JPH09309099A

JPH09309099A - 切断装置

Info

Publication number: JPH09309099A
Application number: JP15192996A
Authority: JP
Inventors: Tokuo Tsuura; 徳雄津浦; Nobuo Suzuki; 伸男鈴木; Masaru Hirose; 勝広瀬
Original assignee: Kao Corp
Current assignee: Kao Corp
Priority date: 1996-05-24
Filing date: 1996-05-24
Publication date: 1997-12-02

Abstract

(57)【要約】【課題】カッタをスタンパへ進退させるシリンダ装置
に接続された配管、配線の捩れを防止できるようにする
こと。【解決手段】正方向と逆方向の両方向に回転可能なテ
ーブル６３と、このテーブルに設置され、カッタ刃６６
をスタンパ１に貼り付けられた保護シート９に対し進退
可能とするシリンダ装置６４と、を有し、このシリンダ
装置によりカッタ刃をスタンパに貼り付けられた保護シ
ートに押し当て、テーブルをスタンパ毎に異なる方向で
回転させることにより上記保護シートを切断するもので
ある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、切断装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】切断装置には、被加工物に貼り付けられ
たシートの不要部分を切断するものがある。このような
切断装置は、テーブルに、カッタ刃を被加工物に対し進
退させる進退手段を設置して構成され、被加工物を支持
台に支持させ、進退手段によりカッタ刃を被加工物に押
し付け、テーブルを移動させて、被加工物に貼り付けら
れたシートの不要部分を切断している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述の切断
装置において、テーブルが一方向に回転するものである
場合には、進退手段（例えばシリンダ装置）に接続され
た配管等が、切断装置の作動中に捩れてしまうことがあ
る。

【０００４】本発明の課題は、上述の事情を考慮してな
されたものであり、カッタ刃を被加工物へ進退させる進
退手段に接続された配管、配線の捩れを防止できる切断
装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、正方向と逆方向の両方向に回転可能なテーブルと、
このテーブルに設置され、カッタ刃を被加工物に対し進
退可能とする進退手段と、を有し、この進退手段により
上記カッタ刃を上記被加工物に押し当て、上記テーブル
を上記被加工物毎に異なる方向で回転させることにより
上記被加工物を切断するようにしたものである。

【０００６】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明において、上記カッタ刃は、円形カッタ刃であ
り、転動しながら、被加工物を切断するようにしたもの
である。

【０００７】請求項１に記載の発明には、次の作用があ
る。テーブルを正逆いずれか一方の方向に回転して一つ
の被加工物を切断加工し、次に上記テーブルを他方の方
向に回転して他の被加工物を切断加工することにより、
進退手段に接続された配管や配線の捩れ現象の発生を防
止できる。然も、被加工物を支持する支持台は固定状態
で良いので、この支持台を回転させるための工夫が不要
である。

【０００８】請求項２に記載の発明には、次の作用があ
る。カッタ刃が円形カッタ刃であり、転動しながら被加
工物を切断することから、カッタ刃が被加工物に接する
位置が特定箇所にかたよらず、全周となる。このため、
カッタ刃の寿命を長くできる。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面に基づいて説明する。図１は、本発明に係る切断装置
の一つの実施の形態が適用された保護シート貼付装置を
有する光ディスク用スタンパの洗浄等処理設備を示す全
体斜視図である。図２は、図１のスタンパ洗浄・乾燥装
置を示す断面図である。図３（Ａ）は、図２の支持部材
を示す部分平面図であり、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）の
IIIB-IIIB 線に沿う断面図である。図４は、図２の下部
ノズルを示し、（Ａ）が平面図、（Ｂ）が縦断面図であ
る。図５は、図１の保護シート貼付装置におけるシート
貼付前の側面図である。図６は、図１の保護シート貼付
装置におけるシート貼付後の側面図である。図７は、図
５のVII 矢視図である。図８は、図５のVIII矢視図であ
る。図９は、図１の裏面研磨装置を示すIX矢視図であ
る。図１０は、図９の保持テーブルを示す部分断面図で
ある。図１１（Ａ）は、図１の第１アーム機構を示す正
面図であり、図１１（Ｂ）は、図１１（Ａ）のXIB 矢視
図である。図１２は、図１の第２アーム機構を示す側面
図である。図１３（Ａ）は、図１の第３アーム機構を示
す正面図であり、図１３（Ｂ）は、図１３（Ａ）のXIII
B 矢視図である。図１４（Ａ）は、図１の第４アーム機
構を示す正面図であり、図１４（Ｂ）、（Ｃ）は、図１
４（Ａ）のそれぞれXIVB矢視図、XIVC矢視図である。図
１５（Ａ）は、図１のスタンパを示す平面図であり、図
１５（Ｂ）は、図１５（Ａ）のXVB-XVB 線に沿う断面図
である。

【００１０】[A] 全体構成（図１、図１１〜図１５）図１に示すように、光ディスク用スタンパの洗浄等処理
設備１０は、光ディスク例えばＣＤ−ＲＯＭを射出成形
するための型であるスタンパ１を処理するものである。
この光ディスク用スタンパの洗浄等処理設備１０は、ス
タンパ１に残存したフォトレジストを除去すべく洗浄す
るレジスト洗浄装置１１と、このレジスト洗浄装置１１
にて洗浄されたスタンパ１を純水で洗浄し、乾燥させる
スタンパ洗浄・乾燥装置１２と、このスタンパ洗浄・乾
燥装置１２にて洗浄され乾燥されたスタンパ１の表面４
（後述）に保護シート９を貼り付ける保護シート貼付装
置１３と、この保護シート貼付装置１３にて保護シート
９が貼り付けられたスタンパ１の裏面５（後述）を研磨
する裏面研磨装置１４と、裏面５が研磨されたスタンパ
１を貯蔵するスタック装置１５と、第１アーム機構１
６、第２アーム機構１７、第３アーム機構１８及び第４
アーム機構１９を備えてスタンパ１を移送するスタンパ
移送装置２０と、を有して構成される。

【００１１】ここで、スタンパ１は、図１５に示すよう
に、スタンパ体２の外側に環形状のコンタクトリング３
が配置されたものであり、コンタクトリング３がＳＵＳ
３０４２Ｂ（ＪＩＳ規格）、スタンパ体２がニッケルに
て構成される。スタンパ１の外径が約 170mmであり、ス
タンパ体２の板厚が約 0.3mmに形成される。このスタン
パ１の表面４のスタンパ体２に記録面６が設けられ、符
号５はスタンパ１の裏面である。

【００１２】スタンパ移送装置２０の第１アーム機構１
６は、図１及び図１１に示すように移動テーブル２１に
水平移動可能に支柱２２が立設され、この支柱２２に昇
降可能にアーム部２３が配設され、このアーム部２３の
先端にチャック２４が設置されたものである。チャック
２４は、スタンパ１の表面４及び裏面５に接触して、こ
のスタンパ１を両側から把持する。この第１アーム機構
１６により、スタンパ１がレジスト洗浄装置１１内で移
送される。

【００１３】第２アーム機構１７は、図１及び図１２に
示すように、光ディスク用スタンパの洗浄等処理設備１
０の全長に亘って敷設されたレール２５に沿って移動可
能なアーム部２６と、このアーム部２６にシリンダ装置
２７を介して配置されたチャック２８と、を有して構成
されたものである。チャック２８は、シリンダ装置２７
により昇降可能に設けられるとともに、90度回転可能に
構成される。更に、このチャック２８は、スタンパ１に
おけるコンタクトリング３の外周端を挟持してスタンパ
１を把持する。また、この第２アーム機構１７のアーム
部２６は、図示しないシリンダ装置によって、上記レー
ル２５に沿い、レジスト洗浄装置１１とスタンパ洗浄・
乾燥装置１２との間でスタンパ１を移送する。

【００１４】第３アーム機構１８は、図１及び図１３に
示すように、上記レール２５に沿って移動可能なアーム
部２９に、シリンダ装置３０によって昇降可能なバキュ
ームチャック３１が設置されたものである。バキューム
チャック３１は、スタンパ１の裏面５を全面吸着してス
タンパ１を保持する。また、この第３アーム機構１８の
アーム部２９は、ロッドレスシリンダ装置１８Ａによっ
て、スタンパ洗浄・乾燥装置１２から保護シート貼付装
置１３を経て裏面研磨装置１４までの範囲でスタンパ１
を移送する。

【００１５】第４アーム機構１９は、図１及び図１４に
示すように、前記レール２５に沿って移動可能なアーム
部３２に、シリンダ装置３３によって昇降可能な吸盤３
４が設置されたものである。この吸盤３４は、スタンパ
１の裏面５を吸着してスタンパ１を保持する。また、こ
の第４アーム機構１９のアーム部３２は、図示しないシ
リンダ装置によってレール２５に沿い裏面研磨装置１４
とスタック装置１５との間でスタンパ１を移送する。

【００１６】上述の第２アーム機構１７、第３アーム機
構１８及び第４アーム機構１９は、後述のスタンパ洗浄
・乾燥装置１２、保護シート貼付装置１３、裏面研磨装
置１４及びスタック装置１５によるスタンパ１の処理と
同様に、スタンパ１の記録面６を備えた表面４を下方
に、裏面５を上方に保持して、このスタンパ１を移送す
る。

【００１７】[B] レジスト洗浄装置（図１）図１に示すように、レジスト洗浄装置１１は、第１リム
ーバ槽３５と第２リムーバ槽３６とが連設されたもので
あり、第１リムーバ槽３５及び第２リムーバ槽３６に、
スタンパ１からフォトレジストを除去するためのリムー
バ液が充填される。

【００１８】また、第１リムーバ槽３５及び第２リムー
バ槽３６内には、リムーバ液を攪拌する攪拌機（図示せ
ず）が設置されるとともに、第２リムーバ槽３６に調温
器が設置されてリムーバ液の温度が調整される。更に、
第１リムーバ槽３５には、複数枚（例えば10枚）のスタ
ンパ１を立設状態（垂直状態）で保持するガイド部（図
示せず）が設けられるとともに、光電管等のセンサ（図
示せず）が設置されて、スタンパ１が第１リムーバ槽３
５内にセットされたことが検出される。

【００１９】第１リムーバ槽３５内にセットされたスタ
ンパ１は、所定時間（約10分間）漬け置き洗浄された
後、 1枚が前述の第１アーム機構１６のチャック２４に
把持されて第２リムーバ槽３６内へ移送される。スタン
パ１は、第１アーム機構１６のチャック２４に把持され
た状態で、第２リムーバ槽３６内に所定時間（約10分
間）漬け置き洗浄され、その後、第２アーム機構１７の
チャック２８にてコンタクトリング３の外周端が挟持し
て把持され、この第２アーム機構１７によりスタンパ洗
浄・乾燥装置１２へ移送される。第１リムーバ槽３５内
にセットされた全てのスタンパ１について、上述の第１
リムーバ槽３５及び第２リムーバ槽３６における漬け置
き洗浄が実施される。

【００２０】ここで、第１アーム機構１６がスタンパ１
を把持した状態で、第２リムーバ槽３６内において漬け
置き洗浄をするのは、後工程の裏面研磨装置１４におい
て、1枚のスタンパ１を研磨する所要時間が第２リムー
バ槽３６での洗浄時間（約10分間）よりも長いためであ
る。

【００２１】[C] スタンパ洗浄・乾燥装置（図１〜図
４）図１及び図２に示すように、スタンパ洗浄・乾燥装置１
２は、スタンパ１を載置して支持する支持部材３７と、
この支持部材３７の上方、下方に配置されて洗浄液（純
水）を噴射する上部ノズル３８、下部ノズル３９と、支
持部材３７を支軸４０を介して回転駆動する図示しない
回転駆動モータと、支持部材３７を覆う円筒形状の飛散
防止パン４１と、を有してなる。

【００２２】上記支持部材３７は、図３に示すように、
棒形状の支持枠４２が複数本（例えば 6本）放射状に配
置されて、支軸４０に連結されたものである。各支持枠
４２の先端には、リング形状のベース面４２Ａが形成さ
れるとともに、このベース面４２Ａに対し垂直に支持壁
４３が立設される。この支持壁４３の上端内周にはテー
パ面４４が形成されて、支持枠４２の上方から移送され
たスタンパ１をセンタリングして、各支持枠４２の支持
壁４３間に配置させる。

【００２３】各支持枠４２の先端には、ボールプランジ
ャ４５が埋設され、このボールプランジャ４５の支持突
部としてのボール４５Ａが、ベース面４２Ａから突出状
態で配設される。支持枠４２の上方から移送されたスタ
ンパ１は、このボールプランジャ４５のボール４５Ａに
点接触状態で載置され支持される。このとき、スタンパ
１は、記録面６を備えた表面４を下方にして移送され、
この状態でボールプランジャ４５のボール４５Ａ上に載
置されて支持される。

【００２４】各支持枠４２のベース面４２Ａ下方には磁
石４６が埋設され、ボールプランジャ４５のボール４５
Ａ上に載置されたスタンパ１を磁力の作用でベース面４
２Ａ側に引き寄せる。また、ボールプランジャ４５のボ
ール４５Ａ上に載置されたスタンパ１のコンタクトリン
グ３の外周端と、前記支持壁４３の内周面との距離Ｌ
は、極微小の値（例えば0.5mm ）に設定される。上記磁
石４６の磁力及び上記距離Ｌの設定により、支持部材３
７が後述の如く回転しても、ボールプランジャ４５のボ
ール４５Ａに載置されたスタンパ１の飛出しが防止され
る。

【００２５】図２に示すように、上記上部ノズル３８及
び下部ノズル３９は、支持部材３７の各支持枠４２に支
持されたスタンパ１へ向って、洗浄液としての純水を噴
射するものである。このうち、下部ノズル３９は、支持
部材３７の下方に配置され、図４にも示すように、軸心
を含む平面Ａ、及びこの平面に対し両側に角度θ₁ の平
面Ｂに沿って複数個のノズル孔４７が形成されるととも
に、上記平面Ａに対し片側に角度θ₂ （＞θ₁ ）の平面
Ｃに沿って複数個のノズル孔４７が形成される。これら
のノズル孔４７により、図２に示すように、スタンパ１
の表面４に、このスタンパ１の中心部から外周端までの
範囲に亘り一様な純水が上記ノズル孔４７から噴射され
る。

【００２６】上部ノズル３８は、支持部材３７の上方に
配置されて、スタンパ１の裏面５へ純水を噴射するもの
である。この上部ノズル３８のノズル孔４７も、下部ノ
ズル３９と同様に配列して形成されても良い。

【００２７】支軸４０を介して支持部材３７を回転させ
る図示しない回転駆動モータは、支持部材３７に支持さ
れたスタンパ１の中心線を回転中心４８として、支持部
材３７を低速回転或いは高速回転（約1000rpm ）させ
る。この回転駆動モータは、スタンパ１の洗浄時に支持
部材３７を低速設定回転数で回転させ、スタンパ１の振
り切り乾燥時に支持部材３７を高速設定回転数で回転さ
せる。

【００２８】上述のように構成されたスタンパ洗浄・乾
燥装置１２には、前述の第２アーム機構１７を用いてス
タンパ１が搬入され、このスタンパ洗浄・乾燥装置１２
にてスタンパ１の純水洗浄及び振り切り乾燥が行なわれ
た後、前述の第３アーム機構１８を用いてスタンパ１が
搬出される。

【００２９】つまり、第２アーム機構１７（図１２）
は、第１アーム機構１６にて把持されたスタンパ１を垂
直状態で把持し、スタンパ洗浄・乾燥装置１２の上方ま
で移送させた後、このスタンパ１の表面４が下方になる
ように90°回転して更に下降し、このスタンパ１をスタ
ンパ洗浄・乾燥装置１２の支持部材３７に置く。このと
き、第２アーム機構１７のチャック２８と支持部材３７
の支持枠４２とが干渉しないように、第２アーム機構１
７はスタンパ１を下降させ、また、支持部材３７に置か
れたスタンパ１は、各支持枠４２のテーパ面４４にてセ
ンタリングされて、複数本の支持枠４２の支持壁４３間
に配置される。

【００３０】支持部材３７にスタンパ１が移送された
時点で、第２アーム機構１７のチャック２８が解放し、
この第２アーム機構１７は上昇しその後90°回転して、
その位置に待機する。

【００３１】第２アーム機構１７が待機した後、回転
駆動モータが支持部材３７を低速設定回転数で回転させ
るととともに、上部ノズル３８及び下部ノズル３９がノ
ズル孔４７から純水を40秒間支持部材３７上のスタンパ
１へ向って噴射させ、このスタンパ１に付着しているリ
ムーバ液を洗い流す。

【００３２】上部ノズル３８及び下部ノズル３９から
の純水の噴射終了後、回転駆動モータは、支持部材３７
を約1000rpm で高速回転させる。この高速回転は約40秒
間なされ、スタンパ１に付着した純水等が飛散されて振
り切り乾燥が実施される。

【００３３】振り切り乾燥終了後、第３アーム機構１
８は保護シート貼付装置１３からスタンパ洗浄・乾燥装
置１２側へ移動し、このスタンパ洗浄・乾燥装置１２の
上方からバキュームチャック３１を下降させて、スタン
パ洗浄・乾燥装置１２上のスタンパ１をバキューム吸着
する。この第３アーム機構１８は、スタンパ１をバキュ
ーム吸着した後上昇して、上記保護シート貼付装置１３
へスタンパを移送する。

【００３４】[D] 保護シート貼付装置（切断装置を含
む）（図１、図５〜図８、図１３）シート貼付装置としての保護シート貼付装置１３は、図
５に示すように、シート貼付機構５０、切断装置５１、
及び把持部としての第３アーム機構１８を有して構成さ
れる。

【００３５】第３アーム機構１８は、図１３に示すよう
に、前述の如く、バキュームチャック３１が、被加工物
としてのスタンパ１の裏面５をバキューム吸着し、シー
ト貼付面としてのスタンパ１の表面４を下方にした状態
で、シリンダ装置３０の作用によりスタンパ１を昇降さ
せる。

【００３６】上記シート貼付機構５０は、図５〜図８に
示すように、第３アーム機構１８にて吸着保持されたス
タンパ１の表面４に前記保護シート９を貼り付けるもの
であり、また、上記切断装置５１は、スタンパ１の表面
４に貼り付けられた保護シート９のうち、不要な部分を
切断するものである。

【００３７】このうち、シート貼付機構５０は、フレー
ム５２、スライドベースとしてのスライドベース部材５
３、シート巻出部としての巻出ロール５４、貼付ローラ
５５、シート巻取部としての巻取ロール５６、全体ニッ
プ部としての全体ニップ機構５７、及び両端ニップ部と
しての両端ニップ機構５８を有して構成される。

【００３８】フレーム５２には、保護シート９のパスラ
インに沿ってレール５９が敷設されるとともに、シリン
ダ装置６０が設置される。上記スライドベース部材５３
は、レール５９に嵌合されるとともに、シリンダ装置６
０に連結されて、このシリンダ装置６０の伸長、収縮作
動により、保護シート９のパスラインに沿いそれぞれ往
動、復動可能とされる。

【００３９】巻出ロール５４は、スライドベース部材５
３の前方側に配置されて、保護シート９を巻き出し可能
とする。この巻出ロール５４は、ブレーキ機構を有する
フリーロールであり、巻出駆動機構を装備しない。上記
スライドベース部材５３の往動時には、後述の如く、保
護シート９の全幅が全体ニップ機構５７により把持され
ることから、このスライドベース部材５３の往動時に保
護シート９が巻出ロール５４から巻き出される。

【００４０】貼付ローラ５５は、スライドベース部材５
３において、巻出ロール５４に隣接して配設され、シリ
ンダ装置６１にリンク機構６２を介して支持される。こ
の貼付ローラ５５は、保護シート９の貼付前には、第３
アーム機構１８に保持されたスタンパ１の表面４の端部
に保護シート９を押し当て（図５）、スライドベース部
材５３の往動時に、上記スタンパ１の表面４の全体に、
巻出ロール５４から巻き出された保護シート９を押し付
けて貼り付ける（図６）。この貼付ローラ５５の貼付圧
は、シリンダ装置６１へのエア供給圧の調整により制御
される。

【００４１】切断装置５１は、テーブル６３、進退手段
としてのシリンダ装置６４、カッタホルダ６５及びカッ
タ刃６６を有して構成される。更に、この切断装置５１
は、スライドベース部材５３の後方側で、保護シート９
のパスラインにおける貼付ローラ５５の下流側に配置さ
れる。このスライドベース部材５３の往動終了時点で、
切断装置５１は、貼付ローラ５５にて保護シート９が貼
り付けられたスタンパ１を吸着保持する第３アーム機構
１８のバキュームチャック３１に対し、適切な位置に位
置付けられる。

【００４２】上記テーブル６３は、ロータリアクチュエ
ータ６７により正方向或いは逆方向の両方向に360 °回
転可能に構成される。また、シリンダ装置６４はテーブ
ル６３に設置され、ピストンロッド６８の先端にカッタ
ホルダ６５を備え、このカッタホルダ６５にカッタ刃６
６が保持される。カッタ刃６６は、全周に刃を備えた円
形カッタ刃である。

【００４３】シリンダ装置６４は、伸長作動により、第
３アーム機構１８のバキュームチャック３１に吸着保持
され、かつ貼付ローラ５５により保護シート９が貼り付
けられたスタンパ１のコンタクトリング３にカッタ刃６
６を当接可能とする。また、この当接状態で、テーブル
６３が正方向或いは逆方向のいずれか一方向に回転する
ことにより、カッタ刃６６が転動して、スタンパ１の表
面４に貼り付けられた保護シート９が切断される。

【００４４】前記巻取ロール５６は、上記フレーム５２
に設置され、巻取モータ６９の回転駆動により保護シー
ト９を巻き取り可能とする。この巻取ロール５６により
巻き取られる保護シート９は、スタンパ１の表面４に貼
り付けられた部分（円板形状）が切断装置５１により切
断された残りの不要部分である。また、巻取ロール５６
は、スライドベース部材５３の復動時に同時に作動し、
このとき、スライドベース部材５３の移動速度よりも速
く保護シート９を巻き取って、巻き取られる保護シート
９にたるみの発生を防止する。

【００４５】前記全体ニップ機構５７は、フレーム５２
において、保護シート９のパスラインにおける巻取ロー
ル５６の上流側で、第３アーム機構１８の下流側に配置
される。この全体ニップ機構５７は、シリンダ装置７０
に全体ニップメインバー７１が設置され、この全体ニッ
プメインバー７１が全体ニップサブバー７２との間で、
保護シート９の全幅を把持可能とする。ここで、上記シ
リンダ装置７０及び全体ニップサブバー７２は、フレー
ム５２に固定される。

【００４６】この全体ニップ機構５７は、スライドベー
ス部材５３が往動して貼付ローラ５５によりスタンパ１
の表面４に保護シート９が貼り付けられるときと、スタ
ンパ１に貼り付けられた保護シート９が切断装置５１に
より切断された後第３アーム機構１８がシート貼付機構
５０に対し上昇するときに、保護シート９の全幅を把持
する。

【００４７】前記両端ニップ機構５８は、スライドベー
ス部材５３において、保護シート９のパスラインにおけ
る貼付ローラ５５と切断装置５１との間に設置される。
この両端ニップ機構５８は、スライドベース部材５３に
対向して一対設置されたシリンダ装置７３のそれぞれ
に、リンク機構を介してニップロール７４が連結され、
このニップロール７４がニップバー７５との間で保護シ
ート９の幅方向両端を把持可能とする。ここで、ニップ
バー７５も、シリンダ装置７３と同様に、互いに対向し
て一対スライドベース部材５３に配置される。

【００４８】この両端ニップ機構５８は、スタンパ１に
貼り付けられた保護シート９が切断装置５１により切断
された後第３アーム機構１８がシート貼付機構５０に対
し上昇するときと、スライドベース部材５３が復動し、
かつ巻取ロール５６が保護シート９の不要部分を巻き取
るときに、保護シート９の幅方向両端部を把持する。

【００４９】上述のように構成された保護シート貼付装
置１３は、次のように作動する。まず、第３アーム機構１８は、そのバキュームチャッ
ク３１によりスタンパ１の裏面５をバキューム吸着し表
面４を下方にした状態で、シート貼付機構５０へ向って
スタンパ１を下降させる（図５）。このとき、シート貼
付機構５０は、スライドベース部材５３が復動終点位置
にあり、かつ全体ニップ機構５７が保護シート９の全幅
を把持した状態にある。この下降されたスタンパ１は、
その端部が、既に上昇位置にある貼付ローラ５５に当接
する。

【００５０】第３アーム機構１８に吸着保持されたス
タンパ１の端部が貼付ローラ５５に当接すると、スライ
ドベース部材５３が往動し、貼付ローラ５５が転動しな
がら保護シート９をスタンパ１の表面４に貼り付ける。
このとき、全体ニップ機構５７が保護シート９の全体を
把持しているので、巻取ロール５６へはテンションが作
用せず、巻出ロール５４から保護シート９が巻き出され
る。

【００５１】スライドベース部材５３の往動終了時点
で切断装置５１が、第３アーム機構１８に吸着保持され
たスタンパ１に対し適切な位置に位置決めされる。この
時点で、両端ニップ機構５８が保護シート９の両端を把
持し、切断装置５１のカッタ刃６６が上昇して、第３ア
ーム機構１８に吸着保持されたスタンパ１のコンタクト
リング３に当接する。この状態で、テーブル５３が正方
向或いは逆方向のいずれか一方向に360 °回転し、カッ
タ刃６６が転動しながら、スタンパ１に貼り付けられた
保護シート９を円形状に切断する。

【００５２】保護シート９の切断が終了した時点で、
第３アーム機構１８がスタンパ１を吸着保持したまま上
昇する。その後、全体ニップ機構５７が保護シート９の
把持を解除し、スライドベース部材５３が復動すると同
時に、巻取ロール５６が保護シート９の巻取を開始す
る。スライドベース部材５３の復動が終了した時点で、
全体ニップ機構５７が保護シート９を把持し、両端ニッ
プ機構５８が保護シート９の両端把持を解除し、巻取ロ
ール５６が保護シート９の巻取動作を停止して、シート
貼付機構５０は、次のスタンパ１への保護シート９の貼
付準備を完了する。

【００５３】次回のスタンパ１への保護シート９の貼
付時には、切断装置５１のテーブル６３は、前回の回転
方向と逆方向に360 °回転して、カッタ刃６６が、この
スタンパ１に貼り付けられた保護シート９を切断する。

【００５４】[E] 裏面研磨装置（図１、図９、図１０、
図１３、図１４）薄板研磨装置としての裏面研磨装置１４は、図９に示す
ように、薄板としてのスタンパ１を保持する保持テーブ
ル７６と、研磨手段としての第１研磨ユニット７７及び
第２研磨ユニット７８と、負圧付与手段としての図示し
ない真空源と、冷却水を噴射する冷却水ノズル７９と、
スタンパ１に付着した冷却水の飛散を防止する飛散防止
パン８５と、を有して構成され、第１研磨ユニット７７
及び第２研磨ユニット７８が上記スタンパ１の裏面５を
研磨する。

【００５５】図１０に示すように、保持テーブル７６
は、例えばアルミニウム材質のボディ部８０にシール部
８１が立設して溶着され、このシール部８１に囲まれた
領域に吸着プレート８２が収容状態で、ボディ部８０の
載置面８３に載置されたものである。吸着プレート８２
は多孔質体にて構成され、例えば三ふっ化塩化エチレン
樹脂を材質とするものであり、直径0.1mm の気孔が 1cm
² 中に約5100個存在する。その他、この吸着プレート８
２の諸元について表１に示す。この吸着プレート８２の
表面に、他平面としての記録面６を備えた表面４が接し
てスタンパ１が載置される。

【００５６】

【表１】

【００５７】ボディ部８０は、吸着プレート８２を載置
する載置面８３が精密研削加工され、例えばアルマイト
処理されたものである。このボディ部８０には、更に、
上記真空源に連結された負圧連通路８４が、載置面８３
に開口して形成される。真空源からの負圧は、上記負圧
連通路８４を介して吸着プレート８２の多数の気孔へ作
用し、スタンパ１の表面４のほぼ全面を吸着保持する。

【００５８】上述のように構成された保持テーブル７６
は、図示しない回転駆動モータにより、低速回転或いは
高速回転（例えば1000rpm ）される。低速回転はスタン
パ１の研磨中に実施され、高速回転はスタンパ１のクリ
ーニング時及び振り切り乾燥時に実施される。

【００５９】上記第１研磨ユニット７７、第２研磨ユニ
ット７８は、図１に示すように保持テーブル７６の両側
に配置され、それぞれがレール８６に沿って保持テーブ
ル７６に対し接近、離反可能とされる。この第１研磨ユ
ニット７７は粗研磨用の研磨テープ８７を備え、第２研
磨ユニット７８は仕上研磨用の研磨テープ８８を備えた
ものであり、同様な構造である。

【００６０】つまり、第１研磨ユニット７７、第２研磨
ユニット７８は、図９に示すように、基板８９に巻出ロ
ール９０、ガイドロール９１、加圧ロール９２、フィー
ドロール９３、ニップロール９４及び巻取ロール９５が
配置されたものである。巻出ロール９０から巻き出され
た研磨テープ８７、８８がガイドロール９１、加圧ロー
ル９２及びフィードロール９３に巻き掛けられて巻取ロ
ール９５により巻き取られる。

【００６１】巻出ロール９０は、ブレーキ機能を有する
フリーロールである。また、ニップロール９４は、フィ
ードロール９３との間で研磨テープ８７、８８を把持す
る。このニップロール９４と巻取ロール９５の回転によ
り、研磨テープ８７、８８が所定量フィードされる。更
に、加圧ロール９２は、研磨ヘッド９６に設置され、こ
の研磨ヘッド９６が昇降することで、加圧ロール９２が
保持テーブル７６上のスタンパ１に接近して、このスタ
ンパ１に研磨テープ８７、８８を押圧させ、或いは加工
ロール９２がこのスタンパ１から離反する。加圧ロール
９２による押圧力は、調整可能に設けられる。

【００６２】上記冷却水ノズル７９は、保持テーブル７
６に吸着保持されたスタンパ１の裏面５を、第１研磨ユ
ニット７７によって粗研磨し、第２研磨ユニット７８に
よって仕上研磨するときに、研磨テープ８７、８８とス
タンパ１との接触位置へ冷却水を噴射する。更に、冷却
水ノズル７９は、第１研磨ユニット７７、７８による研
磨終了後に、スタンパ１上の研磨粉をクリーニングする
ときにも噴射される。

【００６３】上記飛散防止パン８５は、保持テーブル７
６の外側を覆うようにして配置され、第１研磨ユニット
７７及び第２研磨ユニット７８による研磨中、冷却水に
よる研磨粉のクリーニング中、或いは保持テーブル７６
を高速回転して、スタンパ１に付着した冷却水を飛散さ
せる振り切り乾燥中に、冷却水の飛散を防止する。

【００６４】上述のようにして構成された裏面研磨装置
１４には第３アーム機構１８によってスタンパ１が搬入
され、第４アーム機構１９によってスタンパ１が搬出さ
れる。

【００６５】つまり、図１及び図１３に示す第３アー
ム機構１８は、スタンパ１の裏面５をバキューム吸着し
た状態で、裏面研磨装置１４の上方まで移動し、スタン
パ１を下降させて裏面研磨装置１４の保持テーブル７６
に置く。この時点で、第３アーム機構１８がスタンパ１
のバキューム吸着を解除すると同時に、保持テーブル７
６の吸着プレート８２がスタンパ１の表面４のほぼ全面
をバキューム吸着する。その後、第３アーム機構１８は
上昇し、保護シート貼付装置１３の上方まで移動して待
機する。

【００６６】第３アーム機構１８の移動後、第１研磨
ユニット７７がレール８６に沿って移動し、保持テーブ
ル７６に接近する。次に、図９に示すように、保持テー
ブル７６の加圧ロール９２が下降して、保持テーブル７
６上のスタンパ１の裏面５に研磨テープ８７を押圧す
る。この状態で保持テーブル７６が低速回転し、冷却水
ノズル７９から冷却水が噴射され、研磨テープ８７がフ
ィードされて、この第１研磨ユニット７７によりスタン
パ１の裏面５が粗研磨される。

【００６７】上記粗研磨が所定時間実施された後、研
磨テープ８７のフィードが停止され、加圧ロール９２が
上昇してスタンパ１から離れ、第１研磨ユニット７７は
レール８６に沿って現位置に戻る。この間、冷却水ノズ
ル７９から冷却水が噴出され続け、保持テーブル７６は
低速回転を継続する。

【００６８】次に、第２研磨ユニット７８がレール８
６に沿って移動して保持テーブル７６に接近し、この第
２研磨ユニット７８の加圧ロール９２が下降して研磨テ
ープ８８を保持テーブル７６上のスタンパ１の裏面５に
押圧する。この状態で研磨テープ８８がフィードして、
スタンパ１の裏面５が仕上研磨される。

【００６９】この研磨が所定時間実施された後、研磨
テープ８８のフィードが停止し、加圧ロール９２が上昇
して研磨テープ８８がスタンパ１から離れた後、第２研
磨ユニット７８はレール８６に沿って現位置に戻る。

【００７０】上述の仕上研磨終了後、冷却水ノズル７
９から冷却水を噴射させた状態で保持テーブル７６が高
速回転（1000rpm ）し、スタンパ１上の研磨粉のクリー
ニングを約15秒間実施する。

【００７１】その後、冷却水ノズル７９からの冷却水
の噴射を停止させ、保持テーブル７６の高速回転を継続
させて、保持テーブル７６上のスタンパ１を振り切り乾
燥する。

【００７２】保持テーブル７６の回転を停止して振り
切り乾燥を終了した後、保持テーブル７６の吸着プレー
ト８２によるスタンパ１のバキューム保持を解除する。
その後、図１及び図４に示す第４アーム機構１９が裏面
研磨装置１４の上方へ移動し、吸盤３４を下降させてス
タンパ１を吸着し、上昇してこのスタンパ１をスタック
装置１５へ移送する。

【００７３】[F] スタック装置（図１、図１４）スタック装置１５は、支持板９７と、この支持板９７に
対し昇降可能で、複数本のスタックポール９８が水平方
向に立設されたスタック部９９と、を有して構成され
る。水平配置されたスタックポール９８に 1枚のスタン
パ１が、表面４を下方にして係止され、このスタンパ１
はスタック部９９に収納される。このスタック部９９に
は、例えば10枚のスタンパ１が収納可能とされる。

【００７４】第４アーム機構１９にて裏面研磨装置１４
から移送されたスタンパ１は、第４アーム機構１９の横
移動によりスタック部９９のスタックポール９８間に入
る。この状態で、第４アーム機構１９は、吸盤３４によ
るスタンパ１の吸着を解除させ、このスタンパ１をスタ
ックポール９８に係止させてスタック部９９に収納す
る。このスタンパ１の収納後、第４アーム機構１９はス
タック装置１５から離れ、スタック部９９は 1ピッチ分
下降して停止する。このようにしてスタック部９９に所
定数、例えば10枚のスタンパ１が収納される。

【００７５】[G] 光ディスク用スタンパの洗浄等処理装
置における効果 (1) 光ディスク用スタンパの洗浄等処理設備１０によれ
ば、スタンパ洗浄・乾燥装置１２、保護シート貼付装置
１３、裏面研磨装置１４、スタック装置１５及びスタン
パ移送装置２０のそれぞれが、スタンパ１の記録面６を
下方に保持してこのスタンパ１を処理することから、各
装置１２、１３、１４、１５及び２０において、スタン
パ１の記録面６へのごみの付着を防止できる。このた
め、スタンパ１により良好な品質の光ディスク、例えば
ＣＤ−ＲＯＭ等を製造できる。

【００７６】(2) スタンパ洗浄・乾燥装置１２によれ
ば、スタンパ１が支持部材３７におけるボールプランジ
ャ４５のボール４５Ａに点接触状態で支持されており、
且つ乾燥時の高速回転時には、スタンパ１のコンタクト
リング３における外周端面が支持壁４３に部分的に当接
してスタンパ１の飛び出しが防止されるので、支持部材
３７にはスタンパ１を直接把持或いは保持する部材が存
在しない。このため、スタンパ１には、洗浄後乾燥した
後に、把持或いは保持部材との間に洗浄液（純水）の付
着痕が存在しない。

【００７７】(3) スタンパ洗浄・乾燥装置１２によれ
ば、スタンパ１が、記録面６を下方に配置して支持部材
３７に支持されたので、乾燥中及び乾燥後に、スタンパ
１の記録面６にごみ等が付着することを防止できる。

【００７８】(4) 保護シート貼付装置１３によれば、第
３アーム機構１８のバキュームチャック３１がスタンパ
１の表面４を下方にした状態で、シート貼付機構５０が
スタンパ１の表面４に保護シート９を貼り付けることか
ら、スタンパ１の表面４にごみが付着しない状態で保護
シート９を貼り付けることができる。

【００７９】(5) 保護シート貼付装置１３によれば、ス
ライドベース部材５３の往動により、巻出ロール５４か
ら所定の巻出量だけ保護シート９が巻き出されることか
ら、保護シート９の巻出量をスライドベース部材５３の
往動量によって制御できる。また、スライドベース部材
５３の往動により、切断装置５１が第３アーム機構１８
のバキュームチャック３１に対し所定位置に位置付けら
れることから、切断装置５１の位置決めをスライドベー
ス部材５３の往動により実施できる。このように、巻出
ロール５４からの保護シート９の巻出量と切断装置５１
の位置決めを簡単な構造で高精度に実現できる。

【００８０】(6) 保護シート貼付装置１３によれば、ス
ライドベース部材５３が往動して貼付ローラ５５が保護
シート９をスタンパ１の表面４に貼り付けるときに、全
体ニップ機構５７が作動して保護シート９の全幅を把持
するので、このとき保護シート９に作用するテンション
を巻取ロール５６へ作用することを防止できる。また、
スライドベース部材５３が復動し、且つ巻取ロール５６
が保護シート９を巻き取るときに、両端ニップ機構５８
が作動して保護シート９の幅方向両端を保持するので、
このとき、保護シート９にしわが発生することを防止で
きる。更に、第３アーム機構１８のシート貼付機構５０
に対する上昇時に全体ニップ機構５７及び両端ニップ機
構５８が作動するので、スタンパ１の表面４に貼り付け
られた保護シート９と、切断装置５１にて切断された保
護シート９の不要部分との分離を良好に実施できる。こ
のように、簡単な構造で、複雑な保護シート９のテンシ
ョン制御を実現できる。

【００８１】(7) 切断装置５１によれば、テーブル６３
を正逆いずれか一方の方向に回転して、一つのスタンパ
１に貼り付けられた保護シート９を切断加工し、次に、
上記テーブル６３を他方向に回転して、他のスタンパ１
に貼り付けられた保護シート９を切断するから、シリン
ダ装置６４に接続された図示しない配管や、カッタホル
ダ６５の昇降状態を検出するセンサ１００（図５）から
の配線（図示せず）のねじれ現象の発生を防止できる。
しかも、スタンパ１を支持する第３アーム機構１８は固
定状態でよいので、この第３アーム機構１８を回転させ
るための工夫も不要である。

【００８２】(8) 切断装置５１によれば、カッタ刃６６
が円形カッタ刃であり、転動しながら、スタンパ１の表
面４に貼り付けられた保護シート９を切断することか
ら、カッタ刃６６がスタンパ１の保護シート９に接する
位置が特定箇所に偏らず全周となる。このため、カッタ
刃６６の寿命を長くできる。

【００８３】(9) 裏面研磨装置１４によれば、スタンパ
１の表面４におけるほぼ全面が、保持テーブル７６の吸
着プレート８２を構成する多孔質体の多数の気孔からの
負圧の作用で、吸着プレート８２に吸着保持されるの
で、この吸着保持によっても、スタンパ１は部分的に弾
性変形を生じない。この結果、第１研磨ユニット７７及
び第２研磨ユニット７８がスタンパ１の裏面５を均一に
研磨することができる。

【００８４】(10)裏面研磨装置１４によれば、保持テー
ブル７６の吸着プレート８２がスタンパ１の記録面６を
備えた表面４のほぼ全面を吸着保持することから、この
スタンパ１の裏面５を均一に研磨でき、研磨不良箇所と
しての吸着痕がスタンパ１の裏面５に残らない。このた
め、スタンパ１の裏面５の研磨不良箇所（吸着痕）がＣ
Ｄ−ＲＯＭ等の光ディスクに転写されず、この光ディス
クの外観を良好にすることができる。

【００８５】尚、上記実施の形態では、スタンパ洗浄・
乾燥装置１２において、図３に示すように、支持部材３
７の各支持枠４２に磁石４６が設置されるものを述べた
が、この磁石４６は省略してもよい。また、スタンパ洗
浄・乾燥装置１２において、支持突部がボールプランジ
ャ４５のボール４５Ａの場合を述べたが、各支持枠４２
のベース面４２Ａに一体に突部を突設してもよい。

【００８６】更に、図８に示すように、保護シート貼付
装置１３の切断装置５１にあっては、カッタ刃６６が円
形状のものを述べたが、刃先が湾曲面で、テーブル６３
の正逆両方向の回転によっても保護シート９を切断でき
るものであってもよい。

【００８７】また、裏面研磨装置１４にあっては、図９
に示すように第１研磨ユニット７７及び第２研磨ユニッ
ト７８が研磨テープを備えたものであったが、砥石を有
するものでもよい。

【００８８】更に、レジスト洗浄装置１１、スタンパ洗
浄・乾燥装置１２、保護シート貼付装置１３、裏面研磨
装置１４及び切断装置５１はＣＤ−ＲＯＭ製造用のスタ
ンパ１に適用されるものを述べたが、それ以外の部材に
適用されてもよい。

【００８９】

【発明の効果】以上のように、本発明に係る切断装置に
よれば、カッタ刃を被加工物へ進退させる進退手段に接
続された配管、配線の捩れを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明に係る切断装置の一つの実施の
形態が適用された保護シート貼付装置を有する光ディス
ク用スタンパの洗浄等処理設備を示す全体斜視図であ
る。

【図２】図２は、図１のスタンパ洗浄・乾燥装置を示す
断面図である。

【図３】図３（Ａ）は、図２の支持部材を示す部分平面
図であり、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）のIIIB-IIIB 線に
沿う断面図である。

【図４】図４は、図２の下部ノズルを示し、（Ａ）が平
面図、（Ｂ）が縦断面図である。

【図５】図５は、図１の保護シート貼付装置におけるシ
ート貼付前の側面図である。

【図６】図６は、図１の保護シート貼付装置におけるシ
ート貼付後の側面図である。

【図７】図７は、図５のVII 矢視図である。

【図８】図８は、図５のVIII矢視図である。

【図９】図９は、図１の裏面研磨装置を示すIX矢視図で
ある。

【図１０】図１０は、図９の保持テーブルを示す部分断
面図である。

【図１１】図１１（Ａ）は、図１の第１アーム機構を示
す正面図であり、図１１（Ｂ）は、図１１（Ａ）のXIB
矢視図である。

【図１２】図１２は、図１の第２アーム機構を示す側面
図である。

【図１３】図１３（Ａ）は、図１の第３アーム機構を示
す正面図であり、図１３（Ｂ）は、図１３（Ａ）のXIII
B 矢視図である。

【図１４】図１４（Ａ）は、図１の第４アーム機構を示
す正面図であり、図１４（Ｂ）、（Ｃ）は、図１４
（Ａ）のそれぞれXIVB矢視図、XIVC矢視図である。

【図１５】図１５（Ａ）は、図１のスタンパを示す平面
図であり、図１５（Ｂ）は、図１５（Ａ）のXVB-XVB 線
に沿う断面図である。

【符号の説明】

１スタンパ４スタンパの表面５スタンパの裏面６スタンパの記録面９保護シート１０光ディスク用スタンパの洗浄等処理設備１２スタンパ洗浄・乾燥装置１３保護シート貼付装置１４裏面研磨装置１７第２アーム機構１８第３アーム機構１９第４アーム機構２０スタンパ移送装置３１バキュームチャック３７支持部材３８上部ノズル３９下部ノズル４２支持枠４３支持壁４５ボールプランジャ４５Ａボール５０シート貼付機構５１切断装置５２フレーム５３スライドベース部材５４巻出ロール５５貼付ローラ５６巻取ロール５７全体ニップ機構５８両端ニップ機構６３テーブル６４シリンダ装置６６カッタ刃６７ロータリアクチュエータ７１全体ニップメインバー７４ニップロール７６保持テーブル７７第１研磨ユニット７８第２研磨ユニット８２吸着プレート８４負圧連通路

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】正方向と逆方向の両方向に回転可能なテ
ーブルと、このテーブルに設置され、カッタ刃を被加工物に対し進
退可能とする進退手段と、を有し、この進退手段により上記カッタ刃を上記被加工物に押し
当て、上記テーブルを上記被加工物毎に異なる方向で回
転させることにより上記被加工物を切断することを特徴
とする切断装置。
【請求項２】上記カッタ刃は、円形カッタ刃であり、
転動しながら、被加工物を切断する請求項１に記載の切
断装置。