DE19752509C2 - Einrichtung und Verfahren zur Vermessung von Objekten an ausgewälten Meßpositionen - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft die Vermessung von Objekten an ausgewählten Meßpositionen durch Verarbeitung von Bildern mit einer vertikal verstellbaren, drehbaren Plattform als Träger für das Objekt, einer Kamera und einer, aus Teileinrichtungen bestehenden Beleuchtungseinrichtung, wobei die Kamera und das Objekt zur Einstellung von Meßpositionen relativ zueinander verstellbar sind.

Bei der Herstellung integrierter Schaltkreise müssen die Substrate, wie z. B. Halbleiterwafer, zwischen unterschiedlichen Bearbeitungsschritten zu einzelnen Bearbeitungsmaschinen transportiert werden. Meistens geschieht dies in Transportbehältern, in denen entweder entnehmbare Kassetten mit Fächern für die Substrate untergebracht sind oder die selbst als Kassetten ausgebildet sind.

Verschleißerscheinungen während des Einsatzes in der Halbleiterproduktion, insbesondere der Verlust an Formstabilität erfordern in bestimmten Zeiträumen eine Überprüfung der Kassetten auf ihre Maßhaltigkeit. Ansonsten würde eine Überschreitung der zulässigen Toleranzen für die Handhabung der Substrate die Be- und Entladeprozesse gefährden. Die Zerstörung der Substrate oder der Ausfall der Bearbeitungsmaschinen kann die Folge sein.

Bei einem bekannt gewordenen Gerät (CV SERIES Automated Wafer Cassette/Carrier Inspection Systems der Firma August Technology Corp., Firmenprospekt von Juli 1994) wird eine Kassette auf einer vertikal verstellbaren, drehbaren Plattform gehalten und kann vor mindestens einer CCD-Kamera vorbei bewegt werden. In der Meßposition ist der Kassette auf der zur Kamera gegenüberliegenden Seite eine im Durchlicht arbeitende Lichtquelle zur Ausleuchtung benachbart. Die CCD-Kamera ist in verschiedenen Koordinaten zur Abtastung der Kassette verstellbar, wobei eine Vielzahl von Meßpositionen entlang der Kassette auswählbar ist.

Von Nachteil an der im Schattenwurfverfahren arbeitenden Einrichtung ist deren eingeschränkte Anwendbarkeit, insbesondere was die genannten Kassetten anbetrifft, die gleichzeitig Transportbehälter sind. Diese Behälter sind nur von einer Seite offen und deshalb nicht durchstrahlbar. Auch Meßpositionen innerhalb der Kassetten sind aufgrund unzureichender Beleuchtung mit dem bekannten Gerät nicht erreichbar.

Aufgabe der Erfindung ist es, der Vermessung einen erweiterten Umfang an Meßpositionen mit einem erhöhten Maß an Meßgenauigkeit zugänglich zu machen, besonders auch bei Objekten, die für die Durchstrahlung ungeeignet sind.

Gemäß der Erfindung wird die Aufgabe durch eine Einrichtung zur Vermessung von Objekten an ausgewählten Meßpositionen durch Verarbeitung von Bildern gelöst, die eine vertikal verstellbare, drehbare Plattform als Träger für das Objekt, eine Kamera und eine, aus Teileinrichtungen bestehende Beleuchtungseinrichtung enthält, wobei die Kamera und das Objekt zur Einstellung von Meßpositionen relativ zueinander verstellbar sind. Mindestens eine Teileinrichtung ist aus Bereichen zusammengesetzt, deren Strahlungs- und Beleuchtungseigenschaften sich geometrisch-optisch, spektral und/oder in der Intensität unterscheiden. Die an der Beleuchtungseinrichtung bereits vorhandenen Teileinrichtungen und Bereiche werden jeweils dem zu vermessenden Objekt entsprechend durch Ansteuerschaltungen und Stellmittel ausgewählt und angepaßt.

Von den unterschiedlichen Bereichen einer als Auflichteinrichtung ausgebildeten Teileinrichtung umschließt ein erster Bereich die Kamera in ihrem Frontbereich als Ringstrahler, dem weitere Bereiche als Flächenstrahler benachbart sind.

Vorteilhafterweise sind zur Verstellung der Strahlrichtung der Flächenstrahler Stellmittel vorgesehen.

Der Ringstrahler und die Flächenstrahler sind aus einzelnen strahlenden Elementen unterschiedlicher Wellenlängen zusammengesetzt.

Sollen durchstrahlbare Objekte vermessen werden, ist es von Vorteil, wenn eine weitere Teileinrichtung als Durchlichteinrichtung ausgebildet ist.

Die Durchlichteinrichtung kann entweder aus einer, mit einer Streuscheibe versehenen dimmbaren Kaltkathodenröhre oder aus einem dimmbaren Leuchtdiodenband bestehen.

Vorteilhaft ist es, wenn das Leuchtdiodenband aus einzeln schaltbaren Reihen von strahlenden Elementen besteht.

Gegenstand der Erfindung ist weiterhin ein Verfahren zur Vermessung von Objekten an ausgewählten Meßpositionen durch Verarbeitung von Bildern des Objektes und Zuordnung der Verarbeitungsergebnisse zu einer Maßverkörperung unter Verwendung einer, aus Teileinrichtungen bestehenden Beleuchtungseinrichtung. Mindestens eine Teileinrichtung der Beleuchtungseinrichtung ist aus Bereichen zusammengesetzt, deren Strahlungs- und Beleuchtungseigenschaften sich geometrisch-optisch, spektral und/oder in der Intensität unterscheiden. Die Objekte werden in Objekttypen eingeteilt und jedem Objekttyp wird zu dessen Beleuchtung eine ausgewählte Kombination der Teileinrichtungen und Bereiche zugeordnet.

Die Ermittlung der geeigneten Zuordnung erfolgt z. B. durch Anlernen anhand der Bildqualität von Bildern, zu deren Aufnahme unterschiedliche Kombinationen der Bereiche verwendet werden.

Vorteilhafterweise dient zur Bewertung der Bildqualität eine Kontrastanalyse.

Die Bewertung der Bildqualität kann auch anhand des Grades reproduzierbarer Meßergebnisse erfolgen, für dessen Maß die minimale Streubreite der Meßergebnisse verwendet werden kann.

Zur Reduzierung von beleuchtungsbedingten Meßfehlern ist es von Vorteil, wenn die Grauwertumgebung eines Kantenüberganges von durch Bildverarbeitung erfaßten Konturen als Histogramm dargestellt und die Lage der Maxima der Grauwertverteilungen bestimmt werden, und wenn eine in der Bildverarbeitung zur Kontursuche notwendige Schwelle zwischen die Lagen der Maxima gelegt wird.

Die Schwelle kann einen mittleren Grauwert zwischen den Grauwerten der Maxima einnehmen. Es ist auch möglich, unterschiedliche Amplituden der Maxima als Wichtung bei der Festlegung der Schwelle zu berücksichtigen.

Die Erfindung soll nachstehend anhand der schematischen Zeichnung näher erläutert werden. Es zeigen:

Fig. 1 eine erfindungsgemäße Einrichtung, die durch ein Gehäuse verkleidet ist

Fig. 2 die Einrichtung ohne Verkleidung

Fig. 3 Bewegungssysteme für das zu vermessende Objekt und die Kamera

Fig. 4 die Kamera zusammen mit einer Beleuchtungseinrichtung

Fig. 5 den Aufbau der Einrichtung in einem Blockschaltbild

Fig. 6 die Lage eines Meßfensters zu einem Kantenübergang für die Schwellenermittlung

Fig. 7 ein Histogramm für die Verteilung der Grauwerte um einen Kantenübergang

Fig. 8 ein Kantenbild

Zur Gewährleistung erforderlicher Reinraumbedingungen enthält die in Fig. 1 dargestellte Einrichtung die der Vermessung dienenden Elemente in einem Gehäuse 1, das aus einem Rahmen 2 und einer Verkleidung 3 besteht. Lediglich ein Bedienblock 4 mit Tastatur 5, Trackball 6 und Monitor 7 liegen außerhalb.

In der oberen Abdeckung 8 ist eine Öffnung 9 eingearbeitet, über die ein zu vermessendes Objekt 10 der Einrichtung zugeführt werden kann. Zur Aufstellung der Einrichtung dienende Füße 12 beinhalten Systeme zur Schwingungsisolation.

Während der Vermessung ist die Öffnung 9 aus Reinheits- und Sicherheitsgründen mit einer nichtdargestellten Abdeckhaube verschlossen, die einen Eingriff in das mechanische System verhindert.

Innerhalb der Einrichtung sind gemäß den zueinander leicht modifizierten Darstellungen in Fig. 2 und Fig. 3 zwei Bewegungssysteme 13 und 14 vorgesehen, von denen ein erstes zur vertikalen Verstellung des Objektes 10 und ein zweites zur horizontalen Verstellung eines Meßsystems 15 dienen.

Das erste Bewegungssystem 13 enthält einen z-Antrieb 16, einen mit dem Rahmen 2 über eine Montagekonsole 17 starr verbundenen feststehenden Teil 18 und ein abgewinkeltes, bewegliches Teil 19, das an dem feststehenden Teil 18 geführt ist. Das bewegliche Teil 19 dient als Träger für das Objekt 10, wobei ein Adapter 20 dessen paßgerechte Aufnahme auf einem Drehtisch 21 gewährleistet. Mit dem Drehtisch 21, der auf dem waagerechten Schenkel des beweglichen Teiles 19 befestigt ist, kann das Objekt 10 um eine vertikale Achse Z-Z gedreht werden und ist somit mit allen seinen Seiten dem Meßsystem 15 zugänglich.

Das zweite Bewegungssystem 14 zur horizontalen Verstellung des Meßsystems 15 besteht aus zwei Tischsystemen 22, 23 mit dazugehörigen Antrieben, die eine Verstellung in x- und y-Richtung gewährleisten. Das Tischsystem 22 für die Verstellung in x-Richtung ist auf einem, mit der Montagekonsole 17 verbundenen Tragarm 24 befestigt und nimmt über eine Platte 25 das Tischsystem 23 für die y- Richtung auf. Das Meßsystem 15, dessen optische Achse O-O parallel zur y-Richtung verläuft, besteht aus einer CCD-Matrixkamera 26, einer Optik 27 und einem, aus Teileinrichtungen 28, 37 zusammengesetzten Beleuchtungssystem.

Der Antrieb 16 sowie die Antriebe der Tischsysteme 22 und 23 sind jeweils mit einem Antriebsmotor, einem Wegmeßsystem und einer Antriebsspindel mit dazugehöriger Führung ausgestattet.

Eine Elektronikeinheit 29, ein Steuerrechner 30 und ein Lüfter 31 sind ebenfalls innerhalb des Gehäuses untergebracht.

Die in Fig. 4 dargestellte Teileinrichtung 28 ist als Auflichteinrichtung ausgebildet und setzt sich aus Bereichen mit unterschiedlichen Strahlungseigenschaften zusammen. Die Bereiche sind Strahler, von denen einer die Optik 27 der Kamera 26 in Form eines Ringes 32 umschließt. Flächenstrahler 33, 34, die dem Ring 32 benachbart sind, können in ihrer Neigung zur optischen Achse O-O des Meßsystems 15 durch Stellmittel 35 verändert werden.

Die Teileinrichtung 28 besteht aus einzelnen strahlenden Elementen 36 in Form von Leuchtdioden, die in Gruppen voneinander verschiedener Wellenlängen gegliedert sind. Besonders geeignet für diese Gruppen sind rotes Licht und Infrarotstrahlung. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel sind die Leuchtdioden im Ring 32 in vier Gruppen aufgeteilt, von denen gegenüberliegende Gruppen mit Leuchtdioden gleicher Wellenlänge bestückt sind. Ein Gruppenpaar strahlt mit einer Wellenlänge λ₁ = 654 nm und das andere mit λ₂ = 626 nm. Die Strahler 33, 34 besitzen Leuchtdioden, die im Infrarot mit λ₃ = 875 nm arbeiten.

Selbstverständlich ist es auch möglich, andere Strahlungsquellen mit anderen Strahlungseigenschaften einzusetzen oder andere Strahlungsquellenkombinationen zu verwenden.

Die Teileinrichtung 37 des Beleuchtungssystems ist als Durchlichteinrichtung ausgebildet, die dem Objekt 10 auf der entgegengesetzten Seite wie das Meßsystem 15 benachbart ist. Die Durchlichteinrichtung besteht entweder aus einer dimmbaren Kaltkathodenröhre 38 oder aus einem dimmbaren Leuchtdiodenband 39, die an der Gehäusewand so befestigt sind, daß alle Meßpositionen in einer horizontalen Ebene, in der die optische Achse O-O liegt, gleichmäßig ausgeleuchtet werden.

Die Kaltkathodenröhre 38 ist zum Zwecke einer gleichmäßigen Ausleuchtung mit einer Streuscheibe 40 versehen, die zur Wellenlängenselektion rot eingefärbt ist.

Im Leuchtdiodenband 39 sind Leuchtdioden unterschiedlicher Wellenlängen in Reihen und Spalten angeordnet, wobei jede Spalte des Leuchtdiodenbandes 39 über eine getrennte Ansteuerung zur wahlweisen Zu- und Abschaltung verfügt.

Durch Formen, Farben und Zugänglichkeit der zu vermessenden Objekte aber auch durch veränderte gerätetechnische Eigenschaften ist die Abbildungsqualität besonders im Auflicht material-, geometrie- und wellenlängenabhängig. Zur Erzielung eines hohen Grades der Vermessungsgenauigkeit werden die Objekte 10 in Objekttypen eingeteilt, für die eine Beleuchtung durch unterschiedliche Kombinationen der Teileinrichtungen 28, 37 und der Bereiche vorgesehen ist.

Die Ermittlung der geeigneten Zuordnungen erfolgt z. B. durch Anlernen, indem die Bildqualität einer Folge von Bildern bestimmten Bewertungskriterien unterzogen wird. Zur Aufnahme der Bilder werden unterschiedliche Kombinationen der Teileinrichtungen 28, 37 und der Bereiche benutzt, wie z. B. Durchlichtbeleuchtung und/oder Auflichtbeleuchtung, Auflichtbeleuchtung Ring 32 und/oder seitliche Flächenstrahler 33, 34, Flächenstrahler 33 und/oder 34, Wellenlängen rotes Licht und/oder IR-Strahlung. Dabei ist jede dieser Kombinationen zusätzlich in der Intensität steuerbar.

Bei der Blockdarstellung der erfindungsgemäßen Einrichtung gemäß Fig. 5 gehen von einer Programmsteuereinheit 41, zu deren Bedienung der Bedienblock 4 vorgesehen ist, Ausgangsverbindungen aus, die diese mit der Kamera 26, einem Framegrabber 42, einer Anzeige 43, einer Statistikeinheit 44 und mit einer Beleuchtungssteuereinheit 45 koppeln. Ein- und ausgangsseitig ist die Programmsteuereinheit 41 mit einer Bildverarbeitungs- und -analyseeinheit 46 und mit einer Achssteuerung 47 für Achsantriebe 48 verbunden, in die Signale von Wegmeßsystemen 49 einlaufen. Die Achsantriebe 48 unterteilen sich in die Antriebe für die Tischsysteme 22, 23 in x- und y-Richtung, den z-Antrieb 16 sowie einen Antrieb 50 für den Drehtisch 21. Die Wegmeßsysteme 49 entsprechen in ihrer Anzahl den Antrieben und sind diesen zugeordnet.

Vom Framegrabber 42, der an die Kamera 26 angeschlossen ist, besteht außerdem eine Kopplung zu der Bildverarbeitungs- und -analyseeinheit 46.

Die Beleuchtungssteuereinheit 45 ist mit den Bereichen 32, 33, 34 der Auflichteinrichtung sowie den Bereichen 38 oder 39 der Durchlichteinrichtung verbunden.

Anschlüsse von Stromversorgungseinheiten 51, 52 sowie eines Einschalters 53 und eines Nottasters 54 sind der Übersicht halber nicht dargestellt.

Die Programmsteuereinheit 41, in der Abläufe der Vermessungen des Objektes 10 und zu den Objekttypen durch Anlernen zugeordnete Kombinationen der Bereiche 32, 33 und 34 sowie 38 oder 39 nach unterschiedlichen Strahlungseigenschaften als Datensätze abgelegt sind, übergibt einen Steuerbefehl, bestehend aus Entfernungs- und Geschwindigkeitsangaben an die Achssteuerung 47. Die Achsantriebe 48 werden, unterstützt durch die Wegmeßsysteme 49, geregelt in die jeweilige Meßposition gefahren.

Bei Erreichen der programmierten Position initiiert ein an die Programmsteuereinheit 41 übergebenes Synchronsignal der Achssteuerung 47 einen Ausleseimpuls. Mit den dem Objekttyp zugeordneten Kombinationen der Bereiche der Beleuchtungseinrichtung 28, einschließlich Wellenlängen- und Intensitätseinstellung, wird ein durch die CCD-Kamera 26 aufgenommenes Bild über den Framegrabber 42 der Bildverarbeitungs- und -analyseeinheit 46 zur Verfügung gestellt. Die Programmsteuereinheit 41 und die Beleuchtungssteuerungseinheit 45 übernehmen die Einstellung des Beleuchtungssystems.

Die Bildverarbeitungs- und -analyseeinheit 46 liefert Koordinaten gemessener Konturen und Formelemente (Kreise, Geraden, Ecken), die zu den Koordinatensystemen der Bewegungssysteme 13, 14 in fester Beziehung stehen. Für Kreismessungen werden rechteckige, achsparallele Meßfenster verwendet, wobei zwischen einer Konturantastung von innen bzw. von außen zu unterscheiden ist. Diese Unterscheidung ist insbesondere dann von Bedeutung, wenn um die Kreiskontur Störungen durch Lichtreflexe oder Lichtleitung in transparenten Objektmaterialien auftreten.

Zur Messung einer geraden Kontur ist ebenfalls eine Antastung in einem rechteckigen, achsparallelen Meßfenster möglich. Es kann aber auch eine Startpunktsuche auf einer beliebig orientierten Meßlinie mit Vorgabe der Ordnungsnummer des Kantenübergangs erfolgen, wobei das rechteckige Meßfenster entsprechend gedreht ist. Im Ergebnis entsteht eine Regressionsgerade über alle gefundenen Konturpunkte.

Für Eckenmessungen werden bei Verwendung eines rechteckigen, achsparallelen Meßfensters aus der ermittelten Kontur Regressionsgeraden von zwei geraden Konturstücken berechnet, deren Schnittpunkt den gesuchten Meßpunkt bildet. Komplexere Konturen können ebenfalls mit rechteckigen, achsparallelen Meßfenstern bearbeitet werden, wobei die Auswertung der Kontur angepaßt zu erfolgen hat.

Die ermittelten Koordinaten werden gemeinsam mit den Ortskoordinaten der Bewegungssysteme 13, 14 an die Statistikeinheit 44 zur Ermittlung der Abweichungen vom Sollwert übergeben. Die Abweichungen können zur Anzeige gebracht sowie zur Trendverfolgung gespeichert werden.

Interessierende geometrische Abmessungen des Objektes 10 können nunmehr aus den ermittelten Daten rechnerisch bestimmt werden.

Die optimale Einstellung des Beleuchtungssystems in Form der Zuordnung unterschiedlicher Kombinationen der Bereiche 32, 33 und 34 sowie 38 oder 39 einschließlich der Wellenlänge und Intensität zu unterschiedlichen Objekttypen wird bei jeder Bildaufnahme dadurch geprüft, daß in der Bildverarbeitungs- und -analyseeinheit 46 für das aufgenommene Bild ein Kontrastvergleich mit einem Sollbild durchgeführt wird.

Die Sollbilder resultieren aus der Anlernphase, die dem eigentlichen Meßvorgang vorgelagert ist. Für jeden interessierenden Meßpunkt am Objekt des jeweiligen Objekttyps wird über die Programmsteuereinheit 41 und die Beleuchtungssteuereinheit 45 ein Beleuchtungsprogramm gestartet, mit dessen Hilfe die verschiedenen Beleuchtungskombinationen durchgetestet werden. Die Bildauswahl kann über den Monitor 7 durch direkte Bewertung der Bildqualität nach Kontrast und Helligkeit oder durch Bewertung mit Hilfe einer Kontrastverarbeitungsfunktion erfolgen. Die zum ausgewählten Bild gehörenden Beleuchtungsparameter werden in die Programmsteuereinheit 41 zur Verwendung für die Vermessung übernommen.

Eine Bewertung der Einstellung des Beleuchtungssystems kann auch dadurch erfolgen, daß nach einer Erfassung der Konturen in unterschiedlichen Bildern verschiedener Beleuchtungseinstellungen die minimale Streubreite der Abweichungen der Meßergebnisse bestimmt wird.

Auch weitere, dem Fachmann geläufige Kriterien sind anwendbar.

Werden bei der Überprüfung der Beleuchtungseinstellung größere Abweichungen gegenüber dem Sollwert ermittelt, wird die Einstellung des Beleuchtungssystems über die Programmsteuereinheit 41 und die Beleuchtungssteuereinheit 45 bis zur Übereinstimmung der Ist- und Sollwerte des Kontrastes korrigiert.

Bei geringeren Abweichungen gegenüber dem Sollwert wird die bei der Bildverarbeitung zur Konturerfassung mit einem Meßfenster verwendete und bereits an einem Gutobjekt in gleicher Weise angelernte Schwelle angepaßt.

Gemäß Fig. 6 bis 8 wird ein Meßfenster 55 auf einen durch Grauwertdifferenzen bestimmten Hell-Dunkel-Übergang 56 gelegt. Innerhalb des Meßfensters wird anschließend die Grauwertverteilung um den Übergang in einem Histogramm dargestellt und die Lage der Maxima 57, 58 bestimmt. Vorteilhafterweise wird eine Schwelle 59 zur Kontursuche auf einen mittleren Wert m zwischen die Grauwerte der Maxima 57, 58 gelegt. Selbstverständlich können bei der Schwellenfestlegung auch weitere Bedingungen berücksichtigt werden, wie z. B. unterschiedliche Amplituden der Maxima 57, 58 durch Wichtung. Mit Hilfe der Schwelle 59 läßt sich nun die Kantenlage k im Kantenbild bestimmen.

Mit einer derartigen Verfahrensweise können Änderungen der Beleuchtungsverhältnisse auf Grund von Reflexen oder Fremdlichteinfall kompensiert und beleuchtungsbedingte Meßfehler reduziert werden.

Claims (16)

1. Einrichtung zur Vermessung von Objekten an ausgewählten Meßpositionen durch Verarbeitung von Bildern mit einer vertikal verstellbaren, drehbaren Plattform als Träger für das Objekt, einer Kamera und einer, aus Teileinrichtungen bestehenden Beleuchtungseinrichtung, wobei die Kamera und das Objekt zur Einstellung von Meßpositionen relativ zueinander verstellbar sind, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine Teileinrichtung (28, 37) aus Bereichen zusammengesetzt ist, deren Strahlungs- und Beleuchtungseigenschaften sich geometrisch-optisch, spektral und/oder in der Intensität unterscheiden und daß die an der Beleuchtungseinrichtung bereits vorhandenen Teileinrichtungen (28, 37) und Bereiche jeweils dem zu vermessenden Objekt (10) entsprechend durch Ansteuerschaltungen (41, 45) und Stellmittel (35) ausgewählt und angepaßt werden.

2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß von den unterschiedlichen Bereichen einer als Auflichteinrichtung ausgebildeten Teileinrichtung (28) ein erster Bereich die Kamera (26) in ihrem Frontbereich als Ringstrahler (32) umschließt, dem weitere Bereiche als Flächenstrahler (33, 34) benachbart sind.

3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Stellmittel (35) zur Verstellung der Strahlrichtung der Flächenstrahler (33, 34) vorgesehen sind.

4. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Ringstrahler (32) und die Flächenstrahler (33, 34) aus einzelnen strahlenden Elementen (36) unterschiedlicher Wellenlängen zusammengesetzt sind.

5. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine weitere Teileinrichtung (37) als Durchlichteinrichtung ausgebildet ist.

6. Einrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchlichteinrichtung aus einer dimmbaren Kaltkathodenröhre (38) besteht, die mit einer Streuscheibe (40) versehen ist.

7. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchlichteinrichtung aus einem dimmbaren Leuchtdiodenband (39) besteht.

8. Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Leuchtdiodenband (39) aus einzeln schaltbaren Reihen von strahlenden Elementen besteht.

9. Verfahren zur Vermessung von Objekten an ausgewählten Meßpositionen durch Verarbeitung von Bildern des Objektes und Zuordnung der Verarbeitungsergebnisse zu einer Maßverkörperung unter Verwendung einer, aus Teileinrichtungen bestehenden Beleuchtungseinrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß
mindestens eine Teileinrichtung (28, 37) der Beleuchtungseinrichtung aus Bereichen zusammengesetzt ist, deren Strahlungs- und Beleuchtungseigenschaften sich geometrisch-optisch, spektral und/oder in der Intensität unterscheiden, daß
die Objekte (10) in Objekttypen eingeteilt werden, und daß jedem Objekttyp zu dessen Beleuchtung eine Kombination der Teileinrichtungen (28, 37) und Bereiche zugeordnet wird.

10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Ermittlung der geeigneten Zuordnung durch Anlernen anhand der Bildqualität von Bildern erfolgt, zu deren Aufnahme unterschiedliche Kombinationen der Bereiche verwendet werden.

11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß zur Bewertung der Bildqualität eine Kontrastanalyse dient.

12. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Bewertung der Bildqualität anhand des Grades reproduzierbarer Meßergebnisse erfolgt.

13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß als Maß für die Reproduzierbarkeit der Meßergebnisse eine minimale Streubreite der Meßergebnisse verwendet wird.

14. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß zur Reduzierung von beleuchtungsbedingten Meßfehlern die Grauwertumgebung eines Kantenüberganges von durch Bildverarbeitung erfaßten Konturen als Histogramm dargestellt und die Lage der Maxima (57, 58) der Grauwertverteilungen bestimmt werden, und daß eine in der Bildverarbeitung zur Kontursuche notwendige Schwelle (59) zwischen die Maxima (57, 58) gelegt wird.

15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Schwelle (59) einen mittleren Grauwert zwischen den Grauwerten der Maxima (57, 58) einnimmt.

16. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß unterschiedliche Amplituden der Maxima (57, 58) als Wichtung bei der Festlegung der Schwelle (59) berücksichtigt werden.