JP2009269112A - カッタ刃の清掃方法およびカッタ刃の清掃装置、並びに、これを備えた粘着テープ貼付け装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】洗浄液の貯留された容器内において含浸された清掃用部材56に形成した切り込み58の開口59側から側端に刃縁を備えたカッタ刃12を挿入し、刃面を切り込み58に沿わせて所定量だけ水平移動する。その後、カッタ刃12を上方に抜き出すことにより、刃面の付着物を除去する。
【選択図】図14
Description
清掃用部材に形成した切り込みの側方からカッタ刃の刃縁を挿入しつつ、その刃面を切り込み面に沿わせるよう清掃用部材とカッタ刃を相対的に移動し、その後、挿入方向と異なる方向に清掃用部材とカッタ刃を相対的に移動させ、清掃用部材の挿入開始位置と異なる位置からカッタ刃を抜き出すことを特徴とする。
前記清掃用部材は、カッタ刃の挿入開始位置から進行方向に向けて先細りでテーパー状の切り欠きが形成されていることを特徴とする。
前記清掃用部材は、洗浄液を含浸させたものであることを特徴とする。
前記洗浄液は、付着防止用の離型性を備えているものであることを特徴とする。
前記カッタ刃への付着物の有無を監視センサで監視することを特徴とする。
前記カッタ刃を上方の退避位置と下方の切断作用位置とにわたって昇降可能に配備し、清掃用部材を、カッタ刃の昇降移動径路へ突入する清掃用位置と、前記昇降移動径路から外れた後退位置とにわたって水平移動可能に配備し、
清掃用位置にある清掃用部材に対してカッタ刃がテープ切断方向に水平移動するよう清掃用部材とカッタ刃を相対的に移動させることで、清掃用部材に形成した切り込みの側方から刃縁を挿入させ、その刃面を切り込み面に沿わせた後、カッタ刃を上昇させることにより清掃用部材から上方にカッタ刃を抜き出すよう構成してあることを特徴とする。
前記チャックテーブルに載置保持された基板の上方に表面保護用の粘着テープを、その粘着面が下向きとなる姿勢で供給するテープ供給手段と、
供給された前記粘着テープを押圧しながら転動移動して基板の上向き表面に貼り付ける貼付けローラと、
昇降可能なカッタ刃を、基板に貼り付けられた粘着テープに突き刺して基板外周に沿って相対走行させるテープ切断装置と、
テープ切断により発生した不要テープを剥離回収してゆく剥離ローラと、
請求項6に記載のカッタ刃の清掃装置と、
を備えたことを特徴とする。
9 … テープ切断装置
12 … カッタ刃
17 … 貼付けローラ
19 … 剥離ローラ
50 … カッタ刃清掃装置
56 … 清掃用部材
58 … 切り込み
60 … センサ
75 … 監視センサ
a … 清掃用位置
b … 後退位置
W … 半導体ウエハ
T … 粘着テープ(保護テープ)
T’… 不要テープ
Claims (7)
- 基板の表面に貼り付けられた粘着テープを基板外形に沿って切り抜くカッタ刃の清掃方法であって、
清掃用部材に形成した切り込みの側方からカッタ刃の刃縁を挿入しつつ、その刃面を切り込み面に沿わせるよう清掃用部材とカッタ刃を相対的に移動し、その後、挿入方向と異なる方向に清掃用部材とカッタ刃を相対的に移動させ、清掃用部材の挿入開始位置と異なる位置からカッタ刃を抜き出す
ことを特徴とするカッタ刃の清掃方法。 - 請求項1に記載のカッタ刃の清掃方法において、
前記清掃用部材は、カッタ刃の挿入開始位置から進行方向に向けて先細りでテーパー状の切り欠きが形成されている
ことを特徴とするカッタ刃の清掃方法。 - 請求項1または請求項2に記載のカッタ刃の清掃方法において、
前記清掃用部材は、洗浄液を含浸させたものである
ことを特徴とするカッタ刃の清掃方法。 - 請求項3に記載のカッタ刃の清掃方法において、
前記洗浄液は、付着防止用の離型性を備えているものである
ことを特徴とするカッタ刃の清掃方法。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のカッタ刃の清掃方法において、
前記カッタ刃への付着物の有無を監視センサで監視する
ことを特徴とするカッタ刃の清掃方法。 - 基板の表面に貼り付けられた粘着テープを基板外形に沿って切り抜くカッタ刃の清掃装置であって、
前記カッタ刃を上方の退避位置と下方の切断作用位置とにわたって昇降可能に配備し、清掃用部材を、カッタ刃の昇降移動径路へ突入する清掃用位置と、前記昇降移動径路から外れた後退位置とにわたって水平移動可能に配備し、
清掃用位置にある清掃用部材に対してカッタ刃がテープ切断方向に水平移動するよう清掃用部材とカッタ刃を相対的に移動させることで、清掃用部材に形成した切り込みの側方から刃縁を挿入させ、その刃面を切り込み面に沿わせた後、カッタ刃を上昇させることにより清掃用部材から上方にカッタ刃を抜き出すよう構成してある
ことを特徴とするカッタ刃の清掃装置。 - 基板を載置保持するチャックテーブルと、
前記チャックテーブルに載置保持された基板の上方に表面保護用の粘着テープを、その粘着面が下向きとなる姿勢で供給するテープ供給手段と、
供給された前記粘着テープを押圧しながら転動移動して基板の上向き表面に貼り付ける貼付けローラと、
昇降可能なカッタ刃を、基板に貼り付けられた粘着テープに突き刺して基板外周に沿って相対走行させるテープ切断装置と、
テープ切断により発生した不要テープを剥離回収してゆく剥離ローラと、
請求項6に記載のカッタ刃の清掃装置と、
を備えたことを特徴とする粘着テープ貼付け装置。
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