JP2006113288A - 液晶パネルの外観検査装置及び外観検査方法 - Google Patents
液晶パネルの外観検査装置及び外観検査方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】液晶パネルを撮影するときの照明条件は,3種類の照明装置の点灯状態と消灯状態を組み合わせたものである。照明1は同軸照明装置だけを点灯する。照明2は斜光照明装置だけを点灯する。照明3はバックライト装置だけを点灯する。照明4は斜光照明装置とバックライト装置を点灯する。これらの照明条件を用いて,さまざまな外観検査項目について液晶パネルの画像を取得して,その良否を判定する。
【選択図】図19
Description
12 プリアライメント部
14 検査部
16 搬送装置
32 搬送アーム
34 吸着パッド
36 液晶パネル
62 反射ミラー
84 バックライト装置
86 検査台
88 同軸照明装置
90 斜光照明装置
92 照明ボックス
94 シャッター
96 ハーフミラー
98 撮像装置
104 斜光ランプ
Claims (3)
- 次の構成を備える液晶パネルの外観検査装置。
(ア)矩形の液晶パネルを検査位置で支持する検査台。
(イ)前記検査位置にある液晶パネルを,前記液晶パネルの法線に平行な方向から撮像する撮像装置。
(ウ)前記撮像装置の撮像方向に実質的に平行な方向から前記検査位置にある液晶パネルに光を照射する同軸照明装置。
(エ)前記撮像方向に対して傾斜した四つの方向であって前記液晶パネルの四つの辺に対応する四つの方向から,前記検査位置にある液晶パネルに光を照射する斜光照明装置。
(オ)前記検査位置にある液晶パネルにその背面から光を照射するバックライト装置。
(カ)前記検査位置にある液晶パネルの四つの側面に対向して配置された四つの反射ミラーであって,前記側面からの光を前記撮像装置の方向に反射する反射ミラー。
(キ)前記同軸照明装置による光照射だけを利用して前記撮像装置で前記液晶パネルを撮影する第1撮影制御手段。
(ク)前記斜光照明装置による光照射だけを利用して前記撮像装置で前記液晶パネルを撮影する第2撮影制御手段。
(ケ)前記バックライト装置による光照射だけを利用して前記撮像装置で前記液晶パネルを撮影する第3撮影制御手段。
(コ)前記同軸照明装置,前記斜光照明装置及び前記バックライト装置の少なくとも二つによる光照射を利用して前記撮像装置で前記液晶パネルを撮影する第4撮影制御手段。
(サ)前記第1撮影制御手段,前記第2撮影制御手段,前記第3撮影制御手段及び前記第4撮影制御手段で取得した映像に基づいて前記液晶パネルの良否を判定する判定手段。 - 請求項1に記載の液晶パネルの外観検査装置において,前記第4撮影制御手段は,前記斜光照明装置と前記バックライト装置による光照射を利用して,前記撮像装置で前記液晶パネルを撮影することを特徴とする液晶パネルの外観検査装置。
- 次の段階を備える液晶パネルの外観検査方法。
(ア)次のA乃至Fを備える検査装置を準備する段階。
A 矩形の液晶パネルを検査位置で支持する検査台。
B 前記検査位置にある液晶パネルを前記液晶パネルの法線に平行な方向から撮像する撮像装置。
C 前記撮像装置の撮像方向に実質的に平行な方向から前記検査位置にある液晶パネルに光を照射する同軸照明装置。
D 前記撮像方向に対して傾斜した四つの方向であって前記液晶パネルの四つの辺に対応する四つの方向から,前記検査位置にある液晶パネルに光を照射する斜光照明装置。
E 前記検査位置にある液晶パネルにその背面から光を照射するバックライト装置。
F 前記検査位置にある液晶パネルの四つの側面に対向して配置された四つの反射ミラーであって,前記側面からの光を前記撮像装置の方向に反射する反射ミラー。
(イ)前記液晶パネルを前記検査位置で支持する段階。
(ウ)前記同軸照明装置による光照射だけを利用して前記撮像装置で前記液晶パネルを撮影する第1撮影段階。
(エ)前記斜光照明装置による光照射だけを利用して前記撮像装置で前記液晶パネルを撮影する第2撮影段階。
(オ)前記バックライト装置による光照射だけを利用して前記撮像装置で前記液晶パネルを撮影する第3撮影段階。
(カ)前記同軸照明装置,前記斜光照明装置及び前記バックライト装置の少なくとも二つによる光照射を利用して前記撮像装置で前記液晶パネルを撮影する第4撮影段階。
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