KR20130004915A

KR20130004915A - 보어 검사 시스템 및 보어 검사 시스템에 의한 검사 방법

Info

Publication number: KR20130004915A
Application number: KR1020127025055A
Authority: KR
Inventors: 폴 에스 셔틀워스
Original assignee: 페더럴-모걸 코오포레이숀
Priority date: 2010-03-09
Filing date: 2011-03-09
Publication date: 2013-01-14
Also published as: JP2013522599A; EP2545361A1; CN102884421A; CN102884421B; BR112012022793A2; US9116133B2; WO2011112675A1; US20110221887A1

Abstract

구성요소의 보어의 경계를 이루는 내측 표면(12)을 검사하기 위한 이미징 시스템(10)과 이 이미징 시스템(10)에 의한 검사 방법이 함께 제공된다. 상기 이미징 시스템은 레이저 빔(22)을 방출하는 레이저 광원을 포함하고 있다. 또한, 카메라(18)는 상기 내측 표면으로 레이저 빔의 반사광을 촬영하도록 구성되어 있다. 적어도 제1 미러(20)는 상기 보어 내에 배치되어 있다. 상기 레이저 광원은 중심축에 대해 대체로 평행한 관계로 제1 미러에 입사하게 레이저 광원으로부터 직접 레이저 빔을 방출하도록 구성되어 있고 상기 카메라는 상기 내측 표면으로부터의 레이저 빔의 반사광을 볼 수 있도록 구성되어 있다.

Description

보어 검사 시스템 및 보어 검사 시스템에 의한 검사 방법{BORE INSPECTION SYSTEM AND METHOD OF INSPECTION THEREWITH}

본 발명은 대체로 표면 검사 시스템 및 이 표면 검사 시스템의 검사 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 보어를 검사하는 검사 시스템 및 검사 방법에 관한 것이다.

환형상 내측 표면을 가지고 있는 제작된 부품, 예를 들면, 시일, 개스킷 또는 피스톤과 같은 차량 부품은 내측 표면이 소정의 시방서 사항을 충족하고 있다는 것을 보장하기 위해서 대체로 제작하는 동안 검사를 받는다. 알려진 검사 시스템 및 검사 방법은 제작하는 동안 부품과 물리적으로 접촉하는, 예를 들면, 조면계(profilometer)와 같은 측정 시스템을 포함하고 있다. 이러한 시스템은 스타일러스(stylus)와 부품의 접촉 표면 사이의 상대 운동을 통하여 데이터를 얻는다. 비록 이러한 유형의 검사 시스템은 정확한 결과를 제공할 수 있지만, 검사를 받는 표면에 손상을 초래할 수 있고 검사 결과가 대체로 검사를 받는 표면의 작은 부분에만 국한되고, 더우기, 많은 시간을 소비할 수 있다. 검사를 받는 표면에 손상을 입히는 것에 부가하여, 일반적으로 알려진 검사 시스템은 비교적 작은 구역을 검사하는 것으로 제한되므로, 많은 경우에 있어서 검사를 받는 부품의 전체 표면을 검사받을 수 없다. 또한, 알려진 보어 검사 시스템은 대체로 복잡하고, 서로에 대해 각각 따로 배향된 복수개의 장비를 필요로 하므로, 검사를 받는 부품의 각각의 상이한 형태에 대해 많은 준비 시간을 필요로 한다. 이와 같이, 알려진 보어 검사 시스템은 대체로 사용하는데 시간이 많이 소비되므로, 작동하는데 비용이 많이 든다.

본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해소할 수 있는 새로운 보어 검사 시스템 및 검사 방법을 제공하는 것이다.

부품의 보어의 경계를 이루는 내측 표면을 검사하는 이미징 시스템이 제공되어 있다. 상기 시스템은 레이저 빔을 방출하도록 구성된 레이저 광원을 포함하고 있다. 또한, 카메라는 상기 내측 표면으로부터 반사되는 상기 레이저 빔의 반사광을 이미지화하도록 구성되어 있다. 적어도 제1 미러가 상기 보어 내에 배치되어 있다. 상기 레이저 광원은 중심축과 대체로 평행하게 상기 제1 미러에 입사하도록 상기 레이저 광원으로부터 직접 레이저 빔을 방출하도록 구성되어 있고, 상기 카메라는 상기 내측 표면으로부터 반사되는 레이저 빔의 반사광을 볼 수 있게 구성되어 있다.

본 발명의 다른 실시형태에 따르면, 상기 시스템이 시일의 보어 표면과 맞닿도록 구성된 외측 표면 및 미러를 수용하도록 구성된 내측 표면을 가지고 있는 광 투과관(light transmissive tube)을 포함하고 있다.

본 발명의 다른 실시형태에 따르면, 상기 시스템이 시일의 보어 내에 배치된 제2 미러를 포함하고 있다. 제1 미러는 입사 레이저 빔을 시일의 보어 표면에 반사시키도록 구성되어 있고, 제2 미러는 시일의 보어 표면의 이미지를 카메라에 반사시키도록 구성되어 있다.

본 발명의 다른 실시형태에 따르면, 부품의 보어 표면을 검사하는 방법이 제공되어 있다. 상기 방법은 적어도 하나의 미러를 상기 보어 내에 배치시키는 단계를 포함하고 있다. 또한, 레이저 빔을 상기 보어의 중심축과 대체로 평행하게 향하도록 하고, 상기 레이저 빔을 제1 미러로부터 상기 내측 표면으로 그리고 다시 상기 적어도 하나의 미러로 반사시키는 단계를 포함하고 있다. 그 다음에, 상기 적어도 하나의 미러로 반사된 레이저 빔으로부터 상기 내측 표면의 이미지를 카메라로 촬영하는 단계를 포함하고 있다.

본 발명의 다른 실시형태에 따르면, 상기 방법은, 유리관을 상기 보어 표면과 맞닿게 배치시키는 단계 및 적어도 하나의 미러를 상기 유리관의 보어 내에 배치시키는 단계를 더 포함하고 있다.

본 발명의 다른 실시형태에 따르면, 상기 방법은, 검사를 받는 보어 내에 다른 미러를 배치시키고, 입사 레이저 빔을 하나의 미러로부터 상기 보어로 반사시키고, 복귀하는 레이저 빔을 상기 다른 미러로부터 상기 카메라로 반사시키는 단계를 더 포함하고 있다.

본 발명의 또 다른 실시형태에 따르면, 상기 방법은, 방출된 레이저 빔과 상기 카메라로 반사된 레이저 빔을 서로 대체로 평행하게 이동할 수 있도록 하기 위해 상기 미러들을 상기 보어 내에서 서로에 대해 복합 각도로 배치시키는 단계를 더 포함하고 있다.

바람직한 실시예와 최적 모드의 아래의 상세한 설명, 첨부된 청구항 및 도면을 함께 고려하면 본 발명에 따른 보어 검사 시스템 및 이 보어 검사 시스템에 의한 검사 방법의 상기 실시형태, 특징 및 장점과 다른 실시형태, 특징 및 장점을 보다 용이하게 알 수 있다.

도 1은 본 발명의 한 실시형태에 따라 제작된 보어 검사 시스템의 사시도이고;
도 2는 본 발명의 다른 실시형태에 따라 제작된 보어 검사 시스템의 사시도이고; 그리고
도 3은 내부에 배치된 시일과 이 시일 내에 배치된 투명한 관을 가지고 있는 도시된 보어 검사 시스템의 하우징의 개략적인 정면도이다.

도면을 보다 상세하게 참고하면, 도 1은 시일(14)의 보어의 경계를 이루는 내측 표면(12)을 검사하는 본 발명의 한 실시형태에 따라 구성된, 이하에서는 시스템(10)이라고 하는, 보어 검사 시스템을 도시하고 있지만, 보어의 경계를 이루는 내측 표면을 가지고 있는 임의의 부품이 시스템(10)에 의해 검사를 받을 수 있다. 상기 시스템(10)은 레이저 빔 방출 장치(16)라고도 하는 레이저 광원, 예를 들면, 카메라(18)와 같은 이미징 장치, 그리고 적어도 제1 미러(20)를 포함하고 있다. 레이저 빔 방출 장치(16)는 레이저 빔을 부채살형 레이저 빔(22)(수직방향 또는 대체로 수직방향 평면(P1)에서 부채살처럼 펼쳐진)의 형태로 시일(14)의 수평방향 중심축(24)과 평행하거나 대체로 평행하게 제1 미러(20)에 입사하게 송출하도록 배향되어 있고, 상기 제1 미러(20)는 시일(14)의 보어 내에 있는 내측 표면(12)과 반경방향으로 정렬되어 위치되어 있다. 부채살형 레이저 빔(22)은 제1 미러(20)로부터 보어(12)의 폭을 가로질러서 뻗어 있는 목표로 하는 밀봉면(26)에 수직으로 반사되고, 그 결과 상기 레이저 빔(22)은 내측 표면(12)의 전체 폭을 가로질러서 뻗어 있는 입사 라인으로서 상기 밀봉면(26)으로부터 반사되고, 그 결과 상기 라인은 제1 미러(20)로 되돌아가도록 반사된 다음, 부가적인 미러에 의해 더 반사될 필요없이 카메라(18)로 반사되어 카메라(18)에 의해 직접 그리고 완전히 이미지화된다. 따라서, 단 하나의 미러 또는 복수의 미러가 보어 내에서 시일(14)의 내측 표면(12)과 반경방향으로 정렬된 상태로 있다. 시일 보어의 내측 표면(12)의 전체 밀봉면(26)을 이미지화하는 것을 용이하게 하기 위해서, 제1 미러(20)가 고정된 상태로 유지되어 있는 동안 시일(14)이 시일의 중심축(24)에 대해 회전할 수 있고, 이러한 회전은 시일(14)에 작동가능하게 설치되어 있는 턴테이블(28)을 통해서 용이하게 이루어진다.

도 1에 도시된 실시예에서는, 시일(14)이 하우징(32)이라고도 하는 캐리어의 보어(30)에 고정된 관계로 장착되어 있다. 하우징(32)은, 검사 과정 동안 원하는 선택된 회전 속력으로 하우징(32)과 시일(14)이 턴테이블(28)과 함께 회전하도록 턴테이블(28)에 고정되어 있다. 다양한 상이한 직경과 폭을 가지고 있는 부품을 고정시키는 것을 용이하게 하기 위해서 하우징(32)의 보어(30)는 원하는 대로 임의의 적절한 직경과 폭을 가지도록 제공될 수 있다는 것을 인식하고 있어야 한다.

레이저 빔 방출 장치(16), 카메라(18) 및 제1 미러(20)는 모두 서로에 대해 고정되어 있고, 공통 플랫폼(34)에 고정되어 있는 것으로 도시되어 있다. 레이저 빔 방출 장치(16) 및 카메라(18)는 각각의 슬라이드 레일(36, 38)을 따라서 조정가능한 것으로 도시되어 있다. 상기 플랫폼(34)은 대체로 수평방향 평면을 따라서 뻗어 있으며 시일(14)의 보어에 헐겁게 수용될 수 있는 크기를 가진 감소된 폭 부분(40)을 가지고 있다. 감소된 폭 부분(40)은, 시일(14)의 보어 내에 배치될 때, 보어의 경계를 이루는 내측 표면(12)과 간섭하거나 접촉하지 않고, 이 경우 제1 미러(20)는 감소된 폭 부분(40)에 고정되며 제1 미러(20)도 내측 표면(12)과 간섭하거나 접촉하지 않는다. 물론, 플랫폼(34)은 레이저 빔 방출 장치(16), 카메라(18) 및 제1 미러(20)를 각각 서로에 대해 자신의 원하는 고정된 위치에 배치시키는 것을 용이하게 하기 위해서 단일체의 재료로 형성되어 있지만, 플랫폼(34)이 반드시 단일체의 재료로 제공될 필요는 없다는 사실을 인식하고 있어야 한다.

본 발명의 다른 실시형태에 따르면, 도 3에 개략적으로 도시되어 있는 바와 같이, 시스템(10)은, 시일 보어의 내측 표면(12)과 맞닿도록 구성된 외측 표면(46) 및 제1 미러(20)를 헐거운 끼워맞춤(clearance fit) 상태로 수용하도록 구성된 내측 표면(48)을 가지고 있는 투명한 원통형 튜브(44)를 포함할 수 있다. 외측 표면(46)은 시일(14)용으로 의도된 샤프트 크기와 유사한 크기로 되어 있고, 따라서, 카메라(18)에 의해서 얻어진 이미지는, 사용처에서 사용되는 경우에, 밀봉면(26)과 사프트의 활주면(running surface), 또는 마모 슬리브(wear sleeve) 사이에서 실제 사용시에 보여지는 접촉 패치에 대한 이해를 제공한다.

상기 튜브(44)가 투명하거나 대체로 투명한 유리 또는 폴리머 재료와 같은, 광투과성 재료로 만들어져 있으면, 카메라(18)에 밀봉면(26)의 명확하고 정확한 이미지를 만들어내는 능력을 제공하도록 레이저 빔(22)이 상기 튜브(44)의 벽 두께를 통과할 수 있다.

도 1의 실시예에서는, 카메라(18)가 둘레방향으로 또는 반경방향으로 어긋나 있으며 시일(14)의 수평방향 중심축(24)에 대해 비스듬히 경사져 있는 축(42)을 따라서 초점이 맞추어진다. 상기와 같이, 레이저 빔(22)이 평면 P1을 따라서 수직방향으로 부채살 형태로 펼쳐지면, 시일 자체의 몸체의 폭이 제1 미러(20)와 카메라(18)의 렌즈 사이의 시야 경로를 방해하지 않는 한, 카메라(18)는 부가적인 미러의 도움없이도 제1 미러(20)의 편평한 반사면으로부터 직접 내측 표면(12)상의 레이저 빔(22)의 입사 라인의 전체 반사광을 볼 수 있다. 제1 미러(20)는 레이저 빔(22)에 대해 수직으로 뻗어 있는 수평방향 축(HA)을 중심으로 수평방향 중심축(24)으로부터 약 45도 수평방향 평면으로부터 기울어져 있고, 따라서, 레이저 빔(22)은 대체로 90도로 위쪽으로 향하는 라인으로 내측 표면(12)에 반사된다. 시일(14)의 몸체가 제1 미러(20)로부터의 입사 레이저 라인의 전체 영상을 적어도 부분적으로 방해할 정도로 시일 보어의 내측 표면(12)의 폭이 충분히 넓으면, 아래에 설명되어 있으며 도 2에 도시되어 있는 바와 같이, 복수개의 미러가 시일의 보어 내에 함께 설치될 수 있다.

도 2에는, 유사한 요소를 식별하기 위해 상기 참고번호에 100을 더한 참고번호를 사용하고 있는 시스템(110)이 도시되어 있다. 이전의 시스템(10)과 대비하여, 시스템(110)은, 이전의 내측 표면(12)의 폭과 비교하여 중심축(124)을 따라서 뻗어 있는 증가된 폭을 가진 보어(112)를 검사하고 이미지화하는 것을 용이하게 하기 위해서, 검사받는 내측 표면(112)과 반경방향으로 정렬된 상태로 보어내에 배치된 한 쌍의 미러(120, 120')를 포함하고 있다. 이 시스템(110)은 보어의 내측 표면(112)의 밀봉면(126)의 전체 폭이 이미지화될 수 있도록 상기한 것과 유사하게 작용하지만, 이미지화될 수 있는 보어(112)의 폭에는 어떠한 제한도 없다. 이것은 부분적으로는 복수의 미러(120, 120')의 사용과 배치방향으로 인한 것이고, 추가적으로, 시일(114)의 중심축(124)에 대한 레이저 빔 방출 장치(116) 및 카메라(118)의 배치방향으로 인한 것이다.

제1 미러(120)라고도 칭하는, 미러들 중의 하나의 미러가 상기한 것과 동일하게 배치되어 있으므로, 제1 미러(120)는 레이저 빔(122)에 대해 수직으로 뻗어 있는 수평방향 축(HA)을 중심으로 중심축(124)으로부터 약 45도의 경사도로 기울어져 있다. 그러나, 이전 실시예와 달리, 제1 미러(120)는 입사 레이저 빔(122)을 반사시킬 수 있는 크기로 되어 있지만, 제1 미러(120)는 밀봉면(126)으로부터 반사되는 레이저 빔(122)의 입사 라인을 반사시키는 것을 방지할 수 있을 정도로 충분히 폭이 좁다. 상기와 같이, 제2 미러(120')라고도 칭하는 다른 미러가 밀봉면(126)으로부터 반사되는 반사 레이저 빔(122')을 반사시키도록 위치되어 있으며 또한 반사시킬 수 있는 크기로 되어 있다. 큰 깊이 또는 폭을 가진 보어를 검사하는 것을 용이하게 하기 위해서, 제2 미러(120')는 제1 미러(120)의 편평한 반사면에 대해 복합 각도(compound angle)로 배치되어 있는 편평한 반사면을 가지고 있으므로, 제1 미러(120)의 편평한 반사면과 제2 미러(120')의 편평한 반사면은 서로 평행하지 않다. 상기 복합 각도는, 제2 미러(120')를 중심축(124)에 대해 제1 미러(120)와 동일한 45도 각도로 제1 평면으로 뻗어 있도록 배치시키는 것에 의해 형성되어 있다. 따라서, 제1 미러(120)와 마찬가지로, 제2 미러(120')는 먼저 수평방향 축(HA)을 중심으로 중심축(124)으로부터 45도 경사져 있다. 그 다음에, 제2 미러(120')을 수직방향 축(VA)을 중심으로 회전되어 있다. 제2 미러(120')의 수직방향 축(VA)을 중심으로 한 회전은, 중심축(124)과 평행하거나 대체로 평행한 축(142)을 따라서 놓인 카메라(118)에 의해 반사된 레이저 빔(122')이 완전히 이미지화될 수 있을 정도로 충분한 각도에 걸쳐서 이루어진다. 따라서, 입사 레이저 빔(122)과 반사 레이저 빔(122')은 서로 평행하거나 대체로 평행한 관계로 이동한다. 따라서, 카메라(118)는, 이전 실시예에서와 같이 중심축(124)에 대해 비스듬히 배치되어 있는 것이 아니라, 레이저 빔 방출 장치(116)와 대체로 평행한 관계로 동일한 방향을 따라 향하도록 배치되어 있다.

상기 시스템(10, 110)을 이용하여 보어를 검사하는 한 가지 방법에 따르면, 상기 방법은 검사를 받는 보어의 내측 표면(12, 112)에 적어도 하나의 제1 미러(20, 120, 120')를 배치시키는 단계를 포함한다. 그 다음에, 적어도 하나의 제1 미러(20, 120)로부터 레이저 빔(22, 122)을 보어의 밀봉면(26, 126)에 반사시킨다. 또한, 보어(12, 112) 내에 위치된 미러(20, 120')로부터 하류부의 부가적인 미러의 도움없이 카메라(18, 118)로 적어도 하나의 제1 미러(20, 120')로부터 반사되는 레이저 빔(22, 122')의 반사광을 포착한다. 보어(112) 내에 복수의 미러(120, 120')를 이용하는 경우, 상기 방법은 상기 복수의 미러(120, 120')를 시일 보어의 내측 표면(112) 내에서 서로 복합 각도로 배치시키는 단계 및 입사 레이저 빔과 반사 레이저 빔(122, 122')을 대체로 평행한 축(124, 142)을 따라 이동시키는 단계를 더 포함하고 있다.

상기 방법은 유리관(44)을 보어의 밀봉면(26, 126)과 맞닿게 배치시키는 단계 및 적어도 하나의 제1 미러(20, 120, 120')를 유리관(44)의 보어 내에 배치시키는 단계를 더 포함한다.

명백히, 상기의 개시내용에 기초하여 본 발명의 다양한 변형 및 수정이 가능하다. 따라서, 첨부된 청구범위의 기술영역 내에서, 본 발명은 상기한 것과 다르게 실시될 수 있다.

Claims

부품의 보어의 경계를 이루는 내측 표면을 검사하는 이미징 시스템으로서,
레이저 빔을 방출하는 레이저 광원;
상기 내측 표면으로부터 반사되는 상기 레이저 빔의 반사광을 이미지화하는 카메라; 및
상기 보어 내에 배치된 적어도 제1 미러;를 포함하고 있고,
상기 레이저 광원은 중심축과 대체로 평행하게 상기 제1 미러에 입사하도록 상기 레이저 광원으로부터 직접 레이저 빔을 방출하도록 구성되어 있고, 상기 카메라는 상기 내측 표면으로부터 반사되는 레이저 빔의 반사광을 볼 수 있게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 이미징 시스템.
제1항에 있어서, 상기 제1 미러는 상기 보어의 중심축에 대해 45도로 경사진 편평한 반사면을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 이미징 시스템.
제2항에 있어서, 상기 보어 내에 배치된 제2 미러를 더 포함하고 있고, 상기 제2 미러는 편평한 반사면을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 이미징 시스템.
제3항에 있어서, 상기 제1 미러의 상기 편평한 반사면과 상기 제2 미러의 상기 편평한 반사면은 평행하지 않은 것을 특징으로 하는 이미징 시스템.
제3항에 있어서, 상기 제2 미러의 상기 편평한 반사면은 상기 중심축에 대해 45도로 제1 평면을 따라 경사져 있는 것을 특징으로 하는 이미징 시스템.
제5항에 있어서, 상기 제2 미러의 상기 편평한 반사면은 상기 중심축에 대해 복합 각도로 배향되어 있는 것을 특징으로 하는 이미징 시스템.
제3항에 있어서, 상기 제2 미러의 상기 편평한 반사면은 레이저 빔을 상기 중심축과 대체로 평행한 경로를 따라서 상기 카메라로 반사시키도록 배향되어 있는 것을 특징으로 하는 이미징 시스템.
제1항에 있어서, 상기 부품에 고정된 캐리어를 더 포함하고 있고, 상기 캐리어는 상기 중심축에 대해 회전하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 이미징 시스템.
제1항에 있어서, 상기 카메라는 상기 중심축에 대해 경사져 있는 경로를 따라 초점이 맞추어져 있는 것을 특징으로 하는 이미징 시스템.
제1항에 있어서, 상기 카메라는 상기 제1 미러로부터 직접 상기 레이저 빔의 반사광을 볼 수 있도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 이미징 시스템.
부품의 보어의 경계를 이루는 내측 표면을 검사하는 방법으로서,
적어도 하나의 미러를 상기 보어 내에 배치시키는 단계;
레이저 빔을 상기 보어의 중심축과 대체로 평행하게 향하도록 하고, 상기 레이저 빔을 제1 미러로부터 상기 내측 표면으로 그리고 다시 상기 적어도 하나의 미러로 반사시키는 단계; 그리고
상기 적어도 하나의 미러로 반사된 레이저 빔으로부터 상기 내측 표면의 이미지를 카메라로 포착하는 단계;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 부품의 보어의 경계를 이루는 내측 표면을 검사하는 방법.
제11항에 있어서, 상기 이미지를 포착하는 동안 상기 부품을 상기 중심축에 대해서 회전시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 부품의 보어의 경계를 이루는 내측 표면을 검사하는 방법.
제11항에 있어서, 상기 카메라의 화각을 상기 중심축에 대해서 경사지게 배향시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 부품의 보어의 경계를 이루는 내측 표면을 검사하는 방법.
제11항에 있어서, 한 쌍의 미러를 상기 보어 내에 배치시키는 단계를 더 포함하고 있고, 상기 한 쌍의 미러 중 제1 미러는 레이저 빔이 레이저 광원으로부터 직접 입사하도록 구성되어 있고, 상기 한 쌍의 미러 중 제2 미러는 상기 내측 표면으로부터 상기 카메라로 레이저 빔의 광을 반사시키도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 부품의 보어의 경계를 이루는 내측 표면을 검사하는 방법.
제14항에 있어서, 상기 제2 미러의 편평한 반사면을 상기 중심축에 대해 복합 각도로 배향시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 부품의 보어의 경계를 이루는 내측 표면을 검사하는 방법.
제14항에 있어서, 상기 한 쌍의 미러의 편평한 반사면을 서로 평행하지 않게 배향시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 부품의 보어의 경계를 이루는 내측 표면을 검사하는 방법.
제14항에 있어서, 상기 레이저 빔의 광을 상기 중심축과 대체로 평행한 경로를 따라 상기 카메라로 반사시키도록 상기 제2 미러를 배향시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 부품의 보어의 경계를 이루는 내측 표면을 검사하는 방법.