KR20240024439A - 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터 - Google Patents

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KR20240024439A
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박종운
한상관
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한국기술교육대학교 산학협력단
한상관
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Abstract

본 발명은 코팅 용액을 공급하는 헤드 립이 형성되는 슬롯 다이 헤드와, 헤드 립을 닦아 헤드 립에 남아있는 코팅 용액을 제거하는 헤드 클리너와, 헤드 클리너가 이동하는 이동경로를 형성하는 리니어 가이드와, 헤드 클리너를 리니어 가이드를 따라 이동시키는 동력장치로 구성되는 클리닝 모듈을 포함하는, 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터에 관한 것이다.

Description

클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터{Slot Die Coater with Cleaning Module}
본 발명은 헤드 립에 남아있는 코팅 용액을 제거하여 코팅 재현성을 높일 수 있는 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터에 관한 것이다.
태양전지 및 디스플레이 제조 혁신공정으로 용액 공정(Solution process)과 진공 증착(Vacuum evaporation)이 사용되고 있고, 용액 공정의 경우 진공 증착방식과 비교하여 약 40%정도의 제조 단가를 낮출 수 있는 장점이 있어 널리 사용되고 있다.
이러한 용액 공정은 크게 프린팅(printing)과 코팅(coating)으로 나뉘며, 잉크젯, 노즐, 그라비어, 오프셋과 같은 프린팅 기술은 주로 direct patterning을 요하는 전자소자분야에 적용되고 있다.
특히 잉크젯 프린팅 기술은 주로 모바일 디스플레이 패널의 화소 형성 등에 적용되고 있지만 상대적으로 느린 코팅 속도, 용액 점도에 따른 사용 제한, 노즐 막힘 등의 유지/보수 문제가 대두되고 있다.
이에 반해 코팅 공정은 미세 패턴을 필요로 하지 않는 대면적 박막 형성에 적합하고, 장비 유지/보수가 상대적으로 용이한 장점을 가지고 있으며, 이러한 코팅 기술의 종류로는 슬롯 다이 코팅, 스핀 코팅, 블레이드 코팅, 바 코팅, 딥 코팅, 스프레이 코팅 등을 들 수 있다.
다양한 코팅방식 중 슬롯 다이 코팅은 대면적 고균일 코팅 막을 형성할 수 있고, 설계를 통하여 한 번에 여러 층을 코팅할 수 있을 뿐만 아니라, 잉크의 점도에 영향을 거의 받지 않는 장점이 있을 뿐만 아니라, 코팅 속도가 빠르고 롤투롤 코팅으로의 확장이 용이하여 주로 페로브스카이트 및 유기 태양전지, 박막전지, 이차전지에 널리 사용되고 있다.
하지만, 슬롯 다이 코터의 경우 도 1에 도시된 바와 같이 코팅 용액(C) 중 일부가 모세관현상에 의해 헤드 립(A)을 타고 올라가는 현상이 나타나고, 이렇게 헤드 립(A)에 남아있는 용액은 다음 코팅공정 진행 시 재현성을 낮추는 원인으로 작용한다.
따라서, 새로운 코팅이 시작될 때마다 극세사로 만들어진 와이퍼로 헤드 립(A)에 남아있는 코팅 용액(C)을 제거하는 클리닝 공정이 이루어지고 있으나, 종래의 클리닝 공정은 관리자에 의해 수동으로 이루어지기 때문에, 클리닝 공정을 수행하기 위한 별도의 인력이 필요하였을 뿐만 아니라, 클리닝 공정을 진행하는 사람의 숙련도에 따라 클리닝 수준이 다르게 나타나기 때문에 코팅 결과 또한 매번 달라지는 문제가 있었다.
특허문헌 1) 국내공개특허공보 제10-2022-0043035(명칭: 듀얼 슬롯 다이 코터, 공개일: 2022. 04. 05) 특허문헌 2) 국내등록특허공보 제10-2143345(명칭: 듀얼 다이 코터, 등록일: 2020. 08. 05)
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 헤드 립에 남아있는 코팅 용액을 제거 가능한 클리닝 모듈이 결합된 슬롯 다이 코터를 제공하는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명인 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터는, 코팅 용액을 공급하는 헤드 립(110)이 형성되는 슬롯 다이 헤드(100); 및 상기 헤드 립(110)을 닦아 헤드 립(110)에 남아있는 코팅 용액을 제거하는 헤드 클리너(210)와, 상기 헤드 클리너(210)가 이동하는 이동경로를 형성하는 리니어 가이드(220)와, 헤드 클리너(210)를 리니어 가이드(220)를 따라 이동시키는 동력장치(230)로 구성되는 클리닝 모듈(200);을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 클리닝 모듈(200)의 작동을 제어하는 클리닝 모듈 작동제어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 헤드 클리너(210)는 상면이 헤드 립(110)의 하면에 대응되는 형상을 가지는 와이퍼 프레임(211); 상기 와이퍼 프레임(211)의 상면에 결합되어 코팅 용액을 제거하는 와이퍼(211A); 상기 와이퍼(211A)에 의해 제거되는 코팅 용액을 회수하는 코팅 용액 회수부(212);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 헤드 클리너(210)는 코팅 용액 용해제를 분무하는 용해제 분무부(213);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 슬롯 다이 헤드(100)를 이동시키는 헤드 이동수단(300);을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 클리닝 모듈(200)은 상기 헤드 이동수단(300)에 결합되는 것;을 특징으로 한다.
또한, 코팅 대상을 지지하는 지지수단(400);을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 지지수단(400)에 결합되고 코팅 용액 용해제가 수용되는 용해제 수용부(500);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 클리닝 모듈(200)과 상기 용해제 수용부(500)는 상기 슬롯 다이 헤드(100)의 이동방향 일측과 타측에 한 쌍이 대향 형성되는 것;을 특징으로 한다.
또한, 감겨있는 코팅 대상을 일정한 속도로 풀어 이송하는 코팅 대상 이송수단(600);을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 이송수단(500)은 감겨잇는 코팅 대상을 일정한 속도로 풀어주느 언와인더(610); 코팅 대상이 이송되는 경로를 형성하는 가이드 롤러(620); 상기 슬롯 다이 헤드(100)와 마주보게 배치되어 코팅 대상이 이송 과정에서 코팅되도록 하는 코팅 롤러(630); 코팅 대상의 코팅면에 적외선 또는 자외선을 조사하는 건조수단(640); 상기 건조수단(640)을 통과하며 건조된 코팅 대상을 압박하는 닙 롤(650); 코팅이 완료된 코팅 대상을 감는 리와인더(660);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명인 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터는, 코팅이 완료된 후 클리닝 모듈이 헤드 립에 남아있는 코팅 용액을 제거하므로, 코팅 재현성을 한층 높일 수 있는 장점이 있다.
또한, 클리닝 모듈을 통한 코팅 용액 제거가 항상 동일한 형태로 이루어지므로, 코팅 균일도를 높일 수 있는 장점이 잇다.
그리고, 클리닝 공정을 통해 제거된 코팅 용액을 회수하므로, 회수된 용액을 재활용 가능한 장점이 있다.
도 1은 코팅 후 헤드 립에 코팅 용액이 묻어 있는 것을 설명하기 위한 사시도.
도 2는 본 발명인 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터를 나타낸 사시도.
도 3은 본 발명인 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터를 나타낸 정면도.
도 4는 본 발명인 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터를 나타낸 평면도.
도 5는 본 발명인 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터의 와이퍼에 용해제 분무부가 형성된 것을 나타낸 사시도.
도 6은 본 발명인 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터에 복수개의 클리닝 모듈 및 용해제 수용부가 형성된 것을 나타낸 사시도.
도 7은 본 발명인 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터의 클리닝 모듈이 헤드 이동수단에 결합된 것을 나타낸 사시도.
도 8은 본 발명인 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터가 연속 코팅 방식을 구현하기 위한 구조를 나타낸 정면도.
본 발명의 실시예들에 대한 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다.
본 발명의 실시예들을 설명함에 있어서 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명의 실시예에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터(1000)에 관하여 설명하도록 한다.
도 1은 코팅 후 헤드 립에 코팅 용액이 묻어 있는 것을 설명하기 위한 사시도이고, 도 2는 본 발명인 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터를 나타낸 사시도이고, 도 3은 본 발명인 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터를 나타낸 정면도이고, 도 4는 본 발명인 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터를 나타낸 평면도이고, 도 5는 본 발명인 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터의 와이퍼에 용해제 분무부가 형성된 것을 나타낸 사시도이고, 도 6은 본 발명인 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터에 복수개의 클리닝 모듈 및 용해제 수용부가 형성된 것을 나타낸 사시도이고, 도 7은 본 발명인 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터의 클리닝 모듈이 헤드 이동수단에 결합된 것을 나타낸 사시도이고, 도 8은 본 발명인 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터가 연속 코팅 방식을 구현하기 위한 구조를 나타낸 정면도이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명인 클리닝 모듈은 코팅 용액을 공급하는 헤드 립(110)이 형성되는 슬롯 다이 헤드(100)와, 상기 헤드 립(110)을 직접 접촉 방식으로 닦아 코팅 용액을 제거하는 클리닝 모듈(200)을 포함할 수 있다.
상세히 설명하면, 도 1을 참조하여 설명한 바와 같이 코팅 시 모세관 현상에 의해 슬롯 다이 헤드(100)의 헤드 립(110) 가장자리로 코팅 용액(1)이 퍼져나가고, 이렇게 퍼져나간 코팅 용액(1)은 코팅 재현성을 낮추는 문제점이 있으므로, 본 발명에서는 코팅이 완료되면 상기 클리닝 모듈(200)이 도 3에 도시된 바와 같이 헤드 립(110)에 남아있는 코팅 용액(1)을 제거할 수 있도록 한 것이다.
상기 클리닝 모듈(200)은 상기 헤드 립(110)을 닦아 헤드 립(110)에 남아있는 코팅 용액을 제거하는 헤드 클리너(210)와, 상기 헤드 클리너(210)가 이동하는 이동경로를 형성하는 리니어 가이드(220)와, 헤드 클리너(210)를 리니어 가이드(220)를 따라 이동시키는 동력장치(230)를 포함할 수 있다.
상세히 설명하면, 슬롯 다이 헤드(100)를 이용한 코팅 공정이 완료되면, 상기 동력장치(230)가 작동하여 헤드 클리너(210)를 리니어 가이드(220)가 형성하는 이동경로를 따라 움직여, 헤드 립(110)에 남아있는 코팅 용액(1)을 제거할 수 있도록 한 것이다.
이때, 상기 클리닝 모듈(200)의 작동은 관리자에 의해 수동으로 이루어질 수 있으나, 클리닝 모듈(200) 및 슬롯 다이 헤드(100)를 이동시키는 헤드 이동수단(300)과 연동되는 클리닝 모듈 작동제어부를 통해 자동으로 이어질 수 있다.
즉, 코팅 공정이 완료된 후 헤드 이동수단(300)이 슬롯 다이 헤드(100)를 이동시켜 헤드 클리너(210)가 형성하는 클리닝 홈(211B)에 헤드 립(110)을 삽입하거나, 리니어 가이드(220)를 따라 헤드 클리너(210)가 이동할 시 헤드 클리너(210)가 헤드 립(110)을 닦을 수 있는 위치로 이동시킨 것이 확인되면, 클리닝 모듈 작동제어부가 동력장치(230)를 작동시켜 헤드 클리너(210)가 리니어 가이드(220)를 따라 이동하며 헤드 립(110)에 남아있는 코팅 용액을 제거하는 것이다.
도 3 내지 도 4를 참조하면, 상기 헤드 클리너(210)는 상면이 헤드 립(110)의 하면에 대응되는 형상을 가지는 와이퍼 프레임(211)과, 상기 와이퍼 프레임(211)의 상면에 결합되어 코팅 용액을 제거하는 와이퍼(211A)와, 상기 와이퍼(211A)에 의해 제거되는 코팅 용액을 회수하는 코팅 용액 회수부(212)를 포함할 수 있다.
상세히 설명하면, 도 3에 도시된 바와 같이 와이퍼 프레임(211)이 헤드 립(110)을 따라 이동하면, 헤드 립(110)에 남아있는 코팅 용액이 와이퍼 프레임(211) 상면에 결합된 와이퍼(211A)에 의해 닦겨 와이퍼 프레임(211) 단부 하측으로 흘러내리게 되므로, 코팅 용액 회수부(212)에서 흘러내리는 코팅 용액(1)을 회수할 수 있도록 한 것이다.
와이퍼(211A)는 헤드 립(110)과 마찰 시 헤드 립(110)을 손상시키지 않도록 고무 또는 실리콘과 같은 탄성 재질로 형성되는 것을 권장한다.
또한, 코팅 용액 회수부(212)는 와이퍼 프레임(211)이 결합되는 와이퍼 결합 바(214)를 사이에 두고 한 쌍이 서로 마주보며 대향 배치되어, 클리닝 모듈(200)이 좌측으로 움직이며 클리닝 공정이 진행될 때에는 좌측에 위치되는 코팅 용액 회수부(212)에서 코팅 용액 회수가 이루어지고, 클리닝 모듈(200)이 우측으로 움직이며 클리닝 공정이 진행될 때에는 우측에 위치되는 코팅 용액 회수부(212)에서 코팅 용액 회수가 이루어지는 것을 권장한다.
그리고, 회수된 코팅 용액은 제거될 수 있으나, 상기 슬롯 다이 헤드(100)로 공급되어 재사용되어질 수도 있다.
회수된 코팅 용액 처리와 재사용을 위해서 상기 코팅 용액 회수부(212)는 헤드 클리너 몸체(215)에 분리 가능한 형태로 결합되는 것을 권장하나, 이 외에도 코팅 용액 처리수단 또는 코팅 용액 리사이클링 수단을 통해 자동으로 버려지거나 재사용될 수도 있다.
이때, 코팅 용액 처리수단의 경우 코팅 용액 회수부(212) 상에 수용된 코팅 용액의 양을 파악하는 수위센서와, 상기 수위센서에서 파악되는 수위정보를 기반으로 코팅액 배출 유무를 판단하는 배출유무 판단부와, 상기 코팅 용액 회수부(212)에 결합되어 코팅 용액이 배출되는 통로를 형성하는 배출통로 형성수단과, 상기 배출유무 판단부 결정에 대응하여 상기 배출통로 형성수단을 개폐하는 배출유무 결정수단을 포함할 수 있다.
그리고, 리사이클링 수단은 상기 슬롯 다이 헤드(100)로 코팅 용액을 공급하는 코팅용액 공급부와 연결되는 리사이클링 경로 형성수단과, 상기 코팅 용액 회수부(212)에 수용된 코팅 용액을 상기 리사이클링 경로 형성수단을 통해 이동시켜 코팅용액 공급부로 공급하는 리사이클링 펌프를 포함할 수 있다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 헤드 클리너(210)는 코팅 용액 용해제를 분무하는 용해제 분무부(213)를 포함할 수 있다.
상세히 설명하면, 코팅 용액이 건조되어 헤드 립(110) 표면에 고착된 경우 와이퍼(211A)를 이용한 코팅 용액 제거가 원활하게 이루어지지 않을 수 있으므로, 상기 분무부(213)에서 헤드 립(110)에 솔벤트와 같은 코팅 용액 용해제를 분무하여 코팅 용액을 녹여줌으로써, 헤드 립(110)을 이용한 코팅 용액 제거가 보다 원활하게 이루어질 수 있도록 한 것이다.
이때, 헤드 클리너(210)를 리니어 가이드(220)를 따라 복수번 왕복운동 하도록 하여 클리닝 공정의 완성도를 보다 높일 수도 있으며, 리니어 가이드(220)의 경우 헤드 클리너(210)를 관통하여, 헤드 클리너(210)가 연장형성된 방향으로 슬라이드 이동 가능하게 하는 가이드 바(221);를 포함할 수 있다.
도 6을 참조하면, 본 발명이 클리닝 모듈(200)은 코팅 대상을 지지하는 지지수단(400)을 더 포함할 수 있고, 이러한 지지수단(400)의 일측과 타측 중 어느 한측 이상에 상기 클리닝 모듈(200)과 코팅 용액 용해제가 수용되는 용해제 수용부(500)가 결합될 수 있다.
상세히 설명하면, 코팅 용액이 건조되어 헤드 립(110) 표면에 고착된 경우 와이퍼(211A)를 이용한 코팅 용액 제거가 원활하게 이루어지지 않을 수 있으므로, 지지수단(400)의 일측과 타측에 용해제 수용부(500)를 형성하여, 코팅을 완료한 슬롯 다이 헤드(100)의 헤드 립(110)이 용해제 수용부(500)에 담겨지는 과정을 통해 고착된 코팅 용액이 용해되면, 클리닝 모듈(200)을 통한 클리닝 공정이 이루어질 수 있도록 한 것이다.
이때, 슬롯 다이 헤드(100)의 이동은 코팅 완료 후 상승하는 상승단계와, 인접한 용해제 수용부(500)와 마주보는 위치로 이동 후 하강하여 슬롯 다이 헤드(100)가 용해제 수용부(500)에 담겨있는 솔벤트(S)에 들어가는 디핑단계와, 슬롯 다이 헤드(100)가 상승한 후 클리닝 모듈에 의해 헤드 립(110)에 남아있는 코팅 용액이 제거될 수 있는 위치로 이동하는 클리닝 위치 정렬단계를 포함할 수 있다.
또한, 코팅은 헤드 이동수단(300)에 의해 슬롯 다이 헤드(100)가 이동 가능한 일측과 타측방향으로 모두 이루어질 수 있으므로, 코팅 후 클리닝 공정이 보다 원활하게 이루어질 수 있도록 용해제 수용부(500)와 클리닝 모듈(200)이 지지부(400) 일측과 타측에 모두 형성되는 것을 권장한다.
도 7을 참조하면, 상기 클리닝 모듈(200)은 상기 슬롯 다이 헤드(100)를 이동시키는 헤드 이동수단(300)에 결합될 수 있다.
상세히 설명하면, 위에서 도 6을 참조하여 설명한 바와 같이 지지수단(400) 일측과 타측에 모두 클리닝 모듈(200)과 용해제 수용부(500)를 형성할 경우, 보다 많은 공간 및 장치가 필요할 뿐만 아니라, 클리닝 공정을 진행하기 위한 슬롯 다이 헤드(100)의 이동 또한 복잡하게 이루어져야 하는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명에서는 슬롯 다이 헤드(100)가 결합된 헤드 이동수단(300)에 클리닝 모듈(200)을 결합하여, 장치의 구성 및 부피를 최소화 하고 클리닝 공정이 단순화된 형태로 이루어질 수 있도록 한 것이다.
이때, 상기 슬롯 다이 헤드(100)는 상기 헤드 이동수단(300)의 두께방향 일측에 결합되고, 상기 클리닝 모듈(200)은 헤드 이동수단(300)의 두께방향 타측에 결합되어 슬롯 다이 헤드(100)의 이동을 방해하지 않도록 하는 것을 권장하고, 클리닝 모듈(200)은 헤드 클리너(210)를 리니어 가이드(220)를 따라 이동시킬 시 헤드 립(110)을 클리닝 가능한 위치에 정렬하기 위한 절곡 구조의 정렬부재(240)를 포함할 수 있다.
상세히 설명하면, 리니어 가이드(220)를 헤드 이동수단(300)의 두께방향 타측에 결합하여 슬롯 다이 헤드(100)의 상하방향 이동을 방해하지 않도록 하되, 헤드 클리너(210)가 헤드 립(110)을 클리닝 하기 위해서는 헤드 클리너(210)가 리니어 가이드(220)를 따라 좌우방향으로 이동 시 헤드 립(110)과 마찰할 수 있게 위치되어야 하므로, 길이방향 일측 단부가 헤드 클리너(210)에 결합되고 길이방향 타측이 리니어 가이드(220)에 슬라이드 이동가능하게 결합된 정렬부재(240)를 이용하여, 헤드 클리너(210)를 리니어 가이드(220)를 따라 왕복운동시킬 시 헤드 립(110)을 클리닝 가능한 위치로 정렬하여 준 것이다.
도 8을 참조하면, 본 발명인 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터(1000)는 감겨있는 코팅 대상을 일정한 속도로 풀어 이송하는 코팅 대상 이송수단(600)을 포함할 수 있다.
상세히 설명하면, 롤투롤 방식으로 코팅 대상을 이송하는 이송수단(600)에 슬롯 다이 헤드(100) 및 클리닝 모듈(200)이 결합된 헤드 이동수단(300)을 결합하여, 롤투롤 방식으로 코팅을 진행할 경우에도 헤드 립(110)의 클리닝 공정이 원활하게 이루어질 수 있도록 한 것이다.
이때, 상기 이송수단(500)은 감겨있는 코팅 대상을 일정한 속도로 풀어주는 언와인더(610)와, 코팅 대상이 이송되는 경로를 형성하는 가이드 롤러(620)와, 상기 슬롯 다이 헤드(100)와 마주보게 배치되어 코팅 대상이 이송 과정에서 코팅되도록 하는 코팅 롤러(630)와, 코팅 대상의 코팅면에 적외선 또는 자외선을 조사하는 건조수단(640)과, 코팅 필름의 슬립을 방지하기 위해 코팅 필름을 압박하는 닙 롭(650)을 포함할 수 있다.
본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.
100 : 슬롯 다이 헤드 110 : 헤드 립
200 : 클리닝 모듈 210 : 헤드 클리너
211 : 와이퍼 프레임 211A : 와이퍼
212 : 코팅 용액 회수부
213 : 용해제 분무부
220 : 리니어 가이드 230 : 동력장치
300 : 헤드 이동수단
400 : 지지수단
500 : 용해제 수용부
600 : 코팅 대상 이송수단 610 : 언와인더
620 : 가이드 롤러 630 : 코팅 롤러
640 : 건조수단 650 : 닙 롤
660 : 리와인더

Claims (11)

  1. 코팅 용액을 공급하는 헤드 립(110)이 형성되는 슬롯 다이 헤드(100); 및
    상기 헤드 립(110)에 남아있는 코팅 용액을 제거하는 헤드 클리너(210)와, 상기 헤드 클리너(210) 이동경로를 형성하는 리니어 가이드(220)와, 헤드 클리너(210)를 리니어 가이드(220)를 따라 이동시키는 동력장치(230)로 구성되는 클리닝 모듈(200);을 포함하는, 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 클리닝 모듈(200)의 작동을 제어하는 클리닝 모듈 작동제어부;를 포함하는, 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 헤드 클리너(210)는 상면이 헤드 립(110)의 하면에 대응되는 형상을 가지는 와이퍼 프레임(211);
    상기 와이퍼 프레임(211)의 상면에 결합되어 코팅 용액을 제거하는 와이퍼(211A);
    상기 와이퍼(211A)에 의해 제거되는 코팅 용액을 회수하는 코팅 용액 회수부(212);를 포함하는, 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 헤드 클리너(210)는 코팅 용액 용해제를 분무하는 용해제 분무부(213);를 포함하는, 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 슬롯 다이 헤드(100)를 이동시키는 헤드 이동수단(300);을 포함하는, 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 클리닝 모듈(200)은 상기 헤드 이동수단(300)에 결합되는 것;을 특징으로 하는, 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 슬롯 다이 헤드(100)와 마주보게 배치되고, 코팅 대상을 지지하는 지지수단(400);을 포함하는, 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 지지수단(400)에 결합되고 코팅 용액 용해제가 수용되는 용해제 수용부(500);를 포함하는, 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 클리닝 모듈(200)과 상기 용해제 수용부(500)는 상기 슬롯 다이 헤드(100)의 이동방향 일측과 타측에 한 쌍이 대향 형성되는 것;을 특징으로 하는, 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 슬롯 다이 헤드(100)와 마주보게 배치되고, 감겨있는 코팅 대상을 일정한 속도로 풀어 이송하는 코팅 대상 이송수단(600);을 포함하는, 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 이송수단(500)은 감겨있는 코팅 대상을 일정한 속도로 풀어주는 언와인더(610);
    코팅 대상이 이송되는 경로를 형성하는 가이드 롤러(620);
    상기 슬롯 다이 헤드(100)와 마주보게 배치되어 코팅 대상이 이송 과정에서 코팅되도록 하는 코팅 롤러(630);
    코팅 대상의 코팅면에 적외선 또는 자외선을 조사하는 건조수단(640);
    상기 건조수단(640)을 통과하며 건조된 코팅 대상을 압박하는 닙 롤(650);
    코팅이 완료된 코팅 대상을 감는 리와인더(660);를 포함하는, 클리닝 모듈을 갖는 슬롯 다이 코터.
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