KR20060071313A

KR20060071313A - 액정패널 검사장치

Info

Publication number: KR20060071313A
Application number: KR1020050114091A
Authority: KR
Inventors: 노리에 야마구찌; 마사유끼 안자이; 쥰이찌 코가와
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2004-12-21
Filing date: 2005-11-28
Publication date: 2006-06-26
Also published as: TW200622388A; JP2006178107A; TWI299800B; KR100725896B1

Abstract

본 발명에 따른 액정패널 검사장치는, 검사 스테이지에 지지된 액정패널의 배면에 기체를 내뿜음으로써, 액정패널의 온도 상승을 억제하기 위한 것이다. 액정패널(48)은 그 주변부에서 검사 스테이지의 패널 받이(14)에 지지된다. 액정패널(48)의 배면의 최소한 일부는, 검사 스테이지의 내부 공간(64)에 노출해 있다. 상기 내부 공간(64)에 노즐(62)이 개구해 있다. 노즐(62)로부터 액정패널(48)의 배면에 공기(68)가 내뿜어진다. 액정패널(48)을 냉각한 공기(68)는 배출 공간(28)에서 나간다. 액정패널(48)이 백라이트(34)로 조명되어도 액정패널(48)의 온도는 그다지 상승하지 않는다.

액정패널, 검사 스테이지, 백라이트, 노즐, 이온화 공기

Description

액정패널 검사장치{Apparatus for Inspecting of Liquid Crystal Panel}

도1은 본 발명의 액정패널 검사장치의 한 실시예에서의 검사 스테이지 및 얼라이먼트 스테이지의 사시도이다.

도2는 도1의 A부분을 확대하여 나타낸 확대 사시도이다.

도3은 도1에 나타낸 검사 스테이지의 평면도이다.

도4는 도3의 4-4선 단면도이다.

도5는 도3의 5-5선 단면도이다.

도6은 도4의 제2 지지부의 부근(왼쪽)과 제4 지지부의 부근(오른쪽)을 확대하여 나타낸 단면도이다.

도7은 스페이서의 역할을 설명하는 단면도이다.

도8은 제2 실시예의 평면도이다.

도9는 도8의 9-9선 단면도이다.

* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *

10: 검사 스테이지 12: 얼라이먼트 스테이지

14: 패널 받이 16: 베이스

18: 제1 지지부 20: 제2 지지부

22: 제3 지지부 24: 제4 지지부

26: 스페이서 28: 배출 공간

34: 백라이트 장치 48: 액정패널

58: 이음매 60: 튜브

62: 노즐 64: 내부 공간

66: 확산판 68: 공기

90: 프로브 블록 92: 프로브 침

95: 프로브 블록 96: 상부 노즐

발명의 분야

본 발명은 액정패널의 전극에 프로브를 접촉시켜 상기 액정패널을 검사하는 검사장치에 관한 것으로, 특히 액정패널의 온도 상승을 억제하기 위한 구조에 특징이 있는 액정패널 검사장치에 관한 것이다.

발명의 배경

액정패널의 점등검사를 실시할 때는, 액정패널의 배면측으로부터 백라이트로 조명한 상태로, 액정패널의 복수의 전극에 소정의 전압을 인가하여, 액정패널의 각 셀의 점등의 양부(良否)를 검사하고 있다. 이와 같은 액정패널 검사장치는 예를 들어 다음의 특허문헌 1에 개시되어 있다.

특허문헌 1: 일본 특개2003-241681호 공보

이와 같은 액정패널 검사장치에 있어서, 백라이트의 조명에 의해 액정패널의 온도가 상승한다. 예를 들어, 백라이트의 휘도를 약 2만cd라고 가정하고, 유리의 열팽창계수를 약 9ppm이라고 가정하면, 30형(型)의 액정패널의 경우, 백라이트가 점등한 검사 스테이지에 액정패널을 놓고 20분이 경과하면, 액정패널은 약 15℃ 만큼 온도가 상승한다. 이 온도 상승에 의해, 30형의 액정패널의 긴 변은, 약 80㎛ 만큼 열팽창한다. 더 대형인 50형의 액정패널에서는, 긴 변의 열팽창은 약 140㎛가 된다. 액정패널이 이와 같이 열팽창하면, 액정패널의 복수의 전극과, 이에 대응하는 복수의 프로브 침과의 사이에서 위치 벗어남이 생겨, 전극과 프로브 침의 접촉 불량이 생길 수 있다.

본 발명은, 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로, 그 목적은, 액정패널의 온도 상승을 억제할 수 있는 액정패널 검사장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 상기의 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다. 이하 본 발명의 내용을 하기에 상세히 설명한다.

본 발명에 따른 액정패널 검사장치는, 다음의 (가) 내지 (라)의 구성을 갖추고 있다. (가) 액정패널을 그 주변부에서 지지하는 검사 스테이지로서, 액정패널의 배면의 최소한 일부가 노출하는 내부 공간을 갖는 검사 스테이지. (나) 상기 내부 공간으로 개구하는 기체 도입구를 갖는 기체 분무 장치로서, 상기 검사 스테이지에 지지된 액정패널의 배면에 기체를 내뿜는 기체 분무 장치. (다) 상기 검사 스테이지에 지지된 액정패널의 복수의 전극에 접촉 가능한 복수의 프로브 침을 갖는 프로브 스테이지. (라) 상기 검사 스테이지에 지지된 액정패널을 배면으로부터 조명하는 백라이트 장치.

이와 같이, 액정패널의 배면에 기체를 내뿜도록 했기 때문에, 액정패널을 백라이트로 조명했을 때, 액정패널의 온도 상승을 억제할 수 있다.

상기 검사 스테이지에는, 내뿜은 기체를 배출하는 기체 배출구를 설치할 수 있다. 즉, 검사 스테이지는, 사각형의 액정패널의 4변을 지지하기 위한 4개의 지지부를 갖출 수 있고, 최소한 하나의 지지부에 있어서, 액정패널과 상기 지지부와의 사이에, 상기 내부 공간으로부터 기체를 배출시키기 위한 기체 배출구를 설치할 수 있다.

상기 4개의 지지부 중, 서로 이웃하는 2개의 지지부에 상기 기체 분무 장치를 설치할 수 있고, 남은 2개의 지지부에 상기 기체 배출구를 설치할 수 있다.

기체를 내뿜는 장소로는, 액정패널의 배면뿐만이 아니고, 액정패널의 전면에도 내뿜어도 된다.

액정패널에 내뿜는 기체로는, 이온을 포함하는 기체여도 좋다. 즉, 이오나이저(ionizer)로 생성한 이온화 공기여도 좋다. 이온을 포함하는 기체를 액정패널에 내뿜으면, 액정패널의 정전기를 제거할 수 있다.

발명자가 아는 한, 액정패널 검사장치에 있어서는, 이제까지 액정패널에 공기를 내뿜어 액정패널의 온도 상승을 막는 기술은 발견되지 않는다. 다만, 액정판을 이용하여 프린트 배선판의 단락 부분을 검사하는 장치에 있어서는, 액정판을 원하는 온도로 유지하기 위해 액정판에 소정 온도의 공기를 내뿜는 것이 다음의 특허문헌 2에 개시되어 있다.

특허문헌 2 : 일본 특개소64-66567호 공보

본 발명과 특허문헌 2의 기술을 비교하면, 본 발명은, 검사대상으로서의 액정패널(그 전극에 프로브 침이 접촉한다)이 백라이트에 의해 온도 상승하는 것을 막는 것이고, 이 점에서 특허문헌 2의 기술과는 다르다. 특허문헌 2에서의 검사대상은 프린트 배선판이고, 액정패널은 프린트 배선판의 단락 부분을 발견하기 위한 수단으로서 이용하고 있는 것이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다. 도1은 본 발명의 액정패널 검사장치의 한 실시예에서의 검사 스테이지 및 얼라이먼트 스테이지 의 사시도이다. 상기 액정패널 검사장치는, 프로브 침을 갖춘 프로브 스테이지(도시하지 않음)와, 액정패널을 지지하는 검사 스테이지(10)와, 검사 스테이지를 이동시키는 얼라이먼트 스테이지(12)를 갖추고 있다. 검사 스테이지(10)는 패널 받이(14)와 베이스(16)로 이루어진다. 사각형의 베이스(16) 위에 틀 형상의 패널 받이(14)가 고정되어 있다. 전체로서 외형이 장방형인 패널 받이(14)는, 제1 지지부(18), 제2 지지부(20), 제3 지지부(22) 및 제4 지지부(24)로 이루어진다. 제1 지지부(18)와 제3 지지부(22)는 장방형의 긴 변을 구성하고, 제2 지지부(20)와 제4 지지부(24)는 장방형의 짧은 변을 구성한다. 서로 이웃하는 제1 지지부(18)와 제2 지지부(20)는 그 윗면이 소정의 높이에 있고, 한편, 서로 이웃하는 제3 지지부(22)와 제4 지지부(24)는 그 윗면이 소정의 높이보다도 한단 낮게 되어 있다. 그리고 제3 지지부(22)의 윗면과 제4 지지부(24)의 윗면에는, 각각 복수의 스페이서(26)가 놓여 있다. 스페이서(26)의 윗면의 높이는, 제1 지지부(18) 및 제2 지지부(20)의 윗면의 높이와 같은 위치에 있다. 복수의 스페이서(26) 사이의 배출 공간(28)은 후술하는 바와 같이, 공기의 배출구로 되어 있다.

얼라이먼트 스테이지(12)는, 상부 베이스(30), 지주(32), 백라이트 장치(34)(도4 참조), 하부 베이스(36) 및 XYZθ 스테이지(38)로 이루어진다. XYZθ 스테이지(38)는, 하부 베이스(36)를 수평면 내에서 서로 직교하는 X방향과 Y방향으로 이동시킬 수 있고, 게다가 Z방향(상하방향)으로 이동시킬 수 있고, 또 Z방향으로 평행한 회전축의 주위로 θ 회전시킬 수 있다. 하부 베이스(36)의 위에는 백라이트 장치(34)(도4 참조)가 고정되어 있다. 또, 하부 베이스(36)의 위에는 복수의 지주 (32)가 서 있고, 지주(32)의 상단에 상부 베이스(30)가 고정되어 있다. 상부 베이스(30)의 위에 검사 스테이지(10)의 베이스(16)가 고정되어 있다.

도2는 도1의 A부분을 확대하여 나타낸 확대 사시도이다. 패널 받이의 제1 지지부(18)에는 푸셔 장치(40)가 설치되어 있다. 푸셔 장치(40)는 레일(42)을 갖추고 있고, 상기 레일(42)에 대하여 슬라이더(44)가 슬라이드 가능하게 결합하고 있다. 슬라이더(44)의 윗면에는 푸셔 롤러(46)가 회전이 자유롭게 설치되어 있다. 슬라이더(44)는 에어 실린더(도시하지 않음)에 의해 Y방향으로 진퇴하고, 이에 의해, 푸셔 롤러(46)도 Y방향으로 진퇴한다. 푸셔 롤러(46)를 화살표(50) 방향으로 이동시키면, 푸셔 롤러(46)는 액정패널(48)의 옆 가장자리에 접촉한다. 도1로 되돌아가서, 패널 받이의 제3 지지부(22)의 윗면에는 스토퍼 롤러(52)가 회전 가능하게 설치되어 있다. 푸셔 롤러(46)에 의해 화살표(50) 방향으로 내리눌려진 액정패널은 스토퍼 롤러(52)에서 받아내고, 이에 의해 액정패널의 Y방향의 위치 결정이 이루어진다. 동일하게, 패널 받이의 제2 지지부(20)에도 푸셔 롤러(54)가 있고, 이것과 마주보는 제4 지지부(24)에는 스토퍼 롤러(56)(도2에도 나타내어져 있음)가 있다. 이들 푸셔 롤러(54)와 스토퍼 롤러(56)에 의해, 액정패널의 X방향의 위치 결정도 이루어진다. 도2로 되돌아가서, 제1 지지부(18)의 바깥면에는 공기 공급용 이음매(58)가 고정되어 있다. 상기 이음매(58)에 공기 공급용 튜브(60)가 접속되어 있다. 상기 튜브(60)에 압력공기원으로부터 실온의 공기가 공급된다. 공기의 공급압력은 0.1∼0.2MPa이다.

도3은 도1에 나타낸 검사 스테이지의 평면도이다. 장방형의 베이스(16) 위에 장방형의 패널 받이(14)가 올려져 있다. 패널 받이(14)의 제1 지지부(18)에는 2개의 푸셔 롤러(46)가 부속하고, 제2 지지부(20)에는 하나의 푸셔 롤러(54)가 부속해 있다. 제3 지지부(22)에는 2개의 스토퍼 롤러(52)가 부속하고, 제4 지지부(24)에는 2개의 스토퍼 롤러(56)가 부속해 있다. 제3 지지부(22)의 윗면에는 3개의 스페이서(26)가 놓여 있고, 제4 지지부(24)의 윗면에도 3개의 스페이서(26)가 놓여 있다. 제1 지지부(18)와 제2 지지부(20)의 윗면에는 흡착 홈(도시하지 않음)이 형성되어 있고, 상기 흡착 홈에 부압을 공급함으로써, 액정패널(48)을 패널 받이(14) 위에 흡착 지지할 수 있다.

도4는 도3의 4-4선 단면도이다. XYZθ 스테이지(38) 위에 하부 베이스(36)가 고정되어 있고, 하부 베이스(36)와 상부 베이스(30)의 사이에는 지주(32)가 있다. 하부 베이스(36)의 위에는 백라이트 장치(34)가 놓여 있다. 백라이트 장치(34)는 복수의 형광관(35)을 갖추고 있다. 패널 받이(14)의 내부에는 확산판(66)이 설치되어 있다. 백라이트 장치(34)로부터의 빛은 확산판(66)에서 확산되어 한결같은 조명광이 되고, 액정패널(48)의 배면을 비춘다. 패널 받이(14)의 제2 지지부(20)에는 공기 공급용 이음매(58)가 고정되어 있고, 상기 이음매(58)에 노즐(62)이 접속되어 있다. 노즐(62)은, 제2 지지부(20)를 관통하고 있고, 패널 받이(14)의 내부 공간(64)으로 개구하고 있다. 도4에서는, 제1 지지부에 설치된 4개의 노즐(62)의 선단부도 보이고 있다. 패널 받이(14)는 틀 형상이기 때문에, 액정패널(48)의 배면 중, 주변부(패널 받이(14)에서 지지하고 있는 부분) 이외의 중앙부분이 내부 공간(64)에 노출해 있다. 노즐(62)의 내경은 1.0∼1.4mm 정도이다. 내부 공간(64)의 두께, 즉 액정패널(48)의 배면과 확산판(66)의 윗면 사이의 거리는, 예를 들어 2∼4mm이다. 노즐(62)이 본 발명에서의 기체 도입구에 해당한다. 그리고, 노즐(62)과 이음매(58)와 튜브(60)로 이루어지는 구성이 본 발명에서의 기체 분무 장치에 해당한다.

도5는 도3의 5-5선 단면도이다. 다만, 검사 스테이지만을 나타내고 있다. 도면의 오른쪽 반은, 제4 지지부(24)를 지나도록 절단한 것이다. 제4 지지부(24)의 윗면에는 스페이서(26)가 놓여 있고, 서로 이웃하는 스페이서(26) 사이에 있어서, 액정패널(48)의 배면과 제4 지지부(24)의 윗면 사이에, 배출 공간(28)이 형성되어 있다. 상기 배출 공간(28)은 노즐(62)에서 내부 공간(64) 내로 공급된 공기를 외부로 배출하기 위한 공간으로 되어 있다.

도6은 도4의 제2 지지부(20)의 부근(왼쪽)과 제4 지지부(24)의 부근(오른쪽)을 확대하여 나타낸 단면도이다. 검사 스테이지의 중앙부의 도시는 생략하고 있다. 제1 지지부(20)에는 노즐(62)이 관통하고 있다. 노즐(62)의 출구는 패널 받이(14)의 내부 공간(64)으로 돌출해 있고, 액정패널(48)의 배면에 공기가 닿도록, 출구가 약간 위쪽을 향하게 되어 있다. 노즐(62)로부터는 실온의 공기(68)가 유출하고, 상기 공기(68)가 액정패널(48)의 배면에 내뿜어진다. 액정패널(48)의 배면을 따라 흐른 공기(68)는, 제4 지지부(24)의 윗면과 액정패널(48)의 배면과의 사이에 형성된 배출 공간(28)으로부터 외부로 나간다. 또, 제3 지지부(22)(도2 참조)에서도, 동일하게 배출 공간으로부터 외부로 공기가 나간다. 패널 받이(14)의 내부 공간(64)은, 사방이 패널 받이(14)의 4개의 지지부로 둘러싸여 있고, 상부는 액정패널(48)로, 하부는 확산판(66)으로 둘러싸여 있다.

이어서, 도6을 참조하여, 상기 액정패널 검사장치의 패널 냉각작용을 설명한다. 패널 받이(14) 위에 액정패널(48)이 흡착 지지되고, 액정패널(48)의 배면에 백라이트 장치(34)(도4 참조)로부터의 조명광이 닿은 상태로, 프로브 스테이지의 복수의 프로브 침이 액정패널(48)의 복수의 전극에 접촉하고, 액정패널의 점등검사가 실시된다. 백라이트 장치로 조명하고 있는 동안은, 노즐(62)로부터 실온의 공기(68)가 액정패널(48)의 배면을 향해 내뿜어진다. 따라서, 백라이트 장치의 조명광에서 기인하는 액정패널(48)의 온도 상승은 작다. 예를 들어, 30형의 액정패널의 경우, 공기의 분무가 없는 종래 장치에서는, 백라이트가 점등한 검사 스테이지에 액정패널을 올리고 20분이 경과하면, 액정패널의 온도 상승은 약 15℃였다. 이에 대하여, 본 실시예의 경우는, 동일한 조건에서, 액정패널의 온도 상승은 5∼8℃였다. 이와 같이 온도 상승이 작기 때문에, 액정패널(48)의 열팽창량은 작은 것이 되고, 액정패널의 복수의 전극과 프로브 스테이지의 복수의 프로브 침 사이의 위치 벗어남은 문제가 되지 않는 정도이다. 또, 노즐(62)로부터 유출하는 공기는, 실온보다도 낮은 온도로 냉각한 것이어도 좋다. 다만, 공기를 냉각하는 경우는, 액정패널에 결로(結露)가 생기지 않는 정도의 온도로 할 필요가 있어, 예를 들어, 실온보다도 5∼10℃ 정도 낮은 온도로 한다.

도7은, 스페이서(26)의 역할을 설명하는 단면도이다. (A) 및 (B)에 있어서, 도면의 왼쪽은 제1 지지부(18) 부근의 단면을 나타내고, 도면의 오른쪽은 제3 지지부(22) 부근의 단면을 나타낸다. 액정패널(48)은 하부 유리판(70)(TFT가 형성되어 있는 유리판)과 상부 유리판(72)(컬러필터가 형성되어 있는 유리판) 사이에 액정을 봉입(封入)한 구조로 되어 있다. 도7(A)는 액정패널(48)의 하부 유리판(70)의 아래면에 아래쪽 편광판이 존재하지 않는 경우의 스페이서 배치예이고, 도7(B)는 하부 유리판(70)의 아래면에 아래쪽 편광판(74)이 존재하는 경우의 스페이서 배치예이다. 위쪽 편광판에 대해서는, 스페이서와 관계가 없기 때문에 도시를 생략하고 있다.

도7(A)에 있어서, 스페이서(26)의 두께는 t1이다. 상기 t1은, 제1 지지부(18)의 윗면의 높이와 제3 지지부(22)의 윗면의 높이의 차(差)와 같다. 상기 t1은 배출 공간(28)(도6 참조)의 두께와 같다. 한편, 도7(B)에 나타낸 바와 같이, 아래쪽 편광판(74)이 있는 경우는, 스페이서(26)의 두께를 t2로 변경한다. 상기 t2는 상술한 t1에서 아래쪽 편광판(74)의 두께를 뺀 것과 같다. 아래쪽 편광판(74)의 바깥 가장자리는, 전극이 있는 변(제1 지지부(18)에 놓이는 쪽)에서는 하부 유리판(70)의 바깥 가장자리로부터 후퇴해 있고, 전극이 없는 변(제3 지지부(22)에 놓이는 쪽)에서는 하부 유리판(70)의 바깥 가장자리까지 연장해 있다.

도8은, 본 발명의 액정패널 검사장치의 제2 실시예를 나타내는 것이고, 프로브 스테이지와, 검사 스테이지 위의 액정패널(48)만을 위쪽에서 본 평면도이다. 프로브 스테이지는, 제1 프로브 베이스(76), 제2 프로브 베이스(78), 제1 대향(對向) 베이스(80)(제1 프로브 베이스(76)와 마주보고 있음), 및 제2 대향 베이스(82)(제2 프로브 베이스(78)와 마주보고 있음)를 갖추고 있다. 제1 프로브 베이스(76)와 제1 대향 베이스(80)는 Y방향으로 연장해 있고, 제2 프로브 베이스(78)와 제2 대향 베 이스(82)는 X방향으로 연장해 있다. X방향과 Y방향은 서로 직교하고 있다. 액정패널(48)은 장방형을 하고 있고, 그 하나의 짧은 변(84)을 따라 복수의 게이트 전극이 배열되어 있고, 또 하나의 긴 변(86)을 따라 데이터 전극이 배열되어 있다.

제1 프로브 베이스(76)에는 게이트쪽 프로브 유닛(88)이 탑재되어 있다. 상기 게이트쪽 프로브 유닛(88)에는 복수의 프로브 블록(90)이 고정되어 있다. 각 프로브 블록(90)에는 복수의 프로브 침(92)이 설치되어 있다. 프로브 침(92)은 액정패널(48)의 게이트 전극에 접촉한다. 제2 프로브 베이스(78)에는 데이터쪽 프로브 유닛(94)이 탑재되어 있다. 상기 데이터쪽 프로브 유닛(94)에도, 복수의 프로브 블록(95)과 그것에 부속하는 프로브 침이 설치되어 있다. 상기 프로브 침은 액정패널(48)의 데이터 전극에 접촉한다.

제1 대향 베이스(80)와 제2 대향 베이스(82)에는, 각각 복수의 상부 노즐(96)이 고정되어 있다. 이들 상부 노즐(96)로부터는 실온의 공기가 유출하고, 그 공기가 액정패널(48)의 전면(윗면)을 따라 흘러, 액정패널(48)의 윗면의 온도 상승을 막는다. 상부 노즐(96)은 본 발명에서의 제2 기체 분무 장치에 해당한다.

도9는 도8의 9-9선으로 절단한 단면도이고, 프로브 스테이지의 아래쪽의 검사 스테이지와 얼라이먼트 스테이지에 대해서도 도시하고 있다. 검사 스테이지와 얼라이먼트 스테이지의 단면 부분은, 도4와 동일한 것이다. 게이트쪽 프로브 유닛(88)에 고정된 프로브 블록(90)과, 데이터쪽 프로브 유닛(94)에 고정된 프로브 블록(95)이 보이고 있다. 그리고 제1 대향 베이스(80)에는 상부 노즐(96)이 고정되어 있다. 또, 액정패널(48)의 배면도 노즐(62)로부터 유출하는 공기로 냉각되지만, 배 면쪽 냉각에 대해서는, 제1 실시예와 동일하다.

본 제2 실시예는, 액정패널(48)의 배면과 전면의 양쪽에 공기가 내뿜어지기 때문에, 제1 실시예보다도 액정패널(48)의 온도 상승이 억제된다.

액정패널의 윗면에 내뿜는 공기에 대해서는, 이오나이저로부터 유출시킨 이온화 공기로 할 수도 있다. 이오나이저는 공기 중의 가스 분자를 양 및 음의 이온으로 대전(帶電)시키는 것이고, 이오나이저로부터 유출하는 공기는 다량의 음양 이온을 포함하고 있다. 이와 같은 이온화 공기를 액정패널의 전면에 내뿜으면, 액정패널의 전면에 대전한 정전기가 제전(除電)되고, 액정패널 위의 전기회로의 정전기 파괴를 막는다. 또, 액정패널의 배면에 내뿜는 공기도 이온화 공기로 할 수 있다.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.

본 발명에 의하면, 검사 스테이지 상의 액정패널에 공기를 내뿜고 있기 때문에, 액정패널에 백라이트의 빛이 닿아도, 액정패널의 온도 상승을 억제할 수 있는 발명의 효과를 갖는다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.

Claims

액정패널을 그 주변부에서 지지하는 검사 스테이지로서, 액정패널의 배면의 최소한 일부가 노출하는 내부 공간을 갖는 검사 스테이지;

상기 내부 공간으로 개구하는 기체 도입구를 갖는 기체 분무 장치로서, 상기 검사 스테이지에 지지된 액정패널의 배면에 기체를 내뿜는 기체 분무 장치;

상기 검사 스테이지에 지지된 액정패널의 복수의 전극에 접촉 가능한 복수의 프로브 침을 갖는 프로브 스테이지; 및

상기 검사 스테이지에 지지된 액정패널을 배면으로부터 조명하는 백라이트 장치로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정패널 검사장치.
제1항에 있어서, 상기 검사 스테이지는, 사각형의 액정패널의 4변을 지지하기 위한 4개의 지지부를 갖추고 있고, 최소한 하나의 지지부에 있어서, 액정패널과 상기 지지부와의 사이에, 상기 내부 공간으로부터 기체를 배출시키기 위한 기체 배출구가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액정패널 검사장치.
제2항에 있어서, 상기 4개의 지지부 중, 서로 이웃하는 2개의 지지부에 상기 기체 분무 장치가 설치되어 있고, 남은 2개의 지지부에 상기 기체 배출구가 형성되 어 있는 것을 특징으로 하는 액정패널 검사장치.
제1항에 있어서, 상기 액정패널의 전면에 기체를 내뿜는 제2 기체 분무 장치를 갖는 것을 특징으로 하는 액정패널 검사장치.
제1항 내지 제4항의 어느 한 항에 있어서, 액정패널에 내뿜어지는 기체는, 이온을 포함하는 기체인 것을 특징으로 하는 액정패널 검사장치.