DE102012206502B4 - Vorrichtung zum frontseitenberührungsfreien Transport von bandförmigem Material - Google Patents
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Abstract
Description
- Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum frontseitenberührungsfreien Transport von bandförmigem Material zwischen einer ersten und einer zweiten Prozesswalze, bei welchem zwischen den Prozesswalzen ein Umlenkmittel zum Verdrehen des Bandlaufs des bandförmigen Materials gegenüber dem von der ersten Prozesswalze bestimmten Bandlaufs angeordnet ist, welches eine Drehachse aufweist die zur Drehachse dieser ersten Prozesswalze einen von 0° verschiedenen Winkel einschließt. Dabei liegt das bandförmige Material zwischen den Prozesswalzen zumindest in einem Teilabschnitt, welcher das Umlenkmittel einschließt, auf einem Trägerband derart auf, dass das Trägerband das zu beschichtende bandförmige Material auf einer Rückseite berührt und in diesem Teilabschnitt eine Bewegung synchron zum bandförmige Material ausführt.
- Zur Oberflächenbehandlung von bandförmigem Material, beispielsweise in Vakuumbeschichtungsanlagen mittels eines im Vakuum ablaufenden Beschichtungs- oder Behandlungsprozesses, wird dieses meist von einer Abwickelrolle über mehrere Transportrollen und Prozesswalzen geführt und auf einer Aufwickelrolle aufgewickelt.
- Dabei wird das bandförmige Material beispielsweise im Bereich einer Prozesswalze auf seiner Vorder- oder Frontseite mit einer gewünschten Schicht versehen. Nach diesem Aufbringen der Schicht muss das bandförmige Material zu einer weiteren Prozesswalze oder zur Aufwickelrolle transportiert werden. In vielen Fällen ist es notwendig eine Berührung der Frontseite des bandförmigen Materials zu vermeiden, da die Schicht beispielsweise keiner mechanischen Belastung standhält oder ein Schichtaufbau, welcher über mehrere Prozesswalzen mit ihren zugehörigen Behandlungsquellen erfolgen soll, durch Kratzer oder Verunreinigungen negativ beeinflusst wird.
- Zur Realisierung eines frontseitenberührungsfreien Transports eines bandförmigen Materials sind aus dem Stand der Technik mehrere Lösungen bekannt.
- So ist aus der
DE 102009060413 A1 eine Vorrichtung zum Transport bandförmiger Substrate bekannt, bei welcher das Band durch Verdrillung in einer Freilaufstrecke umgelenkt wird. Dabei wird das bandförmige Substrat über mehrere Behandlungswalzen geführt, ohne dass dazu eine Berührung der Frontseite durch Walzen erforderlich ist. - Ein Nachteil dieser Lösung liegt darin, dass die bei der Verdrillung auftretenden Laufwegdifferenzen zwischen einer sogenannten neutralen Faser in der Bandmitte und den Fasern an den Bandkanten, zu unerwünschten Materialdehnungen im Bereich der Kanten des bandförmigen Substrats führen können.
- Aus der
DE 102008029379 A1 ist ein weiterer Stand der Technik bekannt, welcher eine Beschichtungsanlage mit frontseitenberührungsfreier Führung eines flexiblen Substrates in Form einer Kettenlinie beschreibt. - Ein Nachteil dieser Lösung ist, dass das Substrat in Nähe der Behandlungsstationen frei durch das Vakuum geführt wird, wodurch eine unerwünschte Temperaturerhöhung infolge der durch den Behandlungsprozess eingetragenen Wärme auftreten kann, da Wärmeabgabe in diesem Abschnitt nur durch Wärmeabstrahlung erfolgen kann.
- Aus der
EP 2113585 A1 ist eine Führungseinrichtung für ein flexibles Substrat bekannt, bei welchem eine gegenüber der Richtung senkrecht zur Substrattransportrichtung geneigten Rolle verwendet wird. - Dieses Verfahren ist ähnlich dem oben beschriebenen ersten Stand der Technik und weist denselben Nachteil auf.
- Die
WO 2010/090504 A2 4 dieser Offenbarung beschriebenen Ausführung einer Transportrolle dargestellt. - Nachteile dieser Lösung sind der erforderliche Bauraum, der relativ komplexe störanfällige Aufbau der Umlenkwalzen mit den streifigen Elementen sowie die starke mechanische Beanspruchung des Folienmaterials bei Führung über die mit streifigen Elementen versehenen Walzen, wobei insbesondere die Kanten der streifigen Elemente zu Einprägungen in das zu beschichtende Bandmaterial oder zu anderen Beschädigungen führen können.
- Aus der
DE 102009003556 A1 sind weitere Möglichkeiten zur Umlenkung von Folien aus der ursprünglichen Transportebene heraus bekannt, insbesondere durch schleifende Führung über starre Rollen, durch Führung über Luftkissenrollen oder ultraschallunterstützte Luftkissen-Führungselemente. - Die dort genannten Verfahren haben die Nachteile, dass eine schleifende Umlenkung zu elektrostatischer Aufladung führt oder Kratzer und Partikel generieren kann. Eine Luftkissen- und ultraschallgestützte Führungen führen bei einem Einsatz im Vakuum zu Beeinträchtigung des Vakuum-Beschichtungsprozesses.
- Aus der
DE 10 2009 036 499 A1 ist eine Bahnführungsvorrichtung zum frontseitenberührungsfreien Führen einer flexiblen Materialbahn zwischen einer ersten und einer zweiten Prozesswalze bekannt, welche mindestens eine von der Materialbahn unter einfacher Umlenkung durchlaufende Bandumlenkeinheit aufweist. Zum Hervorrufen der Umlenkung enthält die Bandumlenkeinheit mindestens ein schräg zur Transportrichtung der Materialbahn ausgerichtetes schräges Umlenkelement. Zur Vermeidung eines direkten Kontaktes des flexiblen Materials mit dem Umlenkelement ist ein endloses gasundurchlässiges Trägerband vorgesehen. Das flexible Material liegt dabei an dem Trägerband an und nimmt dieses durch Kraftschluss schlupffrei mit. Damit wird von dem Trägerband eine Bewegung synchron zum bandförmigen Material ausgeführt. - Zwar wird in diesem Stand der Technik eine Reibungsverminderung durch eine gasdurchlässige Gestaltung einer Walzenoberfläche beschrieben, wobei ein Gasaustritt zu dieser Reibungsverminderung führen kann, allerdings ist dies, bedingt durch die zusätzliche Medienführung sehr aufwändig und insbesondere bei einem Einsatz der Vorrichtung im Vakuum nicht einsetzbar.
- In der
DE 11 2008 001 359 T5 ist eine Vorrichtung zum Transport von bandförmigem Material zwischen einer Ausgabe- und einer Aufnahmerolle beschrieben, bei der das bandförmige Material zwischen einer Andrückrolle und einer Hilfsrolle am Rand zum Zwecke der Bewegung geklemmt wird. Bei dem Einsatzzweck der Filmbeschichtung ist es möglich, den Rand mechanisch zu belasten. Ein frontseitenberührungsfreier Transport kann allerdings nicht realisiert werden. - Die
DE 43 04 472 A1 betrifft eine Bearbeitungsmaschine für flexible Materialbahnen. Dabei werden Stoffbahnen von einem Vorratsstapel zu einem Ablagestapel transportiert und dazwischen einer Behandlung unterzogen. Dabei werden sie mittels eines Transportbandes bewegt. Die Bearbeitungsmaschine sieht insbesondere eine Wendevorrichtung für die Stoffbahnen vor. - In der
DE 101 64 734 A1 wird eine Wendevorrichtung für eine Papierbahn beschrieben. Dabei ist ein Saugband vorgesehen, welches die Papierbahn saugend festhält und einer Wendestange zuführt, mittels derer die Papierbahn in ihrer Laufrichtung geändert wird. - Mit der
DE 20 2011 106 176 U1 wird eine Wendeeinrichtung für eine Materialbahnverarbeitungsmaschine vorgestellt. Hierin ist ein mehrfaches Wenden der Materialbahn ebenfalls wieder mittels Wendestangen, die auch nur teilweise gewölbte Mantelflächen aufweisen können, realisiert. Die Wendestangen stellen keine Umlenkrollen oder Walzen dar die eine Rotationsbewegung ausführen. - Die Aufgabe der Erfindung besteht somit darin, eine Vorrichtung zum Transport von bandförmigem Material anzugeben, welche einen frontseitenberührungsfreien Transport ermöglicht und die aus dem Stand der Technik bekannten Beanspruchungen des bandförmigen Materials vermeidet.
- Gemäß der Erfindung wird die Aufgabe mit einer Vorrichtung zum frontseitenberührungsfreien Transport von bandförmigem Material der eingangs genannten Art dadurch gelöst, dass das Umlenkmittel axial und tangential in Bezug zur Drehachse des Umlenkmittels bewegbare Elemente aufweist.
- Die Erfindung ermöglicht einen frontseitenberührungsfreien Transport von bandförmigem Material in einer Vakuumbeschichtungsanlage zwischen zwei Prozesswalzen. Dabei wird unter einer Prozesswalze in dieser Beschreibung eine Walze verstanden, über deren Mantelfläche das bandförmige Material die Prozesswalze zumindest teilweise umschlingend geführt wird.
- Üblicherweise ist in dem von dem bandförmigen Material umschlungenen Bereich der Prozesswalze, der Mantelfläche der Prozesswalze gegenüber liegend, mindestens eine Prozessierungsstation oder Beschichtungsquelle angeordnet.
- Derartige Prozessierungsstationen können als Beschichtungsstationen (Verdampfer, Magnetronquellen, allgemein PVD-Quellen, CVD-Quellen, Nass-Beschichtungsquellen, ALD-Quellen), Vorbehandlungsstationen (Plasmavorbehandlung, Heizquellen), Nachbehandlungsstationen (Heizstationen, Härtungsstationen) oder Strukturierungsstationen (Laserstrukturierung, Scribing) ausgeführt sein.
- Bei der Vorrichtung wird das bandförmige Material zumindest in einem Teilbereich der Transportstrecke zwischen einer ersten und einer zweiten Prozesswalze ohne direkten Kontakt mit einem verdrillfrei arbeitenden Umlenkmittel oder einer Umlenkrolle zur zweiten Prozesswalze geführt.
- Das bandförmige Material liegt in diesem Teilbereich auf dem Transportband auf, welches als ein flexibles Band ausgeführt ist, das bandförmige Material in diesem Teilbereich stützt und dadurch transportiert, dass das Transportband mit einer vorgegebenen Geschwindigkeit durch den Teilbereich gezogen wird. Durch das direkte Aufliegen des bandförmigen Materials auf dem Transportband erfolgt die Mitnahme des bandförmigen Materials synchron zur Bewegung des Transportbandes.
- Die Anordnung des Transportbandes zwischen dem bandförmigen Material und dem Umlenkmittel verhindert die aus dem Stand der Technik bekannten mechanischen Belastungen des bandförmigen Materials.
- Durch die erfindungsgemäße Anordnung von axial und tangential in Bezug zur Drehachse des Umlenkmittels bewegbaren Elementen an dem Umlenkmittel wird erreicht, dass der bekannten Bewegung eines Bandes bei einem Transport über ein Umlenkmittel, wenn es auf einer sogenannten Spiralbahn geführt wird, entlang der Drehachse des Umlenkmittels also somit seitlich in Bezug auf die Transportrichtung des Bandes dadurch entgegengewirkt wird, dass dem Band beim Transport über das Umlenkmittel ein seitliches Zurückgleiten durch eine entsprechend ausgeführte Oberfläche des Umlenkmittels ermöglicht wird. Dadurch wird die seitliche Bewegung des Bandes ausgeglichen.
- In einer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass das Umlenkmittel ein feststehender Zylinder oder eine Transport- oder Bandführungsrolle ist.
- Das Umlenkmittel kann verschiedene Ausführungsformen aufweisen, wie beispielsweise die eines feststehenden Zylinders, eines Leitblechs oder einer Transport- oder Bandführungsrolle. Zur Ablenkung der Folie in eine andere Richtung können auch konische Rollen Verwendung finden.
- In einer Ausführungsform ist vorgesehen, dass das bandförmige Material in dem Teilabschnitt vor oder nach dem Umlenkmittel über weitere Transport- oder Bandführungsrollen geführt wird.
- Das bandförmige Material kann von der ersten Prozesswalze zu einer zweiten Prozesswalze über eine oder mehrere Umlenkmittel und auch optional über weitere Umlenkrollen geführt werden. Somit kann eine Anpassung des Transports des bandförmigen Materials an verschieden Vorgaben bezüglich der Anordnung der Prozesswalzen erfolgen.
- In einer anderen Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass das Umlenkmittel eine gleitfähige Oberfläche aufweist, welche ein Gleiten des Transportbandes über das Umlenkmittel ermöglicht.
- Wenn das Umlenkmittel, beispielsweise als Leitblech und nicht als eine drehbare Rolle ausgeführt wird, muss die Oberfläche des Umlenkmittels ein Gleiten des Transportbandes über die Oberfläche ermöglichen.
- In einer besonderen Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die bewegbaren Elemente des Umlenkmittels eine Streifen- oder Rollen- oder Kugelform aufweisen.
- Derartige bewegbare Elemente können beispielsweise in Streifen- oder Rollen- oder Kugelform ausgeführt werden.
- In einer anderen Ausführung ist vorgesehen, dass das Trägerband ein in sich geschlossenes Endlosband ist.
- Das Trägerband kann von einer Abwickelrolle über den Teilabschnitt zu einer Aufwickelrolle geführt werden. Eine vorteilhaftere Ausgestaltung besteht darin, dass das Trägerband als Endlosschleife ausgeführt wird. Somit kann das Trägerband, nachdem es den Teilabschnitt durchlaufen hat, über eine oder mehrere Umlenkrollen wieder zum Teilbereich zurückgeführt werden. Hierbei kann eine Umlenkrolle auch als Spannrolle oder als Antriebsrolle für das Trägerband fungieren.
- In einer Weiterbildung ist vorgesehen, dass das Trägerband an den Rändern Aufnahmemittel zum Transport des Trägerbands aufweist.
- Um einen formschlüssigen Transport des Trägerbandes zu ermöglichen, wird das Trägerband an den Rändern mit Aufnahmemitteln für einen Antrieb ausgeführt. Dies kann beispielsweise in der Form einer Perforation erfolgen, in welche ein entsprechend gestaltetes Antriebsrad zum Transport des Trägerbandes eingreifen kann.
- In einer Ausführung ist vorgesehen, dass das Trägerband als Metallband, faserverstärktes Kunststoffband, Gewebeband oder Laminatband ausgeführt ist.
- Das Trägerband kann beispielsweise zum Transport eines bandförmigen Materials bestehend aus Polymerfolie oder dünner Metallfolie als ein Metallband oder ein faserverstärktes Kunststoffband ausgeführt werden. Das Trägerband ist ein flexibles Band, welches mechanisch deutlich robuster als das bandförmige Material ist. Ausführungen des Trägerbands als Gewebeband oder Laminatband sind ebenfalls möglich.
- In einer besonderen Ausführung der Erfindung ist vorgesehen, dass einem Teilabschnitt der Oberfläche der Prozesswalze gegenüberliegend Prozesskomponenten wie Beschichtungsquellen angeordnet sind.
- Zur Durchführung von Prozessschritten beispielsweise innerhalb einer Vakuumbeschichtungsanlage sind Prozesskomponenten wie Beschichtungsquellen angeordnet.
- In einer Form der der Erfindung ist vorgesehen, dass die Prozesswalze eine Heiz- oder Kühlanordnung aufweist.
- Derartige Prozesswalzen können als Kühl- und/oder Heizwalzen ausgeführt sein, um das bandförmige Material vor, während oder nach einem Prozessschritt zu kühlen oder aufzuheizen. Hierbei können die Prozesswalzen auch verschiedene Temperaturen aufweisen oder der Transportweg des bandförmigen Materials in verschiedene Temperaturzonen unterteilt werden.
- In einer Ausgestaltung ist vorgesehen, dass im Bandlauf zwischen den Prozesswalzen weitere Heiz- oder Kühlmittel angeordnet sind.
- Mittel zum Heizen oder Kühlen des bandförmigen Materials können auch an verschiedenen anderen Stellen auf dem Transportweg des bandförmigen Materials von der Abwickelzur Aufwickelrolle angeordnet sein.
- In einer anderen Ausführung ist vorgesehen, dass auf der Oberfläche des Trägerbands Mitnahmemittel angeordnet sind.
- In einer Weiterbildung ist vorgesehen, dass die Mitnahmemittel als Noppen aufgeführt sind, welche eine Verminderung der Reibung zwischen dem Trägerband und dem bandförmigen Material gewährleisten.
- Das Trägerband kann auch derart ausgeführt sein, dass es Noppen zumindest auf der dem bandförmigen Material zugewandten Seite aufweist. Mittels dieser Ausführung kann eine Verringerung der Reibung zwischen dem Trägerband und dem bandförmigen Material erreicht werden.
- Die Erfindung soll nachfolgend anhand dreier Ausführungsbeispiele näher erläutert werden. In den zugehörigen Zeichnungen zeigt
-
1 eine erfindungsgemäße Vorrichtung zum frontseitenberührungsfreien Transport von bandförmigem Material in einer Prinzipdarstellung mit zwei Prozesswalzen, -
2 eine weitere Ausführung der Vorrichtung zum frontseitenberührungsfreien Transport von bandförmigem Material mit einer gegenüber1 geänderten Anordnung der Prozesswalzen und -
3 eine Ausführungsform mit drei Prozesswalzen. - In der
1 ist eine Ausführung der Erfindung zum Transport von bandförmigem Material1 mit zwei Prozesswalzen4 dargestellt. Die Prozesswalzen4 können gemeinsam in einer Prozesskammer oder räumlich voneinander getrennt in verschiedenen Prozesskammern, welche nicht dargestellt sind, angeordnet sein. Die auf den Prozesswalzen4 dargestellten Pfeile geben die Drehrichtungen der Walzen an. Unterhalb der Prozesswalzen4 sind in der1 Behandlungsquellen7 dargestellt, welche beispielsweise Verdampfer, Magnetronquellen, allgemeine PVD-Quellen, CVD-Quellen, Nass-Beschichtungsquellen (ALD-Quellen), Vorbehandlungsstationen, Nachbehandlungsstationen oder Strukturierungsstationen sein können. - Das bandförmige Material
1 wird, wie in der1 dargestellt, über eine links in der1 dargestellte erste Prozesswalze4 geführt und beispielsweise auf seiner Oberfläche beschichtet. Das beschichtete bandförmige Material1 wird, in der in der1 dargestellten Pfeilrichtung auf dem Band1 , über das Umlenkmittel5 geführt, wobei sich seine Bandlaufrichtung ändert. Das bandförmige Material1 wird weiterhin über zwei Umlenkrollen6 zu einem zweiten Umlenkmittel5 geführt, welches wiederum die Bandlaufrichtung des bandförmigen Materials1 verändert und erreicht die zweite Prozesswalze4 . - Erfindungsgemäß wird in einem Teilabschnitt dieses beschriebenen Transportweges das bandförmige Material
1 zumindest teilweise über ein Trägerband3 geführt, welches das bandförmige Material1 berührt und zumindest in dem Teilabschnitt eine zum bandförmigen Material1 synchrone Transportbewegung ausführt. Dieser Teilabschnitt beginnt beim ersten Umlenkmittel5 , verläuft weiter über beide Umlenkrollen6 und endet beim zweiten Umlenkmittel5 . Optional kann dieser Teilabschnitt auch noch auf den Bereich zwischen dem Umlenkmittel5 und der zwischen der ersten Prozesswalze4 und diesem Umlenkmittel5 angeordneten Umlenkrolle6 erweitert werden. Gleiches gilt für den Bereich zwischen dem zweiten Umlenkmittel5 und der zwischen der zweiten Prozesswalze4 und dem zweiten Umlenkmittel5 angeordneten Umlenkrolle6 . - Zur Verdeutlichung dieses Teilbereiches, in welchem das bandförmige Material
1 durch das Trägerband3 geführt wird, ist an diesen Stellen die Bezugsziffer2 auf dem dargestellten Band eingefügt, wobei das hier dargestellte Band aus dem Trägerband3 und dem auf dem Trägerband3 aufliegenden bandförmigen Material besteht. - In der
1 ist auch die Drehachse8 des Umlenkmittels5 dargestellt, welche zur Drehachse der ersten Prozesswalze4 einen von 0 Grad verschiedenen Winkel einschließt. Auch ein Einsatz mehrerer hintereinander angeordneter Umlenkmittel5 ist denkbar, wobei das bandförmige Material1 durch jedes Umlenkmittel5 in seiner Bandlaufrichtung nur teilweise verändert wird, solange oder mittels so vieler Umlenkmittel5 , bis die gewünschte Änderung der Bandlaufrichtung erreicht ist. - In der
2 ist eine weitere Ausgestaltung der Erfindung zum Transport von bandförmigem Material1 dargestellt, bei welcher das zu beschichtende bandförmige Material1 über eine erste Prozesswalze4 und zwei Umlenkmittel5 zu einer zweiten Prozesswalze4 geführt wird. In dieser Darstellung ist das Trägerband3 , welches das bandförmige Material1 zumindest in einem Teilbereich zwischen den Prozesswalzen4 führt und transportiert, nicht dargestellt. In dieser Ausgestaltung können die Prozesswalzen4 derart angeordnet werden, dass ihre Drehachsen miteinander fluchten. - In der
3 ist eine Ausgestaltung dargestellt, bei der das bandförmige Material1 über drei Prozesswalzen4 geführt wird. Auch in dieser Ausführung wird das bandförmige Material1 zumindest in einem Teilbereich zwischen zwei benachbarten Prozesswalzen4 über Umlenkmittel5 und somit auch das Trägerband3 geführt. Die Teilbereiche, in denen das bandförmige Material1 auf dem Trägerband3 aufliegt, mit diesem synchron transportiert wird, sind wieder mit der Bezugsziffer2 dargestellt. Auch in dieser Ausführung sind die Drehachsen der Prozesswalzen4 zueinander fluchtend angeordnet und das Trägerband3 ist als Endlosband, welches über mehrere Umlenkrollen6 zurückgeführt wird, ausgeführt. - Die Anordnung der Drehachsen der Prozesswalzen
4 in den
1 bis3 parallel zueinander oder fluchtend sind beispielhaft. Die Erfindung unterstützt auch eine Anordnung der Drehachsen in einem Winkel zwischen 0 und 90 Grad zueinander. - Die Anwendung dieses erfindungsgemäßen frontseitenberührungsfreien Transports von bandförmigen Materialien kann beispielsweise bei einer Rolle-zu-Rolle Beschichtung im Bereich flexible PV, flexible OLEDs oder flexible Elektronik erfolgen.
- Neben dieser Rolle-zu-Rolle Variante kann die Erfindung auch im Bereich der Rolle-zu-Sheet Behandlung, bei welcher ein Zerschneiden des Bandes am Ende der Behandlungsstation erfolgt, eingesetzt werden.
- Anstelle von Prozesswalzen können auch Prozessbereiche vorgesehen sein, in welchen andere nach dem Stand der Technik bekannte Arten der Bandführung und Temperierung verwendet werden, zum Beispiel Sektionen mit schleifendem Kontakt zwischen dem zu beschichtenden Band und einem konvexem Temperier- und Führungselement oder Sektionen mit über ein Zwischenband vermitteltem Wärmekontakt zwischen dem zu beschichtenden Band und einem Temperier- und Führungselement.
- Bezugszeichenliste
-
- 1
- bandförmiges Material
- 2
- Abschnitt in welchem das bandförmiges Material auf dem Trägerband aufliegt und von diesem transportiert wird
- 3
- Trägerband
- 4
- Prozesswalze
- 5
- Umlenkmittel
- 6
- Umlenkrolle
- 7
- Behandlungsquelle (z. B. Verdampfer)
- 8
- Drehachse des Umlenkmittels
Claims (13)
- Vorrichtung zum frontseitenberührungsfreien Transport von bandförmigem Material (1) zwischen einer ersten und einer zweiten Prozesswalze (4), bei welcher zwischen den Prozesswalzen (4) ein Umlenkmittel (5) zum Verdrehen des Bandlaufs des bandförmigen Materials (1), gegenüber dem von der ersten Prozesswalze (4) bestimmten Bandlaufs, angeordnet ist, welches eine Drehachse (8) aufweist die zur Drehachse der ersten Prozesswalze (4) einen von 0° verschiedenen Winkel einschließt, wobei das bandförmige Material (1) zwischen den Prozesswalzen (4) zumindest in einem Teilabschnitt (2), welcher das Umlenkmittel (5) einschließt, auf einem Trägerband (3) derart aufliegt, dass das Trägerband (3) das zu beschichtende bandförmige Material (1) auf einer Rückseite berührt und in diesem Teilabschnitt (2) eine Bewegung synchron zum bandförmige Material (1) ausführt, dadurch gekennzeichnet, dass das Umlenkmittel (5) axial und tangential in Bezug zur Drehachse (8) des Umlenkmittels (5) bewegbare Elemente aufweist.
- Vorrichtung nach
Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass das Umlenkmittel (5) ein feststehender Zylinder oder eine Transport- oder Bandführungsrolle ist. - Vorrichtung nach
Anspruch 1 oder2 , dadurch gekennzeichnet, dass das bandförmige Material (1) in dem Teilabschnitt (2) vor oder nach dem Umlenkmittel (5) über weitere Transport- oder Bandführungsrollen (6) geführt wird. - Vorrichtung nach einem der
Ansprüche 1 bis3 , dadurch gekennzeichnet, dass das Umlenkmittel (5) eine gleitfähige Oberfläche aufweist, welche eine Gleiten des Transportbandes (3) über das Umlenkmittel (5) ermöglicht. - Vorrichtung nach einem der
Ansprüche 1 bis4 , dadurch gekennzeichnet, dass die bewegbaren Elemente des Umlenkmittels (5) eine Streifen- oder Rollen- oder Kugelform aufweisen. - Vorrichtung nach einem der
Ansprüche 1 bis5 , dadurch gekennzeichnet, dass das Trägerband (3) ein in sich geschlossenes Endlosband ist. - Vorrichtung nach einem der
Ansprüche 1 bis6 , dadurch gekennzeichnet, dass das Trägerband (3) an den Rändern Aufnahmemittel zum Transport des Trägerbands (3) aufweist. - Vorrichtung nach einem der
Ansprüche 1 bis7 , dadurch gekennzeichnet, dass das Trägerband (3) als Metallband, faserverstärktes Kunststoffband, Gewebeband oder Laminatband ausgeführt ist. - Vorrichtung nach einem der
Ansprüche 1 bis8 , dadurch gekennzeichnet, dass einem Teilabschnitt der Oberfläche der Prozesswalze (4) gegenüberliegend Prozesskomponenten (7) wie Beschichtungsquellen angeordnet sind. - Vorrichtung nach einem der
Ansprüche 1 bis9 , dadurch gekennzeichnet, dass die Prozesswalze (4) eine Heiz- oder Kühlanordnung aufweist. - Vorrichtung nach einem der
Ansprüche 1 bis10 , dadurch gekennzeichnet, dass im Bandlauf zwischen den Prozesswalzen (4) Heiz- oder Kühlmittel angeordnet sind. - Vorrichtung nach einem der
Ansprüche 1 bis11 , dadurch gekennzeichnet, dass auf der Oberfläche des Trägerbands (3) Mitnahmemittel angeordnet sind. - Vorrichtung nach
Anspruch 12 , dadurch gekennzeichnet, dass die Mitnahmemittel als Noppen aufgeführt sind, welche eine Verminderung der Reibung zwischen dem Trägerband (3) und dem bandförmigen Material (1) gewährleisten.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102012206502.4A DE102012206502B4 (de) | 2012-04-19 | 2012-04-19 | Vorrichtung zum frontseitenberührungsfreien Transport von bandförmigem Material |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102012206502.4A DE102012206502B4 (de) | 2012-04-19 | 2012-04-19 | Vorrichtung zum frontseitenberührungsfreien Transport von bandförmigem Material |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102012206502A1 DE102012206502A1 (de) | 2013-10-24 |
DE102012206502B4 true DE102012206502B4 (de) | 2019-01-31 |
Family
ID=49290166
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102012206502.4A Expired - Fee Related DE102012206502B4 (de) | 2012-04-19 | 2012-04-19 | Vorrichtung zum frontseitenberührungsfreien Transport von bandförmigem Material |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102012206502B4 (de) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Publication number | Publication date |
---|---|
DE102012206502A1 (de) | 2013-10-24 |
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Date | Code | Title | Description |
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R012 | Request for examination validly filed | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R082 | Change of representative |
Representative=s name: PATENTANWAELTE LIPPERT, STACHOW & PARTNER, DE |
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R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: VON ARDENNE GMBH, DE Free format text: FORMER OWNER: VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH, 01324 DRESDEN, DE Effective date: 20140702 Owner name: VON ARDENNE ASSET GMBH & CO. KG, DE Free format text: FORMER OWNER: VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH, 01324 DRESDEN, DE Effective date: 20140702 |
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R082 | Change of representative |
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R016 | Response to examination communication | ||
R082 | Change of representative | ||
R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: VON ARDENNE ASSET GMBH & CO. KG, DE Free format text: FORMER OWNER: VON ARDENNE GMBH, 01324 DRESDEN, DE |
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R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R020 | Patent grant now final | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |