JPH0854345A - 検査装置 - Google Patents
検査装置Info
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- JPH0854345A JPH0854345A JP21068494A JP21068494A JPH0854345A JP H0854345 A JPH0854345 A JP H0854345A JP 21068494 A JP21068494 A JP 21068494A JP 21068494 A JP21068494 A JP 21068494A JP H0854345 A JPH0854345 A JP H0854345A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 環状のシール部に凹凸状の欠陥があるか否か
を検査する検査装置について、微小な欠陥を検出可能と
するとともに、検査速度が早い検査装置を提供する。 【構成】 レーザ光２を発光するレーザ光発光部１と、
レーザ光２を線状の平行光としてシール部に照射させる
レーザ光調整部４と、シール部のシルエットを撮影する
ラインセンサカメラ９を備えた撮影部８と、シール部を
その中心軸線０を中心として回転させる回転機構部１１
と、撮影部８からのデータを受けてシール部に欠陥があ
るか否かを判定する判定部１４と、を備えている。
を検査する検査装置について、微小な欠陥を検出可能と
するとともに、検査速度が早い検査装置を提供する。 【構成】 レーザ光２を発光するレーザ光発光部１と、
レーザ光２を線状の平行光としてシール部に照射させる
レーザ光調整部４と、シール部のシルエットを撮影する
ラインセンサカメラ９を備えた撮影部８と、シール部を
その中心軸線０を中心として回転させる回転機構部１１
と、撮影部８からのデータを受けてシール部に欠陥があ
るか否かを判定する判定部１４と、を備えている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、環状のシール部に凹凸
状の欠陥があるか否かを検査する検査装置に関する。
状の欠陥があるか否かを検査する検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、オイルシールのリップ部の先端
縁に凹凸状の欠陥があると、この欠陥からシール流体が
漏洩する虞がある。したがって従来から、品質管理の一
環として、事前に、オイルシールのリップ部の先端縁に
このような凹凸状の欠陥があるか否かを検査することが
行なわれている。
縁に凹凸状の欠陥があると、この欠陥からシール流体が
漏洩する虞がある。したがって従来から、品質管理の一
環として、事前に、オイルシールのリップ部の先端縁に
このような凹凸状の欠陥があるか否かを検査することが
行なわれている。
【０００３】図５は、従来の検査装置を示している。す
なわち、この検査装置は、オイルシール５１のリップ部
５１ａの先端縁に凹凸状の欠陥（図示せず）があるか否
かを検査するものであって、複数の治具５２，５３，５
４をボルト５５で組み合わせてオイルシール５１を仮の
シール状態に置き、入力ポート５６に所定の大きさの圧
力Ｐ1 を供給するとともに出力ポート５７の圧力Ｐ2 を
測定し、以下の判断基準にしたがって、リップ部５１ａ
に欠陥があるか否かを検査している。 Ｐ1 ＞Ｐ2 ≒大気圧・・・・漏れがなく、すなわち欠陥
がない。 Ｐ1 ≒Ｐ2 ＞大気圧・・・・漏れがあり、すなわち欠陥
がある。
なわち、この検査装置は、オイルシール５１のリップ部
５１ａの先端縁に凹凸状の欠陥（図示せず）があるか否
かを検査するものであって、複数の治具５２，５３，５
４をボルト５５で組み合わせてオイルシール５１を仮の
シール状態に置き、入力ポート５６に所定の大きさの圧
力Ｐ1 を供給するとともに出力ポート５７の圧力Ｐ2 を
測定し、以下の判断基準にしたがって、リップ部５１ａ
に欠陥があるか否かを検査している。 Ｐ1 ＞Ｐ2 ≒大気圧・・・・漏れがなく、すなわち欠陥
がない。 Ｐ1 ≒Ｐ2 ＞大気圧・・・・漏れがあり、すなわち欠陥
がある。
【０００４】しかしながら上記従来の検査装置は、オイ
ルシール５１を仮のシール状態に置くため、オイルシー
ル５１のリップ部５１ａを、実際に一の治具５３の外周
側に所定の締め代をもって嵌着するものである。したが
ってこの従来の検査装置によると、リップ部５１ａの先
端縁に微小な欠陥があっても、リップ部５１ａが治具５
３に嵌着されることによってこの欠陥が潰れてしまうこ
とがあるために、このような微小な欠陥を検出すること
ができない問題がある。また上記従来の検査装置では、
オイルシール５１一つを検査する度に複数の治具５２，
５３，５４を組み立てたり分解したりしなければならな
いために、作業に長時間を要し、検査速度が遅いという
問題がある。
ルシール５１を仮のシール状態に置くため、オイルシー
ル５１のリップ部５１ａを、実際に一の治具５３の外周
側に所定の締め代をもって嵌着するものである。したが
ってこの従来の検査装置によると、リップ部５１ａの先
端縁に微小な欠陥があっても、リップ部５１ａが治具５
３に嵌着されることによってこの欠陥が潰れてしまうこ
とがあるために、このような微小な欠陥を検出すること
ができない問題がある。また上記従来の検査装置では、
オイルシール５１一つを検査する度に複数の治具５２，
５３，５４を組み立てたり分解したりしなければならな
いために、作業に長時間を要し、検査速度が遅いという
問題がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は以上の点に鑑
み、従来装置では検出不可能であった微小な欠陥を検出
可能とするとともに、検査速度が従来装置より早い検査
装置を提供することを目的とする。
み、従来装置では検出不可能であった微小な欠陥を検出
可能とするとともに、検査速度が従来装置より早い検査
装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の検査装置は、環状のシール部に凹凸状の欠
陥があるか否かを検査する検査装置であって、レーザ光
を発光するレーザ光発光部と、前記レーザ光を線状の平
行光として前記シール部に照射させるレーザ光調整部
と、前記シール部のシルエットを撮影するラインセンサ
カメラを備えた撮影部と、前記シール部をその中心軸線
を中心として回転させる回転機構部と、前記撮影部から
のデータを受けて前記シール部に欠陥があるか否かを判
定する判定部と、を備えることにした。
め、本発明の検査装置は、環状のシール部に凹凸状の欠
陥があるか否かを検査する検査装置であって、レーザ光
を発光するレーザ光発光部と、前記レーザ光を線状の平
行光として前記シール部に照射させるレーザ光調整部
と、前記シール部のシルエットを撮影するラインセンサ
カメラを備えた撮影部と、前記シール部をその中心軸線
を中心として回転させる回転機構部と、前記撮影部から
のデータを受けて前記シール部に欠陥があるか否かを判
定する判定部と、を備えることにした。
【０００７】
【作用】上記構成を備えた本発明の検査装置は、シール
部を何処へも嵌着せず、謂わば自由状態のままとして、
このシール部にレーザ光を照射してそのシルエットから
欠陥の有無を検査する。したがって微小な欠陥もこれが
存在したままの状態で検査が行なわれるために、このよ
うな微小な欠陥を検出することが可能である。
部を何処へも嵌着せず、謂わば自由状態のままとして、
このシール部にレーザ光を照射してそのシルエットから
欠陥の有無を検査する。したがって微小な欠陥もこれが
存在したままの状態で検査が行なわれるために、このよ
うな微小な欠陥を検出することが可能である。
【０００８】
【実施例】つぎに本発明の実施例を図面にしたがって説
明する。
明する。
【０００９】図１に示すように、当該実施例に係る検査
装置は、オイルシール５１のリップ部５１ａを検査対象
とし、このリップ部５１ａの先端縁（内周縁）に凹凸状
の欠陥（図示せず）があるか否かを検査するものであっ
て、レーザ光２を発光するレーザ光発光部１と、レーザ
光２を線状の平行光としてリップ部５１ａに照射させる
レーザ光調整部４と、リップ部５１ａのシルエットを撮
影するラインセンサカメラ９を備えた撮影部８と、リッ
プ部５１ａをその中心軸線０を中心として回転させる回
転機構部１１と、撮影部８からのデータを受けてリップ
部５１ａに欠陥があるか否かを判定する判定部１４と、
を備えている。
装置は、オイルシール５１のリップ部５１ａを検査対象
とし、このリップ部５１ａの先端縁（内周縁）に凹凸状
の欠陥（図示せず）があるか否かを検査するものであっ
て、レーザ光２を発光するレーザ光発光部１と、レーザ
光２を線状の平行光としてリップ部５１ａに照射させる
レーザ光調整部４と、リップ部５１ａのシルエットを撮
影するラインセンサカメラ９を備えた撮影部８と、リッ
プ部５１ａをその中心軸線０を中心として回転させる回
転機構部１１と、撮影部８からのデータを受けてリップ
部５１ａに欠陥があるか否かを判定する判定部１４と、
を備えている。
【００１０】レーザ光発光部１は、レーザ光２を発光す
る半導体レーザ発光装置３を備えている。
る半導体レーザ発光装置３を備えている。
【００１１】レーザ光調整部４は、レーザ光２を線状に
するための蒲鉾状のレンズ５と、このレンズ５によって
線状とされたレーザ光２の線幅を絞るためのスリット７
を設けた遮蔽板６とを備えており、レーザ光２を、この
レンズ５およびスリット７に通すことによって、中心軸
線０と略平行な向きに、かつ図２に範囲Ａで示すよう
に、幅１ｍｍ以下、長さ４ｍｍ以上の線状の平行光とし
てリップ部５１ａの円周の一箇所に当たるように照射さ
せる。
するための蒲鉾状のレンズ５と、このレンズ５によって
線状とされたレーザ光２の線幅を絞るためのスリット７
を設けた遮蔽板６とを備えており、レーザ光２を、この
レンズ５およびスリット７に通すことによって、中心軸
線０と略平行な向きに、かつ図２に範囲Ａで示すよう
に、幅１ｍｍ以下、長さ４ｍｍ以上の線状の平行光とし
てリップ部５１ａの円周の一箇所に当たるように照射さ
せる。
【００１２】撮影部８は、ラインセンサカメラ９を備え
ている。このラインセンサカメラ９は、図３に示すよう
に、多数の画素１０を線状に並べたものであって、画素
数（素子数）が１０２４、画素間距離（素子間距離）が
０．０１３ｍｍのものを使用し、軸方向の解像度を０．
０１３ｍｍとする。また取込み速度は０．１ｍＳＥＣに
１ラインを取り込めるカメラを使用する。
ている。このラインセンサカメラ９は、図３に示すよう
に、多数の画素１０を線状に並べたものであって、画素
数（素子数）が１０２４、画素間距離（素子間距離）が
０．０１３ｍｍのものを使用し、軸方向の解像度を０．
０１３ｍｍとする。また取込み速度は０．１ｍＳＥＣに
１ラインを取り込めるカメラを使用する。
【００１３】回転機構部１１は、オイルシール５１を着
脱自在に、かつ同心的に位置決め支持する環状の支持台
１２と、この支持台１２をオイルシール５１とともに中
心軸線０を中心として回転させるモータ等の駆動源１３
とを備えており、例えば、駆動源１３と支持台１２とを
ギヤ（図示せず）の噛み合わせで連結することにより駆
動源１３の駆動によって支持台１２がオイルシール５１
とともに一回転方向に回転するようになっている。また
支持台１２の回転速度は任意に切り換えることができる
ようになっており、少なくとも高速と低速の二段に切り
換えることができるようになっている。
脱自在に、かつ同心的に位置決め支持する環状の支持台
１２と、この支持台１２をオイルシール５１とともに中
心軸線０を中心として回転させるモータ等の駆動源１３
とを備えており、例えば、駆動源１３と支持台１２とを
ギヤ（図示せず）の噛み合わせで連結することにより駆
動源１３の駆動によって支持台１２がオイルシール５１
とともに一回転方向に回転するようになっている。また
支持台１２の回転速度は任意に切り換えることができる
ようになっており、少なくとも高速と低速の二段に切り
換えることができるようになっている。
【００１４】判定部１４は、判定機１５を備えている。
この判定機１５は、図４に示すように、ラインセンサカ
メラ９からの信号をデジタルに変換するＡＤ素子１６
と、リップ部５１ａの境界を決めるしきい値をセットす
る設定スイッチ１７と、それにしたがって取り込んだデ
ータと比較する比較機１８と、リップ境界に達する距離
を測定するカウンタ１９と、前回のデータを保持する保
持回路２０と、前回のカウント値と今回のカウント値を
比較して、製品排出機構２２に対してＯＫ信号またはＮ
Ｇ信号を出力する比較機２１と、を備えている。
この判定機１５は、図４に示すように、ラインセンサカ
メラ９からの信号をデジタルに変換するＡＤ素子１６
と、リップ部５１ａの境界を決めるしきい値をセットす
る設定スイッチ１７と、それにしたがって取り込んだデ
ータと比較する比較機１８と、リップ境界に達する距離
を測定するカウンタ１９と、前回のデータを保持する保
持回路２０と、前回のカウント値と今回のカウント値を
比較して、製品排出機構２２に対してＯＫ信号またはＮ
Ｇ信号を出力する比較機２１と、を備えている。
【００１５】つぎに上記構成を備えた検出装置の作動を
説明する。
説明する。
【００１６】レーザ光発光部１の半導体レーザ発光装置
３からレーザ光２が発せられると、このレーザ光２がレ
ーザ光調整部４のレンズ５およびスリット７を通って線
状の平行光となってリップ部５１ａに照射され、リップ
部５１ａが撮影部８のラインセンサカメラ９にシルエッ
トとして写る。検査中、リップ部５１ａは回転機構部１
１の作動により所定の回転速度で回転せしめられてい
る。ラインセンサカメラ９に写された像は判定部１４の
判定機１５に入り、前回のデータと比較されてＯＫ信号
またはＮＧ信号が出力される。判定機１５では、ライン
センサカメラ９から出力される信号、１ライン読込み開
始トリガー、タイミングクロックからＡＤ素子１６によ
りデジタル値に変換し、設定スイッチ１７の値と比較機
１８で比較を行ない、入力値が設定値より大きくなるま
で、カウンタ１９でクロックをカウントする。このカウ
ント値と前回カウントされたカウント値を比較機２１で
比較し，等しくなければ（または、しきい値を上回って
いれば）ＮＧ信号を製品排出機構２１に出す。次のライ
ン読込み開始トリガーが発生したら、カウンタ１９のカ
ウント値を保持回路２０にセットし、次の比較を行な
う。１周分の検査が終了したら、次に回転速度を半分に
して同じように１周分検査し、これにより周方向の分解
能を倍にして検査する。
３からレーザ光２が発せられると、このレーザ光２がレ
ーザ光調整部４のレンズ５およびスリット７を通って線
状の平行光となってリップ部５１ａに照射され、リップ
部５１ａが撮影部８のラインセンサカメラ９にシルエッ
トとして写る。検査中、リップ部５１ａは回転機構部１
１の作動により所定の回転速度で回転せしめられてい
る。ラインセンサカメラ９に写された像は判定部１４の
判定機１５に入り、前回のデータと比較されてＯＫ信号
またはＮＧ信号が出力される。判定機１５では、ライン
センサカメラ９から出力される信号、１ライン読込み開
始トリガー、タイミングクロックからＡＤ素子１６によ
りデジタル値に変換し、設定スイッチ１７の値と比較機
１８で比較を行ない、入力値が設定値より大きくなるま
で、カウンタ１９でクロックをカウントする。このカウ
ント値と前回カウントされたカウント値を比較機２１で
比較し，等しくなければ（または、しきい値を上回って
いれば）ＮＧ信号を製品排出機構２１に出す。次のライ
ン読込み開始トリガーが発生したら、カウンタ１９のカ
ウント値を保持回路２０にセットし、次の比較を行な
う。１周分の検査が終了したら、次に回転速度を半分に
して同じように１周分検査し、これにより周方向の分解
能を倍にして検査する。
【００１７】上記検出装置は、以下の効果を奏する。
【００１８】すなわち、先ず、オイルシール５１のリッ
プ部５１ａを何処へも嵌着せず、謂わば自由状態のまま
として、このリップ部５１ａにレーザ光２を照射してそ
のシルエットから欠陥の有無を検査するものであって、
微小な欠陥もこれが存在したままの状態で検査が行なわ
れるために、従来装置では検出不可能であった微小な欠
陥を検出することができる。また回転機構部１１の支持
台１２にオイルシール５１を載せてスイッチ類を操作す
るだけであって、作業が簡単であるために、検査速度が
従来装置より早い。また回転機構部１１の回転速度を変
えることにより、ランダムな間隔で検査を行なうことが
できる。また反射光を利用するものではなく、リップ部
５１ａにレーザ光２を照射してそのシルエットからこの
リップ部５１ａに欠陥があるか否かを検査するものであ
るために、検査精度が高い。
プ部５１ａを何処へも嵌着せず、謂わば自由状態のまま
として、このリップ部５１ａにレーザ光２を照射してそ
のシルエットから欠陥の有無を検査するものであって、
微小な欠陥もこれが存在したままの状態で検査が行なわ
れるために、従来装置では検出不可能であった微小な欠
陥を検出することができる。また回転機構部１１の支持
台１２にオイルシール５１を載せてスイッチ類を操作す
るだけであって、作業が簡単であるために、検査速度が
従来装置より早い。また回転機構部１１の回転速度を変
えることにより、ランダムな間隔で検査を行なうことが
できる。また反射光を利用するものではなく、リップ部
５１ａにレーザ光２を照射してそのシルエットからこの
リップ部５１ａに欠陥があるか否かを検査するものであ
るために、検査精度が高い。
【００１９】
【発明の効果】本発明は、以下の効果を奏する。
【００２０】すなわち、先ず、シール部を何処へも嵌着
せず、謂わば自由状態のままとして、このシール部にレ
ーザ光を照射してそのシルエットから欠陥の有無を検査
するものであって、微小な欠陥もこれが存在したままの
状態で検査が行なわれるために、従来装置では検出不可
能であった微小な欠陥を検出することができる。また回
転機構部に検査対象を載せてスイッチ類を操作するだけ
であって、作業が簡単であるために、検査速度が従来装
置より早い。また回転機構部の回転速度を変えることに
より、ランダムな間隔で検査を行なうことができる。ま
た反射光を利用するものではなく、検査対象にレーザ光
を照射してそのシルエットからこの検査対象に欠陥があ
るか否かを検査するものであるために、検査精度が高
い。
せず、謂わば自由状態のままとして、このシール部にレ
ーザ光を照射してそのシルエットから欠陥の有無を検査
するものであって、微小な欠陥もこれが存在したままの
状態で検査が行なわれるために、従来装置では検出不可
能であった微小な欠陥を検出することができる。また回
転機構部に検査対象を載せてスイッチ類を操作するだけ
であって、作業が簡単であるために、検査速度が従来装
置より早い。また回転機構部の回転速度を変えることに
より、ランダムな間隔で検査を行なうことができる。ま
た反射光を利用するものではなく、検査対象にレーザ光
を照射してそのシルエットからこの検査対象に欠陥があ
るか否かを検査するものであるために、検査精度が高
い。
【図１】本発明の実施例に係る検査装置の説明図
【図２】レーザ光の照射範囲を示す説明図
【図３】ラインセンサカメラの画素の配置と作動を示す
説明図
説明図
【図４】判定機の説明図
【図５】従来例に係る検査装置の説明図
１ レーザ光発光部 ２ レーザ光 ３ 半導体レーザ発光装置 ４ レーザ光調整部 ５ レンズ ６ 遮蔽板 ７ スリット ８ 撮影部 ９ ラインセンサカメラ １０ 画素 １１ 回転機構部 １２ 支持台 １３ 駆動源 １４ 判定部 １５ 判定機 １６ ＡＤ素子 １７ 設定スイッチ １８，２１ 比較機 １９ カウンタ ２０ 保持回路 ２２ 製品排出機構
Claims (1)
- 【請求項１】 環状のシール部に凹凸状の欠陥があるか
否かを検査する検査装置であって、レーザ光（２）を発
光するレーザ光発光部（１）と、前記レーザ光（２）を
線状の平行光として前記シール部に照射させるレーザ光
調整部（４）と、前記シール部のシルエットを撮影する
ラインセンサカメラ（９）を備えた撮影部（８）と、前
記シール部をその中心軸線（０）を中心として回転させ
る回転機構部（１１）と、前記撮影部（８）からのデー
タを受けて前記シール部に欠陥があるか否かを判定する
判定部（１４）と、を備えた検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21068494A JPH0854345A (ja) | 1994-08-12 | 1994-08-12 | 検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21068494A JPH0854345A (ja) | 1994-08-12 | 1994-08-12 | 検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0854345A true JPH0854345A (ja) | 1996-02-27 |
Family
ID=16593401
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21068494A Withdrawn JPH0854345A (ja) | 1994-08-12 | 1994-08-12 | 検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0854345A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006162412A (ja) * | 2004-12-07 | 2006-06-22 | Nok Corp | 表面欠陥検査方法及び表面欠陥検査システム |
| US9116133B2 (en) | 2010-03-09 | 2015-08-25 | Federal-Mogul Corporation | Bore inspection system and method of inspection therewith |
| KR20180068430A (ko) * | 2016-12-14 | 2018-06-22 | 주식회사 포스코 | 핀홀 검출기용 검증 방법 |
-
1994
- 1994-08-12 JP JP21068494A patent/JPH0854345A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006162412A (ja) * | 2004-12-07 | 2006-06-22 | Nok Corp | 表面欠陥検査方法及び表面欠陥検査システム |
| JP4581661B2 (ja) * | 2004-12-07 | 2010-11-17 | Ｎｏｋ株式会社 | 表面欠陥検査方法 |
| US9116133B2 (en) | 2010-03-09 | 2015-08-25 | Federal-Mogul Corporation | Bore inspection system and method of inspection therewith |
| KR20180068430A (ko) * | 2016-12-14 | 2018-06-22 | 주식회사 포스코 | 핀홀 검출기용 검증 방법 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20011106 |