JP2002004035A - 真空蒸着装置およびこの装置を用いた真空蒸着方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 マスキングテープの内周面に積層した金属層
を効率的に除去することができ、さらに蒸着防止用オイ
ルが無端状のマスキングテープの外周面に回り込んで高
分子フィルムに悪影響を与えることが防止できる真空蒸
着装置および真空蒸着方法を提供すること。 【解決手段】 無端状のマスキングテープ７の内周面に
金属層剥離オイルを介して蒸着した金属層が剥離するよ
うに、その周面が、マスキングテープ７の外周面に押し
当てられてマスキングテープ７の走行を蛇行させる位置
と、マスキングテープ７の外周面に押し当てられずマス
キングテープ７の回転走行を妨げない位置との間で進退
可能になっている金属層剥離ロール１０が備えられる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は高分子フィルムに金
属を蒸着させる真空蒸着装置およびこの装置を用いた真
空蒸着方法に関し、より詳細には、無端状のマスキング
テープおよび金属層剥離オイルを用いた真空蒸着におい
て、当該マスキングテープから効率的に金属を除去する
ことができるだけでなく、金属層剥離オイルが無端状の
マスキングテープの外周面に回り込んで高分子フィルム
に悪影響を与えることが防止できる真空蒸着装置および
真空蒸着方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】プラスチックフィルム、ガラスシートな
どの高分子フィルム上にアルミニウムなどからなる金属
層を積層する方法として、真空蒸着方法が広く採用され
ている。このようにして金属層を蒸着されたプラスチッ
クフィルムは、金属化フィルムとして、例えば、フィル
ムコンデンサを製造するために用いられている。

【０００３】真空蒸着の際には、高分子フィルム上全体
に金属層が蒸着されることが所望されることもあるが、
高分子フィルムの一部にのみ金属層が蒸着されることが
所望される場合、金属層が全体に蒸着された高分子フィ
ルムをレーザートリミングするか、または金属を蒸着し
ない部分（すなわち、「非蒸着部」）を予め遮蔽した後
に金属を蒸着することが一般的である。後者に属する真
空蒸着方法の１つに、マスキングテープを用いた真空蒸
着方法がある。

【０００４】マスキングテープを用いた真空蒸着方法
は、金属層が蒸着される高分子フィルムが帯状であっ
て、非蒸着部もまた高分子フィルムの長さ方向に一定幅
の帯状に形成されることが所望される場合に用いられる
方法である。マスキングテープは、高分子フィルム上で
非蒸着部が形成されることが所望される箇所を遮蔽す
る。また、一般的に、マスキングテープは無端状（エン
ドレス状）となっており、マスキングテープが架け渡さ
れたロールにより回転走行するようになっている。これ
と共に金属層が蒸着される帯状の高分子フィルムは、繰
り出しロールから繰り出されて金属層が蒸着された後、
巻き取りロールに巻き取られるようになっている。

【０００５】図８は、従来のマスキングテープを用いた
真空蒸着装置である。図８に示すように、高分子フィル
ム２は予め繰り出しロール１に巻回されており、ここか
ら繰り出された高分子フィルム２は冷却ロール３の周面
上を摺動した後、巻き取りロール４に巻き取られるよう
になっている。冷却ロール３の周面上を摺動する高分子
フィルム２には、蒸着装置本体Ａから金属が蒸着され
る。この蒸着装置本体Ａは、無端状のマスキングテープ
７と金属蒸発源５とを備えている。これらの繰り出しロ
ール１、マスキングテープ７、金属蒸発源５などは、す
べて真空チャンバ内に納められている。

【０００６】無端状のマスキングテープ７は複数個のガ
イドロール６に架け渡されており、この複数個のガイド
ロール６によって右回りまたは左回りに回転走行するよ
うになっている。また、マスキングテープ７は、回転走
行により高分子フィルム２とほぼ同じ速度で走行し、冷
却ロール３の周面に密着して摺動する高分子フィルム２
上にその外周面が密着するようになっている。すなわ
ち、冷却ロール３の外周面には、高分子フィルム２およ
びマスキングテープ７がこの順で重なり合っている。そ
して、金属蒸発源５から蒸発した金属は、高分子フィル
ム２またはマスキングテープ７の内周面上に積層し、マ
スキングテープ７により遮蔽された部分の高分子フィル
ム２が非蒸着部となる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、マスキ
ングテープ７は金属蒸発源５から蒸発した金属に晒され
るため、マスキングテープ７の内周面上には金属が堆積
して金属層となる。また、マスキングテープ７は回転走
行すると共に無端状であるので、何度も金属蒸発源５か
ら蒸発した金属に晒される。そのため、マスキングテー
プ７の内周面上に堆積して出来る金属層の厚みは徐々に
増していくだけでなく、マスキングテープ７と、その内
周面上に蒸着した金属とが互いに強力に付着してしま
う。付着した金属を除去するためには、マスキングテー
プ７を真空蒸着装置から取り出し、水酸化ナトリウム水
溶液中に浸漬し、次いで乾燥させなければならず、大変
手間がかかるという問題点がある。また、このようにし
ても非常に強力にマスキングテープ７に付着した金属を
除去することができないこともあり、結果的にマスキン
グテープ７を再利用しにくいという問題がある。

【０００８】この問題を解決するため、マスキングテー
プ７の内周面にパークロロアルキルエーテルなどの蒸着
防止用オイルを塗布などにより積層し、マスキングテー
プ７の内周面上に金属が蒸着することを防止する方法も
考えられている。しかし、金属蒸発源５から金属を蒸発
させ、かつマスキングテープ７が回転走行している間に
マスキングテープ７へ蒸着防止用オイルを塗布すること
を中止してしまうと、徐々にこの蒸着防止用オイル上に
も金属が積層してしまう。従って、蒸着防止用オイルを
マスキングテープ７へ連続的に積層することが必要であ
る。

【０００９】このため、マスキングテープ７の内周面上
に蒸着防止用オイルを積層する際には、図８に示すよう
に、蒸着装置本体にオイル蒸発器８を設け、回転走行す
るマスキングテープ７の内周面上に蒸着防止用オイルを
連続的に蒸着させることが一般的である。また、オイル
蒸発器８に代えて、オイル塗布器なども用いられてい
る。

【００１０】しかし、オイル蒸発器にしろオイル塗布器
にしろ、回転走行するマスキングテープ７の内周面上に
蒸着防止用オイルを連続的に蒸着させた場合、マスキン
グテープ７の外周面に常に若干量の蒸着防止用オイルが
回り込む。この回り込んだ蒸着防止用オイルはその後、
冷却ロール３において高分子フィルム２に転写されてし
まい、このマスキングテープ７の外周面から高分子フィ
ルム２に転写されたマスキングオイルがフィルムコンデ
ンサの電気的特性（例えば、静電容量など）に悪影響を
与えているという問題がある。

【００１１】本発明は上記課題を解決するためになさ
れ、マスキングテープの内周面に積層した金属層を効率
的に除去することができ、さらに蒸着防止用オイルが無
端状のマスキングテープの外周面に回り込んで高分子フ
ィルムに悪影響を与えることが防止できる真空蒸着装置
および真空蒸着方法を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する、本
発明に係る真空蒸着装置は、予め巻回された高分子フィ
ルム２を繰り出す繰り出しロール１と、繰り出しロール
１から繰り出された高分子フィルム２が周囲を摺動する
冷却ロール３と、冷却ロール３の周面との間に高分子フ
ィルム２を挟み、冷却ロール３上を摺動する高分子フィ
ルム２上に蒸着により電極層１２を形成する蒸着装置本
体Ａと、電極層１２が蒸着した高分子フィルム２を巻き
取る巻き取りロール４とを真空チャンバ内に備え、高分
子フィルム２上に所定幅の非蒸着部１１をあけて幅方向
に分割された複数本の電極層１２を積層する真空蒸着装
置であって、蒸着装置本体Ａが、冷却ロール３の周面と
の間に高分子フィルム２を挟んで非蒸着部１１が設けら
れることが所望される箇所を遮蔽すると共に、内周面上
に金属層剥離オイル１３が積層されて回転走行する無端
状のマスキングテープ７と、無端状のマスキングテープ
７が架け渡されたガイドロール６と、冷却ロール３と無
端状のマスキングテープ７との間に設置され、冷却ロー
ル３上を摺動する高分子フィルム２に向けて金属を蒸発
させる金属蒸発源５と、無端状のマスキングテープ７の
内周面に金属層剥離オイル１３を介して蒸着した金属層
１４が剥離するように、その周面が、マスキングテープ
７の外周面に押し当てられてマスキングテープ７の走行
を蛇行させる位置と、マスキングテープ７の外周面に押
し当てられずマスキングテープ７の回転走行を妨げない
位置との間で進退可能になっている金属層剥離ロール１
０とを備えることを特徴とする。

【００１３】そして、この真空蒸着装置を用いた本発明
に係る真空蒸着方法は、金属蒸発源５から金属を蒸着さ
せる前に、マスキングテープ７の内周面上に金属層剥離
オイル１３を積層し、次いで金属層剥離ロール１０をマ
スキングテープ７の外周面に押し当てずにマスキングテ
ープ７の回転走行を妨げない位置に移動した状態で無端
状のマスキングテープ７を回転走行させると共にマスキ
ングテープ７により非蒸着部１１が設けられることが所
望される箇所が遮蔽された高分子フィルム２に向かって
金属蒸発源５から金属を蒸着させ、高分子フィルム２に
向かって金属蒸発源５から金属を蒸着させた後に、金属
層剥離ロール１０をマスキングテープ７の外周面に押し
当ててマスキングテープ７の走行を蛇行させる位置に前
進させ、無端状のマスキングテープ７の外周面を金属層
剥離ロール１０の周面上に摺動させることにより、マス
キングテープ７の内周面上に金属層剥離オイル１３を介
して蒸着した電極層１２を剥離する方法である。

【００１４】金属層剥離ロール１０の周面がマスキング
テープ７の外周面に押し当てられてマスキングテープ７
の走行を蛇行させる位置に前進する際には、無端状のマ
スキングテープ７の少なくとも一部がより内側を走行す
るようにガイドロール６の少なくとも一部が内側方向に
移動するようになっていることが好ましい。

【００１５】また、金属層剥離ロール１０がマスキング
テープ７の外周面に押し当てられた際には、金属層剥離
ロール１０をその軸芯に対して垂直な断面から見て、無
端状のマスキングテープ７の外周面が１００°以上１７
０°以下の角度θで金属層剥離ロール１０の周面に押し
当てられることが好ましく、この角度θは１３０°以上
１５０°以下であることがより好ましい。

【００１６】１つの実施態様においては、所定幅の非蒸
着部１１が２本以上設けられ得る。

【００１７】金属層剥離オイル１３は、分子量１９４以
上３９２以下の流動パラフィンを含有することが好まし
い。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図面と共に詳細に
説明する。本発明に係る真空蒸着装置は、図１に示すよ
うに、金属を蒸着される高分子フィルム２が予め繰り出
しロール１に巻回されており、ここから高分子フィルム
２が繰り出されるようになっている。繰り出された高分
子フィルム２は、冷却ロール３の周面上を摺動した後、
巻き取りロール４に巻き取られるようになっている。冷
却ロール３の周面上を摺動する高分子フィルム２には、
蒸着装置本体Ａから金属が蒸着される。この蒸着装置本
体Ａは、無端状のマスキングテープ７と金属蒸発源５と
を備えている。これらの繰り出しロール１、マスキング
テープ７、金属蒸発源５などは、図１に示すように、す
べて真空チャンバ内に納められている。なお、蒸着装置
本体Ａとそれ以外の部分との間には、仕切板１５が設け
られている。

【００１９】無端状のマスキングテープ７は冷却ロール
３の周面を摺動する高分子フィルム２と金属蒸発源５と
の間を走行する。高分子フィルム２とマスキングテープ
７との間が離間していると、非蒸着部となることが所望
される部分の高分子フィルム２を完全に遮蔽することが
できないため、マスキングテープ７を高分子フィルム２
とほぼ同じ速度で走行させると共に、高分子フィルム２
にマスキングテープ７を密着させることが好ましい。す
なわち、冷却ロール３の外周面には、高分子フィルム２
およびマスキングテープ７がこの順で重なり合ってい
る。なお、マスキングテープ７は、高分子フィルム２上
で非蒸着部が形成される箇所を遮蔽していることは言う
までもない。なお、以下、無端状のマスキングテープ７
は、右回りに回転走行することとして説明する。

【００２０】無端状のマスキングテープ７は、複数個の
ガイドロール６に架け渡されており、この複数個のガイ
ドロール６によって右回りまたは左回りに回転走行する
ようになっている。つまり、ガイドロール６は、モータ
ー等の駆動手段（図示せず）により駆動し、ガイドロー
ル６とマスキングテープ７との摩擦によりマスキングテ
ープ７が左回りまたは右回りに回転走行するようになっ
ている。後述するように、この無端状のマスキングオイ
ル７の内周面には、金属層剥離オイル１３が積層され
る。

【００２１】なお、マスキングテープ７を回転走行させ
る駆動力はガイドロール６により与えられるが、このよ
うな駆動力は必ずしもマスキングテープ７が架け渡され
たガイドロール６によって与えられるとは限らず、例え
ば、ガイドロール６とは別に、ガイドロール６との間に
マスキングテープ７を挟むような駆動ロール（図示せ
ず）を設け、駆動ロールを回転させることによりマスキ
ングテープ７を回転走行させてもよい。また、すべての
ガイドロール６がモーター等の駆動手段（図示せず）に
より駆動する必要はなく、マスキングテープ７が回転走
行する限り、１本のガイドロール６のみがモーター等の
駆動手段（図示せず）により駆動するようになっていて
もよい。

【００２２】金属蒸発源５は、冷却ロール３と無端状の
マスキングテープ７との間に設置され、冷却ロール３上
を摺動する高分子フィルム２に向けて金属を蒸発する。
金属蒸発源５から蒸発した金属は、高分子フィルム２上
およびマスキングテープ７の内周面上に積層し、蒸着後
の高分子フィルム２の平面図を示す図５に示すように、
マスキングテープ７により遮蔽された部分の高分子フィ
ルム２が非蒸着部１１となり、この非蒸着部１１を挟む
様にして、高分子フィルム２上には電極層１２が形成さ
れる。金属蒸発源５に供される金属としては特に限定さ
れないが、例えば、アルミニウムを挙げることができ
る。

【００２３】本発明においては、図１に示すように、蒸
着装置本体Ａに、無端状のマスキングテープ７の外周面
がその周面上を摺動し得る金属層剥離ロール１０が設け
られている。この金属層剥離ロール１０について詳述す
ると、通常、マスキングテープ７が回転走行し、金属蒸
発器５から金属が蒸着されている際には、図１に示され
るように、この金属層剥離ロール１０は、マスキングテ
ープ７の外周面に押し当てられず、マスキングテープ７
の回転走行を妨げない位置に後退している。

【００２４】一方、高分子フィルム２に向かって金属蒸
着源５から金属を蒸着させることを終了した後のよう
な、マスキングテープ７上に金属層剥離ロール１０を介
して積層した金属層１４を除去することが必要になった
場合には、図２に示されるように、金属層剥離ロール１
０がマスキングテープ７側に向かって前進し、その周面
がマスキングテープ７の外周面に押し当てられてマスキ
ングテープ７の走行を蛇行させるようになっている。も
ちろん、金属層１４を除去するのは、高分子フィルム２
に向かって金属蒸着源５から金属を蒸着させることを終
了した後だけでなく、その途中であってもよい。但し、
本発明においては、金属層１４を除去する際には、金属
蒸発器５からの金属の蒸発を停止させた後に金属層１４
を剥離することが一般的である。

【００２５】マスキングテープ７側に向かって金属層剥
離ロール１０が前進する際には、図２に示すように、マ
スキングテープ７が架け渡された２つのガイドロール６
ａ、６ｂが内側方向に移動する。これにより、この２つ
のガイドロール６ａ、６ｂ間の無端状のマスキングテー
プ７はより内側を走行することになる。このようにする
理由は、ポリイミド、ポリフェニレンサルファイドなど
から作製される一般的なマスキングテープ７は比較的剛
直であって、単に金属層剥離ロール１０をマスキングテ
ープ７側に向かって前進させただけでは、大きな力が金
属層剥離ロール１０からマスキングテープ７に加わるの
みであって、金属層剥離ロール１０によるマスキングテ
ープ７の走行方向がさほど大きく蛇行しない（すなわ
ち、金属層剥離ロール１０にマスキングテープ７の外周
面が十分摺動しない）ので、金属層がマスキングテープ
７から剥離しない場合があるためである。

【００２６】なお、可撓性に富むゴムなどからマスキン
グテープ７を作製した場合には、図２のように２つのガ
イドロール６ａ、６ｂを内側方向に移動させる必要はな
くなる。このような場合には、単に金属層剥離ロール１
０をマスキングテープ７側に向かって前進させるだけで
よい。

【００２７】金属層剥離ロール１０がマスキングテープ
７側に向かって前進し、マスキングテープ７の走行を蛇
行させる状態を図３に示す。このように金属層剥離ロー
ル１０が前進し、マスキングテープ７の外周面がその周
面を摺動する際には、マスキングテープ７は大きくその
走行方向を変更される。マスキングテープ７の走行が蛇
行している図３に示すように、マスキングテープ７は、
走行方向を大きく変える金属層剥離ロール１０の周面を
走行する際にも、この金属層剥離ロール１０の周面に密
着して走行するが、マスキングテープ７上に金属層剥離
オイル１３を介して蒸着した金属層１４は、マスキング
テープ７と比較して剛直である上、金属層を剥離させよ
うとする金属層剥離オイル上に積層されているため、走
行方向を大きく変える金属層剥離ロール１０の周面に沿
って走行することができず、図３に示すように、金属層
剥離ロール１０の周面に密着しながら走行するマスキン
グテープ７の内周面から剥離していく。

【００２８】このように、本発明においては、通常、マ
スキングテープ７が回転走行し、金属蒸発器５から金属
が蒸着されている際には、図１に示されるように、マス
キングテープ７の回転走行を妨げない位置に金属層剥離
ロール１０を後退させておき、マスキングテープ７上に
金属層剥離ロール１０を介して積層した金属層１４を除
去することが必要になった際には、図２に示されるよう
に、必要に応じてガイドロール６ａ、６ｂを内側に移動
させながら金属層剥離ロール１０をマスキングテープ７
側に向かって前進させ、その周面をマスキングテープ７
の外周面に押し当ててマスキングテープ７の走行を大き
く蛇行させることにより、マスキングテープ７上に金属
層剥離オイル１３を介して蒸着した金属層１４を剥離す
る。従って、マスキングテープに付着した金属を除去す
るために、真空蒸着装置からマスキングテープ７を取り
出し、水酸化ナトリウム水溶液中に浸漬し、次いで乾燥
させるという手間もなくなるだけでなく、マスキングテ
ープ７を再利用することが容易になるという利点もあ
る。

【００２９】次に、上述した本発明に係る真空蒸着装置
の好ましい使用方法、すなわち、本発明に係る真空蒸着
方法を説明する。まず、金属蒸発源５から金属を蒸着さ
せる前に、マスキングテープ７の内周面上に金属層剥離
オイル（以下、単に「オイル」という場合がある）を積
層する。マスキングテープ７の内周面上に金属層剥離オ
イルを積層する方法としては、例えば、図４に示すよう
な、円筒状のオイル蒸発器８を用い、オイルをマスキン
グテープ７に蒸着させる方法、オイルを塗布する方法、
オイルをグラビアロールなどから転写する方法などが挙
げられる。この中でも、他の方法と比較して確実かつ容
易にオイルをテープに積層できる（理由は後述する）オ
イル蒸発器８を用いた方法を詳述する。

【００３０】図４に示すように、本発明に係る真空蒸着
方法に用いられる円筒状のオイル蒸発器８は、周面にス
リット開口部８ａが穿設されている。一般的に、このオ
イル蒸発器８は金属筒から作製され、筒内部にヒーター
（図示せず）が内蔵されている。このヒーターにより筒
内部に入れられたオイルを気化し、スリット開口部８ａ
から放出させ、マスキングテープ７の内周面にオイルを
蒸着させる。

【００３１】金属層剥離オイル１３としては、分子量が
１９４以上４２０以下の流動パラフィンが用いられるこ
とが好ましい。分子量が１９４未満であると、マスキン
グテープ７に金属が蒸着される前に金属蒸発原５からの
潜熱または輻射熱により金属層剥離オイルがマスキング
テープ７から再蒸発してしまい、金属層１４を剥離させ
ることができなくなるという不具合が生じ得る。一方、
分子量が４２０を越える場合、オイルが安定的に気化せ
ず、突然多量のオイルが気化するというような異常蒸発
が発生するという不具合が生じ得る。

【００３２】この中でも、ヒーターが内蔵されたオイル
蒸発器８に入れられるオイルとしては、分子量が１９４
以上３９２以下の流動パラフィンが用いられることが好
ましい。分子量が１９４未満であると、分子量が小さす
ぎて、気化したオイルは、オイル蒸発器８内で循環して
しまい、スリット開口部８ａから放出されにくいという
不具合がある。一方、分子量が３９２を越える場合に
は、分子量が大きすぎて、マスキングテープ７上に蒸着
するオイル１３の量が少なすぎて、金属層１４を剥離さ
せるために十分なオイル１３がマスキングテープ７に蒸
着しない場合があるという不具合がある。

【００３３】なお、流動パラフィンを積層しやすい等の
観点からも、マスキングテープ７の材質としては、ポリ
イミドおよびポリフェニレンサルファイドが好ましい。
また、流動パラフィンなどの金属層剥離オイル１３をマ
スキングテープ７上に積層する際には、通常、金属層剥
離ロール１０は、マスキングテープ７の回転走行を妨げ
ない位置（図１）に後退しているが、マスキングテープ
７の走行を蛇行させる位置（図２）に前進させていても
よい。但し、前進させた状態で金属層剥離オイル１３を
積層した場合であっても、次に説明する無端状のマスキ
ングテープ７を回転走行させると共に高分子フィルム２
に向かって金属蒸発源５から金属を蒸着させる前までに
金属層剥離ロール１０を後退させる必要がある。

【００３４】次に、流動パラフィンなどの金属層剥離オ
イル１３をマスキングテープ７上に積層することを終
え、無端状のマスキングテープ７を回転走行させると共
に高分子フィルム２に向かって金属蒸発源５から金属を
蒸着させる。マスキングテープ７は非蒸着部１１とされ
ることを所望される箇所を遮蔽し、このような状態で金
属蒸発源５から蒸発した金属に晒され、マスキングテー
プ７の内周面に金属層剥離オイル１３を介して金属層１
４が積層される。マスキングテープ７を何度も回転させ
て、高分子フィルム２に電極層１２を積層していく。高
分子フィルム２に電極層１２を積層していく間には、金
属層剥離オイル１３をマスキングテープ７上に追加しな
い。例えば、図１に示されるような、オイル蒸発器８が
用いられる場合には、オイル蒸発器８に内蔵されたヒー
ターの加熱を中止しておく。

【００３５】後の実施例でも詳述するが、高分子フィル
ム２に向かって金属蒸発源５から金属を蒸着させた直後
には、金属層剥離オイル１３は、蒸着防止オイルとして
も作用し、蒸着してくる金属をはじくが、高分子フィル
ム２に電極層１２を積層していく間には、金属層剥離オ
イル１３をマスキングテープ７上に追加しないため、徐
々に金属層剥離オイル１３上にも金属が蒸着し、金属層
１４が形成される。

【００３６】高分子フィルム２上に電極層１２を積層す
ることが終了したり、または高分子フィルム２上に電極
層１２を積層している途中であっても、マスキングテー
プ７上に金属層剥離オイル１３を介して積層した金属層
１４を除去したい場合には、図２に示されるように、マ
スキングテープ７に金属層剥離ロール１０を押し当て、
マスキングテープ７の走行を蛇行させる。なお、マスキ
ングテープ７に向かって金属層剥離ロール１０を前進さ
せて押し当てる際には、一旦マスキングテープ７の回転
走行を停止することが好ましい。このようにマスキング
テープ７の走行を蛇行させると、段落番号００２７およ
び図３に説明したように、金属層剥離オイル１３を介し
てマスキングテープ７の内周面に蒸着した金属層１４
は、金属層剥離ロール１０の周面に密着しながら走行す
るマスキングテープ７の内周面から剥離していく。

【００３７】なお、本発明者らは自然法則に拘泥される
ことを好まないが、マスキングテープ７に金属層剥離ロ
ール１０を押し当てた際には、金属層剥離ロール１０が
押し当てられた部分のマスキングテープ７の内周面に積
層された金属層１４に横方向（マスキングテープの幅方
向）の割れが生じ、この割れによってできた金属層１４
の先端から金属層１４が剥離していくと考えられてい
る。この後、マスキングテープ７を一回転させれば、金
属層１４の後端まで（すなわち、すべての金属層１４）
がマスキングテープ７の内周面から剥離する。

【００３８】本発明に係る真空蒸着装置を用いた真空蒸
着方法おいては、上記のように、無端状のマスキングテ
ープ７を回転走行させると共に高分子フィルム２に向か
って金属蒸発源５から金属を蒸着させる前に、流動パラ
フィンなどの金属層剥離オイル１３をマスキングテープ
７上に積層しておき、マスキングテープ７を回転走行さ
せると共に金属蒸発源５から金属を蒸着させている間に
は金属層剥離オイル１３をマスキングテープ７上に追加
しないため、従来の課題の１つであった、マスキングテ
ープ７が回転走行している間に蒸着防止用オイルを積層
させた際にはどうしてもマスキングテープ７の外周面に
蒸着防止用オイルが回り込み、これが高分子フィルム２
に悪影響を与えてしまうことが自ずと防止できる。

【００３９】次に、本発明に係る真空蒸着装置および真
空蒸着方法における好ましい金属層剥離ロール１０につ
いて説明する。図３に示すように、マスキングテープ７
の内周面に金属層剥離オイルを介して蒸着した金属層が
確実に剥離するように、金属層剥離ロール１０がマスキ
ングテープ７に向けて前進した際には、金属層剥離ロー
ル１０の軸芯に対して垂直な断面から見て、無端状のマ
スキングテープ７の外周面が、１００°以上１７０°以
下の角度θで金属層剥離ロール１０の周面と接している
ことが好ましい。この角度θが１００°未満であると、
金属層剥離ロール１０によるマスキングテープ７の走行
方向がさほど大きく蛇行しないので、金属層がマスキン
グテープ７から剥離しない場合がある。一方、この角度
θが１７０°を越える場合には、金属層剥離ロール１０
とマスキングテープ７の外周面との摩擦が大きくなり、
マスキングテープ７が擦り切れやすくなる傾向がある。
金属層剥離ロール１０とマスキングテープ７の外周面と
の摩擦を最小限に抑えてより確実に金属層をマスキング
テープ７から剥離させることができるという観点から、
上記角度は１３０°以上１５０°以下であることがより
好ましい。

【００４０】このようにして本発明に係る真空蒸着装置
および真空蒸着方法を用いて、図５に示すような、高分
子フィルム２上に金属層が積層された金属化フィルムを
得ることができる。図５には、高分子フィルム２上に所
定幅を有する複数の非蒸着部１１をあけて幅方向に分割
された複数本の電極層１２が積層された金属化フィルム
が示されており、このような金属化フィルムを本発明に
係る真空蒸着装置および真空蒸着方法を用いて得るため
には、複数の非蒸着部１１に対応する所定間隔をあけて
マスキングテープ７を複数本平行に並べればよい。もち
ろん、高分子フィルム２上の非蒸着部１１が１本である
場合、マスキングテープ７は１本でよいことは言うまで
もない。

【００４１】なお、図２に示されるような、マスキング
テープ７から剥離した金属層は、マスキングテープ７の
回転走行に悪影響を与えない限り、そのまま放置しても
良いが、図２に示す位置にある金属層剥離ロール１０の
下方に金属層回収箱（図示せず）を設置して剥離した金
属層を回収したり、適宜、ロールに剥離した金属層を巻
き取るようにしても良い。

【００４２】

【実施例】以下、本発明を以下の実施例を用いてさらに
詳細に説明するが、以下の実施例は例示の目的にのみ用
いられ、特許請求の範囲に記載された発明を解釈する際
に、その発明を限定する目的で用いられてはならない。

【００４３】図１に示したような真空蒸着装置を用い、
厚み５μm、幅６７０mm、長さ３００００mであるポリプ
ロピレンフィルム（以下、「ＰＰフィルム」という）の
片面にアルミニウムを蒸着させることにした。マスキン
グテープ７としては、厚み１２５μｍ、幅５ｍｍ、長さ
約３８００ｍｍのポリイミドテープを２４本用いた。各
マスキングテープ７の間隔を２７ｍｍとした。ポリイミ
ドからなるこのマスキングテープ７は、フッ素樹脂加工
の施していない安価なものであった。

【００４４】５００ｍｌの筒状のオイル蒸発器８には棒
状ヒーター（図示せず）が内蔵されており、この中に２
５０ｍｌの流動パラフィンを充填した。また、マスキン
グテープ７に蒸着した流動パラフィンの分子量分布を調
査したところ、流動パラフィンの分子量は１９４から３
９２までの範囲に分布していた。

【００４５】まず、オイル蒸発器８に内蔵された棒状ヒ
ーターを介して流動パラフィンを加熱し、流動パラフィ
ンの温度が１３０℃になった時点で、ガイドロール６を
駆動させてマスキングテープ７を１ｍ／分の速度で回転
走行させることを開始し、流動パラフィンの温度が１６
０℃になった時点で加熱を停止した。その後、流動パラ
フィンの温度が１３０℃まで低下した時点で金属蒸発源
５からアルミニウムを蒸発させると共に、繰り出しロー
ル１および巻き取りロール４を回転させ、ＰＰフィルム
２を６００ｍ／分の速度で走行させた。

【００４６】長さ３００００ｍのＰＰフィルム２をすべ
て繰り出しローラ２から繰り出して巻き取りローラ４に
巻き取った後、金属蒸発源５からのアルミニウムの蒸発
を停止した。図７に示すように、はじめは流動パラフィ
ンはアルミニウムをはじいていたが、ＰＰフィルム２を
約３０００ｍほど巻き取りローラ４に巻き取ってからは
マスキングテープ７の内周面上に金属層１４が形成され
始め、３００００ｍｍすべてを巻き取りローラ４に巻き
終わった時には、厚み約２４０μｍの金属層１４がマス
キングテープ７上に金属層剥離オイル１３（流動パラフ
ィン）を介して積層していた。なお、３００００ｍｍす
べてを巻き取りローラ４に巻き終わった後には、一旦マ
スキングテープ７の回転走行を停止した。

【００４７】次に、この金属層１４を剥離するため、図
２に示すように、金属層剥離ロール１０をマスキングテ
ープ７に向けて前進させ、金属層剥離ロール１０の外周
面をマスキングテープ７の外周面に押し当ててマスキン
グテープ７の走行を蛇行させる位置まで移動させた。こ
のとき、マスキングテープ７の外周面は、金属層剥離ロ
ール１０の軸芯に対して垂直な断面から見て、１５０°
の角度で金属層剥離ロール１０の周面と接していた。

【００４８】そして、再度マスキングテープ７を回転走
行させ、マスキングテープ７の外周面を金属層剥離ロー
ル１０の周面上を摺動させることにより、マスキングテ
ープ７の内周面上に金属層剥離オイル１３を介して蒸着
した金属層１４を剥離させた。

【００４９】図６は、マスキングテープ７の外周面側に
回り込んで高分子フィルム２上に転写した金属層剥離オ
イル１３の厚みを示しており、従来のように、金属蒸着
器５から金属を蒸着させている間においてもオイル蒸着
器８からオイルを蒸発させているオイル連続塗布方式の
場合には、高分子フィルム２上に転写した金属層剥離オ
イル１３の厚みは、巻き取り量（すなわち、巻き取りロ
ール４に巻き取った高分子フィルム２の長さ）が０ｍの
時点で１．８ｎｍ〜６．７ｎｍであり、蒸着を進めてい
くにつれて徐々に低下し、巻き取り量が１５０００ｍの
時点で約２．０ｎｍであり、巻き取り量が３００００ｍ
の時点（すなわち、すべての高分子フィルム２を巻き取
りロール４に巻き取った時点）では０．９ｎｍ〜１．５
ｎｍであった。すなわち、オイル連続塗布方式の場合に
は、最小でも０．９ｎｍ、最大６．７ｎｍもの金属層剥
離オイル１３（流動パラフィン）が高分子フィルム２上
に転写されていた。

【００５０】一方、予めオイル蒸着器８からマスキング
テープ７の内周面に向けてオイルを蒸着させることによ
り金属層剥離オイル１３をマスキングテープ７の内周面
に積層しておき、金属蒸着器５から金属を蒸着させてい
る間においてはオイル蒸着器８からオイルを蒸発させな
い本実施例においては、巻き取り量に拘わらず、高分子
フィルム２上に転写した金属層剥離オイル１３の厚みは
０ｎｍであった。すなわち、本実施例においては、金属
層剥離オイル１３（流動パラフィン）が、高分子フィル
ム２に転写されることはなかった。

【００５１】このように、図６からは、本発明において
は、従来の課題の１つであった、マスキングテープ７が
回転走行している間に金属層剥離オイルを積層させた際
にはどうしてもマスキングテープ７の外周面に金属層剥
離オイルが回り込み、これが高分子フィルム２に悪影響
を与えてしまうことが防止されることが理解される。

【００５２】図７には、マスキングテープ７の内周面に
蒸着したアルミニウムの厚みを示している。マスキング
テープ７の内周面にオイル蒸着器８からオイル１３を積
層しなかった場合には、図７中「Ａｌ付着量１」に示さ
れるように、徐々にマスキングテープ７の内周面にアル
ミニウムが蒸着し、長さ３００００ｍの高分子フィルム
２のすべてに蒸着を終えた後には、マスキングテープ７
の内周面に蒸着したアルミニウム（金属層１４）の厚み
は約３３０μｍであった。この後、金属層剥離ロール１
０を図２のようにマスキングテープ７の外周面に押し当
てた後、マスキングテープ７を回転走行させたが、アル
ミニウムからなる金属層１４は剥離しなかった。

【００５３】これに対して、予めオイル蒸着器８からマ
スキングテープ７の内周面に向けてオイル１３を蒸着さ
せることにより金属層剥離オイル１３をマスキングテー
プ７の内周面に積層しておいた本実施例においては、図
７中「Ａｌ付着量３」に示されるように、約３０００ｍ
の高分子フィルム２が繰り出しロール１から繰り出され
るまでは、金属層剥離オイル１３が蒸着防止用オイルと
して作用したが、その後、徐々にアルミニウムがマスキ
ングテープ７の内周面に蒸着し、長さ３００００ｍの高
分子フィルム２のすべてに蒸着を終えた後には、マスキ
ングテープ７の内周面に蒸着したアルミニウム（金属層
１４）の厚みは約２４０μｍであった。この後、金属層
剥離ロール１０を図２のようにマスキングテープ７の外
周面に押し当てた後、マスキングテープ７を回転走行さ
せた。すると、図３に示すように、アルミニウムからな
る金属層１４はマスキングテープ７の内周面から容易に
剥離した。

【００５４】なお、参考例として、本実施例とは異な
り、高分子フィルム２に向けて金属蒸着器５から金属を
蒸着している間にもオイル蒸着器８からマスキングテー
プ７の内周面に向けてオイル１３を蒸着させた参考例に
おいては、図７中「Ａｌ付着量２」に示されるように、
マスキングテープ７の内周面にアルミニウムからなる金
属層１４が積層されることはなかったが、図６に関して
前述したように、最小でも０．９ｎｍ、最大６．７ｎｍ
もの金属層剥離オイル１３（流動パラフィン）が高分子
フィルム２上に転写されていた。

【００５５】

【発明の効果】本発明により、マスキングテープの内周
面に積層した金属層を効率的に除去することができ、さ
らに蒸着防止用オイルが無端状のマスキングテープの外
周面に回り込んで高分子フィルムに悪影響を与えること
が防止できる真空蒸着装置および真空蒸着方法が提供さ
れる。

【００５６】また、本発明によれば、付着した金属を除
去するために、マスキングテープ７を真空蒸着装置から
取り出し、水酸化ナトリウム水溶液中に浸漬し、次いで
乾燥させるという手間もなくなるだけでなく、マスキン
グテープ７を再利用することが容易になるという利点も
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】金属層剥離ロール１０が後退した位置にある状
態における本発明に係る真空蒸着装置を示す図

【図２】金属層剥離ロール１０が前進した位置にある状
態における本発明に係る真空蒸着装置を示す図

【図３】金属層剥離ロール１０がマスキングテープ７側
に向かって前進し、マスキングテープ７の走行を蛇行さ
せる状態における金属層剥離ロール１０の拡大図

【図４】本発明において用いられる円筒状のオイル蒸発
器８を示す図

【図５】蒸着後の高分子フィルム２の平面図

【図６】マスキングテープ７の外周面側に回り込んで高
分子フィルム２上に転写した金属層剥離オイル１３の厚
みに関するグラフを示す図

【図７】マスキングテープ７の内周面に蒸着したアルミ
ニウムの厚みに関するグラフを示す図

【図８】従来の真空蒸着装置を示す図

【符号の説明】

１：繰り出しロール ２：高分子フィルム ３：冷却ロール ４：巻き取りロール ５：金属蒸発源 ６：ガイドロール ７：マスキングテープ ８：オイル蒸発器 ８ａ：スリット開口部 １０：金属層剥離ロール １１：（高分子フィルム２上の）非蒸着部 １２：（高分子フィルム２上の）電極層 １３：金属層剥離オイル（流動パラフィン） １４：（マスキングテープ７上の）金属層 １５：仕切板 Ａ：蒸着装置本体 θ：金属層剥離ロール１０にマスキングテープ７が押し
当てられる角度

フロントページの続き (72)発明者 森脇 通泰 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 玉木 茂 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 錦織 由朋 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 4K029 AA11 AA25 BA03 BB03 CA01 GA05 HA02 HA03 HA05 JA10 KA01 5E082 BC09 EE07 EE24 EE37 EE47 FG06 FG34 FG35 LL35 MM11 MM23 MM24 PP10

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 予め巻回された高分子フィルム（２）を
   繰り出す繰り出しロール（１）と、 前記繰り出しロール（１）から繰り出された高分子フィ
   ルム（２）が周囲を摺動する冷却ロール（３）と、 前記冷却ロール（３）の周面との間に前記高分子フィル
   ム（２）を挟み、前記冷却ロール（３）上を摺動する前
   記高分子フィルム（２）上に蒸着により電極層（１２）
   を形成する蒸着装置本体（Ａ）と、 前記電極層（１２）が蒸着した高分子フィルム（２）を
   巻き取る巻き取りロール（４）とを真空チャンバ内に備
   え、前記高分子フィルム（２）上に所定幅の非蒸着部
   （１１）をあけて幅方向に分割された複数本の前記電極
   層（１２）を積層する真空蒸着装置であって、 前記蒸着装置本体（Ａ）は、 前記冷却ロール（３）の周面との間に前記高分子フィル
   ム（２）を挟んで前記非蒸着部（１１）が設けられるこ
   とが所望される箇所を遮蔽すると共に、内周面上に金属
   層剥離オイル（１３）が積層されて回転走行する無端状
   のマスキングテープ（７）と、 前記無端状のマスキングテープ（７）が架け渡されたガ
   イドロール（６）と、 前記冷却ロール（３）と前記無端状のマスキングテープ
   （７）との間に設置され、前記冷却ロール（３）上を摺
   動する前記高分子フィルム（２）に向けて前記金属を蒸
   発させる金属蒸発源（５）と、 前記無端状のマスキングテープ（７）の内周面に前記金
   属層剥離オイル（１３）を介して蒸着した金属層（１
   ４）が剥離するように、その周面が、前記マスキングテ
   ープ（７）の外周面に押し当てられて前記マスキングテ
   ープ（７）の走行を蛇行させる位置と、前記マスキング
   テープ（７）の外周面に押し当てられず前記マスキング
   テープ（７）の回転走行を妨げない位置との間で進退可
   能になっている金属層剥離ロール（１０）とを備えるこ
   とを特徴とする真空蒸着装置。
2. 【請求項２】 前記金属層剥離ロール（１０）の周面が
   前記マスキングテープ（７）の外周面に押し当てられて
   前記マスキングテープ（７）の走行を蛇行させる位置に
   前進する際には、前記無端状のマスキングテープ（７）
   の少なくとも一部がより内側を走行するように前記ガイ
   ドロール（６）の少なくとも一部が内側方向に移動する
   ようになっている、請求項１に記載の真空蒸着装置。
3. 【請求項３】 前記金属層剥離ロール（１０）が前記マ
   スキングテープ（７）の外周面に押し当てられた際に、
   前記金属層剥離ロール（１０）をその軸芯に対して垂直
   な断面から見て、前記無端状のマスキングテープ（７）
   の外周面が、１００°以上１７０°以下の角度（θ）で
   前記金属層剥離ロール（１０）の周面に押し当てられ
   る、請求項１または２のいずれかに記載の真空蒸着装
   置。
4. 【請求項４】 前記角度（θ）が、１３０°以上１５０
   °以下である、請求項３に記載の真空蒸着装置。
5. 【請求項５】 前記所定幅の非蒸着部（１１）が２本以
   上設けられるように、前記マスキングテープ（７）が複
   数本平行に並べられている、請求項１から４までのいず
   れかに記載の真空蒸着装置。
6. 【請求項６】 前記金属層剥離オイル（１３）が、分子
   量１９４以上３９２以下の流動パラフィンを含有する、
   請求項１から５までのいずれかに記載の真空蒸着装置。
7. 【請求項７】 予め巻回された高分子フィルム（２）を
   繰り出す繰り出しロール（１）と、 前記繰り出しロール（１）から繰り出された高分子フィ
   ルム（２）が周囲を摺動する冷却ロール（３）と、 前記冷却ロール（３）の周面との間に前記高分子フィル
   ム（２）を挟み、前記冷却ロール（３）上を摺動する前
   記高分子フィルム（２）上に蒸着により電極層（１２）
   を形成する蒸着装置本体（Ａ）と、 前記電極層（１２）が蒸着した高分子フィルム（２）を
   巻き取る巻き取りロール（４）とを真空チャンバ内に備
   え、前記高分子フィルム（２）上に所定幅の非蒸着部
   （１１）をあけて幅方向に分割された複数本の前記電極
   層（１２）を積層する真空蒸着方法であって、 前記蒸着装置本体（Ａ）は、 前記冷却ロール（３）の周面との間に前記高分子フィル
   ム（２）を挟んで前記非蒸着部（１１）が設けられるこ
   とが所望される箇所を遮蔽すると共に回転走行する無端
   状のマスキングテープ（７）と、 前記無端状のマスキングテープ（７）が架け渡されたガ
   イドロール（６）と、 前記冷却ロール（３）と前記無端状のマスキングテープ
   （７）との間に設置され、前記冷却ロール（３）上を摺
   動する前記高分子フィルム（２）に向けて前記金属を蒸
   発させる金属蒸発源（５）と、 その周面が、前記マスキングテープ（７）の外周面に押
   し当てられて前記マスキングテープ（７）の走行を蛇行
   させる位置と、前記マスキングテープ（７）の外周面に
   押し当てられず前記マスキングテープ（７）の回転走行
   を妨げない位置との間で進退可能になっている金属層剥
   離ロール（１０）とを備えており、 前記金属蒸発源（５）から金属を蒸着させる前に、前記
   マスキングテープ（７）の内周面上に金属層剥離オイル
   （１３）を積層し、 次いで前記金属層剥離ロール（１０）を前記マスキング
   テープ（７）の外周面に押し当てずに前記マスキングテ
   ープ（７）の回転走行を妨げない位置に移動した状態で
   前記無端状のマスキングテープ（７）を回転走行させる
   と共に前記マスキングテープ（７）により非蒸着部（１
   １）が設けられることが所望される箇所が遮蔽された前
   記高分子フィルム（２）に向かって前記金属蒸発源
   （５）から金属を蒸着させ、 前記高分子フィルム（２）に向かって前記金属蒸発源
   （５）から金属を蒸着させた後に、前記金属層剥離ロー
   ル（１０）を前記マスキングテープ（７）の外周面に押
   し当てて前記マスキングテープ（７）の走行を蛇行させ
   る位置に前進させ、前記無端状のマスキングテープ
   （７）の外周面を前記金属層剥離ロール（１０）の周面
   上に摺動させることにより、前記マスキングテープ
   （７）の内周面上に前記金属層剥離オイル（１３）を介
   して蒸着した電極層（１２）を剥離する、真空蒸着方
   法。
8. 【請求項８】 前記金属層剥離ロール（１０）の周面を
   前記マスキングテープ（７）の外周面に押し当てて前記
   マスキングテープ（７）の走行を蛇行させる位置に前進
   する際に、前記無端状のマスキングテープ（７）の少な
   くとも一部がより内側を走行するように前記ガイドロー
   ル（６）の少なくとも一部を内側方向に移動させる、請
   求項７に記載の真空蒸着方法。
9. 【請求項９】 前記金属層剥離ロール（１０）の軸芯に
   対して垂直な断面から見て、前記無端状のマスキングテ
   ープ（７）の外周面が、１００°以上１７０°以下の角
   度（θ）で前記金属層剥離ロール（１０）の周面に接し
   ている、請求項７または８のいずれかに記載の真空蒸着
   方法。
10. 【請求項１０】 前記角度（θ）が、１３０°以上１５
    ０°以下である、請求項９に記載の真空蒸着方法。
11. 【請求項１１】 前記所定幅の非蒸着部（１１）が２本
    以上設けられるように、前記マスキングテープ（７）が
    複数本平行に並べられている、請求項７から１０までの
    いずれかに記載の真空蒸着方法。
12. 【請求項１２】 前記金属層剥離オイル（１３）が、分
    子量１９４以上３９２以下の流動パラフィンを含有す
    る、請求項７から１１までのいずれかに記載の真空蒸着
    方法。