JP2001338935A - ダイボンディング装置 - Google Patents
ダイボンディング装置Info
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- bonding apparatus
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- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
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- H01L21/67121—Apparatus for making assemblies not otherwise provided for, e.g. package constructions
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 電子部品を金属製のステムに実装させるにあ
たって自動化を達成するようにしたダイボンディング装
置を提供する。 【解決手段】 ダイボンディング装置１は、電子部品Ｓ
を金属製のステム２に実装させるためのダイボンディン
グ装置１において、電子部品Ｓを吸着させると共に、ス
テム２の部品実装面２７に電子部品Ｓを載置させるボン
ディングノズル１７と、ステム２を搭載させるステム搭
載ヘッド６と、ステム２の部品実装面２７上に電子部品
Ｓを配置させた状態で加熱するヒータ部９と、ヒータ部
９内に配置させたステム２の部品実装面２７を通るよう
に延在する光軸Ｌを有すると共に、光軸Ｌの方向に沿っ
て往復運動する撮像カメラ１２とを備えた構成である。
たって自動化を達成するようにしたダイボンディング装
置を提供する。 【解決手段】 ダイボンディング装置１は、電子部品Ｓ
を金属製のステム２に実装させるためのダイボンディン
グ装置１において、電子部品Ｓを吸着させると共に、ス
テム２の部品実装面２７に電子部品Ｓを載置させるボン
ディングノズル１７と、ステム２を搭載させるステム搭
載ヘッド６と、ステム２の部品実装面２７上に電子部品
Ｓを配置させた状態で加熱するヒータ部９と、ヒータ部
９内に配置させたステム２の部品実装面２７を通るよう
に延在する光軸Ｌを有すると共に、光軸Ｌの方向に沿っ
て往復運動する撮像カメラ１２とを備えた構成である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体レーザ結晶
などの電子部品をステムに実装させる際に利用するダイ
ボンディング装置に関するものである。
などの電子部品をステムに実装させる際に利用するダイ
ボンディング装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来において、半導体レーザ結晶をステ
ムに実装させたものとして、特開平７−３２１４１０号
公報がある。また、このような半導体レーザ結晶などの
微小部品をステムに実装する作業は、ピンセット等を利
用した手作業によって行われており、拡大鏡によって実
装部分を拡大しながら作業が進められているのが現実で
ある。
ムに実装させたものとして、特開平７−３２１４１０号
公報がある。また、このような半導体レーザ結晶などの
微小部品をステムに実装する作業は、ピンセット等を利
用した手作業によって行われており、拡大鏡によって実
装部分を拡大しながら作業が進められているのが現実で
ある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
たように、微小部品の実装作業は、拡大鏡をのぞきなが
らの手作業によって行われる関係上、作業者の技量によ
るところが大きく、実装作業の効率化を図る上で問題点
であった。
たように、微小部品の実装作業は、拡大鏡をのぞきなが
らの手作業によって行われる関係上、作業者の技量によ
るところが大きく、実装作業の効率化を図る上で問題点
であった。
【０００４】本発明は、上述の課題を解決するためにな
されたもので、特に、電子部品を金属製のステムに実装
させるにあたって自動化を達成するようにしたダイボン
ディング装置を提供することを目的とする。
されたもので、特に、電子部品を金属製のステムに実装
させるにあたって自動化を達成するようにしたダイボン
ディング装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係るダイボンデ
ィング装置は、電子部品を金属製のステムに実装させる
ためのダイボンディング装置において、電子部品を吸着
させると共に、ステムの部品実装面に電子部品を載置さ
せるボンディングノズルと、ステムを搭載させるステム
搭載ヘッドと、ステムの部品実装面上に電子部品を配置
させた状態で加熱するヒータ部と、ヒータ部内に配置さ
せたステムの部品実装面を通るように延在する光軸を有
すると共に、光軸の方向に沿って往復運動する撮像カメ
ラとを備えたことを特徴とする。
ィング装置は、電子部品を金属製のステムに実装させる
ためのダイボンディング装置において、電子部品を吸着
させると共に、ステムの部品実装面に電子部品を載置さ
せるボンディングノズルと、ステムを搭載させるステム
搭載ヘッドと、ステムの部品実装面上に電子部品を配置
させた状態で加熱するヒータ部と、ヒータ部内に配置さ
せたステムの部品実装面を通るように延在する光軸を有
すると共に、光軸の方向に沿って往復運動する撮像カメ
ラとを備えたことを特徴とする。
【０００６】このダイボンディング装置において、金属
製のステムはステム搭載ヘッドによって吸着され、ヒー
タ部に配置（固定）される。所定の場所でボンディング
ノズルに吸着された電子部品は、ステムまで搬送されて
部品実装面上に配置される。そして、部品実装面と電子
部品との間に配置させたハンダ材をヒータ部内で溶融さ
せ、その後、固化させることで電子部品はステムに固定
されるが、ヒータ部内でこのような加熱を行う前に、ボ
ンディングノズルに吸着させた電子部品を部品実装面に
正確に載置させる必要がある。そこで、実装前の部品実
装面の位置を正確に認識させることが必要で、そのため
に本発明では撮像カメラを採用するが、認識対象となる
電子部品が微細であればある程、撮像カメラによって、
部品実装面を高倍率で拡大する必要が生じる。また、撮
像カメラは、ボンディングノズルとの衝突を回避するた
めに往復運動するが、このときのカメラの撮像位置のズ
レが部品の実装に多大な影響を与えることになる。そこ
で、この撮像カメラは、ボンディングノズルに対し側方
へ逃がすように往復運動するのではなく、レンズのもつ
被写界深度を利用し、部品実装面を通る光軸に沿って往
復運動することになる。これにより、撮像カメラを機械
的に往復運動させた場合に必然的に生じる移動誤差を、
被写界深度内で吸収させることができ、簡単な構成をも
って確実な撮像を可能にし、特に、部品実装予定領域が
微小である場合でかつ撮像カメラを移動せざるを得ない
場合に、著しい効果を発揮するものである。
製のステムはステム搭載ヘッドによって吸着され、ヒー
タ部に配置（固定）される。所定の場所でボンディング
ノズルに吸着された電子部品は、ステムまで搬送されて
部品実装面上に配置される。そして、部品実装面と電子
部品との間に配置させたハンダ材をヒータ部内で溶融さ
せ、その後、固化させることで電子部品はステムに固定
されるが、ヒータ部内でこのような加熱を行う前に、ボ
ンディングノズルに吸着させた電子部品を部品実装面に
正確に載置させる必要がある。そこで、実装前の部品実
装面の位置を正確に認識させることが必要で、そのため
に本発明では撮像カメラを採用するが、認識対象となる
電子部品が微細であればある程、撮像カメラによって、
部品実装面を高倍率で拡大する必要が生じる。また、撮
像カメラは、ボンディングノズルとの衝突を回避するた
めに往復運動するが、このときのカメラの撮像位置のズ
レが部品の実装に多大な影響を与えることになる。そこ
で、この撮像カメラは、ボンディングノズルに対し側方
へ逃がすように往復運動するのではなく、レンズのもつ
被写界深度を利用し、部品実装面を通る光軸に沿って往
復運動することになる。これにより、撮像カメラを機械
的に往復運動させた場合に必然的に生じる移動誤差を、
被写界深度内で吸収させることができ、簡単な構成をも
って確実な撮像を可能にし、特に、部品実装予定領域が
微小である場合でかつ撮像カメラを移動せざるを得ない
場合に、著しい効果を発揮するものである。
【０００７】また、ヒータ部はステム搭載ヘッドの側方
に配置され、ステム搭載ヘッドは、ステムのステムベー
スから延びたステムピンを挿入させるピン挿入孔を有す
ると共に、ピン挿入孔の開口が上方を向く状態と側方を
向く状態との間で９０度回転すると好適である。この場
合、ステム搭載ヘッドが９０度回転する構造が採用され
ているので、ステムのステムピンを、ステム搭載ヘッド
のピン挿入孔に上から落とし込むことができる。そし
て、ステムをステム搭載ヘッドに搭載させた状態で、ス
テム搭載ヘッドを寝せるようにして９０度回転させるこ
とができるので部品実装面を撮像カメラ側に向けること
が可能となる。
に配置され、ステム搭載ヘッドは、ステムのステムベー
スから延びたステムピンを挿入させるピン挿入孔を有す
ると共に、ピン挿入孔の開口が上方を向く状態と側方を
向く状態との間で９０度回転すると好適である。この場
合、ステム搭載ヘッドが９０度回転する構造が採用され
ているので、ステムのステムピンを、ステム搭載ヘッド
のピン挿入孔に上から落とし込むことができる。そし
て、ステムをステム搭載ヘッドに搭載させた状態で、ス
テム搭載ヘッドを寝せるようにして９０度回転させるこ
とができるので部品実装面を撮像カメラ側に向けること
が可能となる。
【０００８】また、ステム搭載ヘッドは、このステム搭
載ヘッドの頂部に設けられてステムのステムベースの周
面を支持するステムベース受け部と、ステムのステムベ
ースの周面に押し当てられて、ステムベース受け部にス
テムベースの周面を押し付ける押圧爪を有すると好適で
ある。ステムをステム搭載ヘッドに搭載させた状態にお
いて、ステム搭載ヘッドが回転運動する場合や直線的な
進退運動する場合、ステムがステム搭載ヘッドから飛び
出したり、位置ずれを起こしたりする虞れがある。そこ
で、ステムのステムベースの周面を、押圧爪とステムベ
ース受け部とで挟持させることで、ステムの飛び出しや
位置ずれを機械的な手段によって回避させている。
載ヘッドの頂部に設けられてステムのステムベースの周
面を支持するステムベース受け部と、ステムのステムベ
ースの周面に押し当てられて、ステムベース受け部にス
テムベースの周面を押し付ける押圧爪を有すると好適で
ある。ステムをステム搭載ヘッドに搭載させた状態にお
いて、ステム搭載ヘッドが回転運動する場合や直線的な
進退運動する場合、ステムがステム搭載ヘッドから飛び
出したり、位置ずれを起こしたりする虞れがある。そこ
で、ステムのステムベースの周面を、押圧爪とステムベ
ース受け部とで挟持させることで、ステムの飛び出しや
位置ずれを機械的な手段によって回避させている。
【０００９】また、ヒータ部に載置させるステムベース
に向けて上昇する位置決め爪の先端を、ステムのステム
ベースの周面に設けられた切欠き部内に差し入れると好
適である。このように構成することで、ステム搭載ヘッ
ドにステムを搭載させた状態でのステムの回り止めを達
成することができ、このような位置決めによって、撮像
時や加熱時において、ステムが位置ずれを起こすことな
く、固定しておくことができる。
に向けて上昇する位置決め爪の先端を、ステムのステム
ベースの周面に設けられた切欠き部内に差し入れると好
適である。このように構成することで、ステム搭載ヘッ
ドにステムを搭載させた状態でのステムの回り止めを達
成することができ、このような位置決めによって、撮像
時や加熱時において、ステムが位置ずれを起こすことな
く、固定しておくことができる。
【００１０】また、電子部品が半導体レーザ結晶であ
り、ステムのステムベースには部品実装突部が形成さ
れ、この部品実装突部には、ステムベースに対して直交
する方向に部品実装面が延在すると好適である。これら
は、本発明のダイボンディング装置に適用させる最適な
部品であるといえる。
り、ステムのステムベースには部品実装突部が形成さ
れ、この部品実装突部には、ステムベースに対して直交
する方向に部品実装面が延在すると好適である。これら
は、本発明のダイボンディング装置に適用させる最適な
部品であるといえる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明によるダ
イボンディング装置の好適な一実施形態について詳細に
説明する。
イボンディング装置の好適な一実施形態について詳細に
説明する。
【００１２】図１及び図２に示すように、ダイボンディ
ング装置１は、電子部品（例えば、半導体レーザ結晶な
どの微小な部品）Ｓを金属製のステム２の所定の場所に
融着実装させる装置であり、自動化を実現させたもので
ある。このダイボンディング装置１は、筺体Ｈ内におい
て、各ステム２を宙づりの状態でマトリックス状に配列
させるためのストッカ３を有している。このストッカ３
に配列させたステム２は、一本ずつ所定の場所まで搬送
されるが、このときの搬送には、前後及び上下左右に移
動可能な吸着ヘッド４が利用される。この吸着ヘッド４
には、反転自在な回転式吸着ノズル５Ａ，５Ｂが設けら
れている。そして、各吸着ノズル５Ａ，５Ｂは、ステム
２を、筺体Ｈの略中央のステム搭載ヘッド６まで搬送さ
せたり、実装工程完了後のステム２をストッカ３に戻し
たりするのに利用される。
ング装置１は、電子部品（例えば、半導体レーザ結晶な
どの微小な部品）Ｓを金属製のステム２の所定の場所に
融着実装させる装置であり、自動化を実現させたもので
ある。このダイボンディング装置１は、筺体Ｈ内におい
て、各ステム２を宙づりの状態でマトリックス状に配列
させるためのストッカ３を有している。このストッカ３
に配列させたステム２は、一本ずつ所定の場所まで搬送
されるが、このときの搬送には、前後及び上下左右に移
動可能な吸着ヘッド４が利用される。この吸着ヘッド４
には、反転自在な回転式吸着ノズル５Ａ，５Ｂが設けら
れている。そして、各吸着ノズル５Ａ，５Ｂは、ステム
２を、筺体Ｈの略中央のステム搭載ヘッド６まで搬送さ
せたり、実装工程完了後のステム２をストッカ３に戻し
たりするのに利用される。
【００１３】このステム搭載ヘッド６は、水平方向に進
退運動するステム搭載ユニット７に設けられると共に、
鉛直平面内において９０度の範囲内で回転する。よっ
て、ステム搭載ヘッド６は、ステム２を受け入れるため
に立った状態と、ステム２を加熱するために寝せた状態
との間を回転する。更に、ステム搭載ヘッド６は、寝せ
た状態で前進し、ステム搭載ユニット７に対面するヒー
タユニット８まで移動することになる。そして、ヒータ
ユニット８内に設けたセラミックス製ヒータ部９によっ
て、ハンダ箔１５を溶かし、ステム２に電子部品Ｓを実
装させる（図６参照）。
退運動するステム搭載ユニット７に設けられると共に、
鉛直平面内において９０度の範囲内で回転する。よっ
て、ステム搭載ヘッド６は、ステム２を受け入れるため
に立った状態と、ステム２を加熱するために寝せた状態
との間を回転する。更に、ステム搭載ヘッド６は、寝せ
た状態で前進し、ステム搭載ユニット７に対面するヒー
タユニット８まで移動することになる。そして、ヒータ
ユニット８内に設けたセラミックス製ヒータ部９によっ
て、ハンダ箔１５を溶かし、ステム２に電子部品Ｓを実
装させる（図６参照）。
【００１４】このヒータユニット８の真上には、送りネ
ジ機構１０により上下動する撮像ユニット１１が配置さ
れ、この撮像ユニット１１には、拡大レンズ群とＣＣＤ
カメラとの組み合わせからなる撮像カメラ１２が取り付
けられている。この撮像カメラ１２は、ヒータ部９内を
上から覗きみる位置に配置され、ヒータ部９内に置かれ
たステム２上の微細な部品実装領域を拡大して認識させ
るために利用される。従って、撮像カメラ１２によっ
て、ステム２の部品実装領域を真上から撮像して画像処
理すると、予定された実装位置と現実の実装位置との位
置ずれを割り出すことができ、この値に基づいて、実装
の位置補正を行っている。
ジ機構１０により上下動する撮像ユニット１１が配置さ
れ、この撮像ユニット１１には、拡大レンズ群とＣＣＤ
カメラとの組み合わせからなる撮像カメラ１２が取り付
けられている。この撮像カメラ１２は、ヒータ部９内を
上から覗きみる位置に配置され、ヒータ部９内に置かれ
たステム２上の微細な部品実装領域を拡大して認識させ
るために利用される。従って、撮像カメラ１２によっ
て、ステム２の部品実装領域を真上から撮像して画像処
理すると、予定された実装位置と現実の実装位置との位
置ずれを割り出すことができ、この値に基づいて、実装
の位置補正を行っている。
【００１５】なお、撮像カメラ１２の先端（下端）に
は、環状に配列したＬＥＤからなる光源部１９が取り付
けられている。この光源部１９によって撮像する部位す
なわち後述の部品実装面２７を照らし出すことができ
る。
は、環状に配列したＬＥＤからなる光源部１９が取り付
けられている。この光源部１９によって撮像する部位す
なわち後述の部品実装面２７を照らし出すことができ
る。
【００１６】更に、筺体Ｈ内には、半導体レーザ結晶
（以下、「チップ部品」という）Ｓをステム２の所定位
置まで搬送するためのチップ用ボンディングヘッド１３
と、チップ部品Ｓとステム２との間に装着させるハンダ
箔１５（図６参照）をステム２の所定位置まで搬送する
ためのハンダ用ボンディングヘッド１４とが配置されて
いる。そして、各ボンディングヘッド１３，１４は、独
立した駆動系を有するものであり、水平方向に延在する
送りネジ１６によって独立した水平運動をする。さら
に、各ボンディングノズル１７，１８は、各ボンディン
グヘッド１３，１４の内部機構によって上下動する。
（以下、「チップ部品」という）Ｓをステム２の所定位
置まで搬送するためのチップ用ボンディングヘッド１３
と、チップ部品Ｓとステム２との間に装着させるハンダ
箔１５（図６参照）をステム２の所定位置まで搬送する
ためのハンダ用ボンディングヘッド１４とが配置されて
いる。そして、各ボンディングヘッド１３，１４は、独
立した駆動系を有するものであり、水平方向に延在する
送りネジ１６によって独立した水平運動をする。さら
に、各ボンディングノズル１７，１８は、各ボンディン
グヘッド１３，１４の内部機構によって上下動する。
【００１７】このようなボンディングヘッド１３，１４
の移動範囲内にチップトレー２０及びハンダトレー２１
が配置されている。このチップトレー２０内にはチップ
部品Ｓが個別収容され、ボンディングヘッド１３により
チップ部品Ｓは一個ずつ確実に取り出される。同様に、
ハンダトレー２１内にはハンダ箔１５が個別収容され、
ボンディングヘッド１４によりハンダ箔１５が一枚ずつ
確実に取り出されることになる。
の移動範囲内にチップトレー２０及びハンダトレー２１
が配置されている。このチップトレー２０内にはチップ
部品Ｓが個別収容され、ボンディングヘッド１３により
チップ部品Ｓは一個ずつ確実に取り出される。同様に、
ハンダトレー２１内にはハンダ箔１５が個別収容され、
ボンディングヘッド１４によりハンダ箔１５が一枚ずつ
確実に取り出されることになる。
【００１８】更に、筺体Ｈ内には、チップ部品Ｓの吸着
位置を撮像するためのチップ認識カメラ２２が配置さ
れ、このチップ認識カメラ２２は、チップトレー２０と
ヒータユニット８との間でチップ部品Ｓの搬送経路の途
中に設置されている。また、チップ認識カメラ２２の先
端（上端）には、環状に配列したＬＥＤからなる光源部
２３が取り付けられ、この光源部２３によって撮像する
部位を照らし出すことができる。
位置を撮像するためのチップ認識カメラ２２が配置さ
れ、このチップ認識カメラ２２は、チップトレー２０と
ヒータユニット８との間でチップ部品Ｓの搬送経路の途
中に設置されている。また、チップ認識カメラ２２の先
端（上端）には、環状に配列したＬＥＤからなる光源部
２３が取り付けられ、この光源部２３によって撮像する
部位を照らし出すことができる。
【００１９】従って、チップ認識カメラ２２の真上でボ
ンディングノズル１７を一旦停止させ、チップ部品Ｓを
下から撮像して画像処理することにより、予定された部
品吸着位置と現実の部品吸着位置との位置ずれを割り出
すことができる。すなわち、この画像処理によって、ボ
ンディングノズル１７の吸引口に対するチップ部品Ｓの
位置ずれが割り出され、この値に基づいて部品実装の位
置補正が行われる。なお、チップ部品Ｓをステム２に実
装させる際の正確な位置の割り出しは、チップ認識カメ
ラ２２による位置補正情報と、撮像カメラ１２による前
述した位置補正情報との組み合わせによって行われてい
る。
ンディングノズル１７を一旦停止させ、チップ部品Ｓを
下から撮像して画像処理することにより、予定された部
品吸着位置と現実の部品吸着位置との位置ずれを割り出
すことができる。すなわち、この画像処理によって、ボ
ンディングノズル１７の吸引口に対するチップ部品Ｓの
位置ずれが割り出され、この値に基づいて部品実装の位
置補正が行われる。なお、チップ部品Ｓをステム２に実
装させる際の正確な位置の割り出しは、チップ認識カメ
ラ２２による位置補正情報と、撮像カメラ１２による前
述した位置補正情報との組み合わせによって行われてい
る。
【００２０】ここで、前述した構成のダイボンディング
装置１に適用させるためのステム２の一例について説明
する。
装置１に適用させるためのステム２の一例について説明
する。
【００２１】図３〜図５に示すように、金属製のステム
２は円板状のステムベース２４を有し、このステムベー
ス２４には上方に向けて部品実装突部２６が形成されて
いる。この部品実装突部２６には、ステムベース２４の
上面２４ｃに対して直交する方向に延在する部品実装面
２７が設けられ、この部品実装面２７にチップ部品（半
導体レーザ結晶）Ｓがハンダ箔１５を介して融着実装さ
れることになる（図６参照）。また、ステムベース２４
には、その下面側から突出する３本のステムピン２８が
固定され、所定のステムピン２８を介して、チップ部品
Ｓに所定の電圧を印加させることができる。なお、ステ
ムベース２４の周面２４ａにおいて、部品実装突部２６
の後方には位置決め用の切欠き部２９が設けられてい
る。
２は円板状のステムベース２４を有し、このステムベー
ス２４には上方に向けて部品実装突部２６が形成されて
いる。この部品実装突部２６には、ステムベース２４の
上面２４ｃに対して直交する方向に延在する部品実装面
２７が設けられ、この部品実装面２７にチップ部品（半
導体レーザ結晶）Ｓがハンダ箔１５を介して融着実装さ
れることになる（図６参照）。また、ステムベース２４
には、その下面側から突出する３本のステムピン２８が
固定され、所定のステムピン２８を介して、チップ部品
Ｓに所定の電圧を印加させることができる。なお、ステ
ムベース２４の周面２４ａにおいて、部品実装突部２６
の後方には位置決め用の切欠き部２９が設けられてい
る。
【００２２】次に、前述したステム搭載ユニット７につ
いて詳述する。このステム搭載ユニット７は、図７に示
すように、エアーシリンダ９０によってガイドレール３
１に沿うように水平方向に進退する可動ブロック３２を
有し、この可動ブロック３２にはステム搭載ヘッド６が
回動自在に取付けられている。このステム搭載ヘッド６
は、図８及び図９に示すように、水平方向に延在する回
転シャフト３３に固定され、この回転シャフト３３は、
可動ブロック３２に設けたベアリング３４によって両持
ちの状態で支持される。
いて詳述する。このステム搭載ユニット７は、図７に示
すように、エアーシリンダ９０によってガイドレール３
１に沿うように水平方向に進退する可動ブロック３２を
有し、この可動ブロック３２にはステム搭載ヘッド６が
回動自在に取付けられている。このステム搭載ヘッド６
は、図８及び図９に示すように、水平方向に延在する回
転シャフト３３に固定され、この回転シャフト３３は、
可動ブロック３２に設けたベアリング３４によって両持
ちの状態で支持される。
【００２３】さらに、回転シャフト３３の片端には、リ
ンク３５の一端が固定され、このリンク３５の他端は、
軸ピン３６を介してエアーシリンダ機構３９のピストン
ロッド３７に連結されている。更に、エアーシリンダ機
構３９を揺動させることが必要であるから、エアーシリ
ンダ機構３９の末端は、軸部３８を介して可動ブロック
３２に回動自在に取り付けられている。従って、ピスト
ンロッド３７を突出させることで、図９に示すように、
ステム搭載ヘッド６を立てた状態にでき、ピストンロッ
ド３７を後退させることで、図７に示すように、ステム
搭載ヘッド６を寝かせた状態にして、ステム２のステム
ベース２４をヒータ部９側に向けることができる。
ンク３５の一端が固定され、このリンク３５の他端は、
軸ピン３６を介してエアーシリンダ機構３９のピストン
ロッド３７に連結されている。更に、エアーシリンダ機
構３９を揺動させることが必要であるから、エアーシリ
ンダ機構３９の末端は、軸部３８を介して可動ブロック
３２に回動自在に取り付けられている。従って、ピスト
ンロッド３７を突出させることで、図９に示すように、
ステム搭載ヘッド６を立てた状態にでき、ピストンロッ
ド３７を後退させることで、図７に示すように、ステム
搭載ヘッド６を寝かせた状態にして、ステム２のステム
ベース２４をヒータ部９側に向けることができる。
【００２４】このように、ステム搭載ヘッド６は、鉛直
平面内において９０度の範囲内で回転し、ステム２のス
テムピン２８を受け入れるために立った状態と、ステム
２の部品実装突部２６を加熱するために寝せた状態との
間を回転する。よって、ステム搭載ヘッド６を立たせた
状態では、ステム搭載ヘッド６のピン挿入孔６ａ（図９
参照）の開口６ｂが上を向いた状態となるので、ステム
ピン２８を、ピン挿入孔６ａ内に上から簡単に落とし込
むことができる。
平面内において９０度の範囲内で回転し、ステム２のス
テムピン２８を受け入れるために立った状態と、ステム
２の部品実装突部２６を加熱するために寝せた状態との
間を回転する。よって、ステム搭載ヘッド６を立たせた
状態では、ステム搭載ヘッド６のピン挿入孔６ａ（図９
参照）の開口６ｂが上を向いた状態となるので、ステム
ピン２８を、ピン挿入孔６ａ内に上から簡単に落とし込
むことができる。
【００２５】これに対し、ステム搭載ヘッド６を寝せる
ことで、開口６ｂが側方を向き、ステム２の部品実装面
２７が上を向くことになるので、この部品実装面２７に
対し上方からチップ部品Ｓを実装させることが可能とな
る。また、ステム搭載ヘッド６が可動ブロック３２と一
緒に前進するので、部品実装面２７を上に向けた状態
で、部品実装突部２６をヒータ部９内に差し込むことが
可能となる。
ことで、開口６ｂが側方を向き、ステム２の部品実装面
２７が上を向くことになるので、この部品実装面２７に
対し上方からチップ部品Ｓを実装させることが可能とな
る。また、ステム搭載ヘッド６が可動ブロック３２と一
緒に前進するので、部品実装面２７を上に向けた状態
で、部品実装突部２６をヒータ部９内に差し込むことが
可能となる。
【００２６】更に、ステム搭載ヘッド６は、９０度の回
転運動や直線的な進退運動を行うので、ステム２がステ
ム搭載ヘッド６から飛び出したり、位置ずれを起こした
りする虞れがある。そこで、図１０及び図１１に示すよ
うに、ステム搭載ヘッドの頂部にはステムベース受け部
４０が突出し、ステム２のステムピン２８をピン挿入孔
６ａ内に挿入させた状態で、ステムベース２４の底面２
４ｂはステムベース受け部４０によって支持される。ま
た、ステムベース２４の周面２４ａには、押圧爪４１の
先端がステムベース受け部４０の対向する側から押し当
てられる。
転運動や直線的な進退運動を行うので、ステム２がステ
ム搭載ヘッド６から飛び出したり、位置ずれを起こした
りする虞れがある。そこで、図１０及び図１１に示すよ
うに、ステム搭載ヘッドの頂部にはステムベース受け部
４０が突出し、ステム２のステムピン２８をピン挿入孔
６ａ内に挿入させた状態で、ステムベース２４の底面２
４ｂはステムベース受け部４０によって支持される。ま
た、ステムベース２４の周面２４ａには、押圧爪４１の
先端がステムベース受け部４０の対向する側から押し当
てられる。
【００２７】この押圧爪４１は、図１２に示すように、
ステム搭載ヘッド６に沿って延びる揺動レバー４２の先
端に設けられている。この揺動レバー４２は、ステム搭
載ヘッド６に設けられた軸部４６によって揺動自在に支
持され、揺動レバー４２の基端は、バネ４３によって付
勢させている。従って、バネ４３の付勢力によって、押
圧爪４１は、ステムベース２４の周面２４ａに押し付け
られることになり、ステムベース２４の周面２４ａを、
押圧爪４１の先端とステムベース受け部４０とで挟持さ
せるので、ステム２の飛び出しや位置ずれを機械的な手
段によって回避させることができる。
ステム搭載ヘッド６に沿って延びる揺動レバー４２の先
端に設けられている。この揺動レバー４２は、ステム搭
載ヘッド６に設けられた軸部４６によって揺動自在に支
持され、揺動レバー４２の基端は、バネ４３によって付
勢させている。従って、バネ４３の付勢力によって、押
圧爪４１は、ステムベース２４の周面２４ａに押し付け
られることになり、ステムベース２４の周面２４ａを、
押圧爪４１の先端とステムベース受け部４０とで挟持さ
せるので、ステム２の飛び出しや位置ずれを機械的な手
段によって回避させることができる。
【００２８】また、押圧爪４１の押付け解除は、エアー
シリンダ機構４４のピストンロッド４５によって達成さ
れる。すなわち、ピストンロッド４５の突出動作によっ
て、ピストンロッド４５の先端を、バネ４３の力に抗し
て揺動レバー４２の基端に押し付け、その結果として、
押圧爪４１を外方に逃がす。このような押付け解除動作
は、ステム２をステム搭載ヘッド６に搭載させる直前
と、部品実装完了後に、ステム２をステム搭載ヘッド６
から取り出すときに利用される。
シリンダ機構４４のピストンロッド４５によって達成さ
れる。すなわち、ピストンロッド４５の突出動作によっ
て、ピストンロッド４５の先端を、バネ４３の力に抗し
て揺動レバー４２の基端に押し付け、その結果として、
押圧爪４１を外方に逃がす。このような押付け解除動作
は、ステム２をステム搭載ヘッド６に搭載させる直前
と、部品実装完了後に、ステム２をステム搭載ヘッド６
から取り出すときに利用される。
【００２９】なお、ステム搭載ヘッド６に設けられたピ
ン挿入孔６ａを介して真空引きすることによっても、ス
テムベース２の底面２４ｂはステムベース受け部４０に
押し付けられているので、前述した機械的手段ばかりで
なく、物理的な手段によっても、ステム２の飛び出しや
位置ずれを防止させる。
ン挿入孔６ａを介して真空引きすることによっても、ス
テムベース２の底面２４ｂはステムベース受け部４０に
押し付けられているので、前述した機械的手段ばかりで
なく、物理的な手段によっても、ステム２の飛び出しや
位置ずれを防止させる。
【００３０】図１０及び図１３に示すように、撮像時や
加熱時において、ヒータ部９の前面に形成した凹部９ａ
内に部品実装面２７を配置させた場合に、この部品実装
面２７が常に上を向くように、ステム２の回り止めを行
うことが必要である。そこで、ステムベース２４に向け
て下から位置決め爪５０を突出させ、この位置決め爪５
０を、ステムベース２４の周面２４ａに設けらた切欠き
部２９に差し込むようにする。この位置決め爪５０は、
鉛直方向に延びる昇降部材５５の先端に固定され、この
昇降部材５５を、水平に延在する揺動アーム５１の先端
に固定させる。
加熱時において、ヒータ部９の前面に形成した凹部９ａ
内に部品実装面２７を配置させた場合に、この部品実装
面２７が常に上を向くように、ステム２の回り止めを行
うことが必要である。そこで、ステムベース２４に向け
て下から位置決め爪５０を突出させ、この位置決め爪５
０を、ステムベース２４の周面２４ａに設けらた切欠き
部２９に差し込むようにする。この位置決め爪５０は、
鉛直方向に延びる昇降部材５５の先端に固定され、この
昇降部材５５を、水平に延在する揺動アーム５１の先端
に固定させる。
【００３１】また、この揺動アーム５１は、ヒータユニ
ット８に設けられた軸部５２によって揺動自在に支持さ
れると共に、下方に配置したバネ５３によって、下から
突き上げるように支持されている。従って、バネ５３の
付勢力によって、位置決め爪５０がステムベース２４の
切欠き部２９内に差し込まれることになる。
ット８に設けられた軸部５２によって揺動自在に支持さ
れると共に、下方に配置したバネ５３によって、下から
突き上げるように支持されている。従って、バネ５３の
付勢力によって、位置決め爪５０がステムベース２４の
切欠き部２９内に差し込まれることになる。
【００３２】これに対し、位置決め爪５０による位置決
め解除は、揺動アーム５１の基端側に配置したエアーシ
リンダ機構５４のピストンロッド５６によって達成され
る。すなわち、ピストンロッド５６の突出動作によっ
て、ピストンロッド５６の先端を、バネ５３の力に抗し
て揺動アーム５１の基端に下から押し付け、その結果と
して、位置決め爪５０が下方に逃がされることになる。
このような位置決め解除動作は、ステム２の加熱／冷却
作業完了後に行われる。
め解除は、揺動アーム５１の基端側に配置したエアーシ
リンダ機構５４のピストンロッド５６によって達成され
る。すなわち、ピストンロッド５６の突出動作によっ
て、ピストンロッド５６の先端を、バネ５３の力に抗し
て揺動アーム５１の基端に下から押し付け、その結果と
して、位置決め爪５０が下方に逃がされることになる。
このような位置決め解除動作は、ステム２の加熱／冷却
作業完了後に行われる。
【００３３】図１０に示すように、ヒータ部９内で行わ
れる部品実装面２７の位置決めは、撮像カメラ１２の光
軸Ｌがチップ部品Ｓの実装予定領域の中心を通るような
位置で行われる。そして、微細なチップ部品Ｓの実装予
定位置を認識させる場合、撮像カメラ１２によって、部
品実装面２７を高倍率で拡大する必要がある。このと
き、撮像カメラ１２は、ボンディングヘッド１３，１４
との衝突を避けるために上下方向に往復運動する。そし
て、撮像カメラ１２は、レンズのもつ被写界深度を利用
し、部品実装面２７を通る光軸Ｌに沿って往復運動する
ことになる。これによって、撮像カメラ１２が、送りネ
ジ機構１０等により機械的に往復運動した場合に必然的
に生じる移動誤差を、被写界深度内で吸収させることが
でき、簡単な構成をもって確実な撮像を可能にし、部品
実装予定領域が微小である場合でかつ撮像カメラ１２を
移動せざるを得ない場合に、著しい効果を発揮する。
れる部品実装面２７の位置決めは、撮像カメラ１２の光
軸Ｌがチップ部品Ｓの実装予定領域の中心を通るような
位置で行われる。そして、微細なチップ部品Ｓの実装予
定位置を認識させる場合、撮像カメラ１２によって、部
品実装面２７を高倍率で拡大する必要がある。このと
き、撮像カメラ１２は、ボンディングヘッド１３，１４
との衝突を避けるために上下方向に往復運動する。そし
て、撮像カメラ１２は、レンズのもつ被写界深度を利用
し、部品実装面２７を通る光軸Ｌに沿って往復運動する
ことになる。これによって、撮像カメラ１２が、送りネ
ジ機構１０等により機械的に往復運動した場合に必然的
に生じる移動誤差を、被写界深度内で吸収させることが
でき、簡単な構成をもって確実な撮像を可能にし、部品
実装予定領域が微小である場合でかつ撮像カメラ１２を
移動せざるを得ない場合に、著しい効果を発揮する。
【００３４】次に、ダイボンディング装置１の前述した
構成に基づく動作を簡単に説明する。
構成に基づく動作を簡単に説明する。
【００３５】先ず、図１及び図２に示すように、ストッ
カ３に吊されるように並べられた多数のステム２から選
択して、吸着ノズル５Ａ及び吸着ノズル５Ｂのそれぞれ
に、選択されたステム２のステムベース２４を一本ずつ
吸着させる。この状態で、吸着ヘッド４を前進させて、
吸着ノズル５Ａ，５Ｂがステム搭載ヘッド６の真上にな
るように、吸着ヘッド４を静止させる。その後、吸着ノ
ズル５Ａを下降させ、立てられた状態のステム搭載ヘッ
ド６のピン挿入孔６ａ内にステム２のステムピン２８を
挿入する。そして、ピン挿入孔６ａ内を真空引きの状態
にした後、押圧爪４１でステムベース２４の周面２４ａ
を押しながら、ステムベース２４をステムベース受け部
４０と押圧爪４１とで挟み込む。
カ３に吊されるように並べられた多数のステム２から選
択して、吸着ノズル５Ａ及び吸着ノズル５Ｂのそれぞれ
に、選択されたステム２のステムベース２４を一本ずつ
吸着させる。この状態で、吸着ヘッド４を前進させて、
吸着ノズル５Ａ，５Ｂがステム搭載ヘッド６の真上にな
るように、吸着ヘッド４を静止させる。その後、吸着ノ
ズル５Ａを下降させ、立てられた状態のステム搭載ヘッ
ド６のピン挿入孔６ａ内にステム２のステムピン２８を
挿入する。そして、ピン挿入孔６ａ内を真空引きの状態
にした後、押圧爪４１でステムベース２４の周面２４ａ
を押しながら、ステムベース２４をステムベース受け部
４０と押圧爪４１とで挟み込む。
【００３６】この状態からステム搭載ヘッド６を寝せる
ように９０度回転させて、部品実装面２７を真上に向け
る。その後、可動ブロック３２を前進させて、ヒータ部
９の凹部９ａ内にステム２の部品実装突部２６を差し込
む。そして、位置決め爪５０を下から突出させ、位置決
め爪５０をステムベース２４の切欠き部２９内に差し込
んで、ステム２を位置決めさせる。この状態で、撮像カ
メラ１２によって部品実装面２７を拡大し、ステム２の
部品実装領域を真上から撮像して画像処理し、予定され
た実装位置と現実の実装位置との位置ずれを割り出す。
ように９０度回転させて、部品実装面２７を真上に向け
る。その後、可動ブロック３２を前進させて、ヒータ部
９の凹部９ａ内にステム２の部品実装突部２６を差し込
む。そして、位置決め爪５０を下から突出させ、位置決
め爪５０をステムベース２４の切欠き部２９内に差し込
んで、ステム２を位置決めさせる。この状態で、撮像カ
メラ１２によって部品実装面２７を拡大し、ステム２の
部品実装領域を真上から撮像して画像処理し、予定され
た実装位置と現実の実装位置との位置ずれを割り出す。
【００３７】この画像処理完了後、ハンダトレー２１内
のハンダ箔１５は、ボンディングノズル１８に吸着させ
た状態で、ステムベース２４上まで搬送され、部品実装
面２７上に置かれる。その後、チップトレー２０内のチ
ップ部品Ｓが、ボンディングノズル１７に吸着され、ス
テムベース２４上まで搬送される途中で、チップ認識カ
メラ２２の真上で一旦停止する。そして、チップ認識カ
メラ２２によって、画像処理を行い、ボンディングノズ
ル１７の吸引口において、予定された部品吸着位置と実
際上の部品吸着位置との位置ずれを割り出す。そして、
チップ認識カメラ２２による位置補正情報と、撮像カメ
ラ１２による位置補正情報との組み合わせにより、ボン
ディングノズル１７を制御しながら、チップ部品Ｓを部
品実装面２７に正確に置くことになる。
のハンダ箔１５は、ボンディングノズル１８に吸着させ
た状態で、ステムベース２４上まで搬送され、部品実装
面２７上に置かれる。その後、チップトレー２０内のチ
ップ部品Ｓが、ボンディングノズル１７に吸着され、ス
テムベース２４上まで搬送される途中で、チップ認識カ
メラ２２の真上で一旦停止する。そして、チップ認識カ
メラ２２によって、画像処理を行い、ボンディングノズ
ル１７の吸引口において、予定された部品吸着位置と実
際上の部品吸着位置との位置ずれを割り出す。そして、
チップ認識カメラ２２による位置補正情報と、撮像カメ
ラ１２による位置補正情報との組み合わせにより、ボン
ディングノズル１７を制御しながら、チップ部品Ｓを部
品実装面２７に正確に置くことになる。
【００３８】その後、セラミックス製ヒータ部９を例え
ば３５０℃程度に加熱させることで、チップ部品Ｓと部
品実装面２７との間のハンダ箔１５を溶融させる。その
後、ヒータ電源をＯＦＦにし、ヒータ部９内に窒素ガス
を流すことで、ヒータ部９を急速冷却し、ハンダ箔１５
が冷やされることで、ハンダ箔１５が固化し、チップ部
品Ｓが部品実装面２７に実装されることになる。なお、
この場合、ステム搭載ヘッド６のピン挿入孔６ａから窒
素ガスを吹き出させることで、ステムベース２４をも冷
却している。
ば３５０℃程度に加熱させることで、チップ部品Ｓと部
品実装面２７との間のハンダ箔１５を溶融させる。その
後、ヒータ電源をＯＦＦにし、ヒータ部９内に窒素ガス
を流すことで、ヒータ部９を急速冷却し、ハンダ箔１５
が冷やされることで、ハンダ箔１５が固化し、チップ部
品Ｓが部品実装面２７に実装されることになる。なお、
この場合、ステム搭載ヘッド６のピン挿入孔６ａから窒
素ガスを吹き出させることで、ステムベース２４をも冷
却している。
【００３９】このような部品実装工程が完了した後、可
動ブロック３２をエアーシリンダ９０で後退させた後、
ステム搭載ヘッド６を立たせるように９０度回転させ、
押圧爪４１を外側に逃がすようにして、ステム２をステ
ム搭載ヘッド６から解放する。そして、吸着ノズル５Ａ
によって、実装完了後のステム２を持ち上げるようにす
る。そして、このステム２は、ストッカ３まで運ばれて
元の場所に戻され、一連の部品実装工程が完了する。
動ブロック３２をエアーシリンダ９０で後退させた後、
ステム搭載ヘッド６を立たせるように９０度回転させ、
押圧爪４１を外側に逃がすようにして、ステム２をステ
ム搭載ヘッド６から解放する。そして、吸着ノズル５Ａ
によって、実装完了後のステム２を持ち上げるようにす
る。そして、このステム２は、ストッカ３まで運ばれて
元の場所に戻され、一連の部品実装工程が完了する。
【００４０】ここで、吸着ノズル５Ａによって、ステム
搭載ヘッド６からステム２を取り出した後、空になった
ステム搭載ヘッド６に、部品未実装状態のステム２を搭
載させるため、吸着ヘッド４を１８０°回転させる。こ
れにより、吸着ノズル５Ｂが下に向き、この状態で、ス
テム２のステムピン２８がステム搭載ヘッド６のピン挿
入孔６ａ内に落とし込まれる。このように、回転式の吸
着ヘッド４を採用すると、吸着ノズル５Ａで実装完了後
のステム２を取り出した直後に、吸着ノズル５Ｂで別の
ステム２をステム搭載ヘッド６に装填させることがで
き、次の部品実装作業の準備が短時間で整えられること
になり、部品実装作業工程の効率化が図られる。
搭載ヘッド６からステム２を取り出した後、空になった
ステム搭載ヘッド６に、部品未実装状態のステム２を搭
載させるため、吸着ヘッド４を１８０°回転させる。こ
れにより、吸着ノズル５Ｂが下に向き、この状態で、ス
テム２のステムピン２８がステム搭載ヘッド６のピン挿
入孔６ａ内に落とし込まれる。このように、回転式の吸
着ヘッド４を採用すると、吸着ノズル５Ａで実装完了後
のステム２を取り出した直後に、吸着ノズル５Ｂで別の
ステム２をステム搭載ヘッド６に装填させることがで
き、次の部品実装作業の準備が短時間で整えられること
になり、部品実装作業工程の効率化が図られる。
【００４１】本発明のダイボンディング装置は、前述し
た実施形態に限定されるものではなく、例えば、前述し
たボンディングノズル１８を利用して、チップ部品Ｓと
部品実装面２７との間に、ヒートシンクを配置させる場
合もある。
た実施形態に限定されるものではなく、例えば、前述し
たボンディングノズル１８を利用して、チップ部品Ｓと
部品実装面２７との間に、ヒートシンクを配置させる場
合もある。
【００４２】
【発明の効果】本発明によるダイボンディング装置は、
以上のように構成されているため、次のような効果を得
る。すなわち、電子部品を金属製のステムに実装させる
ためのダイボンディング装置において、電子部品を吸着
させると共に、ステムの部品実装面に電子部品を載置さ
せるボンディングノズルと、ステムを搭載させるステム
搭載ヘッドと、ステムの部品実装面上に電子部品を配置
させた状態で加熱するヒータ部と、ヒータ部内に配置さ
せたステムの部品実装面を通るように延在する光軸を有
すると共に、光軸の方向に沿って往復運動する撮像カメ
ラとを備えたことにより、電子部品を金属製のステムに
実装させるにあたって自動化を達成することが可能とな
る。
以上のように構成されているため、次のような効果を得
る。すなわち、電子部品を金属製のステムに実装させる
ためのダイボンディング装置において、電子部品を吸着
させると共に、ステムの部品実装面に電子部品を載置さ
せるボンディングノズルと、ステムを搭載させるステム
搭載ヘッドと、ステムの部品実装面上に電子部品を配置
させた状態で加熱するヒータ部と、ヒータ部内に配置さ
せたステムの部品実装面を通るように延在する光軸を有
すると共に、光軸の方向に沿って往復運動する撮像カメ
ラとを備えたことにより、電子部品を金属製のステムに
実装させるにあたって自動化を達成することが可能とな
る。
【図１】本発明に係るダイボンディング装置の一実施形
態を示す側面図である。
態を示す側面図である。
【図２】図１に示したダイボンディング装置の正面図で
ある。
ある。
【図３】ステムを示す斜視図である。
【図４】ステムの平面図である。
【図５】ステムの背面図である。
【図６】ステムの部品実装面にチップ部品を実装した状
態を示す拡大図である。
態を示す拡大図である。
【図７】図１に示したダイボンディング装置の要部拡大
側面図である。
側面図である。
【図８】ステム搭載ヘッドの回転機構を示す平面図であ
る。
る。
【図９】ステム搭載ヘッドの回転機構を示す側面図であ
る。
る。
【図１０】ヒータ部内にステムの部品実装面を配置させ
た状態を示す断面図である。
た状態を示す断面図である。
【図１１】図１０の平面図である。
【図１２】押圧爪の作動機構を示す断面図である。
【図１３】位置決め爪の作動機構を示す断面図である。
Ｓ…チップ部品（電子部品）、Ｌ…光軸、１…ダイボン
ディング装置、２…ステム、６…ステム搭載ヘッド、６
ａ…ピン挿入孔、９…ヒータ部、１２…撮像カメラ、１
７…ボンディングノズル、２４…ステムベース、２７…
部品実装面、２８…ステムピン、２９…切欠き部、４０
…ステムベース受け部、４１…押圧爪、５０…位置決め
爪。
ディング装置、２…ステム、６…ステム搭載ヘッド、６
ａ…ピン挿入孔、９…ヒータ部、１２…撮像カメラ、１
７…ボンディングノズル、２４…ステムベース、２７…
部品実装面、２８…ステムピン、２９…切欠き部、４０
…ステムベース受け部、４１…押圧爪、５０…位置決め
爪。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 新田 洋 東京都板橋区志村２丁目18番10号 日本電 産コパル株式会社内 (72)発明者 泉 正則 神奈川県座間市相武台２丁目215番地 日 本電産トーソク株式会社内 Ｆターム(参考） 5F047 AA02 BA01 BB05 CA08 FA52 FA73 FA83
Claims (5)
- 【請求項１】 電子部品を金属製のステムに実装させる
ためのダイボンディング装置において、 前記電子部品を吸着させると共に、前記ステムの部品実
装面に前記電子部品を載置させるボンディングノズル
と、 前記ステムを搭載させるステム搭載ヘッドと、 前記ステムの前記部品実装面上に前記電子部品を配置さ
せた状態で加熱するヒータ部と、 前記ヒータ部内に配置させた前記ステムの前記部品実装
面を通るように延在する光軸を有すると共に、前記光軸
の方向に沿って往復運動する撮像カメラとを備えたこと
を特徴とするダイボンディング装置。 - 【請求項２】 前記ヒータ部は前記ステム搭載ヘッドの
側方に配置され、前記ステム搭載ヘッドは、前記ステム
のステムベースから延びたステムピンを挿入させるピン
挿入孔を有すると共に、前記ピン挿入孔の開口が上方を
向く状態と側方を向く状態との間で９０度回転すること
を特徴とする請求項１記載のダイボンディング装置。 - 【請求項３】 前記ステム搭載ヘッドは、このステム搭
載ヘッドの頂部に設けられて前記ステムの前記ステムベ
ースの周面を支持するステムベース受け部と、前記ステ
ムのステムベースの周面に押し当てられて、前記ステム
ベース受け部に前記ステムベースの前記周面を押し付け
る押圧爪を有することを特徴とする請求項１又は２記載
のダイボンディング装置。 - 【請求項４】 前記ヒータ部に載置させる前記ステムベ
ースに向けて上昇する位置決め爪の先端を、前記ステム
の前記ステムベースの周面に設けられた切欠き部内に差
し入れることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項
記載のダイボンディング装置。 - 【請求項５】 前記電子部品が半導体レーザ結晶であ
り、前記ステムの前記ステムベースには部品実装突部が
形成され、この部品実装突部には、前記ステムベースに
対して直交する方向に前記部品実装面が延在することを
特徴とする請求項１〜４のいずれか一項記載のダイボン
ディング装置。
Priority Applications (4)
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|---|---|---|---|
| JP2000157011A JP2001338935A (ja) | 2000-05-26 | 2000-05-26 | ダイボンディング装置 |
| PCT/JP2001/004323 WO2001091174A1 (fr) | 2000-05-26 | 2001-05-23 | Dispositif de fixage de puce |
| EP01932227A EP1284497A1 (en) | 2000-05-26 | 2001-05-23 | Die bonding device |
| US10/048,048 US6581817B2 (en) | 2000-05-26 | 2001-05-23 | Die bonding device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000157011A JP2001338935A (ja) | 2000-05-26 | 2000-05-26 | ダイボンディング装置 |
Publications (1)
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|---|---|
| JP2001338935A true JP2001338935A (ja) | 2001-12-07 |
Family
ID=18661712
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2000157011A Pending JP2001338935A (ja) | 2000-05-26 | 2000-05-26 | ダイボンディング装置 |
Country Status (4)
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|---|---|
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| EP (1) | EP1284497A1 (ja) |
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Families Citing this family (9)
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|---|---|---|---|---|
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