본 발명의 일실시형태의 캐리어 형상측정기에 대해서 도면을 이용하여 설명한다.
본 실시형태의 캐리어 형상측정기는 도 3 과 같이 측정기 본체 (110), 화상처리부 (111), 컨트롤러 (112), 호스트컴퓨터 (113), 입출력부 (114) 를 구비하고 있다. 먼저, 측정기 본체 (110) 에 대해서 설명한다. 도 1, 도 2, 도 3, 도 4 에 나타낸 바와 같이, 측정기 본체 (110) 는 측정 대상인 캐리어 (18) 를 탑재하는 스테이지 (12) 및 측정헤드 (10) 를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는 스테 이지 (12) 는 대좌 (臺座; 21) 에 대하여 고정되어 있으며, 측정헤드 (10) 가 XYZ축 이동부 (15,16,17) 에 의해 캐리어 (18) 에 대하여 3 차원으로 이동하여 캐리어 (18) 의 형상을 측정하는 구성이다. 따라서, 대좌 (21) 상에는 측정헤드 (10) 를 수용하는 케이스 (11) 가 탑재되어 있고, 대좌 (21) 와 케이스 (11) 사이에는 케이스 (11) 를 X축 방향으로 이동시키기 위한 X축 이동부 (15) 가 배치되어 있다.
X축 이동부 (15) 는 대좌 (21) 상면에 형성된 X축 방향으로 길이방향을 갖는 레일 (15a), 케이스 (11) 바닥면에 고정되며 레일 (15a) 을 따라 슬라이딩이 가능한 슬라이딩부 (15b), 모터 (15c), 모터 (15c) 의 회전축에 연결된 이송나사 (15d), 케이스 (11) 바닥면에 고정되며 이송나사 (15d) 와 결합되는 너트 (15e) 를 포함한다. 모터 (15c) 의 회전축이 회전함으로써 이송나사 (15d) 도 회전하고 너트 (15e) 가 X축 방향으로 이동함으로써 슬라이딩부 (15b) 도 레일 (15a) 을 따라 X축 방향으로 이동하여 너트, 슬라이딩부 (15b) 가 고정되어 있는 케이스 (11) 가 X축 방향으로 이동한다.
Y축 이동부 (16) 는 케이스 (11) 내의 측정헤드 (10) 와 Z축 가동플레이트 (501) 사이에 배치되어 있다. Y축 이동부 (16) 는 Z축 가동플레이트 (501) 전면에 형성된 Y축 방향으로 길이방향을 갖는 레일 (16a), 측정헤드 (10) 배면 (背面) 에 형성되며 레일 (16a) 을 따라 슬라이딩이 가능한 도시되지 않은 슬라이딩부, 모터 (16c), 모터 (16c) 의 회전축에 연결된 이송나사 (16d), 측정헤드 (10) 의 배면에 고정되며 이송나사 (16d) 와 결합되는 도시되지 않은 너트를 포함한다. 모터 (16c) 의 회전축이 회전함으로써 이송나사 (16d) 도 회전하고 너트가 Y축 방향으로 이동함으로써 슬라이딩부도 레일 (16a) 을 따라 Y축 방향으로 이동하여, 측정헤드 (10) 가 Y축 방향으로 이동한다.
Z축 이동부 (17) 는 케이스 (11) 내에 설치되고 지주 (支柱; 502) 전면에 형성된 Z축 방향으로 길이방향을 갖는 레일 (17a), Z축 가동플레이트 (501) 배면에 형성되며 레일 (17a) 을 따라 이동이 가능한 도시되지 않은 슬라이딩부, 모터 (17c), 모터 (17c) 의 회전축에 연결된 이송나사 (17d), Z축 가동플레이트 (501) 배면에 고정되며 이송나사 (17d) 와 결합되는 도시되지 않은 너트를 포함한다. 모터 (17c) 의 회전축이 회전함으로써 이송나사 (17d) 도 회전하고 너트가 Z축 방향으로 이동함으로써 슬라이딩부도 레일 (17a) 을 따라 Z축 방향으로 이동하여 Z축 가동플레이트 (501) 가 Z축 방향으로 이동한다. 그 결과 측정헤드 (10) 가 Z축 방향으로 이동한다.
이들 구성에 의해 측정헤드 (10) 의 XYZ축 방향으로의 이동을 가능하게 한다. 또, XYZ축 이동부 (15,16,17) 의 레일 (15a,16a,17a) 은 모두 나사로 고정되어 있으며, 이 나사를 느슨하게 조정함으로써 레일의 축방향을 조정할 수 있는 구성으로 되어 있다. 또, XYZ축 이동부 (15,16,17) 에는 XYZ축에 대한 실제의 구동량을 측정하기 위한 XYZ축 측장부 (36,37,38) (도 1, 도 2, 도 3) 가 부착되어 있다.
또, 스테이지 (12) 상에는 SEMI 규격으로 FOUP (Front Opening Unified Pod) 라고 하는 캐리어 (18) 를 탑재하기 위해서 키네마틱 플레이트 (20) 가 탑재되어 있다. 키네마틱 플레이트 (20) 는 3 개의 핀 (20a,20b,20c) 을 상면에 구비하고 있다. 3 개의 핀 (20a,20b,20c) 의 형상 및 배치는 SEMI 규격 (SEMI E57-1296) 으로 정해진 형상 및 배치이다. 3 개의 핀 (20a,20b,20c) 은 상기 FOUP 형 캐리어 (18) 바닥면에 형성되어 있는 V 홈형상의 오목부와 결합함으로써 SEMI 규격으로 규정된 캐리어 탑재용 위치결정기구의 키네마틱 커플링을 실현한다. 그것에 의해, 상기 FOUP 형 캐리어 (18) 를 스테이지 (12) 상에 정확히 지지 및 위치결정하는 구성이다. 따라서, 본 실시형태의 형상측정장치에서는 실제의 반도체 장치의 제조라인에서 캐리어 (18) 가 지지되는 것과 동일한 키네마틱 커플링에 의해 캐리어 (18) 를 지지하면서 캐리어 (18) 형상을 측정할 수 있기 때문에, 캐리어 (18) 및 수용된 웨이퍼 형상 및 자세를 캐리어 (18) 사용때와 동일한 상태에서 정밀하게 측정할 수 있다.
*또한, 본 실시형태에서는, 고정밀도로 FOUP 형 캐리어 (18) 를 측정하기 위하여, FOUP 형 캐리어 (18) 의 형상에 기초하여 FOUP 형 캐리어 (18) 에 정해져 있는 기준면 또는 이것에 평행한 면을 기준으로 하여 측정한다. FOUP 형 캐리어 (18) 의 기준면에는, 도 14 와 같이, SEMI 규격으로 규정되는 수평 기준면 (horizontal datum plane) (141) 과 페이셜 기준면 (facial datum plane) (142) 과 바이라테럴 기준면 (bilateral datum plane) (143) 이 있다. 수평 기준면 (141) 은 키네마틱 커플링 핀 (20a, 20b, 20c) 에 의하여 캐리어 (18) 가 설치되어 있는 수평면이다. 페이셜 기준면 (142) 은, 캐리어 (18) 중의 웨이퍼를 이등분하고, 캐리어 (18) 의 전면 (前面) 에 평행한 수직면이다. 바이라테럴 기준면 (143) 은, 캐리어 (18) 중의 웨이퍼를 이등분하고, 수평 기준면 (141) 에 대하여 직각으로 교차하는 수직면이다. 수평 기준면 (141) 은 캐리어 (18) 의 구조상 캐리어 바닥면과는 반드시 평행하지 않는다.
본 실시형태에서는, 이들 기준면 (141, 142, 143) 을 기준으로 하여 캐리어 (18) 및 웨이퍼의 형상 및 자세를 측정할 수 있도록 한다. 이를 위해서, 본 실시형태에서는, 키네마틱 플레이트 (20) 를 도 15 에 나타낸 바와 같은 형상으로 하고, 키네마틱 플레이트 (20) 의 상면 (151) 이 스테이지 (12) 에 고정된 상태에서, 수평 기준면 (141) 과 일치하는 면, 또는 수평 기준면 (141) 에 평행한 면이 되도록 하고 있다. 마찬가지로, 키네마틱 플레이트 (20) 의 전측 측면 (152) (케이스 (11) 와는 대향하는 면) 은 페이셜 기준면 (142) 과 평행한 면으로 하고, 횡측 측면 (153) 은 바이라테럴 기준면 (143) 과 평행한 면으로 하고 있다. 또한, 키네마틱 플레이트 (20) 의 사방의 측면 (152, 153) 등에는, 도 15 와 같이 돌기 (154, 155, 156, 157) 가 형성되어 있고, 돌기의 측면 (154a, 156a) 은 바이라테럴 기준면 (143) 과 일치하는 면이 되도록 구성되어 있다. 측면 (155a, 157a) 은 페이셜 기준면 (142) 과 일치하는 면이 되도록 구성되어 있다.
이 키네마틱 플레이트 (20) 의 상면 (151) 또는 측면 (152, 153) 을 사용하여, 후술하는 위치맞춤공정에 의하여 XYZ 축 이동부 (15, 16, 17) 의 이동방향을 상기 기준면 (141, 142, 143) 과 평행하게 하는 조정을 한다. 이로써, FOUP 형 캐리어 (18) 의 기준면 (141, 142, 143) 을 기준으로 하여, FOUP 형 캐리어 (18) 의 형상을 고정밀도로 측정할 수 있다. 이로써 전측 측면 (152) 또는 횡측 측 면 (153) 을 기준으로 하여 캐리어 전면 (18a) 또는 측면을 측정함으로써, 캐리어 형상의 좋고 나쁨을 용이하게 검지할 수 있다.
또한, 본 실시형태에서는 키네마틱 플레이트 (20) 의 크기를, 도 16 과 같이 FOUP 형 캐리어 (18) 의 크기에 맞추도록 설계하고 있다. 즉, 키네마틱 플레이트 (20) 의 전측 측면 (152) 이 FOUP 형 캐리어 (18) 의 설계상의 전면 (18a) 과 일치하도록 하고, 횡측 측면 (153) 이 FOUP 형 캐리어 (18) 의 설계상의 측면 (18b) 과 일치하도록 크기를 정하고 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 키네마틱 플레이트 (20) 에 FOUP 형 캐리어 (18) 를 탑재할 때, 핀 (20a, 20b, 20c) 과 FOUP 형 캐리어 (18) 의 바닥면의 V 홈 형상 오목부를 정확하게 끼워맞춤시켜 키네마틱 커플링을 실현하기 위하여, 키네마틱 플레이트 (20) 의 핀 (20a, 20b, 20c) 을 요동시키는 구성으로 하고 있다. 그 이유는, 종래 키네마틱 플레이트 (20) 의 FOUP 형 캐리어 (18) 를 탑재할 때에는 핀 (20a, 20b, 20c) 의 바로 위까지 캐리어 (18) 의 바닥면의 V 홈 형상의 오목부 (191) 를 가지고 가서 캐리어 (18) 와 웨이퍼의 자체중량에 의하여 V 홈 형상 오목부 (191) 와 핀 (20a, 20b, 20c) 을 끼워맞춤시켰다. 그러나 종래 핀 (20a, 20b, 20c) 은 금속제이고, FOUP 형 캐리어 (18) 는 수지제이기 때문에, 탑재동작을 반복함으로써 V 홈 형상 오목부 (19) 의 경사면에 핀 (20a, 20b, 20c) 의 부딪침 흔적(打痕) 이 나기 쉽다. V 홈 형상 오목부 (19) 의 경사면에 부딪침 흔적이 생기면, 핀(20a, 20b, 20c)과 V 홈 형상 오목부 (19) 의 경사면과의 마찰력이 커져, 원활한 끼워맞춤을 할 수 없다. 끼워맞춤이 불충분한 경우, 도 19b 와 같 이 핀 (20a) 과 V 홈 형상 오목부 (191) 사이에 극간 (192) 이 발생하여, 캐리어 (18) 의 바닥면이 경사진다. 즉, 키네마틱 커플링에 의한 캐리어 (18) 의 지지를 실현할 수 없다.
그래서 본 실시형태에서는, 도 20 과 같이, 핀 (20a, 20b, 20c) 이, 기부 (基部) 에 피에조 소자로 이루어지는 진동소자 (204) 를 포함하는 구성으로 하고 있다. 단, 핀 (20a, 20b, 20c) 의 외형은, 진동소자 (204) 가 진동하고 있지 않는 상태에서 SEMI 규격 (SEMI E57-1296) 의 키네마틱 커플링 핀의 형상을 만족한다. 진동소자 (204) 의 진동방향은, 핀 (20a, 20b, 20c) 의 축을 횡방향 (플레이트 (20) 의 주 평면에 평행하는 방향) 으로 진동시키는 방향이다. 또한, 플레이트 (20) 에는 미리 정한 간격을 두고, 캐리어 (18) 의 바닥면을 검출하는 광전 스위치 (205a, 205b) 가 배치되어 있다. 광전 스위치 (205a, 205b) 는 캐리어 (18) 의 바닥면을 향하여 광을 출사하는 발광소자 (195) 와, 그 반사광을 검출하는 수광소자 (196) 를 가지고 있다. 수광소자 (196) 는, V 홈 형상 오목부 (191) 가 핀 (20a, 20b, 20c) 과 정상적으로 끼워맞춤되어 있는 경우에는, 캐리어 (18) 의 바닥면으로부터의 반사광이 입사되지만, V 홈 형상 오목부 (191) 가 핀 (20a, 20b, 20c) 과 도 19b 와 같이 불완전하게 끼워맞춤되고, 캐리어 (18) 의 바닥면이 부상되어 있는 경우에는, 반사광이 입사되지 않도록 위치 및 방향이 정해져 있다. 또한 스테이지 (12) 에는, 플레이트 (20) 의 하중을 검출하기 위하여, 로드셀로 이루어지는 하중센서 (206) 가 구비되어 있다.
스테이지 (12) 내에는 진동소자 (204), 광전 스위치 (205a, 205b), 하중센서 (206) 에 접속된 도 20 과 같은 회로가 배치되어 있다. 진동소자 (204) 를 구성하는 피에조 소자의 전극은, 진동소자 드라이버 (202) 에 접속되고, 진동소자 드라이버 (202) 에는 제어부 (201) 에 의하여 제어신호가 출력된다. 또한, 진동소자 드라이버 (202) 는 진동소자 (204) 의 진동의 위상변화를 검출하는 기능을 가지고, 검출결과를 제어부 (201) 로 출력한다. 광전 스위치 (205a, 205b) 의 출력은 OR 논리회로 (208) 및 AND 논리회로 (209) 에 입력되고, OR 논리회로 (208) 및 AND 논리회로 (209) 의 출력은 제어부 (201) 로 입력된다. 또한 하중센서 (206) 의 출력은 앰프 (207) 를 통하여 제어부 (201) 로 입력된다. 그 외에 타이머회로 (203) 및 오퍼레이터로부터 진동개시 지시를 받는 개시 스위치 (194) 의 출력이 제어부 (201) 로 입력된다. 또한, 제어부 (201) 에는, 본 실시형태의 형상 측정기에 대하여 캐리어 (18) 를 탑재하는 캐리어 반송기 (193) 의 출력도 입력된다.
제어부는, 하중센서 (206) 의 출력이 미리 정한 하중보다도 큰 경우, 또는 OR 논리회로 (208) 의 출력으로부터 광전 스위치 (205a, 205b) 중의 적어도 일방이 캐리어 (18) 의 바닥면을 검출한 것을 검지한 경우, 또는 캐리어 반송기 (193) 로부터 캐리어 (18) 탑재 완료신호를 수취한 경우, 또는 개시 스위치 (194) 가 오퍼레이터로부터 진동개시 지시를 접수한 경우에는, 캐리어 (18) 가 탑재된 것으로 판단하고, 진동소자 드라이버 (202) 에 진동을 지시하는 신호를 출력한다. 진동소자 드라이버 (202) 는 진동소자 (204) 를 구성하는 피에조 소자의 전극에 전압신호를 출력하여, 진동소자 (204) 를 미리 정한 주기로 진동시킨다. 이로써, 핀 (20a, 20b, 20c) 이 횡방향으로 진동하기 때문에, 핀 (20a, 20b, 20c) 의 선단곡면과 V 홈 형상 오목부 (191) 의 경사면과의 마찰력이 저감된다. 따라서, 캐리어 (18) 의 자체중량만으로는, 도 19b 와 같이, V 홈 형상 오목부 (191) 와의 끼워맞춤이 불완전해진 경우라도, 이를 해소하여 도 19a 와 같이 완전한 끼워맞춤상태로 할 수 있다.
제어부 (201) 는, 진동소자 드라이버 (202) 가 핀 (20a, 20b, 20c) 의 진동 위상이 변화된 것을 검출한 경우, 또는 AND 논리회로 (209) 의 출력에 의하여 광전 스위치 (205a, 205b) 의 양방이 캐리어 (18) 의 바닥면을 검출한 것을 검지한 경우에는, 핀 (20a, 20b, 20c) 이 V 홈 형상 오목부 (191) 에 완전히 끼워맞춤된 것으로 판단하여, 진동소자 드라이버 (202) 에 진동 정지신호를 출력한다. 이로써, 핀 (20a, 20b, 20c) 의 진동을 정지시킨다. 또한, 제어부 (201) 는 진동개시에서 미리 정한 시간이 경과한 것을 타이머회로 (203) 의 출력에서 검지한 경우에도 진동을 정지시킨다. 또한, 제어부 (201) 는 진동을 정지시킨 후, 후술하는 호스트 컴퓨터 (113) 에 캐리어 (18) 의 탑재완료를 알리는 신호를 출력한다.
이렇게, 본 실시형태에서는 키네마틱 플레이트 (20) 를 도 20 과 같이 구성함으로써, 키네마틱 플레이트 (20) 의 핀 (20a, 20b, 20c) 과 FOUP 형 캐리어 (18) 에 V 홈 형상 오목부 (191) 와의 불완전한 끼워맞춤을 해소할 수 있고, FOUP 형 캐리어 (18) 를 키네마틱 커플링에 의하여 지지 및 위치를 결정할 수 있다. 또한, 도 20 의 구성에서는, 핀 (20a, 20b, 20c) 과 V 홈 형상 오목부 (191) 와의 끼워맞춤이 완전한지 아닌지를 광전 스위치 (205a, 205b) 의 출력이나 진동소자 드라 이버 (202) 가 검출하는 위상변화에 의하여 검지할 수 있기 때문에, 육안으로 확인하기가 곤란한 끼워맞춤상태를 용이하게 검출할 수 있다.
또한 도 20 의 구성에서는, 진동에 의하여 불완전한 끼워맞춤을 해소하였으나, 진동을 대신하여 핀 (20a, 20b, 20c) 의 선단에서 V 홈 형상 오목부 (191) 의 경사면을 향하여 공기를 분출하는 구성으로 할 수도 있다. 이것을 실현하기 위해서는, 예를 들어 도 21a 와 같이 핀 (20a, 20b, 20c) 의 선단부 (211) 를 다공질 재료로 형성하고, 기부에는 외부의 공급관 (212) 에서 선단부 (211) 까지 압축공기를 유도하는 유로 (214) 를 형성한다. 이로써, 선단부 (211) 의 다공질재료의 구멍으로부터 공기를 분출시킬 수 있다. 또한, 도 21b 또는 도 21c 와 같이, 유로 (214) 에 분기로 (213) 를 형성하고, 분기로 (213) 의 선단으로부터 공기를 분출시키도록 구성할 수도 있다. 또한, 도 21d 와 같이 유로 (214) 를 연장하여 핀 (20a, 20b, 20c) 의 선단으로부터 공기를 분출시키도록 구성할 수도 있다. 그리고, 공급관 (212) 에는, 도 22 와 같이 압축공기원 (221) 를 접속하고, 도중에 전자밸브 (222) 와 유량계 (223) 와 압력계 (224) 를 배치한다. 제어부 (201) 는 도 20 과 동일한 방법으로 캐리어 (18) 가 탑재된 것을 검지하고, 이것을 트리거로서 전자밸브 (222) 를 오픈 상태로 하여, 압축공기를 핀 (20a, 20b, 20c) 의 선단으로부터 V 홈 형상 오목부 (191) 의 경사면을 향하여 분출시킨다. 또한, 유량계 (223) 의 유량이 미리 정한 값보다도 작아진 경우 또는 공급관 (212) 내의 압력이 미리 정한 값보다도 커진 경우에는, 핀 (20a, 20b, 20c) 과 V 홈 형상 오목부 (191) 와의 끼워맞춤이 완전해지고, V 홈 형상 오목부 (191) 의 경사면에서 핀 (20a, 20b, 20c) 의 공기분출구가 막힌 것으로 판단하여 전자밸브 (222) 를 닫는다. 또한 도 20 의 구성과 마찬가지로, AND 논리회로 (209) 의 출력 또는 타이머 회로 (203) 의 출력에 의하여 끼워맞춤이 완전해진 것을 검지한 경우에도 전자밸브 (222) 를 닫는다. 또한 도 21a, 21b, 도 22 의 구성의 경우, 핀 (20a, 20b, 20c) 의 선단의 공기분출구멍은 V 홈 형상 오목부 (191) 의 경사면을 향하고 있는 것이 바람직하다. 따라서 V 홈 형상 오목부 (191) 의 경사면을 향하고 있는 공기분출구멍은 막는 것도 가능하다.
이어서, 측정헤드 (10) 의 구성에 대해서 도 2 및 도 4 를 이용하여 설명한다. 측정헤드 (10) 는 2 종류의 측정부를 갖는다. 하나는 촬상된 화상에 의해 형상을 측정하기 위한 촬상부 (25) 이고, 다른 하나는 레이저광을 이용하여 Y축 방향을 길이측정하는 레이저AF부 (30) 이다.
촬상부 (25) 는 경통(鏡筒; 101) 내에, 대물렌즈 (24), 줌렌즈를 포함한 광학계 (23), CCD 카메라 (22) 를 광축 (103) 을 따라 순서대로 배치한 구성이다. 광학계 (23) 내의 줌렌즈는 도 2, 도 4 에서는 도시되지 않았으나 줌구동부 (35 ; 도 3) 에 의해 광축 (103) 방향으로 구동되어 줌 배율변화(變倍)가 실현된다. 경통 (101) 내에는 대좌 (21) 에 배치된 조명유닛 (34; 도 3) 이 발한 조명광을 전달하는 광섬유 (도시 생략) 가 삽입되며 광섬유에서 출사된 조명광은 대물렌즈 (24) 를 통해 측정대상에 조사된다.
또, 경통 (101) 의 직경은 도 4 와 같이 선단의 대물렌즈 (24) 부분에서 좁아져 있으며, 이 선단의 경통 (101) 주위에 링형상의 경통 (102) 이 부착되어 있 다. 경통 (101) 과 링형상의 경통 (102) 사이에는 베어링 (33) 이 배치되며 링형상의 경통 (102) 은 경통 (101) 에 대하여 회전할 수 있다. 링형상의 경통 (102) 에는 레이저AF부 (30) 를 구성하는 반도체 레이저 (26), 집광렌즈 (28,29) 및 수광소자 (27) 가 광축 (104) 을 따라 배치된다. 반도체 레이저 (26) 와 집광렌즈 (28) 는 도 4 와 같이 촬상부 (25) 의 광축 (103) 을 끼우고 수광소자 (27) 와 집광렌즈 (29) 에 대하여 대칭인 위치에 배치한다. 여기에서는 수광소자 (27) 로서 CCD 라인센서를 사용한다. 또, 링형상의 경통 (102) 에는 반도체 레이저 (26) 와 수광소자 (27) 가 배치되는 위치에 각각 반도체 레이저 (26) 에서 출사된 레이저광을 투과하는 창 (39,40) 이 배치되어 있다.
촬상부 (25) 와 레이저AF부 (30) 는 촬상부 (25) 의 초점위치 (105) 와 레이저AF부 (30) 의 검출범위 중앙위치가 일치하도록 구성되어 있다. 따라서, 광축 (103) 과 광축 (104) 은 초점위치 (105) 상에서 교차되고 있다.
링형상의 경통 (102) 의 외주에는 기어 (41) 가 배치되어 있다. 또, 경통 (101) 에는 고정구 (42) 에 의해 모터 (31) 가 고정되어 있고, 모터 (31) 의 회전축에는 기어 (32) 가 부착되어 있다. 기어 (32) 는 전술한 기어 (41) 와 맞물려 있어 모터 (31) 가 회전함으로써 링형상의 경통 (102) 이 경통 (101) 주위에서 회전한다. 이들 기어 (41,32) 및 모터 (31) 는 AF 회전부 (43) 를 구성하고 있다. 따라서, 모터 (31) 의 회전량을 제어함으로써, 레이저AF부 (30) 의 배치를 광축 (104) 이 포함된 면이 연직방향이 되는 종배치 (도 5a) 및 수평방향이 되는 횡배치 (도 5b) 로 전환할 수 있다. 또, 모터 (31) 와 링형상의 경통 (102) 의 기부는 커버 (145) 로 덮여 있다.
한편, 본 실시형태에서는 기어를 이용하여 경통 (102) 을 회전시키는 구성으로 하였으나, 모터 (31) 의 회전축과 경통 (102) 사이에 벨트를 걸쳐 경통 (102) 을 회전시키는 구성으로 해도 된다.
또, 케이스 (11) 에는 측정헤드 (10) 가 Y축 이동부 (16) 에 의해 이동되는 범위에서 Z축 방향으로 긴 직사각형의 개구 (13) 가 형성되어 있다 (도 1). 개구 (13) 의 폭은 측정헤드 (10) 의 폭과 동일한 크기이다. 개구 (13) 에서는 측정헤드 (10) 의 선단부가 외부로 돌출되어 있다. 또한, 케이스 (11) 내에서 발생하는 티끌이나 먼지가 개구 (13) 에서 외부로 새는 것을 방지하기 위해서 개구 (13) 의 측정헤드 (10) 상하에는 방진시트 (14) 가 배치되어 있다. 방진시트 (14) 는 폭이 개구 (13) 의 폭보다 약간 큰 띠형상의 시트로, 유연성이 좋고 표면의 마찰계수가 낮으며 내마모성이 높은 재질로 이루어진다. 이 띠형상의 방진시트 (14) 의 양단은 도 2 와 같이 지그 (44) 에 의해 Z축 가동플레이트 (501) 에 고정되며, 그럼으로써 방진시트 (14) 는 케이스 (11) 내를 일주하는 바퀴로 되어 있다 (도 2). 또, 지그 (44) 는 측정헤드 (10) 의 Y축 방향의 이동을 방해하지 않고 또한 지그 (44) 와 측정헤드 (10) 사이에서 티끌이나 먼지가 외부로 새는 것을 방지하기 위해서, 지그 (44) 와 측정헤드 (10) 의 간극은 미소한 폭이 되도록 설정되어 있다.
또, 케이스 (11) 내의 모서리부에는 도 2 와 같이 4 군데에 롤러 (45) 가 배치되어 있으며, 이 롤러 (45) 에 의해 방진시트 (14) 가 가이드되어 있다. 이 롤러 (45) 의 가이드에 의해 방진시트 (14) 는 케이스 (11) 전면부에서는 내벽을 따른 형상으로 되어 개구 (13) 에 밀착되어 이것을 막고, 케이스 (11) 의 상하면 및 배면부에서는 내벽과 간격을 두고 내벽을 따른 배치로 되어 있다. 또한, 바퀴형상의 방진시트 (14) 도중에는 스프링부재 (46) 가 배치되어 있다. 스프링부재 (46) 는 방진시트 (14) 가 길이방향에 대하여 인장하여 처지는 것을 방지하고 있다.
이렇게 방진시트 (14) 는 양단이 Z축 가동플레이트 (501) 에 고정된 바퀴로 되어 있어 Z축 이동부 (17) 의 동작에 따라 측정헤드 (10) 가 Z축 방향으로 이동한 경우에는 방진시트 (14) 도 측정헤드 (10) 와 함께 이동한다. 이 때 방진시트 (14) 의 바퀴가 롤러 (45) 에 의해 가이드되면서 이송됨으로써, 측정헤드 (10) 상하의 개구 (13) 는 항상 방진시트 (14) 로 덮여 있어 케이스 (11) 내의 티끌이나 먼지가 외부로 새는 것을 방지한다. 또, 방진시트 (14) 의 양단은 측정헤드 (10) 의 Y축 방향으로의 이동을 방해하지 않도록 Z축 가동플레이트 (501) 에 고정되어 있어, 측정헤드 (10) 는 개구 (13) 에서 Y축 방향으로 출몰할 수 있다.
케이스 (11) 의 하부에는 배기구 (47) 가 개방되어 있고 내부에 감압용 팬 (48) 이 배치되어 있다. 감압용 팬 (48) 은 본 실시형태의 캐리어 형상측정기가 가동상태일 때에 동작하도록 설정된다. 감압용 팬 (48) 의 동작에 따라 케이스 (11) 내부를 마이너스압으로 한다. 그럼으로써 방진시트 (14) 는 개구 (13) 부분에서 내측으로 인장되면서 휘어 도 8 과 같이 케이스 (11) 와 방진시트 (14) 사이에 약간의 간극 (49) 이 생긴다. 이 간극 (49) 을 통해 도 7, 도 8 과 같이 외부에서 케이스 (11) 내부로 공기가 흘러들어간다. 따라서, 가동시에는 케이스 (11) 내부의 XYZ축 이동부 (15,16,17) 등의 가동부에서 발생한 티끌이나 먼지가 외부로 새는 것을 한층 더 효과적으로 방지할 수 있다. 또, 방진시트 (14) 를 인장하는 스프링부재 (46) 의 응력의 크기는 감압용 팬 (48) 의 배기력을 고려하여 간극 (49) 의 발생을 방해하지 않고 또한 개구 (13) 부분 이외의 방진시트 (14) 에 처짐이 생기지 않을 정도가 되도록 설정해 둔다.
또, 케이스 (11) 외측에는 측정 대상인 캐리어 (18) 에 대한 면을 제외하고 안전 커버 (50) 로 덮여 있다. 안전 커버 (50) 의 크기는 케이스 (11) 의 X축 방향으로의 가동범위를 고려하여 정해진다. 또, 스테이지 (12) 의 상부 공간은 측정헤드 (10) 로 향하는 면을 제외하고 안전 커버 (51) 로 덮여 있다. 안전 커버 (51) 의 크기는 탑재하는 캐리어 (18) 의 크기를 고려하여 정해진다. 또, 안전 커버 (51) 의 재질은 측정부 (10) 의 레이저AF부 (30) 에서 출사되는 레이저광을 투과할 수 없는 광학적 특성을 갖는 재질이다.
또한, 안전 커버 (50) 상부에는 본 실시형태의 캐리어 형상측정장치의 가동상태를 통지하기 위한 3 색 시그널타워 (52) 가 부착되어 있다.
이어서, 화상처리부 (111), 컨트롤러 (112), 호스트컴퓨터 (113) 및 입출력부 (114) 에 대하여 도 3 을 이용하여 설명한다. 컨트롤러 (112) 는 CPU (53), 줌구동제어부 (54), XYZ 구동제어부 (55), XYZ 카운터 (56), 레이저제어부 (57), 회전구동제어부 (58), 조광 (調光) 제어부 (59), 팬제어부 (60), 상태감시/제어부 (61) 및 조이스틱 제어부 (62) 를 포함하고 있다.
줌구동제어부 (54) 는 호스트컴퓨터 (113) 의 치수측정 연산처리부 (64) 에서 수취한 촬상배율에 따라 측정기 본체 (100) 의 줌구동부 (35) 에 구동량의 지시를 출력한다. 그럼으로써 촬상부 (25) 의 광학계의 줌렌즈의 이동량이 제어되어 CCD 카메라 (22) 의 촬상배율이 제어된다. 따라서, 캐리어 (18) 의 크기나 구한 측정 정밀도에 따라 촬상배율을 변화시켜, 처리량 (throughput) 을 향상시킬 수 있다.
XYZ 구동제어부 (55) 는 호스트컴퓨터 (113) 의 치수측정 연산처리부 (64) 에서 이동지시를 수취하여 측정기 본체 (110) 의 XYZ축 이동부 (15,16,17) 의 모터 (15c,16c,17c) 에 대하여 구동을 지시한다. 또, XYZ 카운터 (56) 는 XYZ축 이동부 (15,16,17) 의 XYZ축 측장부 (36,37,38) 의 길이측정 결과를 받음으로써 XYZ축 이동부 (15,16,17) 가 이동한 좌표를 검출한다. 호스트컴퓨터 (113) 의 치수측정 연산처리부 (64) 는 이 검출좌표를 수취하고 이동량을 피드백 제어함으로써, 치수측정에 필요한 좌표까지 측정헤드 (10) 를 이동시킴과 동시에 화상처리부 (111) 의 출력 결과를 이용해서 Y축 방향을 미세조정하여 측정헤드 (10) 의 초점위치 (105) 를 측정 대상에 일치시킨다.
레이저제어부 (57) 는 호스트컴퓨터 (113) 에서 레이저AF부 (30) 를 사용하는 측정 지시를 수취한 경우에, 레이저AF부 (30) 의 반도체 레이저 (26) 에 발광을 지시하는 신호를 출력함과 동시에 CCD 라인센서로 이루어진 수광소자 (27) 의 수광신호를 수취하고 CCD 라인센서의 어느 위치에서 레이저광이 수광되고 있는지를 검출함으로써 측정 대상의 초점위치 (105) 로부터의 편차량을 구한다. 또, 회전구 동제어부 (58) 는 호스트컴퓨터 (113) 에서 레이저AF부 (30) 의 배치를 종배치 및 횡배치 (도 5a, 도 5b) 중 어느 하나로 변환하도록 지시를 받은 경우에는, AF 회로부 (43) 의 모터 (31) 에 소정의 회전량만큼 회전하도록 지시하는 신호를 출력한다. 그럼으로써, 레이저AF부 (30) 의 배치를 종배치 또는 횡배치로 전환할 수 있다.
조광제어부 (59) 는 입출력부 (114) 가 접수한 오퍼레이터로부터의 조명광량의 조정지시를 호스트컴퓨터 (113) 에서 수취하고 조명유닛 (34) 이 발광하는 광량을 증광 또는 감광시키는 신호를 출력한다. 그럼으로써, 촬상부 (25) 의 대물렌즈 (24) 를 통해 측정 대상에 출사되는 조명광이 조광되고, CCD 카메라 (22) 가 촬상하는 화상 밝기가 변화된다. 상태감시/제어부 (61) 는 호스트컴퓨터 (113) 가 가동되고 있음을 나타내는 신호를 수취한 경우에는 시그널타워 (52) 에 청색신호를 점등시키고, 호스트컴퓨터 (113) 의 치수측정 연산처리부 (64) 가 레이저AF부 (30) 의 길이측정 결과를 처리하는 연산을 하고 있는 경우에는 시그널타워 (52) 에 황색신호를 점등시킨다. 또, 상태감시/제어부 (61) 는 호스트컴퓨터 (113) 가 레이저제어부 (57) 에 레이저AF부 (30) 를 사용하는 측정을 지시하고 있는 경우에는 반도체 레이저 (26) 가 발광하고 있다고 판단하여 시그널타워 (52) 의 황색신호를 점등시킨다. 상태감시/제어부 (61) 는 호스트컴퓨터 (113) 가 출력하는 에러신호를 수취한 경우에는 시그널타워 (52) 의 적색신호를 점등시킨다.
또, 조이스틱 제어부 (62) 는 입출력부 (71) 의 조이스틱유닛 (71) 의 조이스틱이 오퍼레이터에 의해 조작된 경우 직접 XYZ축 이동부 (15,16,17) 구동을 지시 하고, 조이스틱의 조작량만큼 측정헤드 (10) 를 XYZ 방향으로 이동시키는 제어를 한다.
컨트롤러 (112) 의 CPU (53) 는 전술한 컨트롤러 (112) 내의 각 부 동작을 전체적으로 제어한다.
한편, 화상처리부 (111) 는 촬상부 (52) 의 CCD 카메라 (22) 가 출력하는 화상정보를 수취하고, 2 값화 처리 등의 화상처리를 하여 호스트컴퓨터 (113) 에 출력한다.
*호스트컴퓨터 (113) 는 티칭관리부 (63), 치수측정 연산처리부 (64), 측정결과 관리부 (65), 맨머신 인터페이스 (man machine interface; 66), 메모리 (67) 를 포함하고 있다. 메모리 (67) 에는 측정 대상인 캐리어 (18) 에 대해서 오퍼레이터가 원하는 부분의 치수를 측정하기 위한 복수의 측정용 프로그램이 이미 저장되어 있다. 티칭관리부 (63) 는 맨머신 인터페이스 (66) 를 통해 키보드 (68) 또는 마우스 (69) 에서 오퍼레이터가 측정하고자 하는 부분이나 측정방법의 지시를 수취하고, 그것을 실현하기 위한 메모리 (67) 내의 프로그램을 선택한다. 그리고, 치수측정 연산처리부 (64) 에 해당 프로그램의 실행을 지시함과 동시에서 그 진행을 확인한다.
치수측정 연산처리부 (64) 는 티칭관리부 (63) 에 지시된 프로그램을 메모리에서 판독하여 실행함으로써 컨트롤러 (112) 의 각부에 대하여 전술한 바와 같은 지시를 하고 측정헤드 (10) 를 원하는 좌표로 이동시켜 측정헤드 (10) 의 촬상부 (25) 및 레이저AF부 (30) 에 의한 측정을 한다. 구체적으로는 화상처리부 (111) 의 출력화상 상의 중심좌표를 그 중심 좌표에 대응하는 XYZ 카운터 (56) 의 출력좌표 (XYZ축 이동부 (15,16,17) 의 좌표계 (XYZ)) 에 대응시키는 연산을 함으로써, 출력화상의 각 화소의 좌표를 XYZ 좌표로 변환시키고 화상처리부 (111) 상의 출력화상 중의 원하는 부분간의 치수를 구하는 처리를 한다. 또, 치수측정 연산처리부 (64) 는 레이저AF부 (30) 에 의해 초점위치 (105) 에서 측정 대상의 Y축 방향의 편차량을 구함으로써 측정 대상의 Y축 방향 (안쪽 방향) 의 치수 분포를 고정밀도로 길이측정하는 연산처리 등을 한다. 또, 레이저AF부 (30) 에 의해 측정할 때 초점위치 (105) 의 XYZ 좌표는 화상처리부 (111) 의 출력화상의 중심좌표를 사용한다.
치수측정 연산처리부 (64) 가 연산한 각 부분의 치수 데이터는 측정결과 관리부 (65) 내의 메모리에 저장된다. 측정결과 관리부 (65) 는 메모리 내의 치수 데이터를 그대로 CRT (70) 에 표시시키거나 또는 오퍼레이터 지시에 따라 치수 데이터의 통계 데이터나 치수 오차 데이터 등을 구하는 연산을 하여 그 결과를 CRT (70) 에 표시시킨다.
여기에서 본 실시형태의 캐리어 형상측정기에서 측정 대상이 되는 FOUP 형 캐리어 (18) 에 대해 도 9 를 이용하여 더 상세하게 설명한다. FOUP (Front Opening Unified Pod) 는 SEMI 규격으로 정해진 캐리어 형상으로, 직경 300㎜ 의 웨이퍼를 수용하는 밀폐 타입의 캐리어이다. 구체적으로는 FOUP 형 캐리어 (18) 는 전면에만 개구를 갖는 본체 (91) 와 그 개구를 막기 위한 도어 (92) 로 이루어 진다. 본체 (91) 의 내측 양측면에는 티스 (teeth; 93) 라고 하는 돌기가 일정한 간격으로 복수 개 배치되어 있다. 이 티스 (93) 에 의해 직경 300㎜ 의 웨이퍼 양단이 도 11 과 같이 지지된다. 또, 본체 (91) 바닥면에는 3 개의 오목부 (도시 생략) 가 형성되어 있다. 이들 세 오목부는 스테이지 (12) 의 키네마틱 플레이트 (20) 의 핀 (20a,20b,20c) 과 결합됨으로써 SEMI 규격의 키네마틱 커플링을 실현한다.
또, FOUP 형 캐리어 (18) 의 도어 (92) 는 도어 (92) 를 위치결정하기 위한 레지스트레이션 핀구멍 (96) 과 도어 (92) 를 열림상태 또는 닫힘상태로 하기 위한 래치키구멍 (95) 을 갖는다. 도어 (92) 를 연 경우에는 먼저 로드 포트 (load port) 의 레지스트레이션 핀을 레지스트레이션 핀구멍 (96) 에 삽입하여 도어 (92) 의 위치결정을 하고, 그리고 래치키를 래치키구멍 (95) 에 삽입하여 회전시킴으로써 도어 (92) 를 열림상태로 한 후 로드포트가 도어 (92) 를 바로 앞으로 인출함으로써, 도 9 와 같이 도어 (92) 를 본체 (91) 에서 분리한다.
또, 스테이지 (12) 상의 키네마틱 플레이트 (20) 방향은 캐리어 (18) 의 개구면이 XZ 평면과 평행하게 되도록 향해져 있다.
본 실시형태의 캐리어 형상측정장치는, 전술한 바와 같이 측정헤드 (10) 가 XYZ 방향으로 이동하여 측정을 하는 구성으로, 캐리어 (18) 는 이동하지 않는다. 요컨대 캐리어 (18) 에 이동에 따른 진동이나 충격 등이 가해지지 않기 때문에, 캐리어 (18) 에 반도체 웨이퍼 (97) 를 수용한 상태에서 고정밀도로 측정할 수 있다. 측정 부분은 오퍼레이터가 원하는 부분을 측정할 수 있으나, 예컨대 측정헤 드 (10) 의 촬상부 (25) 에 의해 도 11 의 점 (e,g,h) 의 각 부분을 포함한 화상과 점 (f) 을 포함한 화상을 취득하고, 화상처리부 (111) 가 각 화상 내에서의 점 (e,f,g,h) 에 상당하는 에지 부분을 검출하고, 치수측정 연산처리부 (64) 가 점 (e,f,g,h) 의 좌표를 연산하고, 또한 점 (e) 과 점 (f) 의 좌표 거리를 연산함으로써, 캐리어 (18) 의 개구의 내측 폭 (E) 을 구할 수 있다. 또한, 점 (g) 과 점 (h) 의 거리를 연산함으로써 개구의 가장자리의 폭 (G) 을 구할 수 있다. 또, 동일한 측정을 캐리어 (18) 의 복수 부분에 대하여 실행함으로써 개구의 내측 폭 (E) 이나 개구의 가장자리의 폭 (G) 을 복수 부분에 대하여 구할 수 있다. 그럼으로써 상기 폭 (E) 이나 폭 (G) 의 분포를 구할 수 있다. 이들 측정은 캐리어 (18) 의 도어 (92) 를 연 상태의 본체 (91) 에 대하여 실행한다.
또한, 동일하게 도 11 과 같이 웨이퍼 (97) 중앙부의 점 (i,j,k,l,m,n) 을 포함한 화상을 촬상부 (25) 에 의해 촬상하고, 화상처리부 (111) 가 각 화상 내에서의 점 (i,j,k,l,m,n) 에 상당하는 에지 부분을 검출하고, 치수측정 연산처리부 (64) 가 점 (i,j,k,l,m,n) 의 좌표를 연산하여 점 (i,j,k,l,m,n) 의 간격을 각각 구함으로써 웨이퍼 (97) 의 앞가장자리 중앙부의 간격 (I) 을 측정할 수 있다. 이 때, 점 (i,j,k,l,m,n) 의 X 좌표로는 미리 구한 개구의 내벽의 폭 (E) 에서 웨이퍼 (97) 의 간격 (I) 을 구하고자 하는 원하는 위치의 X좌표를 사용함으로써, 웨이퍼 (97) 의 단부나 중앙부 등의 임의의 위치에서의 웨이퍼 간격 (I) 을 측정할 수 있다.
또, 측정헤드 (10) 의 촬상부 (25) 에 의한 촬상에 추가로 레이저AF부 (30) 를 사용함으로써, Y축 방향의 좌표를 고정밀도로 구할 수 있다. 이 때 레이저AF부 (30) 는 도 5a, 도 5b 에서 설명한 바와 같이 레이저광의 발광방향을 종배치와 횡배치로 변환시킬 수 있어, 측정 대상의 바로 앞으로 돌출된 구조로 레이저광이 킥(kick)되기 쉬운 좁은 부분에 대해서도 레이저AF부 (30) 에 의한 측정을 할 수 있다. 여기에서 레이저AF부 (30) 를 사용한 측정의 일례로서, 개구의 가장자리의 도어 맞닿음면 (98) 의 평면도를 측정하는 동작에 대하여 도 10 및 도 12 를 이용하여 설명한다. 치수측정 연산처리부 (64) 는 메모리 (67) 에 저장된 도 12 의 플로우에 나타낸 내용의 프로그램을 판독하고 이것을 실행함으로써 측정을 한다. 도 12 의 플로우에서는 도 10 의 a, b, c, d 점의 좌표가 사용되지만, 이 좌표는 이 측정보다 전에 치수측정 연산처리부 (64) 가 촬상부 (25) 에 의한 촬상으로 측정한 좌표 또는 오퍼레이터에게서 입출력부 (114) 를 통해 지정된 좌표를 사용한다.
먼저, 치수측정 연산처리부 (64) 는 회전구동제어부 (58) 에 지시를 출력하여 레이저AF부 (30) 의 AF 회전부 (43) 를 회전시킴으로써 레이저AF의 배치를 도 5b 의 횡배치로 설정한다 (단계 (121)). 이어서, 치수측정 연산처리부 (64) 는 XYZ 구동제어부 (55) 에 이동을 지시함과 동시에 XYZ 카운터 (56) 에서 검출 결과를 수취하고 이동량의 피드백 처리를 함으로써, 측정헤드 (10) 의 초점위치 (105) 를 맞닿음면 (98) 의 a 점까지 이동시킨다 (단계 (122)). 계속해서 치수측정 연산처리부 (64) 는 레이저제어부 (57) 에 지시하여 반도체 레이저 (26) 를 출사시키고 (단계 (123)), 이 상태에서 XYZ 구동제어부 (55) 에 지시하여 미리 정한 속도로 측정헤드 (10) 를 X축 방향으로 이동시키면서 (단계 (124)), 초점위치 (105) 로부터의 대상물의 Y축 방향의 편차량을 레이저제어부 (57) 에서 수취한다 (단계 (125)). 치수측정 연산처리부 (64) 는 레이저제어부 (57) 에서 수취한 Y축 방향의 편차량에서 Y축 좌표를 정확히 연산한다. 또, 각 지점의 XZ 좌표는 XYZ축 측장부 (36,37,38) 의 검출신호를 XYZ 카운터 (56) 에서 판독하고 설정한다. 이들 단계 (124,125) 를 측정헤드 (10) 의 좌표가 b점까지 도달할 때까지 계속한다. 단, 그 도중에 단계 (125) 에서 수광소자 (27) 로 수광을 할 수 없게 된 것이 레이저제어부 (57) 의 출력으로부터 판명된 경우에는, 레이저광이 개구의 가장자리에서 킥되고 있다고 판단하여, 단계 (127) 로 진행된다.
단계 (127) 에서는 맞닿음면 (98) 의 종방향의 면 정밀도를 측정하기 위해서 치수측정 연산처리부 (64) 는 점 (c) 의 좌표까지 측정헤드 (10) 를 이동시킨다. 이동시에는 단계 (122) 와 동일하게 XYZ 구동제어부 (55) 에 이동을 지시함과 동시에 XYZ 카운터 (56) 에서 검출 결과를 수취하고 피드백 처리를 한다. 이어서, 치수측정 연산처리부 (64) 는 회전구동제어부 (58) 에 지시를 출력하여 레이저AF부 (30) 의 AF 회전부 (43) 를 회전시킴으로써 레이저AF 배치를 도 5a 의 종배치로 설정한다 (단계 (128)). 그리고, XYZ 구동제어부 (55) 에 지시하여 미리 정한 속도로 측정헤드 (10) 를 Z축 방향으로 이동시키면서 (단계 (129)), 대상물의 초점위치 (105) 로부터의 Y축 방향의 편차량을 레이저제어부 (57) 에서 수취한다 (단계 (130)). 치수측정 연산처리부 (64) 는 레이저제어부 (57) 에서 수취한 Y축 방향의 편차량에서 Y축 좌표를 정확히 연산한다. 또, 각 시점의 XZ 좌표는 XYZ축 측 장부 (36,37,38) 의 검출신호를 XYZ 카운터 (56) 에서 판독하고 설정한다. 이들 단계 (129,130) 를 측정헤드 (10) 의 좌표가 d점까지 도달할때까지 계속하다 측정을 종료한다. 단, 그 도중에 단계 (130) 에서 수광소자 (27) 에서 수광을 할 수 없게 된 것이 레이저제어부 (57) 의 출력에서 판명된 경우에는 레이저광이 개구의 가장자리에서 킥되고 있다고 판단하여 측정을 종료한다.
치수측정 연산처리부 (64) 는 이들 측정에서 얻은 맞닿음면 (98) 상의 각 점의 Y 좌표에서 평면도를 구하여 그 결과를 측정결과 관리부 (65) 에 저장함과 동시에 CRT (70) 에 표시시킨다.
이렇게 본 실시형태에서는 측정헤드 (10) 에 레이저AF부 (30) 를 구비하고 있어 Y축 방향의 좌표를 고정밀도로 측정할 수 있다. 따라서, 캐리어 (18) 의 평면도를 고정밀도로 측정할 수 있다. 또한, 전술한 맞닿음면 (98) 의 측정에서는 레이저AF부 (30) 배치를 종방향과 횡방향으로 변환하면서 측정을 할 수 있어, 종방향과 횡방향 중 어느 한 배치에서는 가장자리에서 광이 킥되어 측정할 수 없는 맞닿음면 (98) 의 측정을 둘레방향을 따라 실행할 수 있다.
다음으로, 레이저AF부 (30) 를 사용하는 별도의 측정의 예로서, FOUP 형 캐리어 (18) 의 전면 (18a) 의 개구 둘레의 면에 대하여, 페이셜 기준면 (142) 으로부터의 거리와 평행도를 측정하는 예에 대하여 설명하기로 한다. 이 측정은 키네마틱 플레이트 (20) 의 전측 측면 (152) 이 페이셜 기준면 (142) 과 평행하고, 또한 캐리어 (18) 의 전면 (18a) 과 일치하고 있는 것을 이용하여 행한다. 측정은 메모리 (67) 에 미리 격납되어 있는 도 18 에 나타낸 플로우의 프로그램을 치 수측정 연산처리부 (64) 가 실행함으로써 행한다. 도 18 의 플로우에서는 도 17 의 a ~ j 점에 대하여 Y 좌표가 레이저AF부 (30) 에 의하여 정밀하게 측정되는데, 측정헤드 (10) 의 초점위치 (105) 를 a ~ j 점이 이동하기 위하여 필요한 XYZ 좌표는, 이 측정보다도 앞서 치수측정 연산처리부 (64) 가 촬상부 (25) 에 의한 촬상에 의하여 측정한 좌표, 또는 오퍼레이터로부터 입출력부 (114) 를 통하여 지정된 좌표를 이용한다.
도 18 과 같이, 치수측정 연산처리부 (64) 는 키네마틱 플레이트 (20) 상에 FOUP 형 캐리어 (18) 가 배치되어 있는 것을 전술한 도 20 또는 도 21 의 제어부 (201) 의 출력에 의하여 확인한다 (스텝 171). 그리고 치수측정 연산처리부 (64) 는 XYZ 구동제어부 (55) 에 이동을 지시함과 동시에, XYZ 카운터 (56) 로부터 검출결과를 수취하여 이동량의 피드백을 처리함으로써, 측정헤드 (10) 의 초점위치 (105) 를 키네마틱 플레이트 (20) 의 전측 측면 (152) 의 a 점과 b 점으로 이동시키고, 레이저AF부 (30) 에 의하여 a 점과 b 점의 Y 축 좌표를 각각 측정한다 (스텝 172). 측정치는 측정결과 관리부 (65) 에 격납된다. 다음으로, 이 a 점과 b 점의 Y 축 좌표의 위치에서 XYZ 카운터 (56) 의 Y 카운터를 0 으로 리셋한다. 또한, X 축 이동부 (15) 의 X 축방향은, 도 23 ~ 도 27 을 이용하고, 이후에 설명하는 XYZ 축의 축방향의 조정에 의하여 전측 측면 (152) 과 평행하도록 정확하게 조정되어 있기 때문에 a 점과 b 점의 Y 축 좌표는 일치하고 있다.
치수측정 연산처리부 (64) 는 측정헤드 (10) 를 c 점 ~ j 점으로 순서로 이동시키고, 레이저AF부 (30) 에 의하여 Y 축 좌표를 각각 측정한다 (스텝 174 ~ 177). 이로써 리셋한 전측 측면 (152) 으로부터의 c 점 ~ j 점의 Y 축방향의 위치가 측정된다. 측정결과와 미리 정한 위치허용치 (±0.5 ㎜) 를 비교하고 (스텝 178), 허용치 이내이면 합격, 허용치 이외이면 불합격으로 판정한다 (스텝 180, 181). 또한, 측정한 c 점 ~ j 점의 Y 축방향의 위치 및 c 점 ~ j 점의 XZ 좌표를 사용하여 최소자승 평면을 산출하고, 이 산출된 평면과 페이셜 기준면 (142) 과의 평행도를 산출한다 (스텝 182 ~ 183). 상기 c 점 ~ j 점의 Y 축방향의 위치, 판정결과, 및 평행도는 측정결과 관리부 (65) 에 격납함과 동시에 CRT (70) 에 표시한다.
이렇게, 본 실시형태의 형상측정기는 키네마틱 플레이트 (20) 의 전측 측면 (152) 을 캐리어 (18) 의 페이셜 기준면 (142) 과 평행한 면으로 하고 있기 때문에, 캐리어 (18) 의 전면 (18a) 의 평면도를 캐리어 (18) 의 페이셜 기준면 (142) 을 기준으로 하여 측정할 수 있다. 이로써 핀 (20a, 20b, 20c) 의 배치를 검출하지 않고 페이셜 기준면 (142) 을 기준으로 측정할 수 있다. 따라서, 실제로 캐리어 (18) 가 사용되고 있는 반도체 디바이스의 제조공정에서의 캐리어 자세를 페이셜 기준면 (142) 을 기준으로 하여 정확하게 파악할 수 있는 효과를 얻을 수 있다. 그리고 키네마틱 플레이트 (20) 의 전측 측면 (152) 의 위치가, 캐리어 (18) 의 전면 (18a) 의 설계상의 목표위치와 일치하고 있는 경우에는, 전측 측면 (152) 에 대한 전면 (18a) 의 편차를 측정한다고 하는 간단한 방법으로 전면 (18a) 을 측정할 수 있다. 도 16 에서 나타낸 캐리어 (18) 의 좌측 측면 (18b) 을 측정할 때에도, 좌측 측면 (18b) 의 설계상의 목표위치를 나타내는 좌측 측면 (153) 을 준비하면, 동일하게 양자의 편차를 측정하는 방법에 의하여 좌측 측면 (18b) 을 측정할 수도 있다. 이렇게 키네마틱 플레이트 (20) 에 설계상의 목표치를 나타내는 형상을 형성함으로써, 캐리어 (18) 의 기준면을 의식하지 않고 측정하는 것이 가능해진다.
또한, 키네마틱 플레이트 (20) 는 페이셜 기준면 (142) 뿐만 아니라 수평 기준면 (141) 및 바이라테럴 기준면 (143) 과 평행한 면도 갖는 구성이기 때문에, 마찬가지로 이것들을 기준면으로 하여 캐리어 (18) 의 형상을 측정함으로써, 수평 기준면 (141) 또는 바이라테럴 기준면 (143) 에 기초한 측정을 용이하게 행할 수 있다. 따라서, 실제로 캐리어 (18) 가 사용되는 반도체 디바이스의 제조공정에서, 캐리어에 수납된 웨이퍼의 로봇 암에 의한 로딩 및 언로딩의 신뢰성의 보증 또는 FOUP 형 캐리어 (18) 의 도어 (92) 개폐의 신뢰성 보증이나, 캐리어 (18) 둘레의 면 (18a) 을 밀착시키는 로드포트와의 시일성을 보증할 수 있게 된다.
다음으로, 레이저AF부 (30) 를 사용하는 또 다른 측정예로서, FOUP 형 캐리어 (18) 에 수납된 웨이퍼 (97) 의 전 (前) 가장자리 형상에서, 수납상태의 웨이퍼 (97) 중심의 XY 좌표를 구하는 측정에 대하여 설명하기로 한다. 이 측정도 메모리 (67) 에 미리 격납되어 있는 도 29 의 플로우와 같은 프로그램을 치수측정 연산처리부 (64) 가 실행하여 행한다. 도 29 의 플로우에서는 측정점으로서 a, b, c 의 3 점이 사용되나, a ~ c 점에 측정헤드 (10) 를 이동시키기 위하여 필요한 XYZ 좌표는 이 측정보다도 앞서 치수측정 연산처리부 (64) 가 촬상부 (25) 에 의한 촬상에서 측정한 좌표이거나, 또는 오퍼레이터에서 입출력부 (114) 를 통하여 지정 된 좌표를 사용한다. 먼저, 측정헤드 (10) 를 a 점으로 이동시키고, 레이저AF부 (30) 에 의하여 Y 좌표를 고정밀도로 측정함으로써, a 점의 좌표치 (X1, Y1, Z1) 를 얻는다 (스텝 291, 292). 마찬가지로 b 점, c 점에 대해서도 레이저AF부 (30) 를 사용하여 측정한 b 점의 좌표치 (X2, Y2, Z2), c 점의 좌표치 (X3, Y3, Z3) 를 측정한다. 측정된 a ~ c 점 좌표치 중, X 좌표치와 Y 좌표치를 원의 공식 (Xi-X0) 2 + (Yi-Y0) 2 = R2 (단, I = 1, 2, 3) 에 대입하고, 중심좌표치 (X0, Y0) 를 산출한다 (스텝 295). 이로써, 캐리어 (18) 에 수용된 상태의 웨이퍼 (97) 의 중심인 XY 좌표 (X0, Y0) 를 산출할 수 있다.
또한, 웨이퍼 (97) 의 중심좌표의 높이 (Z 좌표 Z0) 는, 도 30a 와 같이 좌우의 티스 (93) 에 대하여 직접 측정한 좌표치에서 웨이퍼 (97) 에 자체중량 휨이 없는 것으로 한 경우의 수납 웨이퍼의 상정 높이 (Tc) 를 구하고, 여기에 웨이퍼 (97) 의 자체중량 휨을 가함으로써 구할 수 있다. 웨이퍼 (97) 의 자체중량 휨이란 웨이퍼 (97) 의 직경, 두께, 재질에 의하여 정해지는 휨량으로서, 계산에 의해 구할 수 있다. 상정 높이 (Tc) 는 도 31 과 같이 페이셜 기준면 (142) 위치에서 좌우의 티스 (93) 의 단부에 대하여 측정한 높이 (Z 좌표) (TL, TR) 를 수식 Tc = (TR + TL) /2 에 대입하여 산출할 수 있다. 또한, 수용 웨이퍼 (97) 의 상정 경사 (θ) 는 θ= tan-1 ((TR - TL)/W) (단, W 는 좌우의 티스 (93) 의 간격이다) 에 의하여 산출할 수 있다. 상정높이 (Tc), 상정경사 (θ) 는 다단으로 배치된 티스 (93) 의 각 단마다 구할 수 있다. 이로써, 수납되어 있는 웨이퍼 (97) 마다 중심 좌표의 높이를 구할 수 있다.
또한 캐리어 (18) 가 FOUP 형이 아니라 오픈타입인 경우에는, 도 32 와 같이 티스 (93) 의 전(前) 둘레의 높이 (TF) 와 후 둘레의 높이 (TB) 를 측정할 수 있다. 이것을 수식 Tc' = (TF + TB)/2 에 대입하여 티스 (93) 의 전후 방향 중앙의 상정 높이 (Tc') 를 산출할 수 있다. 마찬가지로 티스 (93) 의 상정경사 (θ') 는 θ' = tan-1 ((TF-TB)/L) (단, L 은 티스 (93) 의 전후의 길이이다) 에 의하여 산출할 수 있다. 또한, 티스 (93) 상의 웨이퍼 (97) 의 중심높이는, 도 30b 와 같이 웨이퍼 (97) 가 티스 (93) 를 따라서 자체중량으로 휘는 것을 고려함으로써 구할 수 있다.
다음으로, XYZ 축 이동부 (15, 16, 17) 의 XYZ 이동축을 FOUP 형 캐리어 (18) 의 xyz 축과 평행하게 하는 조정에 대하여 설명하기로 한다. FOUP 형 캐리어 (18) 의 xyz 축은, 도 14 에 나타낸 바와 같이 캐리어 (18) 의 전면의 좌측 구석을 원점으로 하고, 수평 기준면 (141), 페이셜 기준면 (142), 바이라테럴 기준면 (143) 에 기초하여 정해진 축이다. x 축은, 페이셜 기준면 (142) 과 수평 기준면 (141) 의 교차선과 평행하고, y 축은 바이라테럴 기준면 (143) 과 수평 기준면 (141) 의 교차선과 평행하고, z 축은 페이셜 기준면 (142) 과 바이라테럴 기준면 (143) 의 교차선과 평행한다. XYZ 축 이동부 (15, 16, 17) 의 XYZ 이동축을 캐리어 (18) 의 xyz 축에 평행하도록 조정해 놓음으로써, 캐리어 (18) 및 수용되어 있는 웨이퍼의 형상 및 자세를, xyz 축에 의하여 정확하게 파악할 수 있다. 또한, 캐리어 (18) 의 형상은, xyz 축에 평행하는 부분이 많기 때문에, XYZ 축 이동부 (15, 16, 17) 의 1 축 또는 2 축을 이동시키는 것만으로 측정 포인트를 촬상부 (25) 와 레이저 AF 의 초점 심도내에 측정 포인트를 들여보낼 수 있게 되어 측정시간을 단축시킬 수도 있게 된다.
XYZ 축 이동부 (15, 16, 17) 의 XYZ 이동축을, 캐리어 (18) 의 xyz 축과 평행하는 조정동작에 대하여 도 23 ~ 도 27 을 사용하여 설명한다. 호스트 컴퓨터 (113) 의 메모리 (67) 에는, 미리 도 26 및 도 27 의 플로우에 나타낸 프로그램이 격납되어 있다. 치수측정 연산처리부 (64) 는, 이 프로그램을 판독하여 실행함으로써 상기 조정을 행한다. 먼저 치수측정 연산처리부 (64) 는 측정헤드 (10) 의 선단에 변위계 (231) 를 장치하도록 오퍼레이터에게 재촉하는 표시를 CRT (70) 에 표시한다 (스텝 261). 오퍼레이터는 도 23 과 같이 변위계 (231) 를 장치한다. 이때, 변위계 (231) 의 센서의 축이 측정헤드 (10) 의 광속 (103) 과 일치하도록 장치된다. 변위계 (231) 의 출력은, 변위계 표시기 (232) 에 표시됨과 동시에 치수측정 연산처리부 (64) 에 입력된다. 오퍼레이터는 조이스틱 유닛 (71) 의 조이스틱을 조작하여 변위계 (231) 의 센서의 선단을 플레이트 (20) 의 전측 측면 (152) 까지 이동시킨다. 치수측정 연산처리부 (64) 는, X 축 이동부 (155) 를 동작시켜 측정헤드 (10) 를 X 방향으로 이동시키면서 그 때의 변위계 (231) 의 출력을 받아들인다 (스텝 263). 플레이트 (20) 의 전측 측면 (152) 은 앞에서 기술한 바와 같이 페이셜 기준면 (142) 과 평행하기 때문에, 이에 의하여 X 축의 Y 축방향에 대한 경사량을 검출할 수 있다. 다음으로 오퍼레이터는 조이스틱을 조작하여, 변위계 (231) 의 센서의 선단을 플레이트 (20) 의 상면 (151) 까지 이동시킨다. 치수측정 연산처리부 (64) 는 X 축 이동부 (15) 를 동작시켜 측정헤드 (10) 를 X 방향으로 이동시키면서, 그때의 변위계 (231) 의 출력을 받아들인다. 플레이트 (20) 의 상면 (151) 은 수평 기준면 (141) 과 평행하기 때문에, 이에 의하여 X 축의 Z 축방향에 대한 경사량을 검출할 수 있다.
치수측정 연산처리부 (64) 는, 받아들인 변위의 값으로부터 X 축 이동부 (15) 의 X 축에 대하여 전측 측면 (152) 및 상면 (151) 에 대한 평행도를 구하고, 평행이면 보정치 (0) 로서 스텝 265 으로 진행하고, 평행이 아니면 X 축의 Y 축 및 Z 축방향에 대한 경사량을 취소하기 위한 보정치 (경사량) 를 각각 작성한 뒤, 스텝 265c 으로 진행한다 (스텝 264, 265a, 265b). 치수측정 연산처리부 (64) 는 작성된 보정치를 내장하는 메모리에 격납하고, 그 이후의 조정 및 치수측정동작을 위하여 XYZ 축 이동부 (15, 16, 17) 를 이동시킬 때에는, 언제나 이 보정치를 고려하여 이동량을 제어함으로써 X 방향의 이동을 FOUP 형 캐리어 (18) 의 x 축과 평행하게 조정할 수 있다.
다음으로 스텝 265c 에서는, 오퍼레이터가 변위계 (231) 의 센서 선단을 플레이트 (20) 의 횡측 측면 (153) 과 상면 (152) 으로 각각 이동시키고, 치수측정 연산처리부 (64) 는 그 때마다 Y 축 이동부 (16) 를 동작시켜 측정헤드 (10) 를 Y 방향으로 이동시키면서 변위계 (231) 의 출력을 받아들인다. 이렇게 하여, Y 축의 X 축방향에 대한 경사량과 Z 축방향에 대한 경사량을 검출할 수 있다. 치수측정 연산처리부 (64) 는, 받아들인 변위의 값에서 Y 축 이동부 (16) 의 Y 축의 횡 측 측면 (153) 및 전측 측면 (152) 에 대한 평행도를 구하고, 평행하면 보정치를 0 으로 하고, 평행하지 않으면 Y 축의 X 축 및 Z 축방향에 대한 경사량을 취소하기 위한 보정량 (경사량) 을 작성한다. 치수측정 연산처리부 (64) 는 작성된 보정량을 내장하는 메모리에 격납하고, 그 이후에 XYZ 축 이동부 (15, 16, 17) 를 이동시킬 때에는 이 보정치를 고려하여 이동량을 제어함으로써 Y 방향의 이동을 FOUP 형 캐리어 (18) 의 y 축과 평행하게 조정할 수 있다.
다음으로 스텝 270, 271 에서는, 오퍼레이터에 직각 지그 (2650) 를 플레이트 (20) 의 상면에 탑재하도록 재촉하는 표시를 행한다. 오퍼레이터는 도 24 와 같이, 직각 지그 (250) 의 상호 직각을 이루는 측면 (251, 252) 이, 바이라테럴 기준면 (143) 과 페이셜 기준면 (142) 과 일치하도록 플레이트 (20) 상에 재치한다. 직각 지그 (250) 는 도 25a, 25b, 25c 와 같은 형상으로서, 상면 (235) 및 하면 (254) 은 측면 (251, 252) 에 대하여 직각이고, 또한 측면 (251) 과 측면 (252) 은 서로 직각이다. 그리고 오퍼레이터의 조이스틱 조작에 의하여, 변위계 (231) 의 선단이 직각 지그 (250) 의 전측 측면 (252) 을 측정하는 위치까지 측정헤드 (10) 를 이동시킨다 (스텝 272). 치수측정 연산처리부 (64) 는, 이 상태에서 Z 축 이동부 (17) 를 동작시켜 측정헤드 (10) 를 Z 방향으로 이동시키면서, 변위계 (231) 의 출력을 받아들인다 (스텝 273). 이로써 Z 축의 Y 축방향에 대한 경사량을 검출한다 (스텝 274). 그리고 경사량을 보정하기 위하여 Z 축 이동부 (17) 의 레일 (17a) 을 Y 축방향으로 경사지게 하기 위한 양을 CRT (70) 에 표시하여 오퍼레이터에게 조정을 재촉한다 (스텝 275). 오퍼레이터는 레일 (17a) 의 나사를 조정하여 레일 (17a) 의 축방향을 Y 축 방향으로 경사지게 조정한다.
마찬가지로, 스텝 276 ~ 279 에서는, 변위계 (231) 의 선단이 직각 지그 (250) 의 횡측 측면 (251) 을 측정하도록 하고, Z 축 이동부 (17) 를 동작시켜 측정헤드 (10) 를 Z 방향으로 이동시키면서 변위계 (231) 의 출력을 받아들인다. 그리고, Z 축의 X 축방향에 대한 경사량을 검출하고, 경사량을 보정하기 위하여 Z 축 이동부 (17) 의 레일 (17a) 을 X 축 방향으로 경사지게 하기 위한 양을 CRT (70) 에 표시하여 오퍼레이터에게 조정을 재촉한다. 오퍼레이터는 레일 (17a) 의 나사를 조정하여 레일 (17a) 의 축방향을 X 축 방향으로 경사지게 조정한다. 이로써 Z 축 이동부 (17) 의 Z 방향을 FOUP 형 캐리어 (18) 의 z 축에 평행하도록 기계적으로 조정할 수 있다.
이상의 동작에 의하여, XYZ 축 이동부 (15, 16, 17) 의 XYZ 축을, FOUP 형 캐리어 (18) 의 xyz 축과 평행하게 조정할 수 있다. 또한, 여기에서는, X 축 Y 축의 조정을 치수측정 연산처리부 (64) 의 소프트상의 보정에 의하여 조정하고, Z 축을 기계적으로 조정하고 있는데, XYZ 축을 모두 소프트상의 보정에 의하여 조정할 수도 있고, XYZ 축을 모두 레일 (15a, 16a, 17a) 의 축을 조정함으로써 기계적으로 조정할 수도 있다.
다음으로, 본 발명의 제 2 실시형태의 캐리어 형상 측정기에 대하여 설명하기로 한다. 제 2 의 실시형태에서는, 측정헤드 (10) 의 초점위치 (105) 와 측정헤드 (10) 의 선단과의 거리, 즉 작동거리가 도 33a 와 같이 캐리어 (18) 의 전면 (18a) 과 티스 (93) 의 전단과의 거리보다도 길어지도록 설계되어 있다. 타 구성은 제 1 실시형태와 동일하게 한다. 측정헤드 (10) 의 선단이란 측정대상측에 가장 가까이 있는 선단을 말한다. 도 4 의 구성의 경우, 링형상 경통 (102) 의 창 (39, 40) 이 측정헤드 (10) 의 선단이 된다. 작동거리는 대물렌즈 (24), 집광렌즈 (28, 29) 등의 렌즈계의 초점거리 및 레이저AF부 (30) 의 광축 (104) 의 방향을 설계함으로써 길게 할 수 있다. 작동거리를 캐리어 (18) 의 전면 (18a) 과 티스 (93) 의 전단과의 거리보다도 길게 함으로써, 캐리어 (18) 의 전면 (18a) 부근에 측정헤드 (10) 를 배치하면서, 티스 (93) 의 전단을 직접 측정할 수 있기 때문에, 캐리어 (18) 의 전면 (18a) 과 티스 (93) 와의 거리 등을 양호한 정밀도로 측정할 수 있다.
또한, 도 33b 와 같이 측정헤드 (10) 의 작동거리를 더욱 길게 설계하고, 작동거리를 로보팅 핸들 (94) 의 기부와 전면 (18a) 과의 거리보다도 길게 할 수도 있다. 이 경우, 캐리어 (18) 의 전면 (18a) 과 로보팅 핸들 (94) 의 기부와의 거리 등을 양호한 정밀도로 측정할 수 있다.
이렇게, 측정헤드 (10) 의 작동거리를 길게 설계함으로써, 직경 300 ㎜ 의 웨이퍼 (97) 를 수납하는 캐리어 (18) 와 같은, 대형 캐리어에 대해서도, 형상이나 크기를 광학적 수법으로 측정할 수 있기 때문에 양호한 정밀도로 측정할 수 있다.
*다음으로, 본 발명의 제 3 의 실시형태의 형상측정기에 대하여 설명하기로 한다. 제 1 의 실시형태에서는, 키네마틱 플레이트 (20) 는 캐리어 (18) 의 개구를 측정헤드 (10) 에 대향시키는 방향으로 고정되어 있었으나, 제 3 의 실시형태 에서는 키네마틱 플레이트 (20) 의 방향을 회전시켜 장치할 수 있는 구성으로 한다. 그 외의 다른 구성은 제 1 실시형태와 동일하게 한다. 구체적으로는, 도 34a 와 같이 키네마틱 플레이트 (20) 에 키네마틱 플레이트 (20) 의 중심에 대하여 회전 대칭이 되는 위치에 배치된 4 개의 볼트 통과 구멍 (346) 을 형성한다. 또한, 키네마틱 플레이트 (20) 의 각의 1 지점에 돌기 (347) 를 형성한다. 한편, 스테이지 (12) 에는 도 34e 와 같이 4 개의 볼트 통과 구멍 (346) 에 대응하는 위치에 나사구멍이 형성되어 있다. 이로써, 고정볼트 (348) 를 볼트 통과 구멍 (346) 에 통과하게 하여 나사 구멍 (345) 에 고정시킴으로써, 키네마틱 플레이트 (20) 를 도 34a ~ 34d 중의 어느 한 방향이라도 스테이지 (12) 에 고정시킬 수 있다. 스테이지 (12) 의 측면에는 돌기 (347) 를 검출하기 위한 스위치 (341 ~ 344) 가 사방에 배치되어 있다.
따라서, 캐리어 (18) 의 전면, 즉 도 14 의 FOUP 형 캐리어 (18) 의 xz 면을 측정하고자 하는 경우에는, 도 34a 의 방향에서 키네마틱 플레이트 (20) 를 스테이지 (12) 에 고정시킴으로써, 탑재된 캐리어 (18) 의 전면을 케이스 (11) 측을 향하게 할 수 있다. 도 34a 의 방향의 키네마틱 플레이트 (20) 의 돌기 (347) 는 스위치 (341) 로 검출된다. 따라서 스위치 (341) 가 돌기 (348) 를 검출한 경우에는, 키네마틱 플레이트 (20) 가 캐리어 (18) 의 전면 측정 방향인 것이 검지된다. 스위치 (341) 의 출력신호는 후술하는 좌표축 변환기 (351) 로 좌표를 변환하는 데 사용된다. 마찬가지로, 캐리어 (18) 의 좌측 면 (캐리어 (18) 의 xyz 좌표계 (도 14) 에서 -yz 면) 을 측정하고자 하는 경우에는 도 34b 의 방향으 로, 배면 (-xz 면) 을 측정하고자 하는 경우에는 도 34c 의 방향으로, 캐리어의 우측 면 (yz 면) 을 측정하고자 하는 경우에는 도 34d 의 방향으로 키네마틱 플레이트 (20) 를 스테이지 (12) 에 탑재한다.
이렇게 키네마틱 플레이트 (20) 의 방향을 회전시켜 부착함으로써, 핀 (20a, 20b, 20c) 에 캐리어 (18) 를 탑재하는 것만으로, 정확하게 캐리어 (18) 의 방향을 소망하는 방향을 향하여, 그 방향으로부터 형상을 측정할 수 있다. 따라서, 캐리어 (18) 의 전체 형상을 고정밀도로 측정할 수 있게 된다. 이로써, 인력으로 반송하기 곤란하여 자동 반송이 필요한 대형 캐리어 (18) 에 대하여 전체 형상을 양호한 정밀도로 측정할 수 있기 때문에, 자동 반송의 동작 신뢰성을 보증할 수 있다.
또한, 키네마틱 플레이트 (20) 방향의 회전은, 캐리어 (18) 의 탑재 전에 행한다. 이로써, 회전에 의하여 캐리어 (18) 나 수납된 웨이퍼에 충격을 줄 염려가 없고, 캐리어 (18) 나 웨이퍼의 자세가 흐트러지지 않는다. 따라서 어느 방향에서도 키네마틱 커플링에 의하여 위치가 결정된 상태의 캐리어 (18) 자세를 고정밀도로 측정할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 도 34a ~ 34d 와 같이 키네마틱 플레이트 (20) 를 회전시켜 배치한 경우에는, CCD 카메라 (22) 의 화상상의 좌표계 (xM, yM) (도 36b 참조) 가, 캐리어 (18) 의 xyz 좌표계에서는 도 34a 의 배치인 경우는 xz 평면에 대응하고, 도 34b 의 배치인 경우 -yz 면에 대응하고, 도 34c 의 배치인 경우 -xz 면에 대응하고, 도 34d 의 배치인 경우 yz 면에 대응한다. 그래서, 치수측정 연산처리부 (64) 가 CCD 카메라의 화상 중심좌표와, 그 중심좌표를 나타내는 XYZ 카운터 (56) 의 좌표 XYZ (XYZ 축 이동부 (15, 16, 17) 의 기계좌표 XYZ) 를 중첩시켜 화상상의 각 화소의 좌표를 구하기 전에 좌표축을 변환시켜야 한다. 본 실시형태에서는, 도 35 와 같이 화상처리부 (111) 와 호스트 컴퓨터 (113) 간에 좌표축 변환기 (351) 를 배치하고 있다. 좌표축 변환기 (351) 는 스위치 (341 ~ 344) 의 출력이 입력되고, 이 출력에 의하여 키네마틱 플레이트 (20) 가 도 34a ~ 도 34d 의 어느 방향인지를 검지하고, 그 결과에 따라서 화상처리부 (111) 의 출력화상 좌표와 XYZ 카운터 (56) 의 출력좌표를 좌표변환시켜 치수측정 연산처리부 (64) 에 주고받는다.
구체적으로, 좌표축 변환기 (351) 가 스위치 (341) 에서 출력신호를 수취한 경우에는, xz 면 (개구면) 이 CCD 카메라 (22) 에 의하여 촬영되는 방향으로 탑재되어 있기 때문에, CCD 카메라 (22) 의 화상상의 좌표축 (xM, yM) 을 좌표축 (x, z) 으로 변환한다 (도 36a). 예를 들어, 도 35 의 화상 (351) 과 같은 화상이 CCD 카메라 (22) 에 의하여 촬상된 경우, 화상 (351) 상의 점은 CCD 카메라 (22) 의 출력화상상의 좌표축 (xM, yM) 에 의하여 2차원으로 표시되고, 여기에 z 를 부가하여 3차원으로 하면, p03 이라는 점의 좌표는 (xM, yM, z) = (5, 24, z) 이다. 이 xMyM 면이 캐리어 (18) 의 축에서는 xz 평면에 대응하기 때문에 xM 을 x 로, yM 을 z 에 대응시키는 좌표변환을 좌표축 변환기 (351) 가 행하고, p03 의 좌표를 (5, y, 24) 로 변환시킨다 (도 35 의 화상 (352) 참조).
또한, 좌표축 변환기 (351) 가 스위치 (342) 에서 출력신호를 수취한 경우에는 -yz 면 (좌측면) 이 CCD 카메라 (22) 에 의하여 촬상되어 있는 방향으로 탑재되 어 있기 때문에, CCD 카메라 (22) 의 화상상의 좌표축 (xM, yM) 의 xM 을 -y 로, yM 을 z 로 변환한다 (도 36a). 따라서 예를 들어, 변환전의 (5, 24, z) 의 좌표는 (x, -5, 24) 로 변환된다. 마찬가지로, 좌표축 변환기 (351) 가 스위치 (343) 에서 출력신호를 수취한 경우에는, -xz 면 (배면) 이 CCD 카메라 (22) 에 의하여 촬상되고 있기 때문에, CCD 카메라 (22) 의 화상상의 좌표축 (xM, yM) 의 xM 을 -x 로, yM 을 z 로 변환한다. 따라서 예를 들어, 변환전의 (5, 24, z) 의 좌표는 (-5, y, 24) 로 변환된다. 또한, 좌표축 변환기 (351) 가 스위치 (344) 에서 출력신호를 수취한 경우에는, yz 면 (우측면) 이 CCD 카메라 (22) 에 의하여 촬상되고 있기 때문에, CCD 카메라 (22) 의 화상상의 좌표축 (xM, yM) 의 xM 을 y 로, yM 을 z 로 변환한다. 따라서 예를 들어, 변환전의 (5, 24, z) 의 좌표는 (x, 5, 24) 로 변환된다.
한편, 좌표축 변환기 (351) 는, XYZ 카운터 (56) 의 출력좌표도 변환한다. 측정헤드 (10) 에 대향하는 면을 XYZ 카운터 (56) 의 축으로 표시하면 XZ 면이나, 실제로 측정헤드 (10) 에 대향하고 있는 면은, 스위치 (341) 가 출력되고 있을 때 캐리어 (18) 의 xyz 축에서는 xz 면, 스위치 (342) 가 출력되고 있을 때에는 -yz 면, 스위치 (343) 가 출력되고 있을 때에는 -xz 면, 스위치 (344) 가 출력되고 있을 때에는 yz 면이다 (도 36a 참조). 따라서 좌표축 변환기 (351) 는 CCD 카메라 (22) 화상의 중심위치를 나타내는 XYZ 카운터 (56) 의 좌표를 캐리어 (18) 의 좌표측으로 변환시켜 치수측정 연산처리부 (64) 에 건네준다. 스위치 (341) 가 출력되고 있는 경우에는 변환전의 XZ 면을 캐리어 (18) 의 xz 면의 좌표의 화상 (354) 으로 변환한다 (도 35 의 화상 (353, 354 참조)). 따라서 이 경우에는, 실질적인 좌표계의 변경은 없고, CCD 카메라 (22) 의 화상의 중심위치를 나타내는 XYZ 카운터 (56) 의 좌표 (130, Y, 210) 를 (130, y, 210) 으로 변환시켜 치수측정 연산처리부 (64) 로 건네준다. 마찬가지로, 스위치 (342) 가 출력되고 있는 경우에는 좌표축 변환기 (351) 는 XYZ 카운터 (56) 의 좌표 (130, Y, 210) 를 (x, -130, 210) 으로 변환시키고, 스위치 (343) 가 출력되고 있는 경우에는 (-130, y, 210) 으로 변환시키고, 스위치 (344) 가 출력되고 있는 경우에는 (z, 130, 210) 으로 변환시킨다.
치수측정 연산처리부 (64) 에서는, 좌표축 변환기 (351) 에서 수취한 좌표변환후의 CCD 카메라 (22) 의 출력화상 (352) 상의 중심좌표 (0, y, 0) 가, 그 위치를 나타내는 XYZ 카운터 (56) 의 좌표를 변환시킨 좌표 (130, y, 210) 에 중첩시키는 연산을 행하고, 화상 (352) 의 각 화소의 좌표를 산출한다. 산출후의 좌표는 도 35 의 화상 (355) 과 같이 된다. 치수측정 연산처리부 (64) 는 화상 (355) 상의 각 점의 좌표를 사용하여, 화상 (355) 에 나타나는 형상의 횡폭이나 종폭의 계산을 도 35 와 같이 행한다.
이렇게, 제 3 실시형태에서는 좌표축 변환기 (351) 를 배치함으로써, 키네마틱 플레이트 (20) 를 회전시킨 경우에도, 캐리어 (18) 방향의 좌표에 맞추어 형상을 측정할 수 있다.
또한, 제 3 실시형태에서는, 좌표축 변환기 (351) 에 의하여 변환시킨 좌표를 이용하여 치수 연산을 행하는 구성이었으나, 치수를 구하고자 하는 부분이 CCD 카메라 (22) 의 1 화상, 즉, 1 화면 내에 들어있는 경우에는, 좌표를 변환시키지 않고 CCD 카메라 (22) 가 출력하는 화상상에서의 좌표를 사용하여 치수를 연산할 수 있다. 예를 들어, 도 35 의 계산식 354 에서와 같이 계산하여, CCD 카메라 (22) 의 1 화소내의 측정대상물의 종폭 및 횡폭을 구할 수 있다.
다음으로, 본 발명의 제 4 실시형태의 형상측정기에 대하여 설명하기로 한다. 제 4 실시형태의 형상측정기는, 제 3 실시형태와 마찬가지로 키네마틱 플레이트 (20) 를 회전할 수 있는 구성이다. 제 3 실시형태에서는 고정볼트 (348) 를 다시 죄어 회전시키는 구성이었던 것에 비하여, 제 4 실시형태에서는, 도 37 과 같이 스테이지 (12) 가 회전테이블 (372) 과 회전테이블을 회전시키는 구동부 (373) 를 포함하는 구성으로 한다. 회전테이블 (373) 에는 키네마틱 플레이트 (20) 를 나사로 고정시키기 위한 4 개의 나사구멍 (374) 이 형성되어 있다. 이 나사 고정에 의하여 키네마틱 플레이트 (20) 의 3 개의 핀 (20a, 20b, 20c) 의 중심 (즉, 페이셜 기준면 (142) 과 바이라테럴 기준면 (143) 과의 교차점) 이 회전테이블 (372) 의 회전중심 (375) 과 위치가 맞춤되고, 키네마틱 플레이트 (20) 가 회전테이블 (372) 상에 고정된다. 구동부 (373) 에는 회전구동제어부 (371) 가 접속된다. 또한, 구동부 (373) 에는 회전테이블 (372) 의 회전각도를 검출하는 검출부가 구비되어 있다. 회전구동제어부 (371) 는 오퍼레이터의 지시를 입출력부 (114) 및 호스트 컴퓨터 (113) 를 통하여 수취하고, 구동부 (373) 에 회전지시를 출력하고, 90 도마다 회전테이블 (372) 을 회전시킨다. 이로써, 도 34a ~ 34d 와 마찬가지로 캐리어 (18) 의 전면 측정용, 좌측면 측정용, 배면 측정용, 우 측면 측정용의 4 방향으로 키네마틱 플레이트 (20) 를 향하게 할 수 있다. 따라서, 캐리어 (18) 를 키네마틱 플레이트 (20) 에 탑재하기 전에, 오퍼레이터가 소망하는 방향으로 키네마틱 플레이트 (20) 를 향하여 놓음으로써, 제 3 의 실시형태와 동일하게 캐리어 (18) 를 소망하는 방향으로 탑재하여 캐리어 (18) 의 전체 형상을 측정할 수 있다.
또한, 회전구동제어부 (371) 에서는, 회전테이블 (372) 의 회전각도정보가 좌표축 변환기 (351) 에 입력된다. 좌표축 변환기 (351) 는 회전각도정보에서 키네마틱 플레이트 (20) 의 방향을 검지하고, 제 3 실시형태와 동일하게 좌표축을 변환한다.
다음으로, 제 5 실시형태의 형상측정기에 대하여 설명하기로 한다. 제 5 실시형태의 형상측정기도 제 3, 제 4 실시형태와 마찬가지로 캐리어 (18) 의 탑재 방향을 4 방향으로 변환할 수 있는 구성이나, 본 실시형태에서는 키네마틱 플레이트 (20) 의 방향을 회전시키지 않고, 복수의 키네마틱 커플링 핀 중의 하나를 선택적으로 돌출시킴으로써, 키네마틱 커플링 핀의 방향을 변경하고 캐리어 (18) 의 탑재방향을 변환시킨다. 즉 도 38 에 나타낸 바와 같이, 키네마틱 플레이트 (20) 에는 4 조의 키네마틱 커플링 핀 (20a ~ 20l) 이 배치되어 있다. 이 중 핀 20a, 20b, 20c 은 도 34a 와 마찬가지로 캐리어 (18) 의 전면 측정용의 키네마틱 커플링 핀이다. 또한 핀 20d, 20e, 20f 는 도 34b 와 마찬가지로 캐리어 (18) 의 좌측면 측정용의 키네마틱 커플링 핀이다. 핀 20g, 20h, 20i 는 도 34c 와 마찬가지로 캐리어 (18) 의 배면 측정용의 키네마틱 커플링 핀이다. 핀 20j, 20k, 20l 은 도 34d 와 마찬가지로 캐리어 (18) 의 우측면 측정용의 키네마틱 커플링 핀이다.
이들 핀 (20a ~ 20l) 은 모두 플레이트 (20) 에서 출몰가능한 구성으로 되어 있다. 구체적으로는, 도 39a, 39b 에 나타낸 바와 같이 핀 (20a ~ 20l) 은 플레이트 (20) 에 형성된 관통 구멍 (394) 내에 배치되어 있다. 관통구멍 (394) 의 플레이트 (20) 의 이면측의 개구에는, 핀 (20a ~ 20l) 을 밀어올리기 위한 돌출봉 (392) 과 돌출봉 (392) 을 출몰시키는 구동원 (393) 이 배치되어 있다. 구동원 (393) 으로는 솔레노이드 또는 에어실린더 등을 사용할 수 있다. 또한 핀 (20a ~ 20l) 에는 리턴스프링 (391) 이 감겨있다. 구동원 (393) 은 도 38 의 핀 상하구동 제어부 (381) 에 접속되어 있다.
이 구성에서는 핀 상하구동 제어부 (381) 가 돌출시키고자 하는 키네마틱 커플링 핀 (예를 들어 핀 (20a, 20b, 20c)) 의 구동원 (393) 에 돌출을 지시하는 신호를 출력하면, 구동원 (393) 은 돌출봉 (392) 을 돌출시키고, 도 39b 의 상태로 한다. 이로써, 그 핀 (20a, 20b, 20c) 은 플레이트 (20) 의 관통구멍 (394) 에서 주-평면상으로 돌출된다. 또한, 돌출되어 있는 핀 (20a, 20b, 20c) 을 수납할 때에는, 핀 상하구동 제어부 (381) 가 구동원 (393) 에 수납을 지시하는 신호를 출력한다. 이로써, 돌출봉 (392) 은 구동원 (393) 에 인입되고, 리턴스프링 (391) 의 스프링력에 의하여 도 39a 와 같이 핀 (20a, 20b, 20c) 이 관통구멍 (394) 내에 수납된다.
핀 상하구동 제어부 (381) 는 오퍼레이터로부터 캐리어 (18) 의 탑재방향을 지시하는 지시를 입출력부 (114) 및 호스트 컴퓨터 (113) 를 통하여 수취하고, 그 방향을 따라서 4 조의 키네마틱 커플링 핀 중의 1 조만을 돌출시키고, 다른 3 조의 키네마틱 커플링 핀은 플레이트 (20) 내에 수납한다. 오퍼레이터가 지시한 탑재방향이 캐리어 (18) 의 전면 측정용의 방향인 경우에는, 4 조의 핀 중 핀 (20a, 20b, 20c) 의 조를 돌출시킨다. 또한 오퍼레이터가 지시한 탑재방향이 캐리어 (18) 의 좌측면 측정용의 방향인 경우에는, 핀 (20d, 20e, 20f) 의 조를 돌출시킨다. 오퍼레이터가 지시한 탑재방향이 캐리어 (18) 의 배면 측정용의 방향인 경우에는, 핀 (20g, 20h, 20i) 의 조를 돌출시킨다. 오퍼레이터가 지시한 탑재방향이 캐리어 (18) 의 우측면 측정용의 방향인 경우에는, 핀 (20j, 20k, 20l) 의 조를 돌출시킨다.
이로써, 도 34a ~ 34 d 와 마찬가지로 캐리어 (18) 의 전면 측정용, 좌측면 측정용, 배면 측정용, 우측면 측정용의 4 종류의 배치로 핀 (20a ~ 20l) 을 돌출시킬 수 있다. 따라서, 캐리어 (18) 를 키네마틱 플레이트 (20) 에 탑재하기 전에, 오퍼레이터가 소망하는 탑재 배치에 따른 핀 (20a ~ 20l) 의 조를 도출시켜 놓음으로써, 제 3, 제 4 의 실시형태와 마찬가지로 캐리어 (18) 를 소망하는 방향으로 탑재시킬 수 있고 캐리어 (18) 의 전체 형상을 측정할 수 있다.
또한, 핀 상하구동 제어부 (381) 에서는 핀 (20a ~ 20l) 중 어느 조의 핀을 돌출시켰는가가 좌표축 변환기 (351) 에 입력된다. 좌표축 변환기 (351) 는 돌출시킨 핀의 조에서 캐리어 (18) 가 탑재되는 방향을 검지하고, 제 3, 제 4 의 실시형태와 동일하게 좌표축을 변환시킨다.
전술한 제 1 실시형태에서는 키네마틱 플레이트 (20) 가 도 15 와 같이 수평 기준면 (141), 페이셜 기준면 (142), 바이라테럴 기준면 (143) 에 평행한 면 (151, 152, 153) 등을 가지는 구성으로 하고, 이들 면 (151, 152, 153) 을 이용하여 XYZ 축 이동부 (15, 16, 17) 의 축방향을 조정하였다 (도 26, 도 27). 그러나, 키네마틱 플레이트 (20) 를 기준면 (141, 142, 143) 에 평행한 면을 갖지 않는 구성으로 할 수도 있다. 이 경우에도, 도 42, 도 43 에 나타낸 바와 같은 직각 지그 (410) 를 이용함으로써 XYZ 축 이동부 (15, 16, 17) 의 축방향을 조정할 수 있다.
직각 지그 (410) 는, 플레이트부 (411) 와 플레이트 (411) 의 상면에 고정된 직각 기둥부 (412) 를 갖는다. 플레이트 (411) 의 이면에는, 플레이트 (20) 에 탑재되었을 때, 핀 (20a, 20b, 20c) 의 키네마틱 커플링하는 V 홈 형상 오목부 (421a, 421b, 421c) 가 형성되어 있다. 또한, 플레이트 (411) 의 상면 (416) 은 키네마틱 커플링보다 플레이트 (20) 에 탑재된 상태에서, 수평 기준부 (141) 와 평행한 면이 되도록 형성되어 있다. 또한, 플레이트 (411) 의 전측 (케이스 (11)) 의 측면 (415) 은 페이셜 기준면 (142) 과 평행하도록 형성되고, 횡측 측면 (417) 은 바이라테럴 기준면 (143) 과 평행하도록 형성되어 있다. 직각 기둥부 (412) 는 서로 직각인 측면 (413, 414) 이 페이셜 기준면 (142) 과 바이라테럴 기준면 (143) 에 대하여 일치하도록 배치되어 있다.
이 직각 지그 (410) 를 사용하여, XYZ 축 이동부 (15, 16, 17) 의 XYZ 축을 축 조정하는 순서를 도 40, 도 41 의 플로우를 이용하여 간단히 설명하기로 한다. 축 조정의 순서는 제 1 실시형태의 도 26, 도 27 의 플로우와 기본적으로는 동일하나, 스텝 261 의 다음에 직각 지그 (410) 를 키네마틱 플레이트 (20) 상에 탑재시키는 점이 상이하다. 이것은 키네마틱 플레이트 (20) 가 기준면 (141, 142, 143) 에 평행한 면을 가지고 있지 않기 때문에, 최초에 직각 지그 (410) 를 탑재시키고 직각 지그 (410) 의 면 (415, 416, 417) 을 사용하여 XY 축의 축을 조정할 필요가 있기 때문이다. 따라서, 도 40 의 스텝 462 ~ 469 까지의 각 스텝은 도 26 의 스텝 262 ~ 269 까지의 각 스텝의 동작과 기본적으로는 동일하나, 도 26 의 플로우에서는 플레이트 (20) 의 전측 측면 (152), 상면 (151), 횡측 측면 (153) 을 상용한 스텝에서, 도 40 의 플로우에서는 직각 지그 (410) 전측 측면 (415), 상면 (416), 횡측 측면 (417) 을 사용하는 점이 상이하다. 이들 도 40 의 각 스텝에 의하여 XY 축 이동부 (15, 16) 의 X 축, Y 축의 조정을 보정치에 의하여 원만하게 행할 수 있다. 마찬가지로, 도 41 의 플로우에서의 스텝 472 ~ 479 는 도 27 에서의 플로우의 스텝 272 ~ 279 와 기본적으로 동일하나, 도 27 의 플로우에서는 플레이트 (20) 의 전측 측면 (252), 횡측 측면 (413) 을 이용하는 스텝에서, 도 41 에서의 플로우에서는 직각 지그 (410) 의 전측 측면 (414), 횡측 측면 (413) 을 이용하는 점이 상이하다. 이들 도 41 의 각 스텝에 의하여 Z 축 이동부 (17) 의 Z 축을 기계적으로 조정할 수 있다.
또한, 제 1 실시형태의 형상 측정기에서는, 키네마틱 커플링에 의하여 캐리어 (18) 를 지지하기 위하여, 스테이지 (12) 상에 키네마틱 플레이트 (20) 를 탑재하고 있는데, 스테이지 (12) 의 상면에 직접 키네마틱 커플링 핀 (20a, 20b, 20c) 을 형성하는 구성을 취할 수도 있다.