KR20090115675A - 커터 날의 청소 방법 및 커터 날의 청소 장치, 및 이것을 구비한 점착 테이프 부착 장치 - Google Patents

Abstract

세정액이 저류된 용기 내에 있어서 함침된 청소용 부재에 형성된 절단 홈의 개구측으로부터 측단부에 날 모서리를 구비한 커터 날을 삽입하고, 날면을 절단 홈을 따르게 하여 소정량만큼 수평 이동한다. 그 후, 커터 날을 상방으로 발출함으로써, 날면의 부착물을 제거한다.

웨이퍼, 카세트, 척 테이블, 점착 테이프, 부착 롤러

Description

커터 날의 청소 방법 및 커터 날의 청소 장치, 및 이것을 구비한 점착 테이프 부착 장치 {CUTTER BLADE CLEANING METHOD AND CUTTER BLADE CLEANING DEVICE, AS WELL AS ADHESIVE TAPE JOINING APPARATUS INCLUDING THE SAME}

본 발명은, 반도체 웨이퍼 등의 기판의 표면에 부착된 보호용의 점착 테이프를 기판 외형을 따라 잘라내는 커터 날의 청소 방법 및 커터 날의 청소 장치, 및 이것을 구비한 점착 테이프 부착 장치에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼(이하, 적절하게「웨이퍼」라 함)의 표면에 표면 보호용의 점착 테이프를 부착하여 절단하는 수단으로서는, 다음과 같은 것이 알려져 있다. 척 테이블에 적재 보유 지지된 웨이퍼의 표면에 점착 테이프를 공급하고, 부착 롤러를 구름 이동시켜 점착 테이프를 웨이퍼의 표면에 부착한다. 그 후, 점착 테이프에 커터 날을 찌른 상태에서 커터 날을 웨이퍼의 외주를 따라 주행시키거나, 혹은 테이블을 회전시켜 커터 날을 웨이퍼의 외주를 따라 상대 주행시킨다. 이에 의해 보호 테이프를 웨이퍼 외주를 따라 절단한다(일본 특허 출원 공개 제2006-15453호 공보, 및 일본 특허 출원 공개 제2004-25438호 공보를 참조).

점착 테이프를 웨이퍼 외주를 따라 절단하는 커터 날에는, 점착 테이프의 점 착제가 부착되어 잔존하는 일이 있다. 이 부착물이 퇴적해 오면 커터 날의 절단 성능이 저하되고, 점착 테이프의 절단면 등의 마무리가 나빠진다. 그래서, 종래에는, 절단 마무리의 악화 경향이 인정된 시점, 혹은 정기적으로 커터 날의 부착물을 수작업으로 닦아내고, 커터 날로의 점착제 부착 억제용의 이형제의 도포를 행하고 있다.

그러나, 수작업에 의한 커터 날의 유지 보수 작업은 수고가 드는 동시에, 연속한 점착 테이프 부착 작업의 중단이 부득이하게 되게 된다. 그 결과, 작업 능률의 저하를 초래하는 한 원인이 되고 있다.

본 발명은, 일손을 번거롭게 하지 않고 커터 날에 부착되는 점착제를 고정밀도로 제거할 수 있는 커터 날의 청소 방법 및 커터 날의 청소 장치, 및 이것을 구비한 점착 테이프 부착 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은, 이와 같은 목적을 달성하기 위해, 다음과 같은 구성을 채용한다.

기판의 표면에 부착된 점착 테이프를 기판 외형을 따라 잘라내는 커터 날의 청소 방법이며,

청소용 부재에 형성된 절단 홈의 측방으로부터 커터 날의 날 모서리를 삽입하면서, 그 날면을 절단 홈면을 따르게 하도록 청소용 부재와 커터 날을 상대적으로 이동하고, 그 후, 삽입 방향과 다른 방향으로 청소용 부재와 커터 날을 상대적으로 이동시키고, 청소용 부재의 삽입 개시 위치와 다른 위치로부터 커터 날을 발출하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 커터 날의 청소 방법에 따르면, 커터 날을 청소용 부재의 절단 홈을 따라 삽입함으로써, 커터의 날면에 부착된 점착제 등의 부착물이 청소용 부재로 닦아내어진다. 특히, 커터 날을 삽입 개시 위치와 다른 위치로부터 발출하므로, 청소용 부재로 닦아낸 부착물이 커터 날에 재부착되지 않는다. 따라서, 이후의 절단 처리에 있어서, 커터 날은 점착 테이프를 고정밀도로 절단할 수 있다.

상기 방법에 있어서, 청소용 부재는, 커터 날의 삽입 개시 위치로부터 진행 방향을 향해 끝이 가늘고 테이퍼 형상인 절결부가 형성되어 있는 것이 바람직하다.

이 방법에 따르면, 절단 홈에 커터 날을 삽입하기 시작하면, 그 날면의 부착물이 닦아내어져 진행 방향과는 반대측으로 압출된다. 즉, 부착물을 절결 부분에서 퇴적 수집시킬 수 있다.

따라서, 삽입 개시 위치와는 다른 위치로부터 발출되는 커터 날에 대해 닦아내어 제거한 부착물이 재부착되지 않는다.

또한, 청소용 부재는, 절결부와 연통하는 절단 홈이 소정 피치로 복수 형성되어 있고, 당해 피치에 맞추어 당해 청소용 부재와 커터 날을 상대적으로 이동시켜 커터 날을 청소하는 것이 바람직하다.

또한, 본 형태로서, 예를 들어, 청소용 부재를 원기둥으로 하는 동시에, 절결부와 연통하는 절단 홈을 당해 청소용 부재의 원주를 따라 소정 피치를 두고 복수 형성한다.

또한, 청소용 부재는, 세정액을 함침시킨 것인 것이 바람직하다.

이 방법에 따르면, 커터 날에 부착되어 있는 점착제 등의 부착물은 세정액에 의해 연화 혹은 용융되어 빠르게 닦아내어진다.

이 세정액으로서는, 부착물의 부착을 방지하는 이형성을 구비하고 있는 것이 바람직하다.

이 방법에 따르면, 부착된 점착제가 닦아내어진 후의 깨끗한 날 모서리에는 이형제가 도포된다. 이에 의해, 점착제가 부착되기 어려운 상태에서 다음의 테이프 절단 과정으로 이동할 수 있다.

또한, 이 방법에 있어서, 커터 날로의 부착물의 유무를 감시 센서로 감시하는 것이 바람직하다.

이 방법에 따르면, 청소 처리의 직후에 감시를 행함으로써 부착물의 잔존 상태를 확인하고, 청소가 불충분하면 다시 청소 처리를 행할 수 있다.

따라서, 이후의 테이프 절단 처리를 깨끗한 커터 날로 적절하게 행하는 것이 가능해진다.

또한, 대기 위치에 있는 커터 날의 감시를 행함으로써 청소 처리의 필요 여부를 판단하는 것이 가능해진다. 따라서, 부착이 없을 때나 지장 없이 테이프 절단을 행할 수 있을 정도의 부착밖에 발생하고 있지 않을 때의 청소 처리를 회피하고, 필요 최소 한도의 빈도로 청소 처리를 행하면서, 항상 양호한 테이프 절단 처리를 행하는 것도 가능해진다.

또한, 본 발명은, 이와 같은 목적을 달성하기 위해, 다음과 같은 구성을 채용한다.

기판의 표면에 부착된 점착 테이프를 기판 외형을 따라 잘라내는 커터 날의 청소 장치이며,

상기 커터 날을 상방의 퇴피 위치와 하방의 절단 작용 위치에 걸쳐 승강 가능하게 배치하고, 청소용 부재를, 커터 날의 승강 이동 경로로 돌입하는 청소용 위치와, 상기 승강 이동 경로로부터 벗어난 후퇴 위치에 걸쳐 수평 이동 가능하게 배치하고,

청소용 위치에 있는 청소용 부재에 대해 커터 날이 테이프 절단 방향으로 수 평 이동하도록 청소용 부재와 커터 날을 상대적으로 이동시킴으로써, 청소용 부재에 형성된 절단 홈의 측방으로부터 날 모서리를 삽입시키고, 그 날면을 절단 홈면을 따르게 한 후, 커터 날을 상승시킴으로써 청소용 부재로부터 상방으로 커터 날을 발출하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

이 구성에 따르면, 상기 방법 발명을 적절하게 실시할 수 있다.

또한, 본 발명은, 이와 같은 목적을 달성하기 위해, 다음과 같은 구성을 채용한다.

기판에 점착 테이프를 부착하는 점착 테이프 부착 장치이며,

기판을 적재 보유 지지하는 척 테이블과,

상기 척 테이블에 적재 보유 지지된 기판의 상방에 표면 보호용의 점착 테이프를, 그 점착면이 하향으로 되는 자세로 공급하는 테이프 공급 수단과,

공급된 상기 점착 테이프를 압박하면서 구름 이동하여 기판의 상향 표면에 부착하는 부착 롤러와,

승강 가능한 커터 날을, 기판에 부착된 점착 테이프에 찔러 기판 외주를 따라 상대 주행시키는 테이프 절단 장치와,

테이프 절단에 의해 발생한 불필요 테이프를 박리 회수해 가는 박리 롤러와,

상방의 퇴피 위치와 하방의 절단 작용 위치에 걸쳐 승강 가능한 커터 날을 청소용 부재에 삽입하여 청소하는 커터 날의 청소 장치를 구비하고,

청소용 위치에 있는 상기 청소용 부재에 대해 커터 날이 테이프 절단 방향으로 수평 이동하도록 청소용 부재와 커터 날을 상대적으로 이동시킴으로써, 청소용 부재에 형성된 절단 홈의 측방으로부터 날 모서리를 삽입시키고, 그 날면을 절단 홈면을 따르게 한 후, 커터 날을 상승시킴으로써 청소용 부재로부터 상방으로 커터 날을 발출하도록 구성되어 있다.

이 구성에 따르면, 기판으로의 점착 테이프의 부착, 기판 외주를 따른 테이프 절단, 및 불필요 테이프의 회수를 연속하여 능률적으로 행할 수 있다. 또한, 커터 날의 청소 처리를 일손을 번거롭게 하지 않게 행하여, 항상 깨끗한 날 모서리로의 테이프 절단을 행할 수 있다. 따라서, 테이프 절단면이 깨끗한 테이프 부착을 행하는 것이 가능해진다.

발명을 설명하기 위해 현재의 적합하다고 생각되는 몇 개의 형태가 도시되어 있으나, 발명이 도시된 바와 같은 구성 및 방책에 한정되는 것은 아닌 것을 이해받고자 한다.

본 발명에 따르면, 일손을 번거롭게 하지 않고 커터 날에 부착되는 점착제를 고정밀도로 제거할 수 있는 커터 날의 청소 방법 및 커터 날의 청소 장치, 및 이것을 구비한 점착 테이프 부착 장치를 제공할 수 있다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다.

도 1은 점착 테이프 부착 장치의 일례인 보호 테이프 부착 장치의 전체 구성을 도시하는 사시도이다.

이 보호 테이프(점착 테이프) 부착 장치는, 기판의 일례인 반도체 웨이퍼(이 하, 단순히「웨이퍼」라 함)(W)를 수납한 카세트(C)가 장전되는 웨이퍼 공급/회수부(1), 로봇 아암(2)을 구비한 웨이퍼 반송 기구(3), 얼라인먼트 스테이지(4), 적재된 웨이퍼(W)를 흡착 보유 지지하는 척 테이블(5), 웨이퍼(W)의 상방을 향해 표면 보호용의 점착 테이프(T)를 공급하는 테이프 공급부(6), 테이프 공급부(6)로부터 공급된 세퍼레이터 부착의 점착 테이프(T)로부터 세퍼레이터(s)를 박리 회수하는 세퍼레이터 회수부(7), 척 테이블(5)에 적재되어 흡착 보유 지지된 웨이퍼(W)에 점착 테이프(T)를 부착하는 부착 유닛(8), 웨이퍼(W)에 부착된 점착 테이프(T)를 웨이퍼(W)의 외형을 따라 잘라내는 테이프 절단 장치(9), 웨이퍼(W)에 부착하여 절단 처리한 후의 불필요 테이프(T')를 박리하는 박리 유닛(10), 박리 유닛(10)에서 박리된 불필요 테이프(T')를 권취 회수하는 테이프 회수부(11) 등이 구비되어 있다. 상기 각 구조부 및 기구에 대한 구체적인 구성을 이하에 설명한다.

웨이퍼 공급/회수부(1)에는 2대의 카세트(C)를 병렬하여 장전 가능하다. 각 카세트(C)에는, 다수매의 웨이퍼(W)가 배선 패턴면(표면)을 상향으로 한 수평 자세로 다단으로 삽입하여 수납되어 있다.

웨이퍼 반송 기구(3)에 구비된 로봇 아암(2)은, 수평으로 진퇴 이동 가능하게 구성되는 동시에, 전체가 구동 선회 및 승강 가능하게 되어 있다. 그리고, 로봇 아암(2)의 선단부에는, 말굽형을 한 진공 흡착식의 웨이퍼 보유 지지부(2a)가 구비되어 있다. 즉, 카세트(C)에 다단으로 수납된 웨이퍼(W)끼리의 간극에 웨이퍼 보유 지지부(2a)를 삽입하여 웨이퍼(W)를 이면으로부터 흡착 보유 지지한다. 로봇 아암(2)은, 흡착 보유 지지한 웨이퍼(W)를 카세트(C)로부터 인출하여, 얼라인먼트 스테이지(4), 척 테이블(5), 및 웨이퍼 공급/회수부(1)의 순으로 반송하도록 되어 있다.

얼라인먼트 스테이지(4)는, 웨이퍼 반송 기구(3)에 의해 반입 적재된 웨이퍼(W)를, 그 외주에 형성된 노치나 오리엔테이션 플랫을 기초로 하여 위치 맞춤을 행한다.

척 테이블(5)은, 웨이퍼 반송 기구(3)로부터 이동 탑재되어 소정의 위치 맞춤 자세로 적재된 웨이퍼(W)를 진공 흡착하도록 되어 있다. 또한, 이 척 테이블(5)의 상면에는, 도 2에 도시한 바와 같이, 후술하는 점착 테이프 절단 장치(9)에 구비된 커터 날(12)을 웨이퍼(W)의 외형을 따라 선회시켜 점착 테이프(T)를 절단하기 위해 커터 주행 홈(13)이 형성되어 있다.

테이프 공급부(6)는, 공급 보빈(14)으로부터 조출된 세퍼레이터(s) 부착의 점착 테이프(T)를 가이드 롤러(15)군에 권회하여 안내하고, 세퍼레이터(s)를 박리한 점착 테이프(T)를 부착 유닛(8)으로 유도하도록 구성되어 있다. 또한, 공급 보빈(14)은, 적절한 회전 저항을 부여하여 과잉의 테이프 조출이 행해지지 않도록 구성되어 있다.

세퍼레이터 회수부(7)는, 점착 테이프(T)로부터 박리된 세퍼레이터(s)를 권취하는 회수 보빈(16)이 권취 방향으로 회전 구동되도록 되어 있다.

부착 유닛(8)에는, 도 8에 도시한 바와 같이, 부착 롤러(17)가 전방 방향 수평으로 구비되어 있다. 이 부착 롤러(17)는, 슬라이드 안내 기구(18) 및 도시되지 않은 나사 이송식의 구동 기구에 의해 좌우 수평으로 왕복 구동되도록 되어 있다.

박리 유닛(10)에는 박리 롤러(19)가 전방 방향 수평으로 구비되어 있고, 슬라이드 안내 기구(18) 및 도시되지 않은 나사 이송식의 구동 기구에 의해 좌우 수평으로 왕복 구동되도록 되어 있다.

테이프 회수부(11)는, 불필요 테이프(T')를 권취하는 회수 보빈(20)이 권취 방향으로 회전 구동되도록 되어 있다.

테이프 절단 장치(9)는, 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 상하 이동 가능한 승강대(21)의 하부에, 척 테이블(5)의 중심 상에 위치하는 종축심(X) 주위로 선회 가능하게 한 쌍의 지지 아암(22)이 병렬로 장비되어 있다. 이 지지 아암(22)의 자유단측에 구비한 커터 유닛(23)에, 날 끝을 하향으로 한 커터 날(12)이 장착되어 있다. 즉, 지지 아암(22)이 종축심(X)을 중심으로 하여 선회함으로써, 커터 날(12)이 웨이퍼(W)의 외주를 따라 이동하여 점착 테이프(T)를 잘라내도록 구성되어 있는, 그 상세한 구조가 도 2 내지 도 7에 도시되어 있다.

승강대(21)는, 모터(24)를 정역 회전함으로써 세로 프레임(25)을 따라 나사 이송 승강되도록 되어 있다. 이 승강대(21)의 자유단에 종축심(X) 주위로 회전 가능하게 장비된 회전축(26)이, 승강대(21) 상에 배치된 모터(27)에 2개의 벨트(28)를 통해 감속하도록 연동되어 있다. 즉, 모터(27)의 작동에 의해 회전축(26)이 소정의 방향으로 회전되도록 되어 있다. 그리고, 이 회전축(26)으로부터 하방으로 연장된 지지 부재(29)의 하단부에, 지지 아암(22)이 수평 방향으로 슬라이드 조절 가능하게 관통 지지되어 있다. 따라서, 지지 아암(22)의 슬라이드 조절에 의해 종축심(X)으로부터의 커터 날(12)까지의 거리가 변경 가능하게 되어 있다. 즉, 커터 날(12)의 선회 반경을 웨이퍼 직경에 대응하여 변경 조절하는 것이 가능하게 되어 있다.

지지 아암(22)의 자유단에는, 도 3 내지 도 5에 도시한 바와 같이, 브래킷(30)이 고착되어 있다. 이 브래킷(30)에 커터 유닛(23)이 장착 및 지지되어 있다. 커터 유닛(23)은, 브래킷(30)에 종축심(Y) 주위로 소정 범위 내에서 회전 가능하게 지지된 회전 부재(31), 회전 부재(31)의 단부 하면에 연결된 종벽 형상의 지지 브래킷(32), 지지 브래킷(32)의 측면에 연결된 커터 지지 부재(33), 커터 지지 부재(33)에 지지된 브래킷(34), 이 브래킷(34)에 장착된 커터 홀더(35) 등으로 구성되어 있다. 또한, 커터 날(12)은, 커터 홀더(35)의 측면에 교환 가능하게 체결 부착 고정되어 있다.

여기서, 회전 부재(31)의 상방에는, 긴 구멍(36)과 돌기(37)의 결합에 의해 회전 부재(31)와 일체로 회전하는 조작 플랜지(38)가 배치되어 있다. 이 조작 플랜지(38)를 에어 실린더(39)에 의해 회전시킴으로써, 지지 아암(22)에 대한 커터 유닛(23) 전체의 종축심(Y) 주위에서의 자세를 변경한다. 즉, 에어 실린더(39)의 동작에 의해 이동 방향에 대한 커터 날(12)의 각도(절단 홈 각도)를 소정의 범위 내에서 조정하는 것이 가능하게 되어 있다.

커터 지지 부재(33)에 대해 브래킷(34)은, 안내 레일 기구(40)를 통해 지지 아암(22)의 길이 방향[도 5에 있어서는 지면(紙面) 표리 방향]으로 직선 슬라이드 이동 가능하게 지지되어 있다. 또한, 커터 지지 부재(33)와 브래킷(34)에 걸쳐 스프링(42)이 연장 설치되어 있다. 이 스프링(42)의 탄성 복원력에 의해 브래킷(34) 은, 도 6 및 도 7에 도시한 바와 같이, 종축심(선회 중심)(X)에 근접하는 방향으로 슬라이드 압박되어 있다.

커터 지지 부재(33)의 선회 중심측에는, 브래킷(34)의 슬라이드 방향을 따른 자세의 에어 실린더(43)가 스테이(41)를 통해 고정 장비되어 있다. 이 에어 실린더(43)의 피스톤 로드(43a)가 브래킷(34)의 단부면에 접촉 가능하게 배치되어 있다.

또한, 이 테이프 절단 장치(9)에는, 도 12 내지 도 14에 도시한 바와 같이, 커터 날(12)에 부착된 점착제 등을 제거하는 커터 날 청소 장치(50)가 구비되어 있다.

이 커터 날 청소 장치(50)는, 세로 프레임(25)의 하방 배면부에 있어서 승강대(21)의 돌출 방향(이하, 전방이라 호칭함)과 역방향(이하, 후방이라 호칭함)을 향해 수평 배치된 로드리스 실린더(51), 로드리스 실린더(51)에 의해 전후로 왕복 구동되는 가동대(52), 가동대(52)에 연결 지지되어 전방을 향해 수평 외팔보 형상으로 연장된 지지 아암(53), 이 지지 아암(53)의 선단부에 구비된 청소 유닛(54) 등으로 구성되어 있다.

청소 유닛(54)은, 도 13 내지 도 15에 도시한 바와 같이, 지지 아암(53)의 전단부에 연결 장비된 지지 브래킷(55)에, 청소용 부재(56)를 수용한 용기(57)를 장착하여 구성되어 있다. 청소용 부재(56)는, 스펀지 등의 다공질 부재로 이루어진다. 또한, 청소용 부재(56)는, 용기(57)에 넣은 세정액이 모세관 현상으로 흡수되어 적절한 습윤 상태로 유지되어 있다. 세정액으로서는, 부착된 점착제를 연화 혹은 용융하는 용매액에, 커터 날(12)로의 점착제의 부착을 억제하는 이형제(계면 활성제, 실리콘 함유액 등)를 혼입한 것이 이용된다.

도 14 내지 도 16에 도시한 바와 같이, 청소용 부재(56)는 원기둥 형상으로 형성되어 있다. 이 청소용 부재(56)의 상면에는, 소정 깊이의 절단 홈(58)이 직경 방향으로 형성되어 있다. 또한, 절단 홈(58)의 일단부에는 V형의 개구(59)가 형성되어 있다. 바꾸어 말하면, 커터 날(12)의 삽입한 후의 수평 이동 방향을 향해 끝이 가늘어지는 테이퍼 형상인 절결부가 청소용 부재(56)에 설치되어 있다. 또한, 절단 홈(58)의 깊이는, 삽입되는 커터 날(12)의 길이보다 깊게 설정되어 있다. 또한, 청소용 부재(56)의 직경 방향의 절단 홈 길이는, 커터 날(12)의 날 모서리로부터 후단부 모서리까지의 길이보다도 길게 설정되어 있다.

청소 유닛(54)은, 도 13에 도시한 바와 같이, 가동대(52)가 가장 전방으로 이동했을 때, 상방 퇴피 위치에 있는 커터 날(12)의 승강 이동 경로로 돌입한 청소용 위치 (a)에 있다. 또한, 가동대(52)가 후방으로 이동함으로써, 청소 유닛(54)이 커터 날(12)의 승강 이동 경로로부터 후방의 후퇴 위치 (b)에 있다. 즉, 청소 유닛(54)은, 가동대(52)의 전후 이동 스트로크가 설정되어 있다.

상방 위치에 있는 커터 날(12)을 향하도록 CCD 카메라 등을 이용한 감시 센서(60)가 설치되어 있다. 이 CCD 카메라는, 커터 날(12)로의 부착물의 유무를 감시한다.

다음에, 상기 실시예 장치를 사용하여 점착 테이프(T)를 웨이퍼(W)의 표면에 부착하여 절단하는 일련의 동작을 도 8 내지 도 11을 기초로 하여 설명한다.

부착 지령이 나오면, 우선, 웨이퍼 반송 기구(3)에 있어서의 로봇 아암(2)이 카세트대에 적재 장전된 카세트(C)를 향해 이동되고, 웨이퍼 보유 지지부(2a)가 카세트(C)에 수용되어 있는 웨이퍼끼리의 간극에 삽입된다. 웨이퍼 보유 지지부(2a)는, 웨이퍼(W)를 이면(하면)으로부터 흡착 보유 지지하여 반출하고, 취출한 웨이퍼(W)를 얼라인먼트 스테이지(4)로 이동 탑재한다.

얼라인먼트 스테이지(4)에 적재된 웨이퍼(W)는, 웨이퍼(W)의 외주에 형성되어 있는 노치를 이용하여 위치 맞춤된다. 위치 맞춤이 완료된 웨이퍼(W)는, 다시 로봇 아암(2)에 의해 반출되어 척 테이블(5)에 적재된다.

척 테이블(5)에 적재된 웨이퍼(W)는, 그 중심이 척 테이블(5)의 중심 상에 있도록 위치 맞춤된 상태에서 흡착 보유 지지된다. 이때, 도 8에 도시한 바와 같이, 부착 유닛(8)과 박리 유닛(10)은 좌측의 초기 위치에 있다. 또한, 테이프 절단 장치(9)의 커터 날(12)은 상방의 초기 위치에서 각각 대기하고 있다.

다음에, 도 8 중의 가상선으로 나타낸 바와 같이, 부착 유닛(8)의 부착 롤러(17)가 하강된다. 이 부착 롤러(17)는, 점착 테이프(T)를 하방으로 압박하면서 웨이퍼(W) 상을 전방(도 8에서는 우측 방향)으로 구름 이동한다. 이에 의해 점착 테이프(T)가 웨이퍼(W)의 표면 전체 및 척 테이블(5)의 상면에 부착된다.

도 9에 도시한 바와 같이, 부착 유닛(8)이 종단 위치에 도달하면, 상방에 대기하고 있었던 커터 날(12)이 하강되어, 척 테이블(5)의 커터 주행 홈(13)의 부분에 있는 점착 테이프(T)에 찔러진다.

이 경우, 도 6에 도시한 바와 같이, 에어 실린더(43)에 고압의 공기가 공급 되어 피스톤 로드(43a)가 크게 돌출 작동하고 있다. 따라서, 브래킷(34)은, 스프링(42)에 저항하여 외측의 스트로크 엔드까지 슬라이드 이동되어 있다. 이때, 커터 날(12)은, 웨이퍼(W)의 외주 모서리로부터 외측으로 조금(수㎜) 이격된 위치에서 점착 테이프(T)에 찔러진다. 그 후, 피스톤 로드(43a)의 돌출력이 스프링력보다도 작아지도록 에어 실린더(43)의 공기압이 저감되고, 도 7에 도시한 바와 같이, 브래킷(34)이 스프링(42)의 압박 압박력으로 슬라이드 이동된다. 이에 의해 커터 날(12)의 날 끝이 웨이퍼(W)의 외주 모서리에 적당한 접촉압으로 압박된다.

절단 개시 위치에 있어서 커터 날(12)의 웨이퍼 외주 모서리로의 압박 세트가 종료되면, 도 10에 도시한 바와 같이, 지지 아암(22)이 회전된다. 이 회전에 수반하여 커터 날(12)이 웨이퍼 외주 모서리로 미끄럼 접촉하면서 선회하고, 점착 테이프(T)가 웨이퍼 외주를 따라 절단된다.

웨이퍼 외주를 따른 테이프 절단이 종료되면, 도 11에 도시한 바와 같이, 커터 날(12)은 원래의 대기 위치까지 상승된다. 계속해서, 박리 유닛(10)이 전방으로 이동하면서 웨이퍼(W) 상에서 잘라내어 절단되고 남은 불필요 테이프(T')를 말아올려 박리해 간다.

박리 유닛(10)이 박리 완료 위치에 도달하면, 박리 유닛(10)과 부착 유닛(8)은 후퇴하여 초기 위치로 복귀한다. 이때, 불필요 테이프(T')가 회수 보빈(20)에 권취되는 동시에, 일정량의 점착 테이프(T)가 테이프 공급부(6)로부터 조출된다.

상기한 테이프 부착 작동이 종료되고, 척 테이블(5)의 흡착이 해제된 후, 부착 처리가 완료된 웨이퍼(W)는 로봇 아암(2)의 웨이퍼 보유 지지부(2a)에서 이동 탑재되어 웨이퍼 공급/회수부(1)의 카세트(C)에 삽입 회수된다.

이상에서 1회의 테이프 부착 처리가 완료되고, 이후, 새로운 웨이퍼의 반입에 대응하여 상기 작동을 순차 반복해 간다.

상기 테이프 부착 처리가 종료되면, 도 12에 도시한 감시 센서(60)에 의해 커터 날(12)로의 점착제의 부착 정도가 감시된다. 예를 들어, 광학계의 카메라를 사용하여 화상 처리에서 부착 상태를 구하거나, 혹은 레이저광 등 광을 커터 날(12)에 투광하고, 그 반사 강도에 의해 부착 상태를 측정한다. 감시 결과, 점착제가 미리 결정한 설정값 이상이라고 판별된 경우, 커터 날 청소 처리가 이하와 같이 행해진다.

커터 날(12)이 상방의 퇴피 위치로 복귀되면, 커터 날 청소 장치(50)의 로드리스 실린더(51)가 작동하고, 후퇴 위치 (b)에 있었던 청소 유닛(54)이 청소용 위치 (a)를 향해 전진 이동된다.

청소 유닛(54)이 청소용 위치 (a)에 도달한 것이 확인되면, 우선, 상방의 퇴피 위치의 커터 날(12)이 청소용 부재(56)의 개구(59)에 인입하고, 소정 높이까지 하강된다.

다음에, 커터 날(12)이 테이프 절단 방향으로 미리 결정한 소정량[커터 날(12)의 후단부 모서리가 절단 홈(58)의 내부에 이를 때까지]만큼 선회되고, 커터 날(12)의 날 모서리가 청소용 부재(56)의 절단 홈(58)의 개구측으로부터 대략 수평 방향으로 삽입되어 간다. 이에 의해, 커터 날(12)의 날면(양측면)이 절단 홈(58)의 내측면을 따라 이동하고, 커터 날(12)에 부착된 점착제 등의 부착물이 청소용 부재(56)에 함침되어 있는 세정액으로 연화 혹은 용융되면서 청소용 부재(56)에 닦아내어진다.

커터 날(12)이 소정량만큼 선회하면, 커터 날(12)은 상승되고, 최종적으로 날 끝 방향으로 부착물이 닦아내어져 간다.

청소 처리가 완료된 후, 감시 센서(60)에 의해 커터 날(12)로의 부착물의 잔존을 감시된다. 이때, 잔존이 많은 경우에는 다시 청소 처리를 행한다.

커터 날(12)이 상방의 퇴피 위치로 복귀되면, 청소 유닛(54)이 청소용 위치 (a)로부터 후퇴 위치 (b)로 후퇴 이동되어 다음 처리에 대비된다.

또한, 웨이퍼(W)에 표면 보호용의 점착 테이프(T)를 부착하여 절단하는 경우에, 세정액으로서 수용성의 오일제를 사용하는 것이 바람직하다. 즉, 표면 보호용의 점착 테이프(T)가 부착된 웨이퍼(W)는, 백그라운드 공정에 있어서 물에 의한 세정을 받는다. 즉, 커터 날(12)에 도포된 세정액이 테이프 절단 모서리에 부착 잔존해도, 백그라운드 공정에 있어서 연마분 등과 함께 테이프 절단 모서리의 세정액을 씻어낼 수 있다. 따라서, 테이프 절단 모서리에 부착 잔존한 세정액이 이후의 처리 공정에 있어서 폐해를 초래하는 것을 미연에 회피할 수 있다.

또한, 청소 유닛(54)을 지지한 지지 브래킷(55)은, 지지 아암(53)에 대해 가동대(52)의 이동 방향과 직교하는 방향으로 위치를 변경 가능하게 장착되어 있다. 즉, 웨이퍼(W)의 사이즈 변경에 따라서 커터 유닛(23)의 종축심(X)에 대한 거리가 변경될 때, 이 변경에 대응하여 지지 브래킷(55)의 장착 위치를 바꾸어, 청소용 부재(56)가 커터 날 승강 경로 내에 출퇴(出退)하도록 조정하게 된다.

상기 커터 날 청소 장치(50)를 구비한 점착 테이프 부착 장치에 따르면, 커터 날(12)의 날 모서리가 청소용 부재(56)의 개구(59)측의 절단 홈(58)으로부터 삽입되고, 수평 이동되므로, 날면(양측면)에 부착된 부착물이 절단 홈 개시 단부에서 마찰 제거되어 개구(59)에 퇴적 회수된다.

또한, 절단 홈(58)의 내벽면과 커터 날(12)의 양 날면이 접촉함으로써, 청소용 부재(56)에 포함되는 세정액으로 부착물이 용융되고, 닦아내어져 간다. 또한, 커터 날(12)이 소정량만큼 수평 이동한 후, 삽입 개시 위치와 다른 위치로부터 상방으로 발출되므로, 그 시점에서 커터 날(12)에 부착되어 부착물은, 날 끝을 향해 닦아내어 제거된다.

따라서, 수평 및 수직의 2방향으로부터 커터 날(12)의 부착물의 닦아냄이 행해지므로, 부착물의 제거 정밀도를 향상시킬 수 있다. 또한, 닦아낸 부착물은, 대략 개구(59)에 퇴적 회수되므로, 커터 날(12)로의 재부착을 억제할 수 있다.

본 발명은, 상기 이외의 형태로 실시할 수도 있고, 그 몇 개를 이하에 열거한다.

(1) 상기 실시예에서는, 소정 횟수의 테이프 절단 처리를 행한 후, 청소 처리를 정기적으로 실행하는 형태로 할 수도 있다.

(2) 도 17에 도시한 바와 같이, 청소용 부재(56)에, 둘레 방향 소정의 각도 피치로 복수의 절단 홈(58)을 형성한 것을 사용해도 좋다. 이 경우, 소정의 절단 홈(58)을 사용한 청소 처리가 완료되면, 청소용 부재(56)를 둘레 방향으로 1피치만큼 회전하여 새로운 절단 홈(58)을 이용하여 청소 처리를 행하도록 한다. 이 동작 에 의해, 1개의 청소용 부재(56)를 장기간에 걸쳐 유효하게 사용할 수도 있다.

(3) 용기(57)에 넣은 세정액의 액면 레벨을, 예를 들어 광센서로 감시하고, 측정한 액면 레벨과 미리 결정한 기준 레벨을 연산 장치에서 비교하고, 그 결과가 설정 범위보다 낮아지면 경보를 발하여 액 보충을 재촉하도록 구성해도 좋다. 이 구성에 따르면, 절단 홈(58)이 항상 세정액으로 적절하게 습윤하고 있는 상태로 유지할 수 있고, 커터 날(12)의 제거 능률의 향상을 도모할 수 있다.

(4) 청소용 부재(56)로서는, 스펀지 형상의 다공질 부재 외에, 브러시, 펠트, 종이재, 천재 등, 세정액을 함침할 수 있는 각종 소재를 이용할 수 있다.

(5) 커터 날(12)을 개구(59)에 인입할 때까지 하강시킨 후, 청소용 부재(56)를 수평으로 전진 이동시킴으로써, 커터 날(12)을 청소용 부재(56)의 절단 홈(58)에 측방으로부터 상대적으로 삽입시키는 형태로 실시할 수도 있다.

(6) 용기(57)는, 커터 날(12)의 돌입 경로 및 수평 이동 방향으로 개구(59)가 형성된 덮개를 끼워 맞춤시키고 있어도 좋다. 이 구성에 따르면, 세정액이 대기 중에 휘발하는 것을 억제할 수 있다.

또한, 이 구성의 경우, 커터 날(12)을 발출하는 위치에 고무나 브러시 등을 설치해도 좋다. 이 구성에 따르면, 커터 날(12)을 발출할 때에 부착되어 있는 부착물이나 과도한 세정액 등을 커터 날(12)로부터 제거할 수 있다.

(7) 용기(57)에 수납된 청소용 부재(56)를 가온(加溫)하도록 구성해도 좋다. 이 구성에 따르면, 커터 날(12)의 온도를 대략 일정하게 유지할 수 있으므로, 온도 변화에 의해 절단하기 어려운 점착 테이프라도 능률적으로 절단할 수 있다.

본 발명은, 그 사상 또는 본질로부터 일탈하지 않고 다른 구체적인 형태로 실시할 수 있고, 따라서, 발명의 범위를 나타내는 것으로서, 이상의 설명이 아니라, 부가된 클레임을 참조해야 한다.

도 1은 보호 테이프 부착 장치의 전체를 도시하는 사시도.

도 2는 테이프 절단 장치의 전체를 도시하는 측면도.

도 3은 테이프 절단 장치의 주요부를 도시하는 사시도.

도 4는 커터 유닛의 평면도.

도 5는 커터 유닛의 일부를 종단한 정면도.

도 6은 커터 날을 점착 테이프에 찌른 시점의 커터 유닛의 주요부를 도시하는 측면도.

도 7은 커터 날을 웨이퍼 외주 모서리에 접촉시킨 상태의 커터 유닛의 주요부를 도시하는 측면도.

도 8 내지 도 11은 점착 테이프 부착 공정을 도시하는 정면도.

도 12는 커터 날 청소 장치의 측면도.

도 13은 커터 날 청소 장치의 평면도.

도 14는 청소용 위치에 있는 청소 유닛의 종단 측면도,

도 15는 청소 유닛의 평면도.

도 16은 청소용 부재의 사시도.

도 17은 다른 실시예의 청소용 부재의 사시도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 웨이퍼 공급/회수부

2 : 로봇 아암

3 : 웨이퍼 반송 기구

4 : 얼라인먼트 스테이지

5 : 척 테이블

6 : 테이프 공급부

7 : 세퍼레이터 회수부

W : 웨이퍼

T : 점착 테이프

C : 카세트

Claims (13)

1. 기판의 표면에 부착된 점착 테이프를 기판 외형을 따라 잘라내는 커터 날의 청소 방법이며,

   상기 방법은,

   청소용 부재에 형성된 절단 홈의 측방으로부터 커터 날의 날 모서리를 삽입하면서, 그 날면을 절단 홈면을 따르게 하도록 청소용 부재와 커터 날을 상대적으로 이동시키고,

   그 후, 삽입 방향과 다른 방향으로 청소용 부재와 커터 날을 상대적으로 이동시키도록 청소용 부재의 삽입 개시 위치와 다른 위치로부터 커터 날을 발출하는 과정을 포함하는, 커터 날의 청소 방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 청소용 부재는, 커터 날의 삽입 개시 위치로부터 진행 방향을 향해 끝이 가늘고 테이퍼 형상인 절결부가 형성되어 있는, 커터 날의 청소 방법.
3. 제2항에 있어서, 상기 청소용 부재는, 절결부와 연통하는 절단 홈이 소정 피치로 복수 형성되어 있고, 당해 피치에 맞추어 당해 청소용 부재와 커터 날을 상대적으로 이동시켜 커터 날을 청소하는, 커터 날의 청소 방법.
4. 제3항에 있어서, 상기 청소용 부재를 원기둥으로 하는 동시에, 절결부와 연통하는 절단 홈을 당해 청소용 부재의 원주를 따라 소정 피치를 두고 복수 형성하는, 커터 날의 청소 방법.
5. 제1항에 있어서, 상기 청소용 부재는 세정액을 함침시킨 것인, 커터 날의 청소 방법.
6. 제5항에 있어서, 상기 세정액은 부착물의 부착을 방지하는 이형성을 구비하고 있는, 커터 날의 청소 방법.
7. 제1항에 있어서, 상기 커터 날로의 부착물의 부착 상태를 감시 센서로 감시하는, 커터 날의 청소 방법.
8. 기판의 표면에 부착된 점착 테이프를 기판 외형을 따라 잘라내는 커터 날의 청소 장치이며,

   상기 장치는,

   상방의 퇴피 위치와 하방의 절단 작용 위치에 걸쳐 승강 가능한 커터 날과,

   상기 커터 날의 승강 이동 경로로 돌입하는 청소용 위치와, 상기 승강 이동 경로로부터 벗어난 후퇴 위치에 걸쳐 수평 이동 가능한 청소용 부재를 구비하고,

   청소용 위치에 있는 청소용 부재에 대해 커터 날이 테이프 절단 방향으로 수 평 이동하도록 청소용 부재와 커터 날을 상대적으로 이동시킴으로써, 청소용 부재에 형성된 절단 홈의 측방으로부터 날 모서리를 삽입시키고, 그 날면을 절단 홈면을 따르게 한 후, 커터 날을 상승시킴으로써 청소용 부재로부터 상방으로 커터 날을 발출하도록 구성되어 있는, 커터 날의 청소 장치.
9. 제8항에 있어서, 상기 청소용 부재는, 커터 날의 삽입 개시 위치로부터 진행 방향을 향해 끝이 가늘고 테이퍼 형상인 절결부가 형성되어 있는, 커터 날의 청소 장치.
10. 제9항에 있어서, 상기 청소용 부재는, 절결부와 연통하는 절단 홈이 소정 피치로 복수 형성되어 있고,

    상기 장치는,

    당해 피치에 맞추어 당해 청소용 부재와 커터 날을 상대적으로 회전 이동시켜 가는 회전 구동 기구를 더 포함하는, 커터 날의 청소 장치.
11. 기판에 점착 테이프를 부착하는 점착 테이프 부착 장치이며,

    상기 장치는,

    기판을 적재 보유 지지하는 척 테이블과,

    상기 척 테이블에 적재 보유 지지된 기판의 상방에 표면 보호용의 점착 테이프를, 그 점착면이 하향으로 되는 자세로 공급하는 테이프 공급 수단과,

    공급된 상기 점착 테이프를 압박하면서 구름 이동하여 기판의 상향 표면에 부착하는 부착 롤러와,

    승강 가능한 커터 날을, 기판에 부착된 점착 테이프에 찔러 기판 외주를 따라 상대 주행시키는 테이프 절단 장치와,

    테이프 절단에 의해 발생한 불필요 테이프를 박리 회수해 가는 박리 롤러와,

    상방의 퇴피 위치와 하방의 절단 작용 위치에 걸쳐 승강 가능한 커터 날을 청소용 부재에 삽입하여 청소하는 커터 날의 청소 장치를 구비하고,

    청소용 위치에 있는 상기 청소용 부재에 대해 커터 날이 테이프 절단 방향으로 수평 이동하도록 청소용 부재와 커터 날을 상대적으로 이동시킴으로써, 청소용 부재에 형성된 절단 홈의 측방으로부터 날 모서리를 삽입시키고, 그 날면을 절단 홈면을 따르게 한 후, 커터 날을 상승시킴으로써 청소용 부재로부터 상방으로 커터 날을 발출하도록 구성되어 있는, 점착 테이프 부착 장치.
12. 제11항에 있어서, 상기 청소용 부재는, 커터 날의 삽입 개시 위치로부터 진행 방향을 향해 끝이 가늘고 테이퍼 형상인 절결부가 형성되어 있는, 점착 테이프 부착 장치.
13. 제12항에 있어서, 상기 청소용 부재는, 절결부와 연통하는 절단 홈이 소정 피치로 복수 형성되어 있고,

    상기 장치는,

    당해 피치에 맞추어 당해 청소용 부재와 커터 날을 상대적으로 회전 이동시켜 가는 회전 구동 기구를 더 포함하는, 점착 테이프 부착 장치.

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