JP2020123665A - 被搬送物の位置決め装置及び位置決め方法 - Google Patents

Abstract

【課題】被搬送物を確実に位置決めすることができる被搬送物の位置決め装置及び位置決め方法を提供する。【解決手段】本発明の位置決め装置１８は、テーブル１６の位置決めピン４２側に開放された係合溝７２が形成されたテーパピン４６と、テーパピン４６を囲繞するバキュームパッド４８と、係合溝７２の内面に開口し、バキュームパッド４８の内側に負圧を付与するエア管路５０と、を備える。【選択図】図４

Description

本発明は、被搬送物の位置決め装置及び位置決め方法に係り、特に加工装置の加工部に被搬送物を位置決めするための被搬送物の位置決め装置及び位置決め方法に関する。

従来から、半導体ウェーハを切削加工するダイシング装置では、加工部に備えられたダイシングブレードを交換するブレード交換作業が定期的に実施されている。そして、最近では、ダイシングブレードを自動交換するブレード自動交換装置を備えたダイシング装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

ブレード交換時には、ブレード自動交換装置をダイシング装置内の待機位置から加工部に搬送して、加工部のステージ上に位置決めする必要がある。

一方、被搬送物を固定部材に位置決めする方式として、固定部材に設けられた位置決めピンに、被搬送物に設けられた孔部を嵌合させるピン嵌合方式（例えば、特許文献２）や、ピン嵌合方式とバキュームパッドを用いたバキューム固定方式とを併用した方式（例えば、特許文献３）が一般的に知られている。

特開２０１６−１６８６５２号公報 特開平１１−３８７５号公報 特開昭６４−５７８００号公報

しかしながら、加工部に対するブレード自動交換装置の位置決め装置として、例えば、上述したピン嵌合方式を採用した場合、以下の問題が発生する。すなわち、加工部又はブレード自動交換装置に外力が作用した場合、位置決めピンと孔部との間の隙間に起因してブレード自動交換装置と加工部とが相対的に位置ずれ易い問題がある。

また、ダイシング装置の加工部は、加工時に発生した塵（例えば、端材やスラッジ）が散在している環境下にあることから、上記の塵は、位置決めピンにも付着している場合がある。このような場合には、孔部が位置決めピンに嵌合しなくなったり、異種金属の塵の付着により位置決めピンが腐食したりして位置決め不能になるという問題がある。

一方、加工部に対するブレード自動交換装置の位置決め装置として、上述したバキューム固定方式を採用した場合、上記の塵はバキュームパッドが吸着される被吸着面にも付着している場合があるので、このような場合には、バキュームパッドが被吸着面に吸着不能になるという問題がある。

いずれにしても、従来の位置決め装置では、塵が散在するような環境下において被搬送物を確実に位置決めすることが難しいという問題があった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、被搬送物を確実に位置決めすることができる被搬送物の位置決め装置及び位置決め方法を提供することを目的とする。

本発明の被搬送物の位置決め装置は、本発明の目的を達成するために、固定部材の位置決めピン側に開放された係合溝が形成された係合ピンと、係合ピンを囲繞する筒状パッドと、係合溝の内面に開口し、筒状パッドの内側に負圧を付与するエア管路と、を備える。

本発明の一形態によれば、係合溝は、溝幅が位置決めピン側に向けて拡がる溝であることが好ましい。

本発明の一形態によれば、係合溝は、対向する２つの平坦な斜面を含むＶ字状溝であることが好ましい。

本発明の一形態によれば、係合溝は、円錐形状の凹状溝であることが好ましい。

本発明の一形態によれば、エア管路は、筒状パッドの内側に負圧と正圧とを選択的に付与する管路であることが好ましい。

本発明の被搬送物の位置決め方法は、本発明の目的を達成するために、係合ピンの係合溝を固定部材の位置決めピン側に係合させる位置決め工程と、係合ピンを囲繞した筒状パッドを位置決めピン側に吸引固定する固定工程と、を有する。

本発明の一形態によれば、位置決め工程及び固定工程の前工程において、係合溝の内面の開口からエアを位置決めピン側に噴射するエアブロー工程を有する。

本発明によれば、被搬送物を確実に位置決めすることができる。

ダイシング装置の加工部を示した斜視図 ブレード自動交換装置がテーブルに位置決めされた状態を示した斜視図 ブレード自動交換装置がテーブルに位置決めされる直前状態を示した斜視図 位置決め装置の要部断面図 位置決め装置を構成するエア吸引供給装置のブロック図 テーパピンを拡大して示した全体斜視図 位置決め装置による位置決め方法のフローチャート 位置決め装置の動作遷移図 テーパピンの変形例を示した断面図

以下、添付図面に従って本発明に係る被搬送物の位置決め装置及び位置決め方法の好ましい実施形態について詳説する。

図１は、実施形態の被搬送物の位置決め装置が適用されたダイシング装置の加工部１０を示した斜視図である。なお、図１には、被搬送物に相当するブレード自動交換装置１２と、ブレード自動交換装置１２の搬送装置１４も示されている。また、図２は、加工部１０に備えられたテーブル１６に二点鎖線で示すブレード自動交換装置１２が、実施形態の位置決め装置１８によって位置決めされた斜視図であり、図３は、その位置決め直前の状態を示した斜視図である。

本明細書では、３軸方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向）の三次元直交座標系を用いて説明する。図１から図３に示すＸ軸方向は水平方向であって、テーブル１６の切削送り方向を指している。また、Ｙ軸方向は、水平方向のうちＸ軸方向に直交する方向であって、後述するブレード２０（図１参照）のインデックス送り方向を指している。更に、Ｚ軸方向は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する鉛直方向であって、ブレード２０の切り込み送り方向を指している。

また、本明細書では、ダイシング装置の加工部１０のテーブル１６にブレード自動交換装置１２を位置決めする位置決め装置１８について説明するとともに、ブレード自動交換装置１２の位置決め装置として実施形態の位置決め装置１８を適用した場合における利点について説明する。

図１に示すように、加工部１０は、ウェーハ（不図示）を固定するテーブル１６と、テーブル１６に固定されたウェーハを切削加工するブレード２０、２０と、を有している。

テーブル１６は、一例として円盤状に構成されており、その上面には水平方向に平坦な吸着面２２を備え、この吸着面２２にウェーハが真空吸着されて固定される。

また、テーブル１６は、その下部に、テーブル１６をＸ軸方向に沿って往復移動させるＸ移動機構部２４を備えている。Ｘ移動機構部２４は、Ｘ軸方向に沿って配設された一対のガイドレール２６、２６と、一対のガイドレール２６、２６の間に配置されたリニアモータ２８と、を備えている。このＸ移動機構部２４によれば、リニアモータ２８を駆動することにより、テーブル１６を一対のガイドレール２６、２６に沿ってＸ方向に往復移動させることができる。

ブレード２０は、一例として、ダイヤモンド砥粒又はＣＢＮ（cubic boron nitride）砥粒をニッケルで電着した電着ブレードを例示する。また、電着ブレードの他、金属粉末を混入した樹脂で結合したメタルレジンボンドのブレードも使用することができる。このように構成されたブレード２０は、Ｙ軸方向に沿って対向配置された高周波モータ内蔵型のスピンドル３０、３０に連結されており、このスピンドル３０、３０によって、例えば、６０００ｒｐｍ〜８００００ｒｐｍで高速回転される。また、スピンドル３０、３０は、Ｚ移動機構部３２に取り付けられており、Ｚ移動機構部３２はＹ移動機構部３４に取り付けられている。このような構成によりブレード２０は、Ｚ移動機構部３２によってＺ軸方向における切り込み量の調整と、Ｙ移動機構部３４によってＹ軸方向におけるインデックス位置の調整と、がなされる。なお、Ｚ移動機構部３２及びＹ移動機構部３４においても、Ｘ移動機構部２４と同様の構造（ガイドレールとリニアモータとを有する移動機構）を適用することができる。

図１に示すように、ブレード自動交換装置１２の搬送装置１４は、Ｚ搬送機構部３６とＹ搬送機構部３８とを有している。ブレード自動交換装置１２は、Ｚ搬送機構部３６に着脱自在に取り付けられており、Ｚ搬送機構部３６はＹ搬送機構部３８に吊り下げられた状態で取り付けられている。このような構成によりブレード自動交換装置１２は、Ｚ搬送機構部３６によってＺ軸方向に搬送され、Ｙ搬送機構部３８によってＹ軸方向に搬送される。これにより、ブレード自動交換装置１２は、ブレード２０の交換を行うための所定の位置に搬送される。なお、Ｚ搬送機構部３６及びＹ搬送機構部３８においても、ガイドレールとリニアモータとを有する移動機構を適用することができる。

ブレード自動交換装置１２については、例えば、特開２０１６−１６８６５２号公報に開示された装置を用いることができる。このようにブレード自動交換装置１２は周知なものなので、その詳細な説明は省略する。

次に、実施形態の位置決め装置１８について説明する。

図２及び図３に示すように、位置決め装置１８は、ブレード自動交換装置１２を構成する基台４０の外周部において所定の３か所に離間して配置されている。これらの位置決め装置１８、１８、１８が、テーブル１６側に設けられた３本の位置決めピン４２、４２、４２に嵌合されることにより、ブレード自動交換装置１２がテーブル１６に位置決めされる。なお、３本の位置決めピン４２、４２、４２は、テーブル１６の周囲に配設されたフレーム状の固定部材４３にＺ軸方向に沿って突設されている。

図４は、位置決め装置１８を構成するテーパピン４６とバキュームパッド４８の縦断面図であり、図５は、位置決め装置１８を構成するエア吸引供給装置４４のブロック図である。図６は、テーパピン４６を拡大して示した斜視図である。

まず、テーパピン４６について説明すると、このテーパピン４６は図６に示すように、軸線Ａ１を有し、全体として略筒状に構成されている。また、テーパピン４６の図４及び図６における上端側には、内部にエア管路５０を有する円筒状の吸引部５２が備えられ、下端側には被嵌合部５４が備えられている。なお、テーパピン４６は、本発明の構成要素である係合ピンの一例である。

図６に示すように、吸引部５２は、上部に形成された連結部５６と、下部に形成された被装着部５８とを有する。連結部５６は、図４に示すように、コネクタ管６０に固定される。このコネクタ管６０は、ブレード自動交換装置１２の基台４０に形成された連結孔６２に対し、軸線Ａ１がＺ軸方向に沿うように固定される。これにより、テーパピン４６がブレード自動交換装置１２にコネクタ管６０を介してＺ軸方向に固定される。

また、コネクタ管６０は、一端に第１ポート６４と他端に第２ポート６６とを有するＬ字状の通気路６８を有しており、この第１ポート６４に連結部５６が嵌合されて固定される。これにより、コネクタ管６０の通気路６８とテーパピン４６のエア管路５０とが連通される。なお、第２ポート６６には、図５に示したエア吸引供給装置４４の３ポートバルブ７０が接続される。エア吸引供給装置４４については後述するが、第２ポート６６に３ポートバルブ７０が接続されることにより、エア吸引供給装置４４とエア管路５０とが通気路６８を介して連通される。

図６に戻り、被装着部５８は、連結部５６の外径よりも大き目に形成されており、その外周部にバキュームパッド４８（図４参照）が装着される。バキュームパッド４８についても後述する。

テーパピン４６の被嵌合部５４は、その下部に係合溝７２が形成されている。この係合溝７２は、位置決めピン４２側（図４参照）に開放されており、溝幅が位置決めピン４２側に向けて拡がった溝である。具体的に説明すると、係合溝７２は、対向する２つの平坦な斜面７２Ａ、７２Ａを含むＶ字状溝であり、また、斜面７２Ａ、７２を接続する平坦な上面７２Ｂを有している。そして、係合溝７２の内面である上面７２Ｂにエア管路５０が開口されている。

ここでテーパピン４６は、ブレード自動交換装置１２の位置決め時において、Ｚ搬送機構部３６（図１参照）によって位置決めピン４２（図４参照）に向けて降下されるが、このとき、係合溝７２が位置決めピン４２に嵌合されることにより、ブレード自動交換装置１２がテーブル１６に位置決めされる。その詳細な嵌合構造として、実施形態では、図４に示すように、位置決めピン４２の上端面４２Ａに備えられた円錐形状の突起部７４に係合溝７２を嵌合させる嵌合構造が採用されている。

このような嵌合構造を採用した場合、以下の利点がある。すなわち、テーブル１６に対するブレード自動交換装置１２の位置決め時において、テーパピン４６のＺ方向の軸線Ａ１（図３参照）と突起部７４のＺ方向の軸線Ａ２（図３参照）とが相対的にＸＹ方向に微小量ずれている場合であっても、係合溝７２の斜面７２Ａ、７２Ａが突起部７４に摺接しながら下降する動作によって、軸線Ａ１が軸線Ａ２に合致するようにブレード自動交換装置１２側がＸＹ方向に自動的に微小移動する。つまり、ブレード自動交換装置１２をテーブル１６に向けて降下させる動作だけで、軸線Ａ１を軸線Ａ２に合致（自動調心とも言う。）させることができる。よって、Ｖ字状溝である係合溝７２を円錐形状の突起部７４に嵌合させる嵌合構造によれば、ブレード自動交換装置１２をテーブル１６に容易に位置決めすることができる、という利点がある。

次に、図４を参照してバキュームパッド４８について説明する。バキュームパッド４８は、一例として弾性を備えたゴム製であり、全体として筒状に構成されている。また、バキュームパッド４８は、上端側に環状の装着部７６が形成され、この装着部７６がテーパピン４６の被装着部５８に外装される。これにより、バキュームパッド４８がテーパピン４６に装着される。また、バキュームパッド４８は、下端側にリップ部７８が形成されている。

リップ部７８は、下端７８Ａに向かうに従って拡径されるとともに厚さが薄くなる先細状に形成されている。また、リップ部７８の下端７８Ａは、Ｚ軸方向において被嵌合部５４の下端５４Ａよりも下方に位置されている。このような構成により、被嵌合部５４がリップ部７８によって囲繞されている。このリップ部７８は、被嵌合部５４の係合溝７２が突起部７４に嵌合された際に、位置決めピン４２の上端面４２Ａに弾性をもって当接され、また、エア吸引供給装置４４（図５参照）によってバキュームパッド４８の内側に負圧が付与された場合に、上端面４２Ａに密着される。これにより、係合溝７２と突起部７４とによるピン嵌合と、バキュームパッド４８による吸引固定とが、合致した軸線Ａ１、Ａ２上において行われる。なお、バキュームパッド４８は、本発明の構成要素である筒状パッドの一例である。

次に、図５に示したエア吸引供給装置４４について説明する。このエア吸引供給装置４４は、圧縮エアを生成するポンプ８０と、流路切替用のバルブ８２と、エジェクタ８４と、３ポートバルブ７０と、を有している。また、ポンプ８０とバルブ８２とを連結する管路８６には、エア供給管路８８の一端８８Ａが接続されており、エア供給管路８８の他端８８Ｂは、３ポートバルブ７０の第１ポート（不図示）に接続されている。また、バルブ８２とエジェクタ８４とを連結する管路９０には、エア吸引管路９２の一端９２Ａが接続されており、エア吸引管路９２の他端９２Ｂは、３ポートバルブ７０の第２ポート（不図示）に接続されている。更に、３ポートバルブ７０の第３ポート（不図示）が、管路９４を介してコネクタ管６０の第２ポート６６（図４参照）に接続されている。なお、管路９４には、圧力センサ９６が接続されており、この圧力センサ９６によって管路９４の内圧が検出可能となっている。

このように構成されたエア吸引供給装置４４によれば、バルブ８２によって３ポートバルブ７０側を開放（エジェクタ８４側を閉鎖）し、３ポートバルブ７０の第１ポートを開放（３ポートバルブ７０の第２ポートを閉鎖）すると、ポンプ８０からの圧縮エアが管路８６、エア供給管路８８、３ポートバルブ７０、管路９４、コネクタ管６０を介してテーパピン４６のエア管路５０に供給されて、エア管路５０から外部に噴射される。これにより、バキュームパッド４８の内側に正圧が付与される。

一方で、バルブ８２によってエジェクタ８４側を開放（３ポートバルブ７０側を閉鎖）し、３ポートバルブ７０の第２ポートを開放（３ポートバルブ７０の第１ポートを閉鎖）すると、ポンプ８０からの圧縮エアが管路８６、バルブ８２及び管路９０を介してエジェクタ８４に供給される。そうすると、エジェクタ８４の真空ポンプの作用によってエア吸引管路９２内のエアが吸引されることにより、外気がテーパピン４６のエア管路５０、コネクタ管６０、管路９４、３ポートバルブ７０及びエア吸引管路９２を介してエジェクタ８４に吸引され、そして外部に排気される。これにより、バキュームパッド４８の内側に負圧が付与される。

このように、実施形態のエア吸引供給装置４４によれば、バルブ８２と３ポートバルブ７０とを切り替え操作することにより、ポンプ８０からの圧縮エアをエア管路５０の開口から噴射（エアブロー）する動作と、外気をエア管路５０の開口から吸引（エアバキューム）する動作とを選択的に切り替えることができる。これにより、エア管路５０は、バキュームパッド４８の内側に負圧と正圧とを選択的に付与する管路となる。なお、実施形態では、１台のエア吸引供給装置４４によってエア吸引とエアブローとを切り替えるように構成したが、これに代えて、エア吸引装置とエア供給装置とを別個に設け、エア管路５０にエア吸引装置とエア供給装置とを選択的に切り替えるように構成してもよい。

次に、前記の如く構成された位置決め装置１８の作用の一例について、図７に示す位置決め方法のフローチャートと図８に示す位置決め装置１８の動作遷移図を参照して説明する。なお、図８では、位置決め装置１８の動作を分かり易く説明するために位置決め装置１８の各部の詳細な構成は省略している。

ダイシング装置の加工部１０では、切削水や冷却水がブレード２０やウェーハに供給されながらブレード２０によるウェーハの切削加工が実施されている。このため、加工部１０は、加工時に発生した塵（例えば、端材やスラッジ）が散在している環境下にあり、このような塵は位置決めピン４２にも付着している。このような環境において、ブレード自動交換装置１２によるブレード２０の交換が開始されると（図７のＳ１０）、テーブル１６が、Ｘ移動機構部２４によってブレード交換位置に移動されるとともに、これに伴ってブレード自動交換装置１２が、Ｚ搬送機構部３６及びＹ搬送機構部３８によってＺ軸方向及びＹ軸方向に搬送されて上記のブレード交換位置の上方位置に搬送される。これにより、ブレード自動交換装置１２がブレード交換位置の上方位置に到着する（図７のＳ２０）。このとき、図８の８−１の如く、テーパピン４６は突起部７４の直上（例えば、軸線Ａ１が軸線Ａ２に合致した位置）に位置する。

次に、図８の８−２に示すように、テーパピン４６のエア管路５０から位置決めピン４２側に向けてエアブローを開始する（図７のＳ３０：エアブロー工程）。図８の８−２では、エア管路５０から噴射されるエア噴射方向を矢印Ｂで示している。これにより、突起部７４及び位置決めピン４２の上端面４２Ａ（図４参照）に付着した塵（例えば、端材やスラッジ）を吹き飛ばすことができ、突起部７４及び位置決めピン４２から塵を除去することができる。なお、図５に示したエア吸引供給装置４４によるエアブローへの切り替え動作は、前述したのでその説明は省略する。

次に、エアブローを停止させた後、図８の８−３に示すように、Ｚ搬送機構部３６（図１参照）を駆動してテーパピン４６を突起部７４に向けて降下させ、テーパピン４６が着座前の規定位置に到達したところでテーパピン４６の降下を停止する（図７のＳ４０）。なお、エアブローを行いつつテーパピン４６を降下させてもよい。

次に、図８の８−３に示すように、テーパピン４６のエア管路５０からのエアバキュームを開始する（図７のＳ５０：バキューム工程）。図８の８−３では、エア管路５０に吸引されるエア吸引方向を矢印Ｃで示している。なお、図５に示したエア吸引供給装置４４によるエアバキュームへの切り替え動作は、前述したのでその説明は省略する。

次に、エアバキュームを行いつつ、Ｚ搬送機構部３６（図１参照）を駆動してテーパピン４６を突起部７４に向けて降下させ、図８の８−４に示すように、テーパピン４６が着座位置に到達したところでテーパピン４６の降下を停止する（図７のＳ６０：位置決め工程）。これにより、係合溝７２と突起部７４とによるピン嵌合によってブレード自動交換装置１２がテーブル１６に位置決めされる。また、このとき、バキュームパッド４８（図４参照）のリップ部７８は、エア管路５０から外気がバキュームされることにより位置決めピン４２の上端面４２Ａに密着される。これにより、バキュームパッド４８によるバキューム固定が行われる。そして、図５に示した圧力センサ９６にて検出される管路９４の内圧が所定の負圧を示していることを確認した後（図７のＳ７０）、ブレード自動交換装置１２の着座固定作業を終了する（図７のＳ８０）。

以上の如く、実施形態の位置決め装置１８によれば、テーブル１６の位置決めピン４２側に開放された係合溝７２が形成されたテーパピン４６と、テーパピン４６を囲繞するバキュームパッド４８と、係合溝７２の内面に開口し、バキュームパッド４８の内側に負圧を付与するエア管路５０と、を備えているので、被嵌合部５４と位置決めピン４２とのピン嵌合後にテーブル１６又はブレード自動交換装置１２に外力が作用した場合であっても、バキュームパッド４８による吸着力によりブレード自動交換装置１２とテーブル１６とが相対的に位置ずれするという問題を解消することができる。よって、ブレード自動交換装置１２をテーブル１６に確実に位置決めすることができる。

そして、上記の位置決め装置１８を、ブレード自動交換装置１２の位置決め装置に適用することにより、以下の有利な効果を得ることができる。

すなわち、実施形態の位置決め装置１８は、エア供給手段としても機能するエア吸引供給装置４４を有し、図７のＳ５０で示したバキューム工程とＳ６０で示した位置決め工程の前工程において、Ｓ３０で示したエアブロー工程を有している。これにより、加工時に発生した塵が散在している環境下にあるダイシング装置の加工部１０において、ブレード自動交換装置１２の位置決め前に、位置決めピン４２の上端面４２Ａ及び突起部７４に付着した塵を位置決めピン４２から予め除去することができる。したがって、塵の影響でテーパピン４６が突起部７４に嵌合しなくなったり、異種金属の塵の付着により位置決めピン４２が腐食したりして位置決め不能になるという問題を解消することができる。また、バキュームパッド４８が被吸着面である上端面４２Ａに吸着不能になるという問題も解消することができる。

図９は、テーパピン１００の変形例を示した断面図である。なお、テーパピン１００を説明するに当たり、図４に示したテーパピン４６と同一若しくは類似する構成については同一の符号を付してその説明は省略する。

図４のテーパピン４６に対する図９のテーパピン１００の相違点は、被嵌合部５４において、テーパピン４６が逆Ｖ字状の係合溝７２（図６参照）を有しているのに対し、テーパピン１００は、略円錐形状の凹状溝１０２を有していることにある。このように逆Ｖ字状の係合溝７２に代えて略円錐形状の凹状溝１０２を適用しても、凹状溝１０２を突起部７４に嵌合させることにより、ブレード自動交換装置１２をテーブル１６に位置決めすることができる。なお、凹状溝１０２は、Ｖ字状溝である係合溝７２と同様に、溝幅が位置決めピン４２側に向けて拡がった溝の一例である。

また、図９に示すように、テーパピン１００には、複数の貫通孔１０４が形成されている。この貫通孔１０４は、被嵌合部５４の上部において一端が凹状溝１０２に連通され、他端が被嵌合部５４とバキュームパッド４８との間の空間１０６に連通されている。このような貫通孔１０４をテーパピン１００に備えることにより、凹状溝１０２が突起部７４に嵌合された状態であっても、エア管路５０と空間１０６との連通状態を貫通孔１０４によって維持することができるので、上端面４２Ａに対するバキュームパッド４８の吸着力を向上させることができる。

なお、上記の説明では、実施形態の位置決め装置１８を、ブレード自動交換装置１２の位置決め装置に適用した例について説明したが、被加工物の位置決め装置に実施形態の位置決め装置１８を適用することもできる。

この場合、被加工部は位置決め装置１８によって位置決めされた状態で加工されるが、このとき、位置決めピン４２の上端面４２Ａ及び突起部７４は、バキュームパッド４８によって外気から遮断されているので、加工時に発生した塵が上端面４２Ａ及び突起部７４に付着することを防止することができる。このように被加工部の位置決め装置に実施形態の位置決め装置１８を適用する場合、図７のＳ３０で示したエアブロー工程は必ずしも必要とするものではないので、エア吸引供給装置４４としてはエア吸引手段の機能のみを備えればよい。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。

１０…加工部、１２…ブレード自動交換装置、１４…搬送装置、１６…テーブル、１８…位置決め装置、２０…ブレード、２２…吸着面、２４…Ｘ移動機構部、２６…ガイドレール、２８…リニアモータ、３０…スピンドル、３２…Ｚ移動機構部、３４…Ｙ移動機構部、３６…Ｚ搬送機構部、３８…Ｙ搬送機構部、４０…基台、４２…位置決めピン、４３…固定部材、４４…エア吸引供給装置、４６…テーパピン、４８…バキュームパッド、５０…エア管路、５２…吸引部、５４…被嵌合部、５６…連結部、５８…被装着部、６０…コネクタ管、６２…連結孔、６４…第１ポート、６６…第２ポート、６８…通気路、７０…３ポートバルブ、７２…係合溝、７４…突起部、７６…装着部、７８…リップ部、８０…ポンプ、８２…バルブ、８４…エジェクタ、８６…管路、８８…エア供給管路、９０…管路、９２…エア吸引管路、９４…管路、９６…圧力センサ、１００…テーパピン、１０２…凹状溝、１０４…貫通孔、１０６…空間

Claims (7)

1. 固定部材の位置決めピン側に開放された係合溝が形成された係合ピンと、
   前記係合ピンを囲繞する筒状パッドと、
   前記係合溝の内面に開口し、前記筒状パッドの内側に負圧を付与するエア管路と、
   を備える、被搬送物の位置決め装置。
2. 前記係合溝は、溝幅が前記位置決めピン側に向けて拡がる溝である、
   請求項１に記載の被搬送物の位置決め装置。
3. 前記係合溝は、対向する２つの平坦な斜面を含むＶ字状溝である、
   請求項２に記載の被搬送物の位置決め装置。
4. 前記係合溝は、円錐形状の凹状溝である、
   請求項２に記載の被搬送物の位置決め装置。
5. 前記エア管路は、前記筒状パッドの内側に負圧と正圧とを選択的に付与する管路である、
   請求項１から４のいずれか１項に記載の被搬送物の位置決め装置。
6. 係合ピンの係合溝を固定部材の位置決めピン側に係合させる位置決め工程と、
   前記係合ピンを囲繞した筒状パッドを位置決めピン側に吸引固定する固定工程と、
   を有する、被搬送物の位置決め方法。
7. 前記位置決め工程及び固定工程の前工程において、前記係合溝の内面の開口からエアを前記位置決めピン側に噴射するエアブロー工程を有する、
   請求項６に記載の被搬送物の位置決め方法。

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