KR20220043849A

KR20220043849A - 접점 구조, 기판 홀더, 도금 장치 및 기판에 급전하는 방법

Info

Publication number: KR20220043849A
Application number: KR1020210091437A
Authority: KR
Inventors: 마츠타로 미야모토
Original assignee: 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
Priority date: 2020-09-29
Filing date: 2021-07-13
Publication date: 2022-04-05
Also published as: CN114318477A; US20220098749A1; US11668018B2; JP7483578B2; JP2022055998A; TW202212645A

Abstract

기판 접점에 대한 도금액의 접촉을 억제하는 구조를 개선한다.
기판에 접촉하는 선단측의 제1 접점 부분과, 상기 제1 접점 부분보다도 기단측의 제2 접점 부분을 갖는 기판 접점과, 상기 기판 접점의 주위를 덮고, 상기 기판에 접촉하여 상기 기판 접점을 시일하는 시일면을 갖는 시일 부재와, 상기 기판 접점에 상기 기판에 대한 접촉 압력을 탄성적으로 부여하는 제1 압박 부분과, 상기 시일 부재에 접촉하고, 상기 제1 압박 부분과 독립적으로 상기 시일 부재에 상기 기판에 대한 접촉 압력을 부여하는 제2 압박 부분을 구비하고, 상기 제1 접점 부분은, 상기 시일 부재에 접착되어 있고, 상기 제2 접점 부분은, 상기 시일 부재에 대하여 상대 변위 가능하게 끼워 맞춤되어 있는, 접점 구조.

Description

접점 구조, 기판 홀더, 도금 장치 및 기판에 급전하는 방법{CONTACT STRUCTURE, SUBSTRATE HOLDER, APPARATUS FOR PLATING, AND METHOD OF FEEDING ELECTRIC POWER TO SUBSTRATE}

본 발명은, 기판에 급전하기 위한 접점 구조, 기판 홀더, 도금 장치 및 기판에 급전하는 방법에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼나 프린트 기판 등의 기판의 표면에 배선이나 범프(돌기상 전극) 등을 형성하는 것이 행해지고 있다. 이 배선 및 범프 등을 형성하는 방법으로서, 전해 도금법이 알려져 있다. 전해 도금법에 사용하는 도금 장치에서는, 원형 또는 다각형의 기판의 단부면을 시일하고, 피도금면을 노출시켜서 보유 지지하는 기판 홀더를 구비한다. 이와 같은 도금 장치에 있어서 기판 표면에 도금 처리를 행할 때는, 기판을 보유 지지한 기판 홀더를 도금액 중에 침지시킨다. 그런데, 근년, 회로 선폭의 소치수화에 수반하여, 기판 표면에 형성되는 통전용의 시드층도 박막화하는 경향이 있다. 시드층이 얇아지고(예를 들어 약 1㎛ 이하), 전기 접점(콘택트) 둘레가 습윤하면, 시드층에 션트 전류(바이폴라 전류)가 흐르는 것, 및/또는, 기액 계면 근방의 에칭(용존 산소 농도 구배에 의한 국부 전지 부식)이 발생함으로써, 시드층의 용해를 야기할 경우가 있다. 시드층의 용해가 발생하면, 적정한 도금을 할 수 없게 되므로, 적어도 전기 접점 둘레를 드라이하게 할 필요가 있다.

종래, 기판 접점과 도금액의 접촉을 억제 내지 방지하기 위한 다양한 접점 구조가 제안되어 있다. 일본 특허 공개 평8-13198호 공보(특허문헌 1)에는, 원주형의 기판 접점을 불소 고무의 커버로 덮고, 커버에 접점의 선단보다도 돌출되어 확대 개방하는 중공 원추상 부분을 마련한 구성이 기재되어 있다. 이 구성에서는, 기판 접점이 기판에 접촉했을 때, 커버의 중공 원추상 부분이 기판에 압박되어 밀착되고, 중공 원추상 부분의 내측 공간에 접점의 접촉면이 밀폐 수용되도록 되어 있다. 일본 특허 공개 평7-54199호 공보(특허문헌 2)에는, 탄성편의 선단측을 절곡하여 형성된 클로 형상의 콘택트에 있어서, 탄성편을 절연 테이프로 피복함과 함께 클로에 접착제를 도포하고, 콘택트의 접촉 개소 이외를 절연체로 실드하는 구성이 기재되어 있다. 일본 특허 공개 제2000-219998호 공보(특허문헌 3)에는, 판상 또는 봉상의 도전성의 지지부와, 그 선단에 마련된 도전성의 접촉부를 구비하는 콘택트에 있어서, 접촉부 이외를 절연성의 피복부로 덮은 구성이 기재되어 있다. 이 구성에서는, 절연성의 피막에 의해 콘택트와 기판 사이의 접촉 개소를 시일하고 있다.

일본 특허 공개 평8-13198호 공보 일본 특허 공개 평7-54199호 공보 일본 특허 공개 제2000-219998 공보

특허문헌 1과 같이, 탄성 변형하는 중공 원추상 부분을 마련하면, 강한 시일력을 발생시키는 것이 곤란하다는 문제가 있다. 또한, 기판 상에서 시일로 덮여지는 면적이 커지는 문제가 있다. 특허문헌 2 및 특허문헌 3과 같이 콘택트와 시일을 일체로 하는 구성은, 시일력이 유지되는 구조가 아니라, 이 경우도 충분한 시일력을 얻을 수 없다. 특허문헌 1 내지 3의 어느 쪽의 구성도, 시드층의 용해를 방지하기 위해서는 문제가 있다.

본 발명의 목적은, 상술한 과제의 적어도 일부를 해결하는 데에 있다.

본 발명의 일 측면에 의하면, 기판에 접촉하는 선단측의 제1 접점 부분과, 상기 제1 접점 부분보다도 기단측의 제2 접점 부분을 갖는 기판 접점과, 상기 기판 접점의 주위를 덮고, 상기 기판에 접촉하여 상기 기판 접점을 시일하는 시일면을 갖는 시일 부재와, 상기 기판 접점에 상기 기판에 대한 접촉 압력을 탄성적으로 부여하는 제1 압박 부분과, 상기 시일 부재에 접촉하고, 상기 제1 압박 부분과 독립적으로 상기 시일 부재에 상기 기판에 대한 접촉 압력을 부여하는 제2 압박 부분을 구비하고, 상기 제1 접점 부분은, 상기 시일 부재에 접착되어 있고, 상기 제2 접점 부분은, 상기 시일 부재에 대하여 상대 변위 가능하게 끼워 맞춤되어 있는, 접점 구조가 제공된다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 홀더가 사용되는 도금 장치의 전체 배치도이다.
도 2는 전방면측에서 본 기판 홀더의 사시도이다.
도 3은 배면측에서 본 기판 홀더의 사시도이다.
도 4는 각 보유 지지 부재가 분리된 상태를 도시하는 기판 홀더의 사시도이다.
도 5는 기판 홀더의 외부 접속부의 확대 사시도이다.
도 6은 세로 부재의 종단면도이다.
도 7은 세로 부재의 분해 사시도이다.
도 8은 급전 모듈×1단위 길이분에 대응하는 버스 바의 배면측으로부터의 사시도이다.
도 9는 시일 부재의 배면측으로부터의 사시도이다.
도 10은 접점 플레이트의 배면측으로부터의 사시도이다.
도 11은 급전 모듈×1단위 길이분에 대응하는 프론트 플레이트의 배면측으로부터의 사시도이다.
도 12는 급전 모듈 근방을 확대한 평면도이다.
도 13은 도 12의 XIII-XIII를 따르는 급전 모듈의 단면도이다.
도 13a는 시일부의 에지 효과를 설명하는 설명도이다.
도 14는 도 12의 XIV-XIV를 따르는 급전 모듈의 단면도이다.
도 15는 급전 모듈의 단면 사시도이다.
도 16은 누름판의 다른 구성을 구비한 급전 모듈의 단면도이다.
도 17은 누름판의 다른 구성을 도시하는 평면도이다.
도 18은 다른 실시 형태에 따른 급전 모듈의 단면도이다.
도 19는 제2 보유 지지 부재의 걸림 고정 기구 부근을 확대한 사시도이다.
도 20은 제1 및 제2 보유 지지 부재의 걸림 결합 상태에서 걸림 고정 기구를 도시하는 사시도이다.
도 21은 제2 보유 지지 부재의 걸림 고정 기구 부근을 확대한 배면도이다.
도 22는 로크 상태에 있어서의 도 21의 XXII-XXII선을 따르는 단면도이다.
도 23은 로크 상태에 있어서의 도 21의 XXIII-XXIII선을 따르는 단면도이다.

이하에, 본 발명에 따른 도금 장치 및 도금 장치에 사용되는 기판 홀더의 실시 형태를 첨부 도면과 함께 설명한다. 첨부 도면에 있어서, 동일하거나 또는 유사한 요소에는 동일하거나 또는 유사한 참조 부호가 부여되고, 각 실시 형태의 설명에 있어서 동일하거나 또는 유사한 요소에 관한 중복되는 설명은 생략하는 경우가 있다. 또한, 각 실시 형태에서 나타내어지는 특징은, 서로 모순되지 않는 한 다른 실시 형태에도 적용 가능하다.

본 명세서에 있어서 「기판」에는, 반도체 기판, 유리 기판, 액정 기판, 프린트 회로 기판뿐만 아니라, 자기 기록 매체, 자기 기록 센서, 미러, 광학 소자, 미소 기계 소자, 또는 부분적으로 제작된 집적 회로, 그 밖의 임의의 피처리 대상물을 포함한다. 기판은, 다각형, 원형을 포함하는 임의의 형상의 것을 포함한다. 또한, 본 명세서에 있어서 「전방면」, 「배면」, 「프론트」, 「백」, 「상」, 「하」, 「좌」, 「우」 등의 표현을 사용하지만, 이들은, 설명의 사정상, 예시 도면의 지면 상에 있어서의 위치, 방향을 나타내는 것이고, 장치 사용 시 등의 실제의 배치에서는 다른 경우가 있다.

도 1은, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 기판 홀더가 사용되는 도금 장치의 전체 배치도이다. 도금 장치(100)는, 기판 홀더(200)(도 2)에 기판을 보유 지지한 상태에서 기판에 도금 처리를 실시하는 것이다. 도금 장치(100)는, 기판 홀더(200)에 기판을 로드하고, 또는 기판 홀더(200)로부터 기판을 언로드하는 로드/언로드부(110)와, 기판을 처리하는 처리부(120)와, 세정부(50a)로 크게 나뉜다. 처리부(120)는, 또한 기판의 전처리 및 후처리를 행하는 전처리ㆍ후처리부(120A)와, 기판에 도금 처리를 행하는 도금 처리부(120B)를 포함한다.

로드/언로드부(110)는, 2대의 카세트 테이블(25)과, 기판 탈착 기구(29)를 갖는다. 카세트 테이블(25)은, 기판을 수납한 카세트(25a)를 탑재한다. 기판 탈착 기구(29)는, 기판을 기판 홀더(200)에 탈착하도록 구성된다. 또한, 기판 탈착 기구(29)의 근방(예를 들어 하방)에는, 기판 홀더(200)를 수용하기 위한 스토커(30)가 마련된다. 세정부(50a)는, 도금 처리 후의 기판을 세정하여 건조시키는 세정 장치(50)를 갖는다.

카세트 테이블(25), 기판 착탈 기구(29) 및 세정부(50a)로 둘러싸인 위치에는, 이들의 유닛 사이에서 기판을 반송하는 반송용 로봇으로 이루어지는 기판 반송 장치(27)가 배치되어 있다. 기판 반송 장치(27)는, 주행 기구(28)에 의해 주행 가능하게 구성된다. 기판 반송 장치(27)는, 예를 들어 도금 전의 기판을 카세트(25a)로부터 빼내어 기판 착탈 기구(29)에 반송하고, 도금 후의 기판을 기판 착탈 기구(29)로부터 수취하여, 도금 후의 기판을 세정부(50a)에 반송하고, 세정 및 건조된 기판을 세정부(50a)로부터 빼내어 카세트(25a)에 수납하도록 구성된다.

전처리ㆍ후처리부(120A)는 프리웨트조(32)와, 프리소크조(33)와, 프리린스조(34)와, 블로조(35)와, 린스조(36)를 갖는다. 프리웨트조(32)에서는, 기판이 순수에 침지된다. 프리소크조(33)에서는, 기판의 표면에 형성한 시드층 등의 도전층의 표면 산화막이 에칭 제거된다. 프리린스조(34)에서는, 프리소크 후의 기판이 기판 홀더와 함께 세정액(순수 등)으로 세정된다. 블로조(35)에서는, 세정 후의 기판의 액 제거가 행해진다. 린스조(36)에서는, 도금 후의 기판이 기판 홀더와 함께 세정액으로 세정된다. 또한, 이 구성은 일례이며, 상술한 구성에 한정되지는 않고, 전처리ㆍ후처리부(120A)는 다른 구성을 채용하는 것이 가능하다.

도금 처리부(120B)는, 복수의 도금조(도금 셀)(39)와, 오버플로조(38)를 갖는다. 각 도금조(39)는 내부에 1개의 기판을 수납하고, 내부에 보유 지지한 도금액 중에 기판을 침지시켜서 기판 표면에 구리 도금 등의 도금을 행한다. 여기서, 도금액의 종류는, 특별히 한정되는 경우는 없고, 용도에 따라서 여러가지 도금액이 사용된다.

도금 장치(100)는, 이들의 각 기기의 측방에 위치하여, 이들의 각 기기의 사이에 기판 홀더(200)를 기판과 함께 반송하는, 예를 들어 리니어 모터 방식을 채용한 기판 홀더 반송 장치(37)를 갖는다. 이 기판 홀더 반송 장치(37)는, 기판 탈착 기구(29), 스토커(30), 프리웨트조(32), 프리소크조(33), 프리린스조(34), 블로조(35), 린스조(36) 및 도금조(39) 사이에서 기판 홀더를 반송하도록 구성된다.

이상과 같이 구성되는 도금 장치(100)는, 상술한 각 부를 제어하도록 구성된 제어부로서의 컨트롤러(175)를 갖는다. 컨트롤러(175)는, 소정의 프로그램을 저장한 메모리(175B)와, 메모리(175B)의 프로그램을 실행하는 CPU(175A)를 갖는다. 메모리(175B)를 구성하는 기억 매체는, 각종 설정 데이터, 도금 장치(100)를 제어하는 프로그램을 포함하는 각종 프로그램 등을 저장하고 있다. 프로그램은, 예를 들어 기판 반송 장치(27)의 반송 제어, 기판 탈착 기구(29)에 있어서의 기판의 기판 홀더로의 착탈 제어, 기판 홀더 반송 장치(37)의 반송 제어, 각 처리조에 있어서의 처리의 제어, 각 도금조(39)에 있어서의 도금 처리의 제어, 세정부(50a)의 제어를 실행하는 프로그램을 포함한다. 기억 매체는, 불휘발성 및/또는 휘발성의 기억 매체를 포함하는 것이 가능하다. 기억 매체로서는, 예를 들어 컴퓨터로 판독 가능한 ROM, RAM, 플래시 메모리 등의 메모리나, 하드 디스크, CD-ROM, DVD-ROM이나 플렉시블 디스크 등의 디스크상 기억 매체 등의 공지된 것이 사용될 수 있다.

컨트롤러(175)는, 도금 장치(100) 및 그 밖의 관련 장치를 통괄 제어하는 도시하지 않은 상위 컨트롤러와 통신 가능하게 구성되고, 상위 컨트롤러가 갖는 데이터베이스 사이에서 데이터의 교환을 할 수 있다. 컨트롤러(175)의 일부 또는 전부의 기능은, ASIC 등의 하드웨어로 구성할 수 있다. 컨트롤러(175)의 일부 또는 전부의 기능은, 시퀀서로 구성해도 된다. 컨트롤러(175)의 일부 또는 전부는, 도금 장치(100)의 하우징의 내부 및/또는 외부에 배치할 수 있다. 컨트롤러(175)의 일부 또는 전부는, 유선 및/또는 무선에 의해 도금 장치(100)의 각 부와 통신 가능하게 접속된다.

(기판 홀더)

도 2는, 전방면측에서 본 기판 홀더의 사시도이다. 도 3은, 배면측에서 본 기판 홀더의 사시도이다. 도 4는, 각 보유 지지 부재가 분리된 상태를 도시하는 기판 홀더의 사시도이다. 도 5는, 기판 홀더의 외부 접속부의 확대 사시도이다. 이 기판 홀더(200)는, 제1 보유 지지 부재(210)와 제2 보유 지지 부재(220)를 구비하고, 제1 보유 지지 부재(210)와 제2 보유 지지 부재(220)가 서로 걸림 결합하고, 제1 보유 지지 부재(210)와 제2 보유 지지 부재(220) 사이에 기판 W를 끼움 지지한 상태에서 보유 지지한다.

제1 보유 지지 부재(210)는, 세로 부재(211a)와, 세로 부재(211b)와, 가로 부재(212)와, 가로 부재(213)와, 레일(215)과, 암(216)과, 외부 접속부(217)를 구비하고 있다. 또한, 제1 보유 지지 부재(210)는, 제1 보유 지지 부재(210)를 제2 보유 지지 부재(220)에 걸림 고정하기 위한 걸림 고정 기구로서 복수의 핀(270)(도 4)을 구비하고 있다. 세로 부재(211a) 및 세로 부재(211b)는, 서로 대략 평행하게 연장되고 있고, 기판 W의 전방면에 접촉하여 전류를 흐르게 하기 위한 전기 접점인 기판 접점(후술)을 포함하는 급전부를 구비하고 있다. 여기에서는, 세로 부재(211a) 및 세로 부재(211b)만에 급전부를 마련하는 경우를 예로 들지만, 다른 실시 형태에서는, 세로 부재(211a) 및/또는 세로 부재(211b) 대신에 또는 추가하여, 가로 부재(212) 및/또는 가로 부재(213)에 급전부를 마련할 수 있다. 가로 부재(212)는, 암(216)으로부터 먼 측에서 세로 부재(211a)와 세로 부재(211b)를 서로 연결한다. 가로 부재(213)는, 암(216)으로부터 가까운 측에서 세로 부재(211a)와 세로 부재(211b)를 서로 연결한다. 가로 부재(212, 213)는, 세로 부재(211a, 211b)를 지지하고, 휨을 억제하는 것이다. 이들의 세로 부재(211a, 211b) 및 가로 부재(212, 213)로 둘러싸인 영역에 있어서, 기판 W의 전방면이 노출되도록 되어 있다. 또한, 가로 부재(212, 213)를 생략하여, 소위 문형의 기판 홀더로 해도 된다.

레일(215)은, 암(216)에 대하여 대략 평행하게 설치되어 있고, 세로 부재(211a, 211b)가 레일(215)을 따라 슬라이드 가능하게 설치되어 있다. 세로 부재(211a, 211b)를 레일(215)을 따라 접근 또는 이격하도록 이동시킴으로써, 기판 W의 크기에 따라서 세로 부재(211a, 211b)의 위치를 조정 가능하게 구성되어 있다.

암(216)은, 기판 홀더 반송 장치(37)에 파지되는 파지 부분이며, 각 처리조에 배치될 때에 지지되는 부분이다. 암(216)은, 세로 부재(211a)와 대략 직교하여 연장되고, 한쪽의 단부에 외부 접속부(217)가 마련되어 있다. 다른 실시 형태에서는, 암(216)의 양쪽의 단부에 외부 접속부(217)를 마련해도 된다. 외부 접속부(217)는, 기판 홀더(200)를 외부의 전원에 전기적으로 접속하기 위해 외부 접속 단자이며, 예를 들어 리프 전극으로 이루어지는 복수의 외부 접속 접점을 갖는다(도 5). 외부 접속 접점의 일부(도 5의 전방측)는, 버스 바(218a)에 전기적으로 접속되고, 외부 접속 접점의 다른 일부(도 5의 안측)는, 버스 바(218b)에 전기적으로 접속된다. 버스 바(218a, 218b)는, 적절히, 커버 또는 보호 부재로 덮여진다. 버스 바(218a)는, 암(216)의 길이 방향을 따라서 연장되고, 세로 부재(211a)의 버스 바(260)(도 3)와 기계적 및 전기적으로 접속되도록 구성되어 있다. 버스 바(218a)는, 세로 부재(211a)의 위치의 조정에 따라, 복수의 개소에서 세로 부재(211a)의 버스 바(260)와 연결 가능한 구성이다. 버스 바(218b)는, 암(216)의 길이 방향을 따라서 연장되고, 세로 부재(211b)의 버스 바(260)(도 3)와 기계적 및 전기적으로 접속되도록 구성되어 있다. 버스 바(218b)는, 세로 부재(211b)의 위치의 조정에 따라, 복수의 개소에서 세로 부재(211b)의 버스 바(260)와 연결 가능한 구성이다. 버스 바(218a, 218b)와 세로 부재(211a, 211b)의 버스 바(260)의 접속 개소는, 일례에서는, 커버 또는 보호 부재의 내측에 있다.

제2 보유 지지 부재(220)는, 백 플레이트(280)와, 백 플레이트(280) 상에 마련되어 제2 보유 지지 부재(220)를 제1 보유 지지 부재(210)에 걸림 고정하기 위한 로크 플레이트(300)를 포함하는 걸림 고정 기구를 구비하고 있다. 걸림 고정 기구는, 세로 부재(211a, 211b)에 대응하여 연장되는 로크 플레이트(300)와, 백 플레이트(280)와 로크 플레이트(300) 사이에서 로크 플레이트(300)에 대응하여 연장되는 플로트 플레이트(290)와, 로크 플레이트(300)와 플로트 플레이트(290) 사이에서 가압력을 발생하는 가압 기구(305)를 갖고 있다. 걸림 고정 기구의 상세에 대해서는, 후술한다.

(급전 모듈)

도 6은, 세로 부재의 종단면도이다. 세로 부재(211a) 및 세로 부재(211b)는, 마찬가지의 구성이므로, 이하, 세로 부재(211a)를 예로 들어 설명한다. 세로 부재(211a)는, 도시된 바와 같이, 프론트 플레이트(250)와, 버스 바(260)와, 버스 바(260)에 전기적으로 접속된 복수의 급전 모듈(230)과, 각 급전 모듈(230)의 양측(인접하는 급전 모듈(230) 사이 및 단부의 급전 모듈(230)의 외측)에 배치된 복수의 핀(270)을 구비하고 있다. 도 6에서는, 인접하는 핀(270)의 간격을 d로 표시하고 있다. 버스 바(260)는, 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 세로 부재(211a)의 전체 길이에 걸쳐서 연장되어 있고, 상술한 바와 같이, 레일(215)에 기계적으로 접속되고, 및 암(216)의 버스 바(218a, 218b)(도 5)에 기계적 및 전기적으로 접속된다. 버스 바(260)는, 암(216) 내의 버스 바(218a, 218b)를 통해, 외부 접속부(217)에 전기적으로 접속되어 있다. 프론트 플레이트(250)는 도 2 및 도 6에 도시한 바와 같이, 버스 바(260)의 전방면측에 있어서, 버스 바(260)를 따라 세로 부재(211a)의 전체 길이에 걸쳐서 연장되어 있다. 프론트 플레이트(250)는 시일 부재(231)와 함께 기판 접점(236) 및 접점 플레이트(233)를 도금액으로부터 차단하고 있다. 급전 모듈(230)은 급전부를 구성하는 급전 유닛이며, 도 6에 도시한 바와 같이, 세로 부재(211a)의 길이 방향을 따라서, 각각, 버스 바(260)의 전방면측에 배치되어 있다. 이 예에서는, 급전 모듈(230)은 버스 바(260)와 프론트 플레이트(250) 사이에 배치된다. 각 급전 모듈(230)은 도 7을 참조하여 후술하는 바와 같이, 기판 접점(236)을 구비하고, 기판 접점(236)의 선단측이 버스 바(260)의 관통 구멍(263)을 통해 버스 바(260)의 배면측(프론트 플레이트(250)의 반대측)으로 연장되고, 기판 W에 접촉하도록 배치되어 있다.

도 7은, 세로 부재의 분해 사시도이다. 도 8은, 급전 모듈×1단위 길이분에 대응하는 버스 바의 배면측으로부터의 사시도이다. 도 9는, 시일 부재의 배면측으로부터의 사시도이다. 도 10은, 접점 플레이트의 배면측으로부터의 사시도이다. 도 11은, 급전 모듈×1단위 길이분에 대응하는 프론트 플레이트의 배면측으로부터의 사시도이다. 도 12는, 급전 모듈 근방을 확대한 평면도이다. 도 13은, 도 12의 XIII-XIII를 따르는 급전 모듈의 단면도이다. 도 14는, 도 12의 XIV-XIV를 따르는 급전 모듈의 단면도이다. 도 15는, 급전 모듈의 단면 사시도이다. 프론트 플레이트(250) 및 버스 바(260)는, 도 6에 도시한 바와 같이, 세로 부재(211a)의 전체 길이에 걸쳐서 연장되지만, 도 7, 도 8, 도 11에서는, 도면의 복잡화를 피하기 위해, 1개의 급전 모듈(230)에 대응하는 부분(급전 모듈×1단위 길이분)만 도시하고 있다. 또한, 급전 모듈을 접점 시일 모듈로서 참조하는 경우도 있다.

급전 모듈(230)은 시일 부재(231)와, 시일 부재(231) 내에 배치된 기판 접점(236)과, 누름판(232)과, 접점 플레이트(233)와, 접점 플레이트 누름부(234)를 구비하고 있다. 급전 모듈(230)은, 도 15에 도시한 바와 같이, 시일부(235)에 둘러싸인 기판 접점(236)이 접점 플레이트(233)를 통해 버스 바(260)로부터 급전을 받고, 버스 바(260)에 외팔보 지지된 접점 플레이트(233)가 기판 접점(236)에 기판에 대한 접촉 압력을 탄성적으로 부여함과 함께, 누름판(232)이 시일부(235)에 기판에 대한 접촉 압력(시일 압력)을 부여하는 구성이다. 이하의 설명에서는, 「기판에 대한 접촉 압력」을 단순히 「접촉 압력」으로서 참조하는 경우가 있다.

시일 부재(231)는, 대략 직사각형의 형상을 갖는 탄성 부재(고무 등의 엘라스토머)이고, 기판 접점(236)을 수용하는 시일부(235)와, 시일 부재(231)의 전방면측(도 7에서는 상면)에 마련된 시일부(237)와, 시일부(235)의 외측에 마련된 관통 구멍(238)과, 시일 부재(231)의 배면측(도 9 참조)에 있어서 관통 구멍(238)의 주위에 마련된 시일부(239)와, 시일 부재(231)의 배면측(도 9 참조)에 있어서 관통 구멍(238)의 외측에 마련된 돌기(240)와, 핀(270)을 릴리스하기 위한 노치(241)를 구비하고 있다. 기판 접점(236)은 도 13 내지 도 15에 도시한 바와 같이, 시일부(235)의 전방면측으로부터 배면측에 관통하여 마련되어 있다.

시일부(235)는 도 13에 도시한 바와 같이, 버스 바(260)의 관통 구멍(263)을 통과하여, 세로 부재(211a)의 배면측(동 도면의 하측)에 노출된다. 시일부(235)는, 버스 바(260)에 대하여 상대 이동 가능하게 관통 구멍(263)에 끼워 맞춤되어 있다. 시일부(235)는, 버스 바(260)의 배면으로부터 소정의 길이로 돌출되는 것 같은 길이로 형성되어 있다. 시일부(235)는, 선단면(시일면)을 향하여 소경이 되는 테이퍼를 갖는다. 이 구성에 의하면, 시일부(235)의 기판에 접촉하는 범위(시일면)를 원하는 범위로 조정할 수 있고, 원하는 범위 이외의 시일부(235)의 부분이 기판에 접촉하는 것을 회피할 수 있다. 또한, 테이퍼를 마련하여 접촉 범위를 조정함으로써, 시일 부재의 급격한 형상 변화를 피해, 시일 부재를 성형할 때의 고무 유동성을 확보하기 쉽다.

시일부(235)에는, 도 7 및 도 14에 도시한 바와 같이, 복수의 기판 접점(236)이 시일 부재(231)의 전방면측으로부터 배면측에 관통하도록 마련되어 있다. 복수의 기판 접점(236)은 시일 부재(231)의 내측변의 근방에서 내측변을 따라 나열되어 마련된다. 기판 접점(236)과 시일부(235)의 선단의 위치 관계가, 일의적으로 결정되도록, 기판 접점(236)과 시일부(235)는 요철 등에 조합된다(도 13 내지 도 15). 복수의 기판 접점(236)은, 예를 들어, 나사(246)에 의해 접점 플레이트(233)에 설치된다. 도 13에 도시한 바와 같이, 기판 접점(236)(대경부(236a))의 기단은, 시일부(235)의 전방면으로부터 소정의 거리만큼 돌출되어 있고, 기판 접점(236)(소경부(236c))의 선단은, 시일부(235)의 선단면(시일면)과 대략 동일 평면 상에 위치(플랫)하게 되도록 배치되어 있다. 기판 접점(236)의 선단면을 시일부(235)의 선단면과 동일 평면 상에 위치하게 배치함으로써, 기판 접점(236)의 선단에 액체가 잔류하는 것을 억제/방지한다. 또한, 기판 접점(236)(소경부(236c))의 선단이, 시일부(235)의 선단면(시일면)과 대략 동일 평면 상에 위치함(플랫)의 구성에 한정되지는 않고, 기판 접점(236)(소경부(236c))의 선단이, 시일부(235)의 선단면(시일면)으로부터 후퇴하는 구성, 또는, 시일부(235)의 선단면(시일면)으로부터 돌출되는 구성을 채용하는 것도 가능하다.

기판 접점(236)은 도전성의 부재이며, 예를 들어 SUS로 형성할 수 있다. 기판 접점(236)은 블록 핀 구조이며, 본 실시 형태에서는, 원통 형상을 갖는다. 단, 기판 접점(236)은 원통 형상 이외의 임의의 형상이어도 된다. 기판 접점(236)은 대경부(236a)와, 소경부(236c)와, 대경부(236a)와 소경부(236c)를 접속하는 테이퍼부(236b)를 구비하고 있다. 기판 접점(236)의 선단측은 시일 부재(231)(시일부(235))에 접착되고, 기판 접점(236)의 기단측은 시일 부재(231)(시일부(235))에 접착되어 있지 않고, 시일 부재(231)(시일부(235))에 대하여 상대 이동 가능하게 끼워 맞춤되어 있다. 여기서, 「접착」이란, 고무, 수지 등과의 일체 성형 시에 따른 결합, 접착제에 의한 결합, 용접에 의한 결합, 그 밖의 접합을 포함하는 것으로 한다. 또한, 접착 범위 및 비접착 범위는, 기판 홀더로 기판을 보유 지지했을 때, 기판측으로부터 받는 작용력에 의해 기판 접점(236)이 접촉 압력과는 반대 방향(기판과는 반대 방향)으로 변위되고, 시일부(235)의 시일면이 잔류하는 작용으로, 시일 압력(시일력)을 발생시키는 것이 가능한 범위로 한다.

도 13의 예에서는, 소경부(236c) 및 테이퍼부(236b)는 시일 부재(231)에 가황 성형에 의해 가교 접착되어 있다(동 도면 중, 이점쇄선으로 나타내는 접착 영역(400)). 한편, 대경부(236a)는 시일 부재(231)에 접착되어 있지 않고, 시일 부재(231)(시일부(235))에 대하여 상대 이동 가능하게 끼워 맞춤되어 있다. 예를 들어, 기판 접점(236) 중 접착하지 않는 부분에, 단순히 접착제(고무를 접착시키는 약제)를 도포하지 않거나, 고무의 접착을 방지하는 약제(박리제 등)를 도포하여, 및/또는, 기판 접점(236) 중 접착하는 부분에, 고무를 접착시키는 약제를 도포하여, 가황 성형함으로써, 기판 접점(236)의 선단측을 시일부(235)에 접착하고, 기단측을 시일부(235)에 접착시키지 않는 구조를 실현할 수 있다. 또한, 일체 성형 대신에, 기판 접점(236)을 수용하는 구멍을 갖는 시일 부재(231)를 별체로 형성하고, 기판 접점(236)을 시일 부재(231)에 접착제 등에 의해 접착, 용접하거나 해도 된다.

대경부(236a)는 접점 플레이트(233)와의 접촉 면적(급전 면적)을 확보하는 것이 가능하며, 및 기판 접점(236)을 시일 부재(231)와 일체 성형할 때 기판 접점(236)이 고무재로부터의 고압에 견딜 수 있는 강도를 제공하는 것이 가능한 직경을 갖는다. 또한, 대경부(236a)를 마련함으로써, 성형 형 내에서의 기판 접점(236)과 성형 형의 취합(성형 형에 대한 기판 접점(236)의 고정 방법 등)을 구성하는 2차적 효과도 있다. 대경부(236a)에는, 접점 플레이트(233)를 대경부(236a)에 고정하기 위한 나사(246)가 나사 결합되는 나사 구멍(236d)이 마련되어 있다.

소경부(236c)는 대경부(236a)보다도 작은 직경을 갖고, 강성 담보를 위해 대경부(236a)보다도 짧은 길이를 갖는다. 또한, 소경부(236c)는 시일부(235)의 선단면(시일면)과 함께, 기판 W 상에 있어서 할당되는 영역(접촉 가능 범위)에 적합한 것과 같은 치수로 형성되어 있다. 접촉 가능 범위는, 기판의 사양에 의해 설정되는 것이다. 또한, 기판 접점(236)을 끝이 가는 블록 핀 형상으로 함으로써, 복수의 기판 접점 사이의 간격을 확보할 수 있는 효과도 있다.

테이퍼부(236b)는 기판 접점(236)의 치수의 급격한 변화를 억제하고, 시일 부재(231)와 일체 성형할 때 고무의 유동성을 확보할 수 있도록 하기 위해 마련된다. 본 실시 형태에서는, 또한 고무의 유동성이 확보를 확실하게 하기 위해, 테이퍼부(236b)와 소경부(236c) 사이의 구석부 및 테이퍼부(236b)와 대경부(236a) 사이의 구석부에 R 가공이 실시되어 있다.

본 실시 형태에서는, 기판 접점(236)을 보유 지지하는 시일 부재(231)는 시일부(235)가 기판 W 상에 있어서 레지스트로 덮여져 있지 않은 시드층에 대하여 접촉하도록 구성된다. 기판 접점(236)을 보유 지지하는 시일부(235)의 전체를 기판 상의 동일 높이의 부분에 접촉시킴으로써, 시일부(235)에 의한 기판 접점(236)의 시일성을 향상시킬 수 있다.

시일부(237)는 도 7에 도시한 바와 같이, 시일 부재(231)의 전방면의 외주부를 따라 마련되어 있고, 도 13에 도시한 바와 같이, 시일 부재(231)와 프론트 플레이트(250) 사이를 시일하고, 기판 접점(236), 접점 플레이트(233) 등을 도금액으로부터 보호하도록 구성되어 있다. 시일부(237)는 시일 부재(231)에 일체로 마련된 돌기부이어도 되고, 예를 들어 O링과 같은 별도의 부재를 시일 부재 본체에 설치한 것이어도 된다. 관통 구멍(238)은 시일부(235)의 외측에 마련되고, 전방면측으로부터 배면측에 관통하고 있다. 관통 구멍(238)의 형상 및 치수는, 버스 바(260)의 돌기부(264)의 형상 및 치수에 따라서 임의의 형상으로 할 수 있다. 관통 구멍(238)은, 예를 들어 도 7에 도시한 바와 같이, 시일부(235)와 대략 평행하게 연장되는 긴 구멍 형상으로 할 수 있다. 관통 구멍(238)에는, 도 13에 도시한 바와 같이, 버스 바(260)의 돌기부(264)가 통과되고, 버스 바(260)의 돌기부(264)의 단부면이, 기판 홀더 전방면측에 노출된다. 버스 바(260)의 돌기부(264)는 접점 플레이트(233)와의 접속을 용이하게 하기 위해, 시일 부재(231)의 전방면으로부터 소정의 길이로 돌출되어, 돌기부(264)의 단부면이 노출되도록 하는 것이 바람직하다. 시일부(239)는, 도 9 및 도 13에 도시한 바와 같이, 시일 부재(231)의 배면에 있어서 관통 구멍(238)의 주위에 마련되어 있고, 돌기부(264)의 주위에서 시일 부재(231)와 버스 바(260) 사이를 시일하여, 돌기부(264)와 동일부에 접속되는 접점 플레이트(233)를 도금액으로부터 보호하도록 구성되어 있다. 시일부(239)는, 시일 부재(231)에 일체로 마련된 돌기부이어도 되고, 예를 들어 O링과 같은 별도의 부재를 시일 부재 본체에 설치한 것이어도 된다.

돌기(240)는, 도 9 및 도 13에 도시한 바와 같이, 관통 구멍(238)의 외측에서 시일 부재(231)의 배면으로부터 돌출되도록 설치되어 있다. 돌기(240)는 기판 홀더(200)가 기판 W를 끼움 지지했을 때, 제2 보유 지지 부재(220)에 맞닿는 버팀으로서 기능하고, 제2 보유 지지 부재(220)로부터의 압박력을 받는 수압부로서 기능한다. 돌기(240)는, 시일부(235)와 함께 제2 보유 지지 부재(220)로부터의 압박력을 받는 수압부로서 기능하므로, 시일부(235)에 대응하는 형상 및 치수로 형성되는 것이 바람직하다. 예를 들어, 돌기(240)는, 도 7 및 도 9에 도시한 바와 같이, 시일부(235)에 대략 평행하게 연장되고, 대략 동일한 길이를 갖는 가늘고 긴 형상으로 형성된다. 돌기(240)는, 도 13에 도시한 바와 같이, 버스 바(260)의 관통 구멍(267)을 통과하여, 배면측에 배치되는 제2 보유 지지 부재(220)(도시 생략)를 향하여 연장된다. 돌기(240)는, 제1 보유 지지 부재(210) 및 제2 보유 지지 부재(220)로 기판 W를 끼움 지지했을 때, 제2 보유 지지 부재(220)에 접촉하여, 제2 보유 지지 부재(220)가 제1 보유 지지 부재(210)를 압박하는 힘의 일부를 수용하는 수압부로서 기능한다.

누름판(232)은, 도 7 및 도 13에 도시한 바와 같이, 시일 부재(231)와 접점 플레이트(233) 사이에 마련되어 있고, 접점 플레이트(233)를 지지함과 함께, 시일 부재(231)를 누르는 부재이다. 누름판(232)은, 예를 들어, SUS로 형성된다. 누름판(232)은 접점 플레이트(233)보다도 높은 강성을 갖도록 형성된다. 바꿔 말하면, 누름판(232)은 접점 플레이트(233)와 비교하여, 기판측으로부터 받는 힘에 의해 기판으로부터 이격되는 방향으로 변위되기 어려운 강성을 갖는다. 누름판(232)의 두께는, 시일 부재(231)로부터 돌출되는 버스 바(260)의 돌기부(264)의 높이와 대략 동일하게 형성된다. 누름판(232)에는, 시일 부재(231)의 관통 구멍(238)에 대략 대응하여, 버스 바(260)의 돌기부(264)를 통과시키는 관통 구멍(242)이 마련되어 있다. 관통 구멍(242)은 관통 구멍(238)보다도 약간 커도 된다.

누름판(232)은, 기판 접점(236)이 기판 W에 압박될 때, 시일부(235)를 기판 W에 대하여 압박하고, 시일부(235)에 기판 W에 대한 접촉 압력(기판에 대한 접촉 압력, 이하 마찬가지)을 부여한다. 누름판(232)에 의한 압박에 의해, 시일부(235)의 기단측(이 예에서는, 대경부(236a)에 대응하는 부분)은 기판 접점(236)과는 독립적으로 변형/변위되고, 기판 접점(236)과 접착되어 있는 시일부(235)의 선단측(이 예에서는, 테이퍼부(236b), 소경부(236c)에 대응하는 부분)을 기판 W에 대하여 압박한다. 본 실시 형태에서는, 시일 부재(231)의 기단면은 기판에 대략 평행하게 형성되고, 누름판(232)은 시일부(235)의 시일면과 대략 평행한 면을 통해 시일부(235)에 접촉 압력을 부여하므로, 시일부(235)에 충분한 압박력을 부여할 수 있어, 시일면에 충분한 접촉 압력을 부여할 수 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 누름판(232)과 프론트 플레이트(250)가 시일부(235)에 접촉 압력을 부여하고 있다.

누름판(232)은 기판 접점(236)의 근방의 전체 둘레에 있어서 시일부(235)에 접촉하여, 시일부(235)에 접촉 압력을 탄성적으로 부여하게 해도 된다. 도 16은, 누름판의 다른 구성을 구비한 급전 모듈의 단면도이다. 도 17은, 누름판의 다른 구성을 도시하는 평면도이다. 이 누름판(232)은 기판 접점(236)의 주위를 전체 둘레에 걸쳐서 둘러싸는 연장부(232a)를 구비하고 있고, 연장부(232a)에는, 기판 접점(236)의 기단측(대경부(236a))이 통과하는 관통 구멍(232b)이 마련되어 있다. 이 구성에서는, 누름판(232)이 도 16의 화살표 B로 나타낸 바와 같이, 기판 접점(236)의 주위를 전체 둘레에 걸쳐서 시일부(235)를 누르므로, 기판 접점(236)의 전체 둘레에서 시일부(235)를 보다 균일하게 누르고, 기판 접점(236)의 전체 둘레에서 시일부(235)에 균일한 접촉 압력을 부여할 수 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 누름판(232)의 연장부(232a)와, 프론트 플레이트(250) 사이에는, 도 16에 도시한 바와 같이, 전기 절연성의 스페이서(232c)가 배치되고, 프론트 플레이트(250)와 누름판(232) 사이가 전기적으로 절연되어 있다. 또한, 간소화를 위해, 스페이서(232c)를 없애고, 직접 프론트 플레이트(250)와 누름판(232)이 접촉하는 형태로 하고, 코팅 등으로 전기 절연을 도모해도 된다. 도 16의 구성에서는, 도 13의 구성에 비해, 누름판(232)이 외팔보가 아니라 양팔보로 고정되므로, 누름판(232)의 변형을 방지하고, 보다 높은 시일력을 얻을 수 있다.

도 13 및 도 16의 어느 쪽의 구성에서도, 시일부(235)에 접촉 압력을 부여하는 누름판(232)의 부분(압박 부분)이나 프론트 플레이트(250)가 직접 시일부(235)에 접하는 개소는, 시일부(235)의 기판에 대한 시일면보다 기판 접점(236)에 대하여 외측에 있다. 이 때문에, 도 13a에 도시한 바와 같이, 압박 부분이 시일부(235)에 부여하는 하중(화살표 B)이 시일면의 외측에 가해지므로, 시일면의 외측(단부)이 기판 접점(236) 방향으로의 모멘트(화살표 C)를 받고, 시일면에 의한 시일 압력이 유지되기 쉬워, 시일 에지에서의 시일 효과를 높일 수 있다(에지 효과). 동 도면에 있어서, 화살표 A는, 기판이 기판 접점(236)을 압박하는 힘(기판 접점(236)이 기판으로부터 받는 작용력)을 나타낸다.

접점 플레이트(233)는 도전성의 탄성을 갖는 부재이며, 예를 들어, 판 스프링으로서 기능하도록 구성된다. 접점 플레이트(233)는, 예를 들어 SUS로 형성된다. 접점 플레이트(233)는 그 기단부가 버스 바(260)의 돌기부(264)에 고정됨으로써, 외팔보 지지된다. 도 13에 도시한 바와 같이, 접점 플레이트(233)의 기단부는, 나사(248)에 의해 버스 바(260)의 돌기부(264)에 고정되고, 접점 플레이트(233)의 각 선단부(243)에는, 나사(246)에 의해 각 기판 접점(236)이 설치된다. 접점 플레이트(233)를 외팔보 지지된 판 스프링으로 함으로써, 기판 접점(236)에 접촉력을 탄성적으로 부여하는 구성을 실현하고 있다. 또한, 접점 플레이트(233)는 도 7 및 도 10에 도시한 바와 같이, 기판 접점(236)에 접촉하는 복수의 선단부(243)를 갖는다. 각 선단부(243)는 슬릿(244)에 의해 서로 분리된 리프 전극의 형태를 취하고, 각 기판 접점(236)이 서로 독립적으로 변위 가능하게 되어 있다. 이에 의해, 각 기판 접점(236)이 기판의 휨이나 굴곡에 추종하여 기판에 양호하게 접촉 가능하게 되어 있다. 각 선단부(243)에는, 기판 접점(236)에 설치하기 위한 나사(246)를 통과시키는 관통 구멍(243a)이 마련되어 있다. 접점 플레이트(233)의 기단부에는, 버스 바(260)의 돌기부(264)에 설치하기 위한 나사(248)가 통과되는 관통 구멍(245)이 마련되어 있다.

접점 플레이트 누름부(234)는 도 13에 도시한 바와 같이, 접점 플레이트(233) 상에서 버스 바(260)의 돌기부(264)에 고정되고, 접점 플레이트(233) 및 누름판(232)을 누르는 부재이다. 접점 플레이트 누름부(234)는 접점 플레이트(233)와 버스 바(260)의 접촉 균일성을 확보하고, 및, 접점 플레이트(233)의 외팔보 강성을 조정하기 위해 마련된다. 또한, 누름판(232)이 시일 부재(231)(시일부(235))를 누르는 힘도, 접점 플레이트 누름부(234)에 의해 조정된다. 접점 플레이트 누름부(234)는 프론트 플레이트(250)와의 전기적인 절연을 도모하기 위해, 예를 들어 염화비닐 등의 전기 절연 재료로 형성된다. 단, 다른 수단에서 프론트 플레이트(250)와의 전기적 절연이 확보되는 경우에는, 접점 플레이트 누름부(234)는 전기 절연 재료 이외로 형성되어도 된다. 접점 플레이트 누름부(234)는, 도 7에 도시한 바와 같이, 나사(248)를 통과시키는 관통 구멍(247)을 갖는다. 접점 플레이트 누름부(234)는, 도 13에 도시한 바와 같이, 누름판(232) 및 버스 바(260)의 돌기부(264)와 함께 접점 플레이트(233)를 사이에 두도록 배치되고, 접점 플레이트(233)를 누름판(232) 및 돌기부(264)에 대하여 압박하도록 배치된다. 도 7 및 도 13에 도시한 바와 같이, 누름판(232) 및 돌기부(264) 상에 접점 플레이트(233) 및 접점 플레이트 누름부(234)를 이 순서로 배치한 상태에서, 나사(248)를 버스 바(260)의 돌기부(264)의 단부면의 나사 구멍(265)에 나사 고정함으로써, 접점 플레이트(233) 및 접점 플레이트 누름부(234)를 버스 바(260)의 돌기부(264)의 단부면에 고정한다. 이에 의해, 접점 플레이트(233)와 버스 바(260)가 접촉 균일성이 유지된 상태에서 전기적으로 접속된다. 또한, 접점 플레이트 누름부(234)에 의한 압박력 및/또는 압박 범위를 조정함으로써, 간이한 구성으로, 접점 플레이트(233)의 외팔보 강성을 조정할 수 있다. 또한, 접점 플레이트 누름부(234)에 의한 압박력 및/또는 압박 범위를 조정함으로써, 간이한 구성으로, 누름판(232)이 시일 부재(231)(시일부(235))를 누르는 힘을 조정할 수 있다.

버스 바(260)는 급전 모듈(230)을 설치하기 위한 보유 지지부(261)와, 보유 지지부(261)의 외측에 마련된 두꺼운 부분(262)을 구비하고 있다. 보유 지지부(261)에는, 시일 부재(231)를 통과시키기 위한 관통 구멍(263)과, 접점 플레이트(233)에 접속되는 돌기부(264)와, 돌기부(264)의 단부면에 마련된 나사 구멍(265)과, 시일 부재(231)의 돌기(240)를 통과시키기 위한 관통 구멍(267)과, 핀(270)을 통과시키기 위한 관통 구멍(268)이 마련되어 있다. 또한, 접점 플레이트(233)에 접속되는 돌기부(264)의 단부면 이외의 버스 바(260)의 표면은, 전기 절연과 도금액에 대한 내식성을 확보하기 위해, PFA 코팅 등의 전기 절연/내식의 기능을 가진 표면 코팅이 실시된다. 이 절연 코팅에 의해, 버스 바(260)를 도금액으로부터 보호하고, 도금액으로부터 버스 바(260)에 직접 전류가 흐르는 것을 방지한다. 관통 구멍(263)의 형상 및 치수는, 시일부(235)의 형상 및 치수에 따라서 임의의 치수 및 형상으로 할 수 있다. 관통 구멍(263)은, 예를 들어, 도 7에 도시한 바와 같이, 세로 부재(211a)를 따라 대략 평행하게 연장되는 슬릿 상의 긴 구멍으로 할 수 있다. 관통 구멍(263)은, 도 13에 도시한 바와 같이, 기판 접점(236)의 주요부의 전체 둘레를 덮는 시일부(235)를 수용하고, 기판 접점(236) 및 시일부(235)를 위치 결정한다. 돌기부(264)는 관통 구멍(263)보다 외측에 있어서 관통 구멍(263)과 대략 평행하게 형성되어 있다. 돌기부(264)의 기단측의 주위에는, 시일 부재(231)의 시일부(239)를 수용하는 시일 홈(266)이 마련되어도 된다. 관통 구멍(267)은, 도 13에 도시한 바와 같이, 시일 부재(231)의 돌기(240)를 통과시키고, 돌기(240)를 소정의 길이로 버스 바(260)의 배면측으로 돌출시킨다. 관통 구멍(268)은, 도 6에 도시한 바와 같이, 핀(270)을 통과시키기 위한 관통 구멍이다. 도 7에서는, 1개의 급전 모듈(230)에 대응하는 버스 바(260)의 부분만이 표시되어 있으므로, 관통 구멍(268)의 일부가 나타내어진다.

프론트 플레이트(250)는 티타늄 등의 금속으로 형성되고, PFA 코팅 등의 전기 절연/내식의 기능을 가진 표면 코팅이 실시된다. 시일 부재(231)와 마찬가지의 재료(고무 등의 엘라스토머)로 형성해도 된다. 프론트 플레이트(250)는, 도 13에 도시한 바와 같이, 제1 보유 지지 부재(210)의 전방면측에 배치된다. 프론트 플레이트(250)의 배면에는, 도 12 및 도 13에 도시한 바와 같이, 접점 플레이트(233)를 고정하는 나사(248)의 헤드부를 릴리스하기 위한 1개 또는 복수의 오목부(252), 기판 접점(236) 및 접점 플레이트(233)의 프론트 플레이트(250)측으로의 변형을 허용하는 공간으로서 기능하는 오목부(253)가 마련되어 있다. 오목부(253)는 기판 접점(236)에 접점 플레이트(233)를 설치하는 나사(246)를 릴리스하는 기능도 발휘한다. 기판 접점(236) 및 접점 플레이트(233)의 프론트 플레이트(250)측으로의 변형이 허용되는 것에 더하여, 시일부(235)와 기판 접점(236)의 선단측이 접착되어 있기 때문에 모멘트의 발생으로 이어진다. 프론트 플레이트(250)는, 도 6 및 도 7에 도시한 바와 같이, 핀(270)의 수나사부와 조합되는 암나사의 나사 구멍(251)을 갖고 있으며, 핀(270)과의 나사 끼워 맞춤에 의해 버스 바(260) 등을 끼워 넣도록 고정된다. 도 7에서는, 1개의 급전 모듈(230)에 대응하는 프론트 플레이트(250)의 부분만이 표시되어 있으므로, 나사 구멍(251)의 일부가 나타내어진다. 핀(270)은 중간부(272)(도 22)를 갖고 있으며, 선단부(271)와의 단차가 버스 바(260)에 맞닿는다. 이에 의해, 핀(270)을 나사 구멍(251)에 비틀어 넣음으로써, 프론트 플레이트(250)로부터 버스 바(260)까지가 일체로 되고, 프론트 플레이트(250)와 버스 바(260) 사이에서, 급전 모듈(230)의 각 부재가 소정의 위치 관계에서 배치/고정(일체화)된다.

(기판 홀더 걸림 고정 기구)

도 19는, 제2 보유 지지 부재의 걸림 고정 기구 부근을 확대한 사시도이다. 도 20은, 제1 및 제2 보유 지지 부재의 걸림 결합 상태에서 걸림 고정 기구를 도시하는 사시도이다. 도 21은, 제2 보유 지지 부재의 걸림 고정 기구 부근을 확대한 배면도이다. 도 22는, 로크 상태에 있어서의 도 21의 XXII-XXII선을 따르는 단면도이다. 도 23은, 로크 상태에 있어서의 도 21의 XXIII-XXIII선을 따르는 단면도이다.

(백 플레이트, 플로트 플레이트)

도 19에 도시한 바와 같이, 제2 보유 지지 부재(220)는, 백 플레이트(280)와, 백 플레이트(280)에 대하여 접근하거나 이격 가능하게 마련된 플로트 플레이트(290)와, 플로트 플레이트(290)에 대하여 면 내 방향으로 미끄럼 이동 가능하게 마련된 로크 플레이트(300)를 구비하고 있다. 백 플레이트(280)는 도 2 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 기판 W 및 기판 W에 대응하는 세로 부재(211a, 211b)의 부분을 덮는 것이 가능한 치수 및 형상으로 형성되어 있다. 플로트 플레이트(290)는 도 4에 도시한 바와 같이, 백 플레이트(280)의 배면의 양측에 있어서, 기판 W의 좌변 및 우변을 따라서, 제1 보유 지지 부재(210)의 세로 부재(211a, 211b)에 대응하여 마련되어 있다. 플로트 플레이트(290)는, 복수의 가이드 핀(297)(도 19)에 의해, 백 플레이트(280)에 대하여 면 내 방향의 위치가 고정됨과 함께, 가이드 핀(297)에 안내되어, 백 플레이트(280)에 대하여 접근하거나 이격하도록 이동하도록 구성되어 있다.

백 플레이트(280)와 플로트 플레이트(290) 사이에는, 도 22에 도시한 바와 같이, 스프링(295)이 마련되어 있고, 스프링(295)에 의해 양자가 서로 이격되는 방향으로 가압되도록 구성되어 있다. 보다 상세하게는, 로크 플레이트(300)가 플로트 플레이트(290)를 통해 스프링(295)의 일단부측에 배치되고, 백 플레이트(280)가 스프링(295)의 타단부측에 배치되어 있다. 바꿔 말하면, 로크 플레이트(300)와 백 플레이트(280) 사이에는 스프링(295)이 마련되어 있고, 스프링(295)에 의해 양자가 서로 이격되는 방향으로 가압되도록 구성되어 있다. 복수의 핀(270)은 로크 플레이트(300)를 걸림 고정함으로써, 제2 보유 지지 부재(220)를 제1 보유 지지 부재(210)에 걸림 고정하기 위한 걸림 고정 핀이다. 제2 보유 지지 부재(220)가 제1 보유 지지 부재(210)에 설치되었을 때, 제1 보유 지지 부재(210)의 핀(270)이 제2 보유 지지 부재(220)의 스프링(295)의 내부를 통과하여 백 플레이트(280) 및 플로트 플레이트(290)를 관통하고, 핀(270)이 로크 플레이트(300)의 걸림 고정부(304)에 걸림 고정된다. 이 상태에서는, 스프링(295)은 압축되어, 플로트 플레이트(290)(로크 플레이트(300)) 및 백 플레이트(280)를 서로 이격시키도록 가압한다. 이에 의해, 백 플레이트(280)가 제1 보유 지지 부재(210)에 대하여 압박되고, 기판 W를 보유 지지하고 있는 경우에는, 기판 W가 백 플레이트(280)로 압박되어, 시일부(235)에 압박된다.

도 22에 도시한 바와 같이, 백 플레이트(280)는 핀(270)을 통과시키기 위한 관통 구멍(283)을 갖고, 플로트 플레이트(290)는 핀(270)을 통과시키는 관통 구멍(294)을 갖고, 관통 구멍(283)과 관통 구멍(294)은 서로 대응하는 위치에 마련되어 있다. 관통 구멍(283) 및 관통 구멍(294)의 서로 면하는 측에는, 스프링(295)을 배치하기 위한 대경부가 마련되어 있고, 이들의 대경부가 스프링(295)을 수용하는 공간을 구성한다. 관통 구멍(283)의 대경부와 소경부의 경계의 단차부에 스프링(295)의 일단부가 맞닿아지고, 관통 구멍(294)의 대경부와 소경부의 경계의 단차부에 스프링(295)의 타단부가 맞닿아진다. 이 구성에 의해, 스프링(295)은 백 플레이트(280) 및 플로트 플레이트(290)(로크 플레이트(300))를 서로 이격하는 방향으로 가압한다. 핀(270)은 도 22에 도시한 바와 같이, 제1 보유 지지 부재(210)에 고정되는(본 실시 형태에서는, 나사 고정되는) 선단부(271)와, 선단부(271)보다 대경이고, 백 플레이트(280) 및 플로트 플레이트(290)를 통과하는 중간부(272)와, 중간부(272)보다 소경의 기단부(273)와, 기단부(273)의 도중에 마련된 플랜지(274)와, 기단부(273)의 끝에 마련된 플랜지(275)를 갖는다. 플랜지(274)가 기판을 보유 지지하는 상태에서 기판 홀더(200)를 로크하기 위한 제1 피걸림 고정부를 구성하고, 플랜지(275)가 기판을 보유 지지하지 않은 상태에서 기판 홀더(200)를 세미 로크하기 위한 제2 걸림 고정부를 구성한다. 세미 로크 상태는, 기판 홀더(200)의 보관 시 등에 시일부에 부하를 가하지 않도록 하는 것이다. 도 22에서는, 로크 플레이트(300)가 핀(270)의 플랜지(274)에 걸림 고정되어 있고, 제1 보유 지지 부재(210)와 제2 보유 지지 부재(220) 사이에 기판을 보유 지지하는 로크 상태를 도시하고 있다.

(로크 플레이트)

로크 플레이트(300)는, 도 4 및 도 19에 도시한 바와 같이, 플로트 플레이트(290)의 배면에 있어서, 기판 W의 좌변 및 우변을 따라, 제1 보유 지지 부재(210)의 세로 부재(211a, 211b)에 대응하여 마련되어 있다. 로크 플레이트(300)는, 기단부(301)와, 가이드부(302)와, 가이드부(302)에 마련된 가이드 홈(303)과, 기단부(301)에 마련된 걸림 고정부(304)와, 가압 기구(305)를 구비하고 있다. 기단부(301)는, 제1 보유 지지 부재(210)의 세로 부재(211a)에 대응하여 가늘고 긴 형상이고, 길이 방향을 따라, 제1 보유 지지 부재(210)의 복수의 핀(270)에 걸림 결합하는 복수의 걸림 고정부(304)가 마련되어 있다. 걸림 고정부(304)는 도 22에 도시한 바와 같이, 핀(270)의 플랜지(274) 또는 플랜지(275)에 걸림 결합 가능하게 마련되어 있다. 걸림 고정부(304)는 도 19에 도시한 바와 같이, 핀(270)의 플랜지(274, 275)의 주위의 일부(예를 들어 반주분)에 대략 대응하는 형상을 갖고, 플랜지(274, 275)의 저면에 맞닿는 단차부(304a)를 갖는다.

가이드부(302)는 도 19에 도시한 바와 같이, 기단부(301)로부터 길이 방향을 가로지르는 방향(가로 방향)으로 연장되고, 가로 방향으로 연장되는 긴 구멍 형상의 가이드 홈(303)이 형성되어 있다. 본 실시 형태에서는, 가이드 홈(303)은 길이 방향에 직교하는 방향으로 연장되고, 가이드부(302)의 두께를 관통한다. 가이드 홈(303)에는, 2개의 가이드 핀(291)이 걸림 결합하고 있고, 이들의 가이드 핀(291)에 안내되어, 로크 플레이트(300)가 플로트 플레이트(290) 상을 플로트 플레이트(290)에 대하여 가로 방향으로 이동하도록 구성되어 있다. 가이드 핀(291)은 도 22에 도시한 바와 같이, 플로트 플레이트(290)에 고정된 핀(292)과, 핀(292)의 기단측의 외주에 설치된 양측에 플랜지를 갖는 슬리브(293)를 갖는다. 슬리브(293)의 양측의 플랜지 사이에 로크 플레이트(300)가 걸림 결합하고, 양측의 플랜지에 의해, 플로트 플레이트(290)와 로크 플레이트(300) 사이의 거리가 규정 또는 고정되도록 되어 있다. 이 구성에서는, 로크 플레이트(300)가 플로트 플레이트(290)와 함께 백 플레이트(280)에 대하여 접근하거나 이격된다.

가압 기구(305)는 도 23에 도시한 바와 같이, 로크 플레이트(300)에 고정된 스프링 받이(306)와 플로트 플레이트(290)에 고정된 스프링 받이(307) 사이에 배치된 스프링(309)을 구비하고 있다. 도 20에 도시한 바와 같이, 스프링(309)은 걸림 고정부(304)가 핀(270)에 걸림 결합하는 방향(외측)으로, 로크 플레이트(300)를 플로트 플레이트(290)에 대하여 가압한다. 도 20의 상태에서, 스프링(309)의 가압력에 저항하여, 로크 플레이트(300)를 플로트 플레이트(290)에 대하여 내측으로 이동시키면, 로크 플레이트(300)의 걸림 고정부(304)가 핀(270)으로부터 이격되어, 로크 플레이트(300)가 핀(270)으로의 걸림 고정으로부터 해제된다.

(국소 시일 구조)

도 23에 도시한 바와 같이, 핀(270) 및 스프링(295)은 기판 W의 외주를 따라(이 예에서는, 기판 W의 좌변 및 우변의 각 변에 따라) 시일부(235)의 근방에 마련된다. 그 때문에, 핀(270) 및 스프링(295)에 의해 백 플레이트(280)를 통해 기판 W를 압박하는 힘을 직접적으로 또한 짧은 전달 경로로 시일부(235)에 전달할 수 있다. 이에 의해, 핀(270) 및 스프링(295)에 의한 압박력에 의해 기판 W에 부여하는 부하를 억제할 수 있다. 이 결과, 기판 W에 대한 부하를 억제하면서, 시일부(235)에 적절한 압박력을 가하여 기판 접점(236)을 시일할 수 있다. 이 구성은, 특히 대형 기판에 있어서 유효하다. 대형 기판이 긴 길이에 걸쳐 시일부(235)에 균일한 힘을 가하는 것은 곤란한 경우가 있지만, 본 실시 형태에 따르면, 핀(270) 및 스프링(295)에 의해 백 플레이트(280)를 통해 기판 W를 압박하는 힘을 직접적으로 또한 짧은 전달 경로로 시일부(235)에 전달할 수 있고, 기판 W에 부여하는 부하를 억제하면서, 긴 거리에 걸쳐 시일부(235)의 적절한 시일을 행하는 국소 시일 구조를 실현할 수 있다.

또한, 시일 부재(231)의 돌기(240)가 기판 W의 외측 방향에 있어서, 시일부(235)와 함께 핀(270) 및 스프링(295)을 끼워 넣도록 구성되어 있다. 또한, 기판의 외측 방향이란, 기판의 변 또는 외연의 접선에 직교하여 외측을 향하는 방향을 의미한다. 기판이 원형인 경우는, 외측 방향은 직경 방향 외측이다. 기판이 다각형인 경우는, 변에 직교하여 외측을 향하는 방향이다. 이 구성에 의하면, 시일부(235) 및 돌기(240)가 핀(270) 및 스프링(295)에 의한 압박력을 수용하는 수압부로서 기능하고, 급전/시일해야 할 개소인 시일부(235)에 대하여 적절한 가압력을 효과적으로 작용시켜, 기판 전체에 가압력에 의한 부하가 미치는 것을 더욱 억제하는 국소 시일 구성 또는 구조를 성립시킬 수 있다. 핀(270) 및 스프링(295)에 의한 압박력은, 핀(270) 및 스프링(295)의 내측에서 시일부(235)에 의해 수용되고, 핀(270) 및 스프링(295)의 외측에서 돌기(240)에 의해 수용되므로, 제1 보유 지지 부재(210)(세로 부재(211a, 211b))의 변형이 발생하기 어렵다. 또한, 시일 부재(231)가 복수의 모듈로 배치되고, 시일부(235) 및 돌기(240)는 기판의 변을 따라서 복수 분할하여 배치되어 있다. 따라서, 이 구성에서는, 기판 접점(236)을 도금액으로부터 보호하기 위해 필요한 시일 압력을 적절하게 확보하는 것이 가능해진다. 종래의 기판 홀더에서는, 기판의 변을 따라서 일체의 시일 부재를 접촉시키는 것이 알려져 있지만, 일체의 시일 부재에서는 기판의 변을 따라서 균일한 시일 압력을 발생하는 것이 곤란한 경우가 있고, 경우에 따라 과도한 시일 압력이 발생하여 기판을 손상할 가능성이 있다.

또한, 기판 W의 외주부를 따라 국소적으로 마련된 복수의 핀(270) 및 스프링(295)에 의한 국소적인 가압력에 의한 국소 시일 구조와, 급전 모듈(230)마다 또는 기판 접점(236)마다 시일부(235)로 시일하는 국소 시일 구조를 맞추어, 보다 국소적인 시일을 실현할 수 있다. 이에 의해, 대형 기판에 대한 적응성이 더욱 향상된다. 또한, 스프링(295)에 대신해서 다른 탄성 요소를 사용해도 된다.

(기판의 착탈 방법)

기판을 보유 지지하지 않는 상태(예를 들어 세미 로크 상태)의 기판 홀더(200)에 있어서, 가압 기구(305)의 스프링(309)을 압축하도록 로크 플레이트(300)를 플로트 플레이트(290)에 대하여 내측 방향으로 슬라이드시켜, 로크 플레이트(300)의 걸림 고정부(304)를 핀(270)으로부터 해제한다. 다음에, 제2 보유 지지 부재(220)를 제1 보유 지지 부재(210)로부터 떼어 내고, 제1 보유 지지 부재(210) 상에 기판 W를 적재한다. 그 후, 기판 W가 적재된 제1 보유 지지 부재(210)의 세로 부재(211a, 211b) 상에, 가압 기구(305)의 스프링을 압축한 상태의 제2 보유 지지 부재(220)를 얹는다. 그리고, 플로트 플레이트(290)(및/또는 로크 플레이트(300))를 백 플레이트(280)를 향하여 밀어내려, 로크 플레이트(300)의 걸림 고정부(304)가 핀(270)의 플랜지(274)(도 23 참조)에 걸림 결합 가능한 높이로 조정한다. 다음에, 가압 기구(305)의 스프링(309)의 압축을 해제함으로써, 로크 플레이트(300)의 걸림 고정부(304)가 핀(270)의 플랜지(274)에 걸림 결합한다. 이에 의해, 기판 홀더(200)로 기판 W를 로크 상태로 보유 지지한다.

기판을 떼어 내는 경우에는, 기판을 보유 지지한 기판 홀더(200)의 가압 기구(305)의 스프링(309)을 압축하도록 로크 플레이트(300)를 플로트 플레이트(290)에 대하여 내측 방향으로 슬라이드시켜, 로크 플레이트(300)의 걸림 고정부(304)를 핀(270)으로부터 해제한다. 다음에, 제2 보유 지지 부재(220)를 제1 보유 지지 부재(210)로부터 떼어 내고, 제1 보유 지지 부재(210)로부터 기판 W를 떼어 낸다. 그 후, 기판이 없는 제1 보유 지지 부재(210)의 세로 부재(211a, 211b) 상에, 가압 기구(305)의 스프링(309)을 압축한 상태의 제2 보유 지지 부재(220)를 얹어 플로트 플레이트(290)(및/또는 로크 플레이트(300))를 백 플레이트(280)를 향하여 밀어내려, 로크 플레이트(300)의 걸림 고정부(304)가 핀(270)의 플랜지(275)에 걸림 결합 가능한 높이로 조정한다. 다음에, 가압 기구(305)의 스프링(309)의 압축을 해제함으로써, 로크 플레이트(300)의 걸림 고정부(304)가 핀(270)의 플랜지(275)에 걸림 결합한다. 이에 의해, 기판 홀더(200)를 세미 로크 상태로 한다.

상기 구성에서는, 기판을 기판 홀더(200) 사이에 두고 보유 지지했을 때, 기판 접점(236)은 판 스프링인 접점 플레이트(233)에 외팔보 지지되어 있으므로, 기판 접점(236)은 기판측으로부터의 작용력(도 13의 화살표 A)에 의해 접촉 압력(기판측으로의 압력)과는 반대 방향으로 변위된다. 한편, 시일부(235)는 누름판(232)에 눌려진 상태에서, 누름판(232)이나 프론트 플레이트(250)로부터 작용력(도 13의 화살표 B)을 받아, 접촉 압력의 방향으로 잔류하는 경향이 된다. 즉, 기판 접점(236)에 접촉 압력을 부여하는 부위와, 시일부(235)에 접촉 압력을 부여하는 부위가 독립되어 있으므로, 기판 접점(236)이 기판측으로부터 받는 작용력에 의해 접촉 압력과는 반대 방향으로 변위되고, 시일부(235)의 시일면이 잔류하는 작용을 발휘하고, 이 작용으로 시일부(235)의 시일 압력을 발생시킬 수 있다. 시일부(235)의 기판에 대한 시일 압력을 충분히 발생시켜서 기판 접점(236)을 도금액으로부터 차폐할 수 있으므로, 기판 접점(236) 주위를 드라이하게 유지할 수 있어, 기판 시드층의 용해를 효과적으로 억제 내지 방지할 수 있다. 이 구성에 의하면, 기판 접점의 선단이 시일부 선단과 편평한 구성에 있어서, 기판 접점의 선단을 시일부 선단으로부터 오목하게 하는 구성과 유사한 작용 효과를 발휘함과 함께, 기판 접점의 선단에 액체가 잔류하는 것을 회피할 수 있다. 또한, 누름판(232)과, 프론트 플레이트(250)의 시일부(235)에 접촉하는 부위는, 총칭하여 「누름 부재」라고 칭할 수 있다.

또한, 기판 접점(236)이 선단측으로만 시일부(235)에 접착되고, 시일부(235)가 버스 바(260)에 대하여 상대 변위 가능하므로, 시일부(235)가 전체로서 접촉 압력의 방향으로 원활하게 압축됨과 함께, 시일부(235)의 기단측이, 기판 접점(236)과 독립적으로 변위 및/변형되어, 시일면을 강하게 기판에 압박할 수 있다. 이 구성에 의해, 시일 압력을 증대시키는 작용이 더욱 향상된다.

또한, 가령 기판 접점(236)에 도금액이 접촉한 경우에서도, 기판 접점(236)의 선단측이 시일부(235)에 접착되어 있으므로, 기판 접점(236)과 시일부(235) 사이에 도금액이 침입하는 것을 억제 내지 방지하여 기판 접점(236)과 도금액의 접촉을 최소한으로 억제할 수 있어, 기판 시드층의 용해를 더욱 억제 내지 방지할 수 있다. 또한, 시일부(235)의 선단측이 기판 접점(236)에 접착되어 있으므로, 시일부(235)의 선단측이 과잉으로 변형되는 것 및/또는 기울어지는 것이 억제되어, 시일면에 있어서 충분한 시일 압력을 발생시킬 수 있다.

또한, 시일 부재(231)는 기판 접점(236)과 함께 가황 성형에 의해 일체 성형되어 기판 접점(236)에 가교 접착되므로, 기판 접점(236)의 선단측과 시일 부재(231)의 접착 강도를 향상시키고, 기판 접점(236)의 선단측과 시일 부재(231) 사이에 도금액이 침입하는 것을, 보다 확실하게 억제 내지 방지할 수 있다.

상기 구성에서는, 기판 접점(236)의 기단측을 시일부(235)로부터 돌출시키고, 급전용의 접점 플레이트(233)로 기판 접점(236)을 탄성적으로 압박함과 함께, 시일부(235)와 접점 플레이트(233) 사이의 누름판(232)에 의해 기판 접점(236) 근방의 시일부(235)를 압박하므로, 부품의 추가를 억제하고, 간이한 구성으로, 기판 접점(236) 및 시일부(235)를 탄성적으로 기판에 접촉시키는 구성을 실현할 수 있다. 또한, 급전용의 접점 플레이트(233)가 외팔보 지지되는 판 스프링으로서 기능하므로, 부품의 추가를 억제하고, 간이한 구성으로 기판 접점(236)의 탄성 접촉을 실현할 수 있다.

상기 구성에서는, 기판 접점(236)이 시일부(235)로 덮여진 상태로 버스 바(260)의 관통 구멍(263)을 통과하여 위치 결정되므로, 버스 바(260)에 의해 기판 접점(236) 및 시일부(235)를 기판에 대하여 정확하게 위치 결정하고, 보유 지지하는 구성을 콤팩트하게 구성할 수 있다. 또한, 관통 구멍(263)에 의해, 기판 접점(236) 및 시일부(235)가 기판에 압박되었을 때의 시일부(235)의 기단측의 기판 표면에 평행한 방향으로의 변형을 억제할 수 있어, 충분한 시일 압력을 확보하는 것이 가능해진다.

상기 구성에서는, 복수의 모듈(급전 모듈(230))의 형태에서 시일 부재(231) 및 기판 접점(236)이 마련되므로, 기판이 대형화된 경우에도, 기판의 변의 길이를 따라 마련된 1개 또는 복수의 기판 접점(236)을 양호하게 시일하는 시일 부재(231)의 제작을 보다 용이하게 할 수 있다. 또한, 기판 접점(236)마다 시일부(235)로 시일하는 구성이므로, 기판이 대형화된 경우에도, 국소 시일 구조에 의해 기판 접점(236)을 양호하게 시일할 수 있다. 상기 구성에서는, 급전 모듈(230)마다 기판 접점(236)을 포함하는 시일 부재(231)를 개별로 교환하는 것이 가능하게 되고, 메인터넌스가 용이해져, 메인터넌스의 비용을 저감할 수 있다. 또한, 급전 모듈(230)마다 접점 플레이트(233)도 개별로 교환하는 것이 가능하고, 메인터넌스가 용이하다.

상기 구성에서는, 사용하는 기판의 크기에 따라서, 급전 모듈(230)을 설치하는 것이 가능하고, 기판 홀더의 범용성을 향상시킬 수 있다. 사용하지 않는 영역(기판이 접촉하지 않는 부분)의 급전 모듈(230)을 생략함으로써, 기판 홀더의 비용을 저감하는 것이 가능하다. 또한, 급전 모듈(230)을 생략한 부분에는 더미 부재를 배치하여, 버스 바(260)를 도금액으로부터 차폐하고, 도금액으로부터 버스 바(260) 직접 전류가 흐르지 않도록 해도 된다.

(다른 실시 형태)

도 18은, 다른 실시 형태에 따른 급전 모듈의 단면도이다. 상기 실시 형태와 상이한 점을 주로 설명하고, 마찬가지의 구성에 대해서는 설명을 생략한다. 본 실시 형태에서는, 시일부(235)의 기단 단부면에 접촉하도록 마련된 접점 블록(402)이 시일부(235)에 접촉 압력을 부여함과 함께, 접점 블록(402)과 기판 접점(236) 사이에 배치된 탄성 부재(401)가 기판 접점(236)에 접촉 압력을 탄성적으로 부여하도록 구성된다. 접점 블록(402)은 일례에서는, 시일부(235)의 시일면에 대략 평행한 면(기판에 대략 평행한 면)을 통해 시일부(235)에 접촉하여, 시일부(235)에 접촉 압력을 부여한다. 접점 블록(402)은 기판 접점(236)마다 마련되어도(예를 들어, 샤프트의 형태), 복수의 기판 접점(236)에 대하여 공통으로 마련되어도 된다(예를 들어, 바의 형태). 시일부(235)는 상술한 시일 부재(231)의 일부로 할 수 있다.

기판 접점(236)의 선단측은, 시일부(235)에 접착되어 있다. 부호 400은 접착 범위를 나타낸다. 기판 접점(236)은 상기 실시 형태와 마찬가지로, 대경부, 소경부 및 필요에 따라서 테이퍼부를 포함하도록 구성해도 되고, 상기 실시 형태와 마찬가지로 접착해도 된다. 상기 실시 형태와 마찬가지로, 각 기판 접점(236)이 시일 부재(231)(시일부(235))에 둘러싸인 구성으로 할 수 있다. 또한, 상기 실시 형태와 마찬가지로, 기판 접점(236)이 시일 부재(231)(시일부(235))와 가황 성형에 의해 일체 성형되고, 가교 접착되어도 된다. 단, 시일 부재(231)의 기단측에는, 탄성 부재(401)를 배치하는 스페이스를 확보한다. 시일부(235)는 상기 실시 형태와 마찬가지로, 버스 바(260)와 상대 이동 가능하게 관통 구멍(263)에 끼워 맞춤되어도 된다. 시일부(235)는 상기 실시 형태와 마찬가지로, 시일면측이 가늘어지는 테이퍼부를 가져도 된다. 탄성 부재(401)는 접점 블록(402)으로부터 기판 접점(236)에 급전 가능한 도전성을 갖는 탄성 부재(예를 들어, 도전성의 스프링, 고무, 수지 등)로 할 수 있다. 일례에서는, 탄성 부재(401)는 금속제의 스프링으로 할 수 있다. 탄성 부재(401)는 접점 블록(402)으로부터 탄성 부재(401)를 통해 기판 접점(236)에 접촉력을 전달할 수 있도록 배치되어 있으면 되고, 접점 블록(402) 및/또는 기판 접점(236)에 고정해도 고정하지 않아도 된다. 접점 블록(402)은 기판 접점(236)마다 마련되고, 도전성을 갖는 재료(예를 들어, 금속)로 형성되어 있다. 접점 블록(402)은 상술한 접점 플레이트(233)에 접촉 또는 설치되고, 접점 플레이트(233)에 의해 압박된다. 단, 이 구성에서는, 접점 플레이트(233)가 시일부(235)를 적절하게 압축할 수 있도록, 접점 플레이트(233)에 상기 누름판(232)과 마찬가지의 강성을 갖게 하는 것이 바람직하다. 접점 플레이트(233)의 강성은, 예를 들어 접점 플레이트 누름부(234)의 범위를 확장함으로써 증대하도록 조정할 수 있다. 또한, 접점 플레이트(233)에 한정되지는 않고, 임의의 압박 기구/수단에 의해, 접점 블록(402)이 눌려지도록 해도 된다.

본 실시예에서도 기판 접점(236)에 접촉 압력을 부여하는 부위(탄성 부재(401)가 기판 접점(236)에 접촉하는 부분)와, 시일부(235)에 접촉 압력을 부여하는 부위(접점 블록(402)이 시일부(235)에 접촉하는 부분)가 독립되어 있고, 시일부(235)와 기판 접점(236)의 선단측이 접착됨과 함께, 시일부(235)와 기판 접점(236)의 기단측이 상대 이동 가능하므로, 상기 실시 형태와 마찬가지의 작용 효과를 발휘한다. 또한, 본 실시 형태에서는, 기판 접점(236)이 탄성 부재(401)를 통해 접촉 압력을 부여할 수 있으므로, 기판 접점(236)과 기판의 접촉에 의해, 기판에 과도한 힘이 가해지는 것을 억제하는 것이 용이하다.

(변형예)

(1) 상기 실시 형태에서는, 기판 W의 2변을 따라서 기판 홀더에 급전부를 마련했지만, 기판 W의 전체 둘레에 걸쳐서 기판 홀더(200)에 급전부를 마련해도 된다.

(2) 상기 복수의 급전 모듈(230)의 구성을, 양면 도금용의 기판 홀더에 적용해도 된다. 예를 들어, 기판 홀더의 제1 보유 지지 부재 및 제2 보유 지지 부재의 양쪽에, 상기 복수의 급전 모듈(230)을 배치해도 된다.

(3) 상기 실시 형태에서는, 프론트 플레이트는 버스 바를 따라서 연속 일체의 것으로 하고 있지만, 프론트 플레이트는 개개의 급전 모듈에 대응시켜서 개별로 마련해도 된다. 이 경우, 개개의 급전 모듈에 있어서, 개개의 프론트 플레이트가 시일 부재(231)와 함께 기판 접점(236)을 보호한다. 그 때문에, 개개의 급전 모듈의 일부에 개개의 프론트 플레이트를 포함한다고 생각해도 된다. 개개의 프론트 플레이트는, 시일 부재(231)와 마찬가지의 재료로 형성되어도 된다.

상술한 실시 형태로부터 적어도 이하의 형태가 파악된다.

제1 형태에 의하면, 기판에 접촉하는 선단측의 제1 접점 부분과, 상기 제1 접점 부분보다도 기단측의 제2 접점 부분을 갖는 기판 접점과, 상기 기판 접점의 주위를 덮고, 상기 기판에 접촉하여 상기 기판 접점을 시일하는 시일면을 갖는 시일 부재와, 상기 기판 접점에 상기 기판에 대한 접촉 압력을 탄성적으로 부여하는 제1 압박 부분과, 상기 시일 부재에 접촉하고, 상기 제1 압박 부분과 독립적으로 상기 시일 부재에 상기 기판에 대한 접촉 압력을 부여하는 제2 압박 부분을 구비하고, 상기 제1 접점 부분은, 상기 시일 부재에 접착되어 있고, 상기 제2 접점 부분은, 상기 시일 부재에 대하여 상대 변위 가능하게 끼워 맞춤되어 있는 접점 구조가 제공된다. 또한, 제1 접점 부분은, 그 주위 중 선단을 포함하는 범위가 시일 부재에 접착되어 있으면 되고, 반드시 제1 접점 부분의 주위의 모두가 시일 부재에 접착될 필요는 없다.

이 형태에 의하면, 기판 접점에 접촉 압력을 탄성적으로 부여하는 부위와, 시일 부재(시일부)에 접촉 압력을 부여하는 부위가 독립되어 있으므로, 기판 홀더로 기판을 보유 지지했을 때, 기판측으로부터 받는 작용력에 의해 기판 접점을 접촉 압력과는 반대 방향(기판과는 반대 방향)으로 변위시키고, 시일 부재의 시일면을 잔류시킴으로써, 시일 부재의 시일 압력을 발생시킬 수 있다. 또한, 기판 접점이 선단측으로만 접착되어 있으므로, 시일 부재의 기단측이, 기판 접점과 독립적으로 변위 및/또는 변형되어, 시일면을 강하게 기판에 압박할 수 있다. 이 구성에 의해, 시일 압력을 증대시키는 작용이 더욱 향상된다. 시일 부재의 기판에 대한 시일 압력을 충분히 발생시켜서 기판 접점을 도금액으로부터 차폐할 수 있으므로, 기판 접점 주위를 드라이하게 유지할 수 있어, 기판 시드층의 용해를 효과적으로 억제/방지할 수 있다.

또한, 가령 기판 접점에 도금액이 접촉된 경우에서도, 기판 접점의 선단측이 시일 부재에 접착되어 있으므로, 기판 접점과 시일 부재 사이에 도금액이 침입하는 것을 억제 내지 방지하여 기판 접점과 도금액의 접촉을 최소한으로 억제할 수 있어, 기판 시드층의 용해를 더욱 억제 내지 방지할 수 있다. 또한, 시일 부재의 선단측이 기판 접점에 접착되어 있으므로, 시일 부재의 선단측이 과잉으로 변형되는 것, 및/또는 기울어지는 것이 억제되어, 시일면에 있어서 충분한 시일 압력을 발생시킬 수 있다.

제2 형태에 의하면, 제1 형태의 접점 구조에 있어서, 상기 제2 압박 부분은, 상기 시일 부재의 상기 시일면과 대략 평행한 면을 통해 상기 시일 부재에 접촉한다.

이 형태에 의하면, 시일면과 대략 평행한 면을 통해 시일 부재에 압박력을 가하므로, 시일 부재에 충분한 압박력을 부여할 수 있다.

제3 형태에 의하면, 제1 또는 제2 형태의 접점 구조에 있어서, 상기 제2 압박 부분은, 상기 기판 접점을 기준으로 하여 상기 시일 부재의 상기 시일면보다도 외측에 있다.

이 형태에 의하면, 제2 압박 부분이 시일 부재에 부여하는 하중이, 시일면의 외측에 가해지므로, 시일면의 외측(단부)이 기판 접점 방향으로의 모멘트를 받고, 시일 압력이 유지되기 쉬워, 시일 에지에서의 시일 효과를 높일 수 있다.

제4 형태에 의하면, 제1 내지 제3 형태의 어느 하나의 접점 구조에 있어서, 상기 제2 접점 부분의 기단측의 일부는, 상기 시일 부재로부터 돌출되어 있고, 상기 시일 부재 상에 배치되고, 상기 시일 부재에 접촉하여 압박하는 제1 압박판과, 상기 기판 접점에 급전하기 위한 접점 플레이트이며, 상기 제1 압박판 상에 배치되고, 상기 제2 접점 부분에 접촉하여 탄성적으로 압박하는 접점 플레이트를 구비하고, 상기 접점 플레이트의 상기 제2 접점 부분과의 접촉 부분이 상기 제1 압박 부분으로서 기능하고, 상기 기판 접점의 주위의 일부 또는 전체 둘레에 있어서 상기 시일 부재를 압박하는 상기 제1 압박판의 부분이, 상기 제2 압박 부분으로서 기능한다. 제1 압박판은, 기판 접점의 주위의 일부 또는 전부에 배치되어도 된다.

이 형태에 의하면, 기판 접점의 기단측을 시일 부재로부터 돌출시키고, 급전용의 접점 플레이트로 기판 접점을 탄성적으로 압박함과 함께, 시일 부재와 접점 플레이트 사이의 제1 압박판에 의해 기판 접점 근방의 시일 부재를 압박할 수 있다. 이 때문에, 부품의 추가를 억제하고, 간이한 구성으로 제1 및 제2 압박 부분을 구성할 수 있다. 접점 플레이트는, 예를 들어 판 스프링의 형태로 구성할 수 있다.

제5 형태에 의하면, 제4 형태의 접점 구조에 있어서, 상기 제1 압박판은 관통 구멍을 갖고, 상기 제2 접점 부분은, 상기 제1 압박판의 상기 관통 구멍을 적어도 부분적으로 통과하고 있다.

이 형태에 의하면, 제2 접점 부분의 전체 둘레에 제1 압박판이 존재하므로, 제2 접점 부분의 주위의 전체 둘레에서 시일 부재를 전체적으로, 보다 균일하게 압박할 수 있다.

제6 형태에 의하면, 제4 또는 제5 형태의 접점 구조에 있어서, 상기 접점 플레이트에 급전하기 위한 버스 바를 구비하고, 상기 시일부는, 상기 버스 바의 관통 구멍을 통과하여 상기 버스 바에 상대 변위 가능하게 배치되어 있고, 상기 접점 플레이트는, 상기 제2 접점 부분과 접촉하는 측과 반대측에서 버스 바에 고정되고, 상기 버스 바에 의해 외팔보 지지되어 있다.

이 형태에 의하면, 시일 부재가 버스 바의 관통 구멍 내에 위치 결정되므로, 버스 바에 의해 기판 접점 및 시일 부재를 기판에 대하여 정확하게 위치 결정하고, 보유 지지하는 구성을 콤팩트하게 구성할 수 있다. 또한, 기판에 압박되었을 때의 시일 부재의 기단측의 기판 표면에 평행한 방향으로의 변형을 억제할 수 있어, 충분한 시일 압력을 확보하는 것이 가능해진다. 또한, 시일 부재가 버스 바에 대하여 상대 변위 가능하므로, 시일 부재를 전체로서 접촉 압력의 방향으로 원활하게 압축할 수 있다. 급전용의 접점 플레이트가 외팔보 지지되는 판 스프링으로서 기능하므로, 부품의 추가를 억제하고, 간이한 구성으로 기판 접점의 탄성 접촉을 실현할 수 있다.

제7 형태에 의하면, 제6 형태의 접점 구조에 있어서, 상기 접점 플레이트 상에 배치되고, 상기 접점 플레이트와 상기 버스 바의 접촉 균일성 및 상기 접점 플레이트의 외팔보 강성을 조정하기 위한 제2 압박판을 구비한다.

이 형태에 의하면, 제2 압박판에 의해 접점 플레이트를 버스 바에 대하여 압박함으로써, 접점 플레이트와 버스 바의 접촉 균일성을 확보할 수 있다. 또한, 제2 압박판에 의한 압박력 및/또는 압박 범위를 조정함으로써, 간이한 구성으로, 접점 플레이트의 외팔보 강성을 조정할 수 있다. 또한, 제2 압박판에 의한 압박력 및/또는 압박 범위를 조정함으로써, 간이한 구성으로, 제1 압박판의 압박력을 조정할 수 있다.

제8 형태에 의하면, 제4 내지 제7 형태의 어느 하나의 접점 구조에 있어서, 복수의 상기 기판 접점이 마련되고, 상기 접점 플레이트는, 각 접점에 설치되는 복수의 선단부를 갖고, 각 선단부가 독립적으로 변위 가능하게 서로 분리되어 있다.

이 형태에 의하면, 접점 플레이트의 각 선단부가 독립적으로 변위됨으로써, 각 기판 접점을 독립적으로 변위시킬 수 있어, 기판의 휨이나 굴곡에 따라서 기판 접점마다 전기적 접촉을 양호하게 유지할 수 있다.

제9 형태에 의하면, 제1 내지 제3 형태의 어느 하나의 접점 구조에 있어서, 상기 시일 부재 상에 배치되고, 상기 시일 부재에 접촉하여 압박하는 접점 블록과, 상기 접점 블록과 상기 기판 접점의 상기 제2 접점 부분 사이에 배치된 탄성 부재를 구비하고, 상기 탄성 부재의 상기 기판 접점과의 접촉 부분이, 상기 제1 압박 부분으로서 기능하고, 상기 접점 블록의 상기 시일 부재와의 접촉 부분이, 상기 제2 압박 부분으로서 기능한다.

이 형태에 의하면, 기판 접점이 탄성 부재를 통해 접촉 압력을 부여할 수 있으므로, 기판 접점과 기판의 접촉에 의해 기판에 과도한 힘이 가해지는 것을 억제 내지 방지할 수 있다.

제10 형태에 의하면, 제9 형태의 접점 구조에 있어서, 상기 접점 블록은, 상기 기판 접점마다 마련되어 있다. 이 형태에 의하면, 각 기판 접점을 독립적으로 변위시킬 수 있어, 기판의 휨이나 굴곡에 추종시킬 수 있다.

제11 형태에 의하면, 제9 또는 제10 형태의 접점 구조에 있어서, 상기 탄성 부재는 도전성을 갖고, 상기 접점 블록으로부터 상기 탄성 부재를 통해 상기 기판 접점에 급전 가능하다. 이 형태에 의하면, 급전 경로의 일부를 탄성 부재로 치환함으로써, 간이 또한 콤팩트한 구성으로, 시일 부재에 대한 접촉 압력과는 독립적으로 기판 접점에 접촉 압력을 부여하는 것이 가능하다.

제12 형태에 의하면, 제9 내지 제11 형태의 어느 하나의 접점 구조에 있어서, 상기 기판 접점에 급전하기 위한 접점 플레이트이며, 상기 접점 블록에 접촉하여 압박하는 접점 플레이트를 구비한다.

이 형태에 의하면, 부품의 추가를 억제하고, 간이한 구성으로 제1 및 제2 압박 부분을 구성할 수 있다.

제13 형태에 의하면, 제1 내지 제12 형태의 어느 하나의 접점 구조에 있어서, 상기 제2 접점 부분의 직경은, 상기 제1 접점 부분의 직경보다도 대경이다.

이 형태에 의하면, 기판 접점과 접점 플레이트의 접촉 면적을 확보하면서, 기판 접점과 기판의 접촉 면적을 원하는 범위로 조정할 수 있다. 또한, 소경의 제1 접점 부분의 길이를 적절하게 조정함으로써, 소경의 제1 접점 부분 및 대경의 제2 접점 부분을 포함하는 기판 접점 전체의 강성을 확보할 수 있다. 예를 들어, 고무로 이루어지는 시일 부재와 기판 접점을 일체 성형하는 경우에, 성형 시의 압력에 견딜 수 있는 기판 접점의 강성을 실현할 수 있다.

제14 형태에 의하면, 제13 형태의 접점 구조에 있어서, 상기 기판 접점은, 상기 제1 접점 부분과 상기 제2 접점 부분 사이에 테이퍼 부분을 갖는다.

이 형태에 의하면, 기판 접점이 급격한 형상 변화를 피할 수 있어, 기판 접점과 시일 부재를 양호하게 조합할 수 있다. 또한, 고무와 일체 성형할 때, 고무의 유동성을 확보할 수 있다.

제15 형태에 의하면, 제14 형태의 접점 구조에 있어서, 상기 테이퍼 부분과 상기 제1 접점 부분의 접속부 및/또는 상기 테이퍼 부분과 상기 제2 접점 부분의 접속부에는 R이 마련되어 있다.

이 형태에 의하면, 기판 접점이 급격한 형상 변화를 더욱 억제할 수 있다. 또한, 기판 접점의 테이퍼 부분 및 코너 R 형상에 의해, 기판 접점 및 시일 부재를 일체 성형할 때의 고무 유동성을 확보하는 것이 더욱 용이해진다.

제16 형태에 의하면, 제14 또는 제15 형태의 접점 구조에 있어서, 상기 테이퍼 부분은, 상기 시일 부재에 접착되어 있다.

이 형태에 의하면, 접촉 압력으로부터 기운 방향인 테이퍼 부분을 접착함으로써, 기판 접점과 시일부 사이의 접착 강도를 향상시킬 수 있다.

제17 형태에 의하면, 제1 내지 제16 형태의 어느 하나의 접점 구조에 있어서, 상기 시일 부재는, 상기 기판 접점과 함께 가황 성형에 의해 일체 성형되고, 상기 기판 접점과 상기 시일 부재는 가교 접착되어 있다.

이 형태에 의하면, 기판 접점의 접착 개소와 시일 부재의 접착 강도를 향상시키고, 기판 접점의 선단측과 시일 부재 사이에 도금액이 침입하는 것을, 보다 확실하게 억제 내지 방지할 수 있다.

제18 형태에 의하면, 제1 내지 제17 형태의 어느 하나의 접점 구조에 있어서, 상기 제1 접점 부분의 선단과 상기 시일 부재의 상기 시일면은 대략 동일 평면 상에 위치하게 구성되어 있다.

이 형태에 의하면, 기판 접점의 선단과 시일부의 시일면과는 대략 동일 평면 상에 위치하게 구성되므로, 기판 접점의 선단에 액체가 잔류하는 것을 억제할 수 있다.

제19 형태에 의하면, 서로 걸림 결합하여, 기판을 사이에 두고 보유 지지하는 제1 보유 지지 부재 및 제2 보유 지지 부재를 구비하고, 상기 제1 및 제2 보유 지지 부재의 적어도 한쪽은, 제1 내지 제18 형태의 어느 하나에 기재된 접점 구조를 갖는 적어도 하나의 급전 모듈을 갖는 기판 홀더가 제공된다. 이 형태에 의하면, 상기 형태에서 설명한 작용 효과를 발휘한다.

제20 형태에 의하면, 제19 형태의 기판 홀더와, 상기 기판 홀더에 보유 지지된 기판을 도금하는 도금조를, 구비하는 도금 장치가 제공된다. 이 형태에 의하면, 상기 형태에서 설명한 작용 효과를 발휘한다.

제21 형태에 의하면, 기판에 급전하는 방법이며, 주위를 시일 부재에 의해 덮여진 기판 접점이며, 상기 시일 부재에 접착되어 있는, 상기 기판에 접촉하는 측의 제1 접점 부분과, 상기 제1 접점 부분보다 기단측에서 상기 시일 부재에 상대 변위 가능하게 끼워 맞춤되어 있는 제2 접점 부분을 갖는 상기 기판 접점을, 상기 기판에 접촉시키고, 상기 기판 접점에 상기 기판에 대한 접촉 압력을 탄성적으로 부여함과 함께, 상기 기판 접점에 대한 접촉 압력의 부여와는 독립적으로, 상기 시일 부재에 상기 기판에 대한 접촉 압력을 부여하고, 상기 기판 접점이 상기 기판측으로부터 받는 작용력에 의해 기판과는 반대 방향(접촉 압력이라고는 반대 방향)으로 변위되고 상기 시일 부재가 상기 기판 상에 잔류하는 작용에 의해, 상기 시일 부재에 의한 시일 압력을 발생시키는 방법이 제공된다. 이 형태에 의하면, 상기 형태에서 설명한 작용 효과를 발휘한다.

이상, 몇 가지의 예에 기초하여 본 발명의 실시 형태에 대해서 설명해 왔지만, 상기한 발명의 실시 형태는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위한 것이며, 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 본 발명은 그 취지를 일탈하지 않고, 변경, 개량될 수 있음과 함께, 본 발명에는, 그 균등물이 포함되는 것은 물론이다. 또한, 상술한 과제의 적어도 일부를 해결할 수 있는 범위, 또는, 효과의 적어도 일부를 발휘하는 범위에 있어서, 특허 청구의 범위 및 명세서에 기재된 각 구성 요소의 임의의 조합, 또는, 생략이 가능하다.

본원은, 2020년 9월 29일 출원의 일본 특허 출원 번호 제2020-163755호에 기초하는 우선권을 주장한다. 2020년 9월 29일 출원의 일본 특허 출원 번호 제2020-163755호의 명세서, 특허 청구의 범위, 도면 및 요약서를 포함하는 모든 개시 내용은, 참조에 의해 전체로서 본원에 포함된다.

일본 특허 공개 평8-13198호 공보(특허문헌 1), 일본 특허 공개 평7-54199호 공보(특허문헌 2), 일본 특허 공개 제2000-219998 공보(특허문헌 3)의 명세서, 특허 청구의 범위, 도면 및 요약서를 포함하는 모든 개시는, 참조에 의해 전체로서 본원에 포함된다.

39 도금조
100 도금 장치
200 기판 홀더
210 제1 보유 지지 부재
211a, 211b 세로 부재
212, 213 가로 부재
215 레일
216 암
217 외부 접속부
218a, 218b 버스 바
220 제2 보유 지지 부재
230 급전 모듈
231 시일 부재
232 누름판
232a 연장부
232b 관통 구멍
232c 스페이서
233 접점 플레이트
234 접점 플레이트 누름
235 시일부
236 기판 접점
236a 대경부
236b 테이퍼부
236c 소경부
236d 나사 구멍
237 시일부
238 관통 구멍
239 시일부
240 돌기
241 노치
242 관통 구멍
243 선단부
243a 관통 구멍
244 슬릿
245 관통 구멍
246 나사
247 관통 구멍
248 나사
250 프론트 플레이트
251 나사 구멍
252, 253 오목부
260 버스 바
261 보유 지지부
262 두꺼운 부분
263 관통 구멍
264 돌기부
265 나사 구멍
266 시일 홈
267 관통 구멍
268 관통 구멍
270 핀
274, 275 플랜지
280 백 플레이트
290 플로트 플레이트
291 가이드 핀
295 스프링
297 가이드 핀
300 로크 플레이트
301 기단부
302 가이드부
303 가이드 홈
304 걸림 고정부
304a 단차부
305 가압 기구
309 스프링
400 접착 영역
401 탄성 부재
402 접점 블록

Claims

기판에 접촉하는 선단측의 제1 접점 부분과, 상기 제1 접점 부분보다도 기단측의 제2 접점 부분을 갖는 기판 접점과,
상기 기판 접점의 주위를 덮고, 상기 기판에 접촉하여 상기 기판 접점을 시일하는 시일면을 갖는 시일 부재와,
상기 기판 접점에 상기 기판에 대한 접촉 압력을 탄성적으로 부여하는 제1 압박 부분과,
상기 시일 부재에 접촉하고, 상기 제1 압박 부분과 독립적으로 상기 시일 부재에 상기 기판에 대한 접촉 압력을 부여하는 제2 압박 부분을
구비하고,
상기 제1 접점 부분은, 상기 시일 부재에 접착되어 있고,
상기 제2 접점 부분은, 상기 시일 부재에 대하여 상대 변위 가능하게 끼워 맞춤되어 있는,
접점 구조.
제1항에 있어서,
상기 제2 압박 부분은, 상기 시일 부재의 상기 시일면과 대략 평행한 면을 통해 상기 시일 부재에 접촉하는, 접점 구조.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제2 압박 부분은, 상기 기판 접점을 기준으로 하여 상기 시일 부재의 상기 시일면보다도 외측에 있는, 접점 구조.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제2 접점 부분의 기단측의 일부는, 상기 시일 부재로부터 돌출되어 있고,
상기 시일 부재 상에 배치되고, 상기 시일 부재에 접촉하여 압박하는 제1 압박판과,
상기 기판 접점에 급전하기 위한 접점 플레이트이며, 상기 제1 압박판 상에 배치되고, 상기 제2 접점 부분에 접촉하여 탄성적으로 압박하는 접점 플레이트를 구비하고,
상기 접점 플레이트의 상기 제2 접점 부분과의 접촉 부분이 상기 제1 압박 부분으로서 기능하고,
상기 기판 접점의 주위의 일부 또는 전체 둘레에 있어서 상기 시일 부재를 압박하는 상기 제1 압박판의 부분이, 상기 제2 압박 부분으로서 기능하는, 접점 구조.
제4항에 있어서,
상기 제1 압박판은 관통 구멍을 갖고,
상기 제2 접점 부분은, 상기 제1 압박판의 상기 관통 구멍을 적어도 부분적으로 통과하고 있는, 접점 구조.
제4항에 있어서,
상기 접점 플레이트에 급전하기 위한 버스 바를 구비하고,
상기 시일 부재는, 상기 버스 바의 관통 구멍을 통과하여 상기 버스 바에 상대 변위 가능하게 배치되어 있고,
상기 접점 플레이트는, 상기 제2 접점 부분과 접촉하는 측과 반대측에서 버스 바에 고정되고, 상기 버스 바에 의해 외팔보 지지되어 있는, 접점 구조.
제6항에 있어서,
상기 접점 플레이트 상에 배치되고, 상기 접점 플레이트와 상기 버스 바의 접촉 균일성 및 상기 접점 플레이트의 외팔보 강성을 조정하기 위한 제2 압박판을 구비하는, 접점 구조.
제1항 또는 제2항에 있어서,
복수의 상기 기판 접점이 마련되고,
상기 접점 플레이트는, 각 접점에 설치되는 복수의 선단부를 갖고, 각 선단부가 독립적으로 변위 가능하게 서로 분리되어 있는, 접점 구조.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 시일 부재 상에 배치되고, 상기 시일 부재에 접촉하여 압박하는 접점 블록과,
상기 접점 블록과 상기 기판 접점의 상기 제2 접점 부분 사이에 배치된 탄성 부재를 구비하고,
상기 탄성 부재의 상기 기판 접점과의 접촉 부분이, 상기 제1 압박 부분으로서 기능하고,
상기 접점 블록의 상기 시일 부재와의 접촉 부분이, 상기 제2 압박 부분으로서 기능하는, 접점 구조.
제9항에 있어서,
상기 접점 블록은, 상기 기판 접점마다 마련되어 있는, 접점 구조.
제9항에 있어서,
상기 탄성 부재는, 도전성을 갖고, 상기 접점 블록으로부터 상기 탄성 부재를 통해 상기 기판 접점에 급전 가능한, 접점 구조.
제9항에 있어서,
상기 기판 접점에 급전하기 위한 접점 플레이트이며, 상기 접점 블록에 접촉하여 압박하는 접점 플레이트를 구비하는, 접점 구조.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제2 접점 부분의 직경은, 상기 제1 접점 부분의 직경보다도 대경인, 접점 구조.
제13항에 있어서,
상기 기판 접점은, 상기 제1 접점 부분과 상기 제2 접점 부분 사이에 테이퍼 부분을 갖는 접점 구조.
제14항에 있어서,
상기 테이퍼 부분과 상기 제1 접점 부분의 접속부, 및/또는, 상기 테이퍼 부분과 상기 제2 접점 부분의 접속부에는, R이 마련되어 있는, 접점 구조.
제14항에 있어서,
상기 테이퍼 부분은, 상기 시일 부재에 접착되어 있는, 접점 구조.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 시일 부재는, 상기 기판 접점과 함께 가황 성형에 의해 일체 성형되고, 상기 기판 접점과 상기 시일 부재는 가교 접착되어 있는, 접점 구조.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1 접점 부분의 선단과 상기 시일 부재의 상기 시일면은 대략 동일 평면 상에 위치하게 구성되어 있는, 접점 구조.
서로 걸림 결합하여, 기판을 사이에 두고 보유 지지하는 제1 보유 지지 부재 및 제2 보유 지지 부재를 구비하고,
상기 제1 및 제2 보유 지지 부재의 적어도 한쪽은, 제1항 또는 제2항에 기재된 접점 구조를 갖는 적어도 하나의 급전 모듈을 갖는
기판 홀더.
제19항에 기재된 기판 홀더와,
상기 기판 홀더에 보유 지지된 기판을 도금하는 도금조를
구비하는 도금 장치.
기판에 급전하는 방법이며,
주위를 시일 부재에 의해 덮여진 기판 접점이며, 상기 시일 부재에 접착되어 있는, 상기 기판에 접촉하는 측의 제1 접점 부분과, 상기 제1 접점 부분보다 기단측에서 상기 시일 부재에 상대 변위 가능하게 끼워 맞춤되어 있는 제2 접점 부분을 갖는 상기 기판 접점을, 상기 기판에 접촉시키고,
상기 기판 접점에 상기 기판에 대한 접촉 압력을 탄성적으로 부여함과 함께, 상기 기판 접점에 대한 접촉 압력의 부여와는 독립적으로, 상기 시일 부재에 상기 기판에 대한 접촉 압력을 부여하고, 상기 기판 접점이 상기 기판측으로부터 받는 작용력에 의해 기판과는 반대 방향으로 변위되고 상기 시일 부재가 상기 기판 상에 잔류하는 작용에 의해, 상기 시일 부재에 의한 시일 압력을 발생시키는, 방법.