KR20040103499A - 박막 패턴의 제조 방법, 유기 전계 발광 소자의 제조방법, 컬러 필터의 제조 방법, 플라즈마 디스플레이패널의 제조 방법, 액정 표시 패널의 제조 방법 및 전자기기 - Google Patents
박막 패턴의 제조 방법, 유기 전계 발광 소자의 제조방법, 컬러 필터의 제조 방법, 플라즈마 디스플레이패널의 제조 방법, 액정 표시 패널의 제조 방법 및 전자기기 Download PDFInfo
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Abstract
액체방울 토출 방식을 이용해서 화소를 이루는 박막 패턴을 형성했을 때에, 이 박막 패턴에 스트라이프 얼룩이 생기는 것을 저감시킬 수 있고 또한 상기 스트라이프 얼룩을 분산시킬 수 있는 박막 패턴의 제조 방법, 유기 전계 발광 소자의 제조 방법, 컬러 필터의 제조 방법, 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법, 액정 표시 패널의 제조 방법 및 전자 기기를 제공한다.
장축 및 단축을 갖는 화소 영역(1)에, 액체방울 토출 방식으로 액상체 재료를 도포하는 액상체 도포 처리와, 액상체 도포 처리에서 액체방울 토출 장치의 노즐 헤드를 화소 영역(1)의 단축 방향(주사선 L1, L2, L3의 방향)으로 주사하고, 상기 주사 과정에서 상기 노즐 헤드에 구비되어 있는 잉크젯 노즐로부터 화소 영역(1)에 액체방울을 토출하는 단축 방향 토출 처리를 갖는 것을 특징으로 한다.
Description
본 발명은 액체방울 토출 방식을 이용한 박막 패턴의 제조 방법, 유기 전계(電界) 발광 소자의 제조 방법, 컬러 필터의 제조 방법, 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법, 액정 표시 패널의 제조 방법 및 전자 기기에 관한 것이다.
종래, 유기 전계 발광 소자를 이용한 표시 패널이 고안되어 있다. 유기 전계 발광 소자의 기본 구성은 형광성 유기 분자를 포함한 고체 박막(발광층)을 2매의 전극(음극과 양극)에 의해 끼운 것이다. 그 전극에 전압을 인가하면, 양극에서 정공이, 음극에서 전자가 발광층에 주입되고, 이 발광층으로부터 형광이 방출된다.
그런데, 발광층만으로 이루어지는 단층형(單層型) 구조 소자에서는 발광 효율이 낮고, 내구성에 문제가 있기 때문에, 양극과 발광층 사이에 밀착성이 좋은 정공 주입층(정공 주입 수송층)을 설치한 2층 구조형 소자가 제안되어 있다. 이 적층 구조를 채용함으로써, 캐리어의 주입/수송 밸런스 및 캐리어의 재결합 부위의 제어에 의해, 유기 전계 발광 소자의 발광 효율 및 내구성을 향상시킬 수 있다. 또한, 이 적층 구조에 의하면, 발광, 주입/수송 등의 기능을 개개의 재료에 분담시킬 수 있기 때문에, 재료 및 소자의 최적 설계가 가능하게 된다는 이점(利點)이 있다.
또한, 종래에서의 2층 적층형 유기 전계 발광 소자의 정공 주입 수송층 화합물로서는, 포르피린(porphyrin) 화합물, 아닐린(anilin)이나 피리딘 및 그들의 유도체저분자, 또는 카본층을 이용한 정공 주입 수송층 등이 제안되어 있다. 이들 저분자계 재료를 이용한 정공 주입 수송층 형성에는, 진공 증착이나 스퍼터링에 의한 성막법이 일반적이다. 고분자 재료로서는 폴리 아닐린 등이 알려지고, 스핀 코팅 등의 습식법에 의해 성막된다.
그런데, 진공 증착이나 스퍼터링에 의한 성막법은 배치 처리이며 긴 시간을 갖기 때문에 양산(量産) 효율이 나쁘다. 또, 저분자 재료의 경우에는 성막 후 결정화(結晶化)하기 쉽고, 소자의 신뢰성이 저하하는 등의 과제를 갖는다. 한편, 고분자 재료의 경우는 분자 설계상의 자유도가 높고, 습식이기 때문에 재료의 최적화를 하기 쉽다고 하는 이점을 갖지만, 스핀 코팅 등의 성막법은 재료의 거의 대부분을 낭비한다고 하는 큰 문제가 있다.
또한, 풀 컬러 디스플레이 등의 재료의 미세 패터닝이 필요하게 될 경우, 증착법에서는 고정밀도의 패터닝이 곤란하고, 또 포토리소그래피에 의한 패터닝 공정에서는 재료에 내성이 없다고 하는 문제가 있다. 이것은 고분자 재료에 있어서도 마찬가지 문제가 있다. 또한, 정공 주입층 또는 버퍼층으로서 이용되는 재료는 도전성(導電性)을 갖는 것이기 때문에, 완전한 패터닝이 실현되지 않으면 동일 기판 상에 설치된 인접된 화소 사이에서의 누전을 일으키는 원인이 된다.
한편, 상기 문제점을 해결하기 위해서, 즉 재료나 소자 설계의 최적화를 행할 수 있고, 또한 간편하며 단시간 및 저비용으로 정밀도가 높은 패터닝 성막을 행하기 위해서, 액체방울 토출 방식을 이용한 정공 주입층 및 발광층 등의 제조 방법이 고안되어 있다. 이 액체방울 토출 방식을 이용한 제조 방법은, 잉크젯 노즐로부터 정공 주입층의 성분과 용매로 이루어지는 액체방울을 소망하는 영역에 토출해서 박막 패턴을 형성하는 것이다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).
<특허 문헌 1>
일본국 특허 공개 공보 2000-106278호
그러나, 종래에 있어서 액체방울 토출 방식을 이용해서 화소를 이루는 박막 패턴을 형성할 경우, 화소 영역의 장축(長軸) 방향을 따라 잉크젯 노즐을 주사시켜서 액체방울 토출하고 있었으므로, 그 화소의 장축 방향으로 스트라이프(stripe) 형상의 얼룩(스트라이프 얼룩)이 생기고 말았다.
도 12는 종래의 액체방울 토출 방식에 의한 화소 영역의 도포 방법을 나타내는 설명도이다.
도 12에 나타내는 바와 같이, 일반적으로 화소 영역(1)은 장축 및 단축을 갖는 직사각형 형상을 하고 있고, 화소 영역(1)의 장축에 따라 잉크젯 노즐의 주사선(L100)이 설정되어 있다. 이 주사선(L100)에 따라 잉크젯 노즐을 이동시키면서, 이 잉크젯 노즐로부터 순차로 액체방울을 토출시킨다. 이 복수의 액체방울은 화소 영역(1) 내에서 라인 상에 착탄하고, 화소 영역(1) 내에 스트라이프 얼룩(스지 무라)을 갖는 박막 패턴을 형성한다.
이러한 스트라이프 얼룩이 발생하면, 박막 패턴의 막 두께가 불균일하게 되어 있으므로, 이 박막 패턴을 예를 들면 화소의 정공 주입층, 발광층 또는 컬러 필터로서 이용하면, 스트라이프 형상의 발광 얼룩이 생겨버린다.
또한, 종래의 액체방울 토출 방식을 이용한 화소를 이루는 박막 패턴의 형성에서는, 1개의 화소 영역에 대한 1회의 주사에서 1개의 잉크젯 노즐을 이용해서 액체방울을 토출하고 있으므로, 이 박막 패턴을 형성하기 위하여 시간이 걸린다고 하는 문제점도 있었다.
본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 액체방울 토출 방식을 이용해서 화소를 이루는 박막 패턴을 형성했을 때에, 이 박막 패턴에 스트라이프 얼룩이 생기는 것을 저감시킬 수 있고, 또한 상기 스트라이프 얼룩을 분산시킬 수 있는 박막 패턴의 제조 방법, 유기 전계 발광 소자의 제조 방법, 컬러 필터의 제조 방법, 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법, 액정 표시 패널의 제조 방법 및 전자 기기의 제공을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 액체방울 토출 방식에 의해 화소를 이루는 박막 패턴을 고속으로 형성할 수 있는 박막 패턴의 제조 방법, 유기 전계 발광 소자의 제조 방법, 컬러 필터의 제조 방법, 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법, 액정 표시 패널의 제조 방법 및 전자 기기의 제공을 목적으로 한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예의 박막 패턴의 제조 방법의 설명도.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예의 박막 패턴의 도포 방법에 관한 기타 설명도.
도 3은 본 발명의 제 2 실시예의 박막 패턴의 박막 패턴의 제조 방법의 설명도.
도 4는 본 발명의 제 3 실시예의 박막 패턴의 제조 방법의 설명도.
도 5는 본 발명의 제 3 실시예의 변형예를 나타내는 설명도.
도 6은 유기 EL 장치의 제조 방법을 나타내는 단면도.
도 7은 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법을 나타내는 단면도.
도 8은 액정 장치의 제조 방법을 나타내는 단면도.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 전자 기기의 일례를 나타내는 도면.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 전자 기기의 일례를 나타내는 도면.
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 전자 기기의 일례를 나타내는 도면.
도 12는 종래의 액체방울 토출 방식에 의한 도포 방법을 나타내는 설명도.
* 주요 도면에 대한 부호의 설명 *
1, 1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f…화소 영역,
10…기판,
20…노즐 헤드,
21a, 2lb, 21c…잉크젯 노즐,
L1, L2, L3, L4, L5, L6, L11, L12, L13, L11a, L1lb, L11c…주사선
상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 박막 패턴의 제조 방법은 장축 및 단축을 갖는 화소 영역에 액체방울 토출 방식으로 액상체 재료를 도포하는 액상체 도포 처리와, 상기 액상체 도포 처리에서 액체방울 토출 장치의 노즐 헤드를 상기 화소 영역의 단축 방향으로 주사하고, 상기 주사 과정에서 상기 노즐 헤드에 구비되어 있는 잉크젯 노즐로부터 상기 화소 영역으로 액체방울을 토출하는 단축 방향 토출 처리를 갖는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 화소 영역의 단축 방향으로 노즐 헤드를 주사하고, 이 노즐 헤드의 잉크젯 노즐로부터 그 화소 영역으로 액체방울을 토출하는 것으로, 화소의 구성 요소가 되는 박막을 형성할 수 있다. 이것에 의해, 화소 영역의 장축 방향으로 노즐 헤드를 주사하는 경우보다도, 노즐 헤드에 복수 설치되어 있는 잉크젯 노즐에 의한 1개의 화소 영역으로의 복수의 액체방울 토출이 행해지기 쉬워진다.
이것은 예를 들면 화소 영역의 장축 방향으로 노즐 헤드를 주사하는 경우는 1개의 잉크젯 노즐만이 그 화소 영역을 가로지르게 될 경우라도, 화소 영역의 단축 방향으로 노즐 헤드를 주사하면 노즐 헤드에 등간격으로 배치된 복수의 잉크젯 노즐이 화소 영역을 가로지르게 되기 때문이다.
또한, 본 발명에 의하면, 상술한 바와 같이 1개의 화소 영역에 대하여 복수의 잉크젯 노즐에 의해 액체방울을 토출하는 것이 행하기 쉬워지므로, 각 잉크젯 노즐 사이의 토출량의 차이를 분산하기 쉬워지고, 화소를 이루는 박막에 「스트라이프 얼룩」등이 생기는 것을 저감시킬 수 있다. 그래서, 본 발명에 의하면, 화소를 이루는 박막의 막 두께 등을 균일화하기 쉬워져서, 발광 얼룩 등을 저감시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 1개의 화소 영역에 대하여 인접된 복수의 잉크젯 노즐에 의해 거의 동시 또는 순차적으로 복수의 액체방울을 토출하는 것이 용이하게 되므로, 액체방울 토출 방식에 의한 화소 영역으로의 액상체의 도포를 고속화하기 쉽게 된다.
또한, 본 발명의 박막 패턴의 제조 방법은, 상기 단축 방향 토출 처리에서 1개의 상기 화소 영역에 대하여 복수회의 액체방울 토출이 행하여지고, 상기 복수회의 액체방울 토출은 적어도 2개의 상이한 상기 잉크젯 노즐에 의해 행해지는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 1개의 화소 영역에 대한 복수회의 액체방울 토출을 2개 이상의 잉크젯 노즐에 의해 행하므로, 각 잉크젯 노즐 사이의 액체방울 토출량 등의 차이(오차)를 분산시킬 수 있다. 종래는 예를 들면 임의의 화소 영역에는 토출량이 적은 잉크젯 노즐만으로 복수회의 액체방울 토출이 행하여지고, 다른 화소 영역에는 토출량이 큰 잉크젯 노즐만으로 복수회의 액체방울 토출이 행하여지므로 오차가 누적되어 버려, 화소 영역마다 액체방울 토출(도포)량의 차이가 커지고, 화면 전체로서 보아 「스트라이프 얼룩」이 드러나기 쉬운 것으로 되어 있었다. 본 발명에 의하면, 화소 영역마다의 액체방울 토출량의 차이를 저감시킬 수 있으므로, 화면 전체로서 보아 「스트라이프 얼룩」이 드러나기 어려게 하는 것이 가능한다.
또한, 본 발명의 박막 패턴의 제조 방법은, 상기 노즐 헤드가 복수의 상기 잉크젯 노즐을 구비하고 있고, 상기 1개의 화소 영역에 대한 복수회의 액체방울 토출은 적어도 2개의 인접된 상기 잉크젯 노즐에 의해 거의 동시 또는 순차적으로 행해지는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 1개의 화소 영역에 대하여 복수의 인접된 잉크젯 노즐에 의해 거의 동시 또는 순차적으로 액체방울 토출을 행하므로, 잉크젯 노즐 사이의 액체방울 토출량의 차이를 분산시켜서 「스트라이프 얼룩」을 저감하면서, 화소 영역 전체(기판 전체에 복수 배치된 각 화소 영역에 대해서도)에 대해서 고속으로 액상체를 도포할 수 있다.
또한, 본 발명의 박막 패턴의 제조 방법은, 상기 1개의 화소 영역에 대한 복수회의 액체방울 토출이 적어도 2종류의 액체방울 토출량으로 행해지는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 각 잉크젯 노즐의 액체방울 토출량을 제어하는 것 등으로 하여, 2종류 이상의 액체방울 토출량으로 1개의 화소 영역에 액체방울을 토출할 수 있다.
이것에 의해, 예를 들면 화소 영역에서의 각부(角部)에 대한 액체방울 토출량은 적게 하고, 화소 영역에서의 중앙부에 대한 액체방울 도출량은 많게 하는 등으로 하여, 화소 영역 전체에 대해서 균일한 두께의 고정밀도의 박막을 고속으로형성할 수 있다.
또한, 본 발명의 박막 패턴의 제조 방법은, 상기 1개의 화소 영역에 대한 복수회의 액체방울 토출이 상기 액체방울을 적어도 2종류의 점도로 하여 행해지는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 예를 들면 각 잉크젯 노즐마다 공급하는 액상체의 점도를 변화시키는 것 등에 의해, 화소 영역의 소망하는 위치에 소망하는 점도의 액상체를 도포할 수 있다. 그래서, 본 발명에 의하면, 화소 영역 전체에 대해서 막 두께가 더욱 균일한 고정밀도의 박막을 형성하는 것 등이 가능하다.
또한, 본 발명의 박막 패턴의 제조 방법은, 상기 노즐 헤드가 복수의 상기 잉크젯 노즐을 구비하고 있고, 상기 복수의 잉크젯 노즐은 상기 노즐 헤드에서 대략 직선 상에 배치되어 있고, 상기 단축 방향 토출 처리에서는 상기 복수의 잉크젯 노즐의 배치를 규정하는 직선이 상기 단축 방향으로 설정된 주사선에 대하여 비스듬하게 교차되는 상태로서, 상기 노즐 헤드를 주사시키는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 노즐 헤드의 이동 위치를 규정하는 주사선에 대하여, 상기 노즐 헤드가 비스듬하게 교차되는 것 같은 상태인 채로, 상기 노즐 헤드가 주사된다. 이것에 의해, 노즐 헤드에 설치되어 있는 복수의 잉크젯 노즐의 이동 궤적(잉크젯 노즐마다의 주사선)의 간격은 잉크젯 노즐 상호의 간격보다도 짧아진다. 그래서, 본 발명에 의하면, 1개의 화소 영역에 대하여 보다 많은 잉크젯 노즐에 의해 거의 동시 또는 순차적으로 액체방울을 토출하기 쉽게 되어, 작은 화소에 대해서도 큰 화소에 대해서도 「스트라이프 얼룩」을 저감시키면서, 보다 고속으로 화소를 이루는 박막 패턴을 형성할 수 있다.
또한, 본 발명의 박막 패턴의 제조 방법은, 상기 1개의 화소 영역에 대한 복수회의 액체방울 토출에 있어서, 상기 화소 영역에 최초로 착탄한 액체방울이 거의 완전히 건조하기 전에, 최후의 액체방울 토출을 행하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 1개의 화소 영역에 착탄한 복수의 액체방울 각각이 완전히 건조하기 전에, 상기 1개의 화소 영역 전체에 대해서의 액체방울 토출되고 박막이 형성되므로, 보다 막 두께가 균일한 고정밀도의 패턴을 형성할 수 있다.
또한, 본 발명의 박막 패턴의 제조 방법은, 상기 1개의 화소 영역에 대한 복수회의 액체방울 토출에 있어서, 상기 화소 영역에 대한 최초의 액체방울 토출과 최후의 액체방울 토출 사이에, 상기 화소 영역에 착탄한 액체방울이 완전히 건조하기에는 못 미칠 정도의 건조 처리가 행해지는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 1개의 화소 영역에 대한 복수회의 액체방울 토출 과정에서, 착탄한 액체방울이 완전히 건조하기에는 못 미칠 정도의 중간 건조 처리가 행하여지므로, 착탄한 액체방울의 체적을 중간 건조 처리로 줄이고 나서 다시 액체방울 토출을 할 수 있다. 그래서, 본 발명에 의하면, 1개의 화소 영역에 대한 복수회의 액체방울 토출 과정에서, 이 액체방울이 화소 영역의 바깥쪽으로 넘쳐흐르는 것 등을 회피시키면서, 균일한 두께로 큰 두께도 갖게 할 수 있는 박막 패턴을 형성할 수 있다.
또한, 본 발명의 박막 패턴의 제조 방법은, 상기 박막 패턴의 제조 방법이 상기 액상체 도포 처리에서 액체방울 토출 장치의 노즐 헤드를 상기 화소 영역의장축 방향으로 주사하고, 상기 주사 과정에서 상기 노즐 헤드에 구비되어 있는 잉크젯 노즐로부터 상기 화소 영역으로 액체방울을 토출하는 장축 방향 토출 처리를 갖는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 노즐 헤드를 화소 영역의 단축 방향으로 주사하는 단축 방향 토출 처리와, 노즐 헤드를 화소 영역의 장축 방향으로 주사하는 장축 방향 토출 처리를 가지므로, 화소 영역(또는 기판 전체)에 대하여 액체방울 토출 상태가 직선 형상으로 치우치는 것을 회피할 수 있고, 화소를 이루는 박막 패턴에 「스트라이프 얼룩」이 생기는 것을 보다 효과적으로 회피할 수 있다.
또한, 본 발명의 박막 패턴의 제조 방법은, 상기 장축 방향 토출 처리에서 상기 복수의 잉크젯 노즐의 배치를 규정하는 직선이 상기 장축 방향으로 설정된 주사선에 대하여 비스듬하게 교차되는 상태로서, 상기 노즐 헤드를 주사시키는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 장축 방향 토출 처리에 있어서도, 1개의 화소 영역에 대하여, 보다 많은 잉크젯 노즐에 의해 거의 동시 또는 순차적으로 액체방울을 도출하기 쉽게 된다.
그래서, 본 발명에 의하면, 작은 화소에 대해서도 큰 화소에 대해서도 「스트라이프 얼룩」을 더욱 저감시키면서, 고속으로 화소를 이루는 박막 패턴을 형성할 수 있다.
또한, 본 발명의 박막 패턴의 제조 방법은, 상기 1개의 화소 영역에 대한 복수회의 액체방울 토출이 하나의 액체방울 착탄에 의해 형성된 박막의 일부와, 다른액체방울 착탄에 의해 형성된 박막의 일부가 겹치도록 행해지는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 화소 영역의 전체에 대해 빠짐없이 도포하여, 보다 균일한 두께의 박막 패턴을 형성할 수 있다.
또한, 본 발명의 유기 전계 발광 소자의 제조 방법은, 전극 사이에 발광층과 정공 주입층을 갖는 발광 소자가 기판에 형성되어 이루어지는 유기 전계 발광 소자의 제조 방법으로서, 상기 정공 주입층을 액체방울 토출 장치에 형성되는 잉크젯 헤드에 의해 액체방울을 토출함으로써 형성하는 공정을 갖고, 상기 정공 주입층은 장축 및 단축을 갖는 화소 영역에 형성하는 것이며, 상기 정공 주입층을 형성하는 공정에서, 상기 잉크젯 헤드를 상기 화소 영역의 단축 방향으로 주사하고, 상기 주사 과정에서 상기 잉크젯 노즐로부터 상기 화소 영역으로 액체방울을 토출하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 유기 전계 발광 소자에서의 정공 주입층에 대하여 액체방울 토출 방식으로 박막 패턴을 형성하는 경우에, 이 정공 주입층에 「스트라이프 얼룩」이 생기는 것을 저감시킬 수 있고, 「발광 얼룩」이 적은 고품위의 유기 전계 발광 소자를 신속하게 제조할 수 있다.
또한, 본 발명의 유기 전계 발광 소자의 제조 방법은, 전극 사이에 발광층과 정공 주입층을 갖는 발광 소자가 기판에 형성되어 이루어지는 유기 전계 발광 소자의 제조 방법으로서, 상기 발광층을, 액체방울 토출 장치에 형성되는 잉크젯 헤드에 의해 액체방울을 토출함으로써 형성하는 공정을 갖고, 상기 발광층은 장축 및 단축을 갖는 화소 영역에 형성하는 것이며, 상기 발광층을 형성하는 공정에서, 상기 잉크젯 헤드를 상기 화소 영역의 단축 방향으로 주사하고, 상기 주사 과정에서 상기 잉크젯 노즐로부터 상기 화소 영역으로 액체방울을 토출하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 유기 전계 발광 소자에서의 발광층에 대하여 액체방울 토출 방식으로 박막 패턴을 형성하는 경우에, 상기 발광층에 「스트라이프 얼룩」이 생기는 것을 저감시킬 수 있고, 「발광 얼룩」이 적은 고품위의 유기 전계 발광 소자를 신속하게 제조할 수 있다.
또한, 본 발명의 컬러 필터의 제조 방법은, 전극 사이에 발광층과 정공 주입 수송층을 갖는 발광 소자가 기판에 형성되어 이루어지고, 발광 방향측으로 컬러 필터가 형성되어 이루어지는 컬러 필터의 제조 방법으로서, 상기 컬러 필터를, 액체방울 토출 장치에 형성되는 잉크젯 헤드에 의해 액체방울을 토출함으로써 형성하는 공정을 갖고, 상기 컬러 필터는 장축 및 단축을 갖는 화소 영역에 형성하는 것이며, 상기 컬러 필터를 형성하는 공정에서, 상기 잉크젯 헤드를 상기 화소 영역의 단축 방향으로 주사하고, 상기 주사 과정에서 상기 잉크젯 노즐로부터 상기 화소 영역으로 액체방울을 토출하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 예를 들면 유기 전계 발광 소자의 발광층으로부터 백색광을 방사시켜, 이 백색광을 컬러 필터를 통해서 외부로 출사시키는 유기 전계 발광 소자에서 상기 컬러 필터를 이루는 박막 패턴을 「스트라이프 얼룩」을 생기지 않게 하여, 균일하고 또한 고속으로 형성할 수 있다. 그래서, 본 발명에 의하면 컬러 필터를 구비하는 유기 전계 발광 소자로 이루어지는 표시 패널에 대해서 색 얼룩 등을 대폭 저감시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법은, 기판에 형성된 전극을 갖고 이루어지는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법으로서, 상기 전극을 액체방울 토출 장치에 형성되는 잉크젯 헤드에 의해 액체방울을 토출함으로써 형성하는 공정을 갖고, 상기 전극은 장축 및 단축을 갖는 소정 영역에 형성하는 것이며, 상기 전극을 형성하는 공정에서, 상기 잉크젯 헤드를 상기 소정 영역의 단축 방향으로 주사하고, 상기 주사 과정에서 상기 잉크젯 노즐로부터 상기 소정 영역으로 액체방울을 토출하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 플라즈마 디스플레이 패널의 전극을 이루는 박막 패턴을 액체방울 토출 방식으로 형성하는 경우에, 상기 박막 패턴에 「스트라이프 얼룩」이 생기는 것을 저감시킬 수 있고, 고정밀도로 또한 신속하게 플라즈마 디스플레이 패널의 전극을 형성할 수 있다.
또한, 본 발명의 액정 표시 패널의 제조 방법은, 기판에 형성된 컬러 필터를 갖고 이루어지는 액정 표시 패널의 제조 방법으로서, 상기 컬러 필터를, 액체방울 토출 장치에 형성되는 잉크젯 헤드에 의해 액체방울을 토출함으로써 형성하는 공정을 갖고, 상기 컬러 필터는 장축 및 단축을 갖는 소정 영역에 형성하는 것이며, 상기 컬러 필터를 형성하는 공정에서, 상기 잉크젯 헤드를 상기 소정 영역의 단축 방향으로 주사하고, 상기 주사 과정에서 상기 잉크젯 노즐로부터 상기 소정 영역으로 액체방울을 토출하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 액정 표시 패널 컬러 필터를 이루는 박막 패턴을 액체방울 토출 방식으로 형성하는 경우에, 상기 박막 패턴에 「스트라이프 얼룩」이 생기는 것을 저감시킬 수 있고, 액정 표시 패널에서의 색 얼룩 등을 대폭 저감시키면서 제조 시간을 단축할 수 있다.
또한, 본 발명의 박막 패턴의 제조 방법은, 상기 액상체 재료가 포토 레지스트 막을 형성하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 예를 들면 포토리소그래피법을 이용해서 기판에 각종 패턴을 전사 형성할 때에 형성되는 포토 레지스트 막을, 액체방울 토출 방식을 이용한 상기 박막 패턴의 제조 방법으로 신속하게 형성할 수 있다. 그리고, 본 발명에 의하면, 포토 레지스트 막에 「스트라이프 얼룩」이 생기는 것을 저감시킬 수 있으므로, 포토리소그래피법 및 액체방울 토출 방식을 이용해서 각종 박막 패턴을 고정밀도로 또한 신속하게 형성할 수 있다.
본 발명의 전자 기기는, 상기 박막 패턴의 제조 방법을 이용해서 제조된 박막 패턴을 구비한 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 「스트라이프 얼룩」이 적은 박막 패턴을 구성 요소로 한 전자 기기를 신속하게 제공할 수 있으므로, 예를 들면 상기 박막 패턴을 화소로서 이용함으로써, 발광 얼룩이 적은 표시부를 구비한 전자 기기를 저비용으로 제공할 수 있다. 또한, 예를 들면 상기 「스트라이프 얼룩」이 적은 박막 패턴을 반도체 집적 회로 등의 구성 요소로 함으로써, 콤팩트하면서 고성능이고 불량 발생 확률이 낮은 전자 기기를 제공할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시예에 따른 박막 패턴의 제조 방법에 대해서 도면을 참조해서 설명한다.
(제 1 실시예)
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 박막 패턴의 제조 방법을 나타내는 설명도이다. 기판 위에는 화소 영역(1)이 형성되어 있다. 화소 영역(1)의 외주에는 볼록 형상의 격벽(뱅크)이 설치되어 있는 것이 바람직하다. 화소 영역(1)은 직사각형 형상을 하고 있고, 화소 영역(1)의 중앙을 통과하는 동시에 그 화소 영역(1)을 종단하는 장축과, 화소 영역(1)의 중앙을 통과하는 동시에 그 화소 영역(1)을 횡단하는 단축을 갖는다. 한편, 화소 영역(1)의 형상은 직사각형 형상 또는 타원 형상 등이라도 좋다.
화소 영역(1) 내에는 액체방울 토출 방식으로 액상체 재료가 도포된다. 이 액상체 재료는, 예를 들면 화소 영역(1)에 형성되는 화소가 유기 EL 소자인 경우, 정공 주입층 또는 발광층을 형성하는 재료 및 용매로 이루어지는 것이다. 도 1에 나타내는 주사선(L1, L2, L3)은 액체방울 토출 장치의 노즐 헤드에 설치된 잉크젯 노즐의 이동 위치를 규정하기 위해서 가상적으로 설정된 주사선이다. 주사선(L1, L2, L3)은 화소 영역(1)의 단축과 평행하게 설정되어 있다.
그래서, 잉크젯 노즐은 주사선(L1) 위에서 도면 오른쪽으로 이동하면서, 즉 화소 영역(1)의 단축 방향으로 주사되면서, 상기 액상체 재료의 액체방울을 토출하여, 이 액체방울을 화소 영역(1) 내에 착탄시킨다. 또한, 잉크젯 노즐은 주사선(L2) 위에서 도면 오른쪽으로 이동하면서 액체방울을 토출하여, 이 액체방울을 화소 영역(1) 내에 착탄시킨다. 또한, 잉크젯 노즐은 주사선(L3) 위에서 도면 오른쪽으로 이동하면서 액체방울을 토출하고, 이 액체방울을 화소 영역(1) 내에 착탄시킨다.
이것에 의해, 복수의 액체방울이 화소 영역(1)의 전체에 흩어져서 토출되고, 화소 영역(1) 전체에 액상체 재료가 도포된다. 그리고, 도포된 액상체 재료를 건조시킴으로써, 예를 들면 상기 정공 주입층 및 발광층 등이 형성된다.
도 2는 기판 위에 복수 설치된 화소 영역에 액상체 재료를 도포하는 상태를 나타내는 설명도이다. 기판(10)의 상면에는 복수의 화소 영역(1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f)이 형성되어 있다. 각 화소 영역(1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f)의 외주에는 볼록 형상의 격벽(뱅크)이 설치되어 있는 것이 바람직하다. 각 화소 영역(1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f)은 도 1에 나타내는 화소 영역(1)과 거의 같은 형상을 하고 있다.
그리고, 제 1 행(行)의 화소로서 형성된 화소 영역(1a, 1b, 1c)에 대해서는 도 1에 나타내는 방법과 같이, 주사선(L1, L2, L3)이 설정되고, 잉크젯 노즐이 화소 영역(1a, 1b, 1c)의 단축 방향으로 주사되면서, 액체방울 토출이 행해진다. 또한, 제 2 행의 화소로서 형성된 화소 영역(1d, 1e, 1f)에 대해서는 도 1에 나타내는 방법과 같이, 주사선(L4, L5, L6)이 설정되고, 잉크젯 노즐이 화소 영역(1d, 1e, 1f)의 단축 방향으로 주사되면서, 액체방울 토출이 행해진다.
이것에 의해, 복수의 액체방울이 각 화소 영역(1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f) 전체에 흩어져서 토출되고, 각 화소 영역 내의 전체에 액상체 재료가 도포된다.
그리고, 도포된 액상체 재료를 건조시킴으로써, 기판(10)에 형성된 각 화소 영역(1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f)에, 예를 들면 상기 정공 주입층 및 발광층 등이 형성된다.
상기 액상체 재료의 도포에서 이용되는 액체방울 토출 장치의 노즐 헤드에는, 복수의 잉크젯 노즐이 설치되어 있는 것이 바람직하다. 이 복수의 잉크젯 노즐은, 예를 들면 직선 상에서 소정 간격으로 배치되어 있는 것으로 해도 좋다. 이와 같이 하면, 예를 들어, 주사선(L1)에 대해서는 제 1 잉크젯 노즐에 의해 액체방울 토출을 행하고, 주사선(L2)에 대해서는 제 1 잉크젯 노즐의 인근에 배치되어 있는 제 2 잉크젯 노즐에 의해 액체방울 토출을 행하고, 주사선(L3)에 대해서는 제 2 잉크젯 노즐의 인근에 배치되어 있는 제 3 잉크젯 노즐에 의해 액체방울 토출을 행한다고 할 수 있다.
즉, 1개의 화소 영역(1)에 대해서 복수의 잉크젯 노즐에 의해 거의 동시에 또는 순차적으로 복수의 액체방울을 토출할 수 있다.
이와 같이, 본 실시예의 박막 패턴의 제조 방법에 의하면, 화소 영역의 단축 방향으로 잉크젯 노즐을 주사시킴으로써, 화소 영역의 장축 방향으로 잉크젯 노즐을 주사시키는 경우보다도, 복수의 잉크젯 노즐에 의한 1개의 화소 영역으로의 거의 동시의 액체방울 토출이 행하기 쉬워진다. 따라서, 본 실시예에 의하면, 종래보다도 고속으로 액체방울 토출 방식에 의한 화소 영역으로의 액상체 재료의 도포를 할 수 있다.
또한, 본 실시예에 의하면, 1개의 화소 영역에 대하여 복수의 상이한 잉크젯 노즐에 의해 액상체를 도포하는 것이, 화소 영역의 장축 방향으로 잉크젯 노즐을 주사시 경우보다도 용이해진다. 이것에 의해, 각 잉크젯 노즐 사이의 액체방울 토출량의 차이(오차)가 분산되므로, 화소의 구성 요소가 되는 박막(정공 주입층 또는 발광층 등)에 「스트라이프 얼룩」이 생기는 것을 저감시킬 수 있고, 발광 얼룩이 생기는 것을 저감시킬 수 있다.
또한, 상기 실시예에 있어서는, 1개의 화소 영역(1)에 대한 주사선(L1, L2, L3)에 의한 복수회의 액체방울 토출은 임의의 1개의 액체방울 착탄에 의해 형성된 박막(도트 박막)의 일부와 다른 액체방울 착탄에 의해 형성된 도트 박막의 일부가 겹치도록 행해지는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면 화소 영역(1)의 전체에 대해 빠짐없이 도포하여, 보다 균일한 두께의 박막 패턴을 형성할 수 있다.
또한, 상기 실시예에 있어서는, 1개의 화소 영역(1)에 대한 주사선(L1, L2, L3)에 의한 복수회의 액체방울 토출은 2종류 이상의 액체방울 토출량으로 행해도 좋다. 예를 들면, 주사선 L1, L3에 대해서는 액체방울 토출량을 비교적 적게 하고, 주사선 L2에 대해서는 액체방울 토출량을 비교적 많게 하도록 해도 좋다. 이와 같이 하면, 화소 영역(1) 내의 중앙 부근에 대해서는 액체방울 토출량을 많게 하고, 화소 영역(1) 내의 단부(端部)에 대해서는 액체방울 토출량을 적게 할 수 있다. 따라서, 화소 영역(1)의 전체에 대해 빠짐없이 도포하고, 또한 「스트라이프 얼룩」의 발생을 억제하면서, 고속으로 소망하는 박막 패턴을 형성할 수 있다.
또한, 상기 실시예에 있어서는, 1개의 화소 영역(1)에 대한 주사선(L1, L2, L3)에 의한 복수회의 액체방울 토출은 2종류 이상의 점도의 액체방울로 행해도 좋다. 예를 들면, 액체방울 토출 장치에 있어서, 주사선(L1, L3)에 대해서 액체방울 토출을 행하는 제 1 및 제 3 잉크젯 노즐에는 비교적 높은 점도의 액상체 재료를공급하고, 주사선(L2)에 대해서 액체방울 토출을 행하는 제 2 잉크젯 노즐에는 비교적 낮은 점도의 액상체 재료를 공급한다.
그러면, 화소 영역(1) 내의 단부에 대해서는 고점도의 액체방울이 토출되고, 화소 영역(1) 내의 중앙 부근에는 저점도의 액체방울이 토출된다. 그리고, 본 박막 패턴의 제조 방법에 의하면, 화소 영역(1)의 전체에 대해서 막 두께의 균일화를 도모하면서, 고속으로 소망하는 박막 패턴을 형성할 수 있다.
또한, 상기 실시예에 있어서는, 1개의 화소 영역(1)에 대하여 복수회의 액체방울 토출이 행하여지지만, 최초로 화소 영역(1)에 착탄한 액체방울이 완전히 건조하기 전에 화소 영역(1) 전체에 대한 액체방울 토출을 완료하는 것이 바람직하다. 즉, 1개의 화소 영역(1)에 착탄한 복수의 액체방울 각각이 완전히 건조하기 전에, 이 1개의 화소 영역(1) 전체에 관한 액체방울이 토출되어 박막이 형성되는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 화소 영역(1)에 착탄된 복수의 액체방울끼리 서로 섞여, 보다 평탄한 박막 패턴을 형성할 수 있다.
또한, 상기 실시예에 있어서는, 1개의 화소 영역(1)에 대하여 복수회의 액체방울 토출 과정에서 중간 건조 공정을 넣어도 좋다. 즉, 1개의 화소 영역(1)에 대하여 소정 회수의 반분만 액체방울 토출을 행하고, 그 다음에, 착탄된 액체방울에 대해서 완전히 건조하기에는 못 미칠 정도의 건조 처리(중간 건조 공정)를 시행한다. 그 다음으로, 화소 영역(1)에 대하여 나머지 액체방울 토출을 행한다.
이와 같이 하면, 중간 건조 공정에 의해 착탄된 액체방울의 체적을 줄이고 나서 나머지의 액체방울 토출을 할 수 있고, 액체방울이 화소 영역(1)의 바깥쪽으로 넘쳐흐르는 것 등을 회피시키면서, 균일한 두께로서 큰 두께도 갖게 할 수 있는 박막 패턴을 형성할 수 있다.
또한, 상기 실시예의 박막 패턴의 제조 방법을 이용하여, 유기 EL 소자의 컬러 필터를 형성해도 좋다. 예를 들면, 발광층으로부터 백색광을 방사시키고, 그 백색광을 컬러 필터를 통해서 외부로 출사시키는 유기 EL 소자에 있어서, 그 컬러 필터를 이루는 박막 패턴을 「스트라이프 얼룩」을 생기게 하지 않고 균일하고 또한 고속으로 형성할 수 있다. 그래서, 본 실시예에 의하면, 컬러 필터를 구비하는 유기 EL 소자로 이루어지는 표시 패널에 대해서, 색 얼룩 등을 대폭 저감시킬 수 있다.
(제 2 실시예)
그 다음에, 본 발명의 제 2 실시예에 대해서 도 3을 참조해서 설명한다. 도 3은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 박막 패턴의 제조 방법을 나타내는 설명도이다. 본 실시예와 상기 제 1 실시예의 상이점은, 본 실시예에서는 화소 영역(1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f)의 단축(短軸) 방향으로 주사선(L1, L2, L3, L4, L5, L6)이 설정되어 있을 뿐만 아니라, 화소 영역(1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f)의 장축(長軸) 방향으로도 주사선(L11, L12, L13)이 설정되어 있는 점에 있다.
구체적으로는, 우선 기판(10)의 상면에는 복수의 화소 영역(1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f)이 형성되어 있다. 각 화소 영역(1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f)의 외주에는 볼록 형상의 격벽(뱅크)이 설치되어 있는 것이 바람직하다.
그리고, 제 1행 화소로서 형성된 화소 영역(1a, 1b, 1c)에 대해서는 도 2에나타낸 방법과 마찬가지로, 주사선(L1, L2, L3)이 설정되고, 잉크젯 노즐이 화소 영역(1a, 1b, 1c)의 단축 방향으로 주사되면서, 액체방울 토출이 행해진다. 또한, 제 2행 화소로서 형성된 화소 영역(1d, 1e, 1f)에 대해서는 도 2에 나타낸 방법과 마찬가지로, 주사선(L4, L5, L6)이 설정되고, 잉크젯 노즐이 화소 영역(1d, 1e, 1f)의 단축 방향으로 주사되면서, 액체방울 토출이 행해진다.
또한, 제 1열(列) 화소로서 형성된 화소 영역(1a, 1d)에 대해서는 그 화소 영역의 장축과 평행하게 주사선(L11)이 설정되어 있다. 이 주사선(L11)은, 서로 평행한 복수개의 주사선이어도 좋다. 또한, 제 2열의 화소로서 형성된 화소 영역(1b, 1e)에 대해서는 그 화소 영역의 장축과 평행하게 주사선(L12)이 설정되어 있다. 이 주사선(L12)은, 서로 평행한 복수개의 주사선이어도 좋다. 또한, 제 3열의 화소로서 형성된 화소 영역(1c, 1f)에 대해서는 그 화소 영역의 장축과 평행하게 주사선(L13)이 설정되어 있다. 이 주사선(L13)은 서로 평행한 복수개의 주사선이어도 좋다.
그리고, 주사선(L11, L12, L13)에 대해서 잉크젯 노즐을 주사시키면서, 각 화소 영역(1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f)에 액체방울 토출을 행한다. 이 액체방울 토출은 상기 주사선(L1, L2, L3)에 관한 액체방울 토출과 같이 행할 수 있다.
이들에 의해, 본 실시예에서는 잉크젯 노즐을 화소 영역(1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f)의 단축 방향으로 주사하는 단축 방향 토출 처리와, 잉크젯 노즐을 화소 영역(1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f)의 장축 방향으로 주사하는 장축 방향 토출 처리를 갖는다. 따라서, 각 화소 영역(1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f)에는 주사 방향이 서로 90도다른 2종류의 주사선을 이용하여 액체방울 토출이 행하여지므로, 각 액체방울의 토출량 및 점도 등의 차이(오차)가 분산된다. 그래서, 본 실시예에 의하면, 각 화소 영역(1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f)에 대하여 액체방울 토출상태가 직선 형상으로 치우치는 것을 회피할 수 있고, 화소를 이루는 박막 패턴에 「스트라이프 얼룩」이 생기는 것을 보다 효과적으로 회피할 수 있다.
(제 3 실시예)
그 다음에, 본 발명의 제 3 실시예에 대해서 도 4 및 도 5를 참조해서 설명한다. 도 4는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 박막 패턴의 제조 방법을 나타내는 설명도이다. 본 실시예에서는, 노즐 헤드(20)에 복수의 잉크젯 노즐(21a, 2lb, 21c)이 설치되어 있는 액체방울 토출 장치를 이용한다. 각 잉크젯 노즐(21a, 2lb, 21c)은 노즐 헤드(20)에서 소정 직선 상에서 소정 간격으로 배치되어 있는 것도 좋다.
화소 영역(1)에 대하여는, 그 화소 영역(1)의 단축과 평행하게 복수의 주사선(L1, L2, L3)을 설정한다. 그리고, 주사선(L1) 위를 잉크젯 노즐(21a)이 이동하고, 주사선(L2) 위를 잉크젯 노즐(2lb)이 이동하고, 주사선(L3) 위를 잉크젯 노즐(21c)이 이동하도록, 노즐 헤드(20)를 화소 영역(1)의 단축 방향으로 이동시킨다.
여기서, 잉크젯 노즐(21a, 2lb, 21c)의 배치 위치를 규정하는 직선이 주사선(L1, L2, L3)에 대하여 비스듬하게 교차하도록, 즉 노즐 헤드(20)의 정면이 주사선(L1, L2, L3)에 대하여 비스듬하게 향하는 상태로서, 그 노즐 헤드(20)를 이동시킨다. 그리고, 노즐 헤드(20)의 이동 과정에서 잉크젯 노즐(21a, 2lb, 21c)로부터액체방울을 토출시켜서 화소 영역(1)에 박막 패턴을 형성한다.
본 실시예에 의하면, 노즐 헤드(20)에 설치되어 있는 복수의 잉크젯 노즐(21a, 2lb, 21c)의 이동 궤적(주사선(L1, L2, L3))의 간격을, 잉크젯 노즐(21a, 2lb, 21c) 상호의 간격보다도 짧게 할 수 있다. 그래서, 본 실시예에 의하면, 1개의 화소 영역(1)에 대하여, 보다 많은 잉크젯 노즐에 의해 거의 동시 또는 순차적으로 액체방울을 토출하는 것이 가능해지고, 작은 화소에 대해서도 큰 화소에 대해서도 「스트라이프 얼룩」을 저감시키면서, 보다 고속으로 화소를 이루는 박막 패턴을 형성할 수 있다.
그 다음에, 본 실시예의 변형예에 대해서 도 5를 참조해서 설명한다. 도 5는 본 실시예의 변형예에 따른 박막 패턴의 제조 방법을 나타내는 설명도이다. 본 박막 패턴의 제조 방법에서는, 노즐 헤드(20)를 화소 영역(1)에 대하여 장축 방향으로 주사시킬 때에, 그 노즐 헤드(20)의 정면이 장축방향(즉 주사선(L11a, L1lb, L11c)에 대하여 비스듬하게 향하는 상태로서, 그 노즐 헤드(20)를 이동시킨다. 그리고, 노즐 헤드(20)의 이동 과정에서 잉크젯 노즐(21a, 2lb, 21c)로부터 액체방울을 토출시켜서 화소 영역(1)에 박막 패턴을 형성한다.
본 변형예에 의하면, 노즐 헤드(20)에 설치되어 있는 복수의 잉크젯 노즐(21a, 2lb, 21c)의 이동 궤적(주사선(L11a, L1lb, L11c)의 간격을, 잉크젯 노즐(21a, 2lb, 21c) 상호의 간격보다도 짧게 할 수 있다. 그래서, 본 실시예에 의하면 노즐 헤드(20)를 화소 영역(1)의 장축 방향으로 주사한 경우라도, 1개의 화소 영역(1)에 대하여, 보다 많은 잉크젯 노즐(21a, 2lb, 21c)로 거의 동시 또는 순차적으로 액체방울을 토출하는 것이 가능해진다. 따라서, 본 실시예에 의하면, 작은 화소에 대해서도 큰 화소에 대해서도 「스트라이프 얼룩」을 저감시키면서, 보다 고속으로 화소를 이루는 박막 패턴을 형성할 수 있다.
<유기 EL 장치의 제조 방법>
그 다음에, 상기 제 1 내지 제 3 실시예에 따른 박막 패턴의 제조 방법을 이용한 유기 EL 장치의 제조 방법에 대해서, 도 6을 참조해서 구체적으로 설명한다. 본 제조 방법에서는, 유기 EL 장치에서의 정공 주입 수송층을 상기 실시예의 박막 패턴의 제조 방법으로 형성한다.
정공 주입 수송층용 조성물은, 주로 정공 주입 수송층을 형성하는 상기 도전성 화합물, 분산 용매, 습윤제를 포함하고, 액체방울 토출 방식에 의한 패턴 성막에 이용된다. 이 정공 주입 수송층을 형성하는 상기 도전성 화합물은 양극보다 이온화 퍼텐셜(potential)이 낮은 화합물이 바람직하다. 예를 들면, 양전극으로서 인듐 주석 산화물(ITO: Indium Tin Oxide)을 사용하였을 경우, 저분자계 재료로서는, 동(銅) 프탈로시아닌 등의 포르피린(porphyrin) 화합물을 들 수 있다.
또한, 그 밖의 첨가제, 피막 안정화 재료를 첨가해도 좋고, 예를 들면, 점도 조제제(調製劑), 노화 방지제, pH 조제제, 방부제, 수지 에멀션(emulsion), 레벨링제 등을 이용할 수 있다.
도전성 화합물(정공 주입 수송층 성분)로서, 동 프탈로시아닌을 사용한 경우의, 정공 주입 수송층용 조성물의 물성(物性)적 특성에 대해서 검토했다. 시료는 표 1 내지 표 10에 나타내는 조성물(組成物) 가 내지 조성물 차를 조정했다.
조성물 가
[표 1]
| 조성 | 함유량(wt%) | |
| 정공 주입 수송층성분 | 동(銅)프탈로시아닌(10wt%)(스틸렌 아크릴 수지 분산액) | 25 |
| 극성 용매 | 물 | 70 |
| 습윤제 | 글리세린 | 5 |
조성물 나
[표 2]
| 조성 | 함유량(wt%) | |
| 정공 주입 수송층성분 | 동프탈로시아닌(10wt%)(스틸렌 아크릴 수지 분산액) | 25 |
| 극성 용매 | 물 | 65 |
| 메탄올 | 5 | |
| 습윤제 | 글리세린 | 5 |
조성물 다
[표 3]
| 조성 | 함유량(wt%) | |
| 정공 주입 수송층성분 | 동프탈로시아닌(10wt%)(스틸렌 아크릴 수지 분산액) | 25 |
| 극성 용매 | 물 | 65 |
| 에톡시 에탄올 | 5 | |
| 습윤제 | 글리세린 | 5 |
조성물 라
[표 4]
| 조성 | 함유량(wt%) | |
| 정공 주입 수송층성분 | 동프탈로시아닌(10wt%)(스틸렌 아크릴 수지 분산액) | 25 |
| 극성 용매 | 메탄올 | 70 |
| 습윤제 | 글리세린 | 5 |
조성물 마
[표 5]
| 조성 | 함유량(wt%) | |
| 정공 주입 수송층성분 | 동프탈로시아닌(10wt%)(스틸렌 아크릴 수지 분산액) | 25 |
| 극성 용매 | N,N-메틸 포름아미드 | 70 |
| 습윤제 | 글리세린 | 5 |
조성물 바
[표 6]
| 조성 | 함유량(wt%) | |
| 정공 주입 수송층성분 | 동프탈로시아닌(10wt%)(스틸렌 아크릴 수지 분산액) | 25 |
| 극성 용매 | 물 | 75 |
| 습윤제 | - | 0 |
조성물 사
[표 7]
| 조성 | 함유량(wt%) | |
| 정공 주입 수송층성분 | 동프탈로시아닌(10wt%)(스틸렌 아크릴 수지 분산액) | 25 |
| 극성 용매 | 물 | 70 |
| 메탄올 | 5 | |
| 습윤제 | - | 0 |
조성물 아
[표 8]
| 조성 | 함유량(wt%) | |
| 정공 주입 수송층성분 | 동프탈로시아닌(10wt%)(스틸렌 아크릴 수지 분산액) | 25 |
| 극성 용매 | 물 | 70 |
| 에톡시 에탄올 | 5 | |
| 습윤제 | - | 0 |
조성물 자
[표 9]
| 조성 | 함유량(wt%) | |
| 정공 주입 수송층성분 | 동프탈로시아닌(10wt%)(스틸렌 아크릴 수지 분산액) | 25 |
| 극성 용매 | 물 | 65 |
| 부톡시에탄올 | 5 | |
| 습윤제 | 글리세린 | 5 |
조성물 차
[표 10]
| 조성 | 함유량(wt%) | |
| 정공 주입 수송층성분 | 동프탈로시아닌(10wt%)(스틸렌 아크릴 수지 분산액) | 25 |
| 극성 용매 | 물 | 65 |
| 이소프로필알코올 | 5 | |
| 습윤제 | 글리세린 | 5 |
(토출 평가) 표 1∼표 8에 나타내는 조성물 가∼조성물 아의 잉크젯 헤드를 구성하는 노즐면 구성 재료에 대한 접촉각, 점도 및 표면 장력을 측정하고, 그들의 토출성을 평가했다. 토출 평가는 잉크젯 프린트 장치(엡슨제(製) MJ-500C)를 이용하여 행했다.
한편, 점도는 20℃에서의 측정값이다. 이들의 결과를 표 11에 나타낸다.
[표 11]
| 조성물 | 접촉각[°] | 점토[CP] | 표면장력[dyne] | 토출성 |
| 가 | 135 | 3.8 | 62.8 | ○ |
| 나 | 91 | 3.6 | 40.8 | ○ |
| 다 | 62 | 3.1 | 39.8 | ◎ |
| 라 | 22 | 0.8 | 23.1 | × |
| 마 | 175 | 0.9 | 81.0 | × |
| 바 | 118 | 1.1 | 71.0 | × |
| 사 | 28 | 0.8 | 68.8 | × |
| 아 | 27 | 0.9 | 69.2 | × |
이 결과로, 접촉각은 30° 내지 170°, 특히 35° 내지 65°가 바람직한 것을 알 수 있다. 또한, 점도는 1cp 내지 20cp, 특히 2cp 내지 4cp가 바람직하고, 표면장력은 20dyne 내지 70dyne, 특히 25dyne 내지 40dyne의 범위가 바람직한 것을 알 수 있다.
또한, 습윤제로서 글리세린이 혼입되어 있는 조성물 가 내지 조성물 다는, 습윤제가 혼입되어 있지 않은 조성물 바 내지 조성물 아와 비교하면, 토출성이 뛰어난 것을 알 수 있다. 따라서, 잉크 조성물 중에 습윤제가 포함되어 있는 것이바람직하다. 습윤제를 혼입함으로써, 잉크 조성물이 노즐구에서 건조ㆍ응고하는 것을 유효하게 방지할 수 있다. 이러한 습윤제로서는, 예를 들면 글리세린, 디에틸렌글리콜 등의 다가(多價) 알코올류를 들 수 있지만, 글리세린이 특히 바람직하다.
(정공 주입 수송층용 조성물의 제법(製法)) 표 1 내지 표 3 및 표 9, 표 10에 각각 나타내는 조성물 가 내지 조성물 다 및 조성물 자, 조성물 차를 제조하고, 초음파 처리전후의 정공 주입 수송층 형성 화합물(동 프탈로시아닌)의 입도(粒度) 분포를 측정했다. 더욱, 초음파 처리 후, 여과 공정을 거친 상기 정공 주입 수송층용 조성물을 이용하여 액체방울 토출 방식의 패터닝에 의해 형성된 정공 주입 수송층의 성막성을 평가했다.
이들의 결과를 표 12에 나타낸다. 초음파 처리의 효과는 1μｍ이하의 입도 분포의 비율로 나타냈다. 한편, 스티렌 아크릴 수지 분산액에서의 입자 직경은 1μｍ이상이다.
[표 12]
| 조성물 | 1㎛의 입경 비율(%) | 성막성 | |
| 초음파처리전 | 초음파처리후 | ||
| 가 | 4.8 | 46.8 | ○ |
| 나 | 2.8 | 31.4 | ○ |
| 다 | 4.2 | 43.5 | ◎ |
| 라 | 2.5 | 18.5 | × |
| 마 | 3.9 | 18.2 | × |
이 결과로, 상기 분산 액을 4시간 초음파 처리함으로써 분산성을 올릴 수 있는 것을 알 수 있다. 또한, 초음파 처리 분산 액을 더욱 여과함으로써, 보다 균일한 정공 주입 수송층 막을 얻을 수 있다. 또한, 상기 도전성 화합물의 분산 극성용매로서는, 물, 또는 물과 메탄올 혹은 에톡시 에탄올의 혼합 용매인 것이 바람직하고(조성물 가 내지 조성물 다), 이들의 용매를 사용한 경우, 성막성도 좋은 것을 알 수 있다.
(유기 전계 발광 소자의 제조 공정) 표 1 내지 표 3에 나타내는 조성물 가 내지 조성물 다를 이용하고, 이하에 나타내는 순서로 액체방울 토출 방식에 의한 정공 주입 수송층의 패터닝 성막을 행하고, 유기 전계 발광 소자(발광층)를 제조했다.
양극 형성 공정(도 6(A))
본 공정은 유리 기판(102) 위로 양극(101)을 형성하는 공정이다. 유리 기판(102)으로서는, 산이나 알칼리 등의 약품에 침지(浸漬)하기 어렵고, 양산(量産)할 수 있는 것이 바람직하다. ITO 투명 전극을 기판(102) 위로 0.1μm의 두께로 성막하고, 예를 들면 100μm피치로 패터닝 한다.
구획 부재 형성 공정(도 6(B))
본 공정은 유리 기판(102) 위에 구획 부재(103)를 형성하는 공정이다. 구체적으로는, 양극(ITO 전극)(101) 사이를 메우고, 잉크 떨어짐 방지 벽(뱅크)을 겸한 비감광성 폴리이미드(구획 부재)를 포토리소그래피에 의해 형성했다.
여기서, 구획 부재(103)의 형성에는, 도 1 내지 도 5에 나타내는 본 실시예의 박막 패턴의 제조 방법을 이용해도 좋다. 구획 부재(103)는 예를 들면 폭 20μm, 두께 2.0μm으로 했다.
정공 주입 수송층용 조성물 토출 공정(도 6(C))
또한, 잉크젯 프린트 장치(엡슨 제품 MJ-800C)(104)의 헤드(105)로부터 정공 주입 수송층용 조성물 가 내지 다(도면 중 106)를 토출하고, 정공 주입 수송층(107)을 패터닝 성막 했다. 이 성막에서는, 도 1 내지 도 5에 나타내는 본 실시예의 박막 패턴의 제조 방법을 이용했다. 패턴 성막 두께, 200℃ 10분의 건조 처리에 의해 정공 주입 수송층을 형성했다. 정공 주입 수송층용 조성물 토출 시에 있어서, 뱅크를 넘은 도포는 볼 수 없고, 「스트라이프 얼룩」이 적은 고정밀도의 정공 주입 수송층 패턴을 얻을 수 있었다.
발광층 조성물 충전 공정(도 6(D))
그 다음에, 녹색 발광층으로서 PPV 전구체(前驅體)(폴리(파라페닐렌비닐렌)) 조성물을 제조했다. 액체방울 토출 방식에 의해 발광층 조성물(108)을 토출하고, 발광층(109)을 패터닝 성막 했다. 이 성막에서도, 도 1 내지 도 5에 나타낸 본 실시예의 박막 패턴의 제조 방법을 이용했다. 발광층(109)으로서는 적색 발광을 나타내는 로다민 B를 도핑한 PPV나 청색 발광을 나타내는 쿠마린을 도핑한 PPV를 이용해도 좋다. 적, 녹, 청의 3원색 발광을 나타내는 발광층을 정공 주입 수송층 위에 더 패터닝함으로써, 색 얼룩이 없는 고품위의 풀 컬러 유기 EL 디스플레이의 제조가 가능해진다.
음극 형성 공정(도 6(E))
마지막으로, 발광층(109)을 피복하도록 음전극(110)을 증착해서 유기 전계 발광 소자를 형성했다.
본 유기 EL 장치의 제조 방법에 의하면, 스트라이프 형상의 색 얼룩 등이 없는 유기 EL 장치를 간편하게 단시간에 그리고 저렴하게 실현할 수 있다.
<플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법>
그 다음에, 상기 실시예의 박막 패턴 형성 방법을 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법에 대해서, 도 7을 참조해서 구체적으로 설명한다. 본 제조 방법에서는, 플라즈마 디스플레이 패널에서의 전극 배선 패턴을 상기 실시예의 박막 패턴의 제조 방법으로 형성한다. 도 7은 본 실시예에 관한 박막 패턴의 제조 방법을 이용해서 제조된 플라즈마 디스플레이 패널의 일례를 나타내는 단면도이다.
플라즈마 디스플레이 패널(120)은 2매의 유리 기판(121, 129)이 접합되어, 양쪽 기판에 의해 형성되는 공간에 불활성 가스가 충전된 것이다. 유리 기판(121, 129)에는, 각각, 본 실시예에 따른 박막 패턴의 제조 방법으로 형성된 전극(투명 전극(122), 버스 전극(123), 어드레스 전극(127))등이 설치되어 있다. 그 다음에, 플라즈마 디스플레이 패널(120)의 구성에 대해서 구체적으로 설명한다.
플라즈마 디스플레이 패널(120)에 있어서, 방전 공간(125)을 끼우는 기판쌍 중에 관찰측의 유리 기판(121)의 내면에는, 화면의 수평 방향의 셀 열인 라인마다 서스테인 전극이 배열되어 있다. 서스테인 전극은 투명 도전막인 투명 전극(122)과, 저항치를 저감하기 위한 금속막인 버스 전극(123)으로 이루어진다. 투명 전극(122)과 버스 전극(123)은 상술한 도 1 내지 도 5에 나타내는 박막 패턴의 제조 방법으로 설치된 것이다. 즉, 투명 전극(122)은 도 1 내지 도 5에 나타내는 액체방울 토출 방식으로 형성된 인듐 주석 산화물이며, 버스 전극(123)도 도 1에 나타내는 액체방울 토출 방식으로 형성되어 있다.
투명 전극(122)과 버스 전극(123)은 교류 구동을 위한 유전체층(124)으로 피복되어 있다. 유전체층(124)은 투광성을 갖고 있다. 배면 측의 유리 기판(129)의 내면에는, 어드레스 전극(127), 격벽(128) 및 컬러 표시를 위한 3색(적(R), 녹(G), 청(B))의 형광체(126R, 126G, 126B)가 설치되어 있다.
격벽(128)에 의해, 방전 공간(125)이 라인 방향으로 단위 발광 영역마다 구획되어 있다. 방전 공간(125)에는, 아르곤 또는 네온 등으로 이루어지는 방전 가스가 충전되어 있다. 형광체(126R, 126G, 126B)는 방전으로 생긴 자외선으로 국부적으로 여기된 소정의 색의 가시광을 방사한다. 표시에서의 1단위의 발광 영역은 라인 방향으로 나열된 3개의 단위 발광 영역으로 구성된다. 각 단위 발광 영역의 범위 내의 구조체가 셀이다.
다음으로, 상기 구조를 갖는 플라즈마 디스플레이 패널(120)의 제조 공정에 대해서 설명한다. 또한, 2매의 유리 기판(121, 129) 중 관찰측(표시면측)의 유리 기판(121)을 관찰면측 기판 구조체로 부르고, 유리 기판(121)과 반대측(배면측)의 유리 기판(29)을 배면측 기판 구조체라고 부른다.
우선, 관찰면측 기판 구조체로서는, 광투과성의 유리 기판(121) 위에 투명 전극(122)을 형성한다. 투명 전극(122)의 형성은 도 1 내지 도 5에 나타낸 바와 같이 인듐 주석 산화물을 도포하는 방식으로 행한다. 그 다음에, 투명 전극(122) 위에 버스 전극(123)을 형성한다. 버스 전극(123)의 형성도 도 1 내지 도 5에 나타낸 바와 같이 도전성 재료를 도포하는 방식으로 행한다. 그 다음에, 투명 전극(122) 및 버스 전극을 피복하는 유전체층(124)을 형성함으로써 관찰면측 기판 구조체가 완성된다.
한편, 배면측 기판 구조체로서는, 우선 유리 기판(129) 위에 어드레스 전극(127)을 형성한다. 이 어드레스 전극(127)의 형성도, 도 1 내지 도 5에 나타낸 바와 같이 상기 도전성 재료를 도포하는 방식으로 행한다. 그 다음에, 격벽(128)을 형성한 후, 격벽(128)으로 구획된 공간에 형광체(126R, 126G, 126B)가 스크린 인쇄법 등으로 형성된다. 이 형광체(126R, 126G, 126B)는, 예를 들면 소정의 발광색의 형광체 분말과, 셀룰로스계 또는 아크릴계의 점도 증가제 수지와 알코올계 또는 에스테르계 등의 유기 용제로 이루어지는 부형액(vehicle)을 혼합한 형광체 페이스트를, 스크린 인쇄법에 의해 형성한다. 적색광을 발하는 형광체(126R), 녹색광을 발하는 형광체(126G), 청색광을 발하는 형광체(126B)는, 어드레스 전극(127) 방향으로, 교호(交互)하여 형성된다. 그 다음에, 형광체(126R, 126G, 126B)는 대기압의 공기 중 분위기로 열처리가 시행되어, 부형액의 휘발 성분을 증발시킨다. 이 열처리가 형광체의 소성(燒成) 공정이라고 불리는 것이다.
형광체(126R, 126G, 126B)의 소성이 끝나면, 관찰면측 기판 구조체와 배면측 기판 구조체를 접합하여, 내부를 진공 배기한 후, 불활성 가스를 충전함으로써, 플라즈마 디스플레이 패널(120)이 완성된다.
이들에 의해 본 실시예의 플라즈마 디스플레이 패널(120)의 제조 방법에서는, 투명 전극(122), 버스 전극(123) 및 어드레스 전극(127)의 형성에, 본 실시예에 따른 박막 패턴의 제조 방법(액체방울 토출 방식)을 사용하고 있으므로, 포토리소그래피나 에칭으로 제조한 경우에 비교하여, 인듐 주석 산화물 및 상기 도전성재료의 낭비되는 양을 대폭 저감시킬 수 있다. 또한, 본 실시예의 플라즈마 디스플레이 패널(120)의 제조 방법에서는, 투명 전극(122), 버스 전극(123) 및 어드레스 전극(127)을 형성할 때에, 포토 마스크를 만들 필요가 없으므로, 제조 기간을 단축할 수 있는 동시에, 제조 비용을 저감시킬 수 있다.
또한, 본 실시예의 플라즈마 디스플레이 패널(120)에서는, 버스 전극(123)에 단선(斷線)이 있다 하더라도 그 도전성 패턴의 아래에는 인듐 주석 산화물로 이루어지는 투명 전극(123)이 형성되어 있으므로, 기판 위의 배선으로서는 연결이 되어 있고, 플라즈마 디스플레이 패널(120)에서의 소정의 기능을 발휘할 수 있다.
또한, 본 실시예의 플라즈마 디스플레이 패널(120)에서는, 투명 전극(122), 버스 전극(123) 및 어드레스 전극(127)을 액체방울 토출 방식으로 형성할 때에, 도 1 내지 도 5에 나타낸 바와 같이 박막 패턴 형성 영역의 단축 방향으로 주사선을 설정해서 액체방울을 도포시키므로, 투명 전극(122), 버스 전극(123) 및 어드레스 전극(127)을 이루는 박막 패턴에 「스트라이프 얼룩」이 생기는 것을 억제하면서, 고속으로 이 박막 패턴을 형성할 수 있다. 그래서, 본 제조 방법에 의하면, 플라즈마 디스플레이 패널(120)의 투명 전극(122), 버스 전극(123) 및 어드레스 전극(127)을 고정밀도로 또한 신속하게 형성할 수 있으므로, 고품위의 화상을 표시할 수 있고, 전류 리크(leak) 등의 불량 발생 확률이 낮은 플라즈마 디스플레이 패널(120)을 저렴하게 제공할 수 있다.
<액정 장치의 제조 방법>
그 다음에, 상기 실시예에 따른 박막 패턴의 제조 방법을 이용한 액정 장치의 제조 방법에 대하여, 도 8을 참조해서 구체적으로 설명한다. 본 제조 방법에서는, 액정 장치에 있어서의 전극 배선 패턴 및 컬러 필터를 상기 실시예의 도포 방법으로 형성한다. 도 8은 본 실시예에 따른 박막 패턴의 제조 방법을 이용해서 제조된 액정 장치(200)의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 8에 나타내는 바와 같이, 하측 기판(201)의 액정층(203)측 표면 위에는, 컬러 필터(205), 유기막 등으로 이루어지는 평탄화 막(206), 투명 전극(207), 배향막(209)이 순차 적층 형성되어 있다. 한편, 상측 기판(202)의 액정층(203)측 표면 위에는, 인듐 주석 산화물로 이루어지는 투명 전극(208)과 배향막(210)이 순차 적층 형성되어 있다. 또한, 액정층(203) 안에는 다수의 공 모양의 스페이서(213)가 배치되어 있다.
컬러 필터(205)는 소정의 패턴에 형성된 적(R), 녹(G), 청(B)의 착색층(205a)과 인접하는 착색층(205a) 사이를 차광하는 차광층(블랙 매트릭스)(205b)으로 이루어져 있다. 또한, 배향막(209, 210)은 폴리이미드 등의 배향성 고분자로부터 이루어지고, 전계를 인가하지 않을 때의 액정층(203)의 배향 상태에 맞추어 그 표면은 포(布) 등을 이용해서 소정 방향으로 러빙(rubbing)되어 있다. 컬러 필터(205) 및 평탄화 막(206)은, 적어도 표시 영역 안에 형성되고 또한 실링 재료(204)보다도 안쪽에만 형성되어 있다.
그 다음에, 상기 구조의 액정 장치(200)의 제조 방법에 대해서 설명한다.
우선, 하측 기판(201)의 표면에, 컬러 필터(205), 평탄화 막(206), 투명 전극(207), 배향막(209)을 순차 형성한다. 여기서, 컬러 필터(205) 및 투명 전극(207)은 각각 도 1 내지 도 5에 나타낸 박막 패턴의 제조 방법으로 형성한다.
또한, 상측 기판(202)의 표면에, 투명 전극(208)과 배향막(210)을 순차 형성한다. 여기서, 투명 전극(208)도 도 1 내지 도 5에 나타낸 박막 패턴의 제조 방법으로 형성한다. 즉 기판(202)의 표면에 인듐 주석 산화물을 액체방울 토출 장치로 액체방울 토출시킴으로써 투명 전극(208)을 형성한다.
그 다음에, 표면에 컬러 필터(205), 평탄화 막(206), 투명 전극(207), 배향막(209)이 순차 적층 형성된 하측 기판(201)과, 투명 전극(208) 및 배향막(210)을 순차 적층하여 형성된 상측 기판(202)을, 미경화 실링 재료(204)를 통해서 점착(粘着)한 후, 미경화 실링 재료(204)를 액정의 주입구를 형성하도록 경화하여, 액정 셀을 형성한다.
그 다음에, 진공 주입법에 의해 액정 셀내에 액정을 흡인해서 액정층(203)을 형성함으로써 상기 구조의 액정 장치(200)가 제조된다.
이들에 의해, 본 실시예의 액정 장치(200)의 제조 방법에서는, 인듐 주석 산화물 등으로 이루어지는 투명 전극(207, 208)을 액체방울 토출 방식으로 형성하므로, 포토리소그래피나 에칭으로 제조했을 경우와 비교해서 인듐 주석 산화물 등의 낭비되는 양을 대폭 저감시킬 수 있다.
또한, 본 실시예의 액정 장치(200)의 제조 방법에서는, 투명 전극(207, 208)을 형성할 때에, 포토 마스크를 만들 필요가 없으므로, 제조 기간을 단축할 수 있는 동시에 제조 가격을 저감시킬 수 있다.
또한, 본 실시예의 액정 장치(200)의 제조 방법에서는, 컬러 필터(205) 및투명 전극(207, 208)을 액체방울 토출 방식으로 형성할 때에, 도 1 내지 도 5에 나타낸 방법으로 액체방울을 도포하므로, 스트라이프 형상의 발광 얼룩이 적은 고품위의 액정 장치(200)를 고속으로 제조할 수 있다.
(전자 기기)
상기 실시예의 박막 패턴 형성 방법을 이용해서 제조된 전기 광학 장치(유기 EL 장치, 플라즈마 디스플레이 패널 또는 액정장치)를 구비한 전자 기기의 예에 대해서 설명한다.
도 9는 휴대 전화의 일례를 나타내는 사시도이다. 도 9에 있어서, 부호 1000은 휴대 전화 본체를 나타내고, 부호 1001은 상기 전기 광학 장치를 이용한 표시부를 나타내고 있다.
도 10은 손목 시계형 전자 기기의 일례를 나타내는 사시도이다. 도 10에 있어서, 부호 1100은 시계 본체를 나타내고, 부호 1101은 상기 전기 광학 장치를 이용한 표시부를 나타내고 있다.
도 11은 워드 프로세서, 퍼스널 컴퓨터 등의 휴대형 정보 처리 장치의 일례를 나타내는 사시도이다. 도 11에 있어서, 부호 1200은 정보 처리 장치, 부호 1202는 키보드 등의 입력부, 부호 1204는 정보 처리 장치 본체, 부호 1206은 상기 전기 광학 장치를 이용한 표시부를 나타내고 있다.
도 9 내지 도 11에 나타낸 전자 기기는, 상기 실시예의 전기 광학 장치를 구비하고 있으므로, 표시부 등에서의 발광 얼룩 및 전류 누설 등을 저감시킨 고품위인 전자 기기를 저렴하게 제공할 수 있다.
한편, 본 발명의 기술 범위는 상기 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 변경을 가할 수 있고, 실시예로 든 구체적인 재료나 층 구성 등은 그저 일례에 불과하며, 적당히 변경할 수 있다.
본 발명에 의하면, 액체방울 토출 방식을 이용해서 화소를 이루는 박막 패턴을 형성했을 때에, 이 박막 패턴에 스트라이프 얼룩이 생기는 것을 저감시킬 수 있고, 또한 상기 스트라이프 얼룩을 분산시킬 수 있는 박막 패턴의 제조 방법, 유기 전계 발광 소자의 제조 방법, 컬러 필터의 제조 방법, 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법, 액정 표시 패널의 제조 방법 및 전자 기기를 제공할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 액체방울 토출 방식에 의해 화소를 이루는 박막 패턴을 고속으로 형성할 수 있는 박막 패턴의 제조 방법, 유기 전계 발광 소자의 제조 방법, 컬러 필터의 제조 방법, 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법, 액정 표시 패널의 제조 방법 및 전자 기기를 제공할 수 있다.
Claims (18)
- 장축(長軸) 및 단축(短軸)을 갖는 화소 영역에 액체방울 토출 방식으로 액상체 재료를 도포하는 액상체 도포 처리와,상기 액상체 도포 처리에서 액체방울 토출 장치의 노즐 헤드를 상기 화소 영역의 단축방향으로 주사하고, 상기 주사 과정에서 상기 노즐 헤드에 구비되어 있는 잉크젯 노즐로부터 상기 화소 영역으로 액체방울을 토출하는 단축 방향 토출 처리를 갖는 것을 특징으로 하는 박막 패턴의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 단축 방향 토출 처리에서는 1개의 상기 화소 영역에 대하여 복수회의 액체방울 토출이 행하여지고,상기 복수회의 액체방울 토출은 적어도 2개의 상이한 상기 잉크젯 노즐에 의해 행해지는 것을 특징으로 하는 박막 패턴의 제조 방법.
- 제 2 항에 있어서,상기 노즐 헤드는 복수의 상기 잉크젯 노즐을 구비하고 있고,상기 1개의 화소 영역에 대한 복수회의 액체방울 토출은 적어도 2개의 인접된 상기 잉크젯 노즐에 의해 거의 동시 내지 순차적으로 행해지는 것을 특징으로 하는 박막 패턴의 제조 방법.
- 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 1개의 화소 영역에 대한 복수회의 액체방울 토출은 적어도 2종류의 액체방울 토출량으로 행해지는 것을 특징으로 하는 박막 패턴의 제조 방법.
- 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 1개의 화소 영역에 대한 복수회의 액체방울 토출은 상기 액체방울을 적어도 2종류의 점도(粘度)로 하여 행해지는 것을 특징으로 하는 박막 패턴의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 노즐 헤드는 복수의 상기 잉크젯 노즐을 구비하고 있고,상기 복수의 잉크젯 노즐은 상기 노즐 헤드에서 대략 직선 상에 배치되어 있고,상기 단축 방향 토출 처리에서는 상기 복수의 잉크젯 노즐의 배치를 규정하는 직선이 상기 단축 방향으로 설정된 주사선에 대하여 비스듬하게 교차되는 상태로서, 상기 노즐 헤드를 주사시키는 것을 특징으로 하는 박막 패턴의 제조 방법.
- 제 2 항에 있어서,상기 1개의 화소 영역에 대한 복수회의 액체방울 토출은 상기 화소 영역에최초로 착탄(着彈)한 액체방울이 거의 완전히 건조하기 전에, 최후의 액체방울 토출이 행해지는 것을 특징으로 하는 박막 패턴의 제조 방법.
- 제 2 항에 있어서,상기 1개의 화소 영역에 대한 복수회의 액체방울 토출에서는 상기 화소 영역에 대한 최초의 액체방울 토출과 최후의 액체방울 토출 사이에, 상기 화소 영역에 착탄한 액체방울이 완전히 건조하기에는 못 미칠 정도의 건조 처리가 행해지는 것을 특징으로 하는 박막 패턴의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 박막 패턴의 제조 방법은,상기 액상체 도포 처리에서 액체방울 토출 장치의 노즐 헤드를 상기 화소 영역의 장축 방향으로 주사하고, 상기 주사 과정에서 상기 노즐 헤드에 구비되어 있는 잉크젯 노즐로부터 상기 화소 영역으로 액체방울을 토출하는 장축 방향 토출 처리를 갖는 것을 특징으로 하는 박막 패턴의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 장축 방향 토출 처리에서는 상기 복수의 잉크젯 노즐의 배치를 규정하는 직선이 상기 장축 방향으로 설정된 주사선에 대하여 비스듬하게 교차되는 상태로서, 상기 노즐 헤드를 주사시키는 것을 특징으로 하는 박막 패턴의 제조 방법.
- 제 2 항에 있어서,상기 1개의 화소 영역에 대한 복수회의 액체방울 토출은 하나의 액체방울 착탄에 의해 형성된 박막의 일부와, 다른 액체방울 착탄에 의해 형성된 박막의 일부가 겹치도록 행해지는 것을 특징으로 하는 박막 패턴의 제조 방법.
- 전극 사이에 발광층과 정공 주입층을 갖는 발광 소자가 기판에 형성되어 이루어지는 유기 전계 발광 소자의 제조 방법으로서,상기 정공 주입층을 액체방울 토출 장치에 형성되는 잉크젯 헤드에 의해 액체방울을 토출함으로써 형성하는 공정을 갖고,상기 정공 주입층은 장축 및 단축을 갖는 화소 영역에 형성하는 것이며,상기 정공 주입층을 형성하는 공정에서, 상기 잉크젯 헤드를 상기 화소 영역의 단축 방향으로 주사하고, 상기 주사 과정에서 상기 잉크젯 노즐로부터 상기 화소 영역으로 액체방울을 토출하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
- 전극 사이에 발광층과 정공 주입층을 갖는 발광 소자가 기판에 형성되어 이루어지는 유기 전계 발광 소자의 제조 방법으로서,상기 발광층을 액체방울 토출 장치에 형성되는 잉크젯 헤드에 의해 액체방울을 토출함으로써 형성하는 공정을 갖고,상기 발광층은 장축 및 단축을 갖는 화소 영역에 형성하는 것이며,상기 발광층을 형성하는 공정에서, 상기 잉크젯 헤드를 상기 화소 영역의 단축 방향으로 주사하고, 상기 주사 과정에서 상기 잉크젯 노즐로부터 상기 화소 영역으로 액체방울을 토출하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
- 전극 사이에 발광층과 정공 주입 수송층을 갖는 발광 소자가 기판에 형성되어 이루어지고, 발광 방향측으로 컬러 필터가 형성되어 이루어지는 컬러 필터의 제조 방법으로서,상기 컬러 필터를, 액체방울 토출 장치에 형성되는 잉크젯 헤드에 의해 액체방울을 토출함으로써 형성하는 공정을 갖고,상기 컬러 필터는 장축 및 단축을 갖는 화소 영역에 형성하는 것이며,상기 컬러 필터를 형성하는 공정에서, 상기 잉크젯 헤드를 상기 화소 영역의 단축 방향으로 주사하고, 상기 주사 과정에서 상기 잉크젯 노즐로부터 상기 화소 영역으로 액체방울을 토출하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.
- 기판에 형성된 전극을 갖고 이루어지는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법으로서,상기 전극을 액체방울 토출 장치에 형성되는 잉크젯 헤드에 의해 액체방울을 토출함으로써 형성하는 공정을 갖고,상기 전극은 장축 및 단축을 갖는 소정 영역에 형성하는 것이며,상기 전극을 형성하는 공정에서, 상기 잉크젯 헤드를 상기 소정 영역의 단축 방향으로 주사하고, 상기 주사 과정에서 상기 잉크젯 노즐로부터 상기 소정 영역으로 액체방울을 토출하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
- 기판에 형성된 컬러 필터를 갖고 이루어지는 액정 표시 패널의 제조 방법으로서,상기 컬러 필터를, 액체방울 토출 장치에 형성되는 잉크젯 헤드에 의해 액체방울을 토출함으로써 형성하는 공정을 갖고,상기 컬러 필터는 장축 및 단축을 갖는 소정 영역에 형성하는 것이며,상기 컬러 필터를 형성하는 공정에서, 상기 잉크젯 헤드를 상기 소정 영역의 단축 방향으로 주사하고, 상기 주사 과정에서 상기 잉크젯 노즐로부터 상기 소정 영역으로 액체방울을 토출하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 액상체 재료는 포토 레지스트 막을 형성하는 것임을 특징으로 하는 박막 패턴의 제조 방법.
- 제 1 항 기재의 박막 패턴의 제조 방법을 이용해서 제조된 박막 패턴을 구비하는 것을 특징으로 하는 전자 기기.
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