KR20180071264A - 전자 부품용 부품-핸들링 장치의 자가-조절 장치 및 방법 - Google Patents

전자 부품용 부품-핸들링 장치의 자가-조절 장치 및 방법 Download PDF

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콘스탄틴 코흐
마르쿠스 페르슈틀
프란츠 브란들
라이너 미엘리히
시아르하이 라칸다나우
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뮐바우어 게엠베하 운트 콤파니 카게
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Abstract

부품-핸들링 장치는 구조화된 부품 재고로부터 부품들을 취출하고, 취출된 부품들을 수용 장치에 저장하는 역할을 한다. 부품을 핸들링할 때, 정확도 요구사항을 충족하기 위해, 상기 수용 장치는 처음 작동되기 전, 부품 장치의 재배치 이후, 또는 작업의 유지 보수 이후에 각각 새롭게 조절되어야 한다. 이러한 목적으로, 부품-핸들링 장치는, 작업자에 의한 수동 조정 없이, 시간적 측면에서 효율적이고 높은 정확도로 장치를 조절할 수 있도록 하는 자가-조절 장치를 구비한다. 본 명세서에서, 자가-조절 장치는 복수의 광학 센서와 제어기로 구성된다. 광학 센서를 사용하여 획득된 측정 결과를, 본래 제조하는 동안에 부품 검사를 위해 장착되는 위치 센서 및 특성 센서를 사용하여 조정함으로써, 높은 정도의 프로세스 신뢰성이 달성되고, 동시에 장치 부품들이 손상에 대해 검사될 수 있도록 한다.

Description

전자 부품용 부품-핸들링 장치의 자가-조절 장치 및 방법
본 명세서에서는 전자 부품용 부품-핸들링 장치의 자가-조절 장치 및 방법이 설명된다.
이 장치 및 방법은 부품-핸들링 장치, 수용 장치 및 이미징 센서와 관련하여 설명된다.
본 명세서에서 부품이란, 예를 들어 "칩" 또는 "다이"로 지칭되기도 하는 (전자) 반도체 부품이다. 이러한 부품은 일반적으로, 다수의 측면들, 상면 및 단부면을 갖는, 실질적으로 다각형, 예를 들어 사각형(직사각형 또는 정사각형) 단면의 각기둥 형태이다. 부품의 측면들과 두 단부면(상단부 및 하단부)은 일반적으로, 이하에서 측면으로서 지칭된다. 부품은 광학 부품(프리즘, 거울, 렌즈 등)일 수도 있다. 전체적으로, 부품은 어떤 기하학적 형태도 가질 수 있다.
출원인의 작업 실행으로부터, 흡입 장치 또는 홀딩 장치를 사용하여 부품 테이블로부터 부품들을 픽업하여 캐리어 또는 이송 컨테이너 등에 적재하는(deposit) 소위 픽-업 장치 및 셋-다운(set-down) 장치가 공지되어 있다. 부품을 내려놓기 전에, 일반적으로 부품의 검사가 수행된다. 이러한 목적으로, 부품의 하나 이상의 측면의 이미지들이 하나 이상의 카메라에 의해 기록되어 자동 이미지 처리에 의해 평가된다.
반도체 제조에서 정밀도와 관련한 요구를 만족하기 위해서는, 초반 작업 전, 장치 부품들의 교체 후, 또는 장치의 유지보수 작업에 이어서, 부품을 픽업하고 내려놓는 장치의 조절이 필요하다.
그러기 위해서는, 부품을 픽업하고 내려놓는 장치는 측정된 다음 제조 및 마운팅 오차를 보상하기 위해 조절되어야 한다. 이는 작업자에 의해 수행되며, 작업자는 먼저 현미경 또는 카메라 이미지의 도움으로 픽-업 및 셋-다운 장치를 시각화한 다음, 그것을 측정 및 조절한다. 이 방법은 매우 시간 집약적이고, 실제로 오류가 발생할 수 있어, 잘 훈련된 직원의 발이 묶이게 한다. 장치의 복잡도가 높을수록, 특히 서로에 대해 조절되어야 하는 개별적인 장치 부품들의 수가 많을수록, 시간적 측면에서 비용과 조절의 오류(error)/부정확성에 대한 민감도가 더 커진다.
부품-핸들링 장치는 시간-효율적인 방식으로 정확한 조절이 수행될 수 있도록 한다.
이러한 목적은 구조화된 부품 공급원으로부터 각주형 부품들을 취출(remove)하여 취출된 부품들을 통합형 자가-조절 장치를 구비하는 수용 장치에 적재하는 부품-핸들링 장치에 의해 달성된다. 복수의 픽업-요소를 구비하는 제1 터닝 장치는, 분배 지점에서 구조화된 부품의 공급원으로부터 부품을 수용하고, 수용된 부품을 부품의 종축 또는 횡축을 중심으로 소정의 제1 각도까지 회전시켜 적재 지점으로 공급하도록 구성된다. 제1 터닝 장치 및 제2 터닝 장치와 관련된 위치 및 특성 센서들은 제1 터닝 장치와 제2 터닝 장치의 위치 데이터, 픽업 요소에 위치하는 부품들의 위치 데이터, 및/또는 픽업 요소들에 위치하는 부품들의 특성들을 검출하고 이들을 제어기에 제공하도록 구성된다.
제어기는 위치 및 특성 센서들을 사용하여, 특히 실제 부품 이송 동작 전의 자가-조절 중에, 제1 터닝 장치 및/또는 제2 터닝 장치가 부품들을 수용 또는 이송하는 각각의 이송 위치에 대해서, 제1 터닝 장치 및/또는 제2 터닝 장치 및/또는 적재 지점에 대한 교정 벡터를 결정하도록 구성되며, 각각의 경우 이 교정 벡터는 자가-조절 중에 결정되는 부품-핸들링 장치의 제조 및 장착 부정확성을 보완(counteract)한다.
제어기는 추가적으로, 제1 회전 구동장치를 사용하여 제어된 방식으로 제1 축을 중심으로 제1 터닝 장치를 회전시키고, 제1 선형 구동장치를 사용하여 제어된 방식으로 제1 축을 따라 제1 터닝 장치를 이동시키고, 제2 회전 구동장치를 사용하여 제어된 방식으로 제1 축과는 동축이 아닌 제2 축을 중심으로 제2 회전 장치를 회전시키며, 제2 선형 구동장치를 사용하여 제어된 방식으로 제2 축을 따라 제2 터닝 장치를 이동시키도록 구성된다.
자가-조절하는 동안에 터닝 장치들 및/또는 적재 지점의 제어된 이동 및/또는 회전에 의해 결정되는 부품-핸들링 장치의 제조 및 장착 부정확성을 보완하기 위해, 부품 이송 동작 중에 자가-조절에 의해 결정되는 교정 벡터가 부품-핸들링 장치의 제어기에 의해 사용된다.
따라서, 본 명세서에 제시되는 장치는 자동화 자가-조절을 가능하게 하는 통합형 핸들링/검사 장치를 형성한다. 이미징 센서들은 부품의 모든 또는 거의 모든 단부면(들) 및/또는 측면(들)을 검사하여, 매니퓰레이터(픽업 요소들) 및 수용 지점들의 위치에 대한 관련 데이터를 제공한다. 따라서, 이 장치는 필요한 과정-관련 주변장치, 예를 들어 부품의 공급부(예를 들어, 웨이퍼 테이블) 및 부품 저장부(예를 들어, 포켓 또는 캐리어 테이프)를 갖는, 폐쇄형 기계 시스템의 핵심부를 형성한다. 본 명세서에 제시되는 부품-핸들링 장치는, 예를 들어 부품-핸들링 장치의 상부 영역에 수평으로 배치되는 부품 공급부(웨이퍼)로부터 고정식 이젝션 유닛(ejection unit)에 의해 부품들을 획득한다. 부품 공급부는 이러한 고정식 이젝션 유닛에 대해 상대적으로, 평면에서 이동한다. 이젝션 유닛은 바늘을 사용하거나 비접촉 방식(예를 들어, 레이저 빔을 사용하는 방식)으로, 부품들이 부품 공급부로부터 방출(release)되어 픽업 요소에 의해 픽업되도록 한다. 방출된(ejected) 부품들은 총 6개 또는 그 이상의 검사 과정으로 이송되고, 마지막으로 포켓 또는 캐리어 테이프의 수용 지점(포켓들) 내로 공급된다. 본 명세서에서, 수용 지점과 (적재) 포켓이라는 용어는 동의어로서 사용된다. 이로 인해, 불량 부품들이 배출될 수 있다. 이송 프로세스에 통합되는 부품의 광학 검사는 복수의 검사 프로세스로 나눠진다. 검사는 하나 이상의 이미징 센서를 사용하여 부품의 단부면(들) 및/또는 측면(들), 그리고 이송/수용 지점에서의 픽업 요소들의 위치를 광학적으로 검출한다. 이러한 이미징 센서들은 각각의 경우에, 복수의 검사 프로세스에서의 부품의 단부면 및/또는 측면 중 하나에 대한 적어도 하나의 이미지를 획득하도록 구성된다. 부품 공급/이송은, 터닝 장치의 픽업 요소들이 각각 부품을 홀딩하고(hold) 있는 동안 이루어진다. 홀딩된 부품은 이송되는 동안에 개별적인 검사 프로세스를 통과한다. 이미징 센서들로부터 획득된 (이미지) 데이터는 매니퓰레이터(픽업 요소들) 및 수용 지점들의 위치 제어를 조정(coordinate)하기 위해 사용된다. 부품 공급장치(feeder)는 그 경로를 따라 실질적으로 연속적으로 또는 주기적으로 부품을 공급하도록 구성된다. 장치는 자가-조절을 위해, 부품 이송 동작에서 부품 검사를 위해 제공되는 이미징 센서들을 적어도 부분적으로 사용한다. 또한, 부품이 장치의 한 부분으로부터 장치의 또 다른 부분으로 이송되는 영역들을 적어도 2개의 상이한 관측 각도로부터 광학적으로 검출하는 추가적인 이미징 센서가 제공될 수 있다. 제어기는 제1 터닝 장치 및 제2 터닝 장치의 모든 가능한 이송 위치에 대해, 각각의 부품 이송 지점의 최대 3차원적 교정 벡터를 결정하도록 구성되며, 각각의 교정 벡터는 부품-핸들링 장치의 작동 중에 부품-핸들링 장치의 제조 및 장착 부정확성을 보완하기 위해 사용된다. 본 명세서에 제시되는 완성된 어셈블리 그룹은 기능적으로 3개의 양태를 결합한다. 3개의 양태는 핸들링, 핸들링의 조절 및 검사이다. 이들 3개의 기능은 부품들의 복수의 측면(6 또는 그 이상의 면들)의 신속하고 정확한 품질 평가(qualitative assessment)를 위해 서로 결합되어, 부품들이 단일화된 형태로 부품 공급부로부터 신속하게 취출되고, 검사에 의해 양호 부품으로 분류될 때에는 수용 지점 또는 수용 지점들에 정확하게 적재되도록 한다.
일 변형 예에서, 부품-핸들링 장치는 제1 터닝 장치만을 구비하며, 제1 터닝 장치는 분배 지점에서 전달 장치(delivery device)로부터 부품을 픽업하여 그것을 적재 지점으로 공급하며, 부품은 적재 지점에서 수용 장치로 이송된다.
또 다른 변형 예에서, 부품-핸들링 장치는, 바람직하게는 규제된 방식으로 작동하고, 바람직하게는 서로에 대해 실질적으로 직교(90° ±최대 15°)하도록 배치되는 2개의 대략적으로 별-형상 또는 휠-형상의 터닝 장치를 구비한다. 터닝 장치들은 직사각형일 수도 있다. 이들 터닝 장치의 각각은 각각의 회전축에 대해 반경 방향으로, 부품 획득 및 이송 사이의 피벗 각도 내로 이동 가능한 복수의 픽업 요소를 구비하여, 픽업 요소에 각각 고정되는 부품들을 하나 이상의 검사 처리 스테이션, 불량 부품 배출 및 경우에 따라 추가적인 스테이션들로 이송한다.
본 명세서에 제시되는 부품-핸들링 장치에서, 별-형상 또는 휠-형상의 터닝 장치들은 반경 방향으로 외측을 향하는 픽업 요소 상에 부품을 지탱하며, 픽업 요소들은 2개의 터닝 장치들의 (가상의) 외주에 배치된다. 이는, 하나 또는 2개의 터닝 장치들의 픽업 요소들이 동일 평면에 또는 회전축에 평행하게 배향되는 부품-핸들링 장치들과는 대조적이다.
복수의 검사 프로세스들이 전술되었지만, 이는 시간순서 또는 순서(먼저, 제1 검사 프로세스에서 이미지 획득 후 추가적인 검사 프로세스에서 이미지 획득)를 특정하기 위한 것이 아니다. 사실, 반대 순서가 유리한 경우들도 생각할 수 있다. 복수의 부품들이 각각의 터닝 장치에서 동시에 픽업될 수 있기 때문에, 각각의 터닝 장치의 픽업 요소들의 수에 따라, 다른 부품들임에도 불구하고 검사 프로세스가 동시에 이루어진다.
개별적인 검사 프로세스에서 이미징 센서들에 의해 검출되는 부품의 (위쪽/아래쪽) 단부면(들) 및/또는 (옆쪽) 측면(들)은 상기 부품의 서로 다른 단부면 및/또는 측면일 수 있다.
광학 검사의 일 양태는, 부품을 갖는 부품 공급장치가 실질적으로 정지하지 않고, 또는 거의 정지하지 않고 부품 경로를 완료하도록 한다. 이로 인해, 부품이 이동하는 동안 또는 최소 정지 시간 동안에, 이미징 센서들로부터 부품의 하나 이상의 단부면 및/또는 측면이 검출된다. 그 다음, 이 이미지들은 이미징 처리 방법에 의해 평가된다. 이러한 광학 검출/검사의 일 변형 예는 이미징 센서로서 하나 이상의 컬러 카메라 또는 흑백 카메라가 제공되도록 한다.
이미징 센서들은 하나 이상의 거울, 광학 프리즘, 렌즈 등을 구비할 수 있다.
이미징 센서들은 관련 방사선원 또는 광원을 구비할 수 있다. 각각의 광원/방사선원은 부품의 적어도 일부를 조명하기 위해, 다양한 스팩트럼 또는 파장 범위의 광/방사선을 방출하도록 구성된다. 파장 범위는 서로 다르거나, 중첩되거나, 부분적으로 일치할 수 있다. 예를 들어, 제1 광원의 광은 적색일 수 있고, 제2 광원의 광은 청색일 수 있다. 하지만, 역전된 결합 또는 다른 파장의 페어(예를 들어, 적외선과 가시광선)이 선택될 수도 있다.
광원들은, 부품을 갖는 픽업 요소가 각각의 검출 영역에 있는 시점에, 제어 장치에 의해 잠시 스위치 온 되어, 각각의 이미징 센서에 의해 부품의 단부면 및/또는 측면이 짧은 플래시 광에 의해 조명될 수 있다. 대안적으로 연속 조명(permanent illumination)이 사용될 수 있다.
일 변형 예에서, 부품-핸들링 장치는, 구조화된 부품 공급부로부터 제어기에 의해 대응하게 위치되는 제1 터닝 장치의 픽업 요소로 부품을 전달하도록 배치되는 관련된 전달 장치를 구비한다. 이는, 바늘로 웨이퍼 캐리어 필름을 관통하여 부품을 밀어내는 부품 이젝터(다이 이젝터) 또는 의도적으로 캐리어 필름에 있는 부품의 접착제를 용융시키는 레이저 펄스 발생기일 수 있다. 전달 장치는, 전달되는 부품에 대한 전달 장치의 위치 및/또는 전달되는 부품의 위치 데이터 및/또는 전달되는 부품의 특성들을 검출하여, 이들을 전달 장치의 작동을 위해 제어기에 제공하도록 구성되는 관련된 위치 및/또는 특성 센서를 구비한다.
일 변형 예에서, 이러한 위치 및/또는 특성 센서는 제1 터닝 장치의 픽업 요소의 전달 장치에 대한 위치를 결정하여, 부품-핸들링 장치의 자가-조절을 위해 제어기에 제공하도록 구성된다.
일 변형 예에서, 부품-핸들링 장치는, 공급된 부품을 위한, 적재 지점과 관련되는 수용장치를 구비한다. 수용 장치는, 적재 지점에 공급되는 부품의 위치 데이터, 수용 장치의 수용 지점 및/또는 그 안에 위치하는 부품의 위치 데이터 및/또는 특성을 검출하여, 이를 제어기에 제공하도록 구성되는, 관련된 위치 및/또는 특성 센서들을 구비한다.
일 변형 예에서, 위치 및/또는 특성 센서들은 제2 터닝 장치의 픽업 요소에 대한 수용 지점의 위치를 결정하여, 부품-핸들링 장치의 자가-조절을 위해 이를 제어기에 공급하도록 구성된다.
제어기는 제3 회전 구동장치를 사용하여, 적재 지점을 포함하는 수용 장치를 적어도 부분적으로 제3 축을 중심으로, 제어된 방식으로 회전시키도록 구성된다. 제어기는 또한, 적어도 제3 선형 구동장치를 사용하여, 적어도 부분적으로 축을 따라 제어된 방식으로 수용 장치를 이동시키도록 구성된다. 마지막으로, 제어기는 또한, 선형 구동장치를 사용하여, 수용 장치에 의해 안내되는 캐리어를 적어도 부분적으로 제1 축 및/또는 제2 축 중 하나를 따라 제어된 방식으로 이동시키도록 구성된다. 이러한 캐리어는 단일화된 형태의 부품들을 픽업하는 역할을 한다.
일 변형 예에서, 부품-핸들링 장치의 제1 터닝 장치 및/또는 제2 터닝 장치의 픽업 요소들은, 제어된 방식으로 각각의 터닝 장치의 회전축 또는 회전 중심으로 반경 방향으로 전개(deploy) 및 후퇴되도록, 및/또는 공급되는 부품을 수용 및 이송하기 위해 제어된 방식으로 부압 및/또는 과압(excess pressure)을 받도록, 및/또는 각각의 반경 방향 이동 축에 대해 이동하지 않도록, 또는 각각의 반경 방향 이동 축을 중심으로 일정 회전 각도까지 제어된 방식으로 회전되도록 구성된다.
이러한 유형의 부품-핸들링 장치의 일 변형 예에서, 제1 터닝 장치 및/또는 제2 터닝 장치의 픽업 요소들에는 분배 지점과 제1 및 제2 터닝 장치들 사이의 이송 지점에서 반경 방향 전개/후퇴를 위한 관련된 선형 구동장치가 제공된다. 이들 선형 구동장치는 각각의 터닝장치의 외측으로부터 대응되게 위치되는 픽업 요소들과 결합되어, 각각의 픽업 요소를 전개 또는 후퇴시킨다. 또 다른 변형 예에서, 이들 선형 구동장치는 각각의 픽업 요소를 전개시키기만 하고, 리턴 스프링이 각각의 픽업 요소를 후퇴시킨다. 또 다른 변형 예에서, 각각의 픽업 요소는 관련된 양방향 또는 단일 방향의 방사상 구동장치를 구비한다.
부품-핸들링 장치의 일 변형 예에서, 자유롭게 또는 위치-제어된 방식으로 다음의 기능을 수행하기 위해, 밸브들이 각각의 개별적인 픽업 요소들에 부압 및 과압을 제공한다. 그 기능이란 (i) 부품을 흡입하는 것, (ii) 부품을 유지하는 것, (iii) 제어된 블로우-오프 펄스로, 또는 이것 없이 부품을 적재하는 것 및/또는 부품을 자유롭게 블로우-오프 하는 것이다.
부품-핸들링 장치의 일 변형 예에서, 위치 및 특성 센서들은, 분배 지점과 이송 지점 사이의 제1 터닝 장치와 관련되고, 이송 지점과 적재 지점 사이의 제2 터닝 장치와 관련된다. 이들 센서는 공급된 부품의 위치 데이터 및/또는 특성들, 및/또는 매니퓰레이터(픽업 요소) 및 수용 지점들의 위치를 조절하기 위한 위치 데이터를 검출하여 제어기에 제공하도록 구성된다.
일 변형 예에서, 이들 센서는, 사전에 정의된 기준 지점에 대한 제1 터닝 장치의 픽업 요소의 위치를 결정하도록, 및/또는 사전에 정의된 기준 지점에 대한 제2 터닝 장치의 픽업 요소의 위치를 결정하도록, 그리고 부품-핸들링 장치의 자가-조절을 위해 이들 상대적인 위치를 제어기에 제공하도록 구성된다.
일 변형 예에서, 센서들의 검사 품질 및/또는 픽업 요소들이 손상되지 않았는지 체크하기 위해, 정의된 기준 지점에 대한 제1 터닝 장치 및/또는 제2 터닝 장치의 픽업 요소들의 상대적인 위치는, 픽업 요소들의 서로에 대한 상대적인 위치, 및/또는 전달 장치에 대한 상대적인 위치, 및/또는 각각의 픽업 요소의 기준 지점에 대한 상대적인 위치와 비교되며, 각각의 경우에서 이러한 비교는 제어기에 의해 이루어진다.
부품-핸들링 장치의 일 변형 예에서, 적어도 일부의 위치 및 특성 센서들은, 공급된 부품의 위치 데이터 및/또는 특성을 검출하여 제어기에 제공하기 위해, 공급된 부품의 적어도 하나의 단부면 및/또는 하나 이상의 측면을 검사하도록 구성된다.
부품-핸들링 장치의 일 변형 예에서, 수용되는 부품의 특성 및/또는 위치를 결정하기 위해서 또는 수용 장치의 수용 지점들 및/또는 그 안에 위치되는 부품의 특성 및/또는 위치를 결정하기 위해, 적어도 하나의 이미징 특성 및/또는 위치 센서가 제1 터닝 장치의 중심 및/또는 제2 터닝 장치의 중심에 제공된다. 그러면, 수용되는 부품 또는 수용 지점의 특성 결함 및/또는 위치 오류가 있는 경우, 이러한 센서/센서들의 특성 데이터 및/또는 위치 데이터에 기초하여, 제어기에 의해 교정이 수행된다. 일 변형 예에서, 방출 유닛, 부품 공급부 또는 웨이퍼, 터닝 장치들 및/또는 수용 장치의 대응하는 교정 운동을 행하기 위해, 이미징 위치 센서(들)은 제1 터닝 장치 또는 제2 터닝 장치의 회전운동 동안에, 이웃하는 픽업 요소들 사이의 이미지 획득을 수행하여 제어기에 전달하도록 구성된다. 또 다른 변형 예에서, 방출 유닛은 고정되어 있다. 또 다른 변형 예에서, 제1/제2 터닝 장치의 중심에 위치되는 이미징 위치 및/또는 특성 센서(들)은, 터닝 장치들이 부품의 이송을 위해 제공되는 위치(이송 위치)에 있는 동안, 방출 유닛, 부품 공급부 또는 웨이퍼, 제1/제2 터닝 장치의 픽업 요소들, 및/또는 수용 장치가 간접적으로 검출될 수 있도록 하는, 반사경 장치(reflector arrangement)를 구비한다.
일 변형 예에서, 제1 터닝 장치의 중심에 있는 위치 및/또는 특성 센서는, 전달 장치에 대한 제1 터닝 장치의 픽업 요소의 위치를 결정하여, 이를 부품-핸들링 장치의 자가-조절을 위한 제어기에 제공하도록 구성된다.
일 변형 예에서는, 제1 터닝 장치의 픽업 요소의 위치에 대한 제2 터닝 장치의 픽업 요소의 위치를 결정하고, 이를 부품-핸들링 장치의 자가-조절을 위한 제어기에 제공하도록 구성되는 추가적인 위치 및/또는 특성 센서가 제1 터닝 장치의 중심에 제공된다.
일 변형 예에서, 제2 터닝 장치의 중심에 위치하는 위치 및/또는 특성 센서는 제2 터닝 장치의 픽업 요소에 대한 수용 지점의 위치를 결정하고, 이를 부품-핸들링 장치의 자가-조절을 위한 제어기에 제공하도록 구성된다.
일 변형 예에서는, 제1 터닝 장치의 픽업 요소의 위치에 대한 제2 터닝 장치의 픽업 요소의 위치를 결정하고, 이를 부품-핸들링 장치의 자가-조절을 위한 제어기에 제공하도록 구성되는 추가적인 위치 및/또는 특성 센서가 제2 터닝 장치의 중심에 제공된다.
이들 이미징 특성 및/또는 위치 센서들에 추가적으로 또는 대안적으로, 수용되는 부품의 특성 및/또는 위치를 결정하기 위해 또는 수용 장치의 수용 지점 및/또는 그 안에 위치되는 부품들의 위치를 결정하기 위해 제1 및 제2 터닝 장치에 대해 외측에 제공되는 특성 및/또는 위치 센서들이 제공될 수 있다. 그러면, 수용되는 부품 또는 수용 지점의 품질 결함 및/또는 위치 오류가 있는 경우에, 이러한 센서(들)의 특성 데이터 및/또는 위치 데이터에 기초하여, 제어기에 의해 교정이 이루어진다. 전술된 검사 시스템과는 독립적으로, 그리고 핸들링 시스템과의 구성 부품으로서의 기능적 연관을 위해, 위쪽으로 부품 공급부를 향하는, 또는 아래쪽으로 조립체 그룹(assembly group)을 향하는 카메라(와 함께 90° 거울 시스템과 조명)가 2개의 터닝 장치 각각의 중심에 배치될 수 있으며, 이 카메라는 적재 카메라와 동일한 구성인 것이 바람직하지만, 반드시 그래야 하는 것은 아니다. 이들은, 부품 또는 수용 지점의 위치 오류가 발생하는 경우 그 위치를 교정하려는 목적으로, 부품 또는 수용 지점들의 위치를 검출하는 역할을 한다. 일 변형 예에서, 센서들은 부품-핸들링 장치의 자가-조절에 포함될 수 있다.
일 변형 예에서, 적어도 2개의 외측으로 제공되는 이미징 특성 및/또는 위치 센서가 서로 실질적으로 직교(90° ±15°)하는 관측 방향으로부터 부품들의 분배 지점을 향하고, 전달 장치에 대한 제1 터닝 장치의 픽업 요소의 위치를 결정하여 부품-핸들링 장치의 자가-조절을 위한 제어기에 제공하도록 구성된다.
일 변형 예에서, 적어도 2개의 외측으로 제공되는 이미징 특성 및/또는 위치 센서가 서로 실질적으로 직교(90° ±15°)하는 관측 방향으로부터 부품들의 이송 지점을 향하고, 제1 터닝 장치의 픽업 요소의 위치에 대한 제2 터닝 장치의 픽업 요소의 위치를 결정하여 부품-핸들링 장치의 자가-조절을 위한 제어기에 제공하도록 구성된다.
일 변형 예에서, 적어도 2개의 외측으로 제공되는 이미징 특성 및/또는 위치 센서가 서로 실질적으로 직교(90° ±15°)하는 관측 지점으로부터 부품들의 적재 지점을 향하고, 제2 터닝 장치의 픽업 요소에 대한 수용 지점의 위치를 결정하여 부품-핸들링 장치의 자가-조절을 위한 제어기에 제공하도록 구성된다.
부품-핸들링 장치의 일 변형 예에서, 이송 지점 및/또는 적재 지점의 상류 또는 하류에 배출 지점(discharge point)이 배치되며, 이 배출 지점은, 제어기의 제어 하에, 위치 및 특성 센서들 중 적어도 하나를 사용하여 제어기에 의해 불량 부품으로서 식별된 부품은 배출하여, 양품으로서 수용 장치에 적재되지 않도록 구성된다.
부품-핸들링 장치의 일 변형 예에서, n개의 픽업 요소 전체는 제1 및/또는 제2 터닝 장치에 관련된다. 그러므로 n>=2이다. 제1 터닝 장치의 픽업 요소의 수는 제2 터닝 장치의 픽업 요소의 수와 동일하거나 다를 수 있다.
부품-핸들링 장치의 일 변형 예에서, 제1 축, 제2 축 및/또는 제3 축은 각각 서로에 대해 90° ± 10° 미만 또는 15° 미만의 각도를 포함한다.
부품-핸들링 장치의 일 변형 예에서, 위치/특성 센서들은, 일치하는 또는 서로 다른 검출 스팩트럼을 구비하는 이미징 센서, 접촉식 또는 비접촉식으로 거리를 측정하는 위치 센서, 또는 접촉식 또는 비접촉식으로 검출하는 특성 센서이다.
위치 및 특성 센서들은 직선 또는 구부러진 광학 축을 구비하는 이미징 센서일 수 있다.
거울 및 조명 유닛을 포함하는, 위치 및 특성 센서들의 카메라 시스템은 단일 프로세스 위치에서, 대면하는 부품 면과 그 부품의 두 측면의 부품 검사를 평행하게 수행할 수 있도록 하는 공간적 배열로 결합될 수 있다. 전체적으로, 예를 들어 직육면체 부품에 대해서, 6개 면 모두에 대한 완전한 검사를 위해서는 2개의 프로세스 위치면 충분하다. 그러기 위해서는, 2개의 프로세스 위치 각각에서 부품의 6개 면 중 3개 면이 검출된다. 일 변형 예에서는, 각각의 터닝 장치의 검사 위치로서, 각각의 제3의 프로세스 위치가 회전축 또는 선회축의 레벨에서 대략적으로 수평으로 고정될 수 있다.
추가적인 위치-측정 기능이 2개의 추가적인 카메라 시스템(전방/후방 카메라)에 할당될 수 있다.
부품-핸들링 장치의 일 변형 예에서, 제1 터닝 장치 및/또는 제2 터닝 장치는 적어도 대략적으로 별-형상 또는 휠-형상이다. 터닝 장치들은 정밀하게 장착될 수 있으며(precision-mounted), 각각의 축을 따라 또는 각각의 축을 중심으로 하는 터닝장치들의 위치설정은 (예를 들어 회전 또는 선형) 고해상도 인코더와 쌍으로, 선형으로 또는 회전식으로 작동하는 축 방향으로 배치되는 구동장치에 의해 수행될 수 있다. 픽업 요소들은 외주에 분포될 수 있으며, 반경 방향으로 외측을 향하는, 부품이 이송되기 위한 흡입 접촉 지점을 구비할 수 있다.
터닝 장치들을 서로에 대해 약 90°로 축방향으로 오프셋되도록 배치하는 것에 대한 이점은, 공급 과정 동안 부품들이 하나의 터닝 장치에서 다음 터닝 장치로 이송될 때, 픽업 요소 자체가 회전 이동 가능한 방식으로 장착될 필요 없이, 부품들이 픽업 요소의 특정 이동 평면에 대한 픽업 요소 축(또는 터닝 장치 축)을 중심으로 90° 회전을 수행한다는 점이다. 이러한 부품들의 배향 변경은 4개의 부품 절단면(=부품의 측면)의 검사를 실질적으로 단순화시킨다. 이러한 목적으로, 부품 절단면을 향하고, 바람직하게는 부품 절단면(=부품의 측면)으로부터 매우 작은 거리를 두고 픽업 요소 이동 평면에 직각으로 (즉, 터닝 장치의 축 방향으로) 배치되는 카메라 시스템이 사용된다.
픽업 요소와 부품의 서로에 대한, 또는 이송 지점 및 검사 지점에 대한, 잘못된 위치설정의 검출은, 픽업 요소 또는 부품 위치 검출 측정 시스템으로서 카메라 시스템을 사용하여 수행된다. 정확도에 대한 요구사항이 매우 높은 경우, 접착 툴(bond tool) 위치 검출을 위해 3개의 거리-측정 센서들이 각각의 터닝 장치에 추가적으로 제공될 수 있다.
카메라들의 광학 축은 검사되는 부품 표면을 "관통"한다. 이들은 픽업 요소 위치에 대한 기준 시스템을 형성한다. 이를 기반으로, 회전 터닝 장치의 이상적인 픽업 센서 이동 평면에 평행한 평면에 배치되는 거리-측정 센서들에 의해, 타깃 이동 경로로부터의 픽업 요소 이동 경로의 편차가 결정될 수 있다. 이로부터 이송 위치에서 발생하는 위치 오류가 결정될 수 있고, 위치 오류는 제어기에 의해 보상될 수 있다.
사용되는 광학 위치/특성 센서들 및/또는 추가적인 위치 센서들의 기능적 원리에 따라, 프로세스가 실행되는 동안 또는 (예를 들어, 터치에 의해 작동하는 측정 센서에 의해 요구되는) 주기적으로 반복되는 기준 런(reference runs) 동안, 픽업 요소 위치 및/또는 자가-조절에 대한 기준 측정이 이루어질 수 있다. (짧은 프로세스 중단을 갖는 접촉 센서의 경우) 공간적인 위치 오류를 검출하기 위해, 프로세스를 시작할 때 그리고 열-관련 변위를 포함하는 프로세스 동안에, 비교적 길 수 있는 주기적인 기준 런이 요구된다.
장치의 일 변형 예에서, 부품-핸들링 장치가 작동되기 전에 자가-조절이 수행될 수 있다. 따라서, 제어기는 제1 터닝 장치와 제2 터닝 장치를 연속적으로 회전시키고, 광학 위치 및 특성 센서 및/또는 추가적인 위치 센서를 사용하여, 분배 지점에 대한 제1 터닝 장치의 개별적 픽업 요소 각각의 상대적 위치를 결정하고, 이송 위치에 대한 제2 터닝 장치의 개별적 픽업 요소 각각의 상대적 위치를 결정하며, 적재 지점에 위치하는 제2 터닝 장치의 픽업 요소에 대한 수용 지점의 상대적 위치를 결정하도록 구성된다. 제어기는 터닝 장치들을 연속적으로 회전시키는 것과, 적어도 모든 가능한 위치들이 적어도 한번 도달할 때까지, 터닝 장치들의 이송 위치에 대한, 서로에 대한, 그리고 수용 장치에 대한 상대적 위치를 결정하는 것을 반복하도록 구성된다. 제어기는 또한, 결정된 값들을 제어 테이블에 저장하도록 구성된다.
이송 위치에 대해 사전에 정의된 위치에 대한, 분배 지점에 위치하는 제1 터닝 장치의 픽업 요소의 결정된 위치 편차는 작동 중인 제1 터닝 장치에 대한 교정 벡터를 형성한다.
이송 지점의 반대편에 위치하는 제1 터닝 장치의 픽업 요소에 대해 사전에 정의된 위치에 대한, 제2 터닝 장치의 픽업 요소의 결정된 위치 편차는 제1 터닝 장치에 대한 교정 벡터에 더해져, 제2 터닝 장치에 대한 교정 벡터를 형성한다.
적재 지점의 반대편에 위치하는 제2 터닝 장치의 픽업 요소에 대해 사전에 정의된 위치에 대한, 수용 지점의 결정된 위치 편차는 제2 터닝 장치의 교정 벡터에 더해져 수용 장치에 대한 교정 벡터를 형성한다.
일 변형 예에서, 특히 터닝 장치의 자가-조절에 의해 결정되는, 특히 부품 이송 위치에 있는 픽업 요소들의 위치 오류와, (이송 위치 및 검사 위치에 있는) 픽업 요소들에 고정된 부품들의 위치 오류를 보상하기 위해, 회전 구동장치의 회전 교정 이동 및 축 방향으로의 선형 교정 운동이 직각으로 수행된다. 이를 위해, 일 변형 예에서는 회전 구동장치(rotor drive) 어셈블리 그룹이 슬라이드 상에 배치될 수 있으며, 예를 들어 편심 드라이브와 같은, 위치-제어 드라이브에 의해 제한된 경로 세그먼트로 이동될 수 있다.
부품-핸들링 장치의 일 변형 예에서, 복수의 픽업 요소의 터닝 장치와의 단단한 결합은 교정 값이 부품 이송 위치 또는 검사 위치로부터 순서상 다음 위치로 이송될 것을 요구한다. 이러한 교정들은 고정된 이송 위치에서 시작하여, 마지막 부품이 수용 지점에 이송될 때 완료할 수 있다. 따라서, 최대 3개 축을 따른 총 위치 오류(summary position errors)와 최대 3개 축에 대한 비틀림은 수용 장치에 의해 보상된다.
품-핸들링 장치의 일 변형 예에서는, 픽업 요소들은 각각의 터닝 장치에 회전 가능하게 장착되지 않는다. 따라서, 부품이 공급되는 동안에 부품들의 배향 오차가 보상될 수 없다. 그러므로 일 변형 예에서는, 하류 측 주변 영역, 특히 수용 장치에서 축 위치 교정 이외에도 회전 교정에 대한 가능성이 제공되어야 한다.
부품-핸들링 장치의 또 다른 변형 예에서는, 회전 가능하게 장착되는 픽업 요소들로 회전 교정이 수행된다. 따라서, 부품들이 공급되는 동안에 부품들의 배향 교정이 보상될 수 있다. 따라서, 위쪽 및/또는 아래쪽 터닝 장치의 회전 가능하게 장착되는 픽업 요소들에 의해, 바람직하게는 아래쪽 터닝 장치의 픽업 요소들에 의해 배향 오차가 교정된다.
본 명세서에서 제시되는 변형 예들은 선행 기술에 비해 비용이 적게 들고, 부품 처리량이 더 높고, 검사에 더 많은 시간이 소요되며, 이동 양(moving mass)이 적다.
부품-핸들링 장치의 자가-조절 방법은 다음 단계들을 구비한다.
- 적어도 하나의 광학 위치 또는 특성 센서에 의해, 적어도 2개의 서로 다른 검출 방향으로부터, 전달 장치와 그 지점에 위치하는 픽업 요소를 포함하여 분배 지점을 검출하는 단계,
- 적어도 하나의 광학 위치 또는 특성 센서에 의해, 적어도 2개의 서로 다른 검출 방향으로부터, 그 지점에 위치하는 제1 터닝 장치의 픽업 요소와 제2 터닝 장치의 픽업 요소를 포함하여 이송 지점을 검출하는 단계,
- 적어도 하나의 광학 위치 또는 특성 센서에 의해, 적어도 2개의 서로 다른 검출 방향으로부터, 그 지점에 위치하는 픽업 요소와 수용 지점을 포함하여 적재 지점을 검출하는 단계,
- 전달 장치에 대한, 분배 지점에 위치하는 픽업 요소의 위치를 결정하고, 사전에 정의된 픽업 요소의 위치로부터의 편차를 결정하는 단계,
- 제1 터닝 장치의 픽업 요소에 대한, 이송 지점에 위치하는 제2 터닝 장치의 픽업 요소의 위치를 결정하고, 제2 터닝 장치의 픽업 요소의 사전에 정의된 위치로부터의 편차를 결정하는 단계,
- 적재 지점에 위치하는 픽업 요소에 대한 수용 지점의 위치를 결정하고, 수용 지점의 사전에 정의된 위치로부터의 편차를 결정하는 단계,
- 사전에 결정된 편차들에 기초하여, 제1 터닝 장치에 대한 교정 벡터 및/또는 제2 터닝 장치에 대한 교정 벡터 및/또는 각각의 개별적 픽업 요소에 대한 교정 벡터 및/또는 수용 장치에 대한 교정 벡터를 결정하는 단계,
- 제1 터닝 장치 및/또는 제2 터닝 장치의 모든 가능한 이송 위치에 대해, 선행하는 방법 단계들을 모두 반복하는 단계,
- 픽업 요소들의 이송 위치에 대한, 서로에 대한, 그리고 수용 지점에 대한 상대적 위치를, 정의된 기준 지점에 대한 픽업 요소들의 상대적 위치와 비교함으로써, 센서들의 검출 품질을 체크하고 및/또는 픽업 요소들이 손상되지 않았는지 체크하는 단계. 기준 지점(제1 및 제2 터닝 장치 각각에 대해 하나씩 주어짐)에 대한 픽업 요소들의 위치는, (제1 터닝 장치에 대해서는) 분배 지점과 이송 지점 사이에, 또는 (제2 터닝 장치에 대해서는) 이송 지점과 적재 지점 사이에 위치하는 위치 및 특성 센서들에 의해 결정된다.
- 부품-핸들링 장치의 작동 중에, 픽업 요소들 및/또는 수용 지점의 결정된 위치와 사전에 정의된 위치 사이의 편차가 보완되도록 하는 방식으로, 제1 터닝 장치 및/또는 제2 터닝 장치 및/또는 수용 장치 및/또는 각각의 개별적 픽업 요소의 위치설정을 제어하는 단계.
보다 정확하게는, 회전 구동장치를 사용하여 적어도 부분적으로, 적재 지점을 포함하는 제3 축을 중심으로 제어된 방식으로 회전하고, 및/또는 적어도 하나의 선형 구동장치를 사용하여 적어도 부분적으로 제1 축, 제2 축, 및/또는 제3 축을 따라 제어된 방식으로 이동하고, 및/또는 회전 구동장치를 사용하여 제1 축 및/또는 제2 축 중 하나를 따라 수용 장치에 의해 안내되는 캐리어를 제어된 방식으로 이동시키는 수용 장치, 특히 전술된 유형의 부품-핸들링 장치에 대한 솔루션이 제공된다.
본 명세서에서 제시되는 솔루션은 수용 장치를 위치설정 및/또는 회전시킴으로써, 터닝 장치들의 위치 및 위치설정이 동시에 보상될 수 있도록 한다. 따라서, 설비의 부품 처리량이 종래 기술에 비해 증가될 수 있다. 종래 기술에서는, 적재 테이프의 테이프 구동장치가 느슨해지는 것(play)을 방지하기 위해, 구동장치들은 서로에 대해 조절되어야 했다. 본 명세서에서 제시되는 솔루션은 한 방향으로만 이송이 수행되기 때문에 이러한 것이 방지된다. 이는, 특히 캐리어 테이프의 포켓들이 점진적으로 접착제 커버 테이프로 폐쇄되는 적용 예에서 유용하다. 캐리어 테이프가 다시 역방향으로 이송된다면, 커버 테이프를 다시 분리해야 하는 경우 문제들이 발생할 수 있다. 따라서, 구동장치가 느슨해지는 것을 무시할 수 있다.
또 다른 변형 예에서는, 반대 방향으로 이송이 수행될 수도 있다.
부품의 위치 교정은 수용 장치에서 이루어진다. 따라서, 더 많은 시간을 사용할 수 있다. 부품들이 적재되는 테이프의 반송(return transport)은 더 이상 필요하지 않다. 따라서, 수용 장치는 보다 간단한 구조가 될 수 있다. 종래 기술에서와 같은 테이프의 반송을 위한 제2 구동 휠은 더 이상 필요하지 않다. 대신, 필요한 경우, 전체 수용 장치가 적재 테이프의 공급 방향에 반대로 이동된다. 이에 대한 이점은, 이송 테이프의 이송을 통해서만 위치설정이 이루어지는 종래의 공지된 변형 예와 비교하여, 테이프의 위치설정에 대해 정확도가 더 높다는 점이다. 따라서, 이송 테이프에 후속적으로 (자체-접착성) 커버 테이프를 도포하는 것 또한 보다 용이해질 수 있다.
일 변형 예에서, 수용 장치는 고정식 베이스 플레이트의 위에 배치되며, 베이스 플레이트의 아래에는 3개의 구동장치의 모터가 베이스 플레이트의 아래에 배치된다. 수용 장치의 위치는 X, Y 축으로 조절될 수 있고, Z 축에 대해 회전될 수 있다. 수용 장치의 각각의 이동 방향에 대해 각자의 구동장치를 구비한다. 개별적인 구동장치의 위치는 고정되지 않는다. Z-교정에 대한 회전축은 부품 적재 위치에 가깝거나 그 중심에 떨어진다.
수용 장치의 일 변형 예에서, 수용 장치는, 회전 구동장치 또는 선형 구동장치(들)의 제어된 배향에 의해, 적재 지점과 적어도 대략적으로 정렬하도록 배향되는 2개의 수용 지점을 구비한다. 2개의 수용 지점들은 캐리어의 이웃하는 부품 픽업 요소의 간격에 따라, 서로에 대해 위치되어야 한다.
수용 장치의 일 변형 예에서, 수용 장치의 적어도 하나의 수용 지점에 대한 특성 및/또는 위치와 관련하여, 수용될 부품의 특성 및/또는 위치를 결정하기 위해 이미징 특성 및/또는 위치 센서가 제공된다. 이러한 이미징 특성 및/또는 위치 센서는 아래쪽 터닝 장치 내에 또는 아래쪽 터닝 장치의 중심에 위치한다. 제어기는 이러한 센서로부터의 이미지 데이터를 사용하여, 수용될 부품 또는 수용 지점의 특성 결함 및/또는 위치 오류가 있는 경우에 대응하는 교정 이동을 행하기 위해, 교정 명령을 생성할 수 있다.
또 다른 변형 예에서, 2개의 추가적인 이미징 특성 및/또는 위치 센서가 수용 장치에 제공된다. 하나의 센서는 품질 결함을 검사하기 위해 위에서 제2 윈도우를 향한다. 다른 센서는 전술된 센서와 비교하여, 부품의 기울어짐을 보다 잘 검출 할 수 있도록 하기 위해, 측방향으로 제1 윈도우에 배치된다.
수용 장치의 일 변형 예에서, 제4 회전 구동장치는, 제어기로부터의 제어 신호의 제어 하에 기계적인 견인력(traction)을 이용하여, 제어된 방식으로 수용 장치에 의해 안내되는 캐리어를 제1 축 및/또는 제2 축을 따라, 캐리어의 이웃하는 부품 수용부들의 간격의 대략 80% 내지 120%, 바람직하게는 대략 100% ± 3%만큼 이동시키도록 구성된다. 회전 구동장치는 제어기로부터의 제어 신호의 제어 하에 그리고 이미징 특성 및/또는 위치 센서로부터의 신호에 따라, 적어도 하나의 수용 지점과 그 곳에 위치하는 캐리어의 부품 수용부를, 적재 지점을 포함하는 제3 축에 대해 제어된 방식으로, 최대 ± 6°, 바람직하게는 최대 ± 3°만큼 회전시키도록 구성된다. 더불어, 추가적으로 또는 대안적으로, 적어도 하나의 선형 구동장치는 제어기로부터의 제어 신호의 제어 하에, 제1 축, 제2 축 및/또는 제3 축을 따라 제어된 방식으로, 캐리어의 이웃하는 부품 수용부들의 간격의 대략 ± 20% 이하, 바람직하게는 최대 ± 3%만큼 수용 장치를 이동시키도록 구성된다.
수용 장치의 일 변형 예에서, 제4 회전 구동장치는 수용 장치에 의해 안내되는 캐리어를, 캐리어의 이웃하는 부품 수용부들의 간격에 따라, 제1 축 및/또는 제2 축을 따라 순방향으로 공급하도록 구성된다.
수용 장치의 일 변형 예에서는, 수용 장치의 수용 지점 및/또는 수용 장치에서 안내되는 캐리어 중 적어도 하나로부터 손상된 것으로 식별되는 부품 및/또는 부정확하게 배치된 것으로 식별되는 부품을 제거하기 위해, 흡입 및/또는 블로우-오프 장치가 제공된다.
수용 장치의 일 변형 예가 작동하는 동안, 제4 회전 구동장치에 의해 구동되는 스프로켓 휠이 적재 테이프의 이송 홀과 맞물려져, 이송 테이프를 공급 방향으로 이송시킨다. 스프로켓 휠은 순방향으로만 회전하는 것이 바람직하다. 적재 테이프는 일정한 간격으로 부품들을 위한 적재 포켓을 구비하는 것이 바람직하다. 스프로켓 휠은 각각의 적재 포켓에 대해 일정한 각도(예를 들어, 30°, 60°, 90°, 180° ... 360°)만큼 회전한다. 부품이 적재된 적재 포켓의 위치는 제2 터닝 장치의 중심에 있는 카메라에 의해 기록된 이미지로부터 알 수 있다. 또한, 제2 회전 장치의 외주에 있는 카메라로부터, 다음에 적재될 부품이 픽업 요소에서 위치를 벗어나는지를 알 수 있다. 이러한 위치 정보로부터, 수용 장치가 재배치되어야 하는 거리 및/또는 각도가 제어기에서 계산된다. 또한, 수용 장치의 위치설정은, 이송 지점에서 위쪽 터닝 장치로부터 아래쪽 터닝 장치로 부품을 정확하게 이송하기 위해 터닝 장치가 대응하게 x-방향 및 y-방향으로 이동될 것이라는 사실을 고려한다. 수용 장치는 필요한 경우, (x, y)축을 따라 선형으로 이동되고 경우에 따라서는 회전되어, 부품 적재의 미세 조절을 보장한다.
부품이 적재 위치에 적재될 때, 그 위에 배치되는 제2 터닝 장치의 중심에 있는 카메라는 부품이 결함이 있는지, 즉 적재할 때 부품이 손상되었는지 아니면 그 전에 이미 결함이 있었는지에 대한 여부를 검출한다. 부품이 그 이전부터 결함이 있었던 것으로 식별되는 경우, 그 부품은 적재되지 않는다.
수용 장치의 적재 위치는 동시에 제1 흡입 위치가 될 수 있다. 이를 위해, 부압을 갖는 흡입 장치가 수용 장치의 적재 위치에 배치된다. 이송 테이프의 공급 방향에는, 제2의 다른 흡입 위치가 있다. 즉, 수용 장치에는 2개의 윈도우가 제공되며, 제1 윈도우에는 적재 위치가 있고 제2 윈도우에는 흡입 위치가 있다. 2개의 윈도우 사이의 거리는 캐리어 테이프의 간격에 상응하며, 그 간격에 맞게 조정될 수 있다. 부품이 정확하게 똑바로 적재되지 않아 비뚤어지거나 부분적으로 돌출하는 경우, 이는 제2 터닝 장치의 중심에 있는 카메라에 의해 식별된다. 캐리어 테이프는 잘못 적재된 부품 때문에 더 이송될 수 없다. 따라서, 적재 위치에서 흡입에 의해 부품이 추출되고 적재될 다음 부품으로 교체된다. 부품이 손상된 경우, 그 부품은 유사하게 이 위치로부터 제거되어 적재될 다음 부품으로 교체될 수 있다. 제2 윈도우 위치에서는, -경우에 따라서 추가적인 카메라를 사용하여- 부품들의 결함에 대해 검사될 수 있다. 부품이 결함이 있는 것으로 식별되는 경우, 수용 장치 전체가 역방향으로 이동되어, 결함이 있는 것으로 식별된 부품이 적재 위치에서 흡입에 의해 추출된다.
대안적으로, 제2 흡입 위치는 결함이 있는 것으로 식별된 부품을 제거하는 데 사용될 수 있다.
본 명세서에서 제시되는 장치를 사용하면, 결함을 식별하기 위해 부품을 검사하는 것이 가능하다. 부품은 제1 터닝 장치 및 제2 터닝 장치에 의해 적재되어야 하며, 결함이 있는 것으로 식별된 부품은 적재 위치에서 제거되어야 한다. 이는 공통 위치에서 이루어진다.
수용 장치는 3개 방향, X-방향과 Y-방향으로, 그리고 적재 위치의 중심에 있는/중심에 근접한 수직(Z)축을 중심으로 이동한다. 이는, 캐리어 테이프가 이송 방향으로 공급되고 부품 posit을 위한 위치설정을 위해 수용 장치가 테이프 이송 방향에 수직으로 이동되는 종래의 구성과는 대조적이다. 적재 지점은 트레이(예를 들어, Jedec 트레이) 형태 또는 안테나 테이프일 수 있다.
대안적인 변형 예에서, 수용 장치는, 손상된 것으로 식별된 부품 및/또는 수용 장치의 적어도 하나의 수용 지점 및/또는 수용 장치에서 안내되는 캐리어로부터 잘못 배치된 것으로 식별된 부품을 제거하기 위해, 관련된 흡입 및/또는 블로우-오프 장치를 구비한다.
일 변형 예에서, 수용 장치는, 회전축이 수용 장치의 공급 방향에 실질적으로 평행하게 배향되는 터닝 장치로부터 부품들을 수용할 수 있거나, 또 다른 변형 예에서 수용 장치는, 회전축이 수용 장치의 공급 방향에 실질적으로 횡방향으로 배향되는 터닝 장치로부터 부품들을 수용할 수 있다.
일 변형 예에서, 수용될 부품의 특성 및/또는 위치를 결정하기 위해, 또는 수용 장치의 수용 지점 및/또는 그 곳에 위치하는 부품의 위치를 결정하기 위해, 이미징 특성 및/또는 위치 센서가 터닝 장치의 중심에 제공된다. 이 이미징 특성 및/또는 위치 센서는 터닝 장치의 외주에 위치하는 이웃하는 픽업 요소들 사이에서 수용 장치의 수용 지점들 중 적어도 하나의 이미지 획득을 수행하도록 구성된다.
대안적인 변형 예에서, 수용될 부품의 특성 및/또는 위치를 결정하기 위해, 또는 수용 장치의 수용 지점과 그 곳에 위치하는 부품의 위치를 결정하기 위해, 터닝 장치의 외측에 배치되는 이미징 특성 및/또는 위치 센서와 관련하여 편향 거울 또는 프리즘이 터닝 장치의 중심에 배치된다. 편향 거울 또는 프리즘은 터닝 장치의 외측에 배치되는 이미징 특성 및/또는 위치 센서와 함께, 터닝 장치의 외주에 위치하는 이웃하는 픽업 요소들 사이에서 수용 장치의 수용 지점들 중 적어도 하나의 이미지 획득을 수행하도록 구성된다.
수용 장치는 제어된 방식으로, 선형 구동장치에 의해 적어도 부분적으로 제1 축을 따라 적재 지점에 대해 양 방향으로 이동되어야 한다. 수용 장치에 의해 안내되는 캐리어는 제어된 방식으로, 회전 구동장치에 의해 캐리어의 공급 방향으로 제1 축 및/또는 제2 축을 따라 변위되어야 한다. 수용 장치에 의해 안내되는 캐리어는 2개의 수용 지점을 구비하고, 이들은 구동장치의 제어된 작동에 의해, 부품들을 위한 적재 지점과 적어도 대략적으로 정렬되도록 배향되어야 한다. 이미징 특성 및/또는 위치 센서는 그 특성 및/또는 위치에 대해 검사될 수용 장치의 적어도 하나의 수용 지점에 있는 부품의 특성 및/또는 위치를 제공한다. 특성 및/또는 위치 센서로부터의 이미지 데이터에 기초하여, 부품의 특성 결함 및/또는 위치 오차(fault)가 있는 경우, 수용 장치 및/또는 수용 장치에서 안내되는 캐리어의 대응하는 교정 이동을 행하기 위해, 제어기에 의해 교정 명령이 제공된다. 수용 장치는 손상된 것으로 식별되거나 및/또는 수용 장치의 적어도 하나의 수용 지점으로부터 및/또는 수용 장치에서 안내되는 캐리어로부터 잘못 배치된 것으로 식별되는 부품을 제거하기 위한 관련 흡입 및/또는 블로우-오프 장치를 구비한다. 또 다른 변형 예에서, 제1/제2 터닝 장치의 중심에 위치하는 이미징 위치 및/또는 특성 센서(들)은, 터닝 장치가 부품 이송을 위해 제공되는 위치(이송 위치)에 있는 동안, 수용 장치가 간접적으로 검출될 수 있도록 하는 반사기 장치(reflector arrangement)를 구비한다.
수용 장치로부터, 특히 전술된 구성/기능 모드를 구비하는 결함 부품을 제거하는 방법은 다음의 단계를 갖는다.
- 제1 수용 지점에서 부품을 위한 캐리어의 포켓에 잘못 적재된 부품을 검출하는 단계,
- 수용 장치에 의해 안내되는 캐리어를 공급하지 않고, 선형 구동장치를 사용하여 수용 장치를 공급 방향으로 이동시켜, 잘못 적재된 부품이 제2 수용 지점에 위치하도록 하는 단계,
- 부품을 위한 포켓으로부터 제1 수용 지점에 있는 잘못 적재된 부품을 흡입에 의해 추출하는 단계,
- 선형 구동장치를 사용하여 공급 방향과 반대 방향으로 수용 장치를 이동시켜, 수용 장치에서 안내되는 캐리어를 공급하지 않고, 부품을 위한 빈 포켓이 제1 수용 장치에 위치하도록 하는 단계,
- 제1 수용 지점에 있는 캐리어 포켓에 부품을 적재하는 단계.
전자 부품에 대한 크기는 감소하면서 동시에 품질 요구사항이 증가됨에 따라, 그리고 감소되는 프로세싱 시간 동안에 이들이 처리되기 때문에, 종래의 센서 장치는 불충분한 것으로 판단되었다.
따라서, 일 변형 예로서, 특히 전술된 유형의 부품-핸들링 장치에서 부품의 위치 및/또는 특성을 검출하기에 적합하고 그렇게 의도되는 이미징 센서가 제안된다. 이러한 이미징 센서는 적어도 2개의 서로 다른 검출 스팩트럼을 구비한다. 이는, 특히 수용 장치의 수용 지점에 위치하는 부품의 특성 결함 및/또는 위치 오류를 검출하기에 적합하고 그렇게 의도된다. 이러한 이미징 센서는 방사선 스팩트럼과 방사선 입사각 및/또는 이와 관련된 방사선 반사각과 관련하여, 이미징 센서에 매칭되는 방사선원과 협동하기에 적합하여 그렇게 의도된다. 이미징 센서는 각각의 검출 스팩트럼에 대한 하류 측 이미지 평가 유닛에 개별적 이미지를 제공하기에 적합하며 그렇게 구성된다.
이러한 이미징 센서에서, 적어도 2개의 상이한 검출 스팩트럼은, 예를 들어 가시 범위 및 비-가시 범위로 구성된다. 이들은 적색 범위(630nm ± 30nm) 및/또는 녹색 범위(530nm ± 60nm) 및/또는 청색 범위(460nm ±50nm)의 색상 센서로서 구성될 수도 있다.
이미징 센서의 일 변형 예에서, 수용 장치의 적어도 하나의 수용 지점에 있는 부품 및/또는 수용 장치에서 안내되는 캐리어와 센서를 결합하도록 광학적으로 적응되는 광학 활성 요소가 제공된다.
이미징 센서의 일 변형 예에서, 광학 활성 요소들은 편향 거울, 프리즘, 컬러 필터 및/또는 렌즈를 포함한다.
일부 광학 활성 요소 및/또는 일부 방사선원은 다른 요소들과 독립적으로 활성화, 배향 및/또는 조절/포커싱되도록 구성될 수 있다.
본 명세서에 개시되는 통합형 핸들링/검사 장치는, 한편으로는 부품의 모든 또는 거의 모든 단부면 및/또는 측면(들)을 검사하고, 다른 한편으로는 제1 및/또는 제2 터닝 장치와 수용 지점에서의 매니퓰레이터(픽업 요소)의 위치설정을 위해 관련 데이터를 제공하는 이미징 센서를 사용한다.
일 변형 예에서, 제1(위쪽) 터닝 요소의 이미징 센서는 터닝 장치의 중심에 있는 컬러 카메라이다. 대안적으로, 카메라는 흑백 카메라일 수도 있고, 이는 또 다른 변형 예에서 터닝 장치의 중심에 있는 45° 편향 거울과 측방향으로 협력한다. 일 변형 예에서, 이 카메라는 위쪽 터닝 장치의 2개의 픽업 요소 사이의 간격만큼의 회전 동안, 부품 공급부로부터 부품 이젝터에 의해 분리되는 부품을 검출한다. 이렇게 획득된 이미지로부터, 부품을 검사하고 부품 공급부의 정확한 위치를 결정하는 것이 가능하다. 이미지 획득은 위쪽 터닝 장치의 회전 동안에, 관측 윈도우로서 지칭되는 기간에 수행된다. 또 다른 변형 예에서, 제1(위쪽) 터닝 장치의 중심에 위치되는 카메라는, 터닝 장치가 부품 이송을 위해 제공되는 위치(이송 위치)에 있는 동안에, 부품 이젝터가 간접적으로 검출될 수 있도록 하는 미러 장치를 구비한다.
본 명세서에 개시되는 통합형 핸들링/검사 장치는 위쪽 터닝 장치의 측면 카메라 형태로 이미징 센서들을 추가적으로 사용한다. 이들 카메라는 위쪽 터닝 장치의 외측에 반경방향으로 약 90°로 배치되어, 부품의 정면이 중간 카메라에 의해 부품의 원형 경로에서 검출되고, 상호 반대 측면들은 중간 카메라의 양 측면에 의해 검출된다. 이들 카메라는 컬러 카메라일 필요는 없다. 위쪽 터닝 장치는 180° 위치에서 후속 부품 이송을 위해 짧은 시간(10ms 내지 60ms, 예를 들어 40ms) 동안 정지하기 때문에, 복수의 이미지 획득이 준비될 수 있다. 이러한 짧은 정지 시간은 검사에는 충분한 시간이다. 이러한 목적으로 흑백 카메라가 사용될 수도 있다. 2개의 측면 카메라에 의한 측면 검사로, 부품의 단부면들이 손상되었는지 체크된다. 중간 카메라에 의한 후면 검사로, 부품의 후면이 손상되었는지 체크된다. 다양한 결함을 강조하기 위해, 후면 검사에 대해 복수의 이미지 획득이 이루어질 수 있다. 여기서 사용되는 카메라들도 마찬가지로 컬러 카메라일 수 있다. 하지만, 이는 전술된 바와 같이 정지 기간 때문에 충분한 시간이 있기 때문에 절대적으로 필수적인 것은 아니다.
본 명세서에 개시되는 통합형 핸들링/검사 장치는 아래쪽 터닝 장치의 측면 카메라 형태로 이미징 센서들을 추가적으로 사용한다. 이들 카메라는 아래쪽 터닝 장치의 외측에 반경방향으로 약 90°로 배치되어, 부품의 정면이 중간 카메라에 의해 부품의 원형 경로에서 검출되고, 상호 반대 측면들은 중간 카메라의 양 측에 배치되는 카메라에 의해 검출된다. 이들 카메라는 컬러 카메라일 필요는 없다. 대신, 흑백 카메라들이 사용될 수도 있다. 이 지점에서, 부품은 결함에 대해 체크되고, 이미지 데이터들은 위치 데이터를 위해 평가된다. 2개의 측면 카메라에 의한 측면 검사로, 부품은 그 단부면(cut face)에 있는 손상에 대해 체크된다. 중간 카메라에 의한 후면 검사로, 부품의 후면에 손상에 대해 체크된다. 다양한 결함을 강조하기 위해, 복수의 이미지 획득이 수행될 수 있다. 수용 장치에서 부품의 후속 적재를 위해, 측면 검사로 부품의 위치 데이터(x, y, 비틀림)가 결정될 수 있다. 또 다른 변형 예에서, 이러한 목적으로 후면 검사가 사용된다. 이러한 정보는 임의의 교정을 수행하기 위해 제어기에 의해 사용된다. 여기서 사용되는 카메라도 마찬가지로 컬러 카메라일 수 있다. 하지만, 이는 정지 시간 동안 충분한 시간이 있기 때문에 절대적으로 필수적인 것은 아니다.
본 명세서에 개시되는 통합형 핸들링/검사 장치는 아래쪽 터닝 장치의 중심에 카메라 형태로 이미징 센서를 사용한다. 이 카메라는 3개의 단일 채널(R, G, B)을 구비하는 컬러 카메라일 수 있다. 3-칩 컬러 카메라가 사용되거나 1-칩 컬러 카메라가 사용되는지는 중요하지 않다. 3-칩 카메라는 각각의 컬러(R, G, B)에 대해 별도의 이미지 센서를 구비한다. 1-칩 카메라는 이미징 센서의 전방에 교대로 활성화되는 필터를 사용한다. 여기서 사용될 수 있는 흑백 카메라는, 예를 들어 225 그레이 스테이지를 구비하는 하나의 채널을 구비할 수 있으며, 컬러 카메라에서는 3개의 채널 각각이, 예를 들어 255개의 컬러 명암도(intensity level)을 갖는다. 카메라의 3개의 컬러 채널이 서로로부터 어드레스 가능/판독 가능하거나, 3개의 컬러 채널은 제어기에 이해 적어도 분리될 수 있다. 각각의 채널에 대해 상이한 노출 시간이 적용될 수 있다. 예를 들어 다음과 같은 노출 시간이 사용될 수 있다: 5mn(녹색), 12ms(적색), 15ms(청색). 특정 경우에 활성화되는 컬러 채널에 따라, 본 명세서에 개시되는 통합형 핸들링/검사 장치에서 다양한 조명 컬러들이 사용될 수도 있다. 백색광은 모든 색상이 혼합된 것이므로, 모든 채널이 이 조명 컬러와 함께 동시에 어드레스될 수 있다. 하지만, 이는 달성 가능한 이미지 품질이 요구사항을 만족하지 못하는 경우, 수행되지 않는다.
일 변형 예에서, 이미징 센서는, 카메라 칩의 광학 축에 대해 약 45° 각도로 배치되고, 대응하는 광원으로부터의 2개의, 복수의 또는 원하는 수의 검출 스팩트럼의 컬러 광을 광학적으로 결합하여 이를 검사 영역을 향하도록 하는 역할의 관련 반투명 거울을 구비한다. 검사 영역, 즉 부품 단부면 또는 측면 및 선택적으로 포켓 내의 부품의 둘레를 향하는 이 광은, 그곳에서 반사되어 이미징 센서의 적어도 하나의 카메라 칩에 의해 검출된다.
일 변형 예에서, 검사 영역 둘레에 환형 광원 형태의 관련 광원을 추가적으로 구비한다. 이 환형 광원은 제3 컬러 범위에서 대략 5° 내지 45°의 각도로 산란된 광을 전달한다. 검사 영역을 향하는 이 광 또한 그곳에서 반사되어, 이미징 센서의 적어도 하나의 카메라 칩에 의해 검출된다. 다양한 컬러의 광 또는 광원은 원하는 대로 배치될 수 있고, 또는 동일한 방사 각도를 가질 수 있다.
본 명세서에 개시되는 통합형 핸들링/검사 장치는 수용 장치의 동축 조명에서 결합하기 위해, 아래쪽 터닝 장치의 중심에 편향 거울을 사용한다. 보다 정확하게는, 수용 장치에 의해 안내되는 부품들을 위한 적재 포켓들을 갖는 적재 테이프 형태의 캐리어가 카메라에 의해 검출된다. 단일 이미지 획득에 의해, 예를 들어 부품이 비뚤어진 적재로 부품이 적재 포켓 내에 똑바로 위치되지 않는지에 대해 또는 품질 결함에 대해, 결함 검사가 수행된다. 또한, 이러한 단일 이미지 획득에 의해, 다음 부품의 적재를 위한 적재 테이프의 적재 포켓의 위치 데이터가 검출된다. 개별적인 컬러 채널로부터 획득되는 정보는, 예를 들어 다음과 같은 검사될 인자들에 따라 원하는 대로 분할될 수 있다. 조명 유형 1을 갖는 이미지 채널 1: 다음 부품의 위치설정을 위한 적재 테이프의 적재 포켓의 위치. 조명 유형 2를 갖는 이미지 채널 2: 부품의 품질 검사(크랙, 레이저 마크, 브레이크-아웃). 조명 유형 3을 갖는 이미지 채널 3: 특수 부품 또는 고객-특정 결함을 위한 추가적인 검사.
통합형 핸들링/검사 장치의 일 변형 예에서, 부품은 "블라인드(blind)"로 적재된다. 즉, 실제 적재 과정은, 적재 과정 이전에 선행하는 부품과 관련된 이미지로부터 획득되는 정보 또는 위치 데이터에 기초한다. 적재 과정 중에는, 제2 터닝 장치의 중심에 있는 카메라가 적재 위치를 보지 못하는데, 이는 그 시점에 적재하는 픽업 요소에 의해 뷰가 차단되기 때문이다.
일 변형 예에서, 부품이 비틀어져 있는지에 대한 정보 또는 위치 데이터는 아래쪽 터닝 장치의 외주에 있는 카메라에 의해 제공된다. 이 정보 또는 위치 데이터는 수용 장치의 제어기에 전달된다. 수용 장치의 위치는 이전에 적재 테이프의 적재 포켓에 적재된 부품의 이미지로부터 알 수 있다. 2개의 포켓 사이의 거리 또한, 알 수 있다. 이로부터, 다음에 적재되는 부품을 위해 수용 장치가 이동되어야 하는 각도와 x-값 및 y-값이 계산될 수 있다.
추가적인 장치 양태들로부터, 대응하는 추가적인 또는 대안적인 방법 단계들이 이어진다.
본 명세서에 제시되는 이미징 센서 시스템의 배열은 종래의 센서 배열보다 더 적은 이미지 획득으로 조작될 수 있다. 획득된 이미지 데이터는 불량 부품의 배출 및 핸들링/검사 장치의 액추에이터의 위치설정 모두에 대해 평가될 수 있다. 이러한 통합형 구조 및 그로 인해 가능한 과정은 프로세싱 시간을 줄이고, 처리량 증가와 함께 향상된 검사 품질을 제공한다.
첨부된 도면들을 참조한 이하의 설명으로부터 추가적인 특징들, 특성들, 장점들 및 가능한 변경들이 통상의 기술자에게 명백해질 것이다. 도면들은 부품을 위한 광학 검사 장치를 개략적인 형태로 도시한다.
도 1은 자가-조절 장치를 구비하는 부품-핸들링 장치의 개략적인 측면도를 나타내며, 부품-핸들링 장치는 각주형 또는 원통형 부품들을 구조화된 부품 공급원으로부터 취출하여 수용 장치에 적재하기 위한 제1 터닝 장치를 포함한다.
도 2는 부품의 측면들과 관련하여, 도 1의 부품-핸들링 장치의 다양한 위치 및 특성 센서의 방향을 개략적으로 나타낸다.
도 3은 부품-핸들링 장치의 하나 또는 두 터닝 장치들의 주변부에 배치되는 위치 및 특성 센서들 중 하나의 개략적인 평면도를 나타낸다.
도 4는 부품-핸들링 장치와 함께 사용하기 위한 수용 장치의 개략적인 사시도를 나타낸다.
도 5는 부품-핸들링 장치와 함께 사용하기 위한, 연관된 조명 장치를 구비하는 위치 및 특성 센서 중 하나를 개략적으로 도시한다.
도 1은 구조화된 부품 공급원으로부터 전자 반도체 침 형태의 각주형 부품(B)을 취출하고 수신 장치(200)에 적재하는 부품-핸들링 장치(100)를 도시한다. 본 명세서에서 제시되는 부품-핸들링 장치(100)는, 부품-핸들링 장치의 위쪽 영역에 수평으로 배치되는 부품 공급원(여기서는 웨이퍼)으로부터 고정식 이젝션 유닛(ejection unit)(110)을 사용하여 부품(B)를 취한다.
이젝션 유닛(110)은, 부품 공급원으로부터 부품들을 하나씩 해제(free)시켜 부품들이 제1 터닝 장치(130)로 이송되도록 하기 위해, 도시된 예시의 제어기(ECU)에 의해 제어되는 니들로 작동하거나, 비접촉 방식으로 레이저 빔으로 작동한다. 이러한 제1 터닝 장치(130)는 별 또는 휠 형상을 가지며, 그 주변에 단수화된 부품(B)들을 위한 복수(도시된 예시에서는 8개)의 픽업 요소(132)를 구비한다. 각각의 픽업 요소(132)는, 이젝션 유닛(110)에서 가장 가까운 제1 터닝 장치(130)의 0° 위치에 위치될 때, 분배 지점(SPS)에서, 구조화된 부품 공급원으로부터 부품을 수신하도록 구성된다.
픽업 요소(132)들은 별-형상 또는 휠-형상의 제1 터닝 장치(130)의 (가상의) 외주에, 반경 방향으로 외측을 향하도록 배치된다. 제1 터닝 장치(130)의 픽업 요소(132)들은 회전축(여기서는 X축)에 대해 반경 방향으로 이동 가능하다. 따라서, 픽업 요소(132)들은 부품(B)들을 공급할 수 있으며, 각각의 부품은 부품 취득과 이송 사이의 선회 각도(여기서는, 0° 와 180° 사이) 내에서는 픽업 요소(132)들 중 하나에 각각 고정된다.
아주 상세하게는 도시되지 않은 제어기(ECU)에 의해 제어되는 제1 터닝 장치(130)는 제1 축(여기서는 X축)을 중심으로 소정의 제1 각도(여기서는, 180°)까지 부품(B)을 회전시킨다. 이에 따라, 부품(B)은 부품의 종축 또는 횡축을 중심으로 회전하게 된다. 제1 터닝 장치(130)와 유사하게 복수(여기서는 8개)의 제2 픽업 요소(12)들을 구비하는 제2 터닝 장치(150)가, 부품이 이송 지점(US)에서 가장 가까운 제2 터닝 장치(130)의 0° 위치에 위치될 때, 부품(B)을 수용하도록 구성된다.
제어기(ECU)에 의해 제어되는 제2 터닝 장치(150)는 제2 축(여기서는 Y축)을 중심으로 소정의 제2 각도(여기서는 약 180°)까지 수용된 부품(B)의 종축 또는 횡축을 중심으로 부품(B)을 회전시켜, 적재 지점(ABS)에 공급한다.
또 다른 변형예에서, 마찬가지로 자세하게 도시되지는 않은 제어기(ECU)에 의해 제어되는 제1 터닝 장치(130)는 마찬가지로 제1 축(여기서는 X축)을 중심으로 소정의 제1 각도(여기서는 180°)까지 부품(B)을 회전시킨다. 마찬가지로, 이로 인해 부품(B)은 부품의 종축 또는 횡축을 중심으로 회전되지만, 제2 터닝 장치(150)로 이송되는 것이 아니라, 적재 지점(ABS)으로 바로 공급된다.
제1 축, 제2 축 및/또는 제3 축의 각각은 서로에 대해 90° 플러스/마이너스 10° 또는 15° 이하의 각도로 둘러싸고, 3차원 직교 좌표계에 따라 배향된다.
2개의 별-형상 또는 휠-형상의 터닝 장치(130, 150)는 서로에 대해 직각으로 배치되거나, 그 구성 측면에서 서로 일치한다. 도 1의 대표 예로부터 시작해서, 수용 장치(200)의 공급 방향에 대한 2개의 터닝 장치(130, 150)의 배열은 Z축에 대해 90°까지 회전될 수도 있다. 이 경우, 아래쪽 터닝 장치(150)는 적어도 대략적으로 수용 장치(200)의 공급 방향을 가로지르도록 배향된다.
제1 터닝 장치(130) 및 제2 터닝 장치(150)는 관련된 위치 센서(K1 ... K4) 및 특성 센서(K7 ... K11)를 구비한다. 도 1에 도시된 바와 같이, 이들 센서는 전체적으로 장치의 복수의 지점에 배치된다. 이들은 제1 터닝 장치(130) 및 제2 터닝 장치(150)의 위치 데이터, 픽업 요소(132, 152)에 위치하는 부품(B)의 위치 데이터 및 픽업 요소(132, 152)에 위치하는 부품(B)의 특성들을 검출하도록 구성된다. 이렇게 획득된 데이터는 제어기에 제공된다. 여기에 도시된 실시예에서, 제1 터닝 장치(130)의 중심에 있는 제1 카메라 장치(K1)는 수직으로 위쪽, 부품 공급원을 향한다. 이로 인해, 카메라 장치(K1)는 카메라 및 서로 직각으로 배치되는 2개의 거울을 포함하며, 상기 거울들은 X축 및 Y축으로 확장되는(spanned) 평면에 대해 45°로 각각 장착된다. 이들 거울은 분배 지점(SPS), 이젝션 유닛(110) 그리고 분배 지점(SPS)에 위치하는 픽업 요소(132)들이 제1 검출 방향 및 제2 검출 방향으로부터 간접적으로 검출될 수 있도록 한다. 거울들은 두 검출 방향이 서로 직교하도록 배치된다.
제1 터닝 장치(130)의 외주에 3개의 카메라(도 1에는 도시되지 않음)를 구비하는 제2 카메라 장치(K2)는 그 곳을 지나도록 안내되는 부품(B)의 위를 90°로 향한다. 이 제2 카메라 장치(K2)에 대한 자세한 사항은 도 3과 관련하여 설명될 것이다. 제2 카메라 장치(K2)에 대응하는, 3개의 카메라를 제2 터닝 장치(150)의 외주에 구비하는 제3 카메라 장치(K3)는 그 곳을 지나도록 안내되는 부품(B)의 위를 90°로 향한다. 카메라 장치(K2, K3)들 각각은, 사전에 정의되는 기준 지점으로부터 지나가도록 안내되는 픽업 요소(132, 152)의 위치 편차를 결정하는 데 적합하다.
제2 터닝 장치(150)의 중심에 있는 제4 카메라 장치(K4)는 적재 지점(ABS) 또는 수용장치(200)의 제1 수용 지점(ES1)을 향한다. 카메라 장치(K4)는 카메라 및 서로 직각으로 배치되는 2개의 거울을 포함하며, 이들 거울은 X축 및 Y축으로 확장되는 평면에 대해 45°로 각각 장착된다. 이들 거울은 적재 지점(ABS)과 수용 지점(ES1), 그리고 적재 지점(ABS)에 배치되는 픽업 요소(152)가 제1 검출 방향 및 제2 검출 방향으로부터 간접적으로 검출될 수 있도록 한다. 거울들은 두 검출 방향이 서로 직교하도록 배치된다.
제1 터닝 장치(130)의 중심에 있는 제7 카메라 장치(K7)는 이송 지점(US) 및 제1 터닝 장치와 제2 터닝 장치의 픽업 요소(132, 152)들을 향한다. 카메라 장치(K7)는 카메라 및 서로 직각으로 배치되는 2개의 거울을 포함하며, 이들 거울은 X축 및 Y축으로 확장되는 평면에 대해 45°로 각각 장착된다. 이들 거울은 이송 지점(US) 및 이송 지점에 배치되는 픽업 요소(132, 152)들이 제1 검출 방향 및 제2 검출 방향으로부터 간접적으로 검출될 수 있도록 한다. 거울들은 두 검출 방향이 서로 직교하도록 배치된다.
제1 터닝 장치(130)로부터 수용 장치(200)로 부품들이 이송되는 변형 예에서, 카메라 장치(K7)는 동일한 구조의 카메라 장치(K4)를 기능적으로 대체한다.
부품(B)들이 제1 터닝 장치(130)로부터 직접적으로 수용 지점(ES1)에 이송되는 변형 예에서, 제1 터닝 장치(130)의 중심에 있는 카메라 장치(K7)는 적재 지점(ABS)과 수용 장치(200)의 제1 수용 지점(ES1)을 향한다. 카메라 장치의 거울들은 2개의 서로 직교하는 검출 방향으로부터 수용 장치(200)의 수용 지점(ES1)의 검출이 가능하도록 배열된다.
제2 터닝 장치(150)의 중심에 있는 제11 카메라 장치(K11)는 이송 지점(US)과 제1 터닝 장치 및 제2 터닝 장치의 픽업 요소(132, 152)들을 향한다. 카메라 장치(K11)는 카메라 및 서로 직각으로 배치되는 2개의 거울을 포함하며, 이들 거울은 X축 및 Y축으로 확장되는 평면에 대해 45°로 각각 배치된다. 이들 거울은 제1 검출 방향 및 제2 검출 방향으로부터 이송 지점과 이송 지점(US)에 위치하는 픽업 요소(132, 152)들이 간접적으로 검출될 수 있도록 한다. 거울들은 2개의 검출 방향이 서로 직교하도록 배치된다.
제어기(ECU)는 제1 회전 구동장치(DA1)를 사용하여 제1 축(여기서는, X축)을 중심으로 제1 터닝 장치(130)를 제어된 방식으로 회전시키고, 제1 선형 구동장치(LA1)를 사용하여 제1 축을 따라 제어된 방식으로 제1 터닝 장치(130)를 이동시키도록 구성된다.
또한, 제어기(ECU)는, 제2 회전 구동장치(DA2)를 사용하여 제1 축과 동일 선상에 있지 않은 제2 축(여기서는, Y축)을 중심으로 제2 터닝 장치(150)를 제어된 방식으로 회전시키고, 제2 선형 구동장치(LA2)를 사용하여 제2 축을 따라 제어된 방식으로 제2 터닝 장치(150)를 이동시키도록 구성된다.
이미징 센서들은 부품(B)의 단부면 및/또는 측면(들)을 검사하고, 제1 터닝 장치(130)와 제2 터닝 장치(150)의 축을 따라서, 그리고 축을 중심으로 위치 관련 데이터를 제공하고, 픽업 요소(132, 152)들과 그곳에 위치하는 부품(B)들, 그리고 수용 지점에 대한 데이터를 제공한다. 제1 터닝 장치(130)와 제2 터닝 장치(150) 그리고 픽업 요소(132, 152)들의 위치 설정 데이터는 특히, 장치의 자가-조절 동안에도 사용될 수 있다.
제1 터닝 장치(130)와 제2 터닝 장치(150)의 외주에 2개의 카메라(도 1에는 도시되지 않음)를 구비하는 카메라 장치(K8)는 2개의 상이한 검출 방향으로부터 분배 지점(SPS)을 향한다. 카메라들은 각각, X축 및 Y축으로 확장되는 평면에서 서로에 대해 90° (플러스/마이너스 10° 또는 15° 이하)으로 오프셋되도록 배치되며, 카메라들이 이젝션 유닛(110)과 픽업 요소(132)를 적어도 부분적으로 검출하도록 분배 지점(SPS)을 향한다. 카메라 장치(K8)는 (이러한 목적을 위해 필수적인) 2개의 개별적인 카메라의 실질적으로 직각인 배열로 인해, X축, Y축 및 Z축을 따라 이젝션 유닛(110)에 대한 픽업 요소(132)의 위치를 결정할 수 있다.
제1/제2 터닝 장치(130, 150)의 외주에 2개의 카메라(도 1에는 하나만 도시됨)를 구비하는 카메라 장치(K9)는 2개의 상이한 검출 방향으로부터 적재 지점(ABS)을 향한다. 카메라들은 각각, X축 및 Y축으로 확장되는 평면에서 서로에 대해 90°(플러스/마이너스 10° 또는 15° 이하)로 오프셋되도록 배치되며, 카메라들이 픽업-요소들(132, 152)과 수용 지점(ES1) 모두를 적어도 부분적으로 검출하도록 적재 지점(ABS)을 향한다. 카메라 장치(K9)는 (이러한 목적으로 위해 필수적인) 2개의 개별적 카메라의 실질적으로 직각인 배열로 인해, X축, Y축 및 Z축을 따라 픽업 요소들(132, 152)에 대한 수용 지점(ES1)의 위치 편차를 결정할 수 있다.
제1/제2 터닝 장치(130, 150)의 외주에 2개의 카메라(도 1에는 하나만 도시됨)를 구비하는 카메라 장치(K10)는 2개의 상이한 방향으로부터 이송 지점(US)을 향한다. 카메라들은 각각, X축 및 Y축으로 확장되는 평면에서 서로에 대해 90°(플러스/마이너스 10° 또는 15° 이하)로 오프셋되도록 배치되며, 카메라들이 픽업 요소(132)와 픽업 요소(152) 모두를 적어도 부분적으로 검출하도록 이송 지점(US)을 향한다. 카메라 장치(K10)는 (이러한 목적을 위해 필수적인) 2개의 개별적인 카메라의 실질적으로 직각인 배열로 인해, X축, Y축 및 Z축을 따라 픽업 요소(132)에 대한 픽업 요소(152)의 위치를 결정할 수 있다.
부품-처리 장치(100)는 공급되는 부품(B)을 위한 적재 지점(ABS)과 관련된 수용 장치(200)를 구비한다. 수용 장치(200)는, 적재 지점(ABS)에 공급되는 부품(B)의 위치 데이터, 수용 장치(200)의 수용 지점들(ES1, ES2)과 그 곳에 위치하는 부품들의 위치 데이터 및 특성들을 검출하고 그것들을 제어기(ECU)에 제공하도록 구성되는 관련 위치 및 특성 센서(K4/K7, K5)를 구비한다.
위치 및 특성 센서(K5)는 제5 카메라 장치이며, 제2 창에서 제2 수용 지점(KS2)을 향한다. 제어기(ECU)는 제3 회전 구동장치(DA3)를 사용하여 적재 지점(ABS)을 포함하는 제3 축(여기서는, Z축)을 중심으로 수용 장치(200)를 제어된 방식으로 회전시키고, 제3 선형 구동장치(LA3) 및 제4 선형 구동장치(LA4)를 사용하여 제1 축 및 제2 축을 따라 제어된 방식으로 수용 장치를 이동시키도록 구성된다. 제어기(ECU)는 제4 회전 구동장치(DA4)를 사용하여, 제1 축(여기서는 X축)을 따라 수용 장치(200)에 의해 안내되는 캐리어(320)를 제어된 방식으로 이동시킨다. 상기 캐리어(320)는 터닝 장치(130, 150)로부터 부품(B)을 단일화된 형태로 픽업하도록 작동한다(serve). 터닝 장치(130, 150)들 및 회전 구동장치(DA1, DA2, ...)들은 각각, 각각의 회전 위치를 결정하기 위해 제어기(ECU)에 연결되는 고해상도의 회전 각도 인코더(자세하게 도시되지 않음)를 구비한다.
수용 장치(200)에서 제4 회전 구동장치(DA4)는, 제어기(ECU)로부터의 제어 신호들의 제어 하에, 제1 축(여기서는 X축)을 따라서 제어된 방식으로, 수용 장치(200)에 의해 안내되는 캐리어(320)를 캐리어(320)의 이웃하는 부품 수용부(포켓)의 간격(spacing)의 약 100%(플러스/마이너스 3% 이하)만큼 변위시키도록 작동한다. 간격은 2개의 연속하는 포켓의 중심 간의 거리로서 주어진다. 제3 회전 구동장치(DA3)는, 제어기(ECU)로부터의 제어 신호의 제어 하에, 그리고 제2 터닝 장치(150)의 중심에 있는 이미징 특성 및 위치 센서로부터의 신호에 따라서, 또는 변형 예에서는 제1 터닝 장치(130)의 중심에 있는 이미징 특성 및 위치 센서로부터의 신호에 따라서, 캐리어(320)에 위치하는, 적재 지점을 포함하는 부품 수용부를 구비하는 수용 지점(ES1)들을 Z축을 중심으로 플러스/마이너스 6°만큼 회전하도록 구성된다.
도 4에 도시된 변형 예에서, 수용 장치(200)의 제4 회전 장치(DA4)는, 캐리어(320)(적재 테이프)를 공급 방향으로 이송하기 위해 캐리어(320)의 이송 홀(325)에 맞물리는 스프로켓 휠을 구비한다. 스프로켓 휠은 순방향으로만 회전하는 것이 바람직하다.
이 변형 예에서, 흡입 및/또는 분출(blow-off) 장치가 수용 지점(ES1)에 대해 하류 측에 제공된다. 하지만, 이는 옵션적인 것이다. 결함이 있거나 잘못 놓여진 것으로 식별되는 부품(B)들은 이 장치로 인해, 제어기(ECU)로부터의 제어 신호의 제어 하에 포켓으로부터 제거된다.
픽업-요소(132, 152)들로 부품(B)을 흡입하고, 픽업-요소(132, 152)들에서 부품(B)을 유지하고, 제어된 분출 펄스(blow-off pulse)로 또는 이러한 펄스 없이 부품(B)을 적재하며, 픽업 요소(132, 152)로부터 부품(B)을 자유롭게 분출시키기 위해, 요소들은 공압 유닛에 연결된다. 제어기(ECU)에 의해 제어되는 공압 유닛은 부품(B)을 개별적으로 픽업하고 유지하여 다시 적재하기 위해, 필요한 시점에 또는 필요한 시간 동안 밸브 제어 하에서 개별의 픽업 요소(132, 152)에 과압 또는 부압을 가한다.
제어기(ECU)와 위치 및 특성 센서에 의해 개별적인 스테이션에서 획득되는 검사 결과가 긍정적인 경우, 해당 부품(B)은 수용 지점(ES1), 즉 현재 적재 지점(ABS)에 위치하는 캐리어(320)의 포켓에 적재된다. 획득된 검사 결과가 부정적인 경우, 부품(B)은 제1 흡입 장치(330)로 추가적인 위치만큼 더 회전되며, 부품은 제1 터닝 장치(130) 또는 제2 터닝 장치(150)의 픽업 요소(132, 152)로부터의 흡입에 의해 착출(extracted)된다. 적재 이후에, 위치 및 특성 센서에 의해, 적재된 부품(B)이 위치 오류 또는 특성 결함이 있는 것이 명백해지면, 해당 부품은 수용 지점(ES1)에 대해 하류 측에 위치하는 제2 흡입 장치(340)에 의한 흡입으로 캐리어(320)의 포켓으로부터 제거된다. 이 경우, 캐리어(320)와 함께 전체 수용 장치(200)는 제어기(ECU)에 의해 제어되어, 제3 선형 구동장치 유닛(LA3)에 의해 캐리터(320)의 공급 방향의 역방향으로, 캐리어(320)의 2개의 포켓 간의 중심 간 거리만큼 이동된다. 그러면, 터닝 장치(130, 150)에 있는 다음 부품(B)이, 비워진 캐리어(320)의 포켓으로 도입된다.
추가적인 변형 예에서, 자세하게 도시되지는 않았지만, 비뚤어진(crooked) 부품을 수용 지점(ES1)에서 흡입으로 제거하도록 추가적인 흡입 장치가 제1 수용 지점(ES1)과 연관된다. 제2 윈도우에서, 위치 및 특성 센서(K4/K7) 또는 위치 및 특성 센서(K5)에 의해 어떠한 품질 결함이라도 검출될 수 있다. 위치 및 특성 센서(K5)가 품질 결함을 검출한 경우, 수용 장치(200)는 캐리어(320)와 함께 역방향으로 이송되고, 적재 지점에 있는 캐리어(320)의 포켓으로부터 해당 부품(B)이 흡입에 의해 제거된다. 수용 지점(ES1)에서 비뚤어진 부품의 기울어짐(tilting)이 수용 지점(ES1)과 연관되는 위치 및 특성 센서(K6)(자세하게 도시되지 않음)에 의해 검출될 수 있다. 이 위치 및 특성 센서(K6)는 캐리어(320)의 측면에 배치되어, 캐리어(320)의 상부 가장자리 위에서 직접적으로 또는 편향 거울(deflection mirror)을 통해 수용 지점(ES1)을 검출한다. 이로 인해, 잘못 적재된 부품의 기울어짐 또는 돌출이 식별될 수 있다.
도 1과 함께, 도 2에 도시된 바와 같이, 일 변형 예에서 카메라 장치(K1)는 제1 터닝 장치(130)의 중심에 있는 위치 및 특성 센서로서, 부품 공급원을 향한다. 이로 인해, 부품(B)의 단부면(D2)이 위치 및 결함에 대해 검사된다. 이 변형 예에서 카메라 장치(K1)는 제1 터닝 장치(130)가 회전운동 하는 동안에, 2개의 이웃하는 픽업 요소(132) 사이의 이미지 획득을 수행하도록 구성된다. 제어기는 이러한 이미지 데이터로부터 부품 공급원 또는 웨이퍼와 제1 터닝 장치(130)에 대응하는 이젝션 유닛의 교정 이동(correction movement)을 생성한다.
제1 터닝 장치(130)의 외주에 있는 3개의 카메라를 구비하는 제2 카메라 장치(K2)는 위치 및 특성 센서로서, 부품(B)의 3개의 면(S2, S4, D1)을 약 90°로 향한다. 3개의 카메라(K2-1, K2-2, K2-3)를 구비하는 카메라 장치(K2)의 평면도가 도 3에 도시되어 있다. 중간 카메라(K2-2)는 부품(B)의 단부면(D1)을 검사하고, 2개의 외측 카메라(K2-1, K2-3)는 각각의 거울(SP1, SP2)을 통해 부품(B)의 측면(S2, S4)을 검사한다. 이렇게 검출된 이미지 획득으로부터, 이들 면들에 있는 부품(B)의 결함뿐만 아니라, 픽업 요소(132)에서의 부품(B)의 정확한 위치 및 회전을 결정할 수 있다. 이러한 정보는, 검사된 부품(B)이 이송 지점(US)에서 제1 터닝 장치(130)로부터 제2 터닝 장치(150)로 전달될 때, 제어기(ECU)에서 제1 터닝 장치(130)와 제2 터닝 장치(150)의 각각의 축에 따른 배향과 회전 배향을 변경하는 데 사용된다. 게다가, 제2 카메라 장치(K2)는 제1 터닝 장치(130)의 각각의 픽업 요소(132)의 사전에 정의된 공통 기준 지점으로부터의 편차를 결정하는 데에도 적합하다.
제2 터닝 장치(150)의 외주에 외측에 있는 3개의 카메라를 구비하는 제3 카메라 장치(K3)는 위치 및 특성 센서로서, 약 90°로 부품(B)의 3개의 면(S1, S3, D2)을 향한다. 이 카메라 장치(K3)는 도 3에 도시되는 3개의 카메라와 2개의 거울을 구비하는 카메라 장치(K2)과 구성 및 배치 면에서 대응한다. 이렇게 검출된 이미지 획득으로부터, 이들 면들에 있는 부품(B)의 결함뿐만 아니라, 제2 터닝 장치(150)의 픽업 요소(152)에서의 부품(B)의 정확한 위치 및 회전을 결정할 수 있다. 이러한 정보는, 검사된 부품(B)이 이송 지점(US)에서 제2 터닝 장치(150)로부터 적재 지점(ABS)에 위치하는 수용 지점(ES1), 즉 캐리어(320)의 포켓에 이송될 때, 제어기(ECU)에서 제2 터닝 장치(150)와 수용 장치(200)의 각각의 축에 따른 배향과 회전 배향을 변경하는 데 사용된다. 게다가, 제3 카메라 장치(K3)는 제2 터닝 장치(150)의 각각의 픽업 요소(152)의 사전에 정의된 공동 기준 지점으로부터의 편차를 결정하는 데에도 적합하다.
제4 카메라 장치(K4)는 제2 터닝 장치(150)의 중심에 있는 위치 및 특성 센서로서, 수용 장치(200)의 수용 지점(E1)을 향한다. 이어서, 제어기(ECU)가 제2 터닝 장치(150)와 수용 장치(200)의 대응하는 교정 이동을 행한다(effect). 제4 카메라 장치(K4)는 추가적으로, 광학 거울(mirror optics)에 의해 동시에 상이한 검출 방향들로부터, 적재 지점(ABS)에 위치하는 수용 지점(ES1)과 픽업 요소(152)를 검출하도록 구성되어, 부품-핸들링 장치(100)의 자가-조절을 위해, 제어기(ECU)에 의해 픽업 요소(152)에 대한 수용 지점(ES1)의 상대적 위치가 결정될 수 있다.
도 1에 도시된 부품-핸들링 장치(100)는 부품-핸들링 장치(100)의 자체적(autonomous) 조절을 제어하는 제어기를 포함한다.
자가-조절은 특히, 부품-핸들링 장치(100)의 작동 전에도 수행될 수 있지만, 부품-핸들링 장치(100)의 작동 중에도 수행될 수 있다.
분배 지점(SPS)을 향하는 적어도 하나의 센서, 이송 지점(US)을 향하는 적어도 하나의 센서, 및 적재 지점(ABS)을 향하는 적어도 하나의 센서가 자가-조절 과정에 포함되기만 한다면, 부품-핸들링 장치(100)의 자가-조절을 위한 카메라 장치들(K1, K4, K7, K8, K9, K10, K11)의 원하는 어떠한 조합이라도 가능하다.
제1 터닝 장치(130)로부터 수용 장치(200)로 부품들이 이송되는 변형 예에서는, 분배 지점(SPS)을 향하는 적어도 하나의 센서와 적재 지점(ABS)을 향하는 적어도 하나의 센서가 자가-조절 과정에 포함된다면, 부품-핸들링 장치(100)의 자가-조절을 위해 2개의 카메라 장치도 충분하다.
제어기는 자가-조절 과정 동안에 제1 터닝 장치(130)를 서서히 회전시키고, 카메라 센서(K1 및/또는 K8)을 사용하여 이젝션 유닛(110)에 대한 제1 터닝 장치(130)의 각각의 개별적 픽업 요소(132)의 위치를 결정하도록 구성된다. 카메라 센서(K7 및/또는 K10 및/또는 K11)에 의해, 이송 지점(US)에 위치하는 제1 터닝 장치(130)의 픽업 요소(132)에 대한, 이송 지점(US)에 위치하는 제2 터닝 장치(150)의 픽업 요소(152)의 위치가 결정된다. 카메라 센서(K9 및/또는 K4/K7: 터닝 장치가 2개(130, 150)인 변형 예에서는 K4, 터닝 장치가 1개(130)인 변형 예에서는 K7)에 의해, 적재 지점(ABS)에 위치하는 제1/제2 터닝 장치(130, 150)의 픽업 요소(132, 152)에 대한, 수용 장치(200)에 위치하는 수용 지점(ES1)의 위치가 결정된다.
제1 터닝 장치(130)만을 구비하는 변형 예에서는, 분배 지점(SPS)과 적재 지점(ABS)에서의 상대적 위치만이 결정된다.
제어기는, 적어도 터닝 장치(130, 150)의 모든 가능한 이송 위치가 분배 지점(SPS), 이송 지점(US) 및 적재 지점(ABS)에 적어도 한번 도달할 때까지, 터닝 장치들(130, 150)의 점진적인 회전과 상대적 위치의 결정을 반복하도록 구성된다. 제어기는 또한, 결정된 값들을 제어 테이블에 저장하도록 구성된다.
방출 장치(110)에 대해 사전에 결정된 지점에 대한, 제1 터닝 장치(130)의 픽업 요소들(132)의 결정된 3차원적 위치 편차는, 작동 중에, 특정 이송 위치에 대한 제1 터닝 장치(130)의 3차원 교정 벡터를 형성한다.
제1 터닝 장치(130)의 픽업 요소(132)에 대해 사전에 결정된 위치에 대한, 제2 터닝 장치(150)의 픽업 요소(152)의 결정된 3차원적 위치 편차는, 작동 중에, 특정 이송 위치에 대한 제1 터닝 장치(130)의 3차원적 교정 벡터에 더해졌을 때, 특정 이송 위치에 대한 제2 터닝 장치(150)의 3차원적 교정 벡터를 형성한다.
적재 지점(ABS)에 위치하는 제2 터닝 장치(150)의 픽업 요소(152)에 대해 정의된 위치에 대한, 수용 지점(ES1)의 결정된 3차원적 위치 편차는, 작동 중에, 특정 이송 위치에 대한 제2 터닝 장치(150)의 3차원적 교정 벡터에 더해졌을 때, 특정 이송 위치에 대한 수용 장치(200)의 3차원적 교정 벡터를 형성한다.
부품-핸들링 장치(100)가 제1 터닝 장치(130)만을 구비하는 변형 예에서, 수용 장치(200)의 3차원적 교정 벡터는 제1 터닝 장치(130)의 픽업 요소(132)에 대해 정의된 위치에 대한 수용 지점(ES1)의 위치와 유사하게, 그리고 제1 터닝 장치(130)에 대한 3차원적 교정 벡터의 추가에 의해 전개된다(developed).
터닝 장치들(130, 150)의 완전한 회전 복수로 수행되고, 각각의 경우에서 교정 벡터들의 평균값이 결정될 때, 교정 벡터 정밀도가 향상된다.
부품-핸들링 장치(100)의 또 다른 변형 예에서, 교정 벡터는 2차원 또는 1차원으로 결정될 수 있으며, 제1 터닝 장치(130), 제2 터닝 장치(150) 및 수용 장치(200)에 대한 교정 차원은 동일할 수도 있고 다를 수도 있다.
K1과 K4, 그리고 K7 또는 K11 및/또는 K8을 서로 개별적으로 사용하고 그 다음에 K2를 사용하여 자가-조절 과정을 수생함으로써 자가-조절에 사용되는 카메라 센서들의 검출 품질의 제1 확인이 행해진다. 자가-조절 과정은 K7 및/또는 K10으로 추가적으로 수행될 수 있다. 결과들이 일치하지 않으면, 측정 오류가 있는 것이다. 따라서 이러한 비교에 기초하여, 조절 센서 배열의 검출 품질의 확인 및/또는 픽업-요소(132)의 손상 체크가 수행된다.
또 다른 변형 예에서는, 상호 독립적인 자가-조절에 대해서, 센서가 두 자가-조절 모두에 사용되지 않고, 두 자체 조절에서 적어도 하나의 센서가 분배 위치(SPS), 이송 위치(US) 및 적재 위치(ABS)를 향하는 경우에, 카메라 센서들(K1, K4, K7, K8, K9, K10, K11)의 어떠한 원하는 조합들도 가능하다.
카메라 장치(K2, K3)에 의해 결정되는 정의된 기준 지점에 대한 픽업 요소들(132, 152)의 상대적인 위치와, 픽업 요소들(132, 152)의 서로에 대한 상대적인 위치, 이젝션 유닛(110)에 대한 상대적인 위치 및 각각의 픽업 요소(132, 152)의 수용 지점(ES1)에 대한 상대적인 위치를 비교함으로써, 자가-조절에 사용되는 카메라 센서들의 검출 품질에 대한 제2 확인과 픽업 요소(132, 152)들이 손상되지 않았다는 추가적인 확인이 각각의 경우에 제어기에 의해 행해진다. 결정된 편차들이 -적어도- 각각의 관계에서 서로 일치하지 않으면, 측정 오류가 있거나 및/또는 픽업 요소(132, 152) 중 하나가 손상된 것이다.
부품-핸들링 장치(100)가 제1 터닝 장치(130)만 구비하는 변형 예에서, 자가-조절의 검출 품질에 대한 제1 체크는 카메라 센서(K1, K7 및 K8, K9)로 서로에 대해 독립적으로 자가-조절을 수행함으로써 행해진다. 결과가 일치하지 않으면, 측정 오류가 있음을 뜻한다. 상호 독립적인 자가-조절에 대해, 센서가 두 자가-조절 모두에 사용되지 않고, 두 자가-조절에서 적어도 하나의 센서가 분배 지점(SPS) 및 적재 지점(ABS) 각각을 향하는 경우, 카메라 센서들(K1, K7, K8, K9)의 어떠한 원하는 조합도 가능하다.
부품-핸들링 장치(100)가 제1 터닝 장치(130)만을 구비하는 변형 예에서, 검출 품질의 제2 체크와 자가-조절의 픽업 요소(132)가 손상되지 않았음을 체크하는 추가적인 체크는, 제어기를 사용하여, 정의된 기준 지점에 대한 픽업 요소들(1332)의 상대적인 위치와, 이젝션 유닛(110) 및 각각의 픽업 요소(132)에 대한 수용 위치(ES1)에 대한 픽업 요소들(132)의 상대적인 위치를 비교함으로써 수행된다. 결정된 편차들이 -적어도- 각각의 관계에서 서로 일치하지 않는 경우, 측정 오류가 있거나 및/또는 픽업 요소들(132) 중 하나가 손상된 것이다.
도 5에 도시된 위치 및 품질 센서(400)는 이미징 센서로서, 카메라 장치(K1 내지 K5)의 변형 예이다. 이 센서(400)는 가시광 스펙트럼을 기록하는 카메라 칩(410)을 구비한다. 이러한 이미징 센서(400)에서, 3개의 상이한 검출 스펙트럼은 컬러 센서의 적색 범위(630mn ± 30nm), 녹색 범위(530nm ± 60nm) 및 청색 범위(460nm ± 50nm)이다.
이미징 센서(400)는 카메라 칩(410)의 광학 축에 대해 약 45°의 각도로 배치되는, 관련된 반투명 거울(420)을 구비한다. 반투명 거울(420)은 대응하는 광원(440)으로부터의 2개의 검출 스펙트럼의 컬러 광(여기서는, 녹색 범위와 청색 범위)을 광학적으로 결합시키고, 이를 부품(B)의 단부면을 향하도록 하는 역할을 한다. 부품(B)을 향하는 녹색 범위 및 청색 범위의 이 광은 카메라 칩(410)에 의해 검출된다. 공간적인 조건에 따라, 다른 편향 거울, 프리즘, 컬러 필터 또는 렌즈가 제공될 수도 있다.
일 실시예에서는, 적재 지점(ABS)에 위치하는 수용 지점(ES1)의 둘레에 환형 광원으로서, 추가적인 광원(450)이 배치되어, 부품(B)의 단부면에 적색 범위의 산란된 광을 약 5° 내지 45°의 각도로 제공한다. 부품(B)을 향하는 적색 범위의 이 광 또한 카메라 칩(410)에 의해 검출된다.
일부 광학적으로 활성적인 요소 및/또는 방사선원이 다른 것들과는 독립적으로, 배향되도록 및/또는 조절되도록 및/또는 포커싱(focus)되도록 구성될 수 있다.
본 변형 예의 카메라 칩(410)은 3개의 개별적인 채널(R, G, B)을 갖는 컬러 카메라이다. 하지만, 이는 복수의 채널을 갖는 카메라일 수도 있다. 카메라의 3개의 컬러 채널은 서로 별도로 다뤄지거나/판독될 수 있다. 부품(B)은 단일 이미지 획득으로, 부품이 캐리어(320)의 의도되는 포켓에 똑바로 위치되도록 예를 들어 부품(B)의 비뚤어진 적재와 같은 오류에 대해 검사되거나 품질 결함에 대해 검사된다. 또한, 다음 부품(B)의 적재를 위한 캐리어(320) 포켓의 정확한 위치 데이터도 이러한 단일 이미지 획득에 의해 검출된다. 개별적인 컬러 채널로부터 획득되는 정보는 다음과 같이 나눠진다: 조명 타입 1을 갖는 이미지 채널 1: 다음 부품의 위치설정을 위한 적재 테이프의 적재 포켓의 위치. 조명 타입 2를 갖는 이미지 채널 2: 부품의 품질 검사(크랙, 레이저 마크, 브레이크아웃 ... ). 조명 타입 3을 갖는 이미지 채널 3: 특수 부품들 또는 고객-특정 결함에 대한 추가적인 검사.
본 명세서에 제시되는 이미징 센서 시스템으로 인해, 불량 부품(reject parts)의 배출 및 액추에이터의 위치설정을 달성하기 위해, 종래의 센서 배열들과 비교하여 더 적은 이미지 획득이 요구된다.
본 명세서에서 수치 범위 및 수치들이 개시되었지만, 개시된 값들과 언급된 범위들 내의 임의의 하위 범위 수치 사이의 모든 수치 또한 마찬가지로, 개시된 것으로 간주되어야 한다.
전술된 장치의 변형 예들과 그 기능 및 작동적 측면은 구조, 기능 및 특징들을 보다 잘 이해하기 위한 것일 뿐이며, 이들은 예를 들어 예시적인 실시예들에 본 개시를 제한하지 않는다. 도면들은 부분적으로 개략적이며, 기능, 능동적인 원리(active principles), 기술적 구성 및 특징들을 명확하게 하기 위해 일부의 경우 중요한 특성 및 효과가 상당히 확대된 축척으로 도시되어 있다. 도면에 또는 명세서에 개시되는 모든 기능의 모드, 모든 원리, 모든 기술적 구성 및 모든 특징은, 모든 청구범위, 본 명세서 및 본 개시에 포함되는 다른 도면의 모든 특징, 다른 기능의 모드, 원칙, 기술적 구성 및 특징과 자유롭게 임의적으로 결합될 수 있으므로, 모든 가능한 조합이 설명된 절차에 할당되어야 한다. 명세서, 즉 명세서의 모든 섹션, 청구항에 기재된 모든 개별적인 구현들 간의 결합, 그리고 본 명세서, 청구항 및 도면의 다양한 변형 예들 간의 결합 또한 포함된다. 청구항들 또한 본 개시를 한정하지 않으며, 따라서 표시된 모든 특징들의 서로 간의 조합이 가능하다. 개시된 모든 특징들은 개별적으로 그리고 다른 모든 특징과 조합하여 본 명세서에 명시적으로 개시된다.
적재 지점 ABS
부품 B
부품의 측면 S1, S2, S3, S4
부품의 단부면 D1, D2
제1 축(X축)을 중심으로 제1 터닝 장치를 회전시키는 제1 회전 구동장치 DA1
제2 축(Y축)을 중심으로 제2 터닝 장치를 회전시키는 제2 회전 구동장치 DA2
제3 축(Z축)을 중심으로, 적재 지점(ABS)을 포함하는 수용 장치를 회전시키는 제3 회전 구동장치 DA3
캐리어를 공급 방향으로 이송하는, 수용 장치의 제4 회전 구동장치 DA4
제1 축(X축)을 따라 제1 터닝 장치를 이동시키는 제1 선형 구동장치 LA1
제2 축(Y축)을 따라 제2 터닝 장치를 이동시키는 제2 선형 구동장치 LA2
제1 축(을 따라 수용 장치를 이동시키는 제3 선형 구동장치 LA3
제2 축을 따라 수용 장치를 이동시키는 제4 선형 구동장치 LA4
수용 장치에 의해 안내되는 캐리어를 제1 축(X축)을 따라 이동시키는 제5 선형 구동장치 LA5
제1 수용 지점 ES1
제2 수용 지점 ES2
제어기 ECU
위치 및 특성 센서들 K1, ... , K11
제1 터닝 장치의 중심에 있는 카메라 장치로, 수직으로 위쪽을 향하는 제1 카메라 장치 K1
제1 터닝 장치의 외주에 있는, 3개의 카메라를 구비하는 카메라 장치로, 그 위를 지나가도록 안내되는 부품을 90°로 향하는 제2 카메라 장치 K2
제2 터닝 장치의 외주에 있는, 3개의 카메라를 구비하는 카메라 장치로, 그 위를 지나가도록 안내되는 부품을 90°로 향하는 제3 카메라 장치 K3
제2 터닝 장치의 중심에 있는 카메라 장치로, 적재 지점 또는 수용 장치의 제1 수용 지점을 향하는 제4 카메라 장치 K4
제2 수용 지점에서 제2 윈도우를 향하는 제5 카메라 장치 K5
제1 터닝 장치의 중심에 있는 카메라 장치로, 이송 지점(US)를 향하는 제7 카메라 장치 K7
터닝 장치들의 외주에 있는, 2개의 카메라를 구비하는 카메라 장치로, 2개의 상호 직각인 검출 방향으로부터 분배 지점을 향하는 제8 카메라 장치 K8
터닝 장치들의 외주에 있는, 2개의 카메라를 구비하는 카메라 장치로, 2개의 상호 직각인 검출 방향으로부터 이송 지점을 향하는 제9 카메라 장치 K9
터닝 장치들의 외주에 있는, 2개의 카메라를 구비하는 카메라 장치로, 2개의 상호 직각인 검출 방향으로부터 적재 지점을 향하는 제10 카메라 장치 K10
제2 터닝 장치의 중심에 있는 카메라 장치로, 이송 지점(US)을 향하는 제11 카메라 장치 K11
거울 SP1, SP2
분배 지점 SPS
이송 지점 US
부품-핸들링 장치 100
이젝션 유닛 110
제1 터닝 장치 130
제1 픽업 요소 132
제2 터닝 장치 150
제2 픽업 요소 152
수용 장치 200
캐리어 320
이송 홀 325
제1 흡입 장치 330
Discharge 지점 335
흡입 및/또는 blow-off 장치 340
센서 400
카메라 칩 410
반투명 거울 420
광원 440
추가적인 광원 450

Claims (11)

  1. 전자 부품(B)용 부품-핸들링 장치(100)의 자가-조절 장치로,
    상기 자가-조절 장치는, 분배 지점(SPS)에서 전달 장치(110)로부터 복수의 픽업 요소(132)를 구비하는 조절 가능한 제1 터닝 장치(130)로 부품(B)을 이송하고,
    부품의 종축(LA) 또는 횡축(QA)을 중심으로 사전에 결정된 제1 각도까지 상기 부품을 회전시키고, 수용된 부품(B)을 적재 지점(AS)에 공급하여, 사전에 결정된 수용 지점(ES1)에서 조절 가능한 수용 장치(200)에 상기 부품을 적재하도록 설계 및 배치되며, 상기 자가-조절 장치는,
    전달 장치(110)에 대한, 분배 지점(SPS)에 위치하는 픽업 요소(132)의 위치를 검출하도록 설계 및 배치되는, 분배 지점(SPS)을 향하는 제1 조절 센서 장치(K1, K8), 및
    적재 지점(AS)에 위치하는 픽업 요소(132)의 위치에 대한 수용 지점(ES1)의 위치를 검출하도록 설계 및 배치되는, 적재 지점(AS)을 향하는 제2 조절 센서 장치를 포함하고,
    제1 조절 센서 장치 및 제2 조절 센서 장치 각각은, 적어도 2개의 서로 다른 검출 방향으로부터 분배 지점(SPS)/적재 지점(AS)을 검출하도록 설계 및 배치되고,
    제1 조절 센서 장치 및 제2 조절 센서 장치 각각은, 제1 터닝 장치(130)의 각 이송 위치에 대한 이미지 획득을 하류 측 제어기에 제공하도록 설계 및 배치되며,
    제어기는 획득된 이미지 획득에 기초하여, 제1 터닝 장치(130)의 각 이송 위치에 대해 교정 벡터를 결정하고, 상기 교정 벡터는 부품-핸들링 장치(100)의 작동 중에, 제1 터닝 장치(130) 및/또는 개별 픽업 장치(132) 및/또는 수용 장치(200)를 조절하는 데 사용되는 것을 특징으로 하는, 부품-핸들링 장치의 자가-조절 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    제1 터닝 장치(130)의 주위에서 그 위를 지나도록 안내되는 픽업 요소(132)를 90°로 향하는 위치 및 특성 센서(K3)로, 특히 사전에 정의된 기준 지점에 대해 픽업 요소(132)의 위치를 결정하도록 설계 및 배치되는 카메라 센서인 위치 및 특성 센서(K3)를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는, 부품-핸들링 장치의 자가-조절 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    제1 조절 센서 장치 및/또는 제2 조절 센서 장치 각각은 제1 이미징 센서, 특히 제1 카메라, 및 제2 이미징 센서, 특히 제2 카메라로 구성되는 것을 특징으로 하는, 부품-핸들링 장치의 자가-조절 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    제1 조절 센서 장치 및/또는 제2 조절 센서 장치의 각각은, 제1 터닝 장치(130)의 중심으로부터 수직으로 분배 지점(SPS) 또는 적재 지점(AS)을 향하는 이미징 센서, 특히 카메라와, 서로에 대해 직각으로 배치되는 적어도 2개의 반사기(reflector), 특히 거울로 구성되며,
    이미징 센서는 제1 검출 방향 및 제2 검출 방향으로부터 분배 지점(SPS) 또는 적재 지점(AS)을 간접적으로 검출하기에 적합 및 검출하도록 의도되며,
    반사기는 2개의 검출 방향이 서로 직교하도록 배치되는 것을 특징으로 하는, 부품-핸들링 장치의 자가-조절 장치.
  5. 선행하는 청구항들 중 어느 한 항에 있어서,
    제어기는,
    조절 센서 장치들에 의해 획득되는 이미지 획득에 기초하여, 전달 장치(110)에 대한, 분배 지점(SPS)에 위치하는 픽업 요소(132)의 위치를 결정 및 저장하고,
    적재 지점(AS)에 위치하는 픽업 요소(132)에 대한 수용 지점(ES1)의 위치를 결정 및 저장하고, 및/또는
    제2항에 따라 사전 정의된 지점으로부터의 특정 픽업 요소(132)의 위치 편차를 결정 및 저장하고,
    결정된 위치에 기초하여, 개별 픽업 요소(132)의 위치 및/또는 픽업 요소(132)가 고정되는 제1 터닝 장치(130)에 대한 교정 벡터(correction vector)를 결정하고, 및/또는
    결정된 위치에 기초하여, 수용 장치(200)의 교정 벡터를 결정하고,
    작동 중에, 이젝션(ejection) 유닛(132)의 위치에 대한 픽업 요소(132)의 결정된 위치 사이의 편차에 대응하기 위해, 제1 터닝 장치(130) 및/또는 개별 픽업 요소(132)의 위치설정을 제어하며,
    작동 중에, 픽업 요소(132)의 위치에 대한 수용 지점(ES1)의 결정된 위치 사이의 편차에 대응하기 위해, 수용 장치(200) 및/또는 개별적 픽업 요소(132)에 대한 위치설정을 제어하고, 및/또는
    전달 장치(110)의 위치에 대한 및/또는 수용 장치(ES1)의 위치에 대한 픽업 요소(132)의 위치를 제2항에 따라 정의된 기준 지점에 대한 픽업 요소(132)의 위치와 비교하도록 설계 및 배치되는 것을 특징으로 하는, 부품-핸들링 장치의 자가-조절 장치.
  6. 선행하는 청구항들 중 어느 한 항에 있어서,
    제1 조절 센서 장치 및/또는 제2 조절 센서 장치는 부품-핸들링 장치(100)에 영구적으로 연결되고, 및/또는
    제2항에 따른 위치 및 특성 센서(K3)는 부품-핸들링 장치(100)에 영구적으로 연결되는 것을 특징으로 하는, 부품-핸들링 장치의 자가-조절 장치.
  7. 선행하는 청구항들 중 어느 한 항에 있어서,
    복수의 픽업 요소를 구비하는 제2 조절 가능한 터닝 장치(150)로, 이송 지점(US)에서 제1 터닝 장치(130)의 픽업 요소(132)로부터 부품을 수용하고, 부품의 종축(LA) 또는 횡축(QA)을 중심으로 사전 결정된 제2 각도까지 수용된 부품(B)을 회전시켜, 상기 부품을 적재 지점(AS)에 공급하고, 사전 결정된 수용 지점(ES1)에서 조절 가능한 수용 장치(200)에 상기 부품을 적재하도록 설계 및 배치되는 제2 조절 가능한 터닝 장치 및
    제1 터닝 장치(130)와 제2 터닝 장치(150)의 사이에서 이송 지점(US)을 향하는 제3 조절 센서 장치로, 이송 지점(US)에 위치하는 제1 터닝 장치(130)의 픽업 요소(132)에 대한, 이송 지점(US)에 위치하는 제2 터닝 장치(150)의 픽업 요소(152)의 위치를 결정하도록 설계 및 배치되는 제3 조절 센서 장치를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는, 부품-핸들링 장치의 자가-조절 장치.
  8. 부품-핸들링 장치(100)의 자가-조절 방법으로,
    상기 부품-핸들링 장치는, 분배 지점(SPS)에서 전달 장치(110)로부터 복수의 픽업 요소(132)를 구비하는 제1 터닝 장치(130)로 전자 부품(B)을 이송하고, 수용된 부품(B)을 그 종축(LA) 또는 횡축(QA)을 중심으로 사전 정의된 제1 각도까지 회전시켜, 적재 지점(AS)으로 공급하여, 사전 결정된 수용 지점(ES1)에서 조절 가능한 수용 장치(200)에 부품을 적재하며,
    상기 자가-조절 방법은,
    - 조절 센서 장치를 사용하여 적어도 2개의 서로 다른 검출 방향으로부터, 전달 장치(110)와 분배 지점(SPS)에 위치하는 픽업 요소(132)를 포함한, 분배 지점(SPS)을 검출하는 단계,
    - 조절 센서 장치를 사용하여 적어도 2개의 서로 다른 검출 방향으로부터, 적재 지점에 위치하는 픽업 요소(132)와 수용 지점(ES1)을 포함한, 적재 지점(AS)을 검출하는 단계와 픽업 요소(132)의 사전 정의된 위치로부터의 편차를 결정하는 단계,
    - 적재 지점(AS)에 위치하는 픽업 요소(132)에 대한, 수용 지점(ES1)의 위치를 결정하는 단계와 수용 지점(ES1)의 사전 정의된 지점으로부터의 편차를 결정하는 단계,
    - 사전 결정된 편차에 기초하여, 제1 터닝 장치(130) 및/또는 각각의 개별 픽업 요소(132) 및/또는 수용 장치(200)에 대한 교정 벡터를 결정하는 단계,
    - 제1 터닝 장치(130)의 모든 가능한 이송 위치에 대해 선행하는 방법 단계 모두를 반복하는 단계, 및
    - 모든 가능한 이송 위치에서 픽업 요소(132) 및/또는 수용 지점(ES1)의 결정된 위치와 정의된 위치 사이의 편차가 보완되도록(counteract), 부품-핸들링 장치(100)의 작동 중에, 제1 터닝 장치(130) 및/또는 수용 장치(200) 및/또는 각각의 개별 픽업 장치(132)의 위치설정을 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 부품-핸들링 장치의 자가-조절 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    - 위치 및 특성 센서(K3), 특히 카메라 센서인 위치 및 특성 센서(K3)를 사용하여, 사전 정의된 기준 지점에 대한 픽업 요소(132)의 위치를 검출하는 단계, 및
    - 수용 지점(ES1) 및/또는 전달 장치(110)에 대한 픽업 요소(132)의 결정된 상대적 위치와 정의된 기준 지점에 대한 픽업 요소(132)의 상대적 위치를 비교하는 단계, 및
    - 제1 터닝 장치(130)의 모든 가능한 이송 위치에 대해 선행하는 방법 단계 모두를 반복하는 단계를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는, 부품-핸들링 장치의 자가-조절 방법.
  10. 제8항 또는 제9항에 있어서,
    이송 지점(US)에서, 전자 부품(B)은 제1 조절 가능한 터닝 장치(130)에서 제2 조절 가능한 터닝 장치(150)로 이송되고,
    수용된 부품(B)은 제2 터닝 장치에 의해, 부품의 종축(LA) 또는 횡축(QA)을 중심으로 사전 결정된 제2 각도까지 회전되고, 적재 지점(AS)에 공급되어, 사전 결정된 수용 지점(ES1)에서 조절 가능한 수용 장치(200)에 적재되며, 상기 자가-조절 방법은,
    - 조절 센서 장치를 사용하여, 적어도 2개의 서로 다른 검출 방향으로부터, 적재 지점에 위치하는 제1 터닝 장치(130)의 픽업 요소(132)와 적재 지점에 위치하는 제2 터닝 장치(150)의 픽업 요소(152)를 포함한, 적재 지점(US)을 검출하는 단계, 및
    - 이송 지점(US)에 위치하는 제1 터닝 장치(130)의 픽업 요소(132)에 대한, 이송 지점(US)에 위치하는 제2 터닝 장치의 픽업 요소(152)의 위치를 결정하는 단계, 및
    - 픽업 요소(152)의 사전 정의된 위치로부터의 편차를 결정하는 단계,
    - 모든 가능한 이송 위치에서, 픽업 요소(152)들의 결정된 위치와 정의된 위치 사이의 편차가 보완되도록, 부품-핸들링 장치의 작동 중에, 제2 터닝 장치(150) 및/또는 각각의 개별 픽업 요소(152)의 위치설정을 제어하는 단계를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는, 부품-핸들링 장치의 자가-조절 방법.
  11. 선행하는 청구항들 중 어느 한 항에 있어서,
    조절 센서 장치의 검출 품질 체크 및/또는 픽업 요소(132)의 손상에 대한 체크가 상기 비교에 기초하여 수행되는 것을 특징으로 하는, 부품-핸들링 장치의 자가-조절 방법.
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