KR20180138128A - 진동 반송 장치 - Google Patents

Abstract

반송면 상에서 원하는 방향으로 반송되는 반송 대상물을 진동 반송로와 공간적으로 분리된 무진동 반송로를 사용하지 않고, 소정의 공급처에 등피치로 공급하는 공급 처리 능력의 저하를 방지·억제 가능한 진동 반송 장치를 제공한다.
리니어 반송면(11)에 면하는 가이드면(21) 중 반송 방향 F 하류단 부분을 다공질재(22)에 의해 구성한 다공질면(23)으로 설정한 반송로(1)와, 다공질면(23)(흡인 대상면)의 소정 방향으로부터 다공질재(22)를 통하여 에어를 흡인하고 또한 진동에 의해 리니어 반송면(11) 상을 반송 중인 반송 대상물 W를 다공질면(23)측으로 끌어 당기는 흡인부(4)를 구비하고, 흡인부(4)에 의한 흡인력을 다공질면(23)측으로 끌어 당긴 반송 대상물 W가 당해 다공질면(23)보다도 상류의 리니어 반송면(11)을 반송 중인 반송 대상물 W보다도 늦은 반송 속도로 반송되는 흡인력으로 설정하였다.

Description

진동 반송 장치 {VIBRATION TRANSPORTER}

본 발명은 반송면 상에서 전자 부품 등의 반송 대상물을 반송 방향 하류단(선단)을 향하여 이동시켜 반송면의 반송 방향 하류단으로부터 소정의 공급처로 반송 가능한 진동 반송 장치에 관한 것이다.

종래부터 전자 부품 등의 반송 대상물인 워크를 진동에 의해 반송로를 따라 소정의 공급처로 반송 가능한 진동 반송 장치(진동 피더)가 알려져 있다. 이러한 진동 반송 장치는, 진동하는 반송로의 반송면 상에서 반송되는 반송 대상물을 반송면의 선단(반송 방향 하류단)으로부터 배출한다. 예를 들어 정속 회전하는 유리제 원판 테이블 상에 공급하도록 설정되어 있는 진동 반송 장치에서는, 원판 테이블 상에서의 반송 대상물의 외관 검사 등의 검사·처리를 적절하게 행할 수 있도록, 원판 테이블 상에 배출되는 반송 대상물을 등피치로 나열할 것이 요구된다.

그러나, 진동하는 반송면 상에서 반송되는 반송 대상물은, 적당한 수단에 의해 정렬된 상태로 반송 방향 하류단을 향하여 반송되지만, 진동의 정도에 따라 반송면 상에서의 반송 대상물끼리의 간격에 변동이 발생되기 쉽고, 반송면의 선단(반송 방향 하류단)으로부터 배출되는 반송 대상물을 원판 테이블 상에 등피치로 나열하는 것이 불가능하거나 또는 매우 곤란하다.

그래서, 진동하는 반송면 상에서 반송 대상물을 반송하는 진동 반송로와, 수평 방향으로 간격을 두고 대향하는 2개의 지그로 반송 대상물을 가이드하여 정렬시키는 정렬부를 구비하고, 또한 진동 반송로와 정렬부 사이에, 진동 반송로를 통과한 반송 대상물을 진동하지 않는 반송면 상에서 간극없이 밀하게 나열되는 후속 반송 대상물의 압박력에 의해 이동시키는 무진동 반송로를 설치한 장치가 알려져 있다(예를 들어, 하기 특허문헌 1 참조).

이러한 진동 반송 장치라면, 진동 반송로의 반송면으로부터 무진동 반송로의 반송면 상으로 이동한 반송 대상물은 그 시점 이후, 후속의 반송 대상물에 의한 압박력(후방으로부터 누르는 힘)에 의한 추진력에 의해 무진동 반송로의 반송면 상을 무진동 상태로 이동하게 된다. 그리고, 반송 대상물을 무진동 상태 그대로 무진동 반송로의 반송면으로부터 정렬부로 이동시킴으로써 정렬시킬 수 있고, 정렬부의 선단(반송 방향 하류단)으로부터 원판 테이블 상으로 배출(이동 탑재)된 반송 대상물의 공급 피치의 변동을 저감할 수 있도록 구성되어 있다.

일본 특허 공개 제2006-242952호 공보

그러나, 상술한 구성이라면, 진동 반송로의 진동이 무진동 반송로에 전달되지 않도록, 무진동 반송로를 진동 반송로로부터 공간적으로 독립시킬 필요가 있다. 그 때문에, 진동 반송로로부터 무진동 반송로로 이동하는(갈아타는) 반송 대상물이 진동 반송로와 무진동 반송로 사이의 간극에 걸려 불안정한 자세가 되거나, 진동 반송로와 무진동 반송로 사이의 간극에 낙하할 우려가 있다. 특히, 반송 처리 능력을 향상시키기 위하여 진동 반송로의 진동을 크게 설정하면 할수록, 진동 반송로의 요동 폭이 커지기 때문에 진동 반송로와 무진동 반송로 사이의 간극도 크게 설정해야 되며, 상술한 문제가 발생되기 쉬워, 원활한 반송 처리에 지장을 초래한다. 이러한 문제는 반송 대상물의 사이즈가 작을수록 현저하게 된다.

게다가, 무진동 반송로의 반송면 상에서의 반송 대상물의 이동이 후속의 반송 대상물에 의한 압박력에만 의존하는 상술한 구성에서는, 무진동 반송로의 반송면 상에서 반송 대상물은 무진동 반송로의 반송면과 계속 접촉하게 되고 무진동 반송로의 반송면 마모가 심해지고, 마모된 반송면에 반송 대상물이 걸리거나, 무진동 반송로의 반송면 정기적인 점검이나 교환이 필요하게 된다. 또한, 반송면의 접촉에 의한 반송 대상물의 손모나 그것에 의한 수율 저하와 같은 문제가 발생되는 것도 생각할 수 있다.

또한, 진동 반송로와는 별개로 무진동 반송로를 요하는 상술한 장치는 부품 개수의 증가, 나아가 제조 비용의 증가를 초래할 뿐만 아니라, 진동 반송로를 가진 하는 가진원(加振源)에 의한 영향을 받지 않는 상황 하에 무진동 반송로를 안정된 자세로 지지한다는 조건도 클리어할 필요가 있어서, 이들이 장치를 도입할 때의 장해가 될 수 있다.

또한, 상술한 구성이라면, 최후미의 반송 대상물이 진동 반송로로부터 무진동 반송로의 반송면 상으로 이동한 시점 이후에, 최후미의 반송 대상물이 후속의 반송 대상물에 의해 압박되는 경우가 없기 때문에, 최후미의 반송 대상물이 진동 반송로로부터 무진동 반송로의 반송면 상으로 이동이 종료된 시점에서 무진동 반송로의 반송면 상에 존재하는 반송 대상물은, 반송 방향 하류측으로 이동하지 않고 무진동 반송로의 반송면 상에 정지된 상태가 되어 소정의 공급처로 반송되지 않고, 반송 처리 효율이 저하되는 문제도 발생한다.

본 발명은 이러한 문제에 착안하여 이루어진 것으로 주된 목적은, 반송면 상에서 원하는 방향으로 반송되는 반송 대상물을 진동 반송로와 공간적으로 분리된 무진동 반송로를 사용하지 않고, 소정의 공급처에 등피치로 공급하는 공급 처리 능력의 저하를 방지·억제 가능한 진동 반송 장치를 제공하는 데에 있다.

즉 본 발명은 반송면 상의 반송 대상물을 진동에 의해 원하는 반송 방향으로 반송하여 소정의 공급처에 공급하는 진동 반송 장치에 관한 것이다. 여기서, 본 발명에서의 「반송면」은 반송 대상물을 반송시키는 것이 가능한 면이면 되고, 수평 또는 대략 수평인 면(수평면), 또는 수평에 대해 소정 각도 경사진 면(경사면, 연직면)의 어느 것도 포함하는 개념이다. 또한 반송 대상물로서는, 예를 들어 전자 부품 등의 미소 부품을 들 수 있지만, 전자 부품 이외의 물품이어도 된다.

그리고, 본 발명에 따른 진동 반송 장치는, 반송면 중 적어도 반송 방향 하류단 부분 또는 반송면에 면하는 면 중 적어도 반송 방향 하류단 부분을 다공질재에 의해 구성된 다공질면에 설정한 반송로와, 다공질면 중 미리 설정된 흡인 대상면의 소정 방향으로부터 다공질재를 통하여 에어를 흡인하고 또한 진동에 의해 흡인 대상면 상을 반송 중인 반송 대상물을 흡인 대상면측으로 끌어 당기는 흡인부를 구비하고, 흡인부에 의한 흡인력을 흡인 대상면측으로 끌어 당긴 반송 대상물이(당해 흡인 대상면 상에서 정지하지 않고 또한) 흡인 대상면보다도 상류의 반송면을 반송 중인 반송 대상물보다도 늦은 반송 속도로 반송되는 흡인력으로 설정하고 있는 것을 특징으로 하고 있다.

본 발명에서의 「다공질면」은, 반송면 중 적어도 반송 방향 하류단 부분의 전부 또는 일부에 설정된 면이어도 되고, 반송면에 면하는 면 중 적어도 반송 방향 하류단 부분의 전부 또는 일부에 설정된 면이어도 된다. 또한, 본 발명은 「흡인 대상면」을 다공질면의 전부에 설정한 구성, 다공질면의 일부에 설정한 구성의 양쪽을 포함한다. 후자(다공질면의 일부에 흡인 대상면을 설정한 구성)의 일례로서, 다공질면을 반송 방향으로 복수의 영역으로 구획하고, 그 중 하나 또는 복수의 영역(반송 방향으로 연속하는 영역이어도 되고, 반송 방향에 간헐적으로 설정한 불연속인 영역이어도 됨)을 흡인 대상면으로 설정하는 구성을 들 수 있다. 본 발명에서 「다공질면 중 미리 설정된 흡인 대상면의 소정 방향」의 구체예로서는 다공질면이 반송면에 설정된 구성이라면, 「흡인 대상면의 하방」을 들 수 있으며, 다공질면이 반송면에 면하는 면에 설정된 구성이라면, 「흡인 대상면이 반송면에 면하는 방향」을 들 수 있다.

이러한 진동 반송 장치라면, 흡인부에 의해 흡인 대상면 상의 반송 대상물 또는 흡인 대상면이 면하는 반송면 상의 반송 대상물에 대해 다공질재를 통하여 흡인할 수 있고(이하의 설명에서는, 「흡인 대상면 상의 반송 대상물 또는 흡인 대상면이 면하는 반송면 상의 반송 대상물」을 「피흡인 반송 대상물」이라고 칭함), 흡인 대상면측에 강제적으로 끌어 당긴 피흡인 반송 대상물의 이동 속도를 흡인 대상면보다도 상류의 반송면을 이동 중인 반송 대상물의 반송 속도와 비교하여 감속시킬 수 있다. 그 결과, 반송면의 반송 방향 하류단 부분에서 감속한 복수의 피흡인 반송 대상물을 반송 방향으로 간극없이 나열한 상태에서 반송하는 것이 가능해지고, 이들 피흡인 반송 대상물을 반송면의 반송 방향 하류단으로부터 소정의 공급처에 등피치로 배출할 수 있다.

이와 같이, 본 발명에 따른 진동 반송 장치라면, 복수의 반송 대상물을 반송 방향으로 간극없이 나열한 상태를 포함하도록 반송면의 진동력을 미세 조정하는 복잡한 제어가 불필요하며, 게다가, 진동하는 반송면 자체를 반송 방향 상류단으로부터 반송 방향 하류단까지 연속되는 면에 설정할 수 있기 때문에, 진동 반송로는 공간적으로 분리시킨 무진동 반송로의 반송면을 반송시키는 구성이면 발생되는 문제, 즉, 반송면끼리의 간극에 반송 대상물이 걸려서 불안정한 자세가 되거나, 간극에 낙하하는 문제를 해소할 수 있으며, 미소 사이즈의 반송 대상물이어도 소정의 공급처에 등피치로 공급하는 것이 가능한 안정된 처리 능력을 발휘한다.

또한, 본 발명에 따른 진동 반송 장치에서는, 피흡인 반송 대상물을 반송면 상에서 감속시키면서 정지시키지 않고 이동시키는 구성을 채용하고 있기 때문에 반송면의 진동에 의해 이동 중인 반송 대상물이 반송면으로부터 일시적으로 부상하여 비접촉 상태가 되는 타이밍과 접촉 상태가 되는 타이밍이 교대로 찾아온다. 따라서, 반송 대상물이 진동하지 않는 반송면에 계속 접촉하여 후속의 반송 대상물에 의한 압박력에만 의존하여 이동하는 구성과 비교하여, 반송 대상물이 계속 접촉하는 것에 기인하는 반송면의 마모 발생을 방지·억제할 수 있고, 매끄러운 반송면 상에서의 반송 대상물의 원활한 이동을 실현할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 진동 반송 장치에 의하면, 진동 반송로와는 별도로 무진동 반송로를 설치할 필요가 없고, 진동 반송로를 가진하는 가진원에 의한 영향을 받지 않는 상황 하에 무진동 반송로를 안정된 자세로 지지한다는 조건도 고려할 필요가 없기 때문에, 진동 반송로와는 별개로 무진동 반송로를 설치하는 구성과 비교하여, 장치 전체의 간소화 및 소형화를 도모할 수 있다.

반송 대상물이 후속의 반송 대상물에 의한 압박력만으로 이동되는 구성이라면, 후속의 반송 대상물에 의한 압박력이 작용하지 않는 반송 대상물은 그 이상 반송 방향 하류측으로 이동되지 않고 무진동 반송로의 반송면 상에 정지하여, 소정의 공급처로 반송할 수 없다는 문제가 발생하는데, 본 발명에 따른 진동 반송 장치에 의하면, 이러한 문제도 전부 해소될 수 있다.

본 발명에서는 반송로로서, 반송 방향을 따라 복수의 흡인 대상면을 갖는 것을 적용할 수 있다. 이 경우, 각 흡인 대상면에 대한 흡인부의 흡인력을 모두 동일하게 설정하는 것도 가능하지만, 상대적으로 반송 방향 하류측의 흡인 대상면에 대한 흡인부의 흡인력을 상대적으로 반송 방향 상류측의 흡인 대상면에 대한 흡인부의 흡인력보다도 크게 설정해도 된다.

상대적으로 반송 방향 하류측의 흡인 대상면에 대한 흡인부의 흡인력을, 상대적으로 반송 방향 상류측의 흡인 대상면에 대한 흡인부의 흡인력보다도 크게 설정한 경우에는, 반송 방향 하류단에 접근함에 따라 피흡인 반송 대상물에 작용하는 제동력이 커지고, 피흡인 반송 대상물의 이동 속도를 서서히 내리는 것이 가능하고, 급 브레이크가 작용하는 것에 기인하는 피흡인 반송 대상물끼리의 큰 충격을 수반하는 충돌을 피할 수 있다.

특히, 반송로가 반송면을 갖는 반송로 본체와, 반송로 본체와 별체의 가이드부를 구비한 것인 경우에는, 가이드부의 일부를 다공질면에 설정할 수 있다. 일례로서, 가이드부가 반송면에 면하는 가이드면을 갖고, 또한 반송면 상의 반송 대상물을 가이드 면을 따라 반송 방향으로 안내하는 것이라면, 가이드면 중 적어도 반송 방향 하류단 부분의 전부 또는 일부를 다공질면에 설정한 구성을 들 수 있다. 다공질면을 반송면 자체가 아니라, 반송면에 면하는 가이드면에 설정함으로써, 반송로 본체에 대한 대규모의 가공은 불필요해지는 데다가 반송로 본체와는 다른 쌍의 가이드부에 다공질면을 설치하는 가공을 실시함으로써 반송 대상물의 종류나 필요한 흡인력에 따른 다양한 진동 반송 장치를 실현할 수 있다.

본 발명에 따르면, 반송면 중 반송 방향 하류단에 가까운 부분을 이동 중인 반송 대상물을 향해, 다공질재로 구성된 다공질면을 통하여 에어 흡인함으로써, 반송 대상물에 제동력을 작용시켜 감속시킬 수 있으며, 반송면 상에서 원하는 방향으로 반송되는 반송 대상물을 공간적으로 분리되어 있는 반송면을 반송시키지 않고, 소정의 공급처에 등피치로 공급하는 것이 가능해지고, 진동 반송 장치의 반송 처리 능력을 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 진동 반송 장치(리니어 피더)의 전체도.
도 2는 도 1의 주요부 확대도.
도 3은 도 1의 주요부 분해도.
도 4는 도 2의 더욱 주요부 확대도.
도 5는 도 2에 나타내는 주요부의 평면도.
도 6은 도 4의 a-a선 단면도.
도 7은 종래의 리니어 피더를 나타내는 도면.
도 8은 본 발명에서의 반송면에 하나의 변형예를 도 6에 대응하여 나타내는 도면.

이하, 본 발명의 일 실시 형태를 도면을 참조하여 설명한다.

본 실시 형태에 따른 진동 반송 장치 X는, 도 1에 도시된 바와 같이, 공급처인 원판 테이블 T(예를 들어 유리 제조 원판 테이블)에 전자 부품 등의 반송 대상물 W(워크)를 공급하는 장치이다. 도 1에는, 도시되지 않은 호퍼 장치로부터 공급된 반송 대상물 W를 나선상의 반송로(볼 반송로 B1) 상에서 진동에 의해 반송하는 볼 피더 B와, 볼 반송로 B1의 종단에 연속하는 직선상의 반송로(리니어 반송로 L1)를 갖는 리니어 피더 L을 조립 장착한 부품 피더를 나타내고 있다. 그리고, 리니어 피더 L이 본 실시 형태에 따른 진동 반송 장치 X에 상당하는 것이다.

볼 피더 B는, 저면에 형성된 평면에서 볼 때 대략 원형의 저류부 B2와, 저류부 B2의 주연부에 있어서의 소정 부분을 시단으로 하여 내주벽을 따라 상행 경사의 나선상으로 형성된 볼 반송로 B1(나선 트랙이라고도 칭함)을 구비하고 있다.

저류부 B2는 중심측을 직경 방향 외측보다도 높아지도록 설정된 상향면인 적재면을 갖고, 적재면 상의 반송 대상물 W를 직경 방향 외측으로 이동시키는 것이다. 적재면 상에서 직경 방향 외측으로 이동한 반송 대상물 W는 볼 반송로 B1의 시단에 도달하고, 그대로 볼 반송로 B1의 시단을 통과하여 볼 반송로 B1을 따라 이동한다.

볼 반송로 B1은, 시단이 저류부 B2에 연속하고 있고, 상향면인 볼 반송면을 예를 들어 직경 방향 외측을 향하여 하방에 경사지게 한 평탄한 면으로 설정한 것이다. 그리고, 진동에 의해 반송 대상물 W가 받는 반송력 중 직경 방향 외측을 향하는 힘과 볼 반송면의 경사에 의해, 반송 대상물 W는 내주벽에 접하면서 반송 방향 하류측(볼 반송로 B1의 종단측)을 향하여 반송된다. 이러한 볼 반송로 B1의 소정 개소에 정렬 수단(도시 생략)을 설치하고, 정렬 수단에 의해 소정 자세인 반송 대상물 W만을 반송 방향 하류측으로 반송하고, 소정 자세가 아닌 반송 대상물 W를 저류부 B2로 복귀시키도록(낙하시키도록) 구성하고 있다. 볼 피더 B에 의해 볼 반송로 B1의 종단까지 반송된 정렬 상태에 있는 반송 대상물 W는, 볼 반송로 B1의 종단에 연속하는 리니어 반송로 L1(직선 트랙이라고도 칭해짐)의 시단으로 이동하고, 리니어 피더 L에 의해 리니어 반송로 L1의 종단(선단)까지 반송된다.

본 실시 형태에 관한 리니어 피더 L은, 도 1 내지 도 5(도 2는 주요부 확대도이며, 도 3은 도 2에 나타내는 리니어 피더 L의 주요부 분해도이며, 도 4는 도 2에 도시하는 리니어 피더 L의 주요부 평면도이며, 도 5는 도 2의 주요부를 더욱 도시하는 확대도이며, 도 6은 도 4의 a-a선 단면도이다)에 도시되는 바와 같이, 진동하는 리니어 반송로 L1 상에서 반송 대상물 W를 반송 방향 F로 이동시키고 리니어 반송로 L1의 선단(반송 방향 F 하류단)으로부터 순차 배출하여, 소정의 공급처(원판 테이블 T)에 공급하는 장치이다.

리니어 반송로 L1은 도 2 및 도 3 등에 도시되는 바와 같이, 일직선상으로 연신하는 리니어 반송면(11)(본 발명의 「반송면」에 상당)을 갖는 반송로 본체(1)(슈트 베이스)와, 리니어 반송면(11)에 면하는 가이드면(21)을 갖는 가이드부(2)와, 리니어 반송면(11)을 상방으로부터 피복하는 커버부(3)를 구비한 것이다.

반송로 본체(1)는, 적당한 가진 수단에 의해 왕복 진동하는 리니어 반송면(11)상의 반송 대상물 W를 반송 방향 F 상류측(볼 반송로 B1의 종단이 연결되는 측)으로부터 반송 방향 F 하류측(리니어 반송로 L1의 선단측)을 향하여 반송하는 것이다. 반송로 본체(1)에는, 반송 자세가 정규 자세가 아닌 반송 대상물 W를 볼 피더 B로 돌아오는 리턴 반송로(12)를 설치하고 있다(도 1 참조). 그리고, 본 실시 형태에서는, 긴 반송로 본체(1)의 전체 길이에 걸쳐 리니어 반송면(11)을 형성하고, 반송로 본체(1)의 반송 방향 F 중간 부분으로부터 하류단에 걸치는 영역에 가이드부(2) 및 커버부(3)를 장착하고 있다.

본 실시 형태에서의 리니어 반송로 L1은, 도 6에 도시되는 바와 같이, 편평한 수평면인 리니어 반송면(11)과, 리니어 반송면(11)의 한쪽 사이드측으로부터 리니어 반송면(11)을 면하는 기립면(13)을 구비하고 있다. 이에 의해, 리니어 반송면(11) 상의 반송 대상물 W는, 한쪽의 사이드면을 기립면(13)에 근접한 상태로 반송 방향 F 하류측으로 반송된다.

가이드부(2)는 도 6에 도시되는 바와 같이 리니어 반송면(11)에 임하면서도 또한 기립면(13)과 대치하는 가이드면(21)을 갖는다. 가이드면(21)의 종단(선단)은 평면에서 볼 때 리니어 반송면(11)의 종단(선단)과 동일 위치에 있다. 그리고, 본 실시 형태의 리니어 피더 L은, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 가이드면(21) 중 반송 방향 F 하류단 부분(반송 방향 F 하류단 및 그의 근방 영역의 부분)을 다공질재(22)에 의해 구성한 다공질면(23)으로 설정하고 있다.

본 실시 형태에서의 다공질재(22)는 예를 들어 무기질 재료의 분립체로 이루어지는 골재와, 골재 상호를 연결하는 결합재(바인더)의 혼합물을 소결하여 형성된 것이다. 무기질 재료의 분립체로 이루어지는 골재의 적합한 예로서는, 알루미나나 탄화규소를 들 수 있고, 결합재의 적합한 예로서는, 비트리파이드, 딜레노이드, 시멘트, 고무 및 유리 등을 들 수 있다. 이러한 세라믹스제의 다공질재(22)는, 골재와 결합재의 혼합 재료를 성형 금형에 투입하여 소결함으로써 금형에 따른 성형품으로 하는 것이 가능하다. 다공질재(22)는, 소결 공정에 의해 내부에 무수한 미세 기공이 형성되고, 다공질재(22)의 표면에 개구하는 미세 기공과 내부의 미세 기공이 연결되어 공기 유로가 형성된다. 미세 기공은 기계 가공하는 경우에 비해 그 내경이 현저하게 작고, 다공질재(22)의 표면 전체에 걸쳐 무수히 형성된다. 또한, 본 발명에서의 골재나 결합재의 종류는 상술한 것에 특별히 한정되지 않고 적절히 선택한 것을 적용하는 것이 가능하다. 본 실시 형태에서는, 적당한 금형 등을 사용하여 가이드부(2)의 일부를 구성하는 블록상의 다공질재(22)를 형성하고 있다. 이하에서는, 다공질재(22)로 이루어지는 블록체를 「다공질 블록체(2A)」라고 칭한다.

다공질 블록체(2A)는 상술한 바와 같이 내부에 무수한 미세 기공이 형성되고, 표면에 개구되는 미세 기공과 내부의 미세 기공이 연결되어 형성되는 공기 유로를 갖는 것이며, 즉, 다공질 블록체(2A)는, 유체가 유통(투과) 가능한 내부를 갖고, 표면 전체에 다수의 구멍이 완전하게 노출되어 있는 것이다. 또한, 각 구멍(미세 기공)은 반송 대상물 W가 당해 구멍에 낙하하지 않는 미소 사이즈, 예를 들어 반송 대상물 W의 크기가 0603사이즈(0.6㎜×0.3㎜의 사이즈)에 대해 각 구멍(미세 기공)의 구멍 직경이 60㎛ 정도의 크기이다.

본 실시 형태에서는, 가이드부(2)의 소정 부분, 구체적으로는 선단 부분에 다공질 블록체(2A)를 세트 가능한 오목부(24)를 형성하고, 이 오목부(24)에 다공질 블록체(2A)를 세트한 상태에 있어서, 가이드부(2) 중 리니어 반송면(11)에 면하는 가이드면(21)이 다공질 블록체(2A) 중 리니어 반송면(11)에 면하는 다공질면(23)과 반송 방향 F에 간극없이 연속하여, 다공질면(23)과 함께 요철이 없는 편평한 면을 형성하도록 설정되어 있다(도 5 참조). 본 실시 형태에서는, 다공질면(23)의 전체 또는 대략 전체를 흡인 대상면으로 설정하고 있다. 따라서, 본 실시 형태에 따른 이하의 설명에 있어서의 「다공질면(23)」은 「흡인 대상면」과 동일한 영역을 의미한다. 또한, 본 실시 형태에서는, 가이드부(2)의 오목부(24) 중 다공질 블록체(2A)에 우선하여 접촉하는 면(도 5에 있어서 소정의 패턴을 부착한 면)에 접착제를 도포하여 다공질 블록(2A)을 오목부(24)에 고정하고 있지만, 가이드부(2)에 다공질 블록체(2A)를 고정하는 수단은 이에 한정되지 않고, 볼트 등의 적절한 고정구를 사용하여 고정하는 것도 가능하다.

또한, 이하의 설명에 있어서, 리니어 반송면(11) 상에 있어서의 반송 대상물 W의 반송 방향 F 하류 단측을 「전방측」으로 하고, 반송 방향 F 상류 단측을 「후방측」으로 하며, 평면에서 볼 때 반송 대상물 W의 반송 방향 F에 직교하는 방향을 폭 방향(좌우 방향)으로 하고, 폭 방향에 있어서 비교하는 2개의 면 중 상대적으로 리니어 반송면(11)의 폭 방향의 중심에 가까운 면을 「내측면」으로 하며 상대적으로 리니어 반송면(11)의 폭 방향의 중심으로부터 먼 면을 「외측면」으로 한다.

도 4에 도시된 바와 같이, 다공질 블록체(2A)는, 가이드부(2)의 오목부(24)에 세트한 상태에 있어서, 가이드면(21)에 연속하는 내측면(2Aa)과, 내측면(2Aa)의 반대측의 면인 외측면(2Ab)만을 통기성이 있는 통기면으로 설정하고, 그 이외의 면, 즉 상향면(2Ac), 저면(2Ad), 전방면(2Ae) 및 후방면(2Af)을 밀봉면으로 설정하고 있다. 밀봉면으로 설정하는 구체적인 처리로서는, 대상으로 하는 면에 접착제를 도포하는 마스킹 처리나, 대상으로 하는 면에 통기성이 없는 플레이트를 밀착시킨 상태에서 고정하는 처리 등을 들 수 있다. 본 실시 형태에서는 마스킹 처리를 적용하고 있다.

본 실시 형태에 따른 리니어 피더 L은, 가이드부(2)의 오목부(24)에 다공질 블록체(2A)를 세트한 상태에 있어서, 다공질 블록체(2A)의 외측면(2Ab) 사이에 소정 사이즈의 간극이 형성되고, 이 간극이 에어실(2S)로서 기능하도록 설정되어 있다. 또한, 본 실시 형태의 리니어 피더 L은 에어실(2S)의 에어를 흡인함으로써, 다공질재(22)를 통하여 다공질면(23)이 면하는 리니어 반송면(11) 상의 공간을 부압으로 하는 흡인부(4)를 구비하고 있다.

여기서, 가이드부(2)는 통기성이 없는 소재(예를 들어 스테인리스강, 금속제, 또는 플라스틱제 등)로부터 형성된 것이며, 도 3 및 도 5에 도시된 바와 같이, 오목부(24)에 개구하는 에어실(2S)(다시 말해 내측쪽으로 개구하는 에어실(2S))과, 에어실(2S)에 면하는 공동부(25)와, 공동부(25)에 연통하고 또한 흡인부(4)를 구성하는 에어조인트(41)의 일단부가 삽입 가능한 삽입구(26)를 갖는다. 본 실시 형태에서는, 폭 방향으로 연신하는 공동부(25)와 높이 방향으로 연신하는 삽입구(26)에 의해, 에어 흡인구(27)를 형성하고 있다.

흡인부(4)는, 에어 흡인구(27)에 일단부를 장착한 에어조인트(41)와, 흡인원(도시 생략)과, 에어조인트(41)와 흡인원 사이에 적절히 배치된 배관(42)(도 4 참조)을 구비한 것이다. 또한, ON/OFF 제어 밸브 등을 더 구비한 흡인부(4)를 적용하는 것도 가능하다. 본 실시 형태에서는, 다공질 블록체(2A)를 장착한 가이드부(2)를 반송로 본체(1)에 볼트 N으로 고정하고 있다. 또한, 흡인부(4)를 에어 흡인구(27)에 접속하는 타이밍은 가이드부(2)를 반송로 본체(1)에 고정하는 처리 전의 타이밍 또는 후의 타이밍의 어느 것이어도 된다.

커버부(3)는 반송로 본체(1)에 볼트 N으로 고정한 상태에서, 리니어 반송면(11)을 상방으로부터 피복하는 커버면(31)을 갖는 것이다(도 6 참조). 본 실시 형태에서는, 리니어 반송면(11)으로부터 커버면(31)까지의 높이 치수(이격 치수)를 리니어 반송면(11) 상의 반송 대상물 W가 커버면(31)에 접촉하지 않는 치수로 설정되어 있다. 또한, 본 실시 형태에서 사용하는 커버부(3)는 반송 대상물 W의 사이즈에 따라 리니어 반송면(11)으로부터 커버면(31)까지의 높이 치수를 변경 가능하게 구성한 것이다. 커버부(3)의 커버면(31)은 리니어 반송면(11) 상의 반송 대상물 W가 상방으로 튀어 올라 리니어 반송면(11)으로부터 벗어나는 것을 규제하는 누름면으로서 기능한다. 커버면(31)의 종단(선단)은 평면에서 볼 때 리니어 반송면(11)의 종단(선단)과 동일 위치에 있다. 또한, 도 4에서는, 반송 대상물 W의 반송 상태를 파악할 수 있도록, 커버부(3) 중 커버면(31)을 포함하는 소정 부분을 생략하고 있다. 본 실시 형태에서는, 반송로 본체(1)의 좌우 폭 방향의 일방측에 가이드부(2)를 배치하고, 타방측에 커버부(3)를 배치하고 있다.

이상과 같은 구성의 리니어 피더 L의 사용 방법 및 작용에 대해 설명한다.

본 실시 형태에 따른 리니어 피더 L을 사용하는 경우, 적당한 조작에 의해 반송로 본체(1)를 반송 방향 F로 왕복 진동시키고, 또한 흡인부(4)에 의한 에어 흡인 상태를 ON으로 하면, 본 실시 형태의 리니어 피더 L은 에어 흡인원으로부터 에어조인트(41)를 경유하여 가이드부(2)의 에어실(2S)의 내부를 흡인한다. 그 결과, 리니어 반송면(11) 중 반송 방향 F 하류 단부 근방이며 또한 다공질면(23)이 면하는 영역에는 가이드면(21)에 연속하는 다공질면(23)(통기면)인 다공질 블록체(2A)의 내측면(2Aa)측에 흡인되는 에어의 기류가 발생한다. 이것은, 다공질 블록체(2A) 중 에어실(2S)에 면하는 외측면(2Ab) 및 반송면에 면하는 내측면(2Aa)이 모두 통기면(다공질면(23) 그대로)인 것, 및 다공질 블록체(2A)의 내부를 에어가 투과 가능한 것에 기초하는 것이다.

또한, 다공질 블록체(2A) 중 에어실(2S)에 면하는 외측면(2Ab) 및 반송면에 면하는 내측면(2Aa)만을 통기성이 있는 통기면으로 설정하고, 그 이외의 면, 즉 상향면(2Ac), 저면(2Ad), 전방면(2Ae) 및 후방면(2Af)을 밀봉면으로 설정하고 있기 때문에 상향면(2Ac), 저면(2Ad), 전방면(2Ae) 및 후방면(2Af)도 포함하는 모든 면을 통기면으로 설정한 양태와 비교하여, 리니어 반송면(11) 중 반송 방향 F 하류 단부 근방이며 또한 다공질면(23)이 면하는 영역을 반송 중인 반송 대상물 W에 대한 흡인 효율이 증대한다.

이상과 같은 구성에 의해, 본 실시 형태에 따른 리니어 피더 L에서는, 리니어 반송면(11) 중 반송 방향 F 하류 단부 근방이며 또한 다공질면(23)이 면하는 영역 LA에 다공질면(23)측에 흡인하는 기류를 발생시키고, 리니어 반송면(11) 상에 있어서 반송 방향 F 하류단을 향하여 이동하는 반송 대상물 W 중 이 흡인 기류 발생 영역 LA에 도달한 반송 대상물 W의 반송 속도를 리니어 반송면(11) 중 흡인 기류 발생 영역 LA보다도 상류측을 이동하는 반송 대상물 W의 반송 속도보다도 감속시킬 수 있다.

여기서, 반송 대상물 W에 대한 흡인력은 도시되지 않은 제어부에 의해 흡인부(4)의 작동을 제어할 수 있고, 본 실시 형태에서는, 반송 대상물 W가 다공질면(23)에 흡착되지 않는, 즉, 반송 대상물 W가 리니어 반송면(11) 상에서 정지되지 않는다는 조건과, 반송 대상물 W에 제동력을 작용시킨다는 조건을 만족시키는 범위 내에서 적절히 조정·설정한 흡인력을 흡인부(4)가 발생하도록 제어부에서 제어한다.

본 실시 형태에 따른 리니어 피더 L은, 이러한 조건을 만족시키는 흡인력을 흡인부(4)에 의해 발생함으로써, 리니어 반송면(11) 중 반송 방향 F 하류 단부 근방이며 또한 다공질면(23)이 면하는 영역(흡인 기류 발생 영역 LA)에 도달한 피흡인 반송 대상물 W의 반송 스피드를 감속시키면서, 리니어 반송면(11)의 진동에 의해 피흡인 반송 대상물 W를 반송 방향 F 하류단을 향하여 반송할 수 있다. 그 결과, 본 실시 형태에 따른 리니어 피더 L에 의하면, 도 4에 도시된 바와 같이, 리니어 반송면(11) 중 흡인 기류 발생 영역 LA를 통과하는 피흡인 반송 대상물 W를 감속시키면서 반송 방향 F에 간극없이 밀하게 배열한 상태에서 반송하는 것이 가능해지고, 이들 피흡인 반송 대상물 W를 리니어 반송면(11)의 반송 방향 F 하류단으로부터 소정의 공급처인 원판 테이블 T에 등피치로 배출할 수 있다. 또한, 반송 방향 F에 따른 흡인 기류 발생 영역 LA의 길이는 적절히 조정·선택할 수 있고, 본 실시 형태에서는, 도 4에 도시된 바와 같이, 18 내지 20개 정도의 피흡인 반송 대상물 W가 반송 방향 F에 간극없이 나열되는 길이로 설정되어 있다.

따라서, 본 실시 형태에 따른 리니어 피더 L을 사용함으로써, 리니어 반송면(11)의 선단(반송 방향 F 하류단)으로부터 등피치로 배출한 반송 대상물 W를 정속 회전하는 원판 테이블 T 상에 등간격으로 배열할 수 있고, 원판 테이블 T 상에 있어서의 반송 대상물 W의 외관 검사 등의 검사·처리를 적절하게 행하는 것이 가능하다. 원판 테이블 T 상에 등피치로 나열되는 반송 대상물 W끼리의 간격은 원판 테이블 T의 회전 속도에 의해 조정할 수 있다.

이와 같이, 본 실시 형태에 관한 리니어 피더 L이면, 복수의 반송 대상물 W가 반송 방향 F에 간극없이 나열되는 상태가 되도록 리니어 반송면(11)의 진동력을 미세 조정하는 복잡한 제어가 불필요하고, 게다가, 진동하는 리니어 반송면(11) 자체를 반송 방향 F 상류단으로부터 반송 방향 F 하류단까지 연속하는 면으로 설정할 수 있기 때문에, 도 7에 도시된 바와 같은 종래의 구성, 즉, 진동하는 반송로 Y의 진동 반송면과 진동하지 않는 반송로 Z의 무진동 반송면 Z1을 공간적으로 분리하고, 진동 반송면 상의 반송 대상물 W를 무진동 반송면 Z1로 이동시키고 무진동 반송면 Z1의 하류단으로부터 배출하는 구성이면 발생하는 문제, 즉, 진동 반송면과 무진동 반송면 Z1의 간극에 반송 대상물이 걸려서 불안정한 자세가 되거나, 간극에 낙하하는 문제를 해소할 수 있고, 미소 사이즈의 반송 대상물이어도 소정의 공급처에 등피치로 공급하는 것이 가능한 안정된 처리 능력을 발휘한다.

또한, 본 실시 형태의 리니어 피더 L에 의하면, 피흡인 반송 대상물 W를 감속시키면서 정지시키지 않고, 리니어 반송면(11)의 진동에서 반송 방향 F 하류단을 향하여 이동시키기 때문에, 감속 중의 반송 대상물 W는, 리니어 반송면(11)으로부터 일시적으로 부상하여 비접촉하는 상태와, 접촉하는 상태가 교대로 반복하면서 이동하게 된다. 따라서, 도 7에 도시된 바와 같은, 반송 대상물 W가 무진동 반송면 Z1에 계속 접촉하여 후속의 반송 대상물 W에 의한 압박력만으로 이동하는 구성과 비교하여, 반송 대상물 W가 계속 접촉하는 것에 기인하는 리니어 반송면(11)의 마모 발생을 방지·억제할 수 있고, 리니어 반송면(11) 상에 있어서의 피흡인 반송 대상물 W가 원활한 이동을 실현할 수 있다.

게다가, 본 실시 형태에 관한 리니어 피더 L에 의하면, 도 7에 도시된 바와 같은 진동 반송면을 갖는 진동 반송로 Y와는 별도로, 무진동 반송면 Z1을 갖는 무진동 반송로 Z를 설치할 필요가 없고, 진동 반송로 Y를 가진하는 가진원에 의한 영향을 받지 않는 상황 하에 무진동 반송로 Z를 안정된 자세로 지지한다는 조건도 고려할 필요가 없기 때문에, 도 7에 나타내는 구성과 비교하여 장치 전체의 간소화 및 소형화를 도모할 수 있다.

또한, 도 7에 도시된 바와 같은 무진동 반송면 Z1 상에 있어서 반송 대상물 W가 후속의 반송 대상물 W에 의한 압박력만으로 이동하는 구성이면, 후속의 반송 대상물 W에 의한 압박력이 작용하지 않는 반송 대상물 W는, 그 이상 반송 방향 F 하류측으로 이동하지 않고 무진동 반송면 Z1 상에 정지하여, 소정의 공급처로 반송할 수 없다는 문제가 발생하지만, 본 실시 형태에 따른 리니어 피더 L에 의하면, 이러한 문제도 해소할 수 있다.

또한, 본 실시 형태의 리니어 피더 L에서는, 반송로 L1로서, 리니어 반송면(11)을 갖는 반송로 본체(1)와, 리니어 반송면(11)에 면하는 가이드면(21)을 갖고 또한 리니어 반송면(11) 상의 반송 대상물 W를 가이드면(21)을 따라 반송 방향 F에 안내하는 가이드부(2)를 구비한 것을 적용하고, 가이드면(21)의 반송 방향 F 하류단 부분을 다공질면(23)으로 설정하고 있기 때문에, 리니어 반송면(11)에 다공질면(23)을 설치하는 가공이 불필요하며, 기존의 리니어 반송로 L1을 사용할 수 있음과 함께, 가이드면(21)을 따라 반송 방향 F 하류측으로 반송하는 반송 대상물 W 중 반송 방향 F 하류단 부분에 도달한 반송 대상물 W에 대해 확실하게 제동력을 작용시키는 것이 가능하고, 반송 대상물 W끼리의 간극을 없애고, 다음 공정인 원판 테이블 T로 등간격으로 반송 대상물 W를 공급할 수 있다.

또한, 본 발명은 상술한 각 실시 형태에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 상술한 본 실시 형태에서는, 반송면에 면하는 면인 가이드면 중 반송 방향 하류단 부분을 다공질재에 의해 구성한 다공질면으로 설정한 양태를 예시했지만, 본 발명은 가이드면 이외의 면이며 또한 반송면에 면하는 면 중 반송 방향 하류단 부분을 다공질재에 의해 구성한 다공질면으로 설정한 구성도 포함한다.

또한, 본 발명에서는, 반송면 중 반송 방향 하류단 부분을 다공질면으로 설정한 구성을 채용할 수도 있다. 일례로서, 가이드부나 커버부를 설치할 것인지 여부에 관계없이, 반송로면의 적어도 반송 방향 하류단 부분에 다공질재를 직접 배치하여, 반송면의 일부를 다공질재로 이루어지는 다공질면(흡인 대상면)으로 형성할 수 있다. 이 경우, 흡인부는, 다공질면 중 미리 설정된 흡인 대상면의 하방으로부터 다공질재를 통하여 에어를 흡인하고 또한 진동에 의해 흡인 대상면 상을 반송 중의 반송 대상을 흡인 대상면인 반송면측으로 끌어 당기는 기능을 발휘하고, 흡인부에 의한 흡인력을 흡인 대상면인 반송면측으로 끌어 당긴 반송 대상물이 반송면 중 흡인 대상면보다도 상류의 영역을 반송 중인 반송 대상물보다도 늦은 반송 속도로 반송되는 흡인력으로 설정하면 된다. 이에 의해, 흡인 대상면에 도달한 반송 대상물에는 제동력이 작용하고, 이러한 반송 대상물은 흡인 대상면 상에서 감속하면서 정지하지 않고 반송 방향 하류단을 향하여 반송된다. 따라서, 이와 같은 구성에서도, 일부에 다공질면을 설치한 진동하는 반송면 자체는, 다공질면도 포함하여 반송 방향 상류 단으로부터 반송 방향 하류단까지 연속되는 면이기 때문에, 도 7에 나타내는 종래의 구성이면 발생되는 문제를 해소할 수 있다.

또한, 반송면 중 반송 방향 하류단 부분을 다공질재에 의해 다공질면으로 설정한 구성을 채용하는 경우, 다공질재의 하방에 다공질재와의 사이에 에어실을 형성하는 베이스부를 설치하고, 에어실의 에어를 흡인함으로써, 다공질면 상의 반송 대상물을 다공질면측으로 끌어 당기는 기류를 형성할 수 있다.

또한, 본 발명에서는, 상술한 실시 형태에서 도시된 바와 같은 다공질면의 전체 또는 대략 전체를 흡인 대상면으로 설정한 구성 대신에, 다공질면의 일부만을 흡인 대상면으로 설정한 구성, 또는 다공질면에 반송 방향을 따라 서로 구획된 복수의 흡인 대상면을 설정한 구성을 적용할 수 있다.

특히, 본 발명에서, 반송 방향을 따라서 서로 구획된 복수의 흡인 대상면을 설정한 구성을 적용한 경우, 각 흡인 대상면에 대한 흡인부의 흡인력을 모두 동일하게 설정하는 것도 가능하지만, 상대적으로 반송 방향 하류측의 흡인 대상면에 대한 흡인부의 흡인력을 상대적으로 반송 방향 상류측의 흡인 대상면에 대한 흡인부의 흡인력보다도 크게 설정해도 된다. 후자의 구성이면, 반송 방향 하류단에 접근함에 따라 피흡인 반송 대상물에 작용하는 제동력이 커지고, 피흡인 반송 대상물의 이동 속도를 서서히 내리는 것이 가능하고, 급 브레이크가 작용하는 것에 기인하는 피흡인 반송 대상물끼리의 큰 충격을 수반하는 충돌을 피할 수 있다. 또한, 반송 방향을 따라서 서로 구획되는 흡인 대상면의 수는 2로 한정되지 않고, 3 이상이어도 상관없다.

반송 방향을 따라 서로 구획된 복수의 흡인 대상면을 설정한 구성을 채용하는 경우, 단일의 다공질재로 구성한 다공질면을 통기면의 에어리어와 밀봉면의 에어리어로 나누어 설정함으로써, 모든 흡인 대상면을 공통된 다공질재로 구성할 수 있다. 한편, 반송면 또는 반송면에 면하는 면의 반송 방향 하류단 부분을 포함하는 소정 영역에 반송 방향을 따라 각각 제각기 다공질재를 소정 간격으로 설치하고, 각 다공질재의 다공질면을 흡인 대상면으로 설정함으로써, 반송 방향을 따라 서로 구획된 복수의 흡인 대상면을 설정한 구성을 실현하는 것도 가능하다.

본 발명에서, 반송 방향을 따라 서로 구획된 복수의 흡인 대상면을 설정한 구성을 적용한 경우, 흡인 대상면의 수와 흡인부의 수를 동일하게 설정한 양태(흡인 대상면마다 개별의 흡인부를 대응지어서 작동시키는 양태) 또는 흡인면의 수와 흡인부의 수를 상이하게 한 양태(예를 들어 모든 흡인 대상면에 대해 공통(단일)의 흡인부를 대응지어서 작동시키는 양태) 중 어느 것의 양태를 적절히 선택할 수 있다.

반송면 중 적어도 반송 방향 하류 단부와, 반송면에 면하는 면 중 적어도 반송 방향 하류 단부의 양쪽을, 다공질재에 의해 구성한 다공질면으로 설정해도 상관없다.

본 발명에서는, 반송면의 단면 형상이 만곡상 또는 굴곡상(예를 들어 U자상, V자상 또는 W자상 등)을 이루는 홈상의 반송로를 적용할 수도 있다. 이 경우에도, 반송면 중 적어도 반송 방향 하류단 부분 또는 반송면에 면하는 면 중 적어도 반송 방향 하류단 부분을 다공질재에 의해 구성한 다공질면으로 설정하면 된다.

모든 면을 통기면으로 설정한 다공질재를 적용하는 것도 가능하다. 이 경우, 밀봉면으로 하기 위한 마스킹 처리 등이 불필요해진다.

본 발명에서의 흡인부는 반송로의 소정 영역에 설정한 에어실의 에어를 흡인함으로써, 에어실이 면하는 다공질재의 다공질면 상의 반송 대상물을 다공질면측으로 끌어 당기는 기류를 형성하는 것이나, 반송로의 소정 영역에 에어실을 설정하지 않은 구성이어도 다공질재를 직접 흡인함으로써, 반송 대상물을 다공질재측으로 끌어 당기는 기류를 형성하는 것이어도 된다.

흡인부의 흡인력은 반송 대상물을 반송하는 처리를 실행하고 있는 동안, 항상 일정해도 되고, 흡인력 조정 수단에 의해 적당한 타이밍으로 변경해도 된다.

본 발명에 따른 진동 반송 장치는, 리니어 반송로를 갖는 리니어 피더에 한정되지 않고, 볼 반송로를 갖는 볼 피더나, 그 외의 진동 반송 장치, 예를 들어 서로 다른 3 방향으로 독립적으로 3차원적으로 진동시키는 진동 반송 장치, 초음파 진동에 의한 초음파 반송 장치 등에도 적용할 수 있다.

또한, 본 발명에서는, 블록상이나 플레이트상으로 형성된 다공질재 대신에 또는 추가해서, 예를 들어 시트상으로 형성된 다공질재에 의해 다공질면을 구성하도록 해도 된다.

본 발명에서는, 수평 또는 대략 수평인 「반송면」 대신에, 예를 들어 도 8에 도시된 바와 같은 경사면에 설정된 반송면(11, 13)을 적용하는 것도 가능하다. 또한, 도 8은, 경사면에 설정된 반송면(11, 13)을 갖는 진동 반송 장치의 주요부 단면을 도 6에 대응하여 나타내는 모식도이다.

또한, 반송 대상물은 전자 부품, 또는 식품 등 전자 부품 이외의 것이어도 된다.

그 외, 각 부의 구체적 구성에 대해서도 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 변형이 가능하다.

1: 반송로 본체
11: 반송면(리니어 반송면)
2: 가이드부
21: 가이드면
22: 다공질재
23: 다공질면
4: 흡인부
W: 반송 대상물
X, L: 진동 반송 장치(리니어 피더)

Claims (4)

1. 반송면 상의 반송 대상물을 진동에 의해 원하는 반송 방향으로 반송하여 소정의 공급처에 공급하는 진동 반송 장치이며,
   상기 반송면 중 적어도 반송 방향 하류단 부분 또는 상기 반송면에 면하는 면 중 적어도 반송 방향 하류단 부분을 다공질재에 의해 구성한 다공질면으로 설정한 반송로와,
   상기 다공질면 중 미리 설정된 흡인 대상면의 소정 방향으로부터 상기 다공질재를 통하여 에어를 흡인하고 또한 진동에 의해 상기 반송면 상을 반송 중인 반송 대상물을 당해 흡인 대상면측으로 끌어 당기는 흡인부를 구비하고,
   상기 흡인부에 의한 흡인력을, 상기 흡인 대상면측으로 끌어 당긴 반송 대상물이 당해 흡인 대상면보다도 상류의 상기 반송면을 반송 중인 반송 대상물보다도 늦은 반송 속도로 반송되는 흡인력으로 설정하고 있는 것을 특징으로 하는 진동 반송 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 반송로가 반송 방향을 따라 복수의 상기 흡인 대상면을 갖는 것인, 진동 반송 장치.
3. 제2항에 있어서, 상대적으로 반송 방향 하류측의 상기 흡인 대상면에 대한 상기 흡인부의 흡인력을, 상대적으로 반송 방향 상류측의 상기 흡인 대상면에 대한 상기 흡인부의 흡인력보다도 크게 설정하고 있는, 진동 반송 장치.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 반송로가 상기 반송면을 갖는 반송로 본체와, 상기 반송면에 면하는 가이드면을 갖고 또한 상기 반송면 상의 반송 대상물을 상기 가이드 면을 따라 반송 방향으로 안내하는 가이드부를 구비한 것이며,
   상기 가이드면 중 적어도 반송 방향 하류단 부분을 상기 다공질면으로 설정하고 있는, 진동 반송 장치.

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