DE102012108742B4

DE102012108742B4 - Verfahren und Anordnung zum Transport von bandförmigen Materialien in Vakuumbehandlungsanlagen

Info

Publication number: DE102012108742B4
Application number: DE102012108742.3A
Authority: DE
Inventors: Michael Hentschel; Knobloch Manuela; Hubertus VON DER WAYDBRINK
Original assignee: Von Ardenne GmbH
Current assignee: Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Priority date: 2012-06-04
Filing date: 2012-09-18
Publication date: 2017-02-23
Anticipated expiration: 2032-09-19
Also published as: DE102012108742A1

Abstract

Verfahren zum Transport von bandförmigen Materialien (4) in Vakuumbehandlungsanlagen, in welchen das bandförmige Material (4) in mehreren nacheinander angeordneten Vakuumbehandlungssektionen (1) in einem Durchlauf- oder Batchverfahren behandelt wird, wobei das bandförmige Material (4) zumindest in Teilbereichen des Transportweges innerhalb einer Vakuumbehandlungssektion (1) auf einem Transportband (2) aufliegend transportiert wird, dadurch gekennzeichnet, dass der Transportweg des Transportbands (2) innerhalb der Vakuumbehandlungssektion (1) über mindestens eine Gleitelementwalze (8) verläuft, auf deren Mantelfläche Elemente bereitgestellt werden, welche eine Relativbewegung des Transportbandes (2) in Richtung der Achse der Gleitelementwalze (8) ermöglichen, wobei das Transportband (2) diese Gleitelementwalze (8) umschlingend an deren Mantelfläche anliegend geführt wird, dass das Transportband (2) in einem Bereich, der mindestens dem Umfang der Gleitelementwalze (8) entspricht, an deren Mantelfläche anliegend geführt wird.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zum Transport von bandförmigen Materialien in Vakuumbehandlungsanlagen, in welchen das bandförmige Material in mehreren nacheinander angeordneten Vakuumbehandlungssektionen in einem Durchlauf- oder Batchverfahren behandelt wird, wobei das bandförmige Material zumindest in Teilbereichen des Transportweges innerhalb einer Vakuumbehandlungssektion auf einem Transportband aufliegend transportiert wird.
Derartige Vakuumbehandlungssektionen sollen die Möglichkeit einer Gasseparation und somit verschiedene Behandlungsverfahren oder eine Beschichtung mit verschiedenen Materialien ermöglichen. Hierzu sind üblicherweise eine oder mehrere Vakuumbehandlungssektionen innerhalb einer evakuierbaren Prozesskammer, welche auch als Kompartment bezeichnet wird, angeordnet.
Beispielsweise kann derart eine Kunststofffolie mit mehren Schichten auf ihrer Oberfläche versehen werden, wobei als Behandlungsschritt auch ein Ätzprozess der Oberfläche denkbar ist. Insbesondere für Polyimid-, PET-, PEN- oder SiO₂-Folien.
Bei derartigen Verfahren ist bekannt, das bandförmige Material, nachfolgend auch als Substrat oder Substratband bezeichnet, mittels einer Transportvorrichtung entlang eines Transportpfades zu führen. Die Führung des Substratbands, das in verschiedenen Anwendungen, z. B. in der flexiblen Solarzellen- oder Displayherstellung, eine Länge von vielen Metern aufweisen kann, erfolgt entlang seines Transportpfades mittels verschiedener Führungsmittel, um ein gleichmäßiges und reproduzierbares Beschichtungsergebnis zu erzielen. Als Führungsmittel sind Rollen, Walzen oder andere, das Substratband durch die Eigenbewegung des Führungsmittels mitnehmende Vorrichtungen bekannt.
Weiterhin ist auch bekannt, das bandförmige Material in Teilbereichen des Transportweges auf ein Transportband aufzulegen und mit diesem gemeinsam beispielsweise durch einen Bereich, in dem ein Beschichtungsprozess abläuft, zu transportieren.
Im Rahmen der Substratbeschichtung ist es erforderlich, eine thermisch stimulierte Prozessumgebung herzustellen, indem das Substratband zumindest in einem Abschnitt des Beschichtungsprozesses, währenddessen oder vor oder nach dem Beschichten, auf eine bevorzugte Temperatur oder bevorzugten Temperaturbereich eingestellt, d. h. erwärmt oder Wärme abgeführt wird. Damit kann die abzuscheidende Schicht oder die bereits auf dem Substratband abgeschiedene Schicht in ihren Eigenschaften gezielt beeinflusst werden.
Für die verschiedenen Anwendungsfälle sind derzeit Substrattemperaturen im Bereich bis ca. 600°C erforderlich, wobei durchaus auch eine Stabilisierung der Substrattemperatur auf Raumtemperatur oder wenig darüber erforderlich sein kann. Je nach Art des Verfahrens, dem die Substrattemperierung dienen soll, und je Anforderungen an das behandelte Substratband können mittels der Temperatur beispielsweise die Haftungseigenschaften des Substrats oder von Beschichtungen des Substrats, deren optischen und/oder elektrischen Eigenschaften oder Schichtstrukturen und andere mehr gezielt beeinflusst werden. Insbesondere für PVD und CVD-Beschichtungsverfahren und bevorzugt für die Vakuumprozesse sind solche gezielten Temperaturregimes des Substratbands bekannt.
Der Stand der Technik wird weiterhin durch die Dokumente EP 2 339 047 A1 und EP 2 096 190 A1 gebildet. Aus der EP 1 881 087 A1 ist ein Heizband, aus der JP H11 - 236 669 A eine Bandheizung und aus der JP S59 - 143 066 A und der JP S59 - 150 083 A je eine Anordnung zur Bandkühlung bekannt.
Die Nachteile aus dem Stand der Technik liegen beispielsweise bei der in der EP 2 339 047 A1 beschriebenen Vorrichtung darin, dass bei einer linearen Anordnung mehrerer Behandlungsvorrichtungen eine hohe Bauhöhe erforderlich ist. Begründet ist die durch den zwischen zwei benachbarten Behandlungsvorrichtungen erforderlichen Höhenversatz. Das heißt, dass eine nachfolgende Behandlungsvorrichtung immer höher als die vorhergehende Behandlungsvorrichtung angeordnet ist, um den Bandlauf für das Substratband zu gewährleisten und sich somit ein treppenförmiger Aufbau über mehrere Behandlungsvorrichtungen ergibt.
Somit nimmt die Bauhöhe der Anlage mit jeder Behandlungsvorrichtung zu und es werden große (hohe) Produktionshallen notwendig bei einer entsprechend großen Anzahl von Behandlungsschritten. Somit nehmen die Baukosten einer entsprechenden Produktionshalle zu.
In der DE 10 2010 061 939 A1 ist eine Anordnung zum Herstellen von Mehrfachschichtsystemen auf bandförmigen Substraten offenbart, bei welcher ein Abwickler und ein Aufwickler zur Abgabe und Aufnahme des bandförmigen Substrats innerhalb der Prozesswalze angeordnet sind. Somit befinden sich diese Elemente innerhalb der Prozesskammer. Mit einer Anordnung bei der ein Abwickler und ein Aufwickler innerhalb der Prozesskammer angeordnet sind, ist ein Durchlaufverfahren nicht möglich. Mit dieser Anordnung ist auch eine mehrfache Umschlingung der Gleitelementwalze durch das Transportband nicht möglich.
Aus der WO 2005/006 350 A2 sind eine Anordnung und ein Verfahren zur Substratführung bekannt, wobei das Substrat einen Kühlblock mehrfach umschlingen kann. Allerdings ist damit eine berührungsfreie Führung des Substrats zwischen dem Abwickler und dem Aufwickler nicht möglich.
Aus der DE 10 2009 058 038 A1 ist eine Anordnung zum Temperieren von bandförmigen Substraten bekannt, bei welcher ein bandförmiges Substrat auf ein Transportband aufgelegt geführt wird. Hierin wird keine Gleitelementwalze verwendet, sodass weder ein einfaches noch ein mehrfaches Umschlingen durch das auf das Transportband aufgelegte Substrat möglich ist. Außerdem wird das Substrat gespannt transportiert und somit mechanisch beansprucht.
Die Aufgabe bei einem Verfahren und einer Anordnung der eingangs genannten Art besteht darin, ein Verfahren und eine zugehörige Anordnung zum Transport bandförmiger Materialien anzugeben, welche die Nachteile des Standes der Technik überwindet und die die Wärmeübertragung auf ein bandförmiges Substrat insbesondere in der Beschichtungsumgebung verbessert und mit geringerem technischen Aufwand realisierbar ist.
Zur Lösung der Aufgabenstellung wird ein Verfahren zum Transport von bandförmigen Materialien in Vakuumbehandlungsanlagen beschrieben, bei dem der Transportweg des Transportbands innerhalb der Vakuumbehandlungssektion über mindestens eine Gleitelementwalze verläuft, auf deren Mantelfläche Elemente bereitgestellt werden, welche ein Relativbewegung des Transportbandes (2) in Richtung der Achse der Gleitelementwalze (8) ermöglichen, wobei das Transportband diese Gleitelementwalze umschlingend an deren Mantelfläche anliegend geführt wird. Das Transportband wird dabei in einem Bereich, der mindestens dem Umfang der Gleitelementwalze entspricht, an deren Mantelfläche anliegend geführt.
Wie aus dem Stand der Technik bekannt, wird das zu beschichtende bandförmige Material in Teilbereichen des Transportweges auf ein Transportband aufgelegt und mit diesem gemeinsam beispielsweise durch einen Bereich, in dem eine Prozessquelle zur Beschichtung der Oberfläche des bandförmigen Materials angeordnet ist, geführt.
Die Erfindung sieht vor, dass das Transportband über eine Gleitelementwalze geführt wird, wobei das Transportband an der Manteloberfläche der Gleitelementwalze anliegt und der Transportweg entlang des Umfangs der Gleitelementwalze verläuft. Das zu beschichtende bandförmige Material wird auf das derart geführte Transportband aufgelegt und ebenfalls um die Gleitelementwalze herum transportiert ohne eine Berührung der zu beschichtenden Oberfläche.
Als eine Gleitelementwalze wird erfindungsgemäß eine Walze verstanden, welche eine Prozesswalze, eine Umlenkwalze oder Rolle sein kann und welche auf ihrer Mantelfläche Elemente aufweist, die eine Relativbewegung eines auf die Walze aufgelegten Bandes zumindest in Richtung der Achse der Walze ermöglichen.
In einer Ausführung der Erfindung ist vorgesehen, dass der Transportweg des Transportbands über die Gleitelementwalze einen seitlichen Versatz aufweist.
Damit das Transportband die Gleitelementwalze in einem Abschnitt von 360°, also einer vollen Umdrehung umschlingen kann, ist erfindungsgemäß vorgesehen, dass das Transportband mit einem seitlichen Versatz geführt wird. Der Transportweg des Transportbandes verläuft in einem etwa 90° entsprechenden Winkel zur Achse der Gleitelementwalze hin und weiter auf der Oberfläche der Gleitelementwalze mit einem Versatz nach rechts oder links zur Vermeidung einer Berührung des Transportbandes nach einer vollen Umkreisung der Gleitelementwalze.
Die Erfindung sieht vor, dass das Transportband die Gleitelementwalze mehr als ein Mal umrundet. Vorteilhaft ist beispielsweise eine Ausführung in der das Transportband die Gleitelementwalze drei Mal umrundet. Hierbei wird das zu beschichtende bandförmige Material nach der ersten Umrundung auf das Transportband aufgelegt und nach der zweiten Umrundung von diesem wieder abgenommen.
In einer Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, dass das bandförmige Material vor einer, im Transportweg des Transportbands über der Mantelfläche der Gleitelementwalze beabstandet angeordneten, Prozessquelle auf das Transportband aufgelegt und mit diesem mindestens durch den Wirkungsbereich dieser Prozessquelle mit der Geschwindigkeit des Transportbands mitgeführt wird, bevor es nachfolgend vom Transportband abgehoben wird.
Das bandförmige Material wird beispielsweise nach der oben beschriebenen ersten Umrundung auf das Transportband aufgelegt, mit diesem mit der gleichen Geschwindigkeit durch einen Beschichtungsbereich transportiert und nach Verlassen des Beschichtungsbereiches vom Transportband, beispielsweise nach der zweiten Umrundung der Gleitelementwalze, wieder abgehoben.
Ein Vorteil der Erfindung besteht darin, dass das bandförmige Material im Bereich von 360° entlang des Umfangs der Kugelrollenwalze aufgelegt transportiert wird. Somit besteht die Möglichkeit, entlang dieses Umfangs mehrere Prozessstationen anzuordnen, um beispielsweise mehrere Schichten auf die Oberfläche des bandförmigen Materials nacheinander aufzubringen.
In einer anderen Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, dass das bandförmige Material auf das Transportband mittig aufgelegt wird.
Das beschichtende bandförmige Material wird auf ein üblicherweise breiteres Transportband mittig aufgelegt, sodass sich rechts und links vom bandförmigen Material in etwas gleich Abstände zum Rand des Transportbandes ergeben. Derart wird eine Berührung der Oberfläche der Gleitelementwalze durch das zu beschichtende bandförmige Material verhindert.
In einer Ausführungsvariante der Erfindung ist vorgesehen, dass das bandförmige Material über mehrere Vakuumbehandlungssektionen in einer Ebene geführt wird.
Gemäß der Erfindung gibt es durch das Umschlingen der Gleitelementwalze keinen Höhenversatz zwischen dem zur Walze hinführenden und dem von der Walze wegführenden Transportweg des bandförmigen Materials. Somit kann das Zu- und Abführen des bandförmigen Materials zu einer oder auch zu mehreren Gleitelementwalzen in einer Ebene erfolgen und der aus dem Stand der Technik bekannte nachteilige Höhenversatz vermieden werden.
In einer anderen Ausführung der Erfindung ist vorgesehen, dass das bandförmige Material im Bereich der Mantelfläche der Gleitelementwalze erwärmt oder gekühlt wird.
Die erfindungsgemäße Gleitelementwalze ist derart ausgeführt, dass sie entlang ihrer Oberfläche Durchbrüche aufweist. Somit ist es möglich, innerhalb der Gleitelementwalze Mittel zum Erwärmen oder Kühlen des bandförmigen Materials anzuordnen. Diese Durchbrüche ermöglichen beispielsweise den Wärmestrom eines innerhalb der Gleitelementwalze angeordneten Heizstrahlers durch die Durchbrüche hindurch über das beispielsweise Metalltransportband zum zu beschichtenden bandförmigen Material.
Zur Lösung der Aufgabenstellung wird eine Anordnung zum Transport von bandförmigen Materialien in Vakuumbehandlungsanlagen beschrieben, bei dem in einer Vakuumbehandlungssektion ein Transportband, Umlenkrollen sowie Spannrollen zur Führung des das zu beschichtende Material transportierenden Transportbandes sowie eine Gleitelementwalze, welche auf ihrer Mantelfläche angeordnete Kugelrollen aufweist, derart angeordnet sind, dass das zu beschichtende bandförmige Material zur Gleitelementwalze hin und von dieser fort in der gleichen Ebene mit einem seitlichen Versatz geführt wird. Alle am Transport des bandförmigen Materials beteiligten Elements sind auf der der Beschichtungsseite des bandförmigen Materials abgewandten Seite angeordnet.
Die Erfindung sieht vor, dass zu jeder Vakuumbehandlungssektion ein Endlostransportband, beispielsweise als Metallband ausgeführt, derart angeordnet ist, dass es die in der Vakuumbehandlungssektion angeordnete Gleitelementwalze mindestens ein Mal umschlingt.
Zu diesem Zweck sind neben den bereits genannten Mitteln weitere Führungsrollen zur Spurhaltung, Umlenkrollen und Spannrollen in jeder Vakuumbehandlungssektion angeordnet.
Jede dieser Vakuumbehandlungssektionen wird in einer separaten evakuierbaren Kammer, welche auch als Prozesskammer oder Kompartment bezeichnet wird, angeordnet. Alternativ können auch mehrere Vakuumbehandlungssektionen in einer evakuierbaren Kammer gemeinsam angeordnet werden.
In einer Ausführung der Erfindung ist vorgesehen, dass auf der Oberfläche der Gleitelementwalze und/oder der Umlenkrolle Kugelrollen angeordnet sind.
Um eine Führung des Transportbandes über die Oberfläche der Gleitelementwalze mit einem seitlichen Versatz zu ermöglich, sind über die Oberfläche der Gleitelementwalze verteilt Gleitelemente angeordnet. In einer Variante sind die Gleitelemente als Kugelrollen ausgeführt, wobei andere Ausführungen, welche ein schraubenförmiges Ansteigen oder Verlaufen des Transportbandes auf der Oberfläche der Gleitelementwalze verhindern, möglich sind.
Diese Kugelrollen ermöglichen dem Transportband ein Gleiten über die Oberfläche der Gleitelementwalze auch in einer, bezogen auf die Transportrichtung des Transportbandes, seitlichen Richtung. Es ist vorgesehen, außer der Oberfläche der Gleitelementwalze auch beispielsweise die Oberfläche einer Umlenkrolle mit Kugelrollen auszustatten.
In einer Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, dass die Gleitelementwalze Öffnungen auf ihrer Mantelfläche aufweist, um einen Erwärmungs- oder Kühlvorgang des bandförmigen Materials zu verbessern.
Die Oberfläche der Gleitelementwalze weist Öffnungen oder Durchbrüche verteilt über ihrer Mantelfläche auf. Mittels dieser Öffnungen wird beispielsweise ein aus dem Inneren der Kugelrollenwalz in Richtung des zu beschichtenden bandförmigen Materials gerichteter Wärmestrom verbessert. Ein weiterer Vorteil dieser Öffnungen besteht in der Reduzierung des Gewichts der Gleitelementwalze.
In einer anderen Ausführung der Erfindung ist vorgesehen, dass innerhalb der Gleitelementwalze Mittel zum Heizen und/oder Kühlen des bandförmigen Materials angeordnet sind.
Erfindungsgemäß ist vorgesehen, innerhalb der Gleitelementwalze eine mehrere Mittel zum Heizen und/oder Kühlen des bandförmigen Materials anzuordnen. Derart ist es möglich, das bandförmige Material beispielsweise vor einem Beschichtungsprozess vorzuwärmen. Eine alternative Variante besteht im Kühlen des bandförmigen Materials nach einem erfolgten Beschichtungsprozess.
In einer besonderen Ausführung der Erfindung ist vorgesehen, dass zwischen den Vakuumbehandlungssektionen Mittel zur Gasseparation angeordnet sind.
Zwischen zwei benachbarten Vakuumbehandlungssektionen ist vorgesehen, Mittel zur Gasseparation anzuordnen. Diese ermöglichen es, in verschiedenen Beschichtungsbereichen unterschiedliche Gase oder Gasgemische im Beschichtungsprozess anzuwenden.
In einer weiteren Ausführung der Erfindung ist vorgesehen, dass mehrere Vakuumbehandlungssektionen innerhalb einer evakuierbaren Kammer angeordnet sind.
Es ist vorgesehen, mehrere Vakuumbehandlungssektionen innerhalb einer gemeinsamen evakuieren Kammer anzuordnen. Somit können innerhalb einer gemeinsamen Kammer mehrere Beschichtungsprozesse des bandförmigen Materials nacheinander ausgeführt werden. In einer anderen Variante ist vorgesehen, mehrere Prozessquellen entlang des Umfangs einer Gleitelementwalze anzuordnen und somit innerhalb einer Vakuumbeschichtungssektion mehrere Beschichtungsvorgänge nachfolgend durchzuführen.
Weitere Vorteile der Erfindung werden nachfolgend genannt:

• Der Prozess erfordert keine konvexe Folienführung nach oben, mit dem Hintergrund die Beschichtungsseite nicht zu berühren.
• Unterstützung verschiedener Prozesstemperaturen von 20°C bis 600 °C.
• Unterstützung einer thermisch stimulierbaren Prozessumgebung.
• Verwendung von baugleichen oder verschiedenen Kompartments/Vakuumbehandlungssektionen.
• Drucktechnische Trennung der Prozesse in den Vakuumbehandlungssektionen.
• Gastechnische Trennung der Prozesse in den Vakuumbehandlungssektionen (Gasseparation).
• Erhöhung der Anzahl nachfolgender Behandlungsschritte ohne eine nachteilige Zunahme der Bauhöhe der Behandlungsanlagen durch die Gestaltung der Behandlungsschritte auf einer Ebene.

Die Erfindung soll nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert werden. In den zugehörigen Zeichnungen zeigt
1 eine erfindungsgemäße Anordnung, welche sich über drei Behandlungssektionen erstreckt,
2 eine erste Detaildarstellung einer Behandlungssektion und
3 eine zweite Detaildarstellung einer Behandlungssektion.
In der 1 sind mehrere Vakuumbehandlungssektionen 1 dargestellt, welche zur Durchführung unterschiedlicher Behandlungsschritte innerhalb einer Vakuumbeschichtungsanlage geeignet sind.
Eine mögliche Trennung der drei Vakuumbehandlungssektionen 1 in drei unabhängig voneinander evakuierbare Kammern oder Kompartments Wänden ist alternativ vorgesehen aber in der 1 nicht dargestellt. Die 1 beinhaltet lediglich die für den Transport des bandförmigen Materials wesentlichen Bestandteile der Vakuumbehandlungssektionen 1 einer Vakuumbehandlungsanlage, welche beliebig erweiterbar ist.
Die Kammern werden stahlbautechnisch einzeln, getrennt voneinander zur drucktechnischen Trennung der Prozesse voneinander ausgeführt.
Ein Transportband 2 verläuft über die Gleitelementwalze 8 spiralförmig. Das Transportband 2 verläuft außerdem jeweils über zwei Umlenkrollen 6 und mehrere Spannrollen 7. Das Transportband 2 kann als ein Metallband ausgeführt sein und ist ein Endlosband.
Das zu behandelnde bandförmige Material 4 wird im Bereich der Gleitelementwalze 8 vom Transportband 2 aufgenommen und um die Gleitelementwalze 8 derart geführt, dass zwischen der Eingangs- und der Ausgangsebene kein Höhenversatz auftritt.
Unterhalb der Gleitelementwalze 8 sind Prozessquellen 11 beispielsweise zur Beschichtung des Bandmaterials dargestellt. Entlang des Transportwegs des bandförmigen Materials 4 können mehrere Prozessquellen 11 nacheinander angeordnet werden.
Die Erfindung zeigt in der 1 bis 3, dass das Transportband 2 die Gleitelementwalze 8 für drei volle Umrundungen der Gleitelementwalze 8, also drei mal 360°, in jeder Vakuumbeschichtungssektion 1 umschlingt. Abweichend von diesem Beispiel ist auch eine andere Anzahl von 360° Umschlingungen realisierbar. Der Vorteil mehrerer Umschlingungen ist die Vergrößerung des Beschichtungsbereiches für das bandförmige Material 2. Somit können im Umschlingungsbereich mehrere Prozessquellen 11 angeordnet werden.
Weiterhin sind Führungsrollen 5 zur Spurhaltung des Transportbands 2 dargestellt. Da das Transportband 2 sowohl über die Gleitelementwalze 8 als auch über die Umlenkrollen 6 über Kugelrollen, welche auch eine seitliches gleiten über die Mantelflächen der Walze oder Rollen ermöglichen, geführt wird, verhindern die Führungsrollen 5 ein seitliches weggleiten des Transportbands 2 von den Rollen oder Walzen.
Eingangsseitig ist noch eine Folienrolle 3, beispielsweise als eine unbeschichtete Rolle ausgeführt, und ausgangsseitig eine Folienrolle 9 in einer beschichteten Ausführung dargestellt. Optional können die Rollen 6 und/oder 7 angetrieben werden.
Es ist vorgesehen, dass die Gleitelementwalze 8 und/oder die Umlenkrollen 6 auf ihren Mantelflächen verteilt Kugelrollen 12 aufweisen. Mittels dieser Kugelrollen 12 wird auf diesen Rollen und/oder Walzen eine Oberfläche bereitgestellt, auf welcher das Transportband 2 in Richtung der Achse der jeweiligen Rolle oder Walze auf deren Oberfläche gleiten kann. Somit wird ein Verlaufen oder „steigen“ des Bandes auf der Walzen- oder Rollenoberfläche vermieden.
Derartige Kugelrollen bestehen meist aus einer in einer Kugelpfanne eingelegten Laufkugel, welche gemeinsam in einem Gehäuse eingebracht sind, wobei die Laufkugel zumindest teilweise durch eine Öffnung des Gehäuses oder des Gehäusedeckels aus diesem herausragt.
Zur Realisierung einer Drehbarkeit der Laufkugel in alle Richtungen, auch unter einer Druckbelastung, werden zwischen der Laufkugel und der die Kugel aufnehmenden Kugelpfanne sogenannte Trag- und Füllkugeln angeordnet.
Die Gehäuse dieser Kugelrollen werden auf der Mantelfläche der Gleitelementwalze verteilt durch ein Einschrauben oder Einstecken befestigt.
Zum Einsatz kommen beispielsweise aus dem Stand der Technik bekannte Kugelrollen des Typs R310DE 2910 (2006.11) der Firma Rexroth Bosch Group oder ähnliche.
Die 2 und 3 zeigen je eine Vakuumbehandlungssektion 1 zum besseren Verständnis aus einer anderen Perspektive. In der 2 und 3 sind auch die Kugelrollen 12 auf den Walzen und/oder Rollen in einer verbesserten Darstellung gezeigt.
Die Gestaltung der Gleitelementwalze 8 mit ihren Öffnungen ist ebenfalls in der 3 und 4 zu sehen. Diese Öffnungen ermöglichen ein besseres Heizen oder Kühlen des Substrats 4 durch innerhalb der Gleitelementwalze 8 angeordneter Mittel zum Heizen oder Kühlen, welche in den Figuren nicht dargestellt sind.
Bezugszeichenliste

1: Vakuumbehandlungssektion
2: Transportband
3: Folienrolle unbeschichtet
4: bandförmiges Material/Substrat (Folie)
5: Führungsrollen zur Spurhaltung des TEB
6: Metallband Umlenkrollen (optional angetrieben)
7: Metallband Spannrollen (optional angetrieben)
8: Gleitelementwalze (optional angetrieben und/oder temperiert)
9: Folienrolle beschichtet
10: Heiz- bzw. Kühlvorrichtung
11: Prozessquellen
12: Kugelrollen

Claims

Verfahren zum Transport von bandförmigen Materialien (4) in Vakuumbehandlungsanlagen, in welchen das bandförmige Material (4) in mehreren nacheinander angeordneten Vakuumbehandlungssektionen (1) in einem Durchlauf- oder Batchverfahren behandelt wird, wobei das bandförmige Material (4) zumindest in Teilbereichen des Transportweges innerhalb einer Vakuumbehandlungssektion (1) auf einem Transportband (2) aufliegend transportiert wird, dadurch gekennzeichnet, dass der Transportweg des Transportbands (2) innerhalb der Vakuumbehandlungssektion (1) über mindestens eine Gleitelementwalze (8) verläuft, auf deren Mantelfläche Elemente bereitgestellt werden, welche eine Relativbewegung des Transportbandes (2) in Richtung der Achse der Gleitelementwalze (8) ermöglichen, wobei das Transportband (2) diese Gleitelementwalze (8) umschlingend an deren Mantelfläche anliegend geführt wird, dass das Transportband (2) in einem Bereich, der mindestens dem Umfang der Gleitelementwalze (8) entspricht, an deren Mantelfläche anliegend geführt wird.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Transportweg des Transportbands (2) über die Gleitelementwalze (8) einen seitlichen Versatz aufweist.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das bandförmige Material (4) vor einer, im Transportweg des Transportbands (2) über der Mantelfläche der Gleitelementwalze (8) beabstandet angeordneten, Prozessquelle (11) auf das Transportband (2) aufgelegt und mit diesem mindestens durch den Wirkungsbereich dieser Prozessquelle (11) mit der Geschwindigkeit des Transportbands (2) mitgeführt wird, bevor es nachfolgend vom Transportband (2) abgehoben wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das bandförmige Material (4) auf das Transportband (2) mittig aufgelegt wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das bandförmige Material (4) über mehrere Vakuumbehandlungssektionen (1) in einer Ebene geführt wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das bandförmige Material im Bereich der Mantelfläche der Gleitelementwalze (8) erwärmt oder gekühlt wird.
Anordnung zum Transport von bandförmigen Materialien (4) in Vakuumbehandlungsanlagen, in welchen das bandförmige Material (4) in mehreren nacheinander angeordneten Vakuumbehandlungssektionen (1) über Transport- und Führungsrollen (3, 9) und zumindest in einem Teilbereich des Transportweges auf einem Transportband (2) aufliegend geführt wird, dadurch gekennzeichnet, dass in einer Vakuumbehandlungssektion (1) ein Transportband (2), Umlenkrollen (6) sowie Spannrollen (7) zur Führung des das zu beschichtende Material transportierenden Transportbandes (2) sowie eine Gleitelementwalze (8), welche auf ihrer Mantelfläche angeordnete Kugelrollen (12) aufweist, derart angeordnet sind, dass das zu beschichtende bandförmige Material (4) zur Gleitelementwalze (8) hin und von dieser fort in der gleichen Ebene mit einem seitlichen Versatz geführt wird und dass alle am Transport des bandförmigen Materials beteiligten Elemente auf der der Beschichtungsseite des bandförmigen Materials (4) abgewandten Seite angeordnet sind.
Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass auf der Oberfläche der Gleitelementwalze (8) und/oder der Umlenkrolle (6) Kugelrollen angeordnet sind.
Anordnung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Gleitelementwalze (8) Öffnungen auf ihrer Mantelfläche aufweist, um einen Erwärmungs- oder Kühlvorgang des bandförmigen Materials zu verbessern.
Anordnung nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass innerhalb der Gleitelementwalze (8) Mittel zum Heizen und/oder Kühlen des bandförmigen Materials angeordnet sind.
Anordnung nach einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den Vakuumbehandlungssektionen (1) Mittel zur Gasseparation angeordnet sind.
Anordnung nach einem der Ansprüche 7 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Vakuumbehandlungssektionen (1) innerhalb einer evakuierbaren Kammer angeordnet sind.