KR20190045318A - 기판 홀더, 도금 장치, 기판 홀더의 제조 방법 및 기판을 유지하는 방법 - Google Patents

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Abstract

기판을 협지하여 고정하는 제1 및 제2 유지 부재를 구비하고, 상기 제1 유지 부재는, 제1 유지 부재 본체와, 상기 제1 유지 부재 본체에 마련되며, 상기 제1 유지 부재 본체의 면에 평행한 축의 둘레를 회전 가능한 또는 상기 제1 유지 부재 본체의 면에 교차하는 방향으로 왕복 이동 가능한 클램프를 가지고, 상기 제2 유지 부재는, 제2 유지 부재 본체를 가지고, 상기 클램프는, 상기 제1 유지 부재 본체 및 상기 제2 유지 부재 본체가 서로 접촉한 상태로 상기 제2 유지 부재에 결합하여, 상기 제2 유지 부재를 상기 제1 유지 부재에 고정 가능하게 구성되어 있는, 기판 홀더.

Description

기판 홀더, 도금 장치, 기판 홀더의 제조 방법 및 기판을 유지하는 방법
본 발명은 기판 홀더, 도금 장치, 기판 홀더의 제조 방법 및 기판을 유지하는 방법에 관한 것이다.
종래, 반도체 웨이퍼나 프린트 기판 등의 기판의 표면에 배선이나 범프(돌기형 전극) 등을 형성하거나 하는 것이 행해지고 있다. 이 배선 및 범프 등을 형성하는 방법으로서, 전해 도금법이 알려져 있다.
전해 도금법에 이용하는 도금 장치에서는, 원형 또는 다각형의 기판의 단부면을 시일하고, 표면(피도금면)을 노출시켜 유지하는 기판 홀더를 구비한다. 이러한 도금 장치에 있어서 기판 표면에 도금 처리를 행할 때는, 기판을 유지한 기판 홀더를 도금액 중에 침지시킨다.
특허문헌 1에는, 반도체 웨이퍼의 기판 홀더가 기재되어 있다. 이 기판 홀더에서는, 고정 유지 부재[제1 유지 부재(22)]에 배치한 기판을 가동 유지 부재[제2 유지 부재(24)]로 사이에 협지하고, 제2 유지 부재(24) 상의 누름 링(27)을 회전시켜 제1 유지 부재(22) 상의 클램퍼(33)와 결합시킴으로써, 기판을 기판 홀더에 고정하고 있다.
특허문헌 2에는, 각형의 프린트 기판의 기판 유지용 지그가 기재되어 있다. 이 기판 유지용 지그에서는, 직사각형의 프레임(20)에 마련된 4부분의 파지 부재(30)로 프린트 기판(P)을 고정하고 있다.
특허문헌 3에는, 기판을 수평인 상태로 반송하여, 도금 유닛(26)의 유지 베이스(42) 상에 수평으로 유지된 상태로 도금 처리를 실시하는 도금 장치가 기재되어 있다.
또한, 전해 도금에서는, 도금 처리 중에, 기판 홀더의 컨택트를 통해 기판에 급전이 행해지지만, 이 컨택트를 기판 홀더에 복수 부분 마련하여, 도금 처리할 때의 도금 금속막 두께의 면내 균일성을 양호하게 하는 것이, 지금까지 원형의 기판을 중심으로 검토되어 왔다. 급전 단자와 외부 접속 접점의 접촉 상태가 나쁘면, 급전 단자와 외부 접속 접점 사이의 전기 저항이 변화하는 일이 있다. 결과로서, 불균일한 전류가 외부 접속 접점을 통하여 내부 접점에 흘러 버리는 경우가 있다. 특히 최근은, 도전층의 두께는 얇아지는 경향이 있고, 또한 기판(W)에 흐르게 하는 전류의 밀도를 높게 하는 경향이 있다. 이 때문에, 외부 접속 접점 사이에 전기 저항의 근소한 편차가 있어도, 기판의 표면에 형성되는 금속막의 막 두께의 균일성이 크게 손상되기 쉽다. 그래서, 복수의 외부 접속 접점을 일체 부재로 형성하는 것이 생각되지만, 이 경우, 기판의 도금 전에 각각의 외부 접속 접점 사이의 전기 저항을 측정할 수 없기 때문에, 컨택트를 복수 부분 마련하는 경우에, 급전이 양호하게 이루어지고 있는지를 도금 처리 전에 확인하는, 소위 통전 확인 처리를 행하는 방식이 최근 검토되어 있다(특허문헌 4). 이 방식에 따르면, 쌍이 되는 컨택트끼리가 서로 독립된 상태로 마련되고, 이 쌍이 되는 컨택트가 복수 마련됨으로써, 통전 확인을, 양호하게 또한 확실하게 행할 수 있게 되는 것이다.
특허문헌 1: 일본 특허 공개 제2016-117917호 공보 특허문헌 2: 일본 특허 제4179707호 공보 특허문헌 3: 일본 특허 공개 제2009-270167호 공보 특허문헌 4: 일본 특허 공개 제2016-117917호 공보
특허문헌 1에 기재된 구성은, 원형의 반도체 웨이퍼를 도금 처리하기 위한 것이지만, 현재, 여러 가지의 치수, 형상, 두께의 기판을 도금 처리하는 것이 요청되어 오고 있다. 특히, 특허문헌 1의 기판 홀더로 대형 박막의 기판을 유지하는 경우, 누름 링의 회전에 의해 기판에 휨을 발생시킬 가능성이 있다.
특허문헌 2에 기재된 기판 유지용 지그에서는, 파지 부재(30)의 한쌍의 블록(31, 32) 사이에 기판의 단부를 협지한 상태로 양 블록을 나사 체결하여 기판을 파지 부재(30)로 고정하는데, 이 구성은, 기판 유지용 지그에 의한 유지를 자동화하는 데 적합하지 않다.
특허문헌 3에 기재된 구성에서는, 유리 기판의 피처리면을 상향으로 한 채로, 장치 내를 반송하여 처리함으로써, 복잡한 자세 전환 기구를 마련하는 일없이 장치를 소형화하는 것이 기재되어 있다. 그러나, 유리 기판보다 박막으로 휨이 있을 것 같은 기판을 처리하는 경우, 피처리면을 상향으로 한 채로 반송하면, 기판 표면에 상처를 발생시키거나, 기판이 파손될 우려가 있다.
한편, 특허문헌 4에 기재되어 있는 바와 같이, 원형의 기판을 도금 처리할 때에 사용해 온 기판 홀더는, 예컨대 사각 형상의 기판을 도금 처리할 때에 그대로 사용할 수는 없는 것을 알게 되었다.
예컨대, 사각 형상의 기판에 대하여 면내 균일성을 양호하게 유지하면서 도금 처리하기 위해서는, 컨택트의 위치나, 급전량을 적절하게 제어하는 것이 요구된다. 또한, 피처리 대상이 되는 기판이 대형화한 경우에는, 컨택트의 수나, 컨택트에 접속하는 케이블의 수를 증가시킬 필요도 생긴다.
경우에 따라서는, 특정 컨택트에 대하여 기판에의 급전을 증가시키기 위해, 컨택트에 접속되어 있는 케이블을 통과하는 전류의 전류량을 크게 하는 것도 필요로 되지만, 전류량을 증가시키기 위해서는, 일반적으로 케이블의 직경을 크게 할 필요가 있다. 그러나, 케이블의 수 및/또는 케이블 직경을 증가시키면, 기판 홀더의 크기가 대형화하여, 기판 홀더의 반송 등에 경우에 따라서는 지장이 생긴다고 하는 우려도 상정된다.
본 발명의 목적은 전술한 과제 중 적어도 일부를 해결하는 것이다.
[1] 본 발명의 일형태에 따른 기판 홀더는, 기판을 협지하여 고정하는 제1 및 제2 유지 부재를 구비하고, 상기 제1 유지 부재는, 제1 유지 부재 본체와, 상기 제1 유지 부재 본체에 마련되며, 상기 제1 유지 부재 본체의 면에 평행한 축의 둘레를 회전 가능한 또는 상기 제1 유지 부재 본체의 면에 교차하는 방향으로 왕복 이동 가능한 클램프를 가지고, 상기 제2 유지 부재는, 제2 유지 부재 본체를 가지고, 상기 클램프는, 상기 제1 유지 부재 본체 및 상기 제2 유지 부재 본체가 서로 접촉한 상태로 상기 제2 유지 부재에 결합하여, 상기 제2 유지 부재를 상기 제1 유지 부재에 고정 가능하게 구성되어 있다.
[2] 본 발명의 일형태에 따른 도금 장치는, 기판을 유지하는 기판 홀더와, 기판 홀더를 받아들여 상기 기판에 도금 처리하는 도금조를 구비한다. 상기 기판 홀더는, 기판을 협지하여 고정하는 제1 및 제2 유지 부재를 구비한다. 상기 제1 유지 부재는, 제1 유지 부재 본체와, 상기 제1 유지 부재 본체에 마련되며, 상기 제1 유지 부재 본체의 면에 평행한 축의 둘레를 회전 가능한 또는 상기 제1 유지 부재 본체의 면에 교차하는 방향으로 왕복 이동 가능한 클램프를 갖는다. 상기 제2 유지 부재는, 제2 유지 부재 본체를 갖는다. 상기 클램프는, 상기 제1 유지 부재 본체 및 상기 제2 유지 부재 본체가 서로 접촉한 상태로, 상기 제2 유지 부재를 상기 제1 유지 부재측으로 압압하도록 상기 제2 유지 부재에 결합하도록 구성되어 있다.
[3] 본 발명의 일형태에 따른 기판을 유지하는 방법에서는, 상기 기판을 제1 및 제2 유지 부재 사이에 협지하고, 상기 제1 유지 부재의 면에 평행한 축의 둘레를 회전 가능한 또는 상기 제1 유지 부재 본체의 면에 교차하는 방향으로 왕복 이동 가능한 클램프에 의해, 상기 제2 유지 부재를 상기 제1 유지 부재측으로 압압하도록 고정한다.
[4] 본 발명의 일형태에 따른 기판 홀더는, 기판을 협지하는 제1 및 제2 유지 부재를 구비하고, 상기 제1 유지 부재는, 제1 유지 부재 본체와, 피복이 제거된 일단부를 갖는 적어도 하나의 케이블과, 상기 기판에 전기적으로 접촉 가능하게 구성된 적어도 하나의 제1 도전 부재와, 상기 제1 유지 부재 본체에 마련되고, 상기 제1 도전 부재 또는 상기 제1 도전 부재와 전기적으로 도통되는 제2 도전 부재와 함께, 상기 케이블의 상기 일단부를 협지하도록 구성되어 있는 협지 부재를 갖는다.
[5] 본 발명의 일형태에 따른 도금 장치는, 기판을 유지하는 기판 홀더와, 기판 홀더를 받아들여 상기 기판에 도금 처리하는 도금조를 구비하고, 상기 기판 홀더는, 제1 유지 부재를 가지고, 상기 제1 유지 부재는, 제1 유지 부재 본체와, 피복이 제거된 일단부를 갖는 적어도 하나의 케이블과, 상기 기판에 전기적으로 접촉 가능하게 구성된 적어도 하나의 제1 도전 부재와, 상기 제1 유지 부재 본체에 마련되며, 상기 제1 도전 부재 또는 상기 제1 도전 부재와 전기적으로 도통되는 제2 도전 부재와 함께, 상기 케이블의 상기 일단부를 협지하도록 구성되어 있는 협지 부재를 갖는다.
[6] 본 발명의 일형태에 따른 기판 홀더의 제조 방법은, 상기 기판을 유지하는 제1 유지 부재에 있어서, 피복이 제거된 일단부를 갖는 적어도 하나의 케이블을 배치하고, 상기 기판에 전기적으로 접촉 가능하게 구성된 적어도 하나의 제1 도전 부재, 또는 상기 제1 도전 부재와 전기적으로 도통되는 제2 도전 부재와 함께, 상기 케이블의 상기 일단부를 협지 부재로 협지하여, 상기 케이블과 상기 제1 도전 부재 사이의 전기적인 접속을 확립한다.
도 1은 본 발명의 일실시형태에 따른 기판 홀더가 사용되는 도금 장치의 전체 배치도이다.
도 2a는 일실시형태에 따른 기판 홀더의 개략 정면도이다.
도 2b는 기판 홀더의 개략 측면도이다.
도 2c는 기판 홀더의 개략 배면도이다.
도 3a는 기판 홀더의 전방 사시도이다.
도 3b는 기판 홀더의 후방 사시도이다.
도 4a는 기판 홀더의 전면도이다.
도 4b는 기판 홀더의 배면도이다.
도 5a는 백 플레이트의 정면도이다.
도 5b는 백 플레이트의 배면도이다.
도 6a는 백 플레이트의 부착 상태를 나타내는, 기판 홀더의 일부 확대 배면도이다.
도 6b는 백 플레이트의 부착 상태를 나타내는, 기판 홀더의 일부 확대 사시도이다.
도 7은 클램프와 연결 부재의 관계를 나타내는 사시도이다.
도 8a는 클램핑 상태의 클램프의 사시도이다.
도 8b는 클램핑 상태의 클램프의 측면도이다.
도 9a는 클램핑 상태의 클램프의 단면 사시도이다.
도 9b는 클램핑 상태의 클램프의 단면도이다.
도 10a는 언클램핑 상태의 클램프의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 10b는 언클램핑 상태의 클램프의 측면도이다.
도 11a는 언클램핑 상태의 클램프의 단면 사시도이다.
도 11b는 언클램핑 상태의 클램프의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 12a는 백 플레이트의 클립을 나타내는 일부 절결 측면도이다.
도 12b는 백 플레이트의 클립을 나타내는 일부 확대 사시도이다.
도 13a는 폐쇄 시의 클립의 상태를 나타내는 일부 절결 사시도이다.
도 13b는 폐쇄 시의 클립의 상태를 나타내는 일부 절결 단면도이다.
도 14a는 개방 시의 클립의 상태를 나타내는 일부 절결 사시도이다.
도 14b는 개방 시의 클립의 상태를 나타내는 일부 절결 단면도이다.
도 15는 프론트 플레이트의 이너 시일부를 나타내는 단면도이다.
도 16은 프론트 플레이트의 이너 시일부 및 아우터 시일부를 나타내는 단면도이다.
도 17은 프론트 플레이트 본체의 배면도이다.
도 18은 프론트 플레이트의 커넥터를 포함하는 영역의 일부 확대 평면도이다.
도 19a는 프론트 패널의 단면 사시도이다.
도 19b는 프론트 패널의 단면도이다.
도 19c는 케이블의 배치를 나타내는 프론트 패널의 일부 확대 사시도이다.
도 20a는 배선 버퍼부의 도시를 생략한 경우의, 페이스부의 케이블 도입 위치 부근의 사시도이다.
도 20b는 배선 버퍼부의 도시를 생략한 경우의, 페이스부의 케이블 도입 위치 부근을 나타내는 상면도이다.
도 20c는 배선 버퍼부의 도시를 생략한 경우의, 페이스부의 케이블 도입 위치 부근을 나타내는 상면도의 확대도이다.
도 21a는 커넥터에 가까운 측의 페이스부의 코너부 근방에 있어서의 배면도이다.
도 21b는 커넥터에 가까운 측의 페이스부의 코너부 근방을 더 확대한 배면도이다.
도 21c는 도 21a의 C-C선에 있어서의 단면도이다.
도 21d는 케이블의 피복을 제거한 부분의 사시도이다.
도 22는 케이블과 외부 접속 접점의 접속 관계를 설명하는 설명도이다.
이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 이하의 각 실시형태에 있어서, 동일 또는 상당하는 부재에는 동일 부호를 붙이고 중복하는 설명을 생략한다. 또한, 본 명세서에 있어서 「전면」, 「배면」, 「프론트」, 「백」, 「상」, 「하」, 「좌」, 「우」 등의 표현을 이용하는데, 이들은, 설명의 형편상, 예시된 도면의 지면 상에 있어서의 위치, 방향을 나타내는 것이며, 장치 사용 시 등의 실제의 배치에서는 상이한 경우가 있다.
도 1은 본 발명의 일실시형태에 따른 기판 홀더가 사용되는 도금 장치의 전체 배치도이다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 이 도금 장치(100)는, 기판 홀더(1)에 기판(피처리물의 일례에 상당함)을 로드하고, 또는 기판 홀더(1)로부터 기판을 언로드하는 로드/언로드부(110)와, 기판을 처리하는 처리부(120)와, 세정부(50a)로 크게 나누어진다. 처리부(120)는, 또한, 기판의 전처리 및 후처리를 행하는 전처리·후처리부(120A)와, 기판에 도금 처리를 행하는 도금 처리부(120B)를 포함한다. 또한, 이 도금 장치(100)로 처리하는 기판은, 각형 기판, 원형 기판을 포함한다. 또한, 각형 기판은, 직사각형 등의 다각 형태의 유리 기판, 액정 기판, 프린트 기판, 그 외의 다각 형태의 도금 대상물을 포함한다. 원형 기판은, 반도체 웨이퍼, 유리 기판, 그 외의 원형의 도금 대상물을 포함한다.
로드/언로드부(110)는, 2대의 카세트 테이블(25)과, 기판 탈착 기구(29)를 갖는다. 카세트 테이블(25)은, 반도체 웨이퍼, 유리 기판, 액정 기판, 프린트 기판 등의 기판을 수납한 카세트(25a)를 탑재한다. 기판 탈착 기구(29)는, 기판을 기판 홀더(1)(도 2a 이후에서 후술)에 착탈하도록 구성된다. 또한, 기판 탈착 기구(29)의 근방(예컨대 하방)에는 기판 홀더(1)를 수용하기 위한 스토커(30)가 마련된다. 이들 유닛(25, 29, 30)의 중앙에는, 이들 유닛 사이에서 기판을 반송하는 반송용 로보트로 이루어지는 기판 반송 장치(27)가 배치되어 있다. 기판 반송 장치(27)는, 주행 기구(28)에 의해 주행 가능하게 구성된다.
세정부(50a)는, 도금 처리 후의 기판을 세정하여 건조시키는 세정 장치(50)를 갖는다. 기판 반송 장치(27)는, 도금 처리 후의 기판을 세정 장치(50)에 반송하여, 세정된 기판을 세정 장치(50)로부터 취출하도록 구성된다.
전처리·후처리부(120A)는, 프리웨트조(pre-wet bath)(32)와, 프리소우크조(pre-soak bath)(33)와, 프리린스조(34)와, 블로우조(35)와, 린스조(36)를 갖는다. 프리웨트조(32)에서는, 기판이 순수에 침지된다. 프리소우크조(33)에서는, 기판의 표면에 형성한 시드층 등의 도전층의 표면의 산화막이 에칭 제거된다. 프리린스조(34)에서는, 프리소우크 후의 기판이 기판 홀더와 함께 세정액(순수 등)으로 세정된다. 블로우조(35)에서는, 세정 후의 기판의 액 탈수가 행해진다. 린스조(36)에서는, 도금 후의 기판이 기판 홀더와 함께 세정액으로 세정된다. 프리웨트조(32), 프리소우크조(33), 프리린스조(34), 블로우조(35), 린스조(36)는, 이 순서로 배치되어 있다. 또한, 이 도금 장치(100)의 전처리·후처리부(120A)의 구성은 일례이며, 도금 장치(100)의 전처리·후처리부(120A)의 구성은 한정되지 않고, 다른 구성을 채용하는 것이 가능하다.
도금 처리부(120B)는, 오버플로우조(38)를 구비한 복수의 도금조(39)를 갖는다. 각 도금조(39)는, 내부에 하나의 기판을 수납하고, 내부에 유지한 도금액 중에 기판을 침지시켜 기판 표면에 구리 도금 등의 도금을 행한다. 여기서, 도금액의 종류는, 특별히 한정되는 일은 없고, 용도에 따라 여러 가지 도금액이 이용된다.
도금 장치(100)는, 이들 각 기기의 측방에 위치하고, 이들 각 기기의 사이에서 기판 홀더를 기판과 함께 반송하는, 예컨대 리니어 모터 방식을 채용한 기판 홀더 반송 장치(37)를 갖는다. 이 기판 홀더 반송 장치(37)는, 기판 탈착 기구(29), 프리웨트조(32), 프리소우크조(33), 프리린스조(34), 블로우조(35), 린스조(36) 및 도금조(39)과의 사이에서 기판 홀더를 반송하도록 구성된다.
이상과 같이 구성되는 도금 장치(100)를 포함하는 도금 처리 시스템은, 전술한 각 부를 제어하도록 구성된 컨트롤러(175)를 갖는다. 컨트롤러(175)는, 미리 정해진 프로그램을 저장한 메모리(175B)와, 메모리(175B)의 프로그램을 실행하는 CPU(Central Processing Unit)(175A)와, CPU(175A)가 프로그램을 실행함으로써 실현되는 제어부(175C)를 갖는다. 제어부(175C)는, 예컨대, 기판 반송 장치(27)의 반송 제어, 기판 탈착 기구(29)에 있어서의 기판의 기판 홀더에의 착탈 제어, 기판 홀더 반송 장치(37)의 반송 제어, 각 도금조(39)에 있어서의 도금 전류 및 도금 시간의 제어와, 각 도금조(39)에 배치되는 애노드 마스크(도시하지 않음)의 개구 직경 및 규제 플레이트(도시하지 않음)의 개구 직경의 제어 등을 행할 수 있다. 또한, 컨트롤러(175)는, 도금 장치(100) 및 그 외의 관련 장치를 통괄 제어하는 도시하지 않는 상위 컨트롤러와 통신 가능하게 구성되어, 상위 컨트롤러가 갖는 데이터 베이스와의 사이에서 데이터의 전달을 행할 수 있다. 여기서, 메모리(175B)를 구성하는 기억 매체는, 각종 설정 데이터나 후술하는 도금 처리 프로그램 등의 각종 프로그램을 저장하고 있다. 기억 매체로서는, 컴퓨터로 판독 가능한 ROM이나 RAM 등의 메모리나, 하드디스크, CD-ROM, DVD-ROM이나 플렉시블 디스크 등의 디스크형 기억 매체 등의 공지의 것이 사용될 수 있다.
[기판 홀더]
도 2a는 일실시형태에 따른 기판 홀더의 개략 정면도이다. 도 2b는 기판 홀더의 개략 측면도이다. 도 2c는 기판 홀더의 개략 배면도이다. 도 3a는 기판 홀더의 전방 사시도이다. 도 3b는 기판 홀더의 후방 사시도이다. 도 4a는 기판 홀더의 전면도이다. 도 4b는 기판 홀더의 배면도이다.
기판 홀더(1)는, 프론트 플레이트(300)와 백 플레이트(400)를 구비하고 있다. 이들 프론트 플레이트(300)와 백 플레이트(400) 사이에 기판(S)이 유지된다. 본 실시예에서는, 기판 홀더(1)는, 기판(S)의 편면을 노출한 상태로 기판(S)을 유지한다. 기판(S)은, 반도체 웨이퍼, 유리 기판, 액정 기판, 프린트 기판, 그 외의 피도금물일 수 있다. 기판(S)은, 원형, 각형 등 중 어느 하나의 형상이다. 또한, 이하의 설명에서는, 각형의 기판을 예로 들어 설명하지만, 기판 홀더(1)의 개구부의 형상을 변경하면, 원형 그 외의 형상의 기판을 유지하는 것이 가능하다.
프론트 플레이트(300)는, 프론트 플레이트 본체(310)와, 아암부(330)를 구비하고 있다. 아암부(330)는, 기판 홀더 반송 장치(37)에 파지되는 파지 부분이고, 도금조(39)에 배치될 때에 지지되는 부분이다. 기판 홀더(1)는, 도금 장치(100)의 설치면에 대하여 수직으로 세운 상태로 반송되어, 수직으로 세운 상태로 도금조(39) 내에 배치된다.
프론트 플레이트 본체(310)는, 대략 직사각 형상이고, 배선 버퍼부(311)와 페이스부(312)를 가지고, 전면(301)과 배면(302)을 갖는다. 프론트 플레이트 본체(310)는, 부착부(320)에 의해 2군데에서 아암부(330)에 부착되어 있다. 프론트 플레이트 본체(310)에는, 개구부(303)가 마련되어 있고, 개구부(303)로부터 기판(S)의 피도금면이 노출된다. 본 실시형태에서는, 개구부(303)는, 직사각 형상의 기판(S)에 대응하여 직사각 형상으로 형성되어 있다. 또한, 기판(S)이 원형의 반도체 웨이퍼 등인 경우에는, 개구부(303)의 형상도 원형으로 형성된다.
프론트 플레이트 본체(310)의 아암부(330)에 가까운 측에는, 배선 버퍼부(311)가 마련되어 있다. 배선 버퍼부(311)는, 아암부(330)를 통해 프론트 플레이트 본체(310)까지 도달하는 케이블의 분배를 행하는 영역이고, 또한, 예비의 길이의 케이블을 수용하는 영역이다. 배선 버퍼부(311)는, 프론트 플레이트 본체(310)의 다른 부분[페이스부(312)]보다 약간 두께를 가지고 형성되어 있다(도 2b 참조). 본 실시형태에서는, 배선 버퍼부(311)는, 프론트 플레이트 본체(310)의 다른 부분[페이스부(312)]과는 별개체로 형성되어, 페이스부(312)에 부착되어 있다. 아암부(330)의 일단측에는, 외부의 배선과 전기적으로 접속하기 위한 커넥터(331)가 마련되어 있다(도 3a 등 참조). 백 플레이트(400)는, 프론트 플레이트 본체(310)[보다 상세하게는, 페이스부(312)]의 배면(302)에 클램프(340)에 의해 고정된다(도 2c, 도 3b, 도 4b).
(백 플레이트의 프론트 플레이트에의 부착 구조)
도 5a는 백 플레이트의 정면도이다. 도 5b는 백 플레이트의 배면도이다. 도 6a는 백 플레이트의 부착 상태를 나타내는, 기판 홀더의 일부 확대 배면도이다. 도 6b는 백 플레이트의 부착 상태를 나타내는, 기판 홀더의 일부 확대 사시도이다. 도 7은 클램프와 연결 부재의 관계를 나타내는 사시도이다.
백 플레이트(400)는, 백 플레이트 본체(410)를 구비하고, 백 플레이트 본체(410)는, 대략 직사각 형상이지만, 프론트 플레이트(300)의 프론트 플레이트 본체(310)보다 작은 치수를 갖는다(도 3b, 도 4b). 백 플레이트 본체(410)는, 전면(401)(도 5a)과 배면(402)(도 5b)을 갖는다.
백 플레이트 본체(410)의 전면(401)은, 기판(S)의 배치면이고, 프론트 플레이트 본체(310)의 배면(302)에 부착된다. 백 플레이트 본체(410)의 전면(401)에는, 기판(S)을 유지(고정)하기 위한 클립부(420)가, 기판(S)의 각 변에 대응하여 합계 8개 마련되어 있다. 이 예에서는, 클립부(420)는, 기판(S)의 상변 및 하변에 각각 1개씩, 좌변 및 우변에 각각 3개씩 배치되어 있다. 또한, 클립부(420)의 수 및 배치는, 기판(S)의 치수, 형상에 따라 적절하게 선택되는 것이며, 도시된 수 및 배치에 한정되지 않는다.
백 플레이트 본체(410)의 4코너 중 3코너에는, 위치 결정 부재(490)가 마련되어 있다. 위치 결정 부재(490)에는, 관통 구멍(490a)이 형성되어 있다. 위치 결정 부재(490)는, 백 플레이트 본체(410)와 일체로 형성하여도 좋고, 백 플레이트 본체(410)와는 별개체로 형성하여, 백 플레이트 본체(410)에 부착하도록 하여도 좋다. 프론트 플레이트 본체(310)의 배면(302)에는, 위치 결정 부재(490)의 각각에 대응하는 위치에 위치 결정 핀(390)이 마련되어 있다(도 6a, b). 위치 결정 핀(390)은, 프론트 플레이트 본체(310)와 일체로 형성하여도 좋고, 프론트 플레이트 본체(310)와는 별개체로 형성하여, 프론트 플레이트 본체(310)에 부착하도록 하여도 좋다. 백 플레이트(400)를 프론트 플레이트(300)에 부착할 때에, 백 플레이트(400)의 위치 결정 부재(490)의 관통 구멍(490a)에 위치 결정 핀(390)을 삽입 관통시켜, 양자의 위치 맞춤을 행한다.
프론트 플레이트(300)의 배면(302)에는, 도 4b에 나타내는 바와 같이, 백 플레이트(400)의 4변의 각 변에 대응하여, 고정 부재(350)가 배치되어 있다. 2개의 고정 부재(350)가, 백 플레이트(400)의 1변에 대하여 마련되어 있고, 백 플레이트(400)의 1변을 따라 나란히 배치되어 있다. 각 고정 부재(350)에는, 도 6a, 도 6b, 도 7에 나타내는 바와 같이, 2개의 클램프(340)가 부착되어 있다. 따라서, 1변당, 4개의 클램프(340)가 마련되어 있다. 또한, 각 변의 2개의 고정 부재(350) 사이에는, 4개의 클램프(340)를 동시에 동작시키기 위한 레버(342)가 부착되어 있다. 또, 1변당의 클램프의 수는, 4개에 한정되지 않고, 3개 이하여도, 5개 이상이어도 좋다.
각 변의 2개의 고정 부재(350)에 걸쳐 회전축(341)이 부착되어 있다. 회전축(341)은, 고정 부재(350)에 대하여 회전 가능하게 부착되어 있다(도 7). 각 클램프(340) 및 레버(342)는, 회전축(341)에 키 결합(키 및 키 홈)에 의해 회전 불능하게 부착되어 있다(도 8a, b, 도 9a, b). 4개의 클램프(340)는, 동일한 위상에서 회전축(341)에 부착되어 있지만, 레버(342)는, 4개의 클램프(340)와는 상이한 위상에서 회전축(341)에 부착되어 있다. 이 구성에 의해, 레버(342)가 회전하면, 그에 따라, 4개의 클램프(340)가 동기하여 회전한다. 또한, 여기서는, 프론트 플레이트 본체(310)의 면(301, 302)에 평행한 회전축(341)의 둘레로 클램프(340)가 회전하도록 구성하였지만, 프론트 플레이트 본체(310)의 면(301, 302)에 수직인 방향으로 왕복 운동하여 백 플레이트(400)를 클램프하도록, 클램프(340)를 구성하여도 좋다.
클램프(340)는, 그 선단부에 있어서 후크형으로 만곡한 결합부(340a)를 갖는다. 클램프(340)의 기단측에는 관통 구멍을 가지고, 이 관통 구멍에 회전축(341)이 삽입 관통되고, 키 및 키 홈에 의해 회전 불능하게 고정되어 있다(도 9a 참조). 레버(342)는, 외부로부터의 힘을 받지 않는 경우, 도 7에 나타내는 바와 같이, 압축 스프링(343)에 의해 프론트 플레이트(300)의 배면(302)으로부터 상승하도록 편향되어 있고, 이에 따라, 각 클램프(340)는 폐쇄하는 방향으로 편향되어 있다. 바꾸어 말하면, 클램프(340)는, 노멀 클로즈형으로 구성되어 있다. 또한, 레버(342)는, 외부로부터의 압압력을 받는 것이 가능한 힘 받이부로서 구성되어 있다. 레버(342)는, 예컨대, 기판 착탈 기구(29)에 마련되는 액츄에이터로부터 압압력을 받는 것이 가능하다. 도 10b에 있어서, 액츄에이터(AR1)를 모식적으로 나타내고 있다. 액츄에이터(AR1)는, 예컨대, 에어 실린더, 모터 등의 구동부(DRV)와, 구동부(DRV)에 의해 구동되는 봉형 부재(RD)를 구비한다. 레버(342)는, 액츄에이터(AR1)로부터 압압력을 받으면, 프론트 플레이트(300)의 배면(302)을 향하여 쓰러지는 방향으로 회전하고, 이에 따라, 클램프(340)는 개방하는 방향으로 회전한다. 이 예에서는, 액츄에이터(AR1)는, 각 변의 레버(342)에 대응하여 4개 마련된다. 바람직하게는, 4개의 액츄에이터(AR1)는, 동시에 구동되어 레버(342)를 누른다. 단, 4개의 액츄에이터(AR1)는, 따로따로 구동하여도 좋고, 동시에 구동하는 것에 한정되지 않는다.
백 플레이트(400)의 배면(402)에는, 클램프(340)에 대응하는 위치에 결합 수용부(430)가 마련되어 있다. 결합 수용부(430)는, 본 실시형태에서 나타내는 바와 같이, 백 플레이트(400)의 백 플레이트 본체(410)와는 별개 부재로 형성되어, 백 플레이트 본체(410)에 부착하여도 좋고, 백 플레이트 본체(410)와 일체로 형성한 것이어도 좋다. 결합 수용부(430)에는, 클램프(340)의 후크형의 결합부(340a)가 걸려, 결합하는 것이 가능한 형상을 갖는 돌출부(430a)가 형성되어 있다. 돌출부(430a)는, 클램프(340)의 결합부(340a)의 결합을 확실하게 받기 위해, 결합부(340a)보다 긴 치수를 갖는다.
이하, 도면을 참조하면서, 백 플레이트(400)의 프론트 플레이트(300)에의 부착 구조를 설명한다.
도 8a는 클램핑 상태의 클램프의 사시도이다. 도 8b는 클램핑 상태의 클램프의 측면도이다. 도 9a는 클램핑 상태의 클램프의 단면 사시도이다. 도 9b는 클램핑 상태의 클램프의 단면도이다. 도 10a는 언클램핑 상태의 클램프의 구성을 나타내는 사시도이다. 도 10b는 언클램핑 상태의 클램프의 측면도이다. 도 11a는 언클램핑 상태의 클램프의 단면 사시도이다. 도 11b는 언클램핑 상태의 클램프의 구성을 나타내는 단면도이다.
전술한 바와 같이, 클램프(340)는, 노멀 클로즈형이고, 레버(342)에 압압력을 받지 않는 상태에서는, 도 8a, b 및 도 9a, b에 나타내는 바와 같이, 폐쇄된 상태에 있다. 프론트 플레이트(300)에 백 플레이트(400)를 부착하는 경우에는, 먼저, 액츄에이터(AR1)(도 10b)에 의해 프론트 플레이트(300)의 레버(342)에 압압력을 가하여, 도 10a, b 및 도 11a, b에 나타내는 바와 같이, 압축 스프링(343)의 편향력에 대항하여 클램프(340)를 개방하는 방향으로 회전시킨다. 클램프(340)를 개방시킨 상태로, 프론트 플레이트(300)의 배면(302)의 미리 정해진 위치에 백 플레이트(400)를 배치한다. 이때, 프론트 플레이트(300)의 위치 맞춤 핀(390)이, 백 플레이트(400)의 위치 맞춤 부재(490)의 관통 구멍(490a)에 결합하여, 백 플레이트(400)가 프론트 플레이트(300)의 미리 정해진 위치에 위치 맞춤된다.
다음에, 프론트 플레이트(300)의 레버(342)로부터 액츄에이터(AR1)의 압압력을 제거한다. 이에 의해, 레버(342)가 압축 스프링(343)의 편향력에 의해 레버(342)가 원래의 위치를 향하여 회전하여, 각 클램프(340)가 폐쇄하는 방향으로 회전한다. 이 결과, 클램프(340)의 결합부(340a)가, 백 플레이트(400)의 결합 수용부(430)에 결합하여, 백 플레이트(400)가 프론트 플레이트(300)에 고정된다(도 8a, b 및 도 9a, b).
백 플레이트(400)를 제거하는 경우에는, 전술한 바와 같이, 액츄에이터(도시하지 않음)에 의해 프론트 플레이트(300)의 레버(342)에 압압력을 가하여, 압축 스프링(343)의 편향력에 대항하여 클램프(340)를 개방하는 방향으로 회전시킨다(도 10a, b 및 도 11a, b). 이 결과, 클램프(340)가 결합 수용부(430)로부터 해방되어, 백 플레이트(400)를 프론트 플레이트(300)로부터 제거 가능해진다.
(기판의 백 플레이트에의 부착 구조)
도 12a는 백 플레이트의 클립을 나타내는 일부 절결 측면도이다. 도 12b는 백 플레이트의 클립을 나타내는 일부 확대 사시도이다. 도 13a는 폐쇄 시의 클립의 상태를 나타내는 일부 절결 사시도이다. 도 13b는 폐쇄 시의 클립의 상태를 나타내는 일부 절결 단면도이다. 도 14a는 개방 시의 클립의 상태를 나타내는 일부 절결 사시도이다. 도 14b는 개방 시의 클립의 상태를 나타내는 일부 절결 단면도이다.
백 플레이트(400)의 전면(401)에는, 기판(S)의 각 변에 대응하여 합계 8개의 클립부(420)가 마련되어 있다(도 5a 참조). 또한, 백 플레이트(400)의 배면(402)에는, 클립부(420)의 각각에 대응하는 위치에, 버튼(470)이 마련되어 있다(도 5b 참조). 버튼(470)에 힘이 가해지지 않는 경우, 버튼(470)의 전면(401)측의 면은, 2개의 클립(421)의 기단부와 미리 정해진 간격을 가지고 배치되어 있다(도 13b). 버튼(470)은, 힘 받이부(471)와, 힘 받이부(471)를 백 플레이트 본체(410)에 대하여 변위 가능하게 지지하는 탄성 부분(472)과, 탄성 부분(472)의 외주에 있는 부착부(473)를 갖는다. 버튼(470)은, 부착부(473)에 있어서 누름 부재(474) 및 체결 부재(475)에 의해 고정되어 있다. 체결 부재(475)는, 예컨대, 스터드, 볼트 등이다.
각 클립부(420)는, 도 12a, b에 나타내는 바와 같이, 백 플레이트 본체(410)의 전면(401)에 고정된 고정부(423)와, 고정부(423)에 회전 불능하게 고정된 고정축(424)과, 고정축(424)에 대하여 병진하면서 회전 가능하게 지지된 2개의 클립(421)과, 클립(421)의 각각에 마련되어 클립(421)을 폐쇄 방향으로 편향시키는 코일 스프링(422)을 구비하고 있다.
클립(421)은, 그 선단부에 클로부(421a)를 가지고, 그 기단측에는 긴 구멍(421b) 및 2개의 둥근 구멍(421c)이 형성되어 있다. 클립(421)은, 고정축(424)을 긴 구멍(421b)에 삽입 관통시켜 부착되어 있다. 도 13b에 나타내는 바와 같이 코일 스프링(422)은, 감김부(422c)와, 감김부(422c)로부터 연장되는 다리부(422a, 422b)를 가지고 있다. 코일 스프링(422)은, 철사 등을 복수회 원형으로 감아 감김부(422c)를 마련하고, 미리 정해진 길이의 다리부(422a, 422b)를 남긴 것이다. 다리부(422a)는, 대략 직각으로 꺾여 구부러지는 절곡부를 선단에 가지고, 이 절곡부가, 클립(421)의 2개의 둥근 구멍(421c) 중 기단측의 둥근 구멍(421c)에 삽입 및 감합되어 있다. 다른쪽의 다리부(422b)는, 클립(421)에는 부착되지 않고, 대략 직각으로 꺾여 구부러지는 절곡부를 선단에 가지고, 이 절곡부가, 고정부(423)에 마련된 규제면(423a)에 접촉한 상태로 지지되어 있다. 또한, 다리부(422a)는, 고정부(423)에 마련된 안내면(423b)에 의해 안내된다(도 13b, 도 14b).
이 구성에 의해, 클립(421)은, 백 플레이트 본체(410)로부터 멀어지는 방향으로 이동하면서, 백 플레이트 본체(410)의 외측을 향하여 회전하는 것이 가능하다(도 13b 내지 도 14b). 이 결과, 클립(421)은, 개방 상태가 된다(도 14a, b). 또한, 반대로, 클립(421)은, 백 플레이트 본체(410)에 접근하는 방향으로 이동하면서, 백 플레이트 본체(410)의 내측을 향하여 회전하는 것이 가능하다(도 14b 내지 도 13b). 이 결과, 클립(421)은, 폐쇄 상태가 된다(도 13a, b). 또한, 본 실시형태에서는, 클립(421)은, 외부로부터 힘을 받지 않는 상태에서는, 코일 스프링(422)에 의해 폐쇄 방향으로 편향되어 있고, 노멀 클로즈형이다(도 13a, b). 또한, 도 14b에서는, 도면의 복잡화를 피하기 위해, 버튼(470)의 힘 받이부(471)가 변위하지 않는 상태를 나타내고 있지만, 실제로는, 힘 받이부(471)는 클립(421)을 향하여 변위하여 클립(421)을 압압하고 있고, 이 압압에 의해 클립(421)이 개방 상태에 있다.
기판(S)을 백 플레이트(400)에 배치하는 경우, 백 플레이트(400)의 8개의 버튼(470)[힘 받이부(471)]에, 외부로부터 액츄에이터(AR2)에 의해 압압력을 가한다(도 14b). 이에 의해, 도 14a, b에 나타내는 바와 같이, 힘 받이부(471)가 전면(401)측으로 변위하여, 2개의 클립(421)의 기단부에 접촉한다. 힘 받이부(471)로부터 받는 힘에 의해, 클립(421)은, 도 14b에 나타내는 바와 같이, 백 플레이트 본체(410)로부터 멀어지는 방향으로 이동하면서, 백 플레이트 본체(410)의 외측으로 회전하여, 개방 상태가 된다(도 14b). 도 14b에 모식적으로 나타낸 바와 같이, 액츄에이터(AR2)는, 예컨대, 에어 실린더, 모터 등의 구동부(DRV)와, 구동부(DRV)에 의해 구동되는 막대형 부재(RD)를 구비한다. 액츄에이터(AR2)는, 8개의 버튼(470)에 대응하여 8대 마련되어 있다. 바람직하게는, 8대의 액츄에이터(AR2)는, 동시에 구동되어 버튼(470)을 누른다. 단, 8대의 액츄에이터(AR2)는, 따로따로 구동하여도 좋고, 동시에 구동하는 것에 한정되지 않는다.
클립(421)이 개방된 상태로, 백 플레이트(400)의 전면(401)의 미리 정해진 위치에 기판(S)을 배치하고, 그 후, 버튼(470)으로부터 액츄에이터(AR2)에 의한 압압력을 해방한다. 이 결과, 클립(421)은, 코일 스프링(422)의 편향력에 의해, 백 플레이트 본체(410)에 접근하는 방향으로 이동하면서, 백 플레이트 본체(410)의 내측으로 회전하여, 폐쇄 상태가 된다(도 14b에서 도 13b). 이때, 클립(421)의 선단의 클로부(421a)가 기판(S)의 둘레 가장자리부에 결합하여, 기판(S)을 백 플레이트(400)의 전면(401)에 고정할 수 있다.
이와 같이 기판(S)을 부착한 백 플레이트(400)를, 도 5 내지 도 13에서 설명한 바와 같이, 프론트 플레이트(300)에 부착하면, 기판 홀더(1)에의 기판(S)의 부착이 완료한다. 기판(S)을 백 플레이트(400)로부터 제거하는 경우, 전술한 바와 같이, 백 플레이트(400)의 8개의 버튼(470)[힘 받이부(471)]에, 외부로부터 액츄에이터(AR2)에 의해 압압력을 가한다(도 14a, b).
또한, 여기서는, 백 플레이트 본체(410)의 면(401, 402)에 평행한 고정축(424)의 둘레에 클립(421)이 회전하도록 구성하였지만, 백 플레이트 본체(410)의 면(401, 402)에 수직인 방향으로 왕복 운동하여 기판(S)을 클램프하도록 클립(421)을 구성하여도 좋다.
(시일부의 구성)
도 15는 프론트 플레이트의 이너 시일부를 나타내는 단면도이다. 도 16은 프론트 플레이트의 이너 시일부 및 아우터 시일부를 나타내는 단면도이다.
프론트 플레이트(300)의 배면(302)에는, 개구부(303)에 인접하여 이너 시일(361)이 마련되어 있다. 이너 시일(361)은, 시일 홀더(363)에 의해 프론트 플레이트(300)의 배면(302)에 부착되어 있다. 이너 시일(361)은, 기판(S)과 프론트 플레이트(300) 사이를 시일하여, 도금액이 기판(S)의 단부에 침입하는 것을 방지한다. 시일 홀더(363)에는, 기판(S)에 전위를 공급하기 위한 컨택트(370)도 부착되어 있다.
또한, 도 16에 나타내는 바와 같이, 프론트 플레이트(300)의 배면(302)에는, 이너 시일(361)보다 외측에 있어서, 아우터 시일(362)이 시일 홀더(364)에 의해 부착되어 있다. 아우터 시일(362)은, 백 플레이트(400)에 접촉하여, 프론트 플레이트(300)와 백 플레이트(400) 사이를 시일한다.
본 실시형태에서는, 이너 시일(361) 및 아우터 시일(362)을 부착하는 시일 홀더(363, 364)가 별개 부재로 구성되어 있기 때문에, 이너 시일(361) 및 아우터 시일(362)을 따로따로 교환할 수 있다.
도 17은 프론트 플레이트 본체의 배면도이다. 도 18은 프론트 플레이트의 커넥터를 포함하는 영역의 일부 확대 평면도이다. 도 19a는 프론트 패널의 단면 사시도이다. 도 19b는 프론트 패널의 단면도이다. 도 19c는 케이블의 배치를 나타내는 프론트 패널의 일부 확대 사시도이다. 도 20a는 배선 버퍼부의 도시를 생략한 경우의, 페이스부의 케이블 도입 위치 부근의 사시도이다. 도 20b는 배선 버퍼부의 도시를 생략한 경우의, 페이스부의 케이블 도입 위치 부근을 나타내는 상면도이다. 도 20c는 배선 버퍼부의 도시를 생략한 경우의, 페이스부의 케이블 도입 위치 부근을 나타내는 상면도의 확대도이다.
프론트 플레이트 본체(310)의 배면(302)은, 18개의 컨택트 영역(C1-C18)을 갖는다. 컨택트 영역(C1-C7, C17, C18)은, 페이스부(312) 중 커넥터(331)측의 절반의 영역(제1 영역, 도 17의 우측 절반의 영역)에 배치되어 있고, 컨택트 영역(C8-C16)은, 페이스부(312) 중 커넥터(331)로부터 먼 측의 절반의 영역(제2 영역, 도 17의 좌측 절반의 영역)에 배치되어 있다. 이하의 설명에서는, 편의상, 제1 영역에 배치되는 케이블을 제1 그룹의 케이블, 제2 영역에 배치되는 케이블을 제2 그룹의 케이블이라고 칭하는 경우가 있다.
각 컨택트 영역(C1-C18)에는, 도 15, 도 16에 도시한 기판(S)에 급전하기 위한 컨택트(접점 부재)(370)가 포함된다. 각 컨택트 영역(C1-C18)의 컨택트(370)에는, 각각, 케이블(L1-L18)을 통해, 외부로부터 급전된다. 또한, 이하의 설명에서는, 각 케이블을 구별할 필요가 없는 경우에는, 케이블(L1-L18)을 통합하여, 케이블(L)이라고 총칭하는 경우가 있다. 또한, 임의의 케이블을 케이블(L)로서 참조하는 경우도 있다.
케이블(L1-L18)의 제1 단부는, 아암부(330)의 일단에 마련된 커넥터(331)에 접속되어 있고, 보다 상세하게는, 커넥터(331)에 있어서 개별의 접점 또는 복수개씩 공통의 접점(도시 생략)에 전기적으로 접속되어 있다. 케이블(L1-L18)은, 커넥터(331)의 각 접점을 통해 외부의 전원(전원 회로, 전원 장치 등)에 전기적으로 접속 가능하다.
도 22는 케이블과 외부 접속 접점의 접속 관계를 설명하는 설명도이다.
커넥터(331)에서는, 케이블(L1-L18)이 외부 접속 접점(331a1, 331a2)에 접속된다(도 22). 외부 접속 접점(331a1, 331a2)에는, 외부 전원으로부터의 급전 단자에 접속된다. 예컨대, 제1 그룹의 케이블(L1-L7, L17, L 18)의 3개를 공통의 제1 측의 외부 접속 접점(331a1)에 접속하고, 제2 그룹의 케이블(L8-L16)의 3개의 케이블을 공통의 제2 측의 외부 접속 접점(331a2)에 접속하고, 이들 제1 측의 외부 접속 접점(331a1)과 제2 측의 외부 접속 접점(331a2)을 한쌍의 외부 접속 접점(331a)으로 한다. 여기서, 제1 측 및 제2 측은, 커넥터(331)에 있어서 접점이 2열로 배열되어 있는 경우의 각 측에 대응한다. 예컨대, 도 17에 있어서, 기판 홀더(1)의 커넥터(331)를 우측방에서 본 경우에, 우측을 제1 측, 좌측을 제2 측으로 한다.
구체적으로는, 이하와 같이 외부 접속 접점을 구성한다.
케이블(L17, L18, L1)을 공통의 제1 측의 외부 접속 접점(331a1)에 접속하고, 케이블(L8, L9, L10)을 공통의 제2 측의 외부 접속 접점(331a2)에 접속하고, 이들 제1 측의 외부 접속 접점(331a1)과 제2 측의 외부 접속 접점(331a2)을 한쌍[제1 쌍, 또는 제1 외부 접속 접점쌍(331a)이라고 칭함]으로 한다.
케이블(L2, L3, L4)을 별도의 제1 측의 외부 접속 접점(331a1)에 접속하고, 케이블(L11, L12, L13)을 별도의 제2 측의 외부 접속 접점(331a2)에 접속하고, 이들 제1 측의 외부 접속 접점(331a1)과 제2 측의 외부 접속 접점(331a2)을 한쌍[제2 쌍, 또는 제2 외부 접속 접점쌍(331a)이라고 칭함]으로 한다.
케이블(L5, L6, L7)을 별도의 제1 측의 외부 접속 접점(331a1)에 접속하고, 케이블(L14, L15, L16)을 별도의 제2 측의 외부 접속 접점(331a2)에 접속하고, 이들 제1 측의 외부 접속 접점(331a1)과 제2 측의 외부 접속 접점(331a2)을 한쌍[제3 쌍, 또는 제3 외부 접속 접점쌍(331a)이라고 칭함]으로 한다.
커넥터(331)에 있어서, 각 외부 접속 접점쌍(331a)의 제1 측의 외부 접속 접점(331a1)과 제2 측의 외부 접속 접점(331a2)은 서로 대향하여 배치되어 있다. 제1 외부 접속 접점쌍(331a)의 제1 측의 외부 접속 접점(331a1)과 제2 측의 외부 접속 접점(331a2)은 서로 대향하여 배치되고, 제2 외부 접속 접점쌍(331a)의 제1 측의 외부 접속 접점(331a1)과 제2 측의 외부 접속 접점(331a2)은 서로 대향하여 배치되고, 제3 외부 접속 접점쌍(331a)의 제1 측의 외부 접속 접점(331a1)과 제2 측의 외부 접속 접점(331a2)은 서로 대향하여 배치된다.
기판 착탈 기구(29)에 있어서, 통전 확인 처리가 실행된다. 구체적으로는, 기판 홀더(1)에 기판(S)이 유지된 후[백 플레이트(400)가 프론트 플레이트(300)의 클램프(340)로 고정된 후], 커넥터(331)의 제1∼제5 쌍에 저항 측정기(도시하지 않음)가 접속되고, 각 쌍에 있어서의 제1 측의 외부 접속 접점과 제2 측의 외부 접속 접점 사이에, 미리 정해진 검사 전압이 인가된다. 이에 의해, 각 쌍에 있어서의 제1 측의 외부 접속 접점과 제2 측의 외부 접속 접점 사이의 전기 저항이 측정된다. 그리고, 각 쌍의 전기 저항이 미리 정해진 값 이하 또한 미리 정해진 범위 내이면(각 쌍의 전기 저항에 편차가 없고, 단선 등의 이상이 없음), 기판 홀더(1)의 통전이 양호하다고 판단한다(통전 확인 처리). 이 통전 확인 처리는, 컨트롤러(175)의 제어부(175C)에서 실행되고, 전술한 「기판 탈착 기구(29)에 있어서의 기판의 기판 홀더에의 착탈 제어」에 포함할 수 있다.
케이블(L1-L18)의 타단인 제2 단부는, 후술하는 바와 같이, 각각, 컨택트 영역(C1-C18)에 있어서 컨택트(370)에 전기적으로 접속된다. 각 케이블(L1-L18)은, 커넥터(331)로부터, 아암부(330)를 통과하고, 한쪽의 부착부(320)를 통과하여, 배선 버퍼부(311)에 들어간다(도 18). 배선 버퍼부(311)에 있어서, 케이블(L1-L18) 중 케이블(L17, L18, L1-L7)이, 제1 영역(커넥터측의 영역)을 향하고, 케이블(L8-L16)이, 제2 영역(커넥터로부터 먼 측의 영역)을 향한다. 도 18에서는, 제1 영역에 배치되는 제1 그룹의 케이블(L17, L18, L1-L7)을 주로 나타내고 있다. 도 18에 나타내는 바와 같이, 제1 그룹의 케이블(L17, L18, L1-L7)은, 배선 버퍼부(311)를 통과하여, 페이스부(312)에 있어서의 시일 홀더(363, 364) 사이의 케이블 통로(365)에 유도된다. 도시 생략하지만, 제2 그룹의 케이블(L8-16)도, 배선 버퍼부(311)의 제2 영역(커넥터로부터 먼 측의 영역)을 통과하여, 페이스부(312)의 제2 영역에 있어서 케이블 통로(365)에 유도된다. 또한, 도 18에서는, 도면의 복잡화를 피하기 위해, 케이블의 길이의 일부를 생략하여 표시하고 있다. 또한, 배선 버퍼부(311)에 있어서의 케이블(L1-L18)의 배치는, 케이블(L1-L18)의 길이의 일부를 버퍼하도록 임의의 배치로 할 수 있다.
배선 버퍼부(311)의 페이스부(312)측에는, 두께부(313)가 마련되어 있다(도 19a, 도 19b). 배선 버퍼부(311)의 두께부(313) 및 페이스부(312)에는, 시일 홀더(363, 364) 사이의 케이블 통로(365)까지, 각 케이블(L1-L18)에 대응하는 배선 구멍(311a)이 마련되어 있다(도 19a, 도 19b). 여기서, 배선 구멍(311a)은, 케이블이 통과 가능한 직경을 갖는 송곳 구멍이다. 도 19a에서는, 하나의 배선 구멍(311a)만을 나타내고 있지만, 실제로는, 배선 구멍(311a)은, 도 19c에 나타내는 바와 같이, 각 케이블에 대응하여 복수 마련되어 있다. 적어도 케이블의 수의 배선 구멍(311a)이 마련되어 있다.
본 실시형태에서는, 도 19a, 도 19b에 나타내는 바와 같이, 배선 버퍼부(311)는, 프론트 패널 본체(310)의 페이스부(312)와는 별개체로 마련되며, 페이스부(312)에 부착되어 있다. 배선 버퍼부(311)와 페이스부(312)의 경계에 있어서 케이블의 주위에는, 배선 구멍(311a) 및 케이블(L)을 밀폐하기 위한 O 링(501)이 배치되어 있다. 이에 의해, 배선 구멍(311a) 및 케이블(L)이, 도금액이나, 외부로부터의 이물로부터 보호된다.
도 21a는 커넥터에 가까운 측의 페이스부의 코너부 근방에 있어서의 배면도이다. 도 21b는 커넥터에 가까운 측의 페이스부의 코너부 근방를 더욱 확대한 배면도이다. 도 21c는 도 21a의 C-C선에 있어서의 단면도이다. 도 21d는 케이블의 피복을 제거한 부분의 사시도이다.
케이블(L1-L7)은, 도 21a 및 도 21b에 나타내는 바와 같이, 동일 평면 내에 배열되어 케이블 통로(365) 내에 도입되어, 개구부(303)의 커넥터(331)측의 변을 따라 배치되어 있다. 케이블끼리는, 페이스부(312)의 두께 방향으로 중첩되지 않는다. 따라서, 페이스부(312) 및 프론트 패널(300)의 두께를 억제할 수 있다.
도 21a 및 도 21b에 나타내는 바와 같이, 개구부(303)의 각 변을 따라, 컨택트 영역(C1-C18)마다 도전체로 이루어지는 컨택트(370)가 배치되어 있다. 컨택트(370)는, 이너 시일(361)에 접촉하지 않지만, 인접하여 배치되어 있다. 컨택트(370)는, 시일 홀더(363) 상에 배치되어 있고, 복수의 나사(511)로 시일 홀더에 고정되어 있다. 시일 홀더(363)에는, 각 컨택트 영역에 있어서 케이블 통로(365)로부터 접속 위치[나사(511)의 위치]까지, 케이블을 인입하는 배선홈(363a)이 마련되어 있다. 케이블(L)은, 도 21d에 나타내는 바와 같이, 전기적인 전도체로 이루어지는 코어선 또는 도전선(601)과, 도전선(601)을 절연하기 위한 피복(602)을 구비하고 있다. 케이블(L)은, 선단부(제2 단부)에 있어서, 피복(602)이 제거되어, 코어선 또는 도전선(601)이 노출된다. 그리고, 케이블(L)의 코어선(601)이 배선홈(363a)에 인입된다. 또한, 할당된 컨택트 영역에 있어서 인입된 케이블(L)은, 그 컨택트 영역에서 종단한다.
예컨대, 컨택트 영역(C1)에서는, 컨택트 영역(C1) 근방의 케이블 통로(365)를 향하여 개구하는 배선홈(363a)(도 21c)이, 시일 홀더(363) 중에 형성되고, 이 배선홈(363a)은, 컨택트 영역(C1)에 마련된 4개의 나사(체결 부재)(511)의 하방을 통과하도록 연장 또한 종단한다(도 21a). 마찬가지로, 컨택트 영역(C2)에서는, 컨택트 영역(C2) 근방의 케이블 통로(365)를 향하여 개구하는 배선홈(363a)이, 시일 홀더(363) 중에 형성되고, 이 배선홈(363a)은, 컨택트 영역(C2)에 마련된 4개의 나사(511)의 하방을 통과하도록 연장 또한 종단한다. 나사(511)와 배선홈(363a)의 위치 관계를 도 21c에 나타내고 있다. 케이블(L)(도 21c에서는, L1)이 배선홈(363a)에 배치되었을 때, 나사(511)의 플랜지부(511a)에 의해, 컨택트(370) 및 케이블(코어선)이 압압된다.
각 컨택트 영역에 있어서의 케이블(L)과 컨택트(370)의 전기 접속은, 이하와 같이 행해지고 있다. 케이블(L1)을 예로 들면, 케이블(L1)의 선단부(제2 단부)는, 피복(602)이 제거되어, 코어선(도전선)(601)이 노출되어 있다(도 21a-d). 케이블(L1)의 선단부는, 컨택트(C1)의 근방에 있어서 시일 홀더(363)의 배선홈(363a) 내에 도입되고, 컨택트 영역(C1) 내에서, 4군데의 나사(체결 부재)(511)에 의해 컨택트(370)와 함께 압압되어 있다. 즉, 나사(체결 부재)(511)와 시일 홀더(363)가, 케이블(L1)의 코어선(601)을 컨택트(370)와 함께 협지하고 있다. 이 결과, 도 21c에 나타내는 바와 같이, 케이블(L1)은, 컨택트(370)에 전기적으로 접속된다. 기판 홀더(1)가 기판(S)을 유지하면, 컨택트(370)가 기판(S)에 접촉하여, 외부의 전원으로부터 케이블(L1), 컨택트(370)를 통해 기판(S)에 급전이 행해진다. 다른 컨택트 영역(C2-C18)도 마찬가지로 구성되어 있고, 18군데의 컨택트(370)로부터 기판(S)에 급전이 행해진다.
컨택트 영역(C1)에는, 케이블(L2-L7)은 인입되지 않기 때문에, 컨택트 영역(C1)과 컨택트 영역(C2) 사이에서는, 케이블(L2-L7)이 나란히 배치되어 있다. 컨택트 영역(C2)에서는, 컨택트 영역(C1)과 마찬가지로, 케이블(L2)이 시일 홀더(363)의 배선홈(363a)에 인입되고, 4군데의 나사(511)에 의해 컨택트(370)와 함께 압압되어, 컨택트(370)와 전기적으로 접속된다. 이 결과, 컨택트 영역(C2)과 컨택트 영역(C3) 사이에서는, 케이블(L3-L7)이 나란히 배치되어 있다. 동일하게 하여, 케이블(L3-L7)이, 각각 컨택트 영역(C3-C7)에 있어서, 컨택트(370)와 전기적으로 접속된다. 이 결과, 컨택트 영역(C3과 C4) 사이에서는 케이블(L4-L7)이 나란히 배치되고, 컨택트 영역(C4와 C5) 사이에서는 케이블(L5-L7)이 나란히 배치되고, 컨택트 영역(C5와 C6) 사이에서는 케이블(L6-L7)이 나란히 배치되고, 컨택트 영역(C6과 C7) 사이에서는 케이블(L7)이 나란히 배치된다.
케이블(L17, L18)도 마찬가지로, 각각 컨택트 영역(C17, C18)에 있어서, 컨택트(370)와 전기적으로 접속된다. 또한, 커넥터로부터 먼 측의 영역(제2 영역)이라도, 케이블(L8-L16)이, 제1 영역의 케이블과 마찬가지로, 각각 컨택트 영역(C8-C16)에 있어서, 컨택트(370)와 전기적으로 접속된다.
본 실시형태에서는, 컨택트(370)와 함께 케이블(L)이 협지되어, 케이블(L)과 컨택트(370)가 직접, 전기적으로 접속되는 경우를 설명하였지만, 케이블(L)과 컨택트(370) 사이에 별도의 도전 부재(제2 도전 부재)를 개재시키도록 하여도 좋다.
(실시형태의 작용 효과)
본 실시형태에 따른 기판 홀더(1)에 따르면, 프론트 플레이트 본체(310)의 면에 평행한 축의 둘레를 회전 가능한 또는 프론트 플레이트 본체(310)의 면에 교차하는 방향으로 왕복 이동 가능한 클램프(340)에 의해, 기판을 협지하는 프론트 플레이트(300)와 백 플레이트(400)를 서로 고정하기 위해, 기판에 회전 방향의 힘이 가해지는 것을 억제 내지 방지할 수 있다. 기판이 대형이며 얇은 경우는, 기판에 회전 방향의 힘이 가해지면 기판에 휨을 발생시킬 우려가 있지만, 이 기판 홀더(1)에 따르면, 대형이며 얇은 기판을 유지하는 경우에도 휨의 발생을 억제 내지 방지할 수 있다.
또한, 클램프(340)가 노멀 클로즈형이기 때문에, 백 플레이트 본체(410)를 프론트 플레이트 본체(310)에 접촉할 때에 클램프를 개방하면, 클램프한 상태에서는 액츄에이터 등에 의해 외부로부터 힘을 가할 필요가 없어, 에너지 소비를 억제할 수 있다.
백 플레이트(400)를 복수의 개소에서 클램프(340)에 의해 협지하는 것이 가능하고, 또한, 연결 부재[회전축(341)]에 의해 각 클램프(340)의 동작이 동기되기 때문에, 클램프 동작을 효율적으로 행할 수 있다. 또한, 외부로부터 힘을 가하는 액츄에이터(AR1)의 구성을 간이하게 할 수 있다. 레버(342)가 외부의 제1 액츄에이터(AR1)로부터 힘을 받아 회전축(341)을 통해 각 클램프(340)를 동작시킬 수 있기 때문에, 클램프(340)에 의한 고정을 자동화하는 것이 용이하다.
또한, 백 플레이트(400)에, 클램프(340)의 결합부(340a)를 받아들이는 형상의 결합 수용부(430)를 마련함으로써, 클램프에 의한 결합을 향상시킬 수 있다. 별개체의 결합 수용부(430)를 백 플레이트 본체(410)에 부착하는 구성으로 함으로써, 결합 수용부(430)의 치수, 형상, 개수 등을 적절하게 선택하는 것이 용이해진다.
또한, 백 플레이트 본체(410)의 면에 평행한 축(424)의 둘레를 회전 가능한 또는 백 플레이트 본체(410)의 면에 교차하는 방향으로 왕복 이동 가능한 클립(421)에 의해, 기판을 백 플레이트(400)에 고정하기 때문에, 기판에 회전 방향의 힘이 가해지는 것을 억제 내지 방지할 수 있다. 기판이 대형이고 얇은 경우는, 기판에 회전 방향의 힘이 가해지면 기판에 휨을 발생시킬 우려가 있지만, 이 기판 홀더에 따르면, 대형이고 얇은 기판을 유지하는 경우에도 휨의 발생을 억제 내지 방지할 수 있다.
클립(421)이 노멀 클로즈형이기 때문에, 기판을 백 플레이트 본체(410)에 접촉할 때에 클립(421)을 개방하면, 클립한 상태에서는 액츄에이터 등에 의해 외부로부터 힘을 가할 필요가 없어, 에너지 소비를 억제할 수 있다.
기판과 접촉하는 측의 면과는 반대의 면으로부터 힘을 받는 버튼(470)을 마련하기 때문에, 액츄에이터(AR2)를 기판 접촉면과는 반대측에 배치할 수 있어, 기판 고정 후의 백 플레이트(400)의 이동, 자세의 변경 등이 용이하다.
버튼(470)이 외부의 제2 액츄에이터(AR2)로부터 힘을 받아 클립(421)을 동작시킬 수 있기 때문에, 클립(421)에 의한 고정을 자동화하는 것이 용이하다.
이너 시일(361) 및 아우터 시일(362)을 유지하는 시일 홀더(363, 364)를 따로따로 마련하기 때문에, 각 시일의 교환을 따로따로 행할 수 있다.
또한, 본 실시형태의 기판 홀더에서는, 케이블(L)의 일단부에 있어서 피복(602)을 제거하고, 케이블(L)의 코어선(601)을 컨택트(370)와 함께 협지함으로써, 간이한 구성으로, 케이블(L)과 컨택트(370) 사이의 전기적인 접속을 확립할 수 있다. 즉, 케이블 단부에 커넥터 등을 마련하는 일없이, 케이블(L)과 컨택트(370) 사이의 접속을 행할 수 있다. 기판(S)의 복수의 개소에 컨택트(370)를 접촉시켜 급전하는 경우, 기판 홀더 내에서 복수의 케이블(L)을 둘러쳐 전기적 접속을 행할 필요가 있지만, 이 기판 홀더에 따르면, 간이한 구성으로, 케이블(L)과 컨택트(370) 사이의 전기적인 접속을 확립할 수 있어, 기판 홀더의 대형화를 억제할 수 있다. 또한, 대형의 기판에 급전하는 경우나, 기판에의 공급 전류값이 큰 경우에는, 케이블의 수가 증가하고, 케이블 직경도 커진다. 예컨대, 이러한 경우에, 이 기판 홀더에 의한 간이한 케이블의 접속은 유효하다.
또한, 본 실시형태의 기판 홀더에서는, 볼트, 나사 등의 체결 부재(511)에 의해 간이한 구성, 간이한 작업으로, 케이블(L)과 컨택트(370) 사이의 전기적 접속을 확립할 수 있다.
또한, 본 실시형태의 기판 홀더에서는, 시일 홀더(363)를 이용하여 케이블(L)과 컨택트(370)를 협지할 수 있기 때문에, 기존의 구성을 이용할 수 있어, 기판 홀더의 대형화, 비용 증가를 억제할 수 있다.
또한, 본 실시형태의 기판 홀더에서는, 시일(361, 362)의 시일 홀더(363, 364)가 따로따로이기 때문에, 시일을 따로따로 교환하는 것이 용이하다. 또한, 시일 홀더(363, 364)를 따로따로 교환하는 것도 용이하다.
또한, 본 실시형태의 기판 홀더에서는, 케이블(L)이 기판 홀더의 두께 방향으로 중첩되지 않도록 함으로써, 기판 홀더의 두께의 증가를 억제하는 것이 가능하다. 특히, 대형의 기판이나, 전류량이 큰 경우에는, 케이블의 수, 케이블의 직경이 커질 가능성이 있지만, 이 구성에 따르면, 기판 홀더의 두께 방향에서의 증대를 억제할 수 있다.
또한, 본 실시형태의 기판 홀더에서는, 선단의 피복(602)이 제거된 각 케이블(L)을 순차, 각 컨택트(370)의 위치에 인입하여, 접속하기 때문에, 접속 위치까지의 케이블 사이의 절연을 확보하며, 간이한 구성으로 케이블을 도전 부재에 접속할 수 있다.
본 실시형태의 기판 홀더를 도금 장치에 적용하는 경우, 기판 홀더의 대형화를 억제할 수 있기 때문에, 도금 장치의 대형화도 억제할 수 있다.
본 실시형태에 따른 기판 홀더의 제조 방법에서는, 케이블(L)의 일단부에 있어서 피복(602)을 제거하고, 케이블(L)의 코어선(601)을 컨택트(370)와 함께 협지함으로써, 간이한 구성으로, 케이블(L)과 컨택트(370) 사이의 전기적인 접속을 확립할 수 있다. 즉, 케이블 단부에 커넥터 등을 마련하는 일없이, 케이블(L)과 컨택트(370) 사이의 접속을 행할 수 있다. 기판(S)의 복수의 개소에 컨택트(370)를 접촉시켜 급전하는 경우, 기판 홀더 내에서 복수의 케이블(L)을 둘러쳐 전기적 접속을 행할 필요가 있지만, 이 기판 홀더에 따르면, 간이한 구성으로, 케이블(L)과 컨택트(370) 사이의 전기적인 접속을 확립할 수 있어, 기판 홀더의 대형화를 억제할 수 있다. 또한, 대형의 기판에 급전하는 경우나, 기판에의 공급 전류값이 큰 경우에는, 케이블의 수가 증가하고, 케이블 직경도 커진다. 예컨대, 이러한 경우에, 이 기판 홀더에 의한 간이한 케이블의 접속은 유효하다.
또한, 전술한 기판 홀더(1)를 사용하여 기판에 도금 처리를 행하는 경우, 대형의 기판에 급전하는 경우나, 기판에의 공급 전류값이 큰 경우라도, 기판 홀더에 있어서의 케이블과 도전 부재 사이의 전기적인 접속이 간이한 구성이기 때문에, 대형화를 억제 내지 방지한 기판 홀더를 이용하여 도금 처리를 행할 수 있다.
또한, 상기 실시형태에서는, 도금 처리 전에 각 외부 접속 접점쌍의 제1 및 제2 측의 접점 사이의 전기 저항을 측정하고, 복수의 외부 접속 접점쌍의 전기 저항에 편차가 없는지를 확인하는 통전 확인 처리를 실시한다. 따라서, 복수의 외부 접속 접점쌍의 전기 저항 사이의 편차에 기인하여 도금 막 두께의 균일성에 문제가 없는지의 여부를 사전에 확인하고 나서, 도금 처리를 행할 수 있다. 이 결과, 도금 처리의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
[1] 본 발명의 일형태에 따른 기판 홀더는, 기판을 협지하여 고정하는 제1 및 제2 유지 부재를 구비하고, 상기 제1 유지 부재는, 제1 유지 부재 본체와, 상기 제1 유지 부재 본체에 마련되며, 상기 제1 유지 부재 본체의 면에 평행한 축의 둘레를 회전 가능한 또는 상기 제1 유지 부재 본체의 면에 교차하는 방향으로 왕복 이동 가능한 클램프를 가지고, 상기 제2 유지 부재는, 제2 유지 부재 본체를 가지고, 상기 클램프는, 상기 제1 유지 부재 본체 및 상기 제2 유지 부재 본체가 서로 접촉한 상태로 상기 제2 유지 부재에 결합하여, 상기 제2 유지 부재를 상기 제1 유지 부재에 고정 가능하게 구성되어 있다.
이 기판 홀더에 따르면, 제1 유지 부재 본체의 면에 평행한 축의 둘레를 회전 가능한 또는 제1 유지 부재 본체의 면에 교차하는 방향으로 왕복 이동 가능한 클램프에 의해, 기판을 협지하는 제1 유지 부재와 제2 유지 부재를 서로 고정하기 때문에, 기판에 회전 방향의 힘이 가해지는 것을 억제 내지 방지할 수 있다. 특히 기판이 대형 박막인 경우는, 기판에 회전 방향의 힘이 가해지면 기판에 휨을 발생시킬 우려가 있지만, 이 기판 홀더에 따르면, 대형이고 얇은 기판을 유지하는 경우에도 휨의 발생을 억제 내지 방지할 수 있다.
[2] [1]에 기재된 기판 홀더에 있어서, 상기 클램프는, 제1 편향 부재에 의해 폐쇄하는 방향으로 편향되어 있고, 상기 클램프가 개방된 상태로 상기 제2 유지 부재 본체를 상기 제1 유지 부재 본체에 접촉시키고, 그 후, 상기 클램프를 폐쇄한 상태로, 상기 제2 유지 부재를 상기 제1 유지 부재에 고정 가능하게 구성되어 있다.
이 구성에서는, 클램프가 노멀 클로즈형이기 때문에, 제2 유지 부재 본체를 제1 유지 부재 본체에 접촉할 때에 클램프를 개방하면, 클램프한 상태에서는 액츄에이터 등에 의해 외부로부터 힘을 가할 필요가 없어, 에너지 소비를 억제할 수 있다.
[3] [1] 또는 [2]에 기재된 기판 홀더에 있어서, 상기 제1 유지 부재는, 복수의 클램프를 가지고, 이들 복수의 클램프를 연결하는 연결 부재를 더 가지고, 상기 연결 부재는, 상기 복수의 클램프를 동기하여 동작시키도록 구성되어 있다.
이 구성에서는, 제2 유지 부재를 복수의 개소에서 클램프에 의해 협지하는 것이 가능하고, 또한, 연결 부재에 의해 각 클램프의 동작이 동기되기 때문에, 클램프 동작을 효율적으로 행할 수 있다. 또한, 복수의 클램프를 연결 부재로 연동시킴으로써, 외부로부터 힘을 가하는 액츄에이터의 구성을 간이하게 할 수 있다.
[4] [3]에 기재된 기판 홀더에 있어서, 상기 연결 부재는, 상기 제1 유지 부재 본체에 회전 가능하게 부착된 회전축이다.
이 경우, 연결 부재를 회전축에 의해 구성함으로써 구성이 간이하며, 각 클램프를 확실하게 동기시킬 수 있다.
[5] [3] 또는 [4]에 기재된 기판 홀더에 있어서, 상기 연결 부재에 마련된 제1 힘 받이부를 가지고, 상기 연결 부재는, 상기 제1 힘 받이부에 힘이 부여됨으로써 동작하도록 구성된다.
이 경우, 예컨대 액츄에이터로 제1 힘 받이부에 힘을 가함으로써, 연동 부재를 통해 각 클램프를 동작시킬 수 있기 때문에, 클램프에 의한 유지를 자동화하는 것이 용이하다.
[6] [1] 내지 [5] 중 어느 하나에 기재된 기판 홀더에 있어서, 상기 클램프는, 선단에 결합부를 가지고, 상기 제2 유지 부재는, 상기 클램프의 상기 결합부를 받아들이는 형상의 결합 수용부를 갖는다.
이 경우, 제2 유지 부재에 클램프의 결합부를 받아들이는 형상의 결합 수용부를 마련함으로써, 클램프에 의한 결합을 향상시킬 수 있다.
[7] [6]에 기재된 기판 홀더에 있어서, 상기 결합 수용부는, 상기 제2 유지 부재 본체와 별개체이고, 상기 제2 유지 부재 본체에 부착되어 있다.
이 경우, 별개체의 결합 수용부를 제2 유지 부재 본체에 부착하는 구성으로 함으로써, 결합 수용부의 치수, 형상, 개수 등을 적절하게 선택하는 것이 용이해진다.
[8] [1] 내지 [7]에 기재된 기판 홀더에 있어서, 상기 기판을 유지하기 위한 클립을 더 갖는 것이 가능하다. 기판을 클립으로 유지한 후, 제1 및 제2 유지 부재로 기판을 협지하기 때문에, 기판의 유지를 정확 또한 확실하게 행할 수 있다.
[9] [8]에 기재된 기판 홀더에 있어서, 상기 클립은, 상기 제2 유지 부재 본체의 기판과 접촉하는 측의 면에 마련되고, 상기 제2 유지 부재 본체의 면에 평행한 축의 둘레를 회전 가능 또는 상기 제2 유지 부재 본체의 면에 교차하는 방향으로 왕복 이동 가능하다.
이 기판 홀더에 따르면, 제2 유지 부재 본체의 면에 평행한 축의 둘레를 회전 가능한 또는 제2 유지 부재 본체의 면에 교차하는 방향으로 왕복 이동 가능한 클립에 의해, 기판을 제2 유지 부재에 고정하기 때문에, 기판에 회전 방향 등의 기판면에 평행한 방향의 힘이 가해지는 것을 억제 내지 방지할 수 있다. 특히 기판이 대형 박막인 경우는, 기판에 회전 방향 등의 기판면에 평행한 방향의 힘이 가해지면 기판에 휨을 발생시킬 우려가 있지만, 이 기판 홀더에 따르면, 대형 박막의 기판을 유지하는 경우에도 휨의 발생을 억제 내지 방지할 수 있다. 또한, 클립에 의한 기판 고정 후의 제2 유지 부재의 이동, 자세의 변경 등이 용이하다.
[10] [9]에 기재된 기판 홀더에 있어서, 상기 클립은, 제2 편향 부재에 의해 폐쇄하는 방향으로 편향되어 있다.
이 구성에서는, 클립이 노멀 클로즈형이기 때문에, 기판을 제2 유지 부재 본체에 접촉할 때에 클립을 개방하면, 클립한 상태에서는 액츄에이터 등에 의해 외부로부터 힘을 가할 필요가 없어, 에너지 소비를 억제할 수 있다.
[11] [10]에 기재된 기판 홀더에 있어서, 상기 제2 유지 부재는, 상기 제2 유지 부재 본체에 마련된 제2 힘 받이부를 가지고, 상기 제2 힘 받이부는, 상기 기판과 접촉하는 측의 면과는 반대의 면으로부터 힘을 받아, 상기 클립에 접촉하도록 변위 가능하게 구성되어 있고, 상기 클립은, 상기 제2 힘 받이부에 압압됨으로써 상기 제2 편향 부재에 대항하여 개방하도록 구성되어 있다.
이 경우, 예컨대 액츄에이터로 제2 힘 받이부에 힘을 가함으로써 클립을 동작시킬 수 있기 때문에, 클립에 의한 고정을 자동화하는 것이 용이하다. 기판과 접촉하는 측의 면과는 반대의 면으로부터 힘을 받는 제2 힘 받이부를 마련하기 때문에, 액츄에이터를 기판 접촉면과는 반대측에 배치할 수 있어, 기판 고정 후의 제2 유지 부재의 이동, 자세의 변경 등이 용이하다.
[12] [1] 내지 [11] 중 어느 하나에 기재된 기판 홀더에 있어서, 상기 제1 유지 부재는, 상기 기판과 접촉하는 면에 있어서, 상기 제1 탄성 돌출부를 유지하는 제1 홀더와, 상기 제1 홀더와는 별도의 제2 홀더로서 상기 제2 탄성 돌출부를 유지하는 상기 제2 홀더를 더 구비한다.
이 경우, 제1 탄성 돌출부 및 제2 탄성 돌출부를 유지하는 홀더를 따로따로 마련하기 때문에, 각 탄성 돌출부의 교환을 따로따로 행할 수 있다.
[13] [1] 내지 [12] 중 어느 하나에 기재된 기판 홀더에 있어서, 상기 기판 홀더는, 일단측에 아암부를 구비하고 있다.
이 경우, 아암부에서 기판 홀더를 수직으로 현가한 상태로 반송하는 것이 가능해져, 기판 표면의 파손의 우려를 억제 또는 방지할 수 있다.
[14] [1] 내지 [13] 중 어느 하나에 기재된 기판 홀더에 있어서, 상기 기판 홀더는, 직사각형 형상의 기판을 유지하도록 구성되어 있다.
대형 박막의 직사각형 형상 기판을, 휨을 발생시키지 않고 유지할 수 있다.
[15] 본 발명의 일형태에 따른 도금 장치는, 기판을 유지하는 기판 홀더와, 기판 홀더를 받아들여 상기 기판에 도금 처리하는 도금조를 구비한다. 상기 기판 홀더는, 기판을 협지하여 고정하는 제1 및 제2 유지 부재를 구비한다. 상기 제1 유지 부재는, 제1 유지 부재 본체와, 상기 제1 유지 부재 본체에 마련되며, 상기 제1 유지 부재 본체의 면에 평행한 축의 둘레를 회전 가능한 또는 상기 제1 유지 부재 본체의 면에 교차하는 방향으로 왕복 이동 가능한 클램프를 갖는다. 상기 제2 유지 부재는, 제2 유지 부재 본체를 갖는다. 상기 클램프는, 상기 제1 유지 부재 본체 및 상기 제2 유지 부재 본체가 서로 접촉한 상태로, 상기 제2 유지 부재를 상기 제1 유지 부재측에 압압하도록 상기 제2 유지 부재에 결합하도록 구성되어 있다.
이 도금 장치에 따르면, [1]에서 전술한 바와 같은 채용 효과를 가져온다. 또한, 대형 박막의 기판을 적절하게 기판 홀더에 유지할 수 있기 때문에, 도금 품질을 확보, 향상시킬 수 있다.
[16] 본 발명의 일형태에 따른 기판을 유지하는 방법에서는, 상기 기판을 제1 및 제2 유지 부재 사이에 협지하고, 상기 제1 유지 부재의 면에 평행한 축의 둘레를 회전 가능한 또는 상기 제1 유지 부재 본체의 면에 교차하는 방향으로 왕복 이동 가능한 클램프에 의해, 상기 제2 유지 부재를 상기 제1 유지 부재측에 압압하도록 고정한다.
이 방법에 따르면, [1]에서 전술한 바와 같은 작용 효과를 가져온다.
[17] [16]에 기재된 기판을 유지하는 방법에 있어서, 상기 기판을 제1 및 제2 유지 부재 사이에 협지할 때에, 상기 기판을 상기 제2 유지 부재 위에 두고, 상기 기판을 클립으로 유지하여, 상기 제1 유지 부재와 상기 제2 유지 부재를 서로 근접시켜, 상기 기판을 상기 제1 및 제2 유지 부재 사이에 협지하도록 하여도 좋다.
이 경우, 기판을 제2 유지 부재에 클립으로 유지한 후, 제1 및 제2 유지 부재로 기판을 협지하기 때문에, 클립에 의한 기판 유지 후의 제2 유지 부재의 이동, 자세의 변경 등이 가능해지며, 기판의 유지를 정확 또한 확실하게 행할 수 있다.
[18] 본 발명의 일형태에 따른 기판 홀더는, 기판을 협지하는 제1 및 제2 유지 부재를 구비하고, 상기 제1 유지 부재는, 제1 유지 부재 본체와, 피복이 제거된 일단부를 갖는 적어도 하나의 케이블과, 상기 기판에 전기적으로 접촉 가능하게 구성된 적어도 하나의 제1 도전 부재와, 상기 제1 유지 부재 본체에 마련되며, 상기 제1 도전 부재 또는 상기 제1 도전 부재와 전기적으로 도통되는 제2 도전 부재와 함께, 상기 케이블의 상기 일단부를 협지하도록 구성되어 있는 협지 부재를 갖는다.
이 기판 홀더에서는, 케이블의 일단부에 있어서 피복을 제거하고, 케이블의 피복 제거부를 도전 부재와 함께 협지함으로써, 간이한 구성으로, 케이블과 도전 부재 사이의 전기적인 접속을 확립할 수 있다. 즉, 케이블 단부에 커넥터 등을 마련하는 일없이, 케이블과 도전 부재 사이의 접속을 행할 수 있다. 기판의 복수의 개소에 도전 부재를 접촉시켜 급전하는 경우, 기판 홀더 내에서 복수의 케이블을 둘러쳐 전기적 접속을 행할 필요가 있지만, 이 기판 홀더에 따르면, 간이한 구성으로, 케이블과 도전 부재 사이의 전기적인 접속을 확립할 수 있어, 기판 홀더의 대형화를 억제할 수 있다. 또한, 대형의 기판에 급전하는 경우나, 기판에의 공급 전류값이 큰 경우에는, 케이블의 수가 증가하고, 케이블 직경도 커진다. 예컨대, 이러한 경우에, 이 기판 홀더에 의한 간이한 케이블의 접속은 유효하다.
[19] [18]에 기재된 기판 홀더에 있어서, 상기 협지 부재는, 상기 제1 유지 부재 본체 상에 배치된 판형 부재와, 상기 판형 부재에 나사 결합 또는 감합한 상태로, 상기 제1 도전 부재 또는 상기 제1 도전 부재와 전기적으로 도통되는 제2 도전 부재와 함께, 상기 케이블의 상기 일단부를 협지하는 체결 부재를 갖는 것이 가능하다.
이 경우, 체결 부재에 의해 간이한 구성, 간이한 작업으로, 케이블과 도전 부재 사이의 전기적 접속을 확립할 수 있다.
[20] [19]에 기재된 기판 홀더에 있어서, 상기 체결 부재는, 볼트 또는 나사인 것이 가능하다.
볼트 또는 나사에 의해, 케이블과 도전 부재 사이의 전기적 접속을 간이하게 구성할 수 있어, 비용 증가를 억제할 수 있다.
[21] [19] 또는 [20]에 기재된 기판 홀더에 있어서, 상기 제1 유지 부재는, 상기 제1 유지 부재 본체에 마련되고, 상기 기판과 상기 제1 유지 부재 본체 사이를 시일하기 위한 제1 시일과, 상기 제1 시일을 상기 제1 유지 부재 본체에 부착하는 제1 시일 홀더를 더 구비하고, 상기 판형 부재는, 상기 제1 시일 홀더인 것이 가능하다.
이 경우, 시일 홀더를 이용하여 케이블과 도전 부재를 협지할 수 있기 때문에, 기존의 구성을 이용할 수 있어, 기판 홀더의 대형화, 비용 증가를 억제할 수 있다.
[22] [21]에 기재된 기판 홀더에 있어서, 상기 제1 유지 부재 본체는, 상기 제1 시일보다 직경 방향 외측에 있어서 제2 시일을 더 구비하고, 상기 케이블은, 상기 제1 시일과 상기 제2 시일 사이에 배치되어 있는 것이 가능하다.
이 경우, 제1 및 제2 시일로 밀폐된 공간 내에 있어서, 케이블과 도전 부재 사이의 전기적 접속을 확립할 수 있다.
[23] [22]에 기재된 기판 홀더에 있어서, 상기 제1 유지 부재 본체는, 상기 제2 시일을 유지하는 제2 시일 홀더를 더 구비한다.
이 경우, 제1 시일 및 제2 시일의 시일 홀더가 따로따로이기 때문에, 시일을 따로따로 교환하는 것이 용이하다. 또한, 시일 홀더를 따로따로 교환하는 것도 용이하다.
[24] [18] 내지 [23] 중 어느 하나에 기재된 기판 홀더에 있어서, 상기 제1 유지 부재는, 복수의 상기 제1 도전 부재와, 각 제1 도전 부재에 할당된 복수의 상기 케이블을 가지고, 각 제1 도전 부재는, 상기 기판이 상이한 부분에 접촉하기 위해 배치되어 있고, 각 케이블은, 상기 제1 유지 부재의 두께 방향으로 중첩되지 않고 나란히 배치되며, 할당된 상기 제1 도전 부재의 위치에서 종단하도록 구성되어 있는 것이 가능하다.
케이블이 기판 홀더의 두께 방향으로 중첩되지 않도록 함으로써, 기판 홀더의 두께의 증가를 억제하는 것이 가능하다. 특히, 대형의 기판이나, 전류량이 큰 경우에는, 케이블의 수, 케이블의 직경이 커질 가능성이 있지만, 이 구성에 따르면, 기판 홀더의 두께 방향에서의 증대를 억제할 수 있다.
[25] [24]에 기재된 기판 홀더에 있어서, 상기 복수의 케이블은, 제1 내지 제3 케이블을 가지고, 상기 제1 내지 제3 케이블의 각각은, 상기 제1 유지 부재 본체의 제1 내지 제3 위치에 배치된 상기 제1 도전 부재에 각각 할당되고 있고, 제1 내지 제3 위치는 이 순서로 배열되어 있고, 상기 제1 내지 제3 케이블의 각각은, 상기 제1 유지 부재 본체의 제1 내지 제3 위치에서 각각 종단하고, 상기 제1 위치의 상기 제3 위치의 반대측에서는, 상기 제1 내지 제3 케이블이 나란히 연장되고, 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이에서는, 상기 제2 및 제3 케이블이 나란히 연장되고, 상기 제2 위치와 상기 제3 위치 사이에서는, 상기 제3 케이블이 연장되는 것이 가능하다.
선단의 피복이 제거된 각 케이블을 순차, 각 도전 부재의 위치에 인입되어, 접속하기 때문에, 접속 위치까지의 케이블 사이의 절연을 확보하며, 간이한 구성으로 케이블을 도전 부재에 접속할 수 있다.
[26] [18] 내지 [25] 중 어느 하나에 기재된 기판 홀더와, 기판 홀더를 받아들여 상기 기판에 도금 처리하는 도금조를 구비하는, 도금 장치를 제공하는 것이 가능하다.
상기 기판 홀더를 도금 장치에 적용하는 경우, 기판 홀더의 대형화를 억제할 수 있기 때문에, 도금 장치의 대형화도 억제할 수 있다.
[27] 본 발명의 일형태에 따른 도금 장치는, 기판을 유지하는 기판 홀더와, 기판 홀더를 받아들여 상기 기판에 도금 처리하는 도금조를 구비하고, 상기 기판 홀더는, 제1 유지 부재를 가지고, 상기 제1 유지 부재는, 제1 유지 부재 본체와, 피복이 제거된 일단부를 갖는 적어도 하나의 케이블과, 상기 기판에 전기적으로 접촉 가능하게 구성된 적어도 하나의 제1 도전 부재와, 상기 제1 유지 부재 본체에 마련되며, 상기 제1 도전 부재 또는 상기 제1 도전 부재와 전기적으로 도통되는 제2 도전 부재와 함께, 상기 케이블의 상기 일단부를 협지하도록 구성되어 있는 협지 부재를 갖는다.
상기 [26]의 경우와 같은 작용 효과를 가져온다.
[28] [27]에 기재된 도금 장치에 있어서, 상기 기판 홀더는, 제1 미리 정해진 수의 상기 케이블과, 복수의 외부 접속 접점쌍을 구비하고, 각 외부 접속 접점쌍은, 제1 측의 접점과 제2 측의 접점을 가지고, 상기 제1 측 및 상기 제2 측의 접점에는, 제1 미리 정해진 수보다 작으며 또한 2 이상인 제2 미리 정해진 수의 케이블이 전기적으로 접속되어 있고, 각 외부 접속 접점쌍의 상기 제1 측의 접점과 상기 제2 측의 접점 사이의 전기 저항을 측정하는 저항 측정기를 더 포함할 수 있다.
이 경우, 도금 처리 전에 각 외부 접속 접점쌍의 제1 및 제2 측의 접점 사이의 전기 저항을 측정하여, 복수의 외부 접속 접점쌍의 전기 저항에 편차가 없는지를 확인하는 통전 확인 처리를 실시할 수 있다. 따라서, 복수의 외부 접속 접점쌍의 전기 저항 사이의 편차에 기인하여 도금 막 두께의 균일성에 문제가 없는지의 여부를 사전에 확인하고 나서, 도금 처리를 행할 수 있다. 이 결과, 도금 처리의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
[29] 본 발명의 일형태에 따른 기판 홀더의 제조 방법은, 상기 기판을 유지하는 제1 유지 부재에 있어서, 피복이 제거된 일단부를 갖는 적어도 하나의 케이블을 배치하고, 상기 기판에 전기적으로 접촉 가능하게 구성된 적어도 하나의 제1 도전 부재, 또는 상기 제1 도전 부재와 전기적으로 도통되는 제2 도전 부재와 함께, 상기 케이블의 상기 일단부를 협지 부재로 협지하여, 상기 케이블과 상기 제1 도전 부재 사이의 전기적인 접속을 확립한다.
이 기판 홀더의 제조 방법에서는, 케이블의 일단부에 있어서 피복을 제거하고, 케이블의 피복 제거부를 도전 부재와 함께 협지함으로써, 간이한 구성으로, 케이블과 도전 부재 사이의 전기적인 접속을 확립할 수 있다. 즉, 케이블 단부에 커넥터 등을 마련하는 일없이, 케이블과 도전 부재 사이의 접속을 행할 수 있다. 기판의 복수의 개소에 도전 부재를 접촉시켜 급전하는 경우, 기판 홀더 내에서 복수의 케이블을 둘러쳐 전기적 접속을 행할 필요가 있지만, 이 기판 홀더에 따르면, 간이한 구성으로, 케이블과 도전 부재 사이의 전기적인 접속을 확립할 수 있어, 기판 홀더의 대형화를 억제할 수 있다. 또한, 대형의 기판에 급전하는 경우나, 기판에의 공급 전류값이 큰 경우에는, 케이블의 수가 증가하고, 케이블 직경도 커진다. 예컨대, 이러한 경우에, 이 기판 홀더에 의한 간이한 케이블의 접속은 유효하다.
[30] 본 발명의 일형태에 따른 도금 방법은, 기판 홀더에 유지된 기판에 도금 처리를 하는 도금 방법으로서, 상기 기판 홀더에 상기 기판을 유지시키는 단계로서, 상기 기판 홀더는, 피복이 제거된 일단부를 갖는 적어도 하나의 케이블과, 상기 기판에 전기적으로 접촉 가능하게 구성된 적어도 하나의 제1 도전 부재와, 상기 제1 도전 부재 또는 상기 제1 도전 부재와 전기적으로 도통되는 제2 도전 부재와 함께, 상기 케이블의 상기 일단부를 협지하도록 구성되어 있는 협지 부재를 갖는, 상기 단계와, 상기 기판 홀더에 유지된 상기 기판에, 상기 케이블을 통해 급전하면서 도금 처리를 행하는 단계를 포함한다.
이 도금 방법에서는, 대형의 기판에 급전하는 경우나, 기판에의 공급 전류값이 큰 경우라도, 기판 홀더에 있어서의 케이블과 도전 부재 사이의 전기적인 접속이 간이한 구성이기 때문에, 대형화를 억제 내지 방지한 기판 홀더를 이용하여 도금 처리를 행할 수 있다.
[31] [30]에 기재된 도금 방법에 있어서, 상기 기판 홀더는, 제1 미리 정해진 수의 상기 케이블과, 복수의 외부 접속 접점쌍을 구비하고, 각 외부 접속 접점쌍은, 제1 측의 접점과 제2 측의 접점을 가지고, 상기 제1 측 및 상기 제2 측의 접점에는, 제1 미리 정해진 수보다 작으며 또한 2 이상인 제2 미리 정해진 수의 케이블이 전기적으로 접속되어 있고, 각 외부 접속 접점쌍의 상기 제1 측의 접점과 상기 제2 측의 접점 사이에 저항 측정기를 접촉시켜, 각 외부 접속 접점쌍의 전기 저항을 측정하는 단계를 더 포함한다.
이 경우, 도금 처리 전에 각 외부 접속 접점쌍의 제1 및 제2 측의 접점 사이의 전기 저항을 측정하여, 복수의 외부 접속 접점쌍의 전기 저항에 편차가 없는지를 확인하는 통전 확인 처리를 실시한다. 따라서, 복수의 외부 접속 접점쌍의 전기 저항 사이의 편차에 기인하여 도금 막 두께의 균일성에 문제가 없는지의 여부를 사전에 확인하고 나서, 도금 처리를 행할 수 있다. 이 결과, 도금 처리의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
이상, 몇 가지의 예에 기초하여 본 발명의 실시형태에 대해서 설명해 왔지만, 상기한 발명의 실시형태는, 본 발명의 이해를 쉽게 하기 위한 것이며, 본 발명을 한정하는 것이 아니다. 본 발명은, 그 취지를 일탈하는 일없이, 변경, 개량될 수 있으며, 본 발명에는, 그 균등물이 포함되는 것은 물론이다. 또한, 전술한 과제 중 적어도 일부를 해결할 수 있는 범위, 또는, 효과 중 적어도 일부를 발휘하는 범위에 있어서, 청구범위 및 명세서에 기재된 각 구성 요소의 임의의 조합, 또는, 생략이 가능하다.
본원은 2016년 9월 8일자의 일본국 특허 출원 제2016-175785호에 기초하는 우선권을 주장한다. 2016년 9월 29일자의 일본국 특허 출원 제2016-191003호의 명세서, 특허청구의 범위, 도면 및 요약서를 포함하는 모든 개시 내용은, 참조에 의해 전체로서 본원에 삽입된다.
일본 특허 공개 제2016-117917호 공보(특허문헌 1), 일본 특허 제4179707호 공보(특허문헌 2), 일본 특허 공개 제2009-270167호 공보(특허문헌 3) 및 일본 특허 공개 제2016-117917호 공보(특허문헌 4)의 명세서, 특허청구의 범위, 도면 및 요약서를 포함하는 모든 개시는, 참조에 의해 전체로서 본원에 삽입된다.
1…기판 홀더
25…카세트 테이블
25a…카세트
27…기판 반송 장치
28…주행 기구
29…기판 탈착 기구
30…스토커
32…프리웨트조
33…프리소우크조
34…프리린스조
35…블로우조
36…린스조
37…기판 홀더 반송 장치
38…오버플로우조
39…도금조
50…세정 장치
50a…세정부
100…도금 장치
110…언로드부
120…처리부
120A…전처리·후처리부
120B…처리부
175…컨트롤러
175A…CPU
175B…메모리
175C…제어부
300…프론트 플레이트
301…전면
302…배면
303…개구부
310…프론트 플레이트 본체
311…배선 버퍼부
311a…배선 구멍
312…페이스부
313…두께부
320…부착부
330…아암부
331…커넥터
340…클램프
340a…결합부
342…레버
350…고정 부재
361…이너 시일
362…아우터 시일
363…시일 홀더
363a…배선홈
364…시일 홀더
365…케이블 통로
370…컨택트
390…위치 맞춤 핀
400…백 플레이트
401…전면
402…배면
410…백 플레이트 본체
420…클립부
421…클립
421a…클로부
421b…긴 구멍
421c…둥근 구멍
422…코일 스프링
422a…다리부
422b…다리부
422c…감김부
423…고정부
423b…규제면
423b…안내면
424…고정축
430…결합 수용부
430a…돌출부
470…버튼
471…힘 받이부
472…탄성 부분
473…부착부
474…누름 부재
475…체결 부재
490…위치 맞춤 부재
601…도전선
602…피복

Claims (29)

  1. 기판을 협지하여 고정하기 위한 제1 및 제2 유지 부재를 구비하고,
    상기 제1 유지 부재는, 제1 유지 부재 본체와, 상기 제1 유지 부재 본체에 마련되며, 상기 제1 유지 부재 본체의 면에 평행한 축의 둘레를 회전 가능한 또는 상기 제1 유지 부재 본체의 면에 교차하는 방향으로 왕복 이동 가능한 클램프를 가지고,
    상기 제2 유지 부재는, 제2 유지 부재 본체를 가지고,
    상기 클램프는, 상기 제1 유지 부재 본체 및 상기 제2 유지 부재 본체가 서로 접촉한 상태로 상기 제2 유지 부재에 결합하여, 상기 제2 유지 부재를 상기 제1 유지 부재에 고정 가능하게 구성되어 있는, 기판 홀더.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 클램프는, 제1 편향 부재에 의해 폐쇄하는 방향으로 편향되어 있고,
    상기 클램프가 개방된 상태로 상기 제2 유지 부재 본체를 상기 제1 유지 부재 본체에 접촉시키고, 그 후, 상기 클램프를 폐쇄한 상태로, 상기 제2 유지 부재를 상기 제1 유지 부재에 고정 가능하게 구성되어 있는, 기판 홀더.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 유지 부재는, 복수의 클램프를 가지며, 이들 복수의 클램프를 연결하는 연결 부재를 더 가지고,
    상기 연결 부재는, 상기 복수의 클램프를 동기하여 동작시키도록 구성되어 있는, 기판 홀더.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 연결 부재는, 상기 제1 유지 부재 본체에 회전 가능하게 부착된 회전축인, 기판 홀더.
  5. 제3항 또는 제4항에 있어서,
    상기 연결 부재에 마련된 제1 힘 받이부를 가지고,
    상기 연결 부재는, 상기 제1 힘 받이부에 힘이 부여됨으로써 동작하도록 구성되는, 기판 홀더.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 클램프는, 선단에 결합부를 가지고,
    상기 제2 유지 부재는, 상기 클램프의 상기 결합부를 받아들이는 형상의 결합 수용부를 갖는, 기판 홀더.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 결합 수용부는, 상기 제2 유지 부재 본체와 별개체이며, 상기 제2 유지 부재 본체에 부착되어 있는, 기판 홀더.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판을 유지하기 위한 클립을 더 가진, 기판 홀더.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 클립은, 상기 제2 유지 부재 본체의 기판과 접촉하는 측의 면에 상기 제2 유지 부재에 마련되며, 상기 제2 유지 부재 본체의 면에 평행한 축의 둘레를 회전 가능 또는 상기 제2 유지 부재 본체의 면에 교차하는 방향으로 왕복 이동 가능한, 기판 홀더.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 클립은, 제2 편향 부재에 의해 폐쇄하는 방향으로 편향되어 있는, 기판 홀더.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제2 유지 부재는, 상기 제2 유지 부재 본체에 마련된 제2 힘 받이부를 가지고,
    상기 제2 힘 받이부는, 상기 기판과 접촉하는 측의 면과는 반대의 면으로부터 힘을 받아, 상기 클립에 접촉하도록 변위 가능하게 구성되어 있고,
    상기 클립은, 상기 제2 힘 받이부에 압압됨으로써 상기 제2 편향 부재에 대항하여 개방하도록 구성되어 있는, 기판 홀더.
  12. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 유지 부재는, 상기 기판과 접촉하는 면에 있어서, 상기 제1 탄성 돌출부를 유지하는 제1 홀더와, 상기 제1 홀더와는 별도의 제2 홀더로서 상기 제2 탄성 돌출부를 유지하는 상기 제2 홀더를 더 구비하는, 기판 홀더.
  13. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판 홀더는, 일단측에 아암부를 구비하고 있는, 기판 홀더.
  14. 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판 홀더는, 직사각형 형상의 기판을 유지하도록 구성되어 있는, 기판 홀더.
  15. 기판을 유지하기 위한 기판 홀더와,
    기판 홀더를 받아들여 상기 기판에 도금 처리하는 도금조
    를 구비하고,
    상기 기판 홀더는, 기판을 협지하여 고정하기 위한 제1 및 제2 유지 부재를 구비하고,
    상기 제1 유지 부재는, 제1 유지 부재 본체와, 상기 제1 유지 부재 본체에 마련되며, 상기 제1 유지 부재 본체의 면에 평행한 축의 둘레를 회전 가능한 또는 상기 제1 유지 부재 본체의 면에 교차하는 방향으로 왕복 이동 가능한 클램프를 가지고,
    상기 제2 유지 부재는, 제2 유지 부재 본체를 가지고,
    상기 클램프는, 상기 제1 유지 부재 본체 및 상기 제2 유지 부재 본체가 서로 접촉한 상태로 상기 제2 유지 부재에 결합하여, 상기 제2 유지 부재를 상기 제1 유지 부재에 고정 가능하게 구성되어 있는, 기판 홀더를 구비하는, 도금 장치.
  16. 기판을 유지하는 방법으로서,
    상기 기판을 제1 및 제2 유지 부재 사이에 협지하고,
    상기 제1 유지 부재의 면에 평행한 축의 둘레를 회전 가능한 또는 상기 제1 유지 부재 본체의 면에 교차하는 방향으로 왕복 이동 가능한 클램프에 의해, 상기 제2 유지 부재를 상기 제1 유지 부재측에 압압하도록 고정하는, 방법.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 기판을 제1 및 제2 유지 부재 사이에 협지할 때에,
    상기 기판을 상기 제2 유지 부재 위에 두고, 상기 기판을 클립으로 유지하며, 상기 제1 유지 부재와 상기 제2 유지 부재를 서로 근접시켜, 상기 기판을 상기 제1 및 제2 유지 부재 사이에 협지하도록 한, 방법.
  18. 기판을 협지하는 제1 및 제2 유지 부재를 구비하고,
    상기 제1 유지 부재는,
    제1 유지 부재 본체와,
    피복이 제거된 일단부를 갖는 적어도 하나의 케이블과,
    상기 기판에 전기적으로 접촉 가능하게 구성된 적어도 하나의 제1 도전 부재와,
    상기 제1 유지 부재 본체에 마련되며, 상기 제1 도전 부재 또는 상기 제1 도전 부재와 전기적으로 도통되는 제2 도전 부재와 함께, 상기 케이블의 상기 일단부를 협지하도록 구성되어 있는 협지 부재
    를 갖는, 기판 홀더.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 협지 부재는,
    상기 제1 유지 부재 본체 상에 배치된 판형 부재와,
    상기 판형 부재에 나사 결합 또는 감합한 상태로, 상기 제1 도전 부재 또는 상기 제1 도전 부재와 전기적으로 도통되는 제2 도전 부재와 함께, 상기 케이블의 상기 일단부를 협지하는 체결 부재
    를 갖는, 기판 홀더.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 체결 부재는, 볼트 또는 나사인, 기판 홀더.
  21. 제19항 또는 제20항에 있어서,
    상기 제1 유지 부재는, 상기 제1 유지 부재 본체에 마련되며, 상기 기판과 상기 제1 유지 부재 본체 사이를 시일하기 위한 제1 시일과,
    상기 제1 시일을 상기 제1 유지 부재 본체에 부착하는 제1 시일 홀더를 더 구비하고,
    상기 판형 부재는, 상기 제1 시일 홀더인, 기판 홀더.
  22. 제21항에 있어서,
    상기 제1 유지 부재 본체는, 상기 제1 시일보다 직경 방향 외측에 있어서 제2 시일을 더 구비하고,
    상기 케이블은, 상기 제1 시일과 상기 제2 시일 사이에 배치되어 있는, 기판 홀더.
  23. 제22항에 있어서,
    상기 제1 유지 부재 본체는, 상기 제2 시일을 유지하는 제2 시일 홀더를 더 구비하는, 기판 홀더.
  24. 제18항 내지 제23항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 유지 부재는, 복수의 상기 제1 도전 부재와, 각 제1 도전 부재에 할당된 복수의 상기 케이블을 가지고,
    각 제1 도전 부재는, 상기 기판이 상이한 부분에 접촉하도록 배치되어 있고,
    각 케이블은, 상기 제1 유지 부재의 두께 방향으로 중첩되지 않고 나란히 배치되며, 할당된 상기 제1 도전 부재의 위치에서 종단하도록 구성되어 있는, 기판 홀더.
  25. 제24항에 있어서,
    상기 복수의 케이블은, 제1 내지 제3 케이블을 가지고,
    상기 제1 내지 제3 케이블의 각각은, 상기 제1 유지 부재 본체의 제1 내지 제3 위치에 배치된 상기 제1 도전 부재에 각각 할당되어 있으며, 제1 내지 제3 위치는 이 순서로 배열되어 있고,
    상기 제1 내지 제3 케이블의 각각은, 상기 제1 유지 부재 본체의 제1 내지 제3 위치에서 각각 종단하고,
    상기 제1 위치의 상기 제3 위치의 반대측에서는, 상기 제1 내지 제3 케이블이 나란히 연장되고, 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이에서는, 상기 제2 및 제3 케이블이 나란히 연장되고, 상기 제2 위치와 상기 제3 위치 사이에서는, 상기 제3 케이블이 연장되는, 기판 홀더.
  26. 제18항 내지 제25항 중 어느 한 항에 따른 기판 홀더와,
    기판 홀더를 받아들여 상기 기판에 도금 처리하는 도금조를 구비하는, 도금 장치.
  27. 기판을 유지하는 기판 홀더와,
    기판 홀더를 받아들여 상기 기판에 도금 처리하는 도금조
    를 구비하고,
    상기 기판 홀더는, 제1 유지 부재를 가지고, 상기 제1 유지 부재는,
    제1 유지 부재 본체와,
    피복이 제거된 일단부를 갖는 적어도 하나의 케이블과,
    상기 기판에 전기적으로 접촉 가능하게 구성된 적어도 하나의 제1 도전 부재와,
    상기 제1 유지 부재 본체에 마련되며, 상기 제1 도전 부재 또는 상기 제1 도전 부재와 전기적으로 도통되는 제2 도전 부재와 함께, 상기 케이블의 상기 일단부를 협지하도록 구성되어 있는 협지 부재를 갖는, 도금 장치.
  28. 제27항에 있어서,
    상기 기판 홀더는, 제1 미리 정해진 수의 상기 케이블과, 복수의 외부 접속 접점쌍을 구비하고, 각 외부 접속 접점쌍은, 제1 측의 접점과 제2 측의 접점을 가지고, 상기 제1 측 및 상기 제2 측의 접점에는, 제1 미리 정해진 수보다 작으며 또한 2 이상인 제2 미리 정해진 수의 케이블이 전기적으로 접속되어 있고,
    각 외부 접속 접점쌍의 상기 제1 측의 접점과 상기 제2 측의 접점 사이의 전기 저항을 측정하는 저항 측정기를 더 포함하는, 도금 장치.
  29. 기판을 유지하는 기판 홀더의 제조 방법으로서,
    상기 기판을 유지하는 제1 유지 부재에 있어서, 피복이 제거된 일단부를 갖는 적어도 하나의 케이블을 배치하고,
    상기 기판에 전기적으로 접촉 가능하게 구성된 적어도 하나의 제1 도전 부재, 또는 상기 제1 도전 부재와 전기적으로 도통되는 제2 도전 부재와 함께, 상기 케이블의 상기 일단부를 협지 부재로 협지하여, 상기 케이블과 상기 제1 도전 부재 사이의 전기적인 접속을 확립하는, 기판 홀더의 제조 방법.
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