KR101403926B1

KR101403926B1 - 곡면 검사장치

Info

Publication number: KR101403926B1
Application number: KR1020120152032A
Authority: KR
Inventors: 이영우; 이제선
Original assignee: 이영우
Priority date: 2012-12-24
Filing date: 2012-12-24
Publication date: 2014-06-09

Abstract

본 발명은 곡면 형상이 진행되는 제1방향을 따라 검사대상물의 곡면을 검사하는 곡면 검사장치에 관한 것으로서, 광원과, 복수의 재귀반사부와, 촬상부를 포함한다. 광원은 곡면을 향해 광을 조사한다. 복수의 재귀반사부는 곡면에 반사되어 입사되는 광을 곡면으로 재귀반사시키고, 제1방향을 따라 이격되게 배치되며, 제1방향에 대하여 경사각을 가지도록 배치된다. 촬상부는 재귀반사부에서 재귀반사되어 곡면을 경유한 광이 입사되며, 곡면의 영상을 촬상한다.

Description

곡면 검사장치{Apparatus for inspecting curved surface}

본 발명은 곡면 검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 재귀반사부를 이용하여 곡면의 영상을 획득함으로써 곡면의 결점을 검사하는 곡면 검사장치에 관한 것이다.

일반적으로 곡률을 가지는 검사대상물의 곡면에 존재하는 결점을 카메라를 이용하여 검사하는 경우, 검사장비의 성능에 가장 큰 영향을 미치는 요인은 카메라를 통하여 얻어진 영상 밝기와 선명도이다. 이는 곡면의 법선과 이루는 광원의 입사각 및 광원의 반사각에 해당하는 카메라의 촬영각과, 카메라의 작동(촬영)거리(working distance) 즉, 카메라의 렌즈와 곡면과의 거리에 의하여 결정되는 사항이다.

검사대상물이 평면인 경우에는 검사장비의 초기설치시에 광원의 입사각 및 카메라의 촬영각과, 카메라의 렌즈와 평면과의 거리를 고려해 줌으로써 해결되나, 검사대상물의 표면이 곡면인 경우 곡면의 법선방향과 높이가 검사위치에 따라 계속 변화하기 때문에 평면과 같은 방식으로는 영상의 밝기와 선명도를 적절하게 유지할 수 없다.

따라서, 검사대상물의 곡면에 존재하는 결점을 검사시, 광원의 입사각 및 카메라의 촬영각을 검사위치에 관계없이 일정하게 유지시키는 것이 중요하다.

도 1은 종래의 곡면 검사장치의 일례를 개략적으로 도시한 도면이다.

도 1을 참고하면, 종래의 곡면 검사장치는 광원(11)과, 재귀반사부(12)와, 촬상부(13)를 포함한다. 광원(11)은 검사대상물(1)의 곡면(2)을 향해 광(L)을 조사하고, 재귀반사부(12)는 곡면(2)에서 반사되어 입사되는 광을 다시 곡면(2)으로 재귀반사시키며, 촬상부(13)는 곡면(2)의 영상을 촬상한다.

곡면의 검사위치(P1, P2)에 따라 곡률반경 또는 곡률방향이 변경될 수 있는데, 이로 인해 검사위치(P1, P2)에 따라 광원(11)으로부터 조사된 광(L)의 입사각 및 반사각이 변경될 수 있다. 따라서, 종래의 곡면 검사장치는 곡면(2)에서의 광의 반사각 변경에 대비하여 대면적의 재귀반사부(12)를 설치하여 반사각의 변경에 대응하도록 설계되었다.

그러나, 아무리 재귀반사부(12)의 크기를 크게 한다고 해도 도 1의 (b)에 도시된 바와 같이 모든 검사위치에 대하여 재귀반사부(12)가 커버할 수 없는 문제가 발생한다. 그렇다고 재귀반사부(12)를 무한정 크게 하는 경우 곡면 검사장치의 전체 사이즈가 커져서 비용 증가 등의 비효율적인 부분이 발생하는 문제가 있다.

또한, 도 1의 (b)와 같이 특정 검사위치(P2)에서 곡면(2)으로부터 반사된 광(L)이 재귀반사부(12)에 입사되지 못하면 그 검사위치(P2)에서 결점에 대한 선명한 영상을 획득할 수 없게 되므로, 곡면(2)의 상태를 정밀하게 검사하는 데는 적합하지 못한 문제가 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 복수의 재귀반사부가 곡면의 형상이 진행되는 방향을 따라 이격되게 배치되도록 구성함으로써, 곡면상의 임의의 위치에 대해서도 결점을 검사하기 위한 선명한 영상을 획득할 수 있는 곡면 검사장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 곡면 검사장치는, 곡면 형상이 진행되는 제1방향을 따라 검사대상물의 곡면을 검사하는 곡면 검사장치에 있어서, 상기 곡면을 향해 광을 조사하는 광원; 상기 곡면에 반사되어 입사되는 광을 상기 곡면으로 재귀반사시키고, 상기 제1방향을 따라 이격되게 배치되며, 상기 제1방향에 대하여 경사각을 가지도록 배치되는 복수의 재귀반사부; 상기 재귀반사부에서 재귀반사되어 상기 곡면을 경유한 광이 입사되며, 상기 곡면의 영상을 촬상하는 촬상부; 및 상기 제1방향을 따라 상기 곡면을 이송시키거나 또는 상기 제1방향을 따라 상기 광원, 상기 복수의 재귀반사부 및 상기 촬상부를 함께 이송시키는 이송유닛;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 곡면 검사장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 복수의 재귀반사부 각각은, 상기 제1방향에 대한 경사각이 서로 다르게 설치된다.

본 발명에 따른 곡면 검사장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 제1방향에 대한 상기 재귀반사부의 경사각을 조정하는 각도조정부;를 더 포함한다.

본 발명에 따른 곡면 검사장치에 있어서, 바람직하게는, 서로 이웃하는 재귀반사부 간의 간격을 조정하는 간격조정부;를 더 포함한다.

본 발명에 따른 곡면 검사장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 제1방향과 교차하는 방향을 따라 상기 재귀반사부의 높이를 조정하는 승강조정부;를 더 포함한다.

삭제

본 발명에 따른 곡면 검사장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 촬상부와 상기 곡면 사이에 배치되고, 일면에 전반사면이 형성되어 상기 광원으로부터 조사된 광을 상기 곡면 측으로 반사하며, 상기 곡면을 경유하여 상기 촬상부로 입사되는 광의 일부를 차단하는 나이프 에지;를 더 포함한다.

본 발명의 곡면 검사장치에 따르면, 곡면상의 임의의 위치에 대하여 곡면의 영상의 왜곡을 방지하고, 곡면의 결점을 확인하기 위한 선명한 영상을 획득할 수 있다.

또한, 본 발명의 곡면 검사장치에 따르면, 다양한 곡률반경 또는 곡률방향을 가지는 검사대상물에 대하여 호환성 있게 곡면 검사를 수행할 수 있고, 하나의 검사대상물의 곡면상에서 급격한 곡률반경 또는 곡률방향의 변화에 대하여도 호환성 있게 결점 검사를 수행할 수 있다.

또한, 본 발명의 곡면 검사장치에 따르면, 다양한 검사대상물의 곡면 형상에 대하여 최적의 곡면 영상을 촬상할 수 있다.

또한, 본 발명의 곡면 검사장치에 따르면, 곡면상의 결점 이미지를 선명하게 표시할 수 있고, 나아가 결점 검사를 용이하게 수행할 수 있다.

도 1은 종래의 곡면 검사장치의 일례를 개략적으로 도시한 도면이고,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 곡면 검사장치를 개략적으로 도시한 도면이고,
도 3은 도 2의 곡면 검사장치의 각도조정부의 일례를 도시한 도면이고,
도 4는 도 2의 곡면 검사장치의 작동원리를 설명하기 위한 도면이고,
도 5는 도 2의 곡면 검사장치의 광원 및 촬상부를 도시한 도면이고,
도 6은 도 2의 곡면 검사장치의 나이프 에지를 설명하기 위한 도면이다.

이하, 본 발명에 따른 곡면 검사장치의 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 곡면 검사장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 3은 도 2의 곡면 검사장치의 각도조정부의 일례를 도시한 도면이고, 도 4는 도 2의 곡면 검사장치의 작동원리를 설명하기 위한 도면이고, 도 5는 도 2의 곡면 검사장치의 광원 및 촬상부를 도시한 도면이고, 도 6은 도 2의 곡면 검사장치의 나이프 에지를 설명하기 위한 도면이다.

도 2 내지 도 6을 참조하면, 본 실시예에 따른 곡면 검사장치(100)는, 재귀반사부를 이용하여 곡면의 영상을 획득함으로써 곡면의 결점을 검사하는 것으로서, 광원(110)과, 재귀반사부(120)와, 촬상부(130)와, 각도조정부(140)와, 간격조정부(미도시)와, 승강조정부(미도시)와, 이송유닛(미도시)과, 나이프 에지(150)를 포함한다.

우선, 본 발명의 곡면 검사장치(100)에 의해 검사되는 검사대상물(1)은, 곡률반경 또는 곡률방향이 일정한 곡면을 포함할 수 있고, 제1방향(A1)을 따라 곡률반경 또는 곡률방향이 연속적으로 변경되는 곡면을 포함할 수도 있고, 제1방향(A2)을 따라 곡률반경 및 곡률방향 모두가 연속적으로 변경되는 곡면을 포함할 수도 있다. 예를 들어, 검사대상물(1)은 곡률반경이 연속적으로 변경되는 철강, 자동차 유리 등이 될 수 있다.

상기 광원(110)은, 검사대상물(1)의 곡면(2)을 향해 광(L)을 조사한다. 광원(110)으로는 고출력의 LED 램프를 이용하며, 광원(110)은 후술할 촬상부(130)의 입구부에 배치되어 촬상부(130)에 동축적으로 설치될 수 있다.

상기 재귀반사부(120)는, 입사되는 광(L)을 입사 방향과 동일한 방향으로 재귀반사시키는 부재이다. 광원(110)으로부터 조사된 광(L)은 곡면(2)에서 반사되고, 곡면(2)에서 반사된 광은 재귀반사부(120)로 입사된다. 재귀반사부(120)는 이와 같이 입사되는 광(L)을 입사 방향과 동일한 방향으로 다시 곡면(2)으로 재귀반사시킨다.

재귀반사부(120)는 복수 개 마련되고, 곡면 형상이 진행되는 제1방향(A1)을 따라 이격되게 배치된다. 복수의 재귀반사부(120) 각각은 곡면(2)의 상측에서 이웃하는 재귀반사부(120)와 일정 간격을 유지하면서 배치된다.

재귀반사부(120)는 평판 형상으로 형성되며, 제1방향(A1)에 대하여 경사각을 가지도록 배치되는데, 복수의 재귀반사부 각각(120a, 120b, 120c, 120d, 120e)은 제1방향에 대한 경사각(a1, a2, a4, a5)이 서로 다르게 설치된다. 도 2를 참조하면, 중앙에 배치된 재귀반사부(120c)는 제1방향(A1)에 대하여 거의 수평으로 배치되고, 양측으로 갈수록 제1방향에 대한 경사각(a1, a2, a4, a5)이 커지도록 설치된다. 이와 같이 복수의 재귀반사부(120a, 120b, 120c, 120d, 120e)가 제1방향에 대한 경사각(a1, a2, a4, a5)이 서로 다르게 설치됨으로써, 곡률반경 또는 곡률방향이 변경되는 곡면(2)에 대응할 수 있다.

상기 촬상부(130)는, 곡면(2)의 영상을 촬상하여 곡면(2)상의 결점을 검출한다. 곡면(2)의 영상을 획득하기 위하여 재귀반사부(120)에서 재귀반사되어 곡면(2)을 경유한 광이 촬상부(130)로 입사된다.

본 실시예의 촬상부(130)로는 CCD 소자가 장착되며 곡면(2)의 영상을 라인 형태로 순차적으로 획득할 수 있는 라인 카메라(line camera)가 바람직하며, 곡면(2)의 영상을 면 형태로 획득할 수 있는 에어리어 카메라(area camera)가 이용될 수도 있다. 이외에도 결점 검사장치에 사용되는 다양한 이미지 센서, 이미지 캡쳐수단이 이용될 수도 있다.

도 4에 도시된 바와 같이, 곡면의 검사위치(P1, P2)에 따라 곡률반경 또는 곡률방향이 변경될 수 있는데, 이로 인해 검사위치(P1, P2)에 따라 광원(110)으로부터 조사된 광(L)의 곡면(2)에서의 입사각 및 반사각이 변경될 수 있다. 임의의 검사위치 중 하나의 검사위치(P1)에서 반사된 광(L)은 복수의 재귀반사부(120) 중 하나의 재귀반사부(120e)에 입사되어 재귀반사될 수 있다. 그리고, 다른 검사위치(P2)에서 반사된 광은 곡면(2)에서의 입사각 및 반사각이 변경되면서 종전의 재귀반사부(120e)가 아닌 다른 재귀반사부(120b)에 입사되어 재귀반사될 수 있다.

이와 같이, 곡면의 검사위치(P1, P2)에 따라 곡률반경 또는 곡률방향이 변경되어 곡면(2)에서의 반사각이 변경되더라도, 제1방향(A1)을 따라 이격되게 배치된 복수의 재귀반사부(120) 중 어느 하나의 재귀반사부(120a, 120b, 120c, 120d, 120e)에 입사될 수 있도록 하여 곡면(2)의 영상을 촬상하는데 충분한 광량을 확보할 수 있다. 곡면(2)의 곡률반경 또는 곡률방향에 따라 설치되는 재귀반사부(120)의 수량은 변경될 수 있다.

상기 각도조정부(140)는, 제1방향(A1)에 대한 재귀반사부(120)의 경사각(a1~a5)을 조정한다. 검사대상물(1)이 변경되어 곡면(2)의 곡률반경이나 곡률방향이 바뀌게 되면 이전 검사대상물(1)에 맞춰 설정되었던 재귀반사부(120)의 경사각(a1~a5)을 조정할 필요가 있다. 이때, 각도조정부(140)를 이용하여 재귀반사부(120)의 경사각(a1~a5)을 새롭게 조정함으로써, 곡률반경이나 곡률방향이 바뀐 검사대상물(1)에 대하여 정상적인 곡면 검사를 수행할 수 있다.

각도조정부(140)는 복수의 재귀반사부(120)의 경사각(a1~a5)을 일괄적으로 조정할 수 있지만, 복수의 재귀반사부(120) 각각에 설치되어 재귀반사부(120)의 경사각(a1~a5)을 개별적으로 조정할 수도 있다.

예를 들어, 어느 특정 검사위치(P2)에서 곡률반경이나 곡률방향이 심하게 변하면, 그 특정 검사위치(P2)에서 반사된 광(L)이 재귀반사부(120)에 입사될 수 있도록 복수의 재귀반사부(120) 중 하나의 재귀반사부(120c)만을 선택하여 다른 재귀반사부(120a, 120b, 120d, 120e)들의 경사각(a1~a5)과 다르게 설정할 수 있다. 복수의 재귀반사부(120)의 경사각(a1~a5)을 개별적으로 조정함으로써, 하나의 검사대상물(1)의 곡면(2)상에서 급격한 곡률반경 또는 곡률방향의 변화에 대하여도 호환성 있게 결점 검사를 수행할 수 있다.

도 3을 참조하면, 각도조정부(140)로 재귀반사부(120) 각각에 설치되는 회전모터가 예시적으로 도시되어 있다. 재귀반사부(120) 중앙부에 회전모터의 회전축이 연결되고, 회전모터가 정역 방향으로 회전함에 따라 제1방향(A1)에 대한 재귀반사부(120)의 경사각(a1~a5)이 변경될 수 있다.

이외에도 각도조정부(140)는 공압에 의해 회전구동력을 제공하는 공압실린더 또는 직선이송유닛과 직선운동을 회전운동으로 변환시켜 주는 변환기구의 조합 등에 의해 구현될 수도 있다.

상기 간격조정부(미도시)는, 서로 이웃하는 재귀반사부(120) 간의 간격(d)을 조정한다. 다양한 검사대상물(1)의 곡면(2) 형상에 대하여 최적의 곡면 영상을 촬상하기 위하여 서로 이웃하는 재귀반사부(120) 간의 간격(d)을 조정할 필요가 있다. 직선이송유닛(미도시)을 이용하여 제1방향(A1)을 따라 이웃하는 재귀반사부(120)를 서로 가까워지거나 또는 서로 멀어지는 방향으로 이송시킴으로써, 서로 이웃하는 재귀반사부(120) 간의 간격(d)을 조정할 수 있다.

상기 승강조정부(미도시)는, 제1방향과 교차하는 방향(A2)을 따라 재귀반사부(120)의 높이를 조정한다. 간격조정부와 마찬가지로 다양한 검사대상물(1)의 곡면(2) 형상에 대하여 최적의 곡면 영상을 촬상하기 위하여 재귀반사부(120)의 높이를 조정할 필요가 있다. 직선이송유닛(미도시)을 이용하여 제1방향과 교차하는 방향(A2)을 따라 재귀반사부(120)를 상승시키거나 또는 하강시킴으로써, 재귀반사부(120)의 높이를 조정할 수 있다.

상기 이송유닛(미도시)은, 광원(110), 복수의 재귀반사부(120) 및 촬상부(130)는 고정시키고 제1방향(A1)을 따라 검사대상물(1)의 곡면(2)을 이송시킬 수도 있고, 검사대상물(1)의 곡면(2)은 고정시키고 제1방향(A1)을 따라 광원(110), 복수의 재귀반사부(120) 및 촬상부(130)를 함께 이송시킬 수도 있다.

검사대상물의 곡면(2)의 넓이가 너무 넓어서 1회의 촬상으로는 곡면(2)의 전체면을 다 커버할 수 없는 경우, 직선이송유닛을 이용하여 제1방향(A1)을 따라 촬상부(130)에 대하여 검사대상물(1)을 상대적으로 이송시키면서 곡면(2)의 전체면에 대하여 연속적으로 영상을 획득할 수 있다.

간격조정부, 승강조정부 또는 이송유닛으로 이용되는 직선이송유닛은 리니어 모터, 회전 모터와 볼스크류가 조합된 구성 등이 채용될 수 있으며, 이러한 구성은 해당 기술분야의 통상의 기술자에게 자명한 사항이므로 직선이송유닛의 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.

상기 나이프 에지(knife edge)(150)는, 재귀반사부(120)에 의해 재귀반사되고 곡면(2)을 경유하여 다시 촬상부(130)로 입사되는 광(L)의 일부를 차단하며, 촬상부(130)와 곡면(2) 사이에 배치된다.

도 5를 참조하면, 광원(110)으로부터 조사된 광은 집광 렌즈(111)에 의해 집광되어 나이프 에지(150)로 진행하고, 나이프 에지(150)에 의해 반사된 광(L)은 곡면(2), 재귀반사부(120), 곡면(2)을 경유하여 결상 렌즈(101)를 통과하여 촬상부(130)로 입사된다.

나이프 에지(150)의 일면에는 전반사면이 형성되어 광원(110)으로부터 조사된 광을 곡면(2) 측으로 반사함으로써, 전반사미러의 기능을 동시에 수행한다.

통상적으로 나이프 에지(150)는 검사영역에서 광이 반사 또는 굴절할 때 그 변화를 이용하여 검사영역을 통과하는 평행광의 변위현상을 효과적으로 촬영한다. 결상렌즈(101)의 집광영역에 나이프 에지(150)를 설치하여 평행광으로부터 벗어난 광을 차단함으로써 검사영역의 반사, 굴절 구배에 기인하는 광의 명암이 얻어진다.

투명 또는 반사 재질의 기판에 있어서 기판의 내부 또는 표면에 이물, 결점 등과 같이 주변과는 다른 상태가 존재하는 경우 광경로가 꺾이게 된다. 이때, 광이 모이는 초점면에 나이프 에지(150)를 두어 광경로의 일측만을 선택하게 한다. 광로 각도 기울기(Gradient)의 변화에 따라 표면의 결점에 의해 광량의 세기 변화가 민감하게 나타난다. 이때 사용하는 것이 나이프 에지(150)이고 이와 같이 나이프 에지(150)를 이용하는 방식을 통칭하여 슐리렌 광학(Schlieren optics)이라 한다.

예컨대, 광(L)이 결점(2a)의 우측에서 반사되면 나이프 에지(150)에 의해 광(L)이 차단되어 촬상부(130)에 입사되지 못한다(도 6의 (a)). 한편, 광(L)이 결점(2a)의 좌측에 반사되면 나이프 에지(150)에 의해 광(L)이 차단되지 않고 촬상부(130)에 입사된다(도 6의 (b)). 따라서, 결점(2a)의 중심을 기준으로 좌우에서 광량의 세기가 급격하게 변하게 되어, 촬상부(130)에 의해 획득된 이미지에는 우측 일부(2b)는 어둡고 좌측 일부(2c)는 밝은 결점(2a) 이미지가 나타나게 된다(도 6의 (c)).

이와 같이, 나이프 에지(150)는 다시 촬상부(130)로 입사되는 광(L)의 일부를 차단하여 광량의 세기의 급격한 변화를 발생함으로써, 곡면(2)상의 결점(2a)을 선명하게 드러내어 결점(2a) 검사를 용이하게 한다. 나이프 에지(150) 없이 촬상하는 경우 전체적으로 희미하게 나타나 결점(2a) 여부를 명확히 판단하기 어려우나, 나이프 에지(150)를 이용함으로써 돌출 또는 함몰된 결점(2a)에 대하여 명확하게 판별할 수 있다.

상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 곡면 검사장치는, 복수의 재귀반사부를 곡면의 형상이 진행되는 방향을 따라 이격되게 배치되도록 구성함으로써, 곡면상의 임의의 위치에 대하여 곡면의 영상의 왜곡을 방지하고, 곡면의 결점을 확인하기 위한 선명한 영상을 획득할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 곡면 검사장치는, 제1방향에 대한 재귀반사부의 경사각을 조정하는 경사조정부를 구비함으로써, 다양한 곡률반경 또는 곡률방향을 가지는 검사대상물에 대하여 호환성 있게 곡면 검사를 수행할 수 있고, 하나의 검사대상물의 곡면상에서 급격한 곡률반경 또는 곡률방향의 변화에 대하여도 호환성 있게 결점 검사를 수행할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 곡면 검사장치는, 서로 이웃하는 재귀반사부 간의 간격을 조정하는 간격조정부와, 재귀반사부의 높이를 조정하는 승강조정부를 구비함으로써, 다양한 검사대상물의 곡면 형상에 대하여 최적의 곡면 영상을 촬상할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 곡면 검사장치는, 촬상부로 입사되는 광의 일부를 차단하는 나이프 에지를 구비함으로써, 곡면상의 결점 이미지를 선명하게 표시할 수 있고, 나아가 결점 검사를 용이하게 수행할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예 및 변형례에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.

10 : 곡면
100 : 곡면 검사장치
110 : 광원
120 : 재귀반사부
130 : 촬상부
150 : 나이프 에지

Claims

곡면 형상이 진행되는 제1방향을 따라 검사대상물의 곡면을 검사하는 곡면 검사장치에 있어서,
상기 곡면을 향해 광을 조사하는 광원;
상기 곡면에 반사되어 입사되는 광을 상기 곡면으로 재귀반사시키고, 상기 제1방향을 따라 이격되게 배치되며, 상기 제1방향에 대하여 경사각을 가지도록 배치되는 복수의 재귀반사부;
상기 재귀반사부에서 재귀반사되어 상기 곡면을 경유한 광이 입사되며, 상기 곡면의 영상을 촬상하는 촬상부; 및
상기 제1방향을 따라 상기 곡면을 이송시키거나 또는 상기 제1방향을 따라 상기 광원, 상기 복수의 재귀반사부 및 상기 촬상부를 함께 이송시키는 이송유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 곡면 검사장치.
제1항에 있어서,
상기 복수의 재귀반사부 각각은, 상기 제1방향에 대한 경사각이 서로 다르게 설치되는 것을 특징으로 하는 곡면 검사장치.
제1항에 있어서,
상기 제1방향에 대한 상기 재귀반사부의 경사각을 조정하는 각도조정부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 곡면 검사장치.
제1항에 있어서,
서로 이웃하는 재귀반사부 간의 간격을 조정하는 간격조정부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 곡면 검사장치.
제1항에 있어서,
상기 제1방향과 교차하는 방향을 따라 상기 재귀반사부의 높이를 조정하는 승강조정부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 곡면 검사장치.
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제1항에 있어서,
상기 촬상부와 상기 곡면 사이에 배치되고, 일면에 전반사면이 형성되어 상기 광원으로부터 조사된 광을 상기 곡면 측으로 반사하며, 상기 곡면을 경유하여 상기 촬상부로 입사되는 광의 일부를 차단하는 나이프 에지;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 곡면 검사장치.