JP2000091411A

JP2000091411A - カセット

Info

Publication number: JP2000091411A
Application number: JP25797298A
Authority: JP
Inventors: Kazuma Sekiya; 一馬関家
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 1998-09-11
Filing date: 1998-09-11
Publication date: 2000-03-31

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】半導体ウェーハ等の板状物品を収容して搬送
するカセットであって、手動によるストッパーの操作ミ
スを解消させること、及び個別の板状物品を任意に出し
入れできるようにすること。【解決手段】少なくとも、板状物品１０を収容して支
持する複数の支持片６，７と、該板状物品が出し入れで
きる開口部と、該板状物品の背部で支持する背止部８と
から構成されるカセットであって、該支持片の開口部近
傍には収容された板状物品の脱落を防止する脱落防止突
起１１が設けられ、該脱落防止突起の上端とその上部に
位置する支持片の下面との間隔が板状物品の厚さよりも
広く形成されると共に、脱落防止突起は、開口部側から
背止部側に向かって僅かに登り傾斜に形成されているカ
セットである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、半導体ウ
ェーハのような板状物品を複数枚収容し、該収容した板
状物品がずれ落ちないように維持して、所定の作業領域
まで搬送するためのカセットに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種のカセットとしては、例えば、特
公平５−７１１８０号公報に開示された構成のものが従
来例として公知になっている。この従来例のカセットに
おいては、ウェーハを出し入れする開口部に開閉自在な
ストッパー部材（係止回動枠）を設け、該ストッパー部
材を手動により、下方に押しながら開口部を閉鎖する位
置（ストッパー位置）と開口部を解放する位置（非スト
ッパー位置）とに回動させる構成を有している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来例
のストッパー部材は、カセットの開口部を一括して閉鎖
したり解放したりするので、各ウェーハ毎にストップ機
能を果たすことができず特定のウェーハのみをカセット
から出し入れしたい場合でも、全てのウェーハについて
も解放しなければならず、各ウェーハ毎の脱落防止機能
が充分でないという問題点を有している。

【０００４】また、ストッパー部材は、手動により操作
する構成であるため、ストッパーのかけ忘れがあると、
カセットの搬送中に収容したウェーハが脱落すると云う
不都合が生ずるばかりでなく、ストッパーの解放ミスが
あると、ウェーハの出し入れ作業の際にストッパー部材
にぶつかって破損するという問題点を有している。

【０００５】従って、従来のカセットにおいては、収容
した物品毎に個別にストップ機能が働くようにするこ
と、及び物品を出し入れする際にストッパー部材の操作
を一々確認しなくても、出し入れに支障を来さないよう
にすることに解決しなければならない課題を有してい
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記従来例の課題を解決
する具体的手段として本発明は、少なくとも、板状物品
を収容して支持する複数の支持片と、該板状物品が出し
入れできる開口部と、該板状物品の背部で支持する背止
部とから構成されるカセットであって、該支持片の開口
部近傍には収容された板状物品の脱落を防止する脱落防
止突起が設けられ、該脱落防止突起の上端とその上部に
位置する支持片の下面との間隔が板状物品の厚さよりも
広く形成されると共に、脱落防止突起は、開口部側から
背止部側に向かって僅かに登り傾斜に形成されているこ
とを特徴とするカセットを提供するものである。

【０００７】また、本発明のカセットにおいては、脱落
防止突起は、作用位置と非作用位置とに変位すること、
を付加的な構成要件としている。

【０００８】本発明に係るカセットは、支持片の開口部
近傍に設けられた脱落防止突起が、背止部側に向かって
登り傾斜に形成されていることにより、各支持片間に収
容された板状物品は、その脱落防止突起によって個別に
支持されて脱落が防止されており、また、板状物品の収
容時には、傾斜によってガイドされるので速やかな収容
が可能である。そして、カセットから板状物品を取り出
す際には、搬出搬入手段で板状物品を挟持した後に僅か
に持ち上げる動作をするか、または搬出搬入手段で板状
物品を挟持した後に、カセットを僅かに下方に下げるよ
うにすれば、脱落防止突起を交わして板状物品を搬出で
きるのである。

【０００９】

【発明の実施の形態】次に、本発明を図示の実施の形態
により更に詳しく説明する。まず、図１に示した第１の
実施の形態に係るカセット１は、両側面板２、３と、天
板４及び底部連結板５とで全体が四角形状に形成され、
前面側と背面側とが全面的に開口した構成を有してい
る。

【００１０】各側面板２、３の内側面には、それぞれ支
持片６、７が所定の間隔をもって水平状態に複数段に亘
って棚板状に形成されている。そして、側面板２に設け
た支持片６と側面板３に設けた支持片７とは、各段毎に
それぞれ対応して水平状態に対峙するように形成されて
いる。

【００１１】カセット１における背面側の開口部には、
両側面板２、３の内側面にそれぞれ各支持片６、７を横
切って略垂直に位置する背止部８、９を設けてあり、該
背止部８、９によってカセットに収容されるウェーハな
どの板状物品１０が背面側から脱落しないようになって
いる。なお、背止部８、９は、別体のものを取り付ける
か或いは支持片６、７と一体に形成したものでも良い。
要するに収容した板状物品１０が背面側から脱落しない
構成または手段で有れば良いのである。また、ここでい
う板状物品１０は、例えば、半導体ウェーハＷがテープ
Ｔを介してフレームＦに取り付けられたものであって、
全体として板状を呈しているものを称している。

【００１２】カセット１における前面側の開口部は、図
２に示したように、板状物品１０を出し入れするための
開口部であって、両側面板２、３にそれぞれ設けられた
各支持片６、７の上面には脱落防止突起１１、１２が設
けられている。これらの脱落防止突起１１、１２は、背
止部８、９側に向かって僅かに登り傾斜になるように傾
斜面１１ａ、１２ａが形成されている。

【００１３】また、脱落防止突起１１（１２）は、図３
に示したように、前面側に向かうなだらかな傾斜面１１
ａ、１２ａと背面側の垂直部１１ｂ、１２ｂとを有する
三角形状または楔形状に形成されており、その高さ方向
における頂部、即ち、上端と上部に位置する支持片６
（７）の下面との間隔が板状物品１０の厚さよりも広く
形成されている。従って、板状物品１０の出し入れにお
いて、大きな摩擦抵抗は生じないのである。

【００１４】なお、カセット１における天板４には、把
手１３が取り付けられており、該把手１３によりカセッ
ト１を吊垂して搬送または運搬することができるのであ
る。また、底部連結板５は、両側面板２、３の間隔が維
持できる程度の強度が有れば足りるので、比較的幅の狭
い板材が使用されているが、この幅を広くすることもで
きるし、また、狭い板材を所定の間隔をもって複数枚使
用することもできる。

【００１５】このような構成のカセット１に対して板状
物品１０を収容する場合には、一般的に行われている手
段によって、図２に示したように、前面側の開口部側か
ら各段の支持片６、７間に挿入する。この場合に板状物
品１０が半導体ウェーハＷを搭載したフレームＦであれ
ば、そのフレームＦの両サイドの部分が支持片６、７に
接触して挿入されると共に、脱落防止突起１１、１２の
傾斜面１１ａ、１２ａにも当接し、その傾斜面１１ａ、
１２ａに沿ってガイドされるようにスムーズに挿入さ
れ、脱落防止突起１１、１２の垂直部１１ｂ、１２ｂを
越えて、フレームＦの背面側が背止部８、９に略当接す
る位置まで挿入して収容するものである。

【００１６】このようにして各段の支持片６、７間に収
容された板状物品１０は、開口部の背面側においては背
止部８、９によって背面側から脱落しないように支持さ
れ、開口部の前面側においては、脱落防止突起１１、１
２の垂直部１１ｂ、１２ｂによって脱落しないように支
持され、安定した状態で収容できるのである。

【００１７】このように板状物品１０が収容されたカセ
ット１は、所定の作業位置に搬送されて所定の加工に供
されるものであるが、その加工の際して板状物品１０を
取り出す場合にも、一般的に使用されている挟持式の取
り出しまたは搬出手段が用いられる。

【００１８】この場合に、搬出手段で板状物品１０を挟
持した時に、搬出手段が僅かに上昇するかまたはカセッ
ト１をセットした昇降台が僅かに下降する動作を行うも
のであり、その上昇または下降動作のストロークは、脱
落防止突起１１、１２の垂直部１１ｂ、１２ｂの高さを
僅かに越えるものである。そして、搬出手段を後退させ
ることでカセット１から板状物品１０を支障なく容易に
取り出すことができるのである。

【００１９】第４図に第２の実施の形態を示してある。
この第２の実施の形態に係るカセットと前記第１の実施
の形態に係るカセット１とは、脱落防止突起の構成が相
違するのみで他の構成部分は実質的に同一である。従っ
て、その相違する構成部分のみ図示して説明する。

【００２０】即ち、両側面板３（２）にそれぞれ支持片
７（６）が所定の間隔をもって水平状態に複数段に亘っ
て棚板状に形成されており、各支持片７（６）に脱落防
止突起２２（２１）が設けられ、これらの脱落防止突起
２２（２１）は、背止部側に向かって僅かに登り傾斜に
なるなだらかな傾斜面２１ａ、２２ａと背面側に垂直部
２１ｂ、２２ｂとを有するように形成されている点で、
技術的思想において第１の実施の形態に係るカセット１
と略一致しており、具体的構成において僅かに相違して
いる。

【００２１】その相違する具体的構成において、各支持
片７（６）にそれぞれ設けられる脱落防止突起２２（２
１）は、各支持片７（６）から延設して設けた略Ｌ字状
の延設部１４の自由端部側に形成されるものである。

【００２２】そして、この延設部１４は、各支持片７
（６）と略平行して設けられており、全体として弾性を
有するものである。従って、脱落防止突起２２（２１）
を上部から適度の押圧力で押圧すると、全体が下方に撓
むようになる。例えば、適宜の搬出搬入手段で、収容さ
れるべき板状物品１０を搬入又は搬出する場合に、搬出
搬入手段の一部が脱落防止突起２２（２１）に接触する
ことで、必然的に下方への押圧力が加わって延設部１４
が下方に撓み、板状物品１０の搬入または搬出作業が速
やかに行えるのである。

【００２３】このことからして、脱落防止突起２２（２
１）は、板状物品１０が収容されている時も含めて通常
の状態の時には作用位置にあって、板状物品１０の搬入
または搬出の作業時には非作用位置に変位するのであ
る。

【００２４】従って、前記第１の実施の形態に係るカセ
ットと同様に、各段の支持片６、７間に収容された板状
物品１０は、開口部の背面側においては背止部８、９に
よって背面側から脱落しないように支持され、開口部の
前面側においては、脱落防止突起２１、２２の垂直部２
１ｂ、２２ｂによって脱落しないように支持され、安定
した状態で収容できるのであり、板状物品１０の収容及
び搬出に際しては、延設部１４の撓みによって支障なく
出し入れができるのである。

【００２５】いずれにしても本発明のカセットにおいて
は、手動で操作するようなストッパー部材を一切有しな
いので、カセットの構成が簡単になると共に、板状物品
の安定した状態での安全な収容が可能であり、しかも、
人為的動作ではなく機械的動作によって板状物品の速や
かな収容と取り出しが可能になり、操作ミスが完全に解
消されるのである。

【００２６】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係るカセッ
トは、少なくとも、板状物品を収容して支持する複数の
支持片と、該板状物品が出し入れできる開口部と、該板
状物品の背部で支持する背止部とから構成されるカセッ
トであって、該支持片の開口部近傍には収容された板状
物品の脱落を防止する脱落防止突起が設けられ、該脱落
防止突起の上端とその上部に位置する支持片の下面との
間隔が板状物品の厚さよりも広く形成されると共に、脱
落防止突起は、開口部側から背止部側に向かって僅かに
登り傾斜に形成されている構成にしたことにより、手動
で操作するストッパー部材を必要としないことから、構
成が簡単であると共に、ストッパーの操作ミスが全くな
いので、収容された板状物品を安定して且つ安全に保持
できるという優れた効果を奏する。

【００２７】また、支持片に脱落防止突起が設けられて
いるので、板状物品のストップ機能が各板状物品毎に個
別に働くと共に、脱落防止突起は、開口部側から背止部
側に向かって僅かに登り傾斜に形成されていることによ
り、板状物品を収容する際に引っかかることなくスムー
ズに収容できるという優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係るカセットを示
す斜視図である。

【図２】同カセットに板状物品を出し入れする状態を説
明するための要部のみの拡大斜視図である。

【図３】同カセットに板状物品を出し入れする状態を説
明するための要部のみの内側側面図である。

【図４】本発明の第２の実施の形態に係るカセットの要
部のみを示す斜視図である。

【符号の説明】

１……カセット、２、３……側面板、４……天板、
５……底部連結板、６、７……支持片、８、９……
背止部、１０……板状物品、１１、１２、２１、２２
……脱落防止突起、１１ａ、１２ａ、２１ａ、２２ａ…
…傾斜面、１１ｂ、１２ｂ、２１ｂ、２２ｂ……垂直
部、１３……把手、１４……延設部。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 3E068 AA33 AB04 AC05 BB09 BB11 BB16 CC01 DD07 DD12 EE01 EE40 3E096 AA06 BA16 BB03 CA01 CB10 CC10 DA01 DA09 DB01 DB08 DC01 FA09 FA26 FA27 GA03 GA09 GA12 5F031 CA02 DA01 EA09 EA10 FA01

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも、板状物品を収容して支持す
る複数の支持片と、該板状物品が出し入れできる開口部
と、該板状物品の背部で支持する背止部とから構成され
るカセットであって、該支持片の開口部近傍には収容された板状物品の脱落を
防止する脱落防止突起が設けられ、該脱落防止突起の上端とその上部に位置する支持片の下
面との間隔が板状物品の厚さよりも広く形成されると共
に、脱落防止突起は、開口部側から背止部側に向かって僅か
に登り傾斜に形成されていることを特徴とするカセッ
ト。
【請求項２】脱落防止突起は、作用位置と非作用位置
とに変位する請求項１に記載のカセット。