DE102012206502A1

DE102012206502A1 - Vorrichtung zum frontseitenberührungsfreien Transport von bandförmigem Material

Info

Publication number: DE102012206502A1
Application number: DE201210206502
Authority: DE
Inventors: Carsten Deus; Michael Hentschel
Original assignee: Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Current assignee: Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Priority date: 2012-04-19
Filing date: 2012-04-19
Publication date: 2013-10-24
Anticipated expiration: 2032-04-20
Also published as: DE102012206502B4

Abstract

Der Erfindung, welche eine Vorrichtung zum frontseitenberührungsfreien Transport von bandförmigem Material zwischen einer ersten und einer zweiten Prozesswalze betrifft, bei welcher zwischen den Prozesswalzen ein Umlenkmittel zum Verdrehen des Bandlaufs des bandförmigen Materials gegenüber dem von der ersten Prozesswalze bestimmten Bandlaufs angeordnet ist, welches eine Drehachse aufweist die zur Drehachse dieser ersten Prozesswalze einen von 0° verschiedenen Winkel einschließt, liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung anzugeben welche einen frontseitenberührungsfreien Transport ermöglicht und die aus dem Stand der Technik bekannten Beanspruchungen des bandförmigen Materials vermeidet. Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, dass das bandförmige Material zwischen den Prozesswalzen zumindest in einem Teilabschnitt, welcher das Umlenkmittel einschließt, auf einem Trägerband derart aufliegt, dass das Trägerband das zu beschichtende bandförmige Material auf einer Rückseite berührt und in diesem Teilabschnitt eine Bewegung synchron zum bandförmige Material ausführt.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum frontseitenberührungsfreien Transport von bandförmigem Material zwischen einer ersten und einer zweiten Prozesswalze, bei welchem zwischen den Prozesswalzen ein Umlenkmittel zum Verdrehen des Bandlaufs des bandförmigen Materials gegenüber dem von der ersten Prozesswalze bestimmten Bandlaufs angeordnet ist, welches eine Drehachse aufweist die zur Drehachse dieser ersten Prozesswalze einen von 0° verschiedenen Winkel einschließt.
Zur Oberflächenbehandlung von bandförmigem Material, beispielsweise in Vakuumbeschichtungsanlagen mittels eines im Vakuum ablaufenden Beschichtungs- oder Behandlungsprozesses, wird dieses meist von einer Abwickelrolle über mehrere Transportrollen und Prozesswalzen geführt und auf einer Aufwickelrolle aufgewickelt.
Dabei wird das bandförmige Material beispielsweise im Bereich einer Prozesswalze auf seiner Vorder- oder Frontseite mit einer gewünschten Schicht versehen. Nach diesem Aufbringen der Schicht muss das bandförmige Material zu einer weiteren Prozesswalze oder zur Aufwickelrolle transportiert werden. In vielen Fällen ist es notwendig eine Berührung der Frontseite des bandförmigen Materials zu vermeiden, da die Schicht beispielsweise keiner mechanischen Belastung standhält oder ein Schichtaufbau, welcher über mehrere Prozesswalzen mit ihren zugehörigen Behandlungsquellen erfolgen soll, durch Kratzer oder Verunreinigungen negativ beeinflusst wird.
Zur Realisierung eines frontseitenberührungsfreien Transports eines bandförmigen Materials sind aus dem Stand der Technik mehrere Lösungen bekannt.
So ist aus der DE 10 2009 060 413 eine Vorrichtung zum Transport bandförmiger Substrate bekannt, bei welcher das Band durch Verdrillung in einer Freilaufstrecke umgelenkt wird. Dabei wird das bandförmige Substrat über mehrere Behandlungswalzen geführt, ohne dass dazu eine Berührung der Frontseite durch Walzen erforderlich ist.
Ein Nachteil dieser Lösung liegt darin, dass die bei der Verdrillung auftretenden Laufwegdifferenzen zwischen einer sogenannten neutralen Faser in der Bandmitte und den Fasern an den Bandkanten, zu unerwünschten Materialdehnungen im Bereich der Kanten des bandförmigen Substrats führen können.
Aus der DE 10 2008 029 379 ist ein weiterer Stand der Technik bekannt, welcher eine Beschichtungsanlage mit frontseitenberührungsfreier Führung eines flexiblen Substrates in Form einer Kettenlinie beschreibt.
Ein Nachteil dieser Lösung ist, dass das Substrat in Nähe der Behandlungsstationen frei durch das Vakuum geführt wird, wodurch eine unerwünschte Temperaturerhöhung infolge der durch den Behandlungsprozess eingetragenen Wärme auftreten kann, da Wärmeabgabe in diesem Abschnitt nur durch Wärmeabstrahlung erfolgen kann.
Aus der EP2113585 ist eine Führungseinrichtung für ein flexibles Substrat bekannt, bei welchem eine gegenüber der Richtung senkrecht zur Substrattransportrichtung geneigten Rolle verwendet wird.
Dieses Verfahren ist ähnlich dem oben beschriebenen ersten Stand der Technik und weist denselben Nachteil auf.
Die WO2010/090504 beschreibt eine Beschichtungsapparatur, bei der ein bandförmiges Substrat zwischen zwei Substrat-Kühlvorrichtungen über einen Umlenkmechanismus frontseitenberührungsfrei umgelenkt wird, wobei zum Umlenken gegenüber der Richtung senkrecht zur Substrattransportrichtung in der Substratebene verdrehte Walzen verwendet werden. Da bei dieser Art der Walzenverdrehung verbunden mit einer spiraligen Führung des Bandes über die Walzen ein Klettern des Bandes entlang der Walzenachsen auftreten würde, werden spezielle Walzen eingesetzt, welche auf ihrer Mantelfläche axial verschiebbare streifenförmige Oberflächenelemente aufweisen, welche beim Umlauf der Walze entlang der Walzenachse verschoben werden und so der Kletterbewegung des Bandes entgegenwirken, um dann im von Substrat freien Winkelsektor der Walzenumdrehung durch elastische Elemente in ihre Ausgangslage zurückgezogen zu werden.
Nachteile dieser Lösung sind der erforderliche Bauraum, der relativ komplexe störanfällige Aufbau der Umlenkwalzen mit den streifigen Elementen sowie die starke mechanische Beanspruchung des Folienmaterials bei Führung über die mit streifigen Elementen versehenen Walzen, wobei insbesondere die Kanten der streifigen Elemente zu Einprägungen in das zu beschichtende Bandmaterial oder zu anderen Beschädigungen führen können.
Aus der DE 10 2009 003 556 sind weitere Möglichkeiten zur Umlenkung von Folien aus der ursprünglichen Transportebene heraus bekannt, insbesondere durch schleifende Führung über starre Rollen, durch Führung über Luftkissenrollen oder ultraschallunterstützte Luftkissen-Führungselemente.
Die dort genannten Verfahren haben die Nachteile, dass eine schleifende Umlenkung zu elektrostatischer Aufladung führt oder Kratzer und Partikel generieren kann. Eine Luftkissen- und ultraschallgestützte Führungen führen bei einem Einsatz im Vakuum zu Beeinträchtigung des Vakuum-Beschichtungsprozesses.
Die Aufgabe der Erfindung besteht somit darin, eine Vorrichtung zum Transport von bandförmigem Material anzugeben, welche einen frontseitenberührungsfreien Transport ermöglicht und die aus dem Stand der Technik bekannten Beanspruchungen des bandförmigen Materials vermeidet.
Gemäß der Erfindung wird die Aufgabe mit einer Vorrichtung zum frontseitenberührungsfreien Transport von bandförmigem Material der eingangs genannten Art dadurch gelöst, dass das bandförmige Material zwischen den Prozesswalzen zumindest in einem Teilabschnitt, welcher das Umlenkmittel einschließt, auf einem Trägerband derart aufliegt, dass das Trägerband das zu beschichtende bandförmige Material auf einer Rückseite berührt und in diesem Teilabschnitt eine Bewegung synchron zum bandförmigen Material ausführt.
Die Erfindung ermöglicht einen frontseitenberührungsfreien Transport von bandförmigem Material in einer Vakuumbeschichtungsanlage zwischen zwei Prozesswalzen. Dabei wird unter einer Prozesswalze in dieser Beschreibung eine Walze verstanden, über deren Mantelfläche das bandförmige Material die Prozesswalze zumindest teilweise umschlingend geführt wird.
Üblicherweise ist in dem von dem bandförmigen Material umschlungenen Bereich der Prozesswalze, der Mantelfläche der Prozesswalze gegenüber liegend, mindestens eine Prozessierungsstation oder Beschichtungsquelle angeordnet.
Derartige Prozessierungsstationen können als Beschichtungsstationen (Verdampfer, Magnetronquellen, allgemein PVD-Quellen, CVD-Quellen, Nass-Beschichtungsquellen, ALD-Quellen), Vorbehandlungsstationen (Plasmavorbehandlung, Heizquellen), Nachbehandlungsstationen (Heizstationen, Härtungsstationen) oder Strukturierungsstationen (Laserstrukturierung, Scribing) ausgeführt sein.
Erfindungsgemäß wird das bandförmige Material zumindest in einem Teilbereich der Transportstrecke zwischen einer ersten und einer zweiten Prozesswalze ohne direkten Kontakt mit einem verdrillfrei arbeitenden Umlenkmittel oder einer Umlenkrolle zur zweiten Prozesswalze geführt.
Das bandförmige Material liegt in diesem Teilbereich auf dem Transportband auf, welches als ein flexibles Band ausgeführt ist, das bandförmige Material in diesem Teilbereich stützt und dadurch transportiert, dass das Transportband mit einer vorgegebenen Geschwindigkeit durch den Teilbereich gezogen wird. Durch das direkte Aufliegen des bandförmigen Materials auf dem Transportband erfolgt die Mitnahme des bandförmigen Materials synchron zur Bewegung des Transportbandes.
Die Anordnung des Transportbandes zwischen dem bandförmigen Material und dem Umlenkmittel verhindert die aus dem Stand der Technik bekannten mechanischen Belastungen des bandförmigen Materials.
In einer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass das Umlenkmittel ein feststehender Zylinder oder eine Transport- oder Bandführungsrolle ist.
Das Umlenkmittel kann verschiedene Ausführungsformen aufweisen, wie beispielsweise die eines feststehenden Zylinders, eines Leitblechs oder einer Transport- oder Bandführungsrolle. Zur Ablenkung der Folie in eine andere Richtung können auch konische Rollen Verwendung finden.
In einer Ausführungsform ist vorgesehen, dass das bandförmige Material in dem Teilabschnitt vor oder nach dem Umlenkmittel über weitere Transport- oder Bandführungsrollen geführt wird.
Das bandförmige Material kann von der ersten Prozesswalze zu einer zweiten Prozesswalze über eine oder mehrere Umlenkmittel und auch optional über weitere Umlenkrollen geführt werden. Somit kann eine Anpassung des Transports des bandförmigen Materials an verschieden Vorgaben bezüglich der Anordnung der Prozesswalzen erfolgen.
In einer anderen Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass das Umlenkmittel eine gleitfähige Oberfläche aufweist, welche ein Gleiten des Transportbandes über das Umlenkmittel ermöglicht.
Wenn das Umlenkmittel, beispielsweise als Leitblech und nicht als eine drehbare Rolle ausgeführt wird, muss die Oberfläche des Umlenkmittels ein Gleiten des Transportbandes über die Oberfläche ermöglichen.
In einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass das Umlenkmittel radial und tangential zur Drehachse des Umlenkmittels bewegbare Elemente aufweist.
Aus dem Stand der Technik ist bekannt, dass sich ein Band bei einem Transport über ein Umlenkmittel, wenn es auf einer sogenannten Spiralbahn geführt wird, entlang der Drehachse des Umlenkmittels also somit seitlich in Bezug auf die Transportrichtung des Bandes bewegt. Diese Bewegung kann zum einen dadurch entgegengewirkt werden, dass dem Band beim Transport über das Umlenkmittel ein seitliches Zurückgleiten durch eine entsprechend ausgeführte Oberfläche des Umlenkmittels ermöglicht wird. Zum anderen kann das Umlenkmittel tangential und radial bewegbare Elemente aufweisen, welche die seitliche Bewegung des Bandes ausgleichen. Eine derartige Ausführung ist beispielsweise in der WO 2010/090504 in einer in der 4 dieser Offenbarung beschriebenen Ausführung einer Transportrolle dargestellt.
In einer besonderen Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die bewegbaren Elemente des Umlenkmittels eine Streifen- oder Rollen- oder Kugelform aufweisen.
Derartige bewegbare Elemente können beispielsweise in Streifen- oder Rollen- oder Kugelform ausgeführt werden.
In einer anderen Ausführung ist vorgesehen, dass das Trägerband ein in sich geschlossenes Endlosband ist.
Das Trägerband kann von einer Abwickelrolle über den Teilabschnitt zu einer Aufwickelrolle geführt werden. Eine vorteilhaftere Ausgestaltung besteht darin, dass das Trägerband als Endlosschleife ausgeführt wird. Somit kann das Trägerband, nachdem es den Teilabschnitt durchlaufen hat, über eine oder mehrere Umlenkrollen wieder zum Teilbereich zurückgeführt werden. Hierbei kann eine Umlenkrolle auch als Spannrolle oder als Antriebsrolle für das Trägerband fungieren.
In einer Weiterbildung ist vorgesehen, dass das Trägerband an den Rändern Aufnahmemittel zum Transport des Trägerbands aufweist.
Um einen formschlüssigen Transport des Trägerbandes zu ermöglichen, wird das Trägerband an den Rändern mit Aufnahmemitteln für einen Antrieb ausgeführt. Dies kann beispielsweise in der Form einer Perforation erfolgen, in welche ein entsprechend gestaltetes Antriebsrad zum Transport des Trägerbandes eingreifen kann.
In einer Ausführung ist vorgesehen, dass das Trägerband als Metallband, faserverstärktes Kunststoffband, Gewebeband oder Laminatband ausgeführt ist.
Das Trägerband kann beispielsweise zum Transport eines bandförmigen Materials bestehend aus Polymerfolie oder dünner Metallfolie als ein Metallband oder ein faserverstärktes Kunststoffband ausgeführt werden. Das Trägerband ist ein flexibles Band, welches mechanisch deutlich robuster als das bandförmige Material ist. Ausführungen des Trägerbands als Gewebeband oder Laminatband sind ebenfalls möglich.
In einer besonderen Ausführung der Erfindung ist vorgesehen, dass einem Teilabschnitt der Oberfläche der Prozesswalze gegenüberliegend Prozesskomponenten wie Beschichtungsquellen angeordnet sind.
Zur Durchführung von Prozessschritten beispielsweise innerhalb einer Vakuumbeschichtungsanlage sind Prozesskomponenten wie Beschichtungsquellen angeordnet.
In einer Form der der Erfindung ist vorgesehen, dass die Prozesswalze eine Heiz- oder Kühlanordnung aufweist.
Derartige Prozesswalzen können als Kühl- und/oder Heizwalzen ausgeführt sein, um das bandförmige Material vor, während oder nach einem Prozessschritt zu kühlen oder aufzuheizen. Hierbei können die Prozesswalzen auch verschiedene Temperaturen aufweisen oder der Transportweg des bandförmigen Materials in verschiedene Temperaturzonen unterteilt werden.
In einer Ausgestaltung ist vorgesehen, dass im Bandlauf zwischen den Prozesswalzen weitere Heiz- oder Kühlmittel angeordnet sind.
Mittel zum Heizen oder Kühlen des bandförmigen Materials können auch an verschiedenen anderen Stellen auf dem Transportweg des bandförmigen Materials von der Abwickel- zur Aufwickelrolle angeordnet sein.
In einer anderen Ausführung ist vorgesehen, dass auf der Oberfläche des Trägerbands Mitnahmemittel angeordnet sind.
In einer Weiterbildung ist vorgesehen, dass die Mitnahmemittel als Noppen aufgeführt sind, welche eine Verminderung der Reibung zwischen dem Trägerband und dem bandförmigen Material gewährleisten.
Das Trägerband kann auch derart ausgeführt sein, dass es Noppen zumindest auf der dem bandförmigen Material zugewandten Seite aufweist. Mittels dieser Ausführung kann eine Verringerung der Reibung zwischen dem Trägerband und dem bandförmigen Material erreicht werden.
Die Erfindung soll nachfolgend anhand dreier Ausführungsbeispiele näher erläutert werden. In den zugehörigen Zeichnungen zeigt
1 eine erfindungsgemäße Vorrichtung zum frontseitenberührungsfreien Transport von bandförmigem Material in einer Prinzipdarstellung mit zwei Prozesswalzen,
2 eine weitere Ausführung der Vorrichtung zum frontseitenberührungsfreien Transport von bandförmigem Material mit einer gegenüber 1 geänderten Anordnung der Prozesswalzen und
3 eine Ausführungsform mit drei Prozesswalzen.
In der 1 ist eine Ausführung der Erfindung zum Transport von bandförmigem Material 1 mit zwei Prozesswalzen 4 dargestellt. Die Prozesswalzen 4 können gemeinsam in einer Prozesskammer oder räumlich voneinander getrennt in verschiedenen Prozesskammern, welche nicht dargestellt sind, angeordnet sein. Die auf den Prozesswalzen 4 dargestellten Pfeile geben die Drehrichtungen der Walzen an. Unterhalb der Prozesswalzen 4 sind in der 1 Behandlungsquellen 7 dargestellt, welche beispielsweise Verdampfer, Magnetronquellen, allgemeine PVD-Quellen, CVD-Quellen, Nass-Beschichtungsquellen (ALD-Quellen), Vorbehandlungsstationen, Nachbehandlungsstationen oder Strukturierungsstationen sein können.
Das bandförmige Material 1 wird, wie in der 1 dargestellt, über eine links in der 1 dargestellte erste Prozesswalze 4 geführt und beispielsweise auf seiner Oberfläche beschichtet. Das beschichtete bandförmige Material 1 wird, in der in der 1 dargestellten Pfeilrichtung auf dem Band 1, über das Umlenkmittel 5 geführt, wobei sich seine Bandlaufrichtung ändert. Das bandförmige Material 1 wird weiterhin über zwei Umlenkrollen 6 zu einem zweiten Umlenkmittel 5 geführt, welches wiederum die Bandlaufrichtung des bandförmigen Materials 1 verändert und erreicht die zweite Prozesswalze 4.
Erfindungsgemäß wird in einem Teilabschnitt dieses beschriebenen Transportweges das bandförmige Material 1 zumindest teilweise über ein Trägerband 3 geführt, welches das bandförmige Material 1 berührt und zumindest in dem Teilabschnitt eine zum bandförmigen Material 1 synchrone Transportbewegung ausführt. Dieser Teilabschnitt beginnt beim ersten Umlenkmittel 5, verläuft weiter über beide Umlenkrollen 6 und endet beim zweiten Umlenkmittel 5. Optional kann dieser Teilabschnitt auch noch auf den Bereich zwischen dem Umlenkmittel 5 und der zwischen der ersten Prozesswalze 4 und diesem Umlenkmittel 5 angeordneten Umlenkrolle 6 erweitert werden. Gleiches gilt für den Bereich zwischen dem zweiten Umlenkmittel 5 und der zwischen der zweiten Prozesswalze 4 und dem zweiten Umlenkmittel 5 angeordneten Umlenkrolle 6.
Zur Verdeutlichung dieses Teilbereiches, in welchem das bandförmige Material 1 durch das Trägerband 3 geführt wird, ist an diesen Stellen die Bezugsziffer 2 auf dem dargestellten Band eingefügt, wobei das hier dargestellte Band aus dem Trägerband 3 und dem auf dem Trägerband 3 aufliegenden bandförmigen Material besteht.
In der 1 ist auch die Drehachse 8 des Umlenkmittels 5 dargestellt, welche zur Drehachse der ersten Prozesswalze 4 einen von 0 Grad verschiedenen Winkel einschließt. Auch ein Einsatz mehrerer hintereinander angeordneter Umlenkmittel 5 ist denkbar, wobei das bandförmige Material 1 durch jedes Umlenkmittel 5 in seiner Bandlaufrichtung nur teilweise verändert wird, solange oder mittels so vieler Umlenkmittel 5, bis die gewünschte Änderung der Bandlaufrichtung erreicht ist.
In der 2 ist eine weitere Ausgestaltung der Erfindung zum Transport von bandförmigem Material 1 dargestellt, bei welcher das zu beschichtende bandförmige Material 1 über eine erste Prozesswalze 4 und zwei Umlenkmittel 5 zu einer zweiten Prozesswalze 4 geführt wird. In dieser Darstellung ist das Trägerband 3, welches das bandförmige Material 1 zumindest in einem Teilbereich zwischen den Prozesswalzen 4 führt und transportiert, nicht dargestellt. In dieser Ausgestaltung können die Prozesswalzen 4 derart angeordnet werden, dass ihre Drehachsen miteinander fluchten.
In der 3 ist eine Ausgestaltung dargestellt, bei der das bandförmige Material 1 über drei Prozesswalzen 4 geführt wird. Auch in dieser Ausführung wird das bandförmige Material 1 zumindest in einem Teilbereich zwischen zwei benachbarten Prozesswalzen 4 über Umlenkmittel 5 und somit auch das Trägerband 3 geführt. Die Teilbereiche, in denen das bandförmige Material 1 auf dem Trägerband 3 aufliegt, mit diesem synchron transportiert wird, sind wieder mit der Bezugsziffer 2 dargestellt. Auch in dieser Ausführung sind die Drehachsen der Prozesswalzen 4 zueinander fluchtend angeordnet und das Trägerband 3 ist als Endlosband, welches über mehrere Umlenkrollen 6 zurückgeführt wird, ausgeführt.
Die Anordnung der Drehachsen der Prozesswalzen 4 in den 1 bis 3 parallel zueinander oder fluchtend sind beispielhaft. Die Erfindung unterstützt auch eine Anordnung der Drehachsen in einem Winkel zwischen 0 und 90 Grad zueinander.
Die Anwendung dieses erfindungsgemäßen frontseitenberührungsfreien Transports von bandförmigen Materialien kann beispielsweise bei einer Rolle-zu-Rolle Beschichtung im Bereich flexible PV, flexible OLEDs oder flexible Elektronik erfolgen.
Neben dieser Rolle-zu-Rolle Variante kann die Erfindung auch im Bereich der Rolle-zu-Sheet Behandlung, bei welcher ein Zerschneiden des Bandes am Ende der Behandlungsstation erfolgt, eingesetzt werden.
Anstelle von Prozesswalzen können auch Prozessbereiche vorgesehen sein, in welchen andere nach dem Stand der Technik bekannte Arten der Bandführung und Temperierung verwendet werden, zum Beispiel Sektionen mit schleifendem Kontakt zwischen dem zu beschichtenden Band und einem konvexem Temperier- und Führungselement oder Sektionen mit über ein Zwischenband vermitteltem Wärmekontakt zwischen dem zu beschichtenden Band und einem Temperier- und Führungselement.
Bezugszeichenliste

1: bandförmiges Material
2: Abschnitt in welchem das bandförmiges Material auf dem Trägerband aufliegt und von diesem transportiert wird
3: Trägerband
4: Prozesswalze
5: Umlenkmittel
6: Umlenkrolle
7: Behandlungsquelle (z. B. Verdampfer)
8: Drehachse des Umlenkmittels

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

DE 102009060413 [0005]
DE 102008029379 [0007]
EP 2113585 [0009]
WO 2010/090504 [0011, 0030]
DE 102009003556 [0013]

Claims

Vorrichtung zum frontseitenberührungsfreien Transport von bandförmigem Material (1) zwischen einer ersten und einer zweiten Prozesswalze (4), bei welcher zwischen den Prozesswalzen (4) ein Umlenkmittel (5) zum Verdrehen des Bandlaufs des bandförmigen Materials (1), gegenüber dem von der ersten Prozesswalze (4) bestimmten Bandlaufs, angeordnet ist, welches eine Drehachse (8) aufweist die zur Drehachse der ersten Prozesswalze (4) einen von 0° verschiedenen Winkel einschließt, dadurch gekennzeichnet, dass das bandförmige Material (1) zwischen den Prozesswalzen (4) zumindest in einem Teilabschnitt (2), welcher das Umlenkmittel (5) einschließt, auf einem Trägerband (3) derart aufliegt, dass das Trägerband das zu beschichtende bandförmige Material (1) auf einer Rückseite berührt und in diesem Teilabschnitt (2) eine Bewegung synchron zum bandförmige Material (1) ausführt.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Umlenkmittel (5) ein feststehender Zylinder oder eine Transport- oder Bandführungsrolle ist.
Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das bandförmige Material (1) in dem Teilabschnitt (2) vor oder nach dem Umlenkmittel (5) über weitere Transport- oder Bandführungsrollen (6) geführt wird.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Umlenkmittel (5) eine gleitfähige Oberfläche aufweist, welche eine Gleiten des Transportbandes (3) über das Umlenkmittel (5) ermöglicht.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Umlenkmittel (5) axial und tangential in Bezug zur Drehachse (8) des Umlenkmittels (5) bewegbare Elemente aufweist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die bewegbaren Elemente des Umlenkmittels (5) eine Streifen- oder Rollen- oder Kugelform aufweisen.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Trägerband (3) ein in sich geschlossenes Endlosband ist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Trägerband (3) an den Rändern Aufnahmemittel zum Transport des Trägerbands (3) aufweist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Trägerband (3) als Metallband, faserverstärktes Kunststoffband, Gewebeband oder Laminatband ausgeführt ist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass einem Teilabschnitt der Oberfläche der Prozesswalze (4) gegenüberliegend Prozesskomponenten (7) wie Beschichtungsquellen angeordnet sind.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Prozesswalze (4) eine Heiz- oder Kühlanordnung aufweist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass im Bandlauf zwischen den Prozesswalzen (4) Heiz- oder Kühlmittel angeordnet sind.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass auf der Oberfläche des Trägerbands (3) Mitnahmemittel angeordnet sind.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Mitnahmemittel als Noppen aufgeführt sind, welche eine Verminderung der Reibung zwischen dem Trägerband (3) und dem bandförmigen Material (1) gewährleisten.