KR20140103837A - 카세트 어셈블리 - Google Patents

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KR20140103837A
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나오야 도쿠미츠
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

본 발명은, 소량의 피가공물을 품종마다 조합할 수 있는 카세트 어셈블리를 제공한다.
웨이퍼 유닛을 수용하기 위한 카세트 어셈블리로서, 각각, 정해진 간격을 두고 평행하게 설치되며 서로 대향하는 위치에 각각 복수의 피가공물 지지홈이 마련된 제1 측판 및 제2 측판과, 제1 측판 및 제2 측판의 상단부를 연결하는 천장판과, 제1 측판 및 제2 측판의 하단부를 연결하는 바닥판과, 제1 측판과 제2 측판과 천장판과 바닥판의 전단측에 마련되며 피가공물을 출납하기 위한 출입 개구를 갖는 제1 카세트 및 제2 카세트로 이루어지고, 제1 카세트 및 제2 카세트는, 서로 중첩 가능하게 구성되며 중첩한 상태로 서로 고정하는 고정 수단을 구비하고 있다.

Description

카세트 어셈블리{CASSETTE ASSEMBLY}
본 발명은 반도체 웨이퍼 등의 웨이퍼 유닛을 수용하기 위한 카세트 어셈블리에 관한 것이다.
반도체 디바이스 제조 프로세스에 있어서는, 대략 원판 형상인 반도체 웨이퍼의 표면에 격자형으로 배열된 스트리트라고 불리는 분할 예정 라인에 의해 복수의 영역이 구획되고, 이 구획된 영역에 IC, LSI 등의 디바이스를 형성한다. 그리고, 반도체 웨이퍼를 스트리트를 따라 절삭 장치나 레이저 가공 장치 등의 가공 장치에 의해 다이싱함으로써 개개의 반도체 디바이스를 제조하고 있다.
절삭 장치나 레이저 가공 장치 등의 가공 장치는, 환형의 프레임에 장착된 다이싱 테이프에 웨이퍼를 점착하여 형성된 웨이퍼 유닛을 유지하는 피가공물 유지 수단과, 상기 피가공물 유지 수단에 유지된 웨이퍼 유닛의 웨이퍼에 가공을 실시하는 가공 수단과, 피가공물 유지 수단과 가공 수단을 상대적으로 가공 이송 방향으로 가공 이송하는 가공 이송 수단과, 웨이퍼 유닛을 복수 수용하는 카세트가 배치되는 카세트 배치대와, 상기 카세트 배치대에 배치된 카세트에 수용되어 있는 웨이퍼 유닛을 반출하여 피가공물 유지 수단에 반송하는 반송 수단을 구비하고 있다.
또한, 웨이퍼 유닛을 복수 수용하는 카세트는, 정해진 간격을 두고 평행하게 설치된 제1 측벽 및 제2 측벽의 내면에 각각 복수의 프레임 지지홈이 대향하여 마련되어 있고, 서로 대향하는 프레임 지지홈에 웨이퍼 유닛의 환형의 프레임의 양측부를 삽입하며, 프레임 지지홈을 형성하는 바닥면에 환형의 프레임의 측부를 배치함으로써 웨이퍼를 수용한다. 이와 같이 구성된 카세트는, 가공 장치의 가동 효율을 고려하여 웨이퍼 유닛을 25장 정도 수용하도록 구성되어 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조).
특허문헌 1 : 일본 특허 공개 제2000-91411호 공보
그렇게 하여, 종래의 카세트에서는, 소량 다품종의 웨이퍼를 가공 처리하는 경우라도 25장 정도 수용할 수 있는 카세트 어셈블리에 수매의 웨이퍼를 수용하여 절삭 장치나 레이저 가공 장치 등의 가공 장치에 세팅하지 않으면 안 되어, 카세트 어셈블리에 낭비가 생겨 불필요하게 설치 영역을 점령한다고 하는 문제가 있다.
또한, 품종이 상이한 웨이퍼라도 A 공정에 있어서는 동일한 가공이 실시되고, B 공정에 있어서는 다른 품종의 웨이퍼와 동일한 가공이 실시되며, C 공정에 있어서는 품종마다 상이한 가공이 실시되는 경우라도, 품종마다 소량 다품종의 웨이퍼가 각각 카세트 어셈블리에 수용되어 각 공정에 반송되기 때문에, 생산성이 나쁘다고 하는 문제가 있다.
본 발명은 상기 사실을 감안하여 이루어진 것으로, 그 주된 기술적 과제는, 소량의 피가공물을 품종마다 조합할 수 있는 카세트 어셈블리를 제공하는 것이다.
상기 주된 기술 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 따르면, 판형의 피가공물을 수용하기 위한 카세트 어셈블리로서, 각각, 정해진 간격을 두고 평행하게 설치되며 서로 대향하는 위치에 각각 복수의 피가공물 지지홈을 갖는 제1 측판 및 제2 측판과, 상기 제1 측판 및 상기 제2 측판의 상단부를 연결하는 천장판과, 상기 제1 측판 및 상기 제2 측판의 하단부를 연결하는 바닥판과, 상기 제1 측판과 상기 제2 측판과 상기 천장판과 상기 바닥판의 전단(前端)측에 마련되며 피가공물을 출납하기 위한 출입 개구를 포함하는 제1 카세트 및 제2 카세트와, 상기 제1 카세트 및 제2 카세트를 중첩한 상태로 서로 고정하는 고정 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 카세트 어셈블리가 제공된다.
상기 제1 측판 및 제2 측판의 상단에는 위치 결정용 볼록부가 마련되어 있고, 제1 측판 및 제2 측판의 하단에는 위치 결정용 볼록부에 대응하는 위치 결정용 오목부가 마련되어 있다.
바람직하게는, 상기 고정 수단은, 제1 측판 및 제2 측판의 외측면 하부에 마련된 걸림 부재와, 제1 측판 및 제2 측판의 외측면 상부에 마련되며 제1 카세트 및 제2 카세트가 중첩된 상태로 상측의 카세트의 제1 측판 및 제2 측판에 마련된 걸림 부재와 결합되는 결합 부재로 이루어져 있다.
바람직하게는, 상기 고정 수단은, 제1 측판 및 제2 측판의 외측면의 중앙부에 마련된 암나사와, 암나사에 나사 결합하는 수나사를 구비한 체결 부재와, 제1 카세트 및 제2 카세트가 중첩된 상태로 제1 측판 및 제2 측판에 마련된 암나사에 나사 결합된 체결 부재의 수나사와 결합하는 복수의 오목홈을 갖는 연결 브래킷으로 이루어져 있다.
바람직하게는, 상기 고정 수단은, 제1 측판 및 제2 측판의 외측면 하부에 장착되며 암나사가 형성되어 있는 암나사 블록과, 제1 측판 및 제2 측판의 외측면 상부에 제1 카세트 및 제2 카세트를 중첩한 상태로 상측의 카세트의 제1 측판 및 제2 측판에 장착된 암나사 블록과 인접하는 위치에 장착되며 암나사 블록에 형성된 암나사에 대응하는 볼트 삽입 관통 구멍을 구비한 연결 블록과, 연결 블록에 형성된 볼트 삽입 관통 구멍을 삽입 관통하여 암나사 블록에 형성된 암나사와 나사 결합하는 체결 볼트로 이루어져 있다.
본 발명에 따르면, 소량 다품종의 웨이퍼를 가공 처리하는 경우에는, 제1 카세트 또는 제2 카세트를 사용함으로써 카세트의 낭비를 없게 하여, 불필요하게 영역을 점령한다고 하는 문제가 해소된다. 또한, 품종이 상이한 웨이퍼라도 A 공정에 있어서는 동일한 가공이 실시되는 경우는 카세트를 복수개 중첩하며 고정 수단에 의해 서로 고정함으로써 하나의 카세트 어셈블리로서 가공 처리를 실시하고, B 공정에 있어서는 카세트 어셈블리를 해체하여 개개의 카세트에 복귀시켜 동일한 가공이 실시되며 다른 품종의 웨이퍼가 수용된 카세트를 중첩하여 고정 수단에 의해 서로 고정함으로써 하나의 카세트 어셈블리로서 가공 처리를 실시하고, C 공정에 있어서는 하나의 카세트 어셈블리를 해체하여 개개의 카세트에 복귀시켜 품종마다 상이한 가공을 실시할 수 있기 때문에, 소량 다품종의 웨이퍼라도 카세트를 중첩하여 고정 수단에 의해 서로 고정함으로써 하나의 카세트 어셈블리로서 각 공정에 이송하여 가공 처리하는 것이 가능해져 생산성이 향상된다.
도 1은 본 발명 실시형태의 카세트의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 카세트를 2개 중첩하여 하나의 카세트 어셈블리를 구성한 상태를 도시하는 사시도이다.
도 3은 카세트 어셈블리를 구성하는 고정 수단의 구성 부재를 분해하여 도시하는 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 고정 수단에 의한 고정 상태를 도시하는 주요부 단면도이다.
도 5는 카세트 어셈블리를 구성하는 고정 수단의 다른 실시형태에 있어서의 구성 부재를 분해하여 도시하는 사시도이다.
도 6은 도 5에 도시된 고정 수단에 의한 고정 상태를 도시하는 주요부 단면도이다.
이하, 본 발명에 따라 구성된 카세트 어셈블리의 적합한 실시형태에 대해서, 첨부 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1에는, 환형의 지지 프레임(F)에 장착된 다이싱 테이프(T)에 웨이퍼(W)를 점착하여 형성된 웨이퍼 유닛(10)을 복수 수용하기 위한 본 발명에 따라 구성된 카세트의 사시도가 도시되어 있다. 카세트(2)는, 정해진 간격을 두고 평행하게 설치된 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)과, 상기 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)의 상단을 연결하는 천장판(23)과, 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)의 하단부를 연결하는 바닥판(24)을 구비하고 있다. 카세트(2)의 제1 측판(21)과 제2 측판(22)과 천장판(23)과 바닥판(24)의 전단측에는, 웨이퍼 유닛(10)을 출납하기 위한 출입 개구(25)가 마련되어 있다. 한편, 제1 측판(21)과 제2 측판(22)의 내측면 후단부에는, 웨이퍼 유닛(10)이 후방으로부터 탈락하는 것을 방지하기 위한 스토퍼(26, 27)가 각각 부착되어 있다. 이와 같이 구성된 카세트(2)는, 본 실시형태에서는 알루미늄 합금에 의해 형성되어 있다.
카세트(2)의 제1 측판(21)과 제2 측판(22)은 직사각형상으로 형성되고, 그 내면에는 각각 웨이퍼 유닛(10)의 측부를 수용하기 위한 전후 방향으로 평행하게 연장되는 복수의 피가공물 지지홈(211과 221)이 대향하여 마련되어 있다. 이 피가공물 지지홈(211 및 221)은, 본 실시형태에 있어서는 각각 5개씩 선반형으로 마련되어 있다. 한편, 피가공물은 웨이퍼(W) 및 웨이퍼 유닛(10)에 한정되는 것이 아니며, 일반적인 판형의 피가공물을 포함하는 것이다.
상기 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)의 상단을 연결하는 천장판(23)은, 간격을 두고 설치된 2개의 연결 막대(231 및 232)와, 상기 2개의 연결 막대(231과 232)의 하면을 연결하는 연결판(233)으로 이루어져 있고, 양단이 상기 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)의 내측면에 연결된다. 이와 같이 구성된 천장판(23)에는, 카세트(2)를 반송할 때에 파지할 수 있는 파지 부재(28)가 장착되어 있다. 이 파지 부재(28)는, 크랭크형으로 형성되고, 양단부가 2개의 연결 막대(231 및 232)에 축 지지되어 있다. 따라서, 파지 부재(28)는 접어 수납 가능하게 구성된다.
상기 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)의 하단부를 연결하는 바닥판(24)은, 상기 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)의 전후 방향 중간부에 띠형으로 형성되어 있다. 한편, 바닥판(24)은, 연결 막대로 구성하여도 좋다.
이상과 같이 구성된 카세트(2)는, 서로 중첩 가능하게 구성되어 있다. 즉, 카세트(2)를 구성하는 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)은 상단에 위치 결정용 볼록부로서의 위치 결정핀(212, 212 및 222, 222)이 마련되어 있고, 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)은 하단에 위치 결정핀(212, 212 및 222, 222)에 대응하는 위치 결정용 오목부로서의 위치 결정 구멍(213 및 223)(도 1에는, 각각 1개가 도시되어 있음)이 형성되어 있다. 따라서, 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)은 상단에 마련된 위치 결정핀(212 및 222)은, 다른 카세트(2)의 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)의 하단에 마련되며 위치 결정 구멍(213 및 223)과 감합함으로써, 카세트(2)를 정해진 상태로 중첩할 수 있다.
본 실시형태에 있어서의 카세트(2)는, 서로 중첩한 상태로 서로 고정하기 위한 고정 수단(3)을 구비하고 있다. 이 고정 수단(3)은, 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)의 외측면에 각각 마련되어 있다. 고정 수단(3)은, 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)의 외측면 하부에 마련된 걸림 부재(31)와, 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)의 외측면 상부에 마련되며 카세트(2)가 중첩된 상태로 상측의 카세트(2)의 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)의 외측면에 마련된 걸림 부재(31)와 선택적으로 결합되는 결합 부재(32)로 이루어져 있다. 걸림 부재(31)는, 단면이 L자형의 부재로 이루어지며, 바깥쪽으로 돌출되는 걸림부(311)를 구비하고 있다.
상기 고정 수단(3)을 구성하는 결합 부재(32)는, 상기 걸림 부재(31)의 걸림부(311)와 결합되는 결합부(321)와, 상기 결합부(321)의 양단으로부터 각각 L자형으로 굴곡하여 형성된 지지부(322, 322)로 이루어져 있고, 상기 지지부(322, 322)가 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)의 외측면 상부에 장착된 부착 부재(33)의 양단부에 축 지지되어 있다. 따라서, 결합 부재(32)는, 지지부(322, 322)를 회동축으로 하여 회동 가능하게 된다. 한편, 본 실시형태에 있어서의 고정 수단(3)을 구성하는 결합 부재(32)는, 파지 수단으로서도 이용할 수 있다.
본 실시형태에 있어서의 카세트(2)는 이상과 같이 구성되어 있고, 카세트(2)를 복수 중첩하여 구성하는 카세트 어셈블리에 대해서, 도 2를 참조하여 설명한다. 도 2에 도시하는 카세트 어셈블리(20)는, 카세트(2)를 2개 중첩한 구성이다. 카세트(2)를 중첩할 때에는, 하측의 카세트(2)의 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)의 상단에 마련된 위치 결정핀(212, 212 및 222, 222)에 상측에 중첩하는 카세트(2)의 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)의 하단에 마련되며 위치 결정 구멍(213 및 223)과 감합한다. 그리고, 하측의 카세트(2)의 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)에 마련된 고정 수단(3)의 결합 부재(32)를 지지부(322, 322)를 회동축으로 하여 상방으로 회동시켜, 결합부(321)를 상측에 중첩한 카세트(2)의 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)에 마련된 걸림 부재(31)의 걸림부(311)에 걸어 맞춤으로써, 서로 중첩된 2개의 카세트(2)가 서로 고정된다.
이상과 같이 구성된 카세트 어셈블리(20)의 하측의 카세트(2)와 상측의 카세트(2)에는, 각각 종류가 다른 웨이퍼(W)를 갖는 웨이퍼 유닛(10)이 수용된다. 그리고, 상측의 카세트(2)의 천장판(23)에 장착된 파지 부재(28)를 가지고 중첩된 카세트(2)를 일체의 카세트 어셈블리(20)로서 반송할 수 있다. 한편, 카세트(2)를 5개 중첩하여 일체의 카세트 어셈블리(20)를 구성함으로써, 종래 사용되고 있는 카세트 어셈블리와 같은 정도의 매수의 웨이퍼를 수용할 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 있어서는 카세트(2)를 복수개 중첩하여 카세트 어셈블리(20)를 구성하기 때문에, 소량 다품종의 웨이퍼를 가공 처리하는 경우에는, 카세트(2)를 사용함으로써 카세트 어셈블리의 낭비를 없게 하여, 불필요하게 영역을 점령한다고 하는 문제를 해소한다. 또한, 품종이 상이한 웨이퍼라도 A 공정에 있어서는 동일한 가공이 실시되는 경우는 카세트(2)를 복수개 중첩하며 고정 수단(3)에 의해 서로 고정함으로써 하나의 카세트 어셈블리(20)로서 가공 처리를 실시하고, B 공정에 있어서는 카세트 어셈블리(20)를 분해하여 개개의 카세트(2)에 복귀시켜 동일한 가공이 실시되며 다른 품종의 웨이퍼가 수용된 카세트(2)를 중첩하여 고정 수단(3)에 의해 서로 고정함으로써 하나의 카세트 어셈블리(20)로서 가공 처리를 실시하고, C 공정에 있어서는 하나의 카세트 어셈블리(20)를 분해하여 개개의 카세트(2)에 복귀시켜 품종마다 상이한 가공을 실시할 수 있기 때문에, 소량 다품종의 웨이퍼라도 카세트(2)를 중첩하여 고정 수단(3)에 의해 서로 고정함으로써 하나의 카세트 어셈블리(20)로서 각 공정에 이송하여 가공 처리하는 것이 가능해져 생산성이 향상된다.
다음에, 카세트(2)를 서로 중첩한 상태로 서로 고정하기 위한 고정 수단의 다른 실시형태에 대해서, 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한다.
도 3 및 도 4에 도시하는 고정 수단(3)은, 카세트(2)의 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)의 외측면의 중앙부에 마련된 암나사(34)와, 상기 암나사(34)에 나사 결합하는 수나사를 구비한 체결 부재(35)와, 카세트(2)가 중첩된 상태로 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)에 마련된 암나사(34)에 나사 결합된 체결 부재(35)와 결합되는 복수의 오목홈(361)을 갖는 연결 브래킷(36)으로 이루어져 있다. 체결 부재(35)는, 선단부에 형성되며 상기 암나사(34)에 나사 결합하는 수나사부(351)와, 상기 수나사부(351)에 접속되며 수나사부(351)보다 대직경으로 형성된 체결부(352)와, 상기 체결부(352)에 접속되어 체결부(352)보다 대직경으로 형성되며 외주부가 널링 가공된 작동부(353)로 이루어져 있다. 상기 연결 브래킷(36)은 박판재에 의해 형성되며, 카세트(2)가 중첩된 상태로 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)에 마련된 암나사(34)에 나사 결합된 체결 부재(35)와 결합되는 복수의 오목홈(361)을 구비하고 있다. 이 오목홈(361)의 폭은, 상기 체결 부재(35)를 구성하는 수나사부(351)의 직경보다 약간 큰 치수로 형성되어 있다. 한편, 본 실시형태에 있어서의 연결 브래킷(36)은, 상단부에 카세트(2)의 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)의 상단부에 결합시키기 위한 훅부(362)가 절곡 형성되어 있다.
도 3 및 도 4에 도시하는 고정 수단(3)은 이상과 같이 구성되어 있고, 도 4에 도시하는 바와 같이 카세트(2)를 중첩한 상태로 상측의 카세트(2)의 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)의 상단부에 연결 브래킷(36)에 형성된 훅부(362)를 결합하고, 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)에 마련된 암나사(34)에 나사 결합된 체결 부재(35)의 수나사부(351)에 연결 브래킷(36)에 형성된 오목홈(361)을 체결하게 한다. 그리고, 체결 부재(35)의 작동부(353)를 수나사부(351)의 죔 방향으로 회동시킴으로써, 연결 브래킷(36)을 체결부(352)와 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)의 외측면으로 끼워 고정한다. 이 결과, 복수 중첩된 카세트(2)는, 하나의 카세트 어셈블리(20)로 구성된다.
다음에, 카세트(2)를 서로 중첩한 상태로 서로 고정하기 위한 고정 수단의 또 다른 실시형태에 대해서, 도 5 및 도 6을 참조하여 설명한다.
도 5 및 도 6에 도시하는 고정 수단(3)은, 카세트(2)의 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)의 외측면 하부에 장착된 암나사 블록(37)과, 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)의 외측면 상부에 장착된 연결 블록(38)과, 카세트 어셈블리 유닛(2)을 중첩한 상태로 상측의 카세트(2)의 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)에 장착된 암나사 블록(37)과 하측의 카세트(2)의 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)에 장착된 연결 블록(38)을 체결하는 체결 볼트(39)로 이루어져 있다. 암나사 블록(37)은, 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)의 전후 방향에 형성된 암나사(371)가 마련되어 있다. 상기 연결 블록(38)은, 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)의 외측면 상부에 있어서의 카세트(2)를 중첩한 상태로 상측의 카세트(2)의 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)에 장착된 암나사 블록(37)과 인접하는 위치에 장착되며 상기 암나사 블록(37)에 형성된 암나사에 대응하는 위치에 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)의 전후 방향에 형성된 볼트 삽입 관통 구멍(381)이 형성되어 있다. 따라서, 복수의 카세트(2)를 중첩한 상태로 도 6에 도시하는 바와 같이 한 하측의 카세트(2)의 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)에 장착된 연결 블록(38)의 볼트 삽입 관통 구멍(381)에 체결 볼트(39)를 삽입 관통시켜, 상측의 카세트(2)의 제1 측판(21) 및 제2 측판(22)에 장착된 암나사 블록(37)의 암나사(371)에 나사 결합함으로써 암나사 블록(37)과 연결 블록(38)이 연결 고정된다. 이 결과, 중첩된 카세트(2)는, 하나의 카세트 어셈블리(20)로 구성된다.
2 : 카세트 20 : 카세트 어셈블리
21 : 제1 측판 22 : 제2 측판
23 : 천장판 24 : 바닥판
25 : 출입 개구 26, 27 : 스토퍼
28 : 파지 부재 212, 222 : 위치 결정핀
213, 223 : 위치 결정 구멍 3 : 고정 수단
31 : 걸림 부재 32 : 결합 부재
35 : 체결 부재 36 : 연결 브래킷
37 : 암나사 블록 38 : 연결 블록
39 : 체결 볼트 10 : 피가공물
F : 환형의 지지 프레임 T : 다이싱 테이프
W : 웨이퍼

Claims (5)

  1. 판형의 피가공물을 수용하기 위한 카세트 어셈블리로서,
    각각, 정해진 간격을 두고 평행하게 설치되어 서로 대향하는 위치에 각각 복수의 피가공물 지지홈을 갖는 제1 측판 및 제2 측판과,
    상기 제1 측판 및 상기 제2 측판의 상단부를 연결하는 천장판과,
    상기 제1 측판 및 상기 제2 측판의 하단부를 연결하는 바닥판과,
    상기 제1 측판과 상기 제2 측판과 상기 천장판과 상기 바닥판의 전단측에 마련되며 피가공물을 출납하기 위한 출입 개구를 포함하는 제1 카세트 및 제2 카세트, 그리고
    상기 제1 카세트 및 제2 카세트를 중첩한 상태로 서로 고정하는 고정 수단
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 어셈블리.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 측판 및 상기 제2 측판의 상단에는 위치 결정용 볼록부가 마련되어 있고, 상기 제1 측판 및 상기 제2 측판의 하단에는 상기 위치 결정용 볼록부에 대응하는 위치 결정용 오목부가 마련되어 있는 것인 카세트 어셈블리.
  3. 제2항에 있어서, 상기 고정 수단은, 상기 제1 측판 및 상기 제2 측판의 외측면 하부에 마련된 걸림 부재와, 상기 제1 측판 및 상기 제2 측판의 외측면 상부에 마련되며 상기 제1 카세트 및 제2 카세트가 중첩된 상태로 상측의 상기 카세트의 상기 제1 측판 및 상기 제2 측판에 마련된 상기 걸림 부재와 결합되는 결합 부재를 포함하는 것인 카세트 어셈블리.
  4. 제2항에 있어서, 상기 고정 수단은, 상기 제1 측판 및 상기 제2 측판의 외측면의 중앙부에 마련된 암나사와, 상기 암나사에 나사 결합하는 수나사를 구비한 체결 부재와, 상기 제1 카세트 및 제2 카세트가 중첩된 상태로 상기 제1 측판 및 상기 제2 측판에 마련된 상기 암나사에 나사 결합된 상기 체결 부재의 상기 수나사와 결합되는 복수의 오목홈을 갖는 연결 브래킷을 포함하는 것인 카세트 어셈블리.
  5. 제2항에 있어서, 상기 고정 수단은, 상기 제1 측판 및 상기 제2 측판의 외측면 하부에 장착되며 암나사가 형성되어 있는 암나사 블록과, 상기 제1 측판 및 상기 제2 측판의 외측면 상부에 상기 제1 카세트 및 제2 카세트를 중첩한 상태로 상측의 상기 카세트의 상기 제1 측판 및 상기 제2 측판에 장착된 상기 암나사 블록과 인접하는 위치에 장착되며 상기 암나사 블록에 형성된 암나사에 대응하는 볼트 삽입 관통 구멍을 구비한 연결 블록과, 상기 연결 블록에 형성된 상기 볼트 삽입 관통 구멍을 삽입 관통하여 상기 암나사 블록에 형성된 상기 암나사와 나사 결합하는 체결 볼트를 포함하는 것인 카세트 어셈블리.
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