23)의 회전에 의해 회전축(39)을 중심으로 하는 축둘레로 변위된다. 즉, 각각의 공급 유닛(18)에 설치되어 있는 테이프 공급부(29), 세퍼레이터 박리부(31) 및 접합 테이프 제작부(33)의 각각은 회전 플레이트(23)의 회전에 의해 공급 위치와 대기 위치를 서로 이동 가능하게 되어 있다.

선행 점착 테이프 유지 부재(19)는 공급 위치에 배치되어 있는 접합 테이프 제작부(33)의 하류에 배치되어 있고, 공급 위치에 있는 원단롤(27)로부터 공급되고 있는 점착 테이프(T), 즉, 선행 점착 테이프(T1)를 유지한다. 선행 점착 테이프 유지 부재(19)는 점착 테이프(T)의 조출 방향을 따라서 이동 가능하도록 구성되어 있고, 후술하는 근접 위치와 퇴피 위치 사이를 왕복 이동한다. 선행 점착 테이프 유지 부재(19)의 유지면과, 공급 위치에 배치되어 있는 점착 테이프 유지 부재(41)의 유지면은 같은 높이로 되는 구성인 것이 바람직하다.

세퍼레이터 접합 유닛(21)은 도 5에 도시한 바와 같이, 공급 위치에 배치되어 있는 세퍼레이터 유지 부재(36)의 하류에 배치되어 있고, 선행 세퍼레이터 유지 부재(47)와 커터 유닛(49)을 구비하고 있다. 선행 세퍼레이터 유지 부재(47)는, 공급 위치에 있는 원단롤(27)로부터 공급되고 있는 세퍼레이터(S), 즉, 선행 세퍼레이터(S1)를 유지한다. 선행 세퍼레이터 유지 부재(47)의 내부에는, 세퍼레이터(S)를 가열하기 위한 히터(50)가 배치되어 있다.

커터 유닛(49)은 가동대(51)와 커터날(53)을 구비하고 있다. 가동대(51)는 도시하지 않은 구동 기구에 의해, 소정의 방향 R로 구동 가능하게 되어 있다. 방향 R은 선행 세퍼레이터(S1)의 두께 방향인 것이 바람직하다. 또한 가동대(51)는 선행 세퍼레이터(S1)의 폭 방향(본 실시예에서는 z 방향)으로도 구동 가능하도록 구성되어 있다.

가동대(51)의 선단부에는 커터날(53)이 구비되어 있다. 커터날(53)은, 세퍼레이터 유지 부재(36)와 선행 세퍼레이터 유지 부재(47)의 간극부에 있어서, 선행 세퍼레이터(S1)를 폭 방향에 걸쳐 절단한다. 또한, 선행 세퍼레이터 유지 부재(47) 및 커터 유닛(49)은 선행 세퍼레이터(S1)의 조출 방향(방향 L)을 따라서 이동 가능하도록 구성되어 있고, 후술하는 근접 위치와 퇴피 위치 사이를 왕복 이동한다.

실시예 1에 있어서, 선행 점착 테이프 유지 부재(19) 및 세퍼레이터 접합 유닛(21)은, 공급 유닛(18)의 각 구성과는 달리, 회전 플레이트(23)에 접속되어 있지 않다. 즉, 선행 점착 테이프 유지 부재(19) 및 세퍼레이터 접합 유닛(21)의 각 구성은, 회전 플레이트(23)의 회전과는 독립적으로 그 위치를 적절히 변경할 수 있다.

<테이프 부착 동작의 개요>

여기서, 점착 테이프 부착 장치(1)를 사용하여 회로면 보호용 점착 테이프(T)를 웨이퍼(W)에 부착시키기 위한 일련의 기본 동작을 설명한다. 도 7의 (a)는, 보호용 점착 테이프(T)를 웨이퍼(W)에 부착시키는 공정을 설명하는 흐름도이다.

부착 명령이 내려지면, 소정의 수납부에 수납되어 있는 웨이퍼(W)는, 얼라인먼트 스테이지에서 위치 정렬된 후, 도시하지 않은 웨이퍼 반송 기구에 의해 유지 테이블(5)에 적재된다. 유지 테이블(5)에 적재된 웨이퍼(W)는 선회되어, 웨이퍼(W)의 중심이 유지 테이블(5)의 중심 상에 있도록 위치 정렬된 상태에서 흡착 유지된다.(스텝 S1).

이 때, 테이프 부착 유닛(7), 테이프 절단 유닛(9) 및 테이프 박리 유닛(11)의 각각은 도 8의 (a)에 나타내는 초기 위치로 이동하고 있다. 즉, 테이프 부착 유닛(9)은 유지 테이블(5)의 우측으로 이동하고 있으며, 테이프 박리 유닛(11)은 유지 테이블(5)의 좌측으로 이동하고 있다. 또한, 테이프 절단 유닛(9)은 유지 테이블(5)의 상방에서 대기하고 있다.

또한, 테이프 공급 유닛(17)에 있어서, 공급 위치로 이동하고 있는 보빈(25)에 장전되어 있는 원단롤(27)로부터 테이프(TS)가 하류로 조출되어 공급되고, 테이프(TS)는 세퍼레이터 박리부(31)에 의해 점착 테이프(T) 및 세퍼레이터(S)로 박리된다. 그리고 점착 테이프(T)는 테이프 부착 유닛(7) 및 테이프 박리 유닛(11)로 안내되고 있다.

이어서, 도 8의 (b)에 나타내는 바와 같이, 테이프 부착 유닛(7)의 부착 롤러(7b)는, 점착 테이프(T)를 하방으로 압박하면서 웨이퍼(W) 상을 전방(도 8에서는 좌측 방향)으로 전동하고, 점선으로 나타내는 초기 위치로부터 실선으로 나타내는 종단부 위치로 이동한다. 이에 의해, 점착 테이프(T)가 웨이퍼(W)의 표면 전체에 부착된다(스텝 S2).

점착 테이프(T)가 웨이퍼(W)에 부착된 후, 도 9에 나타내는 바와 같이, 상방에 대기하고 있던 테이프 절단 유닛(9)이 하강되어, 점선으로 나타내는 초기 위치로부터 실선으로 나타내는 절단 위치로 이동한다. 그리고 테이프 절단 유닛(9)이 절단 위치로 하강함으로써, 유지 테이블(5)의 커터 주행홈(5a)에 있어서 커터(9c)를 점착 테이프(T)에 찌른다.

커터(9c)를 점착 테이프(T)에 찌르면, 지지암(9b)이 종축심(P)을 선회 중심으로서 선회한다. 이에 수반하여 커터(9c)가 웨이퍼 외주연에 미끄럼 접촉하면서 선회 이동하고, 점착 테이프(T)가 웨이퍼의 외형을 따라서 절단된다(스텝 S3).

웨이퍼의 외형에 따른 점착 테이프(T)의 절단이 종료되면, 테이프 절단 유닛(9)은 원래의 대기 위치까지 상승된다. 그리고, 테이프 부착 유닛(7)은 종단부 위치로부터 초기 위치로 복귀된다. 부착 유닛(17)이 초기 위치로 복귀됨과 함께, 도 10에 도시한 바와 같이, 테이프 박리 유닛(11)이 후방(도 10에서는 우측 방향)으로 이동한다. 즉, 테이프 박리 유닛(11)은 도 10에 있어서 점선으로 나타내는 초기 위치로부터 실선으로 나타내는 종단부 위치로 우측 방향으로 이동한다.

테이프 박리 유닛(11)은 종단부 위치로 이동하면서, 점착 테이프(T) 중, 웨이퍼(W) 상에서 잘라내고 절단되고 남은 불필요 테이프(Tn)를 감아 올려 박리한다(스텝 S4). 또한, 점착 테이프(T) 중, 웨이퍼(W)의 표면에 부착되어 있는 부분에 대해서는 부호 Tw를 붙여 불필요 테이프(Tn)와 구별한다.

테이프 박리 유닛(11)이 종단부 위치에 달하여 박리 작업이 종료되면, 테이프 박리 유닛(11)은 종단부 위치로부터 초기 위치로 복귀된다. 이 때, 불필요 테이프(Tn)가 권취되어 테이프 회수부(13)로 안내되어 회수됨과 함께, 공급 위치에 배치되어 있는 원단롤(27)로부터 일정량의 테이프(TS)가 조출된다(스텝 S5).

스텝 S5까지의 각 처리가 종료되면, 유지 테이블(5)에 있어서의 흡착이 해제된다. 흡착 해제 후, 점착 테이프(Tw)가 부착된 웨이퍼(W)는 웨이퍼 반송 기구에 의해 반송되어 도시하지 않은 웨이퍼 회수부로 회수된다(스텝 S6). 이상에서 1회의 점착 테이프 부착 처리가 완료된다.

또한, 점착 테이프 부착 처리의 완료 후, 공급 위치에 배치되어 있는 원단롤(27)(공급용 테이프)의 장전량에 따라서 이하의 공정을 분기한다. 공급용 테이프의 장전량이 미리 정해진 규정량 이하로 된 경우, 공급 위치에 있는 원단롤(27)로부터 테이프(TS)를 조출하는 동작을 일시 정지하고, 테이프(TS)의 자동 교환을 행한다(스텝 S7). 공급용 테이프의 장전량이 규정량 이상인 것이 각종 센서 등을 사용하여 확인함으로써, 이후, 상기 동작을 순차 반복해간다.

<테이프의 교환 공정의 설명>

여기서, 스텝 S7에 관한, 테이프(TS)를 자동으로 교환하는 공정에 대하여 설명한다. 스텝 S7에 관한 테이프의 교환 공정은, 도 7의 (b)의 흐름도에서 나타내는 스텝 S7-1로부터 스텝 S7-6까지의 공정에 따라서 행해진다. 도 7의 (b)에 나타내는 공정에 의해, 충분한 양의 테이프(TS)가 장전되어 있는 새로운 원단롤(27)을 테이프 공급 유닛(17)의 공급 위치에 배치시킨다. 그리고, 당해 새로운 원단롤(27)로부터 조출되는 후속의 (상류측) 점착 테이프(T)의 선단과, 교환 전의 원단롤(27)로부터 조출되고 있던 선행의 (하류측) 점착 테이프(T)의 후단이 자동적으로 접합된다. 또한, 선행의 세퍼레이터(S)의 후단과, 후속의 세퍼레이터(S)의 선단이 자동적으로 접합된다.

또한 본 실시예에서는, 테이프 공급 유닛(17)의 공급 위치에 보빈(25A) 및 원단롤(27A)이 당초 배치되어 있고, 스텝 S7에 있어서, 장전량이 규정값 이하가 된 원단롤(27A)을, 새로운 원단롤(27B)로 교환하는 경우를 예로 들어 설명한다. 원단롤(27A)의 장전량이 규정값 이하가 되고, 스텝 S7을 개시하는 시점에 있어서의 점착 테이프 접합 장치(3)의 각 구성은 도 11에 도시되는 바와 같다.

스텝 S7에 대하여 설명함에 있어서, 교환 전에 있어서 공급 위치에 배치되어 있던 원단롤(본 실시예에서는 원단롤(27A))로부터 조출되고 있던 테이프(TS)의 각 구성에 대해서는, 선행 테이프(TS1), 선행 점착 테이프(T1), 선행 세퍼레이터(S1)라고 칭한다. 그리고 교환 후에 공급 위치에 배치되는 새로운 원단롤(본 실시예에서는 원단롤(27B))로부터 조출되는 테이프(TS)의 각 구성에 대해서는, 후속 테이프(TS2), 후속 점착 테이프(T2), 후속 세퍼레이터(S2)라고 칭하고, 선행 테이프(TS1)에 관한 각 구성과 구별한다.

스텝 S7을 개시함에 있어서, 점착 테이프 접합 장치(3)에 있어서의 각 구성의 초기 배치에 대하여 설명한다. 먼저, 도 11에 있어서 부호 D1로 나타내는 부분의 구성에 대하여 설명한다. 선행 점착 테이프 유지 부재(19)는 근접 위치로 이동하고 있으며, 점착 테이프 유지 부재(41A)에 근접하고 있다. 공급 위치에 있는 접합 테이프 유지 부재(43A)는, 접합 준비 위치로 이동하고 있다. 접합 준비 위치에 배치됨으로써, 접합 테이프 유지 부재(43A)는, 접착 테이프(T1)를 사이에 끼우고 점착 테이프 유지 부재(41A)와 유지면끼리가 대향하게 되어 있다.

이어서, 부호 D2로 나타내는 부분의 구성에 대하여 설명한다. 대기 위치에 있는 접합 테이프 유지 부재(43B)는, 절단 준비 위치로 이동하고 있다. 절단 준비 위치로 이동하고 있음으로써, 접합 테이프 유지 부재(43B)의 유지면(점착 테이프(T)를 유지하는 면)은 점착 테이프 유지 부재(41B)의 유지면과 같은 높이로 되어 있다.

또한, 스텝 S7을 개시할 때, 대기 위치에 배치되어 있는 후속 테이프(TS2)는, 미리 이하와 같이 구성되어 있다. 도 11에 있어서 부호 D2로 나타낸 바와 같이, 대기 위치에 배치되어 있는 원단롤(27B)로부터 세퍼레이터 부착 점착 테이프인 후속 테이프(TS2)가 조출되고 있다. 조출된 후속 테이프(TS2)는 세퍼레이터 박리부(31B)에 의해, 후속 점착 테이프(T2)와 후속 세퍼레이터(S2)로 박리되고 있으며, 후속 점착 테이프(T2)의 점착층(C)이 노출되어 있다.

후속 세퍼레이터(S2)는, 이송 롤러(35B)에 권회되어 세퍼레이터 유지 부재(36B)의 유지면으로 안내되고 있다. 후속 세퍼레이터(S2)의 선단 부분은, 세퍼레이터 유지 부재(36B)에 의해 흡착 유지되어 있다. 후속 점착 테이프(T2)는 가이드 롤러(34B)에 권회되고, 점착 테이프 유지 부재(41B)의 유지면 및 접합 테이프 유지 부재(43B)의 유지면으로 안내되고 있다. 후속 점착 테이프(T2)의 선단 부분은 접합 테이프 유지 부재(43B)에 의해 흡착 유지되어 있으며, 당해 선단 부분보다 상류측의 부분은 점착 테이프 유지 부재(41B)에 의해 흡착 유지되어 있다.

절단 준비 위치에 배치되어 있는 접합 테이프 유지 부재(43B)의 유지면은, 점착 테이프 유지 부재(41B)의 유지면과 같은 높이로 되어 있다. 그 때문에, 후속 점착 테이프(T2) 전체의 텐션을 유지하면서, 점착 테이프 유지 부재(41B) 및 접합 테이프 유지 부재(43B)의 각각은 유지면의 전체면에서 후속 점착 테이프(T2)를 안정적으로 유지할 수 있다. 또한, 실시예 1에서는 후속 점착 테이프(T2)를 권회시켜 접합 테이프 유지 부재(43B)에 유지시키는 조작, 및 후속 세퍼레이터(S2)를 권회시켜 세퍼레이터 유지 부재(36B)에 유지시키는 조작의 각각을 수동으로 행하고 있지만, 제어부(81)의 제어하에서 자동화해도 된다. 스텝 S7의 개시 전에 있어서의 각종 구성의 초기 배치는, 상기와 같다.

스텝 S7-1(선행 테이프의 절단)

테이프의 교환 공정에 있어서, 먼저 선행 테이프의 절단을 행한다. 즉, 점착 테이프 접합 장치(3)에 있어서, 공급 위치에 배치되어 있는 커터 유닛(45)(본 실시예에서는 커터 유닛(45A))에 의해 선행 점착 테이프(T1)가 절단됨과 함께, 세퍼레이터 접합 유닛(21)이 구비하는 커터 유닛(49)에 의해 선행 세퍼레이터(S1)가 절단된다.

커터 유닛(45A)에 의한 선행 점착 테이프(T1)의 절단이 행해지는 부위는 도 11에 있어서 부호 D1로 나타나 있으며, 커터 유닛(49)에 의한 선행 세퍼레이터(S1)의 절단이 행해지는 부위는 도 11에 있어서 부호 D3으로 나타나 있다. 우선은 도 12의 각 도면을 사용하여, 선행 점착 테이프(T1)를 절단하는 동작을 설명한다.

도 12의 (a)는, 선행 점착 테이프(T1)의 절단을 행하기 전에 있어서의, 접합 테이프 제작부(33A)의 상태를 나타내고 있다. 선행 점착 테이프 유지 부재(19)는 점선으로 나타내는 퇴피 위치로부터 실선으로 나타내는 근접 위치로 미리 변위되어 있으며, 점착 테이프 유지 부재(41A)에 근접하고 있다. 그리고 선행 점착 테이프 유지 부재(19)와 점착 테이프 유지 부재(41A)는 각각 선행 점착 테이프(T1)를 흡착 유지하고 있다. 또한, 커터 유닛(45A)은 점착 테이프(T1)로부터 이격되어 있는 초기 위치(도 12의 (d)에 있어서는, 점선으로 나타내어지는 위치 M1)에 위치하고 있다.

선행 점착 테이프(T1)의 절단을 개시하면, 커터 유닛(45A)의 가동대(46A)를 방향 R로 구동시켜, 도 12의 (b)에 나타내는 바와 같이, 커터 유닛(45A)을 초기 위치로부터 절단 준비 위치로 이동시킨다. 도 12의 (b)에 있어서, 커터날(48A)은 선행 점착 테이프(T1)의 안측으로 이동하고 있다. 또한, 커터 유닛(45A)의 절단 준비 위치는, 도 12의 (d)에 있어서 이점 쇄선으로 나타내어지는 위치 M2에 상당한다.

커터 유닛(45A)이 절단 준비 위치로 이동한 후, 가동대(46A)를 선행 점착 테이프(T1)의 폭 방향(z 방향)으로 구동시킨다. 당해 구동에 의해, 절단 준비 위치에 위치하고 있던 커터 유닛(45A)은, 도 12의 (d)에 있어서 실선으로 나타내어지는 절단 완료 위치로 이동한다. 당해 이동에 수반하여, 커터날(48A)은 선행 점착 테이프 유지 부재(19)와 점착 테이프 유지 부재(41A) 사이에 있어서의 소정의 위치에 있어서, 선행 점착 테이프(T1)를 폭 방향에 걸쳐 절단한다(도 12의 (c)). 절단이 완료된 후, 커터 유닛(45A)은 절단 완료 위치로부터 초기 위치로 복귀된다.

커터 유닛(45A)이 선행 점착 테이프(T1)를 절단함으로써, 선행 점착 테이프(T1)의 하류측(T1f)은 원단롤(27A)로부터 분리된다. 당해 절단 후, 원단롤(27A)로부터 분리된 선행 점착 테이프(T1f)의 후단 부분은 선행 점착 테이프 유지 부재(19)에 의해 흡착 유지된다. 그리고 여전히 원단롤(27A)과 연결되어 있는 선행 점착 테이프(T1)의 상류측(T1r)의 선단 부분은, 점착 테이프 유지 부재(41A)에 의해 흡착 유지된다.

각각의 흡착 유지가 행해짐으로써, 커터 유닛(45A)에 의한 절단이 행해진 후에도, 선행 점착 테이프(T1)의 위치를 안정적으로 유지할 수 있다. 또한, 선행 점착 테이프(T1)를 절단할 때, 선행 점착 테이프 유지 부재(19)를 근접 위치로 이동시켜 점착 테이프 유지 부재(41A)에 근접시키고 있다. 그 때문에, 선행 점착 테이프 유지 부재(19)와 점착 테이프 유지 부재(41A) 사이에 있어서 선행 점착 테이프(T1)가 휘는 등의 원인에 의해, 선행 점착 테이프(T1)의 절단 정밀도가 저하된다는 사태를 피할 수 있다.

이어서, 도 13의 각 도면을 사용하여, 선행 세퍼레이터(S1)를 절단하는 동작을 설명한다. 도 13의 (a)는, 선행 세퍼레이터(S1)의 절단을 행하기 전에 있어서의, 각 구성의 상태를 나타내고 있다. 선행 세퍼레이터 유지 부재(47)는 초기 위치에 있어서, 세퍼레이터 유지 부재(36A)의 하류측에 근접하고 있는 위치에 배치되어 있고, 또한 선행 세퍼레이터(S1)를 사이에 두고 세퍼레이터 유지 부재(36A)와 대향하고 있다. 그리고 선행 세퍼레이터 유지 부재(47)와 세퍼레이터 유지 부재(36A)는 각각 선행 세퍼레이터(S1)를 흡착 유지하고 있다. 또한, 커터 유닛(49)은 선행 세퍼레이터(S1)로부터 이격되어 있는 초기 위치에 위치하고 있다.

선행 세퍼레이터(S1)의 절단을 개시하면, 커터 유닛(49)의 가동대(51)를 방향 R로 구동시켜, 도 13의 (b)에 나타내는 바와 같이, 커터 유닛(49)을 초기 위치로부터 절단 준비 위치로 이동시킨다. 도 13의 (b)에 있어서, 커터날(53)은 선행 세퍼레이터(S1)의 안측으로 이동하고 있다.

커터 유닛(49)이 절단 준비 위치로 이동한 후, 가동대(51)를 선행 세퍼레이터(S1)의 폭 방향(z 방향)으로 구동시킨다. 당해 구동에 의해, 절단 준비 위치에 위치하고 있던 커터 유닛(49)은 안측으로부터 전방측으로 이동하고, 절단 완료 위치로 이동한다. 당해 이동에 수반하여, 커터날(53)은 선행 세퍼레이터 유지 부재(47)와 세퍼레이터 유지 부재(36A) 사이에 있어서의 소정의 위치에 있어서, 선행 세퍼레이터(S1)를 폭 방향에 걸쳐 절단한다(도 13의 (c)). 절단이 완료된 후, 커터 유닛(49)은 절단 완료 위치로부터 초기 위치로 복귀된다.

커터 유닛(49)이 선행 세퍼레이터(S1)를 절단함으로써, 선행 세퍼레이터(S1)의 하류측(S1f)은 원단롤(27A)로부터 분리된다. 당해 절단 후, 원단롤(27A)로부터 분리된 선행 세퍼레이터(S1f)의 후단 부분은 선행 세퍼레이터 유지 부재(47)에 의해 흡착 유지된다.

그리고 여전히 원단롤(27A)과 연결되어 있는 선행 세퍼레이터(S1)의 상류측(선행 세퍼레이터(S1r))의 선단 부분은, 세퍼레이터 유지 부재(36A)에 의해 흡착 유지된다. 각각의 흡착 유지가 행해짐으로써, 커터 유닛(49)에 의한 절단이 행해진 후에도, 선행 세퍼레이터(S1)의 위치를 안정적으로 유지할 수 있다. 선행 점착 테이프(T1)와 선행 세퍼레이터(S1)가 각각 절단되어 원단롤(27A)로부터 분리됨으로써, 스텝 S7-1의 공정은 완료된다.

스텝 S7-2(접합 테이프의 제작)

스텝 S7-1의 공정에 의해, 선행 점착 테이프(T1)와 선행 세퍼레이터(S1)의 각각 하류측이 원단롤(27A)로부터 분리된 후, 스텝 S7-2에 관한 접합 테이프의 제작 공정을 실행한다. 본 발명의 특징으로서, 워크(본 실시예에서는 웨이퍼(W))에의 부착에 사용되는 점착 테이프(T)의 일부를, 접합용 점착 테이프편인 접합 테이프(CT)로서 이용한다.

본 실시예에서는, 대기 위치에 배치되어 있는 커터 유닛(45)(본 실시예에서는 커터 유닛(45B))을 사용하여 후속 점착 테이프(T2)의 선단을 일부 절취하고, 절취되어 단편화된 당해 선단 부분을 접합 테이프(CT)로서 사용한다. 구체적으로는 도 11에 있어서 부호 D2로 나타내는 부위에 있어서, 접합 테이프의 제작이 행해진다.

도 14의 각 도면을 사용하여, 접합 테이프(CT)를 제작하는 공정을 설명한다. 도 14의 (a)는, 후속 점착 테이프(T2)의 절단을 행하기 전에 있어서의, 각 구성의 상태를 나타내고 있다. 접합 테이프 유지 부재(43B)는 절단 준비 위치로 이동하고 있다. 즉, 접합 테이프 유지 부재(43B)는 점착 테이프 유지 부재(41B)의 하류측 근방에 배치되어 있고, 후속 점착 테이프(T2)의 선단 부분을 흡착 유지하고 있다. 커터 유닛(45B)는 초기 위치, 즉, 후속 점착 테이프(T2)로부터 이격된 위치에 배치되어 있다.

후속 점착 테이프(T2)의 절단을 개시하면, 커터 유닛(45B)의 가동대(46B)를 방향 R로 구동시켜, 커터 유닛(45B)을 초기 위치로부터 절단 준비 위치로 이동시킨다. 커터 유닛(49)이 절단 준비 위치로 이동한 후, 가동대(46B)는 커터 유닛(45B)을 후속 점착 테이프(T2)의 폭 방향(z 방향)으로 구동시킨다. 당해 구동에 의해, 커터 유닛(49)은 절단 준비 위치로부터 절단 완료 위치로 이동하고, 점착 테이프 유지 부재(41B)와 접합 테이프 유지 부재(43B) 사이의 소정 위치에 있어서, 후속 점착 테이프(T2)를 폭 방향에 걸쳐 절단한다(도 14의 (b)).

커터 유닛(45B)이 후속 점착 테이프(T2)를 절단함으로써, 후속 점착 테이프(T2)의 선단 부분이 원단롤(27B)로부터 분리된다. 당해 절단 후, 원단롤(27B)로부터 분리된 당해 선단 부분은, 접합 테이프(CT)로서 접합 테이프 유지 부재(43B)에 흡착 유지된다. 그리고 당해 절단에 의해 새롭게 형성된, 후속 점착 테이프(T2)의 선단 부분은, 점착 테이프 유지 부재(41B)에 의해 흡착 유지된다.

절단이 완료된 후, 커터 유닛(45B)는 절단 완료 위치로부터 초기 위치로 복귀된다. 이와 같이, 접합 테이프 제작부(33) 중, 대기 위치에 배치되어 있는 접합 테이프 제작부(33B)에 있어서 접합 테이프(CT)가 제작됨으로써 스텝 S7-2의 공정은 완료된다. 스텝 S7-1 및 스텝 S7-2의 공정이 완료된 상태에 있어서의 점착 테이프 접합 장치(3)의 개략 구성은, 도 14의 (c)에 나타내는 바와 같다.

스텝 S7-3(접합 테이프의 변위)

후속 점착 테이프(T2)의 선단 부분을 절단하여 접합 테이프의 제작이 완료된 후, 접합 테이프를 변위시킨다. 즉, 대기 위치에 위치하는 공급 유닛(18)에 있어서 접합 테이프(CT)를 유지하고 있는 접합 테이프 유지 부재(43B)를 적절히 이동시킴으로써, 접합 테이프(CT)의 점착층(C)과, 후속 점착 테이프(T2)의 선단 부분의 점착층(C)이 대면하는 위치 관계가 되게 접합 테이프(CT)를 반전시킨다.

본 실시예에서는 접합 테이프(CT)를 변위시키는 공정으로서, 이하와 같이 행한다. 접합 테이프(CT)가 제작된 직후에는 도 15의 (a)에 나타내는 바와 같이, 접합 테이프(CT)의 점착층(C)과, 후속 점착 테이프(T2)의 선단 부분의 점착층(C)은 동일한 방향을 향하고 있다. 이 상태에서, 도시하지 않은 구동 장치를 사용하여, 접합 테이프 유지 부재(43B)를 z 방향의 축둘레로 반전 이동시키면서, xy 평면 상에서 적절히 평행 이동시킨다.

당해 이동에 의해, 접합 테이프 유지 부재(43B)는 도 15의 (b)에 있어서 점선으로 나타내어지는 절단 준비 위치로부터, 동 도에 있어서 실선으로 나타내어지는 접합 준비 위치로 이동한다. 접합 테이프 유지 부재(43B)가 접합 준비 위치로 이동함으로써, 접합 테이프 유지 부재(43B)에 의해 유지되어 있는 접합 테이프(CT)의 점착층(C)과, 점착 테이프 유지 부재(41B)에 의해 유지되어 있는 후속 점착 테이프(T2)의 선단 부분의 점착층(C)이 대면하는 위치 관계가 되게 접합 테이프(CT)는 반전된다. 또한, 접합 테이프(CT)의 점착층(C)과, 후속 점착 테이프(T2)의 선단 부분의 점착층(C)을 대향시킬 수 있으면, 접합 테이프 유지 부재(43B)의 이동 궤적은 본 실시예의 구성에 한정되지 않는다.

또한, 접합 테이프 제작부(33B)에 있어서 접합 테이프(CT)의 반전을 행하는 공정과 동기하여, 접합 테이프 제작부(33A)에 있어서 선행 점착 테이프 유지 부재(19)를 퇴피시키는 것이 바람직하다. 접합 테이프(CT)를 제작하는 시점에 있어서, 선행 테이프 유지 부재(19)는 근접 위치로 이동하고 있다(도 15의 (c)). 즉, 선행 점착 테이프 유지 부재(19)는 점착 테이프 유지 부재(41A)의 하류 근방에 배치되어 있다.

이 상태에서 도시하지 않은 구동 장치를 사용함으로써, 선행 점착 테이프 유지 부재(19)를 점착 테이프(T)의 조출 방향을 따라서 하류측으로 이동시킨다. 당해 이동에 의해, 선행 점착 테이프 유지 부재(19)는 선행 점착 테이프(T1f)의 후단 부분을 흡착 유지한 상태를 유지하면서, 도 15의 (d)에 있어서 점선으로 나타내어지는 근접 위치로부터, 동 도에 있어서 실선으로 나타내어지는 퇴피 위치로 이동한다.

선행 점착 테이프 유지 부재(19)의 퇴피 위치는, 점착 테이프 접합 장치(3)의 정면으로부터 볼 때 회전 플레이트(23)와 겹치지 않는 위치인 것이 보다 바람직하다. 미리 선행 점착 테이프 유지 부재(19)를 퇴피 위치로 이동시켜 둠으로써, 후술하는 회전 플레이트(23)를 회전시키는 공정에 있어서, 세퍼레이터 유지 부재(36)를 예로 하는, 회전 플레이트(23)에 접속되어 있는 구성이 선행 점착 테이프 유지 부재(19)와 간섭되는 사태를 확실하게 피할 수 있다.

동일하게, 세퍼레이터 접합 유닛(21)이 다른 구성과 간섭되는 사태를 회피하는 것을 목적으로 하여, 세퍼레이터 접합 유닛(21)에 대해서도 선행 세퍼레이터(S1f)의 후단 부분을 흡착 유지한 상태를 유지하면서, 정면으로부터 볼 때 회전 플레이트(23)와 겹치지 않는 위치로 퇴피시키는 것이 보다 바람직하다. 접합 테이프(CT)의 반전, 선행 점착 테이프 유지 부재(19)의 퇴피 및 세퍼레이터 접합 유닛(21)의 퇴피가 완료된 시점에 있어서의 점착 테이프 접합 장치(3)의 구성은, 도 16의 (a)에 나타내는 바와 같다. 접합 테이프(CT)의 변위가 완료됨으로써, 스텝 S7-3에 관한 공정은 완료된다.

스텝 S7-4(원단롤의 교체)

접합 테이프(CT)를 반전시킨 후, 원단롤의 교체를 행한다. 즉, 테이프 공급부 유닛(17)의 회전 플레이트(23)를 적절히 회전시켜, 공급 위치에 배치되는 원단롤(27)을 교체한다. 회전 플레이트(23)의 회전에 의해, 공급 위치에 배치되는 원단롤(27)은 테이프(TS)의 장전량이 소정 이하로 감소되어 있는 원단롤(27A)로부터(도 16의 (a)), 충분한 양의 테이프(TS)가 장전되어 있는 원단롤(27B)로 교체된다(도 16의 (b)).

또한, 회전 테이블(23)의 회전에 의해, 회전 테이블(23)에 접속되어 있는 구성의 각각도 회전 테이블(23)과 함께 변위된다. 즉, 공급 위치에 배치되어 있던 제1 공급 유닛(18A)의 각 구성은 회전축(39)을 중심으로 하여 약 180° 회전 변위되고, 공급 위치로부터 대기 위치로 이동한다. 한편, 대기 위치에 배치되어 있던 제2 공급 유닛(18B)의 각 구성은, 대기 위치로부터 공급 위치로 이동한다.

그 결과, 점착 테이프 유지 부재(41B)에 유지되어 있는 후속 점착 테이프(T2)와, 접합 테이프 유지 부재(43B)에 유지되어 있는 접합 테이프(CT)는, 각각의 점착층(C)이 서로 대면하고 있는 상태를 유지하면서, 동기적으로 대기 위치로부터 공급 위치로 이동한다. 한편, 회전 테이블(23)에 접속되지 않은 구성인, 선행 점착 테이프 유지 부재(19) 및 세퍼레이터 접합 유닛(21)의 위치는, 회전 테이블(23)의 회전에 의한 영향을 받지 않는다.

따라서, 회전 플레이트(23)를 회전시켜 원단롤(27)을 교체하는 동작에 의해, 공급 위치로 이동한 후속 점착 테이프(T2) 및 접합 테이프(CT)는, 선행 점착 테이프 유지 부재(19)가 유지하는 선행 점착 테이프(T1f)의 후단 부분의 근방으로 이동한다(도 16의 (b)). 또한, 후속 세퍼레이터(S2)를 흡착 유지하고 있는 세퍼레이터 유지 부재(36B)도, 대기 위치로부터 공급 위치로 이동한다.

그 결과, 후속 세퍼레이터(S2)는, 선행 세퍼레이터 유지 부재(47)가 흡착 유지하고 있는 선행 세퍼레이터(S1f)의 후단 부분의 근방으로 이동한다. 회전 플레이트(23)를 회전시켜 공급 위치에 있는 공급 유닛(18)을 교체함으로써, 스텝 S7-4에 관한 공정은 완료된다. 또한, 스텝 S7-3의 공정과 스텝 S7-4의 공정 순서는 적절히 바꾸어도 되고, 동기적으로 행해도 된다.

스텝 S7-5(점착 테이프의 접합)

원단롤의 교체가 완료된 후, 점착 테이프의 접합을 행한다. 즉, 공급 위치에 배치되어 있는 접합 테이프 제작부(33)(이 시점에서는 접합 테이프 제작부(33B))에 있어서, 선행 점착 테이프(T1f)의 후단 부분과 후속 점착 테이프(T2)의 선단 부분을, 접합 테이프(CT)를 통해 접합시키는 조작을 행한다.

도 17의 각 도면을 사용하여, 스텝 S7-5에 관한 공정을 설명한다. 먼저 도 17의 (a)에 나타내는 바와 같이, 퇴피 위치로 퇴피되어 있던 선행 점착 테이프 유지 부재(19)를 근접 위치로 이동시킨다. 즉, 선행 점착 테이프 유지 부재(19)는 선행 점착 테이프(T1f)의 후단을 유지한 상태에서, 점착 테이프(T)의 조출 방향을 따라서, 점선으로 나타내어지는 퇴피 위치로부터 실선으로 나타내어지는 근접 위치로 이동한다. 그 결과, 선행 점착 테이프(T1f)의 후단과 후속 점착 테이프(T2)는, 접합 테이프(CT)를 통한 접합이 가능하게 될 정도로 근접한 상태가 된다.

선행 점착 테이프(T1f)의 후단과 후속 점착 테이프(T2)를 근접시킨 후, 접합 테이프(CT)에 의한 점착 테이프(T)의 접합이 행해진다. 즉, 도 17의 (b)에 도시된 바와 같이, 접합 테이프 유지 부재(43B)를 점선으로 나타내어지는 접합 준비 위치로부터 실선으로 나타내어지는 접합 실행 위치로 방향 R로 이동시킨다. 당해 이동에 의해, 선행 점착 테이프(T1f)의 후단과 후속 점착 테이프(T2)에 대하여 접합 테이프(CT)가 압박된다. 당해 압박에 의해, 선행 점착 테이프(T1)와 후속 점착 테이프(T2)의 접합이 행해진다. 즉, 선행 점착 테이프(T1f)의 후단과 후속 점착 테이프(T2)의 선단은 접합 테이프(CT)에 의해 연결되어, 연속된 장척상이 된다.

선행 점착 테이프(T1f)의 후단은 선행 점착 테이프 유지 부재(19)에 지지되고, 후속 점착 테이프(T2)는 점착 테이프 유지 부재(41B)에 지지되어 있다. 그리고 선행 점착 테이프 유지 부재(19)의 유지면과 점착 테이프 유지 부재(41B)의 유지면은 같은 높이로 되어 있다. 그 때문에, 접합 테이프(CT)와, 선행 점착 테이프(T1f) 및 후속 점착 테이프(T2) 사이에 있어서, 균일하면서 강한 압박력을 작용시킬 수 있다.

본 실시예에 관한 점착 테이프의 접합 공정에 있어서, 선행 점착 테이프(T1f)의 후단 및 후속 점착 테이프(T2)의 각 점착층(C)과, 접합 테이프(CT)의 점착층(C)은 대면한 위치 관계로 되어 있다. 즉, 접합 테이프(CT)가 각 점착 테이프(T)를 향하여 압박됨으로써 접합 테이프(CT)의 점착층(C)과 선행 점착 테이프(T1f)의 후단 및 후속 점착 테이프(T2)의 각 점착층(C)이 접착된다. 바꿔 말하면, 한쪽의 점착층(C)이 다른 쪽의 기재(B)(비점착면)와 접촉하는 것이 아니라 점착층(C)끼리가 접착되므로, 접합 테이프(CT)와 선행 점착 테이프(T1f)의 후단 및 후속 점착 테이프(T2) 사이의 접착력은 보다 견고해진다. 따라서, 선행 점착 테이프(T1)와 후속 점착 테이프(T2)를 보다 견고하게 접합시킬 수 있다.

접합 테이프(CT)에 의한 선행 점착 테이프(T1f)와 후속 점착 테이프(T2)의 접합이 완료된 후, 접합 테이프 유지 부재(43B)에 의한 접합 테이프(CT)의 흡착 유지를 해제시킨다. 그리고 도 17의 (c)에 나타내는 바와 같이, 접합 테이프 유지 부재(43B)를 접합 실행 위치로부터 접합 준비 위치로 복귀시킨다(도 19의 (b), 화살표 N1).

당해 복귀와 함께, 점착 테이프 유지 부재(41B)에 의한 후속 점착 테이프(T2)의 흡착 유지와, 선행 점착 테이프 유지 부재(19)에 의한 선행 점착 테이프(T1f)의 흡착 유지를 각각 해제시킨다. 접합 테이프(CT)를 통해 접합되어, 연속된 띠 형상이 된 선행 점착 테이프(T1f) 및 후속 점착 테이프(T2)는, 각각의 흡착 유지가 해제됨으로써, 방향 L로 조출되는 것이 가능해진다.

스텝 S7-6(세퍼레이터의 접합)

점착 테이프의 접합 공정을 행함과 함께, 세퍼레이터의 접합 공정을 행한다. 즉, 공급 위치로 이동한 세퍼레이터 유지 부재(36B)와, 세퍼레이터 접합 유닛이 협동함으로써, 선행 세퍼레이터(S1f)의 후단 부분과 후속 세퍼레이터(S2)의 선단 부분을 접합시킨다.

도 18의 각 도면을 사용하여, 스텝 S7-6에 관한 공정을 설명한다. 먼저 도 18의 (a)에 나타내는 바와 같이, 퇴피 위치로 퇴피하고 있던 세퍼레이터 접합 유닛(21)을 이동시킨다. 즉, 선행 세퍼레이터 유지 부재(47)는 선행 세퍼레이터(S1f)의 후단을 유지한 상태에서, 세퍼레이터(S)의 조출 방향을 따라서, 점선으로 나타내어지는 퇴피 위치로부터 실선으로 나타내어지는 접합 준비 위치로 이동한다. 그 결과, 선행 세퍼레이터(S1f)의 후단과 후속 세퍼레이터(S2)의 선단은 서로 대면한 위치 관계가 된다.

선행 세퍼레이터(S1f)의 후단과 후속 세퍼레이터(S2)를 근접시킨 후, 가열에 의한 세퍼레이터(S)의 접합이 행해진다. 즉, 도 18의 (b)에 도시된 바와 같이, 선행 세퍼레이터 유지 부재(47)를 점선으로 나타내어지는 접합 준비 위치로부터 실선으로 나타내어지는 접합 실행 위치로 방향 R로 이동시킨다. 당해 이동에 의해, 후속 세퍼레이터(S2)의 선단에 대하여 선행 세퍼레이터(S1f)의 후단이 압박된다.

또한, 선행 세퍼레이터 유지 부재(47)를 이동시킴과 함께, 선행 세퍼레이터 유지 부재(47)에 내장되어 있는 히터(50)는, 선행 세퍼레이터(S1f)의 후단을 가열시킨다. 당해 가열 및 압박에 의해, 선행 세퍼레이터(S1f)의 후단과 후속 세퍼레이터(S2)의 선단은 열 접착에 의해 접합되어, 연속된 장척상이 된다. 또한 이 때, 세퍼레이터 유지 부재(36B)에도 히터를 내장시켜, 당해 히터에 의해 후속 세퍼레이터(S2)의 선단측도 가열시키는 것이 보다 바람직하다.

선행 세퍼레이터(S1f)의 후단과 후속 세퍼레이터(S2)의 선단의 접합이 완료된 후, 선행 세퍼레이터 유지 부재(47)에 의한 선행 세퍼레이터(S1f)의 흡착 유지를 해제시킨다. 그리고 도 18의 (c)에 나타내는 바와 같이, 선행 세퍼레이터 유지 부재(47)를 초기 위치로 복귀시킨다(도 19의 (b), 화살표 N2).

당해 복귀와 함께, 세퍼레이터 유지 부재(36B)에 의한 후속 세퍼레이터(S2)의 흡착 유지를 해제시킨다. 열 압착에 의해 접합되어, 연속된 띠 형상이 된 선행 세퍼레이터(S1f) 및 후속 세퍼레이터(S2)는, 각각의 흡착 유지가 해제됨으로써, 방향 L로 조출되는 것이 가능해진다. 또한, 대기 위치로 이동한 접합 테이프 유지 부재(43A)는, 접합 준비 위치로부터 절단 준비 위치로 복귀된다(도 19의 (b), 화살표 N3).

스텝 S7-5에 관한 점착 테이프 접합 공정과, 스텝 S7-6에 관한 세퍼레이터 접합 공정은, 실행하는 타이밍을 적절히 전후시켜도 되고, 동기적으로 행해도 된다. 스텝 S7-5 및 스텝 S7-6에 관한, 각각의 압박이 행해지고 있는 상태에 있어서의 점착 테이프 접합 장치(3)의 구성은 도 19의 (a)에 나타내는 바와 같다. 그리고 스텝 S7-5 및 스텝 S7-6이 완료됨으로써, 점착 테이프 접합 장치(3)의 구성은 도 19의 (b)에 나타내는 바와 같게 된다.

스텝 S7-5 및 스텝 S7-6이 완료되면, 새롭게 공급 위치로 이동한 원단롤(27B)에 장전되어 있는 테이프(TS2)는, 선행 점착 테이프(T1f) 및 선행 세퍼레이터(S1f)의 각각과 접합되어, 연속된 띠 형상이 된다. 그 결과, 테이프(TS2)를 조출하여 웨이퍼에 점착 테이프(T)를 부착시키는 조작을 재개할 수 있다. 스텝 S7-1 내지 스텝 S7-6까지의 각 공정에 의해, 원단롤(27)을 자동적으로 교환시킴과 함께, 점착 테이프(T) 및 세퍼레이터(S)의 각각을 자동적으로 접합시키는 일련의 공정이 완료된다.

또한, 공급 위치로부터 대기 위치로 교체된 원단롤(27A)은, 개폐 도어(91)를 통해 점착 테이프 부착 장치(1)의 외부로 취출할 수 있다. 그리고 대기 위치에 있는 보빈(25A)에 대하여, 충분한 양의 테이프(TS)가 장전된 새로운 원단롤(27)을 장전할 수 있다.

<실시예 1의 구성에 의한 효과>

종래, 선행하는 제1 테이프 P와 후속하는 제2 테이프 P를 자동으로 접합시키는 방법으로서는, 이하와 같은 구성을 들 수 있다. 즉, 각각의 테이프 P와는 다른, 제3 테이프 Q를 접합용 점착 테이프로서 미리 준비하고, 제1 테이프 P와 제2 테이프 P 사이를 연결하게 테이프 Q를 부착시킨다.

그 결과, 일반적으로 접합 부분의 단면은, 테이프 Q가 편면에만 점착층(Ca)을 갖는 경우에는 도 20의 (a)에 도시한 바와 같은 구조가 되고, 테이프 Q가 양면에 점착층(Ca)을 갖는 경우에는 도 20의 (b)에 도시한 바와 같은 구조가 된다. 이러한 종래의 접합 방법에서는 다음과 같은 문제점이 염려된다.

첫번째, 도 20의 각 도면에 나타내는 바와 같이, 테이프 Q의 점착층(Ca)은, 테이프 P 중 기재(B)의 층 또는 세퍼레이터(S)의 층에 맞닿게 함으로써 테이프 P끼리를 접합시킨다. 즉, 종래의 방법에서는, 접합용 테이프 Q는, 접합 대상인 테이프 P의 비점착면에 대하여 부착된다. 이 경우, 접합 부분에 있어서의 접착력은, 테이프 Q의 점착층(Ca)이 구비하는 접착력만이 영향을 미치기 때문에, 접합 부분의 접착력은 비교적 약해진다. 그 때문에, 테이프 Q가 테이프 P로부터 박리되어버려, 접합 에러가 발생한다는 문제가 염려된다.

두번째, 접합용 테이프 Q는, 웨이퍼에 대하여 실제로 부착되는 테이프 P와는 별도로, 미리 준비되는 테이프이다. 그 때문에, 웨이퍼 보호용 테이프 P와, 접합용 테이프 Q는 구성하는 재료나 성질이 상이한 경우가 있다. 따라서, 접합용 테이프 Q의 점착층(Ca)과, 회로 보호용 테이프 P의 기재(B)(또는 테이프 P의 세퍼레이터(S))는 서로 접착되기 어려운 조합인 경우를 생각할 수 있다. 이렇게 접착의 상성(相性)이 맞지 않는 조합인 경우, 테이프 Q와 테이프 P의 접착력은 더욱 약해지므로, 접합 에러가 발생한다는 사태가 보다 현저하게 발생한다.

또한 주자재인 테이프 P와는 별도로, 테이프 Q를 부자재로서 준비할 필요가 있으므로, 복수 종류의 테이프를 준비한다는 번잡함이 발생한다. 또한, 테이프 P끼리의 접합 부분에 테이프 Q를 공급하기 위한 구성 등을 새롭게 테이프 접합 장치에 배치시킬 필요가 있고, 테이프 접합 장치가 대형화되기 쉬워져, 비용을 억제하는 것이 어려워진다.

그리고, 종래 구성에 있어서 도 20의 (b)에 나타내는 바와 같이, 접합용 테이프 Q를 사이에 끼워 테이프 P끼리를 적층시키도록 접합시킨 경우, 접합 부분에 있어서의 두께 J는 비교적 두꺼워진다. 즉, 접합 부분 이외와 비교하여 접합 부분이 보다 두꺼우므로, 접합시킨 후의 테이프 P를 권취 회수할 때, 두툼한 부분이 보빈 등에 걸린다. 그 결과, 권취롤의 형상이 왜곡되어버려, 권취 효율의 저하나 권취 에러가 발생하는 사태가 염려된다. 접합 부분에 있어서의 두께 J는, 세퍼레이터(S)를 첨설시킨 상태의 테이프 P끼리를 접합시키는 경우, 보다 현저하게 두꺼워지게 된다.

또한 테이프 P끼리를 적층시키게 접합시키는 경우, 접합 부분의 전후에 있어서, 선행하는 테이프 P의 궤도(높이 등)와, 후속 테이프 P의 궤도는 상이하다(도 20의 (b)). 그 때문에, 특히 접합 부분의 근방에 있어서, 선행 테이프 P가 조출되는 궤도와 후속의 테이프 P가 조출되는 궤도에 어긋남이 발생하고, 테이프 P를 웨이퍼(W)에 부착시키는 조작을 예로 하는, 각 조작의 정밀도가 저하되는 사태도 염려된다. 이러한 접합 부분의 전후에 있어서의 궤도의 어긋남은, 두께 J에 비례하여 커진다.

한편, 본 실시예에 관한 점착 테이프 접합 장치(3)에서는, 점착 테이프(T)끼리의 접합, 즉, 선행의 점착 테이프(T1)와 후속의 점착 테이프(T2)의 접합을 행할 때, 후속의 점착 테이프(T2)의 일부를 미리 잘라낸다. 그리고, 당해 절취된 부분을 접합용 점착 테이프인 접합 테이프(CT)로서 이용한다. 이 경우, 점착 테이프(T)와 별도로 접합 테이프(CT)를 미리 장전하는 구성이나, 접합 테이프(CT)를 접합 부분에 공급시키는 대형의 구성을 배치시킬 필요가 없다. 그 때문에, 점착 테이프 접합 장치(3)의 소형화나 저비용화가 용이해진다.

또한, 본 실시예에서는 접합 테이프(CT)와, 접합의 대상이 되는 점착 테이프(T1) 및 점착 테이프(T2)는, 확실하게 동일한 구조·성질이 된다. 그 때문에, 각각의 점착 테이프(T)와 접합 테이프(CT)의 접착의 상성이 맞지 않는다는 사태는 확실하게 방지된다. 그 때문에 접합 테이프(CT)에 의한 접합력을 향상시킬 수 있다.

또한, 본 실시예에서는 선행하는 테이프와 후속의 테이프를 접합시키는 경우, 같은 높이로 되며 근접 병행되어 있는 선행 점착 테이프(T1)의 점착층(C) 및 후속 점착 테이프(T2)의 점착면(C)의 각각에 대하여, 접합 테이프(CT)의 점착층(C)을 대향시킨 상태에서, 접합 테이프(CT)를 점착 테이프(T)의 각각에 압박시켜 접합을 행한다. 즉, 도 20의 (c)에 나타내는 바와 같이, 접합 시에 점착면(C)의 각각이 접한다.

이렇게 점착층(C)끼리가 접하는 것으로 접합을 행함으로써, 접합 부분에 있어서의 접착력은, 접합 테이프(CT)의 점착층(C)이 구비하는 접착력에 더하여, 접합 대상인 점착 테이프(T)의 점착층(C)이 구비하는 접착력도 영향을 미친다. 그 때문에, 접합 부분에 있어서의 접착력을 보다 향상시킬 수 있으므로, 접합 에러가 발생하는 사태를 보다 확실하게 피할 수 있다. 또한, 선행 점착 테이프(T1)의 점착층(C) 및 후속 점착 테이프(T2)의 점착면(C)은 같은 높이 형상으로 병행되어 있다. 그 때문에, 접합 부분의 전후에 있어서, 선행 점착 테이프(T1)가 조출되는 궤도와 후속 점착 테이프(T2)가 조출되는 궤도에 어긋남이 발생하는 것을 피할 수 있다.

그리고, 본 실시예에서는, 세퍼레이터가 첨설되어 있는 상태의 테이프(TS)끼리를 접합시키는 것이 아니라, 테이프(TS)를 점착 테이프(T)와 세퍼레이터(S)로 박리시킨 후, 점착 테이프(T)끼리의 접합과 세퍼레이터(S)끼리의 접합을 따로따로 행한다. 그 때문에, 특히 점착 테이프(T)끼리를 접합 테이프(CT)로 접합시킨 경우에도, 접합 부분에 있어서의 두께 J는 종래 방법과 비교하여 얇아진다(도 20의 (c)).

그 때문에, 접합 부분을 권취하여 회수하는 경우에도 장치의 부재에 끼치는 영향을 작게 할 수 있다. 또한, 점착 테이프(T)와 세퍼레이터(S)로 박리시켜 점착층(C)을 노출시킨 후에 접합 테이프(CT)를 제작시키므로, 단편화된 접합 테이프(CT)로부터 세퍼레이터(S)를 박리시킨다는 번잡한 공정을 행하지 않고, 접합 테이프(CT)의 점착층(C)과 점착 테이프(T)의 점착층(C)을 대향시키도록 각종 유지 부재를 이동시키는 것이 용이해진다.

[실시예 2]

이어서, 본 발명의 실시예 2를 설명한다. 실시예 1에서는 선행 점착 테이프(T1)와 후속 점착 테이프(T2)를 접합시킬 때, 후속 점착 테이프(T2)의 일부를 접합 테이프(CT)로서 점착 테이프(T)끼리의 접합에 사용하는 구성을 예로 들어 설명하였다. 실시예 2에서는, 선행 점착 테이프(T1)의 일부를 접합 테이프(CT)로서, 점착 테이프(T)끼리의 접합에 사용하는 구성을 예로 들어 설명한다. 또한, 실시예 2에 관한 점착 테이프 부착 장치는 실시예 1에 관한 장치와 기본적으로 구성은 공통된다. 그 때문에, 실시예 1에 관한 점착 테이프 부착 장치와 동일한 구성에 대해서는 동일한 번호를 부여하고, 다른 구성 부분에 대하여 상세하게 설명한다.

실시예 1에 관한 점착 테이프 접합 장치(3)에 있어서, 접합 테이프 제작부(33)는 공급 유닛(18)의 각각에 마련되고, 회전 플레이트(23)와 접속되어 있는 구성으로 되어 있다. 그리고 각각의 접합 테이프 제작부(33A 및 33B)는, 회전 테이블(23)의 회전에 의해 공급 위치와 대기 위치를 서로 바꾸어 구성되어 있다. 한편, 실시예 2에 관한 점착 테이프 접합 장치(3a)에 있어서, 접합 테이프 제작부(61)는 공급 유닛(18)과 독립적으로 설치되어 있고, 회전 플레이트(23)와 접속되어 있지 않다는 점에서 실시예 1과 상이하다. 실시예 2에 관한 접합 테이프 제작부(61)는, 공급 유닛(18)의 수에 관계없이 적어도 하나 마련되어 있으면 된다.

실시예 2에 관한 접합 테이프 제작부(61)는, 공급 위치로 이동하고 있는 점착 테이프 유지 부재(41)(도 21에 있어서는, 점착 테이프 유지 부재(41A))의 하류에 배치되어 있다. 접합 테이프 제작부(61)는 선행 점착 테이프 유지 부재(19)와 동일하게, 근접 위치와 퇴피 위치 사이를 점착 테이프(T)의 조출 방향 L로 왕복 이동한다.

접합 테이프 제작부(61)가 근접 위치로 이동한 경우, 접합 테이프 제작부(61)는, 공급 위치로 이동하고 있는 점착 테이프 유지 부재(41A)의 하류 근방에 배치된다. 접합 테이프 제작부(61)가 퇴피 위치로 이동한 경우, 접합 테이프 제작부(61)는 테이프 공급 유닛(17)의 각 구성과 간섭을 피할 수 있는 위치에 배치된다. 퇴피 위치의 일례로서는, 각 실시예에 관한 선행 점착 테이프 유지 부재(19)와 동일하게, 정면으로부터 볼 때 회전 테이블(23)과 중복되지 않는 위치인 것이 바람직하다.

실시예 2에 관한 접합 테이프 제작부(61)는, 접합 테이프 유지 부재(63)와 커터 유닛(65)을 구비하고 있다. 접합 테이프 유지 부재(63)는 실시예 1과 동일하게, 절단 준비 위치와, 접합 준비 위치와, 접합 실행 위치를 서로 이동할 수 있도록 구성되어 있다. 접합 테이프 유지 부재(63)의 절단 준비 위치는, 공급 위치로 이동하고 있는 점착 테이프 유지 부재(41)의 하류에 상당한다. 접합 테이프 유지 부재(63)는 절단 준비 위치로 이동한 경우, 그 유지면에 있어서 점착 테이프(T)를 유지할 수 있도록 구성된다. 절단 준비 위치와, 접합 준비 위치와, 접합 실행 위치의 위치 관계는, 실시예 1과 동일하다.

커터 유닛(65)은 가동대(67)와 커터날(68)을 구비하고 있다. 가동대(67) 및 커터날(68)의 각각의 구성은, 실시예 1에 관한 가동대(46)와 커터날(48)의 구성과 동일하므로, 상세한 설명을 생략한다. 또한 접합 테이프 유지 부재(63)는, 커터 유닛(65)에 의해 절취된 선행 점착 테이프(T1)의 일부를, 접합 테이프(CT)로서 유지함과 함께, 당해 접합 테이프(CT)를 점착 테이프(T)끼리의 접합 부분에 압박시켜 접합시키는 기능을 갖는다.

<실시예 2에 관한 테이프의 교환 공정의 설명>

여기서, 실시예 2에 관한 스텝 S7의 각 공정에 대하여 설명한다. 실시예 2에 관한 스텝 S7의 흐름도의 개요는 실시예 1과 공통되어 있으며, 도 7의 (b)에 나타내는 바와 같다. 그래서, 실시예 2에 관한 스텝 S7의 각 공정에 있어서, 실시예 1과 상이한 부분에 대하여 설명한다.

스텝 S7을 개시함에 있어서, 점착 테이프 접합 장치(3)에 있어서의 각 구성의 초기 배치는 도 21에 나타내는 바와 같다. 즉, 접합 테이프 제작부(61) 및 선행 점착 테이프 유지 부재(19)는 근접 위치로 이동하고 있다. 접합 테이프 유지 부재(63)는 절단 준비 위치에 배치되어 있다. 이 경우, 공급 위치로 이동하고 있는 점착 테이프 유지 부재(41A)의 하류 근방에 접합 테이프 유지 부재(63)가 배치되고, 접합 테이프 유지 부재(63)의 하류 근방에 선행 점착 테이프 유지 부재(19)가 배치되어 있다. 그리고 점착 테이프 유지 부재(41A), 접합 테이프 유지 부재(63) 및 선행 점착 테이프 유지 부재(19)의 각각은 선행 점착 테이프(T1)를 흡착 유지하고 있다.

또한, 후속 테이프(TS2)의 초기 상태는 이하와 같다. 즉, 도 21에 있어서 부호 D4로 나타낸 바와 같이, 대기 위치에 배치되어 있는 원단롤(27B)로부터 후속 테이프(TS2)가 미리 조출되어 있으며, 세퍼레이터 박리부(31B)에 의해 후속 점착 테이프(T2)와 후속 세퍼레이터(S2)로 박리되어 있다. 그리고 후속 점착 테이프(T2)의 선단 부분은 점착 테이프 유지 부재(41B)에 흡착 유지되어 있으며, 후속 세퍼레이터(S2)의 선단 부분은 세퍼레이터 유지 부재(36B)에 의해 흡착 유지되어 있다. 실시예 2에 있어서의 스텝 S7의 개시 시점에 있어서, 각 구성은 이상과 같이 미리 조작되어 있다.

스텝 S7-1(선행 테이프의 절단)

스텝 S7을 개시하면, 우선은 선행 테이프의 절단을 행한다. 즉, 점착 테이프 접합 장치(3)에 있어서, 커터 유닛(65)에 의한 선행 점착 테이프(T1)의 절단과, 커터 유닛(49)에 의한 선행 세퍼레이터(S1)의 절단이 행해진다. 스텝 S7-1의 개시 시점에 있어서의, 접합 테이프 제작부(61) 및 세퍼레이터 접합 유닛(21)의 주변 구성은 도 22의 (a)에 나타내는 바와 같다.

이 상태에 있어서, 도 22의 (b)에 나타내는 바와 같이, 커터 유닛(65)을 점선으로 나타내는 초기 위치로부터 실선으로 나타내는 제1 절단 실행 위치로 적절히 이동시킨다. 당해 이동에 의해, 커터 유닛(65)은, 선행 점착 테이프 유지 부재(19)와 접합 테이프 유지 부재(63) 사이에 있어서의 소정의 위치에 있어서, 선행 점착 테이프(T1)를 폭 방향으로 절단한다(도 22의 (b), 화살표 W1).

당해 절단에 의해, 선행 점착 테이프(T1)의 하류측(T1f)은 공급 위치에 있는 원단롤(27A)로부터 분리된다. 원단롤(27A)로부터 분리된 선행 점착 테이프(T1f)의 후단 부분은, 선행 점착 테이프 유지 부재(19)에 의해 흡착 유지된다. 그리고 여전히 원단롤(27A)과 연결되어 있는 선행 점착 테이프(T1)의 상류측(T1r)의 선단 부분은, 접합 테이프 유지 부재(63)와 점착 테이프 유지 부재(41A)에 의해 흡착 유지된다.

그리고 선행 점착 테이프(T1)를 절단하는 한편, 선행 세퍼레이터(S1)의 절단을 행한다. 즉, 실시예 1과 동일하게, 커터 유닛(49)은, 선행 세퍼레이터 유지 부재(47)와 세퍼레이터 유지 부재(36A) 사이에 있어서의 소정의 위치에 있어서, 선행 세퍼레이터(S1)를 폭 방향에 걸쳐 절단한다(도 22의 (b), 화살표 W2). 커터 유닛(49)이 선행 세퍼레이터(S1)를 절단함으로써, 선행 세퍼레이터(S1)의 하류측(S1f)은 원단롤(27A)로부터 분리된다. 선행 점착 테이프(T1)와 선행 세퍼레이터(S1)가 각각 절단되어 원단롤(27A)로부터 분리됨으로써, 스텝 S7-1의 공정은 완료된다.

스텝 S7-2(접합 테이프의 제작)

선행 점착 테이프(T1)와 선행 세퍼레이터(S1) 각각의 하류측이 원단롤(27A)로부터 분리된 후, 스텝 S7-2에 관한 접합 테이프의 제작 공정을 실행한다. 본 실시예에서는 커터 유닛(65)을 사용하여 선행 점착 테이프(T1r)의 선단을 일부 절취하고, 당해 절취된 선단 부분의 단편을 접합 테이프(CT)로서 사용한다.

구체적으로는 도 23에 나타내는 바와 같이, 커터 유닛(65)을 제1 절단 실행 위치로부터 실선으로 나타내는 제2 절단 실행 위치로 적절히 이동시킨다. 당해 이동에 의해, 커터 유닛(65)은, 점착 테이프 유지 부재(41A)와 접합 테이프 유지 부재(63) 사이에 있어서의 소정의 위치에 있어서, 선행 점착 테이프(T1r)를 폭 방향으로 절단한다.

당해 절단에 의해, 선행 점착 테이프(T1r)의 하류측(선단 부분)은 원단롤(27A)로부터 분리되고, 접합용 점착 테이프편인 접합 테이프(CT)로서 제작된다. 그리고 제작된 접합 테이프(CT)는 접합 테이프 유지 부재(63)에 의해 흡착 유지된다. 그리고 여전히 원단롤(27A)과 연결되어 있는 선행 점착 테이프(T1r)의 상류측의 선단 부분은, 점착 테이프 유지 부재(41A)에 의해 흡착 유지된다.

스텝 S7-3(접합 테이프의 반전)

접합 테이프의 제작이 완료된 후, 접합 테이프를 반전시킨다. 즉, 접합 테이프(CT)를 유지하고 있는 접합 테이프 유지 부재(63)를 절단 준비 위치로부터 접합 준비 위치로 적절히 이동시킴으로써, 접합 테이프(CT)의 점착층(C)과, 선행 점착 테이프(T1r)의 선단 부분의 점착층(C)이 대향하도록 접합 테이프(CT)를 변위시킨다(도 24).

또한, 접합 테이프 제작부(61)에 있어서 접합 테이프(CT)의 반전을 행하는 공정과 동기하여, 접합 테이프 제작부(61)와, 선행 점착 테이프 유지 부재(19)와, 세퍼레이터 접합 유닛(21)을 테이프 공급 유닛(17)으로부터 퇴피시키는 것이 바람직하다. 퇴피시키는 방향의 구체예로서, 접합 테이프 제작부(61)와, 선행 점착 테이프 유지 부재(19)를 점착 테이프(T)의 조출 방향을 따라서 하류측으로 퇴피시키고, 세퍼레이터 접합 유닛(21)을 세퍼레이터의 조출 방향을 따라서 하류측으로 퇴피시킨다.

접합 테이프 제작부(61)와, 선행 점착 테이프 유지 부재(19)와, 세퍼레이터 접합 유닛(21)의 퇴피 위치는, 점착 테이프 접합 장치(3)의 정면으로부터 볼 때 회전 플레이트(23)와 겹치지 않는 위치인 것이 보다 바람직하다. 접합 테이프(CT)의 반전이 완료됨으로써, 스텝 S7-3에 관한 공정은 완료된다. 완료 시점에 있어서의 점착 테이프 접합 장치(3a)의 구성은, 도 25의 (a)에 나타내는 바와 같다.

스텝 S7-4(원단롤의 교체)

접합 테이프(CT)를 반전시킨 후, 원단롤의 교체를 행한다. 즉, 테이프 공급 유닛(17)의 회전 플레이트(23)를 적절히 회전시켜, 공급 위치에 배치되는 원단롤(27)을 교체한다. 회전 플레이트(23)의 회전에 의해, 공급 위치에 배치되는 원단롤(27)은, 테이프(TS)의 장전량이 소정 이하로 감소되어 있는 원단롤(27A)로부터(도 25의 (a)), 충분한 양의 테이프(TS)가 장전되어 있는 원단롤(27B)로 교체된다(도 25의 (b)).

또한, 회전 테이블(23)의 회전에 의해, 회전 테이블(23)에 접속되어 있는 구성의 각각도 회전 테이블(23)과 함께 변위된다. 그 때문에, 점착 테이프 유지 부재(41B)에 유지되어 있는 후속 점착 테이프(T2)는, 대기 위치로부터 공급 위치로 이동한다. 한편, 회전 테이블(23)에 접속되지 않은 구성인, 접합 테이프 제작부(63), 선행 점착 테이프 유지 부재(19) 및 세퍼레이터 접합 유닛(21)의 위치는, 회전 테이블(23)의 회전에 의한 영향을 받지 않는다.

그 결과, 후속 점착 테이프(T2)의 선단 부분은, 선행 점착 테이프 유지 부재(19)가 유지하는 선행 점착 테이프(T1f)의 후단 부분과, 접합 테이프 유지 부재(63)가 유지하는 접합 테이프(CT)의 근방으로 이동한다. 회전 플레이트(23)를 회전시켜 공급 위치에 배치되는 원단롤(27)을 다른 원단롤(27)로 교체함으로써, 스텝 S7-4에 관한 공정은 완료된다.

스텝 S7-5(점착 테이프의 접합)

원단롤의 교체가 완료된 후, 점착 테이프의 접합을 행한다. 즉, 도 26의 (a)에 나타내는 바와 같이, 퇴피 위치로 퇴피하고 있던 접합 테이프 유지부(61) 및 선행 점착 테이프 유지 부재(19)를 근접 위치로 이동시킨다. 즉, 선행 점착 테이프 유지 부재(19)는 선행 점착 테이프(T1f)의 후단을 유지한 상태에서, 점선으로 나타내어지는 퇴피 위치로부터 실선으로 나타내어지는 근접 위치로 이동한다. 그 결과, 선행 점착 테이프(T1f)의 후단과 후속 점착 테이프(T2)는, 접합 테이프(CT)를 통한 접합이 가능해질 정도로 근접한 상태가 된다.

선행 점착 테이프(T1f)의 후단과 후속 점착 테이프(T2)를 근접시킨 후, 접합 테이프(CT)에 의한 점착 테이프(T)의 접합이 행해진다. 즉, 도 26의 (b)에 나타내는 바와 같이, 접합 테이프 유지 부재(63)를 점선으로 나타내어지는 접합 준비 위치로부터 실선으로 나타내어지는 접합 실행 위치로 이동시킨다. R 방향으로 접합 테이프 유지 부재(63)가 이동함으로써, 선행 점착 테이프(T1f)의 후단과 후속 점착 테이프(T2)에 대하여 접합 테이프(CT)가 압박된다. 그 결과, 선행 점착 테이프(T1f)의 후단과 후속 점착 테이프(T2)의 선단은, 접합 테이프(CT)를 통해 접합되어 연속된 장척상이 된다.

접합 테이프(CT)에 의한 선행 점착 테이프(T1f)와 후속 점착 테이프(T2)의 접합이 완료된 후, 접합 테이프 유지 부재(63)에 의한 접합 테이프(CT)의 흡착 유지를 해제시킨다. 그리고 접합 테이프 유지 부재(63)를 접합 실행 위치로부터 접합 준비 위치로 복귀시킨다. 당해 복귀와 함께, 점착 테이프 유지 부재(41B)에 의한 후속 점착 테이프(T2)의 흡착 유지와, 선행 점착 테이프 유지 부재(19)에 의한 선행 점착 테이프(T1f)의 흡착 유지를 각각 해제시킨다. 접합 테이프(CT)를 통해 접합되어, 연속된 장척상이 된 선행 점착 테이프(T1f) 및 후속 점착 테이프(T2)는, 각각의 흡착 유지가 해제됨으로써, 방향 L로 조출되는 것이 가능해진다.

스텝 S7-6(세퍼레이터의 접합)

점착 테이프의 접합 공정을 행함과 함께, 세퍼레이터의 접합 공정을 행한다. 즉, 도 26의 (a)에 나타내는 바와 같이, 퇴피 위치로 퇴피하고 있던 세퍼레이터 접합 유닛(21)을 이동시킨다. 선행 세퍼레이터 유지 부재(47)는 선행 세퍼레이터(S1f)의 후단을 유지한 상태에서, 세퍼레이터(S)의 조출 방향을 따라서, 점선으로 나타내어지는 퇴피 위치로부터 실선으로 나타내어지는 접합 준비 위치로 이동한다.

선행 세퍼레이터(S1f)의 후단과 후속 세퍼레이터(S2)를 근접 대향시킨 후, 도 26의 (b)에 도시된 바와 같이, 선행 세퍼레이터 유지 부재(47)를 점선으로 나타내어지는 접합 준비 위치로부터 실선으로 나타내어지는 접합 실행 위치로 방향 R로 이동시킨다. 당해 이동에 의해, 후속 세퍼레이터(S2)의 선단에 대하여 선행 세퍼레이터(S1f)의 후단이 압박된다. 또한 당해 압박과 함께, 히터(50)에 의한, 선행 세퍼레이터(S1f)의 가열을 행한다. 당해 가열 압박에 의해, 선행 세퍼레이터(S1f)의 후단과 후속 세퍼레이터(S2)의 선단은 열 접착에 의해 접합되어, 연속된 띠 형상이 된다.

선행 세퍼레이터(S1f)의 후단과 후속 세퍼레이터(S2)의 선단의 접합이 완료된 후, 선행 세퍼레이터 유지 부재(47)에 의한 선행 세퍼레이터(S1f)의 흡착 유지를 해제시켜, 선행 세퍼레이터 유지 부재(47)를 초기 위치로 복귀시킨다. 당해 복귀와 함께, 세퍼레이터 유지 부재(36B)에 의한 후속 세퍼레이터(S2)의 흡착 유지를 해제시킨다. 각각의 흡착 유지가 해제됨으로써, 연속된 띠 형상이 된 선행 세퍼레이터(S1f) 및 후속 세퍼레이터(S2)는, 방향 L로 조출되는 것이 가능해진다. 이상의 공정에 의해, 실시예 2에 관한 스텝 S7의 각 공정은 완료된다.

실시예 2에 관한 테이프 접합 장치에 의해, 선행 점착 테이프(T1f) 및 선행 세퍼레이터(S1f)의 각각을, 원단롤(27B)에 장전되어 있는 테이프(TS2)와 자동적으로 접합시킬 수 있다. 실시예 1에서는 후속 점착 테이프(T2)의 일부를 접합 테이프(CT)로서 사용하지만, 실시예 2에 이러한 구성에 의해, 선행 점착 테이프(T1)의 일부를 접합 테이프(CT)로서 사용할 수도 있다. 선행 점착 테이프(T1)는 후속 점착 테이프(T2)와 동일하게, 워크에 대하여 실제로 사용되는 점착 테이프(T)이다.

즉, 실시예 1과 동일하게, 실시예 2의 구성에 있어서도 접합 테이프(CT)의 점착층(C)과 점착 테이프(T)의 점착층(C)은 동일한 구성이 되므로, 접합 테이프(CT)와 점착 테이프(T)의 점착력이 저하되어 박리되는 사태를 피할 수 있다. 또한, 접합 테이프(CT)의 점착층(C)과 점착 테이프(T)의 점착층(C)을 대향시킨 상태에서 압박하여 접합시키므로, 접합 테이프(CT)의 점착층(C)과 점착 테이프(T)의 점착층(C)의 각각의 점착력에 의한, 보다 견고한 접합을 실현할 수 있다. 또한 실시예 2에서는 공급 유닛(18)의 수에 관계없이, 접합 테이프 유지부(61)가 적어도 하나 있으면 되므로, 점착 테이프 접합 장치(3)의 구성을 보다 단순화할 수 있다.

본 발명은 상기 실시 형태에 한정되지 않고, 하기와 같이 변형 실시할 수 있다.

(1) 각 실시예에 있어서, 웨이퍼(W)의 부착에 사용되는 점착 테이프(T)의 일부(원단롤(27)의 일부)를 접합 테이프로서 사용하는 구성을 설명하였지만, 본 발명은 당해 구성만을 행하는 장치에 한정되지 않는다. 즉, 웨이퍼(W)의 부착 공정에 사용되는 점착 테이프(T)의 일부를 접합 테이프로서 사용하는 제1 모드와, 각각의 원단롤(27)에 권회되어 있는 점착 테이프(T)와는 다른 점착 테이프(F)를 접합 테이프로서 공급하는 제2 모드를 병용하는 구성으로 해도 된다.

먼저, 상술한 바와 같은 제2 모드를 사용하는 상황에서는 다음과 같은 경우를 들 수 있다. 즉, 도 27의 (a)에 나타내는 바와 같이, 웨이퍼(W)의 표면에 범프 등에 의한 요철이 많은 경우, 회로 보호용 점착 테이프로서, 기재(B)가 두꺼운 점착 테이프(Tp)가 사용되는 경우가 있다.

이 경우, 각 실시예의 구성을 적용하여, 점착 테이프(Tp)의 일부를 잘라내어 접합 테이프(CT)로서 점착 테이프(Tp)끼리를 접합시킨 경우, 접합 부분에 있어서 테이프의 두께가 증대됨과 함께 유연성이 저하되므로, 접합 테이프(CT)가 박리되어 접합 에러가 발생하는 사태가 염려된다. 그 때문에, 기재(B)가 두꺼운 점착 테이프(Tp)를 사용하는 경우, 원단롤(27)의 일부를 절단하여 접합 테이프(CT)로서 사용하는 구성을 적용하는 것은 곤란하다. 이러한 사태는, 기재(B)의 강성이 높은 점착 테이프를 웨이퍼(W)에 부착시키는 경우에도 발생한다.

이하, 2개의 모드를 병용하는 변형예의 구성의 일례에 대하여, 도면을 사용하여 설명한다. 도 27의 (b)에 나타내는 바와 같이, 변형예에 관한 점착 테이프 접합 장치(3b)는, 실시예 1에 관한 점착 테이프 접합 장치(3)의 각 구성에 더하여, 센서(71)와, 모드 판정부(73)와, 접합 테이프 공급 유닛(75)을 구비하고 있다. 또한, 변형예에 관한 점착 테이프 접합 장치(3b)는, 실시예 2에 관한 점착 테이프 접합 장치(3a)를 베이스로 하여, 센서(71)와, 모드 판정부(73)와, 접합 테이프 공급 유닛(75)을 구비하는 구성으로 해도 된다.

센서(71)는 원단롤(27)에 장전되어 있는 점착 테이프(T)의 특성을 검지한다. 점착 테이프(T)의 특성의 예로서는, 기재(B)의 두께나 기재(B)의 강성 등을 들 수 있다. 센서(71)로서는 광학 센서나 텔레비젼 카메라 등, 점착 테이프(T)의 특성을 검지하는 공지된 구성을 적절히 이용해도 된다.

모드 판정부(73)는 센서(71)가 검지한 점착 테이프(T)의 특성에 관한 정보를 수신하고, 당해 정보에 기초하여 제1 모드와 제2 모드 중, 실행해야 할 모드를 판정한다. 즉, 점착 테이프(T)를 접합 테이프(CT)로서 사용해도 문제없을 경우, 제1 모드에서 점착 테이프(T)의 접합을 실행하는 취지의 판정을 행한다.

제1 모드를 실행하는 취지의 판정이 이루어진 경우, 제어부(81)는 당해 판정에 관한 정보를 수신하여 각 구성을 통괄 제어한다. 점착 테이프 접합 장치(3)의 각 구성은 제어부(81)의 제어에 따라서, 각 실시예에서 설명한 공정을 따라서, 원단롤(27)에 장전되어 있는 점착 테이프(T)의 일부를 접합 테이프(CT)로서 사용하여 점착 테이프(T)의 접합을 행한다.

한편, 점착 테이프(T)를 접합 테이프(CT)로서 사용하기에는 부적절한 경우, 모드 판정부(73)는 제2 모드에서 점착 테이프(T)의 접합을 실행하는 취지의 판정을 행한다. 이 경우, 제어부(81)는 당해 판정에 관한 정보를 수신하고, 각 구성을 통괄 제어한다. 점착 테이프 접합 장치(3)의 각 구성은 제어부(81)의 제어에 따라서, 접합 테이프 공급 유닛(75)으로부터 공급되는 점착 테이프(G)를 사용하여 점착 테이프(T)의 접합을 행한다. 판정 기준의 일례로서, 점착 테이프(T)의 기재(B)의 두께가 0.5mm 이상이라고 검지된 경우, 모드 판정부(73)는 제2 모드가 적절하다고 판정하고, 제2 모드를 선택하는 취지의 정보를 제어부(81)에 송신한다.

접합 테이프 공급 유닛(75)은 도 28의 (a) 등에 나타내는 바와 같이, 테이프 공급부(77)와 가이드롤(78)과 커터 유닛(79)을 구비하고 있다. 테이프 공급부(77)는, 점착 테이프(T)와는 별도로 준비된, 점착 테이프(F)가 권회된 원단롤이 장전된 보빈으로부터, 당해 점착 테이프(F)를 조출하여 공급한다. 점착 테이프(F)는 비교적 얇으며, 강성이 낮은 소재로 기재(B)가 구성되어 있는 것이 바람직하다. 또한 점착 테이프(F)의 점착층(C)에 포함되는 점착재는, 점착 테이프(T)의 점착층(C)과의 접착력이 강한 재료인 것이 바람직하다. 점착 테이프(F)의 기재(B)의 두께로서는, 일례로서 0.1mm 내지 0.2mm인 것이 보다 바람직하다.

가이드롤(78)은 테이프 공급부(77)로부터 공급된 점착 테이프(F)를 권회하여 접합 테이프 유지 부재(43)로 안내한다. 커터 유닛(79)은 커터 유닛(45) 등과 동일하게, 가동부와 커터날을 구비하고 있고, 접합 테이프 유지 부재(43)로 안내된 점착 테이프(F)를 폭 방향으로 절단한다.

이하, 변형예에 있어서 제2 모드가 선택된 경우에 실행되는, 스텝 S7의 각 공정에 대하여 설명한다. 여기에서는 실시예 1에 관한 공정 및 장치를 기초로 하여, 제2 모드를 행하는 변형예에 대하여 설명한다. 제2 모드에서의 스텝 S7과, 제1 모드(각 실시예)에 있어서의 스텝 S7의 상위점은, 이하의 2점이다.

첫번째, 변형예에서는 스텝 S7-1에 있어서, 접합 테이프 유지 부재(43)는 점착 테이프(T)를 유지하지 않고, 선행 점착 테이프(T1) 및 선행 세퍼레이터(S1)를 절단시킨다. 두번째, 변형예에서는 스텝 S7-2에 있어서, 접합 테이프 공급 유닛(75)으로부터 공급되는 접합 테이프(F)를 접합 테이프 유지 부재(43)가 유지함으로써, 점착 테이프(T)끼리를 접합시키는 접합 테이프가 제작된다.

즉, 실시예 1에 있어서 후속 점착 테이프(T2)는, 스텝 S7의 개시 전에, 미리 도 11의 부호 D2로 나타내어진 상태로 되어 있다. 즉, 대기 위치의 원단롤(27B)로부터 공급되는 후속 점착 테이프(T2)는, 점착 테이프 유지 부재(41B) 및 접합 테이프 유지 부재(43B)로 안내되고 있으며, 각 유지 부재에 의해 흡착 유지되어 있다. 한편, 변형예에 있어서의 후속 점착 테이프(T2)는, 미리 도 28의 (a)에서 나타내어진 상태로 되어 있다. 즉, 원단롤(27B)로부터 공급되는 점착 테이프(T2)는, 접합 테이프 유지 부재(43B)에 유지되지 않고, 점착 테이프 유지 부재(41B)에 의해 그 선단이 흡착 유지되어 있다.

먼저, 변형예에 관한 스텝 S7-1에서는, 실시예 1과 동일하게 선행 점착 테이프(T1)와 선행 세퍼레이터(S1)가 절단되고, 각각은 원단롤(27A)로부터 분리된다(도 12, 도 13).

그리고 변형예에 관한 스텝 S7-2에서는, 도 28의 (b)에 나타내는 바와 같이, 테이프 공급부(77)로부터 점착 테이프(F)가 조출되어 공급되고, 공급된 점착 테이프(F)는 가이드 롤러(78)를 경유하며, 그 선단 부분은 접합 테이프 유지 부재(43B)에 의해 유지된다. 당해 흡착 유지가 행해진 후, 커터 유닛(79)은 접합 테이프 유지 부재(43B)와 가이드 롤러(78) 사이의 소정 위치에 있어서, 점착 테이프(F)를 폭 방향으로 절단한다(도 28의 (c)). 당해 절단에 의해, 점착 테이프(F)의 선단 부분은 테이프 공급부(77)로부터 분리된다. 분리된 점착 테이프(F)의 선단 부분은, 접합 테이프(CT)로서 접합 테이프 유지 부재(43B)에 유지된다.

변형예에서는 이상의 공정에 의해 접합 테이프(CT)가 제작·준비된다. 스텝 S7-3 이후의 공정은, 제각기 실시예와 마찬가지이므로 상세한 설명을 생략한다. 변형예에 관한 일련의 공정에 의해, 스텝 S7-5에 있어서, 점착 테이프(F)를 포함하는 접합 테이프(CT)는 점착층(C)끼리 대향시킨 상태에서(도 29의 (a)), 선행 점착 테이프(T1)와 후속 점착 테이프(T2)에 압박된다(도 29의 (b)). 당해 압박에 의해, 접합 테이프(CT)는 선행 점착 테이프(T1)와 후속 점착 테이프(T2)를 접합시킨다.

본 변형예에서는, 점착 테이프(T)의 특성에 따라서 적절한 모드의 판정을 행하고, 적절히 제1 모드와 제2 모드의 어느 것을 선택할 수 있도록 구성된다. 즉, 점착 테이프(T)의 특성이 접합 테이프(CT)로서 적절한 경우에는 제1 모드를 선택하고, 점착 테이프(T)의 일부를 접합 테이프(CT)로서 사용함으로써, 각 실시예에 특징적인 유리한 효과를 얻을 수 있다.

한편으로 점착 테이프(T)의 특성이 접합 테이프(CT)로서 부적절한 경우에는 제2 모드를 선택한다. 이 경우, 기재(B)가 두꺼우며 강성이 높은 점착 테이프(T)끼리는, 기재(B)가 비교적 얇으며 강성이 낮은 점착 테이프(F)의 단편을 통해 접합된다. 그 때문에, 점착 테이프(T) 자체를 접합 테이프(CT)로서 사용하는 것에 기인하는 접합 에러의 발생을 확실하게 피할 수 있다.

또한, 본 변형예에서는, 점착 테이프(T)의 특성의 검지와, 모드의 선택과, 점착 테이프(F)의 공급의 각각을 자동으로 실행하는 구성을 예시하고 있다. 그러나, 이들 중 적어도 하나에 대하여 수동으로 행해도 된다. 즉, 점착 테이프(T)를 보빈(25)에 장전시키는 시점에서, 오퍼레이터는 점착 테이프(T)의 특성을 검지할 수 있다. 또한, 오퍼레이터는 입력부(83)를 적절히 조작함으로써, 제1 모드와 제2 모드 중, 점착 테이프(T)의 접합에 의해 적절한 모드를 선택할 수 있다. 또한, 오퍼레이터는 점착 테이프(F)를 적절한 길이의 단편으로 절단하고, 당해 점착 테이프(F)의 단편을 접합 테이프 유지 부재(43)에 흡착 유지시킬 수도 있다.

(2) 각 실시예 및 각 변형예에 있어서, 자동 접합의 대상이 되는 점착 테이프(T)의 예로서, 회로 보호용 점착 테이프(보호 테이프)를 예로 들어 설명하였지만 이것에 한정되지 않는다. 즉, 점착 테이프(T)로서는 보호 테이프 외에도, 반도체 웨이퍼를 링 프레임에 걸쳐 지지하는 지지용 점착 테이프(다이싱 테이프)나, 보호 테이프를 박리하기 위해 보호 테이프의 표면에 부착되는 박리용 점착 테이프 등, 장척상의 점착 테이프라면 본 발명에 따른 테이프 접합 장치의 구성을 적용할 수 있다.

(3) 각 실시예 및 각 변형예에 있어서, 점착 테이프 부착 장치를 사용하여 본 발명에 따른 테이프 접합 장치를 설명하였지만, 본 발명에 따른 테이프 접합 장치 및 테이프 회수 장치는, 테이프 부착 장치 이외에도 다양한 테이프 처리 장치에 적용할 수 있다. 테이프 처리 장치의 예로서는, 웨이퍼에 부착되어 있는 각종 테이프를 박리하는 테이프 박리 장치, 또는 웨이퍼를 링프레임에 마운트하기 위해 사용하는 마운트 장치(마운터) 등을 들 수 있다.

(4) 각 실시예 및 각 변형예에 있어서, 테이프 공급 유닛(17)에 배치되는 원단롤(27)은 2개에 한정되지 않고, 3개 이상 배치해도 된다. 이 경우, 원단롤(27)의 수에 따라서 공급 유닛(18)의 각 구성을 증설한다.

(5) 각 실시예 및 각 변형예에 있어서, 점착 테이프(T)를 커터날로 절단하는 구성을 예시하였지만, 점착 테이프(T)를 폭 방향으로 절단할 수 있는 구성이면, 공지된 절단 수단 및 절단 방법을 적절히 사용해도 된다.

(6) 실시예 및 각 변형예에 있어서, 세퍼레이터(S)를 접합시키는 공정에 대해서는 가열 및 압박에 의해 접합시키는 방법을 예시하였지만, 이 방법에 한정되지 않는다. 세퍼레이터(S)를 접합시키는 방법으로서는, 점착재를 도포한 상태에서 압박하여 접합시키는 구성이나, 초음파 발생 장치를 사용하여 양자를 초음파 접합시키는 구성 등, 다른 방법으로 적절히 변경해도 된다.

(7) 각 실시예 및 각 변형예에 있어서, 원단롤(27)의 각각에는 테이프(TS), 즉, 점착 테이프(T)에 세퍼레이터(S)가 첨설된 장척 테이프가 권회되어 있는 구성을 예시하고 있지만, 세퍼레이터(S)가 첨설되지 않은, 기재(B) 및 점착층(C)을 포함하는 점착 테이프(T)가 원단롤(27)의 각각에 권회되어 있는 구성에도 본 발명의 구성을 적용할 수 있다. 이 경우, 점착 테이프 접합 장치에 있어서, 세퍼레이터(S)의 조작에 이러한 구성을 생략할 수 있다. 예를 들어, 세퍼레이터(S)를 권회 안내시키는 구성이나, 세퍼레이터(S)를 절단·접합시키는 구성 등을 생략할 수 있다.

(8) 각 실시예 및 각 변형예에 있어서, 스텝 S7에 관한 각 공정을 실행하는 순서는 적절히 변경시켜도 된다. 일례로서, 스텝 S7-2 및 S7-3의 공정을 먼저 행하고, 그 후에 스텝 S7-1 및 스텝 S7-4의 공정을 행해도 된다.

이러한 순서로 각 공정을 행함으로써, 접합 테이프(CT)를 제작함과 함께, 접합 테이프(CT)와 점착 테이프(T)가 점착층(C)끼리를 대면하도록 접합 테이프(CT)를 변위(반전)시킨다. 그 후, 선행 점착 테이프(T1) 및 선행 세퍼레이터(S1)가 절단되고, 또한 공급 위치에 배치되는 원단롤(27)이 다른 원단롤(27)로 교체된다.

이 경우, 공급 위치에 배치되어 있는 원단롤(27)에 권회되어 있는 테이프(TS)를 사용하여 웨이퍼(W)에 점착 테이프(T)를 부착시키는 동안에, 대기 위치에 배치되어 있는 원단롤(27)에 권회되어 있는 점착 테이프(T)를 사용하여 접합 테이프(CT)를 미리 제작·준비할 수 있다. 그 때문에, 점착 테이프(T)를 접합시키는 공정에 소요되는 시간을 삭감시켜, 점착 테이프 접합 장치(3)의 작동 효율을 향상시키는 것이 가능해진다.

1…점착 테이프 부착 장치
3…테이프 접합 장치
5…유지 테이블
7…테이프 부착 유닛
9…테이프 절단 유닛
11…테이프 박리 유닛
13…테이프 회수부
15…세퍼레이터 회수부
17…테이프 공급 유닛
19…선행 점착 테이프 유지 부재
21…세퍼레이터 접합 유닛
27…원단롤
29…테이프 공급부
31…세퍼레이터 박리부
33…접합 테이프 제작부
36…세퍼레이터 유지 부재
41…점착 테이프 유지 부재
43…접합 테이프 유지 부재
45…커터 유닛
47…선행 세퍼레이터 유지 부재
49…커터 유닛
50…히터
TS …테이프(세퍼레이터 부착 점착 테이프)
T …점착 테이프
S …세퍼레이터
B …기재
C …점착층

Claims (5)

1. 장척의 점착 테이프의 단부끼리를 접합시키는 점착 테이프 접합 장치이며,
   점착 테이프의 원단롤을 복수개 구비하고, 복수의 상기 원단롤 중 공급 위치에 배치되어 있는 제1 원단롤로부터 점착 테이프를 조출시키는 테이프 공급부와,
   테이프 공급부가 구비하는 복수의 원단롤 중, 공급 위치에 있는 제1 원단롤로부터 조출되고 있는 제1 점착 테이프를 소정 위치에서 절단하여 상기 제1 원단롤로부터 분리하는 절단 기구와,
   테이프 공급부가 구비하는 복수의 원단롤 중, 상기 제1 원단롤로부터 조출되고 있는 상기 제1 점착 테이프, 및 제2 원단롤로부터 조출되고 있는 제2 점착 테이프 중, 어느 일부를 절단하여 접합용 점착 테이프편을 제작하는 제1 접합 테이프 제작 기구와,
   상기 점착 테이프편을 유지하는 접합 테이프 유지 부재와,
   상기 테이프 공급부를 이동시켜, 공급 위치에 배치되는 원단롤을 상기 제1 원단롤로부터 제2 원단롤로 교체하는 롤 교체 기구와,
   상기 제1 원단롤로부터 분리된 상기 제1 점착 테이프의 후단과, 상기 제2 원단롤로부터 조출되고 있는 상기 제2 점착 테이프의 선단을 상기 점착 테이프편으로 접합시키는 점착 테이프 접합 기구
   를 구비한 것을 특징으로 하는 점착 테이프 접합 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 점착 테이프 접합 기구는, 상기 점착 테이프편의 점착면과, 상기 제1 점착 테이프의 후단 부분의 점착면 및 상기 제2 점착 테이프의 선단 부분의 점착면이 서로 대면한 상태에서, 제1 점착 테이프의 후단과 제2 점착 테이프의 선단을 상기 점착 테이프편으로 접합시키는
   것을 특징으로 하는 점착 테이프 접합 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 원단롤의 각각은, 세퍼레이터가 첨설된 상기 점착 테이프를 조출하는 것이며,
   상기 제1 원단롤로부터 분리된 제1 세퍼레이터의 후단과, 상기 제2 원단롤로부터 조출되고 있는 제2 세퍼레이터의 선단을 접합시키는 세퍼레이터 접합 기구를 구비하는
   것을 특징으로 하는 점착 테이프 접합 장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 세퍼레이터 접합 기구는, 상기 제1 세퍼레이터의 후단과 상기 제2 세퍼레이터의 선단 중 적어도 한쪽을 가열하는 가열 기구를 구비하고,
   상기 제1 세퍼레이터 및 상기 제2 세퍼레이터는, 열 접착에 의한 접합을 가능하게 하는 재료로 구성되는
   것을 특징으로 하는 점착 테이프 접합 장치.
5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 점착 테이프 및 상기 제2 점착 테이프와는 특성이 다른 제3 점착 테이프를 공급하는 제3 원단롤과,
   상기 제3 점착 테이프의 일부를 절단하여 접합용 점착 테이프편을 제작하는 제2 접합 테이프 제작 기구와,
   상기 제1 점착 테이프의 특성 또는 상기 제2 점착 테이프의 특성에 기초하여, 제1 모드와 제2 모드 중 어느 것을 선택하는 선택 기구와,
   상기 선택 기구의 선택에 기초하여, 상기 제1 접합 테이프 제작 기구 및 상기 제2 접합 테이프 제작 기구를 제어하는 제어 기구를 구비하고,
   상기 제어 기구는,
   상기 제1 모드가 선택된 경우에는, 제2 접합 테이프 제작 기구를 정지시키는 제어를 행함과 함께 제1 접합 테이프 제작 기구를 작동시켜, 상기 제1 점착 테이프 및 상기 제2 점착 테이프 중, 어느 일부를 절단하여 접합용 점착 테이프편을 제작하도록 제어하고,
   상기 제2 모드가 선택된 경우에는, 제1 접합 테이프 제작 기구를 정지시키는 제어를 행함과 함께 제2 접합 테이프 제작 기구를 작동시켜, 상기 제3 점착 테이프의 일부를 절단하여 접합용 점착 테이프편을 제작하도록 제어하는
   것을 특징으로 하는 점착 테이프 접합 장치.

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