KR20190001913A - 테이프 부착기 및 테이프 제거 방법 - Google Patents

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Abstract

(과제) 테이프 부착기의 테이프 권취 유닛으로부터 테이프를 용이하게 제거할 수 있도록 한다.
(해결 수단) 테이프 부착기는, 프레임 및 웨이퍼에 첩착되지 않았던 테이프를 권취하는 테이프 권취 유닛을 구비하고, 테이프 권취 유닛은, 롤상의 주축과, 주축의 양단에 부착하고 제거하는 것이 가능하게 끼워 맞춰진 지그를 구비한다. 지그는, 주축의 직경보다 큰 직경으로 테이프가 감겨지는 테이프 접촉 영역과, 테이프보다 외측의 잡는 영역이 존재하도록 주축에 끼워 맞춰지기 때문에, 잡는 영역을 잡고, 테이프와 주축의 사이로부터 지그를 빼내어 제거함으로써, 주축으로부터 테이프를 용이하게 제거할 수 있다.

Description

테이프 부착기 및 테이프 제거 방법{TAPE APPLIER AND METHOD FOR REMOVING TAPE}
본 발명은, 웨이퍼와 링상의 프레임에 대해 점착 테이프를 첩부함과 함께 절단하는 테이프 부착기 및 테이프 부착기에 있어서 테이프를 제거하는 테이프 제거 방법에 관한 것이다.
반도체 제조 장치의 제조 과정에 있어서는, 집적 회로가 형성된 웨이퍼를 복수의 칩으로 분할할 때, 칩의 분산을 방지하기 위해서, 웨이퍼는 점착 테이프를 개재하여 프레임과 일체화시킨 상태로, 웨이퍼에 절삭 등이 실시된다.
웨이퍼와 프레임을 점착 테이프에 의해 일체로 하기 위해서, 예를 들어, 하기의 특허문헌 1 에 나타내는 테이프 부착기가 사용된다. 테이프 부착기는, 프레임 및 웨이퍼에 첩착 (貼着) 되지 않았던 테이프를 권취하는 테이프 권취부를 구비하고 있다. 테이프 권취부에 감겨진 테이프가 커지면, 작업자가 테이프를 테이프 권취부로부터 제거하는 작업을 실시하고 있다.
일본 공개특허공보 평6-177243호
그러나, 상기의 테이프 부착기에 있어서, 테이프는 장력을 갖게 하여 몇 겹이나 테이프 권취부의 축에 감겨져 있기 때문에, 테이프 권취부로부터 테이프를 제거하는 것은 용이하지 않다. 그 때문에, 종래에는, 테이프 권취부의 축에 감겨진 테이프에 커터로 절입을 넣고 나서, 그 절입을 계기로 하여 테이프를 제거한다는 번잡한 작업을 피할 수 없게 되어 있었다.
본 발명은, 상기의 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 테이프 부착기의 테이프 권취부로부터 테이프를 용이하게 제거할 수 있도록 하는 것을 목적으로 하고 있다.
본 발명은, 롤상의 점착 테이프가 장착되는 테이프 송출부와, 프레임 및 웨이퍼에 그 점착 테이프를 첩착하는 테이프 첩착 가동 롤러와, 그 프레임을 따라 그 점착 테이프를 절단하는 테이프 커터와, 그 프레임 및 웨이퍼에 첩착되지 않았던 테이프를 권취하는 테이프 권취 유닛을 구비하는 테이프 부착기로서, 그 테이프 권취 유닛은, 롤상의 주축과, 그 주축의 양단에 부착하고 제거하는 것이 가능하게 끼워 맞춰진 지그를 구비하고, 그 지그는, 그 주축의 직경보다 큰 직경으로 그 테이프가 감겨지는 테이프 접촉 영역과, 그 테이프보다 외측의 잡는 영역이 존재하도록 그 주축에 끼워 맞춰져 있는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명은, 점착면에 박리지가 첩착된 롤상의 점착 테이프가 장착되는 테이프 송출부와, 그 점착 테이프와 그 박리지를 분리하는 분리부와, 그 박리지를 권취하는 박리지 권취 유닛과, 프레임 및 웨이퍼에 그 점착 테이프를 첩착하는 테이프 첩착 가동 롤러와, 그 프레임을 따라 그 점착 테이프를 절단하는 테이프 커터와, 그 프레임 및 웨이퍼에 첩착되지 않았던 테이프를 권취하는 테이프 권취 유닛을 구비하는 테이프 부착기로서, 그 테이프 권취 유닛은, 롤상의 제 1 주축과, 그 제 1 주축의 양단에 부착하고 제거하는 것이 가능하게 끼워 맞춰진 제 1 지그를 구비하고, 그 제 1 지그는, 그 제 1 주축의 직경보다 큰 직경으로 그 테이프가 감겨지는 테이프 접촉 영역과, 그 테이프보다 외측의 잡는 영역이 존재하도록 그 제 1 주축에 끼워 맞춰지고, 그 박리지 권취 유닛은, 롤상의 제 2 주축과, 그 제 2 주축의 양단에 부착하고 제거하는 것이 가능하게 끼워 맞춰진 제 2 지그를 구비하고, 그 제 2 지그는, 그 제 2 주축의 직경보다 큰 직경으로 그 박리지가 감겨지는 박리지 접촉 영역과, 그 박리지보다 외측의 제 2 잡는 영역이 존재하도록 그 제 2 주축에 끼워 맞춰져 있는 것을 특징으로 한다.
상기 지그는, 측면에 절입이 형성되어 있는 것이 바람직하다.
또한 본 발명은, 상기 테이프 부착기에 있어서, 상기 주축으로부터 상기 테이프를 제거하는 테이프 제거 방법으로서, 그 주축의 양단에 끼워 맞춰진 상기 지그 중의 적어도 일방의 그 지그를 그 주축으로부터 빼내어 제거하는 지그 제거 스텝과, 그 지그 제거 스텝의 실시 후에, 권취된 그 테이프를 그 주축으로부터 빼내어 제거하는 테이프 제거 스텝을 갖는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관련된 테이프 부착기에서는, 주축의 양단에 끼워 맞춰진 지그의 테이프 접촉 영역에 테이프가 감겨짐으로써, 주축의 직경보다 큰 직경으로 테이프가 감겨져, 테이프와 주축의 둘레면 사이에 간극이 형성되기 때문에, 지그의 잡는 영역을 잡고, 테이프와 주축 사이로부터 지그를 빼내어 제거함으로써, 주축으로부터 테이프를 용이하게 제거할 수 있다.
또, 본 발명에 관련된 테이프 부착기에서는, 테이프 권취 유닛의 제 1 주축의 양단에 끼워 맞춰진 제 1 지그의 테이프 접촉 영역에 테이프가 감겨짐으로써, 제 1 주축의 직경보다 큰 직경으로 테이프가 감겨져, 테이프와 제 1 주축의 둘레면 사이에 간극이 형성되기 때문에, 제 1 지그의 잡는 영역을 잡고, 테이프와 제 1 주축 사이로부터 제 1 지그를 빼내어 제거함으로써, 제 1 주축으로부터 테이프를 용이하게 제거할 수 있다. 이에 더하여, 박리지 권취 유닛의 제 2 주축의 양단에 끼워 맞춰진 제 2 지그의 제 2 테이프 접촉 영역 (박리지 접촉 영역) 에 박리지가 감겨짐으로써, 제 2 주축의 직경보다 큰 직경으로 박리지가 감겨져, 박리지와 제 2 주축의 둘레면 사이에 간극이 형성되기 때문에, 제 2 지그의 제 2 잡는 영역을 잡고, 박리지와 제 2 주축 사이로부터 제 2 지그를 빼내어 제거함으로써, 제 2 주축으로부터 박리지를 용이하게 제거할 수 있다.
상기 지그의 측면에 절입이 형성되어 있는 경우에는, 지그에 외력을 가하면 지그의 내경이 축경되면서 테이프로부터 제거하기 쉬워지기 때문에, 주축과 테이프 사이로부터 지그를 보다 용이하게 빼내는 것이 가능해진다.
본 발명에 관련된 테이프 제거 방법에 의하면, 본 발명의 테이프 부착기의 주축의 양단에 끼워 맞춰진 지그 중의 적어도 일방의 지그를 주축으로부터 빼내어 제거한 후, 권취된 테이프를 주축으로부터 빼내어 제거함으로써, 주축으로부터 테이프를 용이하게 제거할 수 있다.
도 1 은 웨이퍼를 나타내는 사시도이다.
도 2 는 점착 테이프를 개재하여 프레임과 일체가 된 웨이퍼를 나타내는 사시도이다.
도 3 은 제 1 실시형태의 테이프 부착기의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 4 는 도 3 에 나타내는 테이프 부착기의 측면도이다.
도 5 는 테이프 제거 방법의 지그 제거 스텝을 나타내는 정면도이다.
도 6 은 테이프 제거 방법의 테이프 제거 스텝을 나타내는 정면도이다.
도 7(a) 는 지그의 제 1 변형예를 나타내는 사시도이다. 도 7(b) 는 지그의 제 2 변형예를 나타내는 사시도이다.
도 8 은 제 2 실시형태의 테이프 부착기의 구성을 나타내는 측면도이다.
도 1 에 나타내는 웨이퍼 (W) 는, 피가공물의 일례로서, 원형판상의 기판을 갖고, 그 표면 (Wa) 에는, 격자상의 분할 예정 라인 (S) 에 의해 구획된 복수의 영역에 IC, LSI 등의 디바이스 (D) 가 각각 형성되어 있다. 웨이퍼 (W) 의 표면 (Wa) 과 반대측의 하면이 이면 (Wb) 으로 되어 있고, 예를 들어, 도 2 에 나타내는 점착 테이프 (T) 가 첩착된다. 웨이퍼 (W) 는, 점착 테이프 (T) 를 개재하여 링상의 프레임 (F) 에 지지된 상태로 절삭 가공 등이 실시된다.
1. 제 1 실시형태
[테이프 부착기]
도 3 및 도 4 에 나타내는 테이프 부착기 (1) 는, 상기한 웨이퍼 (W) 와 프레임 (F) 을 점착 테이프 (T) 로 일체화하기 위한 테이프 부착기의 제 1 예이다. 테이프 부착기 (1) 는, 롤상의 점착 테이프 (T) 가 장착되는 테이프 송출부 (10) 와, 프레임 (F) 및 웨이퍼 (W) 에 점착 테이프 (T) 를 첩착하는 테이프 첩착 가동 롤러 (20) 와, 프레임 (F) 을 따라 점착 테이프 (T) 를 절단하는 테이프 커터 (30) 와, 프레임 (F) 및 웨이퍼 (W) 에 첩착되지 않았던 테이프 (T1) 를 권취하는 테이프 권취 유닛 (40) 과, 프레임 (F) 및 웨이퍼 (W) 를 유지하는 테이블 (50) 을 구비한다. 테이프 (T1) 는, 테이프 커터 (30) 에 의해 절단된 부분을 제외한 잉여 부분을 의미한다.
테이블 (50) 은, 그 상면에 웨이퍼 (W) 및 프레임 (F) 이 재치 (載置) 되는 웨이퍼 재치면 (51) 을 갖고 있다. 테이블 (50) 은, Y 축 방향으로 왕복 이동함으로써, 점착 테이프 (T) 가 첩착되는 테이프 첩착 영역 (R1) 과 테이블 (50) 에 대해 웨이퍼 (W) 및 프레임 (F) 이 반입 및 반출되는 작업 영역 (R2) 사이에서 이동할 수 있다.
테이프 송출부 (10) 와 테이프 첩착 가동 롤러 (20) 사이에는, 고정 롤러 (11) 가 형성되어 있다. 테이프 권취 유닛 (40) 의 하방에는, 1 쌍의 테이프 박리 가동 롤러 (12, 13) 가 형성되어 있다. 도시의 예에 나타내는 테이프 첩착 가동 롤러 (20) 는, Y 축 방향으로 연장되어 있고, 테이프 첩착 영역 (R1) 에 위치된 프레임 (F) 및 웨이퍼 (W) 에 대해 점착 테이프 (T) 를 가압하면서 수평 방향 (X 축 방향) 으로 이동 가능하게 되어 있다.
테이프 커터 (30) 는, 테이프 첩착 영역 (R1) 에 위치된 프레임 (F) 및 웨이퍼 (W) 의 상방에 배치되어 있다. 도 4 에 나타내는 바와 같이, 테이프 커터 (30) 는, 칼끝이 하방을 향하고 있는 디스크 커터날 (31) 과, 연직 방향의 축심을 갖는 회전축 (32) 을 구비하고, 점착 테이프 (T) 의 절단을 실시하지 않은 대기 위치와 점착 테이프 (T) 의 절단을 실시하는 작용 위치 사이에서 승강 이동할 수 있다. 테이프 커터 (30) 는, 디스크 커터날 (31) 을 작용 위치에서 회전축 (32) 을 중심으로 하여 360°회전함으로써, 테이블 (50) 에 유지된 프레임 (F) 및 웨이퍼 (W) 에 첩착된 점착 테이프 (T) 를 원형으로 절단할 수 있다.
테이프 권취 유닛 (40) 은, 롤상의 주축 (41) 과, 주축 (41) 의 양단에 부착하고 제거하는 것이 가능하게 끼워 맞춰진 지그 (60) 를 구비한다. 지그 (60) 는, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 적어도 주축 (41) 보다 짧게 구성되고, 축 방향으로 주축 (41) 을 삽입하기 위한 구멍이 형성되어 있다. 지그 (60) 는, 주축 (41) 의 직경보다 큰 직경으로 테이프 (T1) 가 감겨지는 테이프 접촉 영역 (61) 과, 테이프 (T1) 보다 외측의 잡는 영역 (62) 이 존재하도록 주축 (41) 에 끼워 맞춰진다. 테이프 접촉 영역 (61) 은, 테이프 (T1) 의 폭 방향의 외측 부분 (Tw) 이 감겨지는 부분이다. 한편, 잡는 영역 (62) 은, 주축 (41) 및 테이프 접촉 영역 (61) 에 롤상으로 감겨진 테이프 (T1) 의 측부 (Tc) 보다 외측으로 돌출된 부분이고, 예를 들어 작업자의 손 (H) 으로 파지시키는 것이 가능하게 되어 있다. 테이프 접촉 영역 (61) 과 잡는 영역 (62) 의 범위의 비율은, 특별히 한정되지 않고 임의로 설정된다. 지그 (60) 의 재질은, 예를 들어 수지로 구성되어 있다. 또한, 주축 (41) 의 일단에만 지그 (60) 를 끼워 맞춰도 되지만, 주축 (41) 의 밸런스가 무너지는 것을 방지하고 테이프 (T1) 를 롤상으로 양호하게 권취하기 위해서는, 주축 (41) 의 양단에 지그 (60) 를 각각 끼워 맞추는 편이 바람직하다.
다음으로, 상기와 같이 구성된 테이프 부착기 (1) 에 의한 테이프 부착 동작에 대해 설명한다. 먼저, 도 3 의 2 점 쇄선으로 나타내는 작업 영역 (R2) 에 위치된 테이블 (50) 의 웨이퍼 재치면 (51) 에, 작업자에 의해 프레임 (F) 및 웨이퍼 (W) 가 재치된다. 작업자가 예를 들어 버튼 (B) 을 누르면, 테이블 (50) 에 있어서 프레임 (F) 및 웨이퍼 (W) 를 흡착 고정하고, 테이프 첩착 영역 (R1) 으로 이동한다. 이로써, 프레임 (F) 및 웨이퍼 (W) 가 테이프 첩착 영역 (R1) 에 위치된다.
프레임 (F) 및 웨이퍼 (W) 가 테이프 첩착 영역 (R1) 에 위치된 후, 테이프 첩착 가동 롤러 (20) 가 도 4 의 실선으로 나타내는 위치로부터 2 점 쇄선으로 나타내는 위치까지 이동한다. 이로써, 프레임 (F) 및 웨이퍼 (W) 에 점착 테이프 (T) 가 가압되어 첩착된다. 필요에 따라, 테이프 첩착 가동 롤러 (20) 를 왕복 이동시켜도 된다. 이 때, 테이프 커터 (30) 는 대기 위치에 위치하고 있다. 프레임 (F) 및 웨이퍼 (W) 에 점착 테이프 (T) 가 첩착된 후, 테이프 커터 (30) 가 작용 위치로 하강하고, 프레임 (F) 을 따라 점착 테이프 (T) 를 원형으로 절단한다. 절단이 완료된 후, 테이프 커터 (30) 는 대기 위치로 되돌아간다.
그 후, 프레임 (F) 및 웨이퍼 (W) 에 첩착되지 않았던 테이프 (T1) 가 테이프 박리 가동 롤러 (12, 13) 의 가동에 의해 프레임 (F) 으로부터 박리되고, 테이프 권취 유닛 (40) 의 주축 (41) 에 권취된다. 그에 수반하여, 테이프 송출부 (10) 로부터 테이프 첩착 영역 (R1) 에 미사용의 점착 테이프 (T) 가 송출된다.
여기서, 도 5 에 나타내는 주축 (41) 의 양단에 끼워 맞춰진 지그 (60) 의 테이프 접촉 영역 (61) 에 테이프 (T1) 의 외측 부분 (Tw) 이 감겨져 가기 때문에, 주축 (41) 에 감겨진 테이프 (T1) 의 내경은 주축 (41) 의 직경보다 커져 있다. 즉, 주축 (41) 에 감겨진 테이프 (T1) 와 주축 (41) 의 둘레면 (41a) 사이에는 간극 (d) 이 형성된다.
점착 테이프 (T) 의 첩착이 완료된 후, 도 3 에 나타낸 테이블 (50) 이 테이프 첩착 영역 (R1) 에서 작업 영역 (R2) 으로 이동한다. 작업자는 점착 테이프 (T) 에 의해 일체로 된 프레임 (F) 과 웨이퍼 (W) 를 작업 영역 (R2) 으로부터 취출하고, 카세트에 수납하거나 다음의 공정으로 반송하거나 한다. 이와 같이 하여, 1 개의 웨이퍼 (W) 및 프레임 (F) 에 대한 테이프 부착 동작이 완료된다. 그 후, 작업자는 새로운 프레임 (F) 및 웨이퍼 (W) 를 테이블 (50) 에 재치하고, 상기 동일한 테이프 부착 동작이 반복된다.
[테이프 제거 방법]
다음으로, 상기의 테이프 부착기 (1) 에 있어서, 주축 (41) 으로부터 테이프 (T1) 를 제거하는 테이프 제거 방법에 대해 설명한다. 상기 테이프 부착 동작이 반복됨으로써, 테이프 권취 유닛 (40) 의 주축 (41) 에 권취된 테이프 (T1) 의 직경이 커지기 때문에, 소정의 타이밍에 테이프 권취 유닛 (40) 으로부터 테이프 (T1) 를 제거한다. 작업자는, 먼저, 권취된 테이프 (T1) 를 주축 (41) 과 함께 테이프 부착기 (1) 로부터 떼어낸다.
(1) 지그 제거 스텝
작업자는, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 주축 (41) 의 양단에 끼워 맞춰진 지그 (60) 중의 적어도 일방의 지그 (60) 의 잡는 영역 (62) 을 손 (H) 으로 잡고, 지그 (60) 를 주축 (41) 으로부터 빼내어 제거한다. 지그 (60) 는, 주축 (41) 보다 짧기 때문에, 작업자의 손 (H) 으로 잡는 영역 (62) 을 잡고 비교적 작은 힘으로 주축 (41) 으로부터 인발할 수 있다. 또, 지그 (60) 가 작업자의 인력으로 축경 변형되어 테이프 (T1) 로부터 박리되기 쉬워지는 점에서, 주축 (41) 과 테이프 (T1) 사이로부터 용이하게 지그 (60) 를 빼낼 수 있다.
(2) 테이프 제거 스텝
지그 제거 스텝을 실시한 후, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 권취된 테이프 (T1) 를 주축 (41) 으로부터 빼내어 제거한다. 이 때, 주축 (41) 과 테이프 (T1) 사이에 간극 (d) 이 있기 때문에, 테이프 (T1) 를 주축 (41) 으로부터 용이하게 빼내어 제거할 수 있다.
상기와 같이, 본 발명에 관련된 테이프 부착기 (1) 에서는, 주축 (41) 의 양단에 부착하고 제거하는 것이 가능하게 끼워 맞춰지는 지그 (60) 가, 주축 (41) 의 직경보다 큰 직경으로 테이프 (T1) 가 감겨지는 테이프 접촉 영역 (61) 과, 테이프 (T1) 보다 외측의 잡는 영역 (62) 이 존재하도록 주축 (41) 에 끼워 맞춰지고, 지그 (60) 의 테이프 접촉 영역 (61) 에 테이프 (T1) 의 외측 부분 (Tw) 이 감겨지면, 테이프 (T1) 와 주축 (41) 의 둘레면 (41a) 사이에 간극 (d) 이 형성되기 때문에, 지그 (60) 의 잡는 영역 (62) 을 잡아 테이프 (T1) 와 주축 (41) 사이로부터 지그 (60) 를 빼내어 제거함으로써, 주축 (41) 으로부터 테이프 (T1) 를 용이하게 제거할 수 있다.
또, 본 발명에 관련된 테이프 제거 방법에 의하면, 테이프 부착기 (1) 의 주축 (41) 의 양단에 끼워 맞춰진 지그 (60) 중의 적어도 일방의 지그 (60) 를 주축 (41) 으로부터 빼내어 제거한 후, 권취된 테이프 (T1) 를 주축 (41) 으로부터 빼내어 제거하도록 구성했기 때문에, 주축 (41) 으로부터 테이프 (T1) 를 용이하게 제거할 수 있다.
도 7(a) 에 나타내는 지그 (60A) 는, 상기 지그 (60) 의 제 1 변형예로, 지그 (60A) 의 측면에 축 방향으로 연장되는 절입 (63) 이 형성되어 있다. 지그 (60A) 에 절입 (63) 이 형성됨으로써, 지그 (60A) 에 외력을 가하면 지그 (60A) 의 내경이 축경되면서 테이프 (T1) 로부터 제거하기 쉬워지기 때문에, 주축 (41) 과 테이프 (T1) 사이로부터 지그 (60A) 를 보다 용이하게 빼내는 것이 가능해진다.
도 7(b) 에 나타내는 지그 (60B) 는, 상기 지그 (60) 의 제 2 변형예로, 테이프 접촉 영역 (64) 보다 소직경의 잡는 영역 (65) 을 갖고 있다. 이와 같이, 잡는 영역 (65) 을 테이프 접촉 영역 (64) 보다 소직경으로 함으로써, 지그 (60B) 를 잡기 쉬워져, 주축 (41) 과 테이프 (T1) 사이로부터 지그 (60B) 를 보다 용이하게 빼내는 것이 가능해진다.
2. 제 2 실시형태
[테이프 부착기]
도 8 에 나타내는 테이프 부착기 (2) 는, 웨이퍼 (W) 와 프레임 (F) 을 점착 테이프 (T) 로 일체화하기 위한 테이프 부착기의 제 2 예이다. 테이프 부착기 (2) 는, 점착면에 박리지 (T2) 가 첩착된 롤상의 점착 테이프 (T0) 가 장착되는 테이프 송출부 (10A) 와, 점착 테이프 (T0) 와 박리지 (T2) 를 분리하는 분리부 (14) 와, 박리지 (T2) 를 권취하는 박리지 권취 유닛 (70) 과, 프레임 (F) 및 웨이퍼 (W) 에 점착 테이프 (T0) 를 첩착하는 테이프 첩착 가동 롤러 (21) 와, 프레임 (F) 을 따라 점착 테이프 (T0) 를 절단하는 테이프 커터 (도시 생략) 와, 프레임 (F) 및 웨이퍼 (W) 에 첩착되지 않았던 테이프 (T1) 를 권취하는 테이프 권취 유닛 (40A) 을 구비한다.
테이프 송출부 (10A) 의 하방에는, 고정 롤러 (11a), 분리부 (14), 고정 롤러 (11c) 가 형성되어 있다. 분리부 (14) 는, 박리지 (T2) 와 점착 테이프 (T0) 를 분리하는 1 쌍의 롤러 (14a, 14b) 로 구성되어 있다. 분리부 (14) 의 근방에는, 롤러 (14a, 14b) 에서 분리되어 송출된 박리지 (T2) 를 박리지 권취 유닛 (70) 에 권취시키는 고정 롤러 (11b) 가 형성되어 있다.
테이프 권취 유닛 (40A) 은, 롤상의 제 1 주축 (41-1) 과, 제 1 주축 (41-1) 의 양단에 부착하고 제거하는 것이 가능하게 끼워 맞춰진 제 1 지그 (60-1) 를 구비한다. 제 1 지그 (60-1) 의 구성은, 제 1 실시형태의 지그 (60) 와 동일하다.
박리지 권취 유닛 (70) 은, 롤상의 제 2 주축 (71) 과, 제 2 주축 (71) 의 양단에 부착하고 제거하는 것이 가능하게 끼워 맞춰진 제 2 지그 (60-2) 를 구비한다. 제 2 지그 (60-2) 의 구성에 대해서도, 치수가 상이한 점을 제외하고, 제 1 실시형태의 지그 (60) 와 동일하다. 즉, 제 2 지그 (60-2) 는, 제 1 실시형태의 지그 (60) 의 테이프 접촉 영역 (61) 에 상당하는 제 2 테이프 접촉 영역 (박리지 접촉 영역) 과, 잡는 영역 (62) 에 상당하는 제 2 잡는 영역을 갖는다.
테이프 부착기 (2) 에서는, 테이프 송출부 (10A) 로부터 송출된 점착 테이프 (T0) 는, 1 쌍의 롤러 (14a, 14b) 의 사이를 통과함으로써 점착 테이프 (T) 와 박리지 (T2) 로 분리된다. 박리지 (T2) 는 고정 롤러 (11b) 를 통과하여 박리지 권취 유닛 (70) 의 제 2 주축 (71) 에 의해 권취된다. 박리지 (T2) 가 박리된 점착 테이프 (T) 는, 고정 롤러 (11c) 를 통과하여 테이프 첩착 영역 (R1) 으로 송출되고, 테이프 첩착 가동 롤러 (21) 에 의해 웨이퍼 (W) 및 프레임 (F) 에 가압되어 첩착된 후, 도시되지 않은 테이프 커터에 의해 원형으로 절단된다. 그리고, 프레임 (F) 및 웨이퍼 (W) 에 첩착되지 않았던 테이프 (T1) 가 테이프 박리 가동 롤러 (12, 13) 의 가동에 의해 프레임 (F) 으로부터 박리된다. 테이프 (T1) 는, 고정 롤러 (11d) 를 통과하고 테이프 권취 유닛 (40A) 의 제 1 주축 (41-1) 에 권취된다.
[테이프 제거 방법]
상기와 같이 구성된 테이프 부착기 (2) 에 있어서도, 상기 테이프 부착기 (1) 와 마찬가지로, 테이프 제거 방법을 실시할 수 있다. 즉, 작업자는, 제 1 주축 (41-1) 의 양단에 끼워 맞춰진 제 1 지그 (60-1) 중, 적어도 일방의 제 1 지그 (60-1) 의 잡는 영역을 손으로 잡고, 제 1 지그 (60-1) 를 제 1 주축 (41-1) 으로부터 빼내어 제거하고, 그 후, 권취된 테이프 (T1) 를 제 1 주축 (41-1) 으로부터 빼내어 제거할 수 있다. 이 때, 제 1 주축 (41-1) 과 테이프 (T1) 사이에 간극이 있기 때문에, 테이프 (T1) 를 제 1 주축 (41-1) 으로부터 용이하게 빼내어 제거할 수 있다.
또한, 테이프 부착기 (2) 에서는, 박리지 권취 유닛 (70) 측에도 제 2 지그 (60-2) 를 구비하고 있기 때문에, 작업자는, 제 2 주축 (71) 의 양단에 끼워 맞춰진 제 2 지그 (60-2) 중, 적어도 일방의 제 2 지그 (60-2) 의 제 2 잡는 영역을 손으로 잡고, 제 2 지그 (60-2) 를 제 2 주축 (71) 으로부터 빼내어 제거하고, 그 후, 권취된 박리지 (T2) 를 제 2 주축 (71) 으로부터 빼내어 제거할 수도 있다. 이 때, 제 2 주축 (71) 과 박리지 (T2) 사이에 간극이 있기 때문에, 박리지 (T2) 를 제 2 주축 (71) 으로부터 용이하게 빼내어 제거할 수 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 테이프 권취 유닛 (40A) 와 박리지 권취 유닛 (70) 의 양방에 제 1 지그 (60-1), 제 2 지그 (60-2) 를 구비한 경우를 설명했지만, 이 구성에 한정되는 것은 아니고, 어느 일방의 유닛에 지그를 구비하도록 해도 된다.
상기와 같이, 본 발명에 관련된 테이프 부착기 (2) 에서는, 테이프 권취 유닛 (40A) 의 제 1 주축 (41-1) 의 양단에 끼워 맞춰진 제 1 지그 (60-1) 의 테이프 접촉 영역에 테이프 (T1) 가 감겨짐으로써, 제 1 주축 (41-1) 의 직경보다 큰 직경으로 테이프 (T1) 가 감겨져, 테이프 (T1) 와 제 1 주축 (41-1) 의 둘레면 사이에 간극이 형성되기 때문에, 제 1 지그 (60-1) 의 잡는 영역을 잡고, 테이프 (T1) 와 제 1 주축 (41-1) 사이로부터 제 1 지그 (60-1) 를 빼내어 제거함으로써, 제 1 주축 (41-1) 으로부터 테이프 (T1) 를 용이하게 제거할 수 있다.
또, 테이프 부착기 (2) 에 의하면, 박리지 권취 유닛 (70) 의 제 2 주축 (71) 의 양단에 끼워 맞춰진 제 2 지그 (60-2) 의 제 2 테이프 접촉 영역 (박리지 접촉 영역) 에 박리지 (T2) 가 감겨짐으로써, 제 2 주축 (71) 의 직경보다 큰 직경으로 박리지 (T2) 가 감겨져, 박리지 (T2) 와 제 2 주축 (71) 의 둘레면 사이에 간극이 형성되기 때문에, 제 2 지그 (60-2) 의 제 2 잡는 영역을 잡고, 박리지 (T2) 와 제 2 주축 (71) 사이로부터 제 2 지그 (60-2) 를 빼내어 제거함으로써, 제 2 주축 (71) 으로부터 박리지 (T2) 를 용이하게 제거할 수 있다.
상기 실시형태에서 작업자로 표현하고 있는 것은 인간에게 한정하지 않고, 예를 들어 로봇 등이어도 된다. 또, 상기 실시형태에서는, 도 3 에 나타내는 버튼 (B) 을 누름으로써 테이블 (50) 에서 웨이퍼 (W) 를 흡착 고정시켜 작업 영역 (R2) 에서 테이프 첩착 영역 (R1) 까지 자동적으로 이동하고 있는데, 이 구성에 한정되지 않는다. 예를 들어, 버튼 (B1) 을 프레임 (F) 및 웨이퍼 (W) 의 흡착용으로 설정하고, 버튼 (B2) 을 테이블 (50) 의 진퇴용으로 설정하고, 버튼 (B3) 을 점착 테이프 (T) 의 송출 개시용으로 설정하고, 버튼 (B4) 을 테이프 첩착 가동 롤러 (20) 의 구동 개시용으로 설정하는 등, 적절히 설정 변경할 수 있다.
상기 실시형태에서는, 지그 (60, 60A, 60B), 제 1 지그 (60-1) 및 제 2 지그 (60-2) 가 모두 원기둥상을 나타내고 있지만, 이 형상에 한정되는 것은 아니고, 예를 들어, 오각기둥 이상의 다각기둥상, 사각기둥상, 삼각기둥상이어도 된다.
1, 2：테이프 부착기
10, 10A：테이프 송출부
11, 11a, 11b, 11c, 11d：고정 롤러
12, 13：테이프 박리 가동 롤러
14：분리부
14a, 14b：롤러
20, 21：테이프 첩착 가동 롤러
30：테이프 커터
31：디스크 커터날
32：회전축
40, 40A：테이프 권취 유닛
41：주축
41-1：제 1 주축
50：테이블
51：웨이퍼 재치면
60, 60A, 60B：지그
60-1：제 1 지그
60-2：제 2 지그
61：테이프 접촉 영역
62：잡는 영역
63：절입
64：테이프 접촉 영역
65：잡는 영역
70：박리지 권취 유닛
71：제 2 주축

Claims (6)

  1. 롤상의 점착 테이프가 장착되는 테이프 송출부와,
    프레임 및 웨이퍼에 그 점착 테이프를 첩착하는 테이프 첩착 가동 롤러와,
    그 프레임을 따라 그 점착 테이프를 절단하는 테이프 커터와,
    그 프레임 및 웨이퍼에 첩착되지 않았던 테이프를 권취하는 테이프 권취 유닛을 구비하는 테이프 부착기로서,
    그 테이프 권취 유닛은,
    롤상의 주축과,
    그 주축의 양단에 부착하고 제거하는 것이 가능하게 끼워 맞춰진 지그를 구비하고,
    그 지그는,
    그 주축의 직경보다 큰 직경으로 그 테이프가 감겨지는 테이프 접촉 영역과,
    그 테이프보다 외측의 잡는 영역이 존재하도록 그 주축에 끼워 맞춰져 있는 것을 특징으로 하는 테이프 부착기.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 지그는 측면에 절입이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 테이프 부착기.
  3. 점착면에 박리지가 첩착된 롤상의 점착 테이프가 장착되는 테이프 송출부와,
    그 점착 테이프와 그 박리지를 분리하는 분리부와,
    그 박리지를 권취하는 박리지 권취 유닛과,
    프레임 및 웨이퍼에 그 점착 테이프를 첩착하는 테이프 첩착 가동 롤러와,
    그 프레임을 따라 그 점착 테이프를 절단하는 테이프 커터와,
    그 프레임 및 웨이퍼에 첩착되지 않았던 테이프를 권취하는 테이프 권취 유닛을 구비하는 테이프 부착기로서,
    그 테이프 권취 유닛은,
    롤상의 제 1 주축과,
    그 제 1 주축의 양단에 부착하고 제거하는 것이 가능하게 끼워 맞춰진 제 1 지그를 구비하고,
    그 제 1 지그는,
    그 제 1 주축의 직경보다 큰 직경으로 그 테이프가 감겨지는 테이프 접촉 영역과,
    그 테이프보다 외측의 잡는 영역이 존재하도록 그 제 1 주축에 끼워 맞춰지고,
    그 박리지 권취 유닛은,
    롤상의 제 2 주축과,
    그 제 2 주축의 양단에 부착하고 제거하는 것이 가능하게 끼워 맞춰진 제 2 지그를 구비하고,
    그 제 2 지그는,
    그 제 2 주축의 직경보다 큰 직경으로 그 박리지가 감겨지는 박리지 접촉 영역과,
    그 박리지보다 외측의 제 2 잡는 영역이 존재하도록 그 제 2 주축에 끼워 맞춰져 있는 것을 특징으로 하는 테이프 부착기.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 지그 또는 제 2 지그는 측면에 절입이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 테이프 부착기.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 테이프 부착기에 있어서,
    상기 주축으로부터 상기 테이프를 제거하는 테이프 제거 방법으로서,
    그 주축의 양단에 끼워 맞춰진 상기 지그 중의 적어도 일방의 그 지그를 그 주축으로부터 빼내어 제거하는 지그 제거 스텝과,
    그 지그 제거 스텝의 실시 후에, 권취된 그 테이프를 그 주축으로부터 빼내어 제거하는 테이프 제거 스텝을 갖는 것을 특징으로 하는 테이프 제거 방법.
  6. 제 3 항 또는 제 4 항에 기재된 테이프 부착기에 있어서,
    상기 제 1 주축으로부터 상기 테이프를 제거하는 테이프 제거 방법으로서,
    그 제 1 주축의 양단에 끼워 맞춰진 상기 제 1 지그 중의 적어도 일방의 그 제 1 지그를 그 제 1 주축으로부터 빼내어 제거하는 지그 제거 스텝과,
    그 지그 제거 스텝의 실시 후에, 권취된 그 테이프를 그 제 1 주축으로부터 빼내어 제거하는 테이프 제거 스텝을 갖는 것을 특징으로 하는 테이프 제거 방법.
KR1020180069497A 2017-06-28 2018-06-18 테이프 부착기 및 테이프 제거 방법 KR102562870B1 (ko)

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