KR20100006582A - 필름 반송 장치 및 권취식 진공 성막 방법 - Google Patents

필름 반송 장치 및 권취식 진공 성막 방법 Download PDF

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Abstract

베이스 필름의 성막 영역을 보호하는 한편 안정된 필름 주행성을 실현한다. 본 발명에 관련되는 권취식 진공 성막 장치(10)은, 베이스 필름(F)의 양 측연부를 지지하는 한 쌍의 환상 가이드부(17b)를 가지는 가이드 롤러(17A), 및 가이드 롤러(17A)에 대향하여 배치되어 베이스 필름(F)의 양 측연부를 한 쌍의 가이드부(17b)를 향하여 압압하는 보조 롤러(18)를 포함하는 가이드 유닛(20)을 가진다.이에 의하여, 베이스 필름(F)의 성막 영역(Fc)과 가이드 유닛(20)의 가이드 롤러(17A) 및 보조 롤러(18)의 각각의 롤 면과의 접촉을 회피할 수 있어, 해당 성막 영역(Fc)의 보호를 도모할 수 있다.
권취식 진공 성막 방법

Description

필름 반송 장치 및 권취식 진공 성막 방법{FILM CONVEYING DEVICE AND WINDING-TYPE VACUUM FILM-FORMING METHOD}
본 발명은, 감압 분위기 내에서 베이스 필름을 연속적으로 송출하고 주행하는 상기 베이스 필름에 대하여 성막 처리, 가열 처리, 플라즈마 처리 등을 실시하면서, 해당 베이스 필름을 연속적으로 권취하는 필름 반송 장치 및 권취식 진공 성막 방법에 관한 것이다.
종래부터, 권출(卷出) 롤러로부터 연속적으로 송출된 길이가 긴 베이스 필름을 냉각용 롤러에 휘감으면서, 해당 냉각용 롤러에 대향 배치되는 증발원으로부터의 증발물질을 베이스 필름 위에 증착시켜, 증착 후의 베이스 필름을 권취 롤러로 권취하는 권취식 진공 증착 방법이 알려져 있다(예를 들어, 아래의 특허 문헌 1(일본특허 제3,795,518호) 참조).
도 5는, 이런 종류의 종래의 권취식 진공 증착 장치의 개략 구성도이다. 도에 있어서, 1은 진공 챔버, 2는 권출 롤러, 3은 냉각(또는 가열)용 롤러(메인 롤러), 4는 권출 롤러, 5는 증발원이다. 권출 롤러(2)와 메인 롤러(3)의 사이에는 가이드 롤러(6A, 6B)가 배치되어 있고, 메인 롤러(3)와 권취 롤러(4)의 사이에는 가이드 롤러(7A, 7B)가 배치되어 있다.
베이스 필름(F)은, 플라스틱 필름이나 금속박 등이며, 권출(卷出) 롤러(2)로부터 연속적으로 송출되어 가이드 롤러(6A, 6B)를 개입시켜 메인 롤러(3)에 공급된다. 그리고, 메인 롤러(3)에 휘감겨지는 것으로 베이스 필름(F)은 냉각(또는 가열)되고, 이 상태에 있어서 증발원(5)과의 대향 위치에서, 베이스 필름(F)의 한쪽 면에 성막(成膜) 처리가 된다. 성막된 베이스 필름(F)은, 가이드 롤러(7A, 7B)를 개입시켜 권취 롤러(4)에 연속적으로 권취된다.
그런데, 이런 종류의 권취식 진공 증착 장치를 구성하는 가이드 롤러는, 일반적으로 도 6에 도시된 구성을 가지고 있다. 도 6에 도시된 가이드 롤러(8)는, 원주상(圓柱狀)의 롤 면(8a)을 가지고 있고, 롤 면(8a)은 베이스 필름(F)의 한 쪽 면에 접촉하여 베이스 필름(F)의 반송을 가이드한다. 롤 면(8a)에 접촉하여 지지를 받는 베이스 필름(F)의 면은, 장치 내에 있는 가이드 롤러의 설치 개소에 따라 다르다. 도 5에 도시된 가이드 롤러(6B, 7A)에 있어서는 베이스 필름(F)의 성막면이 롤면에 접촉하고, 가이드 롤러(6A, 7B)에 있어서는 베이스 필름(F)의 비성막면이 롤면에 접촉한다.
그런데 , 베이스 필름(F) 또는 증착 재료의 종류, 성막 형태, 장치의 사용 조건 등에 따라, 베이스 필름(F)의 성막 영역을 가이드 롤러의 롤면에 접촉시킬 수 없는 경우가 있다. 베이스 필름(F)의 성막 영역에 가이드 롤러의 롤면이 접촉하면, 성막부에 작은 흠집이 생기는 등의 문제가 생길 수 있기 때문이다. 여기서 말하는 성막 영역은, 주로 베이스 필름의 양 측연부를 제외한 부분을 말한다.
이 경우, 도 5의 가이드 롤러(6B, 7A)를 이용하지 않고 , 예를 들어 도 7에 도시된 바와 같이, 베이스 필름(F)의 비성막면만을 지지하는 형태로 진공 증착 장치를 구성하고, 베이스 필름(F)의 성막면을 가이드 롤러에 접촉시키지 않는 방법을 생각할 수 있다. 그러나, 이 방법에서는 각 롤러의 설치 위치가 제한되어 장치 구성상의 제약이 커진다.
한편, 베이스 필름(F)의 성막면에 접촉하는 가이드 롤러를 도 8 A에 도시된 바와 같이 구성하는 방법이 있다(예를 들면 특허 문헌 2(일본 특허공개공보 2004-87792호) 참조). 도 8A에 도시된 가이드 롤러(9)는, 원주상(圓柱狀)의 롤면(9a)에, 베이스 필름(F)의 양 측연부(側緣部)를 지지하도록 서로 이간(離間)하여 돌출 형성된 한 쌍의 환상(環狀) 가이드부(9b)를 가지고 있다. 가이드부(9b)는, 비성막 영역 혹은 미사용 범위인 베이스 필름(F)의 양 측연부를 지지하는 것으로, 베이스 필름(F)의 성막 영역(Fc)과 롤면(9a)의 접촉을 회피한다.
그렇지만, 주행하는 베이스 필름(F)은 길고, 또한 장력이 더해진 상태로 반송되기 때문에, 주행하는 베이스 필름(F)의 중앙부가 굴곡되고, 도 8B에 도시된 바와 같이, 베이스 필름(F)의 성막 영역(Fc)이 가이드 롤러(9)의 롤면(9a)에 접촉하는 경우가 있다. 또한, 베이스 필름(F)의 안정된 가이드 기능이 수행되지 못하고, 베이스 필름(F)의 주행 경로가 흐트러져 베이스 필름(F)의 권취에 지장을 초래하는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 고려하여, 베이스 필름의 성막 영역을 보호할 수 있고, 또한 안정된 주행성을 실현할 수 있는 필름 반송 장치 및 권취식 진공 성막 방법을 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명의 일실시예에 관련된 필름 반송 장치는, 진공 챔버 내에서 베이스 필름을 반송하는 필름 반송 장치에 있어서, 권출 롤러, 권취 롤러, 및 주행 기구를 구비한다. 상기 주행 기구는, 상기 권출 롤러와 상기 귄취 롤러의 사이에 설치된다. 상기 주행 기구는, 가이드 유닛을 가지고 있다. 상기 가이드 유닛은, 가이드 롤러와 보조 롤러를 포함한다. 상기 가이드 롤러는, 상기 베이스 필름의 양 측연부를 지지하는 한 쌍의 환상 가이드부를 가진다. 상기 보조 롤러는, 상기 가이드 롤러에 대항하여 배치되어 상기 베이스 필름의 양 측연부를 상기 한쌍의 가이드부를 향하여 압압한다.
본 발명의 일실시예에 관련된 권취식 진공 성막 방법은, 감압 분위기 내에서 베이스 필름을 연속적으로 송출하는 것을 포함한다. 상기 베이스 필름의 적어도 한쪽 면이 성막된다. 상기 베이스 필름은, 그 양 측연부(側緣部)가 협지(挾持)되어, 권취부를 향하여 반송(搬送)된다.
본 발명의 일실시예와 관련되는 필름 반송 장치는, 진공 챔버 내에서 베이스 필름을 반송하는 필름 반송 장치에 있어서, 권출 롤러, 권취 롤러, 및 주행 기구를 구비한다. 상기 주행 기구는, 상기 권출 롤러와 상기 권취 롤러의 사이에 설치된다. 상기 주행 기구는 가이드 유닛을 가진다. 상기 가이드 유닛은, 가이드 롤러와 보조 롤러를 포함한다. 상기 가이드 롤러는, 상기 베이스 필름의 양 측연부를 지지하는 한 쌍의 환상 가이드부를 가진다. 상기 보조 롤러는, 상기 가이드 롤러에 대향하여 배치되고 상기 베이스 필름의 양 측연부를 상기 한 쌍의 가이드부 쪽을 향해서 압압한다.
상기 필름 반송 장치에 있어서, 주행하는 베이스 필름은, 그 양 측연부가 가이드 유닛에 의해서 협지되고, 권취 롤러로 반송된다. 이에 의해, 베이스 필름의 성막 영역과 가이드 유닛의 가이드 롤러 및 보조 롤러의 각각의 롤 면과의 접촉을 회피할 수 있고, 해당 성막 영역의 보호를 도모할 수 있다. 또한, 상기 구성에 의하여, 베이스 필름의 안정된 주행성을 실현할 수 있고, 베이스 필름의 양호한 권취성(卷取性)을 확보하는 것이 가능해진다.
여기서, 베이스 필름의 성막 영역이란, 상기 가이드 유닛에 접촉하지 않는 베이스 필름의 성막면(成膜面)의 중앙부를 의미한다. 이러한 베이스 필름에는, 성막면의 전면(全面)이 성막되는 경우에도 그 양 측연부가 미사용 영역으로 되는 것이나, 베이스 필름의 양 측연부에 성막 재료의 부착을 저지하는 마스크를 구비하는 것도 포함된다.
상기 필름 반송 장치는, 상기 권출 롤러와 상기 권취 롤러의 사이에, 상기 베이스 필름을 성막하는 성막 기구, 상기 베이스 필름을 가열하는 가열 기구, 및 상기 베이스 필름을 플라즈마 처리하는 플라즈마 처리 기구 중 어느 쪽을 더 구비하여도 괜찮다. 이에 의해, 베이스 필름의 주행중에, 해당 베이스 필름에 대한 성막 처리, 가열 처리 또는 플라즈마 처리를 실시하는 것이 가능해진다.
상기 보조 롤러는, 상기 한 쌍의 가이드부에 대하여 상기 베이스 필름의 양 측연부를 동시에 압압하는 한 쌍의 환상(環狀) 압압부(押壓部)를 가지고 있을 수도 있다. 이에 의해, 베이스 필름의 성막 영역의 보호를 도모할 수 있다.
상기 보조 롤러는, 상기 한 쌍의 가이드부에 대해서 상기 베이스 필름의 측연부를 각각 독립하여 압압 가능하게 한 쌍 설치될 수도 있다. 이에 의하여, 베이스 필름의 각각의 연부(緣部)에 대해서 각각 최적 압압력을 조정할 수 있음과 동시에, 베이스 필름의 주행성을 제어할 수 있다.
상기 주행 기구는, 상기 베이스 필름의 비성막면과 밀착하여 해당 베이스 필름을 냉각 또는 가열하는 메인 롤러를 구비할 수 있다. 이 경우, 상기 가이드 롤러는, 상기 메인 롤러와 상기 권취 롤러와의 사이에 설치될 수 있다. 이에 의하면, 베이스 필름을 주행시키면서, 베이스 필름을 냉각 또는 가열할 수 있어, 해당 냉각 또는 가열한 베이스 필름의 양호한 권취성을 확보할 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시예와 관련되는 권취식 진공 성막 방법은, 감압 분위기 내에서 베이스 필름을 연속적으로 송출하는 것을 포함한다. 상기 베이스 필름의 적어도 한쪽 면이 성막된다. 상기 베이스 필름은, 그 양 측연부가 협지(挾持)되고, 권취부를 향하여 반송된다.
상기 권취식 진공 성막 방법에 있어서, 성막된 베이스 필름의 양 측연부를 협지하여 해당 베이스 필름을 권취부로 향하여 반송하도록 하고 있다. 이에 의하여, 해당 베이스 필름의 성막 영역을 보호하면서, 베이스 필름의 안정된 주행성을 실현하고, 베이스 필름의 양호한 권취성을 확보할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 권취식 진공 성막 장치로서의 권취식 진공 증착 장치의 개략 구성도이다.
도 2는 도 1의 권취식 진공 증착 장치에 있어서의 주요부의 구성예를 도시한 측면도이다.
도 3은 본 발명에 관련된 가이드 유닛의 일 구성예를 나타내는 정면도이다.
도 4는 본 발명과 관련된 가이드 유닛의 다른 구성예를 나타내는 정면도이다.
도 5는 종래의 권취식 진공 증착 장치의 개략 구성도이다.
도 6은 종래의 가이드 롤러의 일 구성예를 나타내는 정면도이다.
도 7은 종래의 다른 권취식 진공 증착 장치의 개략 구성도이다.
도 8은 종래의 가이드 롤러의 다른 구성예를 나타내는 정면도이다.
<부호의 설명>
10:　권취식 진공 증착 장치
11:　진공 챔버
12:　권출 롤러
13:　메인 롤러
14:　권취 롤러
15:　증발원
16A, 16B, 17A, 17B:　가이드 롤러
17a:　롤면
17b:　가이드부
18, 18A, 18B:　보조 롤러
18a:　롤면
18b:　압압부
19:　압압 기구
20, 30: 가이드 유닛
21A, 21B:　지지 브래킷
22A, 22B:　압압 기구
25:　마스크
F:　베이스 필름
Fa:　성막면
Fb:　비성막면
Fc:　성막 영역
이하, 본 발명의 실시예에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 본 실시예에서는, 필름 반송 장치 및 권취식 진공 성막 방법으로서, 권취식 진공 증착 장치 및 권취식 진공 증착 방법을 본 발명에 적용한 경우를 설명한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 권취식 진공 증착 장치(10)의 개략 구성도이다. 이 권취식 진공 증착 장치(10)는, 길이가 긴 베이스 필름(F)의 한쪽 면에 소정의 증착 재료를 연속적으로 증착하는 장치이다.
진공 챔버(11)에는, 도시되지 않았지만, 진공 배기 수단이 접속되어 있어, 진공 챔버(11)의 내부가 소정의 감압도(減壓度)로 진공 배기 가능하게 구성되어 있 다. 진공 챔버(11)의 내부에는, 권출 롤러(12), 냉각용의 메인 롤러(13) 및 권취 롤러(14)가 배치되어 있고, 메인 롤러(13)의 대향 위치에는, 성막 기구를 구성하는 증발원(15)가 설치되어 있다. 베이스 필름(F)은, 권출 롤러(12)로부터 연속적으로 송출되어 메인 롤러(13) 상에서 냉각되면서 증발원(15)과의 대향 위치에서 성막된 후, 권취 롤러(14)에 감긴다.
또한, 권출 롤러(12)와 메인 롤러(13)의 사이에는, 성막 전의 베이스 필름(F)의 주행을 가이드하는 가이드 롤러(16A) 및 가이드 롤러(16B)가 설치되어 있고, 메인 롤러(13)와 권취 롤러(14)의 사이에는, 성막 후의 베이스 필름(F)의 주행을 가이드하는 가이드 유닛(20) 및 가이드 롤러(17B)가 배치되어 있다. 이들 가이드 롤러(16A, 16B), 메인 롤러(13), 가이드 유닛(20) 및 가이드 롤러(17B)에 의하여, 본 발명과 관련된 「주행 기구」가 구성되어 있다.
여기서, 베이스 필름(F)은, 소정의 폭으로 재단된, 길이가 긴 절연성 플라스틱 필름, 예를 들면, OPP(연신 폴리프로필렌) 필름, PET(폴리에틸렌 테레프탈레이트) 필름, PI(폴리이미드) 필름 등이 이용될 수 있다. 또한, 베이스 필름(F)은, 금속박(金屬箔)일 수도 있다.
본 실시예에 있어서, 베이스 필름(F)은, 그 성막면의 양 측연부가 비성막 영역으로 되거나, 성막면의 전역이 성막되는 경우라도 그 양 측연부가 미사용 영역으로 되는 것이 해당한다. 성막면의 양 측연부를 비성막 영역으로 하기 위해서는, 예를 들면 도 2에 도시된 바와 같이, 메인 롤러(13)와 증발원(15)의 사이에 마스크(25)를 배치하는 방법이 있다. 베이스 필름(F)의 양 측연부는 마스크(25)로 피 복되어, 중앙부의 성막 영역만 증착막(Fm)이 성막된다.
권출 롤러(12) 및 권취 롤러(14)는 각각 독립한 회전 구동부를 갖추고 있고, 베이스 필름(F)을 등속도로 연속적으로 송출하거나 또는 권출하도록 구성되어 있다. 메인 롤러(13)는 통 모양으로 스테인리스나 철 등의 금속제로 되어 있고, 회전 구동부를 가지며, 내부에는 냉각 매체 순환계 등의 냉각 기구가 설치되어 있다. 베이스 필름(F)은, 그 비성막면이 메인 롤러(13)에 밀착되어 냉각 처리가 가해지면서, 외면측의 성막면이 증발원(15)으로부터의 증착 물질로 성막된다.
증발원(15)은, 증착 물질을 수용함과 함께, 증착 물질을 저항가열, 유도가열, 전자빔 가열 등의 공지의 방법으로 가열 증발시키는 기구를 갖추고 있다. 이 증발원(15)은, 메인 롤러(13)의 하부에 배치되어, 증착 물질의 증기를, 대향하는 메인 롤러(13) 상의 베이스 필름(F)의 성막면에 부착시켜 피막을 형성한다.
증착 물질은 특히 한정되지 않지만, 예를 들면, Al(알루미늄), Co(코발트), Cu(동), Ni(니켈), Ti(티탄) 등의 금속원소 단체(單體) 외에, Al－Zn, Cu－Zn, Fe－Co 등의 2종 이상의 금속 또는 다원계 합금이 적용될 수 있다. 또한, 증발원(15)은 하나에 한정하지 않고, 복수 설치될 수도 있다.
가이드 롤러(16A) 및 가이드 롤러(17B)는, 베이스 필름(F)의 비성막면과 접촉하고, 베이스 필름(F)의 주행을 가이드 하는 원주상의 롤체로, 예를 들어 도 6에 도시된 가이드 롤러(8)와 같은 구성을 가지고 있다. 또한, 가이드 롤러(16B)는, 베이스 필름(F)의 성막면과 접촉하고, 베이스 필름(F)의 주행을 가이드 하는 원주상의 롤체로, 앞에서 설명한 가이드 롤러(16A, 17B)와 같은 구성을 가지고 있다. 또한, 이러한 가이드 롤러(16A, 16B, 17B)는 베이스 필름(F)의 주행에 따라 돌아 회전하는 프리 롤러로 구성되어 있지만, 각각 독립한 회전 기구부를 갖추고 있을 수도 있다.
가이드 유닛(20)은, 메인 롤러(13)와 가이드 롤러(17B)의 사이에 설치되어 있고, 성막 처리된 베이스 필름(F)을 권취 롤러(14) 측을 향하여 반송하는 가이드 기능을 가지고 있다. 도 3은 본 실시예의 가이드 유닛(20)의 구성의 일례를 나타내는 측면도이다. 도 3에 도시된 가이드 유닛(20)은, 가이드 롤러(17A)와 보조 롤러(18)를 갖추고 있다.
가이드 롤러(17A)는, 베이스 필름(F)의 성막면(Fa)과 대향하는 롤면(17a)을 가지는 원주상(圓柱狀)의 롤체로 구성되고, 진공 챔버(11) 내에 있어서 그 축 위치가 고정되어 설치되어 있다. 이 가이드 롤러(17A)의 롤면(17a)에는, 베이스 필름의 성막면(Fa)의 성막 영역(Fc)을 사이에 두는 양 측연부를 지지하는 한 쌍의 환상의 가이드부(17b, 17b)가 돌출 형성되고 있고, 성막 영역(Fc)과 롤면(17a)의 사이에 일정한 간극을 형성하고 있다. 가이드부(17b, 17b)는, 가이드 롤러(17A)의 롤면(17a)과 일체로 형성될 수도 있고, 별개의 부품으로 구성될 수도 있다.
또한, 이 가이드 롤러(17A)는 필름(F)의 주행에 따라 돌아 회전하는 프리 롤러로 구성되어 있지만, 독립한 회전 기구부를 갖추고 있을 수도 있다. 또한, 가이드부(17b)의 구성 재료는 특별히 한정되지 않고, 금속, 수지, 고무 등의 탄성체를 이용할 수도 있다.
한편, 보조 롤러(18)는, 가이드 롤러(17A)와 대향하여 배치된 원주상의 롤체 로 구성되어 있다. 이 보조 롤러(18)의 롤면(18a)에는, 베이스 필름(F)의 비성막면(Fb) 측에 접촉하여 베이스 필름(F)의 양 측연부를 가이드 롤러(17A)의 가이드부(17b, 17b)를 향해서 압압하는 한 쌍의 환상의 압압부(18b, 18b)가 돌출 형성되어 있다. 압압부(18b, 18b)는, 보조 롤러(18)의 롤면(18a)과 일체로 형성될 수도 있고, 별개의 부품으로 구성될 수도 있다.
보조 롤러(18)의 축부(軸部)에는, 해당 보조 롤러(18)를 가이드 롤러(17A)를 향하여 압압하는 압압 기구(19)가 접속되어 있다. 이 압압 기구(19)는, 용수철, 실린더 등의 부세(付勢) 수단을 구비하고, 축 위치가 고정된 가이드 롤러(17A)와 협동하여 필름(F)의 양 측연부에 대한 소정의 협지압(挾持壓)을 발생시킨다. 이에 의하여, 베이스 필름(F)의 주행 위치의 어긋남을 방지함과 함께 베이스 필름(F)의 구겨짐을 방지한다.
또한, 이 보조 롤러(18)는 베이스 필름(F)의 주행에 따라 돌아 회전하는 프리 롤러로 구성되어 있지만, 각각 독립한 회전 기구부를 갖추고 있을 수도 있다. 또, 압압부(18b)의 구성 재료는 특별히 한정되지 않고, 금속, 합성수지, 고무 등의 탄성체를 이용할 수도 있다.
이상과 같이 구성되는 본 실시예에 있어서는, 소정의 감압 분위기로 진공 배기된 진공 챔버(11)의 내부에 있어서, 권취부(12)로부터 베이스 필름(F)이 연속적으로 송출되고, 주행하는 베이스 필름(F)에 대해 메인 롤러(13) 상에서 성막 처리 된 후, 권취부(14)에 감긴다.
이때, 본 실시예에 따르면, 성막된 베이스 필름(F)의 성막 영역(Fc)은, 가이 드 롤러(17A)의 롤면(17a)과 대향하는 위치 관계로 반송되게 되지만, 베이스 필름(F)의 양 측연부가 가이드 롤러(17A)의 가이드부(17b, 17b)와 보조 롤러(18)의 압압부(18b, 18b)의 사이에 협지된 상태로 반송되므로, 성막 영역(Fc)이 가이드 롤러(17A)의 롤면(17a)에 접촉하지는 않는다. 이에 의하여, 성막 영역(Fc)의 보호를 도모할 수 있어, 롤면(17a)과의 접촉에 의한 증착 피막의 손실이나 특성의 열화를 방지할 수 있다.
또한, 본 실시예에 따르면, 가이드 유닛(20)에 의해서 베이스 필름(F)의 양 측연부를 협지한 상태로 반송하기 때문에, 베이스 필름(F)의 안정된 주행성을 실현할 수 있고, 권취부(14)에 있어서의 베이스 필름(F)의 양호한 권취성을 확보할 수 있다.
도 4는, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 가이드 유닛(30)의 구성예를 나타내는 정면도이다. 도 4에 도시된 가이드 유닛(30)은, 상술한 구성의 가이드 롤러(17A), 및 이 가이드 롤러(17A)의 한 쌍의 가이드부(17b, 17 b)를 향해서 베이스 필름(F)의 비성막면(Fb) 측에 접촉하여 베이스 필름(F)의 양 측연부를 압압하는 한 쌍의 보조 롤러(18A, 18B)를 갖추고 있다.
이 보조 롤러(18A, 18B)는, 각각의 회전축이 지지 브래킷(21A, 21B)에 각각 회전자재(回輾自在)로 지지되어 있고, 이 지지 브래킷(21A, 21B)은, 서로 독립한 압압 기구(22A, 22B)에 각각 연결되어 있다. 압압 기구(22A, 22B)는, 용수철, 실린더 등의 부세 수단을 구비하고, 축 위치가 고정된 가이드 롤러(18A)와 협동하여 베이스 필름(F)의 양 측연부에 대한 소정의 협지압(挾持壓)을 발생시킨다. 이에 의하여, 베이스 필름(F)의 주행 위치의 어긋남을 방지함과 함께 베이스 필름(F)의 구겨짐을 방지한다.
또한, 보조 롤러(18A, 18B)는 베이스 필름(F)의 주행에 따라 돌아 회전하는 프리 롤러로 구성되어 있지만, 각각 독립한 회전 기구부를 갖추고 있을 수도 있다. 또한, 보조 롤러(18A, 18B)의 구성 재료는 특별히 한정되지 않고, 금속, 합성수지, 고무 등의 탄성체를 이용할 수도 있다.
이상과 같이 구성되는 본 실시예에 있어서는, 베이스 필름(F)의 양 측연부가 가이드 롤러(17A)의 가이드부(17b, 17b)와 보조 롤러(18A, 18B)의 사이에 협지된 상태로 반송되므로, 베이스 필름(F)의 성막 영역(Fc)이 가이드 롤러(17A)의 롤면(17a)에 접촉하지 않는다. 이에 의하여, 성막 영역(Fc)의 보호를 도모할 수 있어, 롤면(17a)와의 접촉에 의한 증착 피막의 손실이나 특성의 열화를 방지할 수 있다.
또한, 본 실시예에 따르면, 가이드 유닛(30)에 의하여 베이스 필름(F)의 양 측연부를 협지한 상태로 반송하므로, 베이스 필름(F)의 안정된 주행성을 실현할 수 있고, 권취부(14)에 있어서의 베이스 필름(F)의 양호한 권취성을 확보할 수 있다.
또한, 본 실시예에 따르면, 가이드 롤러(17A)의 가이드부(17b, 17b)에 대하여 필름(F)의 양 측연부(側緣部)를 각각의 보조 롤러(18A, 18B)로 압압하는 구성이므로, 필름(F)의 각각의 연부(緣部)에 대해 각각 최적인 압압력을 조정할 수 있고, 이에 의하여 필름(F)의 주행성을 제어하는 것이 가능해진다.
이상, 본 발명의 실시예에 대해 설명하였지만, 물론, 본 발명은 이에 한정되 지 않고, 본 발명의 기술적 사상에 기초하여 여러 가지의 변형이 가능하다.
예를 들어, 이상의 실시예에서는, 성막 후의 베이스 필름(F)의 성막면에 대향하는 가이드 롤러(17A)에 보조 롤러(18)(18A, 18B)를 대향 배치시켜 본 발명에 관련된 가이드 유닛(20)(30)을 구성하도록 하였지만, 성막 전의 베이스 필름(F)의 성막면에 대향하는 가이드 롤러(16B)(도 1)에도 상기 보조 롤러를 대향 배치시켜 가이드 유닛을 구성하도록 할 수도 있다.
또는, 모든 가이드 롤러에 대해서 상기 구성의 보조 롤러를 대향 배치시킬 수도 있다. 이에 의하여, 베이스 필름의 양면의 보호를 도모하면서, 베이스 필름을 권취하는 것이 가능해진다.
또한, 이상의 실시예에서는, 성막 수단으로서 증발원(15)을 이용하는 진공 증착법을 이용하여 금속막을 성막하는 예에 대해 설명하였지만, 이에 한정되지 않고, 스퍼터 법이나 각종 CVD 법 등, 금속막 또는 비금속막을 성막하는 다른 성막법도 적용 가능하고, 이들 성막법에 맞추어 스퍼터 타겟 등의 성막 수단을 적절히 채용하는 것이 가능하다. 또한, 메인 롤러(13)는, 냉각용 롤러로 구성되는 경우에 한정되지 않고, 가열용 롤러로 구성될 수도 있다.
또한, 이상의 실시예에서는, 권취식 진공 증착 장치 등의 성막 장치에 본 발명의 필름 반송 장치를 적용한 예에 대해 설명하였지만, 이에 한정되지 않고, 예를 들면, 권출 롤러와 권취 롤러의 사이에 가열 처리 수단 또는 플라즈마 처리 수단 등을 설치하고, 베이스 필름을 주행시키면서 가열 처리 또는 플라즈마 처리 등을 실시하는 필름 처리 장치에도 본 발명은 적용 가능하다. 또한, 권출 롤러로부터 권취 롤러에 단지 베이스 필름을 반송하는 장치에도 적용 가능하고, 이 경우, 챔버 안은 감압 분위기에 한정되지 않고, 대기압이어도 괜찮다.

Claims (6)

  1. 진공 챔버 내에서 베이스 필름을 반송하는 필름 반송 장치에 있어서,
    권출 롤러;
    권취 롤러;
    상기 베이스 필름의 양 측연부를 지지하는 한 쌍의 환상 가이드부를 가지는 가이드 롤러, 및 상기 가이드 롤러에 대향하여 배치되어 상기 베이스 필름의 양 측연부를 상기 한 쌍의 가이드부를 향하여 압압하는 보조 롤러를 포함하고, 상기 권출 롤러와 상기 귄취 롤러의 사이에 설치되는 주행 기구
    를 포함하는 필름 반송 장치.　
  2. 제1항에 있어서,
    상기 권출 롤러와 상기 권취 롤러의 사이에, 상기 베이스 필름을 성막하는 성막 기구, 상기 베이스 필름을 가열하는 가열 기구, 및 상기 베이스 필름을 프라즈마 처리하는 프라스마 처리 기구 중 적어도 하나를 포함하는 필름 반송 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 보조 롤러는, 상기 한 쌍의 가이드부에 대하여 상기 베이스 필름의 양 측연부를 동시에 압압하는 한 쌍의 환상 압압부를 가지는
    필름 반송 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 보조 롤러는, 상기 한 쌍의 가이드부에 대하여 상기 베이스 필름의 측연부를 각각 독립하여 압압 가능하도록 한 쌍 설치되어 있는 필름 반송 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 주행 기구는, 상기 베이스 필름의 비성막면과 접착하여 상기 베이스 필름을 냉각 또는 가열하는 메인 롤러를 가지고,
    상기 가이드 롤러는, 상기 메인 롤러와 상기 권취 롤러의 사이에 설치되어 있는 필름 반송 장치.
  6. 감압 분위기 내에서 베이스 필름을 연속적으로 송출하고,
    상기 베이스 필름의 적어도 한쪽 면을 성막하고,
    성막된 상기 베이스 필름의 양 측연부를 협지하여 상기 베이스 필름을 권취부를 향하여 반송하는
    권취식 진공 성막 방법.
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