JP6748803B2 - タンク内溶接痕検査用光切断装置 - Google Patents

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本発明は、円筒状物体を溶接して作るタンクの内面の溶接痕形状を光により測定して検査するタンク内溶接痕検査装置に関するものである。
高圧の気体等を封入するタンクは高圧に耐えるため円筒状をしており、円筒部と下部と上部を溶接して作ることが多い。その際溶接に欠陥があると気体が漏れ出す、耐久性が悪くなる等の問題がでてくる。そのため溶接後の検査が重要になる。そしてその検査は凹凸が重要な意味を持ち、溶接部が凹であると溶接不十分である可能性がある。そのため溶接痕の形状の検査が重要となる。円筒外面の溶接部については形状を測定する様々な方法がある。しかし、タンク内面の溶接痕の凹凸検査はタンクの開口部が小さいため困難であった。
一般的な円筒状物体の内部の凹凸検査に用いられる従来技術としては、円周方向にレーザによる線像を作ってその光切断面の凹凸をカメラで測定し、軸方向に移動する方法、たとえば特許文献1、あるいは光スポットを円周方向に走査し軸方向の移動と組み合わせ三角測量法にて形状を測定する方法、たとえば特許文献2、特許文献3、あるいは通常の光切断装置を円筒面内で利用する方法、たとえば特許文献4などがあげられる。
特許5796511 特開平05−099631 特許4560715 特開平05−209726
円周方向にレーザによる線像を作ってその光切断面の凹凸をカメラで測定し、軸方向に移動する方法では全体を1個のカメラで見るため測定分解能を上げられないという問題があった。
また、光スポットを円周方向に走査し軸方向の移動と組み合わせ三角測量法にて形状を測定する方法では回転精度が必要で、長いプローブや細いプローブでは回転精度があげられず形状変動と回転ブレによる変動が重複してしまう状態になる問題があった。また、この方法では溶接痕のデータを点で取るため数多くの回転が必要で、測定時間がかかる問題があった。
また、通常の光切断装置を円筒面内で利用する方法では、特に開口の狭いタンク内にはそういった装置を入れられず、例え入れられても溶接痕の位置に合わせる操作をすることが困難であるという問題があった。
そこで、本発明は精密な回転ができなくても、また、入口が狭く軸上でしか動けず溶接痕に近づくことができなくても、1回転だけの動きで高い分解能で溶接痕の検査ができるタンク内溶接痕検査用光切断装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、円筒軸付近からタンク内面にライン状の光を照射するライン状光源および円筒軸付近にありライン光源照射位置と円筒軸方向に離れた位置にあって円筒内面に照射されたラインを斜めから結像して画像を出力する結像レンズおよびカメラを備える測定ヘッド部と、測定対象円筒体または測定ヘッド部を回転させる回転機構と、測定対象円筒体または測定ヘッド部を軸方向に移動する直動機構とを備えたタンク内溶接痕検査用光切断装置であって、ライン状光源を、その円筒内面への照射ライン方向が円筒軸方向とも円周方向とも傾けて配置することを特徴とするタンク内溶接痕検査用光切断装置とした。
また、ラインを結像し画像化する結像レンズおよびカメラを、ライン照射位置を挟んで反対側の円筒軸付近にも備えることを特徴とするタンク内溶接痕検査用光切断装置とした。
照射ラインが回転方向に対しても軸方向に対しても傾くため、照射ラインは軸方向にも円周方向にも長さ成分を持つことになる。そのため、軸方向成分の長さは軸方向測定範囲の意味を持ち、円周方向成分は光切断法におけるカメラの視野長さの意味を持つ。
そのため照射ライン長さの軸方向成分を溶接痕の幅以上にしておけば、その範囲で軸方向成分の長さ分の断面形状測定が可能になり、カメラの視野方向位置から軸方向への変換が可能となり、これと円筒軸中心の回転を1回転分組み合わせることにより溶接痕の形状検査が一周だけの回転で可能となる。
また、カメラが片側だけだと反対側は影になりデータがとれないので反対側にもカメラをおくことで影の影響をなくすことができる。その結果、精密な回転ができなくても、また、入口が狭く軸上でしか動けず溶接痕に近づくことができなくても、高い分解能で一回転だけで溶接痕の検査ができるタンク内溶接痕検査用光切断装置を提供できる。
本発明の実施例におけるタンク内溶接痕検査用光切断装置の構成図である。 本発明の実施例におけるカメラ画像の例である。 本発明の実施例における光学系の原理説明図である。
図1に、本発明の実施例1におけるタンク内溶接痕検査用光切断装置の構成図を示す。1は半導体レーザユニット、2はシリンドリカルレンズ、3は折り返しミラー、5は折り返しミラー、6は結像レンズ、7はカメラ、8は折り返しミラー、9は測定ヘッド、10はZ軸ステージ、11は回転ステージ、12は測定対象円筒体である。
半導体レーザユニット1からでた光はすでに内蔵するレンズで測定対象上に焦点をもつ光束となっており、シリンドリカルレンズ2に入射する。シリンドリカルレンズは一方向のみ集光するレンズであり、シリンドリカルレンズ2を出射した光はライン状に一方向のみ伸ばされる。その後折り返しミラー3で方向をタンク12内面に垂直な方向に変換され、タンク溶接痕13に照射されてレーザーラインLとなる。
タンク内面に照射されたレーザーラインLはそこで拡散反射し、拡散反射した光の一部は折り返しミラー5、8を介して2つの結像レンズ6を経て2つのカメラ7に像を結び、画像化される。画像の一例を図2に示す。画像は図示しない経路でパーソナルコンピュータに送られ表示や演算処理が行われる。測定対象物は回転ステージ11で回転し、測定位置はZ軸ステージ10により適宜変更される。これらのステージは同じパーソナルコンピュータで制御される。
レーザーラインLはタンク内面でのラインの照射角度θが円周方向Hおよび軸方向Vに対し角度を持つよう配置される。本実施例ではレーザーラインLは円周方向Hからθの角度を持つように配置される。この角度はシリンドリカルレンズ2とミラー3との軸方向を中心とした相対角度で調整することができる。
レーザーラインLの方向を円周方向Hと一致させる、つまりθ=0にすると通常の光切断による形状測定の方法となる。この場合は回転しても同じ円周上を移動するだけなので溶接痕13の検査はできない。なおこの状態でもタンク12は静止したまま、Zステージ10を上下に動かしながら光切断測定を行い、カメラ7の視野範囲が測定し終わった段階でタンク12をカメラ7視野分回転させてから同じことを行っていけば溶接痕形状が測定できる。しかし上下と回転を交互に動かす必要があり、測定効率は落ちる。
レーザラインLの方向を軸方向Vと一致させる、つまりθ=90°とすると、形状の高さ変化による像位置変化方向がレーザラインの方向と一致してしまい、高さが測定できなくなる。その場合にはレーザラインLを中心として回転させた方向にカメラ7を置き、タンク12を回転させれば溶接痕形状を測定できる。しかしそのような構成にすると本実施例のように入口が狭いタンク12ではカメラ7が入らなくなる。
本実施例ではレーザラインLの方向を円周方向Hとも軸方向Vとも角度θを持たせることで溶接痕の幅と高さを断面測定でき、タンク12を1回転させれば溶接痕13の1周分の表面形状を測定することができる。
図3に原理説明のため折り返しミラー3、5、8を省いた図を示す。図3においてθ=0であると特許文献1、4で示したような通常の光切断法と言われているものとなる。レーザラインLをθ傾けるとその軸方向長さ成分はLsinθとなり、H1〜H2までの範囲の表面形状断面を1画面で測定することができる。画面上のレーザラインLの有効範囲はLcosθである。よってレーザラインLの長さおよび角度θはLsinθが溶接痕を測定するのに必要な軸方向長さ、LcosθがカメラのX視野に適当な長さとなるよう設定する必要がある。
カメラ7のX方向を円周方向、Y方向をレーザの照射軸と合わせると、カメラ画素のX方向はレーザラインLの傾き角度θに基づき軸方向位置に変換することができ、カメラ画素のY方向はタンク12の半径方向高さに変換することができる。なお、図2に示すようにカメラ7にはレーザラインLは傾いて映り、照射位置により距離や倍率も異なるため、カメラ画素XYから軸方向位置および半径方向高さを算出するためには通常の光切断とは違った計算式および校正が必要である。
計算式の例としては同次座標を使った透視投影行列を使ったものがあげられる。レーザライン方向をXw、レーザ光軸方向をZwとすると、その平面上座標の同次座標X=(Xw,Zw,1)は3×3の透視投影行列Pによりカメラ画像の同次座標m=(u,v,1)に次のようにして変換される。
m=P・X
よって、逆にカメラ画像上の座標(u,v)がわかっている場合は対応するレーザライン上の座標Xw,Zwは次のように求められる。
X=P−1・m
上記透視投影行列Pは以下のようにして求められる。
P=A(R|t)
ここでAはカメラの内部パラメータ行列、Rはレーザライン座標に対するカメラ画像座標の回転行列、tはレーザライン座標とカメラ画像座標の平行移動行列である。そして通常の光切断ではRはレーザラインXw軸を中心とした回転のみであるが、本実施例の場合はまずレーザ光軸Zw軸周りにθ回転させた後、X軸周りにかめらの見込み角分回転させることとなる。
以上の計算方法にてこの斜めの光切断面をタンク12の回転によりタンク一周分とれば上側溶接部13の溶接痕の形状測定データが一周分測定でき、形状異常の検査ができる。上側溶接部13の溶接痕の検査ができたらZステージ10により、下側溶接部14に移動し、そこでも回転により測定ができる。このように円周方向についている溶接痕を検査する場合には本実施例の方法がスムーズで効率的に検査できる。多少回転精度が悪くてもカメラ7としてグローバルシャッタのカメラを用いれば一断面が同時にとれるので、その断面内では回転ぶれの影響を受けることがなく、回転精度が悪くても形状測定に対する影響を少なくすることができる。
本実施例においてはタンク側を回転させたが、タンクを静止して計測ヘッド側を回転することも可能である。通常カメラやレーザが電線でつながっている計測ヘッド側を回転させるのは困難であるが、本実施例では1回転できれば計測可能なため、電線がつながっていても回転に対応した適切なケーブル保護管を用意することでタンクを静止したまま計測ヘッド側のみの回転も可能となる。
なお、本実施例のシリンドリカルレンズは円筒面に限ったものでなく、レーザラインの均一性を高めるための非円筒面レンズであっても良い。また、半導体レーザユニット内にそれが組み込まれたものでもよい。その場合にはレーザラインLの角度の調整は半導体レーザユニット1とミラー3の軸方向を中心とした角度の相対角度で調整することになる。
以上説明したように、精密な回転ができなくても、また、入口が狭く軸上でしか動けず溶接痕に近づくことができなくても、高い分解能で一回転だけで溶接痕の検査ができるタンク内溶接痕検査用光切断装置を提供できる。
以上説明したように本実施例によれば精密な回転ができなくても、また、入口が狭く軸上でしか動けず溶接痕に近づくことができなくても、高い分解能で一回転だけで溶接痕の検査ができるタンク内溶接痕検査用光切断装置を提供できるため、これまで検査が難しかった開口が狭いタンクの内側の溶接痕の形状を簡易に検査が可能となり、溶接タンクの信頼性や寿命の向上ができるので産業上非常に有用である。特に今後来たるべき水素社会において水素の特性としてわずかなピンホールでもきわめて漏れやすいということがあるため、内側溶接痕の検査はそのピンホール等の防止の意味でもきわめて有用である。
1 半導体レーザユニット
2 シリンドリカルレンズ
3 折り返しミラー
5 折り返しミラー
6 結像レンズ
7 カメラ
8 折り返しミラー
9 測定ヘッド
10 Z軸ステージ
11 回転ステージ
12 タンク(断面図)
13 上側溶接部
14 下側溶接部
L レーザラインおよびその長さ
H、H1、H2 円周方向
V 軸方向
θ レーザラインが円周方向となす角

Claims (2)

  1. 円筒部を一部有するタンクの円筒軸付近からタンク内面にライン状の光を照射するライン状光源、および円筒軸付近にありライン光源照射位置と円筒軸方向に離れた位置にあってタンク内面に照射されたラインを斜めから結像して画像を出力する結像レンズおよびカメラを備える測定ヘッド部と、タンクまたは測定ヘッド部を回転させる回転機構と、タンクまたは測定ヘッド部を軸方向に移動する直動機構とを備えたタンク内溶接痕検査用光切断装置であって、そのタンク内面へのライン状光源の照射ライン方向を円筒軸方向とも円周方向とも傾けて配置することを特徴とするタンク内溶接痕検査用光切断装置
  2. 照射ラインを結像し画像化する結像レンズおよびカメラを、ライン照射位置を挟んで円筒軸方向反対側の円筒軸付近にも備えることを特徴とする請求項1のタンク内溶接痕検査用光切断装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108067714B (zh) * 2017-11-30 2020-03-20 清华大学 一种薄壁环缝端接质量在线监测与缺陷定位系统及方法
CN108759696A (zh) * 2018-05-24 2018-11-06 广东龙天智能仪器股份有限公司 内孔成像测量仪
CN108981609A (zh) * 2018-07-04 2018-12-11 北京航空航天大学 一种复杂精铸件三维形貌测量方法
CN109029292A (zh) * 2018-08-21 2018-12-18 孙傲 一种容器内表面三维形貌无损检测装置及检测方法
CN110926336B (zh) * 2019-12-23 2021-04-06 山西迪迈沃科光电工业有限公司 圆柱体或类圆柱体外观尺寸自动检测组件

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6442409U (ja) * 1987-09-09 1989-03-14
US7940298B2 (en) * 2005-04-15 2011-05-10 Custom Industrial Automation, Inc. Delayed petroleum coking vessel inspection device and method
JP2007278705A (ja) * 2006-04-03 2007-10-25 Moritex Corp スリット光を用いた内面検査装置
JP5857858B2 (ja) * 2012-04-13 2016-02-10 新日鐵住金株式会社 形状計測装置及び形状計測方法
JP2014052203A (ja) * 2012-09-05 2014-03-20 Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial System Corp 平面形状測定装置

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