CN210722982U - 运载装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种运载装置，适于容纳至少一物件。运载装置包括盒体及至少两止挡件。盒体的两相对侧壁分别具有至少一沟槽，且两侧壁上的该等沟槽相互对应以接受物件的两相对边缘分别由对应的沟槽的开口端进入，并沿沟槽内的移动路径移动。该等止挡件可动地配置于侧壁，且其中一止挡件位于开口端与另一止挡件之间。各止挡件分别具有至少一止挡部。该至少两止挡件适于相对于侧壁移动至第一位置以使止挡部止挡于移动路径上，且该止挡件适于相对于侧壁移动至第二位置而使止挡部移离移动路径。本实用新型提供的运载装置可使运载装置既可很简便地允许取放动作的进行，同时又能达到确保止挡件不致受到稍微偏置的物件阻碍而无法发挥功能的功效。

Description

运载装置

技术领域

本实用新型涉及一种运载装置，尤其涉及一种用以运载需要稳定度高的片状或板状物件的运载装置。

背景技术

在半导体产业及光电产业的蓬勃发展下，越来越多半导体元件或光电元件需要运载装置，以将半导体元件或光电元件于厂区内进行运送。由于像晶圆、晶片、光罩或是玻璃基板等物件都是片状或板状的易碎物件，在运载的过程中必须确保这些被运送的物件不会意外地由运载装置中脱出、掉落并因而受到损伤。特别是对于一些开放式或半开放式的运载装置来说，因为开放式或半开放式的设计使其不具有门，所以需要另外设计及配置止挡部件或止挡机构以在运送过程中将物件止挡在运载装置内。而为了减轻运载装置重量、简化操作步骤等考量，这些止挡部件或止挡结构通常都较为简单。因此有时可能会因为操作不确实，或运载装置中所容置的物件未正确到达定位而造成阻碍等意外因素，使得这些止挡部件或止挡结构未能被正确地设置于止挡位置或状态，造成被运载的物件在被传输的过程中，因为受到传输系统的些微摇晃或震动而从运载装置中脱出。职是之故，要如何改善运载装置的止挡部件或止挡结构的可靠性以避免意外状况的发生，便成为相关业者亟待解决的重要课题。

实用新型内容

本实用新型提供一种运载装置。运载装置适于容纳至少一物件。运载装置包括盒体及至少两止挡件。盒体的两相对侧壁分别具有至少一沟槽，且一个侧壁上的至少一沟槽与另一个侧壁上的至少一沟槽相互对应以接受物件的两相对边缘分别由对应的沟槽的开口端进入，并沿沟槽内的移动路径移动。两止挡件可动地配置于侧壁，且其中一止挡件位于开口端与另一止挡件之间，各止挡件分别具有至少一止挡部。该至少两止挡件适于相对于侧壁移动至第一位置以使止挡部止挡于移动路径上，且该止挡件适于相对于侧壁移动至第二位置而使止挡部移离移动路径。

在本实用新型的一实施例中，上述的一止挡件适于相对于另一止挡件移动。

在本实用新型的一实施例中，上述的运载装置包括支撑件，其中支撑件可动地配置于盒体且适于同时将至少两止挡件支撑于第二位置，支撑件适于相对于盒体移动或转动而使各止挡件由第二位置被释放。

在本实用新型的一实施例中，上述的支撑件具有支撑端，支撑端适于支撑各止挡件的受支撑端。

在本实用新型的一实施例中，上述设有两止挡件的侧壁具有至少一通孔，各止挡件的至少部分通过通孔而突伸至盒体的外侧，且各止挡件的受支撑端位于或连接于止挡件突伸至盒体外侧的部分。

在本实用新型的一实施例中，至少一上述的止挡件靠近支撑件的一端具有延伸区段，延伸区段往另一止挡件延伸，且具有延伸区段的止挡件的受支撑端位于或连接于延伸区段。

在本实用新型的一实施例中，上述的支撑件配置于盒体的底部。

在本实用新型的一实施例中，上述的盒体的底部设有至少三个动态定位销接座，且支撑件通过其中一动态定位销接座中央。

在本实用新型的一实施例中，上述的至少一沟槽沿第一方向延伸，移动路径平行于第一方向，各止挡件适于沿垂直于第一方向的第二方向相对于侧壁移动。

在本实用新型的一实施例中，上述的至少一止挡部沿第二方向的宽度小于等于至少一沟槽沿第二方向的宽度。

在本实用新型的一实施例中，上述的至少一沟槽具有承载面，承载面适于承载至少一物件的边缘，位于第一位置时的各止挡件的至少一止挡部底缘与对应的沟槽的承载面间的距离小于物件在沟槽内的部分的厚度；位于第二位置时的各止挡件的至少一止挡部底缘与对应的沟槽的承载面间的距离大于物件在沟槽内的部分的厚度。

基于上述，在本实用新型的运载装置中，于盒体的侧壁上配置了至少两个止挡件。该止挡件可一同受到支撑件的驱动与支撑而同时离开止挡位置，以便于向运载装置内部取放物件。当物件被正确地放置于运载装置中的放置位置，且支撑件不再支撑该止挡件时，距离物件较近、离沟槽的开口端较远的止挡件可正确、不受阻碍地作动而止挡在物件的前缘与沟槽的开口端间，以将物件止挡于沟槽内，避免物件非预期地沿沟槽往开口端移动而从运载装置中脱出。故此距离物件前缘较近、离沟槽的开口端较远的止挡件可视为主要止挡件。而万一要是物件被置放在运载装置内的位置有些微偏差而阻碍了所述主要止挡件正确地移动至止挡位置，导致所述主要止挡件无法正常地止挡物件，此时距离沟槽的开口端较近的止挡件因为离物件前缘较远，所以不会受到稍微偏离正确放置位置的物件阻碍，而仍可正确作动以发挥止挡物件的功能，确保物件不会脱出运载装置。故可将之视为辅助止挡件或备援止挡件。也就是说，通过本实用新型的实施，可使运载装置既可很简便地允许取放动作的进行，同时又能达到确保止挡件不致受到稍微偏置的物件阻碍而无法发挥功能的功效。

为让本实用新型的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附附图作详细说明如下。

附图说明

图1是本实用新型一实施例的运载装置的立体图；

图2是图1示出的运载装置的局部放大图；

图3是图1所示出的运载装置另一角度的立体图；

图4示出图1中的止挡件移动后的运载装置的立体图；

图5是图4示出的运载装置的局部放大图；

图6是图4所示出的运载装置另一角度的立体图；

图7是图1中的运载装置的部分构件立体图；

图8是图7示出的运载装置部分构件于另一视角的立体图；

图9是图1示出的运载装置的部分构件立体图；

图10是图9示出的运载装置部分构件于另一视角的立体图。

附图标记说明：

50：物件；

100：运载装置；

110：盒体；

112、114：侧壁；

112a、114a：沟槽；

112a1、114a1：开口端；

112a2：承载面；

112b：通道；

112c：通孔；

112d：滑槽；

120：止挡件；

122：止挡部；

124：受支撑端；

124a：延伸区段；

126：凸柱；

130：支撑件；

132：枢接部；

134：支撑端；

134a：支撑面；

140：动态定位销接座；

D1：第一方向；

D2：第二方向；

P：移动路径。

具体实施方式

图1是本实用新型一实施例的运载装置的立体图。图2是图1示出的运载装置的局部放大图。图3是图1所示出的运载装置另一角度的立体图。请参考图1至图3，本实施例的运载装置100适于容纳至少一物件50(示出于图1)，特别是片状的物件50，例如是晶圆、晶圆框架等。

运载装置100包括盒体110及至少两止挡件120。盒体110的两相对侧壁112、114分别具有沿第一方向D1延伸的多个沟槽112a、114a，且两侧壁112、114上的多个沟槽112a、114a相互对应，以接受物件50的两相对边缘分别从对应的一组沟槽112a、114a的开口端112a1、114a1进入沟槽112a、114a。

由于侧壁112与侧壁114以及沟槽112a与沟槽114a的结构都大致相同。主要差异只在于侧壁112设有止挡件120，以及进入沟槽112a内的物件50边缘可受到止挡件120止挡。除此之外，物件50的两相对边缘在沟槽112a、114a中移动的方式都一样。因此以下就以侧壁112、沟槽112a及物件50的边缘在沟槽112a内的动作机制作为范例进行说明。

物件50与沟槽112a对应的边缘可以从开口端112a1(标示于图2)进入沟槽112a，然后沿着沟槽112a内平行于第一方向D1的移动路径P移动。也就是说，物件50可以沿着第一方向D1被置入运载装置100，或由运载装置100中被取出。

由图1及图2可知：在本实施例中，第一方向D1即为通过盒体110开口而连通盒体110内外的水平方向。物件50可以沿着第一方向D1被水平地移动以置入运载装置100，或由运载装置100中被水平地移动而取出。

两止挡件120可动地配置于盒体110的侧壁112上。其中一止挡件120设置于较为靠近开口端112a1处，也就是介于开口端112a1与另一止挡件120之间。且一止挡件120适于相对于另一止挡件120移动，也就是说，两止挡件120是可以各自移动的。

请同时参阅图4至图6。两止挡件120适于分别沿平行于侧壁112外表面并垂直于第一方向D1的第二方向D2相对于盒体110的侧壁112移动，且各止挡件120分别具有多个止挡部122(标示于图2)。由上述各图可知：在本实施例中，第二方向D2即为上下方向。

各止挡件120适于沿着前述第二方向D2相对于盒体110的侧壁112移动至图1至图3所示的第一位置，使得各止挡部122止挡于对应的沟槽112a内的物件50边缘前方的移动路径P上，以在运送运载装置100及其内承载的物件50的过程中，通过止挡部122阻止沟槽112a内的物件50往盒体110外移动。

另一方面，各止挡件120也适于沿着前述第二方向D2相对于盒体110的侧壁112移动至图4至图6所示的第二位置，使得各止挡部122移离对应的沟槽112a内的移动路径P，以让使用者或自动化取放设备能够对运载装置100的盒体110内部取放物件50。

由上述各图可知：在本实施例中，第二位置高于第一位置。也就是说，当要对运载装置100进行取放物件50的动作时，必须先将两止挡件120向上移动至第二位置以使各止挡件120的各止挡部122往上方移离对应的沟槽112a内的移动路径P，物件50的边缘才能不受阻碍地沿着移动路径P进出沟槽112a。

如上所述，本实施例的运载装置100在盒体110的侧壁112配置了至少两个止挡件120。当物件50被置放在运载装置100中的正确位置后，距离沟槽112a的开口端112a1较远，也就是较靠近物件50的止挡件120的止挡部122后缘会处于物件50位在沟槽112a内的部分的前缘前方，而不会受到物件50的阻碍。

这时，两个止挡件120都可以不受阻碍地向下移动至第一位置，并由离开口端112a1较远的止挡件120的止挡部122止挡物件50的边缘，以将物件50边缘保持在沟槽112a内，避免物件50的边缘非预期地沿沟槽112a内的移动路径P往外移动并使物件50向外脱离出运载装置100。

由于在正常的操作过程或使用状态下，物件50均应会被放置在运载装置100内的正确位置。因此，将物件50止挡在运载装置100内的工作都是由此距离开口端112a1较远的止挡件120担当。故可将此距离开口端112a1较远的止挡件120视为主要的止挡件120。

万一要是物件50在被置放于运载装置100内时并未完全到达位在盒体110后端的置放位置，而使得物件50边缘在沟槽112a内的位置稍微地偏向开口端112a1，这就可能造成在沟槽112a内的物件50前缘至少有局部位于正处在第二位置的主要的止挡件120的止挡部122下方，而不是完全位在止挡部122的后方的情况。

在这种情况下，若是要将主要的止挡件120由第二位置移向第一位置，则此主要的止挡件120就会因为其止挡部122受到物件50的阻碍而无法正确地向下移动至第一位置，导致物件50无法正常地被所述主要止挡件120止挡。

这时，距离沟槽112a的开口端112a1较近的止挡件120因为距离物件50较远而不会受其阻碍，故仍能正常地由第二位置移动至第一位置，并使其止挡部122正常地移动到移动路径P上而发挥止挡物件50的功能，确保物件50不会往盒体110外移动并脱出。因此可将之视为辅助或备援用的止挡件120。

如图2及图5所示，各沟槽112a具有承载面112a2。承载面112a2适于承载物件50的边缘。当各止挡件120移动到位于图1至图3所示的第一位置时，各止挡部122突露出于对应的沟槽112a的承载面112a2上而止挡在移动路径P上。

为了使止挡部122既能在运载装置100被搬运的过程中可以有效止挡其运载的物件50移动，又要能在对物件50进行取放时，允许物件50的边缘能顺利、毫无阻碍地在沟槽112a内通行，因此各止挡部122沿第二方向D2的宽度必须小于等于各自对应的沟槽112a沿第二方向D2的宽度。

更具体的说，当各止挡件120位在第一位置时，各止挡部122底缘与对应的沟槽112a的承载面112a2间的距离小于物件50在沟槽112a内的部分的厚度。如此，才能确保物件50不会从止挡部122与承载面112a2间的间隙中通过，止挡部122才能有效地将物件50止挡在运载装置100的盒体110内部。

而当各止挡件120由第一位置向上移动到第二位置时，各止挡件120的各止挡部122底缘与对应的沟槽112a的承载面112a2间的距离就会拉开到大于物件50在沟槽112a内的部分的厚度。如此一来，物件50的边缘在沟槽112a内的部分就能不受阻碍地由止挡部122与承载面112a2间通过而被取放。

如图3、图6及图7至图10所示，本实施例的运载装置100还包括支撑件130。支撑件130可动地配置于盒体110，且适于同时将两止挡件120支撑于图4至图6所示的第二位置。又，支撑件130也适于相对于盒体110移动或转动而将各止挡件120自第二位置释放。

支撑件130例如是藉其枢接部132而枢接于盒体110的底部，且可通过外力而相对于盒体110转动以带动位于支撑件130靠近盒体110外侧处的支撑端134往上移动。支撑端134再如图7及图8所示地支撑各止挡件120的受支撑端124，使各止挡件120位于图4至图6所示的第二位置。

反之，支撑件130也可通过外力的作用或将驱使其向上转动的外力释放而相对于盒体110转动以带动支撑件130的支撑端134往下移动，使得各止挡件120可以自第二位置被释放，然后通过重力或其他作用力往下移至图1至图3所示的第一位置。

由于半导体等产业使用的各制程机台的装卸载埠(load port)通常都设有三个动态定位销(Kinematic Coupling Pins,KCP。图未示)，而运载装置100的盒体110底部则对应设有三个动态定位销接座140(请参见图3及图6)，以在运载装置100被放置于装卸载埠上时能配合动态定位销而使运载装置100被正确地定位。

因此，在实际应用上，本实施例中支撑件130可设置在盒体110底部靠侧壁112的一侧，并通过其中一个动态定位销接座140中央。则所述外力便是当运载装置100被置放于机台的装卸载埠时，由对应的动态定位销(图未示)伸入该动态定位销接座140而顶推支撑件130的力。

当然，在其他不同应用的实施例中，各止挡件120也可通过其他适当结构及连动方式而作动于所述第一位置与所述第二位置之间，本实用新型不对此加以限制。

于是，当运载装置100被置放在机台的装卸载埠上后，支撑件130受到与其所通过的动态定位销接座140对应的动态定位销(图未示)顶推而向上转动，使得其支撑端134也随之升高，进而将两止挡件120向上推升直到将两止挡件120支撑于第二位置。

这时，各止挡件120的各止挡部122底缘与对应的沟槽112a的承载面112a2间的距离就会拉开到大于物件50在沟槽112a内的部分的厚度。于是，物件50的边缘就能不受阻碍地由止挡部122与承载面112a2间通过而让物件50能够被取放。

而当物件50被放入运载装置100，并将运载装置100从机台的装卸载埠上移离后，支撑件130不再受动态定位销(图未示)顶推，于是受重力作用而向下转动，并带动其支撑端134下降，止挡件120也就随之下降到第一位置而将物件50止挡在盒体110内，使之不致于意外地由盒体110内滑出甚至掉落。

请参考图9及图10。在本实施例中，盒体110在侧壁112底端处具有通道112b，支撑件130的支撑端134通过通道112b突伸至侧壁112的外侧。通道112b可以是窗口或是缺口。本实施例中是以窗口的形式作为范例。

通道112b功用只是要让支撑件130的支撑端134能突伸至侧壁112的外侧，并能不受阻碍地被推升或下降，同时也支撑各止挡件120的受支撑端124，以将各止挡件120支撑于第二位置，或将之由第二位置释放。除此之外，不管是对其形式或结构均无任何特别的限制。

另外，盒体110的侧壁112还具有通孔112c。各止挡件120的靠近侧壁112底端的部分通过通孔112c而突伸至盒体110的外侧。各止挡件120的受支撑端124则位于或连接于其在盒体110外侧的部分，且适于在侧壁112的外侧受支撑件130的支撑端134支撑。

由于支撑件130的支撑端134及各止挡件120的受支撑端124被设置成突伸至盒体110的外侧，使得作业人员可直接由外侧接触及操作这些元件，因此可以依需求以手动的方式操作支撑件130及各止挡件120作动。

如图8所示，本实施例的支撑件130在其支撑端134具有支撑面134a，一止挡件120的受支撑端124被部分支撑面134a支撑，而另一止挡件120的受支撑端124被另一部分支撑面134a支撑。也就是说，支撑件130通过单一支撑面134a同时支撑两止挡件120。

如图7及图8所示：在本实施例中，一止挡件120靠近支撑件130的一端具有延伸区段124a。延伸区段124a往另一止挡件120延伸。具有延伸区段124a的止挡件120的受支撑端124位于或连接于延伸区段124a而使两止挡件120的受支撑端124相邻，使之能如上所述地同时被单一支撑面134a支撑。

除了上述的态样外，在一变化的实施态样中，支撑件130的支撑端134也可不突伸至侧壁112外侧，而是令止挡件120的受支撑端124由侧壁112外侧经由通道112b向盒体110底部内侧延伸后再与支撑件130的支撑端134相接并受其推动。这样也能达到同样的功效。

如图8至图10所示，本实施例的各止挡件120具有凸柱126，凸柱126滑设于盒体110的侧壁112的滑槽112d，以界定各止挡件120在第一位置及第二位置之间的具体移动范围，以及移动方向与轨迹。在其他实施例中，各止挡件120的移动范围与方向可通过其他适当方式界定，本实用新型不对此加以限制。

又，如图9所示：本实施例中靠近侧壁112底侧的两凸柱126外侧端略微突露出于侧壁112的外表面。这样的设计让本实施例中的止挡件120也可通过人工操作或位于侧壁112外侧的顶撑设备或机构(图未示)向上顶推外露的凸柱126外侧端而被推升并支撑于前述的第二位置。

此外，在其他实施例中，盒体110的另一侧壁114(标示于图1及图3)也可设置对称于侧壁112处的止挡件120的止挡件和/或支撑件，以在盒体110的两侧壁112、114处皆提供止挡物件50的效果。

综上所述，在本实用新型的运载装置中，盒体的一侧壁配置了至少两个止挡件，并通过设置在盒体底部且通过动态定位销接中央的支撑件同时将其支撑至非止挡位置但却又能各自移动至止挡位置的设计，使得运载装置在物件放置位置正确的正常状态下，距离沟槽的开口端较远的主要止挡件能正确地作动以将物件的边缘止挡于沟槽内，避免物件的边缘非预期地沿沟槽往开口端移动而造成物件由运载装置中脱出、掉落甚至因而受损。若物件在沟槽内的位置有些微偏差而阻碍了所述主要止挡件正确地移动至止挡位置，导致所述主要止挡件无法正常地止挡物件，则距离沟槽的开口端较近的止挡件因其离物件较远而不会受到阻碍，故仍可正确作动以发挥止挡物件的功能，确保物件不会脱出运载装置。因此可使运载装置既可很简便地允许取放动作的进行，同时又能达到确保止挡件不致受到稍微偏置的物件阻碍而无法发挥应有功能的功效。

虽然本实用新型已以实施例揭示如上，然其并非用以限定本实用新型，任何所属技术领域中技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作些许的更改与润饰，故本实用新型的保护范围当视所附的权利要求所界定者为准。

Claims (11)

1.一种运载装置，其特征在于，适于容纳至少一物件，包括：

盒体，所述盒体的两相对侧壁分别具有至少一沟槽，且一个所述侧壁上的所述至少一沟槽与另一个所述侧壁上的所述至少一沟槽相互对应以接受所述至少一物件的两相对边缘分别由对应的所述沟槽的开口端进入，并沿所述沟槽内的移动路径移动；以及

至少两止挡件，可动地配置于所述侧壁，且其中一所述止挡件位于所述开口端与另一所述止挡件之间，各所述止挡件分别具有至少一止挡部，所述至少两止挡件适于相对于所述侧壁移动至第一位置以使所述至少一止挡部止挡于所述移动路径上，且所述止挡件适于相对于所述侧壁移动至第二位置而使所述至少一止挡部移离所述移动路径。

2.根据权利要求1所述的运载装置，其特征在于，一所述止挡件适于相对于另一所述止挡件移动。

3.根据权利要求1所述的运载装置，包括支撑件，其特征在于，所述支撑件可动地配置于所述盒体且适于同时将所述至少两止挡件支撑于所述第二位置，所述支撑件适于相对于所述盒体移动或转动而使各所述止挡件由所述第二位置被释放。

4.根据权利要求3所述的运载装置，其特征在于，所述支撑件具有支撑端，所述支撑端适于支撑各所述止挡件的受支撑端。

5.根据权利要求4所述的运载装置，其特征在于，设有所述两止挡件的所述侧壁具有至少一通孔，各所述止挡件的至少部分通过所述至少一通孔而突伸至所述盒体的外侧，且各所述止挡件的所述受支撑端位于或连接于所述止挡件突伸至所述盒体外侧的部分。

6.根据权利要求5所述的运载装置，其特征在于，至少一所述止挡件靠近所述支撑件的一端具有延伸区段，所述延伸区段往另一所述止挡件延伸，且具有所述延伸区段的所述止挡件的所述受支撑端位于或连接于所述延伸区段。

7.根据权利要求3所述的运载装置，其特征在于，所述支撑件配置于所述盒体的底部。

8.根据权利要求7所述的运载装置，其特征在于，所述盒体的底部设有至少三个动态定位销接座，且所述支撑件通过其中一所述动态定位销接座中央。

9.根据权利要求1所述的运载装置，其特征在于，所述至少一沟槽沿第一方向延伸，所述移动路径平行于所述第一方向，各所述止挡件适于沿垂直于所述第一方向的第二方向相对于所述侧壁移动。

10.根据权利要求9所述的运载装置，其特征在于，所述至少一止挡部沿所述第二方向的宽度小于等于所述至少一沟槽沿所述第二方向的宽度。

11.根据权利要求1所述的运载装置，其特征在于，所述至少一沟槽具有承载面，所述承载面适于承载所述至少一物件的所述边缘，位于所述第一位置时的各所述止挡件的所述至少一止挡部底缘与对应的所述沟槽的所述承载面间的距离小于所述物件在所述沟槽内的部分的厚度；位于所述第二位置时的各所述止挡件的所述至少一止挡部底缘与对应的所述沟槽的所述承载面间的距离大于所述物件在所述沟槽内的部分的厚度。

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