KR20100118344A

KR20100118344A - 도포 장치, 도포 방법 및 이를 이용한 평판 디스플레이 장치의 제조 방법

Info

Publication number: KR20100118344A
Application number: KR1020090037127A
Authority: KR
Inventors: 최원석; 채병수; 박동찬; 이용찬
Original assignee: 엘지전자 주식회사
Priority date: 2009-04-28
Filing date: 2009-04-28
Publication date: 2010-11-05
Also published as: KR101512858B1

Abstract

도포 물질을 도포할 기판이 투입되면 제1 방향으로 이동됨으로써 상기 기판의 측면 일부를 덮는 한 쌍의 서포트 바; 상기 도포 물질을 상기 기판에 분사하는 노즐 헤드가 장착되는 것으로, 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향을 따라 이동되는 노즐 헤드 아암; 상기 기판상에 이격되며 상기 제2 방향을 따라 상기 기판의 일단부로부터 타단부로 이동됨으로써 상기 도포 물질을 도포하는 바형 코터; 상기 기판의 타단부에 마련되며 상기 바형 코터로 밀려지는 상기 도포 물질을 회수하는 회수 바; 를 포함하는 도포 장치와, 이를 이용한 도포 방법과 평판 디스플레이 장치의 제조 방법을 기재한다.

Description

도포 장치, 도포 방법 및 이를 이용한 평판 디스플레이 장치의 제조 방법{SPREADING DEVICE, SPREADING METHOD AND DISPLAY MANUFACTURING METHOD}

본 발명은 도포 장치, 도포 방법 및 이를 이용한 디스플레이 제조 방법에 관한 것으로서, 특히 대면적 평판 디스플레이 장치의 제조시 예를 들어 UV레진과 같은 도포 물질을 균일한 두께로 도포할 수 있는 도포 장치, 도포 방법 및 이를 이용항 평판 디스플레이 장치의 제조 방법에 관한 것이다.

예를 들어 액정표시장치(LCD; Liquid Crystal Display), OLED(organic light emitting diode) 표시 장치, 플라즈마 디스플레이 패널(PDP : Plasma Display Panel)과 같은 평판 디스플레이 장치의 경우 점차 그 크기가 대형화되고 있다.

특히 평판 디스플레이 장치가 공공 장소나 옥외에 설치되어 홍보용 디스플레이 장치(public information display)로 사용되는 경우 대면적화 추세가 두드러지므로 기판에 UV레진과 같은 도포 물질을 손실없이 균일한 두께로 도포할 수 있는 기술이 요구된다.

본 발명은 이러한 필요성을 감안한 것으로, 평판 디스플레이 장치의 제조시 UV레진과 같은 도포 물질을 손실없이 균일한 두께로 도포할 수 있는 자동화된 도포 장치와, 도포 방법 및 이를 이용한 평판 디스플레이 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명의 도포 장치는, 도포 물질을 도포할 기판이 투입되면 제1 방향으로 이동됨으로써 상기 기판의 측면 일부를 덮는 한 쌍의 서포트 바; 상기 도포 물질을 상기 기판에 분사하는 노즐 헤드가 장착되는 것으로, 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향을 따라 이동되는 노즐 헤드 아암; 상기 기판상에 이격되며 상기 제2 방향을 따라 상기 기판의 일단부로부터 타단부로 이동됨으로써 상기 도포 물질을 도포하는 바형 코터; 상기 기판의 타단부에 마련되며 상기 바형 코터로 밀려지는 상기 도포 물질을 회수하는 회수 바; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 도포 방법은, 기판을 준비하는 단계; 노즐 헤드로 도포 물질을 분 사하여 상기 기판상에 소정 패턴을 형성하는 단계; 바형 코터를 이용하여 상기 소정 패턴을 상기 기판 전면(全面)에 균일한 두께로 도포하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 평판 디스플레이 장치의 제조 방법은, 기판상에 도포 물질을 도포하여 평판 디스플레이 장치를 제조하는 방법에 있어서, 도포 물질이 도포될 기판 안쪽의 에지부까지 한 쌍의 서포트 바를 진입시키고, 상기 한 쌍의 서포트 바 사이로 바형 코터를 상기 기판의 일단부로부터 타단부로 이동시킴으로써 상기 도포 물질을 균일한 두께로 도포하며, 상기 기판의 타단부에 회수 바를 대기시켜 상기 바형 코터로 밀려진 상기 도포 물질을 회수하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 서포트 바와 회수 바와 바형 코터에 의하여 정의되는 사각 형상의 도포 예정 영역에 빠짐없이 도포 물질을 균일한 두께로 도포할 수 있음은 물론, 기판의 양측의 안쪽으로 서포트 바가 진입되어 기판상에 밀착된 상태에서 도포 물질이 도포되므로 기판 양측으로 도포 물질이 누출되어 손실되는 것을 방지할 수 있으며, 바형 코터의 진행 방향 종착점에는 회수 바가 마련되어 바형 코터에 의하여 밀려지는 도포 물질의 잔류분을 깨끗하게 회수하므로 기판 및 장치의 오염이 방지되고 도포 물질의 소모량을 줄일 수 있다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 한다.

도 1은 본 발명과 대비하기 위한 가상의 비교 실시예로서 기판의 측면에 서포트 바가 마련되지 않는 도포 장치를 도시한 사시도이다.

이를 참조하면, 기판(10)에 도포 물질(20)을 균일 두께로 도포하기 위하여 롤러(30)를 사용하는 가상의 실시예가 도시된다. 그러나, 이 경우 기판(10)의 양 측면이 개방되어 있고 도포 물질(20)의 누설을 방지하는 별도의 구조물이 마련되지 않으므로, 도포 물질(20)이 기판(10)의 양측으로 누설되어 도포 물질(20)이 낭비되거나 롤러(30) 양측에 다량의 도포 물질(20)이 잔류되거나 기판(10) 양측의 도포 물질(20)이 흘러 내림으로써 도포 두께를 일정하게 유지할 수 없는 문제가 생긴다.

이하에는 이러한 문제점을 개선하고 기판의 면적 변화에 능동적으로 대처할 수 있도록 도포 두께 및 도포 면적을 용이하게 가변할 수 있는 자동화된 도포 장치 및 이를 이용한 도포 방법을 설명한다.

도 2는 본 발명의 도포 장치를 도시한 사시도이다.

본 발명의 도포 장치는 한 쌍의 서포트 바(140)와, 노즐 헤드 아암(130)과, 바형 코터(160)와, 회수 바(150)를 구비한다.

서포트 바(140)는 도포 물질(105)을 도포할 기판(100)이 투입되면 제1 방향 으로 이동됨으로써 상기 기판(100)의 측면 일부를 덮는 것이다. 이하에서 제1 방향은 도시된 바에 의하면 x축 방향이며 제1 방향에 수직한 제2 방향은 y축 방향이다.

서포트 바(140) 및 바형 코터(160)가 서로 밀착 상태로 접촉되도록 서포트 바(140)는 '┏' 형상 또는 뒤집힌 'ㄱ' 자 형상의 단면을 갖는 것이 바람직하다.

노즐 헤드 아암(130)은 리니어 가이드(135)를 따라 그 이동이 안내되는 것으로, 제2 방향을 따라 이동된다. 노즐 헤드 아암(130)에는 노즐 헤드(120)가 장착되며, 노즐 헤드(120)는 도포 물질(105)을 펌프 압력으로 공급하는 공급로(110)와 연결되고 노즐 헤드 아암(130)을 따라 제 1 방향으로 이동 가능하게 장착되는 것이 바람직하다. 노즐 헤드(120)의 도포 물질(105) 분사량 및 분사 시점과, 노즐 헤드 아암(130)의 위치 제어는 카메라 등의 비젼 센서나 적외선/광 센서와 같은 비접촉 센서의 피드백을 받아 제어부(미도시)에서 자동으로 수행될 수 있다.

바형 코터(160)는 기판(100) 위에 소정 거리만큼 이격되는 평행 판으로서, 기판(100)과의 이격 거리는 도포 물질(105)의 도포 두께에 해당한다. 도시하지는 않았지만 바형 코터(160)의 이격 거리 및 이동 속도는 제어부에 의하여 자동 조절될 수 있다.

바형 코터(160)는 제2 방향을 따라 기판(100)의 도포가 시작되는 기판(100)의 일단부로부터 기판(100)의 도포가 종료되는 기판(100)의 타단부로 이동되면서 도포 물질(105)을 원하는 두께로 도포한다.

여기서, 평판 디스플레이 장치의 제조 공정에 적용될 도포 장치의 경우, 기판(100)이라 함은 유리로 된 평판을 예로 들 수 있으며, 도포 물질(105)이라 함은 컬러 필터 등을 형성하고 도포 후 자외선(UV)에 의하여 경화되는 UV레진을 예로 들 수 있다.

회수 바(150)는 기판(100)의 도포가 종료되는 기판(100)의 타단부에 마련되며 바형 코터(160)로 밀려지는 도포 물질(105)의 잔류분을 회수하는 것이다. 회수 바(150)는 이동되는 바형 코터(160)가 타고 올라오는 경사면(152)과, 바형 코터(160)에 의하여 밀려지는 도포 물질(105)의 잔류분을 회수하는 회수 홈(154)을 구비할 수 있다.

일 실시예로서, 기판(100)의 도포가 시작되기 전에 한 쌍의 서포트 바(140), 회수 바(150) 및 바형 코터(160)는 기판(100)의 안쪽에서 기판(100) 위에 밀착됨으로써 도포 예정 영역(도 5의 참조 부호 R)을 형성한다. 즉, 기판(100)의 4 모서리로부터 소정의 마진(margin)을 제외한 영역이 도포 예정 영역이 되며 도포 예정 영역은 한 쌍의 서포트 바(140), 회수 바(150), 바형 코터(160)가 기판(100)의 안쪽으로 진입되는 길이에 따라 결정된다.

도포가 시작되기 전에 한 쌍의 서포트 바(140), 회수 바(150) 및 바형 코터(160)는 기판(100) 상에 밀착됨으로써 기판(100)과 한 쌍의 서포트 바(140), 회수 바(150) 및 바형 코터(160) 사이에 틈새가 제거되며, 이에 따라 도포 물질(105)이 상기 틈새로 새어나가는 것을 방지할 수 있다. 또한, 바형 코터(160)가 기판(100)에 밀착된 상태에서 바형 코터(160)의 전체 길이에 걸쳐 빠진 부분이 없도록 도포 물질(105)이 바형 코터(160)의 선단에 충분히 공급되는 것이 바람직하다. 도포 물질(105)을 바형 코터(160)의 선단에 공급하는 과정이 완료되면 도포가 시작 된다.

도포가 시작되면 한 쌍의 서포트 바(140) 및 회수 바(150)는 기판(100) 위에 밀착된 상태를 그대로 유지하고, 바형 코터(160)만 기판(100)의 위쪽으로 소정 높이만큼 상승한다. 소정 높이는 곧 도포 두께가 된다.

즉, 바형 코터(160)의 앞쪽에 도포 물질(105)의 분사 및 공급이 완료되면 바형 코터(160)가 도포 두께만큼 상승된 후 바형 코터(160)가 기판(100)의 일단부로부터 타단부로 이동하면서 도포 예정 영역 전체에 걸쳐 도포 물질(105)을 예정된 두께로 도포한다.

도포가 완료된 기판(100)은 테이블(180)에서 배출되며 새로운 기판(100)이 테이블(180)에 투입된다. 도시하지는 않았지만, 서포트 바(140)에 묻은 도포 물질(105)을 제거하기 위하여 세정 수단이 마련되며, 세정 수단은 기판(100)의 교체시 매번 동작하거나 몇 장의 기판(100)의 작업마다 간헐적으로 동작할 수 있다. 세정 수단의 일 실시예로서, 세정액 분사 노즐과 서포트 바(140)의 세척력을 제공하는 브러쉬 등을 들 수 있다.

도 3 내지 도 8은 본 발명의 도포 장치의 동작을 순차적으로 도시한 사시도로서 도포 방법을 설명한다.

도포 방법을 요약하여 설명하면, 도포 물질(105)이 도포될 기판(100) 안쪽의 에지부까지 한 쌍의 서포트 바(140)를 진입시키고, 한 쌍의 서포트 바(140) 사이로 바형 코터(160)를 기판(100)의 일단부로부터 타단부로 이동시킴으로써 도포 물질(105)을 균일한 두께로 도포하며, 기판(100)의 타단부에 회수 바(150)를 대기시 켜 바형 코터(160)로 밀려진 상기 도포 물질(105)을 회수하는 일련의 과정을 반복한다.

먼저 도 3을 참조하면, 한 쌍의 서포트 바(140), 회수 바(150), 바형 코터(160)는 기판(100)의 투입을 위하여 기판(100)의 4 모서리로부터 이격된 초기 위치에 대기한다. 이들 부재와 접촉 간섭없이 기판(100)이 투입되기 위함이다.

도포가 필요한 기판(100)이 테이블(180)에 안착된다. 도시하지는 않았지만, 제어부의 지령에 따라 기판(100)을 자동으로 투입 배출하는 기판(100) 이송 장치가 마련되는 것이 바람직하다.

도 4를 참조하면, 기판(100)의 투입이 완료되었고, 한 쌍의 서포트 바(140)와, 회수 바(150) 및 바형 코터(160)가 기판(100)의 안쪽으로 에지부까지 진입됨으로써 기판(100)의 상측 개방된 부분인 도포 예정 영역을 형성한다. 도포 예정 영역(R)은 한 쌍의 서포트 바(140)와, 회수 바(150) 및 바형 코터(160)가 이루는 내부 영역으로서 바형 코터(160)의 이동에 의하여 도포 물질(105)이 빠짐없이 도포되는 영역이다.

한 쌍의 서포트 바(140)와, 회수 바(150) 및 바형 코터(160)는 기판(100)의 상측에 밀착되어 틈새가 제거됨으로써, 도포 물질(105)이 상기 틈새로 누설되지 않는다.

도 5를 참조하면, 도포 예정 영역(R)의 정의가 완료되었다. 바형 코터(160)가 이동을 개시하기 전에 바형 코터(160)의 바로 앞쪽에 바형 코터(160)의 전체 길이에 걸쳐 도포 물질(105)을 충분히 공급한다. 즉, 바형 코터(160)가 기판(100)의 타단부를 향하여 이동 개시되기 전에, 바형 코터(160)의 전체 길이에 걸쳐 도포 물질(105)을 분사한다.

바형 코터(160)는 이동 방향을 향하여 경사진 것이 도포층의 균일 형성에 유리하다.

도 6은 바형 코터(160)의 바로 앞쪽에 도포 물질(105)의 공급이 완료된 다음 도포 예정 영역에 소정 패턴으로 도포 물질(105)이 공급되는 것을 설명한다. 여기서, 소정 패턴은 도시된 지그재그 형상뿐만 아니라, 일정 간격의 점 형상, 직각으로 구부러진 일직선 형상, 랜덤 형상 등 기판(100) 및 도포 물질(105)의 종류에 알맞는 다양한 것이 될 수 있다.

도 10은 본 발명의 노즐 헤드에 의하여 분사된 소정 패턴의 다양한 형태를 도시한 평면도이다. 이에 따르면 기판(100)상에 도포 물질(105)의 분사로 형성되는 소정 패턴이 지그재그 형상, 복수의 점 형상, 복수 개의 사각형 형상 등의 다양한 형태를 갖는 실시예를 볼 수 있다.

도포 물질(105)의 공급은 노즐 헤드(120)에 의하며, 도시된 실시예에 의하면 노즐 헤드(120)는 노즐 헤드 아암(130)을 따라 제1 방향으로 이동 가능하고 노즐 헤드 아암(130)은 리니어 가이드(135)로 안내되며 제2 방향을 이동 가능하다. 노즐 헤드(120) 및 노즐 헤드 아암(130)의 상대적인 위치 이동에 따라 도포 물질(105)의 공급 패턴에 변화를 줄 수 있게 된다.

노즐 헤드(120)는 바형 코터(160)가 진행하는 방향의 앞쪽으로 이동되면서 도포 물질(105)을 기판(100)에 소정 패턴으로 분사한다.

도 7은 도포 물질(105)의 공급이 완료된 다음, 바형 코터(160)가 이동하며 도포 예정 영역 전체를 골고루 도포하는 공정을 설명한다. 바형 코터(160) 및 기판(100)의 이격 거리(t)는 제어부에 의하여 자동 조절 가능하며 이에 따라 도포 두께를 결정할 수 있다. 바형 코터(160)의 후단은 도포가 완료된 도포면(101)이 된다.

도 8은 도포가 완료된 다음 도포 물질(105)의 잔류분이 회수 바(150)로 회수되는 것을 설명한다. 바형 코터(160)는 도포 예정 영역을 벗어나는 즉시 회수 바(150)의 경사면(152)을 타고 올라가며 회수 바(150)는 기판(100)상에 밀착되어 있으므로 기판(100) 및 회수 바(150)의 틈새가 없고, 따라서, 도포 물질(105)이 이 틈새로 누설될 염려가 없다.

바형 코터(160)는 회수 바(150)의 경사면(152)을 타고 계속 이동되며 회수 바(150) 상측에 형성된 회수 홈(154)에 도포 물질(105)의 잔류분을 밀어넣는다. 회수 홈(154)에 모여진 도포 물질(105)은 버려지거나, 재처리를 통하여 다시 사용될 수 있다.

바형 코터(160)가 회수 바(150)의 상측으로 이동된 상태는 도포가 완전히 종료된 상태이며 도포 완료된 기판(100)은 예를 들어 UV레진을 도포한 경우 UV경화기가 있는 공정으로 배출된다. 기판(100)의 배출 및 공급은 상술한 바와 같이 자동화된 이송 수단에 의할 수 있다.

한편, 기판(100)이 유리 재질이고 도포 물질(105)이 컬러 필터 등으로 기능하는 UV레진인 경우, 평판 디스플레이 장치의 제조 공정에 도포 장치가 사용될 수 있다. 이와 같이 본 발명의 도포 장치를 평판 디스플레이 제조 공정에 적용할 경우, 본 발명은 평판 디스플레이 장치의 제조 방법을 제공한다.

즉, 기판(100)상에 도포 물질(105)을 도포하여 평판 디스플레이 장치를 제조하는 방법에 있어서, 도포 물질(105)이 도포될 기판(100) 안쪽의 에지부까지 한 쌍의 서포트 바(140)를 진입시키고, 한 쌍의 서포트 바(140) 사이로 바형 코터(160)를 기판(100)의 일단부로부터 타단부로 이동시킴으로써 도포 물질(105)을 균일한 두께로 도포하며, 기판(100)의 타단부에 회수 바(150)를 대기시켜 바형 코터(160)로 밀려진 상기 도포 물질(105)을 회수한다.

도 9를 참조하면 도포 물질의 도포가 완료된 도포면이 기판 상에 형성된 평판 디스플레이 장치가 도시된다.

이상에서 본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.

도 2는 본 발명의 도포 장치를 도시한 사시도이다.

도 9는 도포 물질의 도포가 완료된 도포면이 기판 상에 형성된 평판 디스플레이 장치를 도시한다.

도 10은 본 발명의 노즐 헤드에 의하여 분사된 소정 패턴의 다양한 형태를 도시한 평면도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

100...기판 101...도포면

105...도포 물질 110...공급로

120...노즐 헤드(nozzle head)

130...노즐 헤드 아암(nozzle head arm)

135...리니어 가이드(linear guide)

140...서포트 바 150...회수 바

152...경사면 154...회수 홈

160...바형 코터(bar type coater)

180...테이블

Claims

도포 물질을 도포할 기판이 투입되면 제1 방향으로 이동됨으로써 상기 기판의 측면 일부를 덮는 한 쌍의 서포트 바;

상기 도포 물질을 상기 기판에 분사하는 노즐 헤드가 장착되는 것으로, 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향을 따라 이동되는 노즐 헤드 아암;

상기 기판상에 이격되며 상기 제2 방향을 따라 상기 기판의 일단부로부터 타단부로 이동됨으로써 상기 도포 물질을 도포하는 바형 코터;

상기 기판의 타단부에 마련되며 상기 바형 코터로 밀려지는 상기 도포 물질을 회수하는 회수 바; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
제1항에 있어서,

상기 회수 바는,

상기 이동되는 바형 코터가 타고 올라오는 경사면과, 상기 도포 물질을 회수하는 회수 홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
제2항에 있어서,

상기 노즐 헤드는 정지 또는 상기 노즐 헤드 아암을 타고 상기 제1 방향으로 이동되면서 상기 도포 물질을 분사하는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
제1항에 있어서,

상기 서포트 바를 세정하는 세정 수단; 을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 한 쌍의 서포트 바, 상기 회수 바 및 상기 바형 코터가 상기 기판의 안쪽에서 상기 기판상에 밀착됨으로써 도포 예정 영역을 형성하며,

상기 바형 코터의 앞쪽에 상기 도포 물질이 분사되면 상기 바형 코터가 도포 두께만큼 상승된 후 상기 바형 코터가 상기 기판의 일단부로부터 타단부로 이동하면서 상기 도포 예정 영역 전체에 걸쳐 상기 도포 물질을 균일한 두께로 도포하는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
기판을 준비하는 단계;

노즐 헤드로 도포 물질을 분사하여 상기 기판상에 소정 패턴을 형성하는 단계;

바형 코터를 이용하여 상기 소정 패턴을 상기 기판 전면(全面)에 균일한 두께로 도포하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 도포 방법.
제6항에 있어서,

상기 기판의 한쪽 단부에서 상기 바형 코터에 의하여 도포되고 남은 상기 도포 물질을 회수하는 단계; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도포 방법.
제6항에 있어서,

상기 소정 패턴은 지그재그형, 복수 개의 점형, 복수 개의 사각형 중 적어도 하나의 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 도포 방법.
제6항에 있어서,

상기 도포 물질은 광 경화성 물질인 것을 특징으로 하는 도포 방법.
제6항에 있어서,

상기 기판을 준비하는 단계에 앞서 상기 노즐 헤드를 세정하는 단계; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 도포 방법.
제6항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,

한 쌍의 서포트 바, 회수 바 및 상기 바형 코터가 상기 기판의 안쪽에서 상기 기판상에 밀착됨으로써 상기 에지부를 모서리로 하는 도포 예정 영역을 형성하며,

상기 바형 코터의 앞쪽에 상기 도포 물질이 분사되면 상기 바형 코터가 도포 두께만큼 상승한 후 상기 바형 코터가 상기 기판의 일단부로부터 타단부로 이동하면서 상기 도포 예정 영역 전체에 걸쳐 상기 도포 물질을 균일한 두께로 도포하는 것을 특징으로 하는 도포 방법.
기판상에 도포 물질을 도포하여 평판 디스플레이 장치를 제조하는 방법에 있어서,

도포 물질이 도포될 기판 안쪽의 에지부까지 한 쌍의 서포트 바를 진입시키고,

상기 한 쌍의 서포트 바 사이로 바형 코터를 상기 기판의 일단부로부터 타단부로 이동시킴으로써 상기 도포 물질을 균일한 두께로 도포하며,

상기 기판의 타단부에 회수 바를 대기시켜 상기 바형 코터로 밀려진 상기 도 포 물질을 회수하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치의 제조 방법.
제12항에 있어서,

상기 바형 코터는 상기 회수 바의 경사면을 타고 올라가면서 상기 회수 바에 마련된 회수 홈에 상기 도포 물질을 밀어넣는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치의 제조 방법.
제12항 또는 제13항에 있어서,

상기 한 쌍의 서포트 바, 상기 회수 바 및 상기 바형 코터가 상기 기판의 안쪽에서 상기 기판상에 밀착됨으로써 상기 에지부를 모서리로 하는 도포 예정 영역을 형성하며,

상기 바형 코터의 앞쪽에 상기 도포 물질이 분사되면 상기 바형 코터가 도포 두께만큼 상승한 후 상기 바형 코터가 상기 기판의 일단부로부터 타단부로 이동하면서 상기 도포 예정 영역 전체에 걸쳐 상기 도포 물질을 균일한 두께로 도포하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치의 제조 방법.