KR20090047543A

KR20090047543A - 필름 커트 장치 및 필름 커트 방법

Info

Publication number: KR20090047543A
Application number: KR1020097006160A
Authority: KR
Inventors: 요오지 다끼자와; 하찌야 다께우찌; 신이찌 데즈까; 히사시 니시가끼
Original assignee: 시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤
Priority date: 2006-09-27
Filing date: 2007-09-19
Publication date: 2009-05-12
Also published as: CN101522358A; WO2008041349A1; TWI394154B; CN101522358B; TW200826094A; US20100102044A1; JPWO2008041349A1; KR101079365B1; JP4580444B2

Abstract

본 발명은 레이저에 의해, 기판의 외측 모서리 및 내측 모서리에 맞추어 보호용의 필름을 절단할 때에 발생하는 연기를, 필름으로의 매연의 부착을 방지하면서, 효율적으로 배제하는 것이 가능한 필름 커트 장치 및 필름 커트 방법을 제공한다. 레이저의 조사에 의해, 디스크의 외측 모서리 및 내측 모서리에 맞추어 필름(1)을 절단하는 레이저 조사 장치(6)와, 레이저 조사에 의한 절단시에 발생하는 연기를 흡인하는 제1 흡기부(3) 및 제2 흡기부(4)와, 필름(1)에 있어서의 디스크에 대응하는 표면으로의 연기의 유입을 억제하도록, 제1 흡기부(3)에 의한 기류를 조정하는 조정부(5)를 갖는다. 레이저 조사 장치(6)에 의한 내측 모서리에 맞춘 필름(1)의 절단 전에, 내측 모서리의 내측에 절개 홈을 낸다.

필름, 레이저 조사 장치, 흡기부, 조정부, 절개부

Description

필름 커트 장치 및 필름 커트 방법{FILM CUTTING APPARATUS, AND FILM CUTTING METHOD}

본 발명은, 예를 들어 광 디스크 등의 표면에 부착하여 보호하기 위한 필름을, 광 디스크의 외측 모서리 및 내측 모서리에 맞추어 절단하기 위한 필름 커트 장치 및 필름 커트 방법에 관한 것이다.

광 디스크나 광자기 디스크 등의 광학 판독식의 원반 형상 기록 매체는, 기판에 형성된 기록면을 보호하는 보호층으로서, 수지에 의한 층을 형성할 필요가 있다. 예를 들어, 블루레이 디스크(BD)에 있어서는, 단층의 경우, 폴리카보네이트제의 기판을 사출 성형하고, 스패터링 등에 의해 반사막 등을 형성한 후에, 수지제의 필름 시트를 부착하거나, 수지를 스핀 코트로 도포함으로써 보호층을 형성하고 있다.

여기서, 필름 시트를 부착하는 방식의 경우, 미리, 디스크의 형상에 맞추어 필름을 절단함으로써, 디스크 형상의 시트를 준비해 둘 필요가 있다. 이와 같은 필름의 절단에는, 종래부터, 커터, 금형에 의한 펀칭 등이 행해져 왔다. 그러나, 이와 같은 기계적인 접촉에 의한 절단 방법에서는, 파단 코너부에 버어나 절삭 칩이 발생한다. 또한, 커터나 금형은, 사용의 계속에 의해 서서히 열화되어 가기 때 문에, 사용 개시시로부터 수명시까지의 사이에 제품에 변동이 발생한다.

이와 같은 버어, 절삭 칩, 제품의 변동이 존재하면, 예를 들어 블루레이 디스크와 같이, 1.1㎜ 두께의 디스크에 0.1㎜의 두께의 커버층을 형성할 필요성이 있는 고밀도 디스크의 경우, 신호 특성 검사에 있어서 에러가 발생할 가능성이 높아져, 수율이 저하된다.

이것에 대처하기 위해, 커터나 금형과 같은 기계적인 접촉에 의한 절단이 아니라, 비접촉의 절단 가공을 행하는 방법을 생각할 수 있다. 예를 들어, 레이저에 의한 방법은, 절단 부위가 매끄럽게 마무리되는 것이 알려져 있다. 단, 레이저에 의한 절단을 행한 경우에는, 절단 부위로부터 연기가 발생하고, 이 연기가 시트에 부착되어 오염될 가능성이 있다. 이로 인해, 특허 문헌 1, 특허 문헌 2에 개시되어 있는 레이저 가공 기술에서는, 절단 부위로부터 배기를 행함으로써, 연기의 잔류를 방지하고 있다.

특허 문헌 1 : 일본 특허 출원 공개 평6-285668호 공보

특허 문헌 2 : 일본 특허 공표 제2002-537140호 공보

그런데, 상기와 같은 종래 레이저 가공 기술을, 디스크의 보호 필름을 위해 사용하는 경우에는, 이하와 같은 문제가 있었다. 즉, 일정한 위치에 설치된 흡인 장치로부터 단순히 흡인하는 경우, 그것에 의해 발생하는 기류의 방향에 따라서는, 연기가 필름의 표면을 통과함으로써, 매연의 부착이 발생할 가능성이 있다.

특히, 디스크의 내측 모서리에 맞추어 내측의 원형을 오려내는 경우에는, 외측으로부터 흡인하면, 내측으로부터 외측으로의 기류에 의해, 연기가 필름의 표면을 통과하고, 매연의 부착을 초래하게 된다. 그러나, 흡인을 내측 모서리의 상방으로부터 행한 경우에는 필름의 들뜸이 발생하기 쉽고, 흡인을 내측 모서리의 하방으로부터 행한 경우에는 절단 개시시에 발생하는 간극은 지나치게 작으므로, 거기로부터 발생한 연기를 효율적으로 하방으로 배출하는 것은 곤란하다.

본 발명은, 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 제안된 것이고, 그 목적은, 레이저에 의해, 기판의 외측 모서리 및 내측 모서리에 맞추어 보호용의 필름을 절단할 때에 발생하는 연기를, 필름으로의 매연의 부착을 방지하면서, 효율적으로 배제하는 것이 가능한 필름 커트 장치 및 필름 커트 방법을 제공하는 것에 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 필름 커트 장치는, 레이저의 조사에 의해, 기판의 외측 모서리 및 내측 모서리에 맞추어 필름을 절단하는 절단부와, 상기 절단부에 의한 절단시에 발생하는 연기를 흡인하는 흡인부와, 필름에 있어서의 기판에 대응하는 표면으로의 연기의 유입을 억제하도록, 상기 흡인 장치에 의한 기류를 조정하는 조정부를 갖는 것을 특징으로 한다.

이상과 같은 본 발명에서는, 기판에 대응하는 면으로의 연기의 유입을 억제하면서, 레이저에 의한 필름의 절단을 행할 수 있으므로, 버어나 절삭 칩의 발생이나 매연의 부착을 방지할 수 있다.

다른 형태는, 상기 절단 장치에 의한 내측 모서리에 맞춘 필름의 절단시 혹은 절단 전에, 내측 모서리의 내측에 절개 홈을 내는 절개부를 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.

다른 형태인 필름 커트 방법은, 레이저의 조사에 의해, 기판의 외측 모서리에 맞추어 필름을 절단하는 동시에, 절단시에 발생하는 연기를, 상기 필름에 있어서의 기판의 외측 모서리의 외측 방향으로 흡인하고, 레이저의 조사 혹은 커터에 의해, 상기 필름에 있어서의 기판의 내측 모서리의 내측에 절개 홈을 내고, 기판의 내측 모서리에 맞추어 레이저의 조사에 의해 필름을 절단하는 동시에, 절단시에 발생하는 연기를, 상기 필름에 있어서의 기판의 내측 모서리의 내측 방향으로 흡인하는 것을 특징으로 한다.

이상과 같은 형태에서는, 내측 모서리의 절단시에, 그 내측에 절개 홈을 내기 때문에, 하측으로부터 흡인한 경우라도, 연기를 효율적으로 배출할 수 있는 것이다.

다른 형태는, 상기 절단부와 상기 절개부는 공통의 레이저 조사 장치인 것을 특징으로 한다.

이상과 같은 형태에서는, 1대의 레이저 조사 장치에 의해, 외측 모서리 및 내측 모서리의 절단과 절개를 모두 행할 수 있으므로, 구조를 간소화할 수 있는 동시에, 대형화를 방지할 수 있다.

다른 형태는, 절단시에 필름이 적재되는 받침대를 갖고, 상기 받침대에 있어서의 필름에 대한 레이저의 조사 위치에, 레이저를 흡수하지 않는 재료에 의한 보호부가 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

이상과 같은 형태에서는, 레이저의 조사 위치가 보호부에 의해 보호되므로, 받침대의 열화가 방지된다. 또한, 받침대로부터의 연기 발생을 억제할 수 있다.

다른 형태는, 상기 흡인부는, 필름에 있어서의 기판의 외측 모서리의 외측에 대응하는 위치에 설치된 제1 흡기부와, 필름에 있어서의 기판의 내측 모서리의 내측에 설치된 제2 흡기부를 갖는 것을 특징으로 한다.

이상과 같은 형태에서는, 제1 흡기부가 외측 모서리의 외측으로부터 흡인하고, 제2 흡기부가 내측 모서리의 내측으로부터 흡인하므로, 기판에 대응하는 필름의 표면으로의 연기의 유통이 방지된다.

다른 형태는, 상기 제1 흡기부에는 기류의 버퍼 공간이 마련되어 있는 것을 특징으로 한다.

이상과 같은 형태에서는, 제1 흡기부로부터 흡기할 때에, 버퍼 공간을 통과시킴으로써 기류가 안정된다.

다른 형태는, 상기 제1 흡기부는, 연기가 소용돌이 형상으로 흡인되도록 복수 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.

이상과 같은 형태에서는, 연기를 소용돌이 형상으로 흡인하므로, 필름 표면으로의 연기의 유입이 확실하게 방지된다.

다른 형태는, 상기 제2 흡기부는 절단된 필름의 배출 경로를 갖는 것을 특징으로 한다.

이상과 같은 형태에서는, 제2 흡기부에 의한 연기의 흡기와 동시에, 잘라내어진 필름도 배출할 수 있으므로, 배출을 위한 장치를 특별히 준비할 필요가 없다.

다른 형태는, 상기 제2 흡기부는, 상기 절개 홈을 관통하는 흡기통을 갖는 것을 특징으로 한다.

다른 형태는, 상기 조정부는, 필름에 있어서의 레이저의 조사 위치를 덮는 커버부를 구성하고, 상기 커버부 내의 공기를 배제하는 배제부를 갖는 것을 특징으로 한다.

이상과 같은 형태에서는, 커버부에 의해 덮어진 공간으로부터 공기를 배제함으로써, 발생하는 연기를 저감할 수 있다.

다른 형태는, 상기 커버부의 적어도 일부는 레이저를 투과하는 재질에 의해 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

이상과 같은 형태에서는, 레이저를 커버부의 외측으로부터 조사할 수 있으므로, 커버부를 작게 할 수 있고, 배기량을 저감하여 택 타임을 단축할 수 있다.

이상, 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 레이저에 의해, 기판의 외측 모서리 및 내측 모서리에 맞추어 보호용의 필름을 절단할 때에 발생하는 연기를, 필름으로의 매연의 부착을 방지하면서, 효율적으로 배제하는 것이 가능한 필름 커트 장치 및 필름 커트 방법을 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명의 필름 커트 장치의 일 실시 형태에 있어서의 외측 모서리의 절단시를 도시하는 단면도이다.

도 2는 도 1의 평면도이다.

도 3은 도 1의 실시 형태에 있어서의 절개시를 도시하는 단면도이다.

도 4는 도 3의 평면도이다.

도 5는 도 1의 실시 형태에 있어서의 내측 모서리의 절단시를 도시하는 단면도이다.

도 6은 도 5의 평면도이다.

도 7은 본 발명의 필름 커트 장치의 조정부와 흡기부를 별개 부재로 한 일 실시 형태에 있어서의 외측 모서리의 절단시를 도시하는 단면도이다.

도 8은 도 7의 평면도이다.

도 9는 도 7의 실시 형태에 있어서의 내측 모서리의 절단시를 도시하는 단면도이다.

도 10은 본 발명의 필름 커트 장치의 일 실시 형태에 있어서의 오려냄 부분의 배출 구조를 도시하는 단면도이다.

도 11은 본 발명의 필름 커트 장치의 일 실시 형태에 있어서의 필름의 진공 척 구조를 도시하는 단면도이다.

도 12는 본 발명의 필름 커트 장치의 일 실시 형태에 있어서의 내측 모서리의 절단 위치와 오려냄 부분의 배출 구조를 도시하는 단면도이다.

도 13은 도 12에 있어서의 오려냄 부분의 배출 상태를 도시하는 단면도이다.

도 14는 본 발명의 필름 커트 장치의 일 실시 형태에 있어서의 내측의 흡기부를 필름을 관통하는 통 형상체로 한 예를 나타내는 단면도이다.

도 15는 본 발명의 필름 커트 장치의 일 실시 형태에 있어서의 테이블에 진공 척과 서포터링을 조합한 예를 나타내는 단면도이다.

도 16은 도 15의 테이블의 평면도이다.

도 17은 도 15의 서포터링과 홈의 관계를 나타내는 확대 사시도이다.

도 18은 본 발명의 필름 커트 장치의 커버 내에서의 레이저 조사에 의해 절단하는 일 실시 형태를 도시하는 단면도이다.

도 19는 본 발명의 필름 커트 장치의 커버 외측으로부터의 레이저 조사에 의해 절단하는 일 실시 형태를 도시하는 단면도이다.

도 20은 본 발명의 필름 커트 장치의 일 실시 형태에 있어서의 절단 공간이 나누어진 커버를 도시하는 단면도이다.

도 21은 본 발명의 필름 커트 장치의 흡기부와 조정부를 일체의 유닛으로서 이동 가능하게 한 일 실시 형태를 도시하는 단면도이다.

도 22는 본 발명의 필름 커트 장치의 흡기부와 조정부를 일체의 유닛으로서 이동 가능하게 하고, 내측과 외측에서 별개 부재로 한 일 실시 형태를 도시하는 평면도이다.

도 23은 본 발명의 필름 커트 장치의 흡기부와 조정부를 일체의 유닛으로서, 레이저 주사에 따라서 이동 가능하게 한 일 실시 형태를 도시하는 평면도이다.

도 24는 도 23의 절단 라인의 옆을 이동시키는 경우의 유닛 도24의 (a)와, 절단 라인 상을 이동시키는 경우의 유닛 도24의 (b)를 도시하는 단면도이다.

[부호의 설명]

1 : 필름

1a : 오려냄 부분

2 : 테이블

2a, 14a : 홈

3 : 제1 흡기부

4 : 제2 흡기부

4a : 내측 통

4b : 외측 통

4c, 3a : 구멍

5 : 조정부

5a : 버퍼 공간

6 : 레이저 조사 장치

7 : 구획부

8 : 커버

9, 9a, 9b : 유닛

11, 13 : 라인

12 : 절개 홈

14 : 서포터링

A : 기류

S : 연기

다음에, 본 발명의 실시 형태(이하, 실시 형태라 부름)에 대해, 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.

[구성]

우선, 본 실시 형태(이하, 본 장치라 부름)의 구성을, 도 1 내지 도 5를 참조하여 설명한다. 또한, 본 장치는, 광 디스크의 보호용의 시트를, 필름(1)으로부터 절단하는 필름 커트 장치이고, 필름(1)의 송출, 권취를 행하는 릴 장치, 절단 후의 시트를 핸들링하여 반출하는 핸들링 장치 등에 대해서는, 공지된 모든 기술을 적용 가능하기 때문에, 설명을 생략한다.

즉, 본 장치는, 도 1에 도시한 바와 같이, 테이블(2), 제1 흡기부(3), 제2 흡기부(4), 조정부(5), 레이저 조사 장치(6) 등을 구비하고 있다. 테이블(2)은, 송출되어 온 필름(1)이, 일정한 장력을 유지하여 수평으로 지지되면서 통과하는 받침대이다. 필름(1)의 이동은, 디스크를 오려내는 영역을 확보할 수 있는 길이의 이동과, 절단에 필요한 시간의 정지를 반복하는 간헐적인 것이다.

제1 흡기부(3)는, 도시하지 않은 진공원에 접속되어 있고, 필름(1)에 있어서의 디스크의 외측 모서리에 대응하는 라인(11)의 외측에, 4개 설치되어 있다. 이 제1 흡기부(3)는, 도 2에 도시한 바와 같이, 기류(A)가, 당해 외측 모서리의 외측을 향하는 소용돌이 형상(사이클론 형상)으로 발생하도록, 서로 대략 직교하는 방향으로 형성된 구멍(3a)을 갖고 있다. 제2 흡기부(4)는, 도시하지 않은 진공원에 접속된 유로의 개구 단부이고, 필름(1)에 있어서의 디스크의 내측 모서리에 대응하는 라인(13)(도 5 참조)의 내측이며, 그 하부에 설치되어 있다.

조정부(5)는, 제1 흡기부(3)에 의해 발생하는 기류를 조정하는 수단이고, 테이블(2)을 통과하는 필름(1)의 상부에 배치되어 있다. 이 조정부(5)는, 외측으로 흡인된 연기의 복귀를 차단하는 원통 형상의 부분을 갖고, 그 바닥면과 필름(1) 사이에 기류가 통과하는 공간이 생기는 높이에 설치되어 있다. 또한, 이 조정부(5)와 제1 흡기부(3) 사이에는 기류의 버퍼 공간(5a)이 마련되어 있다.

제1 흡기부(3)는, 그 바닥면이 필름(1)으로부터 약간 떠 있다. 단, 제1 흡기부(3) 및 조정부(5)를 승강 가능하게 구성하여, 절단시에 하강시킴으로써, 필름(1)에 접촉시키거나, 필름(1)을 압박하도록 하여, 필름(1)의 위치를 안정적으로 유지하도록 해도 좋다. 또한, 조정부(5)에 있어서의 원통 형상 부분과 제1 흡기부(3)가 접속된 부분은, 분리 가능하게 설치되어 있고, 버퍼 공간(5a)의 내면을 세정하기 쉬운 구성으로 되어 있다.

레이저 조사 장치(6)는, CO₂ 레이저에 의해 필름(1)을 절단하는 장치이고, 필름(1)의 두께에 맞춘 파워를 제어할 수 있다. 본 실시 형태에 있어서는, 레이저(L)의 조사 방향과 조사 위치를 바꿈으로써, 필름(1)에 대해 디스크의 외측 모서리에 대응하는 원형의 라인(11)과, 내측 모서리에 대응하는 원형의 라인(13)을 절단하는 것과, 내측 모서리에 대응하는 원형의 내측에 절개 홈(12)(도 3)을 낼 수 있다.

제1 흡기부(3)와 제2 흡기부(4)를 위한 진공원은, 양자 공통이라도, 각각 독립이라도 좋으나, 제1 흡기부(3)의 흡기 타이밍, 제2 흡기부(4)의 흡기 타이밍, 레이저 조사 장치(6)에 의한 레이저(L)의 조사 타이밍은, 도시하지 않은 제어 장치에 의해, 각각 후술하는 바와 같이 제어된다. 이와 같은 제어 장치를 컴퓨터에 의해 실현시키기 위한 프로그램 및 이것을 기록한 기록 매체도 본 발명에 포함된다.

[작용]

이상과 같은 본 장치에 의해, 필름(1)을 절단하는 방법을, 도 1 내지 도 6을 참조하여 설명한다. 우선, 도 1에 도시한 바와 같이, 진공원을 작동시켜 제1 흡기부(3)로의 기류(A)를 발생시키는 동시에, 레이저 조사 장치(6)에 의해, 필름(1)에 대해, 디스크의 외측 모서리에 맞춘 원형의 라인(11)에 레이저(L)를 조사한다.

기류(A)는, 버퍼 공간(5a)을 통과하여 안정된 후, 구멍(3a)을 통과하여 제1 흡기부(3)로부터 배출된다. 이때, 절단 부위로부터 발생하는 연기(S)는, 기류(A)에 의해 배출된다. 기류(A)는, 도 2에 도시한 바와 같이, 외측 모서리의 외측을 향하는 소용돌이 형상으로 발생하는 동시에, 조정부(5)의 원통 형상의 부분에 의해, 외측 모서리의 내외가 구획되므로, 연기(S)가 필름(1)에 있어서의 디스크에 대응하는 면에 유입되는 것이 방지된다.

다음에, 제1 흡기부(3)로부터의 흡인을 정지하고, 진공원을 작동시켜 제2 흡기부(4)로부터의 흡인을 개시한다. 그리고, 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 레이저 조사 장치(6)에 의해, 필름(1)에 대해, 내측 모서리의 내측에 레이저(L)를 조사하여 절개 홈(12)을 낸다. 이 절개 홈(12)은, 도 4의 예에서는 십자로 했으나, 반드시 이 형상에는 한정되지 않는다. 또한, 제2 흡기부(4)로부터의 흡인은, 레이저(L)의 조사에 의한 절개 개시와 동시라도 좋다.

이와 같이 절개 홈(12)을 냄으로써, 도 5에 도시한 바와 같이, 제2 흡기부(4)로의 기류(A)가 발생한다. 이 상태에서, 레이저 조사 장치(6)에 의해, 필 름(1)에 대해, 디스크의 내측 모서리에 맞춘 원형의 라인(13)에 레이저(L)를 조사한다. 이때, 절단 부위로부터 발생하는 연기(S)는, 기류(A)에 의해 제2 흡기부(4)에 흡인된다.

기류(A)는, 도 6에 도시한 바와 같이, 디스크의 내측 모서리의 내측의 절개 홈을 향하는 방향으로 발생하므로, 연기(S)가 필름(1)에 있어서의 디스크에 대응하는 면으로 유입되는 것이 방지된다. 그 후, 제2 흡기부(4)로부터의 흡인을 정지한다. 이상과 같이 필름(1)으로부터 오려내어진 시트는, 핸들링 장치에 의해 반출되어, 다음 공정에서의 처리가 행해진다. 또한, 내측으로부터 오려내어진 오려냄 부분은, 동일 혹은 별도의 핸들링 장치에 의해 배제해도 좋고, 제2 흡기부(4)로부터의 흡인에 의해 배제해도 좋다.

[효과]

이상과 같은 본 실시 형태에 따르면, 레이저(L)의 조사에 의해 비접촉으로 절단하므로, 버어나 절삭 칩이 발생하지 않고, 절단 부위가 매끄럽게 마무리된다. 그리고, 절단시에 발생하는 연기(S)는, 제1 흡기부(3), 제2 흡기부(4)에 의해 제거되므로, 연기(S)에 의한 오염도 방지된다.

또한, 디스크의 외측 모서리에 대응하는 라인(11)의 절단시에는, 제1 흡기부(3)가 외측으로 흡인되는 동시에, 조정부(5)에 의해 내측으로의 연기(S)의 복귀가 방지된다. 또한, 디스크의 내측 모서리에 대응하는 라인(13)의 절단시에도, 제2 흡기부(4)가 내측으로 흡인된다. 따라서, 필름(1)에 있어서의 디스크에 대응하는 면에 연기(S)가 유통하여 매연이 부착되는 일이 없다. 특히, 상기와 같이, 제1 흡기부(3)에 의한 흡인시에 발생하는 기류가, 외측을 향하는 소용돌이 형상이기 때문에, 대향하는 반대측에서 발생한 연기도 흡인하여 필름(1) 상을 통과해 버리는 것을 방지할 수 있다.

또한, 내측 모서리의 라인(13)의 절단시에는, 제2 흡기부(4)에 의해 필름(1)의 하측으로부터 흡인하면서, 절개 홈(12)을 내어 라인(13)을 절단하므로, 필름(1)의 들뜸이 방지된다. 또한, 절개 홈(12)을 내기 전 혹은 동시에, 제2 흡기부(4)에 의한 흡인을 개시하므로, 절개 홈에 의해 발생하는 연기(S)도 빠르게 배제할 수 있다.

[다른 실시 형태]

본 발명은, 상기와 같은 실시 형태에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 도 7 내지 도 9에 도시한 바와 같이, 제1 흡기부(3)와 조정부(5)를 별개 부재로 구성해도 좋다. 이 경우의 동작 순서는, 상기한 실시 형태와 마찬가지이다.

또한, 상기한 실시 형태에서 언급한 바와 같이, 필름(1)의 내측으로부터 오려내어진 오려냄 부분은, 제2 흡기부(4)로부터의 흡인에 의해 배제해도 좋고, 이것에 의해, 오려냄 부분의 배출을 위한 장치가 불필요해진다. 그것을 위한 구성으로서는, 예를 들어 도 10에 도시한 바와 같이, 제2 흡기부(4)를 내측 통(4a)과 외측 통(4b)의 이중 구조로 하여, 연기(S)는 내측 통(4a)을 통해 배출되고, 오려냄 부분(1a)은 외측 통(4b)을 통해 배출되어 회수되도록 하는 것을 생각할 수 있다.

이 경우, 오려냄 부분(1a)과 필름(1)의 분리가 잘 되도록, 테이블(2)에, 진공원에 연통된 홈(2a)을 형성하고, 필름(1)을 진공 척 고정하도록 해도 좋다. 이 홈(2a)의 위치는, 도 11에 도시한 바와 같이, 반드시 절단되는 라인(11, 13)에 일치하고 있지 않아도 좋다. 또한, 도 12 및 도 13에 도시한 바와 같이, 절단되는 라인(13)이, 제2 흡기부(4)에 있어서의 상부 개구의 내측으로 되도록 해도 좋다. 이것에 의해, 오려냄 부분(1a)의 배출이 원활해진다.

또한, 도 10의 예에서도 나타내고 있으나, 도 14에 도시한 바와 같이, 제2 흡기부(4)를, 필름(1)을 관통하도록 돌출시키고, 그 주위에 형성된 구멍(4c)으로부터 연기(S)를 흡인하는 통 형상체로 해도 좋다. 이 경우, 절개 홈(12)을 낸 후 관통시켜도 좋고, 가동으로 설치된 제2 흡기부(4)의 선단부를 첨예화시켜, 이것을 상승시킴으로써 절개 홈(12)을 내는 동시에 필름(1)을 관통시켜도 좋다.

또한, 도 15 내지 도 17에 도시한 바와 같이, 필름(1)을 테이블(2)에 진공 척 고정시키기 위한 홈(2a)을, 외측의 라인(11)과 내측의 라인(13)에 대응하는 위치에 링 형상으로 형성하고, 이 홈(2a) 내에, 서포터링(14)을 설치해도 좋다. 이 서포터링(14)은, 레이저(L)를 흡수하지 않는 재료[예를 들어, 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE)]에 의해 형성 혹은 코팅되어 있다. 또한, 서포터링(14)의 상부는, 테이블(2)과 대략 동일 평면으로 되는 평탄면으로 되어 있고, 하부에는 기체가 유통 가능한 홈(14a)이 형성되어 있다(도 17 참조).

이러한 구성으로 함으로써, 레이저(L)의 조사시에, 홈(2a)을 개재한 진공 척고정이 가능해지고, 라인(11, 13)의 어긋남을 방지할 수 있다. 또한, 레이저(L)가 조사되는 부위가, 레이저(L)를 흡수하지 않는 재료로 이루어지는 서포터링(14)에 의해 지지되어 있으므로, 레이저(L)에 의한 열화나 연기 발생이 방지된다. 서포터 링(14)은, 레이저(L)에 의해 약간의 데미지를 받으나, 장기 사용 후에는, 서포터링(14)만을 교환하면 되므로, 테이블(2) 전체의 교환이나 수리가 불필요해진다. 또한, 상기한 실시 형태 모두, 테이블(2) 자체를 레이저(L)를 흡수하지 않는 재료에 의해 형성 혹은 코팅하여, 열화나 연기 발생을 방지할 수도 있다.

또한, 본 예에서는, 외측에 발생한 연기(S)가 내측으로 이동하거나, 내측에 발생한 연기(S)가 외측으로 이동하는 것을 방지하기 위해, 구획부(7)를 설치하고 있다. 이것에 의해, 외측의 라인(11)과 내측의 라인(13)의 절단을 동시에 행해도, 필름(1)의 표면으로의 연기(S)의 유통을 방지할 수 있다.

또한, 도 18에 도시한 바와 같이, 조정부로서, 필름(1)에 있어서의 절단 영역 전체를 덮는 커버(8)를 승강 가능하게 설치하고, 커버(8)에 의해 필름(1) 상을 밀폐한 상태에서, 외측의 라인(11) 및 내측의 라인(13) 모두, 제1 흡기부(3) 및 제2 흡기부(청구항의 제2 흡기부와 배제부를 겸용함)에 의해 하부로부터 흡인을 행하면서, 레이저(L)에 의해 절단하는 것도 가능하다.

연기 발생은, 산소가 존재함으로써 발생한다고 생각할 수 있으나, 도 18과 같은 경우에는, 진공에 가까운 상태에서의 절단이 되므로, 연기(S)의 발생 그 자체를 억제하면서, 그 배제를 실현할 수 있다. 또한, 커버(8)에도 진공원을 접속하고, 이 커버(8) 내로부터도 배기함으로써, 공기의 배출을 촉진해도 좋다. 또한, 도 17에 도시한 구획부(7)를 설치해도 좋다.

또한, 도 19에 도시한 바와 같이, 커버(8)의 전부 혹은 일부를 레이저광이 투과 가능한 재질에 의해 형성하고, 레이저 조사 장치(6)를 커버(8)의 외부에 설치 하고, 커버(8)의 외측으로부터 레이저(L)를 조사하도록 해도 좋다. 이것에 의해, 커버(8) 내의 용적을 작게 하여 배기량을 저감할 수 있으므로, 택 타임을 짧게 할 수 있다.

또한, 도 20에 도시한 바와 같이, 커버(8)에 있어서의 내부의 영역을, 내측의 라인(11)과 외측의 라인(13)으로 나눔으로써, 내측과 외측 사이의 연기(S)의 유통을 셧아웃해도 좋다. 또한, 도 18 내지 도 20의 예에서는, 절단부에 있어서의 공기의 배출이 목적이기 때문에, 불활성 가스(예를 들어, N₂)에 의한 퍼지를 행해도 좋다. 그 경우에도, 커버(8)가 작을수록, 퍼지용의 불활성 가스의 사용량이 적게 끝난다. 퍼지용의 불활성 가스의 공급이나 공기의 배기의 위치는, 커버(8) 상측이이라도 하측이라도 옆이라도 좋다.

또한, 도 21에 도시한 바와 같이, 흡기부와 조정부를 일체화한 유닛(9)을, 외측과 내측 사이에서 이동 가능하게 구성함으로써, 외측의 라인(11)의 절단시의 배기와, 내측의 라인(13)의 절단시의 배기를, 동일한 유닛(9)에 의해 행하도록 구성해도 좋다. 또한, 도 22에 도시한 바와 같이, 외측용의 유닛(9a), 내측용의 유닛(9b)을 따로따로 설치하여, 교대로 교체하도록 이동시킴으로써, 외측의 라인(11)의 절단과 내측의 라인(13)의 절단을 순차 행해도 좋다.

또한, 도 23에 도시한 바와 같이, 유닛(9)을 소형으로 하여, 레이저(L)의 수사와 함께 이동시키도록 해도 좋다. 이 경우, 유닛(9)을 외측과 내측 사이에서 이동시키도록 구성해도 좋고, 외측과 내측에서 유닛(9)을 각각 설치해도 좋다. 또 한, 소형의 유닛(9)의 위치는, 도 24의 (a)에 도시한 바와 같이, 라인(11, 13)의 바로 옆을 이동시키도록 해도 좋고, 도 24의 (b)에 도시한 바와 같이, 라인(11, 13)을 덮는 위치를 이동시키도록 해도 좋다. 라인(11, 13)을 덮는 경우에는, 유닛(9)의 전부 혹은 일부를 레이저(L)가 투과하는 재료에 의해 구성한다.

또한, 외측의 라인(11)의 절단과 내측의 라인(13)의 절단으로, 레이저 조사 장치를 각각 설치해도 좋다. 절개 홈을 내는 절개 장치는, 레이저 조사 장치에는 한정되지 않는다. 첨예화한 선단부에 의해 절개 홈(구멍도 포함함)을 낼 수 있는 것이면, 날, 바늘, 핀, 통 등 어떤 것을 사용해도 좋다. 상기와 같이, 흡기용의 통의 선단부에 의해, 절개 홈을 내도록, 통을 가동으로 해도 좋다.

또한, 흡기부의 수에 대해서도, 상기한 실시 형태에서 예시한 것에는 한정되지 않는다. 흡기부에 의한 흡인에 의해 발생하는 기류의 방향에 대해서도, 상기와 같이, 소용돌이 형상(사이클론 형상)이면, 대향하는 측의 연기의 흡인을 방지할 수 있어 바람직하나, 반드시 이 방향에는 한정되지 않는다. 예를 들어, 방사 형상이라도 좋다.

필름의 재질도, 폴리카보네이트(PC) 등이 일반적이나, 특정한 종류에는 한정되지 않는다. 본 발명의 적용 대상으로 되는 디스크에 대해서도, 그 크기, 형상, 재질 등은 자유롭고, 장래에 있어서 채용되는 모든 것에 적용 가능하다. 또한, 본 발명이 적용되는 필름은, 기록 매체인 디스크용의 것에는 한정되지 않고, 제조 공정에 있어서 외측 모서리와 내측 모서리의 절단이 필요한 모든 기판에 적용할 수 있다.

즉, 청구항에 기재된「기판」은, 원반 형상 등에는 한정되지 않고, 평면 형상의 제품을 넓게 포함하는 개념이다. 따라서, 레이저의 궤도는, 기판의 내측 모서리와 외측 모서리를 따르는 것이면 좋고, 원에는 한정되지 않는다.

Claims

레이저의 조사에 의해, 기판의 외측 모서리 및 내측 모서리에 맞추어 필름을 절단하는 절단부와,

상기 절단부에 의한 절단시에 발생하는 연기를 흡인하는 흡인부와,

필름에 있어서의 기판에 대응하는 표면으로의 연기의 유입을 억제하도록, 상기 흡인 장치에 의한 기류를 조정하는 조정부를 갖는 것을 특징으로 하는, 필름 커트 장치.
제1항에 있어서, 상기 절단 장치에 의한 내측 모서리에 맞춘 필름의 절단시 혹은 절단 전에, 내측 모서리의 내측에 절개 홈을 내는 절개부를 갖는 것을 특징으로 하는, 필름 커트 장치.
제2항에 있어서, 상기 절단부와 상기 절개부는 공통의 레이저 조사 장치인 것을 특징으로 하는, 필름 커트 장치.
제1항에 있어서, 절단시에 필름이 적재되는 받침대를 갖고,

상기 받침대에 있어서의 필름에 대한 레이저의 조사 위치에, 레이저를 흡수하지 않는 재료에 의한 보호부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는, 필름 커트 장치.
제1항에 있어서, 상기 흡인부는, 필름에 있어서의 기판의 외측 모서리에 대응하는 위치에 설치된 제1 흡기부와, 필름에 있어서의 기판의 내측 모서리의 내측에 설치된 제2 흡기부를 갖는 것을 특징으로 하는, 필름 커트 장치.
제5항에 있어서, 상기 제1 흡기부에는 기류의 버퍼 공간이 마련되어 있는 것을 특징으로 하는, 필름 커트 장치.
제5항에 있어서, 상기 제1 흡기부는, 연기가 소용돌이 형상으로 흡인되도록 복수 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 필름 커트 장치.
제5항에 있어서, 상기 제2 흡기부는 절단된 필름의 배출 경로를 갖는 것을 특징으로 하는, 필름 커트 장치.
제5항에 있어서, 상기 제2 흡기부는, 상기 절개 홈을 관통하는 흡기통을 갖는 것을 특징으로 하는, 필름 커트 장치.
제1항에 있어서, 상기 조정부는, 필름에 있어서의 레이저의 조사 위치를 덮는 커버부를 구성하고,

상기 커버부 내의 공기를 배제하는 배제부를 갖는 것을 특징으로 하는, 필름 커트 장치.
제10항에 있어서, 상기 커버부의 적어도 일부는, 레이저를 투과하는 재질에 의해 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 필름 커트 장치.
레이저의 조사에 의해, 기판의 외측 모서리에 맞추어 필름을 절단하는 동시에, 절단시에 발생하는 연기를, 상기 필름에 있어서의 기판의 외측 모서리의 외측 방향으로 흡인하고,

레이저의 조사 혹은 커터에 의해, 상기 필름에 있어서의 기판의 내측 모서리의 내측에 절개 홈을 내고,

기판의 내측 모서리에 맞추어 필름을 절단하는 동시에, 절단시에 발생하는 연기를, 상기 필름에 있어서의 기판의 내측 모서리의 내측 방향으로 흡인하는 것을 특징으로 하는, 필름 커트 방법.