JPH02280983A - 情報ディスクの加工装置 - Google Patents
情報ディスクの加工装置Info
- Publication number
- JPH02280983A JPH02280983A JP1100152A JP10015289A JPH02280983A JP H02280983 A JPH02280983 A JP H02280983A JP 1100152 A JP1100152 A JP 1100152A JP 10015289 A JP10015289 A JP 10015289A JP H02280983 A JPH02280983 A JP H02280983A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- information
- processing
- disk
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 28
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 55
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 12
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims description 10
- 239000003550 marker Substances 0.000 claims description 7
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 68
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 12
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 11
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 5
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 5
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 3
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 3
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 239000000779 smoke Substances 0.000 description 2
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 239000003517 fume Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は情報ディスクに内径および外径もしくは、英数
字1文字などをレーザ光線を用いて、加工する装置に関
する。
字1文字などをレーザ光線を用いて、加工する装置に関
する。
[従来の技術]
従来、ビデオディスク、コンパクトディスク。
及びデータファイルディスク等の情報ディスクは。
金型内にプラスチックを射出充てんしたのち、特開昭6
1−100426号に記載されているように、金型内の
雄カッター(ポンチ)と雌カッター(ダイ)により、情
報ディスクの内径が打抜かれており、内径に関してはい
わゆる型内加工されているのが一般的である。これに対
し、情報ディスクを金型から取り出したのちに内径形成
する型外加工があり、−例として特開昭58−1433
6号に記載されているような方式がある。この方式は、
金型から取出した成形品(以下、基板という)上に、あ
らかじめ中心位置決め用の信号を形成されておき、型外
に基板を取り出した後別に用意した加工装置にて、前記
信号を読み取らせて基板の中心位置出しを行ないドリル
で孔加工する事により、内径を形成させるものである。
1−100426号に記載されているように、金型内の
雄カッター(ポンチ)と雌カッター(ダイ)により、情
報ディスクの内径が打抜かれており、内径に関してはい
わゆる型内加工されているのが一般的である。これに対
し、情報ディスクを金型から取り出したのちに内径形成
する型外加工があり、−例として特開昭58−1433
6号に記載されているような方式がある。この方式は、
金型から取出した成形品(以下、基板という)上に、あ
らかじめ中心位置決め用の信号を形成されておき、型外
に基板を取り出した後別に用意した加工装置にて、前記
信号を読み取らせて基板の中心位置出しを行ないドリル
で孔加工する事により、内径を形成させるものである。
一方、基板の外径は1通常、金型内で形成されるが、基
板の外形端を面取り加工する必要があり。
板の外形端を面取り加工する必要があり。
この加工は型外にて切削加工で行なわれている。
また、金型内から取り出された基板には、情報ディスク
として製造番号や管理番号を必要とするため、−膜内に
は専用加工装置を用いて活字印字を行なっている。
として製造番号や管理番号を必要とするため、−膜内に
は専用加工装置を用いて活字印字を行なっている。
[発明が解決しようとする課題]
上記従来技術では、基板の内径の形成について以下のよ
うな問題点があった。
うな問題点があった。
基板の内径を金型内で形成する型内加工では、ポンチと
ダイによる内径の打抜き時に発生するプラスチックの切
粉や、ポンチとダイその他の機構部の摺動によって発生
する有害な微粒粉の除去について配慮されておらず、こ
れらの微粒粉が次に成形する基板の内部に混入したり、
また、帯電して基板の表面に付着し、成形欠陥や、基板
の汚れなどを引きおこし、次のアルミ蒸着不良や情報記
録面の欠陥等の情報ディスク性能不良を発生し、基板の
成形歩留りを著しく低下せしめるという問題点があった
。
ダイによる内径の打抜き時に発生するプラスチックの切
粉や、ポンチとダイその他の機構部の摺動によって発生
する有害な微粒粉の除去について配慮されておらず、こ
れらの微粒粉が次に成形する基板の内部に混入したり、
また、帯電して基板の表面に付着し、成形欠陥や、基板
の汚れなどを引きおこし、次のアルミ蒸着不良や情報記
録面の欠陥等の情報ディスク性能不良を発生し、基板の
成形歩留りを著しく低下せしめるという問題点があった
。
これに対し、型外加工法は、型内加工法に比べて基板上
に中心位置信号を設ける工程、ドリルによる切粉の付着
防止用の、保護膜を塗布する工程、中心位置決め用信号
を顕微鏡で検出しディスクを位置決めする工程、そして
ドリルによ°る切削加工工程等が余分に必要になるため
作業時間が長くなり、コスト高となる難点があった。
に中心位置信号を設ける工程、ドリルによる切粉の付着
防止用の、保護膜を塗布する工程、中心位置決め用信号
を顕微鏡で検出しディスクを位置決めする工程、そして
ドリルによ°る切削加工工程等が余分に必要になるため
作業時間が長くなり、コスト高となる難点があった。
本発明の目的は、基板の内径の形成を短時間で能率良く
行ない、かつ基板記録面の上記汚染を防止して製作歩留
りを向上し、さらに、従来は専用装置を用いて別途実施
していた基板外径の面取り加工、および製造番号や管理
番号などの活字印字加工を、基板の上記内径加工と同時
に実施し基板加工時間を大巾に短縮する情報ディスクの
加工装置を提供することにある。
行ない、かつ基板記録面の上記汚染を防止して製作歩留
りを向上し、さらに、従来は専用装置を用いて別途実施
していた基板外径の面取り加工、および製造番号や管理
番号などの活字印字加工を、基板の上記内径加工と同時
に実施し基板加工時間を大巾に短縮する情報ディスクの
加工装置を提供することにある。
[課題を解決するための手段]
上記目的を達成するために、レーザビーム発生装置と、
レーザビーム走査機構と、上記情報ディスクに予め設け
られた位置マーカを検出するためのテレビカメラと、上
記レーザビーム走査機構を制御するためのコントローラ
、および、上記情報ディスクを設置するテーブルを備え
、上記コントローラは上記テレビカメラが検出する上記
情報ディスク上の位置マーカ信号より基準位置信号を算
出し、上記基準位置信号を基にして上記レーザビームの
走査に必要な信号を発生して上記レーザビーム走査機構
を制御して上記レーザビームを走査し、上記情報ディス
クに内径、外径1文字印字等の加工をするようにする。
レーザビーム走査機構と、上記情報ディスクに予め設け
られた位置マーカを検出するためのテレビカメラと、上
記レーザビーム走査機構を制御するためのコントローラ
、および、上記情報ディスクを設置するテーブルを備え
、上記コントローラは上記テレビカメラが検出する上記
情報ディスク上の位置マーカ信号より基準位置信号を算
出し、上記基準位置信号を基にして上記レーザビームの
走査に必要な信号を発生して上記レーザビーム走査機構
を制御して上記レーザビームを走査し、上記情報ディス
クに内径、外径1文字印字等の加工をするようにする。
また、上記目的を達成する他の方法として、レーザビー
ム発生装置と、レーザビームを上記情報ディスクに照射
するための加工ガンと、上記情報ディスクを設置するテ
ーブルと、上記テーブルを保持する保持台と、上記保持
台を移動せしめる駆動機構と、上記保持台を回転せしめ
る回転機構と、上記情報ディスクにあらかじめ設けられ
た位置マーカを検出するためのテレビカメラと、コント
ローラを備え、上記コントローラは上記テレビカメラが
検出する上記情報ディスク上の位置マーカ信号より基準
位置信号を算出し、上記基準位置信号を基にして上記駆
動機構の制御に必要な信号を算出し、上記情報ディスク
の中心点を上記レーザビームの照射点から上記情報ディ
スク上に加工すべき内径、外径および5円形に配置され
る文字等の半径値だけずれるように上記駆動機構を制御
して、上記情報ディスクに内径、外径、文字印字等の加
工をするようにする。
ム発生装置と、レーザビームを上記情報ディスクに照射
するための加工ガンと、上記情報ディスクを設置するテ
ーブルと、上記テーブルを保持する保持台と、上記保持
台を移動せしめる駆動機構と、上記保持台を回転せしめ
る回転機構と、上記情報ディスクにあらかじめ設けられ
た位置マーカを検出するためのテレビカメラと、コント
ローラを備え、上記コントローラは上記テレビカメラが
検出する上記情報ディスク上の位置マーカ信号より基準
位置信号を算出し、上記基準位置信号を基にして上記駆
動機構の制御に必要な信号を算出し、上記情報ディスク
の中心点を上記レーザビームの照射点から上記情報ディ
スク上に加工すべき内径、外径および5円形に配置され
る文字等の半径値だけずれるように上記駆動機構を制御
して、上記情報ディスクに内径、外径、文字印字等の加
工をするようにする。
[作用]
本発明による情報ディスクの第1の加工装置では、基板
を置載するテーブルが、レーザビームによる加工中に静
止しているので上記した有害な塵埃としてはレーザー加
工時の煙のみとなって著しく減少するうえ、これらの煙
は、加工ガン側および1円形テーブル側の双方に設けた
吸引機構により容易に除去できるので、情報面の汚染の
ない良好な基板を迅速に加工することができる。
を置載するテーブルが、レーザビームによる加工中に静
止しているので上記した有害な塵埃としてはレーザー加
工時の煙のみとなって著しく減少するうえ、これらの煙
は、加工ガン側および1円形テーブル側の双方に設けた
吸引機構により容易に除去できるので、情報面の汚染の
ない良好な基板を迅速に加工することができる。
さらに本発明による情報ディスクの第2の加工装置は、
基板の回転機構を含むのであるが、その回転に必要な軸
受、摺動面等9回転運動に伴って上記有害な微粒粉を発
生する部分が、上記基板を設置するテーブルの裏側に設
置されるので、上記微粒粉が上記ディスクの面上に到達
することが無く、情報面の汚染のない良好な基板を迅速
に加工することができる。さらに、上記テーブル内の上
記片の吸引用通路と、上記回転機構内の吸引通路間を摺
動機構により接続するので吸引に必要な配線および配管
類を固定することができ、上記回転に伴う振動、騒音等
を除去することができる。
基板の回転機構を含むのであるが、その回転に必要な軸
受、摺動面等9回転運動に伴って上記有害な微粒粉を発
生する部分が、上記基板を設置するテーブルの裏側に設
置されるので、上記微粒粉が上記ディスクの面上に到達
することが無く、情報面の汚染のない良好な基板を迅速
に加工することができる。さらに、上記テーブル内の上
記片の吸引用通路と、上記回転機構内の吸引通路間を摺
動機構により接続するので吸引に必要な配線および配管
類を固定することができ、上記回転に伴う振動、騒音等
を除去することができる。
[実施例]
本発明は上記したように、レーザビームを用いたプラス
チック成形品である基板の内径、外径および文字印字等
の加工に係り、その具体的実施例として、静止した上記
基板上をレーザビームを走引する場合と、レーザビーム
を静止させて上記基板を移動せしめる場合の二通りが含
まれる。
チック成形品である基板の内径、外径および文字印字等
の加工に係り、その具体的実施例として、静止した上記
基板上をレーザビームを走引する場合と、レーザビーム
を静止させて上記基板を移動せしめる場合の二通りが含
まれる。
以下1本発明の実施例を図面を用いて順次説明する。
第1図は上記基板を固定し、レーザビーム走査によって
上記基板の内径を加工する加工装置の部分断面図である
。基板6はテーブル7に置載されると、ポケット8およ
びダクト10を通じて外部から吸引される。テレビカメ
ラ4は成形基板6上に記録された位置信号を読み取り、
コントローラ2に伝え、必要とするレーザビーム5の走
査量が演算される。コントローラ2は上記演算結果をビ
ーム走査機構3に伝え、レーザビーム5の出射角を制御
し、基板上に所定の内径を加工する。
上記基板の内径を加工する加工装置の部分断面図である
。基板6はテーブル7に置載されると、ポケット8およ
びダクト10を通じて外部から吸引される。テレビカメ
ラ4は成形基板6上に記録された位置信号を読み取り、
コントローラ2に伝え、必要とするレーザビーム5の走
査量が演算される。コントローラ2は上記演算結果をビ
ーム走査機構3に伝え、レーザビーム5の出射角を制御
し、基板上に所定の内径を加工する。
ビーム走査機構から出射したレーザビーム5はノズル9
内を通過する。レーザビーム5の照射によって基板6を
構成するプラスチック材等がガス化し、燃焼する場合が
あるので、窒素等の不燃性ガスをアシストガスとして0
.5kg/aJ程度の圧力で上記ノズル9内の内筒に導
入して基板6に吹き当てる。91は上記窒素ガスの注入
口、92は同排気口である。
内を通過する。レーザビーム5の照射によって基板6を
構成するプラスチック材等がガス化し、燃焼する場合が
あるので、窒素等の不燃性ガスをアシストガスとして0
.5kg/aJ程度の圧力で上記ノズル9内の内筒に導
入して基板6に吹き当てる。91は上記窒素ガスの注入
口、92は同排気口である。
次にレーザビームの走査量を算出する方法につき説明す
る。基板6の位置検出に用いられる位置信号としては1
例えば基板6上の情報記録面と無記録面との境界を示す
円形パターンが利用できる。
る。基板6の位置検出に用いられる位置信号としては1
例えば基板6上の情報記録面と無記録面との境界を示す
円形パターンが利用できる。
上記円形パターンの座標を確定するには、・例えば直径
と、中心点等を求めればよく、これには少くとも3ケの
独立な情報量が必要であるから、上記円形パターンの上
の3点の座標値を検出する必要があり、対応して3台の
テレビカメラが用いられることになる。しかし1通常は
同一種類の基板を連続して加工すことが多く、かかる場
合には上記円形パターンの半径は一定であり、あらかじ
め知ることができるので、必要な上記円形パターン上の
検出点を2点で済ませることができる。
と、中心点等を求めればよく、これには少くとも3ケの
独立な情報量が必要であるから、上記円形パターンの上
の3点の座標値を検出する必要があり、対応して3台の
テレビカメラが用いられることになる。しかし1通常は
同一種類の基板を連続して加工すことが多く、かかる場
合には上記円形パターンの半径は一定であり、あらかじ
め知ることができるので、必要な上記円形パターン上の
検出点を2点で済ませることができる。
第2図において、紙面を基板6が置かれるテーブル7の
座標面とし、61を基板6上の上記円形パターンとする
0点P1とP2を2台のテレビカメラが検出した円形パ
ターン61上の点、Qを円形パターン61の中心点とし
、各座標値をそれぞれ(Xi、Yl)、(X2.Y2)
および(XO。
座標面とし、61を基板6上の上記円形パターンとする
0点P1とP2を2台のテレビカメラが検出した円形パ
ターン61上の点、Qを円形パターン61の中心点とし
、各座標値をそれぞれ(Xi、Yl)、(X2.Y2)
および(XO。
YO)、また円形パターン61の半径をROとすると
なる関係が成立するので、これより中心点Qの座標値(
XO,YO)を算出することができる。
XO,YO)を算出することができる。
第3図はコントローラ2の内部構成の一例である。2台
のテレビカメラ41と42はそれぞれ略200倍の倍率
で円形パターン61の一部の線素を画面上に捕捉してお
り、座標値発生部21は上記線素の中の各−点を選んで
、それぞれをPl。
のテレビカメラ41と42はそれぞれ略200倍の倍率
で円形パターン61の一部の線素を画面上に捕捉してお
り、座標値発生部21は上記線素の中の各−点を選んで
、それぞれをPl。
P2とし、その座標値(Xi、Yl)と(X2゜Y2)
を発生させる。中心座標演算部22は上記2点の座標値
より、中心点座標(XO,YO)を第(1)式より計算
しパターン発生部23に伝える。パターン発生部23に
は、この他、内径値R1が入力されるので、上記した中
心点座標値を基準にして、内径の加工に必要な座標デー
タを発生してビーム走査機構3に送ることができる。
を発生させる。中心座標演算部22は上記2点の座標値
より、中心点座標(XO,YO)を第(1)式より計算
しパターン発生部23に伝える。パターン発生部23に
は、この他、内径値R1が入力されるので、上記した中
心点座標値を基準にして、内径の加工に必要な座標デー
タを発生してビーム走査機構3に送ることができる。
なお、上記した中心座標の演算やパターン発生等の作業
はマイクロコンピュータ等のソフトウェアに置換して行
わせても良いことはいうまでもない。
はマイクロコンピュータ等のソフトウェアに置換して行
わせても良いことはいうまでもない。
第4図は内径R1の他の外径、および文字印字等も同時
に加工する場合本発明の一実施例を示す図である。第1
図と同様な動作を行う構成物の一部は省略して示した。
に加工する場合本発明の一実施例を示す図である。第1
図と同様な動作を行う構成物の一部は省略して示した。
外径値R2,文字印字データ等は第3図に示すように、
内径値R1と同様にパターン発生部23に入力される。
内径値R1と同様にパターン発生部23に入力される。
第4図においては、レーザービーム5の偏向角が外径に
応じて広がるのでノズル9もこれに対応した広がりを有
する。またガス注入口91はこの広がりに応じて複数個
(3〜6個所)備えるのが望ましい、テーブル7には外
周部の加工時に発生する煙を排気するためのダクト11
が新たに設けられ、中央部のポケット8に連接される。
応じて広がるのでノズル9もこれに対応した広がりを有
する。またガス注入口91はこの広がりに応じて複数個
(3〜6個所)備えるのが望ましい、テーブル7には外
周部の加工時に発生する煙を排気するためのダクト11
が新たに設けられ、中央部のポケット8に連接される。
第5図は、外径の他の加工法を示す本発明の他の実施例
図である。この場合、内径は第1図に示す方法で既に加
工され、次の工程で第5図に示す装置により外径を加工
する6文学部字加工は第1図、第5図のいずれでも行う
ことができる。
図である。この場合、内径は第1図に示す方法で既に加
工され、次の工程で第5図に示す装置により外径を加工
する6文学部字加工は第1図、第5図のいずれでも行う
ことができる。
外径のみを加工する場合は、既に内径が開けられている
ので、これを第5図に示すようにテーブル7上にあらか
じめ設けられたスピンドル71にがん合させるだけで外
径の位置出しが行えるので。
ので、これを第5図に示すようにテーブル7上にあらか
じめ設けられたスピンドル71にがん合させるだけで外
径の位置出しが行えるので。
テレビカメラ4を省略することができる。
次に、レーザビーム5を静止貞せ、テーブル7を移動さ
せて加工する、本発明の他の実施例につき第6〜9図を
用いて説明する。
せて加工する、本発明の他の実施例につき第6〜9図を
用いて説明する。
第6図において空気の流通通路となるダクト10と、吸
引した空気を排気するためのポケット8を有するテーブ
ル7を、テーブル保持台72に挾持保持させ、該テーブ
ル保持台72には、紙面と直角方向の平面内を自由に移
動可能な位置決め踵動機構24を連接固定する。一方、
レーザー発振器1より発射されるレーザビーム5は、加
工ガン31で曲げられ、集光されたのちに前記テーブル
7上に照射される゛。前記加工ガン31の先端には、レ
ーザー照射によって基板6が燃焼することを防止するた
めのアシストガスを導入するガス注入口91、および該
アシストガスで前記レーザービーム5を覆うためのノズ
ル9が一体となって具備されている。さらに、レーザー
加工時に発生する微小塵埃や煙などを吸引させるために
、排気口92を備えた塵埃除去ノズルが前記ノズル9に
同軸設置・されている、また、基板6には金型から取り
出す際の湯口の部分も形成されている。情報信号を読み
取るための、3台(図では1台のみ示す)のテレビカメ
ラ4により、前記テーブル7上に置載される前記基板6
の位置信号を検出し、基板6の中心位置と基準となる中
心位置とのズレ量を、コントローラ2により算出する。
引した空気を排気するためのポケット8を有するテーブ
ル7を、テーブル保持台72に挾持保持させ、該テーブ
ル保持台72には、紙面と直角方向の平面内を自由に移
動可能な位置決め踵動機構24を連接固定する。一方、
レーザー発振器1より発射されるレーザビーム5は、加
工ガン31で曲げられ、集光されたのちに前記テーブル
7上に照射される゛。前記加工ガン31の先端には、レ
ーザー照射によって基板6が燃焼することを防止するた
めのアシストガスを導入するガス注入口91、および該
アシストガスで前記レーザービーム5を覆うためのノズ
ル9が一体となって具備されている。さらに、レーザー
加工時に発生する微小塵埃や煙などを吸引させるために
、排気口92を備えた塵埃除去ノズルが前記ノズル9に
同軸設置・されている、また、基板6には金型から取り
出す際の湯口の部分も形成されている。情報信号を読み
取るための、3台(図では1台のみ示す)のテレビカメ
ラ4により、前記テーブル7上に置載される前記基板6
の位置信号を検出し、基板6の中心位置と基準となる中
心位置とのズレ量を、コントローラ2により算出する。
この演算により、基板6をどちらの方向に、どの位の量
を移動させるかが算出さ九、その出力は駆動機構コント
ローラ25に入力され、前記位置決め駆動機構24が動
作するよう構成しである。照明装置43は光ファイバ4
4により前記基板6の表面を照光するものである。
を移動させるかが算出さ九、その出力は駆動機構コント
ローラ25に入力され、前記位置決め駆動機構24が動
作するよう構成しである。照明装置43は光ファイバ4
4により前記基板6の表面を照光するものである。
前記基板6に中心孔を形成するためには、前記基板6の
中心孔を前記レーザビーム5の回転中心点に対し加工半
径だけずらせたうえ、基板6の中心軸廻りに回転させて
レーザビーム5を照射する。
中心孔を前記レーザビーム5の回転中心点に対し加工半
径だけずらせたうえ、基板6の中心軸廻りに回転させて
レーザビーム5を照射する。
以下、この回転機構の構成について説明する。第6図に
おいて、空気および加工塵埃を吸引するためにダクト1
2および13を有するベース100に、大歯車110を
具備した環111をベアリング112を介して設置固定
させ、上記環111は前記ダクト12.および13にそ
れぞれ連接するダクト14および15を備え、ベース1
00に固定された軸103にがん合している。前記ベー
ス100にはモータ113が置載固定されており。
おいて、空気および加工塵埃を吸引するためにダクト1
2および13を有するベース100に、大歯車110を
具備した環111をベアリング112を介して設置固定
させ、上記環111は前記ダクト12.および13にそ
れぞれ連接するダクト14および15を備え、ベース1
00に固定された軸103にがん合している。前記ベー
ス100にはモータ113が置載固定されており。
該モータ113の回転軸114には小歯車115が固定
され、前記大歯車11oと噛み合っている。
され、前記大歯車11oと噛み合っている。
この構成により、前記モータ113が回転すると前記小
歯車115が回転し、さらに前記大歯車110が回転す
ることによって、前記環111が回転する。これらの回
転機構を備えたベース100は、全体を上昇下降可能な
ように上下機構101に連接固定されており、さらに該
上下機構101は、横移動機構102に積載されて全体
を左右方向に移動するよう構成しである。以下に各動作
の詳細説明を行なう。
歯車115が回転し、さらに前記大歯車110が回転す
ることによって、前記環111が回転する。これらの回
転機構を備えたベース100は、全体を上昇下降可能な
ように上下機構101に連接固定されており、さらに該
上下機構101は、横移動機構102に積載されて全体
を左右方向に移動するよう構成しである。以下に各動作
の詳細説明を行なう。
金型から取り出された基板6がテーブル7に置かれると
、光ファイバ44からの照光を行ないながら前記基板6
上の位置信号を3台のテレビカメラ4が検出し、理想的
に加工半径分だけオフセットした時の理想データと、こ
の検出データとの比較演算をコントローラ2が行ない、
前記基板6に形成されている同心円状の情報記号の中心
位置を、前記レーザビーム5の照射点から加工半径分だ
け離れた位置に移動させるべくズレ量を算出するにのこ
のズレ量を駆動機構コントローラ25が受は取り、位置
決め駆動機構24を動作させる。該位置決め駆動機構2
4は、通商xy子テーブル呼称されているものであり、
連接固定されているテーブル保持台72が前記のズレ量
だけ移動する事によって、前記基板6が前記レーザビー
ムの照射点から加工半径分だけ離れた位置に移動する。
、光ファイバ44からの照光を行ないながら前記基板6
上の位置信号を3台のテレビカメラ4が検出し、理想的
に加工半径分だけオフセットした時の理想データと、こ
の検出データとの比較演算をコントローラ2が行ない、
前記基板6に形成されている同心円状の情報記号の中心
位置を、前記レーザビーム5の照射点から加工半径分だ
け離れた位置に移動させるべくズレ量を算出するにのこ
のズレ量を駆動機構コントローラ25が受は取り、位置
決め駆動機構24を動作させる。該位置決め駆動機構2
4は、通商xy子テーブル呼称されているものであり、
連接固定されているテーブル保持台72が前記のズレ量
だけ移動する事によって、前記基板6が前記レーザビー
ムの照射点から加工半径分だけ離れた位置に移動する。
環111はその中心が上記基板6の中心に一致するよう
横移動機構102により移動される。こののち、上下機
構101が動作し、環111が上昇して弾性部材116
が前記テーブル7の下面に圧接される。かかる状態にて
、ダクト14と15は前記テーブル7に備えられたポケ
ット8に連通され。
横移動機構102により移動される。こののち、上下機
構101が動作し、環111が上昇して弾性部材116
が前記テーブル7の下面に圧接される。かかる状態にて
、ダクト14と15は前記テーブル7に備えられたポケ
ット8に連通され。
前記ベース10“0に備えたダクト12及び13より吸
引を行なう事により、前記基板6と前記テーブル7がよ
り強固に密着される。このような状態でモータ113を
回転させ、前記環111を回転させる事により、前記弾
性部材116と前記テーブル7の摩擦力によって、前記
テーブル7が回転する。さらに、該テーブル7が回転す
る事により、前記基板6が回転する。以上により、円形
テーブル7に置載された基板6は、加工すべき中心孔の
加工半径分だけオフセットされた形で、基板6の中の軸
廻りに回転する構成をとり、さらに外部からの吸引によ
り、基板6は円形テーブル7に密着する状態になる。か
かる状態にて、注入口91よリアシストガスを注入し、
かつ排気口92がら吸引させながらレーザー発振器1を
動作させて、レーザービーム5を前記基板6に照射する
。これにより、前記基板6には意図する中心孔が形成さ
れ。
引を行なう事により、前記基板6と前記テーブル7がよ
り強固に密着される。このような状態でモータ113を
回転させ、前記環111を回転させる事により、前記弾
性部材116と前記テーブル7の摩擦力によって、前記
テーブル7が回転する。さらに、該テーブル7が回転す
る事により、前記基板6が回転する。以上により、円形
テーブル7に置載された基板6は、加工すべき中心孔の
加工半径分だけオフセットされた形で、基板6の中の軸
廻りに回転する構成をとり、さらに外部からの吸引によ
り、基板6は円形テーブル7に密着する状態になる。か
かる状態にて、注入口91よリアシストガスを注入し、
かつ排気口92がら吸引させながらレーザー発振器1を
動作させて、レーザービーム5を前記基板6に照射する
。これにより、前記基板6には意図する中心孔が形成さ
れ。
切断された基板の湯口は、ポケット8に取納される。こ
のレーザー加工時に発生する塵埃は、前記排気口92と
、前記ダクト12および13より能力良く外部へ集塵さ
れる。
のレーザー加工時に発生する塵埃は、前記排気口92と
、前記ダクト12および13より能力良く外部へ集塵さ
れる。
また、基板6の回転機構部がテーブル7およびテーブル
保持台72等の下部に基板6より遮蔽される形で設置さ
九るので、回転に伴って上記回転機構部が発生する微粒
粉により基板6が汚染されることを防止する事ができる
。
保持台72等の下部に基板6より遮蔽される形で設置さ
九るので、回転に伴って上記回転機構部が発生する微粒
粉により基板6が汚染されることを防止する事ができる
。
さらに1回転するテーブル7内のダクト10゜11等と
固定されたベース100内のダクト12〜15がポケッ
ト8を介して連結されるので、排気系路が輻績せず、騒
音、振動等の少い排気を行うことができる。
固定されたベース100内のダクト12〜15がポケッ
ト8を介して連結されるので、排気系路が輻績せず、騒
音、振動等の少い排気を行うことができる。
以上詳細に説明した、本発明の情報ディスクの加工装置
を用いる事によって、非接触加工により塵埃による汚染
の少い、情報ディスク用の基板を能率よく、また高歩留
りで生産できる。なお1本実施例においては、基板の位
置信号を読み取るために、テレビカメラを3台用いたが
、これは上記位置信号が同心円状(実際はうす巻き状だ
が、ピッチが小さいため略同心円と見なせる。)となっ
ているため、この中の特定車−円を、円として認識させ
るためにすぎない。必要に応じて、2台。
を用いる事によって、非接触加工により塵埃による汚染
の少い、情報ディスク用の基板を能率よく、また高歩留
りで生産できる。なお1本実施例においては、基板の位
置信号を読み取るために、テレビカメラを3台用いたが
、これは上記位置信号が同心円状(実際はうす巻き状だ
が、ピッチが小さいため略同心円と見なせる。)となっ
ているため、この中の特定車−円を、円として認識させ
るためにすぎない。必要に応じて、2台。
もしくは4台等のテレビカメラを用いることも可能であ
る。また、本実施例では、装置のコンパクトさを図るべ
く、アシストガスの注入ノズル91と排気ノズル92を
同軸配置させる構成としたが、これはそれぞれ単一機能
に別けることができるため1分離独立して設置しても良
い。
る。また、本実施例では、装置のコンパクトさを図るべ
く、アシストガスの注入ノズル91と排気ノズル92を
同軸配置させる構成としたが、これはそれぞれ単一機能
に別けることができるため1分離独立して設置しても良
い。
第7図および第8図は、本発明による他の一実施例を示
したものであり、第7図はワーク設置部廻りの部分断面
図、第8図は、第7図のA矢視図である。、第6図の位
置決め駆動機構24に相当するものが第8図の24A、
24B、24C,24Dである。テーブル保持台72を
、1平面内で動かすために、24Aから24Dまでの4
台の位置決め駆動機構が用いられる。第8図において、
テーブル保持台72を左へ動かす場合を考えると、位置
決め駆動機構24Aのロッド24Aが前進し、位置決め
駆動機構24Bのロッド24Bが後退する事によって、
前記テーブル保持台72は左方向に移動する。また第8
図の矢印の方向に前記テーブル保持台72を動かす場合
は1位置決め駆動機構24A、24Dのそれぞれのロッ
ド24A′24D′を同じ量だけ突出すとともに、位置
決め駆動機構24Bと24Cの両者は、■動機構コント
ローラ25よりの信号で、各々のロッド24B′と24
C′を同一量引込める。このように、たとえば空気シリ
ンダや油圧シリンダ、もしくは電動シリンダのような往
復運動機構を用いることによって、前記テーブル保持台
72を紙面と同一平面上の任意位置に自由に移動するこ
とができる。
したものであり、第7図はワーク設置部廻りの部分断面
図、第8図は、第7図のA矢視図である。、第6図の位
置決め駆動機構24に相当するものが第8図の24A、
24B、24C,24Dである。テーブル保持台72を
、1平面内で動かすために、24Aから24Dまでの4
台の位置決め駆動機構が用いられる。第8図において、
テーブル保持台72を左へ動かす場合を考えると、位置
決め駆動機構24Aのロッド24Aが前進し、位置決め
駆動機構24Bのロッド24Bが後退する事によって、
前記テーブル保持台72は左方向に移動する。また第8
図の矢印の方向に前記テーブル保持台72を動かす場合
は1位置決め駆動機構24A、24Dのそれぞれのロッ
ド24A′24D′を同じ量だけ突出すとともに、位置
決め駆動機構24Bと24Cの両者は、■動機構コント
ローラ25よりの信号で、各々のロッド24B′と24
C′を同一量引込める。このように、たとえば空気シリ
ンダや油圧シリンダ、もしくは電動シリンダのような往
復運動機構を用いることによって、前記テーブル保持台
72を紙面と同一平面上の任意位置に自由に移動するこ
とができる。
第9図は本発明による情報ディスクの外径加工法の1実
施例を示す図である。
施例を示す図である。
第9図において、レーザ発振器1より発車されたレーザ
ービームはビーム分岐機構32により2本のビームとな
って、一方は加工ガン33へ、他方は加工ガン34へ導
光される。一方、テーブル7に置載された基板6は、テ
ーブル中心と基板中心を合致させてポケット8から吸引
されており、またテーブル7はテーブル中心を中心軸と
して回転可能な構成となっている。このような構成をも
つ基板6の外径部分に対し、加工ガン33.34の両者
をそれぞれ略45°傾斜させて取り付ける。
ービームはビーム分岐機構32により2本のビームとな
って、一方は加工ガン33へ、他方は加工ガン34へ導
光される。一方、テーブル7に置載された基板6は、テ
ーブル中心と基板中心を合致させてポケット8から吸引
されており、またテーブル7はテーブル中心を中心軸と
して回転可能な構成となっている。このような構成をも
つ基板6の外径部分に対し、加工ガン33.34の両者
をそれぞれ略45°傾斜させて取り付ける。
前記テーブル7は、基板6の外径付近にレーザー加工時
に発生する塵埃を吸引するためのダクト11を備え、ダ
クト11は前記ポケット8と連接される。
に発生する塵埃を吸引するためのダクト11を備え、ダ
クト11は前記ポケット8と連接される。
かかる状態にて、基板6を回転させ、かつポケット8か
ら外部吸引を行ないながら、加工ガン33および34か
らレーザービームをそれぞれ照射する事により、基板6
の外径が面取り加工される。
ら外部吸引を行ないながら、加工ガン33および34か
らレーザービームをそれぞれ照射する事により、基板6
の外径が面取り加工される。
この場合、加工時の塵埃は2台の加工ガン先端の除塵ノ
ズル93および94から、またテーブルに備えたダクト
11からの双方によって能率良く外部へ集塵され、効率
の良い面取り加工が実施できる。
ズル93および94から、またテーブルに備えたダクト
11からの双方によって能率良く外部へ集塵され、効率
の良い面取り加工が実施できる。
以下、上記した本発明の実施例の実験結果につき述べる
。レーザー発振器には出力50〜10゜Wの炭酸ガスレ
ーザーを用い、基板としてはポリチメルメタクリレート
樹脂とポリカーボネート樹脂の2種類を対象とし、また
レーザービーム走査には2枚の鏡を独立にコンピュータ
制御するガルバノ走査方式を用い、直径が35m5の中
心孔を正600角形で表現して加工した場合、加工時間
は2秒以下で十分な加工精度が得られた。加工時間はレ
ーザー発振器の出力を増加すればさらに短縮できる。一
方、位置決め検出機構としては、10OWの照射装置を
2台と、256X256ピクセルのCCD固体撮像素子
を有する工業用テレビカメラを用いた。基板上には、帽
が略0.5μmの情報用ドツトパターンがトラックピッ
チ略1.6μmで記録されている。この情報面と非情報
面の境界を検出して位置決めを行うため、テレビカメラ
側のレンズで10倍に、また位置決めコントローラ側で
カメラ信号を20倍に増巾し、総合的な検出倍率を20
X10=200倍とした。
。レーザー発振器には出力50〜10゜Wの炭酸ガスレ
ーザーを用い、基板としてはポリチメルメタクリレート
樹脂とポリカーボネート樹脂の2種類を対象とし、また
レーザービーム走査には2枚の鏡を独立にコンピュータ
制御するガルバノ走査方式を用い、直径が35m5の中
心孔を正600角形で表現して加工した場合、加工時間
は2秒以下で十分な加工精度が得られた。加工時間はレ
ーザー発振器の出力を増加すればさらに短縮できる。一
方、位置決め検出機構としては、10OWの照射装置を
2台と、256X256ピクセルのCCD固体撮像素子
を有する工業用テレビカメラを用いた。基板上には、帽
が略0.5μmの情報用ドツトパターンがトラックピッ
チ略1.6μmで記録されている。この情報面と非情報
面の境界を検出して位置決めを行うため、テレビカメラ
側のレンズで10倍に、また位置決めコントローラ側で
カメラ信号を20倍に増巾し、総合的な検出倍率を20
X10=200倍とした。
以上の本発明による情報ディスクの加工方法及び加工装
置を用いる事によって以下の効果が得られる。
置を用いる事によって以下の効果が得られる。
[発明の効果]
本発明によれば、情報ディスク用基板の内径。
外径2文字印字等の加工をレーザビームを用いて行うた
め、従来の型内加工に際して発生した有害なプラスチッ
クの切粉や、ポンチとダイその他の機構部の摺動によっ
て発生する微粒粉等が発生せず、また、従来の型外加工
におけるドリルによる加工切粉の付着防止用保護膜を塗
布する工程、基板位置決め工程、ドリルによる切削加工
工程等を削除できるため、上記従来工程における上記情
報ディスク記録面の汚染を防止してその製造歩留りを向
上でき、また、工程数を短縮して加工時間を短縮するこ
とができる。
め、従来の型内加工に際して発生した有害なプラスチッ
クの切粉や、ポンチとダイその他の機構部の摺動によっ
て発生する微粒粉等が発生せず、また、従来の型外加工
におけるドリルによる加工切粉の付着防止用保護膜を塗
布する工程、基板位置決め工程、ドリルによる切削加工
工程等を削除できるため、上記従来工程における上記情
報ディスク記録面の汚染を防止してその製造歩留りを向
上でき、また、工程数を短縮して加工時間を短縮するこ
とができる。
さらに、本発明によれば従来別工程で加工していた内径
、外径等の加工や、製造番号などの印字加工を、同時に
行なえるため、作業性が高まり、各工程間の搬送系路を
不要にする事ができ、製作現場の作業スペースを削減す
る効果も併せて得られる。
、外径等の加工や、製造番号などの印字加工を、同時に
行なえるため、作業性が高まり、各工程間の搬送系路を
不要にする事ができ、製作現場の作業スペースを削減す
る効果も併せて得られる。
さらに、上記レーザ加工に伴う加工廼をアシストガスの
注入、排気により効果的に排除できるので、上記情報記
録面の汚染をさらに防止する効果が得られる。
注入、排気により効果的に排除できるので、上記情報記
録面の汚染をさらに防止する効果が得られる。
さらに、本発明によれば、テレビカメラとコントローラ
を用いて、上記情報ディスクの位置を瞬時に検出し、所
要の軌跡信号を発生して上記レーザビームを偏向させ、
あるいは、上記情報ディスクの支持テーブルを所定の軌
跡で移動させて、上記情報ディスク用基板のレーザビー
ム加工を迅速かつ正確に行える効果が得られる。
を用いて、上記情報ディスクの位置を瞬時に検出し、所
要の軌跡信号を発生して上記レーザビームを偏向させ、
あるいは、上記情報ディスクの支持テーブルを所定の軌
跡で移動させて、上記情報ディスク用基板のレーザビー
ム加工を迅速かつ正確に行える効果が得られる。
以上述べた本発明の効果により、異物混入のない高性能
の情報ディスク用基板を、高精度、短時間に高い歩留り
で製作する事が可能となり、信頼性の高い、安価な情報
ディスクを高能率で生産できる効果が得られる。
の情報ディスク用基板を、高精度、短時間に高い歩留り
で製作する事が可能となり、信頼性の高い、安価な情報
ディスクを高能率で生産できる効果が得られる。
第1図は1本発明による、情報ディスクを固定し、レー
ザビームを走査する加工装置の部分断面図、第2図は本
発明による情報ディスクの位置検出法を説明するための
平面図、第3図は本発明によるレーザビームの走査信号
を演算する回路構成図、第4,5図は本発明による情報
ディスク外径の加工装置の部分断面図、第6図は本発明
による、情報ディスクを移動して内径を加工する加工装
置の部分断面図、第7,8図は第6図における情報ディ
スクの位置決め駆動機構の一実施例の部分断面図および
平面図、第9図は本発明による情報ディスク外周加工装
置の部分断面図である。 1・・・レーザ発振器、2・・・コントローラ、3・・
・ビーム走査機構、4,41.42・・・テレビカメラ
、5・・・レーザビーム、6・・・基板、7・・・テー
ブル、8・・・ポケット、9,93.94・・・ノズル
、91・・・注入口、92・・・排気口、10〜15・
・・ダクト、71・・・スピンドル、72・・・テーブ
ル保持台、24・・・位置決め駆動機構、31,33.
34・・・加工ガン、25・・・駆動機構コントローラ
、43・・・照明装置、44・・・光ファイバ、100
・・・ベース、110・・・大歯車、111・・・環、
112・・・ベアリング、113・・・モータ、115
・・・小歯車、101・・・上下機構、1o2・・・横
移動機構、116・・・弾性部材、32・・・ビーム分
岐機構、103・・・軸。
ザビームを走査する加工装置の部分断面図、第2図は本
発明による情報ディスクの位置検出法を説明するための
平面図、第3図は本発明によるレーザビームの走査信号
を演算する回路構成図、第4,5図は本発明による情報
ディスク外径の加工装置の部分断面図、第6図は本発明
による、情報ディスクを移動して内径を加工する加工装
置の部分断面図、第7,8図は第6図における情報ディ
スクの位置決め駆動機構の一実施例の部分断面図および
平面図、第9図は本発明による情報ディスク外周加工装
置の部分断面図である。 1・・・レーザ発振器、2・・・コントローラ、3・・
・ビーム走査機構、4,41.42・・・テレビカメラ
、5・・・レーザビーム、6・・・基板、7・・・テー
ブル、8・・・ポケット、9,93.94・・・ノズル
、91・・・注入口、92・・・排気口、10〜15・
・・ダクト、71・・・スピンドル、72・・・テーブ
ル保持台、24・・・位置決め駆動機構、31,33.
34・・・加工ガン、25・・・駆動機構コントローラ
、43・・・照明装置、44・・・光ファイバ、100
・・・ベース、110・・・大歯車、111・・・環、
112・・・ベアリング、113・・・モータ、115
・・・小歯車、101・・・上下機構、1o2・・・横
移動機構、116・・・弾性部材、32・・・ビーム分
岐機構、103・・・軸。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、情報ディスクの内径、外径、文字印字等を加工する
加工装置において、 情報ディスク上の位置マーカ信号を検出するためのテレ
ビカメラと、上記テレビカメラの出力より上記情報ディ
スクの基準位置信号を算出し、上記基準位置信号を基に
してレーザビームの走査に必要な信号を発生するコント
ローラと、上記コントローラにより制御されるレーザビ
ーム走査機構を備え、上記レーザビーム走査機構により
上記レーザビームを走査して上記情報ディスクを加工す
るようにしたことを特徴とする情報ディスク加工装置。 2、請求項1において、 上記情報ディスクを設置するテーブルは、上記情報ディ
スクを吸引、固定するためのダクトと、レーザビーム加
工により発生する塵埃を吸引、排除するためのダクトを
備え、また、上記情報ディスクの上記レーザビーム照射
面上には、少なくとも上記レーザビーム照射範囲を覆う
ようにノズルを設け、上記ノズルは不燃性ガスを吐出す
る内筒部と、上記不燃性ガス、および、レーザビーム加
工により発生する塵埃等を吸引、排除するための外筒部
より構成されることを特徴とする情報ディスクの加工装
置。 3、情報ディスクの内径、外径、文字印字等を加工する
加工装置において、 情報ディスクの上の位置マーカ信号を検出するためのテ
レビカメラと、上記テレビカメラの出力より上記情報デ
ィスクの基準位置信号を算出し、上記基準位置信号を基
にして、上記情報ディスクを設置するテーブルの保持台
を移動せしめる駆動機構を制御するコントローラと、レ
ーザビーム発生装置と、レーザビームを上記情報ディス
クに照射するための加工ガンと、上記保持台を回転せし
める回転機構とを備えたことを特徴とする情報ディスク
の加工装置。 4、請求項3において、 上記回転機構は上下動機構を備え、上記上下動機構によ
り上記テーブルと上記回転機構間を連接および、断続で
きるようにしたことを特徴とする情報ディスクの加工装
置。 5、請求項3において、 上記情報ディスクを設置するテーブルは上記情報ディス
クを吸引、固定するためのダクトと、レーザビーム加工
により発生する塵埃を吸引、排除するためのダクトを備
え、また、上記回転機構は上記上下動機構の上に固定さ
れたベースと上記ベース上に置載された回転部を備え、
上記ベース内には排気用のダクトが設けられ、上記テー
ブル内のダクトと上記ベース内のダクトが上記テーブル
の中心部に設けられた空洞部を介して連接されたことを
特徴とする情報ディスクの加工装置。 6、請求項3において、 上記レーザビームを分岐するビーム分岐機構と二つの加
工ガンを備え、上記二つの加工ガンのそれぞれにより、
上記情報ディスク外周部の上縁と下縁の面取り加工をす
るようにしたことを特徴とする情報ディスクの加工装置
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1100152A JPH02280983A (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | 情報ディスクの加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1100152A JPH02280983A (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | 情報ディスクの加工装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02280983A true JPH02280983A (ja) | 1990-11-16 |
Family
ID=14266349
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1100152A Pending JPH02280983A (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | 情報ディスクの加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02280983A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5814042A (en) * | 1993-12-17 | 1998-09-29 | Laser Industries, Ltd. | Apparatus for applying laser beam to living tissue to cause uniform ablation of living tissue while not causing thermal damage below a predetermined depth to the surrounding tissue |
WO2006082899A1 (ja) * | 2005-02-02 | 2006-08-10 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co., Ltd. | 焼結ダイヤモンドの加工方法並びに基板用カッターホイール及びその加工方法 |
JP2007216242A (ja) * | 2006-02-14 | 2007-08-30 | Toyota Motor Corp | スキップ溶接における溶接位置補正方法 |
-
1989
- 1989-04-21 JP JP1100152A patent/JPH02280983A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5814042A (en) * | 1993-12-17 | 1998-09-29 | Laser Industries, Ltd. | Apparatus for applying laser beam to living tissue to cause uniform ablation of living tissue while not causing thermal damage below a predetermined depth to the surrounding tissue |
WO2006082899A1 (ja) * | 2005-02-02 | 2006-08-10 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co., Ltd. | 焼結ダイヤモンドの加工方法並びに基板用カッターホイール及びその加工方法 |
JP4709202B2 (ja) * | 2005-02-02 | 2011-06-22 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | レーザによる焼結ダイヤモンドの微細加工方法および脆性材料基板用カッターホイール並びにその製造方法 |
US8324528B2 (en) | 2005-02-02 | 2012-12-04 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co., Ltd | Fine processing method for a material of sintered diamond with a laser beam, a cutter wheel for a substrate made of a brittle material and its producing method thereof |
TWI380868B (zh) * | 2005-02-02 | 2013-01-01 | Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltdl | Fine processing method of sintered diamond using laser, cutter wheel for brittle material substrate, and method of manufacturing the same |
JP2007216242A (ja) * | 2006-02-14 | 2007-08-30 | Toyota Motor Corp | スキップ溶接における溶接位置補正方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0247331B1 (en) | Removal of excess material from a semiconductor wafer | |
CN103033130B (zh) | 激光加工装置的聚光光斑位置检测方法 | |
JP7476886B2 (ja) | 造形ユニット | |
JP2007007668A (ja) | レーザー加工装置 | |
JP2009021317A (ja) | 加工装置のアライメント方法 | |
JP2017196652A (ja) | レーザー加工方法及びレーザー加工装置 | |
JP3162580B2 (ja) | ダイシング装置 | |
JP2009146949A (ja) | ウエーハの分割方法 | |
JPH02280983A (ja) | 情報ディスクの加工装置 | |
JP2010064125A (ja) | レーザー加工装置 | |
JP4048873B2 (ja) | 位置決め加工方法 | |
JP2010064106A (ja) | レーザー加工装置 | |
JP6730162B2 (ja) | レーザ加工機 | |
JP2008264805A (ja) | レーザー加工装置およびウエーハの裏面に装着された接着フィルムのレーザー加工方法 | |
CN113853272A (zh) | 造型系统 | |
CN216966645U (zh) | 激光标记设备 | |
JP2013071153A (ja) | レーザ加工装置及び方法 | |
JP2011073080A (ja) | 撮像装置 | |
JPH09192865A (ja) | レーザ加工機におけるワーク位置検出方法及び装置 | |
JP2019118949A (ja) | 加工装置 | |
JP2006205178A (ja) | 加工方法および加工装置 | |
CN220838485U (zh) | 一种实验型药片激光打孔机 | |
JP2519442B2 (ja) | 工作線追従方法 | |
JP2013038364A (ja) | 加工装置 | |
JPH0666882U (ja) | レーザー加工装置 |