JPH11295236A - チップの６面検査装置 - Google Patents
チップの６面検査装置Info
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- JPH11295236A JPH11295236A JP10110155A JP11015598A JPH11295236A JP H11295236 A JPH11295236 A JP H11295236A JP 10110155 A JP10110155 A JP 10110155A JP 11015598 A JP11015598 A JP 11015598A JP H11295236 A JPH11295236 A JP H11295236A
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- concave portion
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】チップを良品、不良品に分別し、不良品を排除
するための、チップの６面検査装置を提供する。 【解決手段】フィダー等で搬送してくるチップを、高速
間欠回転する円板の円周部にチップ装填用の凹部を形成
したローターの各凹部に１個宛分離装填して搬送するよ
うに備え、該ローターの凹部に相対した前方、上方、及
び下方の位置に検査用のカメラ、、を備え、上記
凹部より後位の凹部に相対した前方位置にチップを通す
シュート孔の導入口を開口し、Ｕ形シュートはシュート
孔をＵ形に形成すると共に導入口から排出口の中間で９
０°捻じって形成してチップが導入口から排出口に至る
間にその前、後面を１８０°反転すると共に上、下、
左、右面を９０°回転するように備え、Ｕ形シュートの
後位の凹部に相対した前方、上方、及び下方の位置に検
査用のカメラ、、を備えた、チップの６面検査装
置。
するための、チップの６面検査装置を提供する。 【解決手段】フィダー等で搬送してくるチップを、高速
間欠回転する円板の円周部にチップ装填用の凹部を形成
したローターの各凹部に１個宛分離装填して搬送するよ
うに備え、該ローターの凹部に相対した前方、上方、及
び下方の位置に検査用のカメラ、、を備え、上記
凹部より後位の凹部に相対した前方位置にチップを通す
シュート孔の導入口を開口し、Ｕ形シュートはシュート
孔をＵ形に形成すると共に導入口から排出口の中間で９
０°捻じって形成してチップが導入口から排出口に至る
間にその前、後面を１８０°反転すると共に上、下、
左、右面を９０°回転するように備え、Ｕ形シュートの
後位の凹部に相対した前方、上方、及び下方の位置に検
査用のカメラ、、を備えた、チップの６面検査装
置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はチップ（各種小形電
子部品、例えば、コンデンサ、レジスタ、その他）の
内、６面体のチップの製造工程において、該チップの６
面（前、後、上、下、左、右の各面）をＣＣＤカメラ等
のチップ検査用のカメラで検査して、チップの各面の外
部形状、傷、欠損、汚れ、その他の欠陥を検査して、チ
ップを良品、不良品に分別し、不良品を排除するため
の、チップの６面検査装置に係る。
子部品、例えば、コンデンサ、レジスタ、その他）の
内、６面体のチップの製造工程において、該チップの６
面（前、後、上、下、左、右の各面）をＣＣＤカメラ等
のチップ検査用のカメラで検査して、チップの各面の外
部形状、傷、欠損、汚れ、その他の欠陥を検査して、チ
ップを良品、不良品に分別し、不良品を排除するため
の、チップの６面検査装置に係る。
【０００２】
【従来技術】従来、チップの傷、欠損、汚れ等の欠陥を
目視で検査して、チップを良品、不良品に分別すること
が広く行われ、最初は１面（上面）だけ、次で２面（上
面と下面）の検査を行っていたが、チップの極小化
（例、０６０３型は長さ０．６ｍｍ、幅０．３ｍｍの長
方形）が進行するに従って目視検査が困難となり、また
最終製品（例、テレビ、ビデオ等）になってからチップ
を原因とするトラブルが発生した場合の重大性から、チ
ップの検査精度の向上が希求されてきて、近時はカメラ
を使用してチップの４面、若しくは６面の全てを検査す
ることが行われている。
目視で検査して、チップを良品、不良品に分別すること
が広く行われ、最初は１面（上面）だけ、次で２面（上
面と下面）の検査を行っていたが、チップの極小化
（例、０６０３型は長さ０．６ｍｍ、幅０．３ｍｍの長
方形）が進行するに従って目視検査が困難となり、また
最終製品（例、テレビ、ビデオ等）になってからチップ
を原因とするトラブルが発生した場合の重大性から、チ
ップの検査精度の向上が希求されてきて、近時はカメラ
を使用してチップの４面、若しくは６面の全てを検査す
ることが行われている。
【０００３】然して、従来のカメラを使用したチップの
６面検査装置は、例えば、図７に示すように、フィダー
２ａからのチップｔを円周部の凹部３ａに１個宛装填し
て搬送する水平ローター１ａと円周部の凹部３ａ、３ｂ
を垂直に交叉して垂直ローター１ｂを設置し、水平ロー
ター１ａの円周部の凹部３ａに相対した前方、上方、及
び下方の位置に備えたカメラａ、ａ、ａでチップ
ｔの前面、上面、及び下面の３面を検査したのち、該検
査済みチップを水平ローター１ａの凹部３ａから垂直ロ
ーター１ｂの凹部３ｂに乗り換えて搬送して、該垂直ロ
ーター１ｂの凹部３ｂに相対した上方、左方、及び右方
の位置に備えたカメラａ、ａ、ａでチップｔの後
面、右面、及び左面を検査して、チップｔの６面を検査
したのち、検査結果によってチップｔを良品と不良品に
分別するようにしたものである。
６面検査装置は、例えば、図７に示すように、フィダー
２ａからのチップｔを円周部の凹部３ａに１個宛装填し
て搬送する水平ローター１ａと円周部の凹部３ａ、３ｂ
を垂直に交叉して垂直ローター１ｂを設置し、水平ロー
ター１ａの円周部の凹部３ａに相対した前方、上方、及
び下方の位置に備えたカメラａ、ａ、ａでチップ
ｔの前面、上面、及び下面の３面を検査したのち、該検
査済みチップを水平ローター１ａの凹部３ａから垂直ロ
ーター１ｂの凹部３ｂに乗り換えて搬送して、該垂直ロ
ーター１ｂの凹部３ｂに相対した上方、左方、及び右方
の位置に備えたカメラａ、ａ、ａでチップｔの後
面、右面、及び左面を検査して、チップｔの６面を検査
したのち、検査結果によってチップｔを良品と不良品に
分別するようにしたものである。
【０００４】
【従来技術の課題】上記の従来装置には下記のような課
題があり、その有効な解決が希求されていた。 イ、精密で高価なローターを２個必要とするためコスト
高である。 ロ、２個のローターを設置するため設置スペースを要
し、装置が大形となる。 ハ、高速間欠回転（毎分１０００〜２０００ステップ）
する２個のローターのタイミングの設定が難しく、チッ
プの乗り換え時にトラブルを発生しやすい。 ニ、２個のローターで搬送して、ようやくチップの６面
を検査し、良、不良分別を行うものであるため、検査ス
ピード、分別スピードが遅く、高速処理化を阻害してい
る。
題があり、その有効な解決が希求されていた。 イ、精密で高価なローターを２個必要とするためコスト
高である。 ロ、２個のローターを設置するため設置スペースを要
し、装置が大形となる。 ハ、高速間欠回転（毎分１０００〜２０００ステップ）
する２個のローターのタイミングの設定が難しく、チッ
プの乗り換え時にトラブルを発生しやすい。 ニ、２個のローターで搬送して、ようやくチップの６面
を検査し、良、不良分別を行うものであるため、検査ス
ピード、分別スピードが遅く、高速処理化を阻害してい
る。
【０００５】
【本発明が解決した課題】そこで、本発明は、１個のロ
ーター上でチップの６面検査をできるようにした、チッ
プの６面検査装置を開発して、上記従来の課題を解決し
たものである。
ーター上でチップの６面検査をできるようにした、チッ
プの６面検査装置を開発して、上記従来の課題を解決し
たものである。
【０００６】即ち、本発明は、ローターの凹部周辺に３
台宛６台のカメラを備え、当初３台のカメラでチップの
３面を検査し、検査済みチップを凹部からＵ形シュート
を通過させてチップの前、後面の転換及び上、下、左、
右面の９０°回転をして凹部へ戻し、その姿勢転換した
チップの３面を３台のカメラで検査して、もって、チッ
プの６面を同一ローター上で検査できるようにした装置
を提供して従来の課題を解決したものである。
台宛６台のカメラを備え、当初３台のカメラでチップの
３面を検査し、検査済みチップを凹部からＵ形シュート
を通過させてチップの前、後面の転換及び上、下、左、
右面の９０°回転をして凹部へ戻し、その姿勢転換した
チップの３面を３台のカメラで検査して、もって、チッ
プの６面を同一ローター上で検査できるようにした装置
を提供して従来の課題を解決したものである。
【０００７】
【課題を解決する手段】本発明は、フィダー等で搬送し
てくるチップを、高速間欠回転する円板の円周部にチッ
プ装填用の凹部を形成したローターの各凹部に１個宛分
離装填して搬送するように備え、該ローターの凹部に相
対した前方、上方、及び下方の位置に検査用のカメラ
、、を備え、
てくるチップを、高速間欠回転する円板の円周部にチッ
プ装填用の凹部を形成したローターの各凹部に１個宛分
離装填して搬送するように備え、該ローターの凹部に相
対した前方、上方、及び下方の位置に検査用のカメラ
、、を備え、
【０００８】上記凹部より後位の凹部に相対した前方位
置にチップを通すシュート孔の導入口を開口し、該凹部
より後位の凹部に相対した前方位置に排出口を開口した
パイプ状のＵ形シュートを備え、
置にチップを通すシュート孔の導入口を開口し、該凹部
より後位の凹部に相対した前方位置に排出口を開口した
パイプ状のＵ形シュートを備え、
【０００９】該Ｕ形シュートはシュート孔をＵ形に形成
すると共に導入口から排出口の中間で９０°捻じって形
成してチップが導入口から排出口に至る間にその前、後
面を１８０°反転すると共に上、下、左、右面を９０°
回転するように備え、
すると共に導入口から排出口の中間で９０°捻じって形
成してチップが導入口から排出口に至る間にその前、後
面を１８０°反転すると共に上、下、左、右面を９０°
回転するように備え、
【００１０】Ｕ形シュートの後位の凹部に相対した前
方、上方、及び下方の位置に検査用のカメラ、、
を備えたものであり、
方、上方、及び下方の位置に検査用のカメラ、、
を備えたものであり、
【００１１】ローターの間欠回転で各凹部に装填したチ
ップを搬送する過程で、カメラでチップの前面、カメ
ラで上面、カメラで下面をそれぞれ検査し、３面検
査済みのチップを凹部からＵ形シュートを通過して前、
後面を反転すると共に、上、下、左、右面を９０°回転
して凹部へ戻し、カメラで該チップの後面、カメラ
で左面、カメラで右面を検査することにより、チップ
の６面を検査するようにしたことを特徴とする、チップ
の６面検査装置によって課題を解決したものである。
ップを搬送する過程で、カメラでチップの前面、カメ
ラで上面、カメラで下面をそれぞれ検査し、３面検
査済みのチップを凹部からＵ形シュートを通過して前、
後面を反転すると共に、上、下、左、右面を９０°回転
して凹部へ戻し、カメラで該チップの後面、カメラ
で左面、カメラで右面を検査することにより、チップ
の６面を検査するようにしたことを特徴とする、チップ
の６面検査装置によって課題を解決したものである。
【００１２】
【実施例】本発明の実施例を説明する。（図１〜図６参
照） フィダー２等で搬送してくるチップｔを、高速間欠回転
する円板の円周部にチップ装填用の凹部３を形成したロ
ーター１の各凹部３に１個宛分離装填して搬送するよう
に備え、該ローター１の凹部３に相対した前方、上方、
及び下方の位置に検査用のカメラ、、を備え、
照） フィダー２等で搬送してくるチップｔを、高速間欠回転
する円板の円周部にチップ装填用の凹部３を形成したロ
ーター１の各凹部３に１個宛分離装填して搬送するよう
に備え、該ローター１の凹部３に相対した前方、上方、
及び下方の位置に検査用のカメラ、、を備え、
【００１３】上記凹部３より後位の凹部３に相対した前
方位置にチップｔを通すシュート孔４ａの導入口４ｂを
開口し、該凹部より後位の凹部に相対した前方位置に排
出口４ｃを開口したパイプ状のＵ形シュート４を備え、
方位置にチップｔを通すシュート孔４ａの導入口４ｂを
開口し、該凹部より後位の凹部に相対した前方位置に排
出口４ｃを開口したパイプ状のＵ形シュート４を備え、
【００１４】該Ｕ形シュート４はシュート孔４ａをＵ形
に形成すると共に導入口４ｂから排出口４ｃの中間で９
０°捻じって形成して、チップｔが導入口４ｂから排出
口４ｃに至る間にその前、後面を１８０°反転すると共
に上、下、左、右面を９０°回転するように備え、
に形成すると共に導入口４ｂから排出口４ｃの中間で９
０°捻じって形成して、チップｔが導入口４ｂから排出
口４ｃに至る間にその前、後面を１８０°反転すると共
に上、下、左、右面を９０°回転するように備え、
【００１５】Ｕ形シュート４の後位の凹部３に相対した
前方、上方、及び下方の位置に検査用のカメラ、、
を備えたものであり、
前方、上方、及び下方の位置に検査用のカメラ、、
を備えたものであり、
【００１６】ローター１の間欠回転で各凹部３に装填し
たチップｔを搬送する過程で、カメラでチップｔの前
面、カメラで上面、カメラで下面をそれぞれ検査
し、３面検査済みのチップｔを凹部３からＵ形シュート
４を通過して前、後面を反転すると共に、上、下、左、
右面を９０°回転して凹部３へ戻し、カメラで該チッ
プｔの後面、カメラで左面、カメラで右面を検査す
ることにより、チップｔの６面を検査するようにしたチ
ップの６面検査装置である。
たチップｔを搬送する過程で、カメラでチップｔの前
面、カメラで上面、カメラで下面をそれぞれ検査
し、３面検査済みのチップｔを凹部３からＵ形シュート
４を通過して前、後面を反転すると共に、上、下、左、
右面を９０°回転して凹部３へ戻し、カメラで該チッ
プｔの後面、カメラで左面、カメラで右面を検査す
ることにより、チップｔの６面を検査するようにしたチ
ップの６面検査装置である。
【００１７】上記実施例装置の態様をより詳細に説明す
ると、例えば、ローター１の各凹部３に、吸気溝５に連
通した吸気孔６を配設して、各凹部３に装填したチップ
ｔを吸着保持するように備え、
ると、例えば、ローター１の各凹部３に、吸気溝５に連
通した吸気孔６を配設して、各凹部３に装填したチップ
ｔを吸着保持するように備え、
【００１８】また、下方位置に備えたカメラまたは
に相対した凹部３の上面に吸気口７をあけてチップｔを
吸着保持するように備えると共に、該凹部３の下面のベ
ース８にチップｔの下面、右面をカメラまたはで検
査するための窓９をあけて備える。
に相対した凹部３の上面に吸気口７をあけてチップｔを
吸着保持するように備えると共に、該凹部３の下面のベ
ース８にチップｔの下面、右面をカメラまたはで検
査するための窓９をあけて備える。
【００１９】Ｕ形シュート４の導入口４ｂに相対した位
置の凹部３に噴気口１０を備えて、凹部３のチップｔを
噴気口１０の噴気力で導入口４ｂへ吹き込むと共に、搬
出口４ｃに相対した凹部３の吸気孔６の吸気力と共働し
てＵ形シュート４内のチップｔを移送し凹部３に戻し装
填するように備えたものである。
置の凹部３に噴気口１０を備えて、凹部３のチップｔを
噴気口１０の噴気力で導入口４ｂへ吹き込むと共に、搬
出口４ｃに相対した凹部３の吸気孔６の吸気力と共働し
てＵ形シュート４内のチップｔを移送し凹部３に戻し装
填するように備えたものである。
【００２０】
【Ｕ形シュート】Ｕ形シュートは本発明「チップの６面
検査装置」の一部として使用するだけでなく、チップを
ローターの各凹部に１個宛分離装填して搬送する各種の
装置におけるチップの姿勢転換手段として汎用できるも
のである。
検査装置」の一部として使用するだけでなく、チップを
ローターの各凹部に１個宛分離装填して搬送する各種の
装置におけるチップの姿勢転換手段として汎用できるも
のである。
【００２１】即ち、Ｕ形シュート４は、チップｔを通過
させるシュート孔４ａ（横断面形状をチップの横断面形
状に見合った方形若しくは長方形に形成。）を貫通した
パイプをＵ字形に曲成し、ローター１の凹部３に相対し
た前方位置に導入口４ｂを開口し、該凹部３より後位の
凹部３に相対した前方位置に排出口４ｃを開口して備え
たものであり、
させるシュート孔４ａ（横断面形状をチップの横断面形
状に見合った方形若しくは長方形に形成。）を貫通した
パイプをＵ字形に曲成し、ローター１の凹部３に相対し
た前方位置に導入口４ｂを開口し、該凹部３より後位の
凹部３に相対した前方位置に排出口４ｃを開口して備え
たものであり、
【００２２】
【チップの前、後面を１８０°反転】ローターの凹部の
チップを該Ｕ形シュートの導入口から排出口へ通過させ
て凹部へ戻すと、チップの前、後面が転換した状態を装
填され、
チップを該Ｕ形シュートの導入口から排出口へ通過させ
て凹部へ戻すと、チップの前、後面が転換した状態を装
填され、
【００２３】
【前後面反転、上下左右面を９０°回転】Ｕ形シュート
のシュート孔を導入口から排出口の中間で９０°捻じっ
て形成して、ローターの凹部のチップを導入口から排出
口へ通過させて凹部へ戻すようにすると、チップの前、
後面が転換されると共に、上、下、左、右面が９０°回
転した状態で凹部に装填され、
のシュート孔を導入口から排出口の中間で９０°捻じっ
て形成して、ローターの凹部のチップを導入口から排出
口へ通過させて凹部へ戻すようにすると、チップの前、
後面が転換されると共に、上、下、左、右面が９０°回
転した状態で凹部に装填され、
【００２４】
【前後面反転、上下面反転】Ｕ形シュートのシュート孔
を導入口から排出口の中間で１８０°捻じって形成し
て、ローターの凹部のチップを導入口から排出口へ通過
させて凹部へ戻すようにすると、チップの前、後面が転
換されると共に、上、下、左、右面が１８０°回転、即
ちチップの表、裏面が転換された状態で凹部に戻し装填
されるように備えたものである。
を導入口から排出口の中間で１８０°捻じって形成し
て、ローターの凹部のチップを導入口から排出口へ通過
させて凹部へ戻すようにすると、チップの前、後面が転
換されると共に、上、下、左、右面が１８０°回転、即
ちチップの表、裏面が転換された状態で凹部に戻し装填
されるように備えたものである。
【００２５】
【作用】フィダー等２からローター１の各凹部３へチッ
プｔを１個宛分離装填して高速ステップ搬送し、凹部３
の前方位置のカメラで凹部３のチップｔの前面を検査
し、次のステップで上方位置のカメラで上面を検査
し、次のステップで下方位置のカメラで下面を検査す
る。
プｔを１個宛分離装填して高速ステップ搬送し、凹部３
の前方位置のカメラで凹部３のチップｔの前面を検査
し、次のステップで上方位置のカメラで上面を検査
し、次のステップで下方位置のカメラで下面を検査す
る。
【００２６】下面検査のとき、吸気口７がチップｔを上
方に吸着保持すると共に、カメラの検査は下面の窓９
を通して行う。
方に吸着保持すると共に、カメラの検査は下面の窓９
を通して行う。
【００２７】上記３面検査済みのチップｔの凹部３がＵ
形シュート４の導入口４ｂに相対すると同時に噴気口１
０の噴気力で凹部３のチップｔが導入口４ｂに吹き込ま
れ、同時に排出口４ｃに相対した凹部３の吸気孔６の吸
気力が共働して、チップｔは排出口４ｃへ移送され、そ
の間にチップｔの前、後面を１８０°転換すると共に、
上、下、左、右面を９０°回転した姿勢となって凹部３
へ戻される。
形シュート４の導入口４ｂに相対すると同時に噴気口１
０の噴気力で凹部３のチップｔが導入口４ｂに吹き込ま
れ、同時に排出口４ｃに相対した凹部３の吸気孔６の吸
気力が共働して、チップｔは排出口４ｃへ移送され、そ
の間にチップｔの前、後面を１８０°転換すると共に、
上、下、左、右面を９０°回転した姿勢となって凹部３
へ戻される。
【００２８】続くステップで凹部３の前方位置のカメラ
で再装填されたチップｔの後面を検査し、次のステッ
プで上方位置のカメラで左面を検査し、次のステップ
で下方位置のカメラで右面を検査する。
で再装填されたチップｔの後面を検査し、次のステッ
プで上方位置のカメラで左面を検査し、次のステップ
で下方位置のカメラで右面を検査する。
【００２９】右面検査のとき、前記の下面検査と同様
に、吸気口７がチップｔを上方に吸着保持すると共に、
カメラの検査は下面の窓９を通して行う。
に、吸気口７がチップｔを上方に吸着保持すると共に、
カメラの検査は下面の窓９を通して行う。
【００３０】上記で６面検査を終了したチップｔは、そ
の後のステップ搬送の途中で、６面検査結果による良品
チップと不良品チップの分別に従って、不良品チップを
ローター外へ排除し、良品チップをローター外へ取り出
し収納するものである。
の後のステップ搬送の途中で、６面検査結果による良品
チップと不良品チップの分別に従って、不良品チップを
ローター外へ排除し、良品チップをローター外へ取り出
し収納するものである。
【００３１】
【効果】１個のローターの円周部上でチップの６面検査
を行うことができるので、ローターが１個だけで済ん
で、コストが安く、設置スペースが小さく、検査分別ス
ピードが早い、極めて高効率の装置を提供し得る。
を行うことができるので、ローターが１個だけで済ん
で、コストが安く、設置スペースが小さく、検査分別ス
ピードが早い、極めて高効率の装置を提供し得る。
【００３２】Ｕ形シュートを通過させるだけで、チップ
の前、後面の転換、上、下、左、右面の転換を自在に行
うことができる優れた利点がある。
の前、後面の転換、上、下、左、右面の転換を自在に行
うことができる優れた利点がある。
【図１】本発明の実施例装置の構成概略を示す平面図。
【図２】チップの６面（前、後、上、下、左、右面）を
示す斜視図。
示す斜視図。
【図３】図２のチップをＵ形シュートを通過して、前、
後面を１８０°転換し、上、下、左、右面を９０°回転
した状態の斜視図。
後面を１８０°転換し、上、下、左、右面を９０°回転
した状態の斜視図。
【図４】カメラでチップの前面、カメラで後面を検
査する状態を示す一部拡大断面図。
査する状態を示す一部拡大断面図。
【図５】カメラでチップの上面、カメラで左面を検
査する状態を示す一部拡大断面図。
査する状態を示す一部拡大断面図。
【図６】カメラでチップの下面、カメラで右面を検
査する状態を示す一部拡大断面図。
査する状態を示す一部拡大断面図。
【図７】従来装置の斜視図。
ｔ チップ １ ローター ２ フィダー等 ３ 凹部 ４ Ｕ形シュート ４ａ シュート孔 ４ｂ 導入口 ４ｃ 排出口 ５ 吸気溝 ６ 吸気孔 ７ 吸気口 ８ ベース ９ 窓 １０ 噴気口
Claims (4)
- 【請求項１】フィダー等で搬送してくるチップを、高速
間欠回転する円板の円周部にチップ装填用の凹部を形成
したローターの各凹部に１個宛分離装填して搬送するよ
うに備え、該ローターの凹部に相対した前方、上方、及
び下方の位置に検査用のカメラ、、を備え、 上記凹部より後位の凹部に相対した前方位置にチップを
通すシュート孔の導入口を開口し、該凹部より後位の凹
部に相対した前方位置に排出口を開口したパイプ状のＵ
形シュートを備え、 該Ｕ形シュートはシュート孔をＵ形に形成すると共に導
入口から排出口の中間で９０°捻じって形成してチップ
が導入口から排出口に至る間にその前、後面を１８０°
反転すると共に上、下、左、右面を９０°回転するよう
に備え、 Ｕ形シュートの後位の凹部に相対した前方、上方、及び
下方の位置に検査用のカメラ、、を備えたもので
あり、 ローターの間欠回転で各凹部に装填したチップを搬送す
る過程で、カメラでチップの前面、カメラで上面、
カメラで下面をそれぞれ検査し、３面検査済みのチッ
プを凹部からＵ形シュートを通過して前、後面を反転す
ると共に、上、下、左、右面を９０°回転して凹部へ戻
し、カメラで該チップの後面、カメラで左面、カメ
ラで右面を検査することにより、チップの６面を検査
するようにしたことを特徴とする、 チップの６面検査装置。 - 【請求項２】ローターの各凹部に、吸気溝に連通した吸
気孔を配設して、各凹部に装填したチップを吸着保持す
るように備え、 また、下方位置に備えたカメラに相対した凹部の上面に
吸気口をあけてチップを吸着保持するように備えると共
に、該凹部の下面のベース板にチップの下面、右面をカ
メラで検査するための窓をあけた、 請求項１のチップの６面検査装置。 - 【請求項３】Ｕ形シュートの導入口に相対した位置の凹
部に噴気口を備えて、凹部のチップを噴気口の噴気力で
導入口へ吹き込むと共に、搬出口に相対した凹部の吸気
孔の吸気力と共働してＵ形シュート内のチップを移送し
凹部に戻し装填するように備えた、 請求項１のチップの６面検査装置。 - 【請求項４】Ｕ形シュートは、チップを通過させるシュ
ート孔を貫通したパイプをＵ字形に曲成し、ローターの
凹部に相対した前方位置に導入口を開口し、該凹部より
後位の凹部に相対した前方位置に排出口を開口して備え
たものであり、 ローターの凹部のチップを該Ｕ形シュートの導入口から
排出口へ通過させて凹部へ戻すと、チップの前、後面が
転換した状態で装填され、 Ｕ形シュートのシュート孔を導入口から排出口の中間で
９０°捻じって形成して、ローターの凹部のチップを導
入口から排出口へ通過させて凹部へ戻すようにすると、
チップの前、後面が転換されると共に、上、下、左、右
面が９０°回転した状態に装填され、 Ｕ形シュートのシュート孔を導入口から排出口の中間で
１８０°捻じって形成して、ローターの凹部のチップを
導入口から排出口へ通過させて凹部へ戻すようにする
と、チップの前、後面が転換されると共に、上、下、
左、右面が１８０°回転、即ちチップの表裏が転換され
た状態で凹部に装填されるように備えたものである、 チップ分離搬送ローターのチップ姿勢転換用Ｕ形シュー
ト。
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