JP2021156808A - 検査装置 - Google Patents
検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021156808A JP2021156808A JP2020059464A JP2020059464A JP2021156808A JP 2021156808 A JP2021156808 A JP 2021156808A JP 2020059464 A JP2020059464 A JP 2020059464A JP 2020059464 A JP2020059464 A JP 2020059464A JP 2021156808 A JP2021156808 A JP 2021156808A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspected
- light emitter
- transport
- light
- transport path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 80
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 77
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 50
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims abstract description 16
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 102
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 24
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 18
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N2021/0106—General arrangement of respective parts
- G01N2021/0112—Apparatus in one mechanical, optical or electronic block
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
Description
設定された搬送方向に被検査物を搬送し、該被検査物の少なくとも前記搬送方向前端面又は後端面を被検査面として検査する検査装置であって、
前記搬送方向に沿って移動する透明なシート状の搬送シートを有し、該搬送シート上に載置された前記被検査物を前記搬送シートの移動によって前記搬送方向に搬送する搬送機構と、
前記搬送シートによって形成される搬送路上の所定の検査位置において、前記搬送シートを境として前記被検査物と同じ側に配設されて、前記被検査物の前記被検査面を照明する第1照明機構、及び前記被検査物とは反対側に配設されて、前記被検査物の前記被検査面を照明する第2照明機構と、
前記被検査物と同じ側に配設され、前記検査位置にある前記被検査物の前記被検査面を撮像する撮像カメラとを備え、
前記第1照明機構は、前記被検査物の被検査面を照明する複数の第1発光器、及び該複数の第1発光器を支持する第1支持体を備え、
前記第1支持体は、少なくとも、前記搬送路に近い第1発光器を、他の一群の第1発光器よりも前記検査位置から離隔した位置で支持するように構成されるとともに、離隔した第1発光器と他の一群の第1発光器との間に、前記検査位置とは反対側の背面から前記被検査物の被検査面を観察できる空間を備え、
前記撮像カメラは、前記第1支持体の前記背面側に配設され、前記第1支持体の空間を通して前記被検査物の被検査面を撮像するように構成され、
更に、前記第2照明機構は、前記搬送シートを挟んで面対称となる位置に配設されるとともに、前記被検査物の被検査面を照明する複数の第2発光器、及び該複数の第2発光器を支持する第2支持体を備えてなり、
前記第1照明機構の前記搬送路に近い第1発光器、及び第2照明機構の前記搬送路に近い第2発光器は、その1/2ビーム角が30°〜80°の範囲内の角度を有し、
前記第1照明機構の他の第1発光器、及び前記第2照明機構の他の第2発光器は、その1/2ビーム角が10°〜25°の範囲内の角度を有する検査装置に係る。
前記搬送機構2は、透明な硝子板から構成される円板状且つシート状をした搬送シートとしての回転テーブル3と、この回転テーブル3を矢示A方向に水平回転させる駆動モータ(図示せず)とを備えており、前端面Waが搬送方向に向くように回転テーブル3上に供給された被検査物Wを前記回転テーブル3の回転によって前記搬送方向に搬送する。尚、当然のことながら、回転テーブル3によって搬送される被検査物Wの搬送路は円弧状の経路となる。
前記撮像カメラ4は、被検査物Wの前端面Waの2次元画像を撮像するカメラであり、前記検査位置Pにおいて、その撮像光軸が、前記搬送経路の接線を含む垂直面内に位置し、且つ回転テーブル3の上面、即ち搬送路となす角度が10°〜35°の範囲の角度となるように配設されている。
図2〜図4に示すように、前記第1照明機構5は、第1A支持体6と、この第1A支持体6の前記搬送方向下流側の端面9に固設された第1B支持体13と、前記第1A支持体6に支持された第1A発光器としての複数のLED12と、前記第1B支持体13に支持された第1B発光器としての同じく複数のLED16とから構成され、前記検査位置Pより搬送方向下流側、且つ前記回転テーブル3の上方に配設される。
前記第2照明機構25は、前記第1照明機構5と同じ構成を備えるもので、前記回転テーブル3の下方に、前記第1照明機構5とは面対称の位置関係となるように配設されている。以下、重複した説明にはなるが、この第2照明機構25の構成について説明する。
2 搬送機構
3 回転テーブル
4 撮像カメラ
5 第1照明機構
6 第1支持体
12 第1B発光器
16 第1A発光器
25 第2照明機構
26 第2支持体
32 第2B発光器
36 第2A発光器
W 被検査物
W1 基体部
W2 電極部
Wa 被検査面
Claims (3)
- 設定された搬送方向に被検査物を搬送し、該被検査物の少なくとも前記搬送方向前端面又は後端面を被検査面として検査する検査装置であって、
前記搬送方向に沿って移動する透明なシート状の搬送シートを有し、該搬送シート上に載置された前記被検査物を前記搬送シートの移動によって前記搬送方向に搬送する搬送機構と、
前記搬送シートによって形成される搬送路上の所定の検査位置において、前記搬送シートを境として前記被検査物と同じ側に配設されて、前記被検査物の前記被検査面を照明する第1照明機構、及び前記被検査物とは反対側に配設されて、前記被検査物の前記被検査面を照明する第2照明機構と、
前記被検査物と同じ側に配設され、前記検査位置にある前記被検査物の前記被検査面を撮像する撮像カメラとを備え、
前記第1照明機構は、前記被検査物の被検査面を照明する複数の第1発光器、及び該複数の第1発光器を支持する第1支持体を備え、
前記第1支持体は、少なくとも、前記搬送路に近い第1発光器を、他の一群の第1発光器よりも前記検査位置から離隔した位置で支持するように構成されるとともに、離隔した第1発光器と他の一群の第1発光器との間に、前記検査位置とは反対側の背面から前記被検査物の被検査面を観察できる空間を備え、
前記撮像カメラは、前記第1支持体の前記背面側に配設され、前記第1支持体の空間を通して前記被検査物の被検査面を撮像するように構成され、
更に、前記第2照明機構は、前記搬送シートを挟んで面対称となる位置に配設されるとともに、前記被検査物の被検査面を照明する複数の第2発光器、及び該複数の第2発光器を支持する第2支持体を備えてなり、
前記第1照明機構の前記搬送路に近い第1発光器、及び第2照明機構の前記搬送路に近い第2発光器は、その1/2ビーム角が30°〜80°の範囲内の角度を有し、
前記第1照明機構の他の第1発光器、及び前記第2照明機構の他の第2発光器は、その1/2ビーム角が10°〜25°の範囲内の角度を有することを特徴とする検査装置。 - 前記撮像カメラは、その撮像光軸が、前記搬送路と直交する面内にあり、且つ前記搬送路と10°〜35°の範囲の角度で交差するように配設されるとともに、
前記第1照明機構の前記搬送路に近い第1発光器、及び第2照明機構の前記搬送路に近い第2発光器は、その照明光軸が、前記搬送路と3°〜20°の範囲の角度で交差するように配設されていることを特徴とする請求項1記載の検査装置。 - 前記第1照明機構の前記搬送路に近い第1発光器と、他の第1発光器と、第2照明機構の前記搬送路に近い第2発光器と、他の第2発光器とを別々に調光可能に構成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の検査装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020059464A JP2021156808A (ja) | 2020-03-30 | 2020-03-30 | 検査装置 |
TW110108569A TW202206804A (zh) | 2020-03-30 | 2021-03-10 | 檢查裝置 |
CN202110296494.2A CN113466260A (zh) | 2020-03-30 | 2021-03-19 | 检查装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020059464A JP2021156808A (ja) | 2020-03-30 | 2020-03-30 | 検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021156808A true JP2021156808A (ja) | 2021-10-07 |
Family
ID=77868576
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020059464A Pending JP2021156808A (ja) | 2020-03-30 | 2020-03-30 | 検査装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2021156808A (ja) |
CN (1) | CN113466260A (ja) |
TW (1) | TW202206804A (ja) |
-
2020
- 2020-03-30 JP JP2020059464A patent/JP2021156808A/ja active Pending
-
2021
- 2021-03-10 TW TW110108569A patent/TW202206804A/zh unknown
- 2021-03-19 CN CN202110296494.2A patent/CN113466260A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN113466260A (zh) | 2021-10-01 |
TW202206804A (zh) | 2022-02-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6042402B2 (ja) | 照明モジュール及びこれを用いる外観検査システム | |
JP4713279B2 (ja) | 照明装置及びこれを備えた外観検査装置 | |
CN107664645B (zh) | 照明单元、缺陷检查装置及照明方法 | |
TWI773032B (zh) | 一種拱形照明裝置、具有其之成像系統及成像方法 | |
JP4228778B2 (ja) | パターン検査装置 | |
JP2007322166A (ja) | プリント基板検査装置 | |
TWI747365B (zh) | 外觀檢查裝置 | |
JP7246938B2 (ja) | 検査装置 | |
US7551768B2 (en) | Image recognition apparatus and method for surface discrimination using reflected light | |
KR101124567B1 (ko) | 하이브리드 조명부를 포함하는 웨이퍼 검사 장치 | |
JP4592070B2 (ja) | 液晶パネルの外観検査装置及び外観検査方法 | |
JP2021156808A (ja) | 検査装置 | |
JP4392557B2 (ja) | 検査装置 | |
JP6067407B2 (ja) | 検査装置 | |
JP4818572B2 (ja) | 画像認識装置および画像認識方法 | |
JP4818571B2 (ja) | 画像認識装置および画像認識方法 | |
JPH0829138A (ja) | パターン検査装置及び方法 | |
KR20130035826A (ko) | 자동 외관 검사 장치 | |
JPH03137502A (ja) | 検査装置 | |
JP3135153U (ja) | 表面検査装置 | |
JPH03192800A (ja) | プリント基板の部品実装認識方法 | |
JPH11173822A (ja) | 電子部品外観撮像装置 | |
JP2021110551A (ja) | 基板エッジ検査装置 | |
KR20200119208A (ko) | 다이의 방향을 결정하기 위한 장치 | |
JP2020204470A (ja) | 照明装置及びこれを備えた外観検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230126 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20231120 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231212 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240209 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20240209 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240514 |