JP2001279425A - オイルマスキング装置およびこれを備えた真空蒸着器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 マスキングローラから噴霧されるマスキング
オイルが通過する開口部の大きさをより小型化し、高分
子フィルム上のマスク層の幅をより細くすることができ
るだけでなく、マスク層の１本あたりの幅、隣接するマ
スク層同士の間の間隔、または開口部の形状を変更した
い場合であっても、容易かつ安価にこれらを変更するこ
とができるオイルマスキング装置およびこれを備えた真
空蒸着器を提供すること。 【解決手段】 内部にマスキングオイルが供給される筒
状のマスキングロール２と、マスキングロール２の周面
に設けられ、マスキングロールの内部に供給されたマス
キングオイルが放出される開口部２１と、マスキングロ
ールの外周とフィルムとの間に挟まれると共に、開口部
と重なり合って、開口部から放出されたマスキングオイ
ルが通過する透孔３１が設けられた薄膜３と、を備え
た、オイルマスキング装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【発明の属する技術分野】本発明は、走行するフィルム
上にマスキングオイルからなるマスク層を帯状に形成す
るオイルマスキング装置およびこれを備えた真空蒸着器
に関する。

【０００１】

【従来の技術】従来より、図５、および特開平４−３３
３２１１号公報に示されるように、所定幅Ｌ９のマージ
ン７１を間に有する電極層７２を金属蒸着により長手方
向に帯状に形成した高分子フィルム７を、ボビンと呼ば
れる平板７３に巻き取って加熱加圧成形することにより
高分子フィルム７を積層した後、この積層体を切断し、
その切断した側面から亜鉛等の金属を溶射して外部電極
を作成することにより、長尺のコンデンサ条が作成され
ている。そしてこの長尺のコンデンサ条を切断すること
により、積層形フィルムコンデンサを得ることができ
る。

【０００２】高分子フィルム７上に、所定幅Ｌ９のマー
ジンを間に有する電極層７２を金属蒸着により形成する
際には、ローラから高分子フィルム７を繰り出さして走
行させ、この高分子フィルム７上のマージン７１になる
箇所に対してオイルマスキング装置からマスキングオイ
ルを噴霧してマスク層を帯状に形成する。次に、表面に
マスク層が帯状に形成された高分子フィルム７に対して
金属蒸着を行う。すると、マスク層が形成されなかった
部分には金属が蒸着して電極層７２が形成される一方、
マスク層が形成された部分には金属が蒸着しない。この
後、マスク層が除去されて、マスク層があった部分がマ
ージン７１となる。

【０００３】図６は、上述したようなオイルマスキング
装置を示している。図６に示されるように、従来のオイ
ルマスキング装置は筒状のマスキングロール９からな
り、このマスキングロール９の周面には、マスキングロ
ール９の軸方向に平行な方向に複数個の孔状の開口部９
１が所定間隔Ｌ９で設けられている。この筒状のマスキ
ングロール９の内部にはマスキングオイル９２が供給さ
れる。供給されたマスキングオイル９２は、マスキング
ロール９の内部で加熱されて気化し、その後開口部９１
から噴霧される。図６には図示していないが、高分子フ
ィルム７は開口部９１上に密着するようにマスキングロ
ール９上を走行している（高分子フィルム７が走行する
方向は、マスキングロール９の軸方向に直交する方向で
ある）。従って、開口部９１から噴霧されたマスキング
オイル９２は直ちに高分子フィルム７上に付着し、この
ようにして高分子フィルム７上にマスキングオイル９２
からなるマスク層が形成される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来のマスキングロール９においては、１本のマスキング
ロール９に対して、一定の幅を有する１種類のマスク層
しか形成することができない。すなわち、マスク層の１
本あたりの幅、隣接するマスク層同士の間の間隔Ｌ９、
または開口部９１の形状を変更したい場合には、異なる
マスキングロール９に変更する必要があり、取り替えに
大変手間がかかるという問題がある。

【０００５】また、一般的にマスキングロール９は厚み
約１ｍｍ〜約２ｍｍ程度の剛直な金属筒からなり、開口
部９１はこのような剛直な金属筒を穿設することにより
設けられる。そのため、開口部９１の大きさは、丸孔の
場合には直径０．１ｍｍまで、四角孔の場合には一辺
０．１ｍｍまでが限界であり、これよりも開口部９１を
小さくすることは技術的に極めて困難である。従って、
開口部９１の大きさによって決まるマスク層の幅をより
小さくすることも困難であり、開口部９１に高分子フィ
ルム７が密着するようなマスキングロール９を用いて
も、高分子フィルム７上に形成されるマスク層の幅の最
小値は、現在、約０．１ｍｍであり、これ以上の開口部
９１の小型化を行うことは困難である。特に、積層形フ
ィルムコンデンサにおいては、マスク層を除去した後の
マージン７１の幅はできる限り小さいことが好ましいた
め、特にマスク層の幅を小型化することが強く望まれて
いる。

【０００６】上記のように、金属筒からなるマスキング
ロール９に、０．１ｍｍの大きさの開口部９１を穿設す
ることは困難であるだけでなく、積層形フィルムコンデ
ンサを作成する際には、隣接するマージン７１の間の間
隔Ｌ９はできる限り一定であることが望まれる。そのた
め、マスキングロール９を穿設して開口部９１を作成す
る際には、各開口部９１となるマスキングロール９の外
周上の決められた位置に極めて正確、すなわち高精度に
各開口部９１を作成する必要があるため、マスキングロ
ール９を作成する費用はどうしても高額になり、そのた
めマスキングロール９を安易に購入することは難しい。

【０００７】上記のようなマスキングロール９の中に
は、その開口部９１上に高分子フィルム７が接触しない
状態で走行するものがある。後述するように、このよう
なマスキングロール９は比較的安価であるが、開口部９
１と高分子フィルム７との間はわずかに離間している。
このため、開口部９１と高分子フィルム７との間が密着
していないため、開口部９１から噴霧されたマスキング
オイル９２がこのわずかな隙間で拡散してしまい、マス
ク層の１本あたりの幅が太くなったり、各マスク層を比
較した際に、それらの幅が不均一になる。

【０００８】そのため、常にその開口部９１上に高分子
フィルム７が接触した状態で走行するマスキングロール
９の方が一般的である。このようなマスキングロール９
においては、その周面に高分子フィルム７が常に接触し
た状態で走行するため、その外周面をクロムによりメッ
キした後、バフ研磨を行うことによって表面を鏡面に仕
上げなければならない。そのため、開口部９１上に高分
子フィルム７が接触せずに走行するようなマスキングロ
ール９と比較して、その作成にはクロムメッキ、バフ研
磨等を必要とするため、価格が高い。そのため、マスク
層の幅を変更する必要がある場合には、その都度高額の
費用を投じて異なるマスキングロール９を用意しなけれ
ばならないという問題がある。

【０００９】本発明は上記課題を解決するためになさ
れ、マスキングロール９から噴霧されるマスキングオイ
ルが通過する開口部の大きさをより小型化し、高分子フ
ィルム７上のマスク層の幅をより細くすることができる
だけでなく、マスク層の１本あたりの幅、隣接するマス
ク層同士の間の間隔Ｌ９、または開口部９１の形状を変
更したい場合であっても、容易かつ安価にこれらを変更
することができるオイルマスキング装置およびこれを備
えた真空蒸着器を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明に係るオイルマスキング装置は、走行するフィルム上
にマスキングオイルからなるマスク層を帯状に形成する
オイルマスキング装置であって、内部にマスキングオイ
ルが供給される筒状のマスキングロール２と、マスキン
グロール２の周面に設けられ、マスキングロールの内部
に供給されたマスキングオイルが放出される開口部２１
と、マスキングロールの外周とフィルムとの間に挟まれ
ると共に、開口部と重なり合って、開口部から放出され
たマスキングオイルが通過する透孔３１が設けられた薄
膜３とを備えている。

【００１１】開口部２１および透孔３１は複数個設けら
れていてもよい。また、１つの開口部２１に複数個の透
孔３１が重なり合っていてもよい。通常、開口部２１は
筒状のマスキングロール２の軸方向に平行に設けられて
いる。また、薄膜３とフィルムとは接触することが一般
的である。

【００１２】筒状のマスキングロール２の軸方向に対し
て平行方向に、複数個の透孔３１が互いに離間した状態
で設けられた透孔列３２が構成されていることが好まし
い。より好ましくは、薄膜３にこの透孔列３２が複数列
設けられ、開口部２１に重なり合う透孔列３２を切り替
えられるようになっている。この場合、薄膜３が第１お
よび第２薄膜保持ロール４に巻き取られるようになって
いることが好ましい。

【００１３】１つの実施態様においては、ある透孔列３
２の透孔３１の形状と他の透孔列３２の透孔３１の形状
とは異なっている。

【００１４】上記課題を解決する本発明に係る真空蒸着
器は、フィルムを繰り出す繰り出しローラ８１、内部に
マスキングオイルが供給される筒状のマスキングロール
２と、マスキングロール２の周面に設けられ、マスキン
グロール２の内部に供給されたマスキングオイルが放出
される開口部２１と、マスキングロール２の外周とフィ
ルムとの間に挟まれると共に、開口部２１と重なり合っ
て、開口部２１から放出されたマスキングオイルが通過
する透孔３１が設けられた薄膜３とを備え、繰り出しロ
ーラ８１から繰り出されて走行するフィルム上にマスキ
ングオイルからなるマスク層を帯状に形成するオイルマ
スキング装置１、マスク層が形成されたフィルム上に金
属を蒸着する蒸着装置８２、および金属が蒸着した高分
子フィルムを巻き取る巻き取りローラ８３を備えてい
る。

【００１５】上記の真空蒸着器は、巻き取りローラ８３
に巻き取られる前の金属が蒸着したフィルム上に残存す
るマスキングオイルからなるマスク層を除去するマスク
層除去装置を備えていることが好ましい。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図面と共に詳細に
説明する。図１は、本発明に係るオイルマスキング装置
１の斜視図である。図１に示すように、本発明に係るオ
イルマスキング装置１（以下、単に「装置１」という）
は、筒状のマスキングロール２とこのマスキングロール
２の外周面の一部に密着する薄膜３とを備えている。図
２に示すように、本発明におけるマスキングロール２の
周面には開口部２１が設けられている（図１において
は、この開口部２１の一部を破線にて描いてある）。こ
の開口部２１については後述する。一方、図３に示すよ
うに、薄膜３には透孔３１が設けられており、この透孔
３１は開口部２１と重なり合うようになっている。そし
て、図示していないが、薄膜３をマスキングロール２と
の間に挟むようにして、薄膜３上を被マスク体である高
分子フィルム７が走行するようになっている。なお、以
下の説明では、説明を容易にするため、特に別記しない
限り、薄膜３に接触した状態で高分子フィルム７が走行
することにする。なお、図１および図３において、透孔
３１は左側に４つだけ示されているが、実際には透孔３
１は薄膜３の幅方向の一端側から他端側までにかけて設
けられている。

【００１７】薄膜３は、マスキングロール２の後方（開
口部２１が設けられる側を前方としている）に位置する
第１薄膜保持ロール４ａおよび第２薄膜保持ロール４ｂ
に巻き取られており、これらの薄膜保持ロール４を逆回
転させることにより、薄膜３に張力が与えられ、この張
力により薄膜３はマスキングロール２の外周面に密着し
ている。

【００１８】マスキングロール２の内部にはマスキング
オイル５が供給される。図示したマスキングロール２に
おいては、筒状のマスキングロール２の一端または両端
から液体状のマスキングオイル５が供給され、マスキン
グロール２の内部に備えられたヒーター（図示せず）等
によって加熱されて気化するようになっている。この
他、直接、マスキングロール２の一端または両端からそ
の内部に、気化されたマスキングオイルが供給されても
良い。

【００１９】気化されたマスキングオイルは、その後マ
スキングロール２の周面に設けられた開口部２１を通
り、次いで薄膜３に設けられた透孔３１から外部に放出
される。高分子フィルム７は透孔３１上を走行するよう
になっているので、装置１の外部に放出された気体状の
マスキングオイルは、走行中の高分子フィルム７に付着
後、放熱して固体状または粘稠な液体状のマスク層とな
る。すなわち、本発明においては、マスキングオイルは
蒸着によって高分子フィルム７上に形成される。

【００２０】本発明においては、上記のように、透孔３
１を有する薄膜３を、開口部２１を設けたマスキングロ
ール２の外周面に密着させて透孔３１と開口部２１とを
重ね合わせて、薄膜３上を走行する高分子フィルム７に
マスキングロール２の内部からマスキングオイルを蒸着
してマスク層を形成している。そのため、マスキングロ
ール２が高分子フィルム７に直接接触することはないの
で、マスキングロール２の外周面にクロムメッキを施し
たり、バフ研磨して鏡面加工をする必要がない。そのた
め、これらのメッキや研磨に必要なコストが不要である
ため、本発明に係るオイルマスキング装置は、従来の装
置と比較して安価に作成され得る。

【００２１】薄膜３の厚みは特に限定されないが、０．
０１ｍｍ以上０．１ｍｍ以下であることが好ましい。薄
膜３を構成する材質にもよるが、一般的に厚みが０．０
１ｍｍ以上０．１ｍｍ以下である金属から成る薄膜３で
あれば、その表面上を高分子フィルム７が走行しても、
薄膜３自体および高分子フィルム７に悪影響が生じない
からである。本発明者らは自然法則に拘泥されることを
望まないが、この理由は、薄膜３は、肉厚約１ｍｍ〜約
２ｍｍのマスキングロール２と比較して非常に薄いた
め、表面の粗さ（すなわち、表面の凹凸）がマスキング
ロール２と比較して非常に小さいからと考えられてい
る。そのため、薄膜３に対しては、従来のマスキングロ
ール９には必要であったバフ研磨および鏡面加工をする
必要がない。

【００２２】また、本発明においては、高分子フィルム
７上のマスク層の１本あたりの幅は、薄膜３の透孔３１
の大きさによって決まり、マスキングロール２の周面に
設けられた開口部２１の大きさの影響を受けない。その
ため、従来のマスキングロール９とは異なり、薄膜３に
設けられる透孔３１の大きさを調節することによって、
マスク層の１本あたりの幅を従来よりさらに狭くするこ
とができる。

【００２３】このような微細な孔である透孔３１を薄膜
３に設ける方法としては、マスキングロール２上で開口
部２１を穿設したい部分に第２塩化鉄などの腐食剤をパ
ターニングするエッチング加工方法が挙げられる。この
パターニングにおいては、パターニングマシンが用いら
れるため、非常に高精度にパターニングすることが可能
であり、これにより口径０．１ｍｍ以下の非常に小さい
透孔３１を薄膜３に設けることも可能になる。この後、
腐食剤によりマスキングロール２が腐食され、この腐食
した箇所が開口部２１となる。

【００２４】薄膜３の材質は特に限定されないが、薄膜
３に高分子フィルム７が接触した状態で走行する場合、
薄膜３自体および高分子フィルム７に与える影響（特
に、高分子フィルム３が薄膜３上を走行することによる
発熱による悪影響）を抑えるために金属箔を用いること
が好ましい。この中でも、より上記の影響を抑えるため
ステンレス薄膜を用いることが好ましい。なぜなら、ス
テンレス薄膜は耐熱性に優れるため、高分子フィルム３
が薄膜３上を走行することによる発熱による悪影響を効
率的に抑制することができるからである。

【００２５】マスキングロール２の材質も特に限定され
ないが、内部に加熱されたマスキングオイルがあるため
に耐熱性および耐久性が強く求められるので、マスキン
グロール２としては、一般的には金属筒が用いられる。
このような金属筒としては、ステンレス筒を用いること
が好ましい。なぜなら、薄膜３と同様、ステンレス筒は
耐熱性に優れるため、高分子フィルム３が薄膜３上を走
行することによる発熱による悪影響を効率的に抑制する
ことができるからである。

【００２６】一般的に、図５に示されるように、将来マ
ージン７１となるマスク層は高分子フィルム７上の長手
方向に複数本形成される。そのため、マスキングロール
２に開口部２１を複数個設け、薄膜３にこの開口部２１
と同一個の透孔３１を設けて、開口部２１と透孔３１と
を一対一に対応させてもよいが、上述のように、マスク
層の１本あたりの幅および隣接するマスク層同士の間隔
Ｌ９は、透孔３１が設けられる位置によってのみ決まる
ので、図２に示すように、筒状のマスキングロール２の
周面には、マスキングロール２の軸方向に平行に、その
一端近傍から他端近傍までの間に亘って開口している開
口部２１を設けるようにすることが好ましい。なぜな
ら、マスキングロール２の周面のあちこちに開口部２１
を設けることと比較して、図２に示すような開口部２１
を設ける方が、開口部２１の個数を減らすことができ、
結果としてマスキングロール２に開口部２１を穿設する
費用を低減させることができるためである。

【００２７】このように、図２に示すような、複数個の
透孔３１に重なるような幅広の開口部２１を設けること
により、より安価にマスキングロール２を作成すること
ができる。図２における説明では、開口部２１は１つで
あるが、例えば、開口部２１を２つ以上設け、各開口部
２１に複数個の透孔３１を重ね合わせるようにしても良
い。

【００２８】もちろん、この場合においては、マスク層
を形成しようとする各箇所に対応する薄膜３の位置に透
孔３１がそれぞれ設けられる。このように、マスク層が
高分子フィルム７上の長手方向に複数本形成される場合
には、複数個の透孔３１からなる透孔列３２が薄膜３に
設けられている。すなわち、１列の透孔列３２は筒状の
マスキングロール２の軸方向に対して平行であり、１列
の透孔列３２上に位置する各隣接する透孔３１は、互い
に離間している。一般的に図５に示すように高分子フィ
ルム７上で隣接するマスク層の間の各間隔はいずれも一
定であることが望まれるため、１列の透孔列３２上に位
置する隣接する透孔３１の間の各間隔も一定であること
が好ましい。従来のように、マスキングロール９に開口
部９１を複数個穿設する費用と、薄膜３に複数個の透孔
３１が設ける費用とを比較すると、後者の方がずっと安
価であるので、図２のように、開口部２１の個数を減ら
すことにより、従来と比較して本発明に係るオイルマス
キング装置１はより安価に製造され得る。

【００２９】薄膜３には、図１および図３に示すよう
に、複数列の透孔列３２を設けることが好ましい。なぜ
なら、透孔３１の形状を異ならせることが必要になった
場合、異なる透孔列３２を開口部２１にあてがうことに
より、すぐに透孔３１の形状を異ならせることができる
からである。また、図１および図３に示すように、薄膜
３の一端側には、主としてマスク層を形成するために用
いられる位置検出用の検出孔３３が設けられている。

【００３０】また、図２に示すように、筒状のマスキン
グロール２の周面に設けられる開口部２１が、マスキン
グロール２の軸方向に平行に、その一端近傍から他端近
傍までの間に亘って開口している場合には、図３に示す
ように、透孔列３２ごとに隣接する透孔３１同士の間隔
Ｌが異なる複数列の透孔列３２を設けることがより好ま
しい。このようにすれば、透孔列３２ａにおける透孔３
１同士の間隔Ｌａと、他の透孔列３２ｂにおける透孔３
１同士の間隔Ｌｂとを異ならせ、必要に応じて薄膜保持
ロール４をモータ等の駆動手段（図示せず）によって駆
動させて、所望される透孔列３２を開口部２１にあてが
うことにより、高分子フィルム７上に形成される隣接す
るマスク層同士の間の間隔Ｌ９を極めて簡単に変更する
ことができる。

【００３１】本発明において用いられる高分子フィルム
７としては、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフ
ィルムなどのポリオレフィンフィルム、ポリエチレンテ
レフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレ
ンテレフタレートなどのポリエステルフィルムなどが用
いられるが、ポリエステルフィルムが用いられる場合に
は、マスキングオイルとしてはパラフィンオイルを用い
ることが好ましい。同様に、ポリオレフィンフィルムが
用いられる場合には、マスキングオイルとしてはパラフ
ィンオイル、パークロロアルキルエーテルを用いること
が好ましい。

【００３２】本発明に係るオイルマスキング装置１は、
図４に示すように、主として真空蒸着器８に組み込まれ
る。この真空蒸着器８により、高分子フィルム７に電極
層となる金属が蒸着される。この真空蒸着器８について
詳述すると、真空蒸着器８の内部には、高分子フィルム
７を繰り出す繰り出しローラ８１と、上述したオイルマ
スキング装置１と、蒸着装置８２と、高分子フィルム７
を巻き取る巻き取りローラ８３とが備えられている。そ
して、繰り出しローラ８１と巻き取りローラ８３とを同
じ速度で回転させることにより、高分子フィルム７を走
行させる。なお、蒸着装置８２は真空蒸着器８の内部に
組み込まれていなければならないが、繰り出しローラ８
１等は、必ずしも真空蒸着器８の内部に組み込まれる必
要はなく、真空蒸着器８の外部から走行する高分子フィ
ルム７が供給されても良い。

【００３３】繰り出しローラ８１から繰り出されて走行
する高分子フィルム７には、まずオイルマスキング装置
１により、所定の幅のオイル層が形成される。次に、表
面にマスク層が帯状に形成された高分子フィルム７に対
して蒸着装置８２により金属蒸着を行う。すると、マス
ク層が形成されなかった部分には金属が蒸着する一方、
マスク層が形成された部分には金属が蒸着しない。片面
のみに電極層７２が形成された高分子フィルム７が必要
とされる場合には、この後、マスク層を除去すればよい
が、両面に電極層が形成された高分子フィルムが必要と
される場合には、図４に示すように、まず表面に対して
マスク層を形成し、次いで金属蒸着をした後、裏面に対
してもマスク層を形成し、マスク層を除去すればよい。
マスク層があった部分はマージン７１となる。

【００３４】高分子フィルム７上のマスキングオイルか
らなるマスク層を除去する方法としては、高分子フィル
ム７に放電処理を施す方法が挙げられる。このような放
電処理装置に代表されるようなマスク層除去装置を備え
た真空蒸着装置もまた、本発明の趣旨に含まれる。この
ようにして金属が蒸着された高分子フィルム７は巻き取
りローラ８３に巻き取られる。その後、この高分子フィ
ルム７は、図５に示すように、ボビンと呼ばれる平板に
巻き取られる等されてコンデンサとなる。

【００３５】

【発明の効果】本発明においては、上記のように、透孔
３１を有する薄膜３を、開口部２１を設けたマスキング
ロール２の外周面に密着させて透孔３１と開口部２１と
を重ね合わせて、薄膜３上を走行する高分子フィルム７
にマスキングロール２の内部からマスキングオイルを蒸
着してマスク層を形成している。そのため、マスキング
ロール２が高分子フィルム７に直接接触することはない
ので、マスキングロール２の外周面にクロムメッキを施
したり、バフ研磨して鏡面加工をする必要がない。その
ため、これらのメッキや研磨に必要なコストが不要であ
るため、従来の装置と比較して、装置１を安価に作成す
ることができる。

【００３６】本発明においては、高分子フィルム７上の
マスク層の１本あたりの幅は、薄膜３の透孔３１の大き
さによって決まり、マスキングロール２の周面に設けら
れた開口部２１の大きさの影響を受けない。そのため、
従来のマスキングロール９とは異なり、薄膜３に設けら
れる透孔３１の大きさを調節することによって、マスク
層の１本あたりの幅を従来よりさらに狭くすることがで
きる。

【００３７】マスキングロール９に開口部９１を複数個
穿設する費用と、薄膜３に複数個の透孔３１が設ける費
用とを比較すると、後者の方がずっと安価であるので、
この点においても、非常に安価にオイルマスキング装置
１を製造することができる。

【００３８】また、図２に示すように開口部２１を幅広
にすると共に、薄膜３上に複数個の透孔３１からなる透
孔列３２を複数列設け、透孔列３２ａにおける透孔３１
同士の間隔Ｌａと、他の透孔列３２ｂにおける透孔３１
同士の間隔Ｌｂとを異ならせれば、必要に応じて薄膜保
持ロール４をモータ等の駆動手段（図示せず）によって
駆動させて、所望される透孔列３２を開口部２１にあて
がうことにより、高分子フィルム７上に形成される隣接
するマスク層同士の間の間隔Ｌ９を極めて簡単に変更す
ることができる。これにより、マスク層の１本あたりの
幅、隣接するマスク層同士の間の間隔Ｌ９、または開口
部９１の形状を変更したい場合であっても、非常に簡単
にかつ安価にこれらを変更することができる。また、今
までにないマスク層同士の間の間隔Ｌ９を有する高分子
フィルム７が必要になった場合であっても、極めて安価
に入手・加工可能な薄膜３のみを交換すればよく、筒状
のマスキングロール２を取り替える必要がない。

【００３９】本発明により、マスキングローラ９から噴
霧されるマスキングオイルが通過する開口部の大きさを
より小型化し、高分子フィルム７上のマスク層の幅をよ
り細くすることができるだけでなく、マスク層の１本あ
たりの幅、隣接するマスク層同士の間の間隔Ｌ９、また
は開口部９１の形状を変更したい場合であっても、容易
かつ安価にこれらを変更することができるオイルマスキ
ング装置およびこれを備えた真空蒸着器が提供される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るオイルマスキング装置１の斜視図

【図２】マスキングロール２の斜視図

【図３】薄膜３の斜視図

【図４】真空蒸着器８を示す図

【図５】高分子フィルム７が平板７３に巻かれる状態を
示した図

【図６】従来のオイルマスキング装置９の斜視図

【符号の説明】

１：オイルマスキング装置 ２：マスキングロール ２１：開口部 ３：薄膜 ３１：透孔 ３２：透孔列 ３３：検出孔 ４：薄膜保持ロール ４ａ：第１薄膜保持ロール ４ｂ：第２薄膜保持ロール ５：マスキングオイル ７：（高分子）フィルム ７１：マージン ７２：電極層 ８：真空蒸着器 ８１：繰り出しローラ ８２：蒸着装置 ８３：巻き取りローラ ９：マスキングロール ９１：開口部 Ｌ：透孔列３２における隣接する透孔３１同士の間隔 Ｌａ：透孔列３２ａにおける透孔３１同士の間隔 Ｌｂ：透孔列３２ｂにおける透孔３１同士の間隔 Ｌ９：マスク層同士の間の間隔

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小林 康夫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 伊藤 敦 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 4K029 AA11 AA25 BA01 BB03 CA01 GA00 HA05 JA10 5E082 AB03 AB04 BC39 EE08 EE17 EE23 EE38 FG06 FG34 KK01 KK02 LL01

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 走行するフィルム上にマスキングオイル
   からなるマスク層を帯状に形成するオイルマスキング装
   置であって、 内部にマスキングオイルが供給される筒状のマスキング
   ロール（２）と、 前記マスキングロール（２）の周面に設けられ、前記マ
   スキングロールの内部に供給されたマスキングオイルが
   放出される開口部（２１）と、 前記マスキングロールの外周と前記フィルムとの間に挟
   まれると共に、前記開口部と重なり合って、前記開口部
   から放出されたマスキングオイルが通過する透孔（３
   １）が設けられた薄膜（３）と、を備えた、オイルマス
   キング装置。
2. 【請求項２】 開口部（２１）および透孔（３１）が複
   数個設けられている、請求項１に記載のオイルマスキン
   グ装置。
3. 【請求項３】 １つの開口部（２１）に複数個の透孔
   （３１）が重なり合っている、請求項１に記載のオイル
   マスキング装置。
4. 【請求項４】 開口部（２１）が前記筒状のマスキング
   ロール（２）の軸方向に平行に設けられている、請求項
   １から３までのいずれかに記載のマスキングオイル装
   置。
5. 【請求項５】 筒状のマスキングロール（２）の軸方向
   に対して平行方向に、複数個の透孔（３１）が互いに離
   間した状態で設けられた透孔列（３２）が構成されてい
   る、請求項１から４までのいずれかに記載のマスキング
   オイル装置。
6. 【請求項６】 薄膜（３）に透孔列（３２）が複数列設
   けられ、開口部（２１）に重なり合う透孔列（３２）を
   切り替えられるようになっている、請求項５に記載のマ
   スキングオイル装置。
7. 【請求項７】 ある透孔列（３２）の透孔（３１）の形
   状と他の透孔列（３２）の透孔（３１）の形状とが異な
   る、請求項６に記載のマスキングオイル装置。
8. 【請求項８】 薄膜（３）が第１および第２薄膜保持ロ
   ール（４）に巻き取られるようになっている、請求項１
   から６までのいずれかに記載のマスキングオイル装置。
9. 【請求項９】 薄膜（３）とフィルムとが接触する、請
   求項１から８までに記載のマスキングオイル装置。
10. 【請求項１０】 フィルムを繰り出す繰り出しローラ
    （８１）、 内部にマスキングオイルが供給される筒状のマスキング
    ロール（２）と、前記マスキングロール（２）の周面に
    設けられ、前記マスキングロール（２）の内部に供給さ
    れたマスキングオイルが放出される開口部（２１）と、
    前記マスキングロール（２）の外周と前記フィルムとの
    間に挟まれると共に、前記開口部（２１）と重なり合っ
    て、前記開口部（２１）から放出されたマスキングオイ
    ルが通過する透孔（３１）が設けられた薄膜（３）とを
    備え、前記繰り出しローラ（８１）から繰り出されて走
    行するフィルム上に前記マスキングオイルからなるマス
    ク層を帯状に形成するオイルマスキング装置（１）、 前記マスク層が形成されたフィルム上に金属を蒸着する
    蒸着装置（８２）、および金属が蒸着した高分子フィル
    ムを巻き取る巻き取りローラ（８３）を備えた真空蒸着
    器。
11. 【請求項１１】巻き取りローラ（８３）に巻き取られる
    前の金属が蒸着したフィルム上に残存するマスキングオ
    イルからなるマスク層を除去するマスク層除去装置をさ
    らに備えた、請求項１０に記載の真空蒸着器。 【０００１】