KR102442414B1

KR102442414B1 - 레이저 절단 장치 및 흡입 유닛

Info

Publication number: KR102442414B1
Application number: KR1020180013883A
Authority: KR
Inventors: 백진원; 권도균; 박재범; 토시나루 스즈키; 이정호; 이진평; 홍경호
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2018-02-05
Filing date: 2018-02-05
Publication date: 2022-09-13
Also published as: CN110116268A; KR20190095625A; CN110116268B

Abstract

일 실시예에 따른 레이저 절단 장치는 레이저 빔을 생성하는 레이저 발생 유닛, 상기 레이저 빔의 진행 경로에 위치하는 광학 유닛, 절단 대상물이 놓이는 스테이지, 그리고 상기 광학 유닛과 상기 스테이지 사이에 위치하며, 퓸을 흡입하는 흡입 유닛을 포함한다. 상기 흡입 유닛은 본체 및 상기 본체에 연결되어 있는 배관을 포함하고, 상기 본체는 외부 박스 및 상기 외부 박스 내에 분리 가능하게 위치하는 내부 컵을 포함한다.

Description

레이저 절단 장치 및 흡입 유닛{LASER CUTTING DEVICE AND SUCTION UNIT}

본 발명은 레이저 절단 장치 및 흡입 유닛에 관한 것이다.

유기 발광 표시 장치, 액정 표시 장치 같은 표시 장치의 제조에 있어서 절단 공정을 포함할 수 있다. 절단 공정은 레이저 절단 장치를 사용하여 수행될 수 있다. 레이저 절단은 고강도의 광 빔을 대상물에 조사하여 물질을 녹이거나 증발시키는 것이다. 이때 미립자인 퓸(fume)이 발생하는데, 이러한 퓸은 인체에 유해할 뿐만 아니라 표시 장치의 불량을 초래할 수 있다. 따라서 레이저 절단 시 발생하는 퓸을 효과적으로 제거할 필요가 있다.

실시예들은 레이저 절단 시 발생하는 퓸을 효과적으로 제거할 수 있고, 다양한 대상물에 대응하게 부분적으로 교체 가능한 흡입 유닛을 포함하는 레이저 절단 장치를 제공하는 것이다.

상기 내부 컵은 상측에서 하측으로 갈수록 폭이 줄어드는 부분을 포함할 수 있다.

상기 내부 컵은 상부 개구 및 상기 상부 개구보다 작은 하부 개구를 포함할 수 있다.

상기 외부 박스는 내부가 빈 사각 기둥 형상일 수 있고, 상기 내부 컵은 내부가 빈 사각 기둥 형상의 제1 부분, 내부가 빈 절두 사각뿔 형상의 제2 부분, 그리고 내부가 빈 사각 기둥 형상의 제3 부분을 포함할 수 있다.

상기 제1 부분은 상기 제2 부분 및 상기 제3 부분과 별개로 형성될 수 있고, 상기 제2 부분 및 상기 제3 부분은 일체로 형성될 수 있다.

상기 본체는 외부 박스의 하단에 결합되어 있는 하부판을 더 포함할 수 있고, 상기 하부판은 상기 내부 컵의 상기 제3 부분의 외주면과 평면상 일치하는 개구를 가질 수 있다.

상기 내부 컵은 상단에 플랜지를 포함할 수 있다.

상기 본체는 외부 박스의 하단에 결합되어 있는 하부판을 더 포함할 수 있다.

상기 내부 컵의 하단은 상기 하부판의 상면과 이격되어 있을 수 있고, 상기 내부 컵의 하단과 상기 하부판은 상기 흡입 유닛의 흡입구를 한정할 수 있다.

상기 외부 박스의 내주면, 상기 내부 컵의 외주면 및 상기 하부판의 상면은 상기 본체 내부에 배기로를 한정할 수 있다.

상기 하부판의 상면은 상기 내부 컵의 하단과 맞닿은 부분과 이격되어 있는 부분을 포함할 수 있다.

실시예들에 따르면, 레이저 절단 시 발생하는 퓸을 효과적으로 제거할 수 있고, 다양한 대상물에 대응하게 부분적으로 교체 가능한 흡입 유닛을 포함하는 레이저 절단 장치를 제공할 수 있다. 특히, 흡입 유닛의 내부 컵 및 하부판의 교체를 통해 제품 크기에 따라 최적의 흡입 유닛을 제공할 수 있고, 흡입 효율을 극대화할 수 있다. 또한, 흡입 유닛을 전체적으로 제작 및 교체하지 않고, 제작이 상대적으로 용이한 내부 컵 및 하부판을 교체함으로써 제품 및 공정에 신속하게 대응할 수 있고, 흡입 유닛을 제작하는데 필요한 시간과 비용을 절감할 수 있다.

도 1은 일 실시예에 따른 레이저 절단 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 일 실시예에 따른 흡입 유닛의 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 흡입 유닛의 분해 사시도이다.
도 4는 도 2에 도시된 흡입 유닛의 평면도이다.
도 5는 도 2에 도시된 흡입 유닛의 단면도이다.
도 6은 일 실시예에 따른 흡입 유닛의 절개 사시도이다.
도 7은 도 6에 도시된 흡입 유닛의 정면도이다.
도 8은 도 6의 실시예에 따른 하부판의 사시도이다.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.

본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.

도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다. 도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다.

층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.

명세서 전체에서, "평면상"이라 할 때, 이는 대상 부분을 위에서 보았을 때를 의미하며, "단면상"이라 할 때, 이는 대상 부분을 수직으로 자른 단면을 옆에서 보았을 때를 의미한다.

먼저, 일 실시예에 따른 레이저 절단 장치에 대해 도 1을 참고하여 설명한다.

도 1은 일 실시예에 따른 레이저 절단 장치(10)를 개략적으로 나타낸 도면이다.

레이저 절단 장치(10)는 레이저 발생 유닛(110), 광학 유닛(120), 흡입 유닛(130), 집진 유닛(140), 제어 유닛(150), 스테이지(160) 및 에어 공급 유닛(170)을 포함한다.

레이저 발생 유닛(110)은 레이저 빔을 생성하여 출사한다. 레이저 발생 유닛(110)은 이산화탄소 레이저, 엑시머 레이저, 헬륨-네온 레이저 같은 기체 레이저를 포함하거나, 루비 레이저, 유리 레이저, YAG 레이저, YLF 레이저 같은 고체 레이저를 포함할 수 있다.

광학 유닛(120)은 레이저 빔의 경로에 위치한다. 광학 유닛(120)은 레이저 빔의 형상을 균질화시키는 균질기(homogenizer) 및/또는 레이저 빔을 집광(focusing)하는 집광 렌즈를 포함할 수 있다. 광학 유닛(120)을 통과한 레이저 빔은 사각형, 원형 등의 소정의 형상을 형성할 수 있고, 라인 빔을 형성할 수 있다. 레이저 발생 유닛(110)과 광학 유닛(120)의 상대적 배치에 따라, 레이저 발생 유닛(110)과 광학 유닛(120) 사이에는 레이저 빔의 방향을 변경하는 미러(mirror)를 더 포함할 수도 있다.

광학 유닛(120)을 통과한 레이저 빔은 스테이지(160) 위에 놓인 대상물(20)을 향해 조사된다. 스테이지(160)는 대상물(20)의 지지대(support)일 수 있다. 스테이지(160)는 고정되어 있을 수 있다. 스테이지(160)는 소정 방향으로 이동하거나 회전할 수도 있다.

흡입 유닛(130)은 대상물(20)의 레이저 절단 시 발생하는 퓸(또는 분진이라고도 함)을 흡입한다. 흡입 유닛(130)은 레이저 빔의 통로(LP)를 제공할 수 있다. 흡입 유닛(130)은 본체(B) 및 적어도 하나의 배관(P1, P2)을 포함한다. 배관(P1, P2)은 대상물(20)의 절단 시 발생하는 퓸이 이동하는 통로를 제공한다. 배관(P1, P2)은 연결관(C)에 의해 집진 유닛(140)과 연결된다.

집진 유닛(140)은 흡입 유닛(130)에 의해 흡입된 퓸을 포집한다. 집진 유닛(140)은 흡입 유닛(130)을 통해 제공되는 흡입 압력을 조정하기 위한 메커니즘을 포함할 수 있다. 그러한 메커니즘은 모터, 펌프, 또는 팬(fan)일 수 있고, 집진 유닛(140)과 별개로 제공될 수도 있다. 집진 유닛(140)은 퓸을 걸러내기 위한 필터를 포함할 수 있다.

에어 공급 유닛(170)은 레이저 빔의 통로(LP)에 해당하는 흡입 유닛(130) 내부에 다운 플로우(down flow)를 형성하기 위한 기류를 제공한다. 흡입 유닛(130) 내부의 다운 플로우는 흡입 유닛(130)의 흡입 능력을 증가시킬 뿐만 아니라, 퓸이 광학 유닛(120)으로 상승하지 못하게 하여, 퓸에 의해 광학 유닛(120)이 오염되거나 손상되는 것을 방지한다.

제어 유닛(150)은 레이저 발생 유닛(110)에 의해 생성되는 레이저 빔의 하나 이상의 특성 조정, 집진 유닛(140)에 의해 가해지는 흡입의 특성 조정, 에어 공급 유닛(170)에 의해 공급되는 기류 조정 등을 제어할 수 있다. 제어 유닛(150)은 프로세서, 메모리 및 하나 이상의 제어 메커니즘을 포함할 수 있다.

레이저 절단 장치(10)에 의해 절단되는 대상물(20)은 유기 발광 표시 장치 같은 표시 장치의 표시 패널 또는 기판일 수 있다. 한 예로서, 대상물(20)은 유기 발광 표시 패널일 수 있고, 절단되는 부분은 편광층일 수 있다. 레이저 절단 장치(10)는 유기 발광 표시 패널의 한 면에 편광층을 부착한 후, 편광층을 유기 발광 표시 패널의 크기에 부합하게 예컨대 대략 사각형으로 절단하거나, 편광층과 유기 발광 표시 패널을 함께 소정의 크기로 절단하는데 사용될 수 있다. 다른 예로, 레이저 절단 장치(10)는 유기 발광 표시 패널을 검사하기 위한 검사 패드를 절단하거나, 유기 발광 표시 패널을 보호하기 위해 부착되는 보호 필름을 절단하는데 사용될 수 있다.

지금까지 레이저 절단 장치(10)의 전체적인 구성에 대해 설명하였다. 이하에서는 도 2 내지 도 5를 참고하여 레이저 절단 장치(10)의 흡입 유닛(130)에 대해 상세하게 설명한다. 흡입 유닛(130)과 레이저 절단 장치(10)의 다른 구성요소들과의 관계를 설명하기 위해서 도 1을 또한 참고한다.

도 2는 일 실시예에 따른 흡입 유닛(130)의 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 흡입 유닛(130)의 분해 사시도이고, 도 4는 도 2에 도시된 흡입 유닛(130)의 평면도이고, 도 5는 도 2에 도시된 흡입 유닛(130)의 단면도이다. 도 5는 도 4에서 V-V' 방향을 따라 흡입 유닛(130)을 자른 단면을 도시한다. 도 4 및 도 5에는 대상물(20)의 절단선(CL)을 함께 나타내었다.

도 2 내지 도 5를 참고하면, 흡입 유닛(130)은 본체(B), 배관(P1, P2) 및 연결관(C)을 포함한다. 배관(P1, P2)은 본체(B)의 양측에 위치할 수 있고, 연결관(C)은 배관(P1, P2)과 집진 유닛(140)을 연결할 수 있다.

본체(B)는 그 상측에 위치하는 광학 유닛(120)을 통해 나오는 레이저 빔이 그 하측에 위치하는 대상물(20)에 조사될 수 있도록 하고, 레이저 빔의 조사에 의한 대상물(20)의 레이저 절단 시 발생하는 퓸을 효과적으로 흡입할 수 있는 구조를 가진다. 이를 위해, 본체(B)는 외부 박스(outer box)(131), 외부 박스(131) 내에 위치하며 본체(B)의 상부 개구 및 하부 개구에 각각 대응하는 상부 개구 및 하부 개구를 가진 내부 컵(inner cup)(132)을 포함한다. 본체(B)는 내부 컵(132)을 고정하기 위한 브라켓(133)을 포함한다. 본체(B)는 내부 컵(132)과 함께 흡입구(IN)를 한정하고, 외부 박스(131) 및 내부 컵(132)과 함께 배기로(exhaust passage)(EP)를 한정하는 하부판(lower plate)(134)을 또한 포함한다.

외부 박스(131)는 대략 사각형 기둥 형상을 갖는다. 외부 박스(131)는 사각형 기둥 외의 다각형 기둥이나 원기둥 형상을 가질 수도 있다. 용어 자체에서 인식되는 바와 같이, 외부 박스(131)는 내부가 비어 있고, 따라서 내부 컵(132)을 수용할 수 있다. 외부 박스(131)에는 내부를 관찰할 수 있도록 투명 윈도우(W)가 제공될 수 있다. 외부 박스(131)의 적어도 한 측면에는 외부 박스(131)의 내부와 연통하는 배관(P1, P2)이 결합되거나 형성되어 있다.

흡입 유닛(130)의 흡입 성능 인자 중 흡입 유닛(130)의 형상과 관련된 인자는 크게 3가지가 있다. 하나는 흡입단(SE)과 대상물(20) 간의 거리이고, 퓸 발생 지점의 플로우 벡터(flow vector) 방향이고, 흡입단(SE)의 개구 크기이다. 이 중 흡입단(SE)의 개구 형상과 크기가 대상물(20)의 절단선(CL)에 최대한 유사해야 최적의 흡입 성능을 낼 수 있다. 하지만, 대상물(20)의 절단선(CL)이 제품에 따라 다를 수 있으므로, 최적의 흡입 성능을 위해서는 여러 제품에 대응하게 흡입단(SE)의 개구 크기를 달리하는 흡입 유닛(130)을 제작해야 한다. 일 실시예에 따르면 흡입 유닛(130) 전체가 아닌, 일부만을 교체함으로써 다양한 크기의 절단선(CL)에 부합하는 흡입단(SE)의 개구 크기를 제공할 수 있다. 한편, 흡입단(SE)과 대상물(20) 간의 거리는 가급적 가까울수록, 예컨대 약 10 mm 이하에서 최적의 흡입 성능을 얻을 수 있다.

외부 박스(131) 내에 위치하는 내부 컵(132)은 외부 박스(131) 내에 분리 및 교체 가능하게 위치한다. 내부 컵(132)은 사각형 깔때기(funnel) 또는 호퍼(hopper)와 유사한 입체 구조를 갖는다. 외부 박스(131)는 내부가 빈 대략 사각형 기둥 형상의 제1 부분(132a), 내부가 빈 대략 절두 사각뿔 형상의 제2 부분(132b) 및 내부가 빈 대략 사각형 기둥 형상의 제3 부분(132c)을 포함할 수 있다. 내부 컵(132)은 외부 박스(131)의 형상에 대응하는 형상을 가질 수 있다. 예컨대, 외부 박스(131)가 원기둥 형상을 가진 경우, 내부 컵(132)은 원형 깔때기와 유사한 입체 구조를 가질 수 있다.

본체(B)의 상부 개구는 제1 부분(132a)에 의해 한정될 수 있고, 본체(B)의 하부 개구는 제3 부분(132c)에 의해 한정될 수 있다. 본체(B)의 하부 개구는 대략 흡입단(SE)의 개구에 대응할 수 있다. 본체(B)의 상부 개구는 하부 개구보다 크다. 제1 부분(132a)에 의해 한정되는 상부 개구보다 제3 부분(132c)에 의해 한정되는 하부 개구가 작으므로, 제2 부분(132b)은 제1 부분(132a)에서 제3 부분(132c)으로 갈수록 폭이 점점 줄어들고 내부 용적이 또한 줄어든다. 이와 같이 깔때기처럼 폭이 점점 줄어드는 제2 부분(132b)의 구조로 인해, 내부 컵(132) 내부에서 다운 플로우 효과가 유지되어 퓸의 흡입 효율을 향상시킬 수 있다. 제1 부분(132a)의 외주면은 외부 박스(131)의 내주면과 기밀하게 밀착될 수 있다.

내부 컵(132)의 내부 공간은 또한 레이저 빔의 통로(LP)를 제공한다. 레이저 빔이 본체(B)를 통과하여 대상물(20)에 조사되기 위해서는 본체(B)의 하부 개구 내에, 즉 제3 부분(132c)의 평면 형상 내에 대상물(20)의 절단선이 위치해야 한다. 이때, 본체(B)의 흡입단(SE)의 개구가 대상물(20)의 절단선(CL)과 유사해야 흡입 성능이 증가할 수 있다. 여러 대상물(20)의 다양한 절단선(CL)에 부합하게 제3 부분(132c)을 형성한 내부 컵(132)을 제작하고, 특정 대상물(20)의 절단선(CL)에 적합한 형상의 내부 컵(132)을 외부 박스(131) 내에 위치시킴으로써 흡입 유닛(130)의 흡입 성능을 최적화할 수 있다. 다시 말해, 내부 컵(132)이 외부 박스(131) 내에 분리 가능하게 위치하므로, 다른 크기와 모양의 대상물(20)이나 절단선(CL)에 대응하는 흡입 유닛(130)을 전체적으로 다시 제작할 필요가 없다. 그 대신, 비교적 간단하게 만들 수 있는 내부 컵(132)을 교체하는 것만으로 다양한 크기와 모양의 대상물(20)(예컨대, 현재 스마트폰용 표시 패널의 경우 약 3 내지 약 7인치 사이에서 다양한 화면 크기가 있음)에 적합한 흡입 유닛(130)을 제공할 수 있다.

내부 컵(132)의 제1 부분(132a), 제2 부분(132b) 및 제3 부분(132c)은 단일 부품 또는 일체로 형성될 수 있고, 적어도 한 부분은 별개로 형성되어 조립된 상태일 수 있다. 도시된 실시예에서, 내부 컵(132)은 제2 부분(132b)과 제3 부분(132c)은 일체로 형성되고, 제1 부분(132a)은 별개로 형성되어 있으며, 제1 부분(132a)의 하부에 제2 부분(132b)의 상부가 결합되어 있다. 이와 같이, 제1 부분(132a)을 별개로 형성하면, 일체로 형성된 제2 부분(132b) 및 제3 부분(132c)을 대상물(20)의 절단선(CL)에 부합하게 형성하고, 특정 대상물(20)에 적합하게 제2 부분(132b) 및 제3 부분(132c)을 교체하면 된다. 따라서 내부 컵(132) 전체를 다양하게 제작하는 경우보다 내부 컵(132)의 제조 비용을 절감할 수 있다.

내부 컵(132)의 상단, 즉 제1 부분(132a)의 상단에는 플랜지(flange)(1321)가 형성되어 있다. 플랜지(1321)는 내부 컵(132)이 외부 박스(131)의 상단에 걸려 아래로 빠져나가지 않게 한다. 플랜지(1321)는 외부 박스(131)의 상단과 브라켓(133)의 하단 사이에 위치한다. 브라켓(133)을 외부 박스(131)에 나사 같은 결합 수단에 의해 결합하면, 이들 사이에 플랜지(1321)가 위치하므로, 내부 컵(132)이 외부 박스(131)에 견고하게 고정될 수 있다.

하부판(134)은 외부 박스(131)의 하단에 나사 같은 결합 수단이나 슬라이드 삽입 방식 등에 의해 결합되어 있다. 하부판(134)은 내부 컵(132)의 하부 개구에 대응하는 개구를 갖는다. 하부판(134)의 개구는 내부 컵(132)의 하부 개구와 동일하거나 거의 동일할 수 있고, 그보다 약간 클 수도 있다. 예컨대, 하부판(134)의 개구는 내부 컵(132)의 제3 부분(132c)의 외주면과 평면상 일치할 수 있다. 이 경우, 흡입구(IN)가 대상물(20)의 절단선(CL)을 향하도록 형성될 수 있고, 따라서 퓸의 흡입 능력을 증가시킬 수 있다. 하부판(134)의 개구는 내부 컵(132)의 하부 개구에 대응하는 개구를 갖고 내부 컵(132)과 함께 흡입구(IN)를 형성하므로, 하부판(134)은 내부 컵(132)과 세트로 제작될 수 있다. 다양한 크기와 모양의 대상물(20)에 적합하게 내부 컵(132)의 교체 시 하부판(134)도 함께 교체될 수 있다.

하부판(134)의 개구는 흡입 유닛(130)의 흡입단(SE)에 대응한다. 내부 컵(132)의 하단(1322)은 하부판(134), 특히 하부판(134)의 상면과 맞닿아 있지 않다. 이에 따라 하부판(134)과 내부 컵(132) 사이에는 간격이 존재하고, 이러한 간격은 흡입 유닛(130)이 퓸을 흡입하는 흡입구(IN)를 한정한다. 흡입구(IN)는 내부 컵(132)의 하단(1322) 둘레에 걸쳐 위치할 수 있다.

하부판(134)의 상면은 외부 박스(131)의 내주면 및 내부 컵(132)의 외주면(특히, 제2 부분(132b) 및 제3 부분(132c)의 외주면)과 함께 배기로(EP)를 한정한다. 배기로(EP)는 흡입구(IN)를 통해 흡입된 퓸이 본체(B) 내부에서 유동할 수 있는 공간이다. 배기로(EP)는 배관(P1, P2)과 연통되는 부분과 흡입구(IN)를 제외하고는 실질적으로 밀폐되어 있다. 따라서 흡입구(IN)를 통해 흡입된 퓸은 배기로(EP)를 통해 배관(P1, P2)으로 빠져나갈 수 있고, 연결관(C)을 통해 집진 유닛(140)에서 포집될 수 있다. 내부 컵(132) 내부의 다운 플로우에 형성되는 기류는 퓸과 함께 흡입구(IN)로 흡입된다. 즉, 내부 컵(132) 내부의 다운 플로우는 흡입구(IN)가 퓸을 흡입하기 위한 기류를 형성할 수 있고, 퓸은 기류와 함께 흡입구(IN)를 통해 배기로(EP) 내로 흡입된다 (도 5에서 대략 시계 방향 화살표 및 대략 반시계 방향 화살표 참고).

이하에서는 전술한 실시예와 다른 구조의 흡입구(IN)를 가진 흡입 유닛(130)에 대해 도 6 내지 도 8을 참고하여 설명한다.

도 6은 일 실시예에 따른 흡입 유닛의 절개 사시도이고, 도 7은 도 6에 도시된 흡입 유닛의 정면도이고, 도 8은 도 6의 실시예에 따른 하부판의 사시도이다. 도 6은 전술한 도 2 내지 도 5의 실시예와 다른 실시예를 도시하지만, 도 4에서 VI-VI' 방향을 따라 흡입 유닛(130)을 자른 단면에 대응한다. 도 6 내지 도 8의 실시예는 도 2 내지 도 5의 실시예와 하부판(134)에 있어서 차이가 있고, 나머지 구성은 동일하므로, 차이점을 위주로 설명한다.

외부 박스(131)의 하단에 결합되는 하부판(134)은 그 상면이 내부 컵(132)의 하단(1322)과 맞닿은 부분(134a)과 이격되어 있는 부분(134b)을 포함한다. 이와 같이 하부판(134)을 형성하면, 흡입구(IN)가 내부 컵(132)의 하단(1322) 둘레에 걸쳐 있지 않고, 내부 컵(132)의 하단(1322)의 일측에만 위치한다. 이와 같은 구조의 하부판(134)을 포함하는 흡입 유닛(130)은 대상물(20)을 전체적으로 절단하지 않고, 대상물(20)의 특정 부분, 예컨대 유기 발광 표시 패널의 검사 패드를 예컨대 직선으로 절단 시 절단되는 부분에 대응하는 위치에만 흡입구(IN)를 포함할 수 있다. 따라서 퓸의 흡입이 필요 없는 위치에서 흡입구(IN)를 차단할 수 있고, 퓸의 흡입이 필요한 위치에서 흡입구(IN)의 흡입력을 증가시킬 수 있다. 절단 대상물(20)의 절단 부분 변경 시 본 실시예와 같은 식으로 설계된 하부판(134)으로 교체하는 것만으로 흡입 능력 및 흡입 효율을 극대화할 수 있다.

이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.

10: 레이저 절단 장치
110: 레이저 발생 유닛
120: 광학 유닛
130: 흡입 유닛
131: 외부 박스
132: 내부 컵
133: 브라켓
134: 하부판
140: 집진 유닛
150: 제어 유닛
160: 스테이지
170: 에어 공급 유닛
20: 대상물
B: 본체
C: 연결관
CL: 절단선
EP: 배기로
IN: 흡입구
P1, P2: 배관
SE: 흡입단

Claims

레이저 빔을 생성하는 레이저 발생 유닛,
상기 레이저 빔의 진행 경로에 위치하는 광학 유닛,
절단 대상물이 놓이는 스테이지, 그리고
상기 광학 유닛과 상기 스테이지 사이에 위치하며, 퓸을 흡입하는 흡입 유닛
을 포함하며,
상기 흡입 유닛은 본체 및 상기 본체에 연결되어 있는 배관을 포함하고,
상기 본체는 외부 박스 및 상기 외부 박스 내에 분리 가능하게 위치하는 내부 컵을 포함하고,
상기 내부 컵은 내부가 빈 사각 기둥 형상의 제1 부분, 내부가 빈 절두 사각뿔 형상의 제2 부분, 그리고 내부가 빈 사각 기둥 형상의 제3 부분을 포함하고,
상기 제1 부분은 상기 제2 부분 및 상기 제3 부분과 별개로 형성되고, 상기 제2 부분 및 상기 제3 부분은 일체로 형성되어 있는 레이저 절단 장치.
제1항에서,
상기 내부 컵은 상측에서 하측으로 갈수록 폭이 줄어드는 부분을 포함하는 레이저 절단 장치.
제1항에서,
상기 내부 컵은 상부 개구 및 상기 상부 개구보다 작은 하부 개구를 포함하는 레이저 절단 장치.
제1항에서,
상기 외부 박스는 내부가 빈 사각 기둥 형상인 레이저 절단 장치.
삭제
제1항에서,
상기 본체는 상기 외부 박스의 하단에 결합되어 있는 하부판을 더 포함하는 레이저 절단 장치.
제6항에서,
상기 하부판은 상기 내부 컵의 상기 제3 부분의 외주면과 평면상 일치하는 개구를 가진 레이저 절단 장치.
제6항에서,
상기 내부 컵의 하단은 상기 하부판의 상면과 이격되어 있고, 상기 내부 컵의 하단과 상기 하부판은 상기 흡입 유닛의 흡입구를 한정하는 레이저 절단 장치.
제6항에서,
상기 외부 박스의 내주면, 상기 내부 컵의 외주면 및 상기 하부판의 상면은 상기 본체 내부에 배기로를 한정하는 레이저 절단 장치.
제6항에서,
상기 하부판의 상면은 상기 내부 컵의 하단과 맞닿은 부분과 이격되어 있는 부분을 포함하는 레이저 절단 장치.
제1항에서,
상기 내부 컵은 상단에 플랜지를 포함하는 레이저 절단 장치.
제11항에서,
상기 본체는 상기 외부 박스에 결합되어 있는 브라켓을 더 포함하며,
상기 플랜지는 상기 외부 박스의 상단과 상기 브라켓의 하단 사이에 위치하는 레이저 절단 장치.
레이저 절단 시 발생하는 퓸을 흡입하는 흡입 유닛에 있어서,
본체, 그리고
상기 본체에 연결되어 있는 배관
을 포함하며,
상기 본체는 외부 박스, 상기 외부 박스 내에 분리 가능하게 위치하는 내부 컵, 그리고 상기 외부 박스의 하단에 결합되어 있는 하부판을 포함하고,
상기 내부 컵은 내부가 빈 사각 기둥 형상의 제1 부분, 내부가 빈 절두 사각뿔 형상의 제2 부분, 그리고 내부가 빈 사각 기둥 형상의 제3 부분을 포함하고,
상기 하부판은 상기 내부 컵의 상기 제3 부분의 외주면과 평면상 일치하는 개구를 가진 흡입 유닛.
제13항에서,
상기 내부 컵은 상측에서 하측으로 갈수록 폭이 줄어드는 부분을 포함하는 흡입 유닛.
제13항에서,
상기 내부 컵은 상부 개구 및 상기 상부 개구보다 작은 하부 개구를 포함하는 흡입 유닛.
제13항에서,
상기 외부 박스는 내부가 빈 사각 기둥 형상인 흡입 유닛.
삭제
제13항에서,
상기 내부 컵의 하단은 상기 하부판의 상면과 이격되어 있고, 상기 내부 컵의 하단과 상기 하부판은 상기 흡입 유닛의 흡입구를 한정하는 흡입 유닛.
제13항에서,
상기 외부 박스의 내주면, 상기 내부 컵의 외주면 및 상기 하부판의 상면은 상기 본체 내부에 배기로를 한정하는 흡입 유닛.
제13항에서,
상기 하부판의 상면은 상기 내부 컵의 하단과 맞닿은 부분과 이격되어 있는 부분을 포함하는 흡입 유닛.