KR102109877B1 - 부품 핸들링 시스템 - Google Patents

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헨리 융커
마르쿠스 페르슈틀
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뮐바우어 게엠베하 운트 콤파니 카게
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Abstract

본 발명은, 구조화된 부품 공급원으로부터 부품을 수용하고, 수용된 부품을 수용 장치에서 적재하기 위한 부품 핸들링 시스템에 관한 것이다. 복수의 수용 유닛을 구비하는 제1 터닝 장치는, 분배 지점에서, 구조화된 부품 공급원으로부터 부품을 수용하고, 수용된 부품의 종축 또는 횡축에 대해 제1 소정 각도만큼 수용된 부품을 터닝시켜, 그 부품을 이송 지점에 전달하도록 설계된다. 복수의 수용 유닛을 구비하는 제2 터닝 장치는, 이송 지점에서 제1 터닝 장치의 수용 유닛으로부터 부품을 수용하고, 수용된 부품의 종축 또는 횡축에 대해 제2 소정 각도로, 수용된 부품을 터닝시켜, 그 부품을 적재 지점에 전달하도록 설계된다. 제어 유닛은, 제1 회전식 구동장치를 이용하여 제어 방식으로 제1 터닝 장치를 제1 축에 대해 회전시키고, 제1 선형 구동 장치를 이용하여 제어 방식으로 제1 터닝 장치를 제1 축을 따라 이동시키며, 제2 회전식 구동 장치를 이용하여 제2 터닝 장치를 제1 축과 동일 선상에 있지 않은 제2 축에 대해 회전시키고, 제2 선형 구동 장치를 이용하여 제어 방식으로 제2 터닝 장치를 제2 축을 따라 이동시키도록 구성된다.

Description

부품 핸들링 시스템 {COMPONENT HANDLING SYSTEM}
본 명세서에는 부품-핸들링 장치가 기재된다. 이 부품-핸들링 장치는 수용 장치 및 이미징 센서와 함께 설명된다.
본 명세서에서 부품이란, 예를 들어 "칩" 또는 "다이"로 지칭되기도 하는 (전자) 반도체 부품이다. 이러한 부품은 일반적으로, 다수의 옆 면들, 상부 면 및 종단 면을 갖는, 실질적으로 다각형, 예를 들어 사각형(직사각형 또는 정사각형) 단면의 각기둥 형태이다. 부품의 옆 면들과 두(상부 및 하부) 종단 면은 일반적으로, 이하에서 측면(side face)으로서 지칭된다. 부품은 광학 부품(프리즘, 거울, 렌즈 등)일 수도 있다. 전체적으로, 부품은 어떤 기하학적 형태도 가질 수 있다.
출원인의 작업 실행으로부터, 흡입 장치 또는 홀딩 장치를 사용하여 부품 테이블로부터 부품들을 픽업하여, 후속적으로 캐리어 또는 이송 컨테이너 등에 적재하는(deposit) 소위 픽-업 장치 및 셋-다운(set-down) 장치가 공지되어 있다. 부품이 적재되기 전에, 일반적으로 부품의 검사가 수행된다. 이러한 목적으로, 부품의 하나 이상의 측면의 이미지들이 하나 이상의 카메라에 의해 기록되어 자동 이미지 처리에 의해 평가된다.
선행 기술
이러한 홀딩 장치들은, 부품을 운반하는 동안, 그리고 부품의 종단 면(end face), 예를 들어 하부 종단면의 이미지를 획득하는 동안 부품을 홀드(hold)한다. 예를 들어, DE 10 2008 018 586 A1호는 제1 작업 스테이션에서 제2 작업 스테이션으로 운반되는 부품의 표면을 검출하는 광학 검출 장치, 부품의 적어도 제1 표면을 향하는 카메라, 제1 표면에 단파 광 빔을 보내는 광원을 개시한다. 제2 광원이 부품의 적어도 제2 표면에 장파 광 빔을 보낸다. 카메라는 표면에서 반사되는 제1 광 빔 및 제2 광 빔을 수신한다. 제2 표면(들)은, 예를 들어, 밑면(underside)과 총 4개의 측면(side surface)을 구비하는 사각형 부품의 경우, 제1 표면(들)과 비교하여 서로 다르게 배향된다.
EP 1 470 747 B1은 칩 취출 장치(chip removal device), 칩 취출 시스템, 피팅(fitting) 시스템, 그리고 칩 취출 및 추가 프로세싱 방법에 관한 것이다. 칩들은 웨이퍼로부터 취출(remove)되어 이송 위치에 운송되며, 동시에 회전된다. 구조화된 반도체 웨이퍼로부터 칩을 취출하는 이러한 칩 취출 장치에는, 웨이퍼로부터 칩을 취출하여, 취출된 칩을 그 종축 또는 횡축에 대해 180°까지 터닝(turn)시키는 회전 가능한 취출 툴과, 취출된 칩을 다시 그 종축 또는 횡축에 대해 180°까지 터닝시키는 회전 가능한 터닝 툴이 장착되고, 터닝 툴은 취출 툴과 협력한다. 취출 툴은 제1 이송 위치를 가지고, 터닝 툴은 제2 이송 위치를 가지며, 이들 위치에서 칩들은 추가 프로세싱을 위해 피팅 헤드로 이송될 수 있다.
EP 0 906 011 A2는 기판 위의 전기 부품을 취출 및 장착하는 장치에 관한 것이다. 장치는, 픽업 위치에서 공급 모듈로부터 전기 부품을 취출하여, 추가 프로세싱을 위해 제1 이송 위치에서 이들을 흡입 벨트로 이송하는 회전 가능한 이송 장치를 포함한다. 회전 가능한 장착 헤드(equipping head)에 의해, 부품들은 흡입 벨트로부터 픽업되어 제2 이송 위치로 운송된다.
WO 02/054480 A1호는 실장될 칩의 다양한 표면을 광학적으로 검사하는 장치에 관한 것이다. 장치는, 공급 유닛으로부터 칩을 취출하여 제1 이송 위치로 운송하기에 적합한 제1 상부 운송 플레이트를 포함한다. 칩들은, 상부 운송 드럼의 측면에 형성되는 흡입 개구에서 홀드되고, 상부 운송 플레이트의 회전에 의해 이동된다. 장치는, 제1 운송 플레이트와 동일한 설계의 제2 하부 운송 플레이트를 추가적으로 구비하며, 제2 하부 운송 플레이트는 취출된 칩을 제1 이송 위치에서 픽업하여 제2 이송 위치로 운송한다. 장치는, 카메라가 운송 플레이트의 옆에 측방향으로 배치되어 칩들이 검사될 수 있도록 하며, 카메라는 칩의 상부면 및 하부면을 검사한다. 칩은 원래 배향에 대해 터닝되지 않은 채로, 추가 처리를 위해 선별 장치(sorting device)로 이송된다.
US 4, 619, 043호는 회로 기판에 전자 부품, 특히 칩을 취출 및 실장하는 장치 및 방법을 개시한다. 장치는, 픽업 위치에서 칩을 픽업하여 픽업된 칩을 제1 이송 위치에 운송하는 전달 수단을 포함한다. 전달 수단은 서로 맞물리는, 전달 체인과 회전 가능한 스프로켓을 구비한다. 장치는, 제1 이송 위치에서 칩을 픽업하기 위한 실장 헤드를 갖는 회전 가능한 고정 툴을 추가적으로 포함한다. 고정 툴은 픽업된 칩을 회전 운동에 의해 제2 이송 위치로 전달하기에 적합하며, 칩은 터닝된다.
JP 2-193813호는, 시험 장치에 의해 검사되는 전자 부품을 픽업 및 터닝시키는 장치에 관한 것이다. 장치는, 공급 유닛을 포함하며, 제1 회전 본체에 의해 공급 장치로부터 칩-형 부품이 취출되어 그 주변에 배치된다. 회전 본체의 최전 운동에 의해, 전자 부품이 제1 이송 위치로 운송되며, 이로 인해 전자 부품은 그 종축 또는 횡축에 대해 터닝된다. 장치는, 취출된 전자 부품을 제1 이송 위치에서 픽업하여, 제2 이송 장치로 운송하는 제2 회전 본체를 추가적으로 포함한다. 이로 인해, 전자 부품은 그 종축 또는 횡축에 대해 더 터닝된다. 따라서, 장치는 부품들의 다양한 측면이 검사될 수 있도록 한다.
US 6,079,284호는 태블릿의 상세한 외관 검사를 위한 장치에 관한 것이다. 장치는, 제1 검사 드럼으로, 측면에 형성되는 흡입 홀을 사용하여 공급 장치로부터 태블릿을 취출하고, 이들을 회전시켜 제2 검사 드럼으로 운송하는 제1 검사 드럼을 포함한다. 제1 드럼에 대응하는 제2 드럼에는, 이송 위치에서 태블릿을 픽업하는 흡입 홀이 제공된다. 장치는, 태블릿의 상세한 검사를 허용하는 검사 유닛을 추가적으로 포함한다.
추가적인 배경 기술은 JP 2001-74664 (A), JP 1-193630 (A), US 5,750,979, WO 85/04385 A1, DE 199 13 134 A1, JP 8-227904 A에서 찾을 수 있다.
부품-핸들링 장치가 부품의 정확한 핸들링뿐만 아니라, 높은 처리량으로 부품을 검사할 수 있도록 하는 것이다.
이러한 목적은, 청구항 제1항에 따른 부품-핸들링 장치에 의해 달성된다.
따라서, 본 명세서에 제시되는 장치는 통합형 핸들링/검사 장치를 형성한다. 이미징 센서들은 부품의 모든 또는 거의 모든 종단 면(들) 및/또는 측면(들)을 검사하여, 매니퓰레이터(픽업 요소들) 및 수용 지점들의 위치에 대한 관련 데이터를 제공한다. 따라서, 이 장치는 필요한 프로세스-관련 주변부, 예를 들어 부품의 공급원(예를 들어, 웨이퍼 테이블) 및 부품 저장부(예를 들어, 포켓 또는 캐리어 테이프)를 갖는, 폐쇄형 기계 시스템의 핵심부를 형성한다. 본 명세서에 제시되는 부품-핸들링 장치는, 예를 들어 부품-핸들링 장치의 상부 영역에 수평으로 배치되는 부품 공급원(웨이퍼)으로부터 고정형 이젝션 유닛(ejection unit)에 의해 부품들을 획득한다(take). 부품 공급부는 이러한 고정형 이젝션 유닛에 대해, 평면에서 이동한다. 이젝션 유닛은 바늘을 사용하거나 비접촉 방식(예를 들어, 레이저 빔을 사용하는 방식)으로, 부품들이 부품 공급원으로부터 방출(release)되어 픽업 요소에 의해 픽업되도록 한다. 이젝션된 부품들은 총 6개 또는 그 이상의 검사 과정으로 전달되고, 마지막으로 포켓 또는 캐리어 테이프의 수용 지점(포켓들) 내로 공급된다(feed). 본 명세서에서, 수용 지점과 (적재) 포켓이라는 표현은 동의어로서 사용된다. 이로 인해, 불량품(reject parts)들이 배출(discharge)될 수 있다. 이송 프로세스에 통합되는 부품의 광학 검사(examination)는 복수의 검사 프로세스로 나눠진다. 광학 검사는 하나 이상의 이미징 센서를 사용하여 부품의 종단 면(들) 및/또는 측면(들), 그리고 이송/수용 지점에서의 픽업 요소들의 위치를 광학적으로 검출한다. 이러한 이미징 센서들은 각각의 경우에, 복수의 검사 프로세스에서의 부품의 종단 면 및/또는 측면 중 하나에 대한 적어도 하나의 이미지를 획득하기에 적합하다. 부품의 공급/운송은, 터닝 장치의 픽업 요소들이 각각 부품을 홀딩하고 있는 동안 이루어진다. 홀딩된 부품은 운송되는 동안에 개별적인 검사 프로세스를 통과한다. 이미징 센서들로부터 획득된 (이미지) 데이터는 매니퓰레이터(픽업 요소들) 및 수용 지점들의 위치 제어를 조정(coordinate)하기 위해 사용된다. 부품 공급장치(feeder)는 그 경로를 따라 실질적으로 연속적으로 또는 주기적으로 부품을 공급하기에 적합하다.
본 명세서에 제시되는 완성된 어셈블리 그룹은 기능적으로, 핸들링 및 검사(inspection), 2개의 양태를 결합한다. 이들 두 기능은, 부품의 (최대 6개 또는 그 이상의) 복수의 측면의 신속하고 정확한 품질 평가(qualitative assessment)를 위해 서로 얽혀 있어, 부품들이 단수화된 형태로 부품 공급원으로부터 신속하게 취출되고, 검사에 의해 양품으로 분류(classified)될 때 수용 지점 또는 지점들에 정확하게 적재될 수 있도록 한다.
부품-핸들링 장치는, 바람직하게는 규제된 방식으로 작동되고, 바람직하게는 서로에 대해 실질적으로 직교(90°±최대 15°)하도록 배치되는 2개의 대략적으로 별-형상 또는 휠-형상의 터닝 장치를 구비한다. 터닝 장치들은 직사각형일 수도 있다. 이들 터닝 장치의 각각은 복수의 픽업 요소들을 운반(carry)하며, 픽업 요소는, 부품 획득(takeover) 및 이송 사이의 피벗 각도 내에서, 각각 픽업 요소에 고정되어 있는 부품들을 검사, 불량품 배출을 위한 하나 이상의 프로세싱 스테이션 및 경우에 따라 추가적인 스테이션들로 전달하기 위해, 터닝 장치의 회전 축에 대해 반경 방향으로 이동 가능하다.
본 명세서에 제시되는 부품-핸들링 장치에서, 별-형상 또는 휠-형상의 터닝 장치들은 반경 방향으로 외측을 향하는 픽업 요소 상의 부품을 운반하며, 픽업 요소들은 2개의 터닝 장치들의 (가상의) 외주에 배치된다. 이는, 하나 또는 2개의 터닝 장치들의 픽업 요소들이 동일 평면에 또는 터닝 장치의 회전축에 평행하게 배향되는 부품-핸들링 장치들과는 대조적이다.
복수의 검사 프로세스들이 전술되었지만, 이는 시간순서 또는 순서(먼저, 제1 검사 프로세스에서 이미지 획득 후 추가적인 검사 프로세스에서 이미지 획득)를 특정하기 위한 것이 아니다. 실제로, 반대 순서가 유리한 경우들도 생각할 수 있다. 복수의 부품들이 각각의 터닝 장치에서 동시에 픽업될 수 있기 때문에, 터닝 장치 개별의 픽업 요소들의 수에 따라, 다른 부품들임에도 불구하고, 검사 프로세스가 동시에 이루어진다.
개별적인 검사 프로세스에서 이미징 센서들에 의해 검출되는 부품의 (상부/하부) 종단 면(들) 및/또는 (측부) 옆 면(들)은 서로 다른 부품의 종단 면 및/또는 옆 면일 수 있다.
광학 검사의 일 양태는, 부품을 갖는 부품 공급장치가 실질적으로 정지하지 않고, 또는 거의 정지하지 않고 부품 경로를 완료하도록 한다. 이로 인해, 부품이 이동하는 동안 또는 최소 정지 시간 동안에, 이미징 센서들에 의해 부품의 하나 이상의 종단 면 및/또는 옆 면이 검출된다. 그 다음, 이 이미지들은 이미지 프로세싱 방법에 의해 평가된다. 이러한 광학 검출/검사의 일 변형 예에서, 하나 이상의 컬러 카메라 또는 흑백 카메라가 이미징 센서로서 제공된다.
이미징 센서들은 하나 이상의 거울, 광학 프리즘, 렌즈 등을 구비할 수 있다.
이미징 센서들은 관련 방사선원 또는 광원을 구비할 수 있다. 각각의 광원/방사선원은 부품의 적어도 일부를 조명하기 위해, 다양한 스펙트럼 또는 파장 범위의 광/방사선을 방사하기에 적합하다. 파장 범위는 서로 다르거나, 적어도 부분적으로 중첩되거나 일치할 수 있다. 예를 들어, 제1 광원의 광은 적색일 수 있고, 제2 광원의 광은 청색일 수 있다. 하지만, 역전된 조합 또는 다른 파장의 쌍(예를 들어, 적외선과 가시광선)이 선택될 수도 있다.
광원들은, 부품을 갖는 픽업 요소가 각각의 검출 영역에 있는 시점에, 제어 장치에 의해 잠시 스위치 온 되어, 각각의 이미징 센서에 의해 부품의 종단 면 및/또는 옆 면이 짧은 플래시 광에 의해 조명될 수 있다. 대안적으로, 영구 조명(permanent illumination)이 사용될 수 있다.
일 변형 예에서, 부품-핸들링 장치는, 구조화된 부품 공급원으로부터 제어기에 의해 대응하게 위치되는 제1 터닝 장치의 픽업 요소로 부품을 인도(deliver)하도록 배치되는 관련된 인도 장치를 구비한다. 이는, 바늘로 웨이퍼 캐리어 필름을 관통하여 부품을 밀어내는 부품 이젝터(다이 이젝터) 또는 의도적으로 캐리어 필름에 있는 부품의 접착제를 용융시키는 레이저 펄스 발생기일 수 있다. 인도 장치는, 인도되는 부품에 대한 인도 장치의 위치 및/또는 인도되는 부품의 위치 데이터 및/또는 인도되는 부품의 특성들을 검출하여, 이들을 인도 장치의 작동을 위한 제어기에 제공하기에 적합한 관련된 위치 및/또는 특성 센서를 구비한다.
일 변형 예에서, 부품-핸들링 장치는, 적재 지점으로 공급되는 부품을 위한, 적재 지점과 관련된 수용 장치를 구비한다. 수용 장치는, 적재 지점에 공급되는 부품의 위치 데이터, 수용 장치의 수용 지점 및/또는 그 안에 위치하는 부품의 위치 데이터 및/또는 특성을 검출하여, 이를 제어기에 제공하기에 적합한, 관련된 위치 및/또는 특성 센서들을 구비한다. 제어기는 제3 회전식 구동 장치를 이용하여, 적재 지점을 포함하는 수용 장치를 적어도 부분적으로 제3 축에 대해, 제어 방식으로 회전시키기에 적합하다. 제어기는 또한, 적어도 제3 선형 구동 장치를 이용하여, 적어도 부분적으로 축을 따라 제어 방식으로 수용 장치를 이동시키기에 적합할 수 있다. 마지막으로, 제어기는 또한, 선형 구동 장치를 이용하여, 수용 장치에 의해 안내되는 캐리어를 제1 축 및/또는 제2 축 중 하나를 따라, 제어 방식으로 이동시키기에 적합하다. 이러한 캐리어는 단수화된 형태의 부품들을 픽업하는 역할을 한다.
일 변형 예에서, 부품-핸들링 장치의 제1 및/또는 제2 터닝 장치의 픽업 요소들은, 반경 방향으로 각각의 터닝 장치의 회전축 또는 회전 중심으로, 제어 방식으로 전개(deploy) 및 후퇴되고, 및/또는 공급되는 부품을 수용 및 인도하기 위해 제어 방식으로 부압(negative pressure) 및/또는 과압(excess pressure)을 받고, 및/또는 각각의 반경 방향 이동 축에 대해 이동하지 않거나 또는 각각의 반경 방향 이동 축에 대해 일정 회전 각도까지 제어 방식으로 회전되기에 적합하다.
이러한 유형의 부품-핸들링 장치의 일 변형 예에서, 제1 및/또는 제2 터닝 장치의 픽업 요소들에는 분배 지점과 제1 및 제2 터닝 장치들 사이의 이송 지점에서의 반경 방향 전개/후퇴를 위한 관련된 선형 구동 장치가 제공된다. 이들 선형 구동 장치는 각각의 터닝 장치의 외측으로부터 대응되게 위치되는 픽업 요소들과 결합되어, 각각의 픽업 요소를 전개 또는 후퇴시킨다. 또 다른 변형 예에서, 이들 선형 구동 장치는 각각의 픽업 요소를 전개시키기만 하고, 복귀 스프링이 각각의 픽업 요소를 후퇴시킨다. 또 다른 변형 예에서, 각각의 픽업 요소는 관련된 양방향 또는 단일 방향의 방사상 구동 장치를 구비한다.
부품-핸들링 장치의 일 변형 예에서, 자유롭게 또는 위치-제어 방식으로 다음의 기능을 수행하기 위해, 밸브들이 각각의 개별적인 픽업 요소들에 부압 및 과압을 제공한다. 그 기능은 (i) 부품의 흡입, (ii) 부품의 홀딩, (iii) 제어된 분출(blow-off) 펄스로 또는 이것 없이 부품을 적재 및/또는 부품의 자유로운 분출이다.
부품-핸들링 장치의 일 변형 예에서, 위치 및 특성 센서들은, 분배 지점과 이송 지점 사이의 제1 터닝 장치와 관련되고, 및/또는 이송 지점과 적재 지점 사이의 제2 터닝 장치와 관련된다. 이들 센서는 공급된 부품의 위치 데이터 및/또는 특성들, 및/또는 매니퓰레이터(픽업 요소) 및 수용 지점들의 위치를 조절하기 위한 위치 데이터를 검출하여 제어기에 제공하기에 적합하다.
부품-핸들링 장치의 일 변형 예에서, 위치 및 특성 센서 중 적어도 일부는, 공급된 부품의 위치 데이터 및/또는 특성을 검출하여 제어기에 제공하기 위해, 공급된 부품의 적어도 하나의 종단 면 및/또는 하나 이상의 옆 면을 검사(inspect)하기에 적합하다.
부품-핸들링 장치의 일 변형 예에서, 수용되는 부품의 특성 및/또는 위치를 결정하기 위해 또는 수용 장치의 수용 지점들 및/또는 그 안에 위치되는 부품의 특성 및/또는 위치를 결정하기 위해, 이미징 특성 및/또는 위치 센서가 제1 터닝 장치의 중심 및/또는 제2 터닝 장치의 중심에 제공된다. 그러면, 수용되는 부품 또는 수용 지점의 특성 결함 및/또는 위치 오차(position error)가 있는 경우, 센서/센서들의 특성 데이터 및/또는 위치 데이터에 기초하여, 제어기에 의해 교정이 이행될 수 있다. 이로 인해, 이젝션 유닛, 부품 공급원 또는 웨이퍼, 터닝 장치들 및/또는 수용 장치의 대응하는 교정 운동을 행하기 위해, 이미징 위치 센서(들)은 제1 또는 제2 터닝 장치의 회전운동 동안에, 이웃하는 픽업 요소들 사이의 이미지 획득을 수행하여, 이를 제어기에 전달하기에 적합하다. 또 다른 변형 예에서, 이젝션 유닛은 고정되어 있다.
이들 이미징 특성 및/또는 위치 센서들에 추가적으로 또는 대안적으로, 수용되는 부품의 특성 및/또는 위치를 결정하기 위해, 또는 수용 장치의 수용 지점 및/또는 그 안에 위치되는 부품들의 위치를 결정하기 위해, 제1 및 제2 터닝 장치에 대해 외측에 제공되는 이미징 특성 및/또는 위치 센서들이 제공될 수 있다. 그러면, 수용되는 부품 또는 수용 지점의 품질 결함 및/또는 위치 오차가 있는 경우에, 이러한 센서/이들 센서의 특성 데이터 및/또는 위치 데이터에 기초하여, 제어기에 의해 교정이 이루어진다. 전술된 검사 시스템과는 독립적으로, 그리고 핸들링 시스템과의 구성 부품으로서의 기능적 연관을 위해, 위쪽을 향하는 부품 공급원 카메라 또는 적재 카메라로서, 아래쪽을 향하는 조립체 그룹(assembly group)(와 함께 90° 거울 시스템과 조명)이 2개의 터닝 장치 각각의 중심에 배치될 수 있으며, 이는 동일한 구성인 것이 바람직하지만, 반드시 그래야 하는 것은 아니다. 이들은, 부품 또는 수용 지점의 위치 오차가 발생하는 경우 그 위치를 교정하려는 목적으로, 부품 또는 수용 지점들의 위치를 검출하는 역할을 한다. 이미지 획득은, 픽업 요소들과 후속하는 웨이퍼사이의 윈도우 영역을 통한 2개의 터닝 장치의 피벗 운동 또는 수용 장치 교정 운동 동안, 각각의 경우에 이루어진다. 외측에 장착되는 웨이퍼 또는 적재 카메라의 대안도 가능하다.
부품-핸들링 장치의 일 변형 예에서, 이송 지점 및/또는 적재 지점의 상류 또는 하류에 배출 지점이 배치되며, 이 배출 지점은, 제어기의 제어 하에, 위치 및 특성 센서들 중 적어도 하나를 이용하여, 제어기에 의해 불량품으로서 식별된 부품은 배출하여, 양품으로 수용 장치에 적재되지 않도록 하기에 적합하다.
부품-핸들링 장치의 일 변형 예에서, n개의 픽업 요소 전체가 제1 및/또는 제2 터닝 장치에 관련된다. 그러므로 n>=2이다. 제1 터닝 장치의 픽업 요소의 수는 제2 터닝 장치의 픽업 요소의 수와 동일하거나 다를 수 있다.
부품-핸들링 장치의 일 변형 예에서, 제1 축, 제2 축 및/또는 제3 축은 각각 서로에 대해 90°± 최대10°또는 15°의 각도를 사이에 끼고 있다(enclose).
부품-핸들링 장치의 일 변형 예에서, 위치/특성 센서들은, 대응하는 또는 서로 다른 검출 스팩트럼을 구비하는 이미징 센서, 접촉식 또는 비접촉식으로 거리를 측정하는 위치 센서, 또는 접촉식 또는 비접촉식으로 검출하는 특성 센서이다.
위치 및 특성 센서들은 직선 또는 구부러진 광학 축을 구비하는 이미징 센서일 수 있다.
거울 및 조명 유닛을 포함하는, 위치 및 특성 센서들의 카메라 시스템은 단일 프로세싱 위치에서, 대면하는 부품 면과 그 부품의 두 옆 면의 부품 검사를 평행하게 수행할 수 있도록 하는 공간적 배열로 결합될 수 있다. 전체적으로, 예를 들어 직육면체 부품에 대해서, 6개 측면 모두에 대한 완전한 검사를 위해서는 2개의 프로세싱 위치면 충분하다. 그러기 위해서는, 2개의 프로세싱 위치 각각에서, 부품의 6개 측면 중 3개 측면이 검출된다. 일 변형 예에서는, 각각의 터닝 장치의 검사 위치로서, 각각의 제3의 프로세싱 위치가 회전축 또는 피벗 축의 레벨에서 대략 수평으로 고정될 수 있다.
추가적인 위치-측정 기능이 2개의 추가적인 카메라 시스템(전방/후방 카메라)에 할당될 수 있다.
부품-핸들링 장치의 일 변형 예에서, 제1 및/또는 제2 터닝 장치는 적어도 대략적으로 별-형상 또는 휠-형상이다. 터닝 장치들은 정밀-장착될 수 있으며, 터닝 장치들의 각각의 축을 따른 또는 각각의 축 주위의 위치설정은, 고해상도 (예를 들어, 회전 또는 선형) 인코더와 쌍으로, 선형으로 또는 회전식으로 작동하는 축 방향으로 배치되는 구동 장치에 의해 수행될 수 있다. 픽업 요소들은 외주(outer periphery)에 분포될 수 있으며, 반경 방향으로 외측을 향하는, 부품 전달을 위한 흡입 접촉 지점을 구비할 수 있다.
터닝 장치들을 서로에 대해 축방향으로, 약 90° 오프셋되도록 배치하는 것에 대한 이점은, 공급 과정 동안 부품들이 하나의 터닝 장치에서 다음 터닝 장치로 이송될 때, 픽업 요소 자체가 회전 이동 가능한 방식으로 장착될 필요 없이, 부품들이 픽업 요소의 특정 이동 평면에 대한 픽업 요소 축(또는 터닝 장치 축)에 대해 90° 회전을 수행한다는 점이다. 부품들의 이러한 배향 변경은 4개의 부품 절단면(cut face)(=부품의 측면)의 검사를 실질적으로 단순화시킨다. 이러한 목적으로, 부품 절단면을 향하고, 바람직하게는 부품 절단면(=부품의 옆 면)으로부터 매우 작은 거리를 두고 픽업 요소 이동 평면에 직각으로 (즉, 터닝 장치의 축 방향으로) 배치되는 카메라 시스템이 사용된다.
픽업 요소와 부품들 서로에 대한, 또는 이송 지점 및 검사 지점에 대한, 잘못된 위치설정의 검출은, 픽업 요소 또는 부품 위치 검출 측정 시스템으로서 카메라 시스템을 사용하여 수행된다. 정확도에 대한 요건이 매우 높은 경우, 접착 툴(bond tool) 위치 검출을 위해 3개의 거리-측정 센서들이 각각의 터닝 장치에 추가적으로 제공될 수 있다.
카메라들의 광학 축은 검사되는 부품 표면을 "관통"한다. 이들은 픽업 요소 위치에 대한 기준 시스템을 형성한다. 이를 기반으로, 회전 터닝 장치의 이상적인 픽업 센서 이동 평면에 평행한 평면에 배치되는 거리-측정 센서들에 의해, 타깃 이동 경로로부터의 픽업 요소 이동 경로의 편차가 결정될 수 있다. 이로부터 이송 위치에서 발생하는 위치 오차가 결정될 수 있고, 위치 오차는 제어기에 의해 보상될 수 있다.
추가적인 위치 센서의 기능적 원리에 따라, 프로세스가 실행 중일 때, 또는 주기적으로 반복하는 기준 런(예를 들어, 터치로 작동하는 센서를 측정하는 데 필요함) 동안, 픽업 요소 위치에 대한 기준 측정이 이루어질 수 있다. (짧은 프로세스 중단을 갖는 접촉 센서의 경우) 공간적인 위치 오차를 검출하기 위해 프로세스를 시작할 때, 그리고 열-관련 변위를 포함하는 프로세스 동안에, 비교적 길 수 있는 주기적인 기준 런이 요구된다.
일 변형 예에서, 특히 부품 이송 위치에서, 픽업 요소의 터닝 장치 및 (이송 위치 및 검사 위치에서) 이에 고정되는 부품의 위치 오차를 보상하기 위해, 로터 구동 장치(rotor drive)의 회전 교정 이동 및 축 방향으로의 직교하는 선형 교정 이동이 수행된다. 이를 위해, 일 변형예에서, 로터 구동 장치 조립체 그룹은 슬라이드 상에 배치되어, 위치-제어 구동 장치(예를 들어, 편심 드라이브)를 이용하여 제한된 경로 세그먼트에 의해 이동될 수 있다.
부품-핸들링 장치의 일 변형 예에서, 복수의 픽업 요소과 터닝 장치의 단단한 커플링은, 교정 값이 부품 이송 위치 또는 검사 위치로부터 순서상 다음 위치로 전달될 것을 요구한다. 이러한 교정은 고정된 이송 위치에서 시작하여, 마지막 부품이 수용 지점에 이송될 때 완료할 수 있다. 따라서, 최대 3개 축을 따른 총 위치 오류(summary position errors)와 최대 3개 축에 대한 비틀림은 수용 장치에 의해 보상된다.
부품-핸들링 장치의 일 변형 예에서, 픽업 요소들은 각각의 터닝 장치에 회전 가능하게 장착되지 않는다. 따라서, 부품이 공급되는 동안에 부품들의 배향 오차가 보상될 수 없다. 그러므로 일 변형 예에서는, 하류 측 주변 영역, 특히 수용 장치에, 축 위치 교정 이외에도 회전 교정에 대한 가능성이 제공되어야 한다.
부품-핸들링 장치의 또 다른 변형 예에서는, 회전 가능하게 장착되는 픽업 요소들로 회전 교정이 수행된다. 따라서, 부품이 공급되는 동안 부품의 배향 오차가 보상될 수 있다. 이로 인해, 상부 및/또는 하부 터닝 장치의 회전 가능하게 장착되는 픽업 요소들에 의해, 바람직하게는 하부 터닝 장치의 픽업 요소들에 의해 배향 오차가 교정된다.
본 명세서에서 제시되는 변형 예들은 선행 기술에 비해 비용이 적게 들고, 부품 처리량이 더 높으며, 검사를 위한 시간이 더 많고, 이동 양(moving mass)이 적다.
보다 정확하게는, 회전식 구동 장치를 사용하여, 적재 지점을 포함하는 제3 축을 적어도 부분적으로 중심으로 하여 제어 방식으로 회전하고, 및/또는 적어도 하나의 선형 구동 장치를 사용하여, 적어도 부분적으로 제1 축, 제2 축, 및/또는 제3 축을 따라 제어 방식으로 이동하고, 및/또는 회전식 구동 장치를 사용하여, 제1 축 및/또는 제2 축 중 하나를 따라 수용 장치에 의해 안내되는 캐리어를 제어 방식으로 이동시키기에 적합한 수용 장치, 특히 전술된 유형의 부품-핸들링 장치에 대한 솔루션이 제공된다.
본 명세서에서 제시되는 솔루션은 수용 장치를 위치설정 및/또는 회전시킴으로써, 터닝 장치들의 위치 및 위치설정이 동시에 보상될 수 있도록 한다. 따라서, 종래 기술에 비해 설비의 부품 처리량이 증가될 수 있다. 종래 기술에서는, 적재 테이프의 테이프 구동 장치가 느슨해지는 것(play)을 방지하기 위해, 구동 장치들이 서로에 대해 조절되어야 했다. 본 명세서에서 제시되는 솔루션은 한 방향으로만 운송이 수행되기 때문에 이러한 것이 방지된다. 이는, 특히 캐리어 테이프의 포켓들이 점진적으로 접착제 커버 테이프로 폐쇄되는 적용 예에서 유용하다. 캐리어 테이프가 다시 역방향으로 이송되는 경우, 커버 테이프를 다시 분리해야 할 때 문제들이 발생할 수 있다. 따라서, 구동 장치가 느슨해지는 것을 무시할 수 있다.
또 다른 변형 예에서는, 반대 방향으로 운송이 수행될 수도 있다.
부품의 위치 교정은 수용 장치에서 이루어진다. 따라서, 더 많은 시간을 사용 가능해진다. 부품들이 적재되는 테이프의 반송(return transport)은 더 이상 필요하지 않다. 따라서, 수용 장치는 보다 간단한 구조가 될 수 있다. 종래 기술에서와 같은 테이프의 반송을 위한 제2 구동 휠이 더 이상 필요하지 않다. 대신, 필요한 경우, 수용 장치 전체가 적재 테이프의 운송 방향에 대해 반대로 이동된다. 이에 대한 이점은, 운송 테이프의 운송을 통해서만 위치설정이 이루어지는 공지된 종래의 변형 예와 비교하여, 테이프의 위치설정에 대해 정확도가 더 높다는 점이다. 따라서, 운송 테이프에 후속적인 (자체-접착성) 커버 테이프 도포 또한 보다 용이해질 수 있다.
일 변형 예에서, 수용 장치는 고정식 베이스 플레이트의 위에 배치되고, 3개의 구동 장치의 모터가 베이스 플레이트의 아래에 배치된다. 수용 장치의 위치는 X, Y 축으로 조절(adjust)될 수 있고, Z 축에 대해 회전될 수 있다. 수용 장치의 각각의 이동 방향에 대해 각자의 구동 장치가 구비된다. 개별적인 구동 장치의 위치는 고정되지 않는다. Z-교정에 대한 회전축은 부품 적재 위치에 가깝거나 그 중심에 떨어진다.
수용 장치의 일 변형 예에서, 수용 장치는, 회전 구동 장치 또는 선형 구동장치(들)의 제어된 작동에 의해, 적재 지점과 적어도 대략적으로 정렬하도록 배향되는 2개의 수용 지점을 구비한다. 2개의 수용 지점은 캐리어의 이웃하는 부품 수용부의 간격에 따라, 서로에 대해 위치설정되어야 한다.
수용 장치의 일 변형 예에서, 수용 장치의 적어도 하나의 수용 지점에 대한 특성 및/또는 위치와 관련하여, 수용될 부품의 특성 및/또는 위치를 결정하기 위해 이미징 특성 및/또는 위치 센서가 제공된다. 이러한 이미징 특성 및/또는 위치 센서는 하부 터닝 장치에 또는 하부 터닝 장치의 중심에 위치된다. 제어기는 이러한 센서로부터의 이미지 데이터를 사용하여, 수용될 부품 또는 수용 지점의 특성 결함 및/또는 위치 오차가 있는 경우에 대응하는 교정 이동을 행하기 위해, 교정 명령을 생성할 수 있다.
또 다른 변형 예에서, 2개의 추가적인 이미징 특성 및/또는 위치 센서가 수용 장치에 제공된다. 하나의 센서는 품질 결함을 검사하기 위해 위에서 제2 윈도우를 향한다. 다른 센서는 전술된 센서와 비교하여, 부품의 기울어짐(tilting)을 보다 잘 검출 할 수 있도록 하기 위해, 측방향으로 제1 윈도우에 배치된다.
수용 장치의 일 변형 예에서, 제4 회전식 구동 장치는, 제어기로부터의 제어 신호의 제어 하에, 기계적인 견인력(traction)을 이용하여 제어 방식으로, 수용 장치에 의해 안내되는 캐리어를, 제1 축 및/또는 제2 축을 따라 캐리어의 이웃하는 부품 수용부들의 간격의 대략 80% 내지 120%, 바람직하게는 대략 100% ± 3% 이하만큼 이동시키기에 적합하다. 회전식 구동 장치는 제어기로부터의 제어 신호의 제어 하에 그리고 이미징 특성 및/또는 위치 센서로부터의 신호에 따라, 적어도 하나의 수용 지점과 그곳에 위치하는 캐리어의 부품 수용부를, 적재 지점을 포함하는 제3 축에 대해 제어 방식으로, 최대 ± 6°, 바람직하게는 최대 ± 3°만큼 회전시키기에 적합하다. 더불어, 추가적으로 또는 대안적으로, 적어도 하나의 선형 구동 장치는 제어기로부터의 제어 신호의 제어 하에, 제1 축, 제2 축 및/또는 제3 축을 따라 제어 방식으로, 캐리어의 이웃하는 부품 수용부들의 간격의 대략 ± 20% 이하, 바람직하게는 최대 ± 3%만큼 수용 장치를 이동시키도록 구성된다.
수용 장치의 일 변형 예에서, 제4 회전식 구동 장치는, 수용 장치에 의해 안내되는 캐리어를 캐리어의 이웃하는 부품 수용부들의 간격에 따라서, 제1 축 및/또는 제2 축을 따라 순방향으로 공급하기에 적합하다.
수용 장치의 일 변형 예에서, 수용 장치의 수용 지점들 중 적어도 하나 및/또는 수용 장치에서 안내되는 캐리어로부터, 손상되거나 및/또는 잘못 배치된 것으로 식별되는 부품을 제거하기 위한 흡입 및/또는 분출 장치가 제공된다.
수용 장치의 일 변형 예가 작동하는 동안, 제4 회전식 구동 장치에 의해 구동되는 스프로켓 휠이 적재 테이프의 운송 홀과 맞물려져, 운송 테이프를 공급 방향으로 운송시킨다. 스프로켓 휠은 순방향으로만 회전하는 것이 바람직하다. 적재 테이프는 규칙적인 간격으로 부품들을 위한 적재 포켓을 구비하는 것이 바람직하다. 스프로켓 휠은 각각의 적재 포켓에 대해 일정한 각도(예를 들어, 30°, 60°, 90°, 180° ... 360°)만큼 회전한다. 부품이 적재된 적재 포켓의 위치는 제2 터닝 장치의 중심에 있는 카메라에 의해 기록된 이미지로부터 알 수 있다. 또한, 제2 터닝 장치의 외주에 있는 카메라로부터, 다음에 적재될 부품이 픽업 요소에서 바른 위치에서 벗어나는지를 알 수 있다. 이러한 위치 정보로부터, 수용 장치가 재배치되어야 하는 거리 및/또는 각도가 제어기에서 계산된다. 또한, 수용 장치의 위치설정은, 이송 위치에서 상부 터닝 장치로부터 하부 터닝 장치로 부품을 정확하게 이송하기 위해 터닝 장치가 대응하게 x-방향 및 y-방향으로 이동될 것이라는 사실을 고려한다. 수용 장치는 필요한 경우, (x, y)축을 따라 선형으로 이동되고, 경우에 따라서는 회전되어, 부품 적재의 미세 조절을 보장한다.
부품이 적재 위치에 적재될 때, 그 위에 배치되는 제2 터닝 장치의 중심에 있는 카메라가 그 부품에 결함이 있는지, 즉 적재할 때 부품이 손상되었는지 아니면 그 전에 이미 결함이 있었는지에 대한 여부를 검출한다. 부품이 그 이전부터 결함이 있었던 것으로 식별되는 경우, 그 부품은 적재되지 않는다.
수용 장치의 적재 위치는 동시에 제1 흡입 위치가 될 수 있다. 이를 위해, 부압을 갖는 흡입 장치가 수용 장치의 적재 위치에 배치된다. 운송 테이프의 공급 방향에는, 제2의 대안적인 흡입 위치가 있다. 즉, 수용 장치에는 2개의 윈도우가 제공되며, 제1 윈도우에는 적재 위치에, 제2 윈도우에는 흡입 위치에 있다. 2개의 윈도우 사이의 거리는 캐리어 테이프의 간격에 상응하며, 그 간격에 맞게 조절될 수 있다. 부품이 정확하게 똑바로 적재되지 않아 비뚤어지거나 부분적으로 돌출하는 경우, 이는 제2 터닝 장치의 중심에 있는 카메라에 의해 식별된다. 캐리어 테이프는 잘못 적재된 부품 때문에 더 운송될 수 없다. 따라서, 적재 위치에서 흡입에 의해 부품이 착출(extract)되고, 적재될 다음 부품으로 교체된다. 부품이 손상된 경우에도 유사하게, 그 부품은 이 위치로부터 제거되어 적재될 다음 부품으로 교체될 수 있다. 제2 윈도우의 위치에서는 -경우에 따라서 추가적인 카메라를 사용하여- 부품들의 결함에 대해 검사될 수 있다. 부품이 결함이 있는 것으로 식별되는 경우, 수용 장치 전체가 역방향으로 이동되어, 결함이 있는 것으로 식별된 부품이 적재 위치에서 흡입에 의해 착출된다.
대안적으로, 제2 흡입 위치는 결함이 있는 것으로 식별된 부품을 제거하는 데 사용될 수 있다.
본 명세서에 제시되는 장치를 사용하면, 결함을 식별하기 위해 부품을 검사하는 것이 가능하다. 부품은 제1 및 제2 터닝 장치에 의해 적재되고, 결함이 있는 것으로 식별된 부품은 적재 위치에서 제거될 것이다. 이는 공통 위치에서 이루어진다.
수용 장치는 3개 방향, X-방향과 Y-방향으로, 그리고 적재 위치의 중심에 있는/중심에 근접한 수직(Z)축에 대해 이동한다. 이는, 캐리어 테이프가 운송 방향으로 공급되고, 부품 적재를 위한 위치설정을 위해 수용 장치가 테이프 운송 방향에 수직으로 이동되는 종래의 구성과는 대조적이다. 적재 지점은 트레이(예를 들어, Jedec 트레이) 형태 또는 안테나 테이프일 수 있다.
대안적인 변형 예에서, 수용 장치는, 손상된 것으로 식별된 부품 및/또는 수용 장치의 적어도 하나의 수용 지점 및/또는 수용 장치에서 안내되는 캐리어로부터 잘못 배치된 것으로 식별된 부품을 제거하기 위해, 관련된 흡입 및/또는 분출 장치를 구비한다.
일 변형 예에서, 수용 장치는, 회전축이 수용 장치의 공급 방향에 실질적으로 평행하게 배향되는 터닝 장치로부터 부품들을 수용할 수 있거나, 또 다른 변형 예에서 수용 장치는, 회전축이 수용 장치의 공급 방향에 실질적으로 횡방향으로 배향되는 터닝 장치로부터 부품들을 수용할 수 있다.
일 변형 예에서, 수용될 부품의 특성 및/또는 위치를 결정하기 위해, 또는 수용 장치의 수용 지점 및/또는 그곳에 위치하는 부품의 위치를 결정하기 위해, 이미징 특성 및/또는 위치 센서가 터닝 장치의 중심에 제공된다. 이러한 이미징 특성 및/또는 위치 센서는, 터닝 장치의 외주에 위치하는 이웃하는 픽업 요소들 사이에서 수용 장치의 수용 지점들 중 적어도 하나의 이미지 획득을 수행하도록 구성된다.
대안적인 변형 예에서, 수용될 부품의 특성 및/또는 위치를 결정하기 위해, 또는 수용 장치의 수용 지점과 그곳에 위치하는 부품의 위치를 결정하기 위해, 터닝 장치의 외측에 배치되는 이미징 특성 및/또는 위치 센서와 관련하여, 편향 거울 또는 프리즘이 터닝 장치의 중심에 배치된다. 편향 거울 또는 프리즘은 터닝 장치의 외측에 배치되는 이미징 특성 및/또는 위치 센서와 함께, 터닝 장치의 외주에 위치하는 이웃하는 픽업 요소들 사이에서 수용 장치의 수용 지점들 중 적어도 하나의 이미지 획득을 수행하도록 구성된다.
수용 장치는, 제어 방식으로, 선형 구동 장치에 의해 적어도 부분적으로 제1 축을 따라 적재 지점에 대해 양 방향으로 이동될 수 있다. 수용 장치에 의해 안내되는 캐리어는, 회전식 구동 장치에 의해 제어 방식으로, 제1 축 및/또는 제2 축을 따라 캐리어의 공급 방향으로 변위될 수 있다. 수용 장치에 의해 안내되는 캐리어는 2개의 수용 지점을 구비하고, 이들은 구동 장치의 제어된 작동에 의해, 부품들을 위한 적재 지점과 적어도 대략적으로 정렬되도록 배향되어야 한다. 이미징 특성 및/또는 위치 센서는, 그 특성 및/또는 위치에 대해 검사될 수용 장치의 적어도 하나의 수용 지점에 있는 부품의 특성 및/또는 위치를 제공한다. 특성 및/또는 위치 센서로부터의 이미지 데이터에 기초하여, 부품의 특성 결함 및/또는 위치 오차가 있는 경우, 수용 장치 및/또는 수용 장치에서 안내되는 캐리어의 대응하는 교정 이동을 행하기 위해, 제어기에 의해 교정 명령이 제공된다. 수용 장치는 손상된 것으로 식별되거나 및/또는 수용 장치의 적어도 하나의 수용 지점으로부터 및/또는 수용 장치에서 안내되는 캐리어로부터 잘못 배치된 것으로 식별되는 부품을 제거하기 위한, 관련 흡입 및/또는 분출 장치를 구비한다.
대안적인 일 변형예에서, 위치 및 특성 센서들은 제1 또는 제2 터닝 장치에 관련되는데, 센서들은 (i) 제1 또는 제2 터닝 장치의 위치 데이터, (ii) 픽업 요소들에 위치하는 부품들의 위치 데이터, 및/또는 (iii) 제1 또는 제2 터닝 장치의 픽업 요소들에 위치하는 부품들의 특성을 검출하여 제어기에 제공하기에 적합하다.
특히 전술된 구성/기능 모드를 구비하는 수용 장치로부터, 결함 부품을 제거하는 방법은 청구항 제11항에 기재된 단계들을 갖는다.
전자 부품에 대한 크기는 감소하면서 동시에 품질 요구사항이 증가됨에 따라, 그리고 감소되는 프로세싱 시간 동안에 이들이 처리되어야 하기 때문에, 종래의 센서 장치는 불충분한 것으로 판단되었다.
따라서, 일 변형 예로서, 특히 전술된 유형의 부품-핸들링 장치에서 부품의 위치 및/또는 특성 검출에 적합하고 그렇게 의도되는 이미징 센서가 제안된다. 이러한 이미징 센서는 적어도 2개의 서로 다른 검출 스펙트럼을 구비한다. 이는, 특히 수용 장치의 수용 지점에 위치하는 부품의 특성 결함 및/또는 위치 오차를 검출하기에 적합하며, 그렇게 의도된다. 이러한 이미징 센서는 방사선 스펙트럼과 방사선 입사각 및/또는 이와 관련된 방사선 반사각과 관련하여, 이미징 센서에 매칭되는 방사선원과 협동하기에 적합하며, 그렇게 의도된다. 이미징 센서는 각각의 검출 스펙트럼에 대한 하류 측 이미지 평가 유닛에 개별적 이미지를 제공하기에 적합하며, 그렇게 구성된다.
이러한 이미징 센서에서, 적어도 2개의 상이한 검출 스펙트럼은, 예를 들어 가시 범위 및 비-가시 범위로 구성된다. 이들은 적색 범위(630nm ± 30nm) 및/또는 녹색 범위(530nm ± 60nm) 및/또는 청색 범위(460nm ±50nm)의 색상 센서로서 구성될 수도 있다.
이미징 센서의 일 변형 예에서, 수용 장치의 적어도 하나의 수용 지점에 있는 부품에 및/또는 수용 장치에서 안내되는 캐리어에 센서를 광학적으로 결합하기에 적합한 광학 활성 요소가 제공된다.
이미징 센서의 일 변형 예에서, 광학 활성 요소들은 편향 거울, 프리즘, 컬러 필터 및/또는 렌즈를 포함한다.
일부 광학 활성 요소 및/또는 일부 방사선원은 다른 요소들과 독립적으로 활성화, 배향 및/또는 조절/포커싱되도록 구성될 수 있다.
본 명세서에 개시되는 통합형 핸들링/검사 장치는, 한편으로는 부품의 모든 또는 거의 모든 종단 면 및/또는 측면(들)을 검사하고, 이로 인해 다른 한편으로는 제1 및/또는 제2 터닝 장치의 매니퓰레이터(픽업 요소)와 수용 지점의 위치설정을 위해 관련 데이터를 제공하는, 이미징 센서를 사용한다.
일 변형 예에서, 제1(상부) 터닝 장치의 이미징 센서는 터닝 장치의 중심에 있는 컬러 카메라이다. 대안적으로, 카메라는 또 다른 변형 예에서, 터닝 장치의 중심에 있는 45° 편향 거울과 측방향으로 협력하는 흑백 카메라일 수도 있다. 일 변형 예에서, 이 카메라는, 다음 단계에서 부품 이젝터에 의해 부품 공급원으로부터 분리되는 부품을, 상부 터닝 장치가 2개의 픽업 요소 사이의 간격만큼 회전하는 동안 검출한다. 이렇게 획득된 이미지로부터, 부품을 검사하는 것과 부품 공급원에서 부품의 정확한 위치를 결정하는 것이 가능하다. 이미지 획득은 상부 터닝 장치의 회전 동안에, 관측 윈도우로서 지칭되는 기간에 수행된다.
본 명세서에 개시되는 통합형 핸들링/검사 장치는 상부 터닝 장치의 측 방향 카메라 형태의 이미징 센서들을 추가적으로 사용한다. 이들 카메라는 상부 터닝 장치의 외측에 반경 방향으로 약 90°로 배치되어, 부품의 원형 경로에서 부품의 정면이 중간 카메라에 의해 검출되고, 상호 반대인 옆 면들은 중간 카메라의 양측에 의해 검출된다. 이들 카메라는 컬러 카메라일 필요는 없다. 상부 터닝 장치는 180°위치에서 후속 부품 이송을 위해 짧은 시간(10ms 내지 60ms, 예를 들어 40ms) 동안 정지하기 때문에, 복수의 이미지 획득이 준비될 수 있다. 이러한 짧은 정지 시간은 검사에는 충분한 시간이다. 이러한 목적으로 흑백 카메라가 사용될 수도 있다. 2개의 측 방향 카메라에 의한 측 방향 검사로, 부품의 종단 면들이 손상되었는지 체크된다. 중간 카메라에 의한 후면 검사로, 부품의 후면이 손상되었는지 체크된다. 다양한 결함을 강조하기 위해, 후면 검사에 대해 복수의 이미지 획득이 이루어질 수 있다. 여기서 사용되는 카메라들도 마찬가지로 컬러 카메라일 수 있다. 하지만, 이는 전술된 바와 같이 정지 기간 때문에 충분한 시간이 있기 때문에, 절대적으로 필수적인 것은 아니다.
본 명세서에 개시되는 통합형 핸들링/검사 장치는 하부 터닝 장치의 측 방향 카메라 형태의 이미징 센서들을 추가적으로 사용한다. 이들 카메라는 하부 터닝 장치의 외측에 반경 방향으로 약 90°로 배치되어, 부품의 원형 경로에서 부품의 정면이 중간 카메라에 의해 검출되고, 상호 반대인 옆 면들은 중간 카메라의 양측에 배치되는 카메라에 의해 검출된다. 이들 카메라는 컬러 카메라일 필요는 없다. 대신, 흑백 카메라들이 사용될 수도 있다. 이 지점에서, 부품은 결함에 대해 체크되고, 이미지 데이터들은 위치 데이터를 위해 평가된다. 2개의 측 방향 카메라에 의한 측 방향 검사로, 부품은 그 절단면에 있는 손상에 대해 체크된다. 중간 카메라에 의한 후면 검사로, 부품의 후면이 손상에 대해 체크된다. 다양한 결함을 강조하기 위해, 복수의 이미지 획득이 수행될 수 있다. 수용 장치에서 부품의 후속 적재를 위해, 부품의 위치 데이터(x, y, 비틀림)가 측 방향 검사로 결정될 수 있다. 또 다른 변형 예에서, 이러한 목적으로 후-면 검사가 사용된다. 이러한 정보는 임의의 교정을 수행하기 위해 제어기에 의해 사용된다. 여기서 사용되는 카메라도 마찬가지로 컬러 카메라일 수 있다. 하지만, 이는 정지시간 동안 충분한 시간이 있기 때문에 절대적으로 필수적인 것은 아니다.
본 명세서에 개시되는 통합형 핸들링/검사 장치는 하부 터닝 장치의 중심에 카메라 형태의 이미징 센서를 사용한다. 이 카메라는 3개의 단일 채널(R, G, B)을 구비하는 컬러 카메라일 수 있다. 3-칩 컬러 카메라가 사용되거나 1-칩 컬러 카메라가 사용되는지는 중요하지 않다. 3-칩 카메라는 각각의 컬러(R, G, B)에 대해 별도의 이미지 센서를 구비한다. 1-칩 카메라는 이미지 센서의 전방에서 교대로 활성화되는 필터를 사용한다. 여기서 사용될 수 있는 흑백 카메라는, 예를 들어 225 그레이 스테이지를 구비하는 하나의 채널을 구비할 수 있으며, 컬러 카메라는 3개의 채널 각각이, 예를 들어 255개의 컬러 명암도(intensity level)을 갖는다. 카메라의 3개의 컬러 채널이 서로로부터 별도로 어드레스 가능/판독 가능하거나, 3개의 컬러 채널이 제어기에 이해 적어도 분리될 수 있다는 것이 중요하다. 각각의 채널에 대해 상이한 노출 시간이 적용될 수 있다. 예를 들어, 다음과 같은 노출 시간이 사용될 수 있다: 5ms(녹색), 12ms(적색), 15ms(청색). 특정 경우에 활성화되는 컬러 채널에 따라, 본 명세서에 개시되는 통합형 핸들링/검사 장치에서 다양한 조명 컬러들이 사용될 수도 있다. 백색광은 모든 색상이 혼합된 것이므로, 모든 채널이 이 조명 컬러와 함께 동시에 어드레스될 수 있다. 하지만, 이는 달성 가능한 이미지 품질이 요구사항을 만족하지 못하는 경우, 단호하게 수행되지 않는다.
일 변형 예에서, 이미징 센서는, 카메라 칩의 광학 축에 대해 약 45° 각도로 배치되고, 대응하는 광원으로부터의 2개의, 복수의 또는 원하는 수의 검출 스펙트럼의 컬러 광을 광학적으로 결합하여 이를 검사 영역을 향하도록 하는 역할을 하는, 관련 반투명 거울을 구비한다. 검사 영역, 즉 부품 종단 면 또는 측면, 그리고 경우에 따라서는 포켓 내의 부품의 주변을 향하는 이 광은, 그곳(반투명 거울)에서 반사되어 이미징 센서의 적어도 하나의 카메라 칩에 의해 검출된다.
일 변형 예에서, 이미징 센서는 검사 지점 주위에 환형 광원 형태의 관련 광원을 추가적으로 구비한다. 이 환형 광원은 제3 컬러 범위의, 대략 5° 내지 45°의 각도로 산란된 광을 전달한다. 검사 영역을 향하는 이 광도 그곳에서 반사되어, 이미징 센서의 적어도 하나의 카메라 칩에 의해 검출된다. 다양한 컬러의 광 또는 광원은 원하는 대로 배치될 수 있고, 또는 동일한 방사각을 가질 수 있다.
본 명세서에 개시되는 통합형 핸들링/검사 장치는 수용 장치의 동축 조명에서의 결합을 위해, 하부 터닝 장치의 중심에 편향 거울을 사용한다. 보다 정확하게는, 수용 장치에 의해 안내되는 부품들을 위한 적재 포켓들을 갖는 적재 테이프 형태의 캐리어가 카메라에 의해 검출된다. 단일 이미지 획득에 의해, 예를 들어 부품이 비뚤어진(crooked) 적재로 부품이 적재 포켓 내에 똑바로 위치되지 않는지와 같은 오차에 대해 또는 품질 결함에 대해, 검사가 수행된다. 또한, 이러한 단일 이미지 획득에 의해, 다음 부품의 적재를 위한 적재 테이프의 적재 포켓의 위치 데이터가 검출된다. 개별적인 컬러 채널로부터 획득되는 정보는, 예를 들어 다음과 같은 검사될 인자들에 따라 원하는 대로 분할될 수 있다. 조명 유형 1을 갖는 이미지 채널 1: 다음 부품의 위치설정을 위한 적재 테이프의 적재 포켓의 위치. 조명 유형 2를 갖는 이미지 채널 2: 부품의 품질 검사(크랙, 레이저 마크, 브레이크-아웃). 조명 유형 3을 갖는 이미지 채널 3: 특수 부품 또는 고객-특정 결함을 위한 추가적인 검사.
통합형 핸들링/검사 장치의 일 변형 예에서, 부품은 "블라인드(blind)"로 적재된다. 즉, 실제 적재 과정은, 적재 과정 이전에 선행하는 부품과 관련된 이미지로부터 획득되는 정보 또는 위치 데이터에 기초한다. 적재 과정 중에는, 제2 터닝 장치의 중심에 있는 카메라가 적재 위치를 보지 못하는데, 이는 그 시점에 적재하는 픽업 요소에 의해 뷰가 차단되기 때문이다.
일 변형 예에서, 부품이 비틀어져 있는지에 대한 정보 또는 위치 데이터가 하부 터닝 장치의 외주에 있는 카메라에 의해 제공된다. 이 정보 또는 위치 데이터는 수용 장치의 제어기에 전달된다. 수용 장치의 위치는 이전에 적재 테이프의 적재 포켓에 적재된 부품의 이미지로부터 알 수 있다. 유사하게, 2개의 포켓 사이의 거리도 알 수 있다. 이로부터, 다음에 적재되는 부품을 위해 수용 장치가 이동되어야 하는 각도와 x-값 및 y-값이 계산될 수 있다.
추가적인 장치 양태들로부터, 대응하는 추가적인 또는 대안적인 방법 단계들이 이어진다.
본 명세서에 제시되는 이미징 센서 시스템의 장치는 종래의 센서 장치보다 더 적은 이미지 획득으로 조작될 수 있다. 획득된 이미지 데이터는 불량품의 배출 및 핸들링/검사 장치의 액추에이터의 위치설정 모두에 대해 평가될 수 있다. 이러한 통합형 구조 및 그로 인해 가능한 절차는, 프로세싱 시간을 줄이고, 처리량 증가와 함께 향상된 검사 품질을 제공한다.
첨부된 도면들을 참조한 이하의 설명으로부터 추가적인 특징들, 특성들, 장점들 및 가능한 변경들이 통상의 기술자에게 명백해질 것이다. 도면들은 부품을 위한 광학 검사 장치를 개략적인 형태로 도시한다.
도 1은, 구조화된 부품 공급원으로부터 각주형 또는 원통형 부품을 취출하여 이들을 수용 장치에 적재하기 위한 부품-핸들링 장치의 개략적인 측면도이다.
도 2는 부품의 측면들과 관련하여, 도 1의 부품-핸들링 장치의 다양한 위치 및 특성 센서의 방향을 개략적으로 나타낸다.
도 3은 부품-핸들링 장치의 하나 또는 두 터닝 장치들의 주변부에 배치되는 위치 및 특성 센서들 중 하나의 개략적인 평면도이다.
도 4는 부품-핸들링 장치와 함께 사용하기 위한 수용 장치의 개략적인 사시도이다.
도 5는 부품-핸들링 장치와 함께 사용하기 위한, 연관된 조명 장치를 구비하는 위치 및 특성 센서 중 하나를 개략적으로 나타낸다.
도 1은 구조화된 부품 공급원으로부터 전자 반도체 칩 형태의 각주형 부품(B)을 취출하고 수신 장치(200)에 적재하는 부품-핸들링 장치(100)를 도시한다. 본 명세서에서 제시되는 부품-핸들링 장치(100)는, 부품-핸들링 장치의 상부 영역에 수평으로 배치되는 부품 공급원, 여기서는 웨이퍼로부터 고정형 이젝션 유닛(110)에 의해 부품(B)을 획득한다.
도시된 예시에서, 이젝션 유닛(110)은 부품 공급원으로부터 부품들을 하나씩 해제(free)시켜 부품들이 제1 터닝 장치(130)로 전달되도록 하기 위해, 제어기(ECU)에 의해 제어되는 바늘로 작동하거나, 비접촉 방식으로 레이저 빔으로 작동한다. 이러한 제1 터닝 장치(130)는 별 또는 휠 형상을 가지며, 그 주변에 단수화된 부품(B)들을 위한 복수(도시된 예시에서는 8개)의 픽업 요소(132)를 구비한다. 각각의 픽업 요소(132)는, 픽업 요소가 이젝션 유닛(110)에서 가장 가까운 제1 터닝 장치(130)의 0° 위치에 위치될 때, 분배 지점(SPS)에서, 구조화된 부품 공급원으로부터 부품을 수용하기에 적합하다.
픽업 요소(132)들은 별-형상 또는 휠-형상의 제1 터닝 장치(130)의 (가상의) 외주에, 반경 방향으로 외측을 향하도록 배치되어, 부품(B)들을 운반한다. 제1 터닝 장치(130)의 픽업 요소(132)들은 회전축(여기서는 X-축)에 대해 반경 방향으로 이동 가능하다. 따라서, 픽업 요소(132)들은, 각각 픽업 요소(132)들 중 하나에 고정되는 부품(B)을, 부품 획득 및 이송 사이의 피벗 각도(여기서는, 0° 와 180° 사이) 내에서 공급할 수 있다.
아주 상세하게 도시되지 않은 제어기(ECU)에 의해 제어되는 제1 터닝 장치(130)는, 제1 축(여기서는 X-축)에 대해 소정의 제1 각도(여기서는, 180°)까지 부품(B)을 회전시킨다. 이에 따라, 부품(B)은 부품의 종축 또는 횡축에 대해 터닝된다. 복수(여기서는 8개)의 제2 픽업 요소(12)들을 구비하는, 제1 터닝 장치(130)와 유사한 제2 터닝 장치(150)는, 부품이 이송 지점(US)에서 가장 가까운 제2 터닝 장치(130)의 0° 위치에 위치될 때, 이송 지점(US)에서, 제1 터닝 장치(130)의 픽업 요소(132)로부터 부품(B)을 수용하기에 적합하다.
제어기(ECU)에 의해 제어되는 제2 터닝 장치(150)는, 제2 축(여기서는 Y-축)에 대해 소정의 제2 각도(여기서는 약 180°)까지, 수용된 부품(B)을 종축 또는 횡축에 대해 터닝시켜, 적재 지점(ABS)에 공급한다.
제1 축, 제2 축 및/또는 제3 축의 각각은 서로에 대해 90°± 최대 10° 또는 15°의 각도를 사이에 끼고, 3차원 직교 좌표계에 따라 배향된다.
2개의 별-형상 또는 휠-형상의 터닝 장치(130, 150)는 서로에 대해 직교하도록 배치되거나, 그 구성 측면에서 서로 일치한다. 도 1의 대표 예로부터 시작해서, 수용 장치(200)의 공급 방향에 대한 2개의 터닝 장치(130, 150)의 배치는 Z-축에 대해 90°까지 회전될 수도 있다. 이 경우, 하부 터닝 장치(150)는 적어도 대략적으로 수용 장치(200)의 공급 방향을 가로지르도록 배향된다.
제1 터닝 장치(130) 및 제2 터닝 장치(150)는 관련된 위치 센서(K1 ... K4)를 구비한다. 도 1에 도시된 바와 같이, 이들 센서는 전체적으로 장치의 복수의 지점에 배치된다. 이들은 제1 터닝 장치(130) 및 제2 터닝 장치(150)의 위치 데이터, 픽업 요소(132, 152)에 위치하는 부품(B)의 위치 데이터 및 픽업 요소(132, 152)에 위치하는 부품(B)의 특성들을 검출하도록 구성된다. 이렇게 획득된 데이터는 제어기에 제공된다. 여기에 도시된 실시예에서, 제1 터닝 장치(130)의 중심에 있는 제1 카메라 장치(K1)는 수직으로 위로, 부품 공급원을 향한다. 제1 터닝 장치(130)의 주위에 있는, 3개의 카메라(도 1에는 도시되지 않음)를 구비하는 제2 카메라 장치(K2)는 그 위를 지나도록 안내되는 부품(B)을 90°로 향한다. 이러한 제2 카메라 장치(K2)의 세부사항에 대해서는, 도 3과 관련하여 논의될 것이다. 제2 카메라 장치(K2)에 대응하는, 3개의 카메라를 구비하는 제3 카메라 장치(K3)는 제2 터닝 장치(150)의 주위에서, 그 위로 지나가도록 안내되는 부품(B)을 90°로 향한다. 제2 터닝 장치(150)의 중심에 있는 제4 카메라 장치(K4)는 적재 지점(ABS) 또는 수용 장치(200)의 제1 수용 지점(ES1)을 향한다.
제어기(ECU)는 제1 회전식 구동 장치(DA1)를 이용하여 제1 축(여기서는, X-축)에 대해 제1 터닝 장치(130)를 제어 방식으로 회전시키고, 제1 선형 구동장치(LA1)를 이용하여 제1 축을 따라 제1 터닝 장치(130)를 제어 방식으로 이동시키기에 적합하다.
제어기(ECU)는 또한, 제2 회전식 구동 장치(DA2)를 이용하여 제1 축과 동일 선상에 있지 않은 제2 축(여기서는, Y-축)에 대해 제2 터닝 장치(150)를 제어 방식으로 회전시키고, 제2 선형 구동 장치(LA2)를 이용하여 제2 터닝 장치(150)를 제2 축을 따라 제어 방식으로 이동시키기에 적합하다.
이미징 센서들은 부품(B)의 종단 면 및/또는 측면(들)을 검사하고, 제1 터닝 장치(130)와 제2 터닝 장치(150)의 축을 따라, 그리고 그 축에 대해 한 위치설정을 위한 관련 데이터를 제공하며, 픽업 요소(132, 152)들과 그곳에 위치하는 부품(B)들, 그리고 수용 지점들에 대한 데이터를 제공한다.
부품-핸들링 장치(100)는 공급되는 부품(B)을 위한 적재 지점(ABS)과 관련된 수용 장치(200)를 구비한다. 수용 장치(200)는, 적재 지점(ABS)에 공급되는 부품(B)의 위치 데이터, 수용 장치(200)의 수용 지점(ES1, ES2) 및 그곳에 위치되는 부품(B)의 위치 데이터 및 특성을 검출하여 제어기(ECU)에 제공하기에 적합한, 관련 위치 및 특성 센서(K4, K5)를 구비한다. 위치 및 특성 센서(K5)는, 제2 수용 지점(KS2)에서 제2 윈도우를 향하는 제5 카메라 장치이다. 제어기(ECU)는, 제3 회전식 구동 장치(DA3)를 이용하여 적재 지점(ABS)을 포함하는 제3 축(여기서는, Z-축)에 대해 수용 장치(200)를 제어 방식으로 회전시키고, 제3 및 제4 선형 구동 장치(LA3, LA4)를 이용하여 제1 및 제2 축을 따라 수용 장치를 제어 방식으로 이동시키기에 적합하다. 제어기(ECU)는 제4 회전식 구동 장치(DA4)를 이용하여, 수용 장치(200)에 의해 안내되는 캐리어(320)를 제1 축(여기서는 X-축)을 따라 제어 방식으로 이동시킨다. 이 캐리어(320)는 제2 터닝 장치(150)로부터 단수화된 형태의 부품(B)을 픽업하는 역할을 한다. 터닝 장치들(130, 150) 및 회전식 구동 장치(DA1, DA2 ...)의 각각은 각자의 회전 위치를 결정하기 위해 제어기(ECU)에 연결되는 고해상도 회전 각 인코더(rotary angle encoder)(자세히 도시되지 않음)를 구비한다.
수용 장치(200)에서, 제4 회전식 구동 장치(DA4)는, 제어기(ECU)로부터의 제어 신호의 제어 하에 제어 방식으로, 수용 장치(200)에 의해 안내되는 캐리어(320)를, 제1 축(여기서는 X-축)을 따라, 캐리어(320)의 이웃하는 부품 수용부(포켓)의 간격의 대략 100% ± 최대 3%만큼 이동시키는 역할을 한다. 간격은 2개의 연속하는 포켓의 중심-대-중심 거리에 의해 주어진다. 제3 회전식 구동 장치(DA3)는, 제어기(ECU)로부터의 제어 신호의 제어 하에, 그리고 제2 터닝 장치(150)의 중심에 있는 이미징 특성 및 위치 센서로부터의 신호에 따라, 수용 지점(ES1) 중 하나와 그곳에 위치되는 캐리어(320)의 부품 수용부를, 제어 방식으로 적재 지점을 포함하는 Z-축을 따라, ± 6˚만큼 회전시키기에 적합하다.
도 4에 도시된 변형 예에서, 수용 장치(200)의 제4 회전식 구동 장치(DA4)는, 캐리어(320)(적재 테이프)를 공급 방향으로 운송하기 위해 캐리어(320)의 운송 홀(325)에 맞물리는 스프로켓 휠을 구비한다. 스프로켓 휠은 순방향으로만 회전하는 것이 바람직하다.
이러한 변형 예에서, 수용 장치(200)에는 흡입 및/또는 분출 장치(340)가 수용 지점(ES1)에 대해 하류 측에 제공된다. 하지만, 이는 옵션적인 것이다. 손상되거나 잘못 놓여진 것으로 식별되는 부품은 제어기(ECU)로부터의 제어 신호의 제어 하에 포켓으로부터 제거된다.
픽업-요소(132, 152)들 내로 부품(B)을 흡입하고, 픽업-요소(132, 152)들에서 부품(B)을 홀딩하고, 제어된 분출 펄스로 또는 이러한 펄스 없이 부품(B)을 적재하며, 픽업 요소(132, 152)로부터 부품(B)을 자유롭게 분출(blowing)하기 위해, 요소들은 공압 유닛(자세하게 도시되지 않음)에 연결된다. 제어기(ECU)에 의해 제어되는 공압 유닛은, 부품들을 개별적으로 픽업하고 홀딩하여 다시 적재하기 위해, 필요한 시점에 또는 필요한 시간 동안 밸브 제어 하에서 개별의 픽업 요소(132, 152)에 과압 또는 부압을 가한다.
제어기(ECU)와 위치 및 특성 센서에 의해 개별적인 스테이션에서 획득되는 검사 결과가 긍정적인 경우, 해당 부품(B)은 수용 지점(ES1), 즉 현재 적재 지점(ABS)에 위치되는 캐리어(320)의 포켓에 적재된다. 획득된 검사 결과가 부정적인 경우, 부품(B)은 제1 흡입 장치(330)로 추가적인 위치만큼 더 회전되며, 부품은 제2 터닝 장치(150)의 픽업 요소(152)로부터의 흡입에 의해 착출된다. 적재 이후에, 이 수용 지점(ES1)(도 5 참조)을 모니터링하는 위치 및 특성 센서에 의해, 적재된 부품(B)이 위치 오차 또는 특성 결함이 있는 것이 명백해지면, 해당 부품은 수용 지점(ES1)에 대해 하류 측에 위치하는 제2 흡입 장치(340)에 의한 흡입에 의해 캐리어(320)의 포켓으로부터 제거된다. 이 경우, 캐리어(320)와 함께 전체 수용 장치(200)는 제어기(ECU)에 의해 제어되어, 제3 선형 구동 유닛(LA3)에 의해 캐리어(320)의 공급 방향의 역방향으로, 캐리어(320)의 2개의 포켓의 중심-대-중심 거리만큼 이동된다. 그러면, 제2 터닝 장치(150)에 있는 다음 부품(B)이, 비워진 캐리어(320)의 포켓으로 도입된다.
추가적인 변형 예에서, 자세하게 도시되지는 않았지만, 비뚤어진 부품을 수용 지점(ES1)에서 흡입으로 제거하기 위해 추가적인 흡입 장치가 제1 수용 지점(ES1)과 연관된다. 제2 윈도우에서, 위치 및 특성 센서(K4) 또는 위치 및 특성 센서(K5)에 의해 어떠한 품질 결함이라도 검출될 수 있다. 위치 및 특성 센서(K5)가 품질 결함을 검출한 경우, 수용 장치(200)는 캐리어(320)와 함께 역방향으로 운송되고, 적재 지점에 있는 캐리어(320)의 포켓으로부터 해당 부품(B)이 흡입에 의해 제거된다. 수용 지점(ES1)에서 비뚤어진 부품의 기울어짐이, 수용 지점(ES1)과 연관되는 위치 및 특성 센서(K6)(자세하게 도시되지 않음)에 의해 검출될 수 있다. 이 위치 및 특성 센서(K6)는 캐리어(320)의 측면에 배치되어, 캐리어(320)의 상부 에지 위에서 직접적으로 또는 편향 거울을 통해 수용 지점(ES1)을 검출한다. 이로 인해, 잘못 적재된 부품의 기울어짐 또는 돌출이 식별될 수 있다.
도 1과 함께, 도 2에 도시된 바와 같이, 카메라 장치(K1)는 제1 터닝 장치(130)의 중심에 있는 위치 및 특성 센서로서, 부품 공급원을 향한다. 이로 인해, 부품(B)의 종단 면(D2)이 위치 및 결함에 대해 검사된다. 카메라 장치(K1)는, 제1 터닝 장치(130)의 터닝 운동 동안에, 2개의 이웃하는 픽업 요소(132) 사이의 이미지 획득을 수행하기에 적합하다. 제어기는 이러한 이미지 데이터로부터 부품 공급원 또는 웨이퍼와 제1 터닝 장치(130)에 대응하는 이젝션 유닛의 교정 이동을 생성한다.
제1 터닝 장치(130)의 외주에 있는, 3개의 카메라를 구비하는 제2 카메라 장치(K2)는 위치 및 특성 센서로서, 부품(B)의 3개의 면(S2, S4, D1)을 약 90°로 향한다. 3개의 카메라(K2-1, K2-2, K2-3)를 구비하는 카메라 장치(K2)의 평면도가 도 3에 도시되어 있다. 중간 카메라(K2-2)는 부품(B)의 종단 면(D1)을 검사하고, 2개의 외측 카메라(K2-1, K2-3)는 각각의 거울(SP1, SP2)을 통해 부품(B)의 측면(S2, S4)을 검사한다. 이렇게 검출된 이미지 획득으로부터, 이들 면들에 있는 부품(B)의 결함뿐만 아니라, 픽업 요소(132)에서의 부품(B)의 정확한 위치 및 회전을 결정할 수 있다. 이러한 정보는, 검사된 부품(B)이 이송 지점(US)에서 제1 터닝 장치(130)로부터 제2 터닝 장치(150)로 이송될 때, 제1 터닝 장치(130)와 제2 터닝 장치(150)의 각각의 축에 따른 배향과 회전 배향을 변경하기 위해 제어기(ECU)에서 사용된다.
제2 터닝 장치(150)의 외주에 외측에 있는, 3개의 카메라를 구비하는 제3 카메라 장치(K3)는 위치 및 특성 센서로서, 약 90°로 부품(B)의 3개의 면(S1, S3, D2)을 향한다. 이 카메라 장치(K3)는 도 3에 도시되는, 3개의 카메라와 2개의 거울을 구비하는 카메라 장치(K2)와 구성 및 배치 면에서 대응한다. 이렇게 검출된 이미지 획득으로부터, 이들 면들에 있는 부품(B)의 결함뿐만 아니라, 제2 터닝 장치(150)의 픽업 요소(152)에서의 부품(B)의 정확한 위치 및 회전을 결정할 수 있다. 이러한 정보는, 검사된 부품(B)이 이송 지점(US)에서 제2 터닝 장치(150)로부터 적재 지점(ABS)에 위치하는 수용 지점(ES1), 즉 캐리어(320)의 포켓에 이송될 때, 제2 터닝 장치(150)와 수용 장치(200)의 각각의 축에 따른 배향과 회전 배향을 변경하기 위해 제어기(ECU)에서 사용된다.
제4 카메라 장치(K4)는 제2 터닝 장치(150)의 중심에 있는 위치 및 특성 센서로서, 수용 장치(200)의 수용 지점(E1)을 향한다. 이 카메라 장치(K4)도 제2 터닝 장치(150)의 터닝 운동 동안 2개의 이웃하는 픽업 요소들 사이에서 이미지 획득을 수행하기에 적합하다. 그러면, 제어치(ECU)는, 제2 터닝 장치(150)와 수용 장치(200)의 대응하는 교정 이동을 행한다.
도 5에 도시된 위치 및 품질 센서(400)는 이미징 센서로서, 카메라 장치(K1 내지 K5)의 변형 예이다. 이 센서(400)는 가시광 스펙트럼을 기록하는 카메라 칩(410)을 구비한다. 이러한 이미징 센서(400)에서, 3개의 상이한 검출 스펙트럼은 컬러 센서의 적색 범위(630mn ± 30nm), 녹색 범위(530nm ± 60nm) 및 청색 범위(460nm ± 50nm)이다.
이미징 센서(400)는 카메라 칩(410)의 광학 축에 대해 약 45°의 각도로 배치되는, 관련된 반투명 거울(420)을 구비한다. 반투명 거울(420)은 대응하는 광원(440)들로부터의 2개의 검출 스펙트럼(여기서는, 녹색 범위와 청색 범위)의 컬러 광을 광학적으로 결합시키고, 이를 부품(B)의 종단 면을 향하도록 하는 역할을 한다. 부품(B)을 향하는 녹색 및 청색 범위의 이 광은 카메라 칩(410)에 의해 검출된다. 공간적인 조건에 따라, 다른 편향 거울, 프리즘, 컬러 필터 또는 렌즈가 제공될 수도 있다.
일 실시 예에서는, 적재 지점(ABS)에 위치되는 수용 지점(ES1)의 둘레의 환형 광원으로서 추가적인 광원(450)이 배치되어, 부품(B)의 종단 면에 적색 범위의 산란된 광을 약 5° 내지 45°의 각도로 제공한다. 부품(B)을 향하는 적색 범위의 이 광 또한 카메라 칩(410)에 의해 검출된다.
광학적으로 활성적인 요소 중 일부 및/또는 방사선원은 다른 것들과는 독립적으로, 배향 및/또는 조절/포커싱되기에 적합할 수 있다.
*본 변형 예의 카메라 칩(410)은 3개의 개별적인 채널(R, G, B)을 갖는 컬러 카메라이다. 하지만, 이는 복수의 채널을 갖는 카메라일 수도 있다. 카메라의 3개의 컬러 채널은 서로 별도로 어드레스되거나/판독될 수 있다. 부품(B)은 단일 이미지 획득으로, 예를 들어 부품(B)의 비뚤어진 적재로 캐리어(320)의 의도되는 포켓에 똑바로 위치되지 않은 것과 같은 오류, 또는 품질 결함에 대해 검사된다. 또한, 다음 부품(B)의 적재를 위한, 캐리어(320) 포켓의 정확한 위치 데이터도 이러한 단일 이미지 획득에 의해 검출된다. 개별적인 컬러 채널로부터 획득되는 정보는 다음과 같이 나눠진다: 조명 유형 1을 갖는 이미지 채널 1: 다음 부품의 위치설정을 위한 적재 테이프의 적재 포켓의 위치. 조명 유형 2를 갖는 이미지 채널 2: 부품의 품질 검사(크랙, 레이저 마크, 브레이크-아웃, ...). 조명 유형 3을 갖는 이미지 채널 3: 특수 부품들 또는 고객-특정 결함에 대한 추가적인 검사.
본 명세서에 제시되는 이미징 센서 시스템으로 인해, 불량품의 배출 및 액추에이터의 위치설정을 달성하기 위해, 종래의 센서 장치들과 비교하여 이미지 획득이 더 적게 요구된다.
본 명세서에서 수치 범위 및 수치들이 개시되었지만, 개시된 값들과 언급된 범위들 내의 임의의 하위 범위 수치 사이의 모든 수치 또한 마찬가지로, 개시된 것으로 간주되어야 한다.
전술된 장치의 변형 예들과 그 기능 및 작동 적 측면은, 구조, 기능 및 특징들을 더 잘 이해하기 위한 것일 뿐이며, 예를 들어 예시적인 실시예들에 본 개시를 제한하지 않는다. 도면들은 부분적으로 개략적이고, 일부 경우에 중요한 특성 및 효과는 기능, 능동적인 원리, 기술적 구성 및 특징들을 명확하게 하기 위해 상당히 확대된 축척으로 도시되어 있다. 도면 또는 명세서에 개시되는 모든 기능의 모드, 모든 원리, 모든 기술적 구성 및 모든 특징은, 청구범위 전항, 본 명세서 및 본 개시에 포함되는 다른 도면의 모든 특징, 다른 기능의 모드, 원칙, 기술적 구성 및 특징과 자유롭게 임의적으로 결합될 수 있으므로, 모든 가능한 조합이 설명된 절차에 할당되어야 한다. 명세서, 즉 명세서의 모든 섹션, 청구항에 기재된 모든 개별적인 구현들 간의 결합, 그리고 본 명세서, 청구항 및 도면의 다양한 변형 예들 간의 결합 또한 포함된다. 청구항들 또한 본 개시를 한정하지 않으며, 따라서 표시된 모든 특징들의 서로 간의 조합이 가능하다. 개시된 모든 특징들은 개별적으로, 그리고 다른 모든 특징과 조합하여 본 명세서에 명시적으로 개시된다.
적재 지점 ABS
부품 B
부품의 측면 S1, S2, S3, S4
부품의 종단면 D1, D2
제1 축(X-축)에 대해 제1 터닝 장치를 회전시키는 제1 회전식 구동 장치 DA1
제2 축(Y-축)에 대해 제2 터닝 장치를 회전시키는 제2 회전식 구동 장치 DA2
적재 지점(ABS)을 포함하는 제3 축(Z-축)에 대해, 수용 장치를 회전시키는 제3 회전식 구동 장치 DA3
캐리어를 공급 방향으로 운송하는, 수용 장치의 제4 회전식 구동 장치 DA4
제1 축(X-축)을 따라 제1 터닝 장치를 이동시키는 제1 선형 구동 장치 LA1
제2 축(Y-축)을 따라 제2 터닝 장치를 이동시키는 제2 선형 구동 장치 LA2
제1 축(X-축)을 따라 수용 장치를 이동시키는 제3 선형 구동 장치 LA3
제2 축(Y-축)을 따라 수용 장치를 이동시키는 제4 선형 구동 장치 LA4
수용 장치에 의해 안내되는 캐리어를 제1 축(X-축)을 따라 이동시키는 제5 선형 구동 장치 LA5
제1 수용 지점 ES1
제2 수용 지점 ES2
제어기 ECU
위치 및 특성 센서들 K1 ... K4 , K5
제1 터닝 장치의 중심에 있는 카메라 장치로, 수직으로 위쪽을 향하는 제1 카메라 장치 K1
제1 터닝 장치의 외주에 있는, 3개의 카메라를 구비하는 카메라 장치로, 그 위를 지나가도록 안내되는 부품을 90°로 향하는 제2 카메라 장치 K2
제2 터닝 장치의 외주에 있는, 3개의 카메라를 구비하는 카메라 장치로, 그 위를 지나가도록 안내되는 부품을 90°로 향하는 제3 카메라 장치 K3
제2 터닝 장치의 중심에 있는 카메라 장치로, 적재 지점 또는 수용 장치의 제1 수용 지점을 향하는 제4 카메라 장치 K4
제2 수용 지점에서 제2 윈도우를 향하는 제5 카메라 장치 K5
거울 SP1, SP2
분배 지점 SPS
이송 지점 US
부품-핸들링 장치 100
이젝션 유닛 110
제1 터닝 장치 130
제1 픽업 요소 132
제2 터닝 장치 150
제2 픽업 요소 152
수용 장치 200
캐리어 320
운송 홀 325
제1 흡입 장치 330
배출 지점 335
흡입 및/또는 블로우-오프 장치 340
센서 400
카메라 칩 410
반투명 거울 420
광원 440
추가적인 광원 450

Claims (11)

  1. 구조화된 부품 공급원으로부터 부품들을 취출(remove)하여 수용 장치(200)에 적재하기 위한 부품-핸들링 장치(100)로, 상기 부품-핸들링 장치는,
    - 복수의 픽업 요소(132)를 구비하는 제1 터닝 장치(130)로,
    - 분배 지점(SPS)에서, 구조화된 부품 공급원으로부터 부품(B)을 수용하고,
    - 수용된 부품을, 상기 부품의 종축 또는 횡축(LA, QA)에 대해 제1 소정 각도까지 터닝(turn)시켜, 상기 부품을 이송 지점(US)에 전달하도록 구성되는, 제1 터닝 장치(130),
    - 복수의 픽업 요소(152)를 구비하는 제2 터닝 장치(150)로,
    - 이송 지점(US)에서, 제1 터닝 장치(130)의 픽업 요소(132)로부터 부품(B)을 수용하고,
    - 수용된 부품(B)을, 상기 부품의 종축(LA) 또는 횡축(QA)에 대해 제2 소정 각도까지 터닝시켜, 상기 부품을 적재 지점(AS)에 전달하도록 구성되는, 제2 터닝 장치(150), 및
    - 제어기(ECU)로,
    - 제1 회전식 구동 장치(DA1)를 이용하여, 제어 방식으로, 제1 터닝 장치(130)를 제1 축(X-축)에 대해 회전시키고,
    - 제2 회전식 구동 장치(DA2)를 이용하여, 제어 방식으로, 제2 터닝 장치(150)를, 제1 축(X-축)과 동일 선상에 있지 않은 제2 축(Y-축)에 대해 회전시키도록 구성되는, 제어기(ECU)를 구비하며,
    - 제1 터닝 장치(130) 및 제2 터닝 장치(150)는 별-형상 또는 휠-형상이며,
    - 각각의 픽업 요소(132, 152)는 반경 방향으로 외측을 향하는, 전달될 부품(B)을 위한 흡입 접촉 지점을 구비할 수 있는 것을 특징으로 하는, 부품-핸들링 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    - 구조화된 부품 공급원(웨이퍼)으로부터, 제어기에 의해 대응하게 위치되는, 제1 터닝 장치(130)의 픽업 요소(132)로 부품(B)을 인도(deliver)하도록 구성되는, 인도 장치(110), 및
    - 인도 장치(110)와 관련된 위치 및 특성 센서(K1)로, 인도되는 부품(B)에 대한 인도 장치(110)의 위치, 인도되는 부품(B)의 위치 데이터, 인도되는 부품(B)의 특성 중 적어도 하나를 검출하여, 인도 장치(110)의 작동을 위한 제어기(ECU)에 제공하도록 구성되는, 위치 및 특성 센서를 구비하는 것을 특징으로 하는, 부품-핸들링 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    - 부품-핸들링 장치(100)는, 공급되는 부품(B)을 위한 적재 지점(ABS)과 관련된 수용 장치(200)를 구비하되,
    - 적재 지점(ABS)에 공급되는 부품(B)의 위치 데이터,
    - 수용 장치(200)의 수용 지점(ES1, ES2), 상기 수용 지점에 위치되는 부품(B)의 위치 데이터 및 상기 부품(B)의 특성 중 적어도 하나를 검출하여, 제어기(ECU)에 제공하도록 구성되는 관련 위치 및 특성 센서(K4, K5)를 구비하는, 수용 장치(200)를 구비하고,
    - 제어기(ECU)는,
    - 제3 회전식 구동 장치(DA3)를 이용하여, 제어 방식으로, 적재 지점(ABS)을 포함하는 제 3축(Z-축)에 대해 적어도 부분적으로 수용 장치(200)를 회전시키는 것,
    - 제3 선형 구동 장치(LA3) 및 제4 선형 구동 장치(LA4) 중 적어도 하나를 이용하여, 제어 방식으로, 제1 축(X-축), 제2 축(Y-축), 및 제3 축(Z-축) 중 적어도 하나를 적어도 부분적으로 따라 수용 장치(200)를 이동시키는 것, 및
    - 제4 회전식 구동 장치(DA4)를 이용하여, 제어 방식으로, 제1 축(X-축)과 제2 축(Y-축) 중 적어도 하나를 따라, 수용 장치(200)에 의해 안내되는 캐리어(320)를 이동시키는 것, 중 적어도 하나를 수행하도록 구성되는 것을 특징으로 하는, 부품-핸들링 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    제1 터닝 장치(130)와 제2 터닝 장치(150) 중 적어도 하나의 픽업 요소(132, 152)는,
    - 제어 방식으로, 각각의 회전 축(X-축, Y-축)에 반경 방향으로 전개 및 후퇴되는 것,
    - 공급되는 부품(B)을 수용 및 인도하기 위해, 제어 방식으로 부압(negative pressure) 및 과압(excess pressure)이 가해지는 것,
    - 각각의 반경 운동 축에 대해 고정되는 것,
    - 각각의 반경 운동 축에 대해 어떤 회전 각도까지 제어 방식으로 회전되는 것, 적어도 하나를 수행하도록 구성되는 것을 특징으로 하는, 부품-핸들링 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    제1 터닝 장치(130)와 제2 터닝 장치(150) 중 적어도 하나의 픽업 요소(132, 152)에는, 분배 지점(SPS)과 제1 터닝 장치(130) 및 제2 터닝 장치(150) 사이의 이송 지점(US)에서의 반경 방향 전개/후퇴를 위한 관련 선형 구동 장치가 제공되고, 선형 구동 장치는 각각의 경우 대응하게 위치되는 픽업 요소(132, 152)와 외측으로부터 결합하고, 선형 구동 장치가 각각의 픽업 요소(132, 152)를 전개 및 후퇴시키거나, 선형 구동 장치가 각각의 픽업 요소(132, 152)를 전개시키고 복귀 스프링이 각각의 픽업 요소(132, 152)를 후퇴시키거나, 픽업 요소(132, 152) 각각이 관련 반경 방향 구동 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는, 부품-핸들링 장치.
  6. 제4항에 있어서,
    (i) 부품(B)의 흡입, (ii) 부품(B)의 홀딩(holding), (iii) 제어된 분출 펄스(blow-off pulse)를 이용하거나 이러한 분출 펄스 없이 부품(b)을 적재하는 것, 및 자유롭게 부품(B)을 분출하는 것 중 적어도 하나의 기능을 수행하기 위해,
    밸브들이 각각의 개별적인 픽업 요소(132, 152)에 개별적으로, 그리고 올바른 위치에서, 자유롭게 또는 위치-제어 방식으로, 부압 및 과압을 제공하는 것을 특징으로 하는, 부품-핸들링 장치.
  7. 제2항에 있어서,
    위치 및 특성 센서(K2, K3)가, 분배 지점(SPS)과 이송 지점(US) 사이에서 제1 터닝 장치(130)와 관련되는 것 및 이송 지점(US)과 적재 지점(ABS) 사이에서 제2 터닝 장치(150)와 관련되는 것 중 적어도 하나를 만족하고, 상기 위치 및 특성 센서는 공급되는 부품(B)의 위치 데이터 및 특성 중 적어도 하나를 검출하여 제어기(ECU)에 제공하도록 구성되는 것;
    위치 및 특성 센서(K1, ..., K4, K5) 중 적어도 일부가, 공급되는 부품(B)의 위치 데이터 및 특성 중 적어도 하나를 검출하여 제어기(ECU)에 제공하기 위해, 공급되는 부품(B)의 적어도 하나의 종단 면(end face)(D1, D2) 및 하나 이상의 측면(side face)(S1-S4) 중 적어도 하나를 검사하도록 구성되는 것;
    수용되는 부품(B) 또는 수용 지점의 특성 결함 및 위치 오차 중 적어도 하나가 발생할 경우, 제어기(ECU)에 의해 교정할 목적으로, 수용되는 부품(B)의 특성과 위치 중 적어도 하나를 결정하기 위해, 또는 수용 장치(200)의 수용 지점(ES1, ES2)과 수용 장치에 위치되는 부품(B) 중 적어도 하나의 위치를 결정하기 위해, 제1 터닝 장치(130)의 중심과 제2 터닝 장치(150)의 중심 중 적어도 한 곳에 이미징 특성 센서 및 이미징 위치 센서 중 적어도 하나가 제공되고, 이미징 위치 센서(들)이, 제1 터닝 장치 또는 제2 터닝 장치의 터닝 운동 동안, 이웃하는 픽업 요소(132, 152) 사이에서 이미지 획득을 수행하고, 대응하는 교정 운동을 행하기 위해 획득한 이미지를 제어기(ECU)에 제공하도록 구성되는 것;
    수용되는 부품(B) 또는 수용 지점의 특성 결함 및 위치 오차 중 적어도 하나가 발생할 경우, 제어기(ECU)에 의해 교정할 목적으로, 수용되는 부품(B)의 특성과 위치 중 적어도 하나를 결정하기 위해, 또는 수용 장치(200)의 수용 지점(ES1, ES2)과 수용 장치에 위치되는 부품(B) 중 적어도 하나의 위치를 결정하기 위해, 제1 터닝 장치(130) 및 제2 터닝 장치(150)에 대해 외측에 이미징 특성 센서 및 이미징 위치 센서 중 적어도 하나가 제공되는 것; 중 적어도 하나를 만족하는 것을 특징으로 하는, 부품-핸들링 장치.
  8. 제3항에 있어서,
    배출 지점(335)이 이송 지점(US)과 적재 지점(ABS) 중 적어도 하나의 상류 또는 하류에 배치되고, 상기 배출 지점은, 제어기(ECU)의 제어 하에, 적어도 하나의 위치 및 특성 센서를 이용하여 제어기(ECU)에 의해 불량품인 것으로 식별되는 부품(B)을 배출하고, 상기 부품(B)이 수용 장치(200)에 적재되지 않게 하도록 구성되는 것;
    n개의 픽업 요소(132, 152) 전체가 제1 터닝 장치(130) 및 제2 터닝 장치(150) 중 적어도 하나와 관련되고, n은 >=2이며, 제1 터닝 장치(130)의 픽업 요소(132)의 수와 제2 터닝 장치(150)의 픽업 요소(152)의 수는 동일하거나 다른 것;
    제1 축(X-축), 제2 축(Y-축) 및 제3 축(Z-축) 중 적어도 하나는 서로에 대해, 각각 90˚± 최대 10˚의 각도를 사이에 끼고 있는 것(enclose);
    위치 및 특성 센서는, 대응하는 또는 다른 스펙트럼을 갖는 이미징 센서, 접촉에 의해 또는 접촉 없이 거리를 측정하는 위치 센서, 접촉에 의해 또는 접촉 없이 검출하는 특성 센서인 것; 및
    위치 및 특성 센서는 직선 또는 휜 광학 축을 갖는 이미징 센서인 것; 중 적어도 하나를 만족하는 것을 특징으로 하는, 부품-핸들링 장치.
  9. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    - 제1 터닝 장치(130) 및 제2 터닝 장치(150) 중 적어도 하나는 별-형상 또는 휠-형상이고,
    - 각각의 픽업 요소(132, 152)는 전달되는 부품(B)을 위한, 반경 방향으로 외측을 향하는 흡입 접촉 지점을 구비하는 것을 특징으로 하는, 부품-핸들링 장치.
  10. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    제1 및 제2 터닝 장치(132, 152)와 관련된 위치 및 특성 센서(K1, ... , K5)로, 상기 위치 및 특성 센서는,
    - 제1 터닝 장치(130) 또는 제2 터닝 장치(150)의 위치 데이터;
    - 픽업 요소(132, 152)에 위치되는 부품(B)의 위치 데이터;
    - 제1 터닝 장치(130) 또는 제2 터닝 장치(150)의 픽업 요소(132, 152)에 위치되는 부품(B)의 특성; 중 적어도 하나를 검출하여 제어기(ECU)에 제공하도록 구성되는 것을 특징으로 하는, 부품-핸들링 장치.
  11. 구조화된 부품 공급원으로부터 부품을 취출하여 부품을 수용 장치에 적재하는 방법으로,
    - 분배 지점(SPS)에서, 복수의 픽업 요소(132)를 구비하는 제1 터닝 장치(130)를 사용하여, 구조화된 부품 공급원으로부터 부품(B)을 수용하는 단계,
    - 수용된 부품(B)을, 부품의 종축(LA) 또는 횡축(QA)에 대해 제1 소정 각도까지 터닝시켜, 부품을 이송 지점(US)에 전달하는 단계,
    - 이송 지점(US)에서, 복수의 픽업 요소(152)를 구비하는 제2 터닝 장치(150)를 사용하여, 제1 터닝 장치(130)의 픽업 요소(132)로부터 부품(B)을 수용하는 단계,
    - 수용된 부품(B)을, 부품의 종축(LA) 또는 횡축(QA)에 대해 제2 소정 각도까지 터닝시켜, 부품을 적재 지점(ABS)에 전달하는 단계, 및
    - 제1 회전식 구동 장치(DA1)를 사용하여, 제1 축(X-축)에 대해 제어 방식으로 제1 터닝 장치(130)를 회전시키는 단계,
    - 제2 회전식 구동 장치(DA2)를 사용하여, 제1 축(X-축)과 동일 선상에 있지 않은 제2 축(Y-축)에 대해 제어 방식으로 제2 터닝 장치(150)를 회전시키는 단계,를 포함하는 것을 특징으로 하는, 부품 취출 및 적재 방법.
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