KR100764907B1

KR100764907B1 - 검사장치

Info

Publication number: KR100764907B1
Application number: KR1020060021298A
Authority: KR
Inventors: 신지 후지와라; 이사오 우에키; 타케시 사이토
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2005-04-08
Filing date: 2006-03-07
Publication date: 2007-10-09
Also published as: TWI296717B; JP4993871B2; JP2006292484A; KR20060107294A; TW200706890A

Abstract

본 발명에 따른 검사장치는, 검사대상의 대형화에 따른 열의 문제를 해소한 검사장치를 제공하기 위한 것이다. 액정패널(7)을 지지하는 워크테이블(2)과 이 워크테이블(2)에 지지된 액정패널(7)을 뒤쪽으로부터 조명하는 백라이트(3)와 이들 워크테이블(2)과 백라이트(3)를 지지하여 액정패널(7)의 위치 맞춤을 수행하는 얼라이먼트 스테이지(4)를 구비한 검사장치(1)이다. 상기 얼라이먼트 스테이지(4)내부에 그 전면측으로부터 배면측까지 관통하여 설치되고, 상기 백라이트(3)로 가열된 공기를 배면측으로 배출하는 공기통로(28)를 구비했다. 이 공기통로(28)에는 상기 백라이트(3)로 가열된 공기를 배면측으로 배출하는 팬(10, 29)을 구비했다.

백라이트, 액정패널, 공기통로, 얼라이먼트 스테이지

Description

검사장치 {Inspection Apparatus}

도1은 본 발명의 실시형태에 관한 검사장치의 얼라이먼트 스테이지를 나타낸 도8의 I-I선 단면도이다.

도2는 본 발명의 실시형태에 관한 검사장치를 나타낸 정면도이다.

도3은 본 발명의 실시형태에 관한 검사장치를 나타낸 도2의 III-III선 단면도이다.

도4는 본 발명의 실시형태에 관한 검사장치의 백라이트를 나타낸 도5의 IV-IV선 단면도이다.

도5는 본 발명의 실시형태에 관한 검사장치의 백라이트를 나타낸 정면도이다.

도6은 본 발명의 실시형태에 관한 검사장치의 백라이트를 나타낸 측면도이다.

도7은 본 발명의 실시형태에 관한 검사장치의 얼라이먼트 스테이지를 나타낸 사시도이다.

도8은 본 발명의 실시형태에 관한 검사장치의 얼라이먼트 스테이지를 나타낸 정면도이다.

도9는 본 발명의 실시형태에 관한 검사장치의 얼라이먼트 스테이지를 나타낸 도8의 IX-IX선 단면도이다.

도10은 본 발명의 실시형태에 관한 검사장치의 얼라이먼트 스테이지를 나타낸 정면단면도이다.

도11은 본 발명의 실시형태에 관한 검사장치의 얼라이먼트 스테이지를 나타낸 평면도이다.

도12는 본 발명의 실시형태에 관한 검사장치의 얼라이먼트 스테이지를 나타낸 저면도이다.

* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *

1: 검사장치 2: 워크테이블

2A: 지지대부 2B: 확산판

3: 백라이트 4: 얼라이먼트 스테이지

4A : XYθ스테이지 4B; Z스테이지

5: 검사부 6: 프레임

7: 액정패널 8: 하우징

9: 램프 10: 팬

12: 광원수납실 13: 축열실

15: 배면판 16: 개구부

17: 공기흡입구 18: 배면판

19: 공기흡입구 20: 스테이지 설치 베이스

21, 23: 고정 하우징부 23A: 횡판부

24: 레일 25: 가이드

26: 슬라이드 하우징부 27: 구동부

28: 공기통로 28A, 28B: 연통공

29: 팬 31: Z축 모터

32: 볼나사 33: 너트

35: 백라이트 설치 베이스 35A: 연통공

36: 지주(支柱) 37: 워크테이블 베이스

41: 프로브 유닛 42: 프로브 베이스

43: 프로브 블록 44: 카메라

45: 프로브 스테이지

발명의 분야

본 발명은, 검사대상판을 워크테이블에 지지하여 그 배면으로부터 백라이트로 조명해서 검사하는 검사장치에 관한 것이다.

발명의 배경

액정기판 등의 검사대상판을 배면으로부터 조명해서 검사를 수행하는 검사장치는 일반적으로 알려져 있다. 이러한 검사장치에서는, 워크테이블에 검사대상판을 지지하고 이 검사대상판의 배면으로부터 백라이트로 조명해서 시험이 행해진다.

이와 같은 검사장치에 있어서는, 지금까지는 장치가 소형이고 검사대상판도 그다지 크지 않으며 백라이트의 휘도 또한 그다지 높지 않았으므로, 특별히 열에 대한 대책을 취하지 않아도 백라이트가 발하는 열이 문제가 되지 않았다.

그런데, 상술한 종래의 검사장치에서는 장치가 소형일 때는 상기 백라이트가 발생하는 열에 대한 대책을 취하지 않아도 문제가 되지 않았으나, 장치가 대형화되자, 백라이트가 발생하는 열도 커지게 되고, 이 열에 의해 문제가 발생하게 되었다. 예를 들면, 대화면의 액정 텔레비젼에 사용되는 액정기판에 이용하는 검사장치에 있어서는, 백라이트 자체가 대형화함과 동시에 그 휘도 또한 높일 필요가 있다. 이 결과, 상기 백라이트가 발하는 열로 액정기판이 뜨거워져서 팽창하고, 전극의 피치와 프로브침의 피치가 벗어나서 접촉 불량을 일으키는 경우가 있다.

본 발명은 이러한 문제점에 착안하여 이루어진 것으로, 장치의 대형화에 따른 열의 문제를 해소한 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 상기의 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다. 이하에, 본 발명의 내용을 상세히 설명한다.

본 발명에 관한 검사장치는, 검사대상판을 지지하는 워크테이블과 해당 워크테이블에 지지된 검사대상판을 뒤쪽으로부터 조명하는 백라이트와, 이들 워크테이블과 백라이트를 지지해서 상기 검사대상판의 위치 맞춤을 수행하는 얼라이먼트 스테이지를 구비한 검사장치에서, 상기 얼라이먼트 스테이지 내에 그 전면측으로부터 배면측까지 관통해서 설치되고 상기 백라이트로 가열된 공기를 배면측으로 배출하는 공기통로를 구비한 것을 특징으로 한다.

상기 공기통로에 의해서, 상기 백라이트로 가열된 공기가 배면측으로 배출되어, 상기 검사대상판이 가열되는 것을 방지한다.

상기 공기통로에는, 상기 백라이트로 가열된 공기를 상기 배면측으로 배출하는 팬을 구비한 것이 바람직하다.

상기 팬은, 상기 얼라이먼트 스테이지의 배면측에 설치하는 것이 바람직하다.

상기 백라이트의 광원을 수납한 광원수납실과 해당 광원수납실의 배면에 설치된 공기흡입구와, 상기 백라이트로 가열된 공기를 상기 배면측으로 배출하는 팬을 구비하고, 상기 공기통로가 상기 공기흡입구에 연통되어 해당 공기흡입구로부터 흡입된 공기를 배면측으로 배출함과 동시에, 상기 팬이 상기 광원수납실 또는 상기 공기통로의 어느쪽이든 한쪽 또는 양쪽에 설치되고 상기 광원수납실내의 공기를 빨 아들여 상기 공기 통로로부터 배면측으로 배출해서 상기 광원을 냉각하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 광원수납실의 상기 배면판에 접해서 설치되고, 해당 배면판을 통해서 전달되는 상기 광원으로부터의 열을 비축하는 축열실을 구비하고, 해당 축열실에서 상기 광원으로부터의 열을 비축함과 동시에, 상기 팬에 의해서 상기 광원 주위의 가열된 공기를 상기 공기흡입구로부터 상기 축열실에 흡입하고 해당 축열실내의 공기와 함께 상기 공기통로로부터 배면측으로 배출하는 것이 바람직하다.

이하에, 본 발명의 실시형태에 관한 검사장치에 대해서, 첨부 도면을 참조하면서 설명한다. 도1은 본 발명의 실시형태에 관한 검사장치의 얼라이먼트 스테이지를 나타낸 도8의 I-I선 단면도, 도2는 본 발명의 실시형태에 관한 검사장치를 나타낸 정면도, 도3은 본 발명의 실시형태에 관한 검사장치를 나타낸 도2의 III-III선 단면도, 도4는 본 발명의 실시형태에 관한 검사장치의 백라이트를 나타낸 도5의 IV-IV선 단면도, 도5는 본 발명의 실시형태에 관한 검사장치의 백라이트를 나타낸 정면도, 도6은 본 발명의 실시형태에 관한 검사장치의 백라이트를 나타낸 측면도, 도7은 본 발명의 실시형태에 관한 검사장치의 얼라이먼트 스테이지를 나타낸 사시도, 도8은 본 발명의 실시형태에 관한 검사장치의 얼라이먼트 스테이지를 나타낸 정면도, 도9는 본 발명의 실시형태에 관한 검사장치의 얼라이먼트 스테이지를 나타낸 도8의 IX-IX선 단면도, 도10은 본 발명의 실시형태에 관한 검사장치의 얼라이먼트 스테이지를 나타낸 정면단면도, 도11은 본 발명의 실시형태에 관한 검사장치의 얼라이먼트 스테이지를 나타낸 평면도, 도12는 본 발명의 실시형태에 관한 검사장치의 얼라이먼트 스테이지를 나타낸 저면도이다.

본 실시형태에 관한 검사장치는 도2, 3에 나타낸 바와 같이 구성되어 있다. 이 검사장치(1)는 주로, 워크테이블(2)과 백라이트(3), 얼라이먼트 스테이지(4), 검사부(5), 프레임(6)으로 구성되어 있다.

워크테이블(2)은 검사대상판인 액정 패널(7)을 지지하기 위한 부재이다. 이 워크테이블(2)은 액정패널(7)을 지지하기 위한 지지대부(2A)를 구비하고 있다. 지지대부(2A)에는 확산판(2B)이 설치되어 있다. 액정 패널(7)은 이 확산판(2B)의 외측에 설치된다. 워크테이블(2)은 얼라이먼트 스테이지(4)에 설치되고, 이 얼라이먼트 스테이지(4)에서 XYZ방향 및 θ회전방향이 제어된다.

백라이트(3)는 워크테이블(2)에 지지된 액정 패널(7)을 뒤쪽으로부터 조명하기 위한 부재이다. 백라이트(3)는 도4에 나타낸 바와 같이 주로, 하우징(8), 램프(9), 그리고 팬(10)으로 구성되어 있다.

하우징(8)은 광원인 램프(9)를 수납하기 위한 부재이다. 이 하우징(8)은 광원수납실(12)과 축열실(13)로 구성되어 있다.

광원수납실(12)은 내부에 광원인 램프(9)가 수납되는 공간이다. 광원수납실(12)은 하우징(8) 내부를 배면판(15)으로 구분되어진 두개의 공간 안의 외측(도4의 상측)에 위치해서 설치되어 있다. 광원수납실(12)의 외측에는 개구부(16)가 설치되고, 램프(9)로부터의 빛이 이 개구부(16)로부터 액정 패널(7)의 배면을 조명하도록 되어 있다.

축열실(13)은, 램프(9)로부터의 열을 비축하는 공간이다. 축열실(13)은 광원수납실(12)의 배면판(15)에 접해서 서로 이웃한 상태로 설치되어 있다. 이들 광원수납실(12)과 축열실(13)은 배면판(15)으로 구분되어 있다. 배면판(15)은 열전도율이 높은 재료로 구성되며, 램프(9)의 열이 축열실(13)내부로 전달되기 쉽게 되어 있다. 즉, 램프(9)의 열이 배면판(15)을 가열하고 이 배면판(15)이 축열실(13)내의 공기를 가열해서 램프(9)의 열을 축열실(13)내에 비축하도록 되어 있다. 배면판(15)에는 공기흡입구(17)가 설치되고, 광원수납실(12)과 축열실(13)을 서로 연통하고 있다. 공기흡입구(17)는, 각 램프(9)의 배면에 각각 설치되어 각 램프(9) 주위의 가열된 공기를 효율적으로 축열실(13)내에 흡입하도록 되어 있다. 공기흡입구(17)는, 램프(9)에 맞춰서 가늘고 긴 구멍형태로 형성되어 있다.

램프(9)는 액정 패널(7)을 그 배면으로부터 조명하기 위한 광원이다. 램프(9)는 가는 원주상태의 형광관으로 구성되어 있다. 이 가는 원주상태의 램프(9)가 광원수납실(12)내부에 여러 개 늘어서 설치되어 있다. 램프(9)의 제어부(도시 생략)는 축열실(13)내에 설치되어 있다.

팬(10)은, 축열실(13)내의 공기를 외부로 배출하기 위한 팬이다. 이 팬(10)은 축열실(13)내의 배면판(18)에 여러 개 설치되어있다. 각 팬(10)은 통풍구멍(19)에 접해서 설치되어 있다. 이 팬(10)에 의해, 축열실(13)내의 가열된 공기가 외부로 배출됨과 동시에 공기흡입구(17)를 통해서 램프(9) 주위의 가열된 공기가 축열실(13)에 흡입되어 축열실(13)내의 공기와 함께 프레임(6)내에 배출되도록 되어 있다. 프레임(6)내의 공기는, 송풍관(duct, 도시 생략)을 통해서 건물의 외부로 배출 되거나 그대로 장치의 외부로 배출된다.

얼라이먼트 스테이지(4)(도3참조)는, 그 전면에서 워크테이블(2)과 백라이트(3)를 지지하여 검사대상판인 액정패널(7)의 위치 맞춤을 수행하는 부재이다. 이 얼라이먼트 스테이지(4)는 도1 및 도5-7에 나타낸 바와 같이, XYθ스테이지(4A)와, Z스테이지(4B)로 구성되어 있다. XYθ스테이지(4A)는, 액정패널(7)의 XY축 방향의 조정과 θ회전방향의 조정을 수행하는 부분이다. XYθ스테이지(4A)는 워크테이블(2)을 X축 방향과 Y축 방향으로 이동시키는 이동기구(도시 생략)와, 워크테이블(2)을 회전시키는 회전기구(도시 생략)를 구비하여 구성되어 있다. XYθ스테이지(4A)는 스테이지설치베이스(20)에, 상기 이동기구 및 회전 기구를 통해서 지지되고 있다.

Z스테이지(4B)는 워크테이블(2)을 Z축 방향으로 이동시키기 위한 부재이다. Z스테이지(4B)는 XYθ스테이지(4A)에 지지된 상태이고 워크테이블(2) 및 백라이트(3)를 직접 지지하고 있다. 이에 따라, XYθ스테이지(4A)와 Z스테이지(4B)가 협동하여 워크테이블(2)을 XYZ방향으로 이동시키고, θ방향으로 회전시킨다. Z스테이지(4B)는 고정판부(23), 레일(24), 가이드(25), 슬라이드 하우징부(26)와 구동부(27)로 구성되어 있다.

고정판부(23)는 슬라이드 하우징부(26)를 그 양측 사이에 끼우도록 배설되며, XYθ스테이지(4A)에 고정되어 있다. 이에 따라, 고정판부(23)는 XYθ스테이지(4A)에 의해서 XY축 방향으로 이동되고, θ방향으로 회전된다.

레일(24)은, 슬라이드 하우징부(26)를 Z축 방향으로 슬라이드 시키기 위한 부재이다. 레일(24)은, 각 고정부재(23)의 내측면에 Z축 방향을 향해서 설치되어 있다.

가이드(25)는, 레일(24)에 감합해서 슬라이드 하우징부 (26)의 Z축 방향 슬라이드를 안내하기 위한 부재이다. 가이드(25)는 슬라이드 하우징부(26)의 측면에 고정된 상태로 레일(24)에 슬라이드가 가능하도록 감합되어 있다.

슬라이드 하우징부(26)는 워크테이블(2) 및 백라이트(3)를 지지하여 Z축 방향으로 슬라이드 시키기 위한 부재이다. 슬라이드 하우징부(26)는, 고정판부(23)에 대해 슬라이드가 가능하도록 지지되어 있다. 구체적으로는 슬라이드 하우징부(26)에 가이드(25)가 고정되어 레일(24)과 가이드(25)를 통해서 고정판부(23)에 슬라이드 가능하도록 지지되어 있다. 슬라이드 하우징부(26)의 중앙부에는 구동부(27)가 설치되어 있다. 슬라이드 하우징부(26)의 양측에는 공기흡입구(19)로부터 흡입된 공기를 안내해서 배출하는 공기통로(28)가 설치되어 있다. 이 공기통로(28)는 지금까지 사용되지 않은 슬라이드 하우징부(26)의 양측 공간을 이용해서 형성되어 있다. 슬라이드 하우징부(26)의 양측 공간의 전면측(백라이트 3측)에 연통공(28A)을 설치하고, 배면측에도 연통공(28B)을 설치하여 공기통로(28)가 형성되어 있다. 연통공(28A)은, 공기흡입구(19)에 접해서 설치되어 있다. 연통공(28B)에는 팬(29)이 설치되고, 공기통로(28)내의 공기를 외부로 배출하도록 되어 있다.

구동부(27)는 슬라이드 하우징부(26)를 Z축 방향으로 이동시키기 위한 부재이다. 구동부(27)는 주로 Z축 모터(31)와 볼나사(32)와, 너트(33)로 구성되어 있다.

Z축 모터(31)는, 고정판부(23)의 횡판부(23A)에 고정되어 볼나사(32)를 회전시킨다. 볼나사(32)는 Z축 모터(31)의 회전축과 일체화되고, 고정판부(23)측의 횡판부(23A)에 커플링(coupling)(34)에 의해 회전가능 하도록 지지되어 있다. 너트(33)는 슬라이드 하우징부(26)를 Z축 방향으로 이동시키기 위한 부재이다. 너트(33)는 볼나사(32)에 끼워져서 설치되어 있으며, 너트(33)는 슬라이드 하우징부(26)에 고정되어 있다. 이에 따라, 볼나사(32)가 회전하면 너트(33)는 회전하지 않고, 볼나사(32)를 따라 Z축 방향으로 이동하여 슬라이드 하우징부(26)를 Z축 방향으로 이동시킨다.

슬라이드 하우징부(26)에는, 백라이트 설치 베이스(35)가 장치되어 있다. 이 백라이트 설치 베이스(35)의 주위에는 다수의 지주(支柱)(36)가 설치되어 있다. 지주(36)의 상측에는 워크테이블 베이스(37)가 장치되어 있으며, 이 워크테이블 베이스(37)에 워크테이블(2)이 설치된다. 백라이트(3)는 백라이트 설치 베이스(35)와 지주(36)와 워크테이블 베이스(37)로 둘러싸인 공간에 장착된 상태이며, 백라이트 설치 베이스(35)에 고정되어 있다. 백라이트 설치 베이스(35)에는 공기흡입구(19) 및 연통공(28A)에 대향하는 위치에 연통공(35A)이 각각 설치되어 있다. 이 연통공(35A), 공기흡입구(19) 및 연통공(28A)으로 백라이트(3)의 축열실(13)과 공기통로(28)가 서로 연통되어 있다. 이에 따라, 팬(10, 29)으로 축열실(13)내의 공기를 공기통로(28)에 흡입하고 연통공(28B)으로부터 외부로 배출하게 되어 있다.

검사부(5)는 액정 패널(7)에 검사용 신호를 보내서 표시상태를 검사하기 위한 부재이다. 검사부(5)는 주로 프로브 유닛(41)에 의해 구성되어 있다. 프로브 유 닛(41)은, 도2, 3에 나타낸 바와 같이 주로 프로브 베이스(42)와 프로브 블록(43), 카메라(44), 프로브 스테이지(45)로 구성되어 있다.

프로브베이스(42)는 프로브 블록(43) 및 카메라(44)를 지지하기 위한 부재이다. 프로브 베이스(42)는, 워크테이블(2)에 설치된 액정 패널(7)에 바람직한 상태로 프로브 스테이지(45)를 통해서 프레임(6)에 고정되어 있다. 프로브 블록(43)은, 그 선단의 프로브 침(도시 생략)이 액정패널(7)에 바람직한 상태로 프로브 베이스(42)에 고정되어 있다. 카메라(44)는, 액정 패널(7)에 설치된 마크를 보면서 액정 패널(7)의 위치 맞춤을 하기 위한 카메라이다. 여기에서는 카메라(44)를 3대 설치하고 있으나, 2대인 경우도 있다. 프로브 스테이지(45)는 프레임(6)에 고정된 상태로 프로브 베이스(42)를 지지하고 있다.

프레임(6)은, 워크테이블(2), 백라이트(3), 얼라이먼트 스테이지(4) 및 검사부(5) 등을 지지하기 위한 외각이다. 백라이트(3) 등의 배치 방법에 따라서 전체의 구성이 짜여진다.

상술한 바와 같이 구성된 검사장치는 다음과 같이 작동한다.

우선, 검사장치(1)가 들어올려져서, 백라이트(3)가 점등 된다. 이어서, 액정 패널(7)이 워크테이블(2)에 자동적으로 또는 수동으로 반송된다. 다음으로, 얼라이먼트 스테이지(4)에서 액정 패널(7)이 위치 맞춤되어, 액정 패널(7)의 전극(도시 생략)이 프로브 블록(43)의 프로브 침에 접촉된다. 그리고 나서, 액정 패널(7)이 백라이트(3)에 의해 배후로부터 조명된 상태에서 검사신호가 보내져서 점등시험이 행해진다. 이 때, 얼라이먼트 스테이지(4) 내에서는 팬 (10, 29)이 작동되어 있다.

백라이트(3)의 광원수납실(12)내에서는 램프(9)의 발광에 수반하여 열이 발생한다. 그리고, 검사시간의 경과에 따라서 주위가 가열되어 간다. 이에 따라, 광원수납실(12)내부가 가열되고, 워크테이블(2)에 설치된 액정 패널(7)도 가열된다.

한편, 램프(9)에서 발생되는 열은, 액정 패널(7)측으로 전해짐과 동시에 배면판(15)측에도 전해진다. 배면판(15)에 전해진 열은 축열실(13)내의 공기를 가열한다.

이 때, 팬(10, 29)의 작동에 의해서, 축열실(13)내의 공기는 공기통로(28)를 통해서 외부로 배출되고 있다. 더욱이, 축열실(13)내의 공기의 배출에 수반해서, 배면판(15)의 공기흡입구(17)로부터 램프(9) 주위의 가열된 공기가 흡입된다. 그리고, 공기통로(28)로부터 외부에 배출된다. 클린룸 등에서는 프레임(6)으로부터 클린룸 외부 까지 송풍관(duct)을 설치해서 클린룸 외부로 열을 배출하게도 된다.

이에 따라, 램프(9)에 의해 직접 가열된 램프(9) 주위의 공기를 외부로 배출함과 동시에 배면판(15)으로부터 축열실(13)에 전해진 열 또한 동시에 외부로 배출하므로, 램프(9) 주위의 가열을 최소한으로 억제할 수 있다.

이 결과, 검사장치의 대형화에 따라서 대량으로 발생하는 열을 효율적으로 냉각해서, 액정 패널(7)이 열팽창하는 것을 방지하여 접촉 불량 등을 해소하고, 측정정도의 향상, 검사장치(1)에 대한 신뢰성의 향상을 달성할 수 있다.

상기 실시형태에서는, 배면판(15)을 평면판 상태로 형성했으나, 열전도율을 향상시키기 위해, 배면판(15)의 양측면 또는 한쪽 면에 방열핀을 설치해도 좋다. 램프(9)측에 설치하는 방열핀은 램프(9)가 발하는 열을 흡수하고, 축열실(13)측에 설치한 방열핀은 축열실(13)내의 공기 중에 열을 방출해서 공기를 가열한다. 이에 따라, 보다 효율적으로 램프(9)가 발하는 열을 외부로 배제할 수가 있다. 이 때, 방열핀은 축열실(13)내의 전면에 설치해도 좋다.

상기 실시형태에서는 워크테이블(2)을 기울어지게 한 검사장치를 예로 설명했으나, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 워크테이블(2)을 세로로 한 검사장치, 워크테이블(2)을 가로로 한 검사장치에도 적용할 수 있다. 이를 통해서도, 상기 실시형태와 같은 작용, 효과를 볼 수 있다.

본 발명에 의하면, 상기 공기통로에 의해, 상기 백라이트로 가열된 공기가 배면 측으로 배출되어, 상기 검사대상판이 가열되는 것을 방지하므로, 검사대상판의 열팽창에 의한 프로브 침과의 접촉 불량 등의 열에 의한 문제를 해소할 수 있는 발명의 효과를 갖는다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.

Claims

검사대상판을 지지하는 워크테이블과 해당 워크테이블에 지지된 검사대상판을 뒤쪽으로부터 조명하는 백라이트와, 이들 워크테이블과 백라이트를 지지해서 상기 검사대상판의 위치 맞춤을 수행하는 얼라이먼트 스테이지를 구비한 검사장치에서, 상기 얼라이먼트 스테이지 내에 그 전면측에서 배면측까지 관통해서 설치되고 상기 백라이트로 가열된 공기를 배면측으로 배출하는 공기통로를 구비한 것을 특징으로 하는 검사장치.
제1항에 있어서, 상기 공기통로에, 상기 백라이트로 가열된 공기를 상기 배면측으로 배출하는 팬을 구비한 것을 특징으로 하는 검사장치.
제2항에 있어서, 상기 팬이, 상기 얼라이먼트 스테이지의 배면측에 설치되어진 것을 특징으로 하는 검사장치.
제1항에 있어서, 상기 백라이트의 광원을 수납한 광원수납실과, 해당 광원수납실의 배면에 설치된 공기흡입구와, 상기 백라이트로 가열된 공기를 상기 배면측 으로 배출하는 팬을 구비하고, 상기 공기통로가 상기 공기흡입구에 연통되어 해당 공기흡입구로부터 흡입된 공기를 배면측으로 배출함과 동시에, 상기 팬이 상기 광원수납실 또는 상기 공기통로의 어느 쪽이든 한 쪽 또는 양쪽에 설치되고 상기 광원수납실내의 공기를 흡입하여 상기 공기통로로부터 배면측으로 배출하여 상기 광원을 냉각하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
제4항에 있어서, 상기 광원수납실의 상기 배면판에 접해서 설치되며, 해당 배면판을 통해서 전달되는 상기 광원으로부터의 열을 비축하는 축열실을 구비하고, 해당 축열실에서 상기 광원으로부터의 열을 비축함과 동시에, 상기 팬에 의해 상기 광원 주위의 가열된 공기를, 상기 공기흡입구로부터 상기 축열실로 흡입하여 해당 축열실내의 공기와 함께, 상기 공기통로로부터 배면측으로 배출하는 것을 특징으로 하는 검사장치.