JPH0754199A - めっき用陰極板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 ［目的］ ガラス基板上のマスクパターン部のめっき厚
の安定均一化を図るとともに、陰極板の長寿命化を図る
ことを目的とする。 ［構成］ リング状をなす陰極板２５の内周側に中心部
に向って突設されている弾性片を絶縁テープ３５によっ
て絶縁被覆するとともに、弾性片３３の先端側に直角に
折曲げて形成されている爪３４を接着剤３６で絶縁被覆
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はめっき用陰極板に係り、
とくに被めっきワークにマイナス電流を供給するめっき
用陰極板に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えばガラス基板の表面に銅めっきを施
す場合には、ガラス基板の表面を予め導体化処理すると
ともに、基板ホルダに取付けてめっき槽内のめっき液中
に浸漬し、陽極銅板と対向させる。そしてポンプによっ
てめっき液を循環させながら陽極銅板と被めっきワーク
とにそれぞれ電流を供給することによってガラス基板上
に銅めっきを施すことになる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】このようにめっきを行
なう場合には、陰極を構成するめっきワークに対してマ
イナス電流を供給しなければならない。そこで従来は陰
極板の爪部を被めっきワークに接触させ、爪部を通して
マイナス電流を供給するようにしている。あるいはまた
被めっきワークの外周側の部分にリング状の電極を圧着
し、この電極を通してマイナスの電流を流すようにして
いる。

【０００４】ところが陰極板の爪部を通してマイナス電
流を流す方式によると、爪部がめっきされるとともに、
爪部の弾性が劣化すると接触不良を起す可能性がある。
また爪部を有する陰極板は寿命が短く、銅分の無駄を生
ずる欠点がある。また陰極部の占める面積が変化すると
ともに、陰極板の補修ができないという欠点がある。

【０００５】一方被めっきワークの一部にリング状をな
す陰極を圧着する方式は、接触が不均一で、被めっき面
へのめっき液の流れ込み（イオンの供給）があまり良好
でない問題がある。

【０００６】またガラス基板上に予め導体化処理を行な
ってその上に所定の銅めっき膜を形成する場合には、爪
部を有する陰極板を採用すると、陰極部の占める面積が
変化する問題がある。またリング状をなす陰極を用いる
と、めっき厚の均一化に著しく悪影響を及し、外周部の
めっき厚が小さくなってしまう問題がある。

【０００７】本発明はこのような問題点に鑑みてなされ
たものであって、めっき回数に影響されることなく、安
定して均一な膜厚のめっきが行なわれるようにしためっ
き用陰極板を提供することを目的とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】第１の発明は、被めっき
ワークにマイナス電流を供給するめっき用陰極板におい
て、弾性片を有し、該弾性片の自由端側には先端部を折
曲げて成る爪が設けられ、該爪が前記被めっきワークに
圧着され、前記爪の先端部であって前記ワークに圧着さ
れる接触点以外は絶縁材料によってシールドされている
ことを特徴とするめっき用陰極板に関するものである。

【０００９】第２の発明は、上記第１の発明において、
弾性片の表面が絶縁テープによって被覆されるととも
に、爪の表面が接着剤によって絶縁被覆されているめっ
き用陰極板に関するものである。

【００１０】また第３の発明は、上記第１の発明におい
て、リング状をなし、その内周側に前記弾性片が中心に
向って突設され、しかも前記弾性片の先端側にはその長
さ方向とほぼ直角に折曲げて前記爪が形成され、被めっ
きワークを保持したベースに固定されるようになってい
るめっき用陰極板に関するものである。

【００１１】

【作用】第１の発明によれば、めっき用陰極板の弾性片
の先端側に設けられている爪の先端部であってワークに
圧着される接触点以外が絶縁材料によってシールドされ
ている陰極板を通して被めっきワークにマイナス電流が
供給される。

【００１２】第２の発明によれば、めっき用陰極板の弾
性片の表面が絶縁テープによって被覆されるとともに、
爪の表面が接着剤によって絶縁被覆され、しかも爪の先
端側であってワークに圧着される接触点の部分のみが露
出され、この露出されている部分を通して被めっきワー
クにマイナス電流が供給される。

【００１３】第３の発明によれば、リング状をなすとと
もに、その内周側に弾性片が中心に向って突設され、し
かも弾性片の先端側にはその長さ方向とほぼ直角に折曲
げて爪が形成されており、ベースに固定されている被め
っきワークに対して上記弾性片の先端側の爪の先端部を
通してマイナス電流が供給される。

【００１４】

【実施例】図４は本発明の一実施例に係るめっき用陰極
板を用いてめっきを行なうようにしためっき装置を示す
ものであって、このめっき装置はめっき槽１０から構成
されている。めっき槽１０内にはめっき液が所定の液面
レベルまで注入されており、このめっき液は循環用配管
１１によって循環されるようになっている。循環用配管
１１には循環ポンプ１２と、フィルタ１３と、フローメ
ータ１４とが接続されるようになっている。そしてめっ
き槽１０の所定の位置に傾斜して設けられている陽極銅
板１５のほぼ中心部を貫通するように循環用配管１１の
吐出口１６が突設されている。

【００１５】またこのめっき装置は基板回転駆動部１８
を備えており、支持板１９の先端側にピン２０を介して
回動自在に支持されている。そして回転駆動部１８の先
端側であって回転軸２４の先端側には基板ホルダ２１が
固着されている。そしてこの基板ホルダ２１の表面側に
は基板から成る被めっきワーク２２が取付けられてお
り、上記陽極銅板１５および循環用配管１１の吐出口１
６に対向するようになっている。

【００１６】基板ホルダ２１は図５に示すように回転軸
２４の先端部に固着されるとともに、この基板ホルダ２
１の上面には被めっきワーク２２が固定されている。ま
た基板ホルダ２１の上面には陰極板２５と障害板２６と
がそれぞれ配されており、陰極板２５は固定ボルト２７
によって固定されている。固定ボルト２７は図６に示す
陰極板２５のボルト挿通孔２８を挿通し、基板ホルダ２
１に螺着されている。また障害板２６はビス２９によっ
て固定ボルト２７上に固定されるようになっている。

【００１７】陰極板２５は図６に示すようにほぼリング
状をなし、その外周側の部分には所定の位置に上記ボル
ト挿通孔２８が形成されるとともに、内周側には中心側
に向けて突出された複数の弾性片３３が設けられてお
り、これらの弾性片３３の先端部には下方に直角に折曲
げられた爪３４がそれぞれ設けられている。また弾性片
３３の外表面には図１に示すように絶縁テープ３５が被
覆されている。また弾性片３３の先端側に折曲げて形成
された爪３４には接着剤３６が塗布されており、これに
よって被めっきワーク２２に接触される部分以外が絶縁
被覆されるようになっている。また弾性片３３の根元側
であって陰極板２５の基部との連結部には図７に示すよ
うな切込みから成る逃げ３７が形成されている。

【００１８】次に以上のような構成に係るこのめっき装
置の動作について説明する。なおここではガラス基板か
ら成る被めっきワーク２２が用いられ、このワーク２２
の表面にコイル部をパターニングし、めっきを行なう場
合を説明する。銅めっきは一般にめっき槽１０内のめっ
き液中で陽極銅板１５と被めっきワーク２２にそれぞれ
プラス側の電極とマイナス側の電極とを結線し、所定の
電気量を通電し、陰極面に所定の銅めっき膜を得るもの
である。

【００１９】図５に示す基板ホルダ２１の陰極板２５の
弾性片３３の先端側の爪３４は被めっきワーク２２に接
し、被めっきワーク２２に対してマイナス電流を供給す
るようにしている。また陰極板２２の上部に配される障
害板２６は主に円形または楕円形の形状をなし、陰極面
への電流の微調整に利用するものである。被めっきワー
ク２２から成る基板に直接めっきを行なおうとすると、
周辺部においてめっきの膜厚が大きくなるために、障害
板２６を被めっきワーク２２の陽極面側に配置して電流
を調整するようにしている。

【００２０】基板２２が取付けられた基板ホルダ２１は
図４中鎖線位置から実線位置へ回動され、めっき槽１０
内のめっき液中に浸漬される。めっき槽１０のめっき液
内においてホルダ２１に取付けられている被めっきワー
ク２２は陽極銅板１５との間に約１００ｍｍの間隔をお
き、めっき槽１０内のめっき液をポンプ１２によって圧
送し、循環用配管１１の途中に接続されているフィルタ
１３でサブミクロンまでの塵埃等を除去し、フローメー
タ１４を通して吐出口１６からホルダ２１上の被めっき
ワーク２２に吹き当てるようにしている。液の吹き当て
はめっき中に発生する水素ガスの除去に有効であり、基
板回転駆動部１８による基板ホルダ２１の回転はめっき
膜厚の均一化に寄与するものである。

【００２１】このようにして銅めっきを行なうためのめ
っき用陰極板２５は、そのシールドを行なう前の状態が
図６に示されている。この図から明らかなように、シー
ルドにフィルムテープを使い易くするために、とくに弾
性片３３については直線部を多くしている。また弾性片
３３の先端側には図７〜図９に示すように下方に直角に
折曲げて爪３４が形成されている。

【００２２】そして弾性片３３の表面には図１に示すよ
うに絶縁テープ３５で絶縁被覆され、先端側の爪３４に
ついては接着剤３６によって被覆されている。これらの
テープ３５および接着剤３６によるシールドの密着性を
上げるために、爪３４の根元部分に逃げ３７を形成し
（図７参照）、さらに角部のカバーを容易にするため
に、０．８ｍｍの面取りを行なっている。

【００２３】このように本実施例に係る陰極板２５にお
いては、図１に示すように、爪３４の接触点以外の全面
が絶縁テープ３５と接着剤３６とによってシールドされ
ている。このような全面シールドタイプの陰極板２５
は、とくにガラス基板から成る被めっきワーク２２の表
面のマスクパターンのめっきの場合において、そのめっ
き厚の均一性と陰極面積とが密接に関係があり、一定条
件で均一なめっき厚になっても、陰極板２５の面積が大
きくなると基板２２の外周部のめっきが小さくなってし
まうことを防止するものである。

【００２４】陰極板２５のとくに爪３４がシールドされ
ることなく露出されていると、爪３４もめっきされるこ
とになる。そしてめっきの回数を多くすると結果的には
陰極板２５の面積を大きくすることになり、基板２２の
外周部のめっき厚を下げることになる。とくに基板２２
のマスクパターンのめっきを行なう場合には、パターン
部と爪３４の面積比は一般の全面めっきより爪３４の面
積比率が大きく、無視できなくなる。絶縁テープ３５と
接着剤３６とによってシールドされた陰極板２５はこの
ような点で極めて有効である。

【００２５】陰極板２５の爪３４の部分のシールドに用
いられる接着剤としては、エポキシ系の接着剤を用い
た。なおそれ以外の部分を覆う絶縁テープは、例えば住
友スリーエム株式会社製のＳＣＯＴＣＨ ＢＡＮＤ ５
４９０（商品名）のフィルムテープを使用した。爪３４
の先端部にはシールド効果を増加させるために、若干の
加工を加えている。なお陰極板２５の他の部分について
は塗装を施してシールドを行なっている。

【００２６】このように本実施例に係るめっき用陰極板
は、その平面部であって弾性片３３以外の部分について
は塗料によってシールドし、弾性片３３については主と
して絶縁テープ３５でシールドし、そして爪３４につい
ては接着剤３６によって絶縁被覆を行なうようにしてい
る。何れも耐薬品性があり、イオン等を透過させない緻
密性を有する絶縁被覆である。従って爪３４の先端部に
ついては図３に示すように析出銅４０が付着するが、他
の部分には銅の付着はなく、先端部の析出銅４０も適宜
除去して継続使用される。

【００２７】このような絶縁被覆を施した陰極板２５を
使用することによって、めっき回数に影響されることな
く、安定してめっき厚の均一なものを得ることが可能に
なる。またシャワリングにも耐えることができ、水洗が
容易になる。補修が容易で、長寿命化も得られ、めっき
工程でのコストダウンが達成される。また爪３４にめっ
きが行なわれないので、爪３４本来の弾性も得られ、接
触不良によるめっき不良も防止される。まためっき液の
流れ込み（イオンの供給）にも変化がなく、めっき回数
に関係なく被めっきワークを構成する基板２２上に均一
なめっき厚のめっきが保持される。まためっき液の節約
にもなり、これによってもコストダウンが可能になる。

【００２８】

【発明の効果】第１の発明によれば、陰極板が弾性片を
有し、この弾性片の自由端側には先端部を折曲げて成る
爪が設けられ、この爪が被めっきワークに圧着され、爪
の先端部であってワークに圧着される接触点以外は絶縁
材料によってシールドされるようにしたものである。

【００２９】従って接触点以外の爪の部分にはめっきが
行なわれず、これによってめっき回数に影響されないで
安定した均一な膜厚のめっきを施すことが可能になる。

【００３０】第２の発明によれば、めっき用陰極板の弾
性片の表面が絶縁テープによって被覆されるとともに、
爪の表面が接着剤によって絶縁被覆されるようにしたも
のである。

【００３１】従って弾性片および爪のより完全な絶縁被
覆が可能になり、シャワリングにも耐え、水洗によって
も絶縁被覆が取れることがなく、補修が容易で、陰極板
の長寿命化が可能になる。

【００３２】第３の発明は、リング状をなし、その内周
側に弾性片が中心に向って突設され、しかも弾性片の先
端側にはその長さ方向とほぼ直角に折曲げて爪が形成さ
れ、被めっきワークを保持したベースに上記陰極板が固
定されるようにしたものである。

【００３３】従ってこのような陰極板によれば、とくに
ガラス基板のような基板ホルダに固定してめっきを施す
被めっきワークに用いて好適なめっき用陰極板を提供す
ることが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】めっき用陰極板の弾性片の部分を示す拡大縦断
面図である。

【図２】陰極板の爪の正面図である。

【図３】接触点に銅が析出した状態の爪の正面図であ
る。

【図４】めっき装置の断面図である。

【図５】被めっきワークを保持した基板ホルダの縦面図
である。

【図６】陰極板の平面図である。

【図７】弾性片の平面図である。

【図８】弾性片の側面図である。

【図９】弾性片の正面図である。

【符号の説明】

１０ めっき槽 １１ 循環用配管 １２ 循環ポンプ １３ フィルタ １４ フローメータ １５ 陽極銅板 １６ 吐出口 １８ 基板回転駆動部 １９ 支持板 ２０ ピン ２１ 基板ホルダ ２２ 被めっきワーク（基板） ２４ 回転軸 ２５ 陰極板 ２６ 障害板 ２７ 固定ボルト ２８ ボルト挿通孔 ２９ ビス ３３ 弾性片 ３４ 爪 ３５ 絶縁テープ ３６ 接着剤 ３７ 切込み（逃げ） ４０ 析出銅

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被めっきワークにマイナス電流を供給する
   めっき用陰極板において、 弾性片を有し、該弾性片の自由端側には先端部を折曲げ
   て成る爪が設けられ、 該爪が前記被めっきワークに圧着され、 前記爪の先端部であって前記ワークに圧着される接触点
   以外は絶縁材料によってシールドされていることを特徴
   とするめっき用陰極板。
2. 【請求項２】弾性片の表面が絶縁テープによって被覆さ
   れるとともに、爪の表面が接着剤によって絶縁被覆され
   ている請求項１に記載のめっき用陰極板。
3. 【請求項３】リング状をなし、その内周側に前記弾性片
   が中心に向って突設され、しかも前記弾性片の先端側に
   はその長さ方向とほぼ直角に折曲げて前記爪が形成さ
   れ、 被めっきワークを保持したベースに固定されるようにな
   っている請求項１に記載のめっき用陰極板。