JPH02263419A - 積層型チップコンデンサ用金属化フィルムの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、誘電体フィルムの表面に金属電極を蒸着によ
り形成した金属化フィルム、特に積層型チップコンデン
サ用の金属化フィルムを製造する方法に関する。

［従来技術とその問題点コ 金属化フィルムを用いた従来型のコンデンサは、基本的
には対向電極を構成する２枚の金属化フィルムを互い違
いに重ね合せて巻回してコンデンサ素子を作成し、その
素子の両端に電極取出口として亜鉛、ハンダなどの金属
を溶射により吹き付け、リード線を溶着して成る端子つ
きの巻回型コンデンサが主流であった。

しかし、最近のエレクトロニクス業界の飛躍的な発展に
伴って、電気機器へのコンデンサ組込みの自動化、高速
化が要望されるにしたかい、前記の巻回型コンデンサに
代えて所謂積層型のチップコンデンサが広く用いられる
ようになって来た。

このチップコンデンサは角型で取扱い易い上に、基板上
に実装するに際しても自動化し易く、しかも高速下に実
装が可能であるため、益々その需要が高まっている。か
＼る状況にあるため、近年、積層型のチップコンデンサ
に用いる金属化フィルムが注目されている。

ところで、前記積層型のチップコンデンサないしは、そ
れに用いる金属化フィルムならびにその製造法について
は、日本国特開昭５７−１５２１２２号、間開５９−１
９７１２１〜２号および同５９−２２８７０８号公報等
に開示されているが、それらの先行技術には、次に述べ
るような難点があって、改良が望まれている。

以下、前記従来技術の概要ならびにそれに含まれる問題
点について略述する。まず、第１２〜１４図に基づいて
従来技術の概要を記すと、チップコンデンサに用いられ
る金属化フィルムの積層前の形態には２種類あり、その
一つは、第１２図Ａに示すとおり、帯状の誘電体フィル
ム１の表面において、該フィルムの一方の端縁部に沿っ
て横マージン部２ａを設けると共に、該マージン部２ａ
に連なり、かつ長さ方向に一定の間隔を保って前記マー
ジン部２ａに直交するような縦マージン部２ｂを形成さ
せ、さらに前記横マージン部２ａの間に金属蒸着膜３を
各々独立して存在させた金属化フィルムを使用してチッ
プコンデンサを製造するようにした手法である。すなわ
ち、第１２図Ａ−Ｄに示すように前記金属化フィルムの
多数枚を購マージン部２ａが互い違いになるように重ね
合せて集積させた上で、該マージン部が存在する両端縁
にそれぞれメタリコン部４を形成させた後、今度は、前
記横マージン部２ｂの中心線５に沿って独立した蒸着膜
毎に積層体を切り離すと、第１２図Ｂの左端に示すよう
なチップコンデンサ６が得られ、その拡大断面図は、第
１２図Ｃのとおりである。なお、前記のような金属化フ
ィルムを製造するに当っては、第１３図Ａ〜Ｂに示すよ
うに、素材フィルム７の表面に、金属蒸着膜３をあたか
もタイルを張付けたような模様を保って形成させ、次い
でこのものを図中、符号８．８′および９，９′で示す
切断線に沿って切断して第１２図Ａに示すような金属化
フィルムとする方法が知られている。ちなみに、この方
法において、素材フィルム上にマージン部を形成させる
に当っては、該マージン部に対応した置型の格子状マス
キングドラムを使用し、このドラム内に金属蒸発源を配
設して、蒸着に際して素材フィルム表面に前記ドラムの
格子に対応した形のマージン部を形成させるようにした
ものである。また、他の方法としては、前記した縦横そ
れぞれのマージン部に対応するスリットを穿設して成る
２個の回転筒式マスキングローラを用い、これを素材フ
ィルムに順次接触回転させつつ、該ローラ内からマスキ
ング油を前記スリットを介して蒸散させて前記素材フィ
ルム面に、スリット幅に対応したマージン部が残るよう
にマスキング浦で被覆してから、金属蒸着を施すといっ
た方法である。

以下、前記以外の従来法を、第１４図Ａ−Ｈに基づいて
略述する。この方法は、従来から汎用される、例えばマ
スキングテープを用いる方法、または放電加工もしくは
レーザ使用等の手段によって第１４図Ａに示すような形
態の２種類の金属化フィルム１０．１１、すなわち、長
平方向に連続したマージン部１２を有する金属化フィル
ム１０と、該マージン部１２の反対側に断続したマージ
ン部１３とを有する金属化フィルム１１をつくり、かつ
これらを交互に積層させて第１４図Ｂに示すような積層
体１４を構成させた上で、その両端面にメタリコン部４
，４を施した事例である。

上記いずれの形態の金属化フィルムも、次のような難点
を免れなかった。すなわち、第１の形態たる第１２図Ａ
のものにあっては、矩形状の蒸着金属３を取囲むように
三方にマージン部２ａ、２ｂが存在するため、このもの
を積層してからメタリコン部４を溶射するに当っては、
積層面全域に金属を溶射するのであるが、マージン部を
構成するフィルム部分には電気的に接続されず、蒸着金
属が存在する部分のみ電気的に接続されるにすぎない。

この点を第１２図りに示す単位の積層コンデンサ素子６
について考察すると、電極を構成する蒸着金属３の幅β
は当該積層体６の全幅β′よりも小さいために、その両
端面に金属を溶射すると、第１２図Ｂのように、見掛は
上は当該端面の全域にメタリコン部４が形成されたかの
ように見られるが、実際問題として、電気的には、前記
理由から当該メタリコン部は、第［２図りに符号４′で
示すように蒸着金属の幅βの範囲でのみメタリコン部が
溶着されるにすぎないのである。このように従来型の金
属化フィルムを使用したときには、積層面全域にメタリ
コン部を溶着させることができず、そのため、全面溶着
させたものに較べて、コンデンサとしてのタンデルタ特
性ならびに耐電圧強度に劣るという難点があった。この
ことは、第１４図に示すような形態の金属化フィルムに
あっても、程度の差はあれ同様にあてはまる。

一方、金属化フィルムの製造法を考察しても、前記のよ
うな形態のマージン部を真空蒸着機内で形成するには比
較的複雑なマスキング装置を使用しなければならずその
上、従来法にあっては、既に述べたように概ね矩形の蒸
着金属膜をタイル貼り形状のパターン模様を形成させ得
るだけで、例えば串形模様の如き複雑なパターン模様を
形成させることができないといった問題点があった。ま
た、真空蒸着機内でなく、−旦、蒸着後に放電又はレー
ザー光線により蒸着膜を除去してマージン部を形成する
方法もあるが、二工程となり経済的でない。

［問題点を解決するための手段］ 本発明は、前記の各先行技術に包蔵していた種々の問題
点を解決するため、金属化フィルムそれ自体における蒸
着金属のパターン模様に改良を加えて新規な形態の金属
化フィルムにすると共に、前記金属化フィルムを効率よ
く製造する方法に関しても新規な手段を開発したもので
ある。まず、前記の金属化フィルムの形態について述べ
ると、素材フィルムたる帯状の誘電体フィルムの表面に
形成させる金属蒸着膜のパターンを、次のようにしたこ
とに一つの特徴がある。すなわち、前記フィルムの長手
方向と直交する方向に、串形模様ないしは背骨状模様を
なす一定の独立したパターン模様をフィルムの長手方向
に沿って繰返して形成させると共に、このようなパター
ン模様を有する金属化フィルムを、前記各パターン模様
の中間に位置する切断線と当該各パターン模様の中心に
位置する切断線とで裁断して細長い金属化フィルムとす
れば、そのフィルムの向きを単に差替えるようにして互
い違いに積層させるだけで、前記のような難点の生じな
いチップコンデンサ用の素子が得られることに着目して
、前記形態の金属化フィルムを提供しようとしたもので
ある。

また、前記形態の金属化フィルムを製造するに当っても
、従来のようなマスキング方式と異なり、新たにパター
ンロールを介在させ、このパターンロールを誘電体フィ
ルムとマスキング油の供給ロールとの間、またはマスキ
ング油の蒸発器との間に配設して当該パターンロールの
表面に形成させたパターン模様に対応したマージン部を
誘電体フィルム面に転写方式で形成させるようにしたこ
とを特徴とする。しかして前記マスキング油をパターン
ロールに適用するに当っては、該油の貯槽内に半ば浸漬
するように設けたグラビヤロール又は必要に応じオフセ
ットロールを介在させた油供給装置を用いる。また、他
の方法としては、マスキング油を電気ヒータ等により加
熱して気化ないしは蒸発させる装置（オイルポットとも
いう）を設け、かつこの装置により気化ないしは蒸散さ
せた油を一旦オフセットロールに付着させ、該ロールに
付着した浦を前記パターンロールの表面に転移させてか
ら、その油を誘電体フィルムに転写させるようになす。

前記のようにしてパターンロール而に付着した油を誘電
体フィルムに転写させた上で、その誘電体フィルムの表
面に金属を蒸着させれば、油膜が存在する部分には金属
は蒸着されないので、前記フィルム面にはパターンロー
ルに形成されたパターン形状に対応したマージン部が形
成される。

なお、前記の各油膜形成装置は、いずれも真空蒸着機内
にとりつける必要がある。

上記のようにして後記実施例に示す如く誘電体フィルム
面に串形または背骨形のパターン形状を有する蒸着金属
面を形成させるもので、前記した小形または背骨形のパ
ターン形状とは、前記フィルムの長平方向に対して直角
方向に設けられた連続した直線状の金属蒸着膜と、該蒸
着膜を対称軸として、その両側において左右対称に伸び
る多数の枝状金属蒸着膜との全体をいい、本発明におい
ては前記串形または背骨形のパターン形状が誘電体フィ
ルムの長平方向に対して一定の間隔を保っての繰返し模
様として形成されるようにしたことにも特徴の一つがあ
る。

なお、誘電体フィルム面にマスキンク油を付着させる装
置の一例は、前述のように、浦を汲み上げるグラビヤロ
ールと、このグラビヤロールに接触回転するゴムロール
またはスポンジロール（天然ゴム系または合成樹脂系の
発泡体ロール）等のオフセットロールと、更に誘電体フ
ィルム面に油を転写するパターンロール（所定のパター
ン模様をロール表面において凸面部分と凹面部分とて構
成させたロール）の３段のロール構成から成る油付着装
置を用いる。

また、前述のように、マスキング油を気化または蒸散さ
せるための加熱ヒータつきの油ポットと、この油を付着
させるオフセットロールと、さらに該オフセットロール
と接触回転するパターンロールを組合わせた装置を用い
てもよい。

更にまた、グラビヤロールを用いての油転写装置にあっ
ては、転写ムラが生じないように、パターンロールの表
面を予め粗面化しておくか、あるいはロール表面を多孔
質の合成樹脂発泡体により形成させておくのを可とする
。なお、パターンロールの表面被覆として、印判に用い
る彫刻用ゴムを用いた場合には、当該ゴム表面を、ＪＩ
Ｓ規格による＃５００以上のサンドペーパーを用いて縦
横方向に各１〜２回程度擦過することにより粗面化する
ことが有効であることも判明した。

本発明で用いるマスキング油としては、通常の真空蒸着
に際して使用される油であれば、何にてもよいが、蒸着
金属の種類に応じ、当該金属の蒸気圧および平均分子量
などの特性を考慮して油を選択使用する必要がある。た
とえば、亜鉛の場合は、普通のシリコン油でもよいか、
アルミの場合には、低蒸気圧のパーフロロアルキルポリ
エーテルを用いることが好ましく、これにより鮮明なマ
ージン部（非蒸着部）を得ることができる。ちなみに、
パー７０ロアルキルポリエーテル油の蒸気圧は、１０−
１〜ＬＯ’Ｔｏｒｒの範囲のものが使用し得るが、蒸着
金属にアルミを使用した場合には、１０’Ｔｏｒｒ以上
のものが望ましい。

また、使用し得る蒸着金属の種類にも特に制限はないが
、一般的には、亜鉛、アルミニウム、錫、特別な場合に
は、金などが用いられる。

更にまた、誘電体フィルムとしては、高分子フィルムが
用いられ、例えば、ポリプロピレン、ポリエステル、ポ
リフェニレンスルフィド、ポリエーテルエーテルケトン
、ポリカーボネート、ポリサルフォン、ポリイミド、ポ
リスチレン、ポリエチレンなどのフィルムがあげられる
。

［実施態様］ まず、本発明により製造しようとする積層型チップコン
デンサ用の金属化フィルムそれ自体について具体的に説
明する。前記金属化フィルム面に蒸着された金属蒸着膜
の代表的な蒸着パターンを第１図に示す。同図において
、符号２■は帯状の誘電体フィルムにして、このフィル
ム面に符号２２で示すパターン模様を有する金属蒸着膜
を形成させて金属化フィルムとなす。すなわち、誘電体
フィルム面に串形または背骨形のパターン形状を有する
蒸着金属面を形成させるもので、前記した串形または背
骨形のパターン形状２２とは、前記フィルムの長平方向
に対して直角方向に設けられた連続した直線状の金属蒸
着膜２３と、該蒸着膜２３を対称軸として、その両側に
おいて左右対称に伸びる多数の枝状金属蒸着膜２４．２
４の全体をいい、かつ、図面から明らかなように串形ま
たは背骨形のパターン形状２２が、誘電体フィルムの長
平方向に対して一定の間隔を有する繰返し模様として形
成されるようになす。

以下、前記パターン模様を有する金属化フィルムを用い
て積層型チップコンデンサを製造する場合について述べ
る。まず、第１図に示す金属化フィルム２１を、前記各
パターン模様の中間に位置する切断線Ｓと当該各パター
ン模様の中心軸を構成する連続した直線状の金属蒸着膜
２３の中心線を通る切断線Ｔで切り離す。第２図は、連
続した前記の繰り返しパターン模様から１単位のパター
ン模様を取り出し、それに前記切断線を書き加えた説明
図である。上記のようにして金属化フィルムを裁断する
と第３図に示すような形態の細長い金属化フィルム２５
ａ、２５ｂが得られる。すなわち、該フィルムの一方の
端縁には直線状の金属蒸着膜２３が設けられ、かつ他方
の端縁には該フィルムの長手方向に沿った連続状の横マ
ージン部２６が形成され、さらに前記直線状の金属蒸着
膜２３から枝状に伸びる矩形状蒸着膜２４の間には、縦
マージン部２７が形成されるのである。なお、第３図に
符号２５ａ。

２５１）て示した金属化フィルムは、両者全く同一の形
態で、単にその向きを差し替えるようにして互い違いに
積層させるだけでよく、このようにして積層したちの２
８を第４図に示す。第４図の積層体２８の両端面に金属
を溶射してメタリコン部２９を形成させる。このように
してから前記積層体を同図に符号Ｕで示す裁断線に沿っ
てチップ状に切り離すと、第５図に示すようなチップ状
のコンデンザ素子か得られる。このものは同図に符号ａ
で示すように、当該積層体の端面全域に亘って直線状の
蒸着金属膜２３か存在するので、従来型と比較して金属
蒸着膜の面積が大きくなり、しかも当該金属蒸着膜とメ
タリコン部との溶着面積も広がり、その結果、コンデン
サの品質を左右するタンデルタ特性ならびに耐電圧特性
に優れたチップコンデンサが得られるのである。

以下、」二に述べたような本発明の金属化フィルムの製
造法について実施例に基づき具体的に説明する。

実施例１ 第６図は、マスキング油を前記のような所定のパターン
で誘電体フィルム２１に転写するための装置を内蔵させ
た真空蒸着機の側面図であって、図中、符号３０で示す
転写装置を用いて積層型チップコンデンサ用の金属化フ
ィルムを製造した。以下、全体の構成を含めてその詳細
を説明すると、真空槽３１（真空度は１Ｏ−２Ｔｏｒｒ
以下）内に、誘電体フィルム２１の一例として、厚さ１
２μｍの２輔延伸ポリエーテルエーテルケトンフイルム
の巻取り２１−を装架し、この巻取りのアンリール３２
から前記の誘電体フィルム２１を繰り出させる。一方、
前記フィルム２１の通過経路中に、後記のような構成を
有するマスキング油の転写装置３０を付設する。転写装
置３０の詳細は、第７〜９図に示すとおりで、符号３３
はマスキング浦の貯槽、３４は該貯槽３３内に半ば浸漬
するように架設したグラビヤロールで、このグラビヤロ
ールを介してマスキング油を汲みあげるようになす。グ
ラビヤロールのロール表面におけるメツシュ数は、２０
０〜６００メツシユの範囲とするのがよい。符号３４ａ
は、前記グラビヤロール３４に付設したドクター、３５
は、前記グラビヤロール３４に接触回転するオフセット
ロールで、前記グラビャロールで汲みあげた油を、後述
のパターンロールに転移させるために用い、好ましくは
、ロール表面を図示のような螺旋状の溝３５ａを形成さ
せたスポンジロールを用いるのを可とする。なお、本発
明においてはこのオフセットロールを用いることは必ず
しも必要ではない。

符号３６で示すロールは、前記のパターンロールであっ
て、具体的には第８〜９図に示すような構成の凸面部分
と凹面部分とによって前記のパターン模様がロール表面
に形成されたロールを用いる。

すなわち、例えば当該ロール表面を印版作成時に用いる
彫刻用のゴム板を用いて被覆し、かっこのゴム板に同図
に示すような串形または背骨形のパターン模様が繰り返
し現れるような彫刻を施しておく。第８図は、当該ロー
ル表面の凸面部分３６ａで、前記串形または背骨形の模
様を形成させた場合であり、第９図は、凹面部分３６ｂ
によって前記の繰り返し模様を形成させている。なお、
前記凸面部分も凹面部分も、あくまでも相対的なもので
、何れの形態を選んでも差し支えない。このように、本
発明においては、パターンロールのロール周面に対して
、凹凸模様によって前記した所定の小形または背骨形の
繰り返し模様か形成されるようにするもので、当該繰り
返し模様は、これを彫刻、その他の適宜の方法により作
成する。

しかして、上記構成のパターンロール３６は、これを前
記オフセットロール３５に接触回転するように配置し、
さらにこのパターンロール３６も、第６図に示すように
真空蒸着機内のクーリングキャン４０に接触回転するよ
うに取り付けて、かつ該ロール３Ｇとクーリングキャン
４０との間に、累月フィルムである誘電体フィルム２１
力弓１通するように構成させる。か＼る構成の転写装置
３０を用い、同装置における貯槽３３内に、−例として
ンリコーン浦（信越化学工業製ハイバックＦ４）を供給
して、同装置を稼動させると、このマスキング浦はグラ
ビヤロール３４によって汲み上げられると共に、ドクタ
ー３４ａを介して平準化された上で、その油は一旦、該
ロール３４に接触回転するオフセットロール３５に転移
した後に、前記パターンロール３６の表面に移し替えら
れる。換言すれば、第４．０図の実施態様にあっては、
前記のグラビヤロールで汲み上げられた油は、−例とし
て、硬質ウレタン樹脂発泡体からなるオフセットロール
に転移させられた後、今度は表面がゴム製のパターンロ
ールに再転移させるようにしているのである。そして、
このパターンロール３６の周面は、前記のように凸面部
分３６ａと凹面部分３６ｂとで構成されているため、そ
のうちの凸面部分のみが前記オフセットロール３５に接
触することになる。したがって当該オフセットロール３
５の表面に付着しているマスキング油は、パターンロー
ルの凸面部分３６ａの表面にだけ転移し、凹面部分３Ｂ
ｂには付着しない。そして、このパターンロールの凸面
部分３６ａに付着した油は、当該パターンロールが、油
の付着後に誘電体フィルム２１に接することになるため
、そのフィルム表面には、当該パターンロールの凸面部
分に対応したパターン模様を描いた状態でマスキング浦
が転写されることになる。

ちなみに前記実施例において、パターンロールに付着さ
せる油の量を調節する場合には、第一には前記グラビヤ
ロールのメツシュを変更すればよく、メツシュの細かい
（メツシュ数大）ロールを使用すれば油の供給量が減じ
、小さい数のメツシュとすればパターンロールへの油の
付着量が増加するから、このようにして誘電体フィルム
に形成させる油膜の厚みを調節する。その場合、該〇−
ルに付設されたドクターも補助的な役割を果すのは勿論
である。

かくして、誘電体フィルム２１の表面には第１図に白抜
部分として表現されている模様（ハツチングの施されて
いる部分以外の模様）が現出した状態下に、マスキング
油が塗られた状態となる。この様なパターン模様をもっ
た油膜が施された状態の誘電体フィルムは、次いで第６
図に示すように、亜鉛の蒸発源４１の直下に導かれる。

この場合、蒸発金属は前記油膜の存在していない部分の
みに蒸着され、マスキング油の存在する個所には蒸着さ
れない。それは前記金属の蒸発源上で油の再蒸発作用か
生じるためであって、当該油分子により金属原子の誘電
体に対する蒸着作用が妨げられられるからであると考え
られる。このようにして、誘電体フィルム面には第１図
に符号２３．２４で示すような串形ないしは背且形の繰
り返し模様をもった蒸着金属膜が形成され、蒸着膜が形
成されたフィルムは、第６図の巻取リール４２に巻き取
られて、チップコンデンサ用の中間製品となる。　なお
、第６図中の符号４３は案内ロール、４４は隔壁、４５
は排気ダクトである。　しかして前記の中間製品をチッ
プコンデンサ用の月料に使用するときには、第１図およ
び第２図に符号ＳおよびＴで示す切断線にしたがって細
長のテープ状に裁断した後、これを第３〜５図に示すよ
うに積層してからメタリコン部２９を金属溶射により形
成し、次いでこのものを角型に切断して積層型のチップ
コンデンサとするものである。

上記のようにして得られた積層型チップコンデンサの耐
電圧は、ＬＯＯＯＶ以上であり、ｔａｎδも良好であっ
た。

なお、上記実施例において、パターンロール３６の表面
を彫刻用ゴム板で被覆した場合には、当該ゴム板におけ
る凸面部分３６ａの表面に対して、次のような粗面化加
工を施しておくと、下記データからも明らかなように油
膜の形成に有効である。

すなわち、前記凸面部分を一例としてサンドペーパー（
ＪＩＳ規格＃５００のものを使用）で縦横両方向に各１
〜２回程度擦過して予め粗面化しておくのである。

次に前記粗面化加工を行ったときの粗面化度が、油の転
写に与える影響について考察した結果について記す。

彫刻用のゴム板をパターンロール表面に被覆し、かつ、
当該ゴム板の凸面部分表面を、下記規格のサンドペーパ
ーを用いて様々に粗面化し、かっこのようにして粗面化
した凸面部分表面を資するパターンローラを用い、その
表面にシリコーン油（信越化学工業製ハイバックｔ’４
）を付着させて油膜を形成させた後、この油膜をポリエ
ステルフィルムの表面に転写し、これを数回繰返して油
の転写状態を観察した。前記フィルムに転写ムラが発生
した面積の割合（％）を求め、それによって油の転写度
合いの良否を評価した。結果は、下表のとおりであった
。

使用したサンド　　　　　１回目　２回目　３回目ペー
パーの粗さＮｏ、　　　　　（％）　　（％）　　（％
）処理せず　　　　　　　　　０　　３０　　６０＃１
２００　　　　　　　　０　　１０＃１０００　　　　
　　　　０　　１０　　３０＃５００　　　　　　　　
０５２０ ＃２４０　　　　　　　　００２０ ＃１２０　　　　　　　　００１０ 表に示すごとく、粗面化を進めるほど転写ムラがすくな
（なる傾向を示し、実用上は＃５００程度以」二の粗面
化度とするのがよい。

実施例２ 第１Ｇ〜１１図に示す装置（真空度ＬＯ’Ｔｏｒｒの真
空蒸着機）を用い、かつ蒸着金属としてはアルミニウム
を使用し、また、マスキンク浦としては、パーフロロア
ルキルポリエーテル油（ダイキン工業”１１５−６５　
、　１００°Ｃにおける蒸気圧１．　Ｘ　１．０−４Ｔ
ｏｒｒ）を使用して、実施例１と同様なパターン模様を
有する形態の金属化フィルムを得た。すなわち、第１０
〜１１図に示す装置を、実施例１で用いた装置と比較し
た場合、マスキング油を誘電体フィルムに転写する装置
３０の部分のみに変更があるだけで、その他の構成は、
第６図に示す装置と全く同一である。また、以下の説明
からも明らかなように、誘電体フィルムに接触回転する
パターンロール３６の構成も第８〜９図に示すものと同
様であるので、これら構成か同一の部材に関しては前記
と同一の符号を付し、その説明についても重複した記述
を省く。

前述のように、第１０図に示す装置中、前記と異なる構
成を有する個所は、マスキング油の転写装置のみである
から、以下、この装置について説明する。第１０図中、
符号３０で示す個所が前記の転写装置であって、その部
分の拡大図が第１Ｌ図である。

第１１図において、符号３７は、マスキング油を気化ま
たは蒸散させるだめの加熱ヒータっきの油ポットであっ
て、該ポットの上部にはスリット状の開口部３７ａが形
成され、かつ前記ポットに近接した位置にオフセットロ
ール３８が設けられている。しかして前記ポット内に供
給されたマスキング油は、該ポットに取り付けられた電
気ヒータによって加熱されて気化ないしは蒸散するが、
その場合の浦の蒸気は前記スリット状の開口部３７ａを
介して、それに近接するオフセットロール３８の表面に
付着する。このようにしてオフセットロール８８の表面
に浦を付着させ、次いで付着させた油を、該オフセット
ロールと接触回転するパターンロール３Ｂに転移させる
のである。前記パターンロール３６の表面は、第８〜９
図に示すように、凸面部分３６ａと凹面部分３６ｂとで
構成されているので、前記と同様に、凸面部分のみに油
が転移され、凹面部分３６ｂには油が付着しない。した
がってこのパターンロール３６が接触する誘電体フィル
ム２１に対しては、該パターンロール３６に転移した油
だけか転写されるから、前記パターンロール面に設けら
れたパターン模様に対応した形状の繰り返し模様を描い
てフィルム面に油膜が形成される。なお、第１０〜１１
図中に符号３８ａで示すドクターは、オフセットロール
３８の表面に付着した浦を掻き取るためのもので、この
ロール３８における凹面部分３６ｂの面に付着した油は
パターンロールに転移されず、残っているので、残され
た油を掻きとり、常にロール表面を清浄な状態に保って
おく作用を営む。

ちなみに、上記実施例において誘電体」−に形成させる
マスキング油の油膜の厚みを調節するに際しては、油ポ
ットの蒸発面に近接して設けたオフセットロール３８の
回転速度（周速度）を変更すればよく、油の蒸発量を一
定とした場合、その速度を速めれば油膜は薄くなり、遅
くすれば厚い油膜が形成される。

［発明の効果］ 上記説明からも明らかなように、本発明による金属化フ
ィルムは、誘電体フィルム面に形成される蒸着金属膜の
分布態様が串形ないしは背眉・形のパターン形状を単位
とする繰返し模様で構成されているため、前記パターン
形状の軸線を形成する直線状蒸着膜と当該直線状蒸着膜
の両側に伸びる枝状蒸着膜とが一体となって独立した状
態で誘電体フィルム面に金属蒸着される。その結果、積
層型のチップコンデンサ用金属化フィルムとする場合に
も、前記直線状蒸着膜の中心線と互いに隣り合う枝状蒸
着膜の間の中心線とを切断線として該金属化フィルムを
テープ状に切り離し、積７台に際ししては、それらを−
枚ごとに向きを変えて重ね合わせるだけで、対向電極が
構成される。したがって従来のように、対向電極ごとに
蒸着形状の異なった金属化フィルムを製造する必要なく
、またそのための特別の加工を施す必要もない点で、チ
ップコンデンサ用の金属化フィルムとして（Ｒれた効果
を発揮する。

その上、本発明により得られる金属化ライルムは、これ
を１個ごとのコンデンサとして考察した場合にも、電極
取出口となるメタリコン部が当該金属化フィルムの全幅
に亘って電気的にも完全に溶着し、従来のように誘電体
フィルムのマージン部にメタリコン部が見掛上付着して
いるようなコンデンサとはならない。そのため、チップ
コンデンサそれ自体の耐電圧特性をたかめるたけでなし
に、この種コンデンサの品質を左右するタンデルタ特性
をも向上させることができる点て、画明的な効果を奏す
る。

さらにまた、本発明によれば、前記構成の金属化フィル
ムを製造するに際しても、前記特殊なパターン形状をパ
ターンロールを主体とする転写装置を介し印刷方式によ
って誘電体フィルム面にマスキング油を転写させた」二
で、金属蒸着を行えは足りるといった、工業的にも極め
て実施し易い方法を開発したから、実用化か容易である
という利点を発揮する。

上に詳述したとおり、本発明により製造された金属化フ
ィルムは、近年、エレクトロニクスの伸展に伴なって増
大している積層型チップコンデンサの需要を充分に満た
すことができると共に、得られるチップコンデンサの品
質をも向」ニさせることができる点で、産業」二の利用
性も高い。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明たる金属化フィルムの一部を示す平面
図、第２図は同上一部の拡大平面図、第３図は、前記の
金属化フィルムを該フィルムの長手方向と直角な方向に
切断して細長いテープ状の金属化フィルムにした状態を
示す斜視図、第４図は、第３図に示すテープ状の金属化
フィルムを一枚ごとに向きを変えて積層した後、その積
層体の両端面にメタリコン部を溶着した状態を示す斜視
図にして、前記メタリコン部の一部を切欠いて示した。 第５図は、第４図に示す積層体を同図のＵ線で切り離し
た状態を示す斜視図、第６図は、本発明の方法にしたか
い金属化フィルムを製造する場合に用いる真空蒸着機の
一例を示す骨格的断面図、第７図は、前記真空蒸着機内
に（＝Ｊ設するマスキング油の転写装置の一例を示す斜
視図、第８〜９図は、前記転写装置を構成するパターン
ロールの一部を拡大して示した斜視図、第１０図は、本
発明を他の実施例に使用する真空蒸着機の刊・名曲断面
図、第１１図は第１０図の真空蒸着機に付設したマスキ
ング浦の転写装置の拡大斜視図、第１２図ないし第１４
図は、従来型の金属化フィルムならびに該フィルムを用
いて集積型のチップコンデンサをを製造する場合の説明
図であって、第１２図Ａは、金属化フィルムそれ自体の
平面図、第１２図Ｂは、それを集積させた後メタリコン
部を施こすと共に、そのの一部を切り離して単位のチッ
プコンデンサとした場合を示す斜視図、第１２図Ｃは同
図ＢのＣ線における拡大断面図、第１２図りは、前記チ
ップコンデンサの説明用斜視図、第１３図Ａ−Ｂは、誘
電体フィルム面に蒸着した金属蒸着膜のパターン形状を
示す平面図、第１４図Ａは、同じく曲の従来例における
金属化フィルムの平面図、第１４図Ｂは、同図Ｂに示す
金属化フィルムの集積状態を描いた斜視図である。 ２ｊ・・・誘電体フィルム、２２・・・単位のパターン
形状２３・・直線状金属蒸着膜、２４・・・枝状金属蒸
着膜、２５ａ、２５ｂ・・・テープ状に裁断した金属化
フィルム、２６・・・横マージン部、２７・・・縦マー
ジン部、２８・・・積層体、２９・・・メタリコン部、
３０・・・転写装置、３１・・・真空槽、３２・・・ア
ンリール、３３・・・貯槽、３４・・・グラビヤロール
、３４ａ、３８ａ・・・ドクター、３５．３８オフセッ
トロール、３６・・・パターンロール、３６ａ・・・凸
面部分、３６１）・・・凹面部分、３７・・・油ポット
、３９・・・油溜め、４０・・・クーリングキャン、４
１・・・金属蒸発源、４２・・巻取リール、４３・・・
案内ロール、４４・・隔壁、４５・・排気ダクト。 第１図 本州製紙株式会社

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　凸面部分と凹面部分とでロール表面が構成されたパ
   ターンロールを用い、真空蒸着機内で誘電体フィルム面
   に対して、串形模様ないしは背骨状模様をなす一定の独
   立したパターン模様をなすマスキング油の油膜をフィル
   ムの長手方向に沿って繰返して形成させ、次いでそのフ
   ィルム面に金属蒸着を行うことを特徴とする積層型チッ
   プコンデンサ用金属化フィルムの製造方法。 ２　パターンロールへマスキング油を供給するに際して
   、油の貯槽内に半ば浸漬させたグラビヤロールと該グラ
   ビヤロールに接触回転するオフセットロールとを介して
   行い、かつ前記オフセットロールのロール表面を合成樹
   脂発泡体となし、これらロール群によって油の付着量を
   調節しながら均一化した請求項１記載の積層型チップコ
   ンデンサ用金属化フィルムの製造方法。 ３　パターンロールのロール表面に設けたゴム被覆にお
   ける凸面部分を粗面化した請求項１または２記載の積層
   型チップコンデンサ用金属化フィルムの製造方法。 ４　パターンロールのロール表面を多孔質の合成樹脂発
   泡体で構成させた請求項１，２または３記載の積層型チ
   ップコンデンサ用金属化フィルムの製造方法。 ５　串形模様ないしは背骨状模様をなす一定の独立した
   パターン模様をロール表面に対して凸面部分と凹面部分
   とで構成させたパターンロールを用い、かつ該パターン
   ロールにマスキング油を供給するに当っては、金属蒸着
   機内にマスキング油を加熱して気化ないしは蒸発させる
   装置を設け、かつこの装置により気化ないしは蒸散させ
   た油を、一旦オフセットロールに付着させ、該ロールに
   付着した油を前記パターンロールの表面に転移させてか
   ら、その油を誘電体フィルムに転写させるようにした請
   求項１記載の積層型チップコンデンサ用金属化フィルム
   の製造方法。 ６　マスキング油としてパーフロロアルキルポリエーテ
   ルを用いた請求項１ないし５の何れかに記載の積層型チ
   ップコンデンサ用金属化フィルムの製造方法。