1296717 ⑴ 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關將檢查對象板支撐在工件台 利用背光予以照明來檢查的檢查裝置。 【先前技術】 一般據知有從背面照明液晶基板等之檢查 # 行檢查的檢查裝置。在此種檢查裝置中，將檢 撐在工件台，從該檢查對象板的背面利用背光 行試驗。 在此種檢查裝置中，到目前爲止，因裝置 對象板也不大，背光的亮度也不高，因此未特 熱的對策，背光所發的熱並不成問題。 【發明內容】 〔發明欲解決的課題〕 可是，在上述之習知檢查裝置中，當裝置 未採用上述背光所發的熱對策也不成問題，但 型化，背光所發的熱也很大，因該發熱產生問 在應用於大畫面的液晶電視所使用的液晶基板 中，背光自體大型化，並且其亮度也有必要 果，因上述背光所發的熱會讓液晶基板發熱膨 的間距與探針的間距錯移引起接觸不良。 並由其背面 對象板來進 查對象板支 來照明，進 小型，檢查 別採取針對 小型時，連 如果裝置大 題。例如， 的檢查裝Μ 提高。其結 膜’且電極 -5- (2) 1296717 本發明是有關鑑於此種問題點的 供一解決隨著裝置大型化而來的發熱 〔用以解決課題的手段〕 有關本發明的檢查裝置，是在具 象板的工件台；和從背面照明被支撐 象板的背光；和用來支撐該些工件台 • 查對象板之定位的對準台的檢查裝置 述對準台內從其前面側貫通到背面側 上述背光被加熱的空氣朝向背面側予 藉由上述空氣通路，將因上述背 背面側排出，防止上述檢查對象板被 希望在上述空氣通路，具備將因 氣朝向上述背面側予以排出的送風機 希望上述送風機是設置在上述對 • 希望具備：收納上述背光之光源 置在該光源收納室之背面的空氣取入 被加熱的空氣朝向上述背面側予以排 氣通路是連通至上述空氣取入口並將 入的空氣朝向背面側予以排出，並且 上述光源收納室或是上述空氣通路的 出上述光源收納室內的空氣，並從上 側予以排出來冷卻上述光源。 並希望面對上述光源收納室的上 發明，其目的在於提 問題的檢查裝置。 有：用來支撐檢查對 在該工件台的檢查對 與背光並進行上述檢 中，其特徵爲：在上 而設置，且具備將因 以排出的空氣通路。 光被加熱的空氣朝向 加熱。 上述背光被加熱的空 〇 準台的背面側。 的光源收納室；和設 口；和將因上述背光 出的送風機；上述空 從該空氣取入口所取 上述送風機是設置在 任一方或兩方，且引 述空氣通路朝向背面 述背面板而設置，且 -6 - (3) 1296717 具備貯存來自於透過該背面板所傳遞的上述光源之加熱的 貯熱室；在該貯熱室貯存來自於上述光源的加熱，並且藉 由上述送風機將上述光源周圍被加熱的空氣從上述空氣取 入口吸入到上述貯熱室而與該貯熱室內的空氣一起從上述 空氣通路朝向背面側予以排出。 〔發明效果〕 # 如上，若根據本發明，可達到如下的效果。 藉由上述空氣通路，將因上述背光被加熱的空氣朝向 背面側排出，防止上述檢查對象板被加熱的緣故，因此能 解決藉由檢查對象板之熱膨脹與探針之接觸不良等因熱引 起的問題。 【實施方式】 〔用以實施發明的最佳形態〕 • 以下針對有關本發明之實施形態的檢查裝置，一邊參 照所附圖面一邊做說明。 第1圖是表示有關本發明之實施形態的檢查裝置之對 準台的第8圖之I 一 I線端剖面圖、第2圖是表示有關本發 明之實施形態的檢查裝置的正面圖，第3圖是表示有關本 發明之實施形態的檢查裝置的第2圖之III - III線端剖面 圖，第4圖是表示有關本發明之實施形態的檢查裝置之背 光的第5圖之IV — IV線端剖面圖，第5圖是表示有關本 發明之實施形態的檢查裝置之背光的正面圖，第6圖是表 (4) (4)1296717 示有關本發明之實施形態的檢查裝置之背光的側面圖，第 7圖是表示有關本發明之實施形態的檢查裝置之對準台的 立體圖，第8圖是表示有關本發明之實施形態的檢查裝置 之對準台的正面圖，第9圖是表示有關本發明之實施形態 的檢查裝置之對準台的第8圖之IX - IX線端剖面圖，第 1 〇圖是表示有關本發明之實施形態的檢查裝置之對準台的 正面剖面圖，第1 1圖是表示有關本發明之實施形態的檢 查裝置之對準台的平面圖，第12圖是表示有關本發明之 實施形態的檢查裝置之對準台的底面圖。 有關本實施形態的檢查裝置是如第2圖、第3圖所示 的被構成。該檢查裝置1主要是由：工件台2、背光3、 對準台4、檢查部5和框架6所構成。 工件台2是用來支撐檢查對象板之液晶面板7的構 件。該工件台2具備用來支撐液晶面板7的支撐台部 2A。在支撐台部2A安裝有擴散板2B。液晶面板7是載置 在該擴散板2B的外側。工件台2是安裝在對準台4，且 利用該對準台4控制XYZ方向及Θ旋轉方向。 背光3是爲了從背面照明被支撐在工件台2的液晶面 板7的構件。背光3是如第4圖所示主要由：筐體8、燈 9和送風機1 0所構成。 筐體8是用來收納光源之燈9的構件。該筐體8是 由：光源收納室1 2和貯熱室1 3所構成。 光源收納室12是爲在內部收納有光源之燈9的空 間。光源收納室12是設在位於以背面板1 5隔開筐體8內 (5) 1296717 的兩個空間中的外側（第4圖中的上側）。在光源收納室 1 2的外側設有開口部1 6，且來自燈9的光會從該開口部 1 6來照明液晶面板7的背面。 貯熱室1 3是爲貯存來自燈9之熱的空間。貯熱室1 3 是在面對光源收納室1 2之背面板1 5而相鄰的狀態被設 置。該些光源收納室12與貯熱室13是利用背面板15被 隔間。背面板1 5是利用熱傳導率高的材料所構成，燈9 φ 的熱易於朝向貯熱室13內傳達。即，燈9之熱會加熱背 面板1 5，該背面板1 5會加熱貯熱室13內的空氣，並將燈 9之熱貯存在貯熱室1 3內。在背面板1 5設有空氣取入口 1 7，且將光源收納室1 2與貯熱室1 3互相連通。空氣取入 口 1 7是分別設置在各燈9的背面，並將各燈9周圍被加 熱的空氣有效率的吸入到貯熱室1 3內。空氣取入口 1 7是 配合燈9形成細長的孔狀。 燈9是爲用來從其背面照明液晶面板7的光源。燈9 • 是利用細圓柱狀的螢光管所構成。該細圓柱狀的燈9，是 複數根並列設置在光源收納室12內。燈9的控制部（圖 未表示）是設置在貯熱室13內。 送風機1 0是爲了將貯熱室1 3內的空氣排出到外部的 送風機。該送風機10是複數個設置在貯熱室13內的背面 板18。各送風機1〇是面對通風孔19而設置。藉由該送風 機1 〇，將貯熱室1 3內被加熱的空氣排出到外部，並且透 過空氣取入口 1 7將燈9周圍被加熱的空氣吸入到貯熱室 1 3而與貯熱室1 3內的空氣一起排出到框架6內。框架6 -9- 1296717 (6) 內的空氣會透過槽（圖未表示）被排出到建物的外部，或 就這樣排出到裝置外部。 對準台4(參照第3圖）是爲在其前面用來支撐工件 台2與背光3，進行檢查對象板之液晶面板7之定位的構 件。該對準台4是如第1圖及第5圖〜第7圖所示，由： ΧΥΘ台4A和Z台4B所構成。ΧΥΘ台4A是爲進行液晶面 板7之X Y軸方向的調整與Θ旋轉方向的調整的部分。 # ΧΥΘ台4A是具備：使工件台2朝向X軸方向與Y軸方向 移動的移動機構（圖未表示）；和使工件台2旋轉的旋轉 機構（圖未表示）所構成。ΧΥΘ台4A是透過上述移動機 構及旋轉機構支撐在台安裝基座2 0。
z台4B是爲了使工件台2朝向Z軸方向移動的構 件。Z台4B是在支撐於χγθ台4A的狀態直接支撐工件 台2及背光3。藉此，與ΧΥΘ台4A和Z台4B偕同動作 而使工件台2朝向XYZ方向移動，使其在Θ方向旋轉。Z • 台4B是由··固定板部23、軌道24、導塊25、滑動筐體 部26和驅動部27所構成。 固定板部23是以從其兩側挾持滑動筐體部26的方式 被配設，固定在ΧΥΘ台4A。藉此，固定板部23是藉由 ΧΥΘ台4A朝向X γ軸方向移動，且於θ方向旋轉。 軌道24是爲了使滑動筐體部26朝向Z軸方向滑動的 構件。軌道24是朝向Z軸方向安裝在各固定板部23的內 側面。 導塊25是嵌合在軌道24來用引導滑動筐體部26朝 -10- (7) 1296717 Z軸方向滑動的構件。導塊2 5是在固定於滑動筐體部2 6 之側面的狀態，可滑動的嵌合在軌道24。 滑動筐體部26是支撐工件台2及背光3而使其朝向 Z軸方向滑動的構件。滑動筐體部26是對固定板部23可 滑動的被支撐。具體上是在滑動筐體部26固定有導塊 25，並透過軌道24與導塊25而能滑動的支撐在固定板部 23。在滑動筐體部26的中央部，設有驅動部27。在滑動 • 筐體部26的兩側，設有引導從空氣取入口 1 9所取入的空 氣予以排出的空氣通路28。該空氣通路28是利用目前未 使用的滑動筐體部26之兩側的空間所形成。在滑動筐體 部26之兩側的空間的前面側（背光3側）設置連通孔 28A，在背面側也設置連通孔 28B，並形成有空氣通路 28。連通孔28 A是面對空氣取入口 19而設置。在連通孔 28B設有送風機29，將空氣通路28內的空氣排出到外 部。 # 驅動部27是使滑動筐體部26朝向Z軸方向移動的構 件。驅動部2 7主要是由：z軸馬達3 1、螺桿3 2和螺帽 3 3所構成。 Z軸馬達31是固定在固定板部23的橫板部23A使螺 桿32旋轉。螺桿32是與Z軸馬達31的旋轉軸形成一 體，且藉由管接頭3 4可旋轉的支撐在固定板部2 3側的橫 板部23A。螺帽33是使滑動筐體部26朝向Z軸方向移動 的構件。螺帽33是螺合到螺桿32而設置。進而，螺帽33 是固定在滑動筐體部2 6 §。藉此，如果螺桿3 2旋轉，螺 -11 - (8) 1296717 帽3 3不旋轉，沿著螺桿3 2朝向Z軸方向移動，使滑動筐 體部26朝向Z軸方向移動。 在滑動筐體部26安裝有背光安裝基座35。在該背光 安裝基座3 5的周圍設有多數個支柱3 6。在支柱3 6的上側 安裝有工件台基座37。在該工件台基座37安裝有工件台 2。背光3是在安裝於利用背光安裝基座35、支柱36以及 工件台基座3 7所圍住的空間的狀態，固定在背光安裝基 # 座35。在背光安裝基座35，是在相對向於空氣取入口 19 及連通孔2 8 A的位置分別設有連通孔3 5 A。利用該連通孔 35A、空氣取入口 19及連通孔28A，讓背光3的貯熱室 13與空氣通路28互相連通。藉此，利用送風機1〇、29， 將貯熱室1 3內的空氣吸入到空氣通路2 8而從連通孔2 8 B 排出到外部。 檢查部5是對液晶面板7流入檢查用的訊號而用來檢 查顯示狀態的構件。檢查部5主要是藉由探針單元41所 • 構成。探針單元41是如第2圖、第3圖所示，主要是 由：探針基座42、探測塊43、照相機44和探針台45所 構成。 探針基座42是用來支撐探測塊43及照相機44的構 件。探針基座4 2是在望向載置在工件台2的液晶面板7 的狀態，透過探針台45固定在框架6。探測塊43是在前 端的探針（圖未表示）望向液晶面板7的狀態，固定在探 針基座42。照相機44是一邊觀看設置在液晶面板7的記 號一邊進行液晶面板7之定位的照相機。在此，雖設置三 -12- 1296717 (9) 台照相機4 4 ’但也有兩台的情形。探針台4 5是在固定於 框架6的狀態，用來支撐探針基座42。 框架6是用來支撐工件台2、背光3、對準台4及檢 查部5等的外殼。應對背光3等的配置方式組裝全體構 成。 〔動作〕 • 如上所構成的檢查裝置，乃如下予以動作。 首先，昇高檢查裝置1，背光3亮燈。其次，液晶面 板7以自動或手動搬送到工件台2。其次，利用對準台4 讓液晶面板7定位，並將液晶面板7的電極（圖未表示） 接觸到探測塊4 3的探針。其次，液晶面板7是在利用背 光3從背後照明的狀態，流入檢查訊號進行亮燈試驗。此 時，在對準台4內，使送風機10、29作動。 在背光3的光源收納室12內，隨著燈9之發光來發 • 生加熱。而且，隨著檢查時間的經過而將周圍加熱。藉此 光源收納室1 2內被加熱，且載置在工件台2的液晶面板7 也被加熱。 另一方面，因燈9所發生的熱，會朝向液晶面板7側 傳遞，並且也會朝向背面板1 5側傳遞。傳遞到背面板1 5 的熱會將貯熱室1 3內的空氣加熱。 此時，藉由送風機1 〇、29的作動，貯熱室1 3內的空 氣，會通過空氣通路2 8排出到外部。進而，隨著貯熱室 1 3內的空氣排出，從背面板1 5的空氣取入口 1 7吸入燈9 -13- (10) 1296717 周圍被加熱的空氣。並且，從空氣通路2 8排出到外部。 在潔淨室等中，從框架6至潔淨室外設置槽，將熱排出到 潔淨室外。 藉此，將因燈9被直接加熱的燈9之周圍的空氣排出 到外部，並且從背面板1 5傳遞到貯熱室1 3的熱也同時排 出到外部的緣故，可將燈9之周圍的加熱抑制在最小限。 此結果，有效率的冷卻隨著檢查裝置大型化發生大量 φ 的熱，防液晶面板7產生熱膨脹，解決接觸不良等，就能 達到測定精度的提昇、對檢查裝置1之可靠性的提昇。 〔變形例〕 在上述實施形態中，雖是將背面板1 5形形平面板 狀，但爲了提昇熱傳導率，也可在背面板15的兩側面或 是一側面設置散熱片。設置在燈9側的散熱片會吸收燈9 所發出的熱，設置在貯熱室1 3側的散熱片是將熱放出到 # 貯熱室1 3內的空氣中將空氣加熱。藉此，就能更有效率 的將燈9所發出的熱排除到外部。此時，散熱片也可設置 在貯熱室1 3內的前面。 在上述實施形態中’雖是舉例說明傾斜工件台2的檢 查裝置，但本發明並不限於此，也適用於工件台2爲縱的 檢查裝置、工件台2爲橫的檢查裝置。連這個也可達到上 述實施形態同樣的作用、效果。 【圖式簡單說明】 -14- (11) 1296717 〔第1圖〕表示有關本發明之實施形態的檢查裝置之 對準台的第8圖之I-Ι線端剖面圖。 〔第2圖〕表示有關本發明之實施形態的檢查裝置之 正面圖。 〔第3圖〕表示有關本發明之實施形態的檢1裝置的 第2圖之III 一 III線端剖面圖。 〔第4圖〕表示有關本發明之實施形態的檢查裝置之 φ 背光的第5圖之IV - IV線端剖面圖。 〔第5圖〕表示有關本發明之實施形態的檢查裝置之 背光的正面圖。 〔第6圖〕表示有關本發明之實施形態的檢查裝置之 背光的側面圖。 〔第7圖〕表示有關本發明之實施形態的檢查裝置之 對準台的立體圖。 〔第8圖〕表示有關本發明之實施形態的檢查裝置之 # 對準台的正面圖。 〔第9圖〕表示有關本發明之實施形態的檢查裝置之 對準台的第8圖之I X — I X線端剖面圖。 〔第1 0圖〕表示有關本發明之實施形態的檢查裝置 之對準台的正面剖面圖。 〔第1 1圖〕表示有關本發明之實施形態的檢查裝置 之對準台的平面圖。 〔第1 2圖〕表示有關本發明之實施形態的檢查裝置 之對準台的底面圖。 -15- (12) 1296717 【主要元件符號說明】 1 :檢查裝置、2:工件台、2A:支撐台部、2B : 板、3 :背光、4 :對準台、4A : X ΥΘ台、4B : Z台、 檢查部、6 :框架、7 :液晶面板、8 :筐體、9 :燈、 送風機、12 :光源收納室、1 3 :貯熱室、1 5 :背面 16 :開口部、1 7 :空氣取入口、1 8 :背面板、19 :空 φ 入口、20:台安裝基座、21、23:固定筐體部、23A 板部、24 :軌道、25 :導塊、26 :滑動筐體部、27 : 部、28 :空氣通路、28A、28B :連通孔、29 :送風 3 1 : Z軸馬達、3 2 :螺桿、3 3 :螺帽、3 5 :背光安 座、35A:連通孔、36 :支柱、37 :工件台基座、41 針單元、42 :探針基座、43 :探測塊、44 :照相機、 探針台。 擴散 5 ： 10 ： 板、 氣取 :橫 驅動 機、 裝基 :探 45 ：
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