RU2009146069A - Устройство пленочного конвейера и способ вакуумного осаждения с рулонной подачей и приемкой - Google Patents

Устройство пленочного конвейера и способ вакуумного осаждения с рулонной подачей и приемкой Download PDF

Info

Publication number
RU2009146069A
RU2009146069A RU2009146069/02A RU2009146069A RU2009146069A RU 2009146069 A RU2009146069 A RU 2009146069A RU 2009146069/02 A RU2009146069/02 A RU 2009146069/02A RU 2009146069 A RU2009146069 A RU 2009146069A RU 2009146069 A RU2009146069 A RU 2009146069A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
roller
base film
guide
pair
side edge
Prior art date
Application number
RU2009146069/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2434079C2 (ru
Inventor
Такайоси ХИРОНО (JP)
Такайоси ХИРОНО
Исао ТАДА (JP)
Исао ТАДА
Ацуси НАКАЦУКА (JP)
Ацуси НАКАЦУКА
Original Assignee
Улвак, Инк. (Jp)
Улвак, Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Улвак, Инк. (Jp), Улвак, Инк. filed Critical Улвак, Инк. (Jp)
Publication of RU2009146069A publication Critical patent/RU2009146069A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2434079C2 publication Critical patent/RU2434079C2/ru

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H27/00—Special constructions, e.g. surface features, of feed or guide rollers for webs
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/54—Apparatus specially adapted for continuous coating
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H2701/00—Handled material; Storage means
    • B65H2701/10—Handled articles or webs
    • B65H2701/13—Parts concerned of the handled material
    • B65H2701/131—Edges
    • B65H2701/1315—Edges side edges, i.e. regarded in context of transport

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

1. Устройство пленочного конвейера, передающего базовую пленку в вакуумной камере, содержащее: ! разматывающий ролик; ! сматывающий ролик; и ! механизм перемещения, который предусмотрен между разматывающим роликом и сматывающим роликом и который включает в себя направляющий узел, включающий в себя направляющий ролик и вспомогательный ролик, причем вспомогательный ролик включает в себя пару кольцевых направляющих частей, которые поддерживают боковые кромочные части базовой пленки, а вспомогательный ролик расположен напротив направляющего ролика и прижимает боковые кромочные части базовой пленки к паре направляющих частей. ! 2. Устройство по п.1, дополнительно содержащее любой из механизма осаждения для нанесения слоя на базовую пленку, механизма нагревания для нагрева базовой пленки и механизма плазменной обработки для подвергания базовой пленки плазменной обработке между разматывающим роликом и сматывающим роликом. ! 3. Устройство по п.1, в котором вспомогательный ролик включает в себя пару кольцевых прижимных частей, которые прижимают боковые кромочные части базовой пленки к паре направляющих частей одновременно. ! 4. Устройство по п.1, в котором вспомогательный ролик предусмотрен в паре таким образом, чтобы боковые кромочные части базовой пленки могли быть независимо прижаты к паре направляющих частей. ! 5. Устройство по п.1, в котором механизм перемещения включает в себя основной ролик, который охлаждает или нагревает базовую пленку посредством вхождения в тесный контакт с не подвергаемой осаждению поверхностью базовой пленки, при этом направляющий ролик предусмотрен между основным роликом и сматы�

Claims (6)

1. Устройство пленочного конвейера, передающего базовую пленку в вакуумной камере, содержащее:
разматывающий ролик;
сматывающий ролик; и
механизм перемещения, который предусмотрен между разматывающим роликом и сматывающим роликом и который включает в себя направляющий узел, включающий в себя направляющий ролик и вспомогательный ролик, причем вспомогательный ролик включает в себя пару кольцевых направляющих частей, которые поддерживают боковые кромочные части базовой пленки, а вспомогательный ролик расположен напротив направляющего ролика и прижимает боковые кромочные части базовой пленки к паре направляющих частей.
2. Устройство по п.1, дополнительно содержащее любой из механизма осаждения для нанесения слоя на базовую пленку, механизма нагревания для нагрева базовой пленки и механизма плазменной обработки для подвергания базовой пленки плазменной обработке между разматывающим роликом и сматывающим роликом.
3. Устройство по п.1, в котором вспомогательный ролик включает в себя пару кольцевых прижимных частей, которые прижимают боковые кромочные части базовой пленки к паре направляющих частей одновременно.
4. Устройство по п.1, в котором вспомогательный ролик предусмотрен в паре таким образом, чтобы боковые кромочные части базовой пленки могли быть независимо прижаты к паре направляющих частей.
5. Устройство по п.1, в котором механизм перемещения включает в себя основной ролик, который охлаждает или нагревает базовую пленку посредством вхождения в тесный контакт с не подвергаемой осаждению поверхностью базовой пленки, при этом направляющий ролик предусмотрен между основным роликом и сматывающим роликом.
6. Способ вакуумного осаждения с рулонной подачей и приемкой, включающий:
последовательное разматывание базовой пленки в атмосфере пониженного давления;
осаждение слоя по меньшей мере на одну поверхность базовой пленки; и
прижимание базовой пленки, на которой осаждается слой, на ее боковых кромочных частях и передачу базовой пленки в сматывающую часть.
RU2009146069/02A 2007-05-14 2008-04-18 Устройство пленочного конвейера и способ вакуумного осаждения с рулонной подачей и приемкой RU2434079C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007-127877 2007-05-14
JP2007127877 2007-05-14

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2009146069A true RU2009146069A (ru) 2011-06-20
RU2434079C2 RU2434079C2 (ru) 2011-11-20

Family

ID=40002052

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2009146069/02A RU2434079C2 (ru) 2007-05-14 2008-04-18 Устройство пленочного конвейера и способ вакуумного осаждения с рулонной подачей и приемкой

Country Status (8)

Country Link
US (1) US20100055311A1 (ru)
JP (1) JP5024972B2 (ru)
KR (1) KR101133835B1 (ru)
CN (1) CN101680083B (ru)
DE (1) DE112008001359T5 (ru)
RU (1) RU2434079C2 (ru)
TW (1) TWI434948B (ru)
WO (1) WO2008139834A1 (ru)

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5280224B2 (ja) * 2009-01-27 2013-09-04 日立造船株式会社 真空成膜装置
JP5325016B2 (ja) * 2009-05-11 2013-10-23 日立造船株式会社 減圧ユニット及び圧力復元ユニット
JP5325031B2 (ja) * 2009-06-25 2013-10-23 日立造船株式会社 真空成膜装置及び真空成膜方法
JP2011038162A (ja) * 2009-08-13 2011-02-24 Fuji Electric Holdings Co Ltd 薄膜積層体の製造装置
CN102021529A (zh) * 2010-12-01 2011-04-20 常州常松金属复合材料有限公司 一种真空镀翻转辊道装置
CN102031494B (zh) * 2010-12-01 2012-10-03 常州常松金属复合材料有限公司 一种真空镀辊筒传动装置
JP5494466B2 (ja) * 2010-12-24 2014-05-14 住友金属鉱山株式会社 キャンロール上でのシワ伸ばし方法及びシワ伸ばし装置、並びにこれを備えた成膜装置
EP2692899B1 (en) * 2011-03-29 2017-04-19 Toppan Printing Co., Ltd. Roll to roll atomic layer deposition (ald)
JP2012219322A (ja) * 2011-04-07 2012-11-12 Ulvac Japan Ltd 巻取式成膜装置及び巻取式成膜方法
JP5987312B2 (ja) 2011-12-16 2016-09-07 日本電気硝子株式会社 成膜装置及び膜付ガラスフィルムの製造方法
DE102012206502B4 (de) * 2012-04-19 2019-01-31 VON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG Vorrichtung zum frontseitenberührungsfreien Transport von bandförmigem Material
CN102888592A (zh) * 2012-09-18 2013-01-23 铜陵其利电子材料有限公司 镀膜机导辊支撑装置
TWI587931B (zh) * 2012-11-30 2017-06-21 Ｌｇ化學股份有限公司 滾筒、薄膜形成裝置以及於基板上形成薄膜的方法
JP5868309B2 (ja) 2012-12-21 2016-02-24 株式会社神戸製鋼所 基材搬送ロール
DE102013103590A1 (de) 2013-04-10 2014-10-16 Uwe Beier Vorrichtung zum Bearbeiten von flexiblen Substraten
KR101404408B1 (ko) * 2013-05-03 2014-06-10 성안기계 (주) 필름 반송장치
DE102014105747B4 (de) 2014-04-23 2024-02-22 Uwe Beier Modulare Vorrichtung zum Bearbeiten von flexiblen Substraten
DE102014106690B4 (de) 2014-05-12 2017-12-28 Uwe Beier Vorrichtung zum wechselweisen Bearbeiten von flexiblen, bandförmigen Substraten
JP6526186B2 (ja) * 2015-05-15 2019-06-05 株式会社アルバック 基板除電機構及びこれを用いた真空処理装置
JP6674774B2 (ja) * 2015-12-18 2020-04-01 株式会社アルバック フィルム搬送装置
CN111560595A (zh) * 2020-03-30 2020-08-21 维达力实业(深圳)有限公司 含硅负极材料的折返式补锂方法及负极片、电池
CN113969397A (zh) * 2021-10-15 2022-01-25 浙江生波智能装备有限公司 一种新型真空镀膜设备的镀膜控制方法
CN113913787A (zh) * 2021-10-15 2022-01-11 浙江生波智能装备有限公司 一种新型薄膜制备工艺及真空镀膜设备

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60104313A (ja) * 1983-10-04 1985-06-08 Toray Ind Inc フイルム延伸方法
JPH01312066A (ja) * 1988-06-11 1989-12-15 Tokin Corp 連続薄膜媒体の製造装置
JPH082536B2 (ja) * 1989-05-12 1996-01-17 松下電器産業株式会社 フィルムの温度処理方法
JPH0617250A (ja) * 1992-06-30 1994-01-25 Sony Corp エキスパンダーロール
JPH08134645A (ja) * 1994-11-08 1996-05-28 Toray Ind Inc プラスチックフイルム用真空処理装置
JPH11193460A (ja) * 1997-12-26 1999-07-21 Tdk Corp 真空容器内の巻き取り装置
CA2357324A1 (en) * 2000-09-15 2002-03-15 James D. Huggins Continuous feed coater
JP2004087792A (ja) 2002-08-27 2004-03-18 Hitachi Cable Ltd Ｔａｂテープ用ガイドローラー
JP2004307890A (ja) * 2003-04-03 2004-11-04 Toppan Printing Co Ltd 真空成膜装置
LV13253B (en) * 2003-06-30 2005-03-20 Sidrabe As Device and method for coating roll substrates in vacuum
JP4516304B2 (ja) * 2003-11-20 2010-08-04 株式会社アルバック 巻取式真空蒸着方法及び巻取式真空蒸着装置
US8435373B2 (en) * 2005-06-20 2013-05-07 Microcontinumm, Inc. Systems and methods for roll-to-roll patterning
KR100701641B1 (ko) * 2004-08-02 2007-03-30 도레이새한 주식회사 진공증착에 의해 구리도금층을 형성하는 연성회로기판용 적층구조체의 제조방법 및 그 장치
KR20060014664A (ko) * 2004-08-11 2006-02-16 엘지전자 주식회사 자기기록재생장치의 가이드 롤러 조립체
EP1849888B1 (en) * 2005-02-16 2011-08-17 Ulvac, Inc. Vacuum deposition apparatus of the winding type
JP3795518B2 (ja) 2006-03-01 2006-07-12 株式会社アルバック 巻取式真空蒸着装置及び巻取式真空蒸着方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP5024972B2 (ja) 2012-09-12
CN101680083A (zh) 2010-03-24
TW200848540A (en) 2008-12-16
WO2008139834A1 (ja) 2008-11-20
CN101680083B (zh) 2012-01-25
US20100055311A1 (en) 2010-03-04
DE112008001359T5 (de) 2010-07-08
TWI434948B (zh) 2014-04-21
KR20100006582A (ko) 2010-01-19
JPWO2008139834A1 (ja) 2010-07-29
KR101133835B1 (ko) 2012-04-06
RU2434079C2 (ru) 2011-11-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2009146069A (ru) Устройство пленочного конвейера и способ вакуумного осаждения с рулонной подачей и приемкой
WO2008111306A1 (ja) 蒸着装置および蒸着装置を用いた膜の製造方法
JP2014522328A5 (ru)
IN266855B (ru)
KR101429519B1 (ko) 그래핀 전사장치 및 그래핀 전사방법
KR101548310B1 (ko) 필름 부착 방법 및 장치
US20140305577A1 (en) Foil stamping method and corresponding device
EP2578405B1 (en) Film transfer apparatus
US5205210A (en) Method and apparatus for dry printing using a hot embossing foil
JP4065324B2 (ja) シート処理機械
US20200346797A1 (en) Banding and packaging device
US10943811B2 (en) Tape affixing apparatus
TW201304964A (zh) 熱轉印裝置及熱轉印方法
JP2007176173A5 (ru)
DE3366341D1 (en) Sheet material retention device
EP1864927A3 (en) Plate feeding apparatus and plate feeding method
JP6662192B2 (ja) ガラスリボン成膜装置及びガラスリボン成膜方法
TW201114586A (en) Press and method for conveying work pieces into and out of the press
JP2013038290A (ja) シート貼付装置及び貼付方法
EP3362288A1 (en) Method for glueing, handling and storing die-cut materials
JP2016010861A (ja) 箔転写装置
JP2001237138A (ja) セラミックグリーンシートの積層方法及び積層装置
CN104340708A (zh) 下压纸张的机构
KR101337756B1 (ko) 테이핑장치
JP2012224440A5 (ru)